KR20170135650A - Organic Light Emitting Display Device and Method for Repairing the Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로, 특히, 불량 화소의 리페어에 용이한 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치 및 이의 리페어 방법에 관한 것이다.And more particularly, to an organic light emitting display having a structure that is easy to repair defective pixels and a repair method thereof.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 액정 표시 장치(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기 발광 표시 장치(OLED: Organic Light Emitting Display Device, 또는 유기 전계 발광 표시 장치) 등과 같은 다양한 표시장치가 활용되고 있다. 이러한 다양한 표시장치에는, 그에 맞는 표시패널이 포함된다.2. Description of the Related Art [0002] As an information-oriented society develops, there have been various demands for a display device for displaying images. Recently, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) Various display devices such as an organic light emitting display (OLED) and the like are being utilized. Such various display apparatuses include display panels corresponding thereto.
이 중 유기 발광 표시 장치는 자발광 장치로서 별도의 광원 유닛을 요하지 않아 슬림화 혹은 플렉서블에 유리하고, 또한, 색순도가 좋다는 이점이 있다.Among these, the organic light emitting display device is advantageous in that it is slim or flexible and has good color purity because it does not require a separate light source unit as a self light emitting device.
이러한 유기 발광 표시장치는, 유기 발광 다이오드를 포함하여 발광이 이루어진다. 상기 유기 발광 다이오드(OLED)는 서로 다른 두 전극과, 그 사이의 발광층을 포함하여 이루어지며, 어느 하나의 전극에서 발생한 전자와 다른 하나의 전극에서 발생한 정공이 발광층 내부로 주입되면, 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성되고, 생성된 액시톤이 여기상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광이 이루어진다. Such an organic light emitting display device includes an organic light emitting diode to emit light. The organic light emitting diode OLED includes two different electrodes and a light emitting layer therebetween. When electrons generated in one electrode and holes generated in the other electrode are injected into the light emitting layer, The excitons are generated by the combination of the holes, and the generated excitons are emitted while falling from the excited state to the ground state.
또한, 유기 발광 표시 장치는, 기판에 정의된 매트릭스 상의 복수개의 화소에 개별로 유기 발광 다이오드를 포함하고, 상기 유기 발광 다이오드의 제어를 위해 각 화소에 상기 유기 발광 다이오드와 연결된 구동 박막 트랜지스터를 포함하고 있다. The organic light emitting display includes a driving thin film transistor connected to the organic light emitting diode in each pixel for controlling the organic light emitting diode, the organic thin film transistor including an organic light emitting diode individually in a plurality of pixels on a matrix defined in the substrate, have.
한편, 유기 발광 표시 장치는, 형성 과정 중 불량에 의해 도전성 이물 등이 남아 있어, 휘점이 나타날 수 있으며, 이는 표시 상 불량으로 작용하기 때문에, 도전성 이물이 발생한 화소를 암점화 하는 등의 리페어 공정을 적용한다.On the other hand, in the organic light emitting display device, a conductive foreign matter remains due to defects during the formation process, and a bright point may appear, which causes defective display. Therefore, a repair process such as igniting a pixel in which a conductive foreign matter occurs is ignited To be applied.
그런데, 리페어 공정은 불량이 발생한 해당 화소의 배선 및 전극을 커팅하는 방식으로 진행되는데, 배선과 전극을 커팅하기 위해 고온의 에너지가 요구되며, 이 과정에서 커팅 부위 부근의 유기 발광 다이오드에 데미지가 발생하는 문제가 있다.However, the repair process proceeds by cutting the wiring and the electrode of the corresponding pixel where the defect occurs. In order to cut the wiring and the electrode, high-temperature energy is required. In this process, the organic light emitting diode near the cutting portion is damaged There is a problem.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 불량 화소의 리페어에 용이한 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치와, 이의 리페어 방법 및 리페어가 적용된 유기 발광 표시 장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an organic light emitting diode (OLED) display device having a structure capable of repairing defective pixels, a repair method thereof, and an OLED display device using the repair.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는 일 방향으로 길게 연장된 액티브층을 구비하여 액티브층의 일 노드에 소스 접속 전극을 공유시키고, 일 노드의 양측에 센싱 트랜지스터와 구동 트랜지스터를 위치시킨다. The organic light emitting display of the present invention includes an active layer extended in one direction to share a source connection electrode at one node of the active layer and positions the sensing transistor and the driving transistor on both sides of one node.
또한, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법은, 휘점 발생시 액티브층의 일 노드를 커팅하여 리페어를 수행하여, 리페어 공정에 소요되는 에너지를 줄이고, 커팅 수를 감소하고, 유기 발광 다이오드의 손상을 방지할 수 있다.In addition, the repairing method of the organic light emitting diode display of the present invention is a method of repairing an organic light emitting diode by cutting one node of an active layer at the time of occurrence of a luminescent spot to perform repairing, thereby reducing energy required for a repairing process, .
이를 위해, 일 실시예에 따른 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 복수의 서브 화소를 갖는 기판과, 상기 기판 상에, 각 서브 화소의 주변에 서로 교차하는 방향으로 배치된 복수개의 제 1 라인 및 제 2 라인과, 상기 각 서브 화소에, 상기 제 2 라인에 인접하며, 상기 제 1 라인에 일부 폭 중첩하는 액티브층과, 상기 각 서브 화소에, 상기 액티브층의 제 1 노드에서 접속된 소스 접속 전극을 각각 포함하여 상기 액티브층 상에 나누어 위치하는 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터 및 적어도 하나의 서브 화소에, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 이격시키도록, 상기 액티브층의 제 1 노드에 구비된 커팅부를 포함할 수 있다. To this end, the OLED display device according to an embodiment of the present invention includes: a substrate having a plurality of sub-pixels; a plurality of first lines arranged in a direction intersecting each other around the sub- An active layer adjacent to the second line and overlapping the first line with a certain width; and a source line connected to the sub-pixel at a first node of the active layer, A driving transistor, a sensing transistor, and at least one sub-pixel, each of which includes an electrode, and which is divided on the active layer, electrically isolates the driving transistor from the sensing transistor, Section.
그리고, 상기 커팅부는 상기 액티브층을 상기 제 1 노드에서 제거하여 구비될 수 있다. The cutting unit may be provided by removing the active layer from the first node.
그리고, 상기 커팅부에서 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 소스 접속 전극은 서로 분리될 수 있다. In the cutting portion, the driving transistor and the source connection electrode of the sensing transistor may be separated from each other.
또한, 상기 커팅부 상측에 상기 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터를 덮는 무기 보호막을 더 포함할 수 있으며, 상기 무기 보호막 상부에 위치하며, 커팅부에서 오픈 영역을 갖는 유기 절연막을 더 포함할 수 있다. The organic light emitting display may further include an inorganic protective layer covering the driving transistor and the sensing transistor on the upper side of the cutting portion. The organic insulating layer may include an organic insulating layer located on the inorganic protective layer and having an open region in the cut portion.
상기 커팅부에서, 상기 소스 접속 전극이 상기 기판에 가장 가까운 금속이다. In the cutting portion, the source connection electrode is a metal closest to the substrate.
또한, 상기 커팅부에서 상기 소스 접속 전극은 상기 액티브층과 분리될 수 있다. Further, in the cutting portion, the source connection electrode can be separated from the active layer.
또한, 상기 구동 트랜지스터는, 상기 제 2 라인에서 돌출되며 상기 액티브층과 접속된 구동 드레인 전극과 상기 소스 접속 전극 및 상기 액티브층을 가로지르는 구동 게이트 전극을 포함하며, 상기 센싱 트랜지스터는 상기 제 1 라인을 사이에 두고 각각 상기 액티브층과 접속된 센싱 드레인 전극 및 상기 소스 접속 전극을 포함할 수 있다. The driving transistor further includes a driving drain electrode protruding from the second line and connected to the active layer and a driving gate electrode crossing the source connecting electrode and the active layer, A sensing drain electrode connected to the active layer and a source connection electrode, respectively.
상기 구동 게이트 전극에서 연장하여 상기 서브 화소의 영역을 채우는 제 1 스토리지 전극 및 상기 제 1 스토리지 전극과 중첩하며 상기 소스 접속 전극에서 연장된 제 2 스토리지 전극을 포함한 스토리지 캐패시터를 더 포함할 수 있다. And a storage capacitor including a first storage electrode extending from the driving gate electrode and filling a region of the sub pixel, and a second storage electrode overlapping the first storage electrode and extending from the source connection electrode.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법은, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 이격하도록, 상기 액티브층의 제 1 노드를 레이저로 조사하여 커팅부를 생성할 수 있다. In order to achieve the same object, the repairing method of the organic light emitting display of the present invention is characterized in that the repairing method of irradiating the first node of the active layer with a laser so as to electrically isolate the driving transistor from the sensing transistor have.
다른 예로, 상기 기판 상의 복수개의 서브 화소의 휘점을 검출하는 단계와, 상기 휘점이 검출된 서브 화소에, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터가 전기적으로 이격하도록, 상기 액티브층의 제 1 노드에 레이저를 조사하여 커팅하는 단계를 포함할 수 있다. As another example, there is provided a method of driving a plasma display panel, comprising the steps of: detecting a luminescent spot of a plurality of sub-pixels on the substrate; irradiating the first node of the active layer with a laser beam so that the driving transistor and the sensing transistor are electrically separated from each other; And cutting the wafer.
이 경우, 상기 레이저의 조사는 상기 기판의 하측으로부터 하여, 상기 액티브층을 태워 상기 액티브층과 상기 소스 접속 전극을 전기적으로 분리할 수 있다.In this case, irradiation of the laser can be performed from the lower side of the substrate to electrically disconnect the active layer from the source connection electrode by burning the active layer.
또는, 상기 레이저의 조사는 상기 기판의 상측으로부터 하여, 상기 소스 접속 전극 및 상기 액티브층을 함께 태워 상기 제 1 노드에서 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 분리할 수 있다. Alternatively, the irradiation of the laser may be performed from above the substrate to electrically disconnect the driving transistor and the sensing transistor at the first node by driving the source connection electrode and the active layer together.
본 발명의 유기 발광 표시 장치와 이의 리페어 방법은 다음과 같은 효과가 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The organic light emitting diode display and the repair method of the present invention have the following effects.
첫째, 리페어시 레이저 조사로 소실되는 부분이 기판에 가장 가까운 액티브층에 한하기 때문에, 레이저 조사가 상측에 위치하는 유기 발광 다이오드에 영향을 미치지 않게 되어, 배선을 커팅하는 구조에서 문제시되던 인접 화소의 발광부 축소와 같은 문제를 방지하여, 고온 구동 신뢰성을 얻을 수 있다.First, since the portion disappearing by the repairing laser irradiation is limited to the active layer closest to the substrate, the laser irradiation does not affect the organic light emitting diode located on the upper side, Problems such as shrinkage of the light emitting portion can be prevented, and high temperature driving reliability can be obtained.
둘째, 리페어의 부위가 액티브층의 특정 노드에 한하여도, 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 전기적 이격이 가능하며, 특정 노드를 커팅시 동시에 애노드 전극으로 전류 공급을 끊을 수 있어, 1회의 레이저 조사로 리페어 공정이 가능하여, 리페어 공정에 소요되는 공정 시간 및 공정 부담을 감소시킬 수 있다.Second, even if the repair part is located at a specific node of the active layer, the drive transistor and the sensing transistor can be electrically separated from each other, and the supply of current to the anode electrode can be stopped at the same time when cutting the specific node. This makes it possible to reduce the process time and process burden required for the repair process.
셋째, 센싱 트랜지스터와 구동 트랜지스터에 액티브층을 공유시키고, 공유된 액티브층 상에 센싱 트랜지스터와 구동 트랜지스터를 할당하여, 서브 화소에서 차지하는 스토리지 캐패시터의 할당 면적을 늘려, 스토리지 캐패시터의 용량을 증가시킬 수 있다.Third, the active layer may be shared by the sensing transistor and the driving transistor, and the sensing transistor and the driving transistor may be allocated on the shared active layer to increase the storage area of the storage capacitor occupied by the sub-pixel, thereby increasing the capacity of the storage capacitor .
넷째, 상부 발광 방식에 있어서는 레이저의 조사를 기판 상부측에 진행하며, 이러한 레이저 조사시의 아웃개싱을 방지하도록 센싱 트랜지스터와 구동 트랜지스터의 접속 부위에 상당하여 유기 보호막 및 뱅크와 같은 유기막 성분의 오픈 영역을 마련한다. 이로써, 레이저 조사시 태워지는 성분의 두께를 줄이고, 조사시의 아웃개스를 줄일 수 있다.Fourth, in the upper emission type, the irradiation of the laser is performed on the upper side of the substrate. In order to prevent the outgas during the laser irradiation, the organic film component such as the organic protective film and the bank is opened Area. As a result, the thickness of the component burned upon laser irradiation can be reduced, and outgassing during irradiation can be reduced.
도 1은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 일 서브 화소를 나타낸 회로도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 서브 화소를 나타낸 평면도
도 3은 도 2의 I~I' 선상의 단면도
도 4는 도 2의 Ⅱ~Ⅱ' 선상의 단면도
도 5는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 순서도
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법을, 도 2의 I~I' 선상에 나타낸 단면도
도 7은 도 6의 리페어 적용 후 리페어 적용 부위의 SEM도
도 8a 는 비교예의 유기 발광 표시 장치의 평면도
도 8b 는 도 8a의 III~III' 선상의 단면도
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법의 적용 전 후의 단면도1 is a circuit diagram showing one sub-pixel of an organic light emitting display according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing one subpixel according to an embodiment of the present invention. FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line I-I '
Fig. 4 is a cross-sectional view taken along line II-II '
5 is a flowchart showing a repair method of the organic light emitting diode display according to the present invention.
6 is a sectional view of the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a SEM view of the repair application region after the repair application of FIG. 6
8A is a plan view of the organic light emitting display device of the comparative example
8B is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 8A;
9A and 9B are cross-sectional views of the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention,
이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형상으로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형상으로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장될 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, it is to be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. The dimensions and relative sizes of the layers and regions in the figures may be exaggerated for clarity of illustration.
소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않는 것을 나타낸다.It will be understood that when an element or layer is referred to as being another element or "on" or "on ", it includes both intervening layers or other elements in the middle, do. On the other hand, when a device is referred to as "directly on" or "directly above ", it does not intervene another device or layer in the middle.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below, beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해 되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함 할 수 있다.The terms spatially relative, "below," "lower," "above," "upper," and the like, And may be used to easily describe the correlation with other elements or components. Spatially relative terms should be understood to include, in addition to the orientation shown in the drawings, terms that include different orientations of the device during use or operation. For example, when inverting an element shown in the figures, an element described as "below" or "beneath" of another element may be placed "above" another element. Thus, the exemplary term "below" can include both downward and upward directions.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 따라서 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/ 또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. &Quot; comprise "and / or" comprising ", as used in the specification, means that the presence of stated elements, Or additions.
도 1은 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 일 서브 화소를 나타낸 회로도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 서브 화소를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 2의 I~I' 선상의 단면도이며, 도 4는 도 2의 Ⅱ~Ⅱ' 선상의 단면도이다.1 is a circuit diagram showing one sub-pixel of an organic light emitting diode display of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing one subpixel according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 복수개의 서브 화소를 기판(100) 상에 매트릭스 상으로 갖고, 도 1 내지 도 4과 같이, 각 서브 화소는, 서로 교차하는 스캔 라인(SL) 및 데이터 라인(DL)과, 상기 스캔 라인(SL)과 평행한 센싱 라인(SSL)과, 기준 전압 라인(RL)과, 서로 대향된 애노드 전극(AE)과, 캐소드 전극(CE) 및 상기 애노드 전극(AE)과 캐소드 전극(CE) 사이에 구비된 유기 발광 다이오드(OLED)와, 상기 센싱 라인(SSL)에 인가되는 센싱 신호에 응답하여, 상기 기준 전압 라인(RL)으로부터 기준 전압을 제 1 노드(A)에 공급하는 센싱 트랜지스터(SS-TR)와, 상기 스캔 라인(SL)에 인가되는 스캔 신호에 응답하여 상기 데이터 라인(DL)에 인가되는 데이터 전압을 제 2 노드(B)로 공급하는 스위칭 트랜지스터(SW-TR)와, 상기 제 2 노드(B)의 전압에 따라 상기 유기 발광 다이오드(OLED)의 발광을 제어하는 구동 트랜지스터(D-TR)와, 상기 제 2 노드(B)에 접속된 제 1 전극과, 상기 애노드 전극(AE)과 접속된 제 1 노드(A)에 접속된 제 2 전극을 포함하는 스토리지 캐패시터(Cst)를 포함한다. The organic light emitting display of the present invention has a plurality of sub-pixels in a matrix form on a
상기 서브 화소는 인접한 서브 화소들에서 도시된 도 1의 트랜지스터들 및 캐패시터가 동일 방향으로 배열될 수도 있고, 혹은 대칭적으로 배열될 수도 있다.The sub-pixels may be arranged in the same direction or symmetrically with respect to the transistors and capacitors of FIG. 1 shown in adjacent sub-pixels.
본 발명의 유기 발광 표시 장치에 있어서는, 상기 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 제 1 액티브층(도 2 내지 3의 111 참조)을 공유하고, 상기 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)는 제 1 액티브층(111)의 동일 부위, 즉, 제 1 노드(A) 부위에서 함께 접속되는 것을 특징으로 한다. 회로적 구성 요소 중 스위칭 트랜지스터(SW-TR)나 스토리지 캐패시터(Cst)의 구성은 그 면적이나 접속 부를 도시된 바와 달리하는 변경을 가질 수도 있다. 따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 리페어 전후의 센싱 트랜지스터(SS-TR) 및 구동 트랜지스터(D-TR)의 구성 및 그 변화에 주목한다.The sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR share a first active layer (see 111 in FIGS. 2 and 3), and the sensing transistor SS- TR and the driving transistor D-TR are connected together at the same portion of the first
상기 제 1 액티브층(111)은 센싱 트랜지스터(SS-TR)과 구동 트랜지스터(D-TR)에 공유되는 것으로, 상기 전원 전압 라인(VDL)에 인접하며, 거의 평행하게 배치시켜, 상기 제 1 액티브층(111)의 거의 중앙에 위치한 제 1 노드(A)를 사이에 두고, (도 2의 평면도를 기준으로) 상측에 구동 트랜지스터(D-TR)가 배치되고, 하측에 센싱 트랜지스터(SS-TR)이 배치된다. 여기서, 제 1 노드(A)는 상기 제 1 액티브층(111)에서 센싱 트랜지스터(SS-TR)의 구동 트랜지스터(D-TR)의 소스 접속 전극과 접속되는 부위를 의미한다.The first
상기 제 1 노드(A)는 도 2에 따르면 제 1 액티브층(111)의 거의 중앙에 위치하지만, 이에 한하지 않고, 상부나 하부에 치우쳐 위치할 수도 있다. 이러한 제 1 노드(A)의 배치에 따라, 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)의 크기가 결정될 수 있다.2, the first node A is located substantially at the center of the first
여기서, 구체적으로, 상기 구동 트랜지스터(D-TR)는 제 1 액티브층(111)의 일부를 교차하여 지나는 구동 게이트 전극(DG)(123a)을 구비하며, 구동 드레인 전극(DD)(131a)을 전원 전압 라인(VDL)(131)에서 돌출시켜 구비하며, 구동 소스 전극(DS)을 제 1 노드(A)에 구비한다.Specifically, the driving transistor D-TR has a driving gate electrode (DG) 123a passing through a part of the first
또한, 상기 센싱 트랜지스터(SS-TR)는, 상기 제 1 액티브층(111) 상에, 센싱 라인(SSL)(122)과 일체화된 센싱 게이트 전극(SSG)과, 상기 기준 전압 라인(RL)에 연결된 센싱 드레인 전극(SSD)(134)과, 상기 센싱 드레인 전극(SSD)(134)과 대칭적 위치의 제 1 노드(A)에서 센싱 소스 전극(SSS)을 포함한다.The sensing transistor SS-TR includes a sensing gate electrode SSG integrated with a sensing line (SSL) 122 on the first
여기서, 상기 제 1 노드(A)에 함께 접속되는 구동 소스 전극(DS)과 센싱 소스 전극(SSS)은 일체형의 소스 접속 전극(133)으로 이루어져, 함께, 제 1 액티브층(111)에 접속된다. The driving source electrode DS and the sensing source electrode SSS which are connected to the first node A together with the
그리고, 소스 접속 전극(133)은, 상기 제 1 노드(A)에서 접속된 것을 제외하여서는 제 1 액티브층(111), 제 2 액티브층(112)과 이격하여, 스캔 라인(SL)(121)과 센싱 라인(SSL)(122) 및 데이터 라인(DL)(132)과 전원 전압 라인(VDL)(131) 사이의 영역에서 채워진 형상을 가지며, 스토리지 캐패시터의 제 2 전극으로 기능한다.The
그리고, 상기 구동 게이트 전극(DG)(123a)은 제 1 액티브층(111)을 교차하는 데, 상기 소스 접속 전극(133)과 중첩된 스토리지 캐패시터의 제 1 전극(123)으로부터 돌출되어 형성된다. 상기 구동 게이트 전극(DG)(123a)은 상기 스토리지 캐패시터의 제 1 전극(123)과 일체형이다.The driving gate electrode (DG) 123a is formed by protruding from the
그리고, 설명하지 않은 스위칭 트랜지스터(S-TR)는 스캔 라인(SL)(121)과 데이터 라인(132) 사이에 위치하는 것으로, 상기 스캔 라인(SL)이 그 중심을 지나는 제 2 액티브층(112)을 포함하며, 상기 제 2 액티브층(112)의 양단에 각각 접속된 스위칭 드레인 전극(132a)과 스위칭 소스 전극(135)을 포함한다.The switching transistor S-TR, which is not illustrated, is located between the
여기서, 상기 스캔 라인(SL)(121)은 스위칭 게이트 전극을 일체형으로 갖는 것으로, 상기 제 2 액티브층(112)과 스캔 라인(SL)의 중첩부에 스위칭 게이트 전극을 갖는다.Here, the scan line (SL) 121 has a switching gate electrode integrally, and has a switching gate electrode at the overlapping portion of the second
그리고, 상기 스위칭 드레인 전극(132a)은 데이터 라인(DL)(132)에서 돌출되어 있으며, 상기 스위칭 소스 전극(135)은 섬상으로 형성되며, 상기 제 2 액티브층(112)과 접속됨과 동시에, 연장되어, 스토리지 캐패시터의 제 1 전극(123)과도 접속되어, 제 2 노드(B)와 동일 전위를 갖는다.The switching
도 2, 3를 참조하여, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 간략히 설명한다.A method of manufacturing the organic light emitting display device of the present invention will be briefly described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG.
기판(100) 전면에 버퍼층(105)을 형성하고, 서브 화소별로 서로 구분되는 제 1 액티브층(111)과 제 2 액티브층(112)을 형성한다.A
상기 기판(100)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있으며, 플라스틱 기판일 경우, 연성화가 가능하며, 단일층 혹은 복수층으로 형성될 수 있으며, 복수층일 경우, 무기막을 더 포함할 수 있다.The
상기 제 1, 제 2 액티브층(111, 112)은 비정질 실리콘을 전면 증착하고, 이를 결정화한 후 패터닝하여 형성한다. 그러나, 이에 한하지 않으며, 비정질 실리콘층으로 이루어지거나 산화 반도체층으로 이루어질 수도 있다. 한편, 결정화 과정에서, 상기 버퍼층(105)은 기판(100) 측의 불순물이 상기 제 1, 제 2 액티브층(111, 112)이 유입되는 것을 방지하는 기능을 한다. 경우에 따라, 버퍼층(105)은 생략될 수도 있다. The first and second
상기 제 1 액티브층(111)은 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터가 형성될 부위가 되며, 제 2 액티브층(112)은 스위칭 트랜지스터가 형성될 부위가 된다.The first
이어, 상기 제 1, 제 2 액티브층(111, 112)을 포함한 버퍼층(105) 상에 차례로, 절연막과 게이트 라인용 금속층을 형성한 후, 이를 동일 마스크에 의해 선택적으로 제거하여, 서로 평행한 스캔 라인(121) 및 센싱 라인(122)과 하측의 게이트 절연막(115)을 형성한다. 스캔 라인(121)과 센싱 라인(122) 하측의 게이트 절연막(115)은 상대적으로 스캔 라인(121)과 센싱 라인(122)보다 넓은 폭으로 형성한다. 여기서, 상기 스캔 라인(121)은 상기 제 2 액티브층(112)을 가로 질러 형성하며, 센싱 라인(122)은 제 1 액티브층(111)을 가로질러 형성하여, 각각이 제 2, 제 1 액티브층(112, 111)과 중첩 부위에 스위칭 게이트 전극 및 센싱 게이트 전극이 정의되도록 한다. 동일 공정에서, 서브 화소 영역 내에는, 스캔 라인(121) 및 센싱 라인(122)과 이격되어 내부 영역을 채우는 스토리지 캐패시터의 제 1 전극(123)을 형성한다. 상기 제 1 전극(123)은 상기 제 1 액티브층(111)의 일부를 가로지르도록 돌출된 구동 게이트 전극(123a)을 일체형으로 갖는다.Subsequently, a metal layer for an insulating film and a gate line is sequentially formed on the
도 3의 단면도에서는, 상기 스캔 라인(121) 및 센싱 라인(122)과, 제 1 전극(123)을 이중층으로 형성한 바를 도시하였으나, 이에 한하지 않으며, 단일층 혹은 복수층 모두 적용 가능하다.3, the
이어, 상기 스캔 라인(121) 및 센싱 라인(122)을 덮는 층간 절연막(125)을 증착한다. Then, an
그리고, 상기 스위칭 게이트 전극을 포함한 스캔 라인(121) 및 센싱 게이트 전극을 포함한 센싱 라인(122)과, 상기 구동 게이트 전극(123a)을 포함한 제 1 전극(123)을 마스크로 하여 제 1, 제 2 반도체층(111, 112)에 불순물을 도핑하여 도핑 영역(미도시)을 정의한다.The
경우에 따라, 상기 불순물 도핑 공정은 상기 스캔 라인(121), 센싱 라인(122) 및 제 1 전극(123)의 형성 직후에 진행될 수 있다. 여기서, 불순물 도핑 영역은 상기 제 1 액티브층(111)에 있어서는, 제 1 전극(123) 및 센싱 라인(122)이 중첩하지 않는 영역 및, 제 2 액티브층(112)에 있어서는, 스캔 라인과 중첩하지 않는 영역에 상당할 것이며, 이 부위에, 이하에서 설명하는 콘택홀이 구비될 수 있다.In some cases, the impurity doping process may be performed immediately after formation of the
이어, 상기 층간 절연막(125)을 선택적으로 제거하여, 상기 제 1 액티브층(111)의 양단과 그 중앙을 노출하는 제 1 내지 제 3 콘택홀(125a, 125b, 125c)과, 상기 제 2 액티브층(111)의 양단을 노출하는 제 4 및 제 5 콘택홀(125d, 125e)과, 상기 제 5 콘택홀(125e)과 인접한 제 1 전극(123)의 일부를 노출하는 제 6 콘택홀(125f)을 형성한다.Then, the
이어, 전면에 금속층을 증착하고, 이를 선택적으로 제거하여, 상기 스캔 라인(121)과 교차하는 방향의 데이터 라인(132) 및 전원 전압 라인(131)을 형성하고, 상기 전원 전압 라인(131)에서 돌출되어 제 1 콘택홀(125a) 부위까지 연장된 구동 드레인 전극(131a)과, 상기 제 1 전극(123)과 중첩하며, 상기 제 1 전극(123)에서 돌출하여 상기 제 2 콘택홀(125b)까지 연장된 소스 접속 전극(133) 및 상기 센싱 라인(122)을 경계로, 소스 접속 전극(125b)과 대칭 위치인 제 3 콘택홀(125c)에서 상기 제 1 액티브층(111)과 접속된 센싱 드레인 전극(134)을 형성한다. 또한, 동시에, 상기 데이터 라인(132)에서 돌출되어 상기 제 4 콘택홀(125d)까지 연장된 스위칭 드레인 전극(132a)과, 상기 제 5 콘택홀(125e) 및 제 6 콘택홀(125f)을 함께 중첩하여, 상기 제 1 전극(123)과 접속하도록 섬상의 스위칭 소스 전극(135)을 형성한다. Next, a metal layer is deposited on the entire surface and selectively removed to form a
여기서, 상기 센싱 드레인 전극(134)은 도 2에서, 가로 방향의 기준 전압 라인 연장 패턴(124)에 제 7 콘택홀(125g)을 통해 접속될 수도 있다. 그러나, 이러한 센싱 드레인 전극(134)의 접속 관계는 일예를 나타낸 것이며, 세로 방향으로 배치되는 기준 전압 라인과 일체형으로 센싱 드레인 전극을 구비할 수도 있다. Here, the
도시된 예는, 기준 전압 라인(RL)을 서브 화소별로 인접하게 구비한 형태가 아니라, R, G, B 서브 화소 혹은 R, G, B, W 서브 화소를 하나의 화소로 묶어, 각 화소로 기준 전압 라인이 배치된 형태를 나타낸다. 즉, 기준 전압 라인(RL)은 3개 혹은 4개의 데이터 라인마다 배치될 수 있으며, 이 경우, 기준 전압 라인(RL)이 인접하지 않는 서브 화소들은 각 군의 기준 전압 라인(RL)에서 가로로 연장된 기준 전압 라인 연장 패턴(124)과 센싱 드레인 전극(134)의 접속을 통해 기준 전압(Vref)이 센싱 드레인 전극(134)에 인가된다. In the illustrated example, the R, G, and B sub-pixels or the R, G, B, and W sub-pixels are grouped into one pixel and the reference voltage line RL is not adjacent to the sub- And a reference voltage line is arranged. In other words, the reference voltage line RL may be arranged for every three or four data lines. In this case, the sub-pixels not adjacent to the reference voltage line RL are horizontally arranged in the reference voltage line RL of each group The reference voltage Vref is applied to the
그러나 이러한 구조에 한하지 않으며, 기준 전압 라인(RL)을 서브 화소별로 인접하게 구비한 형태에서도 본 발명의 제 1 액티브층(111)에 센싱 트랜지스터(SS-TR)과 구동 트랜지스터(D-TR)를 소스 접속 전극을 공유시켜 적용한 예가 가능하며, 또한, 후술하는 리페어 방법의 적용이 가능하다.However, the present invention is not limited to this structure, and the sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR may be connected to the first
한편, 상기 소스 접속 전극(133)이 제 1 액티브층(111)과 접속된 부위는 제 1 노드(A)가 되며, 상기 소스 접속 전극(133)은 스토리지 캐패시터의 제 2 전극으로 기능한다.A portion where the
그리고, 이와 같은 공정을 통해 상기 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드(A)의 상하로 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)가 형성된다. The driving transistor D-TR and the sensing transistor SS-TR are formed above and below the first node A of the first
이와 같이, 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)가 형성된 후, 차례로, 무기 보호막(136) 및 유기 보호막(137)을 형성한다.After the driving transistor D-TR and the sensing transistor SS-TR are formed in this way, the inorganic
이어, 상기 소스 접속 전극(133)의 일부를 노출하도록 유기 보호막(137) 및 무기 보호막(136)을 선택적으로 제거하여 보호막 홀(1370a)을 형성한다.The
이어, 투명 전극을 보호막 홀(1370a)을 포함한 유기 보호막(137) 상에 증착하여 이를 선택적으로 제거하여 보호막 홀(1370a)을 통해 소스 접속 전극(133)과 접속되며 서브 화소 영역을 채우는 애노드 전극(140)을 형성한다.The transparent electrode is deposited on the
이어, 상기 보호막 홀(1370a) 부위와 상기 애노드 전극(140) 외측에 발광부를 정의하는 뱅크(141)를 형성한다.Next, a
이어, 복수개의 서브 화소에 걸쳐 혹은 각 서브 화소의 발광부에 선택적으로 유기 발광층을 포함한 유기층(142)을 형성하고, 이어 캐소드 전극(143)을 형성한다. 상기 유기층(142)과 캐소드 전극(143)은 서브 화소 내에는 영역의 분할없이 전면 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 유기층(142)과 캐소드 전극(143)은 베젤 혹은 구동부가 배치되는 데드 영역을 제외하여, 기판(100)의 서브 화소가 배치되는 액티브 영역 전체에 걸쳐 형성될 수 있다. 서브 화소별로 유기 발광층을 이용하여 다른 색상의 발광을 할 경우, 이 경우에는, 증착 마스크를 각 색상의 발광 서브 화소별로 달리하거나 쉬프트하여, 유기 발광층을 나누어 증착한다.Next, an
여기서, 상기 유기층은 유기 발광층 하부와 상부에 각각 유기물 성분의 공통층을 부가할 수 있으며, 각각의 위치에서 공통층은 단일층 혹은 복수층일 수 있다.Here, the organic layer may include a common layer of an organic material on the lower and upper portions of the organic light emitting layer, and the common layer may be a single layer or a plurality of layers in each position.
그리고, 상술한 애노드 전극(140), 유기층(142) 및 캐소드 전극(143)은 합하여 유기 발광 다이오드(OLED)를 이룬다.The
도 5는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법을 나타낸 공정 순서도이다. 5 is a process flow chart showing a repair method of the organic light emitting diode display of the present invention.
먼저, 도 1 내지 도 4와 같은 구조의 서브 픽셀을 매트릭스 상으로 복수개 구비한 본 발명의 유기 발광 표시 장치를 준비한다 (110S).First, an organic light emitting display device of the present invention having a plurality of subpixels having a structure as shown in FIG. 1 to FIG. 4 in a matrix form is prepared (110S).
여기서, 유기 발광 표시 장치는, 도 2 내지 4의 구성 외에 외부로부터의 습기 등을 방지는 봉지까지 완료된 유기 발광 표시 패널일 수도 있고, 혹은 도 2 내지 4의 구성 중 뱅크(141)까지 형성된 소위 백플레인 기판 상태일 수 있다.Here, the organic light emitting display device may be an organic light emitting display panel that has been sealed up to prevent moisture from outside, in addition to the configuration of FIGS. 2 to 4. Alternatively, the organic light emitting display panel may be a backlight Lt; / RTI >
이어, 상기 유기 발광 표시 장치의 각 서브 픽셀의, 휘점 검사를 한다(120S). 휘점 검사는 각 서브 화소에 배선, 트랜지스터 및 애노드 전극을 포함한 백플레인 기판 상태에 유기 발광층 및 캐소드 전극의 구성을 더하는 유기 발광 다이오드까지 포함한 유기 발광 표시 장치의 상태에서도 진행할 수 있고, 혹은 유기 발광층 형성 전 애노드 전극까지 형성된 백플레인 기판 상태에서도 진행할 수 있다. 유기 발광층은 하측의 백플레인 기판과 상이하게 이베포레이션(evaporation)의 기상 증착을 거치며, 수분이나 외기에 열화 현상이 클 수 있으므로, 이하의 리페어 공정을 위한 휘점 검사는, 백플레인 기판 상태에서 미리 진행할 수도 있고, 혹은 백플레인 기판 상태에서 진행하고, 더하여 봉지까지 완료된 패널 상태에서 더 진행할 수도 있다.Then, the luminescent spot of each subpixel of the OLED display is inspected (120S). The luminescent spot inspection can proceed even in the state of an organic light emitting display device including an organic light emitting diode and an organic light emitting diode that adds a structure of a backplane substrate including a wiring, a transistor, and an anode electrode to each sub pixel, It can proceed even in the state of the backplane substrate formed up to the electrode. Since the organic light emitting layer undergoes vapor deposition of evaporation differently from the lower backplane substrate and the deterioration phenomenon may be large in moisture or outside air, the following spot inspection for the repair process may be performed in advance on the backplane substrate Or may proceed further in the state of the backplane substrate, and further in the state of the completed panel to the encapsulation.
상기 휘점 검사에서 휘점으로 관찰된 서브 화소에는 상술한 도 1의 제 1 노드(A) 부위의 액티브층을 커팅하여 암점화하는 리페어를 수행한다 (130S).In step 130S, the active layer of the first node (A) in FIG. 1 is cut by the sub-pixel observed as the bright spot in the bright spot inspection to perform dark repair (130S).
그리고, 리페어는 제 1 액티브층(111)이 상기 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 함께 접속되는 부위를 커팅하여 이루어지는 것으로, 이 때의 리페어는 상기 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드 부위가 태워져 소실될 정도로 하여, 리페어 후에는, 상기 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)의 소스 접속 전극이 남아있는 액티브층과 분리되게 된다. The repair is performed by cutting a portion of the first
이 경우, 리페어가 진행되는 패턴은, 제 1 액티브층(111)으로, 패터닝이 이루어지는 기판에 가장 가까운 패턴이며, 금속보다는 낮은 에너지로 리페어가 가능하며, 상부층에 금속이 적층된 부분이 있더라도, 조사 에너지를 조절하여, 상부층의 금속은 유효한 상태로 두고, 액티브층만의 커팅이 가능하다. 따라서, 리페어 후에도 박막 트랜지스터 이후 형성되는 유기 발광 다이오드의 영향을 일으키지 않아, 종래의 배선이나 전극을 커팅시 발생되었던 발광 화소 수축과 같은 문제점을 방지할 수 있다.In this case, the pattern to be repaired is the first
또한, 리페어시의 조사 면적을 조정하여, 1회로 액티브층과 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 접속되는 부위의 액티브층을 소실시켜, 제 2 노드에서 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 모두 유기 발광 다이오드의 애노드 전극과 분리될 수 있게 하여, 리페어 공정에 소요되는 공정과 시간을 절감할 수 있다. In addition, the irradiation area at the time of repairing is adjusted so that the active layer is disconnected from the active layer at one portion where the sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR are connected, and the sensing transistor SS -TR and the driving transistor D-TR can be separated from the anode electrode of the organic light emitting diode, so that the process and time required for the repair process can be reduced.
한편, 상술한 리페어 방법은 휘점 검사된 서브 화소의 리페어를 수행하는 방법을 나타내었으나, 서브 화소들의 턴온시 암점으로 나타난 이상(abnormal) 서브 화소의 검사도 병행할 수 있다. 암점 이상 서브 화소(들)이 리페어되지 않고 표시 패널에 남아있을 때, 암점 이상 서브 화소와 같은 기준 전압 라인이 연결된 인접 서브 화소들에 영향을 줄 수 있는 데, 본 발명의 리페어 방법에 있어서는, 암점 이상 서브 화소에도 상술한 방식의 액티브층의 센싱 트랜지스터와 구동 트랜지스터와 함께 접속되는 부위를 소실시켜 해당 서브 화소를 암점화시키고, 인접 서브 화소들과 전기적으로 분리시켜 리페어를 수행하여, 이상 서브 화소의 인접 서브 화소의 구동 트랜지스터의 특성의 영향을 차단한다.In the meantime, although the repair method described above shows a method of repairing subpixels inspected with spots, it is also possible to perform inspection of abnormal subpixels indicated by the dark points when the subpixels are turned on. When the sub pixel (s) more than the dark point remains on the display panel without being repaired, the same reference voltage line as the sub pixel with the dark point may affect the adjacent sub pixels connected thereto. In the repair method of the present invention, Pixels connected to the sensing transistor and the driving transistor of the active layer in the above-described manner are eliminated to ignite the corresponding sub-pixel and are electrically separated from the adjacent sub-pixels to repair the ideal sub-pixel, The influence of the characteristics of the driving transistor of adjacent sub-pixels is blocked.
이하, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 평면도 및 단면도를 참조하여, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 후의 형상을 구체적으로 살펴본다.Hereinafter, the shape of the OLED display according to the present invention after repairing will be described in detail with reference to plan and sectional views of the OLED display of the present invention.
*제 1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법** Repairing method of organic light emitting diode display according to the first embodiment *
도 6는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 리페어 적용 후 도 2의 I~I' 선상의 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 2 after repairing the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention.
도 6과 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리페어 후의 유기 발광 표시 장치는, 각 서브 화소에, 전원 전압 라인(VDL)에 인접하며, 상기 센싱 라인(122)에 일부 폭 중첩하는 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드에서 접속된 소스 접속 전극(133)을 각각 포함하여, 상기 제 1 액티브층(111) 상에 나누어 위치하는 구동 트랜지스터(D-Tr) 및 센싱 트랜지스터(SS-TR)를 가진 구조의 있어서, 적어도 하나의 서브 화소에, 상기 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)를 전기적으로 이격시키도록, 상기 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드(A)에 구비된 커팅부(도 1의 회로도 참조)를 포함하는 것이다. As shown in FIG. 6, the organic light emitting display device after repair according to the first embodiment of the present invention is provided with a plurality of sub-pixels, each of which is adjacent to the power supply voltage line VDL, (D-Tr) and a sensing transistor (SS-TR), which are separately disposed on the first
상기 커팅부는 상기 제 1 액티브층(111)을 상기 제 1 노드에서 제거하여 구비한다. The cutting portion is provided by removing the first
또한, 상기 커팅부에서는, 리페어 과정에서, 제 1 액티브층(111)이 레이저에 의해 조사되어, 태워져 소실되기 때문에, 상기 소스 접속 전극(133)이 상기 기판(100)에 가장 가까운 금속이 된다. 또한, 상기 소스 접속 전극(133)은 그 하측의 제 1 액티브층(111)의 소실로, 제 1 액티브층(111)은 제 1 노드(A)에서 분리되어, 각각 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)은 리페어 후 제 1 액티브층(111)과 각각 센싱 드레인 전극(134)과 구동 드레인 전극(131a)의 일측의 전극만 접속된다. 즉, 제 1 노드(A)에서, 상기 소스 접속 전극(133)과 제 2 콘택홀(125b)의 접속 관계가 끊겨, 이 부위에서 전기적 오픈이 발생하고, 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(S-TR)는 각각 소스 접속 전극(133)과 연결이 끊어지기 때문에, 전기적으로 절연된다. 따라서, 커팅부에서, 소스 접속 전극(133)은 제 1 액티브층(111)과 분리되며, 따라서, 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드(A)로 전류 공급을 차단하여, 소스 접속 전극(133)과 전기적으로 연결되는 애노드 전극(AE)(140)에는 전류가 전달되지 않아, 해당 서브 화소의 암점화가 이루어진다.Since the first
본 발명의 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법은, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 이격하도록, 상기 액티브층의 제 1 노드를 레이저로 조사하여 커팅부를 생성하는 것이다.The repairing method of the organic light emitting display according to the present invention is characterized in that the first node of the active layer is irradiated with a laser to electrically disconnect the driving transistor and the sensing transistor to generate a cutting portion.
그리고, 리페어 전, 리페어를 수행할 서브 화소를 결정하기 위해, 상기 기판 상의 복수개의 서브 화소의 휘점을 검출하는 단계를 먼저 진행하고, 상기 휘점이 검출된 서브 화소에, 상술한 리페어 공정을 진행한다. In order to determine a sub-pixel to be repaired before repairing, the step of detecting the luminescent spot of a plurality of sub-pixels on the substrate is performed first, and the repair process described above is performed on the sub-pixel for which the luminescent spot is detected .
이 경우, 상기 레이저의 조사는 상기 기판의 하측으로부터 하여, 상기 액티브층을 태워 상기 액티브층과 상기 소스 접속 전극을 전기적으로 분리할 수 있다.In this case, irradiation of the laser can be performed from the lower side of the substrate to electrically disconnect the active layer from the source connection electrode by burning the active layer.
도 7은 도 6의 리페어 적용 후 리페어 적용 부위의 SEM도이다.FIG. 7 is a SEM view of a repair application site after the repair application of FIG. 6;
도 7과 같이, 소스 접속 전극 하측의 제 1 액티브층을 레이저로 조사하여 제거하여 커팅부를 정의할 때, 제 1 노드(A)의 제 1 액티브층이 소실되어, 양측의 제 1 액티브층이 분리됨을 확인할 수 있었다. 이 경우, 레이저 조사 후 제 1 액티브층에만 변화가 있음을 확인할 수 있다. 상측의 무기 보호막이나, 유기 보호막에는 영향을 주지 않게 되며, 그 상측에 위치하는 애노드 전극이나 유기 발광층에도 영향을 미치지 않음을 예상할 수 있어, 그 신뢰성을 확인하였다.As shown in Fig. 7, when the first active layer under the source connection electrode is irradiated with a laser to remove the first active layer of the first node A, the first active layer on both sides is disconnected . In this case, it can be confirmed that only the first active layer is changed after laser irradiation. It is expected that no influence is exerted on the upper inorganic protective film or the organic protective film and that the anode electrode and the organic light emitting layer located on the upper side are not affected.
한편, 상술한 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 효과를 설명하기 위해, 비교예를 제시하여 설명한다. 이하, 설명하는 비교예는, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 가장 가까운 예이며, 공개되지는 않았지만, 리페어를 적용하는 가장 유사한 관련 기술을 나타낸다.In order to explain the effects of the organic light emitting diode display of the present invention, a comparative example will be described. Hereinafter, the comparative example described is the closest example of the organic light emitting display of the present invention and shows the most similar related art to which the repair is applied although not disclosed.
도 8a 는 비교예의 유기 발광 표시 장치의 평면도 및 도 8b은 도 8a의 III~III' 선상의 단면도이다.FIG. 8A is a plan view of the organic light emitting diode display of the comparative example, and FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 8A.
도 8a 및 도 8b와 같이, 비교예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 버퍼층(5)를 포함한 기판(1) 상에, 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)에 대해, 각각 구분하여, 제 1, 제 2 액티브층(11, 12)이 구비되어 있어, 제 1, 제 2 액티브층(11, 12)간의 이격을 위해 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)의 배치를 충분히 상하 방향으로 길게 한다. 따라서, 스토리지 캐패시터의 일 전극으로 기능하는, 소스 접속 전극(33)은 제 1, 제 2 액티브층(11, 12)과의 사이에 영역을 지나며, 각각 제 1, 제 2 액티브층(11, 12)과 개별적으로 접속되어야 하기 때문에, 이 접속 부위에서, 제 1 전극(23)과 중첩되지 않아, 이 부위에서 스토리지 캐패시턴스의 용량 손실이 있다. 8A and 8B, the organic light emitting display device according to the comparative example is provided with the sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR on the substrate 1 including the
반면, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 도 2 내지 도 4와 같이, 제 1 액티브층(111)을 서브 화소의 하측에 위치시키고, 제 1 액티브층(111)이 위치하지 않은 서브 화소의 상측에 제 1 전극(123)과 소스 접속 전극(133)의 중첩 부위를 마련하여, 서브 화소 전체에 스토리지 캐패시턴스 용량을 향상시킬 수 있다. On the other hand, in the organic light emitting display of the present invention, as shown in FIGS. 2 to 4, the first
또한, 비교예에 따르면, 도 8a 및 도 8b와 같이, 애노드 전극(AE)과 센싱 트랜지스터(SS-TR)의 일 전극(센싱 드레인 전극)에 커팅을 진행하는데, 하나의 서브 화소를 암점화하기 위해, 2회의 커팅이 요구되어, 리페어에 공정 부담이 있다. 즉, 센싱 트랜지스터(SS-TR)의 드레인 전극만 커팅할 경우, 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 액티브층이 분리된 구동 트랜지스터(D-TR)는 일측이 전원 전압 라인에 인가되어 전원 전압이 계속 공급되기 때문에, 정상 동작할 수 있고, 구동 트랜지스터(D-TR)와 연결되는 애노드 전극(40)에 전류가 공급되기 때문에, 직접적으로 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드 전극(40)을 커팅하는 공정이 요구되었다.According to the comparative example, cutting is performed on one electrode (sensing drain electrode) of the anode electrode AE and the sensing transistor SS-TR as shown in FIGS. 8A and 8B, Two cuts are required, and the repair has a burden on the process. That is, when only the drain electrode of the sensing transistor SS-TR is cut, one side of the driving transistor D-TR, in which the sensing transistor SS-TR and the active layer are separated, is applied to the power source voltage line, The
반면, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 제 1 액티브층(111)을 길게 형성하여, 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터가 공유하여 접속되기에, 제 1 액티브층(111)의 부위만을 1회 커팅하여 리페어가 진행되어, 리페어 과정의 용이성과 신속성을 확보할 수 있다. 즉, 구동 트랜지스터(D-TR)와 센싱 트랜지스터(SS-TR)가 공유하여 접속된 제 1 액티브층(111)의 제 1 노드(A)에서 제 1 액티브층(111)과 전기적으로 절연되는 소스 접속 전극(133)과 애노드 전극(140)이 연결되어 서로 동일 전위를 갖기 때문에, 이 부위의 제 1 액티브층(111)만을 커팅하여도 애노드 전극(AE)으로의 전류 공급이 차단되어, 해당 화소의 암점화가 가능한 것이다.On the other hand, in the organic light emitting diode display of the present invention, since the first
또한, 비교예의 경우, 애노드 전극(40)을 커팅할 경우, 유기층(42)에 직접적으로 닿거나 거의 인접하게 위치하는 애노드 전극(40)의 특성상, 애노드 전극(40)을 레이저 조사하여 커팅시, 레이저 조사의 에너지가 상측의 유기층(42)에 손상을 주어, 발광부가 경시적으로 축소되는 문제점도 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 기판(100)에 가장 가까이 패턴화된 제 1 액티브층의 일부에만 레이저를 조사하여 커팅이 이루어지기 때문에, 리페어 공정의 레이저 조사가 뱅크(141) 이후에 형성되는 유기층(142)에 거의 영향을 미치지 않아, 장치의 신뢰성도 얻을 수 있다. In the comparative example, when the
또한, 비교예에서는 레이저 조사시 금속을 제거할 정도의 에너지가 요구되나, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 금속이 아닌 액티브층을 소실 시킬 정도의 에너지가 요구되는 것으로, 리페어 공정시에 소요되는 레이저 조사 에너지를 줄일 수 있다.In addition, in the comparative example, the energy required to remove the metal during the laser irradiation is required. However, the organic light emitting display of the present invention requires energy to dissipate the active layer, not the metal. The irradiation energy can be reduced.
한편, 비교예에서 설명하지 않은 부호 13은 제 3 액티브층, 21은 스캔 라인, 24는 센싱 라인, 24는 기준전압 라인 연장 패턴, 31a는 구동 드레인 전극, 34a는 센싱 드레인 전극, 31은 기준 전압 라인, 32는 데이터 라인, 35은 스위칭 소스 전극, 23a는 구동 게이트 전극, 40은 애노드 전극, 15는 게이트 절연막, 25는 층간 절연막, 36은 무기 보호막, 37은 유기 보호막, 41은 뱅크, 42는 유기층, 43은 캐소드 전극을 나타낸다.
상술한 제 1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법은 레이저 조사를 기판(100)의 하측에서 진행하지만, 이에 한하지 않고, 기판(100) 상측에서 레이저 조사를 진행할 수 있다. 특히, 하부 발광 방식은, 기판(100)의 하측이 투명하여, 이 부위에서 암점의 관찰 후 리페어가 진행함이 용이함에 비해, 상부 발광 방식의 경우는 기판(100)의 하측이 출사 방향이 아니기 때문에, 암점의 관찰이 어려워 결함을 확인을 직접 진행할 수 없다. 따라서, 이하에서는 상부 발광 방식의 적용 가능한 상부에서 레이저를 조사하여 리페어하는 제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법에 대해 설명한다.In the repairing method of the OLED display according to the first embodiment, the laser irradiation is performed on the lower side of the
*제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법** Repairing method of organic light emitting display according to the second embodiment *
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법의 적용 전 후의 단면도이다.9A and 9B are cross-sectional views of the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention before and after applying the repair method.
도 9a와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 어레이 형성 공정에서, 각 서브 화소에 대해, 센싱 트랜지스터(SS-TR)과 구동 트랜지스터(D-TR)이 접속되어 있는 제 1 노드(A)의 상측의 위치하는 유기막 성분의 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)에 오픈 영역을 형성한다.9A, in the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention, the sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR are connected to each sub-pixel in the array forming process An open region is formed in the organic
이러한 오픈 영역은 평면적으로 상기 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)가 부분적으로 제거된 일종의 홀 형상일 것이다.This open area may be a kind of hole shape in which the organic
이 경우, 오픈 영역 내로 유기층(142) 및 캐소드 전극(143)이 형성될 수 있는데, 유기층(142)은 직진성이 강해 오픈 영역의 측부에는 잘 증착되지 않으며 오픈 영역 하면에만 채워질 수 있다. 반면, 캐소드 전극(143)은 오픈 영역의 측부 및 하면에 모두 위치할 수 있다. In this case, the
이러한 오픈 영역을 유기막 성분에 구비하는 이유는, 상기 유기 보호막(137)이나 뱅크(141)는 하측의 무기 보호막(136)이 1000Å 내지 4000Å의 두께인데 비해, 그 두께가 수 ㎛의 수준으로 수십배 두꺼우며, 또한, 레이저 리페어를 조사하는 부위에 유기물이 남아있게 되면, 레이저 조사시 불순물이 발생하여 직접적으로 인접한 서브 화소의 유기 발광층에 아웃가스로 영향을 주어 시간이 경과하며, 서브 화소의 수축을 일으키는 원인이 되기 때문에 이를 피하기 위함이다.The reason why the open area is included in the organic film component is that the organic
여기서, 상기 오픈 영역에 위치하는 유기층(142)은 측부에 형성되지 않아 실질적으로 개구부에 위치하는 유기층(142)과는 이격되어 있어 레이저 조사시 직접적으로 인접 서브 화소의 유기층에 영향이 적고, 또한, 그 두께가 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)의 수십 분의 1 수준으로 얇아 레이저 조사시 장애 요소가 아니다. 경우에 따라 증착 과정에서, 상기 유기층(142)은 오픈 영역에 형성하지 않을 수 있다.따라서, 상기 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)는 뱅크(141)의 개구부(발광부)를 형성하는 과정에서, 상기 제 1 노드(A)에 상당한 센싱 트랜지스터(SS-TR)과 구동 트랜지스터(D-TR)의 소스 접속 전극(133) 부위에 상당하여 오픈 영역을 구비한다.Here, since the
이 경우, 상기 유기 보호막(137) 하측의 무기 보호막(136)은 유지한다. 무기 보호막(136)은 투명하며, 레이저 조사시 투과성이 있어, 이후 레이저 조사 에너지가 왜곡없이 하측의 소스 접속 전극(133) 및 제 1 액티브층(111)까지 전달이 가능하다.In this case, the inorganic
그리고, 해당 서브 화소에 휘점이 발생하여 리페어를 수행시에는 도 9b와 같이, 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)가 오픈된 영역을 통해 기판(100)의 상측에 레이저 조사를 수행하여, 제 1 노드(A)에 상당한 금속 성분의 소스 접속 전극(133) 및 하측의 제 1 액티브층(111)을 태워 제거한다.9B, the upper side of the
이와 같은 리페어 공정을 완료하면, 상기 리페어가 진행된 커팅부에서 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 소스 접속 전극(133)은 각각의 트랜지스터별로 서로 전기적으로 분리된다. 이러한 리페어 과정에서 상기 유기 보호막(137) 및 뱅크(141)에 구비된 오픈 영역 내에 위치한 캐소드 전극(143)도 제거될 수 있다. 하지만 캐소드 전극(143)은 서브 화소들에 걸쳐 일체형으로 형성된 것으로 레이저 조사된 부위에만 일부 홀처럼 제거될 뿐으로, 전체적으로 캐소드 전극(143)은 리페어 후에도 동일 전압이 인가되어 있는 상태이다.When the repair process is completed, the driving transistor and the
제 2 실시예의 경우는 금속 성분의 소스 접속 전극(133) 및 제 1 액티브층(111)을 함께 태울 정도로 에너지를 가하여야 하는 것으로, 상대적으로 제 1 실시예 대비 조사 에너지가 클 수 있다. 하지만, 제 2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법은 상부 발광 방식에 적용이 용이하며, 이미 조사 영역을 뱅크 형성 공정시 정의하여 두어, 상부측의 아웃가스가 발생할 위험이 적고 또한, 이 방법 역시 1회의 레이저 조사로 리페어가 가능하여, 비교예 대비하여, 공정적 이점이 있다. In the case of the second embodiment, energy must be applied so that the metal-made
즉, 리페어시의 조사 면적을 조정하여, 1회로 액티브층 및 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 접속되는 부위의 소스 접속 전극을 소실시켜, 제 2 노드에서 센싱 트랜지스터(SS-TR)와 구동 트랜지스터(D-TR)가 모두 유기 발광 다이오드의 애노드 전극과 분리될 수 있게 하여, 리페어 공정에 소요되는 공정과 시간을 절감할 수 있다. That is, the irradiation area of the repair transistor is adjusted so that the source connection electrode of the portion where the active layer and the sensing transistor SS-TR are connected to the driving transistor D-TR one time is eliminated, and the sensing transistor SS-TR and the driving transistor D-TR can be separated from the anode electrode of the organic light emitting diode, so that the process and time required for the repair process can be saved.
상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the foregoing embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified in other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.
또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention. It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments may be modified and implemented.
111: 제 1 액티브층 112: 제 2 액티브층
121: 스캔 라인 122: 센싱 라인
123: 제 1 전극 123a: 구동 게이트 전극
124: 기준 전압 라인 연장 패턴 131: 전원 전압 라인
132: 데이터 라인 133: 소스 접속 전극
134: 센싱 드레인 전극 140: 애노드 전극
141: 뱅크 142: 유기층
143: 캐소드 전극 125a~125f: 콘택홀111: first active layer 112: second active layer
121: scan line 122: sensing line
123:
124: Reference voltage line extension pattern 131: Power supply voltage line
132: Data line 133: Source connection electrode
134: sensing drain electrode 140: anode electrode
141: bank 142: organic layer
143:
Claims (13)
상기 기판 상에, 각 서브 화소의 주변에 서로 교차하는 방향으로 배치된 복수개의 제 1 라인 및 제 2 라인;
상기 각 서브 화소에, 상기 제 2 라인에 인접하며, 상기 제 1 라인에 일부 폭 중첩하는 액티브층;
상기 각 서브 화소에, 상기 액티브층의 제 1 노드에서 접속된 소스 접속 전극을 각각 포함하여 상기 액티브층 상에 나누어 위치하는 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터; 및
적어도 하나의 서브 화소에, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 이격시키도록, 상기 액티브층의 제 1 노드에 구비된 커팅부를 포함하는 유기 발광 표시 장치.A substrate having a plurality of sub-pixels;
A plurality of first lines and second lines arranged on the substrate in a direction intersecting each other around the respective sub-pixels;
An active layer adjacent to the second line in each of the sub-pixels, the active layer overlapping the first line with a certain width;
A driving transistor and a sensing transistor which are respectively disposed on the active layer, each of the sub pixels including a source connection electrode connected to the first node of the active layer; And
And a cutting portion provided at a first node of the active layer so as to electrically isolate the driving transistor from the sensing transistor in at least one sub-pixel.
상기 커팅부는 상기 액티브층을 상기 제 1 노드에서 제거하여 구비된 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
And the cutting unit removes the active layer from the first node.
상기 커팅부에서 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 소스 접속 전극은 서로 분리된 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the driving transistor and the source connection electrode of the sensing transistor are separated from each other in the cutting portion.
상기 커팅부 상측에 상기 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터를 덮는 무기 보호막을 더 포함한 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1 or 3,
And an inorganic protective film covering the driving transistor and the sensing transistor on the upper side of the cutting portion.
상기 무기 보호막 상부에 위치하며, 커팅부에서 오픈 영역을 갖는 유기 절연막을 더 포함한 유기 발광 표시 장치. 5. The method of claim 4,
And an organic insulating layer located above the inorganic protective layer and having an open region at a cutting portion.
상기 커팅부에서, 상기 소스 접속 전극이 상기 기판에 가장 가까운 금속인 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
In the cutting portion, the source connection electrode is the metal closest to the substrate.
상기 커팅부에서 상기 소스 접속 전극은 상기 액티브층과 분리된 유기 발광 표시 장치.3. The method of claim 2,
And the source connection electrode is separated from the active layer in the cutting portion.
상기 구동 트랜지스터는, 상기 제 2 라인에서 돌출되며 상기 액티브층과 접속된 구동 드레인 전극과 상기 소스 접속 전극 및 상기 액티브층을 가로지르는 구동 게이트 전극을 포함하며,
상기 센싱 트랜지스터는 상기 제 1 라인을 사이에 두고 각각 상기 액티브층과 접속된 센싱 드레인 전극 및 상기 소스 접속 전극을 포함한 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the driving transistor includes a driving drain electrode protruding from the second line and connected to the active layer and a driving gate electrode crossing the source connecting electrode and the active layer,
Wherein the sensing transistor includes a sensing drain electrode connected to the active layer via the first line, and the source connection electrode.
상기 구동 게이트 전극에서 연장하여 상기 서브 화소의 영역을 채우는 제 1 스토리지 전극 및 상기 제 1 스토리지 전극과 중첩하며 상기 소스 접속 전극에서 연장된 제 2 스토리지 전극을 포함한 스토리지 캐패시터를 더 포함한 유기 발광 표시 장치.9. The method of claim 8,
And a storage capacitor including a first storage electrode extending from the driving gate electrode and filling a region of the sub pixel, and a second storage electrode overlapping the first storage electrode and extending from the source connection electrode.
상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 이격하도록, 상기 액티브층의 제 1 노드를 레이저로 조사하여 커팅부를 생성하는 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법.A plurality of first lines and a second line arranged on the substrate in a direction intersecting each other; an active layer adjacent to the second line, overlapping the first line with a certain width; A method of repairing an organic light emitting display device including a driving transistor and a sensing transistor divided on the active layer, each including a connected source connection electrode,
Wherein the first node of the active layer is irradiated with a laser to electrically disconnect the driving transistor and the sensing transistor to generate a cutting portion.
상기 기판 상의 복수개의 서브 화소의 휘점을 검출하는 단계;
상기 휘점이 검출된 서브 화소에, 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터가 전기적으로 이격하도록, 상기 액티브층의 제 1 노드에 레이저를 조사하여 커팅하는 단계를 포함한 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법.A liquid crystal display device comprising: a substrate having a plurality of sub-pixels; a first line and a second line arranged in a direction intersecting each other on the sub-pixels; a second line adjacent to each second line, A repair method of an organic light emitting diode display device comprising a driving transistor and a sensing transistor which are divided on an active layer and each including a source connection electrode connected to an active layer and a first node of the active layer,
Detecting a luminescent spot of a plurality of sub-pixels on the substrate;
And irradiating the first node of the active layer with a laser so that the driving transistor and the sensing transistor are electrically separated from the sub-pixel in which the bright spot is detected, thereby cutting the organic light emitting display.
상기 레이저의 조사는 상기 기판의 하측으로부터 하여, 상기 액티브층을 태워 상기 액티브층과 상기 소스 접속 전극을 전기적으로 분리하는 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법.12. The method of claim 11,
And irradiating the laser from the lower side of the substrate to electrically isolate the active layer from the source connection electrode by burning the active layer.
상기 레이저의 조사는 상기 기판의 상측으로부터 하여, 상기 소스 접속 전극 및 상기 액티브층을 함께 태워 상기 제 1 노드에서 상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터를 전기적으로 분리하는 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법.12. The method of claim 11,
Wherein the irradiation of the laser is conducted from the upper side of the substrate to electrically disconnect the driving transistor and the sensing transistor at the first node by driving the source connection electrode and the active layer together.
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