KR20170113944A - Organic light emitting device, and method of fabricating of the same - Google Patents

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KR20170113944A KR1020160038055A KR20160038055A KR20170113944A KR 20170113944 A KR20170113944 A KR 20170113944A KR 1020160038055 A KR1020160038055 A KR 1020160038055A KR 20160038055 A KR20160038055 A KR 20160038055A KR 20170113944 A KR20170113944 A KR 20170113944A
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Abstract

유기 발광 소자가 제공된다. 상기 유기 발광 소자는, 양극, 상기 양극 상에 배치되고, 제1 금속 산화물 내에 제2 금속 구조체가 분산되고, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 광추출층, 상기 광추출층 상의 전자수송층, 상기 전자수송층 상의 발광층, 상기 발광층 상의 정공수송층, 및 상기 정공수송층 상의 음극을 포함할 수 있다. An organic light emitting device is provided. Wherein the organic light emitting device comprises: an anode; a light extracting layer disposed on the anode, the light extracting layer having a wave structure in which the second metal structure is dispersed in the first metal oxide and the concave portions and the convex portions are alternately repeated; A light emitting layer on the electron transporting layer, a hole transporting layer on the light emitting layer, and a cathode on the hole transporting layer.

Description

유기 발광 소자 및 그 제조 방법{Organic light emitting device, and method of fabricating of the same}[0001] The present invention relates to an organic light emitting device and a method of manufacturing the same,

본 발명은 유기 발광 소자 및 그 제조 방법에 관련된 것으로, 보다 상세하게는, 금속 산화물 내에 금속 나노 입자가 분산되고, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 구조의 광추출층을 포함하는 유기 발광 소자, 및 그 제조 방법에 관련된 것이다. The present invention relates to an organic light emitting device and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to an organic light emitting device including a light extracting layer having a structure in which metal nanoparticles are dispersed in a metal oxide, and concave portions and convex portions are alternately repeated. , And a manufacturing method thereof.

유기 발광 소자는 유기 물질의 전계 발광 현상을 이용한 표시 소자이다. 유기 발광 소자는 애노드 전극 및 캐소드 전극 사이에 유기 발광 물질을 배치시키고, 애노드 전극 및 캐소드 전극 사이에 전류에 의해 유기 발광층 내부에서 전자와 정공이 결합하여 생성된 여기자(exciton)가 여기 상태에서 기저 상태로 떨어질 때 발생하는 에너지에 의해 광을 발생시킨다. The organic light emitting device is a display device using an electroluminescent phenomenon of an organic material. In an organic light emitting device, an organic light emitting material is disposed between an anode electrode and a cathode electrode, and an exciton generated by the combination of electrons and holes in the organic light emitting layer by a current between the anode electrode and the cathode electrode is excited in a base state The light is generated by the energy generated when it falls to the light source.

액정 표시 장치와 달리, 유기 발광 소자는 자발광 특성을 가져, 표시 장치의 두께 등을 감소시킬 수 있다. 또한, 유기 발광 소자는 액정 표시 장치와 비교하여 전력, 휘도, 반응속도 등에서 우월한 특성을 가지므로, 차세대 디스플레이 장치로 연구 개발 중이다. Unlike a liquid crystal display device, an organic light emitting device has self-luminescence characteristics, and can reduce the thickness of a display device and the like. In addition, organic light emitting devices are superior to liquid crystal display devices in terms of power, luminance, and reaction speed, and are under research and development as next generation display devices.

예를 들어, 대한민국 특허 공개공보 KR20130135184A (출원번호 KR20130063130A, 주식회사 엘지화학)에는, 기판, 상기 기판 상에 구비된 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 구비된 유기물층, 상기 유기물층 상에 구비되고, 서로 이격된 2 이상의 금속층을 포함하는 제2 전극 패턴, 및 상기 제2 전극 패턴의 상부면과 상기 서로 이격된 금속층 간의 사이 영역 전체에 구비된 퓨즈층(fuse layer)을 포함하는 유기 발광 소자를 개시하고, 상기 유기 발광 소자 내에 구비된 상기 퓨즈층으로 인해 발광 영역 중 일부분에 전기적 단락이 발생하는 경우에 규정값 이상의 과도한 전류가 계속 흐르지 못하게 자동적으로 차단함으로써, 전극의 저항이 감소되고, 넓은 면적의 소자에서 균일하게 발광이 일어나는 유기 발광 소자 제조 기술이 개시되어 있다. For example, Korean Patent Publication No. KR20130135184A (Application No. KR20130063130A, LG Chemical Co., Ltd.) includes a substrate, a first electrode provided on the substrate, an organic material layer provided on the first electrode, Discloses an organic light emitting device comprising a second electrode pattern including two or more spaced apart metal layers and a fuse layer provided on an entire region between a top surface of the second electrode pattern and a metal layer spaced apart from each other , When an electrical short circuit occurs in a part of the light emitting region due to the fuse layer provided in the organic light emitting diode, the excessive current is prevented from continuing to flow over a specified value, thereby reducing the resistance of the electrode, Emitting device in which light is uniformly emitted from the light-emitting layer.

차세대 디스플레이 장치로써 유기 발광 소자의 응용분야 확대를 위해, 고휘도 특성을 갖는 유기 발광 소자를 간소화된 공정으로, 공정 시간 및 공정 비용을 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자의 제조 방법에 대한 연구 개발이 필요한 실정이다. In order to expand the application field of organic light emitting devices as a next generation display device, it is necessary to research and develop a manufacturing method of an organic light emitting device that can reduce process time and process cost by simplifying an organic light emitting device having high luminance characteristics. to be.

대한민국 특허 공개공보 KR20130135184AKorean Patent Laid-Open Publication No. 20130135184A

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 광 추출 효율이 향상된 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an organic light emitting device having improved light extraction efficiency and a method of manufacturing the same.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 제조 공정이 간소화된 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다. It is another object of the present invention to provide an organic light emitting device having a simplified manufacturing process and a manufacturing method thereof.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 제조 비용 및 제조 시간이 감소된 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide an organic light emitting device having a reduced manufacturing cost and a shorter manufacturing time, and a manufacturing method thereof.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 전자 주입 및 수송 능력이 향상된 유기 발광 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다. It is another object of the present invention to provide an organic light emitting device having improved electron injection and transport capability and a method of manufacturing the same.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 종래 유기 발광 소자의 구조에 적용이 용이한 유기 발광 소자 및 제조 방법을 제공하는 데 있다. It is another object of the present invention to provide an organic light emitting device and a method of manufacturing the same that are easily applicable to the structure of an organic light emitting device.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 종래의 국부화된 플라즈몬 효과가 개선된 유기 발광 소자 및 제조 방법을 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide an organic light emitting device having improved localized plasmon effect and a manufacturing method thereof.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다. The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above.

상기 기술적 과제를 제공하기 위해, 본 발명은 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing an organic light emitting device.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기 발광 소자의 제조 방법은, 제1 금속을 포함하는 제1 용액, 및 제2 금속 구조체를 포함하는 제2 용액을 준비하는 단계, 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액을 혼합하여, 소스 용액을 제조하는 단계, 상기 소스 용액을 기판 상에 제공하는 단계, 점차적으로 온도를 증가시키는 방법으로, 상기 기판 상의 상기 소스 용액을 열처리하여, 상기 제1 금속의 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 광추출층(light extraction layer)을 제조하는 단계를 포함할 수 있다.According to one embodiment, a method of manufacturing an organic light emitting device includes the steps of: preparing a first solution including a first metal and a second solution including a second metal structure; To heat the source solution on the substrate to form an oxide of the first metal in the oxide of the first metal to produce a source solution, And a step of fabricating a light extraction layer having a bimetallic structure dispersed therein.

일 실시 예에 따르면, 상기 광추출층은, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 것을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the light extracting layer may include a wave structure in which the concave portions and the convex portions are alternately repeated.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기 발광 소자의 제조 방법은, 상기 광추출층의 상기 물결 구조에서, 서로 인접한 상기 오목부들 사이의 거리, 및 서로 인접한 상기 볼록부들 사이의 거리가, 상기 소스 용액 내의 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액의 농도에 따라 조절되는 것을 포함할 수 있다. According to an embodiment, a method of manufacturing an organic light emitting device includes: a step of forming a light extraction layer in the wave structure of the light extracting layer, the distance between the adjacent recesses and the distance between the adjacent convex portions, The concentration of the first solution and the concentration of the second solution.

일 실시 예에 따르면, 상기 소스 용액 내의 상기 제2 용액의 중량은, 10 내지 15wt%인 것을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the weight of the second solution in the source solution may comprise 10 to 15 wt%.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, Au, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the second metal structure may include at least one of Au, Ag, Pt, Cu, Pd, and Al.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기 발광 소자의 제조 방법은, 상기 광추출층 상에 발광층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 발광층에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타내고, 상기 제2 금속 구조체의 크기에 따라서, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장(Plasmon resonance wavelength)이 조절되는 것을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the method of manufacturing an organic light emitting device further includes forming a light emitting layer on the light extracting layer, wherein light emitted from the light emitting layer causes the second metal structure May represent a plasmon resonance phenomenon and may include controlling the plasmon resonance wavelength of the second metal structure depending on the size of the second metal structure.

일 실시 예에 따르면, 상기 소스 용액을 제조하는 단계는, 상기 제1 용액에 안정제를 첨가하고, 교반하는 단계, 및 상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액에 상기 제2 용액을 첨가하고, 교반하는 단계를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the step of preparing the source solution comprises the steps of adding and stirring a stabilizer to the first solution, and adding the second solution to the first solution to which the stabilizer has been added, Step < / RTI >

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 유기 발광 소자를 제공한다. In order to solve the above technical problems, the present invention provides an organic light emitting device.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기 발광 소자는, 양극, 상기 양극 상에 배치되고, 제1 금속 산화물 내에 제2 금속 구조체가 분산되고, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 광추출층, 상기 광추출층 상의 전자수송층, 상기 전자수송층 상의 발광층, 상기 발광층 상의 정공수송층, 및 상기 정공수송층 상의 음극을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the organic light emitting element includes an anode, a light extracting portion having a wave structure arranged on the anode, the second metal structure dispersed in the first metal oxide, and the concave portions and the convex portions alternately repeating An electron transporting layer on the light extracting layer, a light emitting layer on the electron transporting layer, a hole transporting layer on the light emitting layer, and a cathode on the hole transporting layer.

일 실시 예에 따르면, 상기 발광층에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타내고, 상기 제2 금속 구조체의 크기에 따라, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장이 조절되는 것을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the light emitted from the light emitting layer causes the second metal structure in the light extracting layer to exhibit plasmon resonance, and depending on the size of the second metal structure, the plasmon resonance of the second metal structure Lt; RTI ID = 0.0 > wavelength. ≪ / RTI >

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, Au, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the second metal structure may include at least one of Au, Ag, Pt, Cu, Pd, and Al.

본 발명의 실시 예에 따르면, 제1 금속을 포함하는 제1 용액 및 제2 금속 구조체를 포함하는 제2 용액을 준비하는 단계, 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액을 혼합하여, 소스 용액을 제조하는 단계, 상기 소스 용액을 기판 상에 제공하는 단계, 및 점차적으로 온도를 증가시키는 방법으로, 상기 기판 상의 상기 소스 용액을 열처리하여, 상기 제1 금속의 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 광추출층을 제조하는 단계를 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: preparing a second solution containing a first metal and a second metal structure, mixing the first solution and the second solution, Heat treating the source solution on the substrate by providing the source solution on a substrate and gradually increasing the temperature so that the source of the light containing the second metal structure dispersed in the oxide of the first metal, And a step of preparing an extraction layer.

먼저, 상기 소스 용액은 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액의 교반 공정을 이용한 졸겔(sol-gel)법에 의해 제조될 수 있다. 또한, 상기 광추출층은, 상기 기판에 코팅된 상기 소스 용액에 점차적으로 온도를 증가시키는 동적 어닐링 공정을 수행하여 제조될 수 있다. 이와 같이, 상대적으로 간단한 공정이라 할 수 있는 상기 졸겔법 및 상기 동적 어닐링 공정을 통해 상기 광추출층이 제조되므로, 상기 유기 발광 소자 제조에 요구되는 공정 비용 및 공정 시간을 감소시킬 수 있다. First, the source solution may be prepared by a sol-gel method using a stirring process of the first solution and the second solution. Further, the light extracting layer may be manufactured by performing a dynamic annealing process of gradually increasing the temperature of the source solution coated on the substrate. Since the light extraction layer is manufactured through the sol-gel process and the dynamic annealing process, which are relatively simple processes, the process cost and process time required for manufacturing the organic light emitting device can be reduced.

또한, 상기 광추출층에 포함된 상기 제1 금속의 산화물은, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 광추출층은, 상기 유기 발광 소자의 발광층에서 방출된 광을 효율적으로 산란시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 전자의 수송 역할을 하는 상기 광추출층의 상기 물결 구조는, 외부로부터 상기 유기 발광 소자에 유입되는 광의 손실을 감소시킬 수 있다. In addition, the oxide of the first metal included in the light extracting layer may have a wave structure in which the concave portions and the convex portions are alternately repeated. Accordingly, the light extracting layer can effectively scatter light emitted from the light emitting layer of the organic light emitting device. In addition, the wave structure of the light extracting layer serving as an electron transporting can reduce the loss of light that is introduced into the organic light emitting element from the outside.

또한, 상기 광추출층은, 상기 물결 구조를 갖는 상기 제2 금속 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체(ex. Au 나노 입자)가 분산된 형태이므로, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명 현상에 의해 상기 유기 발광 소자의 광 추출 효율은 극대화될 수 있다. 이에 따라, 고효율의 유기 발광 소자가 제공될 수 있고, 상기 광추출층은, 광 센서 또는 촉매 등의 응용 분야에 활용될 수 있다.In addition, since the light extracting layer has a shape in which the second metal structure (e.g., Au nanoparticles) is dispersed in the second metal oxide having the wave structure, The light extraction efficiency of the light emitting device can be maximized. Accordingly, a highly efficient organic light emitting device can be provided, and the light extracting layer can be utilized in applications such as an optical sensor or a catalyst.

뿐만 아니라, 상기 광추출층의 상기 물결 구조에서, 서로 인접한 상기 오목부들 사이의 거리, 및 서로 인접한 상기 볼록부들 사이의 거리는, 상기 소스 용액 내의 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액의 농도에 따라 용이하게 조절될 수 있다. 또한, 상기 제2 금속 구조체의 크기를 조절함으로써, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장이 용이하게 조절될 수 있다. 이에 따라, 상기 유기 발광 소자의 제조 공정에 사용되는 물질의 크기 및/또는 농도를 조절하는 손쉬운 방법으로, 광학 특성이 용이하게 조절될 수 있는 상기 유기 발광 소자의 제조 방법이 제공될 수 있다.In addition, in the wavy structure of the light extracting layer, the distance between the adjacent recesses and the distance between the adjacent convex portions may be easily varied depending on the concentration of the first solution and the second solution in the source solution . Further, by adjusting the size of the second metal structure, the plasmon resonance wavelength of the second metal structure can be easily controlled. Accordingly, a method of fabricating the organic light emitting device in which optical characteristics can be easily controlled by an easy method of controlling the size and / or concentration of a material used in the manufacturing process of the organic light emitting device can be provided.

또한, 종래의 아웃 커플링 필름 또는 마이크로 렌즈 어레이 필름을 유기 발광 소자의 외부에 부착시키는 공정과 달리, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 광추출층은, 유기 발광 소자의 구조를 구조적으로 변경시키지 않으므로, 종래의 유기 발광 소자에 용이하게 적용될 수 있다. Further, unlike the conventional process of attaching the outcoupling film or the micro lens array film to the outside of the organic light emitting device, the light extracting layer according to the embodiment of the present invention does not change the structure of the organic light emitting device structurally , And can be easily applied to a conventional organic light emitting device.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광추출층의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 소스 용액의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광추출층의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 비교 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 AFM 이미지이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 AFM 이미지이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 EDS 측정 결과이다.
도 8은 본 발명의 실시 예 및 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도(current density)를 나타내는 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시 예 및 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율(luminance)을 나타내는 그래프이다.
도 10은 본 발명의 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도를 나타내는 그래프이다.
도 11은 본 발명의 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율을 나타내는 그래프이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a light extracting layer of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining a method for producing a source solution according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a method of manufacturing a light extracting layer of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
5 is an AFM image of a light extracting layer included in an organic light emitting device according to a comparative example of the present invention.
6 is an AFM image of a light extracting layer included in an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 shows the EDS measurement result of the light extracting layer included in the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention.
8 is a graph showing a current density according to a voltage of an organic light emitting diode according to a comparative example of the embodiments and examples of the present invention.
9 is a graph showing luminance according to voltage of an organic light emitting device according to a comparative example of the embodiments and examples of the present invention.
10 is a graph showing current densities according to voltages of organic light emitting devices according to embodiments of the present invention and a comparative example.
11 is a graph showing the luminous efficiency according to the voltage of the organic light emitting device according to the embodiments of the present invention and the comparative example.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. In this specification, when an element is referred to as being on another element, it may be directly formed on another element, or a third element may be interposed therebetween. Further, in the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective explanation of the technical content.

또한, 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.Also, while the terms first, second, third, etc. in the various embodiments of the present disclosure are used to describe various components, these components should not be limited by these terms. These terms have only been used to distinguish one component from another. Thus, what is referred to as a first component in any one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment. Each embodiment described and exemplified herein also includes its complementary embodiment. Also, in this specification, 'and / or' are used to include at least one of the front and rear components.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다. The singular forms "a", "an", and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. It is also to be understood that the terms such as " comprises "or" having "are intended to specify the presence of stated features, integers, Should not be understood to exclude the presence or addition of one or more other elements, elements, or combinations thereof. Also, in this specification, the term "connection " is used to include both indirectly connecting and directly connecting a plurality of components.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광추출층의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 소스 용액의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광추출층의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a flow chart for explaining a method of manufacturing a light extracting layer of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view for explaining a method of manufacturing a source solution according to an embodiment of the present invention, 3 is a view for explaining a method of manufacturing a light extracting layer of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 금속을 포함하는 제1 용액(10), 및 제2 금속 구조체를 포함하는 제2 용액(20)이 준비될 수 있다(S100). 상기 제1 용액(10)은, 제1 용매에 상기 제1 금속이 첨가되어 제조될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 제1 금속은, Zn, WO, Ta, Ce, Y, Cr, Ga, Ti, Hf, Ti, Zr, Nb, Ba, 또는 Pb 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 용매는, 2-methoxyethanol일 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 3, a first solution 10 including a first metal and a second solution 20 including a second metal structure may be prepared (S100). The first solution (10) can be prepared by adding the first metal to a first solvent. According to an embodiment, the first metal may include at least one of Zn, WO, Ta, Ce, Y, Cr, Ga, Ti, Hf, Ti, Zr, Nb, Ba and Pb. Also, according to one embodiment, the first solvent may be 2-methoxyethanol.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 금속은, 후술되는 S200 단계를 통해 제조되는 소스 용액(30) 내에 포함된 상기 제1 금속의 산화물에 대한 전구체 형태일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 금속이 Zn인 경우, 상기 제1 금속의 산화물에 대한 상기 전구체는, Zn(OH)2, Zn(CH3COO)2, Zn(CH3(COO)2·nH2O, Zn(CH3CH2)2, Zn(NO3)2, Zn(NO3)2·nH2O,Zn(CO3), Zn(CH3COCHCOCH3)2, 또는 Zn(CH3COCHCOCH3)2·nH2O 중 어느 하나이거나, 둘 이상의 조합일 수 있다.According to one embodiment, the first metal may be in the form of a precursor to the oxide of the first metal contained in the source solution 30 produced through step S200 described below. For example, the first case of the first metal is Zn, the precursor of the oxide of the first metal, Zn (OH) 2, Zn (CH 3 COO) 2, Zn (CH 3 (COO) 2 · nH 2 O, Zn (CH 3 CH 2 ) 2, Zn (NO 3) 2, Zn (NO 3) 2 · nH 2 O, Zn (CO 3), Zn (CH 3 COCHCOCH 3) 2, or Zn (CH 3 COCHCOCH 3 ) 2 .nH 2 O, or a combination of two or more thereof.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 용액(10)은, 0.83g의 Zinc acetate dehydrate(Zn(CH3(COO)2·nH2O)가 상기 제1 용매인 2-methoxyethanol 5mL에 첨가되어 제조될 수 있다.According to one embodiment, the first solution 10 is prepared by adding 0.83 g of Zinc acetate dehydrate (Zn (CH 3 (COO) 2 .nH 2 O) to 5 mL of the first solvent 2-methoxyethanol .

또한, 상기 제2 용액(20)은, 제2 용매에 상기 제2 금속 구조체가 첨가되어 제조될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나이거나, 둘 이상의 조합일 수 있다. Also, the second solution 20 may be prepared by adding the second metal structure to a second solvent. According to one embodiment, the second metal structure may be any one of Ag, Pt, Cu, Pd, and Al, or a combination of two or more thereof.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, 구, 나노 막대, 또는 나노 멍게 구조 중 어느 하나이거나, 둘 이상의 조합된 형태일 수 있다. According to one embodiment, the second metal structure may be a spherical, a nanorod, or a nanoscopic structure, or a combination of two or more thereof.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, 나노미터(nanometer) 크기일 수 있다.According to one embodiment, the second metal structure may be of nanometer size.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 용액(20)은, Au 나노 입자가 상기 제2 용매에 첨가되어 제조될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 Au 나노 입자는, citrate법에 의해 합성되어 제조될 수 있다.According to one embodiment, the second solution 20 can be prepared by adding Au nanoparticles to the second solvent. According to one embodiment, the Au nanoparticles can be synthesized by the citrate method.

상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)이 혼합되어, 상기 소스 용액(30)이 제조될 수 있다(S200). 상기 소스 용액(30)을 제조하는 단계는, 상기 제1 용액(10)에 안정제를 첨가하고 교반하는 단계, 및 상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액(10)에 상기 제2 용액(20)을 첨가하고 교반하는 단계를 포함할 수 있다.The first solution 10 and the second solution 20 may be mixed to produce the source solution 30 (S200). The step of preparing the source solution 30 may include the steps of adding and stirring a stabilizer to the first solution 10 and stirring the second solution 20 into the first solution 10 to which the stabilizer is added And stirring the mixture.

상기 제1 용액(10)에 상기 안정제를 첨가하고, 교반하는 단계는, 상기 제1 용액(10)에 상기 안정제를 첨가한 후, 상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액(10)을 열처리(thermal treatment) 하는 동시에, 교반 공정을 수행하는 것을 포함할 수 있다. 상기 안정제는, 일 실시 예에 따르면, 상기 안정제는, 에탄올아민(ethanolamine)일 수 있다. The step of adding and stirring the stabilizer to the first solution 10 may include adding the stabilizer to the first solution 10 and then heating the first solution 10 to which the stabilizer is added, treatment, and performing a stirring process. According to one embodiment, the stabilizer may be ethanolamine.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 용액(10)에 상기 안정제인 상기 에탄올아민 0.1mL이 첨가된 후, 60℃의 온도 조건에서 30분 동안 교반 공정이 수행될 수 있다.According to one embodiment, 0.1 ml of the stabilizer, ethanolamine, is added to the first solution 10, and then the stirring process is performed at a temperature of 60 ° C for 30 minutes.

상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액(10)에 상기 제2 용액(20)을 첨가하고, 교반하는 단계는, 상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액(10)에 전술된 S100 단계를 통해 제조된 상기 제2 용액(20)을 첨가한 후, 상기 제2 용액이 첨가된 상기 제1 용액(10)을 열처리하는 동시에, 상기 교반 공정을 수행하는 것을 포함할 수 있다.The step of adding and stirring the second solution (20) to the first solution (10) to which the stabilizer has been added is carried out by adding the stabilizer to the first solution (10) And adding the second solution 20, and then heat-treating the first solution 10 to which the second solution is added, and performing the stirring step.

일 실시 예에 따르면, 상기 안정제인 에탄올아민이 첨가된 상기 제1 용액(10) 1mL에 5wt%의 상기 제2 용액(20)을 첨가한 후, 60℃의 온도 조건에서 30분 동안 교반 공정이 수행되어 상기 소스 용액(30)이 제조될 수 있다.According to one embodiment, 5 wt% of the second solution (20) is added to 1 mL of the first solution (10) to which ethanolamine is added, and the stirring step is then performed at a temperature of 60 ° C. for 30 minutes The source solution 30 can be prepared.

일 실시 예에 따르면, 후술되는 우수한 광 추출 효율을 갖는 광추출층(120)의 제조를 위한 상기 소스 용액(30) 내의 상기 제2 용액(20)의 중량은, 10 내지 15wt%일 수 있다.According to one embodiment, the weight of the second solution 20 in the source solution 30 for the production of the light extracting layer 120 having excellent light extraction efficiency described later may be 10 to 15 wt%.

상기 소스 용액(30)이 기판(100) 상에 제공될 수 있다(S300). 일 실시 예에 따르면, 스핀 코팅(spin coating), 스프레이 코팅(spray coating), 브러쉬 코팅(brush coating), 딥 코팅(dip coating), 또는 그라비아 코팅(gravure coating) 중 어느 하나에 의해, 상기 기판(100) 상에 상기 소스 용액(30)이 코팅될 수 있다.The source solution 30 may be provided on the substrate 100 (S300). According to one embodiment, a substrate (e.g., a substrate) is formed by either spin coating, spray coating, brush coating, dip coating, or gravure coating. 100) may be coated with the source solution 30.

일 실시 예에 따르면, 상기 기판(100)은, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자(200)의 양극일 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)은, 투명한 도전성 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(100)은, Indium-tin-oxide(ITO), Al-doped ZnO(AZO), Ga-doped ZnO(GZO), In,Ga-doped ZnO(IGZO), Mg-doped ZnO(MZO), Mo-doped ZnO, Al-doped MgO, Ga-doped MgO, F-doped SnO2, Nb-doped TiO2, 또는 CuAlO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the substrate 100 may be the anode of the organic light emitting diode 200 according to an embodiment of the present invention. Accordingly, the substrate 100 may be formed of a transparent conductive material. For example, the substrate 100 may be formed of indium tin oxide (ITO), Al-doped ZnO (AZO), Ga-doped ZnO (GZO), In, Ga-doped ZnO (MZO), Mo-doped ZnO, Al-doped MgO, Ga-doped MgO, F-doped SnO 2 , Nb-doped TiO 2 , or CuAlO 2 .

일 실시 예에 따르면, 상기 스핀 코팅 공정에 의해, 상기 기판(100)인 ITO 양극 상에 상기 소스 용액이 균일한 두께로 코팅될 수 있다.According to one embodiment, the source solution can be coated to a uniform thickness on the ITO anode, which is the substrate 100, by the spin coating process.

점차적으로 온도를 증가시키는 방법으로, 상기 기판(100) 상의 상기 소스 용액(30)이 상기 열처리되어, 상기 제1 금속의 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 광추출층(light extraction layer, 120)이 제조될 수 있다(S400). 구체적으로, 상기 기판(100) 상에 코팅된 상기 소스 용액(30)은, 점차적으로 온도를 증가시키는 방법을 이용하는 동적 어닐링(dynamic annealing)에 의해 상기 열처리될 수 있다. The source solution 30 on the substrate 100 is subjected to the heat treatment to form a light extraction layer 120 in which the second metal structure is dispersed in the oxide of the first metal, ) May be produced (S400). Specifically, the source solution 30 coated on the substrate 100 may be subjected to the heat treatment by dynamic annealing using a method of gradually increasing the temperature.

일 실시 예에 따르면, 상기 기판(100) 상의 상기 소스 용액(30)에 대한 상기 동적 어닐링은, 상온(25℃)에서 250℃까지 초당 25℃의 승온 속도로 수행될 수 있다.According to one embodiment, the dynamic annealing for the source solution 30 on the substrate 100 may be performed at a temperature elevation rate of 25 占 폚 per second from room temperature (25 占 폚) to 250 占 폚.

또한, 상기 열처리를 통해, 상기 기판(100) 상의 상기 소스 용액(30) 내에 상기 제1 금속(상기 제1 금속에 대한 전구체)은, 상기 제1 금속의 산화물의 형태로 형성되고, 상기 제2 금속 구조체가 상기 제1 금속 산화물 내에 분산된 형태의 상기 광추출층(120)이 제조될 수 있다. Also, through the heat treatment, the first metal (a precursor for the first metal) in the source solution 30 on the substrate 100 is formed in the form of an oxide of the first metal, The light extracting layer 120 in which the metal structure is dispersed in the first metal oxide can be manufactured.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 금속 산화물은, WO3, Ta2O5, CeO2, Y2O3, Cr2O3, Ga2O3, TiO, HfO2, Ti3O5, TiO2, ZrO2, ZnO, Nb2O5, BaTiO3, PbTiO3, 또는 Pb(Zr)TiO3 중 어느 하나일 수 있다. According to one embodiment, the first metal oxide is selected from the group consisting of WO 3 , Ta 2 O 5 , CeO 2 , Y 2 O 3 , Cr 2 O 3 , Ga 2 O 3 , TiO, HfO 2 , Ti 3 O 5 , TiO 2 , ZrO 2 , ZnO, Nb 2 O 5 , BaTiO 3 , PbTiO 3 , or Pb (Zr) TiO 3 .

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 금속이 Zn이고, 상기 제2 금속 구조체가 Au인 경우, 상기 제1 금속의 산화물은 ZnO이고, 상기 제1 금속의 산화물인 ZnO 내에 Au 나노 입자가 분산된 형태의 상기 광추출층(120)이 제조될 수 있다. According to one embodiment, when the first metal is Zn and the second metal structure is Au, the oxide of the first metal is ZnO, and Au nanoparticles are dispersed in ZnO which is an oxide of the first metal The light extracting layer 120 may be manufactured.

이에 따라, 상기 광추출층(120)의 광 추출 효율을 향상시키기 위해, 상기 유기 발광 소자의 외부에 아웃커플링 필름 및/또는 마이크로렌즈 어레이 필름을 부착하는 공정, 및/또는 유기물 층에 금속 나노 입자를 삽입하는 공정을 수행하지 않고, 상술된 바와 같이, 상대적으로 간단한 공정인 상기 동적 어닐링을 통해, 상기 제2 금속 구조체가 상기 제1 금속의 산화물 내에 분산되어 광 추출 효율이 향상된 상기 광추출층(120)이 용이하게 제조될 수 있다. Accordingly, in order to improve the light extraction efficiency of the light extracting layer 120, a process of attaching an outcoupling film and / or a microlens array film to the outside of the organic light emitting device, and / As described above, through the dynamic annealing, which is a relatively simple process, the second metal structure is dispersed in the oxide of the first metal so that the light extraction efficiency is improved without performing the process of inserting the particles, (120) can be easily manufactured.

또한, 상기 동적 어닐링 공정을 통해, 상기 광추출층(120)은, 오복무들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 금속의 산화물은, 상기 물결 구조를 형성할 수 있고, 상기 물결 구조의 상기 제1 금속 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산될 수 있다. 전자의 수송 역할을 하는 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조는, 외부로부터 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 유입되는 광의 손실을 감소시킬 수 있다. 다시 말해서, 상기 물결 구조로 인해, 본 발명의 실시 에에 따른 상기 광추출층(120)의 전자 수송 능력은 향상될 수 있다. 이에 따라, 고효율의 유기 발광 소자가 제공될 수 있고, 상기 광추출층(120)은, 광 센서 또는 촉매 등의 응용 분야에 활용될 수 있다.In addition, through the dynamic annealing process, the light extracting layer 120 can have a wave structure in which the vacancies and convex portions are alternately repeated. Specifically, the oxide of the first metal may form the wave structure, and the second metal structure may be dispersed in the first metal oxide of the wave structure. The wave structure of the light extracting layer 120 serving as an electron transporting layer can reduce the loss of light entering the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention from the outside. In other words, due to the wave structure, the electron transporting ability of the light extracting layer 120 according to the embodiment of the present invention can be improved. Accordingly, a highly efficient organic light emitting device can be provided, and the light extracting layer 120 can be utilized in applications such as an optical sensor or a catalyst.

일 실시 예에 따르면, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조에 포함된 상기 오목부들 및 상기 볼록부들의 크기, 형상, 및 방향은, 불균일할 수 있다.According to one embodiment, the size, shape, and direction of the concave portions and the convex portions included in the wave structure of the light extracting layer 120 may be uneven.

일 실시 예에 따르면, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조에서, 서로 인접한 상기 오목부들 사이의 거리, 및 서로 인접한 상기 볼록부들 사이의 거리는, 상기 소스 용액(30) 내의 상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)의 농도에 따라 조절될 수 있다. 다시 말해서, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조의 주기는, 상기 소스 용액(30) 내의 상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)의 농도에 따라 조절될 수 있다. According to one embodiment, in the wavy structure of the light extracting layer 120, the distance between the adjacent recesses, and the distance between the adjacent projections, is greater than the distance between the first solution 10) and the concentration of the second solution (20). In other words, the period of the wave structure of the light extracting layer 120 can be adjusted according to the concentration of the first solution 10 and the second solution 20 in the source solution 30.

일 실시 예에 따르면, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조의 주기는, 상기 소스 용액(30) 내의 상기 제1 금속, 상기 제2 금속 구조체, 상기 제1 용매, 및/또는 상기 안정제의 비율에 따라 조절될 수 있다.According to one embodiment, the period of the wave structure of the light extracting layer 120 is selected such that the first metal, the second metal structure, the first solvent, and / or the stabilizer in the source solution 30 Can be adjusted according to the ratio.

일 실시 예에 따르면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법은, 상기 광추출층(120) 상에 발광층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 발광층(150)에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층(120) 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명(plasma resonance) 현상을 나타낼 수 있다. 이에 따라, 고휘도 특성을 갖는 상기 유기 발광 소자가 제공될 수 있다. According to one embodiment, the method of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention may further include forming a light emitting layer on the light extracting layer 120. In this case, due to the light emitted from the light emitting layer 150, the second metal structure in the light extracting layer 120 may exhibit a plasma resonance phenomenon. Thus, the organic light emitting element having high luminance characteristics can be provided.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체의 크기를 조절함으로써, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장(Plasmon resonance wavelength)이 용이하게 조절될 수 있다.According to one embodiment, by adjusting the size of the second metal structure, the plasmon resonance wavelength of the second metal structure can be easily controlled.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자가 설명된다.Hereinafter, an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 설명하기 위한 도면이다. 도 4에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 설명함에 있어서, 앞서 도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 대한 설명에 중복되는 부분에 대해서는 도 1 내지 도 3을 참조하기로 한다.4 is a view for explaining an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention. In the description of the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4, a description of a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 3 1 to 3 will be referred to.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자(200)는, 양극(110), 광추출층(120), 전자수송층(140), 발광층(150), 정공수송층(170), 및 음극(190)을 포함할 수 있다.1 to 4, an organic light emitting diode 200 according to an embodiment of the present invention includes an anode 110, a light extracting layer 120, an electron transporting layer 140, a light emitting layer 150, a hole transporting layer 170, and a cathode 190.

상기 양극(110)은, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 상기 기판(100)과 동일할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)은, 투명한 도전성 물질로 형성될 수 있다. The anode 110 may be the same as the substrate 100 described with reference to Figs. Accordingly, the substrate 100 may be formed of a transparent conductive material.

예를 들어, 상기 기판(100)은, Indium-tin-oxide(ITO), Al-doped ZnO(AZO), Ga-doped ZnO(GZO), In,Ga-doped ZnO(IGZO), Mg-doped ZnO(MZO), Mo-doped ZnO, Al-doped MgO, Ga-doped MgO, F-doped SnO2, Nb-doped TiO2, 또는 CuAlO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.For example, the substrate 100 may be formed of indium tin oxide (ITO), Al-doped ZnO (AZO), Ga-doped ZnO (GZO), In, Ga-doped ZnO (MZO), Mo-doped ZnO, Al-doped MgO, Ga-doped MgO, F-doped SnO 2 , Nb-doped TiO 2 , or CuAlO 2 .

상기 광추출층(120)은, 상기 양극(110) 상에 배치될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 광추출층(120)은, 상기 제1 금속 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 형태일 수 있다. The light extracting layer 120 may be disposed on the anode 110. As described above, the light extracting layer 120 may be a shape in which the second metal structure is dispersed in the first metal oxide.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 금속 산화물은, WO3, Ta2O5, CeO2, Y2O3, Cr2O3, Ga2O3, TiO, HfO2, Ti3O5, TiO2, ZrO2, ZnO, Nb2O5, BaTiO3, PbTiO3, 또는 Pb(Zr)TiO3 중 어느 하나일 수 있다. According to one embodiment, the first metal oxide is selected from the group consisting of WO 3 , Ta 2 O 5 , CeO 2 , Y 2 O 3 , Cr 2 O 3 , Ga 2 O 3 , TiO, HfO 2 , Ti 3 O 5 , TiO 2 , ZrO 2 , ZnO, Nb 2 O 5 , BaTiO 3 , PbTiO 3 , or Pb (Zr) TiO 3 .

또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나이거나, 둘 이상의 조합일 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, 구, 나노 막대, 또는 나노 멍게 구조 중 어느 하나이거나, 둘 이상의 조합된 형태일 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체는, 나노미터(nanometer) 크기일 수 있다.According to one embodiment, the second metal structure may be any one of Ag, Pt, Cu, Pd, and Al, or a combination of two or more thereof. According to an embodiment, the second metal structure may be a spherical, a nanorod, or a nanoscopic structure, or a combination of two or more thereof. Also, according to one embodiment, the second metal structure may be of nanometer size.

또한, 상술된 바와 같이, 상기 광추출층(20)은, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 가질 수 있다. 전자의 수송 역할을 하는 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조는, 외부로부터 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 유입되는 광의 손실을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 고효율의 유기 발광 소자가 제공될 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 광추출층(120)은, 상기 유기 발광 소자(200) 뿐만 아니라, 광 센서 또는 촉매 등의 응용 분야에 활용될 수 있다.Further, as described above, the light extracting layer 20 may have a wave structure in which the concave portions and the convex portions are alternately repeated. The wave structure of the light extracting layer 120 serving as an electron transporting layer can reduce the loss of light entering the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention from the outside. Thus, a highly efficient organic light emitting device can be provided. In addition, the light extracting layer 120 may be used for applications such as an optical sensor or a catalyst, as well as the organic light emitting device 200.

일 실시 예에 따르면, 상기 양극(110) 상에 복수개의 상기 광추출층(120)이 적층될 수 있다. 상기 양극(110) 상에 적층되는 상기 광추출층(120)의 수, 및/또는 두께를 조절함으로써, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자(200)의 광학 특성이 용이하게 조절될 수 있다.According to one embodiment, a plurality of the light extracting layers 120 may be stacked on the anode 110. The optical characteristics of the organic light emitting diode 200 according to the embodiment of the present invention can be easily adjusted by adjusting the number and / or thickness of the light extracting layer 120 stacked on the anode 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조의 주기는, 상기 광추출층(120)에 포함된 상기 제1 금속의 산화물의 상기 제1 금속, 및 상기 제2 금속 구조체의 비율에 따라 조절될 수 있다.According to one embodiment, the period of the wave structure of the light extracting layer 120 may be selected such that the first metal of the oxide of the first metal contained in the light extracting layer 120, Can be adjusted according to the ratio.

또한, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 것과 같이, 후술되는 상기 발광층(150)에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층(120) 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타낼 수 있다. 이에 따라, 상기 광추출층(120)은, 상기 발광층에서 발생하는 빛을 효율적으로 추출할 수 있다.Also, as described with reference to FIGS. 1 to 3, by the light emitted from the light emitting layer 150 described later, the second metal structure in the light extracting layer 120 can exhibit plasmon resonance phenomenon . Accordingly, the light extracting layer 120 can efficiently extract light generated in the light emitting layer.

일 실시 예에 따르면, 상기 제2 금속 구조체의 크기에 따라, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장이 용이하게 조절될 수 있다.According to one embodiment, the plasmon resonance wavelength of the second metal structure can be easily adjusted according to the size of the second metal structure.

일 실시 예에 따르면, 상기 양극(110)인 ITO 양극 상에, 상기 제1 금속의 산화물인 아연산화물(ZnO) 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 물결 구조를 갖는 상기 광추출층(120)이 배치될 수 있다.According to one embodiment, the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide (ZnO), which is an oxide of the first metal, on the ITO anode that is the anode 110, The extraction layer 120 may be disposed.

상기 전자수송층(140)은, 상기 광추출층(120) 상에 배치될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 전자수송층(140)은, 상기 스핀 코팅 공정을 통해, 1:20의 부피비를 갖는 2-methoxyethanol, 및 ethanolamine의 혼합 용액을 상기 광추출층(120) 상에 코팅함으로써 제조될 수 있다. The electron transport layer 140 may be disposed on the light extracting layer 120. According to one embodiment, the electron transport layer 140 is formed by coating a mixed solution of 2-methoxyethanol and ethanolamine having a volume ratio of 1:20 through the spin coating process on the light extracting layer 120 .

상기 발광층(150)은, 상기 전자수송층(140) 상에 배치될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 발광층(150)에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층(120) 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타낼 수 있다. 상기 물결 구조를 갖는 동시에, 상기 제1 금속 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산되어 있는 형태인 상기 광추출층(120)의 구조적 특성으로, 상기 발광층(150)에서 방출된 광의 효율이 향상될 수 있다.The light emitting layer 150 may be disposed on the electron transporting layer 140. As described above, by the light emitted from the light emitting layer 150, the second metal structure in the light extracting layer 120 can exhibit plasmon resonance. The efficiency of light emitted from the light emitting layer 150 can be improved by the structural characteristics of the light extracting layer 120 having the wave structure and the second metal structure dispersed in the first metal oxide have.

일 실시 예에 따르면, 상기 발광층(150)은, PDY-132, Alq3, MEH-PPV, PVK, F8BT, PFO, PHF, DDP, C-545T, DEQ, PAP-NPA, α-DNA, 및 TBSA 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the light emitting layer 150 may be formed of a material selected from the group consisting of PDY-132, Alq 3 , MEH-PPV, PVK, F8BT, PFO, PHF, DDP, C- 545T, DEQ, PAP- Or the like.

일 실시 예에 따르면, 상기 발광층(150)은, 상기 전자수송층(140) 상에 PDY-132를 상기 스핀 코팅함으로써 형성될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 발광층(150)의 두께는, 약 10nm일 수 있다.According to one embodiment, the light emitting layer 150 may be formed by spin-coating the PDY-132 on the electron transport layer 140. Also, according to one embodiment, the thickness of the light emitting layer 150 may be about 10 nm.

상기 정공수송층(170)은, 상기 발광층(150) 상에 배치될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 정공수송층(170)은, 상기 발광층(150) 상에 WO3를 증기 증착함으로써 형성될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 정공수송층(170)의 두께는, 약 5nm일 수 있다.The hole transport layer 170 may be disposed on the light emitting layer 150. According to one embodiment, the hole transport layer 170 may be formed by vapor depositing WO 3 on the light emitting layer 150. Also, according to one embodiment, the thickness of the hole transport layer 170 may be about 5 nm.

상기 음극(190)은, 상기 정공수송층(170) 상에 배치될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 음극(190)은, Al, Ag, Ca, Mg, Au, Mo, Ir, Cr, Ti, Pd, CuAlO2/Ag/CuAlO2, ITO/Ag/ITO, ZnO/Ag/ZnO, ZnS/Ag/ZnS, TiO2/Ag/TiO2, ITO/Au/ITO, WO3/Ag/WO3, 또는 MoO3/Ag/MoO3 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The cathode 190 may be disposed on the hole transport layer 170. According to one embodiment, the cathode 190, Al, Ag, Ca, Mg, Au, Mo, Ir, Cr, Ti, Pd, CuAlO 2 / Ag / CuAlO 2, ITO / Ag / ITO, ZnO / Ag / ZnO, ZnS / Ag / ZnS, TiO 2 / Ag / TiO 2 , ITO / Au / ITO, WO 3 / Ag / WO 3 or MoO 3 / Ag / MoO 3 .

일 실시 예에 따르면, 상기 음극(190)은, 상기 정공수송층(170) 상에 Ag을 상기 증기 증착함으로써 형성될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따르면, 상기 음극(190)의 두께는, 약 100nm일 수 있다.According to one embodiment, the cathode 190 may be formed by vapor-depositing Ag on the hole transport layer 170. Also, according to one embodiment, the thickness of the cathode 190 may be about 100 nm.

일 실시 예에 따르면, 상기 양극(110)은 상기 음극(190)의 위치에 배치되고, 상기 음극(190)은 상기 양극(110)의 위치에 배치될 수 있다. 이에 따라, 역구조의 상기 유기 발광 소자(200)가 제공될 수 있다.According to one embodiment, the anode 110 is disposed at the position of the cathode 190, and the cathode 190 may be disposed at the position of the anode 110. Accordingly, the organic light emitting element 200 having an inverted structure can be provided.

상술된 본 발명의 실시 예와 달리, 종래에는 유기 발광 소자의 광 추출 효율을 향상시키기 위해, 상기 유기 발광 소자의 외부에 아웃커플링 필름 및/또는 마이크로렌즈 어레이 필름을 부착하거나, 유기물 층에 금속 나노 입자를 삽입하는 방법을 이용한다.Conventionally, in order to improve the light extraction efficiency of the organic light emitting device, an outcoupling film and / or a micro lens array film may be attached to the outside of the organic light emitting device, The method of inserting nanoparticles is used.

상기 유기 발광 소자의 광 추출 효율을 높이기 위해, 상기 유기 발광 소자의 외부에 상기 아웃커플링 필름 및/또는 상기 마이크로렌즈 어레이 필름을 부착하는 경우, 공정이 매우 복잡하고, 고가의 장비들이 요구되므로 공정 비용이 증가하는 문제점이 있다. When the outcoupling film and / or the micro lens array film is attached to the outside of the organic light emitting device to increase the light extraction efficiency of the organic light emitting device, the process is very complicated and expensive equipment is required, There is a problem that the cost increases.

또한, 상기 유기 발광 소자의 광 추출 효율을 높이기 위해, 상기 유기 발광 소자의 상기 유기물 층에 상기 금속 나노 입자를 삽입하는 경우, 상기 유기물 층의 전자 주입 능력이 저하되는 단점이 있다. 이러한 이유로, 상기 유기 발광 소자의 광 추출 효율을 높이기 위해, 종래의 기술들을 사용하는 경우, 대면적의 적용이 어렵고, 상기 유기 발광 소자의 재현성 및 신뢰성이 떨어지는 단점이 있다.In addition, when the metal nanoparticles are inserted into the organic material layer of the organic light emitting device in order to increase the light extraction efficiency of the organic light emitting device, the electron injection capability of the organic material layer is lowered. For this reason, when conventional techniques are used to increase the light extraction efficiency of the organic light emitting device, application of a large area is difficult, and the reproducibility and reliability of the organic light emitting device are deteriorated.

하지만, 본 발명의 실시 예에 따르면, 제1 금속을 포함하는 제1 용액(10) 및 제2 금속 구조체를 포함하는 제2 용액(20)을 준비하는 단계, 상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)을 혼합하여, 소스 용액(30)을 제조하는 단계, 상기 소스 용액(30)을 기판(100) 상에 제공하는 단계, 및 점차적으로 온도를 증가시키는 방법으로, 상기 기판(100) 상의 상기 소스 용액(30)을 열처리하여, 상기 제1 금속의 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 광추출층(120)을 제조하는 단계를 포함하는 유기 발광 소자(200)의 제조 방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: preparing a first solution (10) containing a first metal and a second solution (20) The method comprising the steps of mixing the second solution 20 to produce the source solution 30, providing the source solution 30 on the substrate 100, and gradually increasing the temperature, The method comprising the steps of: heat treating the source solution (30) on a substrate (100) to form a light extracting layer (120) in which the second metal structure is dispersed in the oxide of the first metal Can be provided.

먼저, 상기 소스 용액(30)은 상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)의 교반 공정을 이용한 졸겔(sol-gel)법에 의해 제조될 수 있다. 또한, 상기 광추출층(1200은, 상기 기판(100)에 코팅된 상기 소스 용액(30)에 점차적으로 온도를 증가시키는 동적 어닐링 공정을 수행하여 제조될 수 있다. 이와 같이, 상대적으로 간단한 공정이라 할 수 있는 상기 졸겔법 및 상기 동적 어닐링 공정을 통해 상기 광추출층(120)이 제조되므로, 상기 유기 발광 소자(200) 제조에 요구되는 공정 비용 및 공정 시간을 감소시킬 수 있다. First, the source solution 30 may be prepared by a sol-gel method using a stirring process of the first solution 10 and the second solution 20. In addition, the light extracting layer 1200 may be manufactured by performing a dynamic annealing process of gradually increasing the temperature of the source solution 30 coated on the substrate 100. Thus, a relatively simple process Since the light extracting layer 120 is manufactured through the sol-gel method and the dynamic annealing process, the process cost and process time required for manufacturing the organic light emitting device 200 can be reduced.

또한, 상기 광추출층(120)에 포함된 상기 제1 금속의 산화물은, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 광추출층(120)은, 상기 유기 발광 소자(200)의 발광층(150)에서 방출된 광을 효율적으로 산란시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 전자의 수송 역할을 하는 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조는, 외부로부터 상기 유기 발광 소자(200)에 유입되는 광의 손실을 감소시킬 수 있다. The oxide of the first metal included in the light extracting layer 120 may have a wave structure in which the concave portions and the convex portions are alternately repeated. Accordingly, the light extracting layer 120 can efficiently scatter the light emitted from the light emitting layer 150 of the organic light emitting diode 200. In addition, the wave structure of the light extracting layer 120, which serves as an electron transporting member, can reduce the loss of light entering the organic light emitting device 200 from the outside.

또한, 상기 광추출층(120)은, 상기 물결 구조를 갖는 상기 제2 금속 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체(ex. Au 나노 입자)가 분산된 형태이므로, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명 현상에 의해 상기 유기 발광 소자(200)의 광 추출 효율은 극대화될 수 있다. 이에 따라, 고효율의 유기 발광 소자(200)가 제공될 수 있고, 상기 광추출층(120)은, 광 센서 또는 촉매 등의 응용 분야에 활용될 수 있다.In addition, since the second metal structure (e.g., Au nanoparticles) is dispersed in the second metal oxide having the wave structure, the light extracting layer 120 may be formed in the second metal structure, The light extraction efficiency of the organic light emitting diode 200 can be maximized. Accordingly, a highly efficient organic light emitting device 200 can be provided, and the light extracting layer 120 can be utilized in applications such as an optical sensor or a catalyst.

뿐만 아니라, 상기 광추출층(120)의 상기 물결 구조에서, 서로 인접한 상기 오목부들 사이의 거리, 및 서로 인접한 상기 볼록부들 사이의 거리는, 상기 소스 용액(30) 내의 상기 제1 용액(10) 및 상기 제2 용액(20)의 농도에 따라 용이하게 조절될 수 있다. 또한, 상기 제2 금속 구조체의 크기를 조절함으로써, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장이 용이하게 조절될 수 있다. 이에 따라, 상기 유기 발광 소자(200)의 제조 공정에 사용되는 물질의 크기 및/또는 농도를 조절하는 손쉬운 방법으로, 광학 특성을 용이하게 조절할 수 있는 상기 유기 발광 소자(200)의 제조 방법이 제공될 수 있다.In addition, in the wavy structure of the light extracting layer 120, the distance between the adjacent recesses, and the distance between the adjacent convexities, is greater than the distance between the first solution (10) and the second solution Can be easily adjusted according to the concentration of the second solution (20). Further, by adjusting the size of the second metal structure, the plasmon resonance wavelength of the second metal structure can be easily controlled. Accordingly, a manufacturing method of the organic light emitting diode 200 that can easily adjust the optical characteristics by an easy method of controlling the size and / or concentration of the material used in the manufacturing process of the organic light emitting diode 200 is provided .

또한, 종래의 아웃 커플링 필름 또는 마이크로 렌즈 어레이 필름을 유기 발광 소자의 외부에 부착시키는 공정과 달리, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 광추출층(120)은, 유기 발광 소자의 구조를 구조적으로 변경시키지 않으므로, 종래의 유기 발광 소자에 용이하게 적용될 수 있다. Unlike the conventional process of attaching the outcoupling film or the micro lens array film to the outside of the organic light emitting device, the light extracting layer 120 according to the embodiment of the present invention is structurally It can be easily applied to a conventional organic light emitting device.

이하, 상술된 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 특성 평가 결과가 설명된다. Hereinafter, the evaluation results of the characteristics of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention described above will be described.

실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조Preparation of Organic Light Emitting Device According to Examples

0.82g의 zinc acetate dihydrate를 5ml의 2-methoxyetanol에 첨가하여 혼합한 후, 0.1mL의 안정제인 ethanolamine를 첨가하여 60℃의 온도에서 30분 동안 교반하여 제1 금속으로 아연(Zn)을 포함하는 제1 용액을 준비하였다. 또한, citrate법에 의해 제조된 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자를 포함하는 제2 용액을 준비하였다. 1mL의 상기 제1 용액에 상기 제2 용액을 첨가한 후, 60℃의 온도에서 30분 동안 교반하여, 소스 용액을 제조하되, 본 발명의 제1 내지 제5 실시 예들에 따라, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 5wt%, 10wt%, 15wt%, 20wt%, 및 25wt%인 소스 용액들을 제조하였다. 스핀 코팅 공정을 통해, 상기 소스 용액들을 ITO 양극 상에 코팅한 후, 상온(25℃)에서 250℃까지 초당 25℃의 속도로 동적 어닐링 공정을 실시하여, 상기 ITO 양극 상에 제1 금속의 산화물인 아연산화물(ZnO) 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복된 물결 구조를 갖는 광추출층을 형성하였다. 상기 스핀 코팅 공정을 통해, 상기 광추출층 상에 1:20의 부피비를 갖는 2-methoxyethanol 및 ethanolamine의 혼합 용액을 코팅하여, 상기 광추출층 상에 전자수송층을 형성하였다. 상기 스핀 코팅 공정을 통해, 상기 전자수송층 상에 PDY-132를 코팅하여, 상기 전자수송층 상에 발광층을 형성하였다. 증기 증착 공정을 통해, 상기 발광층 상에 WO3를 코팅하여, 상기 발광층 상에 정공수송층을 형성하였다. 상기 증기 증착 공정을 통해, 상기 정공 수송층 상에 Ag을 코팅하여, 상기 정공수송층 상에 음극을 형성하여 본 발명의 제1 내지 제5 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 제조하였다.0.82 g of zinc acetate dihydrate was added to 5 ml of 2-methoxyethanol, followed by mixing with 0.1 ml of ethanolamine as a stabilizer. The mixture was stirred at a temperature of 60 ° C for 30 minutes to prepare a zinc- 1 solution was prepared. In addition, a second solution containing Au nanoparticles, which is a second metal structure produced by the citrate method, was prepared. After adding the second solution to 1 mL of the first solution, the solution was stirred at a temperature of 60 DEG C for 30 minutes to prepare a source solution. According to the first to fifth embodiments of the present invention, Source solutions were prepared in which the content of the second solution was 5 wt%, 10 wt%, 15 wt%, 20 wt%, and 25 wt%. The source solutions were coated on the ITO anode through a spin coating process and then subjected to a dynamic annealing process at a rate of 25 ° C per second from room temperature (25 ° C) to 250 ° C to form an oxide of the first metal Au nanoparticles as the second metal structure were dispersed in zinc oxide (ZnO), and a light extracting layer having a wave structure in which recesses and convex portions were alternately repeated was formed. Through the spin coating process, a mixed solution of 2-methoxyethanol and ethanolamine having a volume ratio of 1: 20 was coated on the light extracting layer to form an electron transporting layer on the light extracting layer. PDY-132 was coated on the electron transport layer through the spin coating process to form a light emitting layer on the electron transport layer. Through the vapor deposition process, WO 3 was coated on the light emitting layer to form a hole transporting layer on the light emitting layer. Through the vapor deposition process, Ag was coated on the hole transport layer, and a cathode was formed on the hole transport layer to produce an organic light emitting device according to the first to fifth embodiments of the present invention.

비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조Preparation of Organic Light Emitting Device According to Comparative Example

상술된 본 발명의 실시 예들과 동일한 방법으로 유기 발광 소자를 제조하되, 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자를 사용하지 않아, 상기 Au 나노 입자에 의한 플라즈몬 공명 현상이 생략된, 상기 제1 금속의 산화물인 상기 아연산화물을 포함하고, 상기 물결 구조를 갖는 광추출층을 포함하는 유기 발광 소자를 제조하였다. The organic light emitting device is manufactured in the same manner as in the embodiments of the present invention described above except that the Au nanoparticles as the second metal structure are not used and the plasmon resonance phenomenon by the Au nanoparticles is omitted. An organic light emitting device including the zinc oxide as the oxide and the light extracting layer having the wave structure was prepared.

본 발명의 제1 내지 제5 실시 예들 및 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 시, 사용되는 상기 소스 용액 내 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자를 포함하는 상기 제2 용액의 함량은 아래 [표 1]과 같다.In the production of the organic light emitting device according to the comparative example of the first to fifth embodiments and examples of the present invention, the content of the second solution containing Au nanoparticles as the second metal structure in the source solution used Are shown in Table 1 below.

구분division 제2 용액의 함량The content of the second solution 제1 실시 예First Embodiment 5wt%5 wt% 제2 실시 예Second Embodiment 10wt%10wt% 제3 실시 예Third Embodiment 15wt%15wt% 제4 실시 예Fourth Embodiment 20wt%20wt% 제5 실시 예Fifth Embodiment 25wt%25wt% 비교 예Comparative Example 0wt%0wt%

도 5는 본 발명의 비교 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 AFM 이미지이다.5 is an AFM image of a light extracting layer included in an organic light emitting device according to a comparative example of the present invention.

비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 개시된 동일한 방법으로, 아연산화물을 포함하고, 상기 물결 구조를 갖되, Au 나노 입자가 분산되지 않은, 상기 광 추출층을 제조하였다. AFM(Atomic Force Microscope) 기기를 이용하여, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 표면 형상 이미지를 측정하였다.In the same manner as described in the manufacturing method of the organic light emitting device according to the comparative example, the light extracting layer containing zinc oxide and having the wave structure but not containing Au nanoparticles was prepared. The surface shape image of the light extracting layer of the organic light emitting device according to the comparative example was measured using an AFM (Atomic Force Microscope) instrument.

도 5를 참조하면, 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층은, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 것을 확인하였다. 상기 오목부들 및 상기 볼록부들의 크기 및 형상은 불균일하고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 형성된 방향도 불규칙한 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 5, the light extracting layer of the organic light emitting diode according to the comparative example of the embodiment has a wave structure in which concave portions and convex portions are alternately repeated. The size and shape of the concave portions and the convex portions are uneven, and the direction in which the concave portions and the convex portions are formed is irregular.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 AFM 이미지이다.6 is an AFM image of a light extracting layer included in an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 개시된 동일한 방법으로, 상기 제1 금속 산화물인 아연산화물 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 상기 광추출층을 제조하였다. AFM(Atomic Force Microscope) 기기를 이용하여, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 표면 형상 이미지를 측정하였다.The Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide as the first metal oxide and the concave portions and the convex portions are alternately repeated in the same manner as described in the method of manufacturing the organic light emitting device according to the embodiment The light extracting layer having a wave structure was prepared. The surface shape image of the light extracting layer of the organic light emitting device according to the embodiment was measured using an AFM (Atomic Force Microscope) instrument.

도 6을 참조하면, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층은, 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층과 마찬가지로, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 것을 확인하였다. 또한, 상술된 바와 같이, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들의 크기, 형상, 및 방향이 불규칙한 것을 알 수 있었다. 단, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 상기 물결 구조에 포함된 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이, 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 상기 오목부들 및 상기 볼록부들보다 더 조밀하게 형성된 것을 알 수 있었다. 이로부터, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 표면 조도 및 표면 거칠기가 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층의 표면 조도 및 표면 거칠기보다 낮은 것을 알 수 있었다. 이에 따라, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 광 효율보다, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광 효율이 우수한 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 6, the light extracting layer of the organic light emitting diode according to the embodiment is formed by alternately repeating the concave portions and the convex portions, like the light extracting layer of the organic light emitting device according to the comparative example of the embodiment Which has a wave structure. In addition, as described above, it was found that the size, shape, and direction of the concave portions and the convex portions are irregular. However, the concave portions and the convex portions included in the wave structure of the light extracting layer of the organic light emitting device according to the embodiment are formed in the concave portions of the light extracting layer of the organic light emitting element according to the comparative example of the embodiment And the convex portions are formed more densely than the convex portions. From this, it can be seen that the surface roughness and surface roughness of the light extracting layer of the organic light emitting device according to the embodiment are lower than the surface roughness and surface roughness of the light extracting layer of the organic light emitting device according to the comparative example. Thus, it was found that the light efficiency of the organic light emitting device according to the embodiment was superior to that of the organic light emitting device according to the comparative example.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 광추출층의 EDS 측정 결과이다.FIG. 7 shows the EDS measurement result of the light extracting layer included in the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention.

실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 개시된 동일한 방법으로, 상기 제1 금속 산화물인 아연산화물 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 상기 광추출층을 제조하였다. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 기기를 이용하여, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층에 포함된 성분을 분석하였다.The Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide as the first metal oxide and the concave portions and the convex portions are alternately repeated in the same manner as described in the method of manufacturing the organic light emitting device according to the embodiment The light extracting layer having a wave structure was prepared. Components contained in the light extracting layer of the organic light emitting device according to the embodiment were analyzed using an EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) apparatus.

도 7을 참조하면, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 상기 광추출층에 아연(Zn) 29%, 산소(O) 60%, 및 금(Au) 11% 포함된 것을 확인하였다. 이는, 실시 예에 따른 유기 발광 소자에 포함된 상기 광추출층이, 상기 제1 금속의 산화물인 아연산화물로 형성된 상기 물결 구조에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산된 구조이기 때문에 나타난 결과로 판단된다. 다시 말해서, 아연산화물을 포함하는 상기 물결 구조 내에 Au 나노 입자가 존재하는 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 7, it was confirmed that 29% of zinc (Zn), 60% of oxygen (O), and 11% of gold were contained in the light extracting layer of the organic light emitting device according to the embodiment. This is because the light extracting layer included in the organic light emitting device according to the embodiment is a structure in which the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the wave structure formed of the zinc oxide as the oxide of the first metal . In other words, it was found that Au nanoparticles were present in the wavy structure containing zinc oxide.

도 8은 본 발명의 실시 예 및 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도(current density)를 나타내는 그래프이다.8 is a graph showing a current density according to a voltage of an organic light emitting diode according to a comparative example of the embodiments and examples of the present invention.

실시 예 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 따라, 상기 제1 금속 산화물인 아연산화물 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 상기 광추출층, 및 아연산화물을 포함하고, 상기 물결 구조를 갖되, Au 나노 입자가 분산되지 않은, 상기 광추출층을 제조하였다. 실시 예 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자에 대하여 전압에 따른 전류밀도 값을 측정하였다.According to the manufacturing method of the organic light emitting device according to the embodiments and the comparative example, the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide as the first metal oxide, and the concave parts and the convex parts are alternately repeated The light extracting layer including the light extracting layer having a wave structure and the zinc oxide and having the wave structure but not containing Au nanoparticles dispersed therein was prepared. The current density values of the organic light emitting devices according to Examples and Comparative Examples were measured according to the voltage.

도 8을 참조하면, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도 값이 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도 값보다 높은 것을 확인하였다. 이로부터, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 전자 주입 능력이 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전자 주입 능력보다 우수한 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 8, it was confirmed that the current density value according to the voltage of the organic light emitting device according to the embodiment is higher than the current density according to the voltage of the organic light emitting device according to the comparative example. From these results, it was found that the electron injecting ability of the organic light emitting device according to the embodiment is superior to the electron injecting ability of the organic light emitting device according to the comparative example.

도 9는 본 발명의 실시 예 및 실시 예에 대한 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율(luminance)을 나타내는 그래프이다. 9 is a graph showing luminance according to voltage of an organic light emitting device according to a comparative example of the embodiments and examples of the present invention.

실시 예 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 따라, 상기 제1 금속 산화물인 아연산화물 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 상기 광추출층, 및 아연산화물을 포함하고, 상기 물결 구조를 갖되, Au 나노 입자가 분산되지 않은, 상기 광추출층을 제조하였다. 실시 예 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자에 대하여 전압에 따른 발광효율 값을 측정하였다.According to the manufacturing method of the organic light emitting device according to the embodiments and the comparative example, the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide as the first metal oxide, and the concave parts and the convex parts are alternately repeated The light extracting layer including the light extracting layer having a wave structure and the zinc oxide and having the wave structure but not containing Au nanoparticles dispersed therein was prepared. The luminous efficiency values of the organic light emitting devices according to Examples and Comparative Examples were measured according to the voltage.

도 9를 참조하면, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 전압의 증가에 따른 발광효율이 증가되는 값이 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압의 증가에 따른 발광효율이 증가되는 값보다 큰 것을 확인하였다. 이로부터, 전압의 증가함에 따라, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 휘도가 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 휘도보다 크게 증가하는 것을 알 수 있었다. 따라서, 실시 예에 따른 유기 발광 소자 내에 포함된 상기 광추출층이 비교 예에 따른 유기 발광 소자 내에 포함된 상기 광추출층보다 상기 발광층에서 발생하는 빛을 보다 효율적으로 추출하고 있는 것을 알 수 있었다.Referring to FIG. 9, it is found that a value at which the luminous efficiency increases with an increase in the voltage of the organic light emitting device according to the embodiment is larger than a value at which the luminous efficiency increases with increase in the voltage of the organic light emitting device according to the comparative example . From this, it can be seen that as the voltage increases, the luminance of the organic light emitting device according to the embodiment increases more than the luminance of the organic light emitting device according to the comparative example. Therefore, it can be seen that the light extracting layer included in the organic light emitting device according to the embodiment extracts light generated in the light emitting layer more efficiently than the light extracting layer included in the organic light emitting device according to the comparative example.

도 10은 본 발명의 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도를 나타내는 그래프이다.10 is a graph showing current densities according to voltages of organic light emitting devices according to embodiments of the present invention and a comparative example.

실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 개시된 동일한 방법으로, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 5wt%, 10wt%, 15wt%, 20wt%, 및 25wt%인 상기 소스 용액들을 사용하여 제조된 상기 광추출층을 포함하는 본 발명의 제1 내지 제5 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 제조하였다. 또한, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 따라, Au 나노 입자가 분산되지 않고 아연산화물만을 포함하는 상기 광추출층을 이용하여 비교 예에 따른 유기 발광 소자를 제조하였다. 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자들에 대하여, 전압에 따른 전류밀도 값을 측정하였다.Using the above-described source solutions in which the content of the second solution in the source solution is 5 wt%, 10 wt%, 15 wt%, 20 wt%, and 25 wt%, by the same method as described in the method for producing an organic light- The organic light emitting device according to the first to fifth embodiments of the present invention including the above-described light extracting layer. In addition, according to the manufacturing method of the organic light emitting device according to the comparative example, the organic light emitting device according to the comparative example was manufactured using the light extracting layer containing only the zinc oxide without dispersing the Au nanoparticles. For organic light emitting devices according to Examples and Comparative Examples, current density values according to voltages were measured.

도 10을 참조하면, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도 값보다, 실시 예들에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 전류밀도 값이 높은 것을 확인하였다. 또한, 실시 예들에 따른 유기 발광 소자 중 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 10wt% 및 15wt%인 경우, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 5wt%, 20wt%, 및 25wt%인 경우보다 전압에 따른 전류밀도 값이 높은 것을 확인하였다. Referring to FIG. 10, it was confirmed that the current density value according to the voltage of the organic light emitting diode according to the embodiments is higher than the current density value according to the voltage of the organic light emitting diode according to the comparative example. In addition, in the organic light emitting device according to the embodiments, when the content of the second solution in the source solution is 10 wt% and 15 wt%, the content of the second solution in the source solution is 5 wt%, 20 wt%, and 25 wt% It was confirmed that the current density value according to the voltage was higher than that of the case.

이로부터, 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 전자 주입 능력이 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전자 주입 능력보다 우수한 것을 알 수 있었다. 또한, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량을 10wt% 및 15wt%로 하여 제조된 상기 광추출층을 사용하여 유기 발광 소자를 제조하는 경우, 유기 발광 소자의 전자 주입 능력이 가장 우수하여, 광 효율 특성이 뛰어난 유기 발광 소자의 제공이 가능한 것을 알 수 있었다.From these results, it was found that the electron injecting ability of the organic light emitting device according to the embodiment is superior to the electron injecting ability of the organic light emitting device according to the comparative example. In addition, when the organic light emitting device is manufactured using the light extracting layer prepared by adjusting the content of the second solution in the source solution to 10 wt% and 15 wt%, the organic light emitting device has the best electron injection capability, An organic light emitting device having excellent efficiency characteristics can be provided.

도 11은 본 발명의 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율을 나타내는 그래프이다.11 is a graph showing the luminous efficiency according to the voltage of the organic light emitting device according to the embodiments of the present invention and the comparative example.

실시 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 개시된 동일한 방법으로, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 5wt%, 10wt%, 15wt%, 20wt%, 및 25wt%인 상기 소스 용액들을 사용하여 제조된 상기 광추출층을 포함하는 본 발명의 제1 내지 제5 실시 예에 따른 유기 발광 소자를 제조하였다. 또한, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 따라, Au 나노 입자가 분산되지 않고 아연산화물만을 포함하는 상기 광추출층을 이용하여 비교 예에 따른 유기 발광 소자를 제조하였다. 실시 예들 및 비교 예에 따른 유기 발광 소자들에 대하여, 전압에 따른 발광효율 값을 측정하였다.Using the above-described source solutions in which the content of the second solution in the source solution is 5 wt%, 10 wt%, 15 wt%, 20 wt%, and 25 wt%, by the same method as described in the method for producing an organic light- The organic light emitting device according to the first to fifth embodiments of the present invention including the above-described light extracting layer. In addition, according to the manufacturing method of the organic light emitting device according to the comparative example, the organic light emitting device according to the comparative example was manufactured using the light extracting layer containing only the zinc oxide without dispersing the Au nanoparticles. For the organic light emitting devices according to Examples and Comparative Examples, luminous efficiency values according to voltages were measured.

도 11을 참조하면, 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율 값보다, 실시 예들에 따른 유기 발광 소자의 전압에 따른 발광효율 값이 높은 것을 확인하였다. 또한, 실시 예들에 따른 유기 발광 소자 중 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 10wt% 및 15wt%인 경우, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량이 5wt%, 20wt%, 및 25wt%인 경우보다 전압에 따른 발광효율 값이 높은 것을 확인하였다. 이로부터, 전압이 증가함에 따라, 실시 예들에 따른 유기 발광 소자의 휘도가 비교 예에 따른 유기 발광 소자의 휘도보다 크게 증가하는 것을 알 수 있었다. 또한, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량을 10wt% 및 15wt%로 하여 제조된 상기 광추출층을 사용하여 유기 발광 소자를 제조하는 경우, 휘도 특성이 우수한 유기 발광 소자의 제공이 가능한 것을 알 수 있었다. Referring to FIG. 11, it was confirmed that the luminous efficiency value according to the voltage of the organic light emitting device according to the embodiments is higher than the luminous efficiency value according to the voltage of the organic light emitting device according to the comparative example. In addition, in the organic light emitting device according to the embodiments, when the content of the second solution in the source solution is 10 wt% and 15 wt%, the content of the second solution in the source solution is 5 wt%, 20 wt%, and 25 wt% It was confirmed that the luminous efficacy value according to the voltage was higher than that of the case. From this, it can be seen that as the voltage increases, the luminance of the organic light emitting device according to the embodiments increases more than the luminance of the organic light emitting device according to the comparative example. In addition, when the organic light emitting device is manufactured using the light extracting layer prepared by adjusting the content of the second solution in the source solution to 10 wt% and 15 wt%, it is possible to provide an organic light emitting device having excellent luminance characteristics I could.

다시 말해서, 상기 소스 용액 내 상기 제2 용액의 함량을 10wt% 및 15wt%로 하여 제조된 상기 광추출층을 사용하여 유기 발광 소자를 제조하는 경우, 본 발명의 제2 및 제3 실시 예에 따른 유기 발광 소자 내에 포함된 상기 광추출층이 상기 발광층에서 발생하는 빛을 보다 효율적으로 추출하고 있는 것을 알 수 있었다.In other words, when the organic light emitting device is manufactured using the light extracting layer prepared by setting the content of the second solution in the source solution to 10 wt% and 15 wt%, the organic light emitting device according to the second and third embodiments It was found that the light extracting layer included in the organic light emitting device extracts light generated in the light emitting layer more efficiently.

이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따라, 상기 제1 금속 산화물인 아연산화물 내에 상기 제2 금속 구조체인 Au 나노 입자가 분산되고, 상기 오목부들 및 상기 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 상기 광추출층을 사용하여 상기 유기 발광 소자를 제조하는 경우, 전자 수송 능력이 우수하고, 상기 발광층으로부터 발생된 광을 효율적으로 추출하여 휘도 특성이 우수한, 광효율 특성이 향상된 유기 발광 소자가 제공될 수 있다. 또한, 상기 제1 금속을 포함하는 상기 소스 용액 내 상기 제2 금속 구조체를 포함하는 상기 제2 용액의 함량이 10 내지 15wt%인 경우, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 소자의 광효율 특성을 극대화될 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide as the first metal oxide, and the Au nanoparticles as the second metal structure are dispersed in the zinc oxide, When the organic light emitting device is manufactured using the light extracting layer, an organic light emitting device having an excellent electron transporting ability, an efficient light extraction efficiency by extracting light generated from the light emitting layer, and an improved light efficiency characteristic can be provided . In addition, when the content of the second solution including the second metal structure in the source solution containing the first metal is 10 to 15 wt%, the light efficiency characteristics of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention are maximized .

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will also be appreciated that many modifications and variations will be apparent to those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

10: 제1 용액
20: 제2 용액
30: 소스 용액
100: 기판
120: 광추출층
140: 전자수송층
150: 발광층
170: 정공수송층
190: 음극
200: 유기 발광 소자10: First solution
20: Second solution
30: source solution
100: substrate
120: light extracting layer
140: electron transport layer
150: light emitting layer
170: hole transport layer
190: cathode
200: Organic light emitting device

Claims (10)

제1 금속을 포함하는 제1 용액, 및 제2 금속 구조체를 포함하는 제2 용액을 준비하는 단계;
상기 제1 용액 및 상기 제2 용액을 혼합하여, 소스 용액을 제조하는 단계;
상기 소스 용액을 기판 상에 제공하는 단계;
점차적으로 온도를 증가시키는 방법으로, 상기 기판 상의 상기 소스 용액을 열처리하여, 상기 제1 금속의 산화물 내에 상기 제2 금속 구조체가 분산된 광추출층(light extraction layer)을 제조하는 단계를 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
Preparing a first solution comprising a first metal and a second solution comprising a second metal structure;
Mixing the first solution and the second solution to produce a source solution;
Providing the source solution on a substrate;
Heat treating the source solution on the substrate to produce a light extraction layer in which the second metal structure is dispersed in the oxide of the first metal in such a manner as to gradually increase the temperature, A method of manufacturing a light emitting device.
제1 항에 있어서,
상기 광추출층은, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 것을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the light extracting layer includes a wave structure in which concave portions and convex portions are alternately repeated.
제2 항에 있어서,
상기 광추출층의 상기 물결 구조에서, 서로 인접한 상기 오목부들 사이의 거리, 및 서로 인접한 상기 볼록부들 사이의 거리는, 상기 소스 용액 내의 상기 제1 용액 및 상기 제2 용액의 농도에 따라 조절되는 것을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
3. The method of claim 2,
In the wavy structure of the light extracting layer, the distance between the adjacent recesses and the distance between the adjacent convex portions is adjusted according to the concentration of the first solution and the second solution in the source solution Gt; < / RTI >
제1 항에 있어서,
상기 소스 용액 내의 상기 제2 용액의 중량은, 10 내지 15wt%인 것을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
And the weight of the second solution in the source solution is 10 to 15 wt%.
제1 항에 있어서,
상기 제2 금속 구조체는, Au, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나 이상을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the second metal structure comprises at least one of Au, Ag, Pt, Cu, Pd, and Al.
제1 항에 있어서,
상기 광추출층 상에 발광층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 발광층에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타내고,
상기 제2 금속 구조체의 크기에 따라서, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장(Plasmon resonance wavelength)이 조절되는 것을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Further comprising forming a light emitting layer on the light extracting layer,
By the light emitted from the light emitting layer, the second metal structure in the light extracting layer exhibits a plasmon resonance phenomenon,
Wherein a plasmon resonance wavelength of the second metal structure is controlled according to a size of the second metal structure.
제1 항에 있어서,
상기 소스 용액을 제조하는 단계는,
상기 제1 용액에 안정제를 첨가하고, 교반하는 단계; 및
상기 안정제가 첨가된 상기 제1 용액에 상기 제2 용액을 첨가하고, 교반하는 단계를 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the step of preparing the source solution comprises:
Adding and stirring a stabilizer to the first solution; And
And adding and stirring the second solution to the first solution to which the stabilizer is added.
양극;
상기 양극 상에 배치되고, 제1 금속 산화물 내에 제2 금속 구조체가 분산되고, 오목부들 및 볼록부들이 교대로 반복되는 물결 구조를 갖는 광추출층;
상기 광추출층 상의 전자수송층;
상기 전자수송층 상의 발광층;
상기 발광층 상의 정공수송층; 및
상기 정공수송층 상의 음극을 포함하는 유기 발광 소자.
anode;
A light extracting layer disposed on the anode, the light extracting layer having a wave structure in which the second metal structure is dispersed in the first metal oxide and the concave portions and the convex portions are alternately repeated;
An electron transport layer on the light extracting layer;
A light emitting layer on the electron transporting layer;
A hole transport layer on the light emitting layer; And
And a cathode on the hole transport layer.
제8 항에 있어서,
상기 발광층에서 방출된 광에 의해, 상기 광추출층 내의 상기 제2 금속 구조체는 플라즈몬 공명 현상을 나타내고,
상기 제2 금속 구조체의 크기에 따라, 상기 제2 금속 구조체의 플라즈몬 공명파장이 조절되는 것을 포함하는 유기 발광 소자.
9. The method of claim 8,
By the light emitted from the light emitting layer, the second metal structure in the light extracting layer exhibits a plasmon resonance phenomenon,
Wherein the plasmon resonance wavelength of the second metal structure is controlled according to the size of the second metal structure.
제8 항에 있어서,
상기 제2 금속 구조체는, Au, Ag, Pt, Cu, Pd, 또는 Al 중 어느 하나 이상을 포함하는 유기 발광 소자.9. The method of claim 8,
Wherein the second metal structure comprises at least one of Au, Ag, Pt, Cu, Pd, and Al.
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