KR20170083977A - 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 필름 터치 센서 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 캐리어 기판 상에 Sn을 포함하는 무기층을 형성하는 무기층 형성단계와, 상기 무기층 상에 수산기를 포함하는 분리층을 형성하는 분리층 형성단계와, 상기 분리층 상에 터치 센서층을 형성하는 터치 센서층 형성단계와, 상기 무기층과 상기 분리층을 분리하여 상기 캐리어 기판을 분리하는 분리단계 및 상기 분리층 상에 기재층을 형성하는 기재층 형성단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 박리성을 개선하고, 터치 센서층을 구성하는 전극 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있다.

Description

터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법{TOUCH SENSOR STACK, FILM TOUCH SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 박리성을 개선하고, 터치 센서층을 구성하는 전극 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있는 필름 터치 센서 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 터치 센서는 사용자가 화면에 디스플레이되는 영상을 손가락이나 터치 펜 등으로 접촉하는 경우 이 접촉에 반응하여 터치 지점을 파악하는 장치이다.

이러한 터치 센서는 일반적으로 액정 표시 패널(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 EL(Organic light-Emitting Diode, OLED) 등과 같은 디스플레이 장치에 덧씌워지는 구조로 제작된다.

한편, 최근에는 유리 기판을 대체하는 고분자 필름을 이용하여 보다 얇고 가벼우며 구부릴 수 있는 플렉서블 디스플레이 장치 및 터치 센서에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.

플렉서블 터치 센서를 제조하기 위한 종래 기술에 따르면, 유리 등과 같은 경질의 캐리어 기판에 터치 센서를 구성하는 감지 패턴 기능층을 형성한 이후, 이 감지 패턴 기능층을 캐리어 기판으로부터 박리하여 플렉서블한 재질의 기재에 접착한다.

이러한 종래 기술에 따르면, 감지 패턴 기능층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서, 감지 패턴 기능층에 잔여물이 남을 수 있고, 박리시 발생하는 장력에 의해 박리면에 컬(curl)과 크랙(crack)이 발생하여, 박리면의 표면 거칠기가 커지고, 터치 센서 및 이 터치 센서가 부착된 디스플레이 장치의 품질이 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0118219호(공개일자: 2010년 11월 05일, 명칭: 디스플레이 패널용 플렉서블 기판 및 그 제조 방법) 대한민국 공개특허공보 제10-2006-0124940호(공개일자: 2006년 12월 06일, 명칭: 가요성 표시 장치의 제조 방법)

본 발명은 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 박리성을 개선할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

또한, 본 발명은 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서, 터치 센서층에 불필요한 잔여물이 남는 것을 방지하고, 박리시 발생하는 장력에 의해 박리면에 컬(curl)과 크랙(crack)이 발생하는 것을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

또한, 본 발명은 캐리어 기판으로부터 분리되는 면인 터치 센서층의 박리면의 표면 거칠기를 낮춰 터치 센서의 품질을 향상시킬 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

또한, 본 발명은 터치 센서층을 구성하는 전극 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 터치 센서 적층체는 캐리어 기판, 상기 캐리어 기판상에 형성된 분리층 및 상기 분리층 상에 형성된 터치 센서층을 포함한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체는 상기 분리층과 상기 터치 센서층 사이에 형성된 제1 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 터치 센서층은, 제1 방향을 따라 서로 연결된 제1 감지 패턴과 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 분리된 제2 감지 패턴을 구비한 감지 패턴, 상기 서로 분리된 제2 패턴을 연결하는 연결 패턴 및 상기 감지 패턴과 상기 연결 패턴 사이에 형성된 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체는 상기 터치 센서층 상에 형성된 제2 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 터치 센서층은 메쉬 패턴으로 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 터치 센서층은 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO); 또는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 및 APC로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서,상기 절연층은 무기물로 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 무기물은 실리콘산화물(SiOx)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 제2 보호층은 무기물로 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 터치 센서 적층체에 있어서, 상기 무기물은 실리콘산화물(SiOx)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제1 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 경성 재질의 캐리어 기판 상에 분리층을 형성하는 분리층 형성단계, 상기 분리층 상에 메쉬(mesh) 구조를 갖는 터치 센서층을 형성하는 터치 센서층 형성단계, 상기 분리층으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 분리단계 및 상기 분리층 상에 연성 재질의 기재층을 형성하는 기재층 형성단계를 포함한다.

본 발명의 제2 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 경성 재질의 캐리어 기판 상에 분리층을 형성하는 분리층 형성단계, 상기 분리층 상에 메쉬 구조를 갖는 터치 센서층을 형성하는 터치 센서층 형성단계, 상기 터치 센서층 상에 연성 재질의 기재층을 형성하는 기재층 형성단계 및 상기 분리층으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 분리단계를 포함한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 상기 분리층 형성단계 이전에, 상기 캐리어 기판 상에 Sn을 포함하는 무기층을 형성하는 무기층 형성단계를 더 포함하고, 상기 분리층은 수산기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 무기층에 포함된 Sn과 상기 분리층에 포함된 수산기 간의 결합력에 의해 상기 무기층과 상기 분리층 간의 박리력이 결정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 분리단계에서는, 상기 무기층과 상기 분리층의 계면이 상호 박리되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 무기층의 중량을 기준으로 상기 Sn의 함량은 0.1wt% ~ 10wt%인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 무기층은 ITO를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 상기 분리층 형성단계와 상기 터치 센서층 형성단계 사이에 제1 보호층을 형성하는 제1 보호층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 터치 센서층 형성단계는, 상기 분리층 상에 제1 방향을 따라 서로 연결된 제1 감지 패턴들과 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 분리된 제2 감지 패턴들을 형성하는 단계, 상기 제1 감지 패턴들과 상기 제2 감지 패턴들 사이에 절연층을 형성하는 단계 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 연결 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 상기 터치 센서층 형성단계 이후, 상기 터치 센서층 상에 제2 보호층을 형성하는 제2 보호층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제1 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법은, 상기 분리단계 이전에 상기 터치 센서층 상에 분리 부재를 형성하는 분리부재 형성단계를 더 포함하고, 상기 분리단계에서는, 상기 분리 부재를 그립(grip)한 상태에서 물리력을 통해 상기 캐리어 기판이 형성되어 있는 무기층을 상기 분리층으로부터 박리하여 분리하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제2 측면에 따른 필름 터치 센서 제조방법에 있어서, 상기 분리단계에서는, 상기 기재층을 그립(grip)한 상태에서 물리력을 통해 상기 캐리어 기판이 형성되어 있는 무기층을 상기 분리층으로부터 박리하여 분리하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제1 측면에 따른 필름 터치 센서는, 연성 재질의 기재층, 상기 기재층 상에 형성된 분리층 및 상기 분리층 상에 형성된 메쉬 구조를 갖는 터치 센서층을 포함한다.

본 발명의 제2 측면에 따른 필름 터치 센서는, 분리층, 상기 분리층 상에 형성된 메쉬 구조를 갖는 터치 센서층 및 상기 터치 센서층 상에 형성된 연성 재질의 기재층을 포함한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서는, 상기 분리층과 상기 터치 센서층 사이에 형성되어 상기 터치 센서층을 보호하는 제1 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서는, 상기 터치 센서층 상에 형성되어 상기 터치 센서층을 보호하는 제2 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 양 측면에 따른 필름 터치 센서에 있어서, 상기 터치 센서층은, 상기 분리층 상에 제1 방향을 따라 서로 연결되도록 형성된 제1 감지 패턴들, 상기 분리층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 분리되도록 형성된 제2 감지 패턴들, 상기 제1 감지 패턴들과 상기 제2 감지 패턴들 사이에 형성된 절연층 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하하도록 형성된 연결 패턴들을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 박리성을 개선할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서, 터치 센서층에 불필요한 잔여물이 남는 것을 방지하고, 박리시 발생하는 장력에 의해 박리면에 컬(curl)과 크랙(crack)이 발생하는 것을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 캐리어 기판으로부터 분리되는 면인 터치 센서층의 박리면의 표면 거칠기를 낮춰 터치 센서의 품질을 향상시킬 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 터치 센서층을 구성하는 전극 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예들에 따라 제조되는 필름 터치 센서의 전체적인 평면 형상을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 표시된 A 영역을 확대한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 흐름도이다.
도 4 내지 도 15는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 단면도들이다.
도 16은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 흐름도이다.
도 17 내지 도 26은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 단면도들이다.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2구성 요소는 제1구성 요소로도 명명될 수 있다.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시 예들에 따라 제조되는 필름 터치 센서의 전체적인 평면 형상을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예들에 따라 제조되는 필름 터치 센서는 시각 정보가 표시되는지 여부를 기준으로 표시 영역과 비표시 영역으로 구분될 수 있다. 도 1에서, 비표시 영역에 구비되는 구성요소들에 대한 시인성 향상을 위해 비표시 영역을 실제보다 크게 표현하였음을 밝혀둔다.

표시 영역은 터치 센서에 결합된 장치가 제공하는 화상이 표시되는 영역인 동시에 사용자로부터 입력되는 터치 신호를 정전용량방식으로 감지하기 위한 영역으로서, 이 표시 영역에는 서로 교차하는 방향으로 형성되는 다수의 감지 패턴들을 포함하는 구성요소들이 형성되어 있다.

표시 영역의 외곽에 위치하는 비표시 영역에는 감지 패턴들과 전기적으로 연결되는 전극 패드들, 이 전극 패드들에 전기적으로 연결되는 감지 라인들, 이 감지 라인들에 전기적으로 연결되는 본딩 패드들이 형성되어 있다. 본딩 패드에는 표시 영역에서 감지된 터치 신호를 도시하지 않은 구동부로 전달하는 FPC(Flexible Printed Circuit)가 연결된다.

도 2는 도 1에 표시된 A 영역을 확대한 도면이다.

도 2를 추가적으로 참조하면, 본 발명의 실시 예들에 따라 제조되는 필름 터치 센서를 구성하는 터치 센서층(40)의 평면 형상이 개시되어 있으며, 터치 센서층(40)은 제1 감지 패턴들(41), 제2 감지 패턴들(42), 절연층(45) 및 연결 패턴들(47)을 포함한다.

제1 감지 패턴들(41)은 서로 전기적으로 연결된 상태로 제1 방향을 따라 형성되어 있고, 제2 감지 패턴들(42)은 서로 전기적으로 분리된 상태로 제2 방향을 따라 형성되어 있으며, 제2 방향은 제1 방향과 교차하는 방향이다. 예를 들어, 제1 방향이 X 방향인 경우, 제2 방향은 Y 방향일 수 있다. 절연층(45)은 제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42) 사이에 형성되어 있으며, 제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42)을 전기적으로 절연시킨다. 연결 패턴들(47)은 인접하는 제2 감지 패턴들(42)을 전기적으로 연결시킨다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 흐름도이고, 도 4 내지 도 15는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 단면도들이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법은 무기층 형성단계(S10), 분리층 형성단계(S20), 제1 보호층 형성단계(S30), 터치 센서층 형성단계(S40), 제2 보호층 형성단계(S50), 분리부재 형성단계(S60), 분리단계(S70) 및 기재층 형성단계(S80)를 포함한다.

도 4를 추가적으로 참조하면, 무기층 형성단계(S10)에서는, 캐리어 기판 상에 Sn을 포함하는 무기층(15)을 형성하는 과정이 수행된다.

무기층(15)은 후술하는 분리층(20)과 적정 수준의 결합력을 유지하기 위해 형성되며, 이 결합력은 무기층(15)에 포함된 Sn과 분리층(20)에 포함된 수산기의 결합에 의해 제공된다.

예를 들어, 무기층(15)의 중량을 기준으로 Sn의 함량은 10wt% 이하로 유지되는 것이 바람직하다.

예를 들어, 무기층(15)은 탄소를 포함하고 있는 화합물 중에서, 이산화탄소, 일산화탄소, 다이아몬드, 탄화칼슘 등을 제외한 금속인 전형 원소, 전이 금속 중 Sn을 10wt%이내로 함유하는 물질일 수 있으며, 보다 구체적으로는 ITO일 수 있다.

Sn 함량에 따른 무기층(15)과 분리층(20) 간의 박리력 특성은 분리단계(S70)를 설명하는 과정에서 상세히 설명한다.

예를 들어, 캐리어 기판(10)으로는 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 고정될 수 있도록 적정 강도를 제공하며 열이나 화학 처리에 영향이 거의 없는 재료라면 특별한 제한이 없이 사용될 수 있다. 예를 들면 유리, 석영, 실리콘 웨이퍼, 서스(SUS) 등이 사용될 수 있다.

도 5를 추가적으로 참조하면, 분리층 형성단계(S20)에서는, 무기층(15) 상에 분리층(20)을 형성하는 과정이 수행된다.

분리층(20)은 후술하는 공정을 통해 캐리어 기판(10)에 형성한 터치 센서를 캐리어 기판(10)으로부터 박리하기 위해 형성되는 층이다. 분리층(20)은 상부에 형성되는 터치 센서층(40)을 감싸서 피복하고 이를 절연시키는 기능을 아울러 수행할 수 있다.

예를 들어, 분리층(20)은 수산기를 포함하는 고분자 유기막일 수 있으며, 일정 수준의 박리력과 투명성을 제공하는 조건을 충족시키면 분리층(20)의 소재는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 분리층(20)은 폴리이미드(polyimide)계 고분자, 폴리비닐알코올(poly vinyl alcohol)계 고분자, 폴리아믹산(polyamic acid)계 고분자, 폴리아미드(polyamide)계 고분자, 폴리에틸렌(polyethylene)계 고분자, 폴리스타일렌(polystylene)계 고분자, 폴리노보넨(polynorbornene)계 고분자, 페닐말레이미드 공중합체(phenylmaleimide copolymer)계 고분자, 폴리아조벤젠(polyazobenzene)계 고분자, 폴리페닐렌프탈아미드(polyphenylenephthalamide)계 고분자, 폴리에스테르(polyester)계 고분자, 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)계 고분자, 폴리아릴레이트(polyarylate)계 고분자, 신나메이트(cinnamate)계 고분자, 쿠마린(coumarin)계 고분자, 프탈리미딘(phthalimidine)계 고분자, 칼콘(chalcone)계 고분자, 방향족 아세틸렌계(aromatic acetylene) 고분자 물질로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다.

분리층(20)의 박리력은 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어, 0.001 내지 1N/25mm일 수 있으며, 바람직하게는 0.005 내지 0.2N/25mm일 수 있다. 상기 범위를 만족하는 경우, 터치 센서의 제조공정에서, 캐리어 기판으로부터 잔여물 없이 용이하게 박리될 수 있으며, 박리시 발생하는 장력에 의한 컬(curl) 및 크랙을 저감할 수 있다.

분리층(20)의 두께는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어, 10 내지 1,000nm일 수 있으며, 바람직하게는 50 내지 500nm일 수 있다. 상기 범위를 만족하는 경우, 박리력이 안정되고, 균일한 패턴을 형성할 수 있다.

도 6을 추가적으로 참조하면, 제1 보호층 형성단계(S30)에서는, 분리층(20) 상에 제1 보호층(30)을 형성하는 과정이 수행된다.

제1 보호층(30)은 분리층(20)과 함께 터치 센서층(40)을 피복하여 터치 센서층(40)을 보호하며, 터치 센서층 형성단계(S40)에서 분리층(20)이 터치 센서층(40) 형성을 위한 에천트(etchant)에 노출되지 않도록 하는 기능을 수행한다. 제1 보호층(30)은 필요에 따라 생략될 수 있는 선택적인 구성요소이다.

예를 들어, 제1 보호층(30)은 분리층(20)의 측면의 적어도 일부 영역을 덮도록 형성될 수 있다. 분리층(20)의 측면은 분리층(20)의 가장자리 측벽이다. 이와 같이 구성하면, 터치 센서층(40)을 구성하는 도전성의 감지 패턴들(41, 42)에 대한 패터닝 등의 공정 중에 분리층(20)의 측면이 에천트 등에 노출되는 것을 최소화할 수 있다. 분리층(20)의 측면 노출을 완전히 차단한다는 측면에서, 제1 보호층(30)이 분리층(20)의 측면 전부를 덮도록 구성하는 것이 바람직하다.

제1 보호층(30)의 소재로는 당 기술분야에 공지된 고분자가 제한없이 사용될 수 있으며, 예를 들면 유기 절연막이 적용될 수 있으며, 그 중에서도 폴리올(polyol) 및 멜라민(melamine) 경화제를 포함하는 경화성 조성물로 형성된 것일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

폴리올의 구체적인 종류로는 폴리에테르 글리콜(polyether glycol) 유도체, 폴리에스테르 글리콜(polyester glycol) 유도체, 폴리카프로락톤 글리콜(polycaprolactone glycol) 유도체 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

멜라민 경화제의 구체적인 종류로는 메톡시 메틸 멜라민(methoxy methyl melamine) 유도체, 메틸 멜라민(methyl melamine) 유도체, 부틸 멜라민(butyl melamine) 유도체, 이소부톡시 멜라민(isobutoxy melamine) 유도체 및 부톡시 멜라민(butoxy melamine) 유도체 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

다른 예로, 제1 보호층(30)은 유무기 하이브리드 경화성 조성물로 형성될 수 있으며, 유기 화합물과 무기 화합물을 동시에 사용하는 경우, 박리시 발생하는 크랙(crack)을 저감할 수 있다는 점에서 바람직하다.

유기 화합물로는 전술한 성분이 사용될 수 있고, 무기물로는 실리카계 나노 입자, 실리콘계 나노 입자, 유리 나노 섬유 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

터치 센서층 형성단계(S40)에서는, 제1 보호층(30) 상에 터치 센서층(40)을 형성하는 과정이 수행된다.

터치 센서층(40)은 사용자가 입력하는 터치 신호를 감지하기 위한 구성요소이다.

예를 들어, 터치 센서층(40)을 구성하는 감지 패턴들은 적용되는 전자 기기의 요구에 따라 적절한 모양으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 터치 스크린 패널에 적용되는 경우, x 좌표를 감지하는 패턴과 y 좌표를 감지하는 패턴의 2종류 패턴들로 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

터치 센서층 형성단계(S40)의 구체적인 구성의 예를 도 7 내지 도 9를 추가적으로 참조하여 설명한다.

먼저, 도 7을 추가적으로 참조하면, 제1 방향을 따라 서로 연결된 제1 감지 패턴들(41)과 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 분리된 제2 감지 패턴들(42)을 형성하는 과정이 수행된다. 예를 들어, 제1 방향이 X 방향인 경우, 제2 방향은 Y 방향일 수 있다.

다음으로, 도 8을 추가적으로 참조하면, 제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42) 사이에 절연층(45)을 형성하는 과정이 수행된다.

절연층(45)은 제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42)을 전기적으로 절연시킨다.

다음으로, 도 9를 추가적으로 참조하면, 인접하는 제2 감지 패턴들(42)을 전기적으로 연결하는 연결 패턴들(47)을 형성하는 과정이 수행된다.

제1 감지 패턴들(41), 제2 감지 패턴들(42), 연결 패턴들(47)로는 투명 도전성 물질이라면 제한되지 않고 사용될 수 있으며, 예를 들어, 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO)로 이루어진 군에서 선택된 금속산화물류; 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 및 APC로 이루어진 군에서 선택된 금속류; 금, 은, 구리 및 납으로 이루어진 군에서 선택된 금속의 나노와이어; 탄소나노튜브(CNT) 및 그래핀(graphene)으로 이루어진 군에서 선택된 탄소계 물질류; 및 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(PEDOT) 및 폴리아닐린(PANI)으로 이루어진 군에서 선택된 전도성 고분자 물질류에서 선택된 재료로 형성될 수 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있고, 바람직하게는 인듐틴옥사이드가 사용될 수 있다. 결정성 또는 비결정성 인듐틴옥사이드가 모두 사용 가능하다.

터치 센서층(40)의 두께는 특별히 한정되지 않으나, 터치 센서의 유연성을 고려할 때 가급적 박막인 것이 바람직하다. 예를 들면, 터치 센서층(40)의 두께는 0.01 내지 5㎛, 바람직하게는 0.03 내지 0.5㎛일 수 있다.

예를 들어, 터치 센서층(40)을 구성하는 제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42)은 서로 독립적으로 3각형, 4각형, 5각형, 6각형 또는 7각형 이상의 다각형 패턴일 수 있다.

또한, 예를 들어, 터치 센서층(40)은 규칙 패턴을 포함할 수 있다. 규칙 패턴이란, 패턴의 형태가 규칙성을 갖는 것을 의미한다. 예들 들어, 감지 패턴들은 서로 독립적으로 직사각형 또는 정사각형과 같은 메쉬 형태나, 육각형과 같은 형태의 패턴을 포함할 수 있다. 터치 센서층(40)을 구성하는 감지 패턴들이 메쉬 형태를 갖도록 구성하면, 감지 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있다.

또한, 예를 들어, 터치 센서층(40)은 불규칙 패턴을 포함할 수 있다. 불규칙 패턴이란 패턴의 형태가 규칙성을 갖지 아니한 것을 의미한다.

또한, 예를 들어, 터치 센서층(40)을 구성하는 감지 패턴들이 금속 나노와이어, 탄소계 물질류, 고분자 물질류 등의 재료로 형성된 경우, 감지 패턴들은 망상 구조를 가질 수 있다. 감지 패턴들이 망상 구조를 갖는 경우, 서로 접촉하여 인접하는 패턴들에 순차적으로 신호가 전달되므로, 높은 감도를 갖는 패턴을 실현할 수 있다.

예를 들어, 터치 센서층(40)을 구성하는 감지 패턴들은 단일층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있다.

제1 감지 패턴들(41)과 제2 감지 패턴들(42)을 절연시키는 절연층(45)의 소재로는 당 기술분야에 알려진 절연 소재가 제한 없이 사용될 수 있으며, 예를 들면 실리콘 산화물과 같은 금속 산화물이나 아크릴계 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물 혹은 열경화성 수지 조성물이 사용될 수 있다. 또는 절연층(45)은 실리콘산화물(SiOx)등의 무기물을 사용하여 형성될 수 있으며, 이 경우 증착, 스퍼터링 등의 방법으로 형성될 수 있다.

도 10을 추가적으로 참조하면, 제2 보호층 형성단계(S50)에서는, 터치 센서층(40)을 구성하는 제1 감지 패턴들(41), 제2 감지 패턴들(42), 절연층(45), 연결 패턴들(47) 덮도록 제2 보호층(50)을 형성하는 과정이 수행된다.

예를 들어, 제2 보호층(50)은 절연성 소재로 형성될 수 있으며, 터치 센서층(40)을 외부와 절연시키고, 보호하는 기능을 수행한다.

예를 들어, 제2 보호층(50)은 터치 센서층(40)과 접하는 면의 반대면이 평탄화되도록 형성될 수 있다.

또한, 예를 들어, 제2 보호층(50)은 단층 또는 2층 이상의 복수의 층으로 형성될 수 있다.

예를 들어, 제2 보호층(50)의 소재로는 당 기술분야에 알려진 절연 소재가 제한 없이 사용될 수 있으며, 예를 들면 실리콘 산화물과 같은 금속 산화물이나 아크릴계 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물 혹은 열경화성 수지 조성물이 사용될 수 있다. 또는 절연층(45)은 실리콘산화물(SiOx)등의 무기물을 사용하여 형성될 수 있으며, 이 경우 증착, 스퍼터링 등의 방법으로 형성될 수 있다.

도 11을 추가적으로 참조하면, 분리부재 형성단계(S60)에서는, 제2 보호층(50) 상에 분리 부재(60)를 형성하는 과정이 수행된다. 후술하는 분리단계(S70)에서, 예를 들어, 디라미네이션(delamination) 방식으로 캐리어 기판(10)을 분리층(20)으로부터 물리적으로 분리할 때, 디라미네이션 기구물은 이 분리 부재(60)를 그립(grip)하게 된다.

도 12를 추가적으로 참조하면, 분리단계(S70)에서는, 무기층(15)과 분리층(20)을 분리하여 캐리어 기판(10)을 분리층(20)으로부터 분리하는 과정이 수행된다.

앞서 설명한 바와 같이, 무기층(15)에는 Sn이 포함되어 있고, 분리층(20)에는 수산기가 포함되어 있으며, 무기층(15)에 포함된 Sn과 분리층(20)에 포함된 수산기 간의 결합에 의해 무기층(15)과 분리층(20)은 적정 수준의 결합력을 유지한다. 달리 말해, 분리단계(S70)에서는, 무기층(15)에 포함된 Sn과 분리층(20)에 포함된 수산기 간의 결합력에 의해 무기층(15)과 분리층(20) 간의 박리력이 결정된다.

예를 들어, 분리단계(S70)에서는, 무기층(15)과 분리층(20)의 계면이 상호 박리될 수 있다. 즉, 무기층(15)은 캐리어 기판과 기판과 함께 박리되어 분리되고, 분리층(20)은 터치 센서층에 잔류하게 되는 것이다.

다음 표 1은 Sn의 함량별 박리력 특성을 나타낸다.

구분	무기층 종류	함량(wt%)	분리층 두께(nm)	박리력(N/25mm)
실시예 1	ITO	0.1	150 ~ 500	0.005
실시예 2	ITO	5	150 ~ 500	0.00973
실시예 3	ITO	7.5	150 ~ 500	0.01171
실시예 4	ITO	10	150 ~ 500	0.01241
비교예 1	없음	0	150 ~ 500	박리불가
비교예 2	IZO	5	150 ~ 500	박리불가
비교예 3	Cu	5	150 ~ 500	박리불가

표 1을 참조하면, 무기층(15)으로서, ITO를 적용하는 경우, 무기층(15)과 분리층(20)은 양호한 박리력 특성을 제공하는 것을 확인할 수 있다. 또한 무기층을 적용하지 않거나 IZO, Cu를 적용할 경우 무기층(15)과 분리층(20)이 박리되지 않는 것을 확인할 수 있다.

보다 구체적으로, 무기층(15)에 포함되는 Sn의 함량이 너무 낮을 경우(예를 들어, 0.1wt% 미만)에는 무기층(15)과 유기막인 분리층(2)의 성분이 눌러 붙는 경향이 발생하여 박리 특성이 저하되고, 무기층(15)에 포함되는 Sn의 함량이 너무 높을 경우(예를 들어, 10wt% 초과)에는 무기층(15)과 유기막인 분리층(20) 간의 박리력이 너무 높게 되어, 박리력이 상승하게 되어서 최종적으로는 박리가 되지 않는 문제점이 있다. 따라서, 무기층(15)에 포함되는 Sn의 함량은, 무기층(15)의 중량을 기준으로, 0.1~10wt%인 것이 바람직하다.

예를 들어, 분리단계(S70)에서는, 디라미네이션 기구물이 분리 부재(60)를 그립(grip)한 상태에서 물리력을 통해 캐리어 기판(10)이 형성되어 있는 무기층(15)을 분리층(20)으로부터 박리하여 분리하도록 구성될 수 있다.

도 13을 추가적으로 참조하면, 분리층(20) 상에 접합층(70)을 형성하는 과정이 수행된다.

예를 들어, 접합층(70)의 소재로는 광 경화형 접착제, 수계 접착제, 유기계 접착제 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

광 경화형 접착제는 UV 등의 광이 조사되는 경우 경화되는 접착제이다. 광 경화형 접착제는 광 경화 후 별도의 건조 공정이 필요 없으므로 제조공정이 단순하여 생산성이 향상된다.

예를 들어, 광 경화형 접착제로는 아크릴레이트, 불포화 폴리에스테르 등을 주성분으로 하는 라디칼 중합형과 에폭시, 옥세탄, 비닐 에테르 등을 주성분으로 하는 양이온 중합형이 사용될 수 있다.

도 14을 추가적으로 참조하면, 기재층 형성단계(S80)에서는, 접합층(70) 상에 기재층(80)을 형성하는 과정이 수행된다. 예를 들어, 기재층(80)은 투명 광학 필름 또는 편광판일 수 있다.

투명 광학 필름은 투명성, 기계적 강도, 열 안정성이 우수한 필름이 사용될 수 있으며, 구체적인 예로는, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌이소프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르계 수지; 디아세틸셀룰로오스, 트리아세틸셀룰로오스 등의 셀룰로오스계 수지; 폴리카보네이트계 수지; 폴리메틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸(메타)아크릴레이트 등의 아크릴계 수지; 폴리스티렌, 아크릴로니트릴-스티렌 공중합체 등의 스티렌계 수지; 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 시클로계 또는 노보넨 구조를 갖는 폴리올레핀, 에틸렌-프로필렌 공중합체 등의 폴리올레핀계 수지; 염화비닐계 수지; 나일론, 방향족 폴리아미드 등의 아미드계 수지; 이미드계 수지; 폴리에테르술폰계 수지; 술폰계 수지; 폴리에테르에테르케톤계 수지; 황화 폴리페닐렌계 수지; 비닐알코올계 수지; 염화비닐리덴계 수지; 비닐부티랄계 수지; 알릴레이트계 수지; 폴리옥시메틸렌계 수지; 에폭시계 수지 등과 같은 열가소성 수지로 구성된 필름을 들 수 있으며, 상기 열가소성 수지의 블렌드물로 구성된 필름도 사용할 수 있다. 또한, (메타)아크릴계, 우레탄계, 아크릴우레탄계, 에폭시계, 실리콘계 등의 열경화성 수지 또는 자외선 경화형 수지로 된 필름을 이용할 수도 있다. 이와 같은 투명 광학 필름의 두께는 적절히 결정될 수 있지만, 일반적으로는 강도나 취급성 등의 작업성, 박층성 등을 고려하여, 1 ∼ 500㎛로 결정될 수 있다.

특히 1 ∼ 300㎛가 바람직하고, 5 ∼ 200㎛가 보다 바람직하다.

이러한 투명 광학 필름은 적절한 1종 이상의 첨가제가 함유된 것일 수도 있다. 첨가제로는, 예컨대 자외선흡수제, 산화방지제, 윤활제, 가소제, 이형제, 착색방지제, 난연제, 핵제, 대전방지제, 안료, 착색제 등을 들 수 있다. 투명 광학 필름은 필름의 일면 또는 양면에 하드코팅층, 반사방지층, 가스배리어층과 같은 다양한 기능성층을 포함하는 구조일 수 있으며, 기능성층은 전술한 것으로 한정되는 것은 아니며, 용도에 따라 다양한 기능성층을 포함할 수 있다.

또한, 필요에 따라 투명 광학 필름은 표면 처리된 것일 수 있다. 이러한 표면 처리로는 플라즈마(plasma) 처리, 코로나(corona) 처리, 프라이머(primer) 처리 등의 건식 처리, 검화 처리를 포함하는 알칼리 처리 등의 화학 처리 등을 들 수 있다.

또한, 투명 광학 필름은 등방성 필름, 위상차 필름 또는 보호 필름(Protective Film)일 수 있다.

등방성 필름인 경우 면내 위상차(Ro, Ro=[(nx-ny)ⅹd], nx, ny는 필름 평면 내의 주굴절률, d는 필름 두께이다.)가 40nm 이하이고, 15nm 이하가 바람직하며, 두께방향 위상차(Rth, Rth=[(nx+ny)/2-nz]ⅹd, nx, ny는 필름 평면 내의 주굴절률, nz는 필름 두께 방향의 굴절률, d는 필름 두께이다.)가 -90nm ∼ +75nm 이며, 바람직하게는 -80nm ∼ +60nm, 특히 -70nm ∼ +45nm 가 바람직하다.

위상차 필름은 고분자 필름의 일축 연신, 이축 연신, 고분자 코팅, 액정 코팅의 방법으로 제조된 필름이며, 일반적으로 디스플레이의 시야각 보상, 색감 개선, 빛샘 개선, 색미 조절 등의 광학 특성 향상 및 조절을 위하여 사용된다. 위상차 필름의 종류에는 1/2 이나 1/4 등의 파장판, 양의 C플레이트, 음의 C플레이트, 양의 A플레이트, 음의 A플레이트, 이축성 파장판을 포함한다.

보호 필름은 고분자 수지로 이루어진 필름의 적어도 일면에 점착층을 포함하는 필름이거나 폴리프로필렌 등의 자가 점착성을 가진 필름일 수 있으며, 터치 센서 표면의 보호, 공정성 개선을 위하여 사용될 수 있다.

편광판은 표시 패널에 사용되는 공지의 것이 사용될 수 있다. 구체적으로는, 폴리비닐알코올 필름을 연신하여 요오드나 이색성 색소를 염색한 편광자의 적어도 일면에 보호층을 설치하여 이루어진 것, 액정을 배향하여 편광자의 성능을 갖도록 하여 만든 것, 투명필름에 폴리비닐알코올 등의 배향성 수지를 코팅하고 이것을 연신 및 염색하여 만든 것을 들 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

도 15를 추가적으로 참조하면, 분리 부재가 제거되는 과정이 수행되며, 이 과정은 생략될 수도 있는 선택적인 과정이다.

본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 결과물을 나타내는 도 15를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서는, 연성 재질의 기재층(80), 기재층(80) 상에 형성된 분리층(20), 분리층(20) 상에 형성된 제1 보호층(30), 제1 보호층(30) 상에 형성된 메쉬 구조를 갖는 터치 센서층(40) 및 터치 센서층(40) 상에 형성된 제2 보호층(50)을 포함한다. 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서의 구조 및 기능에 대해서는, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법을 설명하는 과정에서, 설명되었으므로, 중복되는 설명은 생략한다.

도 16은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 흐름도이고, 도 17 내지 도 26은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 공정 단면도들이다.

도 16을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서 제조방법은 무기층 형성단계(S10), 분리층 형성단계(S20), 제1 보호층 형성단계(S30), 터치 센서층 형성단계(S40), 제2 보호층 형성단계(S50), 기재층 형성단계(S90) 및 분리단계(S100)를 포함한다.

도 17 내지 도 26을 추가적으로 참조하면, 제2 실시 예와 앞서 상세히 설명한 제1 실시 예 간의 차이점은 다음과 같다.

첫째, 제1 실시 예는 기재층(80)이 접합층(70)을 매개로 분리층(20)에 접합되도록 구성되는 반면, 제2 실시 예는 기재층(80)이 접합층(70)을 매개로 제2 보호층(50)에 접합되도록 구성된다.

둘째, 제1 실시 예는 분리부재 형성단계(S60)와 분리단계(S70)가 수행된 이후, 기재층 형성단계(S80)가 수행되도록 구성되는 반면, 제2 실시 예는 기재층 형성단계(S90)가 수행된 이후, 최종적으로 분리단계(S100)가 수행되도록 구성된다.

본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 결과물을 나타내는 도 26을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서는, 분리층(20), 분리층(20) 상에 형성된 제1 보호층(30), 제1 보호층(30) 상에 형성된 메쉬 구조를 갖는 터치 센서층(40), 터치 센서층(40) 상에 형성된 제2 보호층(50), 제2 보호층(50) 상에 형성된 연성 재질의 기재층(80)을 포함한다. 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서의 구조 및 기능에 대해서는, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법을 설명하는 과정에서, 설명되었으므로, 중복되는 설명은 생략한다.

본 발명에 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법의 중간 결과물을 나타내는 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서 적층체는, 캐리어 기판(10), 캐리어 기판(10) 상에 형성된 분리층(20), 분리층(20) 상에 형성된 제1 보호층(30), 제1 보호층 상에 형성된 터치 센서층(40) 및 터치 센서층(40) 상에 형성된 제2 보호층(50)을 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 센서 적층체의 구조 및 기능에 대해서는, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 필름 터치 센서 제조방법을 설명하는 과정에서, 설명되었으므로, 중복되는 설명은 생략한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 박리성을 개선할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 터치 센서층을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서, 터치 센서층에 불필요한 잔여물이 남는 것을 방지하고, 박리시 발생하는 장력에 의해 박리면에 컬(curl)과 크랙(crack)이 발생하는 것을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 캐리어 기판으로부터 분리되는 면인 터치 센서층의 박리면의 표면 거칠기를 낮춰 터치 센서의 품질을 향상시킬 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

또한, 터치 센서층을 구성하는 전극 패턴들로 인해 유발될 수 있는 시인성 저하 현상을 방지할 수 있는 터치 센서 적층체와 필름 터치 센서 및 그 제조방법이 제공되는 효과가 있다.

10: 캐리어 기판
15: 무기층
20: 분리층
30: 제1 보호층
40: 터치 센서층
41: 제1 감지 패턴들
42: 제2 감지 패턴들
45: 절연층
47: 연결 패턴들
50: 제2 보호층
60: 분리 부재
70: 접합층
80: 기재층
S10: 무기층 형성단계
S20: 분리층 형성단계
S30: 제1 보호층 형성단계
S40: 터치 센서층 형성단계
S50: 제2 보호층 형성단계
S60: 분리부재 형성단계
S70, S100: 분리단계
S80, S90: 기재층 형성단계

Claims (10)

1. 캐리어 기판;
   상기 캐리어 기판 상에 형성된 분리층; 및
   상기 분리층 상에 형성된 터치 센서층을 포함하는, 터치 센서 적층체.
2. 제1항에 있어서,
   상기 분리층과 상기 터치 센서층 사이에 형성된 제1 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
3. 제1항에 있어서,
   상기 터치 센서층은,
   제1 방향을 따라 서로 연결된 제1 감지 패턴과 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 분리된 제2 감지 패턴을 구비한 감지 패턴;
   상기 서로 분리된 제2 패턴을 연결하는 연결 패턴; 및
   상기 감지 패턴과 상기 연결 패턴 사이에 형성된 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
4. 제1항에 있어서,
   상기 터치 센서층 상에 형성된 제2 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
5. 제1항에 있어서,
   상기 터치 센서층은 메쉬 패턴으로 형성된 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
6. 제1항에 있어서,
   상기 터치 센서층은 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO); 또는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 및 APC로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
7. 제3항에 있어서,
   상기 절연층은 무기물로 형성된 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
8. 제7항에 있어서,
   상기 무기물은 실리콘산화물(SiOx)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
9. 제4항에 있어서,
   상기 제2 보호층은 무기물로 형성된 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
10. 제9항에 있어서,
    상기 무기물은 실리콘산화물(SiOx)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 터치 센서 적층체.
    

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