KR20170081052A - Pad area electrode structure and display device having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부 보호층을 레이저 패터닝 공정으로 제거하는 과정시 SiON 잔막 불량이 발생하는 것을 방지하도록 설계된 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치에 대하여 개시한다.
이를 위해, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 제2 패드의 설계시 제2 패드의 양측 장변으로부터 외측으로 돌출되는 돌출부를 설계하였다.
이에 따라, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부의 설계를 통해 제2 패드의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드와 패드 전극 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성을 확보할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극을 덮는 외부 보호층을 완벽하게 제거하는 것이 가능하여, SiON 잔막 불량이 발생하지 않게 되므로, 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
The present invention discloses a pad electrode structure and a display device having the pad electrode structure designed to prevent defective SiON residue film from occurring in the process of removing the outer protective layer by a laser patterning process.
To this end, the pad electrode structure and the display device having the pad structure according to the present invention are designed to protrude outward from both long sides of the second pad when designing the second pad.
Accordingly, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can increase the area of the second pad through the design of the protrusion while minimizing the area increase of the pad electrode, It is possible to secure the bonding resistance by the effect of expanding.
Accordingly, the pad electrode structure according to the present invention and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can completely remove the outer protective layer covering the pad electrode, thereby preventing defective SiON residual film, thereby improving the production yield.

Description

패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치{PAD AREA ELECTRODE STRUCTURE AND DISPLAY DEVICE HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pad electrode structure,

본 발명은 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a pad electrode structure and a display device having the same.

최근 들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 유기전계발광 표시 장치(Electro-luminescence Display Device) 등이 있다.2. Description of the Related Art In recent years, various flat panel display devices capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of a cathode ray tube (CRT), have been developed. Such flat panel display devices include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electro-luminescence display device.

이러한 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 이들 중, 플라즈마 디스플레이 패널은 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목 받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)가 적용된 액티브 매트릭스 액정표시장치는 반도체 공정을 이용하기 때문에 대화면화가 어렵다. 또한, 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다.Researches for increasing the display quality of such a flat panel display device and attempting to make it larger have been actively conducted. Among these, the plasma display panel has attracted attention as a most advantageous display device in terms of simplicity and small size because of its simple structure and manufacturing process, but it has a disadvantage of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix liquid crystal display device to which a thin film transistor (TFT) is applied as a switching device is difficult to make a large screen because it uses a semiconductor process. Further, there is a drawback in that power consumption is large due to the backlight unit, and optical elements such as a polarizing filter, a prism sheet, and a diffusion plate have a large optical loss and a narrow viewing angle.

이에 비하여, 유기전계발광 표시 장치는 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 또한, 유기전계발광 표시 장치는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있다.
On the other hand, the organic electroluminescence display device is a self-luminous element which emits light by itself, has a high response speed, and is advantageous in luminous efficiency, luminance and viewing angle. In addition, the organic light emitting display device can be driven at a low DC voltage of several tens volts, have a fast response speed, can obtain high luminance, and emit various colors of R, G, and B.

도 1은 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 외부 보호층을 레이저 패터닝 방식으로 제거하는 과정을 설명하기 위한 모식도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device, and FIG. 2 is a schematic view illustrating a process of removing an outer protective layer by a laser patterning method.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)는 제1 기판(10)과, 제1 기판(10)과 대향하는 제2 기판(95)을 포함한다.1 and 2, a conventional organic light emitting display device 1 includes a first substrate 10 and a second substrate 95 opposed to the first substrate 10.

이때, 제1 기판(10)은 화상을 구현하는 표시 영역(AA)과, 화상을 구현하지 않는 비표시 영역(NAA)을 갖는다. 이러한 제1 기판(10)의 재질로는 유리, 플라스틱 등이 이용될 수 있다. 그리고, 제2 기판(95)의 재질로는 유리, 플라스틱, 스테인리스 스틸(stainless steel), 페이스 씰 메탈(face seal metal) 등이 이용될 수 있으며, 이 중 페이스 씰 메탈을 이용하려는 시도가 진행 중에 있다.At this time, the first substrate 10 has a display area AA for realizing an image and a non-display area NAA for not realizing an image. As the material of the first substrate 10, glass, plastic, or the like may be used. As the material of the second substrate 95, glass, plastic, stainless steel, face seal metal, or the like can be used. In the process of using the face seal metal, have.

도면으로 상세히 나타내지는 않았지만, 제1 기판(10) 상의 표시 영역(AA)에는 복수의 게이트 배선(미도시)과 복수의 데이터 배선(미도시)이 교차하여 정의하는 복수의 화소 영역(미도시)과, 각 화소 영역 별로 배치된 박막 트랜지스터(DTr)와, 박막 트랜지스터(DTr)와 연결된 유기발광 다이오드(E)가 배치된다.A plurality of pixel regions (not shown) defined by intersecting a plurality of gate wirings (not shown) and a plurality of data wirings (not shown) are formed in the display region AA on the first substrate 10, A thin film transistor DTr arranged for each pixel region, and an organic light emitting diode E connected to the thin film transistor DTr.

또한, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)는 보호 접착층(90) 및 캡핑층(65)을 더 포함할 수 있다.In addition, the conventional organic light emitting display device 1 may further include a protective bonding layer 90 and a capping layer 65.

보호 접착층(90)은 제1 기판(10) 및 제2 기판(95) 사이에 배치되어, 제1 기판(10)과 제2 기판(95)을 합착시키는 역할을 한다.The protective adhesive layer 90 is disposed between the first substrate 10 and the second substrate 95 and serves to adhere the first substrate 10 and the second substrate 95 to each other.

캡핑층(65)은 유기발광 다이오드(E)의 상측을 덮도록 설계되어, 외부로부터 유입되는 수분 및 습기로부터 유기발광 다이오드(E)를 보호하는 역할을 한다.
The capping layer 65 is designed to cover the top of the organic light emitting diode E and protects the organic light emitting diode E from moisture and moisture introduced from the outside.

한편, 제1 기판(10)의 비표시 영역(NAA)에는 패드부(40)가 배치된다. 이때, 패드부(40)는 게이트 패드부 및 데이터 패드부를 포함할 수 있다. 이에 더불어, 패드부(40)는 복수의 데이터 배선과 이격 배치되는 전원공급 배선(미도시)과 연결되는 전원공급 패드부를 포함할 수 있다.On the other hand, the pad portion 40 is disposed in the non-display area NAA of the first substrate 10. At this time, the pad portion 40 may include a gate pad portion and a data pad portion. In addition, the pad portion 40 may include a power supply pad portion connected to power supply wiring (not shown) spaced apart from the plurality of data wirings.

이때, 제1 기판(10) 상의 비표시 영역(NAA)에 배치된 패드부(40)와 표시 영역(AA)에 배치된 캡핑층(65) 전면을 덮는 외부 보호층(85)이 더 배치될 수 있다. 이러한 외부 보호층(85)은 제1 기판(10)의 내부에 배치되는 박막 트랜지스터(DTr) 및 유기발광 다이오드(E) 등을 수분 및 습기로부터 보호하는 역할을 한다.At this time, the pad portion 40 disposed in the non-display area NAA on the first substrate 10 and the outer protective layer 85 covering the entire surface of the capping layer 65 disposed in the display area AA are further disposed . The outer protective layer 85 protects the thin film transistor DTr and the organic light emitting diode E disposed inside the first substrate 10 from moisture and moisture.

이때, 외부 보호층(185)은 마스크를 사용하는 것이 없이 제1 기판(10)의 전면에 증착한 후, 레이저 패터닝 장비를 이용하여 패드부(40)를 덮는 외부 보호층(85)만을 선택적으로 제거하는 방식으로 패드부(40)를 노출시키고 있다.In this case, the outer protective layer 185 is deposited on the entire surface of the first substrate 10 without using a mask, and then only the outer protective layer 85 covering the pad portion 40 is selectively patterned by laser patterning equipment The pad portion 40 is exposed.

즉, 제1 기판(10) 상의 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)의 전면에 마스크를 사용하는 것 없이 전면 증착을 실시하는 것을 통해 외부 보호층(85)을 형성한 후, 보호 접착층(90)을 매개로 제1 기판(10)과 제2 기판(95)을 합착시키게 된다.That is, after the outer protective layer 85 is formed by performing front-surface deposition on the entire surface of the display area AA and the non-display area NAA on the first substrate 10 without using a mask, The first substrate 10 and the second substrate 95 are attached to each other through the through hole 90.

이와 같이, 제1 기판(10) 및 제2 기판(95) 간의 합착이 완료되면, 패드부(40)를 덮는 외부 보호층(85)과 이격된 상부에 레이저 패터닝 장비(L)를 장착시킨 상태에서 X축 및 Y축 방향을 따라 레이저 패터닝 장비(L)를 이동해 가면서 레이저 조사를 실시하는 방식으로 제1 기판(10) 상의 패드부(40)를 노출시키게 된다.
When the adhesion between the first substrate 10 and the second substrate 95 is completed, the laser patterning equipment L is mounted on the upper portion of the outer protective layer 85 covering the pad portion 40 The pad portion 40 on the first substrate 10 is exposed by laser irradiation while moving the laser patterning equipment L along the X-axis and Y-axis directions.

그러나, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)의 경우, 레이저 패터닝 장비(L)를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드부(40)를 덮는 외부 보호층(85)이 완벽하게 제거되지 못하고 잔류하는 잔막 불량이 발생하고 있다. 이로 인해, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)는 레이저 패터닝 공정시 발생하는 잔막 불량에 의해 패드부(140)의 접촉 신뢰성이 저하되는 문제가 있었다.
However, in the conventional organic light emitting display device 1, in the laser patterning process using the laser patterning device L, the outer protective layer 85 covering the pad portion 40 can not be completely removed, The residual film defect has occurred. Accordingly, the organic light emitting display device 1 according to the related art has a problem that the contact reliability of the pad portion 140 is deteriorated due to a defective residual film occurring in a laser patterning process.

이에 대해서는 이하 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.This will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

도 3은 종래에 따른 패드부 전극 구조를 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이며, 도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV 'in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V' in FIG. Sectional view.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 종래에 따른 패드부 전극 구조(40)는 제1 패드(42), 절연막(25, 35), 제2 패드(44) 및 패드 전극(46)을 포함한다.
3 to 5, a conventional pad electrode structure 40 includes a first pad 42, insulating films 25 and 35, a second pad 44, and a pad electrode 46 do.

제1 패드(42)는 제1 기판(10) 상의 비표시 영역(NAA)에 배치된다. 이러한 제1 패드(42)는 제1 기판(10) 상의 제1 방향을 따라 배치되는 게이트 배선(미도시)과 동일층에 배치될 수 있다.
The first pad 42 is disposed in the non-display area NAA on the first substrate 10. [ The first pads 42 may be disposed on the same layer as the gate wiring (not shown) disposed along the first direction on the first substrate 10.

절연막(25, 35)은 제1 기판(10) 상에 차례로 적층된 게이트 절연막(25) 및 층간 절연막(35)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 패드(42)는 게이트 절연막(25) 상에 배치될 수 있다.The insulating films 25 and 35 may include a gate insulating film 25 and an interlayer insulating film 35 which are sequentially stacked on the first substrate 10. At this time, the first pad 42 may be disposed on the gate insulating film 25.

이러한 절연막(25, 35)은 제1 패드(42)를 노출시키는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 갖는다. 보다 구체적으로, 복수의 패드 컨택홀(PCH)은 제1 패드(42)를 덮는 절연막(25, 35) 중 층간 절연막(25)의 일부를 제거하는 것에 의해 형성될 수 있다.The insulating films 25 and 35 have a plurality of pad contact holes PCH exposing the first pads 42. More specifically, the plurality of pad contact holes PCH may be formed by removing a part of the interlayer insulating film 25 from among the insulating films 25 and 35 covering the first pads 42.

제2 패드(44)는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 통해 제1 패드(42)에 접속된다. 이에 따라, 제2 패드(44)는 층간 절연막(25) 상에 배치된다.The second pad 44 is connected to the first pad 42 through a plurality of pad contact holes PCH. Accordingly, the second pads 44 are disposed on the interlayer insulating film 25.

패드 전극(46)은 제2 패드(44) 상에 적층되어 제2 패드(44)에 접속된다. 이러한 패드 전극(46)은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명한 금속 재질로 형성될 수 있다.The pad electrode 46 is stacked on the second pad 44 and connected to the second pad 44. The pad electrode 46 may be formed of a transparent metal such as ITO, IZO, or ITZO.

이때, 제2 패드(44)는, 평면 상으로 볼 때, 제1 면적을 갖는 직사각형으로 설계된다. 그리고, 전극 전극(46)은, 평면 상으로 볼 때, 제2 패드(44)와 중첩된 상부에서 제2 패드(44)의 외측으로 연장되어 제2 패드(44)를 감싸는 형태로 설계하고 있다. 이에 따라, 패드 전극(46)은 제1 면적보다 넓은 제2 면적을 갖는다.
At this time, the second pad 44 is designed as a rectangle having a first area when viewed in a plan view. The electrode pad 46 is designed to extend from the upper portion of the second pad 44 to the outside of the second pad 44 and cover the second pad 44 when viewed in a plan view . Accordingly, the pad electrode 46 has a second area larger than the first area.

특히, 종래에 따른 패드부 전극 구조(40)는 제2 패드(44)의 끝단으로부터 패드 전극(46)의 끝단까지의 간격(d)이 2.6 ~ 3.4㎛로 설계되고 있고, 인접한 패드 전극(46)들 사이의 간격(D)은 13.5 ~ 15.5㎛로 설계하고 있다.Particularly, in the conventional pad electrode structure 40, the distance d from the end of the second pad 44 to the end of the pad electrode 46 is designed to be 2.6 to 3.4 μm, ) Is designed to be 13.5 to 15.5 mu m.

이때, 종래에 따른 패드부 전극 구조(40)는 제2 패드(44) 및 패드 전극(46)이 직사각형 형상으로 각각 설계되는데 기인하여 복수의 패드 컨택홀(PCH)이 배치되는 부분과 복수의 패드 컨택홀(PCH)이 배치되지 않는 부분의 구분 없이 제2 패드(44)의 끝단으로부터 패드 전극(46)의 끝단까지의 간격이 모두 2.6 ~ 3.4㎛로 설계되고 있다.The pad electrode structure 40 according to the related art has a structure in which a plurality of pad contact holes PCH are arranged and a plurality of pads 44 are formed by designing the second pad 44 and the pad electrode 46 in a rectangular shape, The distance from the end of the second pad 44 to the end of the pad electrode 46 is designed to be 2.6 to 3.4 탆 without any distinction of the portion where the contact hole PCH is not disposed.

이 경우, 제2 패드(44)의 끝단으로부터 패드 전극(46)의 끝단까지의 간격을 증가시켜 패드 전극(46)의 면적 확장을 통해 전도성을 향상시킬 경우, 레이저 패터닝 공정시 전도도 증가에 의해 열 전달이 잘 이루어질 수 있어 잔막이 발생되지 않을 수 있다.In this case, when the distance from the end of the second pad 44 to the end of the pad electrode 46 is increased to improve the conductivity by enlarging the area of the pad electrode 46, The transfer may be performed well and the residual film may not be generated.

그러나, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)는 고해상도 추세에 따라 패드부(40)의 면적이 점점 협소해지고 있는 관계로 제2 패드(44)의 끝단으로부터 패드 전극(46)의 끝단까지의 간격을 증가시키는데 회로 설계의 제약이 있으므로, 패드 전극(46)의 면적을 무작정 확장 설계하는 것이 불가능한 상황이다.However, in the conventional organic light emitting display device 1, since the area of the pad portion 40 becomes narrower in accordance with the trend of high resolution, the distance from the end of the second pad 44 to the end of the pad electrode 46 There is a limitation in the circuit design to increase the interval, and therefore it is impossible to design the area of the pad electrode 46 by extension.

이러한 이유로 인하여, 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치(1)는 레이저 패터닝 공정시 발생하는 잔막 불량에 의해 생산 수율이 저하되는 문제가 있었다. For this reason, the organic electroluminescent display device 1 according to the related art has a problem in that the production yield is lowered due to defective residual film occurring in the laser patterning process.

관련 선행문헌으로는 대한민국 등록특허공보 제10-0624314호(2006.09.19. 공고)가 있으며, 상기 문헌에는 발광표시장치 및 박막트랜지스터가 기재되어 있다.
A related prior art is Korean Patent Registration No. 10-0624314 (published on Sep. 19, 2006), which discloses a light emitting display device and a thin film transistor.

본 발명은 외부 보호층을 레이저 패터닝 공정으로 제거하는 과정시 SiON 잔막 불량이 발생하는 것을 방지하도록 설계된 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치를 제공하는 것이다.The present invention provides a pad electrode structure and a display device having the pad electrode structure, which are designed to prevent defective SiON residue film from occurring in the process of removing the external protection layer by a laser patterning process.

이를 위해, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 제2 패드의 설계시 제2 패드의 양측 장변으로부터 외측으로 돌출되는 돌출부를 설계하였다.To this end, the pad electrode structure and the display device having the pad structure according to the present invention are designed to protrude outward from both long sides of the second pad when designing the second pad.

보다 구체적으로, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 돌출부 끝단까지의 간격인 제1 간격(d1)은 2.6 ~ 3.4㎛를 갖도록 설계하였다.More specifically, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention are designed so that the first distance d1, which is the distance between the long side ends of both sides of the pad electrode and the end of the projection of the second pad, is 2.6 to 3.4 μm .

이와 달리, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 양측 장변 끝단까지의 간격인 제2 간격(d2)은 4 ~ 6㎛를 갖도록 설계하였다.In contrast, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention are designed to have a second gap d2 of 4 to 6 μm, which is a distance from both long side ends of the pad electrode to both long side ends of the second pad .

이에 따라, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부의 설계를 통해 제2 패드의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드와 패드 전극 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성을 개선할 수 있다.Accordingly, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can increase the area of the second pad through the design of the protrusion while minimizing the area increase of the pad electrode, Can be improved to improve the bonding resistance.

또한, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화하면서도 돌출부를 갖는 제2 패드를 통해, 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드 전극 및 제2 패드의 접촉 면적 증가에 의한 전도도 증가로 열 전달이 효율적으로 이루어질 수 있다.
In addition, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can minimize the area increase of the pad electrode, and can prevent the pad electrode and the second pad from being damaged during the laser patterning process using the laser pad- As the conductivity increases due to the increased contact area, heat transfer can be efficiently performed.

본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 제2 패드의 설계시 제2 패드의 양측 장변으로부터 외측으로 돌출되는 돌출부를 설계한 것을 특징으로 한다.The pad electrode structure according to the present invention and the display device having the pad electrode structure according to the present invention are designed such that protrusions protruding outward from both long sides of the second pad when designing the second pad are designed.

이에 따라, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 돌출부 끝단까지의 간격인 제1 간격(d1)은 2.6 ~ 3.4㎛를 갖는다.Accordingly, the pad electrode structure according to the present invention and the display device having the pad electrode structure have a first distance d1 of 2.6 to 3.4 탆 which is a distance from both long sides of the pad electrode to the end of the projection of the second pad.

이와 달리, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 양측 장변 끝단까지의 간격인 제2 간격(d2)은 4 ~ 6㎛를 갖는다.In contrast, in the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention, the second interval d2 between the long side ends of both sides of the pad electrode to the long side ends of both sides of the second pad is 4 to 6 탆.

따라서, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 제1 간격과 제2 간격 상호 간에 길이 편차를 갖는다.Therefore, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention have a length deviation between the first interval and the second interval.

이 결과, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부의 설계를 통해 제2 패드의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드와 패드 전극 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성을 개선할 수 있다.As a result, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can increase the area of the second pad through the design of the projection while minimizing the area increase of the pad electrode, Can be improved to improve the bonding resistance.

또한, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화하면서도 돌출부를 갖는 제2 패드를 통해, 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드 전극 및 제2 패드의 접촉 면적 증가에 의한 전도도 증가로 열 전달이 효율적으로 이루어질 수 있다.In addition, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can minimize the area increase of the pad electrode, and can prevent the pad electrode and the second pad from being damaged during the laser patterning process using the laser pad- As the conductivity increases due to the increased contact area, heat transfer can be efficiently performed.

따라서, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극을 덮는 외부 보호층을 완벽하게 제거하는 것이 가능하여, SiON 잔막 불량이 발생하지 않게 된다.
Therefore, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can completely remove the outer protective layer covering the pad electrode, so that defective SiON residual film is not generated.

본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부의 설계를 통해 제2 패드의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드와 패드 전극 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성을 개선할 수 있다.The pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can increase the area of the second pad by designing the protrusion while minimizing the area increase of the pad electrode, It is possible to improve the bonding resistance.

또한, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극의 면적 증가를 최소화하면서도 돌출부를 갖는 제2 패드를 통해, 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드 전극 및 제2 패드의 접촉 면적 증가에 의한 전도도 증가로 열 전달이 효율적으로 이루어질 수 있다.In addition, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can minimize the area increase of the pad electrode, and can prevent the pad electrode and the second pad from being damaged during the laser patterning process using the laser pad- As the conductivity increases due to the increased contact area, heat transfer can be efficiently performed.

따라서, 본 발명에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치는 패드 전극을 덮는 외부 보호층을 완벽하게 제거하는 것이 가능하여, SiON 잔막 불량이 발생하지 않게 되므로, 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
Therefore, the pad electrode structure and the display device having the pad electrode structure according to the present invention can completely remove the outer protective layer covering the pad electrode, and the defective SiON residual film does not occur, so that the production yield can be improved.

도 1은 종래에 따른 유기전계발광 표시 장치를 나타낸 단면도.
도 2는 외부 보호층을 레이저 패터닝 방식으로 제거하는 과정을 설명하기 위한 모식도.
도 3은 종래에 따른 패드부 전극 구조를 나타낸 평면도.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조를 나타낸 평면도.
도 8은 도 7의 단위 패드부를 확대하여 나타낸 평면도.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device.
2 is a schematic view for explaining a process of removing an outer protective layer by a laser patterning method.
3 is a plan view of a conventional pad electrode structure.
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV 'of FIG. 3;
5 is a cross-sectional view taken along the line V-V 'in FIG. 3;
6 is a cross-sectional view illustrating a display device according to an embodiment of the present invention.
7 is a plan view showing a pad electrode structure according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an enlarged plan view of the unit pad portion of FIG. 7; FIG.
9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX 'of Fig.
10 is a sectional view taken along the line X-X 'in Fig. 8; Fig.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings, which are not intended to limit the scope of the present invention. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to denote the same or similar elements.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 패드부 전극 구조 및 이를 갖는 표시 장치에 대하여 설명하도록 한다.
Hereinafter, a pad electrode structure according to a preferred embodiment of the present invention and a display device having the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조를 나타낸 평면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view illustrating a pad electrode structure according to an embodiment of the present invention.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 제1 기판(110), 박막 트랜지스터(DTr), 유기발광 다이오드(E), 캡핑층(165), 제1 패드(142), 절연막(125, 135, 150), 제2 패드(144), 패드 전극(146) 및 외부 보호층(185)을 포함한다.
6 and 7, a display device 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first substrate 110, a thin film transistor DTr, an organic light emitting diode E, a capping layer 165, A second pad 144, a pad electrode 146, and an external protection layer 185. The first and second pads 144,

제1 기판(110)은 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)을 갖는다. 이러한 제1 기판(110)의 재질로는 유리, 플라스틱 등이 이용될 수 있다. 도면으로 상세히 나타내지는 않았지만, 제1 기판(110) 상에는 버퍼층(미도시)이 더 배치되어 있을 수 있다. 이때, 버퍼층은 박막 트랜지스터(DTr)의 반도체층(120)의 결정화시 제1 기판(110)의 내부로부터 용출되는 알칼리 이온의 방출에 의한 반도체층(120)의 특성 저하를 방지하는 역할을 한다.
The first substrate 110 has a display area AA and a non-display area NAA. As the material of the first substrate 110, glass, plastic, or the like may be used. Although not shown in detail in the drawing, a buffer layer (not shown) may be further disposed on the first substrate 110. At this time, the buffer layer prevents the characteristic of the semiconductor layer 120 from being deteriorated due to the release of the alkali ions, which are released from the inside of the first substrate 110, when the semiconductor layer 120 of the thin film transistor DTr is crystallized.

박막 트랜지스터(DTr)는 제1 기판(110) 상에 배치된 반도체층(120)과, 반도체층(120)을 덮는 게이트 절연막(125)과, 반도체층(120)과 중첩되도록 게이트 절연막(125) 상에 배치된 게이트 전극(122)과, 게이트 전극(122)을 덮는 층간 절연막(135)과, 게이트 전극(122)을 사이에 두고, 상호 이격 배치되어 반도체층(120)에 각각 접속된 소스 및 드레인 전극(122, 124)을 포함할 수 있다. 이러한 박막 트랜지스터(DTr)는 구동 트랜지스터 및 스위칭 트랜지스터를 포함할 수 있으며, 도 6에서는 구동 트랜지스터만을 일 예로 나타내었다.The thin film transistor DTr includes a semiconductor layer 120 disposed on the first substrate 110, a gate insulating layer 125 covering the semiconductor layer 120, a gate insulating layer 125 overlapping the semiconductor layer 120, An interlayer insulating film 135 covering the gate electrode 122 and a source connected to the semiconductor layer 120 so as to be spaced apart from each other and sandwiching the gate electrode 122 between the gate electrode 122 and the gate electrode 122, Drain electrodes 122 and 124, respectively. The thin film transistor DTr may include a driving transistor and a switching transistor, and in FIG. 6, only the driving transistor is shown as an example.

이때, 반도체층(120)은 실리콘으로 이루어지며, 중앙에 배치되어 채널을 이루는 액티브 영역(120a)과, 액티브 영역(120a)을 사이에 두고 양측에 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인 영역(120b, 142c)으로 구분될 수 있다.At this time, the semiconductor layer 120 is made of silicon, and includes an active region 120a disposed at the center and forming a channel, a source and drain region 120b doped with a high impurity concentration at both sides of the active region 120a, , And 142c.

소스 및 드레인 전극(132, 134)은 소스 및 드레인 영역(120b, 120c)의 일부를 각각 노출시키는 제1 및 제2 반도체층 컨택홀(미도시)을 통해 반도체층(120)의 소스 및 드레인 영역(120b, 120c)과 각각 전기적으로 접속된다.
The source and drain electrodes 132 and 134 are electrically connected to the source and drain regions 120a and 120b of the semiconductor layer 120 through first and second semiconductor layer contact holes (not shown) (120b, 120c), respectively.

유기 발광 다이오드(E)는 박막 트랜지스터(DTr)에 연결된 제1 전극(160)과, 제1 전극(160) 상에 적층된 유기 발광층(170)과, 유기 발광층(170) 상에 적층된 제2 전극(180)을 포함한다. 일 예로, 제1 전극(160)은 애노드(anode)로, 그리고 제2 전극(180)은 캐소드(cathode)의 역할을 할 수 있다.
The organic light emitting diode E includes a first electrode 160 connected to the thin film transistor DTr, an organic light emitting layer 170 laminated on the first electrode 160, and a second electrode 160 laminated on the organic light emitting layer 170. [ Electrode 180 as shown in FIG. For example, the first electrode 160 may serve as an anode, and the second electrode 180 may serve as a cathode.

캡핑층(165)은 유기발광 다이오드(E)의 상측을 덮도록 설계되어, 외부로부터 유입되는 수분 및 습기로부터 유기발광 다이오드(E)를 보호하는 역할을 한다.
The capping layer 165 is designed to cover the upper side of the organic light emitting diode E and protects the organic light emitting diode E from moisture and moisture introduced from the outside.

제1 패드(142)는 제1 기판(110) 상의 비표시 영역(NAA)에 배치된다. 이러한 제1 패드(142)는 제1 기판(110) 상의 비표시 영역(NAA) 가장자리에 배치될 수 있다. 이때, 제1 패드(142)는 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA)에 배치되는 게이트 배선(미도시)과 동일층에 배치될 수 있다.
The first pad 142 is disposed in the non-display area NAA on the first substrate 110. [ The first pad 142 may be disposed at the edge of the non-display area NAA on the first substrate 110. The first pad 142 may be disposed on the same layer as the gate wiring (not shown) disposed in the display area AA on the first substrate 110.

절연막(125, 135, 145)은 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)을 덮으며, 제1 패드(142)의 일부를 노출시키는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 갖는다. 이러한 절연막(125, 135, 135)은 제1 기판(110) 상에 차례로 적층된 제1 절연막(125), 제2 절연막(135) 및 제3 절연막(145)을 포함할 수 있다.The insulating films 125, 135, and 145 cover the display area AA and the non-display area NAA on the first substrate 110 and include a plurality of pad contact holes PCH ). The insulating layers 125, 135, and 135 may include a first insulating layer 125, a second insulating layer 135, and a third insulating layer 145, which are sequentially stacked on the first substrate 110.

이때, 제1 절연막(125)은 게이트 절연막이고, 제2 절연막(135)은 층간 절연막이며, 제3 절연막(145)은 보호막일 수 있다. 제3 절연막(135)은 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA)만을 덮도록 형성될 수도 있다. 여기서, 제1 패드(142)는 제1 절연막(125) 상에 배치될 수 있다.Here, the first insulating layer 125 may be a gate insulating layer, the second insulating layer 135 may be an interlayer insulating layer, and the third insulating layer 145 may be a protective layer. The third insulating layer 135 may be formed to cover only the display area AA on the first substrate 110. [ Here, the first pad 142 may be disposed on the first insulating layer 125.

복수의 패드 컨택홀(PCH)은 제1 패드(142)를 덮는 절연막(125, 135, 145) 중 제2 절연막(135)의 일부를 제거하는 것에 의해 형성될 수 있다. 이러한 복수의 패드 컨택홀(PCH)은 복수의 열 및 복수의 행을 갖는 매트릭스 형태로 이격 배치된다. 이때, 도 7에서는 복수의 패드 컨택홀(PCH)이 4 x 5 배열 구조를 일 예로 나타내었으나, 이는 예시적인 것으로 그 배열 구조는 다양한 형태가 적용될 수 있다.
The plurality of pad contact holes PCH may be formed by removing a portion of the second insulating layer 135 among the insulating layers 125, 135, and 145 covering the first pad 142. The plurality of pad contact holes PCH are spaced apart in a matrix form having a plurality of rows and a plurality of rows. In FIG. 7, a plurality of pad contact holes (PCH) are arranged in a 4 x 5 array structure. However, the array structure may be variously applied.

제2 패드(144)는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 통해 제1 패드(142)에 접속된다. 이러한 제2 패드(144)는 양측 장변으로부터 돌출된 복수의 돌출부(144a)를 갖는다. 이때, 복수의 돌출부(144a)는 복수의 패드 컨택홀(PCH)과 대응되는 동일 선상에 배치된다.
The second pad 144 is connected to the first pad 142 through a plurality of pad contact holes PCH. The second pad 144 has a plurality of protrusions 144a protruding from both long sides. At this time, the plurality of protrusions 144a are arranged on the same line corresponding to the plurality of pad contact holes PCH.

패드 전극(146)은 제2 패드(144) 상에 적층되어 제2 패드(144)에 접속된다. 이러한 패드 전극(146)은 제2 패드(144)의 외측으로 연장 배치된다. 이러한 패드 전극(146)은 제1 기판(110)의 표시 영역(AA)에 배치되는 유기발광 다이오드(E)의 제1 전극(160)과 동일층에 배치될 수 있다. 이에 따라, 패드 전극(146)은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명한 금속 재질로 형성될 수 있다.The pad electrode 146 is stacked on the second pad 144 and connected to the second pad 144. The pad electrode 146 is extended to the outside of the second pad 144. The pad electrode 146 may be disposed on the same layer as the first electrode 160 of the organic light emitting diode E disposed in the display area AA of the first substrate 110. Accordingly, the pad electrode 146 may be formed of a transparent metal such as ITO, IZO, or ITZO.

전술한 제1 패드(142), 제2 패드(144) 및 패드 전극(146)을 포함하여 패드부(140)라 정의할 수 있다. 이때, 패드부(140)는 게이트 패드부 및 데이터 패드부를 포함할 수 있다. 이에 더불어, 패드부(140)는 복수의 데이터 배선과 이격 배치되는 전원공급 배선(미도시)과 연결되는 전원공급 패드부를 포함할 수 있다.
The pad portion 140 may include the first pad 142, the second pad 144, and the pad electrode 146 described above. At this time, the pad portion 140 may include a gate pad portion and a data pad portion. In addition, the pad portion 140 may include a power supply pad portion connected to a power supply line (not shown) spaced apart from the plurality of data lines.

외부 보호층(185)은 캡핑층(165) 및 패드 전극(146)을 덮으며, 패드 전극(146)의 일부를 노출시키는 패드 전극 컨택 홀(LCH)을 갖는다. 이러한 외부 보호층(185)의 재질로는, 일 예로 SiON가 이용될 수 있다. 이때, 패드 전극 컨택 홀(LCH)은 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정에 의해 패드 전극(146)의 일부를 덮는 외부 보호층(185)을 선택적으로 제거하는 것에 의해 형성된다.
The external protection layer 185 covers the capping layer 165 and the pad electrode 146 and has a pad electrode contact hole LCH exposing a part of the pad electrode 146. As the material of the outer protective layer 185, for example, SiON may be used. At this time, the pad electrode contact hole (LCH) is formed by selectively removing the outer protective layer 185 covering a part of the pad electrode 146 by a laser patterning process using laser patterning equipment.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 제2 기판(195) 및 보호 접착층(190)을 더 포함할 수 있다.In addition, the display device 100 according to the embodiment of the present invention may further include a second substrate 195 and a protective adhesive layer 190.

이때, 제2 기판(195)은 외부 보호층(190)과 이격된 상부에 배치된다. 제2 기판(195)의 재질로는 유리, 플라스틱, 스테인리스 스틸(stainless steel), 페이스 씰 메탈(face seal metal) 등이 이용될 수 있으며, 이 중 페이스 씰 메탈에 대한 사용이 증가하고 있다.At this time, the second substrate 195 is disposed at an upper portion apart from the outer protective layer 190. As the material of the second substrate 195, glass, plastic, stainless steel, face seal metal, or the like can be used, and the use of the face seal metal is increasing.

또한, 보호 접착층(190)은 제2 기판(195)과 외부 보호층(185) 사이에 배치되어, 제1 및 제2 기판(110, 195)을 합착시키는 역할을 한다.
The protective adhesive layer 190 is disposed between the second substrate 195 and the outer protective layer 185 to bond the first and second substrates 110 and 195 together.

전술한 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 제2 패드(144)의 양측 장변에 돌출부(144a)를 설계하여 패드 전극(146)의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 돌출부(144a) 끝단까지의 간격과 패드 전극(146)의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드(144)의 양측 장변 끝단까지의 간격을 차등 설계하는 것을 통해 레이저 패터닝 공정시 잔막이 발생하는 불량을 개선하였다.
The display device 100 according to the embodiment of the present invention may have a protrusion 144a formed on both sides of both sides of the second pad 144 so that the protrusion 144a of the second pad 144 may be protruded from both long- The spacing between the ends of the pad electrode 146 and both ends of both sides of the pad electrode 146 is differentially designed to improve the defects that may occur during the laser patterning process.

이에 대해서는 이하 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.This will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

도 8은 도 7의 단위 패드부를 확대하여 나타낸 평면도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이며, 도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ' 선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.8 is a cross-sectional view taken along the line IX-IX 'of Fig. 8, and Fig. 10 is a cross-sectional view taken along the line X-X' of Fig. 8 Sectional view.

도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조(140)는 제1 패드(142), 절연막(125, 135), 제2 패드(144) 및 패드 전극(146)을 포함한다.
8 to 10, the pad electrode structure 140 according to the embodiment of the present invention includes a first pad 142, insulating films 125 and 135, a second pad 144, and a pad electrode 146).

제1 패드(142)는 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)을 갖는 제1 기판(110) 상의 비표시 영역(NAA)에 배치된다. 이러한 제1 패드(142)는 제1 기판(110) 상의 비표시 영역(NAA) 가장자리에 배치될 수 있다.
The first pad 142 is disposed in the non-display area NAA on the first substrate 110 having the display area AA and the non-display area NAA. The first pad 142 may be disposed at the edge of the non-display area NAA on the first substrate 110.

절연막(125, 135)은 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)을 덮으며, 제1 패드(142)의 일부를 노출시키는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 갖는다. 이러한 절연막(125, 135)은 제1 기판(110) 상에 차례로 적층된 제1 절연막(125) 및 제2 절연막(135)을 포함할 수 있다. 또한, 절연막(125, 135)은 제2 절연막(125) 상에 적층된 제3 절연막(도 6의 145)을 더 포함할 수도 있다.The insulating films 125 and 135 cover the display area AA and the non-display area NAA on the first substrate 110 and include a plurality of pad contact holes PCH exposing a part of the first pad 142 . The insulating layers 125 and 135 may include a first insulating layer 125 and a second insulating layer 135 sequentially stacked on the first substrate 110. The insulating films 125 and 135 may further include a third insulating film 145 (FIG. 6) stacked on the second insulating film 125.

이때, 제1 절연막(125)은 게이트 절연막이고, 제2 절연막(135)은 층간 절연막이며, 제3 절연막은 보호막일 수 있다. 제3 절연막은 제1 기판(110) 상의 비표시 영역(NAA)에는 형성되지 않고, 표시 영역(AA)만을 덮도록 형성될 수도 있다.Here, the first insulating layer 125 may be a gate insulating layer, the second insulating layer 135 may be an interlayer insulating layer, and the third insulating layer may be a protective layer. The third insulating film may not be formed in the non-display area NAA on the first substrate 110 but may be formed to cover only the display area AA.

복수의 패드 컨택홀(PCH)은 제1 패드(140)를 덮는 절연막(125, 135) 중 제2 절연막(135)의 일부를 제거하는 것에 의해 형성될 수 있다. 이러한 복수의 패드 컨택홀(PCH)은 복수의 열 및 복수의 행을 갖는 매트릭스 형태로 이격 배치된다. 이때, 도 7에서는 복수의 패드 컨택홀(PCH)이 4 x 5 배열 구조를 일 예로 나타내었으나, 이는 예시적인 것으로 그 배열 구조는 다양한 형태가 적용될 수 있다.
The plurality of pad contact holes PCH may be formed by removing a part of the second insulating layer 135 from among the insulating layers 125 and 135 covering the first pad 140. The plurality of pad contact holes PCH are spaced apart in a matrix form having a plurality of rows and a plurality of rows. In FIG. 7, a plurality of pad contact holes (PCH) are arranged in a 4 x 5 array structure. However, the array structure may be variously applied.

제2 패드(144)는 복수의 패드 컨택홀(PCH)을 통해 제1 패드(142)에 접속되며, 양측 장변으로부터 돌출된 복수의 돌출부(144a)를 갖는다. 이에 따라, 복수의 돌출부(144a)는 마주보는 양측에서 상호 대칭 구조로 돌출될 수 있다.The second pad 144 is connected to the first pad 142 through a plurality of pad contact holes PCH and has a plurality of protrusions 144a projecting from both long sides. Accordingly, the plurality of projecting portions 144a can protrude in mutually symmetrical structures on opposite sides.

이러한 돌출부(144a)의 형상은 사각형 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 삼각형, 오각형 등 다양한 형태로 설계 변경될 수도 있다.The shape of the protrusion 144a may have a rectangular shape, but it is not limited thereto, and may be modified in various shapes such as a triangle, a pentagon, and the like.

이때, 복수의 돌출부(144a)가 복수의 패드 컨택홀(PCH)과 동일 선상에 배치되지 않을 경우, 복수의 돌출부 형성 과정에서 미스 얼라인이 발생할 시 복수의 패드 컨택홀(PCH) 중 최외곽에 배치되는 패드 컨택홀(PCH)이 제2 패드(144)의 외측으로 벗어난 위치에 형성되는 컨택 불량이 발생될 수 있다. 따라서, 복수의 돌출부(144a)는 복수의 패드 컨택홀(PCH)과 동일 선상에 배치하는 것이 바람직하다.
At this time, when misalignment occurs in the process of forming a plurality of protrusions, when the plurality of protrusions 144a are not arranged in line with the plurality of pad contact holes PCH, A contact defect may be generated in which the pad contact hole PCH is disposed at a position deviated to the outside of the second pad 144. Therefore, it is preferable that the plurality of projecting portions 144a are arranged in line with the plurality of pad contact holes PCH.

패드 전극(146)은 제2 패드(144) 상에 적층되어 제2 패드(144)에 접속되며, 제2 패드(144)의 외측으로 연장 배치된다. 이때, 패드 전극(146)은 제2 패드(144)와 중첩된 상부에서 제2 패드(144)의 외측으로 연장 배치된다. 이에 따라, 패드 전극(146)은 제2 패드(144)의 전체 면적을 덮는다.The pad electrode 146 is stacked on the second pad 144 and connected to the second pad 144 and extended to the outside of the second pad 144. At this time, the pad electrode 146 is extended to the outside of the second pad 144 at an upper portion overlapping the second pad 144. Thus, the pad electrode 146 covers the entire area of the second pad 144.

전술한 제1 패드(142)는 제1 절연막(125)과 제2 절연막(135) 사이에 배치되고, 제2 패드(144)는 제2 절연막(135) 상에 배치된다. 이때, 제1 패드(142)는 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA)에 배치되는 게이트 배선(미도시)과 동일층에서 동일한 물질을 이용하여 형성될 수 있다. 그리고, 제2 패드(144)는 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA)에 배치되는 데이터 배선(미도시)과 동일층에서 동일한 물질을 이용하여 형성될 수 있다.The first pad 142 is disposed between the first insulating layer 125 and the second insulating layer 135 and the second pad 144 is disposed on the second insulating layer 135. At this time, the first pad 142 may be formed using the same material in the same layer as the gate wiring (not shown) disposed in the display area AA on the first substrate 110. The second pad 144 may be formed using the same material in the same layer as the data line (not shown) disposed in the display area AA on the first substrate 110.

이때, 제2 패드(144)는, 평면 상으로 볼 때, 양측 장변으로부터 돌출되는 돌출부(144a)를 가지며, 제1 면적을 갖는 직사각형으로 설계된다. 그리고, 패드 전극(146)은, 평면 상으로 볼 때, 제2 패드(144)와 중첩된 상부에서 제2 패드(144)의 외측으로 연장되어 제2 패드(144)를 감싸는 형태로 설계된다. 이에 따라, 패드 전극(146)은 제1 면적보다 넓은 제2 면적을 갖는다.At this time, the second pad 144 has a projection 144a protruding from both long sides when viewed in plan, and is designed as a rectangle having a first area. The pad electrode 146 is designed to extend from the top of the second pad 144 to the outside of the second pad 144 to cover the second pad 144 when viewed in a plan view. Accordingly, the pad electrode 146 has a second area larger than the first area.

특히, 패드 전극(146)의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드의 돌출부(144a) 끝단까지의 간격인 제1 간격(d1)은 각각 2.6 ~ 3.4㎛를 갖는다. 이와 달리, 패드 전극(146)의 양측 장변 끝단으로부터 제2 패드(144)의 양측 장변 끝단까지의 간격인 제2 간격(d2)은 각각 4 ~ 6㎛를 갖는다.In particular, the first spacing d1, which is the distance between the long side ends of both sides of the pad electrode 146 and the end of the projection 144a of the second pad, is 2.6 to 3.4 占 퐉. In other words, the second spacing d2, which is a distance from both long side ends of the pad electrode 146 to both long side ends of the second pad 144, is 4 to 6 占 퐉.

또한, 인접한 패드 전극(146)들 사이의 간격(D)은 13.5 ~ 15.5㎛로 설계함으로써, 패드 전극(146)들 간의 이격 간격을 확보하였다.
In addition, the spacing D between the adjacent pad electrodes 146 is designed to be 13.5 to 15.5 탆, thereby ensuring a spacing between the pad electrodes 146.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조(140)는 제2 패드(144)의 설계시 제2 패드(144)의 양측 장변으로부터 외측으로 돌출되는 돌출부(144a)를 설계함으로써, 제1 간격(d1)과 제2 간격(d2) 상호 간에 길이 편차를 갖도록 하였다.As described above, the pad electrode structure 140 according to the embodiment of the present invention can design the protrusion 144a protruding outward from both long sides of the second pad 144 when designing the second pad 144, 1 distance d1 and the second spacing d2.

이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조(140)는 패드 전극(146)의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부(144a)의 설계를 통해 제2 패드(144)의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드(144)와 패드 전극(146) 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성이 개선될 수 있다.Accordingly, the pad electrode structure 140 according to the embodiment of the present invention can increase the area of the second pad 144 through the design of the protrusion 144a while minimizing the area increase of the pad electrode 146 , The contact area between the second pad 144 and the pad electrode 146 is enlarged, so that the bonding resistance can be improved.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 패드부 전극 구조(140)는 패드 전극(146)의 면적 증가를 최소화하면서도 돌출부(144a)를 갖는 제2 패드(144)를 통해, 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드 전극(146) 및 제2 패드(144)의 접촉 면적 증가에 의한 전도도 증가로 열 전달이 효율적으로 이루어질 수 있으므로 패드 전극(146)을 덮는 외부 보호층(도 6의 185)을 완벽하게 제거하는 것이 가능하여, SiON 잔막 불량이 발생하지 않게 된다.
Accordingly, the pad electrode structure 140 according to the embodiment of the present invention can minimize the increase of the area of the pad electrode 146, but can be formed by the laser patterning technique using the laser patterning equipment through the second pad 144 having the protrusion 144a. Since the heat transmission can be efficiently performed by increasing the conductivity by increasing the contact area between the pad electrode 146 and the second pad 144, the outer protective layer 185 (FIG. 6) covering the pad electrode 146 is completely It is possible to eliminate the SiON residual film defect.

이에 대해서는, 도 6 및 도 7을 다시 참조하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.This will be described in more detail with reference to Figs. 6 and 7 again.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 외부 보호층(185)은 마스크를 사용하는 것이 없이 제1 기판(110)의 전면에 증착하여 형성한 후, 레이저 패터닝 장비를 이용하여 패드 전극(146)을 덮는 외부 보호층(185)만을 선택적으로 제거하는 방식으로 패드 단자 컨택홀(LCH)을 형성하고 있다.6 and 7, the outer protective layer 185 may be deposited on the entire surface of the first substrate 110 without using a mask, and then patterned using the laser patterning equipment to form the pad electrode 146, A pad terminal contact hole (LCH) is formed by selectively removing only the external protection layer 185 covering the contact hole.

즉, 제1 기판(110) 상의 표시 영역(AA) 및 비표시 영역(NAA)의 전면에 마스크를 사용하는 것 없이 전면 증착을 통해 외부 보호층(185)을 형성한 후, 보호 접착층(190)을 매개로 제1 기판(110)과 제2 기판(195)을 합착시키게 된다.That is, after the outer protective layer 185 is formed over the entire surface of the display area AA and the non-display area NAA on the first substrate 110 without using a mask, the protective adhesive layer 190 is formed, The first substrate 110 and the second substrate 195 are bonded together.

이와 같이, 제1 기판(110) 및 제2 기판(195) 간의 합착이 완료되면, 패드 전극(146)을 덮는 외부 보호층(185)과 이격된 상부에 레이저 패터닝 장비를 장착시킨 상태에서 X축 및 Y축 방향을 따라 레이저 패터닝 장비를 이동해 가면서 레이저 조사를 실시하는 방식으로 제1 기판(110) 상의 패드 전극(146)을 노출시켜 패드 전극 컨택홀(LCH)을 형성하게 된다.
After the adhesion between the first substrate 110 and the second substrate 195 is completed, the laser patterning device is mounted on the upper part of the outer protective layer 185 covering the pad electrode 146, The pad electrode 146 on the first substrate 110 is exposed by laser irradiation while moving the laser patterning device along the Y axis direction to form a pad electrode contact hole LCH.

이때, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)의 경우, 제1 간격(d1)은 2.6 ~ 3.4㎛를 갖도록 설계되고, 제2 간격(d2)은 4 ~ 6㎛를 갖도록 설계된다. 이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 패드 전극(146)의 면적 증가를 최소화면서도 돌출부(144a)의 설계를 통해 제2 패드(144)의 면적을 증가시킬 수 있으므로, 제2 패드(144)와 패드 전극(146) 간의 접촉 면적이 확장되는 효과로 본딩 저항성을 개선할 수 있게 된다.At this time, in the case of the display device 100 according to the embodiment of the present invention, the first spacing d1 is designed to have a thickness of 2.6 to 3.4 μm, and the second spacing d2 is designed to have a thickness of 4 to 6 μm. As a result, the display device 100 according to the embodiment of the present invention can increase the area of the second pad 144 through the design of the protrusion 144a while minimizing the increase in the area of the pad electrode 146, 2, the contact area between the pad 144 and the pad electrode 146 is enlarged, so that the bonding resistance can be improved.

이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(100)는 패드 전극(146)의 면적 증가를 최소화하면서도 돌출부(144a)를 갖는 제2 패드(144)를 통해, 레이저 패터닝 장비를 이용한 레이저 패터닝 공정시, 패드 전극(146) 및 제2 패드(144)의 접촉 면적 증가에 의한 전도도 증가로 열 전달이 효율적으로 이루어질 수 있다.Accordingly, the display apparatus 100 according to the embodiment of the present invention can perform the laser patterning process using the laser patterning equipment through the second pad 144 having the protrusion 144a while minimizing the area increase of the pad electrode 146 The heat transmission can be efficiently performed by increasing the conductivity by increasing the contact area between the pad electrode 146 and the second pad 144.

이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치는 패드 전극(146)을 덮는 외부 보호층(185)을 완벽하게 제거하는 것이 가능하여, SiON 잔막 불량이 발생하지 않게 되므로 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
As a result, in the display device according to the embodiment of the present invention, it is possible to completely remove the outer protective layer 185 covering the pad electrode 146, so that defective SiON residual film does not occur and the production yield can be improved .

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 통상의 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 따라서, 이러한 변경과 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명의 범주 내에 포함되는 것으로 이해할 수 있을 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is therefore to be understood that such changes and modifications are intended to be included within the scope of the present invention unless they depart from the scope of the present invention.

100 : 표시 장치 110 : 제1 기판
120 : 반도체층 122 : 게이트 전극
125 : 게이트 절연막 132 : 소스 전극
134 : 드레인 전극 135 : 층간 절연막
140 : 패드부 142 : 제1 패드
144 : 제2 패드 146 : 패드 전극
150 : 보호막 155 : 뱅크층
160 : 제1 전극 165 : 캡핑층
170 : 유기 발광 180 : 제2 전극
185 : 외부 보호층 190 : 보호 접착층
195 : 제2 전극 DTr : 박막 트랜지스터
E : 유기발광 다이오드 DTr : 박막 트랜지스터
DCH : 드레인 컨택홀 PCH : 패드 컨택홀
LCH : 패드 전극 컨택홀 AA : 표시 영역
NAA : 비표시 영역
100: display device 110: first substrate
120: semiconductor layer 122: gate electrode
125: gate insulating film 132: source electrode
134: drain electrode 135: interlayer insulating film
140: pad part 142: first pad
144: second pad 146: pad electrode
150: Protective layer 155: Bank layer
160: first electrode 165: capping layer
170: organic emission 180: second electrode
185: outer protective layer 190: protective adhesive layer
195: second electrode DTr: thin film transistor
E: organic light emitting diode DTr: thin film transistor
DCH: drain contact hole PCH: pad contact hole
LCH: pad electrode contact hole AA: display area
NAA: non-display area

Claims (10)

표시 영역 및 비표시 영역을 갖는 기판 상의 상기 비표시 영역에 배치된 제1 패드;
상기 기판 상의 표시 영역 및 비표시 영역을 덮으며, 상기 제1 패드의 일부를 노출시키는 복수의 패드 컨택홀을 갖는 절연막;
상기 복수의 패드 컨택홀을 통해 상기 제1 패드에 접속되며, 양측 장변으로부터 돌출된 복수의 돌출부를 갖는 제2 패드; 및
상기 제2 패드 상에 적층되어 상기 제2 패드에 접속되며, 상기 제2 패드의 외측으로 연장 배치된 패드 전극;
을 포함하는 패드부 전극 구조.
A first pad disposed in the non-display area on the substrate having a display area and a non-display area;
An insulating film covering the display region and the non-display region on the substrate and having a plurality of pad contact holes exposing a part of the first pad;
A second pad connected to the first pad through the plurality of pad contact holes and having a plurality of protrusions protruding from both long sides; And
A pad electrode laminated on the second pad and connected to the second pad, the pad electrode extending outwardly of the second pad;
Electrode structure.
제1항에 있어서,
상기 패드 전극은
상기 제2 패드와 중첩된 상부에서 상기 제2 패드의 외측으로 연장 배치되어, 상기 제2 패드의 전체 면적을 덮는 패드부 전극 구조.
The method according to claim 1,
The pad electrode
And a pad electrode structure extending from the upper portion of the second pad to overlap the second pad and covering the entire area of the second pad.
제1항에 있어서,
상기 복수의 패드 컨택홀은
복수의 열 및 복수의 행을 갖는 매트릭스 형태로 이격 배치된 패드부 전극 구조.
The method according to claim 1,
The plurality of pad contact holes
A pad electrode structure spaced apart in a matrix form having a plurality of rows and a plurality of rows.
제3항에 있어서,
상기 복수의 돌출부는
상기 복수의 패드 컨택홀과 동일 선상에 배치된 패드부 전극 구조.
The method of claim 3,
The plurality of projections
And a pad electrode structure arranged on the same line as the plurality of pad contact holes.
제1항에 있어서,
상기 패드 전극의 양측 장변 끝단으로부터 상기 제2 패드의 돌출부 끝단까지의 간격은 2.6 ~ 3.4㎛를 갖는 패드부 전극 구조.
The method according to claim 1,
Wherein a distance between the long side ends of both sides of the pad electrode and the end of the protrusion of the second pad is 2.6 to 3.4 占 퐉.
제1항에 있어서,
상기 패드 단자의 양측 장변 끝단으로부터 상기 제2 패드의 양측 장변 끝단까지의 간격은 4 ~ 6㎛를 갖는 패드부 전극 구조.
The method according to claim 1,
Wherein the distance between the long side ends of both sides of the pad terminal and the long side ends of both sides of the second pad is 4 to 6 占 퐉.
제1항에 있어서,
상기 절연막은
상기 기판 상의 비표시 영역에 배치된 게이트 절연막과,
상기 게이트 절연막 상에 배치되는 층간 절연막을 포함하는 패드부 전극 구조.
The method according to claim 1,
The insulating film
A gate insulating film disposed in a non-display region on the substrate,
And an interlayer insulating film disposed on the gate insulating film.
제7항에 있어서,
상기 제1 패드는
상기 게이트 절연막과 층간 절연막 사이에 배치되고, 상기 제2 패드는 상기 층간 절연막 상에 배치된 패드부 전극 구조.
8. The method of claim 7,
The first pad
And the second pads are disposed on the interlayer insulating film.
표시 영역 및 비표시 영역을 갖는 제1 기판;
상기 제1 기판 상의 표시 영역에 배치된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터에 연결된 유기발광 다이오드;
상기 유기발광 다이오드를 덮는 캡핑층;
상기 제1 기판 상의 비표시 영역에 배치된 제1 패드;
상기 제1 기판 상의 표시 영역 및 비표시 영역을 덮으며, 상기 제1 패드의 일부를 노출시키는 복수의 패드 컨택홀을 갖는 절연막;
상기 복수의 패드 컨택홀을 통해 상기 제1 패드에 접속되며, 양측 장변으로부터 돌출된 복수의 돌출부를 갖는 제2 패드;
상기 제2 패드 상에 적층되어 상기 제2 패드에 접속되며, 상기 제2 패드의외측으로 연장 배치된 패드 전극; 및
상기 캡핑층 및 패드 전극을 덮으며, 상기 패드 전극의 일부를 노출시키는 패드 전극 컨택 홀을 갖는 외부 보호층;
을 포함하는 표시 장치.
A first substrate having a display region and a non-display region;
A thin film transistor arranged in a display region on the first substrate;
An organic light emitting diode connected to the thin film transistor;
A capping layer covering the organic light emitting diode;
A first pad disposed in a non-display area on the first substrate;
An insulating film covering the display area and the non-display area on the first substrate and having a plurality of pad contact holes exposing a part of the first pad;
A second pad connected to the first pad through the plurality of pad contact holes and having a plurality of protrusions protruding from both long sides;
A pad electrode laminated on the second pad and connected to the second pad, the pad electrode extending outwardly of the second pad; And
An external protection layer covering the capping layer and the pad electrode and having a pad electrode contact hole exposing a part of the pad electrode;
.
제9항에 있어서,
상기 외부 보호층과 이격된 상부에 배치된 제2 기판과,
상기 제2 기판과 외부 보호층 사이에 배치되어, 상기 제1 및 제2 기판을 합착시키는 보호 접착층을 더 포함하는 표시 장치.
10. The method of claim 9,
A second substrate disposed at an upper portion spaced apart from the outer protective layer,
And a protective bonding layer disposed between the second substrate and the outer protective layer, for bonding the first and second substrates together.
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