KR20160111910A - Micro Device Provided to TEM Holder so as to Enable Observation of Moisture-Containing Sample through TEM - Google Patents

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KR20160111910A
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Abstract

본 발명은 생물, 광물 등과 같이 수분을 함유하고 있는 시료를 그 상태로 TEM에서 관찰할 수 있도록 하는, TEM 홀더에 장착되는 미세장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 그리드안착부와 그리드안착부에 장착되는 그리드를 고정하는 고정수단을 가진 통상의 TEM 홀더의 그리드안착부에 장착되는 것으로서, (A) 직경이 상기 홀더의 그리드안착부 내경보다 작고, 중앙부에 소정 개수의 관통공이 형성되어 있는 지지판과, 상기 지지판의 관통공을 모두 덮도록 상기 지지판의 일면에 안착되는 윈도우필름으로 이루어진 windowed-plate 한 쌍-이때 상기 한 쌍의 windowed-plate는 윈도우필름이 대면하고 상기 관통공이 수직으로 일치되도록 대향됨; (B) 상기 대향된 한 쌍의 windowed-plate 사이의 외주변에 개재되어 상기 한 쌍의 windowed-plate 사이의 간격을 유지하면서 내부를 밀폐하는 밀폐디스크;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 하는 미세장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a fine apparatus to be mounted on a TEM holder, which enables observation of a sample containing water, such as a living organism, a mineral, (A) a support plate having a diameter smaller than an inner diameter of a grid seating portion of the holder and having a predetermined number of through holes formed in a central portion thereof, A pair of windowed plates formed of window films seated on one surface of the support plate to cover all the through holes of the support plate, wherein the pair of windowed plates are opposed so that the window films face each other and the through holes are vertically aligned; (B) a sealing disk interposed between the pair of windowed-plates facing each other to seal the inside while maintaining a space between the pair of windowed-plates; and So that the sample can be observed by TEM.

Description

수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 TEM 홀더에 장착되는 미세장치{Micro Device Provided to TEM Holder so as to Enable Observation of Moisture-Containing Sample through TEM}[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A micro-device mounted on a TEM holder so that a sample containing moisture can be observed on a TEM.

본 발명은 생물, 광물 등과 같이 수분을 함유하고 있는 시료를 그 상태로 TEM에서 관찰할 수 있도록 하는, TEM 홀더에 장착되는 미세장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fine apparatus to be mounted on a TEM holder such that a sample containing water, such as a living organism, a mineral, and the like, can be observed in the TEM in this state.

투과전자현미경(TEM)에 의한 관찰은 고진공 상태에서 이루어지기 때문에 TEM 내부에 장착되는 시료는 고진공 분위기에 노출되어 시료 중에 수분이 있다면 즉시 증발하게 된다. 따라서 통상의 TEM 장비에서 수분을 함유하고 있는 생물, 광물 등의 시료를 자연 상태 그대로 관찰하는 것은 불가능하다. 예를 들면, 수분을 포함한 암석인 경우 내부 결정구조 분석 시 고진공 및 전자빔에 의한 영향으로 수분이 급속도로 증발하면서 내부 구조가 변형된다(도 1 참조).Transmission electron microscopy (TEM) observation is carried out in a high vacuum state, so that the sample loaded in the TEM is exposed to a high vacuum atmosphere and immediately evaporates if there is moisture in the sample. Therefore, it is impossible to observe a sample of biologicals, minerals, and the like containing moisture in a normal TEM apparatus in a natural state. For example, in the case of a rock containing water, internal structure is deformed due to rapid evaporation of water due to the influence of high vacuum and electron beam in the internal crystal structure analysis (see FIG. 1).

종래 생물 등 수분을 포함한 물질을 TEM 관찰하고자 할 때는 준비과정이 복잡하고 고도의 숙련을 요구하는 cryo법을 사용하고 있으나, 이는 동결된 상태의 시료를 관찰하는 것이므로 자연 상태의 시료와는 다를 수 밖에 없다.Conventionally, cryo method, which requires complicated preparation and high skill, is used for TEM observation of materials including moisture, but this is because the sample is observed in the frozen state, none.

이러한 문제를 해결하기 위해서 몇몇 특수한 구조의 TEM용 시료홀더가 알려져 있다.In order to solve this problem, a specimen holder for TEM has been known.

일본등록특허 JP 2781320에는, 시료대를 가지는 시료홀더로서, 박막 밀봉재가 붙어있는 한 쌍의 시트 메쉬 사이에 시료를 내장하고 있고 상기 시료대에 올려지는 시료메쉬, 상기 시료메쉬를 위에서 눌러주는 메쉬지지구 및 시트메쉬주변부-시료대, 시트메쉬-메쉬지지구 및 시료대-메쉬 지지구 사이를 밀봉하는 밀봉부재로 이루어진 시료홀더를 개시하고 있다(도 5, 도 6 참조). In Japanese Patent JP 2781320, a sample holder having a sample stage, if the mesh to embed the sample between the pair of sheet mesh attached to the thin sealing material and can press on the sample mesh, The sample mesh that is placed on the sample stage Earth and the mesh sheet periphery - the sample stage, the mesh sheet-mesh holder and a specimen stage - discloses a sample holder made of a sealing member for sealing between the mesh holder (see Fig. 5, 6).

상기 일본등록특허에 의하면 액상 또는 기상 상태를 유지할 수 있으므로 수분이 함유된 상태 그대로의 생물, 광물 등의 시료를 TEM 관찰할 수 있게 된다. 그러나 이에 의하면 시트메쉬의 제작이 어렵고(종래기술 문헌 문단0009 ; 구멍의 크기가 100㎛ 정도의 금속성의 시트메쉬에 구멍 지름이 수㎛ 정도의 프로그래머블컴퓨터 지지판을 붙이고, 그 위에 폴리비닐 박막소자를 얹고 카본를 증착하여 제작) 시료를 홀더에 밀봉하여 장착하는 구조가 복잡하고(도 5 참조) 무엇보다도 특수한 전용홀더(도 6 참조)를 사용해야 하는 어려움이 있다.According to the Japanese patent, since the liquid phase or the vapor phase state can be maintained, it is possible to observe a sample of a living organism, mineral or the like as it is in the state of containing moisture. However, according to this method, it is difficult to manufacture a sheet mesh (a conventional sheet metal mesh having a hole size of about 100 탆 is attached to a programmable computer support plate having a hole diameter of several 탆, and a polyvinyl thin film element is placed thereon Carbon). The structure for sealing and mounting the sample in the holder is complicated (see FIG. 5), and it is especially difficult to use a special dedicated holder (see FIG. 6).

미국특허 US 7807979는, 전자빔이 통과하는 부위(관찰창)를 얇게 제작한 기판 한쌍을 마주보게 배치하고 그 사이의 주변부에 간극재 및 밀봉재를 개재시켜 내부에 시료를 내장할 수 있도록 한 시료용키트를 개시하고 있다(도 7, 도 8 참조).U.S. Patent No. 7,807,979 discloses a sample kit in which a pair of substrates on which a portion through which an electron beam passes (observation window) is disposed opposite to each other, and a sample is embedded in the inside with a gap material and a sealant interposed therebetween, (See Figs. 7 and 8).

이에 의하면 전술한 일본등록특허보다 편리하고 간단하게 액상 또는 기상 상태를 유지할 수 있게 된다. 그러나 관찰창을 가지는 특수한 구조의 기판이 필수적이기 때문에 범용성이 없다는 단점이 있다.This makes it possible to maintain the liquid or vapor state more conveniently and simply than the above-mentioned Japanese registered patent. However, there is a disadvantage in that it is not versatile because a substrate having a special structure having an observation window is essential.

본 발명은 손쉽게 입수할 수 있고 저렴한 범용의 재료를 이용하여 액상 또는 기상 상태를 유지할 수 있도록 하여 시료의 수분을 유지시켜 주면서도, 통상(범용)의 TEM용 홀더에 바로 장착하여 사용할 수 있도록 하는 미세장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a fine device which can be mounted on a holder for TEM (general purpose) while maintaining the moisture of the sample by keeping the liquid or vapor state using an easily available and inexpensive general-purpose material, And to provide the above-mentioned objects.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 그리드안착부와 그리드안착부에 장착되는 그리드를 고정하는 고정수단을 가진 통상의 TEM 홀더의 그리드안착부에 장착되는 것으로서, (A) 직경이 상기 홀더의 그리드안착부 내경보다 작고, 중앙부에 소정 개수의 관통공이 형성되어 있는 지지판과, 상기 지지판의 관통공을 모두 덮도록 상기 지지판의 일면에 안착되는 윈도우필름으로 이루어진 windowed-plate 한 쌍-이때 상기 한 쌍의 windowed-plate는 윈도우필름이 대면하고 상기 관통공이 수직으로 일치되도록 대향됨; (B) 상기 대향된 한 쌍의 windowed-plate 사이의 외주변에 개재되어 상기 한 쌍의 windowed-plate 사이의 간격을 유지하면서 내부를 밀폐하는 밀폐디스크;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 하는 미세장치에 관한 것이다.According to an aspect of the present invention, there is provided a grid mounting apparatus for a grid mounting apparatus, the grid mounting apparatus comprising: (a) A pair of windowed plates made up of a support plate having a diameter smaller than the inner diameter of the mount portion and having a predetermined number of through holes formed at its center portion and a window film seated on one surface of the support plate so as to cover all the through holes of the support plate, the windowed-plate facing the window film so that the through-holes are vertically aligned; (B) a sealing disk interposed between the pair of windowed-plates facing each other to seal the inside while maintaining a space between the pair of windowed-plates; and So that the sample can be observed by TEM.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 수분을 함유하고 있는 생물, 광물 등의 시료를 공기 분위기 또는 물 분위기가 유지되는 자연 상태 그대로, 간단하면서 경제적으로 TEM 장비에서 관찰하는 것이 가능하게 된다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it becomes possible to observe samples of organisms, minerals and the like containing moisture in a TEM apparatus simply and economically in a natural state in which an air atmosphere or a water atmosphere is maintained.

또한 본 발명에 의하면, TEM 관찰시에 통상적으로 사용하는 재료(지지판TEM 관찰용 copper grid) 및 시중에서 쉽게 구입할 수 있는 재료(윈도우필름의 예를 들면 다소 딱딱한 투명필름, 밀폐디스크의 예를 들면 양면접착식 에폭시 테이프를 도넛 형태로 자른 것)를 사용하여 간편하고 신속하게 시료세트(시료가 장착된 본 발명에 의한 미세장치)를 제작한 후 이를 통상의 TEM용 홀더에 장착하여 관찰할 수 있게 된다.Further, according to the present invention, it is possible to provide a material (a copper grid for observation of a TEM of a support plate) commonly used at the time of TEM observation and a material easily obtainable in the market (for example, a slightly hard transparent film, A sample set (a fine apparatus according to the present invention in which the sample is mounted) can be easily and quickly prepared using a sticky epoxy tape cut in donut form, and then mounted on a holder for a normal TEM for observation.

도 1은 수분이 함유된 gibbsite(one of the mineral forms of aluminium hydroxide)의 TEM 관찰에서 시간경과(수분증발)에 따른 구조변화를 보여주는 사진.
도 2, 도 3은 각각 본 발명에서의 windowed-plate 사시도와, 본 발명에 의한 미세장치의 부분단면 사시도.
도 4는 몇 가지 예에 의한 본 발명에 의한 미세장치가 홀더에 장착되어 고정된 상태의 단면도.
도 5, 도 6은 선행기술에 의한 시료홀더의 밀봉된 상태의 구조를 보여주는 단면도와, 시료홀더의 전체 구성을 보여주는 단면도.
도 7, 도 8은 또 다른 선행기술에 의한 시료용키트의 사시도와 단면도.
------------------------- 부호의 설명 ----------------------------
10. 지지판
11. 관통공
21. 윈도우필름 22. 밀폐디스크
30. windowed-plate (10+21)
50. TEM 홀더
51. 그리드안착부 52. 고정수단FIG. 1 is a photograph showing a structural change due to time-lapse (water evaporation) in TEM observation of one of the mineral forms of aluminum hydroxide containing gibbsite.
2 and 3 are a perspective view of a windowed plate according to the present invention and a partial cross-sectional perspective view of a fine apparatus according to the present invention, respectively.
FIG. 4 is a cross-sectional view of a state in which a fine device according to the present invention is mounted and fixed to a holder according to some examples; FIG.
FIGS. 5 and 6 are cross-sectional views showing the structure of the sealed state of the sample holder according to the prior art, and sectional views showing the entire configuration of the sample holder.
7 and 8 are a perspective view and a cross-sectional view of a sample kit according to still another prior art.
------------------------- Explanation of symbols ---------------------- ------
10. Support plate
11. Through hole
21. Window film 22. Sealed disc
30. windowed-plate (10 + 21)
50. TEM Holder
51. Grid seating portion 52. Fixing means

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나 첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상의 내용과 범위를 쉽게 설명하기 위한 예시일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되거나 변경되는 것은 아니다. 또한 이러한 예시에 기초하여 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 변형과 변경이 가능함은 당업자에게는 당연할 것이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the appended drawings illustrate only the contents and scope of technology of the present invention, and the technical scope of the present invention is not limited thereto. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the technical idea of the present invention based on these examples.

전술하였듯이 본 발명은, 그리드안착부(51)와 그리드안착부(51)에 장착되는 그리드를 고정하는 고정수단(52)을 가진 통상의 TEM 홀더(50)의 그리드안착부에 장착되는 미세장치로서, 한 쌍의 windowed - plate(30)와 그 사이에 개재되는 밀폐디스크(22)를 포함하여 구성되는, 내부에 시료가 안착되는 밀폐된 수용공간이 형성되어 있는 장치이다. 도 2에 본 발명에서의 windowed-plate(30) 사시도와, 도 3에 본 발명에 의한 미세장치의 부분단면 사시도를 첨부하였다.As described above, the present invention is a fine apparatus to be mounted on a grid seating portion of a normal TEM holder 50 having fixing means 52 for fixing a grid mounted on a grid seating portion 51 and a grid seating portion 51 a pair of windowed - a plate (30) and sealing disc (22) device which, is accommodated in a closed space in which the sample is mounted is formed on the inside which comprises a interposed therebetween. FIG. 2 is a perspective view of a windowed-plate 30 according to the present invention, and FIG. 3 is a partial cross-sectional perspective view of a microdevice according to the present invention.

본 발명에서 windowed-plate(30)는, 지지판(10)과, 그에 접(접면)하여 있는 윈도우필름(21)으로 이루어진다.In the present invention, the windowed plate (30) is composed of a support plate (10) and a window film (21) in contact with the support plate (10).

지지판(10)은, 직경이 상기 홀더의 그리드안착부(51) 내경보다 작고, 중앙부에 소정 개수의 관통공(11)이 형성되어 있다. 지지판(10)의 재질로는 구리(Copper), 금(Gold), 니켈(Nickel), Aluminum, Molybdenum, Titanum, Beryllium, Carbon 또는 이들의 혼합물이나 합금처럼 전도성이며 비자성인 특성을 가진 것이면 족하며, TEM에서 통상 사용되는 구리 재질인 것이 바람직하다. 지지판의 직경은 통상 3.0㎜ 전후, 두께는 50㎛ 정도인 것이 바람직하다(참조 : http://www.tedpella.com/grids_html/Pelco-TEM-Grids.htm). The support plate 10 is smaller in diameter than the inner diameter of the grid seating portion 51 of the holder and has a predetermined number of through holes 11 formed at the center thereof. The material of the support plate 10 may be any material having conductivity and non-adhesive properties such as copper, gold, nickel, aluminum, molybdenum, titanium, beryllium, carbon or mixtures or alloys thereof, It is preferable that the copper material is a copper material usually used in TEM. It is preferable that the diameter of the support plate is usually about 3.0 mm and the thickness is about 50 탆 (see http://www.tedpella.com/grids_html/Pelco-TEM-Grids.htm ).

관통공(11)의 수는 큰 제한이 없으나 전자빔이 통과할 수 있는 영역인 중앙부에 형성된다. 관통공(11)의 직경은 진공압에 의해 내부의 윈도우필름(21)이 빨려나가지 않을 정도로 작고, 전자빔의 직진성에 영향을 주지 않을 정도로 작아야 하는데 대략 100㎛ 전후인 것이 바람직하다.The number of the through holes 11 is not limited, but is formed at the central portion where the electron beam can pass. The diameter of the through hole 11 should be small enough not to suck the inner window film 21 by the vacuum pressure and small enough not to affect the linearity of the electron beam, but preferably about 100 탆.

한편, 상기 한 쌍의 windowed-plate(30)에서 지지판(10)의 직경은 반드시 동일할 필요는 없다.On the other hand, the diameter of the support plate 10 in the pair of windowed-plates 30 need not always be the same.

윈도우필름(21)은 지지판(10)과 접해 있으면서 전자빔은 통과하고 미세장치 내부의 공기나 수분의 누출을 방지하는 기능을 함과 동시에, 윈도우필름(21)의 내면(지지판(10)과 접하는 반대면)에 시료를 안착(부착)시키는 기능을 하는 것이다. 윈도우필름(21)으로는 전자빔의 직진성에 영향을 주지 않는 다양한 종류의 합성수지 필름을 적용할 수 있다. 필름의 두께는 큰 제한이 없으며, 대략 5~10㎛ 정도의 것으로 충분하다. 윈도우필름(21)은 지지판(10)에 형성된 관통공(11) 모두를 충분히 덮을 수 있을 정도의 크기 이상이다. 도 2와 도 3에서는 윈도우필름(21)이 관통공(11)을 모두 덮지만 밀폐디스크(22)와는 접하지 않는 크기로 예시되어 있지만, 더 커도 관계없음은 명백하다.The window film 21 is in contact with the support plate 10 while passing through the electron beam and preventing leakage of air and moisture in the fine device and also functions to prevent the leakage of air and water from the inner surface of the window film 21 (Attaching) the sample to the surface (surface). As the window film 21, various types of synthetic resin films which do not affect the linearity of the electron beam can be applied. The thickness of the film is not particularly limited, and it is sufficient that the thickness is approximately 5 to 10 mu m. The window film 21 is of a size large enough to cover all the through holes 11 formed in the support plate 10. 2 and 3, the window film 21 covers the through holes 11 but is not in contact with the sealing disk 22. However, it is clear that the window film 21 is not much different.

본 발명에 의한 미세장치가 TEM용 홀더에 장착되어 관찰될 때, 외부(전자현미경 경통)가 진공이므로 지지판(10)과 윈도우필름(21)에 강한 밀착력이 자연스럽게 발생한다. 따라서 본 발명에서 지지판(10)과 윈도우필름(21)은 굳이 접착제 등으로 접착될 필요는 없고 미세장치 조립과정에서 분리되지 않을 정도로만 밀착되어 있으면 충분하다. When the fine apparatus according to the present invention is mounted on the holder for TEM and observed, a strong adhesion force naturally occurs to the support plate 10 and the window film 21 because the outside (electron microscope lens barrel) is vacuum. Therefore, in the present invention, the support plate 10 and the window film 21 do not need to be adhered to each other with an adhesive or the like.

본 발명에서 상기 밀폐디스크(22)는 대향된 한 쌍의 windowed-plate(30) 사이의 외주변에 개재되어 상기 한 쌍의 windowed-plate(30) 사이의 간격을 유지하면서 내부를 밀폐하는 기능을 한다. 상기 밀폐디스크(22)는 도면에서 볼 수 있듯이, 지지판(10)의 관통공(11) 부분이 개방되어 있는 링형상인 것이 바람직하다. 밀폐디스크(22)의 두께는 결국 한 쌍의 windowed-plate(30) 사이의 간격(시료가 안착되는 공간의 높이)을 결정하게 되는데, 조립작업의 편의성을 위해 50~150㎛ 정도의 두께인 것이 좋다.In the present invention, the sealing disk 22 is interposed between the pair of windowed-plates 30 facing each other to seal the inside while maintaining a space between the pair of windowed-plates 30 do. As shown in the drawing, the sealing disk 22 is preferably a ring-shaped one in which the through hole 11 of the support plate 10 is opened. The thickness of the sealing disk 22 finally determines the distance between the pair of windowed plates 30 (the height of the space in which the sample is seated). For the convenience of assembly work, the thickness of the sealing disk 22 is about 50 to 150 μm good.

밀폐디스크(22)는 한 쌍의 windowed-plate(30)가 압착되면 내부외 외부를 밀폐하는 기능을 하므로 다소간의 탄성이 있는 재질이면 충분하다. 예를 들면, 양면접착식 에폭시 테이프를 도넛 형태로 자른 것을 밀폐디스크(22)로 사용할 수도 있고, 단면이 원형 또는 사각형인 O-링을 사용할 수도 있을 것이다.Since the sealing disk 22 functions to seal the inside and outside of the windowed-plate 30 when the pair of windowed-plates 30 are compressed, a material having a somewhat elasticity is sufficient. For example, a double-sided adhesive epoxy tape may be cut into a donut shape as the sealing disk 22, or an O-ring having a circular or square cross section may be used.

한편, 본 발명에 의한 미세장치 조립시 밀폐성을 더욱 증가시키기 위해, 상기 밀폐디스크(22)의 상면과 하면에 점착성이 있는 것이 바람직하다.Meanwhile, in order to further increase the airtightness in the assembling of the fine apparatus according to the present invention, it is preferable that the upper surface and the lower surface of the sealing disk 22 have adhesiveness.

본 발명에 의한 미세장치에서 상기 한 쌍의 windowed-plate(30)는, 그들의 윈도우필름(21)이 대면하면서 상기 관통공(11)이 수직으로 일치되어 전자빔이 두 개의 지지판(10)에 형성된 관통공(11)을 통과할 수 있도록 대향 결합되어 있다.In the fine apparatus according to the present invention, the pair of windowed plates (30) are arranged such that the through holes (11) are vertically aligned with their window films (21) facing each other, Holes 11 so as to pass therethrough.

본 발명에 의한 구성요소들은 매우 미세한 크기(가장 큰 지지판(10)이 대략 3㎜ 정도)이므로 한 쌍의 windowed-plate(30)를 대향결합 시킬 때 관통공(11)을 수직으로 일치시키는 것이 용이하지 않을 수 있다. 이러한 불편함을 해소하기 위해, 상기 한 쌍의 windowed-plate(30)에서 상기 관통공(11)이 수직으로 일치되어 대면할 수 있도록, 상기 지지판(10)에 소정의 위치(방향)결정수단[도시 생략]을 형성해 두는 것도 좋다. 예를 들면 지지판(10)의 외주연 전부 또는 일부를 직선이 되도록 하거나, 외주연에 홈을 두어 미세장치 조립시 지지판(10)들의 위치(방향)결정을 용이하게 할 수 있는 것이다.Since the components according to the present invention are of a very fine size (the largest support plate 10 is about 3 mm), it is easy to vertically align the through holes 11 when the pair of windowed-plates 30 are coupled to each other I can not. In order to solve this inconvenience, a predetermined position (direction) determining means (not shown) is provided on the support plate 10 so that the through-holes 11 can be vertically aligned with each other in the pair of windowed- Not shown] may be formed. For example, all or part of the outer periphery of the support plate 10 may be straight or grooves may be formed in the outer periphery to facilitate determination of the position (direction) of the support plates 10 during the assembling of the fine apparatus.

이상과 같은 구성요소로 이루어진 본 발명에 의한 미세장치는, 예를 들면, 다음과 같은 과정을 거쳐 시료가 안착된 상태로 조립될 수 있다.The fine apparatus according to the present invention composed of the above-described components can be assembled in a state where the sample is seated through the following process, for example.

먼저 (A) 증류수 등의 액체 위에 상기 윈도우필름(21)을 띄운 상태에서, (B) 포셉 등으로 지지판(10)을 홀딩한 상태로 아래에서 위로 상기 윈도우필름(21)을 건져 올려 지지판(10) 위에 윈도우필름(21)을, 관통공(11)이 모두 덮혀지도록 안착시키고 건조하여 windowed-plate(30)를 만든다. 이어서 (C) 밀폐디스크(22)를 하나의 windowed-plate(30)의 윈도우필름(21)이 안착된 면에 부착하하고, (D) 상기 windowed-plate(30)의 윈도우필름(21) 표면에 수분을 함유하고 있는 샘플을 로딩한다. 이때 단계 (C) (D)는 순서를 바꿀 수도 있다. 이어서 (E) 안착되어 있는 상기 밀폐디스크(22) 위에 다른 하나의 windowed-plate(30)를, 윈도우필름(21)이 안착된 면이 밀폐디스크(22)를 향하면서 두 지지판(10)의 관통공(11)이 수직으로 일치되도록 대향결합시킨다. 이렇게 조립된 상태의 부분단면사시도가 도 3에 예시되어 있다[시료 도시 생략].The window film 21 is lifted up from above and below the support plate 10 in a state in which the window film 21 is placed on the liquid such as distilled water or the like, (B) The window film 21 is placed on the window plate 30 so that the through holes 11 are all covered and dried to form the windowed plate 30. (C) attaching the sealing disc 22 to the surface of the one windowed plate 30 on which the window film 21 is seated, (D) attaching the window film 21 of the windowed- The sample containing moisture is loaded. At this time, steps (C) and (D) may be changed in order. The other windowed-plate 30 is placed on the sealing disk 22 which is seated on the (E) surface, and the surface on which the window film 21 is seated faces the sealing disk 22, So that the balls 11 are vertically aligned. A partial cross-sectional perspective view in the assembled state is shown in Fig. 3 (sample not shown).

이렇게 조립된 본 발명에 의한 미세장치는, 궁극적으로 TEM 홀더(50)의 그리드안착부(51)에 삽입장착된 다음 그리드를 고정하는 고정수단(52)에 의해 고정된 후에 TEM의 경통에 삽입되어 관찰에 이용되는 것이다. 몇 가지 예시적인 본 발명에 의한 미세장치가 TEM 홀더(50)에 다양한 방식으로 삽입고정된 상태의 부분단면도를 도 4에 도시하였다.The thus assembled fine apparatus according to the present invention is ultimately inserted into the grid mounting portion 51 of the TEM holder 50 and then fixed by the fixing means 52 for fixing the grid, It is used for observation. A partial cross-sectional view of a microdevice according to some exemplary embodiments of the present invention is shown in FIG. 4 in a state in which the TEM holder 50 is inserted and fixed in various ways.

도 4에서 TEM 홀더(50)는 도면상에서 볼 때 좌우 영역이 생략된 상태로 도시되어 있다. 도시된 예에서 TEM 홀더(50)의 그리드안착부(51)와 고정수단(52)은 나사체결 방식에 의해 내부의 미세장치를 고정하는 것으로 하였다. 나사결합부위의 구체적 도시를 생략하였다.In Fig. 4, the TEM holder 50 is shown with left and right regions omitted in the drawing. In the illustrated example, the grid mounting portion 51 of the TEM holder 50 and the fixing means 52 fix the internal fine device by a screw fastening method. The specific illustration of the threaded joint is omitted.

Claims (5)

그리드안착부(51)와 그리드안착부(51)에 장착되는 그리드를 고정하는 고정수단(52)을 가진 통상의 TEM 홀더(50)의 그리드안착부(51)에 장착되는 것으로서,
(A) 직경이 상기 홀더의 그리드안착부(51) 내경보다 작고, 중앙부에 소정 개수의 관통공(11)이 형성되어 있는 지지판(10)과, 상기 지지판(10)의 관통공(11)을 모두 덮도록 상기 지지판(10)의 일면에 안착되는 윈도우필름(21)으로 이루어진 windowed-plate(30) 한 쌍-이때 상기 한 쌍의 windowed-plate(30)는 윈도우필름(21)이 대면하고 상기 관통공(11)이 수직으로 일치되도록 대향됨;
(B) 상기 대향된 한 쌍의 windowed-plate(30) 사이의 외주변에 개재되어 상기 한 쌍의 windowed-plate(30) 사이의 간격을 유지하면서 내부를 밀폐하는 밀폐디스크(22);를
포함하는 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 하는 미세장치.Is mounted on a grid mounting portion (51) of a conventional TEM holder (50) having fixing means (52) for fixing a grid mounted on a grid mounting portion (51) and a grid mounting portion (51)
(10) having a diameter (A) smaller than the inner diameter of the grid seating portion (51) of the holder and having a predetermined number of through holes (11) formed at the center thereof, and a through hole (30) consisting of a window film (21) which is seated on one side of the support plate (10) so as to cover the window film (21) The through holes (11) are opposed so as to be vertically aligned;
(B) a sealing disk (22) interposed between the pair of windowed-plates (30) opposed to each other to seal the inside while maintaining an interval between the pair of windowed-plates (30)
Wherein the sample containing moisture is allowed to be observed in the TEM. 제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 windowed-plate(30)에서 상기 관통공(11)이 수직으로 일치되어 대면할 수 있도록, 상기 지지판(10)에는 소정의 위치(방향)결정수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 TEM 홀더(50)에 장착되는 미세장치.The method according to claim 1,
Characterized in that a predetermined position (direction) determining means is formed on the support plate (10) so that the through holes (11) can be vertically aligned with each other in the pair of windowed-plates (30) A fine device mounted on a TEM holder (50) so that a sample containing moisture can be observed on the TEM. 제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 windowed-plate(30)에서 지지판(10)의 직경이 서로 다른 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 TEM 홀더(50)에 장착되는 미세장치.The method according to claim 1,
Characterized in that the diameters of the support plates (10) in the pair of windowed-plates (30) are different from each other, and the sample containing water is mounted on the TEM holder (50) so that it can be observed in TEM. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 밀폐디스크(22)는 상면과 하면이 점착성이어서 상기 미세장치 조립시 내부를 밀폐시키게 되는 것을 특징으로 하는, 수분을 함유하고 있는 샘플을 TEM에서 관찰할 수 있도록 TEM 홀더(50)에 장착되는 미세장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The sealing disk (22) is adhered to the upper surface and the lower surface to seal the interior of the micro device when assembling the micro device. The microscopic device is mounted on the TEM holder (50) Device. 제 1 항 또는 제 2 항에 의한 미세장치의 조립방법으로서,
(A) 액체 위에 상기 윈도우필름(21)을 띄우는 단계;
(B) 상기 지지판(10)을 상기 윈도우필름(21)의 하부로부터 위로 건져 올려 지지판(10) 위에 윈도우필름(21)을 안착시키고 건조하여 windowed-plate(30)을 만드는 단계;
(C) 상기 밀폐디스크(22)를 하나의 windowed-plate(30)의 윈도우필름(21)이 안착된 면에 부착하는 단계;
(D) 상기 windowed-plate(30)의 윈도우필름(21) 표면에 수분을 함유하고 있는 샘플을 로딩하는 단계;
(E) 안착되어 있는 상기 밀폐디스크(22) 위에 다른 하나의 windowed-plate(30)를, 윈도우필름(21)이 안착된 면이 밀폐디스크(22)를 향하면서 두 지지판(10)의 관통공(11)이 수직으로 일치되도록 대향결합하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세장치의 조립방법.A method of assembling a fine apparatus according to any one of claims 1 to 3,
(A) floating the window film (21) on the liquid;
(B) raising the support plate (10) from the bottom of the window film (21) to place the window film (21) on the support plate (10) and drying to form a windowed plate (30);
(C) attaching the sealing disc (22) to a surface of the windowed plate (30) on which the window film (21) is placed;
(D) loading a sample containing water on the surface of the window film (21) of the windowed-plate (30);
(30) is placed on the sealing disk (22) on which the window film (21) is seated and the other windowed-plate (30) (11) are vertically aligned;
The method comprising the steps of:
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