KR20160100277A - Quantitative analysis method of tin in the ito - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a quantitative analysis method of tin contained in indium tin oxide (ITO). The quantitative analysis method of tin contained in ITO comprises: a step of dissolving ITO in hydrochloric acid, and then manufacturing a solution by filtering; a step of adding ammonia water to the solution to have a hydrogen ion concentration (pH) of 7-8 to produce metal hydroxide; a step of washing the metal hydroxide using pure water; a step of applying a nitrate solution to the metal hydroxide washed using pure water to produce metastannic acid (H_2SnO_3); a step of washing the metastannic acid using the nitrate solution; a step of inserting the metastannic acid washed using nitric acid into a porcelain crucible with a known weight, and applying the nitrate solution to intensely heat the metastannic acid to measure mass of remaining tin oxide (SnO_2); and a step of using the measured mass of the tin oxide to calculate a weight percent content of tin contained in ITO. The quantitative analysis method of tin according to the present invention can accurately measure a content of tin existing in ITO at a ratio of several weight percent.

Description

ITO에 함유된 주석의 정량분석 방법 {QUANTITATIVE ANALYSIS METHOD OF TIN IN THE ITO}TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for quantitative analysis of tin contained in ITO,

본 발명은 ITO에 함유된 주석의 정량분석 방법에 관한 것으로, 수 중량%의 농도로 ITO에 함유된 주석의 함유량을 정확하게 측정할 수 있는 주석의 정량분석 방법을 제공하기 위한 ITO에 함유된 주석의 정량분석 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a quantitative analysis method of tin contained in ITO, and more particularly, to a tin quantitative analysis method capable of accurately measuring the content of tin contained in ITO at a concentration of several wt% And a quantitative analysis method.

각종 스마트 기기 등에 투명전극 등으로 사용되며 산화인듐 (In2O3)과 산화주석 (SnO2)이 혼합된 화합물인 인듐주석산화물 (Indium tin oxide, ITO)은 산화인듐과 산화주석의 함유량에 따라 전기전도도 등에 있어서 차이를 나타낸다.Indium tin oxide (ITO), which is a compound of indium oxide (In 2 O 3 ) and tin oxide (SnO 2 ), which is used as a transparent electrode in various smart devices and the like, depends on the content of indium oxide and tin oxide Electrical conductivity and the like.

따라서, 원하는 전기전도도 등의 물성을 갖는 ITO를 생산하기 위하여 ITO에 함유되어 있는 산화인듐과 산화주석의 함유량을 정확하게 제어할 필요가 있다.Therefore, it is necessary to accurately control the content of indium oxide and tin oxide contained in ITO in order to produce ITO having desired physical properties such as electrical conductivity and the like.

이와 같이 ITO에 함유된 산화인듐 및 산화주석의 함유량을 정확하게 조절하기 위하여 ITO에 함유된 산화인듐 또는 산화주석의 함유량을 정확하게 측정함으로써 산화인듐 또는 산화주석 중 부족한 화합물을 더욱 첨가하여 가장 바람직한 전기전도도를 갖는 ITO를 생산하는 것이 가능해지게 된다.In order to precisely control the content of indium oxide and tin oxide contained in ITO, the content of indium oxide or tin oxide contained in ITO is accurately measured to further add the deficient compound of indium oxide or tin oxide to obtain the most preferable electric conductivity It becomes possible to produce ITO having a high dielectric constant.

또한 폐ITO에서 고가의 인듐과 주석을 회수하는 공정에는 인듐과 주석의 함유량을 정확하게 측정하는 것이 무엇보다 중요하다. 폐ITO가 발생하는 업체와 회수하는 업체 사이에 인듐과 주석의 함유량은 거래의 중요한 지표가 되기 때문이고, 회수 공정에서도 인듐과 주석의 회수율을 파악하는 중요한 지표가 되기 때문이다.It is also important to accurately measure indium and tin content in the process of recovering expensive indium and tin from waste ITO. This is because indium and tin content are important indicators of the transaction between the companies that generate waste ITO and the companies that collect waste, and it is an important indicator for the recovery rate of indium and tin in the recovery process.

종래에는 ITO 내의 산화주석 또는 주석을 정량분석하기 위하여 ICP (Inductively coupled plasma)를 이용하여 기계적으로 산화주석의 함유량을 측정하는 방법이 사용되어 왔으나, ICP는 수 ppm 또는 수 ppb 단위의 극미량의 원소의 정량에는 적합하나 수 내지 수십 중량%의 농도로 함유된 원소의 정량분석에는 적합하지 않다. 즉, 통상적으로 ITO 내에는 대략 7 내지 8 중량% 정도의 주석이 함유되어 있으며 이에 따라 ICP를 이용하여 ITO에 함유된 주석 (Sn)을 정량분석하는 것은 그 정확도가 현저하게 떨어질 수밖에 없다.Conventionally, a method of mechanically measuring the content of tin oxide by using ICP (inductively coupled plasma) to quantitatively analyze tin oxide or tin in ITO has been used. However, ICP is a method of measuring the content of trace elements It is suitable for quantitative analysis but is not suitable for quantitative analysis of an element contained at a concentration of several to several tens% by weight. That is, tin is contained in the ITO in an amount of about 7 to 8% by weight, and therefore, the accuracy of the quantitative analysis of tin (Sn) contained in ITO using ICP is inevitably lowered.

한편, 하기 특허문헌 1에는 산화인듐주석 함유의 스크랩을 산에 용해시켜 얻어진 용해액을 알칼리로 중화하고 수열반응을 거쳐 수화물을 석출시키고 이를 건조하여 산화인듐주석을 회수하는 방법을 개시하고 있으나, ITO에 함유된 주석의 정확한 함유량을 계산할 수 있는 방법은 개시되어 있지 않으며, 또한 하기 특허문헌 2에는 인듐화합물을 염산으로 용해하여 얻어진 용해액을 알칼리로 중화하여 석출된 수산화물에 황화수소 가스를 처리하여 전기분해에 유해한 물질을 제거하고 남은 원액을 이용하여 인듐을 전해 채취함으로써 인듐을 회수하는 방법을 개시하고 있으나, 이 역시 ITO에 함유된 주석의 함유량을 정확하게 측정하기에는 부족한 문제가 있다.On the other hand, Patent Document 1 discloses a method for recovering indium tin oxide by precipitating hydrates by hydrothermal reaction and neutralizing the solution obtained by dissolving scrap containing indium tin oxide in an acid, and recovering indium tin oxide. There is no method of calculating the exact content of tin contained in the solution. In Patent Document 2, the solution obtained by dissolving the indium compound in hydrochloric acid is neutralized with an alkali to treat the precipitated hydroxide with hydrogen sulfide gas, And the indium is recovered by withdrawing indium by using the remaining stock solution. However, this method is also insufficient to accurately measure the content of tin contained in ITO.

따라서, 수 중량% 정도로 ITO에 함유된 주석을 정확하게 정량분석할 수 있는 방법의 개발이 절실하게 요구되는 실정이다.Therefore, there is an urgent need to develop a method capable of accurately quantitatively analyzing tin contained in ITO in an amount of several weight percent.

[특허문헌] [Patent Literature]

특허문헌 1: 일본 특허공개공보 제2013-006710호Patent Document 1: JP-A-2013-006710

특허문헌 2: 일본 특허공개공보 제 2000-169991호Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-169991

이에 본 발명에서는 상기 문제점을 해결하고자 ITO를 산으로 용해시킨 후, 이를 거르고 염기로 중화하여 얻어진 금속수산화물에 질산을 가하여 얻어진 메타주석산을 이용하여 강열과정을 거친 후 얻어진 산화주석을 이용하여 ITO 내의 주석의 함유량을 계산하는 습식분석방법을 통하여 ITO에 함유된 주석의 함유량을 정확하게 측정할 수 있음을 발견하였고, 본 발명은 이에 기초하여 완성되었다.In order to solve the above problems, the present invention solves the above problem by dissolving ITO in an acid, neutralizing it with a base, neutralizing the metal hydroxide with nitric acid, and then using meta-tartaric acid, The content of tin contained in the ITO can be accurately measured by a wet analysis method for calculating the content of the tin. The present invention has been completed based on this finding.

따라서, 본 발명의 하나의 관점은 수 중량%의 농도로 ITO에 함유된 주석의 함유량을 정확하게 측정할 수 있는 주석의 정량분석 방법을 제공하는 데 있다.Therefore, one aspect of the present invention is to provide a quantitative analysis method of tin capable of accurately measuring the content of tin contained in ITO at a concentration of several wt%.

상기 관점을 달성하기 위한 본 발명의 하나의 구현 예에 따른 ITO에 함유된 주석의 정량분석 방법은 인듐주석산화물 (ITO)을 염산에 용해시켜 용해액을 제조하는 단계; 7 내지 8의 수소이온농도 (pH)를 갖도록 상기 용해액에 암모니아수를 첨가하여 금속수산화물을 생성시키는 단계; 상기 금속수산화물을 순수로 세척하는 단계; 세척된 상기 금속수산화물에 질산용액을 가하여 메타주석산 (H2SnO3)을 생성시키는 단계; 상기 메타주석산을 묽은 질산용액으로 세척하는 단계; 세척된 상기 메타주석산을 자제도가니에 넣고 질산용액을 한두 방울 가하여 강열하고 남은 산화주석 (SnO2)의 질량을 측정하는 단계; 및 상기 측정된 산화주석의 질량을 이용하여 ITO에 함유된 주석의 중량% 함유량을 계산하는 단계;를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, there is provided a method for quantitatively analyzing tin contained in ITO, comprising the steps of: dissolving indium tin oxide (ITO) in hydrochloric acid to prepare a dissolution solution; Adding ammonia water to the dissolution solution so as to have a hydrogen ion concentration (pH) of 7 to 8 to produce a metal hydroxide; Washing the metal hydroxide with pure water; Adding nitric acid solution to the washed metal hydroxide to produce meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 ); Washing said meta-tartaric acid with dilute nitric acid solution; Adding the washed meta-tartaric acid to a porcelain crucible, adding one or two drops of a nitric acid solution to the residue, and measuring the mass of the remaining tin oxide (SnO 2 ); And calculating the weight% content of tin contained in the ITO using the measured mass of tin oxide.

본 발명의 다른 구현 예에 있어서, 상기 주석의 중량% 함유량은 예를 들어 수학식 Sn(%)={(m1×0.7876)/m0}×100 (여기서, m1은 상기 측정된 산화주석의 질량이며, m0는 분석시료로 사용된 상기 인듐주석산화물의 질량임)에 의하여 계산될 수 있다.In another embodiment, the wt% content of the annotation, for example, formula Sn (%) = {(m 1 × 0.7876) / m 0} × 100 ( wherein, m 1 is a comment on the measured oxidation And m 0 is the mass of the indium tin oxide used as the analytical sample).

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 용해액은 분말상태의 인듐주석산화물 (ITO)을 염산에 용해시킨 후 걸러서 제조되는 것일 수 있다.In another embodiment of the present invention, the dissolution solution may be prepared by dissolving powdered indium tin oxide (ITO) in hydrochloric acid and then filtering the solution.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 금속수산화물은 인듐수산화물 (In(OH)3) 및 주석수산화물 (Sn(OH)4)을 포함하는 것일 수 있다.In another embodiment of the present invention, the metal hydroxide may be one comprising indium hydroxide (In (OH) 3 ) and tin hydroxide (Sn (OH) 4 ).

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 순수는 12 내지 18MΩ·㎝의 저항을 갖는 탈이온수일 수 있다.In another embodiment of the present invention, the pure water may be deionized water having a resistance of 12 to 18 M? 占 ㎝ m.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 메타주석산 (H2SnO3)을 생성시키는 단계에 사용되는 질산용액은 질산과 물을 1:1의 부피비로 혼합한 것일 수 있으며, 상기 메타주석산을 세척하는 단계에 사용되는 질산용액은 질산과 물을 1:10의 부피비로 혼합한 것일 수 있다.In another embodiment of the present invention, the nitric acid solution used in the step of producing the meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 ) may be a mixture of nitric acid and water at a volume ratio of 1: 1, The nitric acid solution used in the step may be a mixture of nitric acid and water in a volume ratio of 1:10.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 방법은 상기 용해액을 제조하는 단계 이후에 상기 용해액을 거르는 단계를 더욱 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the method may further comprise the step of filtering the solution after the step of producing the solution.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 방법은 상기 금속수산화물을 생성시키는 단계 이후에 상기 금속수산화물을 거름종이로 거르는 단계를 더욱 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the method may further comprise filtering the metal hydroxide with filter paper after the step of producing the metal hydroxide.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 방법은 상기 메타주석산 (H2SnO3)을 생성시키는 단계 이후에 상기 메타주석산을 거름종이로 거르는 단계를 더욱 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the method may further comprise filtering the meta-tartaric acid with filter paper after the step of producing the meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 ).

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 방법은 상기 메타주석산을 거름종이로 거르는 단계 이후에 상기 거름종이를 통과한 액체 내의 주석의 농도를 측정하는 단계를 더욱 포함할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the method may further comprise the step of measuring the concentration of tin in the liquid passing through the filter paper after filtering the meta-tartaric acid with filter paper.

본 발명의 또 다른 구현 예에 있어서, 상기 강열은 900 내지 1,100℃, 바람직하게는 1,000℃에서 30 내지 90분, 바람직하게는 60분 동안 이루어지는 것일 수 있다.In another embodiment of the present invention, the ignition may be performed at 900 to 1,100 ° C, preferably 1,000 ° C for 30 to 90 minutes, preferably 60 minutes.

본 발명에 따른 주석의 정량분석 방법은 수 중량%의 비율로 ITO에 존재하는 주석의 함유량을 매우 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있으며, ITO에 함유된 구리, 철 또는 알루미늄 등과 같은 불순물의 함유량을 간접적으로 측정함으로써 ITO가 어느 정도의 순도를 갖는지를 높은 신뢰도로 확인할 수 있는 장점 또한 갖는다. 또한, 본 발명에 따른 주석의 정량분석 방법은 폐ITO로부터 고가의 인듐 및 주석을 회수하고자 하는 경우 이들의 함유량을 정확하게 측정 가능하게 함으로써 폐ITO 재생산업분야에서 유용한 습식분석방법으로 사용될 수 있는 장점 또한 갖는다.The method of quantitative analysis of tin according to the present invention has an advantage that it can measure the content of tin present in ITO at a ratio of several weight% very accurately, and the content of impurities such as copper, iron or aluminum contained in ITO is indirectly , It has an advantage that the degree of purity of ITO can be confirmed with high reliability. In addition, the method for quantitative analysis of tin according to the present invention is advantageous in that it can be used as a wet analysis method useful in the field of waste ITO regeneration by making it possible to accurately measure the content of indium and tin when recovering expensive indium and tin from waste ITO .

도 1은 본 발명의 일 구현 예에 따른 실시예 1의 방법으로 한국화학융합시험연구원에서 수행된 시험결과이다.
도 2는 본 발명의 일 구현 예에 따른 실시예 2의 방법으로 한국화학융합시험연구원에서 수행된 시험결과이다.
도 3은 본 발명의 일 구현 예에 따른 실시예 3의 방법으로 한국화학융합시험연구원에서 수행된 시험결과이다.
FIG. 1 is a test result performed by the Korean Chemical Fusion Test Institute using the method of Example 1 according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a test result performed by the Korean Chemical Fusion Test Institute using the method of Example 2 according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 3 is a test result performed by the Korean Chemical Fusion Test Institute according to the method of Example 3 according to an embodiment of the present invention.

본 발명을 좀 더 구체적으로 설명하기 전에, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어서는 아니 되며, 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예의 구성은 본 발명의 바람직한 하나의 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. Before describing the invention in more detail, it is to be understood that the words or words used in the specification and claims are not to be construed in a conventional or dictionary sense, It should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the constitution of the embodiments described in the present specification is merely a preferred example of the present invention, and does not represent all the technical ideas of the present invention, so that various equivalents and variations And the like.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명한다. 아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

본 발명은 인듐주석산화물 즉, ITO (Indium tin oxide) 내에 함유된 주석의 함유량을 높은 신뢰도로 정확하게 정량하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for accurately and accurately quantifying the content of tin contained in indium tin oxide, that is, indium tin oxide (ITO).

인듐주석산화물 (Indium tin oxide, ITO)은 산화인듐 (In2O3)과 산화주석 (SnO2)이 혼합된 화합물이며 일반적으로 약 90중량%의 산화인듐과 약 10중량%의 산화주석으로 구성된다. 인듐주석산화물은 박막 상태에서는 투명 무색이며, 덩어리 상태에서는 노란색에서 녹색을 띤다. 인듐주석산화물은 우수한 전기전도도를 지니며 얇은 박막 상태에서는 광학적 투명성을 지니므로 흔히 투명전극으로 불리며 ITO로 지칭된다. 인듐주석산화물 박막은 일반적으로 전자빔 증착, 증기 증착, 스퍼터링 기술 등에 의하여 각종 전자기기의 표면에 증착된다. 현재는 ITO의 고비용, 제한된 인듐의 자원, 부서지기 쉬운 특성, 인듐주석산화물 박막의 낮은 휨성, 박막 증착에 필요한 높은 진공 등의 문제로 인하여 탄소 나노튜브 전도성 코팅, 도핑 알루미늄, 산화아연, PEDOT (poly(3,4-ethylenedioxythiophene)) 또는 PEDOT-PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate) 박막 등과 같은 다양한 대체 물질에 대한 연구가 진행되고 있으나, 여전히 대부분의 투명전극으로는 ITO가 사용되고 있는 실정이다.Indium tin oxide (ITO) is a compound of indium oxide (In 2 O 3 ) and tin oxide (SnO 2 ) and is generally composed of about 90 wt% indium oxide and about 10 wt% tin oxide do. Indium tin oxide is transparent and colorless in the thin film state and yellow to green in the lump state. Indium tin oxide is often referred to as a transparent electrode and is referred to as ITO since it has excellent electrical conductivity and optical transparency in a thin film state. Indium tin oxide thin films are generally deposited on the surfaces of various electronic devices by electron beam evaporation, vapor deposition, sputtering, or the like. At present, due to the problems of high cost of ITO, limited indium resources, brittleness characteristic, low bending property of indium tin oxide thin film, and high vacuum required for thin film deposition, carbon nanotube conductive coating, doped aluminum, zinc oxide, PEDOT (3,4-ethylenedioxythiophene) or PEDOT-PSS (poly (3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate) thin films have been researched. However, most of the transparent electrodes are still using ITO to be.

이와 같이 각종 스마트 기기 등에 투명전극 등으로 사용되는 ITO는 산화인듐과 산화주석의 함유량에 따라 전기전도도에 있어서 차이를 나타내므로 원하는 전기전도도를 갖는 ITO를 생산하기 위하여 ITO에 함유되는 산화인듐과 산화주석의 함유량을 정확하게 제어할 필요가 있다. ITO는 원재료가 되는 산화인듐과 산화주석을 서로 혼합함으로써 제조되며, ITO의 제조에 사용되는 산화인듐과 산화주석의 순도는 99.995 내지 99.999% 정도의 고순도일 것이 요구된다. 그러나, 이와 같이 산화인듐 또는 산화주석의 고순도가 언제나 보장되는 것은 아니며, 따라서 사용되는 원재료인 산화인듐과 산화주석을 이용하여 제조된 ITO에 어느 정도의 주석이 함유되어 있는지는 테스트용으로 제조된 ITO를 이용하여 주석 등의 성분을 정량분석함으로써 더욱 정확하게 계산하는 것이 가능하다. 이와 같이 정량분석된 주석의 함유량이 예측된 즉, 바람직한 주석의 함유량보다 낮은 경우는 그에 해당하는 만큼의 원재료 산화주석을 더욱 첨가함으로써 원하는 전기전도도를 갖는 ITO를 생산할 수 있으며, 만약 측정된 주석의 함유량이 예측된 주석의 함유량보다 높은 경우는 그에 상응하는 만큼의 원재료 산화인듐을 더욱 첨가함으로써 원하는 전기전도도를 갖는 ITO를 생산할 수 있게 된다. 즉, 이와 같은 과정을 통하여 예측할 수 없는 순도를 갖는 산화인듐 및 산화주석의 원재료를 이용하더라도 원하는 전기전도도를 갖는 ITO를 제조할 수 있게 되는 것이다.In order to produce ITO having a desired electric conductivity, indium oxide and tin oxide (ITO) contained in ITO are used as transparent electrodes in various smart devices and the like because they show differences in electrical conductivity depending on the contents of indium oxide and tin oxide. It is necessary to accurately control the content of the catalyst. ITO is produced by mixing indium oxide and tin oxide, which are raw materials, with each other. The purity of indium oxide and tin oxide used in the production of ITO is required to be as high as 99.995 to 99.999%. However, the high purity of the indium oxide or tin oxide is not always guaranteed. Therefore, the degree of tin contained in the ITO produced by using indium oxide and tin oxide, which are the raw materials used, It is possible to calculate more accurately by quantitatively analyzing components such as tin. If the content of tin analyzed quantitatively as described above is lower than the expected content of tin, it is possible to produce ITO having a desired electrical conductivity by further adding the same amount of the tin oxide as the raw material. If the content of tin Is higher than the predicted tin content, ITO having a desired electric conductivity can be produced by further adding indium oxide as much as the corresponding amount of the indium oxide. That is, ITO having a desired electric conductivity can be produced even if the raw materials of indium oxide and tin oxide having unpredictable purity are used.

그러나, 이와 같이 다양한 순도를 갖는 원재료인 산화인듐 및 산화주석을 이용하여 ITO를 제조하는 과정에서 원하는 전기전도도를 얻기 위하여 필수적으로 요구되는 산화주석 (또는 주석) 또는 산화인듐 (또는 인듐)을 높은 신뢰도로 정확하게 정량분석하는 것은 그리 용이한 과정이 아니다. However, when tin oxide (or tin) or indium oxide (or indium), which is indispensably required for obtaining a desired electric conductivity in the process of manufacturing ITO using indium oxide and tin oxide as the raw materials having various purity, It is not a very easy process to quantify accurately.

종래에는 ITO 내에 존재하는 산화주석 또는 주석을 정량분석하기 위하여 ICP 장치를 사용하였으나, 이는 수 ppm 또는 ppb 단위의 극미량의 원소의 정량분석에 사용될 때 어느 정도의 신뢰도를 나타낼 수 있을 뿐 이를 통하여 수 내지 수십 중량%의 농도로 함유된 성분을 정량분석하는 경우는 그 신뢰도가 매우 떨어지는 문제가 있다.Conventionally, an ICP apparatus is used for quantitatively analyzing tin oxide or tin present in ITO. However, this may be a certain degree of reliability when used for quantitative analysis of a trace amount of element in several ppm or ppb units, When quantitatively analyzing a component contained in a concentration of several tens% by weight, there is a problem that the reliability is very low.

통상적으로 ITO 내에는 약 7 내지 8 중량% 정도 (즉 수 중량% 수준)의 주석이 함유되어 있으며, 본 발명자는 이와 같이 수 중량%의 함유량 비율로 ITO에 함유된 주석의 중량을 정확하게 분석할 수 있는 획기적이고 신뢰성이 높은 정량분석 방법을 개발하였다.In general, about 7 to 8% by weight of tin is contained in ITO, and the present inventors can accurately analyze the weight of tin contained in ITO at a content ratio of several wt% And developed a breakthrough and reliable quantitative analysis method.

본 발명의 일 구현 예에 따른 주석의 정량분석 방법은 ITO를 염산에 용해시켜 용해액을 제조하는 단계; 7 내지 8의 수소이온농도 (pH)를 갖도록 상기 용해액에 암모니아수를 첨가하여 금속수산화물을 생성시키는 단계; 상기 금속수산화물을 순수로 세척하는 단계; 순수로 세척된 상기 금속수산화물에 질산용액을 가하여 메타주석산 (H2SnO3)을 생성시키는 단계; 상기 메타주석산을 질산용액으로 세척하는 단계; 질산으로 세척된 상기 메타주석산을 미리 무게를 알고 있는 자제도가니에 넣고 강열한 후, 산화주석 (SnO2)의 질량을 측정하는 단계; 및 일정한 수학식을 이용하여 주석의 중량% 함유량을 계산하는 단계;를 포함할 수 있다.A method for quantitative analysis of tin according to an embodiment of the present invention includes the steps of: dissolving ITO in hydrochloric acid to prepare a dissolution solution; Adding ammonia water to the dissolution solution so as to have a hydrogen ion concentration (pH) of 7 to 8 to produce a metal hydroxide; Washing the metal hydroxide with pure water; Adding nitric acid solution to the metal hydroxide washed with pure water to produce meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 ); Washing the meta-tartaric acid with a nitric acid solution; The meta-tartaric acid washed with nitric acid is preliminarily weighed into a weighed porcelain crucible whose weight is known, and then the mass of the tin oxide (SnO 2 ) is measured; And calculating a weight% content of tin using a constant formula.

상기 정량분석 방법에 사용되는 수학식의 예시는 하기 수학식 1과 같다.An example of a mathematical expression used in the quantitative analysis method is shown in Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

Sn(%)={(m1×0.7876)/m0}×100 Sn (%) = {(m 1 x 0.7876) / m 0 } x 100

상기 수학식 1에서 m1은 상기 측정된 산화주석 (SnO2)의 질량이며, m0는 상기 인듐주석산화물 분말시료의 질량이다. 상기 수학식 1에서 상수 0.7876은 산화주석 (SnO2) 중에서 주석이 차지하는 분자량의 비율이며, 이는 자연계에 존재하는 주석 및 산소의 다양한 동위체 (isotopes)의 비율을 고려하여 계산한 각각의 평균분자량을 이용하여 계산한 상수이다. 따라서, 실제 실험에 사용되는 주석 및 산소의 동소체의 분자량을 정확하게 알 수 있는 경우는 상기 상수가 이에 따라 변화될 수 있다. In Equation 1, m 1 is the mass of the measured tin oxide (SnO 2 ), and m 0 is the mass of the indium tin oxide powder sample. In Equation (1), the constant 0.7876 is the ratio of molecular weight occupied by tin in tin oxide (SnO 2 ), which is calculated by taking the average molecular weight calculated by considering the ratio of various isotopes of tin and oxygen present in nature . Therefore, when the molecular weight of the isotopes of tin and oxygen used in actual experiments can be accurately known, the constants can be changed accordingly.

한편, 본 발명의 범주가 상기 수학식 1에 한정되는 것은 아니며, 주석의 함유량%는 다양한 수식 등에 의하여 계산하는 것이 가능하다. On the other hand, the category of the present invention is not limited to the above formula (1), and the content percentage of tin can be calculated by various formulas and the like.

한편, 본 발명에 시료로 사용되는 ITO는 분말 상태로 만들어 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 분말상태의 ITO가 덩어리 상태의 ITO보다 염산과의 반응성이 더욱 우수하여 더욱 정확한 정량분석이 가능하기 때문이다. 고체 덩어리 상태의 ITO를 분말 즉, 파우더 (powder) 형태로 만드는 방법은 공지된 다양한 방법을 이용하는 것이 가능하다.Meanwhile, the ITO used as a sample in the present invention is preferably prepared in powder form. That is, ITO in powder state is more reactive with hydrochloric acid than ITO in bulk state, and more accurate quantitative analysis is possible. Various methods known in the art can be used as a method of making the ITO in a solid lump state into a powder, that is, a powder.

한편, 본 발명에 사용되는 염산 (HCl)은 KS M ISO 6353-2 (R13)에 규정된 35%-HCl을 사용하는 것이 가능하다. 본 발명에 사용되는 염산은 분말 상태의 ITO와 반응하여 이를 주석염 (Sn(Cl)4) 및 인듐염 (In(Cl)3))과 물 (H2O)로 분해한다. 본 발명에 사용되는 염산은 분말 상태의 ITO 약 10g 당 20 내지 30㎖의 35%-HCl을 사용하는 것이 가능하나, 사용되는 염산의 양은 이러한 비율에 한정되지 않으며, 시료로 채취된 ITO분말이 충분히 용해될 수 있을 정도의 염산을 사용하면 충분하다.Meanwhile, it is possible to use 35% -HCl specified in KS M ISO 6353-2 (R13) as the hydrochloric acid (HCl) used in the present invention. The hydrochloric acid used in the present invention reacts with ITO in a powder state to form a tin salt (Sn (Cl) 4 ) And indium salt (In (Cl) 3 )) and water (H 2 O). Although the amount of hydrochloric acid used in the present invention can be 20 to 30 ml of 35% -HCl per 10 g of ITO in powder form, the amount of hydrochloric acid used is not limited to this ratio, and the amount of ITO powder sampled It is sufficient to use enough hydrochloric acid to dissolve.

상기 과정을 통하여 염산에 ITO가 용해된 용액을 피펫 등으로 일정량 취한 후, 이를 비커에 넣고 암모니아수 (NH4OH)를 가하여 용액의 pH가 7 내지 8이 되도록 중화한다. 상기 비커는 다양한 종류의 비커를 사용할 수 있으며, 상기 용액 10㎖를 취하여 사용하는 경우 약 200㎖의 톨 비커 등을 사용하는 것이 작업에 용이하나, 비커의 크기 등에 본 발명의 범주가 한정되는 것은 아니다. 한편, 상기 암모니아수는 피펫 등 다양한 도구를 이용하여 상기 용액에 서서히 가하게 되며, pH 미터의 전극을 상기 용액에 접하도록 하고 암모니아수를 서서히 가하면서 pH 미터를 계속 확인하여 pH가 7 내지 8이 되는 지점에서 암모니아수의 첨가를 중단한다.Through the above procedure, a solution in which ITO is dissolved in hydrochloric acid is taken by a pipette or the like, and then the solution is poured into a beaker, and ammonia water (NH 4 OH) is added to neutralize the solution so that the pH of the solution becomes 7 to 8. The beaker can use various kinds of beakers. When 10 ml of the solution is used, it is easy to work with about 200 ml of tolbicer, but the scope of the present invention is not limited to the beaker size and the like . Meanwhile, the ammonia water is gradually added to the solution by using a variety of tools such as a pipette, and the electrode of the pH meter is brought into contact with the solution, and the pH meter is continuously checked while slowly adding ammonia water. Stop adding ammonia water.

이와 같이 염산에 ITO가 용해된 용액에 암모니아수를 가하여 용액의 pH가 7 내지 8이 되면 비커 내에는 금속수산화물의 침전물이 생기게 된다. 이와 같이 침전된 금속수산화물은 인듐수산화물 (In(OH)3)과 주석수산화물 ((Sn(OH)4)이며, 이들이 용액 내에서 고체상태로 침전된 것이다.When ammonia water is added to the solution in which ITO is dissolved in hydrochloric acid and the pH of the solution becomes 7 to 8, a precipitate of metal hydroxide is formed in the beaker. The precipitated metal hydroxides are indium hydroxide (In (OH) 3 ) and tin hydroxide ((Sn (OH) 4 ), which are precipitated in solution in a solid state.

이와 같이 생성된 인듐수산화물과 주석수산화물만을 걸러내기 위하여 상기 비커에 담긴 용액을 침전물과 함께 거름종이 상에 부어 이들 수산화물을 거름종이상에 거르고 나머지 액체는 거름종이를 통과시켜 또 다른 비커에 담기도록 한다.In order to filter only the thus produced indium hydroxide and tin hydroxide, the solution contained in the beaker is poured onto the filter paper together with the precipitate to filter the hydroxides over the filter paper, and the remaining liquid is passed through the filter paper to another beaker .

상기 거름종이는 다양한 규격의 거름종이를 사용하는 것이 가능하며, 예를 들어 5C규격의 거름종이를 사용하면 인듐수산화물 및 주석수산화물을 충분히 걸러낼 수 있다.It is possible to use a variety of standardized filter paper, for example, a filter paper of 5C size can sufficiently filter out indium hydroxide and tin hydroxide.

이와 같이 걸러진 금속수산화물을 거름종이 상에서 물로 충분히 세척하여 금속수산화물 이외의 이물질을 모두 제거한다. 이때 사용되는 물은 순수를 사용한다. 상기 순수는 순수한 물 (H2O) 이외에 각종 미네랄 등의 이온 성분이 거의 포함되지 않은 물을 의미하며, 이는 모든 이온이 제거된 (즉, 탈이온된) 탈이온수를 의미한다. 이러한 탈이온수는 예를 들어 12 내지 18MΩ·㎝, 바람직하게는 18MΩ·㎝의 저항을 갖는 순수이다. 순수로 세척하는 과정은 통상적으로 4 내지 5회 세척하는 것으로 충분하다.The metal hydroxide thus filtered is thoroughly washed with water on the filter paper to remove any foreign substances other than the metal hydroxide. In this case, pure water is used. The pure water means pure water (H 2 O) as well as water containing almost no ion components such as various minerals, which means deionized water in which all ions have been removed (ie, deionized). Such deionized water is pure water having a resistance of, for example, 12 to 18 M? 占, m, preferably 18 M? 占. M. Washing with pure water is usually sufficient to wash 4 to 5 times.

한편, 상기 거름종이를 통과하여 또 다른 비커에 담긴 액체는 ICP 등을 이용하여 인듐 또는 주석이 어느 정도 함유되어 있는지 확인 (이때, 인듐 또는 주석이 존재하더라도 매우 극미량이므로 ICP를 이용하여 측정하는 것이 가능함)하는 과정을 거칠 수 있으며, 만약 이와 같이 액체에서 측정된 인듐 또는 주석의 함유량이 실험적으로 무시할 수 없는 정도일 경우는 상기 액체에 다시 암모니아수를 가하여 금속수산화물을 더욱 추출해 낼 수도 있다. 한편, 이와 같은 과정을 통하여 상기 액체에서 인듐 또는 주석이 거의 검출되지 않는다면 (5ppm 미만) 상기 암모니아수를 이용한 중화과정에서 충분히 신뢰할 수 있을 정도로 금속수산화물이 생성된 것으로 간주 될 수 있다.On the other hand, the liquid contained in the other beaker passing through the filter paper is used to determine whether indium or tin is contained by ICP or the like (in this case, even if indium or tin is present, ). If the content of indium or tin measured in the liquid is experimentally negligible, the metal hydroxide may be further extracted by adding ammonia water to the liquid again. On the other hand, if indium or tin is hardly detected (less than 5 ppm) in the liquid through the above process, metal hydroxide can be considered to be sufficiently reliable in the neutralization process using the ammonia water.

이와 같이 걸러지고 세척된 금속수산화물 (즉, 인듐수산화물 및 주석수산화물)을 새로운 비커에 넣고 충분한 양의 질산용액을 가한 후 상기 비커를 시계접시 (watch glass)로 덮는다. 이때 시계접시의 볼록한 부분이 비커 방향을 향하도록 한다. 상기 시계접시의 볼록한 부분이 비커를 향하도록 함으로써 반응시 발생하는 기체성분이 시계접시에 응결되어 다시 쉽게 비커로 떨어질 수 있게 되며, 이를 통하여 반응물의 소실을 차단함으로 더욱 정확한 정량분석이 가능해 진다.The thus filtered and washed metal hydroxides (i.e., indium hydroxide and tin hydroxide) are placed in a new beaker, a sufficient amount of nitric acid solution is added, and the beaker is covered with a watch glass. At this time, make sure that the convex part of the watch plate faces the beaker direction. Since the convex portion of the watch plate is directed to the beaker, the gas component generated during the reaction is condensed on the watch glass and can be easily dropped to the beaker, thereby preventing the disappearance of the reactant, thereby enabling a more accurate quantitative analysis.

이때 사용되는 질산용액은 KS M ISO 6353-2(R19)에서 규정한 질산 1부피와 물 1부피를 혼합한 것을 사용하며, 비커에 담긴 금속수산화물이 상기 질산용액과 충분히 반응할 수 있도록 적어도 30분 이상 충분히 반응시킨다.The nitric acid solution used herein is a mixture of 1 volume of nitric acid and 1 volume of water specified in KS M ISO 6353-2 (R19), and the metal hydroxide contained in the beaker is reacted with the nitric acid solution for at least 30 minutes Or more.

이와 같이 질산용액과 상기 금속수산화물이 반응하면, 금속수산화물 중 인듐수산화물은 질산에 완전히 용해되나, 주석산화물의 경우는 질산에 용해된 후 주석이 다시 질산과 반응하여 메타주석산 (H2SnO3)을 형성하게 된다 (즉, 이상적으로는 주석산화물에 함유된 모든 주석이 메타주석산의 주석성분으로 됨). 이때 충분한 반응을 통하여 인듐수산화물이 완전하게 용해되어 고형성분이 모두 사라지고 주석산화물의 주석성분이 모두 메타주석산의 주석성분이 될 수 있도록 적어도 1시간 이상 실온에서 방치한다.When the nitric acid solution reacts with the metal hydroxide, the indium hydroxide in the metal hydroxide is completely dissolved in the nitric acid. In the case of the tin oxide, the tin is dissolved in the nitric acid, and then the tin reacts with the nitric acid again to form meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 ) (Ideally, all the tin contained in the tin oxide becomes the tin component of the meta-tartaric acid). At this time, sufficient reaction is carried out to allow the indium hydroxide to dissolve completely and all of the solid components disappear and the tin component of the tin oxide becomes the tin component of the meta-tartaric acid at room temperature for at least 1 hour.

이와 같이 생성된 고형의 메타주석산을 걸러내기 위하여 비커에 담긴 용액과 메타주석산 고형 침전물을 거름종이 상에 부어주고, 거름종이를 통과한 액체는 다른 비커에 담기도록 한다. 이때 사용되는 거름종이는 다양한 규격이 사용될 수 있으며, 예를 들어 5C정도 규격의 거름종이를 사용하는 경우 메타주석산을 충분히 신뢰할 수 있을 정도로 걸러낼 수 있다. 이와 같이 거름종이 상에 걸러진 메타주석산을 질산용액을 이용하여 충분히 세척하여 메타주석산 이외의 이물질을 충분히 제거한다. 이때 사용되는 질산용액은 KS M ISO 6353-2(R19)에서 규정한 질산 1부피와 물 10부피를 혼합한 것을 사용한다. 이때 물 대신 질산용액을 이용하여 세척함으로써 메타주석산 이외의 불순물을 제거함과 동시에 질산과 미반응하여 고체상태로 남아 거름종이 상에 걸러진 일부 인듐수산화물을 다시 한번 용해시킬 수 있으며, 이러한 과정을 통하여 더욱 정확한 정량분석이 가능해 진다.To filter out the solid meta-tartaric acid thus produced, the beaker-containing solution and the meta-tartaric acid solid precipitate are poured onto the filter paper, and the liquid passed through the filter paper is placed in the other beaker. A variety of standard sizes can be used for the filter paper used. For example, when the filter paper having a size of about 5C is used, meta-tartaric acid can be sufficiently reliably filtered. In this way, meta-tartaric acid filtered on the filter paper is thoroughly washed with a nitric acid solution to sufficiently remove foreign substances other than meta-tartaric acid. The nitric acid solution used here is a mixture of 1 volume of nitric acid and 10 volumes of water specified in KS M ISO 6353-2 (R19). At this time, by washing with a nitric acid solution instead of water, impurities other than meta-tartaric acid are removed, and at the same time, some indium hydroxide which remains unreacted with nitric acid and remains in a solid state can be dissolved once again on the filtration paper. Quantitative analysis becomes possible.

한편, 상기 거름종이를 통과한 액체는 ICP 등을 이용하여 거름종이를 통과한 액체에 주석성분이 함유되어 있는지 여부를 확인한다. 정량분석의 신뢰도에 영향을 미칠 정도의 주석성분이 검출되는 경우는 실험을 다시 수행하거나 여기에 다시 질산 (1:1)을 가하여 잔여 주석이 완전히 메타주석산으로 형성되도록 할 수 있다. 거름종이를 통과한 액체에서 주석이 거의 검출되지 않으면 충분히 신뢰할 수 있는 정도로 메타주석산을 얻었음을 의미한다.On the other hand, the liquid that has passed through the filter paper uses ICP or the like to check whether or not the tin component is contained in the liquid which has passed through the filter paper. If tin components are detected that affect the reliability of the quantitative analysis, the experiment may be repeated or nitric acid (1: 1) may be added to the residual tin to form meta-tartaric acid completely. If tin is scarcely detected in the liquid passing through the filter paper, it means that meta-tartaric acid has been obtained to a sufficiently reliable degree.

이와 같이 걸러지고 세척된 메타주석산을 거름종이와 함께 100 내지 105℃의 공기 증탕에서 약 1시간 정도 충분히 건조시킨 다음, 이와 같이 건조된 메타주석산과 거름종이를 자제도가니로 옮긴다. 만약 메타주석산을 거름종이에서 분리하는 경우는 거름종이에 미량의 메타주석산이 잔류할 가능성이 있으므로 메타주석산을 거름종이에서 분리하지 않은 채 건조과정을 거치게 되고 또한 이들을 함께 자제도가니에 넣게 되며, 이러한 과정을 통하여 더욱 신뢰도가 높은 정량분석이 가능해진다.The thus filtered and washed meta-tartaric acid is thoroughly dried in an air bath at 100 to 105 ° C for about 1 hour together with the filter paper, and then the thus dried meta-tartaric acid and the filter paper are transferred to the porcelain crucible. If meta-tartaric acid is separated from the filter paper, there is a possibility that trace meta-tartaric acid may remain in the filter paper. Thus, the meta-tartaric acid is dried without being separated from the filter paper and is put into the porcelain crucible together with the process A more reliable quantitative analysis becomes possible.

한편, 이때 자제도가니에 담긴 메타주석산에 소량의 질산용액 (1:1)을 가하여 혹시라도 잔존할 수 있는 인듐수산화물을 다시 한번 완전 용해시키게 되며, 이러한 과정을 통하여 더욱 신뢰도가 높은 정량분석이 가능해진다.At this time, a small amount of nitric acid solution (1: 1) is added to the meta-tartaric acid contained in the porcelain crucible to completely dissolve indium hydroxide which may be remaining even once, and more reliable quantitative analysis becomes possible through this process .

그 후, 메타주석산과 거름종이가 내부에 놓인 자제도가니를 강열 (incineration)한다. 강열하는 과정은 전기로 등을 이용하여 수행하는 것이 가능하며, 이때 전기로의 온도를 분당 5 내지 10℃ 정도로 서서히 승온시키고 약 400 내지 500℃에 이르면 분당 15℃ 정도로 승온시키며, 최종적으로 900 내지 1,100℃, 바람직하게는 1,000℃에 이르도록 한다. 이와 같은 최종온도에서 약 30 내지 90분, 바람직하게는 1시간 동안 온도를 유지한다. Thereafter, incinerating the porcelain crucible with meta-tartaric acid and filter paper inside. The temperature of the electric furnace is gradually raised to about 5 to 10 ° C per minute, and the temperature of the electric furnace is raised to about 15 ° C per minute at about 400 to 500 ° C. Finally, the temperature is raised to 900 to 1,100 ° C , Preferably to 1,000 ° C. The temperature is maintained at such final temperature for about 30 to 90 minutes, preferably for 1 hour.

이와 같은 강열과정을 통하여 메타주석산 (H2SnO3)의 수소 (H)성분은 모두 증발 소실되고, 주석 (Sn)과 산소 (O)성분이 재배열을 이루게 되며 결국 자제도가니 내의 메타주석산이 모두 순수한 산화주석 (SnO2)으로 변하여 남게 된다. Through the ignition process, the hydrogen (H) component of meta-tartrate (H 2 SnO 3 ) is completely evaporated and the tin (Sn) and oxygen (O) components are rearranged. As a result, It is changed to pure tin oxide (SnO 2 ).

이와 같은 강열 과정은 메타주석산이 모두 산화주석으로 변하고 산화주석이 더이상의 무게 변화를 일으키지 않게 되는 상태 즉, 일정량 (=항량 (constant weight))의 상태가 될 때까지 수행한다.This ignition process is performed until the meta-tartaric acid turns into tin oxide and the tin oxide no longer causes a change in weight, that is, a constant amount (= constant weight).

한편, 상기 자제도가니는 미리 무게를 정확하게 측정한 것을 사용한다. 특히 자제도가니가 1,000℃ 정도의 전기로를 거치면 자체 수분 등의 증발에 의하여 무게가 변하게 되므로, 동일한 조건에서 강열 과정을 미리 거친 자제도가니의 무게변화를 미리 측정하여 둠으로써 실험 오차를 최소화시킬 수 있다. 한편, 거름종이는 강열과정을 거쳐 완전히 재 (ash)로 변하게 되며 재의 무게는 완전히 무시할 수 있는 정도가 된다. 또한, 상기 자제도가니에 가한 질산용액 및 질산용액에 의해 용해된 잔류 인듐수산화물은 액체 상태에서 완전히 증발 소실되므로 이와 관련한 질량 또한 무시할 수 있는 정도이다.On the other hand, the self-potting crucible used is one that has been accurately weighed in advance. In particular, when the porcelain crucible is subjected to an electric furnace having a temperature of about 1,000 ° C., the weight changes due to evaporation of its own water and the like. Therefore, the experimental error can be minimized by previously measuring the weight change of the porcelain crucible. On the other hand, the filter paper is changed into ash through the heat treatment process, and the weight of the ash becomes completely negligible. In addition, the residual indium hydroxide dissolved by the nitric acid solution and the nitric acid solution added to the porcelain crucible is completely evaporated and lost in the liquid state, so that the mass relating to the indium hydroxide is negligible.

이와 같이 강열이 종료된 자제도가니를 데시게이터로 옮겨 약 1시간 가량 실온에서 서서히 식히고, 미리 측정된 자제도가니 자체의 무게를 고려하여 자제도가니에 남은 산화주석의 질량을 측정한다. 이때, 자제도가니의 무게가 미리 측정되어 있으므로 자제도가니에서 산화주석을 별도로 취하여 그 질량을 측정할 필요가 없으며 산화주석이 담긴 채로 자제도가니의 무게를 측정함으로써 산화주석의 질량을 계산할 수 있다. 이로써 자제도가니에서 산화주석을 취할 때 미량의 산화주석이라도 자제도가니에 잔존하여 산화주석의 측정질량에 오차가 발생하는 것이 방지된다. The porcelain crucible with the end of the ignition is transferred to a desiccator, cooled slowly at room temperature for about one hour, and the mass of the tin oxide remaining in the porcelain crucible is measured in consideration of the weight of the pre-determined crucible itself. At this time, since the weight of the porcelain crucible is measured in advance, it is not necessary to measure the mass of the tin oxide separately from the porcelain crucible, and the weight of the porcelain crucible containing the tin oxide can be measured to calculate the mass of the tin oxide. As a result, even when a tin oxide is taken in the porcelain crucible, even a small amount of tin oxide remains in the porcelain crucible, thereby preventing an error in the measured mass of the tin oxide.

이와 같이 측정된 산화주석의 질량을 이용하여, 수식 등을 통하여 주석의 중량% 함유량을 정확하게 측정한다.By using the mass of tin oxide thus measured, the content by weight of tin is accurately measured through a formula or the like.

상기 수식은 다양한 변형 예가 있을 수 있으며, 예를 들어 전술한 수학식 1을 통하여 주석의 중량% 함유량을 계산하는 것이 가능하다.The above formula may be variously modified. For example, it is possible to calculate the weight% content of tin by the above-mentioned equation (1).

이하 실시 예 및 비교 예를 통하여 본 발명을 좀 더 구체적으로 살펴보지만, 하기 예에 본 발명의 범주가 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples. However, the scope of the present invention is not limited to the following examples.

실시 예 1Example 1

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 Sn이 ITO 내에 7.20중량%로 혼합된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여 이를 분말로 만들어 35%-HCl (KS M ISO 6353-2 (R-13)에서 규정한 염산을 사용함)에 용해한 후 1회 걸러서 용해액을 준비하였다. 마이크로 피펫을 이용하여 이와 같이 준비된 용해액 10㎖를 취하여 200㎖ 톨 비커에 넣고 pH 미터의 전극을 비커 내의 용해액에 접촉시킨 상태에서 마이크로 피펫을 이용하여 암모니아수 (KS M ISO 6353-2 (R-3)에서 규정한 암모니아수를 사용함)를 서서히 한 방울씩 떨어뜨려 pH 미터의 수치를 관찰하면서 용해액의 pH가 7이 되도록 조정하였으며, 중화반응에 의하여 In(OH)3 및 Sn(OH)4가 충분히 생성되도록 약 30분간 방치하였다. 그 후, 상기 비커에 담긴 용해액 및 침전물을 모두 거름종이 (5C) 상에 서서히 부어 거름종이 상에 In(OH)3 및 Sn(OH)4가 충분히 걸러지도록 하고 거름종이를 통과한 액체는 다시 다른 200㎖ 톨 비커에 담기도록 하였다. ICP를 이용하여 이와 같이 거름종이를 통과한 액체에 주석 및 인듐 성분이 각각 5ppm 미만 (N/D: 미검출)임을 확인한 후, 18MΩ·㎝의 저항을 갖는 순수를 이용하여 상기 거름종이 상에 있는 In(OH)3 및 Sn(OH)4를 5회 세척하였다. 이와 같이 걸러지고 세척된 In(OH)3 및 Sn(OH)4를 200㎖ 톨 비커에 옮기고 질산용액 (KS M ISO 6353-2(R19)에서 규정한 질산 1부피와 물 1부피를 혼합한 것)을 50㎖를 가한 후 시계접시의 볼록한 부분이 비커를 향하도록 비커를 시계접시로 덮고 30분간 반응시켰다. 그 후 상온에서 1시간 방치한 후 이를 거름종이 (5C) 상에 서서히 부어 거름종이 상에 고형의 침전물이 걸러지도록 하였으며, 거름종이를 통과한 액체는 다른 비커에 담기도록 하였다. ICP를 이용하여 이와 같이 다른 비커에 담긴 액체 내의 주석의 함유량이 5ppm 미만 (N/D: 미검출)임을 확인한 후, 질산용액 (KS M ISO 6353-2(R19)에서 규정한 질산 1부피와 물 10부피를 혼합한 것)을 이용하여 거름종이 상에 걸러진 침전물을 5회 세척하였다. 이와 같이 걸러지고 세척된 침전물을 거름종이와 함께 약 100℃에서 1시간 동안 건조한 다음, 1,000℃의 전기로에서 1시간 동안 강열과정을 거치기 전과 후의 무게가 미리 측정된 자제도가니에 넣고 질산용액 (KS M ISO 6353-2(R19)에서 규정한 질산 1부피와 물 10부피를 혼합한 것)을 피펫으로 2방울 적신 후, 이를 전기로에 넣어 강열시켰다. 강열은 초기 10℃/분의 속도로 400℃까지 서서히 가열하고 그 후 15℃/분의 속도로 가열하였다. 최종적으로 1,000℃에 이른 후 1시간 동안 온도를 유지하였다. 그 후, 자제도가니를 전기로에서 꺼내어 이를 데시게이터에 넣고 약 1시간 가량 상온으로 식혔으며, 자제도가니가 식은 후, 자제도가니 자체의 무게를 고려하여 자제도가니에 남아있는 산화주석 (SnO2)의 질량을 측정하였으며, 하기 수학식 1에 의하여 주석의 중량% 함유량을 계산하였고 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다 (도 1 참고).(22.0 g) of indium tin oxide, which was confirmed to be a mixture of 7.20 wt% of Sn in the ITO, was prepared from a manufacturer of indium oxide and tin oxide, which are raw materials for ITO, -2 (R-13) was used), and the solution was prepared once every time. Using a micropipette, take 10 ml of the solution prepared above, place it in a 200 ml tall beaker, and mix it with ammonia water (KS M ISO 6353-2 (R- (OH) 3 and Sn (OH) 4 were prepared by the neutralization reaction, and the pH of the solution was adjusted to 7 by observing the pH value of the solution by slowly dropping a drop of the solution And allowed to stand for about 30 minutes so as to be sufficiently generated. Thereafter, all of the solution and the precipitate contained in the beaker are slowly poured onto the sifted paper 5C so that In (OH) 3 and Sn (OH) 4 are sufficiently filtered on the sifted paper, Was added to another 200 ml tall beaker. Using ICP, it was confirmed that tin and indium components were less than 5 ppm (N / D: not detected), respectively, in the liquid passed through the filter paper, and then pure water having a resistance of 18 M? In (OH) 3 and Sn (OH) 4 were washed five times. The thus filtered and washed In (OH) 3 and Sn (OH) 4 were transferred to a 200 ml tall beaker, and a nitric acid solution (1 volume of nitric acid specified in KS M ISO 6353-2 (R19) ) Was added to the beaker, and the beaker was covered with a watch plate so that the convex portion of the watch plate faced the beaker, followed by reaction for 30 minutes. Thereafter, it was allowed to stand at room temperature for 1 hour, and then slowly poured onto the sifted paper (5C) so that the solid sediment was filtered on the sifted paper, and the liquid passed through the sifted paper was placed in another beaker. After confirming that the content of tin in the liquid contained in the other beaker was less than 5 ppm (N / D: not detected) using ICP, 1 volume of nitric acid (KS M ISO 6353-2 (R19) 10 volume) was used to wash the precipitate filtered on the filter paper five times. The thus filtered and washed precipitate was dried together with the filter paper at about 100 ° C. for 1 hour and then weighed in a pre-measured porcelain crucible before and after ignition for 1 hour in an electric furnace at 1,000 ° C., and a nitric acid solution (KS M 2 volts of a mixture of 1 vol. Of nitric acid and 10 vol. Of water specified in ISO 6353-2 (R19)) was wetted by pipette and then put into an electric furnace for ignition. The ignition was gradually heated to 400 DEG C at an initial rate of 10 DEG C / min and then heated at a rate of 15 DEG C / min. The temperature was finally maintained at 1,000 ° C. for 1 hour. Thereafter, the porcelain crucible was taken out of the electric furnace, put in a desiccator, and cooled to room temperature for about 1 hour. After the porcelain crucible was cooled, the weight of the tin oxide (SnO 2 ) remaining in the porcelain crucible And the content by weight of tin was calculated by the following formula (1). The results are shown in Table 1 below (see FIG. 1).

[수학식 1][Equation 1]

Sn(%)={(m1×0.7876)/m0}×100 (여기서, m1은 상기 측정된 산화주석의 질량이며, m0는 상기 인듐주석산화물 분말시료의 질량임)Sn (%) = {(m 1 x 0.7876) / m 0 } x 100 wherein m 1 is the mass of the measured tin oxide and m 0 is the mass of the indium tin oxide powder sample.

실시예 2Example 2

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 Sn이 ITO 내에 7.12중량%로 혼합된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여, 상기 실시예 1과 동일한 방법을 통하여 주석의 중량% 함유량을 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다 (도 2 참고).Using the same method as in Example 1, 22.0 g of indium tin oxide confirmed to be a mixture of 7.12 wt% of Sn in ITO was prepared from indium oxide and tin oxide, which are raw materials for ITO, %. The results are shown in Table 1 (see Fig. 2).

실시예 3Example 3

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 Sn이 ITO 내에 6.87중량%로 혼합된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여, 상기 실시예 1과 동일한 방법을 통하여 주석의 중량% 함유량을 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다 (도 3 참고).Using 22.0 g of indium tin oxide, which was confirmed to be a mixture of 6.87% by weight of Sn in ITO, from the manufacturer of indium oxide and tin oxide, which are raw materials for ITO, the weight of tin %. The results are shown in Table 1 (see FIG. 3).

실시예 4Example 4

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 89.9: 10.1의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여, 상기 실시예 1과 동일한 방법을 통하여 주석의 중량% 함유량을 측정하였으며, 이를 이용하여 ITO에 함유된 인듐과 주석의 중량비를 계산하였고 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.In the same manner as in Example 1, 22.0 g of indium tin oxide, which was confirmed to contain indium and tin in a weight ratio of 89.9: 10.1, respectively, in ITO, was prepared from a manufacturer of indium oxide and tin oxide, , And the weight ratio of indium and tin contained in ITO was calculated using the weight percentage of tin. The results are shown in Table 2 below.

실시예 5Example 5

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 90.3: 9.7의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여, 상기 실시예 1과 동일한 방법을 통하여 주석의 중량% 함유량을 측정하였으며, 이를 이용하여 ITO에 함유된 인듐과 주석의 중량비를 계산하였고 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.In the same manner as in Example 1, except that 22.0 g of indium tin oxide, which was confirmed to contain In and Sn in the ITO by weight ratio of 90.3: 9.7, respectively, was prepared from a manufacturer of indium oxide and tin oxide, , And the weight ratio of indium and tin contained in ITO was calculated using the weight percentage of tin. The results are shown in Table 2 below.

실시예 6Example 6

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 89.8: 10.2의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여, 상기 실시예 1과 동일한 방법을 통하여 주석의 중량% 함유량을 측정하였으며, 이를 이용하여 ITO에 함유된 인듐과 주석의 중량비를 계산하였고 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.In the same manner as in Example 1, except that 22.0 g of indium tin oxide, which was confirmed to contain indium and tin in a weight ratio of 89.8: 10.2, respectively, in ITO, was prepared from a manufacturer of indium oxide and tin oxide, , And the weight ratio of indium and tin contained in ITO was calculated using the weight percentage of tin. The results are shown in Table 2 below.

비교예 1Comparative Example 1

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 89.9: 10.1의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여 ICP를 이용하여 In과 Sn의 중량비를 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.Indium and tin oxide, which are raw materials for ITO, were prepared from indium and tin oxide, respectively, and indium tin oxide (22.0 g), which was confirmed to contain indium and tin in ITO at a weight ratio of 89.9: 10.1, Weight ratio was measured, and the results are shown in Table 2 below.

비교예 2Comparative Example 2

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 90.3: 9.7의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여 ICP를 이용하여 In과 Sn의 중량비를 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.Indium and tin oxide, which are raw materials for ITO, were prepared from indium and tin oxide, respectively. Using indium tin oxide (22.0 g), which was confirmed to contain In and Sn in ITO at a weight ratio of 90.3: 9.7, Weight ratio was measured, and the results are shown in Table 2 below.

비교예 3Comparative Example 3

ITO의 원료가 되는 산화인듐과 산화주석을 각각 제조한 제조사로부터 In과 Sn이 ITO 내에 각각 89.8: 10.2의 중량비로 함유된 것임을 확인받은 인듐주석산화물 22.0g을 이용하여 ICP를 이용하여 In과 Sn의 중량비를 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.In and Sn were prepared by using ICP from 22.0 g of indium tin oxide, which was confirmed to contain indium and tin in a weight ratio of 89.8: 10.2, respectively, in ITO, from indium oxide and tin oxide, which are raw materials for ITO. Weight ratio was measured, and the results are shown in Table 2 below.

주석 (Sn) (중량%)Tin (Sn) (% by weight) 실시예 1Example 1 7.207.20 실시예 2Example 2 7.137.13 실시예 3Example 3 6.866.86

상기 표 1의 결과를 살펴보면, 본 발명의 정량분석 방법을 통하여 실시예 1 내지 3의 과정을 통하여 측정된 주석의 중량% 함유량이 ITO에 실제 함유된 주석의 함유량과 일치하는 것을 확인할 수 있다. 즉, 상기 표 1의 결과는 본 발명에 따른 습식 정량분석의 정확도를 나타내는 결과인 것으로 해석된다. 특히, 상기 실시예 1 내지 3의 방법은 한국화학융합시험연구원을 통하여 다시 한번 검증을 받았으며, 도 1 내지 3 (각각 실시예 1 내지 3에 대응)에 나타난 바와 같이 본 발명자가 수행한 것과 동일한 주석의 중량% 함유량 결과를 나타냄을 확인할 수 있다.From the results of Table 1, it can be seen that the content by weight of tin measured by the methods of Examples 1 to 3 through the quantitative analysis method of the present invention agrees with the content of tin actually contained in ITO. That is, the results in Table 1 are interpreted as a result indicating the accuracy of the wet quantitative analysis according to the present invention. In particular, the methods of the above Examples 1 to 3 were once again verified by the Korean Chemical Fusion Test Institute and as shown in Figs. 1 to 3 (corresponding to Examples 1 to 3 respectively), the same tin % ≪ / RTI > by weight.

인듐 (In) (중량비)Indium (In) (weight ratio) 주석 (Sn) (중량비)Tin (Sn) (weight ratio) 실시예 4Example 4 89.989.9 10.110.1 실시예 5Example 5 90.390.3 9.79.7 실시예 6Example 6 89.889.8 10.210.2 비교예 1Comparative Example 1 86.886.8 13.213.2 비교예 2Comparative Example 2 87.787.7 12.312.3 비교예 3Comparative Example 3 88.988.9 11.111.1

상기 표 2의 결과를 살펴보면, 본 발명에 따른 습식 정량분석 방법에 의하여 측정된 주석의 중량% 함유량을 이용하여 계산된 인듐과의 중량비가 실제 실험에 사용된 ITO시료에 함유된 인듐과 주석의 중량비와 일치함을 확인할 수 있다. 이는 본 발명에 따른 정량분석 방법의 높은 신뢰도를 뒷받침하는 결과인 것으로 해석된다.The results of Table 2 indicate that the weight ratio of indium calculated using the weight% content of tin measured by the wet quantitative analysis method according to the present invention is the same as that of indium and tin contained in the ITO sample used in the actual experiment As shown in Fig. This is interpreted as a result supporting the high reliability of the quantitative analysis method according to the present invention.

그러나, 상기 표 2에 나타난 바와 같이 ICP를 이용하여 측정한 인듐과 주석의 중량비는 실제 값과 매우 큰 차이를 보임을 확인할 수 있으며, 이는 실제 측정되는 성분의 함유량이 수 ppm 단위가 아닌 수 내지 수십 퍼센트 (%)의 단위이기 때문에 ICP를 이용한 측정에 큰 오차가 생긴 결과인 것으로 해석된다.However, as shown in Table 2, it can be seen that the weight ratio of indium and tin measured by ICP shows a great difference from the actual value. This indicates that the content of the actually measured component is several to several tens It is interpreted that this is a result of a large error in the measurement using ICP because it is a unit of percent (%).

따라서, 이러한 결과는 수 내지 수십 중량% 단위를 갖는 성분의 정량분석에는 ICP를 이용한 정량분석 방법은 적절하지 않으며, 본 발명에 따른 습식 정량분석 방법을 사용할 경우 매우 높은 정도의 신뢰도를 보이는 결과를 얻을 수 있음을 뒷받침하는 것으로 해석된다.Therefore, the quantitative analysis using ICP is not suitable for the quantitative analysis of components having a unit of several to several tens of weight%, and the result of using the wet quantitative analysis method according to the present invention shows a very high degree of reliability This is the case.

Claims (1)

분말상태의 인듐주석산화물 (ITO)을 염산에 용해시켜 용해액을 제조하고, 상기 용해액을 거름종이로 거르는 단계;
7 내지 8의 수소이온농도 (pH)를 갖도록 상기 용해액에 암모니아수를 첨가하여 인듐수산화물 (In(OH)3) 및 주석수산화물 (Sn(OH)4)을 포함하는 금속수산화물을 생성시키고, 상기 금속수산화물을 거름종이로 거르는 단계;
상기 금속수산화물을 순수로 세척하는 단계;
세척된 상기 금속수산화물에 질산용액을 가하여 메타주석산 (H2SnO3)을 생성시키는 단계;
상기 메타주석산을 거름종이로 거르는 단계;
상기 메타주석산을 질산용액으로 세척하는 단계;
세척된 상기 메타주석산을 자제도가니에 넣고 질산용액을 가하여 900 내지 1,100℃에서 30 내지 90분 동안 강열하고 남은 산화주석 (SnO2)의 질량을 측정하는 단계; 및
상기 측정된 산화주석의 질량을 이용하여 ITO에 함유된 주석의 중량% 함유량을 하기 수학식 1에 의해 계산하는 단계를 포함하는 ITO에 함유된 주석의 정량분석 방법:
[수학식 1]
Sn(%)={(m1×0.7876)/m0}×100
여기서, m1은 상기 측정된 산화주석의 질량이며, m0는 분석시료로 사용된 상기 인듐주석 산화물의 질량이다.
Dissolving indium tin oxide (ITO) in a powder state in hydrochloric acid to prepare a dissolution liquid, and filtering the dissolution liquid with a filter paper;
So as to have a 7 to 8, the pH value (pH) of the addition of aqueous ammonia to the dissolved solution to the indium hydroxide (In (OH) 3), and tin hydroxide (Sn (OH) 4) to produce a metal hydroxide containing the metal Filtering the hydroxide with filter paper;
Washing the metal hydroxide with pure water;
Adding nitric acid solution to the washed metal hydroxide to produce meta-tartaric acid (H 2 SnO 3 );
Filtering the meta-tartaric acid with a filter paper;
Washing the meta-tartaric acid with a nitric acid solution;
The washed meta-tartaric acid is placed in a porcelain crucible, and a nitric acid solution is added thereto, and the weight of the remaining tin oxide (SnO 2 ) is measured by heating at 900 to 1,100 ° C for 30 to 90 minutes. And
And calculating the weight% content of tin contained in the ITO by using the mass of the tin oxide measured by the following formula (1): < EMI ID =
[Equation 1]
Sn (%) = {(m 1 x 0.7876) / m 0 } x 100
Where m 1 is the mass of the measured tin oxide and m 0 is the mass of the indium tin oxide used as the analytical sample.
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