KR20160070504A - Magnetic valve apparatus - Google Patents

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KR20160070504A
KR20160070504A KR1020140177534A KR20140177534A KR20160070504A KR 20160070504 A KR20160070504 A KR 20160070504A KR 1020140177534 A KR1020140177534 A KR 1020140177534A KR 20140177534 A KR20140177534 A KR 20140177534A KR 20160070504 A KR20160070504 A KR 20160070504A
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Abstract

The present invention relates to a magnetic valve apparatus to control a flow of cryogenic fluid, comprising: an outer pipe unit having an outer pipe; an inner pipe unit located inside the outer pipe unit having an inner pipe to make a space formed by the outer pipe unit vacuum and through which a cryogenic fluid is carried; a magnetic core unit formed to deliver a magnetic force inside the inner pipe unit and make a flow path blocked by a magnetic valve inside the inner pipe unit; a valve unit located inside the inner pipe unit and having a magnetic valve of which the movement with respect to the magnetic core unit is controlled by a magnetic force to control a flow rate of the cryogenic fluid carried by the inner pipe unit by opening and closing the inside of the inner pipe unit; and a valve driving unit located in at least one among the outer surface of the outer pipe unit and the inner pipe unit to supply magnetic force to the magnetic valve in order to control the movement of the magnetic valve with respect to the magnetic core unit. The present invention has effects of solving problems on thermal conductivity in a cryogenic valve to control cryogenic fluid, compatibility, power consumption, a durability decrease, response to a phase change in the fluid, and the like of existing technologies.

Description

마그네틱 밸브 장치{MAGNETIC VALVE APPARATUS}[0001] MAGNETIC VALVE APPARATUS [0002]

본 발명은 마그네틱 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 극저온 유체의 유량 제어를 위한 마그네틱 밸브 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a magnetic valve, and more particularly, to a magnetic valve device for controlling the flow rate of a cryogenic fluid.

일반적으로, 액체수소 또는 헬륨이나 액화천연가스 등의 극저온 액화가스의 저장 및 운송은 특별한 밸브가 요구된다. 수소 및 산소와 질소 또는 액화천연가스 등은 극저온 상태에서 저장 및 운송되므로 극저온 상태 및 고압의 가스 상태에서도 안정적인 작동이 이루어져야하기 때문이다.In general, the storage and transport of cryogenic liquefied gases such as liquid hydrogen or helium or liquefied natural gas requires special valves. Hydrogen and oxygen and nitrogen or liquefied natural gas are stored and transported in a cryogenic temperature state, so that stable operation must be performed even in a cryogenic temperature state and a high pressure gas state.

이에 따라, 대한민국 등록특허 제10-0929802호(선행기술 1)에서는 액화수소를 이송하기 위한 탱크에 결합되어 안정적인 개폐 동작을 수행할 수 있도록, 밸브축의 상부에 스프링을 장착하는 것에 의해, 액화가스의 압력이 밸브축에 전달되어 밸브축이 외측 상향으로 밀려나가게 하는 힘을 완충시키는 것에 의해 가스에 의한 온도나 압력에 구애됨이 없이 상온에서의 조작이 가능한 극저온 밸브를 개시한다.Accordingly, in Korean Patent No. 10-0929802 (prior art 1), by attaching a spring to the upper portion of the valve shaft so as to be able to perform a stable opening / closing operation by being coupled to a tank for transferring liquefied hydrogen, Discloses a cryogenic valve capable of operating at room temperature without buffering the temperature or pressure due to gas by buffering the force that the pressure is transmitted to the valve shaft and the valve shaft is pushed outward upward.

또한, 대한민국 등록특허 제10-0693935호(선행기술 2)에서는 극저온에서도 밸브 몸체와 볼 사이의 기밀을 유지하여 밸브의 개폐 동작을 원활히 수행할 수 있도록 하는 것으로, 볼과 밸브몸체 사이에 시트홀더를 장착하고, 시트홀더와 볼 사이에는 경사부가 형성된 밸브시트로 기밀을 유지하고, 시트홀더와 밸브몸체는 패킹에 의해 기밀을 유지하도록 구성한 극저온 볼 밸브를 개시한다.In Korean Patent No. 10-0693935 (Prior Art 2), the airtightness between the valve body and the ball is maintained even at a very low temperature, so that the opening and closing operation of the valve can be smoothly performed. A seat holder And the seat holder and the valve body are configured to maintain airtightness by means of a packing, while the airtightness is maintained by a valve seat formed with an inclined portion between the seat holder and the ball.

그러나 상술한 종래기술 1 및 종래기술 2의 극저온 밸브들은, 핸들 및 밸브축을 통해 고압 극저온 상태의 액화가스 흐름을 효과적으로 단속할 수 있도록 하며, 뛰어난 기밀성과 안전성을 가지도록하기 위하여 열전달을 최소화시킬 필요가 있고 이에 따라 밸브몸체가 가늘고 긴 로드 형상을 가지게 되어, 밸브의 크기가 커지는 문제점을 가진다.
However, the cryogenic valves of the prior art 1 and the prior art 2 described above are capable of effectively interrupting the liquefied gas flow in the high-pressure cryogenic state through the handle and the valve shaft, and it is necessary to minimize the heat transfer in order to have excellent airtightness and safety And thus the valve body has a long and long rod shape, thereby increasing the size of the valve.

극저온 밸브의 자동 개폐를 위하여 기존의 솔레노이드 밸브를 진공 단열 환경 하에서 활용하는 것도 한 가지 방법이나, 솔레노이드를 적용하는 경우 솔레노이드는 태생적으로 작동 시 통상적으로 10W 이상의 전력을 소비하며, 소비전력만큼 발열하게 된다. 이에 따라 피스톤 또는 드라이버 로드가 짧으면, 경우에 따라서 유체의 기화를 촉진할 수 있다. 특히 솔레노이드 밸브는 온/오프 제어만 가능하며, 유량 제어가 불가능하여 정밀제어 기능을 제공하지 못하는 문제점을 가진다.One way to utilize the existing solenoid valve in the vacuum insulation environment for the automatic opening and closing of the cryogenic valve, however, when the solenoid is applied, the solenoid normally consumes 10W or more when operating originally, do. Accordingly, if the piston or the driver rod is short, vaporization of the fluid can be promoted in some cases. In particular, the solenoid valve can only control the on / off state, and the flow control can not be performed, thereby failing to provide a precise control function.

또한, 솔레노이드 밸브는 온/오프 시 충격에 의한 소음이 발생하고, 물리적 마모가 발생하여 내구성이 제한적이며, 열기 또는 단기 동작 가운데 어느 하나에서는 솔레노이드 코일에 항상 구동전류가 흘러야 하는 문제점을 가진다.In addition, the solenoid valve has a problem in that noise is generated due to an impact when the solenoid valve is turned on / off, physical abrasion occurs, durability is limited, and a driving current always flows through the solenoid coil in either the open or short-

이러한 이유로 종래의 극저온 밸브의 몸체는 길이가 길어지는 모양으로 진화하였다.For this reason, the conventional cryogenic valve body has evolved into a longer length.

즉, 종래기술의 극저온 밸브의 문제점으로는, 유체가 흐르는 관 내부의 밸브 장치를 개폐하기 위한 수단으로서, 개폐를 위한 힘을 전달하는 기구가 관의 외부와 연결되어 대기의 높은 열이 유체에 전달되고, 에너지의 손실을 초래한다. 특히 솔레노이드 밸브를 사용할 경우 솔레노이드의 발열에 의하여 극저온 유체가 끓어 기화되는 열전도 및 발열의 문제가 있다.That is, a problem of the conventional cryogenic valve is that, as a means for opening and closing a valve device inside a pipe through which the fluid flows, a mechanism for transmitting a force for opening and closing is connected to the outside of the pipe, Resulting in loss of energy. Particularly, when a solenoid valve is used, there is a problem of heat conduction and heat generation in which the cryogenic fluid is boiled and vaporized by the heat of the solenoid.

또한 마그네틱 밸브의 열기 또는 닫기 동작 가운데, 어느 한 동작에서는 항상 구동전류가 코일에 흘러야 하므로, 전력 소모가 크다. 또한 솔레노이드에서 발생하는 자력이 리턴 스프링의 탄성보다 월등하게 커야 정확하게 동작하므로, 이로 인한 전력 소모가 커지는 소비전력 증가의 문제가 있다.In addition, since the drive current must flow to the coil in either of the operations of opening or closing the magnetic valve, power consumption is large. In addition, since the magnetic force generated in the solenoid is much larger than the elasticity of the return spring, the solenoid is operated correctly, resulting in a problem of increased power consumption resulting in an increase in power consumption.

현행 솔레노이드 밸브는 유체의 상태 변화에 대응하지 못한다. 따라서 유체의 상태가 기체이건 액체이건 발열이 심한 솔레노이드를 구동하게 되므로, 유체가 기체 상태인지 액체 상태인지 상태 변화를 감지하고, 이에 따라 액체 유체는 발열이 없는 방법으로 구동하는 등의 대응이 가능한 유체의 상변화에 따른 무발열 대응 기술이 필요하다.Current solenoid valves do not respond to fluid state changes. Accordingly, since the solenoid which drives the solenoid having a severe heat, whether the fluid is in a gas state or a liquid state, it is possible to detect a change in the state of the fluid such as a gas state or a liquid state, It is necessary to have a technique for coping with no phase change according to the phase change of the phase.

초전도 솔레노이드는 직류로 구동해야 하므로 전원의 호환성 문제가 예상되며, 저항이 없으므로 기존 솔레노이드 밸브를 대체할 경우 부하효과에 의한 제어전원부의 파손 등의 호환성 문제가 발생할 수 있으며, 유량의 정밀 제어가 불가능 하므로 유량에 대한 제어를 수행할 수 있는 기술을 필요로 한다.Since the superconducting solenoid must be driven by DC, compatibility problem of power source is expected. In case of replacing the existing solenoid valve because there is no resistance, compatibility problems such as breakage of control power source due to load effect may occur and precise control of flow rate is not possible A technique capable of performing control on the flow rate is required.

또한, 극저온 환경에서 충격에 의한 소음 발생, 충격에 의한 피로의 누적, 그리고 마모로 인하여 내구성이 제한적이다. 따라서 액화된 수소, 아르곤, 헬륨 등에 적용하기 어려우므로, 피로와 충격 및 마모 대한 내구성을 증가시키는 기술을 필요로 한다.
Also, in a cryogenic environment, noise is generated due to impact, accumulation of fatigue due to impact, and durability due to wear are limited. Therefore, it is difficult to apply to liquefied hydrogen, argon, helium, and the like, so a technique for increasing the durability against fatigue, impact and abrasion is required.

따라서 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 수동으로 또는 전동으로 이동되는 영구자석을 이용한 마그네트 드라이브를 이용하고, 기존의 솔레노이드 밸브의 원리를 활용하되 솔레노이드 코일로서 초전도 선재를 사용한 초전도 솔레노이드 또는 초전도 전자석을 구비하며, 초전도 솔레노이드의 경우에도 갑작스러운 온/오프(On/Off) 시에는 발열 될 수 있으므로, 전원 전력을 단계적으로 천천히 올려주거나, 낮추어 줌으로써 종래의 극저온 밸브에서의 발열을 최소화하는 것에 의해 극저온 밸브의 열전도도 및 발열 문제를 해결할 수 있도록 하는 마그네틱 밸브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a solenoid valve which uses a magnet drive using a permanent magnet which is manually or electrically moved, The solenoid or superconducting electromagnet is provided. In the case of the superconducting solenoid, the heat can be generated at the time of sudden on / off, so that the power of the cryogenic valve can be minimized by gradually increasing or decreasing the power supply power in a stepwise manner Which is capable of solving the problem of thermal conductivity and heat generation of the cryogenic valve.

또한, 본 발명은 리턴 스프링을 대체하여 적은 전력을 개폐 동작이 가능한 리턴 솔레노이드를 구비하고, 열기 또는 닫기 동작을 수행하는 순간에만 구동전류를 인가한 후 이후에는 영구전류스위치(persistence current switch(PCS))를 이용하여 초전도 전자석을 구동하도록 함으로써 구동전류 공급 중단이 가능하도록 하며, 높은 자기 투자율 재료를 이용하여 초전도 솔레노이드 주변에 외피를 구비하여 구동 전류를 감소시키는 것에 소비전력을 감소시켜 종래기술의 소비전력이 증가의 문제를 해소할 수 있도록 하는 마그네틱 밸브 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.In addition, the present invention includes a return solenoid which is capable of opening and closing a small electric power by replacing a return spring, and a driving current is applied only at the moment of performing an opening or closing operation, and thereafter a persistent current switch (PCS) ) To drive the superconducting electromagnets, thereby making it possible to stop the supply of the driving current. By using a high magnetic permeability material to provide a sheath around the superconducting solenoid to reduce the driving current, power consumption is reduced, Another object of the present invention is to provide a magnetic valve device capable of solving the problem of this increase.

또한, 본 발명은 유체의 상태를 모니터링하여 자동제어가 가능할 수 있도록, 유체의 온도 감지가 가능한 센서를 구비하고, 초전도 선재에 구리 클래딩 선재를 사용하여 액체 및 기체상태 또는 초전도 임계온도에 따라 구리 솔레노이드와 초전도체솔레노이드 간에 선택적인 제어를 실시할 수 있도록 하거나, 구리의 함량이 높은 초전도 선재를 이용하여 초전도 임계온도를 기준으로 구리 솔레노이드와 초전도 솔레노이드 간에 자동 전환이 가능하게 하여 유체의 상태 변화에 대한 대응을 용이하게 하는 것에 의해, 유체의 온도 및 상변화에 대응하는 저발열 또는 무발열 구동을 가능하게 하고, 상온과 극저온 모두에 원활히 사용할 수 있도록 하여, 종래기술에서 유체의 온도 및 상변화에 대응하지 못하는 문제점을 해결하는 마그네틱 밸브 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.According to the present invention, there is provided a sensor for detecting a fluid temperature so as to enable automatic control by monitoring a state of a fluid, and a copper cladding wire is used for the superconducting wire, and the copper solenoid And superconducting solenoids, or by automatically switching between copper solenoids and superconducting solenoids based on the superconducting critical temperature using superconducting wires with high copper content. It is possible to perform a low heat generation or no heat generation drive corresponding to the temperature and phase change of the fluid and to smoothly use it at both normal temperature and cryogenic temperature so that it is difficult to cope with the temperature and phase change of the fluid in the prior art To provide a magnetic valve device to solve the problem And that another purpose.

또한, 본 발명은 제어전원으로서 교류를 사용하는 경우 교류 전원을 직류 전원으로 바꿔주는 정류기를 적용하고, 아울러 부하저항에 의한 제어전원부의 손상을 예방하기 위하여 매칭 저항 또는 인덕터를 제공하는 것에 의해, 기존 솔레노이드 밸브를 초전도 솔레노이드 밸브로 대체하는 경우 초전도 솔레노이드의 영저항에 의한 부하효과에 의해 제어전원부가 파손되기 때문에 기존 솔레노이드 밸브를 초전도 솔레노이드 밸브로 교체할 수 없었던 호환성 문제를 해결할 수 있도록 하는 마그네틱밸브 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.In addition, the present invention provides a matching resistor or an inductor to prevent damage to the control power source due to load resistance by applying a rectifier that converts an AC power source to a DC power source when AC is used as a control power source, When a solenoid valve is replaced with a superconducting solenoid valve, the control power source is damaged due to the load effect due to the zero resistance of the superconducting solenoid. Therefore, a magnetic valve device capable of solving the compatibility problem that could not replace the existing solenoid valve with the superconducting solenoid valve Another purpose is to provide.

또한, 본 발명은 극저온 밸브의 솔레노이드 구동 전류를 다단계로 제어하거나, 밸브에 소정의 슬릿이 있는 솔레노이드 밸브, 즉 극저온 레귤레이터(cryogenic regulator)를 다단계로 결속하여 유량을 제어하는 것에 의해 종래기술의 극저온 밸브에서 유량제어를 수행하지 못하는 문제를 해결하는 마그네틱 밸브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention can control the solenoid drive current of the cryogenic valve in multiple steps or control the flow rate by connecting a solenoid valve having a predetermined slit, that is, a cryogenic regulator, And to solve the problem that the flow rate control can not be performed in the magnetic valve device.

또한, 본 발명은 극저온 환경에서 스프링 댐퍼를 사용하기 어려운 경우 유체 댐퍼, 와전류(eddy current) 댐퍼 등의 댐퍼 기구를 구비하여 충격과 소음 그리고 피로를 최소화시키고, 구르는 동작을 할 수 있는 볼 형태의 밸브를 구비하여 마모를 최소화하는 것에 의해, 종래기술의 극저온 밸브에서 피로 누적에 의한 내구성 저하문제를 해소하고, 유지보수 비용을 절약할 수 있도록 하는 마그네틱 밸브 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
Further, the present invention provides a damper mechanism such as a fluid damper and an eddy current damper, which can minimize shock, noise and fatigue when a spring damper is difficult to use in a cryogenic environment, Another object of the present invention is to provide a magnetic valve device capable of solving the problem of durability degradation due to fatigue accumulation in a cryogenic valve of the prior art by minimizing wear and saving maintenance costs.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 마그네틱 밸브 장치는, 외측관으로 구성되는 외측관부; 상기 외측관부와의 사이가 진공이 되도록 상기 외측관부의 내측에 위치되어 내부에 극저온 유체가 이송되는 내측관을 포함하는 내측관부; 상기 내측관의 내부에서 자기력을 전달시키며, 상기 내측관의 내부에서 밸브에 의해 차폐되는 유로를 형성하도록 형성되는 마그네틱 코어부; 상기 내측관의 내부에 위치되어, 자력에 의해 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동이 제어되어 상기 내측관의 내부를 개폐하는 것에 의해 상기 내측관에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량을 제어하는 마그네틱 밸브를 구비한 밸브부; 및 상기 마그네틱 밸브의 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동을 제어하기 위해 상기 마그네틱 밸브로 자기력을 공급하도록 상기 외측관부의 외측 또는 상기 내측관부의 외측면 중 하나 이상의 위치에 형성되는 밸브구동부;를 포함하여 구성된다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetic valve device comprising: an outer tube portion formed of an outer tube; And an inner tube which is located inside the outer tube portion so that the gap between the outer tube portion and the inner tube portion becomes vacuum and the cryogenic fluid is transferred to the inner tube portion; A magnetic core part for transmitting a magnetic force inside the inner tube and forming a flow path which is shielded by a valve inside the inner tube; And a magnetic valve for controlling the flow rate of the cryogenic fluid being conveyed by the inner tube by opening and closing the inside of the inner tube by controlling the movement of the magnetic core part by the magnetic force inside the inner tube A valve portion; And a valve driving unit formed at one or more of the outer side of the outer tube or the outer side of the inner tube to supply magnetic force to the magnetic valve to control movement of the magnetic valve with respect to the magnetic core part do.

상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 상기 마그네틱 밸브를 포함하는 내부 영역의 양측 사이에는 상기 마그네틱 밸브의 이동을 가이드하는 밸브가이드가 장착되며, 상기 양측 각각에는 상기 마그네틱 밸브가 위치 이탈되지 않도록 하는 밸브이동제한부가 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
A valve guide for guiding the movement of the magnetic valve is mounted between the magnetic core portion of the inner tube and the both sides of the inner region including the magnetic valve, And the restricting portions are respectively formed.

상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 마그네틱 코어부에 대응하는 외측관의 외측면과 상기 마그네틱 코어부를 벗어나는 위치 사이에서 수동 또는 자동으로 위치 이동되도록 부착되는 마그네트 노브; 및 상기 마그네틱 코어부로 상기 마그네트 노브에 의해 생성된 자속을 유도하도록 상기 마그네틱 코어부의 양단에 대응하는 상기 내측관의 외측면의 위치에 형성되는 자속유도부;를 포함하는 마그네트 노브 구동부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
The magnetic valve driving unit may include a magnet knob attached to be manually or automatically moved between an outer surface of the outer tube corresponding to the magnetic core and a position deviating from the magnetic core, And a magnetic induction portion formed at a position of an outer surface of the inner tube corresponding to both ends of the magnetic core portion to induce the magnetic flux generated by the magnet knob with the magnetic core portion. do.

상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 대응하는 외측면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 초전도체솔레노이드; 및 상기 외측관의 외부로부터 상기 초전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선;을 포함하는 초전도체솔레노이드부로 구성될 수 있다.
Wherein the magnetic valve driving unit includes: a superconductor solenoid wound on a outer surface of the inner tube corresponding to the magnetic core portion with a superconducting wire; And a driving power supply line configured to supply driving power from the outside of the outer tube to the superconductor solenoid.

상기 초전도체솔레노이드부는, 상기 초전도체솔레노이드에서 영구전류가 흐르도록 상기 초전도체솔레노이드와 상기 구동전원 공급선 사이에서 스위칭되는 영구전류스위치(PCS, persistence current switch);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The superconductor solenoid unit may further include a permanent current switch (PCS) switched between the superconductor solenoid and the drive power supply line so that a permanent current flows through the superconductor solenoid.

상기 초전도체솔레노이드는, 초전도재료의 초전도 중심선재; 및 상기 초전도 중심선재의 외측에 피복되는 구리 재질의 구리클래딩;을 포함하는 하이브리드 초전도선재로 권취되어, 상온에서는 전도체 솔레노이드로 동작하고, 저온에서는 초전도체 솔레노이드로 동작하는 하이브리드 마그네틱 밸브 기능을 구현하도록 구성될 수 있도 있다.
The superconducting solenoid includes a superconducting center wire of superconducting material; And a copper cladding made of copper that is coated on the outer side of the superconducting center line wire, and is configured to realize a hybrid magnetic valve function that operates as a conductor solenoid at a normal temperature and operates as a superconductor solenoid at a low temperature It is possible.

상기 마그네틱 밸브 장치는, 상기 내측관 내에서 이동하는 극저온 유체의 온도를 검출하여 상기 전도체 솔레노이드와 상기 초전도체 솔레노이드를 선택하여 구동시킬 수 있도록 하는 온도감지부;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The magnetic valve apparatus may further include a temperature sensing unit for sensing a temperature of the cryogenic fluid moving in the inner tube and selecting and driving the conductor solenoid and the superconductor solenoid.

상기 구동전원 공급선은, 상기 외측관과 상기 내측관의 사이이 열전달을 최소화하기 위하여 상기 외측관과 상기 내측관의 사이에서 코일형태로 권취되고, 일 단은 상기 외측관의 외부로 돌출되어 터미널이 결합될 수 있다.
Wherein the driving power supply line is wound in a coil shape between the outer tube and the inner tube so as to minimize heat transfer between the outer tube and the inner tube and one end is protruded to the outside of the outer tube, .

상기 초전도체솔레노이드부는, 상기 초전도체솔레노이드의 외측면에 감싸지는 다층단열재;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The superconductor solenoid unit may further include a multi-layer thermal insulator wrapped around an outer surface of the superconductor solenoid.

상기 초전도체솔레노이드부는, 상기 초전도체솔레노이드의 외측면에 피복 형성되어 상기 초전도체솔레노이드에서 발생되는 자속의 누설을 방지하는 자기차폐재;를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
The superconductor solenoid unit may further include a magnetic shielding member formed on the outer surface of the superconductor solenoid to prevent leakage of magnetic flux generated in the superconductor solenoid.

상기 마그네틱 밸브 장치는, 상기 마그네틱 밸브의 이동 구간에 대응하는 상기 내측관의 외측면의 영역에 초전도 선재가 권취되어 상기 마그네틱 밸브의 리턴 구동을 제어하는 리턴솔레노이드부;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The magnetic valve device may further include a return solenoid portion wound around the outer surface of the inner tube corresponding to the moving section of the magnetic valve and controlling the returning operation of the magnetic valve .

상술한 구성의 리턴솔레노이드부는, 유체의 압력이 낮거나, 초극저온 유체를 이동시키는 것에 의해 스프링과 같은 탄성 부품을 사용할 수 없는 경우, 밸브를 위치 복원 시키는 리턴 기능을 수행하게 된다.
The return solenoid portion having the above-described configuration performs a return function for restoring the valve when the pressure of the fluid is low or when the elastic component such as the spring can not be used by moving the ultra-low temperature fluid.

상기 마그네틱 밸브 장치는, 상기 내측관의 내측면에 상기 리턴솔레노이드부에 의해 이동되는 마그네틱 밸브의 리턴 이동을 정지시키는 하나 이상의 밸브스토퍼를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The magnetic valve device may further include at least one valve stopper for stopping the return motion of the magnetic valve, which is moved by the return solenoid unit, to the inner surface of the inner tube.

상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 대응하는 외측 면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 충전초전도체솔레노이드를 포함하는 충전초전도체솔레노이드부; 및 상기 충전초전도체솔레노이드가 권취된 영역에 대응하는 상기 외측관의 외주면에 전도체가 권취되어 형성되는 제어솔레노이드를 포함하는 제어솔레노이드부;를 포함하여, 상기 제어솔레노이드부의 인가 전류를 조절하는 것에 의해 상기 충전초전도체솔레노이드의 와전류를 조절하여 상기 마그네틱 밸브의 개폐를 제어하도록 구성될 수도 있다.
Wherein the magnetic valve driving unit includes a charged superconducting solenoid unit including a charged superconducting solenoid wound around a outer surface of the inner tube corresponding to the magnetic core portion with a superconducting wire; And a control solenoid including a control solenoid in which a conductor is wound around an outer circumferential surface of the outer tube corresponding to a region where the charged superconductor solenoid is wound, And to control the opening and closing of the magnetic valve by controlling an eddy current of the superconducting solenoid.

상기 마그네틱 밸브 구동부는 상기 내측관의 마그네틱 코어부가 형성된 영역의 외측 면에 전도체가 권취되어 형성된 전도체솔레노이드부로 구성되고, 상기 마그네틱 밸브부는 상기 마그네틱 밸브가 초전도체인 초전도체밸브로 구성될 수도 있다.
The magnetic valve driving unit may include a conductor solenoid unit formed by winding a conductor on an outer surface of a region of the inner tube where the magnetic core is formed, and the magnetic valve unit may include a superconductor valve in which the magnetic valve is a superconductor.

또한, 본 발명에 따르는 마그네틱 밸브 장치는, 외측관으로 구성되는 외측관부; 상기 외측관부와의 사이가 진공이 되도록 상기 외측관부의 내측에 위치되어 내부에 극저온 유체가 이송되는 내측관을 포함하는 내측관부; 상기 내측관의 내부에서 자기력을 전달시키며, 상기 내측관의 내부에서 밸브에 의해 차폐되는 유로를 형성하도록 쌍으로 형성되는 한 쌍의 마그네틱 코어부; 상기 내측관의 내부에서 상기 한 쌍의 마그네틱 코어부의 일 측에 각각 위치되어, 자력에 의해 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동이 제어되어 상기 내측관의 내부를 개폐하는 것에 의해 상기 내측관에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량을 제어하는 밸브를 각각 구비한 한 쌍의 밸브부; 상기 내측관의 상기 하나의 마그네틱 코어부와 대응하는 외측면에 권취되는 초전도 선재로 구성되는 초전도체솔레노이드 및 상기 외측관의 외부로부터 상기 초전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선을 포함하는 초전도체솔레노이드부와, 상기 다른 하나의 마그네틱 코어부와 대응하는 상기 내측관의 외측면에 권취되는 전도체로 구성되는 전도체솔레노이드 및 상기 외측관의 외부로부터 상기 전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선을 포함하는 전도체솔레노이드부를 포함하는 밸브구동부; 및 상기 유체가 초전도 임계온도 이하인 경우 상기 초전도체솔레노이드부를 구동시키고, 임계온도 이상인 경우 상기 전도체솔레노이드부를 구동시키도록 구동전원을 스위치하는 구동전원스위치부:를 포함하여 구성될 수도 있다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a magnetic valve device comprising: an outer tube portion constituted by an outer tube; And an inner tube which is located inside the outer tube portion so that the gap between the outer tube portion and the inner tube portion becomes vacuum and the cryogenic fluid is transferred to the inner tube portion; A pair of magnetic core portions that are formed in pairs to transmit magnetic force in the inner tube and form a flow path that is shielded by a valve inside the inner tube; Wherein the inner tube is disposed at one side of the pair of magnetic core portions and is moved by the magnetic force to the magnetic core portion so as to be opened and closed by the inner tube to be transported by the inner tube A pair of valve portions each having a valve for controlling the flow rate of the cryogenic fluid; A superconducting solenoid constituted by a superconducting wire wound on an outer surface corresponding to the one magnetic core portion of the inner tube and a driving power supply line configured to supply driving power from the outside of the outer tube to the superconductor solenoid, A conductor solenoid constituted of a solenoid portion and a conductor wound around the outer surface of the inner tube corresponding to the other magnetic core portion and a drive power supply line configured to supply drive power from the outside of the outer tube to the conductor solenoid, A valve driving part including a conductor solenoid part including the conductive solenoid part; And a driving power switch unit for driving the superconductor solenoid unit when the fluid is below the superconducting critical temperature and for switching the driving power source to drive the conductor solenoid unit when the fluid temperature is equal to or higher than the critical temperature.

상기 마그네틱 밸브에는 극저온 유체의 유량 제어를 위해 극저온 유체의 흐름 방향을 따라 밸브의 전후를 관통하는 하나 이상의 유량제어유로가 형성될 수 있다.
The magnetic valve may be provided with one or more flow control passages passing through the front and rear of the valve along the flow direction of the cryogenic fluid to control the flow rate of the cryogenic fluid.

상기 마그네틱 코어부, 상기 마그네틱 밸브와 충돌을 완화시키기 위하여, 상기 마그네틱 코어부의 상기 마그네틱 밸브가 밀착되는 면에서 제 1 걸림턱과 제 2 걸림턱을 가지도록 형성되는 유체댐퍼홈; 상기 제 1 걸림턱에 걸리어지는 제 1 걸림돌기와 상기 제 2 걸림턱에 걸리어지는 제 2 걸림돌기가 형성되어 상기 유체댐퍼홈에 상기 제 1 걸림돌기와 상기 제 2 걸림턱 사이의 길이만큼의 이동 유격을 가지도록 장착되는 유체댐퍼;를 포함하는 하나 이상의 유체댐퍼부를 포함하여 구성될 수 있다.
A fluid damper groove formed so as to have a first engaging jaw and a second engaging jaw on a surface where the magnetic valve of the magnetic core part comes in close contact with the magnetic core part and the magnetic valve; A first engaging projection engaging with the first engaging jaw and a second engaging projection engaging with the second engaging jaw are formed so as to have a movement gap of the length between the first engaging projection and the second engaging projection in the fluid damper groove And at least one fluid damper portion including a fluid damper mounted to the fluid damper.

상기 마그네틱 코어부는, 상기 마그네틱 밸브와 충돌을 완화시키기 위하여, 상기 마그네틱 코어부의 상기 마그네틱 밸브가 밀착되는 면에 관형으로 형성되는 전도체관; 및 상기 전도체관에 삽입되어 상기 전도체관에 기전력을 유도하는 것에 의해 역방향 자기력을 발생시키도록 상기 마그네틱 밸브의 전단에 돌출 형성되는 자성체삽입봉;을 포함하는 와전류댐퍼;를 포함하여 구성될 수도 있다.
Wherein the magnetic core portion is formed in a tubular shape on a surface of the magnetic core portion where the magnetic valve is closely contacted to mitigate a collision with the magnetic valve; And an eddy current damper inserted into the conductor tube and protruding from a front end of the magnetic valve to induce an electromotive force in the conductor tube to generate a reverse magnetic force.

상기 마그네틱 밸브부는, 구형의 볼밸브; 상기 마그네틱 코어부의 상기 볼밸브에 접하는 면에서 홈으로 형성되는 볼밸브안착면; 상기 볼밸브와 접하는 면은 원호면으로 형성되어 상기 볼밸브의 리턴위치를 한정하도록 볼밸브가 개방되는 위치에 형성되는 볼밸브스토퍼; 및 상기 볼밸브안착면과 상기 볼밸브스토퍼 사이에서 볼밸브의 구름 이동 경로를 제공하는 볼밸브가이드;를 포함하는 볼밸브부로 구성되는 것을 특징으로 한다.The magnetic valve unit includes: a spherical ball valve; A ball valve seat surface formed in the surface of the magnetic core portion in contact with the ball valve; A ball valve stopper formed on a surface of the ball valve in contact with the ball valve and formed at a position where the ball valve is opened to define a return position of the ball valve; And a ball valve guide for providing a rolling movement path of the ball valve between the ball valve seating surface and the ball valve stopper.

상기 볼밸브스토퍼에는 와류 방지를 위한 다수의 와류방지유로가 형성될 수 있다.A plurality of vortex prevention flow paths for preventing vortexes may be formed in the ball valve stopper.

상기 구성의 볼밸브는 밸브부의 마모를 최소화한다.
The ball valve of the above construction minimizes the wear of the valve portion.

상기 내측관은 제 1 유로와 제 2 유로를 가지도록 분할된 후 연결유로에 의해 연결되고, 상기 마그네틱 밸브부는 일단에 수직자속유도부가 형성된 수직밸브를 구비하여 상기 연결유로를 차폐하도록 상기 연결유로에 수직으로 장착되는 수직밸브부;로 구성되며, 상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 연결유료 내측을 관통하여 형성되는 전자석과 상기 전자석에 권취되는 초전도코일로 구성되는 수직초전도체솔레노이드를 포함하여 상기 수직밸브의 개폐를 위한 자기력을 제공하는 수직초전도체솔레노이드부;로 구성될 수도 있다.
Wherein the inner tube is divided by a first flow path and a second flow path and is connected by a connection flow path, and the magnetic valve portion includes a vertical valve having a vertical magnetic flux guiding portion formed at one end thereof to shield the connection flow path, Wherein the magnetic valve driving unit includes a vertical superconductor solenoid including an electromagnet formed through the inside of the connection charge and a superconducting coil wound around the electromagnet, And a vertical superconductor solenoid portion for providing a magnetic force for the vertical superconducting solenoid portion.

상기 내측관은 제 1 유로와 제 2 유로를 가지도록 분할된 후 연결유로에 의해 연결되고, 상기 마그네틱 밸브부는, 수직밸브가 상기 연결유로를 차폐하도록 상기 연결유로에 수직으로 장착되는 수직밸브부;로 구성되며, 상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 연결유로의 상부로 연장되는 내측관의 영역의 내주에 형성되는 수직마그네틱 코어와 수직마그네틱 코어의 상부에 형성되는 와전류댐퍼를 구비한 수직마그네틱 코어부; 상기 수직마그네틱 코어가 장착된 영역의 내측관 외측면에 초전도선재가 권취되어 형성되는 수직초전도체솔레노이드와 구동전원 공급선과 상기 외관의 외부로 인출되는 터미널을 구비한 수직초전도체솔레노이드부;와, 상기 수직밸브의 상부면에 부착되는 플런저와, 상기 플런저의 상부에 부착되는 외주면에 영구자석피스톤 클래딩이 피복된 영구자석피스톤이 중심유도용 디스크스프링에 의해 이동 가능하게 장착되는 댐퍼실린더부; 및 내부의 온도를 검출하는 온도감지부;를 포함하여 구성될 수도 있다.
Wherein the inner tube is divided to have a first flow path and a second flow path, and then connected by a connection flow path, the magnetic valve portion including: a vertical valve portion vertically mounted on the connection flow path so as to shield the connection flow path; Wherein the magnetic valve driving unit includes a vertical magnetic core including a vertical magnetic core formed on an inner circumference of an inner tube extending to an upper portion of the connection passage and an eddy current damper formed on an upper portion of the vertical magnetic core; A vertical superconductor solenoid having a vertical superconductor solenoid formed by winding a superconducting wire on an outer side surface of an inner tube of the region where the vertical magnetic core is mounted, a driving power supply line, and a terminal drawn out to the outside of the outer tube; A damper cylinder part movably mounted on the upper surface of the plunger so that the permanent magnet piston covered with the permanent magnet piston cladding is attached to the upper surface of the plunger by the centering disk spring; And a temperature sensing unit for sensing a temperature inside.

상기 마그네틱 밸브 구동부를 구동시키기 위해 입력되는 구동전류는, 상기 마그네틱 밸브의 개폐 시의 충격 완화를 위해 일정 시간 동안 단계별 또는 연속적으로 증가 또는 감소 단계를 가지도록 인가되는 것을 특징으로 한다.
The driving current inputted to drive the magnetic valve driving unit is applied so as to have a stepwise or continuously increasing or decreasing step for a certain period of time in order to alleviate an impact upon opening and closing of the magnetic valve.

본 발명의 마그네틱 밸브 장치는, 기존의 초전도체솔레노이드가 적용되지 않은 마그네틱 밸브 장치에 초전도체솔레노이드를 적용하기 위한 매칭부하부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The magnetic valve device of the present invention is further comprised of a matching load unit for applying a superconducting solenoid to a magnetic valve device to which a conventional superconducting solenoid is not applied.

상술한 구성의 본 발명은, 수동으로 또는 전동으로 이동되는 영구자석을 이용한 마그네트 드라이브를 이용하고, 기존의 솔레노이드 밸브의 원리를 활용하되 솔레노이드 코일로서 초전도 선재를 사용한 초전도 솔레노이드 또는 초전도 전자석을 구비하며, 초전도 솔레노이드의 경우에도 갑작스러운 온/오프(On/Off) 시에는 발열 될 수 있으므로, 전원 전력을 단계적으로 천천히 올려주거나, 낮추어 줌으로써 극저온 밸브에서의 발열을 최소화하여 열전도 및 발열에 의한 성능 열화 문제를 해결하는 효과를 제공한다.The present invention having the above-described structure comprises a superconducting solenoid or a superconducting electromagnet using a magnet drive using a permanent magnet which is manually or electrically moved, utilizing a principle of a conventional solenoid valve, using a superconducting wire as a solenoid coil, In the case of superconducting solenoid, too, it may generate heat when it is turned on / off suddenly. Therefore, by slowly increasing or decreasing the power of the power source, it is possible to minimize the heat generated by the cryogenic valve, And provides an effect to solve.

또한, 본 발명은 리턴 스프링을 대체하여 적은 전력을 개폐 동작이 가능한 리턴 솔레노이드를 구비하고, 열기 또는 닫기 동작을 수행하는 순간에만 구동전류를 인가한 후 이후에는 영구전류스위치(persistence current switch(PCS))를 이용하여 초전도 전자석을 구동하도록 함으로써 구동전류 공급 중단이 가능하도록 하며, 높은 자기 투자율 재료를 이용하여 초전도 솔레노이드 주변에 외피를 구비하여 구동 전류를 감소시키는 것에 소비전력을 감소시는 효과를 제공한다.In addition, the present invention includes a return solenoid which is capable of opening and closing a small electric power by replacing a return spring, and a driving current is applied only at the moment of performing an opening or closing operation, and thereafter a persistent current switch (PCS) ) To drive the superconducting electromagnet to stop the supply of driving current and to provide an effect of reducing power consumption by reducing the driving current by providing a shell around the superconducting solenoid using a high magnetic permeability material .

또한, 본 발명은 유체의 상태를 모니터링하여 자동제어가 가능할 수 있도록 유체의 온도 감지가 가능한 센서를 구비하고 초전도 선재에 구리 클래딩 선재를 사용하여 액체 및 기체상태 또는 초전도 임계온도에 따라 구리 솔레노이드와 초전도체솔레노이드 간에 선택적인 제어를 실시할 수 있도록 하거나, 구리의 함량이 높은 초전도 선재를 이용하여 초전도 임계온도를 기준으로 구리 솔레노이드와 초전도 솔레노이드 간에 자동 전환이 가능하게 하여 유체의 상태 변화에 대한 대응을 용이하게 하는 것에 의해, 유체의 온도 및 상변화에 대응하는 저발열 또는 무발열 구동을 가능하게 하고, 상온과 극저온 모두에 원활히 사용할 수 있도록 하여, 극저온 마그네틱 밸브 장치가 유체의 온도 및 상변화에 대응할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.The present invention also provides a sensor capable of sensing the temperature of a fluid so as to be able to automatically control the state of the fluid by monitoring the state of the fluid. Using a copper cladding wire as the superconducting wire, the copper solenoid and the superconductor It is possible to perform selective control between solenoids or to automatically switch between a copper solenoid and a superconducting solenoid based on a superconducting critical temperature by using a superconducting wire having a high content of copper, Temperature magnetic valve device can cope with the temperature and the phase change of the fluid by making it possible to use a low-temperature or no-heat drive corresponding to the temperature and phase change of the fluid and to smoothly use the device at both normal temperature and extremely low temperature. .

또한, 본 발명은 제어전원으로서 교류를 사용하는 경우 교류 전원을 직류 전원으로 바꿔주는 정류기를 적용하고, 아울러 부하저항에 의한 제어전원부의 손상을 예방하기 위하여 매칭 저항 또는 인덕터를 제공하는 것에 의해, 기존 솔레노이드 밸브를 초전도 솔레노이드 밸브로 교체할 수 있도록 하는 호환성을 증가시키는 효과를 제공한다.In addition, the present invention provides a matching resistor or an inductor to prevent damage to the control power source due to load resistance by applying a rectifier that converts an AC power source to a DC power source when AC is used as a control power source, It provides the effect of increasing the compatibility so that the solenoid valve can be replaced with a superconducting solenoid valve.

또한, 본 발명은 극저온 밸브의 솔레노이드 구동 전류를 다단계로 제어하거나, 밸브에 소정의 슬릿이 있는 솔레노이드 밸브, 즉 극저온 레귤레이터(cryogenic regulator)를 다단계로 결속하여 유량을 제어하는 것에 의해 극저온 밸브에서 유량제어를 수행할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.In addition, the present invention can control the solenoid drive current of the cryogenic valve in multiple stages or control the flow rate by connecting a solenoid valve having a predetermined slit to the valve, that is, a cryogenic regulator in a multistage manner, And the like.

또한, 본 발명은 극저온 환경에서 스프링 댐퍼를 사용하기 어려운 경우 유체 댐퍼, 와전류(eddy current) 댐퍼 등의 댐퍼 기구를 적용하는 것에 의해 충격과 소음 그리고 피로를 최소화시키고, 구르는 동작을 할 수 있는 볼 형태의 밸브를 구비하여 마모를 최소화하는 것에 의해, 극저온 밸브에서 피로 누적에 의한 내구성 저하문제를 해소하고, 유지보수 비용을 절약할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.
In addition, the present invention can be applied to a damper mechanism such as a fluid damper and an eddy current damper when it is difficult to use a spring damper in a cryogenic environment, thereby minimizing shock, noise and fatigue, The valve is provided to minimize the wear and tear, thereby solving the problem of durability degradation due to fatigue accumulation in the cryogenic valve, and saving the maintenance cost.

도 1은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 1 실시예에 따르는 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)에서 밸브(141)가 극저온 유체가 이동되도록 개방 상태를 나타내는 도면.
도 2는 극저온 유체가 차폐되도록 도 1의 밸브(141)가 닫힌 상태와 밸브(141)의 닫힘 상태 구동을 위한 자속의 흐름 예를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 2 실시예에 따라 초전도체솔레노이드부(230)를 구비한 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)의 내부 구성도.
도 4는 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)의 다른 실시예로서 다층단열재(239)를 자기차폐재(239A)를 구성한 것을 나타내는 도면.
도 5는 도 2 또는 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)가 리턴솔레노이드부(260)를 구비한 것을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 3 실시예로서 충전초전도체솔레노이드부(310)를 구비한 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)의 구성도.
도 7은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 4 실시예로서 충전초전도체밸브부(440)를 구비한 제 4 마그네틱 밸브 장치(400)의 구성도.
도 8은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 5 실시예로서 유체의 상변화 대응이 가능한 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)의 구성도.
도 9는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 6 실시예로서 유량제어를 위한 유량제어유로(610)가 구비된 밸브(141)를 구비한 제 6 마그네틱 밸브 장치(600)의 구성도.
도 10은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에서의 유량 제어를 위해 마그네틱 밸브(141)의 이동을 제한하는 밸브스토퍼(270)를 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)로 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에서의 밸브의 개폐 충격을 완화하기 위한 유체댐퍼부(280)를 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)에 구비한 것을 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에서의 밸브의 개폐 충격을 완화하기 위한 와전류댐퍼부(290)를 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)에 구비한 것을 나타내는 도면.
도 13은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 7 실시예로서 밸브의 마모를 최소화하기 위한 볼밸브부(740)를 구비한 제 7 마그네틱 밸브 장치(700)의 구성도.
도 14는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 밸브구동부와 밸브부의 다른 실시예로서 수직초전도체솔레노이드부(750)와 수직밸브부(760)를 나타내는 도면.
도 15는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 밸브구동부와 밸브부의 다른 실시예로서 수직밸브(841), 수직초전도체솔레노이드부(830) 및 댐퍼실린더부(850)를 구비한 제 8 마그네틱 밸브 장치(800)의 구성도.
도 16 및 도 17은 밸브의 개폐 충격을 감소시키기 위한 밸브구동부에 인가되는 구동전류의 단계적 제어 과정을 나타내는 도면.
도 18은 종래의 초전도체솔레노이드부가 장착되지 않은 극저온 마그네틱 밸브 장치에 초전도체솔레노이드부를 적용하기 위해 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 매칭부하부의 개념도.
도 19는 도 18의 매칭부하부(920)의 실시예를 나타내는 도면.Fig. 1 is a view showing an open state in which a valve 141 moves a cryogenic fluid in a first magnetic valve device 100 according to the first embodiment of the magnetic valve device of the present invention. Fig.
2 is a view showing an example of a flow of magnetic flux for closing the valve 141 of Fig. 1 and closing the valve 141 so that the cryogenic fluid is shielded. Fig.
3 is an internal structural view of a second magnetic valve device 200 having a superconductor solenoid portion 230 according to a second embodiment of the magnetic valve device of the present invention.
Fig. 4 is a view showing a multilayer thermal insulating material 239 as a magnetic shielding material 239A according to another embodiment of the second magnetic valve device 200 of Fig. 3; Fig.
FIG. 5 is a view showing the second magnetic valve device 200 of FIG. 2 or 3 provided with a return solenoid portion 260; FIG.
6 is a configuration view of a third magnetic valve device 300 including a charged superconducting solenoid 310 as a third embodiment of the magnetic valve device of the present invention.
7 is a configuration view of a fourth magnetic valve device 400 having a charged superconducting valve portion 440 as a fourth embodiment of the magnetic valve device of the present invention.
FIG. 8 is a block diagram of a fifth magnetic valve device 500 according to a fifth embodiment of the present invention.
9 is a block diagram of a sixth magnetic valve device 600 including a valve 141 having a flow control flow path 610 for flow control as a sixth embodiment of the magnetic valve device of the present invention.
10 is a third magnetic valve device 300 showing a valve stopper 270 for restricting the movement of the magnetic valve 141 for controlling the flow rate in the magnetic valve device of the present invention.
11 is a view showing that the third magnetic valve device 300 is provided with the fluid damper portion 280 for alleviating the opening and closing impact of the valve in the magnetic valve device of the present invention.
12 is a view showing that the third magnetic valve device 300 is provided with an eddy current damper portion 290 for relieving the opening and closing impact of the valve in the magnetic valve device of the present invention.
13 is a block diagram of a seventh magnetic valve device 700 having a ball valve portion 740 for minimizing valve wear as a seventh embodiment of the magnetic valve device of the present invention.
14 is a view showing a vertical superconducting solenoid portion 750 and a vertical valve portion 760 as another embodiment of a valve driving portion and a valve portion mounted in the magnetic valve device of the present invention.
15 shows an eighth magnetic valve device (eighth embodiment) including a vertical valve 841, a vertical superconducting solenoid portion 830, and a damper cylinder portion 850 as another embodiment of the valve portion and the valve portion mounted on the magnetic valve device of the present invention 800).
16 and 17 are diagrams showing a stepwise control process of a drive current applied to a valve driving part for reducing the opening and closing impact of a valve.
18 is a conceptual diagram of a matching load portion mounted on a magnetic valve device of the present invention for applying a superconducting solenoid portion to a cryogenic magnetic valve device without a conventional superconductor solenoid portion.
19 shows an embodiment of the matching load section 920 of Fig. 18; Fig.

이하, 본 발명의 실시예를 나타내는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
The embodiments according to the concept of the present invention can be variously modified and can take various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the specification or the application. It should be understood, however, that it is not intended to limit the embodiments according to the concepts of the present invention to the particular forms of disclosure, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the present invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises ",or" having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.

본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 중심 실시예로는, 외측관으로 구성되는 외측관부; 상기 외측관부와의 사이가 진공이 되도록 상기 외측관부의 내측에 위치되어 내부에 극저온 유체가 이송되는 내측관을 포함하는 내측관부; 상기 내측관의 내부에서 자기력을 전달시키며, 상기 내측관의 내부에서 밸브에 의해 차폐되는 유로를 형성하도록 형성되는 마그네틱 코어부; 상기 내측관의 내부에 위치되어, 자력에 의해 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동이 제어되어 상기 내측관의 내부를 개폐하는 것에 의해 상기 내측관에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량을 제어하는 마그네틱 밸브를 구비한 밸브부; 및 상기 마그네틱 밸브의 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동을 제어하기 위해 상기 마그네틱 밸브로 자기력을 공급하도록 상기 외측관부의 외측 또는 상기 내측관부의 외측면 중 하나 이상의 위치에 형성되는 밸브구동부;를 포함하여, 밸브구동부가 자력을 이용하여 내측관 내의 밸브를 이동시키는 것에 의해 자력으로 극저온 유체의 이송 개폐 및 유량 제어를 수행할 수 있도록 구성된다.
A central embodiment of the magnetic valve device of the present invention includes: an outer tube portion constituted by an outer tube; And an inner tube which is located inside the outer tube portion so that the gap between the outer tube portion and the inner tube portion becomes vacuum and the cryogenic fluid is transferred to the inner tube portion; A magnetic core part for transmitting a magnetic force inside the inner tube and forming a flow path which is shielded by a valve inside the inner tube; And a magnetic valve for controlling the flow rate of the cryogenic fluid being conveyed by the inner tube by opening and closing the inside of the inner tube by controlling the movement of the magnetic core part by the magnetic force inside the inner tube A valve portion; And a valve driving part formed at one or more of the outer side of the outer tube part or the outer side surface of the inner tube part to supply a magnetic force to the magnetic valve to control movement of the magnetic valve with respect to the magnetic core part, And the valve driving unit moves the valve in the inner tube by using the magnetic force, so that the cryogenic fluid can be opened and closed and the flow rate can be controlled by the magnetic force.

이 경우 상기 마그네틱 밸브 장치는 밸브구동부가 마그네트 노브, 전도체솔레노이드부나 초전도체솔레노이드부를 포함하여 구성될 수 있고, 상기 마그네틱 밸브부는 밸브가 영구자석이나 초전도체로 구성될 수 있다.
In this case, the valve unit may include a magnet knob, a conductor solenoid unit, and a superconducting solenoid unit. The magnetic valve unit may include a permanent magnet or a superconductor.

또한, 본 발명의 실시예들에서 상기 마그네틱 밸브 장치의 외측관 및 내측관, 마그네틱 밸브, 마그네트 노브, 자속유도부 등의 구성요소들이 원통 관형 또는 원기둥형인 것으로 설명하였으나, 필요에 따라 다각형 관형, 다각형 기둥 형상 등으로 변형 실시될 수도 있다.
In the embodiments of the present invention, the outer tube and the inner tube of the magnetic valve device, the magnetic valve, the magnet knob, the magnetic flux guiding portion, and the like are described as cylindrical tubes or cylinders. However, Shape or the like.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 1 실시예에 따르는 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)에서 마그네틱 밸브(141)가 극저온 유체가 이동되도록 개방된 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 극저온 유체가 차폐되도록 도 1의 마그네틱 밸브(141)가 닫힌 상태와 마그네틱 밸브(141)의 닫힘 상태 구동을 위한 자속의 흐름 예를 나타내는 도면이다.
FIG. 1 is a view showing a state in which a magnetic valve 141 is opened in a first magnetic valve device 100 according to a first embodiment of the magnetic valve device of the present invention such that a cryogenic fluid is moved. FIG. 2 is a cross- 1 is a view showing an example of a flow of magnetic flux for closing the magnetic valve 141 of FIG. 1 and closing the magnetic valve 141 to be shielded. FIG.

도 1 및 도 2와 같이, 상기 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)는 외측관부(110), 내측관부(120), 밸브구동부로서의 마그네트 노브 구동부(130), 강자성체로 제작된 마그네틱 밸브(141)를 구비한 마그네틱 밸브부(140)를 포함하여 구성된다.1 and 2, the first magnetic valve device 100 includes an outer tube portion 110, an inner tube portion 120, a magnet knob driving portion 130 as a valve driving portion, and a magnetic valve 141 made of a ferromagnetic material And a magnetic valve unit 140 provided thereon.

상기 외측관부(110)는 외측관(111)으로 형성된다.The outer tube portion 110 is formed as an outer tube 111.

상기 내측관부(120)는 상기 외측관(111)의 내측에 배치되는 내측관(120)를 포함하여 구성된다.The inner tube portion 120 includes an inner tube 120 disposed inside the outer tube 111.

상기 구성에서 상기 내측관(111)은 상기 외측관(111)의 중심선과 동일한 중심선을 가지도록 상기 외측관(111)의 내측에 배치되어 내부에 극저온 유체가 이송되도록 구성된다. 이때, 상기 외측관(111)와 내측관(121)의 사이 영역은 단열을 위해 진공으로 형성된다.The inner tube 111 is disposed inside the outer tube 111 so as to have the same center line as the center line of the outer tube 111 and is configured to transfer the cryogenic fluid to the inside thereof. At this time, an area between the outer tube 111 and the inner tube 121 is formed as a vacuum for heat insulation.

상기 마그네틱 코어부(122)는 상기 내측관(121)을 통해 이송되는 극저온 유체의 개폐유로(123)를 형성하도록 투자율이 높은 재질의 원관형 마그네틱 코어로 형성되어 상기 내측관(121)의 내주면에 밀착 되는 구성을 가진다. 상기 마그네틱 코어부(122)는 마그네틱 밸브(141)와 대향하는 면이 마그네틱 밸브(141)와 밀접히 접촉하는 서로 상보적인 결합 구조를 가지도록 가공된다. 즉, 도 1 및 도 2와 같이 마그네틱 밸브(141)가 삽입 결합되는 경우에는 마그네틱 밸브(141)와 대향하는 면에서 일정 길이 영역이 중심을 향하는 원형 고깔 형상으로 가공된다. 이와 달리, 마그네틱 밸브(141)에 고깔형 삽입부가 가공 형성되는 경우 상기 마그네틱 코어부(122)의 마그네틱 코어들은 마그네틱 밸브(141)와 대향하는 단부 영역은 일정 길이 원뿔 형상으로 가공될 수 있다.The magnetic core part 122 is formed of a circular tubular magnetic core having a high magnetic permeability so as to form a cryogenic fluid flow path 123 through which the cryogenic fluid is transferred through the inner tube 121, And has a close contact configuration. The magnetic core portion 122 is processed such that the surface thereof facing the magnetic valve 141 has a complementary coupling structure in which the magnetic valve 141 and the magnetic valve 141 are in close contact with each other. That is, when the magnetic valve 141 is inserted and coupled as shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic valve 141 is processed into a circular conical shape whose center is a certain length region on the surface facing the magnetic valve 141. Alternatively, when the magnetic valve 141 is formed with a circular insert, the magnetic cores of the magnetic core 122 may be machined into a conical shape having a constant length in the end region opposite to the magnetic valve 141.

상기 마그네트 노브 구동부(130)는 상기 마그네틱 코어부(122)의 위치와 상기 마그네틱 코어부(122)를 벗어나는 위치 사이를 이동할 수 있도록 상기 외측관(111)의 외부에 이동 가능하게 장착되는 원관형의 영구자석으로 형성되는 마그네트 노브(131)와, 상기 외측관(111)과 내측관(121)의 사이 영역에서 각각 상기 마그네틱 코어부(122)의 양측 단부에 대응하는 내측관(120)의 외측면으로부터 수직 방향으로 돌출되는 한 쌍의 원관링 형으로 형성되는 한 쌍의 자속유도부(133)를 포함하여 구성된다.The magnet knob driving unit 130 may include a circular tubular type moving member mounted movably to the outside of the outer tube 111 so as to move between the position of the magnetic core unit 122 and the position of the magnetic core unit 122, And an outer tube 111 and an inner tube 121. The inner tube 120 has a magnet knob 131 formed of a permanent magnet and an outer tube 111, And a pair of magnetic induction parts 133 formed in a pair of circular tube-like shapes protruding in a vertical direction from the magnetic induction part 133. [

상기 마그네틱 밸브부(140)는 마그네틱 밸브(141)와 마그네틱 밸브(141)가 내측관(111)의 중심을 따라 이동하도록 가이드하는 밸브가이드(143)를 포함하여 구성되어, 상기 내측관(111)의 마그네틱 코어부(122)가 장착되는 일 측에서 상기 내측관(111)의 중심을 따라 이동하도록 장착된다.The magnetic valve unit 140 includes a magnetic valve 141 and a valve guide 143 for guiding the magnetic valve 141 to move along the center of the inner tube 111. The inner tube 111, Is mounted to move along the center of the inner tube (111) at one side where the magnetic core portion (122) of the inner tube (111) is mounted.

그리고 상기 내측관(111)에는 상기 마그네틱 코어부(122)와 상기 마그네틱 밸브부(130)를 포함하는 양측의 각각에서 상기 마그네틱 밸브가이드(143)의 양단부를 지지하며, 상기 마그네틱 밸브(141)가 위치 이탈하지 않도록 이동을 제한하는 이동제한부(145)가 구비된다. 상기 이동제한부(145)에는 극저온 유체가 투과될 수 있도록 격자 상으로 다수의 관통홈(145a)들이 형성된다.
The inner tube 111 supports both end portions of the magnetic valve guide 143 on both sides including the magnetic core portion 122 and the magnetic valve portion 130 and the magnetic valve 141 And a movement restricting section 145 for restricting the movement so as not to deviate from the position. A plurality of through grooves 145a are formed in the movement restricting part 145 in a lattice pattern so that the cryogenic fluid can be transmitted.

상술한 구성의 상기 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)의 이송되는 극저온 유체의 유량 제어 동작을 설명하면 다음과 같다.The flow control operation of the transferred cryogenic fluid in the first magnetic valve device 100 having the above-described structure will be described as follows.

도 1은 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)에서 극저온 유체가 이송되도록 마그네틱 밸브(141)가 개방된 상태이다. 이때에는 상기 마그네트 노브(131)가 마그네틱 코어부(122)를 벗어나는 위치에 위치된다. 상술한 바와 같은 개방 상태에서 수동 또는 구동부(20)에 의해 자동으로 마그네트 노브(131)를 마그네틱 코어부(122)의 위치로 이동시키면, 마그네트 노브(131)의 N 또는 S극 중 일극 자기력선이 마그네틱 코어부(122)의 단부에 대응하여 위치하는 하나의 자속유도부(133)를 통해 마그네틱 코어부(122)로 유도된다. 그리고 마그네트 노브(131)의 다른 극의 자기력선은 마그네틱 밸브(141)와 대응하는 위치에 형성된 자속유도부(133)로 전달되어 자속유도부(133)를 자화시킨다. 이때 상기 마그네틱 밸브(141)의 자화 방향은 상기 마그네트 노브(131)와 반대 극성을 가지도록 형성된다. 따라서 도 2와 같이, 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141)의 서로 대향하는 면에는 반대 극성의 자기력을 가지게 되어, 마그네틱 밸브(141)가 마그네트 노브(131)의 마그네틱 코어부(122)와 겹쳐지는 영역에 비례하여 마그네틱 코어부(122)와의 인력이 커지게 되어 마그네틱 코어부(122) 측으로 이동하는 것에 의해 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141) 사이의 간격이 좁아져 이동 유량이 감소된다. 이 후, 마그네틱 코어부(122)와 마그네트 노브(131)가 완전해 겹쳐지는 경우에는 자력에 의한 인력에 의해 마그네틱 밸브(141)가 마그네틱 코어부(1220와 긴밀히 밀착되어 개폐유로(123)가 차폐된다.1 is a state in which the magnetic valve 141 is open so that the cryogenic fluid can be transferred from the first magnetic valve device 100. FIG. At this time, the magnet knob 131 is located at a position deviating from the magnetic core portion 122. When the magnet knob 131 is automatically moved to the position of the magnetic core portion 122 by the manual or drive unit 20 in the above-described open state, the magnetic field line of the N or S pole of the magnet knob 131, And is guided to the magnetic core portion 122 through one magnetic induction portion 133 positioned corresponding to the end portion of the core portion 122. [ The magnetic force lines of the other poles of the magnet knob 131 are transmitted to the magnetic flux guiding unit 133 formed at the position corresponding to the magnetic valve 141 to magnetize the magnetic flux guiding unit 133. At this time, the magnetization direction of the magnetic valve 141 is formed to have a polarity opposite to that of the magnet knob 131. The magnetic valve 141 has a magnetic core portion 122 of the magnet knob 131 so that the magnetic core 141 and the magnetic core portion 122 are opposed to each other, The attraction between the magnetic core portion 122 and the magnetic core portion 122 is increased in proportion to the area overlapping the magnetic core portion 122 and the magnetic valve portion 122. This narrows the gap between the magnetic core portion 122 and the magnetic valve 141, . Thereafter, when the magnetic core portion 122 and the magnet knob 131 are completely overlapped, the magnetic valve 141 closely contacts with the magnetic core portion 1220 by the attraction force by the magnetic force so that the opening / do.

이 상태에서 마그네트 노브(131)를 마그네틱 밸브(141)가 개방되는 위치(도면에서 좌측)으로 이동시키면, 마그네트 노브(131)의 타 자극이 마그네틱 코어부(122)의 단부에 위치하는 자속유도부(133)를 자화시키는 것에 의해 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141)의 대향하는 면에는 서로 동일한 자극을 가지도록 마그네틱 코어부(122)가 자화된다. 이에 의해 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141)가 서로 마그네트 노브(131)가 마그네틱 코어부(122)로부터 벗어난 영역에 대응하는 거리를 가지도록 이격되는 것에 의해 개폐유로(123)가 개방되며 이송되는 극저온 유체의 유량이 제어된다. In this state, when the magnet knob 131 is moved to the position where the magnetic valve 141 is opened (left side in the figure), the other magnetic pole of the magnet knob 131 is positioned at the end of the magnetic core portion 122 133 are magnetized so that the magnetic core portion 122 is magnetized so as to have the same magnetic poles on the opposite surfaces of the magnetic core portion 122 and the magnetic valve 141. The magnetic core portion 122 and the magnetic valve 141 are spaced apart from each other by a distance corresponding to an area deviated from the magnetic core portion 122 so that the opening and closing passage 123 is opened The flow rate of the cryogenic fluid being conveyed is controlled.

도 1 및 도 2에서 구동부(20)와 제어부(10)를 도시하였으나, 구동부(20)를 구비함이 없이 수동으로 마그네트 노브(131)를 조작하도록 구성될 수 있음은 상술한 바와 같다.Although the driving unit 20 and the control unit 10 are illustrated in FIGS. 1 and 2, it is possible to manually operate the magnet knob 131 without the driving unit 20 as described above.

상술한 구성을 가지는 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)는 종래기술과 같이, 물리적인 힘을 이용하여 밸브를 개폐하기 위한 개폐수단을 구비하지 않게 되어, 개폐수단에 의해 외부 열이 내측관으로 전달되어 극저온 유체가 끓게 되는 열전도도 문제 등의 종래기술의 문제들을 해결하게 된다.
The first magnetic valve device 100 having the above-described structure does not have the opening / closing means for opening and closing the valve by using the physical force as in the prior art, so that the external heat is transmitted to the inner tube by the opening / And the problem of thermal conductivity in which the cryogenic fluid is boiled.

도 3 및 도 4는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 2 실시예에 따라 초전도체솔레노이드부(230)를 구비한 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)의 내부 구성도이다.3 and 4 are internal block diagrams of a second magnetic valve device 200 having a superconductor solenoid portion 230 according to a second embodiment of the magnetic valve device of the present invention.

도 3과 같이, 상기 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 도 1 및 도 2의 제 1 마그네틱 밸브 장치(100)의 구성에서 밸브구동부가 초전도체솔레노이드부(230)로 구성되고, 온도감지부(250)를 더 포함하여 구성되는 점에서 구성의 차이를 가진다.As shown in FIG. 3, the second magnetic valve device 200 includes a superconductive solenoid 230 and a temperature sensing part 250 ) In addition to the above-described structure.

즉, 상기 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 도 1 및 도 2의 외측관부(110), 내측관부(120), 마그네틱 코어부(122), 마그네틱 밸브부(140)의 구성은 동일하나, 도 1 및 도 2의 마그네트 노브(131)와 자속유도부(133)가 초전도체솔레노이드부(230)로 대체 구성되고, 초전도체솔레노이드부(230)의 초전도체 특성 또는 전도체 특성을 감시하여 유체의 온도에 따라 상변화가 일어나는 것에 따라 초전도체 솔레노이드(231)로 인가되는 전류를 조절할 수 있도록 하는 온도감지부(250)를 포함하여 구성된다.That is, the second magnetic valve device 200 has the same structure as the outer tube 110, the inner tube 120, the magnetic core 122, and the magnetic valve 140 of FIGS. 1 and 2, 1 and the magnet knob 131 and the magnetic flux induction unit 133 of FIG. 2 are replaced with a superconductor solenoid unit 230 and the superconductor solenoid unit 230 is monitored for superconductor characteristics or conductor characteristics, And a temperature sensing unit 250 for controlling the current applied to the superconducting solenoid 231 according to the occurrence of the superconducting solenoid 231.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 초전도체솔레노이드부(230)는 상기 내측관(121)의 상기 마그네틱 코어부(122)와 대응하는 외측면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 초전도체솔레노이드(231), 상기 외측관(111)의 외부로부터 상기 초전도체솔레노이드(231)로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선(235)과, 상기 초전도체솔레노이드(231)에 전류가 인가된 후에는 영구전류가 흐르도록 상기 초전도체솔레노이드(231)와 상기 구동전원 공급선(235) 사이를 스위칭하는 영구전류스위치(PCS, persistence current switch)와, 상기 내측관 내에서 이동하는 극저온 유체의 온도를 검출하여 상기 전도체 솔레노이드와 상기 초전도체 솔레노이드를 선택하여 구동시킬 수 있도록 하는 온도감지부(250)와, 를 포함하여 구성된다.3 and 4, the superconducting solenoid 230 includes a superconducting solenoid 231, which is formed by winding a superconducting wire on the outer surface of the inner tube 121 corresponding to the magnetic core 122, A driving power supply line 235 configured to supply driving power from the outside of the outer tube 111 to the superconductor solenoid 231 and a permanent electric current flowing after the current is applied to the superconductor solenoid 231 A persistent current switch (PCS) for switching between the superconducting solenoid 231 and the driving power supply line 235 to detect the temperature of the cryogenic fluid moving in the inner tube, And a temperature sensing unit 250 for selecting and driving the superconducting solenoid.

이때 상기 초전도체솔레노이드(231)를 형성하는 초전도 선재(232)는 초전도재료의 초전도 중심선재(SM: Superconducting Material)와 상기 초전도 중심선재의 외측에 피복되는 구리 재질의 구리클래딩(Cu)을 포함하는 하이브리드 초전도선재(232)로 형성될 수 있다. 이 경우 상기 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 초전도체솔레노이드(231)가 상온에서는 전도체솔레노이드로 동작하고, 초전도 중심선재가 초전도체로 되는 임계온도 이하의 저온에서는 초전도체솔레노이드로 동작하는 하이브리드 마그네틱 밸브 기능을 구현할 수 있게 된다.The superconducting wire 232 forming the superconducting solenoid 231 may include a superconducting material SM of a superconducting material and a copper cladding Cu of a copper material coated on the outer side of the superconducting center wire. And may be formed of a superconducting wire 232. In this case, the second magnetic valve device 200 implements a hybrid magnetic valve function in which the superconductor solenoid 231 operates as a conductor solenoid at normal temperature and operates as a superconductor solenoid at a low temperature below a critical temperature at which the superconducting centerline wire becomes a superconductor .

그리고 상기 초전도체솔레노이드(231)로 구동전류를 공급하는 구동전원 공급선(235)는 외측관(111)와 내측관(121) 사이의 열전달을 최소화하기 위하여, 상기 외측관(111)과 상기 내측관(121)의 사이에서 코일형태로 권취되고, 일단은 상기 외측관의 외부로 돌출되어 터미널(237)이 결합되는 구성을 가진다.
The driving power supply line 235 for supplying a driving current to the superconductor solenoid 231 is connected to the outer tube 111 and the inner tube 121 in order to minimize the heat transfer between the outer tube 111 and the inner tube 121. [ 121, one end of which protrudes outside the outer tube, and the terminal 237 is coupled.

또한, 상기 초전도체솔레노이드부(230)는 외부의 열이 초전도체솔레노이드(231)를 통해 내측관(121)으로 인가되는 것을 더욱 방지하기 위해 도 3과 같이 알루미늄 호일 등으로 겹겹이 감싼 형태를 가지는 다층단열재(239)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
In order to further prevent external heat from being applied to the inner tube 121 through the superconductor solenoid 231, the superconductor solenoid 230 may include a multi-layered insulating material (for example, aluminum foil or the like) 239).

상술한 구성의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 초전도체솔레노이드(231)로 인가되는 구동전류의 방향과 크기를 가변시키는 것에 의해 마그네틱 코어부(122)에 형성되는 자기력의 크기와 방향을 조절하게 된다. 이에 의해 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141) 사이에 인력과 척력이 생성될 수 있으며, 크기 또한 조절될 수 있어, 개폐유로(123)에 대한 개폐 및 극저온 유체의 유량을 조절할 수 있게 된다.
The second magnetic valve device 200 having the above-described configuration adjusts the magnitude and direction of the magnetic force formed on the magnetic core portion 122 by varying the direction and magnitude of the drive current applied to the superconductor solenoid 231 . As a result, attractive force and repulsive force can be generated between the magnetic core portion 122 and the magnetic valve 141 and the size thereof can be adjusted, so that the opening / closing of the opening / closing flow path 123 and the flow rate of the cryogenic fluid can be adjusted .

도 4는 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)의 다른 실시예로서 다층단열재(239)와 아울러 자기차폐재(239A)를 추가로 구성한 것을 나타내는 도면이다.FIG. 4 is a view showing another structure of the second magnetic valve device 200 of FIG. 3 in which a magnetic shielding material 239A is additionally constructed in addition to the multilayered insulation material 239. FIG.

도 4와 같이, 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 초전도체솔레노이드(231)의 단열을 위한 다층단열재(239) 안쪽에 도 4의 자기차폐재(239A)가 추가로 구성될 수 있다. 상기 자기차폐재(239A) 초전도체솔레노이드(231)에서 생성되는 자력이 외부로 누출되는 방지하고 마그네틱 코어부(122)로 더욱 집속되도록 하여, 마그네틱 밸브(141)와 마그네틱 코어부(122) 사이의 자기력을 크게 하여 개폐유로(123)에 대한 개폐력을 높이게 된다.
As shown in FIG. 4, the second magnetic valve device 200 of FIG. 3 may further include the magnetic shielding material 239A of FIG. 4 inside the multilayered insulation material 239 for insulation of the superconducting solenoid 231. The magnetic force generated between the magnetic valve 141 and the magnetic core 122 is prevented from leaking out to prevent the magnetic force generated by the magnetic shielding material 239A of the superconductor solenoid 231 from leaking to the outside, So that the opening and closing force with respect to the switching valve 123 is increased.

도 5는 도 2 또는 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)가 리턴솔레노이드부(260)를 구비한 것을 나타내는 도면이다.5 is a view showing that the second magnetic valve device 200 of FIG. 2 or 3 is provided with a return solenoid portion 260.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)는 상기 마그네틱 밸브(141)의 이동 구간에 대응하는 내측관(121)의 외측면의 영역에 초전도 선재(232)가 권취되어 상기 마그네틱 밸브의 리턴 구동을 제어하는 리턴솔레노이드부(260)를 더 포함하여 구성되는 것을 나타낸다.5, the second magnetic valve device 200 includes a superconducting wire 232 wound around an outer surface of an inner tube 121 corresponding to a moving section of the magnetic valve 141, And a return solenoid unit 260 for controlling the return drive of the magnetic valve.

상기 리턴솔레노이드부(260)는 상기 마그네틱 밸브(141)를 개방 방향으로 이동시키는 자력을 생성하도록 구동전류가 인가되어, 마그네틱 밸브(141)를 개방 상태의 위치로 위치 복원 시킨다.The return solenoid unit 260 applies a driving current to generate a magnetic force for moving the magnetic valve 141 in the opening direction, thereby restoring the magnetic valve 141 to the open position.

상술한 구성 및 기능을 가지는 상기 리턴솔레노이드부(260)는 극저온 유체의 압력이 낮거나, 초극저온 유체를 이동시키는 것에 의해 스프링과 같은 탄성 부품을 사용할 수 없는 경우, 마그네틱 밸브(141)를 위치 복원 시키는 리턴 기능을 수행하게 된다.The return solenoid unit 260 having the above-described configuration and function can be used for restoring the magnetic valve 141 when the pressure of the cryogenic fluid is low or when an elastic component such as a spring can not be used by moving the ultra- And performs a return function.

도 5에는 미도시되어 있으나, 상술한 리턴솔레노이드부(260)의 경우에도 영구전류스위치(persistence current switch)를 활용하여 전력을 절약하는 것이 가능하다. 이때 기존의 초전도체솔레노이드와 리턴 솔레노이드 사이의 거리가 가까우면, 두 개의 솔레노이드 간에 유도기전력이 발생할 수 있으므로 구동전류를 인가할 때 긴 시간 동안 단계적으로 인가하는 등의 주의가 필요하다.
Although not shown in FIG. 5, in the case of the return solenoid unit 260 described above, it is also possible to save power by utilizing a persistent current switch. If the distance between the conventional solenoid and the return solenoid is close, induction electromotive force may be generated between the two solenoids. Therefore, it is necessary to apply the driving current stepwise for a long time when applying the driving current.

도 6은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 3 실시예로서 충전초전도체솔레노이드부(310)를 구비한 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)의 구성도이다.6 is a configuration diagram of a third magnetic valve device 300 having a charged superconducting solenoid 310 as a third embodiment of the magnetic valve device of the present invention.

도 6과 같이, 상기 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)는 도 1 내지 도 4의 구성에서 본 발명의 밸브구동부를 형성하는 마그네트 노브 구동부(130)와 초전도체솔레노이드부(230)가, 내측관(121)의 마그네틱 코어부(122)와 대응하는 외측면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 충전초전도체솔레노이드(311)를 포함하는 충전초전도체솔레노이드부(310) 및 상기 충전초전도체솔레노이드(311)가 권취된 영역에 대응하는 상기 외측관(111)의 외주면에 전도체가 권취되어 형성되는 제어솔레노이드(321)를 포함하는 제어솔레노이드부(320)로 대체 구성된다.6, the third magnetic valve device 300 includes a magnet knob driving part 130 and a superconducting solenoid part 230 which form the valve driving part of the present invention in the configuration of FIG. 1 to FIG. 4, The charged superconducting solenoid 310 including the charged superconducting solenoid 311 wound on the outer surface corresponding to the magnetic core portion 122 of the charged superconducting solenoid 311 and the charged superconducting solenoid 311 wound on the outer surface corresponding to the magnetic core portion 122 of the charged superconducting solenoid 311 And a control solenoid unit 320 including a control solenoid 321 formed by winding a conductor on the outer circumferential surface of the corresponding outer tube 111. [

상술한 구성을 가지는 상기 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)는 상기 제어솔레노이드부(320)의 인가 전류를 조절하는 것에 의해 상기 충전초전도체솔레노이드(311)의 와전류를 조절할 수 있어, 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(141) 사이의 인력 또는 척력의 세기를 조절하는 것에 의해 개폐유로(123)의 개폐 및 극저온 유체의 유량을 조절할 수 있도록 한다.
The third magnetic valve device 300 having the above-described configuration can adjust the eddy current of the charged superconducting solenoid 311 by adjusting the applied current of the control solenoid unit 320 so that the magnetic core 122, Closing flow path 123 and the flow rate of the cryogenic fluid can be adjusted by adjusting the magnitude of the attraction force or the repulsive force between the magnetic valve 141 and the magnetic valve 141.

도 7은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 4 실시예로서 충전초전도체밸브부(440)를 구비한 제 4 마그네틱 밸브 장치(400)의 구성도이다.FIG. 7 is a block diagram of a fourth magnetic valve device 400 including a charged superconductor valve unit 440 according to a fourth embodiment of the magnetic valve device of the present invention.

도 7과 같이, 상기 제 4 마그네틱 밸브 장치(400)는 도 1 내지 도 4의 마그네트 노브 구동부(130)와 초전도체솔레노이드부(230)가 되는 본 발명의 밸브구동부가 전도체솔레노이드부(430)로 구성되고, 도 1 내지 도 4의 마그네틱 밸브 장치가 초전도체(441)와, 초전도체(441)의 외주면에 형성되는 금속표피부(443)를 가지는 초전도체밸브부(440)로 대체 구성되며, 외측관부(110), 내측관부(120), 온도감지센서부(250)는 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)와 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)의 각 구성과 동일한 구성을 가진다.As shown in FIG. 7, the fourth magnetic valve device 400 includes a magnetron knob drive unit 130 and a superconductor solenoid unit 230 of FIG. 1 through FIG. 4, and the valve drive unit of the present invention includes a conductor solenoid unit 430 The magnetic valve device of FIGS. 1 to 4 is replaced by a superconductor 441 and a superconductor valve 440 having a metal tab skin 443 formed on the outer surface of the superconductor 441, and the outer tube 110 The inner tube portion 120 and the temperature sensing portion 250 have the same configuration as the respective configurations of the second magnetic valve device 200 and the third magnetic valve device 300.

상기 전도체솔레노이드부(430)는 내측관(121)이 마그네틱 코어부(122)가 장착된 외측면 영역에 전도체로 권취되어 형성되는 전도체솔레노이드(431)와, 전도체솔레노이드(431)로 구동전류를 인가하도록 외측관(111)의 외부에 형성되는 터미널(437)을 포함하고, 외측관(111) 및 내측관(121) 사이의 영역에서는 열전도 방지를 위해 길이를 길게 하기 위하여 코일형태로 감겨지는 구동전원 공급선(435)을 포함하여 구성된다.
The conductor solenoid unit 430 includes a conductor solenoid 431 formed by winding an inner tube 121 around the outer surface area of the magnetic core unit 122 and a conductive solenoid 431, And a terminal 437 formed outside the outer tube 111. The outer tube 111 and the inner tube 121 are provided with a driving power source wound in the form of a coil to increase the length of the space between the outer tube 111 and the inner tube 121 And a supply line 435.

도 8은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 5 실시예로서 유체의 상변화 대응이 가능한 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)의 구성도이다.FIG. 8 is a block diagram of a fifth magnetic valve device 500 according to a fifth embodiment of the present invention.

상기 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)는 도 3의 제 2 마그네틱 밸브 장치(200)와 같이, 외측관부(110), 내측관부(120), 마그네틱 코어부(122), 초전도체솔레노이드부(230), 마그네틱 밸브부(140), 온도 감지부(250)를 포함하여 구성되고, 추가로 마그네틱 밸브부(140)의 하류 측에 제 2 마그네틱 코어부(122A)와 제 2 마그네틱 밸브부(140A), 전도체솔레노이드부(430)를 더 포함하여 구성되어, 유체의 온도가 초전도체 임계 온도 이상 또는 이하 인지에 따라 초전도체솔레노이드부(230)와 전도체솔레노이드부(430)를 선택적으로 구동시키기 위한 구동전원스위치부(570)를 더 포함하여 구성된다.3, the fifth magnetic valve device 500 includes an outer tube portion 110, an inner tube portion 120, a magnetic core portion 122, a superconducting solenoid portion 230, A magnetic valve unit 140 and a temperature sensing unit 250. The second magnetic core unit 122A and the second magnetic valve unit 140A are disposed on the downstream side of the magnetic valve unit 140, A solenoid unit 430 and a driving power switch unit 570 for selectively driving the superconductor solenoid unit 230 and the conductor solenoid unit 430 according to whether the temperature of the fluid is above or below the critical temperature of the superconductor. ).

즉, 상기 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)는 내측관(121)의 내부에서 자기력을 전달시키며, 내측관(111)의 내부에서 마그네틱 밸브를 구비한 2개의 마그네틱 밸브부(140, 140A)에 의해 차폐되는 개폐 유로(123, 123A)를 형성하도록 쌍으로 형성되는 한 쌍의 마그네틱 코어부(122) 및 제 2 마그네틱 코어부(122A)를 구비한다. 그리고 상기 개폐유로(123, 123A)를 개폐할 수 있도록 하는 한 쌍의 마그네틱 밸브(141) 제 2 마그네틱 밸브(141A)를 구비한다. 또한, 유체의 온도가 초전도체 선제의 임계온도 이상으로 되어 상기 초전도체솔레노이드부(230)가 초전도체 특성을 잃는 경우, 제 2 마그네틱 밸브(141A)를 통해 개폐유로(123A)의 개폐를 수행할 수 있도록 제 2마그네틱 밸브(141A)를 제어하는 전도체솔레노이드부(430)를 구비한다.That is, the fifth magnetic valve device 500 transmits magnetic force inside the inner tube 121, and by the two magnetic valve parts 140 and 140A having a magnetic valve in the inner tube 111 And a pair of magnetic core portions 122 and a second magnetic core portion 122A formed in pairs to form shielding switching paths 123 and 123A. And a pair of magnetic valves 141 and a second magnetic valve 141A for opening and closing the opening and closing flow paths 123 and 123A. In addition, when the temperature of the fluid becomes equal to or higher than the critical temperature of the superconducting preheater and the superconductor solenoid portion 230 loses the superconductor characteristic, the second magnetic valve 141A is opened to close the open / And a conductor solenoid unit 430 for controlling the two magnetic valves 141A.

상기 초전도체솔레노이드부(230)와 전도체솔레노이드부(430)가 각각 본 발명의 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)의 밸브 구동부를 구성한다.The superconducting solenoid unit 230 and the conductor solenoid unit 430 constitute a valve driving unit of the fifth magnetic valve apparatus 500 of the present invention.

상기 구동전원스위치부(570)는 유체가 초전도 임계온도 이하인 경우 상기 초전도체솔레노이드부(230)를 구동시키고, 임계온도 이상인 경우 전도체솔레노이드부(430)를 구동시키도록 구동전원을 스위칭하도록 구성된다.The driving power switch unit 570 is configured to drive the superconductor solenoid unit 230 when the fluid is below the superconducting critical temperature and to switch the driving power source to drive the conductor solenoid unit 430 when the fluid temperature is equal to or higher than the critical temperature.

상술한 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)의 구성에 의해 유체의 초전도 임계 온도 이상 및 이하 모두에서 유량 제어가 가능하게 된다.
The fifth magnetic valve device 500 can control the flow rate both above and below the superconducting critical temperature of the fluid.

도 9는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 6 실시예로서 유량제어를 위한 유량제어유로(610)가 구비된 밸브(141)를 구비한 제 6 마그네틱 밸브 장치(600)의 구성도이다.FIG. 9 is a configuration diagram of a sixth magnetic valve device 600 having a valve 141 having a flow control flow path 610 for flow control as a sixth embodiment of the magnetic valve device of the present invention.

상기 마그네틱 밸브부(140, 430)의 마그네틱 밸브(141, 141A)들에는 극저온 유체의 유량 제어를 위해 극저온 유체의 흐름 방향을 따라 밸브의 전후를 관통하는 하나 이상의 유량제어유로(610)가 형성될 수 있다.The magnetic valves 141 and 141A of the magnetic valve units 140 and 430 are provided with one or more flow control flow paths 610 passing through the front and rear of the valve along the flow direction of the cryogenic fluid for controlling the flow rate of the cryogenic fluid .

상술한 구성의 제 6 마그네틱 밸브 장치(600)는 도 8의 제 5 마그네틱 밸브 장치(500)와 같이, 다수의 밸브구동부와 마그네틱 밸브부를 내측관(121)의 내부에 직렬로 배치하고, 각각의 마그네틱 밸브에 형성되는 유량제어유로(610)의 크기를 달리하는 것에 의해, 다양한 유량 제어를 수행할 수 있게 된다.The sixth magnetic valve device 600 having the above-described structure is configured such that a plurality of valve driving parts and a magnetic valve part are arranged in series in the inner tube 121 like the fifth magnetic valve device 500 of FIG. 8, By varying the size of the flow control flow path 610 formed in the magnetic valve, various flow control can be performed.

도 10은 본 발명의 다른 실시예로서, 유량 제어를 위해 마그네틱 밸브(141)의 이동을 제한하는 밸브스토퍼(270)가 구비된 제 6 마그네틱 밸브 장치(600)로 나타낸 도면이다.10 is a view showing a sixth magnetic valve device 600 having a valve stopper 270 for restricting the movement of the magnetic valve 141 for controlling the flow rate according to another embodiment of the present invention.

상기 제 6 마그네틱 밸브 장치(600)는 도 10에 도시된 바와 같이, 내측관(121)의 내측 면에 리턴솔레노이드부(260)에 의해 이동되는 마그네틱 밸브(141)의 리턴 이동을 정지시키는 하나 이상의 밸브스토퍼(270)가 구비될 수 있다.10, the sixth magnetic valve apparatus 600 may include one or more magnetic valves 141 and 142 for stopping the return motion of the magnetic valve 141, which is moved by the return solenoid unit 260, on the inner surface of the inner tube 121, A valve stopper 270 may be provided.

상기 마그네틱 밸브스토퍼(270)는 마그네틱 밸브(141)에 의해 눌리어지는 경우, 제어부(10)가 마그네틱 밸브(141)의 이동을 정지시키도록 하는 구동전류를 리턴솔레노이드부(260)로 인가하는 것에 의해 마그네틱 밸브(141)의 리턴 이동을 정지시킨다. 상기 리턴솔레노이드부(260) 또한 인가되는 구동전류를 조절하는 것에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량 제어를 수행할 수 있도록 한다.
When the magnetic valve stopper 270 is pressed by the magnetic valve 141, the control unit 10 applies a drive current to the return solenoid unit 260 to stop the movement of the magnetic valve 141 Thereby stopping the return movement of the magnetic valve 141. The return solenoid unit 260 also controls the flow rate of the cryogenic fluid conveyed by adjusting the applied driving current.

도 11은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에서의 밸브의 개폐 충격을 완화하기 위한 유체댐퍼부(280)를 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)에 구비한 것을 나타내는 도면이다.11 is a view showing that the third magnetic valve device 300 is provided with the fluid damper portion 280 for relieving the opening and closing impact of the valve in the magnetic valve device of the present invention.

도 11과 같이 도 1 내지 도 8의 마그네틱 밸브 장치(100, 200, 300, 400, 500)들은 마그네틱 밸브(141, 141A) 또는 초전도체밸브부(440)의 개폐 시 마그네틱 코어부(122)와의 충돌에 의한 파손을 방지하기 위한 유체댐퍼부(280)를 더 포함하여 구성될 수 있다.11, the magnetic valve devices 100, 200, 300, 400, and 500 of FIGS. 1 to 8 are used to prevent collision with the magnetic core portion 122 when the magnetic valves 141 and 141A or the superconductor valve portion 440 are opened and closed. And a fluid damper unit 280 for preventing damage caused by the fluid.

상기 유체댐퍼부(280)는 마그네틱 코어부(122)의 마그네틱 밸브(141)가 밀착되는 면에서 제 1 걸림턱(282)과 제 2 걸림턱(283)을 가지도록 형성되는 유체댐퍼홈(281)과, 제 1 걸림턱(282)에 걸리어지는 제 1 걸림돌기(286)와 상기 제 2 걸림턱(283)에 걸리어지는 제 2 걸림돌기(287)가 형성되어 상기 유체댐퍼홈(281)에 상기 제 1 걸림돌기(286)와 상기 제 2 걸림턱(283) 사이의 길이만큼의 이동 유격을 가지도록 장착되는 유체댐퍼(285)를 포함하여 하나 이상으로 구성된다.The fluid damper unit 280 includes a fluid damper groove 281 formed so as to have a first locking step 282 and a second locking step 283 on the surface of the magnetic core part 122 on which the magnetic valve 141 is in close contact, A first locking protrusion 286 engaged with the first locking protrusion 282 and a second locking protrusion 287 engaged with the second locking protrusion 283 are formed in the fluid damper groove 281 And a fluid damper 285 mounted so as to have a movement clearance corresponding to the length between the first locking projection 286 and the second locking projection 283.

상기 구성의 유체댐퍼부(280)는 마그네틱 밸브(141)가 개방된 위치에서 폐쇄 위치로 이동되어 마그네틱 코어부(122)와 밀착되는 경우, 유체댐퍼(285)가 마그네틱밸브(141)와 먼저 밀착되어 유체의 압력에 의해 생성되는 완충력을 마그네틱 밸브(141)에 제공하는 것에 의해, 마그네틱 밸브(141)가 마그네틱 코어부(122)와 강한 충격력을 가지고 밀착되는 것을 방지하여 마그네틱 밸브(141) 또는 초전도체밸브부(440)의 파손을 방지한다.
When the fluid damper unit 280 is moved from the opened position to the closed position and is in close contact with the magnetic core unit 122, the fluid damper unit 285 is brought into close contact with the magnetic valve 141 The magnetic valve 141 is prevented from coming into close contact with the magnetic core portion 122 with a strong impact force so that the magnetic valve 141 or the superconductor Thereby preventing the valve unit 440 from being damaged.

도 12는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에서의 밸브의 개폐 충격을 완화하기 위한 와전류댐퍼부(290)를 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)에 구비한 것을 나타내는 도면이다.12 is a view showing that the third magnetic valve device 300 is provided with an eddy current damper portion 290 for relieving the opening and closing impact of the valve in the magnetic valve device of the present invention.

도 12와 같이, 도 1 내지 도 8의 마그네틱 밸브 장치(100, 200, 300, 400, 500)들은 마그네틱 밸브(141, 141A) 또는 초전도체밸브부(440)의 개폐 시 마그네틱 코어부(122)와의 충돌에 의한 파손을 방지하기 위한 와전류댐퍼부(290)를 더 포함하여 구성될 수도 있다.The magnetic valve devices 100, 200, 300, 400, and 500 of FIGS. 1 to 8 may be configured to selectively open or close the magnetic valves 141 and 141A or the superconductor valve unit 440, And an eddy current damper unit 290 for preventing damage due to a collision.

상기 와전류댐퍼부(290)는 마그네틱 코어부(122)의 마그네틱 밸브(141)가 밀착되는 면에 환형으로 형성되는 도전체관(291)과, 상기 마그네틱 밸브(141)에서 상기 개페유로(123)로 삽입되도록 돌출형성되는 자성체삽입봉(293)을 포함하여 구성된다.The eddy current damper unit 290 includes a conductive pipe 291 formed in an annular shape on a surface of the magnetic core unit 122 on which the magnetic valve 141 is closely contacted and a conductive pipe 291 extending from the magnetic valve 141 to the overflow channel 123 And a magnetic substance insertion rod 293 protruding to be inserted.

상술한 구성의 와전류댐퍼부(290)는 마그네틱 밸브(141)가 개방된 위치에서 폐쇄 위치로 이동되어 자성체삽입봉(293)이 도전체관(291)으로 삽입되는 경우, 도전체관(291)에 마그네틱 밸브(141)의 이동 방향에 반대방향으로 자력을 발생시키는 와전류가 발생하게 되어 마그네틱 밸브(141)에 완충력을 제공하는 것에 의해, 유로의 폐쇄 시 마그네틱 밸브(141)와 마그네틱 코어부(122)가 강한 충격을 가지고 밀착되는 것을 와전류에 의한 역 자기력이 방지하여 마그네틱 밸브(141) 또는 초전도체밸브부(440)의 파손을 방지한다.
The eddy current damper unit 290 having the above-described structure is moved to the closed position from the opened position of the magnetic valve 141 so that the magnetic substance insertion rod 293 is inserted into the conductive tube 291, An eddy current that generates a magnetic force in a direction opposite to the moving direction of the valve 141 is generated to provide a buffering force to the magnetic valve 141 so that the magnetic valve 141 and the magnetic core portion 122 It is prevented that the magnetic valve 141 or the superconductor valve unit 440 is damaged due to the reverse magnetic force caused by the eddy current.

도 13은 본 발명의 마그네틱 밸브 장치의 제 7 실시예로서 밸브의 마모를 최소화하기 위한 볼밸브부(740)를 구비한 제 7 마그네틱 밸브 장치(700)의 구성도이다.13 is a block diagram of a seventh magnetic valve device 700 having a ball valve portion 740 for minimizing wear of a valve according to a seventh embodiment of the magnetic valve device of the present invention.

도 13과 같이, 상기 제 7 마그네틱 밸브 장치(700)는, 도 3 및 도 4의 마그네틱 밸브 장치(200)의 구성에서, 외측관부(110), 내측관부(120)의 구성은 동일하나, 마그네틱 코어부의 형상이 변경되고, 밸브부가 볼밸브부(740)로 구성되는 점에서 구성의 차이를 가진다.As shown in FIG. 13, the seventh magnetic valve device 700 has the same structure as the outer tube portion 110 and the inner tube portion 120 in the magnetic valve device 200 of FIGS. 3 and 4, The configuration of the core portion is changed, and the valve portion is constituted by the ball valve portion 740. [

상기 제 7 마그네틱 밸브 장치(700)에서 상기 마그네틱 코어부(122)에는 볼밸브(741)의 외주면 형상에 대응하는 볼밸브 안착면(743)이 가공 형성된다.In the seventh magnetic valve device 700, a ball valve seating surface 743 corresponding to the outer circumferential surface shape of the ball valve 741 is formed in the magnetic core portion 122.

상기 볼밸브부(740)는 강자성체 재질의 구형 볼밸브(741)와, 상기 볼밸브(741)와 접하는 면은 원호면으로 형성되어 상기 볼밸브(741)의 리턴위치를 한정하도록 볼밸브(741)가 개방되는 위치에 형성되는 볼밸브스토퍼(747)와, 볼밸브안착면(743)과 상기 볼밸브스토퍼(747) 사이에서 볼밸브(741)의 구름 이동 경로를 제공하는 볼밸브가이드(745)를 포함하여 구성된다.The ball valve unit 740 includes a spherical ball valve 741 made of a ferromagnetic material and a ball valve 741 formed on an outer circumferential surface of the ball valve 741 in contact with the ball valve 741 to limit the return position of the ball valve 741. And a ball valve guide 745 for providing a rolling movement path of the ball valve 741 between the ball valve seating surface 743 and the ball valve stopper 747. [ ).

그리고 상기 볼밸브스토퍼(747)에는 와류 방지를 위한 다수의 와류방지유로(749)가 형성될 수 있다.A plurality of vortex prevention flow paths 749 for preventing vortex flow may be formed in the ball valve stopper 747.

상술한 구성의 상기 제 7 마그네틱 밸브 장치(700)는 밸브가 볼 형태로 형성되어 개폐 시 구름 운동을 하게 되므로 볼밸브(741), 볼밸브가이드(745) 등의 구성 부품의 마모와 파손을 최소화한다.
The seventh magnetic valve device 700 having the above-described structure is formed in a ball shape so that it rolls when it opens and closes, thereby minimizing wear and tear of component parts such as the ball valve 741 and the ball valve guide 745 do.

도 14는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 밸브구동부와 밸브부의 다른 실시예로서 수직초전도체솔레노이드부(750)와 수직밸브부(760)를 나타내는 도면이다.14 is a view showing a vertical superconducting solenoid portion 750 and a vertical valve portion 760 as another embodiment of the valve driving portion and the valve portion mounted in the magnetic valve device of the present invention.

도 14의 마그네틱 밸브 장치는 내측관(121)이 제 1 유로(125)와 제 2 유로(126) 및 제 1 유로(125)와 제 2 유로(126)를 수직으로 연결하는 연결유로부(124)로 분리 구성된다. 그리고 상기 연결유로부(124)의 제 1 유로(125)에는 수직초전도체솔레노이드부(750)가 장착된다. 상기 연결유로부(124)의 제 2 유로(126) 측에는 수직초전도체솔레노이드부(750)와 대향하도록 수직으로 배치되는 수직밸브(761)가 장착된다.
14, the inner tube 121 includes a first flow path 125 and a second flow path 126, and a connection flow path portion 124 for vertically connecting the first flow path 125 and the second flow path 126 ). A vertical superconductor solenoid unit 750 is mounted on the first flow path 125 of the connection channel unit 124. A vertical valve 761 vertically arranged to face the vertical superconductor solenoid unit 750 is mounted on the second flow path 126 side of the connection channel unit 124.

도 15는 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 밸브구동부와 밸브부의 다른 실시예로서 수직밸브(841), 수직초전도체솔레노이드부(830) 및 댐퍼실린더부(850)를 구비한 제 8 마그네틱 밸브 장치(800)의 구성도이다.15 shows an eighth magnetic valve device (eighth embodiment) including a vertical valve 841, a vertical superconducting solenoid portion 830, and a damper cylinder portion 850 as another embodiment of the valve portion and the valve portion mounted on the magnetic valve device of the present invention 800).

도 15의 마그네틱 밸브 장치는 도 14의 마그네틱 밸브 장치와 같이, 상기 내측관(121)이 제 1 유로(125)와 제 2 유로(126)를 가지도록 분할된 후 수직방향의 연결유로(124)에 의해 연결된다. 본 발명의 밸브부는 수직밸브(761)가 상기 연결유로(124)를 차폐하도록 상기 연결유로에 수직으로 장착되는 수직밸브부(760)로 구성된다.15, the inner tube 121 is divided to have a first flow path 125 and a second flow path 126, and then connected to a vertical connection path 124, as in the magnetic valve device of FIG. Lt; / RTI > The valve portion of the present invention is constituted by a vertical valve portion 760 vertically mounted on the connection passage so that the vertical valve 761 shields the connection passage 124.

본 발명의 밸브구동부는 상기 연결유로(124)의 상부로 연장되는 내측관의 영역의 내주에 형성되는 수직마그네틱 코어(822)와 수직마그네틱 코어(822)의 상부에 형성되는 와전류댐퍼(821)를 구비한 수직마그네틱 코어부(820)와, 상기 수직마그네틱 코어(822)가 장착된 영역의 내측관(121) 외측면에 초전도선재가 권취되어 형성되는 수직초전도체솔레노이드(831)와 구동전원 공급선(835)과 상기 외측관(111)의 외부로 인출되는 터미널(837)을 구비한 수직초전도체솔레노이드부(830)와, 상기 수직밸브(841)의 상부면에 부착되는 플런저(852)와 상기 플런저의 상부에 부착되는 외주면에 영구자석피스톤 클래딩(855)이 피복된 영구자석피스톤(851)이 중심유도용 디스크스프링(856)에 의해 이동 가능하게 장착되는 댐퍼실린더부(850) 및 내부의 온도를 검출하는 온도감지부(250)를 포함하여 구성될 수도 있다.
The valve driving unit of the present invention includes a vertical magnetic core 822 formed on an inner circumference of an inner tube region extending to an upper portion of the connection channel 124 and an eddy current damper 821 formed on an upper portion of the vertical magnetic core 822 A vertical superconducting solenoid 831 formed by winding a superconducting wire on the outer surface of the inner tube 121 in a region where the vertical magnetic core 822 is mounted and a driving power supply line 835 And a terminal 837 drawn out to the outside of the outer tube 111. The plunger 852 attached to the upper surface of the vertical valve 841 and the plunger 852 attached to the upper surface of the plunger 851, A damper cylinder portion 850 in which a permanent magnet piston 851 coated with a permanent magnet piston cladding 855 is attached to the outer circumferential surface of the damper cylinder portion 850 movably mounted by a center induction disc spring 856, The temperature sensing unit 250 It may be configured to also.

상술한 도 14와 도 15의 설명에서와 같이, 본 발명의 마그네틱 밸브 장치는 밸브구동부와 밸브부가 내측관에 대하여 수직방향으로 배치 구성될 수 있는 등 본 발명의 기술적 사상 범위 내에서 다양하게 변형실시 될 수 있다.
14 and 15, the magnetic valve device of the present invention can be variously modified within the technical scope of the present invention such that the valve driving part and the valve part can be arranged in the vertical direction with respect to the inner tube. .

도 16 및 도 17은 밸브의 개폐 충격을 감소시키기 위한 밸브구동부에 인가되는 구동전류의 단계적 제어 과정을 나타내는 도면이다.16 and 17 are diagrams showing a stepwise control process of a driving current applied to a valve driving unit for reducing an opening / closing impact of a valve.

도 16 및 도 17과 같이, 초전도체솔레노이드부(230), 초전도체솔레노이드부(230), 온도감지부(250), 리턴솔레노이드부(260), 충전식 초전도체솔레노이드부(330), 전도체솔레노이드부(430) 수직초전도체솔레노이드부(750, 830), 댐퍼실린더부(850)를 제어하여 개폐유로에 대한 개폐 제어를 수행하는 때에, 내부에 구성된 마그네틱 밸브 또는 초전도체밸브와 마그네틱 코어부와의 급격한 접촉에 의한 충격 발생을 방지할 수 있도록 인가되는 구동전류를 단계적으로 인가하여야 한다.16 and 17, the superconducting solenoid unit 230, the superconducting solenoid unit 230, the temperature sensing unit 250, the return solenoid unit 260, the rechargeable superconducting solenoid unit 330, the conductor solenoid unit 430, The superconducting solenoids 750 and 830 and the damper cylinder 850 are controlled to perform the opening and closing control for the opening and closing flow path, an impact caused by a sudden contact between the magnetic valve or the superconductor valve and the magnetic core The driving current to be applied must be applied step by step.

도 16은 제 3 마그네틱 밸브 장치(300)의 충전식 초전도체솔레노이드부(330)의 마그네틱 밸브 또는 초전도체 밸브의 개폐를 위한 구동전류를 단계적으로 인가하는 것을 나타낸다.16 shows a stepwise application of a drive current for opening and closing a magnetic valve or a superconducting valve of the rechargeable superconducting solenoid portion 330 of the third magnetic valve device 300. [

도 16의 최상부 그래프는 제어신호의 그래프이다. 제어신호는 개방과 폐쇄 두 가지를 식별할 수 있도록 두 개의 전압 값을 가진다.The top graph of Fig. 16 is a graph of control signals. The control signal has two voltage values to identify both open and closed.

중간의 그래프는 초전도체솔레노이드부(230)의 구동전류 인가 파형 그래프이다. 폐쇄를 위한 전류가 인가되어 마그네틱 밸브(141)가 개폐유로(123)을 폐쇄한 후에는 폐쇄를 위하여 인가된 구동전류가 단계적으로 감소한다. 그리고 개방을 위한 전류는 폐쇄를 위하여 인가된 전류와 반대 극의 동일한 크기를 가지는 전류를 입력한 후 단계적으로 감소시킨다.The middle graph is a graph of a drive current applied waveform of the superconducting solenoid portion 230. After the magnetic valve 141 closes the opening / closing flow path 123 by applying a current for closing, the driving current applied for closing is gradually decreased. And the current for opening is stepped down after inputting a current having the same magnitude of the opposite polarity as the current applied for closing.

제일 하단의 그래프는 개방을 위한 구동전류와 폐쇄를 위한 구동전류를 연속적으로 상승하거나 감소하도록 구성한 상태에서의 구동전류를 나타내는 그래프이다.The graph at the bottom of the graph is a graph showing the driving current in a state in which the driving current for opening and the driving current for closing are continuously increased or decreased.

충전식 초전도체솔레노이드부에 의한 밸브의 개폐 시에는 구동전류를 개방 시 개방 전류를 일정시간 인가한다. 이때 충전식초전도체솔레노이드(310)는 와전류가 발생하여 지속적으로 전류 흐름 상태가 유지되는 것에 의해, 마그네틱 밸브(141)가 마그네틱 코어부(122)와 결합하여 유로 폐쇄 상태를 유지한다. 이 상태에서 유로를 개방하고자 하는 경우에는 일시적으로 개방 시 인가한 전류와 반대 극성을 가지며 동일한 세기를 가지는 전류를 일시적으로 입력한다. 그러면 충전식초전도체솔레노이드(310)에는 폐쇄시의 와전류와 반대 방향의 와전류가 형성되어 마그네틱 코어부(122)와 마그네틱 밸브(131) 사이에 척력이 작용하여 개폐유로(123)가 개방된다.When the valve is opened or closed by the solenoid of the rechargeable superconductor, the open current is applied for a certain time when the drive current is opened. At this time, the rechargeable superconductor solenoid 310 generates an eddy current and is continuously maintained in a current flow state, so that the magnetic valve 141 is engaged with the magnetic core portion 122 to maintain the flow path closed state. When the flow path is to be opened in this state, the current having the same polarity as the current applied at the time of the temporary opening and having the same intensity is temporarily input. Then, the rechargeable superconductor solenoid 310 generates an eddy current in the opposite direction to the eddy current at the time of closing, and a repulsive force acts between the magnetic core portion 122 and the magnetic valve 131 to open the switching valve 123.

그리고 도 17은 초전도체솔레노이드부(230) 등에서의 밸브 구동전류를 단계적으로 인가하는 예를 나타낸다.
17 shows an example of stepwise application of the valve driving current in the superconductor solenoid unit 230 or the like.

도 18은 종래의 초전도체솔레노이드부가 장착되지 않은 극저온 마그네틱 밸브 장치에 초전도체솔레노이드부를 적용하기 위해 본 발명의 마그네틱 밸브 장치에 장착되는 매칭부하부(920)의 개념도이고, 도 19는 도 18의 매칭부하부(920)의 실시예를 나타내는 도면이다.18 is a conceptual diagram of a matching load section 920 mounted on the magnetic valve device of the present invention for applying a superconducting solenoid section to a cryogenic magnetic valve device not equipped with a conventional superconductor solenoid section, Lt; RTI ID = 0.0 > 920 < / RTI >

종래의 전도체솔레노이드밸브를 초전도체솔레노이드밸브로 교체하고자 하는 경우, 마그네틱 밸브 장치에는 교류를 인가한 경우에는 정류기(910)와 매칭부하부(920)를 더 포함하고, 직류를 인가하는 경우에는 매칭부하부(920) 만을 더 포함한다.In the case where a conventional conductor solenoid valve is to be replaced with a superconducting solenoid valve, the magnetic valve apparatus further includes a rectifier 910 and a matching load unit 920 when AC is applied. In the case of applying a direct current, (920).

즉, 교류를 인가하여 사용되는 전도체솔레노이드부를 구비한 마그네틱 밸브 장치를 초전도체솔레노이드부(230)를 구비한 마그네틱 밸브 장치로 변경하고자 하는 경우, 교류를 직류로 변환하는 정류기(910)와 전도체솔레노이드부와 초전도체솔레노이드부(230) 사이의 임피던스 차이에 의해 초전도체솔레노이드부(230)와 전원부 사이의 임피던스 부정합을 방지하는 것에 의해 전원부의 파손을 방지하기 위한 매칭부하부(920)를 구비하게 된다. 이때 전도체솔레노이드부가 직류전원을 인가하도록 구성된 경우에는 정류기(910)를 구비함이 없이 매칭부하부(920)만을 구비하면 된다.That is, when it is desired to change the magnetic valve device having the conductor solenoid portion used for applying the alternating current to the magnetic valve device having the superconductor solenoid portion 230, the rectifier 910 for converting AC into DC, the conductor solenoid portion And a matching load unit 920 for preventing impedance mismatch between the superconductor solenoid unit 230 and the power supply unit due to impedance difference between the superconducting solenoid units 230 to prevent breakage of the power supply unit. At this time, if the conductor solenoid portion is configured to apply direct current power, only the matching load portion 920 may be provided without the rectifier 910.

상기 매칭부하부(920)는 밸브구동부가 솔레노이드부가 전도체에서 초전도체로 바뀌는 것에 의해 초전도체솔레노이드부(230)와 기존의 전도체솔레노이드밸브로 구동전류를 인가하는 전원부 사이에 발생할 수 있는 부하 효과에 따른 과부하를 해소하기 위한 것이다. 이를 위해 부하에 해당하는 초전도체솔레노이드부(230)의 전단에 매칭부하부를 장착하는 것에 의해 임피던스를 상승시켜 상기 전원부를 보호하기에 합당한 임피던스 정합 상태를 만들어, 전도체솔레노이드부를 초전도체솔레노이드부(230)로 교체하는 경우 종래 기술에 발생하였던 전원부의 파손을 방지하게 된다.The matching load section 920 is configured such that the valve driving section changes over from the solenoid portion to the superconductor so that the overload due to the load effect that may occur between the superconductor solenoid portion 230 and the power source portion that applies the driving current to the existing conductor solenoid valve To solve the problem. To this end, the matching load is mounted on the front end of the superconducting solenoid 230 corresponding to the load to raise the impedance so as to provide an impedance matching state suitable for protecting the power source, and the conductor solenoid portion is replaced with the superconductor solenoid portion 230 It is possible to prevent the breakage of the power supply unit which has occurred in the prior art.

도 19는 상술한 매칭부하부(920)의 구현 예로서, 전원부(미도시)와 초전도체솔레노이드부(230) 사이의 임피던스 정합을 위해 외측관(111)의 외부에 전도체코일을 권취하여 매칭부하부(920)를 형성한 제 9 마그네틱 밸브 장치(900)를 나타낸다.
19 shows an embodiment of the matching load unit 920. The matching coil unit 920 may be constituted by winding a conductor coil on the outside of the outer tube 111 to match the impedance between the power unit (not shown) and the superconductor solenoid unit 230, 9 shows a ninth magnetic valve device 900 having a valve body 920 formed therein.

본 발명의 실시예에서, 상기 제어부(10)는 도면에는 독립적인 구성으로 도시하였으나, 도 1 및 도 2의 경우에는 구동부(20)를 제어하며, 도 2 내지 도 15 및 도 19의 경우에는 각각의 초전도체솔레노이드부(230), 온도감지부(250), 리턴솔레노이드부(260), 충전식 초전도체솔레노이드부(330), 전도체솔레노이드부(430) 수직초전도체솔레노이드부(750, 830), 댐퍼실린더부(850) 등과 접속되어 마그네틱 밸브의 구동을 제어하도록 구성된다.
In the embodiment of the present invention, the control unit 10 is shown as an independent structure in the drawing, but controls the driving unit 20 in the case of FIGS. 1 and 2, and in the case of FIGS. 2 to 15 and 19 A superconducting solenoid unit 230, a temperature sensing unit 250, a return solenoid unit 260, a rechargeable superconducting solenoid unit 330, a conductor solenoid unit 430, a vertical superconducting solenoid unit 750 and 830, a damper cylinder unit 850) and the like so as to control the driving of the magnetic valve.

100: 제 1 마그네틱 밸브 장치 110: 외측관부
111: 외측관 120: 내측관부
121: 내측관 122: 마그네틱 코어부
123: 개폐유로 124: 연결유로부
125: 제 1 유로 126; 제 2 유로
130: 마그네트 노브 구동부 131: 마그네트 노브
140: 마그네틱 밸브부
141: 마그네틱 밸브 143: 밸브가이드
145: 이동제한부 200: 제 2 마그네틱 밸브 장치
230: 초전도체솔레노이드부 231: 초전도체솔레노이드
232: 하이브리드 초전도선재 233: 자속유도부
235: 구동전원 공급선 237: 터미널
239: 다층단열재 239A: 자기차폐재
250: 온도감지부 251: 온도감지센서
253: 온도감지선 257: 온도감지단자
260: 리턴솔레노이드부 270: 밸브스토퍼
280: 유체댐퍼부 281: 유체댐퍼홈
282: 제 1 걸림턱 283: 제 2 걸림턱
285: 유체댐퍼 286: 제 1 걸림돌기
287: 제 2 걸림돌기 290: 와전류 댐퍼
291: 도전체관 293: 자성체삽입봉
300: 제 3 마그네틱 밸브 장치 310: 충전식초전도체솔레노이드부
311: 충전초전도체솔레노이드 320: 제어솔레노이드부
321: 제어솔레노이드 323: 제어전원선
325: 제어 전원선 터미널 330: 제 3 밸브구동부
400: 제 4 마그네틱 밸브 장치 430: 상전도솔레노이드부
431: 상전도솔레노이드 435: 구동전원 공급선
437: 전원공급단자 440: 초전도체밸브부
441: 초전도체 443: 금속표피부
445: 와전류 500: 제 5 마그네틱 밸브 장치
501: 구동전원선로 570: 구동전원스위치부
610: 유량제어유로 740: 볼밸브부
741: 볼밸브 743: 볼밸브안착면
745: 볼밸브가이드 747: 볼밸브스토퍼
749: 와류방지유로 750: 수직초전도체솔레노이드부
751: 전자석 753: 초전도코일
755: 수직초전도체솔레노이드 760: 수직밸브부
761: 수직밸브 762: 수직자속유도부
820: 마그네틱 코어부 821; 와전류댐퍼
822: 마그네틱 코어 830: 수직초전도체솔레노이드부
831: 수직초전도체솔레노이드 835: 구동전원 공급선
837: 터미널 850: 댐핑실린더부
851: 댐퍼실린더 852: 플런저
853: 영구자석피스톤 855: 영구자석피스톤클래딩
856: 중심유도용 디스크스프링 900: 제 9 마그네틱 밸브 장치
920: 매칭부하100: first magnetic valve device 110: outer tube
111: outer tube 120: inner tube
121: Inner tube 122: Magnetic core part
123: opening / closing flow path 124: connecting flow path portion
125: first flow path 126; The second euros
130: Magnet knob drive unit 131: Magnet knob
140: Magnetic valve part
141: Magnetic valve 143: Valve guide
145: movement restricting part 200: second magnetic valve device
230: superconductor solenoid part 231: superconductor solenoid
232: Hybrid superconducting wire 233:
235: driving power supply line 237: terminal
239: multilayered insulation material 239A: magnetic shielding material
250: Temperature sensing part 251: Temperature sensing sensor
253: Temperature sensing line 257: Temperature sensing terminal
260: return solenoid 270: valve stopper
280: Fluid damper part 281: Fluid damper groove
282: first stopping jaw 283: second stopping jaw
285: fluid damper 286: first stopping projection
287: second stopping device 290: eddy current damper
291: Conductor tube 293:
300: third magnetic valve device 310: rechargeable superconductor solenoid part
311: Charging superconductor solenoid 320: Control solenoid unit
321: Control solenoid 323: Control power line
325: control power line terminal 330: third valve driving part
400: fourth magnetic valve device 430: normal-conducting solenoid valve
431: Normal electric solenoid 435: Driving power supply line
437: power supply terminal 440: superconducting valve part
441: superconductor 443: metal grid skin
445: eddy current 500: fifth magnetic valve device
501: driving power line 570: driving power switch part
610: Flow control flow path 740: Ball valve part
741: Ball valve 743: Ball valve seat surface
745: Ball valve guide 747: Ball valve stopper
749: Vortex prevention flow path 750: Vertical superconducting solenoid part
751: Electromagnet 753: Superconducting coil
755: Vertical superconductor solenoid 760: Vertical valve section
761: vertical valve 762: vertical flux guide
820: magnetic core portion 821; Eddy current damper
822: Magnetic core 830: Vertical superconductor solenoid part
831: Vertical superconductor solenoid 835: Driving power supply line
837: Terminal 850: Damping cylinder part
851: Damper cylinder 852: Plunger
853: Permanent magnet piston 855: Permanent magnet piston cladding
856: Disk spring for center induction 900: Ninth magnetic valve device
920: matching load

Claims (24)

외측관으로 구성되는 외측관부;
상기 외측관부와의 사이가 진공이 되도록 상기 외측관부의 내측에 위치되어 내부에 극저온 유체가 이송되는 내측관을 포함하는 내측관부;
상기 내측관의 내부에서 자기력을 전달시키며, 상기 내측관의 내부에서 마그네틱 밸브에 의해 차폐되는 유로를 형성하도록 형성되는 마그네틱 코어부;
상기 내측관의 내부에 위치되어, 자력에 의해 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동이 제어되어 상기 내측관의 내부를 개폐하는 것에 의해 상기 내측관에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량을 제어하는 마그네틱 밸브를 구비한 밸브부; 및
상기 마그네틱 밸브의 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동을 제어하기 위해 상기 마그네틱 밸브로 자기력을 공급하도록 상기 외측관부의 외측 또는 상기 내측관부의 외측면 중 하나 이상의 위치에 형성되는 밸브구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
An outer tube portion formed of an outer tube;
And an inner tube which is located inside the outer tube portion so that the gap between the outer tube portion and the inner tube portion becomes vacuum and the cryogenic fluid is transferred to the inner tube portion;
A magnetic core part for transmitting a magnetic force inside the inner tube and forming a flow passage shielded by a magnetic valve in the inner tube;
And a magnetic valve for controlling the flow rate of the cryogenic fluid being conveyed by the inner tube by opening and closing the inside of the inner tube by controlling the movement of the magnetic core part by the magnetic force inside the inner tube A valve portion; And
And a valve driving part formed at one or more of the outer side of the outer tube part or the outer side surface of the inner tube part to supply magnetic force to the magnetic valve to control the movement of the magnetic valve with respect to the magnetic core part Wherein the magnetic valve device is a magnetic valve device.
청구항 1에 있어서,
상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 상기 마그네틱 밸브를 포함하는 내부 영역의 양측 사이에는 상기 마그네틱 밸브의 이동을 가이드하는 밸브가이드가 장착되며, 상기 양측 각각에는 상기 마그네틱 밸브가 위치 이탈되지 않도록 하는 밸브이동제한부가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to claim 1,
A valve guide for guiding the movement of the magnetic valve is mounted between the magnetic core portion of the inner tube and the both sides of the inner region including the magnetic valve, And a restricting portion is formed on the outer circumferential surface of the valve body.
청구항 1에 있어서, 상기 마그네틱 밸브 구동부는,
상기 마그네틱 코어부에 대응하는 외측관의 외측면과 상기 마그네틱 코어부를 벗어나는 위치 사이에서 수동 또는 자동으로 위치 이동되도록 부착되는 마그네트 노브; 및
상기 마그네틱 코어부로 상기 마그네트 노브에 의해 생성된 자속을 유도하도록 상기 마그네틱 코어부의 양단에 대응하는 상기 내측관의 외측면의 위치에 형성되는 자속유도부;를 포함하는 마그네트 노브 구동부로 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
[2] The apparatus of claim 1,
A magnet knob attached so as to be manually or automatically moved between an outer surface of the outer tube corresponding to the magnetic core portion and a position deviating from the magnetic core portion; And
And a magnetic flux guiding part formed at a position of an outer surface of the inner tube corresponding to both ends of the magnetic core part to induce the magnetic flux generated by the magnet knob with the magnetic core part. Magnetic valve device.
청구항 1에 있어서, 상기 마그네틱 밸브 구동부는,
상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 대응하는 외측면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 초전도체솔레노이드; 및
상기 외측관의 외부로부터 상기 초전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선;을 포함하는 초전도체솔레노이드부로 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
[2] The apparatus of claim 1,
A superconductor solenoid wound on the outer surface of the inner tube corresponding to the magnetic core portion with a superconducting wire; And
And a driving power supply line configured to supply driving power from the outside of the outer tube to the superconductor solenoid.
청구항 4에 있어서, 상기 초전도체솔레노이드부는,
상기 초전도체솔레노이드에서 영구전류가 흐르도록 상기 초전도체솔레노이드와 상기 구동전원 공급선 사이에서 스위칭되는 영구전류스위치(PCS, persistence current switch);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
5. The superconducting solenoid according to claim 4,
And a permanent current switch (PCS) switched between the superconductor solenoid and the drive power supply line so that a permanent current flows through the superconductor solenoid.
청구항 4에 있어서, 상기 초전도체솔레노이드는,
초전도재료의 초전도 중심선재; 및
상기 초전도 중심선재의 외측에 피복되는 구리 재질의 구리클래딩;을 포함하는 하이브리드 초전도선재로 권취되어,
상온에서는 전도체 솔레노이드로 동작하고, 저온에서는 초전도체 솔레노이드로 동작하는 하이브리드 마그네틱 밸브 기능을 구현하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
5. The superconducting solenoid according to claim 4,
Superconducting core wire of superconducting material; And
And a copper cladding made of a copper material coated on the outer side of the superconducting centerline wire,
Wherein the solenoid valve is configured to function as a conductor solenoid at a normal temperature and to function as a superconductive solenoid at a low temperature.
청구항 6에 있어서,
상기 내측관 내에서 이동하는 극저온 유체의 온도를 검출하여 상기 초전도 중심선재 또는 상기 구리클래딩을 선택하여 구동시킬 수 있도록 하는 온도감지부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method of claim 6,
And a temperature sensing unit for sensing the temperature of the cryogenic fluid moving in the inner tube to select and drive the superconducting centerline wire or the copper cladding.
청구항 4에 있어서, 상기 구동전원 공급선은
상기 외측관과 상기 내측관 사이의 열전달을 최소화하기 위하여 상기 외측관과 상기 내측관의 사이에서 코일형태로 권취되고, 일단은 상기 외측관의 외부로 돌출되어 터미널이 결합되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The plasma display apparatus according to claim 4, wherein the driving power supply line
Wherein the outer tube and the inner tube are wound in a coil shape between the outer tube and the inner tube so as to minimize heat transfer between the outer tube and the inner tube and one end is protruded to the outside of the outer tube, Device.
청구항 4에 있어서, 상기 초전도체솔레노이드부는
상기 초전도체솔레노이드의 외측면에 감싸지는 다층단열재;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
[5] The apparatus of claim 4, wherein the superconductor solenoid portion
And a multi-layer thermal insulation material wound around the outer surface of the superconductor solenoid.
청구항 4에 있어서, 상기 초전도체솔레노이드부는
상기 초전도체솔레노이드의 외측면에 피복 형성되어 상기 초전도체솔레노이드에서 발생되는 자속의 누설을 방지하는 자기차폐재;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
[5] The apparatus of claim 4, wherein the superconductor solenoid portion
And a magnetic shielding member formed on the outer surface of the superconductor solenoid to prevent leakage of magnetic flux generated in the superconductor solenoid.
청구항 4에 있어서,
상기 마그네틱 밸브의 이동 구간에 대응하는 상기 내측관의 외측면의 영역에 초전도 선재가 권취되어 상기 마그네틱 밸브의 리턴 구동을 제어하는 리턴솔레노이드부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method of claim 4,
Further comprising: a return solenoid unit for winding the superconducting wire around an outer surface of the inner tube corresponding to a moving section of the magnetic valve to control the returning operation of the magnetic valve.
청구항 11에 있어서,
상기 내측관의 내측면에 상기 리턴솔레노이드부에 의해 이동되는 마그네틱 밸브의 리턴 이동을 정지시키는 하나 이상의 밸브스토퍼가 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method of claim 11,
Wherein at least one valve stopper for stopping the return movement of the magnetic valve moved by the return solenoid unit is formed on the inner side surface of the inner tube.
청구항 1에 있어서, 상기 마그네틱 밸브 구동부는,
상기 내측관의 상기 마그네틱 코어부와 대응하는 외측면에 초전도 선재로 권취되어 구성되는 충전초전도체솔레노이드를 포함하는 충전초전도체솔레노이드부; 및
상기 충전초전도체솔레노이드가 권취된 영역에 대응하는 상기 외측관의 외주면에 전도체가 권취되어 형성되는 제어솔레노이드를 포함하는 제어솔레노이드부;를 포함하여,
상기 제어솔레노이드부의 인가 전류를 조절하는 것에 의해 상기 충전초전도체솔레노이드의 와전류를 조절하여 상기 마그네틱 밸브의 개폐를 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
[2] The apparatus of claim 1,
A charged superconducting solenoid portion including a charged superconducting solenoid wound on a outer surface of the inner tube corresponding to the magnetic core portion with a superconducting wire; And
And a control solenoid including a control solenoid in which a conductor is wound around an outer circumferential surface of the outer tube corresponding to a region where the charged superconducting solenoid is wound,
And controls the opening and closing of the magnetic valve by adjusting an eddy current of the charged superconducting solenoid by adjusting an applied current of the control solenoid unit.
청구항 1에 있어서,
상기 마그네틱 밸브 구동부는 상기 내측관의 마그네틱 코어부가 형성된 영역의 외측 면에 전도체가 권취되어 형성된 전도체솔레노이드부로 구성되고,
상기 마그네틱 밸브부는 상기 마그네틱 밸브가 초전도체인 초전도체밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the magnetic valve driving unit includes a conductive solenoid unit formed by winding a conductor on an outer surface of a region of the inner tube where the magnetic core is formed,
Wherein the magnetic valve unit comprises a superconducting valve in which the magnetic valve is a superconductor.
외측관으로 구성되는 외측관부;
상기 외측관부와의 사이가 진공이 되도록 상기 외측관부의 내측에 위치되어 내부에 극저온 유체가 이송되는 내측관을 포함하는 내측관부;
상기 내측관의 내부에서 자기력을 전달시키며, 상기 내측관의 내부에서 밸브에 의해 차폐되는 유로를 형성하도록 쌍으로 형성되는 한 쌍의 마그네틱 코어부;
상기 내측관의 내부에서 상기 한 쌍의 마그네틱 코어부의 일 측에 각각 위치되어, 자력에 의해 상기 마그네틱 코어부에 대한 이동이 제어되어 상기 내측관의 내부를 개폐하는 것에 의해 상기 내측관에 의해 이송되는 극저온 유체의 유량을 제어하는 밸브를 각각 구비한 한 쌍의 밸브부;
상기 내측관의 상기 하나의 마그네틱 코어부와 대응하는 외측면에 권취되는 초전도 선재로 구성되는 초전도체솔레노이드 및 상기 외측관의 외부로부터 상기 초전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선을 포함하는 초전도체솔레노이드부와, 상기 다른 하나의 마그네틱 코어부와 대응하는 상기 내측관의 외측면에 권취되는 전도체로 구성되는 전도체솔레노이드 및 상기 외측관의 외부로부터 상기 전도체솔레노이드로 구동전원을 공급하도록 구성되는 구동전원 공급선을 포함하는 전도체솔레노이드부를 포함하는 밸브구동부; 및
상기 유체가 초전도 임계온도 이하인 경우 상기 초전도체솔레노이드부를 구동시키고, 임계온도 이상인 경우 상기 전도체솔레노이드부를 구동시키도록 구동전원을 스위치하는 구동전원스위치부:를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
An outer tube portion formed of an outer tube;
And an inner tube which is located inside the outer tube portion so that the gap between the outer tube portion and the inner tube portion becomes vacuum and the cryogenic fluid is transferred to the inner tube portion;
A pair of magnetic core portions that are formed in pairs to transmit magnetic force in the inner tube and form a flow path that is shielded by a valve inside the inner tube;
Wherein the inner tube is disposed at one side of the pair of magnetic core portions and is moved by the magnetic force to the magnetic core portion so as to be opened and closed by the inner tube to be transported by the inner tube A pair of valve portions each having a valve for controlling the flow rate of the cryogenic fluid;
A superconducting solenoid constituted by a superconducting wire wound on an outer surface corresponding to the one magnetic core portion of the inner tube and a driving power supply line configured to supply driving power from the outside of the outer tube to the superconductor solenoid, A conductor solenoid constituted of a solenoid portion and a conductor wound around the outer surface of the inner tube corresponding to the other magnetic core portion and a drive power supply line configured to supply drive power from the outside of the outer tube to the conductor solenoid, A valve driving part including a conductor solenoid part including the conductive solenoid part; And
And a driving power switch unit that drives the superconductor solenoid unit when the fluid is below the superconducting critical temperature and switches the driving power source to drive the conductor solenoid unit when the fluid temperature is equal to or higher than the critical temperature.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 마그네틱 밸브에는 극저온 유체의 유량 제어를 위해 극저온 유체의 흐름 방향을 따라 밸브의 전후를 관통하는 하나 이상의 유량제어유로;가 형성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
Wherein the magnetic valve is provided with one or more flow control flow passages passing through the front and rear of the valve along the flow direction of the cryogenic fluid to control the flow rate of the cryogenic fluid.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 마그네틱 코어부와 상기 마그네틱 밸브와 충돌을 완화시키기 위하여, 상기 마그네틱 코어부의 상기 마그네틱 밸브가 밀착되는 면에서 제 1 걸림턱과 제 2 걸림턱을 가지도록 형성되는 유체댐퍼홈;
상기 제 1 걸림턱에 걸리어지는 제 1 걸림돌기와 상기 제 2 걸림턱에 걸리어지는 제 2 걸림돌기가 형성되어 상기 유체댐퍼홈에 상기 제 1 걸림돌기와 상기 제 2 걸림턱 사이의 길이만큼의 이동 유격을 가지도록 장착되는 유체댐퍼;를 포함하는 하나 이상의 유체댐퍼부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
A fluid damper groove formed so as to have a first engaging jaw and a second engaging jaw on a surface where the magnetic valve of the magnetic core part comes in close contact with the magnetic core part and the magnetic valve;
A first engaging projection engaging with the first engaging jaw and a second engaging projection engaging with the second engaging jaw are formed so as to have a movement gap of the length between the first engaging projection and the second engaging projection in the fluid damper groove And at least one fluid damper unit including a fluid damper mounted to the fluid damper.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 마그네틱 코어부의 상기 마그네틱 밸브가 밀착되는 면에 관형으로 형성되는 전도체관; 및
상기 전도체관에 삽입되어 상기 전도체관에 기전력을 유도하는 것에 의해 역방향 자기력을 발생시키도록 상기 마그네틱 밸브의 전단에 돌출 형성되는 자성체삽입봉;을 포함하는 와전류댐퍼부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
A conductive pipe formed in a tubular shape on the surface of the magnetic core portion on which the magnetic valve is closely attached; And
And an eddy current damper part inserted into the conductor tube and protruding from a front end of the magnetic valve so as to induce an electromotive force in the conductor tube to generate a reverse magnetic force. Valve device.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마그네틱 밸브부는,
구형의 볼밸브;
상기 마그네틱 코어부의 상기 볼밸브에 접하는 면에서 홈으로 형성되는 볼밸브안착면;
상기 볼밸브와 접하는 면은 원호면으로 형성되어 상기 볼밸브의 리턴위치를 한정하도록 볼밸브가 개방되는 위치에 형성되는 볼밸브스토퍼; 및
상기 볼밸브안착면과 상기 볼밸브스토퍼 사이에서 볼밸브의 구름 이동 경로를 제공하는 볼밸브가이드;를 포함하는 볼밸브부로 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The magnetic valve unit according to any one of claims 1, 2, 4, and 15,
Spherical ball valve;
A ball valve seat surface formed in the surface of the magnetic core portion in contact with the ball valve;
A ball valve stopper formed on a surface of the ball valve in contact with the ball valve and formed at a position where the ball valve is opened to define a return position of the ball valve; And
And a ball valve guide for providing a rolling movement path of the ball valve between the ball valve seating surface and the ball valve stopper.
청구항 19에 있어서,
상기 볼밸브스토퍼에는 유체의 와류 방지를 위한 다수의 와류방지유로가 형성되는 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method of claim 19,
Wherein the ball valve stopper is formed with a plurality of vortex prevention flow paths for preventing vortex of the fluid.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 내측관은 제 1 유로와 제 2 유로를 가지도록 분할된 후 연결유로에 의해 연결되고,
상기 마그네틱 밸브부는 일단에 수직자속유도부가 형성된 수직밸브를 구비하여 상기 연결유로를 차폐하도록 상기 연결유로에 수직으로 장착되는 수직밸브부;로 구성되고,
상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 연결유로 내측을 관통하여 형성되는 전자석과 상기 전자석에 권취되는 초전도코일로 구성되는 수직초전도체솔레노이드를 포함하여 상기 수직밸브의 개폐를 위한 자기력을 제공하는 수직초전도체솔레노이드부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
Wherein the inner tube is divided to have a first flow path and a second flow path,
Wherein the magnetic valve unit includes a vertical valve having a vertical magnetic flux guiding part formed at one end thereof and vertically mounted on the connection channel so as to shield the connection channel,
Wherein the magnetic valve driving unit includes a vertical superconductor solenoid including an electromagnet formed through the inside of the connection passage and a superconducting coil wound around the electromagnet to provide a magnetic force for opening and closing the vertical valve, And the magnetic valve device.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 내측관은 제 1 유로와 제 2 유로를 가지도록 분할된 후 연결유로에 의해 연결되고,
상기 마그네틱 밸브부는, 수직밸브가 상기 연결유로를 차폐하도록 상기 연결유로에 수직으로 장착되는 수직밸브부;로 구성되고,
상기 마그네틱 밸브 구동부는, 상기 연결유로의 상부로 연장되는 내측관의 영역의 내주에 형성되는 수직마그네틱 코어와 수직마그네틱 코어의 상부에 형성되는 와전류댐퍼를 구비한 수직마그네틱 코어부;와, 상기 수직마그네틱 코어가 장착된 영역의 내측관 외측면에 초전도선재가 권취되어 형성되는 수직초전도체솔레노이드와 구동전원 공급선과 상기 외관의 외부로 인출되는 터미널을 구비한 수직초전도체솔레노이드부;와, 상기 수직밸브의 상부면에 부착되는 플런저와, 상기 플런저의 상부에 부착되는 외주면에 영구자석피스톤 클래딩이 피복된 영구자석피스톤이 중심유도용 디스크스프링에 의해 이동 가능하게 장착되는 댐퍼실린더부; 및 내부의 온도를 검출하는 온도감지부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
Wherein the inner tube is divided to have a first flow path and a second flow path,
Wherein the magnetic valve unit comprises a vertical valve unit vertically mounted on the connection passage so that the vertical valve shields the connection passage,
The magnetic valve driving unit includes a vertical magnetic core including a vertical magnetic core formed on an inner circumference of an inner tube extending to an upper portion of the connection passage and an eddy current damper formed on an upper portion of the vertical magnetic core, A vertical superconductor solenoid having a vertical superconducting solenoid formed by winding a superconducting wire around an inner tube of a region where a core is mounted, a driving power supply line, and a terminal drawn out to the outside of the outer tube; A damper cylinder part movably mounted by a centering disk spring to which a permanent magnet piston covered with a permanent magnet piston cladding is attached to an outer circumferential surface of the plunger; And a temperature sensing unit for sensing a temperature inside the magnet valve.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 마그네틱 밸브 구동부를 구동시키기 위해 입력되는 구동전류는,
상기 마그네틱 밸브의 개폐 시의 충격 완화를 위해 일정시간 동안 단계별 또는 연속적으로 증가 또는 감소 단계를 가지도록 인가되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.
The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
Wherein the drive current input to drive the magnetic valve driver is a drive current,
Wherein the magnetic valve is applied so as to have a stepwise or continuously increasing or decreasing step for a certain period of time in order to alleviate an impact upon opening and closing of the magnetic valve.
청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
전도체솔레노이드가 적용된 마그네틱 밸브 장치에 초전도체솔레노이드를 적용하기 위한 매칭부하부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네틱 밸브 장치.The method according to any one of claims 1, 2, 4 and 15,
And a matching load unit for applying the superconducting solenoid to the magnetic valve apparatus to which the conductor solenoid is applied.
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