KR20160066536A - Liquid crystal display and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 들어 있는 액정층으로 이루어진다.The liquid crystal display device is one of the most widely used flat panel display devices and is composed of two display panels having an electric field generating electrode such as a pixel electrode and a common electrode and a liquid crystal layer interposed therebetween.
전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고 이를 통하여 액정층의 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시한다.A voltage is applied to the electric field generating electrode to generate an electric field in the liquid crystal layer, thereby determining the orientation of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer and controlling the polarization of the incident light to display an image.
액정 표시 장치 가운데 하나로써, 픽셀에 복수의 미세 공간(micro cavity)을 형성하고, 여기에 액정을 채워 디스플레이를 구현하는 기술이 개발되고 있다. 이 기술은 미세 공간을 지지하기 위해 루프층 등의 구조를 형성할 수 있다. 루프층을 형성하기 위해 여러 층을 형성해야 하기 때문에 공정이 복잡해지는 문제가 있다.As one of liquid crystal display devices, a technique has been developed in which a plurality of micro-cavities are formed in a pixel and a liquid crystal is filled in the micro-cavity to implement a display. This technique can form a structure such as a loop layer to support the micro space. There is a problem that the process becomes complicated because several layers must be formed to form the loop layer.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 공정이 단순화된 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device with simplified processes and a method of manufacturing the same.
본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치는 기판, 상기 기판 위에 위치하는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극 그리고 상기 화소 전극과 마주보며 위치하는 색필터를 포함하고, 상기 화소 전극과 상기 색필터 사이에 복수의 미세 공간(Microcavity)이 형성되어 있고, 상기 미세 공간은 액정 물질을 포함하는 액정층을 형성하고, 상기 복수의 미세 공간은 격벽부에 의해 구획되고, 상기 격벽부는 상기 색필터 중에서 한가지 색상의 색필터에 의해 형성된다. A liquid crystal display according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor disposed on the substrate, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and a color filter facing the pixel electrode, A plurality of Wherein the micro-space is formed by a liquid crystal layer including a liquid crystal material, the plurality of micro-spaces are defined by barrier ribs, and the barrier ribs are formed by a color filter .
상기 격벽부는 서로 이웃하는 미세 공간 사이의 이격 공간을 상기 한가지 색상의 색필터가 채우는 부분일 수 있다.The partition wall portion may be a portion where the one color filter fills a spacing space between neighboring microspaces.
상기 격벽부는 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 데이터선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성될 수 있다.The barrier ribs may be formed along a direction in which a data line connected to the thin film transistor extends.
상기 미세 공간과 상기 색필터 사이에 위치하는 하부 절연층을 더 포함할 수 있다.And a lower insulating layer disposed between the micro space and the color filter.
상기 색필터는 섬형으로 형성될 수 있다. The color filter may be formed in a island shape.
상기 격벽부 위에 서로 이웃하는 색필터가 만나는 경계면이 위치할 수 있다.An interface between adjacent color filters may be located on the partition wall.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터 사이에 위치하는 3개의 격벽부는 모두 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 하나의 색필터로 형성될 수 있다.Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, and wherein the color filter includes three color filters, a first color filter, a second color filter and a third color filter, The two partition walls may be formed of one of the first color filter, the second color filter, and the third color filter.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터 사이에 위치하는 3개의 격벽부는 각각 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터로 형성될 수 있다.Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, and wherein the color filter includes three color filters, a first color filter, a second color filter and a third color filter, Each of the partition walls may be formed of the first color filter, the second color filter, and the third color filter.
상기 격벽부 위에 서로 이웃하는 색필터의 이격 공간이 형성되고, 상기 이격 공간을 덮는 상부 절연층을 더 포함하고, 상기 상부 절연층은 무기막을 포함할 수 있다. The upper insulating layer may include an inorganic film. The upper insulating layer may include a spacing space for neighboring color filters formed on the partition wall. The upper insulating layer may cover the spacing space.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 각각 청색 색필터, 적색 색필터 및 녹색 색필터일 수 있다.Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, wherein the first color filter, the second color filter, and the third color filter respectively have a blue color filter, a red color filter, Color filter.
상기 청색 색필터는 상기 격벽부를 형성할 수 있다.The blue color filter may form the partition wall portion.
상기 색필터 위에 위치하는 유기막을 더 포함할 수 있다.And an organic layer disposed on the color filter.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 서로 이격하여 위치하고, 상기 색필터의 이격 공간은 상기 유기막으로 채워질 수 있다.Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, wherein the first color filter, the second color filter, and the third color filter are located apart from each other, The space may be filled with the organic film.
상기 격벽부는 서로 이웃하는 미세 공간 사이의 이격 공간을 상기 한가지 색상의 색필터가 채우는 부분일 수 있다. The partition wall portion may be a portion where the one color filter fills a spacing space between neighboring microspaces.
상기 제1 색필터는 상기 격벽부를 형성하고, 상기 제1 색필터는 청색 색필터일 수 있다.The first color filter may form the partition wall portion, and the first color filter may be a blue color filter.
상기 미세 공간과 상기 색필터 사이에 위치하는 공통 전극 및 하부 절연층, 상기 색필터 위에 위치하는 상부 절연층 그리고 상기 상부 절연층 위에 위치하는 캐핑층을 더 포함할 수 있다. A common electrode and a lower insulating layer positioned between the fine space and the color filter, an upper insulating layer positioned on the color filter, and a capping layer located on the upper insulating layer.
본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터에 연결되도록 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 위에 오픈부가 형성된 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 위에 제1 색필터를 형성하는 단계, 상기 희생층 위에 제2 색필터를 형성하는 단계, 상기 희생층 위에 제3 색필터를 형성하는 단계, 상기 희생층을 제거하여 복수의 미세 공간(Microcavity)을 형성하는 단계, 상기 미세 공간에 액정 물질을 주입하는 단계 그리고 상기 미세 공간의 액정 주입구를 덮도록 캐핑층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 하나의 색필터가 상기 오픈부를 채운다. A method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention includes forming a thin film transistor on a substrate, forming a pixel electrode to be connected to the thin film transistor, forming a sacrificial layer on the pixel electrode, Forming a first color filter on the sacrificial layer, forming a second color filter on the sacrificial layer, forming a third color filter on the sacrificial layer, removing the sacrificial layer to form a plurality of fine spaces Forming a microcavity, injecting a liquid crystal material into the microspace, and forming a capping layer to cover the liquid crystal inlet of the microspace, wherein the first color filter, the second color filter, And one color filter of the third color filter fills the open portion.
상기 오픈부를 채우는 색필터는 격벽부를 형성하고, 상기 격벽부는 상기 복수의 미세 공간을 구획할 수 있다.The color filter that fills the open portion may form a partition wall portion, and the partition portion may partition the plurality of micro spaces.
상기 격벽부는 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 데이터선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성될 수 있다.The barrier ribs may be formed along a direction in which a data line connected to the thin film transistor extends.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터, 및 상기 제3 색필터는 각각 섬형으로 형성할 수 있다. The first color filter, the second color filter, and the third color filter may each be formed in an island shape.
상기 희생층 위에 하부 절연층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.And forming a lower insulating layer on the sacrificial layer.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터가 만나는 경계면이 상기 격벽부 위에 위치하도록 형성할 수 있다. And the interface between the adjacent color filters of the first color filter, the second color filter, and the third color filter may be formed on the partition wall.
상기 격벽부 위에 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터의 이격 공간을 형성하고, 상기 이격 공간을 덮는 상부 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 상부 절연층은 무기막을 포함할 수 있다. Forming a spacing space of color filters adjacent to each other among the first color filter, the second color filter, and the third color filter on the partition wall portion, and forming an upper insulating layer covering the spacing space; , And the upper insulating layer may include an inorganic film.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 각각 청색 색필터, 적색 색필터 및 녹색 색필터로 형성하고, 상기 청색 색필터가 상기 격벽부를 형성할 수 있다. The first color filter, the second color filter, and the third color filter may be formed of a blue color filter, a red color filter, and a green color filter, respectively, and the blue color filter may form the partition wall.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 위에 유기막을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. And forming an organic film on the first color filter, the second color filter, and the third color filter.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 상기 격벽부 위에서 서로 이격하도록 형성할 수 있다. The first color filter, the second color filter, and the third color filter may be spaced apart from each other on the partition wall.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터의 이격 공간은 상기 유기막으로 채울 수 있다. The spacing spaces of the first color filter, the second color filter, and the third color filter may be filled with the organic film.
상기 제1 색필터는 상기 격벽부를 형성하고, 상기 제1 색필터는 청색 색필터일 수 있다. The first color filter may form the partition wall portion, and the first color filter may be a blue color filter.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터, 및 상기 제3 색필터 위에 상부 절연층을 형성하는 단계 그리고 상기 상부 절연층을 패터닝하여 액정 주입구 형성 영역을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 액정 주입구 형성 영역은 상기 박막 트랜지스터에 연결된 게이트선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성될 수 있다. Forming an upper insulating layer on the first color filter, the second color filter, and the third color filter, and patterning the upper insulating layer to form a liquid crystal injection hole forming region, The formation region may be formed along a direction in which a gate line connected to the thin film transistor extends.
본 발명의 일실시예에 따르면, 미세 공간 위에 색필터를 형성함으로써 루프층을 대체할 수 있다. 따라서, 공정을 단순화할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the loop layer can be replaced by forming a color filter on the micro space. Therefore, the process can be simplified.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 절단선 II-II를 따라 자른 단면도이다.
도 3은 도 1의 절단선 III-III을 따라 자른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치에서 색필터 및 격벽부를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 절단선 V-V를 따라 자른 단면도이다.
도 6은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 7은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 3에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 10은 도 4에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 10에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 12 내지 30은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타내기 위한 평면도 및 단면도들이다.1 is a plan view of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
4 is a plan view showing a color filter and a barrier rib in a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line VV in Fig.
6 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
7 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
8 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
9 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
10 is a plan view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
11 is a plan view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
12 to 30 are a plan view and a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.
도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.In the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Also, when a layer is referred to as being "on" another layer or substrate, it may be formed directly on another layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. Like numbers refer to like elements throughout the specification.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 배치도이다. 도 2는 도 1의 절단선 II-II를 따라 자른 단면도이다. 도 3은 도 1의 절단선 III-III을 따라 자른 단면도이다.1 is a layout diagram showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
도 1은 복수의 화소 영역 가운데 일부분인 2 X 2 화소 영역 부분을 나타내는 것이고, 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치는 이러한 화소 영역이 상하좌우로 반복 배열될 수 있다.FIG. 1 shows a 2X2 pixel area part of a plurality of pixel areas, and the liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention can repeatedly arrange such pixel areas in up, down, left, and right directions.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 투명한 유리 또는 플라스틱 등으로 만들어진 기판(110) 위에 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 게이트 전극(124)을 포함한다. 유지 전극선(131)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며 공통 전압(Vcom) 등의 정해진 전압을 전달한다. 유지 전극선(131)은 게이트선(121a)과 실질적으로 수직하게 뻗은 한 쌍의 세로부(135a) 및 한 쌍의 세로부(135a)의 끝을 서로 연결하는 가로부(135b)를 포함한다. 세로부(135a)와 가로부(135b)는 화소 전극(191)을 둘러싸는 구조를 가진다. 1 to 3,
게이트선(121) 및 유지 전극선(131) 위에 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140) 위에는 데이터선(171) 하부에 위치하는 반도체층(151), 소스/드레인 전극의 하부 및 박막 트랜지스터(Q)의 채널 부분에 위치하는 반도체층(154)이 형성되어 있다.A
각 반도체층(151, 154) 위이며, 데이터선(171), 소스/드레인 전극의 사이에는 복수의 저항성 접촉 부재가 형성되어 있을 수 있는데, 도면에서는 생략되어 있다.A plurality of resistive contact members may be formed on the semiconductor layers 151 and 154 and between the
각 반도체층(151, 154) 및 게이트 절연막(140) 위에 소스 전극(173) 및 소스 전극(173)과 연결되는 데이터선(171), 드레인 전극(175)을 포함하는 데이터 도전체(171, 173, 175)가 형성되어 있다.
게이트 전극(124), 소스 전극(173), 및 드레인 전극(175)은 반도체층(154)과 함께 박막 트랜지스터(Q)를 형성하며, 박막 트랜지스터(Q)의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체층 부분(154)에 형성된다. The
데이터 도전체(171, 173, 175) 및 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)에 의해 가리지 않고 노출된 반도체층(154) 부분 위에는 제1 층간 절연막(180a)이 형성되어 있다. 제1 층간 절연막(180a)은 규소 질화물(SiNx)과 규소 산화물(SiOx) 따위의 무기 물질을 포함할 수 있다.A first
제1 층간 절연막(180a) 위에는 제2 층간 절연막(180b) 및 제3 층간 절연막(180c)이 위치할 수 있다. 제2 층간 절연막(180b)은 유기 물질로 형성될 수 있고, 제3 층간 절연막(180c)은 규소 질화물(SiNx)과 규소 산화물(SiOx) 따위의 무기 물질을 포함할 수 있다. 제2 층간 절연막(180b)을 유기 물질로 형성하여 단차를 줄이거나 제거할 수 있다. 본 실시예와 달리 제1 층간 절연막(180a), 제2 층간 절연막(180b) 및 제3 층간 절연막(180c) 중 하나 또는 두개의 막이 생략될 수 있다.A second
제1 층간 절연막(180a), 제2 층간 절연막(180b) 및 제3 층간 절연막(180c)을 관통하여 접촉 구멍(185)이 형성될 수 있다. 접촉 구멍(185)을 통해 드레인 전극(175)과 제3 층간 절연막(180c) 위에 위치하는 화소 전극(191)이 전기적, 물리적으로 연결될 수 있다. 이하에서는 화소 전극(191)에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.The
화소 전극(191)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 만들어질 수 있다.The
화소 전극(191)은 전체적인 모양이 사각형이며 가로 줄기부(191a) 및 이와 교차하는 세로 줄기부(191b)로 이루어진 십자형 줄기부를 포함한다. 또한 가로 줄기부(191a)와 세로 줄기부(191b)에 의해 네 개의 부영역으로 나뉘어지며 각 부영역은 복수의 미세 가지부(191c)를 포함한다. 또한, 본 실시예에서 화소 전극(191)의 좌우 외곽에서 미세 가지부(191c)를 연결하는 외곽 줄기부(191d)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에서 외곽 줄기부(191d)는 화소 전극(191)의 좌우 외곽에 위치하나, 화소 전극(191)의 상부 또는 하부까지 연장되어 위치할 수도 있다.The
화소 전극(191)의 미세 가지부(191c)는 게이트선(121) 또는 가로 줄기부와 대략 40도 내지 45도의 각을 이룬다. 또한, 이웃하는 두 부영역의 미세 가지부는 서로 직교할 수 있다. 또한, 미세 가지부의 폭은 점진적으로 넓어지거나 미세 가지부(191c)간의 간격이 다를 수 있다.The
화소 전극(191)은 세로 줄기부(191b)의 하단에서 연결되고, 세로 줄기부(191b)보다 넓은 면적을 갖는 연장부(197)를 포함하고, 연장부(197)에서 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 물리적, 전기적으로 연결되어 있으며, 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다. The
지금까지 설명한 박막 트랜지스터(Q) 및 화소 전극(191)에 관한 설명은 하나의 예시이고, 측면 시인성을 향상시키기 위해 박막 트랜지스터 구조 및 화소 전극 디자인을 변형할 수 있다.The description of the thin film transistor Q and the
화소 전극(191) 위에 박막 트랜지스터(Q)가 형성되는 영역을 덮도록 차광 부재(220)가 위치한다. 본 실시예에 따른 차광 부재(220)는 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 따라 형성될 수 있다. 차광 부재(220)는 빛을 차단할 수 있는 물질로 형성할 수 있다.The
차광 부재(220) 위에 절연막(181)이 형성될 수 있고, 절연막(181)은 차광 부재(220)를 덮으며, 화소 전극(191) 위로 연장되어 형성될 수 있다.The insulating
화소 전극(191) 위에는 하부 배향막(11)이 형성되어 있고, 하부 배향막(11)은 수직 배향막일 수 있다. 하부 배향막(11)은 폴리 아믹산(Polyamic acid), 폴리 실록산(Polysiloxane) 또는 폴리 이미드(Polyimide) 등의 액정 배향막으로써 일반적으로 사용되는 물질들 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있다. 또한, 하부 배향막(11)은 광배향막일 수도 있다.A
하부 배향막(11)과 대향하는 부분에 상부 배향막(21)이 위치하고, 하부 배향막(11)과 상부 배향막(21) 사이에는 미세 공간(305)이 형성되어 있다. 미세 공간(305)에는 액정 분자(310)를 포함하는 액정 물질이 주입되어 있고, 미세 공간(305)은 액정 주입구(307)를 갖는다. 미세 공간(305)은 화소 전극(191)의 열 방향 다시 말해 세로 방향을 따라 형성될 수 있다. 본 실시예에서 배향막(11, 21)을 형성하는 배향 물질과 액정 분자(310)를 포함하는 액정 물질은 모관력(capillary force)을 이용하여 미세 공간(305)에 주입될 수 있다.The
미세 공간(305)은 게이트선(121)과 중첩하는 부분에 위치하는 복수의 액정 주입구 형성 영역(307FP)에 의해 세로 방향으로 나누어짐으로써 복수개의 미세 공간(305)을 형성하며, 복수의 미세 공간(305)은 화소 전극(191)의 열 방향 다시 말해 세로 방향을 따라 형성될 수 있다. 또한 이후에 설명하는 격벽부(PWP)에 의해 미세 공간(305)은 가로 방향으로 나누어짐으로써 복수개의 미세 공간(305)을 형성하며, 복수의 미세 공간(305)은 화소 전극(191)의 행 방향 다시 말해 게이트선(121)이 뻗어 있는 가로 방향을 따라 형성될 수 있다. 복수개 형성된 미세 공간(305) 각각은 화소 영역 하나 또는 둘 이상에 대응할 수 있고, 화소 영역은 화면을 표시하는 영역에 대응할 수 있다.The
상부 배향막(21) 위에는 공통 전극(270), 하부 절연층(350)이 위치한다. 공통 전극(270)은 공통 전압을 인가 받고, 데이터 전압이 인가된 화소 전극(191)과 함께 전기장을 생성하여 두 전극 사이의 미세 공간(305)에 위치하는 액정 분자(310)가 기울어지는 방향을 결정한다. 공통 전극(270)은 화소 전극(191)과 축전기를 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프(turn-off)된 후에도 인가된 전압을 유지한다. 하부 절연층(350)은 규소 질화물(SiNx) 또는 규소 산화물(SiOX)로 형성될 수 있다.On the
본 실시예에서는 공통 전극(270)이 미세 공간(305) 상단부에 형성되는 것으로 설명하였으나, 다른 실시예로 공통 전극(270)이 미세 공간(305) 하부에 형성되어 수평 전계 모드에 따른 액정 구동도 가능하다.In this embodiment, the
본 실시예에서는 하부 절연층(350) 위에 색필터(230)가 위치한다. 도 3에 도시한 바와 같이 서로 이웃하는 색필터 가운데 한가지 색상의 색필터(230)는 격벽부(PWP)를 형성한다. 격벽부(PWP)는 가로 방향으로 이웃하는 미세 공간(305) 사이에 위치한다. 격벽부(PWP)는 가로 방향으로 이웃하는 미세 공간(305)의 이격 공간을 채우는 부분이다. 도 3에 도시한 바와 같이 격벽부(PWP)는 미세 공간(305)의 이격 공간을 완전히 채우는 구조로 형성되어 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고, 이격 공간의 일부를 채우는 구조로 변형 실시 가능하다. 격벽부(PWP)는 데이터선(171)이 뻗어 있는 방향을 따라 형성될 수 있다.In this embodiment, the
격벽부(PWP) 위에서 서로 이웃하는 색필터(230)는 중첩할 수 있다. 서로 이웃하는 색필터(230)가 만나는 경계면은 격벽부(PWP) 대응하는 부분에 위치할 수 있다.The neighboring
본 실시예에서 색필터(230) 및 격벽부(PWP)는 미세 공간(305)이 그 형상을 유지할 수 있도록 지지하는 루프층 역할을 한다.In this embodiment, the
이하에서는 도 4 및 도 5를 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 색필터(230)에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치에서 색필터 및 격벽부를 나타내는 평면도이다. 도 5는 도 4의 절단선 V-V를 따라 자른 단면도이다. 도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치에서 색필터 및 격벽부를 중심으로 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 도면이고, 기판(110)과 미세 공간(305) 사이의 구성 요소들은 도 1 내지 도 3에서 설명한 내용이 그대로 적용될 수 있다.4 is a plan view showing a color filter and a barrier rib in a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention. 5 is a cross-sectional view taken along line V-V in Fig. 4 and 5 are views schematically illustrating a color filter and a partition wall in a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention. Components between the
도 4 및 도 5를 참고하면, 본 실시예에 따른 색필터(230)는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 제1 색필터는 청색 색필터(B), 제2 색필터는 적색 색필터(R), 제3 색필터는 녹색 색필터(G)를 포함할 수 있다.4 and 5, the
본 실시예에 따르면, 격벽부(PWP)는 제1 색필터, 제2 색필터, 및 제3 색필터 중 어느 한 가지 색필터에 의해 형성된다. 본 발명의 일실시예에서 청색 색필터(B)에 해당하는 제1 색필터가 격벽부(PWP)를 형성한다. 청색 색필터(B)는 화소 영역(PX)에 대응하는 부분에서 연장되어 형성된 격벽부(PWP)와 적색 색필터(R)와 녹색 색필터(G) 사이에 위치하는 격벽부(PW)를 포함할 수 있다. 이 때, 적색 색필터(R)와 녹색 색필터(G)는 동시에 인접한 격벽부(PWP)의 서로 반대되는 가장자리 부분을 덮으며, 격벽부(PWP) 위에서 서로 중첩할 수 있다.According to the present embodiment, the partition wall portion PWP is formed by any one of the first color filter, the second color filter, and the third color filter. In an embodiment of the present invention, the first color filter corresponding to the blue color filter B forms the partition wall PWP. The blue color filter B includes a partition wall portion PWP extending from a portion corresponding to the pixel region PX and a partition wall portion PW located between the red color filter R and the green color filter G can do. At this time, the red color filter R and the green color filter G simultaneously cover the opposite edge portions of the adjacent partition wall portions PWP, and can overlap each other on the partition wall portion PWP.
청색 색필터(B) 대신에 적색 색필터(R) 또는 녹색 색필터(G)로 격벽부(PWP)를 형성하는 것도 가능하다. 하지만, 청색 색필터(B)가 적색 색필터(R) 또는 녹색 색필터(G) 대비하여 광을 차단하는 효과가 크기 때문에 청색 색필터(B)로 격벽부(PWP)를 형성하게 되면 외부광에 의한 빛 반사를 줄일 수 있는 장점이 있다. 뿐만 아니라, 청색 색필터(B)는 광차단 역할 및 색필터의 성분인 포토 레지스트의 유동성이 우수하여 테이퍼각(taper angle)이 양호하다. 따라서, 격벽부(PWP)를 형성하는 색필터의 끝단 모양에 언더컷이 발생하거나 수직인 경우보다 대략 45도 이상의 각도로 누워서 형성되면 격벽부(PWP)의 측벽을 덮으면서 격벽부(PWP) 위에 도포되는 색필터가 잘 형성될 수 있다.It is also possible to form the partition wall portion PWP with a red color filter R or a green color filter G instead of the blue color filter B. [ However, since the blue color filter B has a large effect of blocking light compared to the red color filter R or the green color filter G, when the partition wall PWP is formed by the blue color filter B, It is possible to reduce the reflection of light by the light. In addition, the blue color filter B has a good taper angle because of its excellent light blocking effect and excellent flowability of the photoresist as a component of the color filter. Accordingly, if the undercut is formed at the end of the color filter forming the partition wall portion PWP or is formed at an angle of about 45 degrees or more than when the undercut is formed in the vertical direction, the partition wall portion PWP is covered with the side wall of the partition wall PWP, Color filters can be formed well.
도 4에 도시한 바와 같이, 색필터(230)는 화소 영역(PX)에 대응하도록 섬형으로 형성할 수 있다.As shown in FIG. 4, the
*도 2 및 도 3을 다시 참고하면, 색필터(230) 위에 상부 절연층(370)이 위치한다. 상부 절연층(370)은 규소 질화물(SiNx) 또는 규소 산화물(SiOX)로 형성될 수 있다. 도 2에 도시한 바와 같이 색필터(230)의 측면부를 덮을 수 있다.2 and 3, an upper insulating
상부 절연층(370) 위에 캐핑층(390)이 위치한다. 캐핑층(390)은 액정 주입구 형성 영역(307FP)에도 위치하고, 액정 주입구 형성 영역(307FP)에 의해 노출된 미세 공간(305)의 액정 주입구(307)를 덮는다. 캐핑층(390)은 유기 물질 또는 무기 물질을 포함한다. 여기서, 액정 주입구 형성 영역(307FP)에 액정 물질이 제거된 것으로 도시하였으나, 미세 공간(305)에 주. 입되고 남은 액정 물질이 액정 주입구 형성 영역(307FP)에 잔존할 수도 있다A
본 실시예에서는 도 3에 도시한 바와 같이, 가로 방향으로 이웃하는 미세 공간(305) 사이에 한가지 색상의 색필터(230)에 의해 격벽부(PWP)가 형성되어 있다. 격벽부(PWP)는 격벽(Partition Wall)을 형성함으로써 미세 공간(305)을 구획 또는 정의할 수 있다. 본 실시예에서는 미세 공간(305) 사이에 격벽부(PWP)와 같은 격벽 구조가 있기 때문에 기판(110)이 휘더라도 발생하는 스트레스가 적고, 셀 갭(Cell Gap)이 변경되는 정도가 감소할 수 있다.In this embodiment, as shown in FIG. 3, a partition wall PWP is formed by one
도 6은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
도 6을 참고하면, 도 5에서 설명한 실시예와 대부분 동일하나 각각의 격벽부(PWP)에 인접한 색필터(230)가 연장되어 격벽부(PWP)가 형성된다. 도 6에 도시한 바와 같이, 하나의 격벽부(PWP)에 2개의 색필터(230)가 인접해 있고, 각각의 색필터(B, R, G)는 동일한 방향으로 연장되어 격벽부(PWP)를 형성하고 있다. 서로 이웃하는 색필터(230)는 격벽부(PWP)로부터 벗어난 위치에서 경계면을 가지거나, 일부는 격벽부(PWP) 위에서 중첩하고 나머지는 격벽부(PWP)로부터 벗어난 부분에 위치하는 경계면을 가질 수 있다.Referring to FIG. 6, the
하지만, 이러한 실시예에 한정되지 않고, 청색 색필터(B)와 적색 색필터(R) 사이에 위치하는 격벽부(PWP)는 적색 색필터(R)가 연장되어 형성되거나, 적색 색필터(R)와 녹색 색필터(G) 사이에 위치하는 격벽부(PWP)는 녹색 색필터(G)가 연장되어 형성될 수 있다.However, the present invention is not limited to this embodiment, and the partition wall portion PWP positioned between the blue color filter B and the red color filter R may be formed by extending the red color filter R, And the green color filter G may be formed by extending the green color filter G. [
이상에서 설명한 차이점 외에 도 5에서 설명한 내용은 본 실시예에 모두 적용될 수 있다.In addition to the differences described above, the description of FIG. 5 can be applied to all of the embodiments.
도 7은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
도 7을 참고하면, 도 5에서 설명한 실시예와 대부분 동일하나 서로 이웃하는 색필터(230)는 격벽부(PWP) 위에서 서로 이격되어 있다. 이러한 이격 공간은 색필터(230) 위에 위치하는 상부 절연층(370) 및 캐핑층(390)에 의해 덮여 있다.Referring to FIG. 7, the
이상에서 설명한 차이점 외에 도 5에서 설명한 내용은 본 실시예에 모두 적용될 수 있다.In addition to the differences described above, the description of FIG. 5 can be applied to all of the embodiments.
도 8은 도 5에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
도 8을 참고하면, 도 5에서 설명한 실시예와 대부분 동일하나 서로 이웃하는 색필터(230)는 격벽부(PWP) 위에서 서로 이격되어 있다. 이러한 이격 공간은 색필터(230) 위에 위치하는 유기막(360)으로 채워질 수 있다. 유기막(360)은 평탄화막일 수 있고, 이웃하는 색필터(230) 사이의 단차를 감소하여 유기막(360) 위에 형성되는 상부 절연층(370)이 캐핑 불량을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 8, the
이상에서 설명한 차이점 외에 도 5에서 설명한 내용은 본 실시예에 모두 적용될 수 있다.In addition to the differences described above, the description of FIG. 5 can be applied to all of the embodiments.
도 9는 도 3에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
도 9를 참고하면, 도 3에서 설명한 실시예와 대부분 동일하나 데이터선(171)이 뻗어 있는 방향을 따라 차광 부재(220)가 형성되어 있다. 차광 부재(220)는 제3 층간 절연막(180c) 또는 화소 전극(191) 위에 위치한다. 여기서 설명하는 차광 부재(220)는 게이트선(121) 방향을 따라 뻗어 있는 차광 부재(220)와 더불어 격자 모양으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 9, a
도 10은 도 4에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 평면도이다.10 is a plan view showing an embodiment modified from the embodiment shown in Fig.
도 10에서 설명하는 실시예는 도 4에서 설명한 실시예와 대체로 동일하다. 다만, 도 4에서 설명한 실시예에서는 상하로 이웃하는 색필터가 화소 영역(PX)하도록 섬형으로 형성되어 분리될 수 있었으나, 도 10의 실시예는 상하로 이웃하는 색필터가 연결부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 청색 색필터(B)는 상하로 분리되지 않고 제1 연결부(B-1)에 의해 세로 방향으로 연결될 수 있다. 적색 색필터(R) 및 녹색 색필터(G)도 각각 제2 연결부(R-1) 및 제3 연결부(G-1)에 의해 세로 방향으로 연결될 수 있다.The embodiment described in Fig. 10 is substantially the same as the embodiment described in Fig. However, in the embodiment described with reference to FIG. 4, the upper and lower neighboring color filters may be formed in a island shape so as to be separated into the pixel region PX, but the embodiment of FIG. 10 may include a connecting portion in the upper and lower neighboring color filters . For example, the blue filter B may be connected vertically by the first connection part B-1 without being separated vertically. The red color filter R and the green color filter G may be connected in the longitudinal direction by the second connection part R-1 and the third connection part G-1, respectively.
제1 연결부(B-1), 제2 연결부(R-1) 및 제3 연결부(G-1)의 크기가 커지면 액정 주입구 형성 영역(307FP)의 면적이 줄어들 수 있다. 따라서, 액정 주입구(307)를 통해 미세 공간(305)으로 배향 물질 및 액정 물질이 주입되는 것을 방해받지 않을 만큼 연결부(B-1, R-1, G-1)의 크기 및 위치는 조절될 수 있다.The area of the liquid crystal injection hole forming region 307FP can be reduced if the sizes of the first connection portion B-1, the second connection portion R-1, and the third connection portion G-1 are increased. Accordingly, the size and position of the connection portions B-1, R-1, and G-1 can be adjusted so as not to be disturbed by the injection of the alignment material and the liquid crystal material into the
도 11은 도 10에서 설명한 실시예를 변형한 실시예를 나타내는 평면도이다.11 is a plan view showing an embodiment modified from the embodiment described in Fig.
도 11에서 설명하는 실시예는 도 10에서 설명한 실시예와 대체로 동일하다. 다만, 도 10에서 설명한 실시예에서는 상하로 이웃하는 색필터의 연결부가 화소 영역(PX)의 단변을 기준으로 가운데 부분에 위치하고 있으나, 도 11의 실시예는 상하로 이웃하는 색필터의 연결부가 화소 영역(PX)의 단변을 기준으로 좌우 가장자리에서 위치할 수 있다.The embodiment described in Fig. 11 is substantially the same as the embodiment described in Fig. In the embodiment shown in FIG. 10, the connecting portions of the color filters adjacent to the upper and lower colors are located at the middle portion with respect to the short side of the pixel region PX. However, in the embodiment of FIG. 11, And may be positioned at the left and right edges with respect to the short side of the region PX.
이하에서는 도 12 내지 도 30을 참고하여 앞에서 설명한 액정 표시 장치를 제조하는 방법에 대한 일실시예를 설명하기로 한다. 하기에 설명하는 실시예는 제조 방법의 일실시예로 다른 형태로 변형 실시 가능하다.Hereinafter, one embodiment of a method of manufacturing the above-described liquid crystal display device will be described with reference to FIGS. 12 to 30. FIG. The embodiment described below is an embodiment of the manufacturing method and can be modified in other forms.
도 12 내지 도 30은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 평면도 및 단면도들이다. 도 12, 14, 16, 24, 26, 27, 28은 도 1의 절단선 II-II을 따라 자른 단면도를 순서대로 나타낸 것이다. 도 13, 15, 17, 25, 28, 30은 도 1의 절단선 III-III을 따라 자른 단면도이다. 도 18, 도 20, 도 22는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에서 색필터 및 격벽부를 나타내는 평면도들이다. 도 19, 21, 23은 각각 도 18의 절단선 XVI-XVI을 따라 자른 단면도, 도 20의 절단선 XVIII-XVIII을 따라 자른 단면도 및 도 22의 절단선 XX-XX을 따라 자른 단면도이다.12 to 30 are a plan view and a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. Figures 12, 14, 16, 24, 26, 27 and 28 are cross-sectional views taken along the cutting line II-II in Figure 1 in order. Figs. 13, 15, 17, 25, 28 and 30 are cross-sectional views taken along the cutting line III-III in Fig. FIGS. 18, 20, and 22 are plan views illustrating a color filter and a partition wall portion in a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 19, 21 and 23 are respectively a sectional view cut along the cutting line XVI-XVI in FIG. 18, a sectional view cut along the cutting line XVIII-XVIII in FIG. 20, and a cutting line XX-XX in FIG.
도 1, 도 12 및 도 13을 참고하면, 기판(110) 위에 일반적으로 알려진 스위칭 소자를 형성하기 위해 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(121), 게이트선(121) 위에 게이트 절연막(140)을 형성하고, 게이트 절연막(140) 위에 반도체층(151, 154)을 형성하고, 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)을 형성한다. 이 때 소스 전극(173)과 연결된 데이터선(171)은 게이트선(121)과 교차하면서 세로 방향으로 뻗도록 형성할 수 있다.1, 12 and 13, a
소스 전극(173), 드레인 전극(175) 및 데이터선(171)을 포함하는 데이터 도전체(171, 173, 175) 및 노출된 반도체층(154) 부분 위에는 제1 층간 절연막(180a)을 형성한다.A first
제1 층간 절연막(180a) 위에 제2 층간 절연막(180b) 및 제3 층간 절연막(180c)을 형성하고, 이들을 관통하는 접촉 구멍(185)을 형성한다. 이후, 제3 층간 절연막(180c) 위에 화소 전극(191)을 형성하고, 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통해 드레인 전극(175)과 전기적, 물리적으로 연결될 수 있다.A second
화소 전극(191) 또는 제3 층간 절연막(180c) 위에 차광 부재(220)를 형성한다. 차광 부재(220)는 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 따라 형성할 수 있다. 차광 부재(220)는 빛을 차단할 수 있는 물질로 형성할 수 있다. 차광 부재(220) 위에 절연막(181)을 형성하고, 이 절연막(181)은 차광 부재(220)를 덮으면서 화소 전극(191) 위로 연장되어 형성할 수 있다.The
이후, 화소 전극(191) 위에 희생층(300)을 형성한다. 이 때, 희생층(300)에는 데이터선(171)과 평행한 방향을 따라 오픈부(OPN)를 형성한다. 오픈부(OPN)에는 이후 공정에서 색필터(230)가 채워져 격벽부(PWP)를 형성할 수 있다. 희생층(300)은 포토 레지스트 또는 이를 제외한 유기 물질로 형성할 수 있다.Thereafter, a
도 1, 도 14 및 도 15를 참고하면, 희생층(300) 위에 공통 전극(270) 및 하부 절연층(350)을 차례로 형성한다. 도 15에 도시한 바와 같이 공통 전극(270)과 하부 절연층(350)은 오픈부(OPN)를 덮을 수 있다.Referring to FIGS. 1, 14, and 15, a
도 1, 도 16 및 도 17을 참고하면, 하부 절연층(350) 위에 색필터(230)를 형성한다. 색필터(230)는 패터닝 공정 또는 노광/현상 공정에 의해 세로 방향으로 이웃하는 화소 영역 사이에 위치하는 차광 부재(220)와 대응하는 영역에서 제거될 수 있다. 도 16에 도시한 바와 같이, 색필터(230)는 차광 부재(220)와 대응하는 영역에서 하부 절연층(350)을 외부로 노출시킨다. 이 때, 도 17에 도시한 바와 같이 색필터(230)는 세로 차광 부재(220b)의 오픈부(OPN)를 채우면서 격벽부(PWP)를 형성한다. 본 실시예에서 오픈부(OPN)를 채우는 색필터는 한가지 색상의 색필터(230)이다. 격벽부(PWP)를 형성하는 색필터(230)와 이웃하는 색필터(230)는 격벽부(PWP) 위에서 서로 중첩할 수 있다. 다만, 변형된 실시예로 서로 이웃하는 색필터(230)가 격벽부(PWP) 위에서 이격되도록 형성할 수도 있다.Referring to FIGS. 1, 16 and 17, a
이하에서는 도 18 내지 도 23을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 색필터(230)를 제조하는 과정에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a process of fabricating the
도 18 및 도 19를 참고하면, 희생층(300) 위에 청색 색필터(B)를 형성한다. 이 때, 가로 방향으로 이격된 희생층(300) 사이의 이격 공간을 채우도록 청색 색필터(B)를 형성한다. 청색 색필터(B)는 화소 영역(PX)에 대응하는 일부에 형성되고, 화소 영역(PX)에 대응하여 형성된 청색 색필터(B)가 연장되어 격벽부(PWP)를 형성한다. 또한, 청색 색필터(B)가 형성되지 않은 두 화소 영역(PX) 사이에 격벽부(PWP)만 분리하여 형성한다. 청색 색필터(B)가 연장되어 형성된 격벽부(PWP)와 분리된 격벽부(PWP)는 하나의 마스크를 사용하여 형성하는 것이 바람직하다. 다만, 도 6에서 설명한 구조를 형성하기 위해서는 화소 영역(PX)에 대응하는 부분과 이로부터 연장된 격벽부(PWP)를 형성하도록 청색 색필터(B)를 형성할 수 있으나, 청색 색필터(B)가 형성되지 않은 두 화소 영역(PX) 사이의 이격 공간에는 격벽부를 형성하지 않을 수 있다. 색필터(230)에 의해 채워지지 않은 희생층(300) 사이의 이격 공간은 후속의 적색 색필터(R) 또는 녹색 색필터(G)를 형성하는 과정에서 격벽부로 채워질 수 있다.Referring to FIGS. 18 and 19, a blue color filter B is formed on the
도 20 및 도 21을 참고하면, 희생층(300) 위에 적색 색필터(R)를 형성한다. 적색 색필터(R)는 격벽부(PWP)와 중첩하도록 형성하며, 청색 색필터(B)와 격벽부(PWP) 위에서 중첩할 수 있다.Referring to FIGS. 20 and 21, a red color filter R is formed on the
도 22 및 도 23을 참고하면, 희생층(300) 위에 녹색 색필터(G)를 형성한다. 녹색 색필터(G)는 격벽부(PWP)와 중첩하도록 형성하며, 청색 색필터(B) 및 적색 색필터(R)와 각각 격벽부(PWP) 위에서 중첩할 수 있다.Referring to FIGS. 22 and 23, a green filter G is formed on the
앞에서 설명한 적색 색필터(R) 및 녹색 색필터(G)의 형성 위치 및 순서는 변경 가능하다. 또한, 도 23에서 도시한 바와 달리 청색 색필터(B), 적색 색필터(R) 및 녹색 색필터(G)의 두께가 서로 다를 수 있다. 청색 색필터(B), 적색 색필터(R) 및 녹색 색필터(G)의 두께를 서로 다르게 하는 이유는 각각의 색필터에서 색좌표의 조정을 위한 것일 수 있다. 또는 청색 색필터(B), 적색 색필터(R) 및 녹색 색필터(G)의 높이가 서로 다를 수 있다. 이 때, 각각의 색필터의 높이를 서로 다르게 하기 위해 각각의 색필터(R, G, B)에 대응하는 희생층(300)의 두께를 다르게 할 수 있다. 이후, 희생층(300)이 제거되면 서로 다른 높이의 미세 공간(305)을 가질 수 있고, 그 위에 위치하는 각각의 색필터의 높이도 서로 다를 수 있다.The formation positions and order of the red color filter (R) and the green color filter (G) described above can be changed. 23, the thicknesses of the blue color filter B, the red color filter R and the green color filter G may be different from each other. The reason why the thicknesses of the blue color filter (B), the red color filter (R), and the green color filter (G) are different from each other may be for adjusting the color coordinates in each color filter. Or the height of the blue color filter (B), the red color filter (R) and the green color filter (G) may be different from each other. At this time, the thicknesses of the
다음으로, 도 1, 도 24 및 도 25를 참고하면, 색필터(230)와 노출된 하부 절연층(350) 위를 덮도록 상부 절연층(370)을 형성한다. to the next, Referring to FIGS. 1, 24, and 25, an upper insulating
도 26을 참고하면, 상부 절연층(370), 하부 절연층(350) 및 공통 전극(270)을 식각하여 상부 절연층(370), 하부 절연층(350) 및 공통 전극(270)이 부분적으로 제거됨으로써 액정 주입구 형성 영역(307FP)을 형성한다. 이 때, 상부 절연층(370)이 색필터(230)의 측면을 덮는 구조를 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않고 색필터(230)의 측면을 덮고 있던 상부 절연층(370)이 제거되어 색필터(230)의 측면이 외부로 노출되도록 할 수도 있다.26, the upper insulating
도 27 및 도 28을 참고하면, 액정 주입구 형성 영역(307FP)을 통해 희생층(300)을 산소(O2) 애싱(Ashing) 처리 또는 습식 식각법 등으로 제거한다. 이 때, 액정 주입구(307)를 갖는 미세 공간(305)이 형성된다. 미세 공간(305)은 희생층(300)이 제거되어 빈 공간 상태이다.27 and 28, the
도 29 및 도 30을 참고하면, 액정 주입구(307)를 통해 배향 물질을 주입하여 화소 전극(191) 및 공통 전극(270) 위에 배향막(11, 21)을 형성한다. 구체적으로, 액정 주입구(307)를 통해 고형분과 용매를 포함하는 배향 물질을 주입한 후에 베이크 공정을 수행한다. Referring to FIGS. 29 and 30,
그 다음, 액정 주입구(307)를 통해 미세 공간(305)에 잉크젯 방법 등을 사용하여 액정 분자(310)를 포함하는 액정 물질을 주입한다.Next, a liquid crystal material including the
이후, 상부 절연층(370) 위에 액정 주입구(307) 및 액정 주입구 형성 영역(307FP)을 덮도록 캐핑층(390)을 형성하면 도 2와 같은 액정 표시 장치를 형성할 수 있다.Thereafter, the
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.
230
색필터
300
희생층
305
미세 공간(microcavity)
307
액정 주입구
350
하부 절연층
370
상부 절연층
390
캐핑층
230
305
350 lower insulating
390 capping layer
Claims (20)
상기 기판 위에 위치하는 박막 트랜지스터,
상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극,
상기 화소 전극과 마주보며 위치하는 복수의 색필터,
상기 화소 전극과 상기 복수의 색필터 사이에서 복수의 미세 공간(Microcavity)에 위치하는 액정층,
상기 액정층과 상기 색필터 사이에 위치하는 공통 전극,
상기 공통 전극과 상기 색필터 사이에 위치하는 하부 절연층 그리고
상기 복수의 미세 공간 중 서로 이웃하는 미세 공간들 사이에 위치하는 복수의 격벽부를 포함하고,
상기 복수의 격벽부 중 적어도 하나의 격벽부는 상기 복수의 색필터 중에서 한가지 색상의 색필터를 갖고,
상기 격벽부는 상기 기판에 평행한 방향을 기준으로 상기 액정층과 중첩하고,
상기 격벽부는 상기 액정층 위에 위치하는 상기 색필터가 연장되어 형성되는 액정 표시 장치.Board,
A thin film transistor disposed on the substrate,
A pixel electrode connected to the thin film transistor,
A plurality of color filters disposed opposite to the pixel electrodes,
A plurality of color filters arranged between the pixel electrodes and the plurality of color filters; A liquid crystal layer located in a microcavity,
A common electrode positioned between the liquid crystal layer and the color filter,
A lower insulating layer positioned between the common electrode and the color filter, and
And a plurality of partition walls positioned between adjacent ones of the plurality of fine spaces,
At least one of the plurality of barrier ribs has a color filter of one color among the plurality of color filters,
Wherein the barrier rib overlaps the liquid crystal layer with respect to a direction parallel to the substrate,
And the partition wall portion is formed by extending the color filter located on the liquid crystal layer.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터 사이에 위치하는 3개의 격벽부는 각각 서로 상이한 색상을 갖는 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터로 형성되는 액정 표시 장치.The method of claim 1,
Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, and wherein the color filter includes three color filters, a first color filter, a second color filter and a third color filter, Wherein the first, second, and third color filters are formed of the first color filter, the second color filter, and the third color filter, respectively.
상기 격벽부는 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 데이터선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성되는 액정 표시 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the barrier ribs are formed along a direction in which data lines connected to the thin film transistors extend.
상기 격벽부 위에 서로 이웃하는 색필터가 만나는 경계면이 위치하는 액정 표시 장치.4. The method of claim 3,
And an interface where the neighboring color filters meet is located on the partition wall.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터 사이에 위치하는 3개의 격벽부는 모두 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 하나의 색필터로 형성되는 액정 표시 장치.The method of claim 1,
Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, and wherein the color filter includes three color filters, a first color filter, a second color filter and a third color filter, Wherein the first and second color filters are formed of one of the first color filter, the second color filter, and the third color filter.
상기 격벽부 위에 서로 이웃하는 색필터의 이격 공간이 형성되고, 상기 이격 공간을 덮는 상부 절연층을 더 포함하고,
상기 상부 절연층은 무기막을 포함하는 액정 표시 장치.The method of claim 1,
Further comprising an upper insulating layer formed on the barrier ribs and spaced apart from the adjacent color filters, the upper insulating layer covering the spacing spaces,
Wherein the upper insulating layer comprises an inorganic film.
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 각각 청색 색필터, 적색 색필터 및 녹색 색필터인 액정 표시 장치.The method of claim 1,
Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, wherein the first color filter, the second color filter, and the third color filter respectively have a blue color filter, a red color filter, Color filter.
상기 청색 색필터는 상기 격벽부를 형성하는 액정 표시 장치.8. The method of claim 7,
And the blue color filter forms the partition wall portion.
상기 색필터 위에 위치하는 유기막 그리고
상기 유기막 위에 위치하며 무기 물질을 포함하는 상부 절연층을 더 포함하고,
상기 색필터는 제1 색필터, 제2 색필터 및 제3 색필터를 포함하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 서로 이격하여 위치하며, 상기 색필터의 이격 공간은 상기 유기막으로 채워지는 액정 표시 장치.The method of claim 1,
An organic film disposed on the color filter, and
And an upper insulating layer disposed on the organic layer and including an inorganic material,
Wherein the color filter includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter, wherein the first color filter, the second color filter, and the third color filter are located apart from each other, And the spacing space is filled with the organic film.
상기 격벽부는 서로 이웃하는 미세 공간 사이의 이격 공간을 상기 한가지 색상의 색필터가 채우는 부분인 액정 표시 장치.The method of claim 9,
Wherein the partition wall portion is a portion filled with the color filter of one color so that a spacing space between neighboring fine spaces is filled.
상기 제1 색필터는 상기 격벽부를 형성하고, 상기 제1 색필터는 청색 색필터인 액정 표시 장치.11. The method of claim 10,
Wherein the first color filter forms the partition wall portion, and the first color filter is a blue color filter.
상기 상부 절연층 위에 위치하는 캐핑층을 더 포함하는 액정 표시 장치.12. The method of claim 11,
And a capping layer disposed on the upper insulating layer.
상기 박막 트랜지스터에 연결되도록 화소 전극을 형성하는 단계,
상기 화소 전극 위에 오픈부가 형성된 희생층을 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 제1 색필터를 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 제2 색필터를 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 제3 색필터를 형성하는 단계,
상기 희생층 위에 공통 전극을 형성하는 단계,
상기 공통 전극 위에 하부 절연층을 형성하는 단계,
상기 희생층을 제거하여 복수의 미세 공간(Microcavity)을 형성하는 단계,
상기 복수의 미세 공간에 액정 물질을 주입하여 액정층을 형성하는 단계 그리고
상기 복수의 미세 공간의 액정 주입구를 덮도록 캐핑층을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 하나의 색필터가 상기 오픈부를 채우고,
상기 오픈부를 채우는 색필터는 격벽부를 형성하며, 상기 격벽부는 상기 기판에 평행한 방향을 기준으로 상기 액정층과 중첩하고,
상기 격벽부는 상기 액정층 위에 위치하는 상기 색필터가 연장되어 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.Forming a thin film transistor on the substrate,
Forming a pixel electrode to be connected to the thin film transistor,
Forming a sacrificial layer having an open portion on the pixel electrode,
Forming a first color filter on the sacrificial layer,
Forming a second color filter on the sacrificial layer,
Forming a third color filter on the sacrificial layer,
Forming a common electrode on the sacrificial layer,
Forming a lower insulating layer on the common electrode,
Removing the sacrificial layer to form a plurality of microcavities,
Injecting a liquid crystal material into the plurality of micro-spaces to form a liquid crystal layer, and
And forming a capping layer to cover the liquid crystal injection ports of the plurality of micro spaces,
Wherein one of the first color filter, the second color filter and the third color filter fills the open portion,
The color filter for filling the open portion forms a partition wall portion, the partition wall portion overlaps the liquid crystal layer with respect to a direction parallel to the substrate,
And the partition wall portion is formed by extending the color filter disposed on the liquid crystal layer.
상기 격벽부는 상기 복수의 미세 공간을 구획하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 13,
And the partition wall partitions the plurality of micro-spaces.
상기 격벽부는 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 데이터선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 14,
Wherein the barrier ribs are formed along a direction in which data lines connected to the thin film transistors extend.
상기 격벽부 위에 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 중 서로 이웃하는 색필터의 이격 공간을 형성하고, 상기 이격 공간을 덮는 상부 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 상부 절연층은 무기막을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 13,
Forming a spacing space of color filters adjacent to each other among the first color filter, the second color filter, and the third color filter on the partition wall portion, and forming an upper insulating layer covering the spacing space; ,
Wherein the upper insulating layer comprises an inorganic film.
상기 이격 공간은 상기 격벽부와 중첩하도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.17. The method of claim 16,
And the spacing space is formed to overlap with the partition wall portion.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터 위에 유기막을 형성하는 단계,
상기 유기막 위에 무기 물질을 포함하는 상부 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 13,
Forming an organic film on the first color filter, the second color filter, and the third color filter;
And forming an upper insulating layer including an inorganic material on the organic layer.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터는 상기 격벽부 위에서 서로 이격하도록 형성하고, 상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터의 이격 공간은 상기 유기막으로 채우는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 18,
Wherein the first color filter, the second color filter, and the third color filter are spaced apart from each other on the partition wall, and the spacing spaces of the first color filter, the second color filter, A method of manufacturing a liquid crystal display device filled with an organic film.
상기 제1 색필터, 상기 제2 색필터, 및 상기 제3 색필터 위에 상부 절연층을 형성하는 단계 그리고
상기 상부 절연층을 패터닝하여 액정 주입구 형성 영역을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 액정 주입구 형성 영역은 상기 박막 트랜지스터에 연결된 게이트선이 뻗어 있는 방향을 따라 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 13,
Forming an upper insulating layer on the first color filter, the second color filter, and the third color filter, and
Forming a liquid crystal injection hole forming region by patterning the upper insulating layer,
Wherein the liquid crystal injection hole forming region is formed along a direction in which a gate line connected to the thin film transistor extends.
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