KR20160054292A - Liquid flow rate control system - Google Patents

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KR20160054292A
KR20160054292A KR1020140153706A KR20140153706A KR20160054292A KR 20160054292 A KR20160054292 A KR 20160054292A KR 1020140153706 A KR1020140153706 A KR 1020140153706A KR 20140153706 A KR20140153706 A KR 20140153706A KR 20160054292 A KR20160054292 A KR 20160054292A
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    • G—PHYSICS
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Abstract

Disclosed is a flow control system and, more particularly, to a flow control system with a high degree of precision while being made at a low production cost. According to an embodiment of the present invention, the flow control system comprises: a flow adjusting unit, which adjusts the opening of a diaphragm to control the flow, formed with the diaphragm in an opened state; an on/off valve arranged at the bottom of the flow adjusting unit; a flowmeter for measuring the flow introduced to the flow adjusting unit; and a control unit, for controlling the opening and closing of the on/off valve and the degree of the opening of the diaphragm in the flow adjusting unit by comparing the actual flow measured by the flowmeter to an objective flow.

Description

유량제어시스템{LIQUID FLOW RATE CONTROL SYSTEM}[0001] LIQUID FLOW RATE CONTROL SYSTEM [0002]

본 개시(Disclosure)는, 유량제어시스템에 관한 것으로서, 특히 저렴한 제조원가를 가지면서도 고 정밀도의 유량제어가 가능한 유량제어시스템에 관한 것이다.The present disclosure relates to a flow control system, and more particularly, to a flow control system capable of flow control with high precision while having a low manufacturing cost.

여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).Herein, the background art relating to the present disclosure is provided, and these are not necessarily meant to be known arts.

유량제어시스템은 목적유량의 전달(또는 공급) 및 유량의 변경을 위해 마련되는 시스템으로서, 일반적으로 유량계, 유량제어밸브 및 이들의 동작을 제어하는 제어수단을 포함한다.A flow control system is a system provided for the delivery (or supply) of a desired flow rate and a change in flow rate, and generally includes a flow meter, a flow control valve and control means for controlling the operation thereof.

유량제어시스템의 동작은, 제어수단이 유량계에 의해 감지된 유량과 목적유량을 비교하여 유량제어밸브의 개도를 제어하는 방법으로 이루어진다.The operation of the flow control system is performed by a method in which the control means controls the opening of the flow control valve by comparing the flow rate sensed by the flow meter with the target flow rate.

유량제어시스템은, 자동차, 반도체, 플랜트, 화학, 바이오 분야 등 산업 전반에 걸쳐 사용되고 있는데, 산업의 고도화에 따라 요구되는 유량 제어의 정밀도가 계속 높아지고 있다.Flow control systems are widely used in industries such as automobiles, semiconductors, plants, chemicals, and biotechnology, and the precision of flow control required by the industry is steadily increasing.

이러한 이유로, 유량제어시스템을 구성하는 유량계, 유량제어밸브 및 제어수단 각각에 대해 여러 연구가 꾸준히 이어져 오고 있으나, 정밀도가 증가할수록 시스템 가격의 증가로 이어져 산업 전반에 큰 부담으로 작용하고 있다.For this reason, various researches have been continuously carried out on each of the flowmeter, the flow control valve, and the control means constituting the flow control system. However, as the precision increases, the system price increases, which causes a heavy burden on the whole industry.

특히, 유량제어시스템의 구성 중 유량제어밸브는, 스텝모터(Step motor)를 이용한 전동밸브가 사용되는데, 이는 정밀도가 매우 좋은 이점을 가지나, 매우 고가 이어서 시스템 가격 상승의 가장 큰 원인이 되고 있다. Particularly, as a flow control valve in the flow control system, an electric valve using a step motor is used, which has a very good precision, but is very expensive and is the biggest cause of system price increase.

더하여, 스텝모터를 이용한 전동밸브는 별도의 유량 보정 기능이 없으므로 입력단 압력의 변동이 생기면 출력단 유량의 헌팅을 야기하는 문제가 있다.In addition, since the motorized valve using the step motor does not have a separate flow rate correction function, there is a problem that hysteresis of the output flow rate occurs when the input end pressure fluctuates.

이러한 유량의 헌팅은, 유량 모니터링 장비의 의도하지 않은 알람을 유도하거나, 공정을 정지시키는 등의 손해를 일으킬 수 있다.Such flow hunting can cause damage, such as inducing an unintended alarm of the flow monitoring equipment, or stopping the process.

따라서, 유량 헌팅을 방지하기 위한 기술의 개발이 요구된다.Therefore, development of a technique for preventing flow hunting is required.

한편, 유량제어시스템에는, ON/OFF 밸브가 사용되는 예가 있다.On the other hand, the flow control system has an example in which an ON / OFF valve is used.

그러나, ON/OFF 밸브에 의한 제어의 경우 유동제어 초기에 닫혀진 상태에서 목적유량만큼 밸브를 열어 제어하는 시간이 다소 길게 소요된다. However, in the case of control by the ON / OFF valve, it takes a longer time to control the valve by opening the valve according to the target flow rate in the closed state at the beginning of the flow control.

따라서 초기 유동제어에 있어서, 목적유량보다 적은 유량이 토출 되고 일정 시간 후에나 목적유량값에 도달하여 공정에 영향을 미치는 문제가 있다.Therefore, in the initial flow control, there is a problem that a flow amount smaller than the target flow amount is discharged and reaches the target flow amount after a certain time, thereby affecting the process.

한편, 다양한 산업분야에서, 목적유량이 시간에 따라 변동되는 경우의 유량제어를 위한 유량제어시스템의 요구가 있으며, 그러한 유량제어시스템의 정밀한 유량 제어에 대한 요구가 점차 증가 되고 있다. On the other hand, in various industrial fields, there is a demand for a flow control system for flow control when the target flow rate varies with time, and the demand for precise flow control of such flow control system is increasing.

본 개시는 입력단 압력의 변동에 의한 출력단 유량의 헌팅을 방지할 수 있는 유량제어시스템의 제공을 일 목적으로 한다.It is an object of the present disclosure to provide a flow control system capable of preventing hunting of output flow rate due to fluctuation of input pressure.

본 개시는 유량제어 초기의 실제 유량과 목적유량의 차이를 최소화할 수 있는 유량제어시스템의 제공을 일 목적으로 한다. The present disclosure aims at providing a flow control system capable of minimizing a difference between an actual flow rate and a target flow rate at the beginning of flow control.

본 개시는 시간에 따라 변동되는 목적유량과 실제 유량의 차이를 최소화할 수 있는 유량제어시스템의 제공을 일 목적으로 한다. It is an object of the present disclosure to provide a flow control system capable of minimizing a difference between a target flow rate and an actual flow rate that varies with time.

여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).SUMMARY OF THE INVENTION Herein, a general summary of the present disclosure is provided, which should not be construed as limiting the scope of the present disclosure. of its features).

본 개시의 일 태양에 따르면(According to one aspect of the present disclosure), 다이아프레임의 개방 정도를 조절하여 유량을 조절하는 유량조절부;로서, 초기 상기 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방된 상태로 구비되는 유량조절부; 상기 유량조절부의 하류에 배치되는 ON/OFF 밸브; 상기 유량조절부로 유입되는 유량을 계측하는 유량계; 및 상기 유량계에 의해 계측된 실제 유량과, 목적유량을 비교하여 상기 유량조절부의 다이아프레임의 개방 정도 및 상기 ON/OFF 밸브의 개폐를 제어하는 제어수단;으로서, 상기 ON/OFF 밸브가 OFF 상태에서 제어를 시작하는 제어수단;을 포함하는 유량제어시스템이 제공된다.According to one aspect of the present disclosure, there is provided a flow rate regulator for regulating the flow rate by regulating the degree of opening of the diaphragm, wherein the initial diaphragm is pre- A flow rate regulator; An ON / OFF valve disposed downstream of the flow rate regulator; A flow meter for measuring a flow rate flowing into the flow rate regulator; And control means for controlling the opening degree of the diaphragm of the flow rate control unit and opening / closing of the ON / OFF valve by comparing the actual flow rate measured by the flow meter with a target flow rate, wherein the ON / And control means for starting the control.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 유량조절부는, 상기 제어수단에 의해 상기 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방되는 것으로 구비될 수 있다.In the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the flow rate regulator may be provided such that the diaphragm is pre-opened by a predetermined amount by the control means.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 다이아프레임의 사전 개방 정도는, 상기 제어수단에 의해 상기 목적유량에 기초하여 조절되는 것으로 구비될 수 있다.In the flow rate control system according to one aspect of the present disclosure, the degree of preliminary opening of the diaphragm may be provided by the control means being adjusted based on the target flow rate.

이에 의하면, ON/OFF 밸브에 의해 유량 헌팅이 방지됨은 물론, 유량제어의 시작 전에 다이아프레임이 사전 개방된 상태로 구비되거나, 제어수단에 의해 사전 개방되므로, 유량제어 초기의 실제 출력유량과 목적유량의 차이를 최소화할 수 있게 된다.According to this, since the flow hunting is prevented by the ON / OFF valve, the diaphragm is pre-opened before the start of the flow control, or is pre-opened by the control means, Can be minimized.

한편, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 유량조절부는, 상기 다이아프레임이 공급되는 유체의 압력에 의해 개방 정도가 조절되는 정압 레귤레이터; 및 상기 정압 레귤레이터에 공급되는 유체의 압력을 조절하는 전공 레귤레이터;를 포함하는 것으로 구비될 수 있다.In the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the flow rate regulator may include: a constant-pressure regulator whose opening degree is controlled by a pressure of fluid supplied to the diaphragm; And an electropneumatic regulator for regulating the pressure of the fluid supplied to the constant-pressure regulator.

또한, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 목적유량에 기초한 양의 전류를 상기 전공 레귤레이터에 사전 인가하여 상기 다이아프레임을 사전 개방시키는 것으로 구비될 수 있다.Furthermore, in the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the control means may be provided by pre-applying a positive current based on the target flow rate to the electropneumatic regulator to pre-open the diaphragm.

또한, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 전공 레귤레이터에 사전 인가되는 전류의 양은, 상기 목적유량을 위해 인가되어야 하는 전류 크기의 80~90%에 해당하는 전류인 것으로 구비될 수 있다.Further, in the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the amount of the electric current pre-applied to the electropneumatic regulator may be a current corresponding to 80 to 90% of the current magnitude to be applied for the target flow rate have.

또한, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 외부로부터 상기 목적유량정보를 입력받아 상기 제어수단에 인가하는 상위제어부;를 더 포함하는 것으로 구비될 수 있다.Further, in the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the flow rate control system may further include an upper control unit that receives the target flow rate information from the outside and applies the flow rate information to the control unit.

한편, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 목적유량정보는, 제1 설정유량(Q1), 상기 제1 설정유량과 다른 제2 설정유량(Q2) 및 상기 제1 설정유량(Q1)에서 상기 제2 설정유량(Q2)으로 변화되는데 소요되는 시간간격(T)이며, 상기 제어수단은, 상기 제1 설정유량(Q1), 상기 제2 설정유량(Q2) 및 상기 시간간격(T)을 기초로 연산 된 설정된 시간간격(Ta)에 따라 변화되는 제어유량(Qa)과, 상기 유량계에 의해 계측된 유량을 비교하여 상기 유량조절부를 제어하는 것으로 구비될 수 있다.On the other hand, in the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the target flow rate information includes a first set flow rate Q1, a second set flow rate Q2 different from the first set flow rate, Q2) and the time interval (T) required to change from the first set flow rate (Q1) to the second set flow rate (Q2) And controlling the flow rate regulator by comparing the flow rate measured by the flow meter with the control flow rate Qa that varies according to the set time interval Ta computed based on the measured time interval Ta.

이에 의하면, 시간에 따라 변동되는 목적유량과 실제 유량의 차이가 최소화되도록 제어할 수 있게 된다.This makes it possible to control the difference between the target flow rate and the actual flow rate that varies with time to be minimized.

여기서, 상기 제어유량(Qa)은, 상기 제1 설정유량(Q1)을 초기값으로 하여 설정된 시간간격(Ta)마다 설정된 변동유량(Qs)만큼 변동되어 상기 시간간격(T)의 경과 후 상기 제2 설정유량(Q2)이 되도록 정해지는 것으로 구비될 수 있다.Here, the control flow rate Qa is varied by the variable flow rate Qs set for each set time interval Ta with the first set flow rate Q1 as an initial value, and after the elapse of the time interval T, 2 set flow rate Q2.

또한, 상기 설정된 변동유량(Qs)은, 유량변동량(Qc=Q2-Q1)과 제어유량 변경 회수(Tc=T/Ta; Ta는 제어변동주기)를 연산하는 단계; 및 상기 유량변동량을 제어유량 변경 회수로 나누어(Qc/Tc) 상기 설정된 변동유량(Qs)을 연산하는 단계;에 의하여 도출되는 것으로 구비될 수 있다.The set variable flow rate Qs is calculated by calculating a flow rate variation amount Qc = Q2-Q1 and a control flow rate variation time Tc = T / Ta; And calculating the set variable flow rate (Qs) by dividing the flow rate variation amount by the control flow rate variation time (Qc / Tc).

한편, 본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 있어서, 상기 목적유량정보는, 적어도 셋 이상의 설정유량(Q1, Q2, Qn; n≥3인 정수) 및 순차적으로 변화되는데 소요되는 적어도 둘 이상의 시간간격(T1, Tm; T=n-1)이고, 상기 제어수단은, 상기 적어도 둘 이상의 시간간격 각각 및 그에 관련된 두 설정유량을 기초로 연산 된 설정된 시간간격(Ta)에 따라 변화되는 제어유량(Qa)과, 상기 유량계에 의해 계측된 유량을 비교하여 상기 유량조절부를 제어하는 것으로 구비될 수 있다.In the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, the target flow rate information includes at least three set flow rates (Q1, Q2, Qn; an integer of n? 3) and at least two or more times Wherein the control means is operable to determine a control flow rate (Tm) that varies according to the set time interval Ta computed based on each of the at least two time intervals and the two set flow rates associated therewith Qa) and the flow rate measured by the flow meter to control the flow rate regulator.

이에 의하면, 변동하는 목적유량의 시간변화율이 시간에 따라 달리하는 경우에도 목적유량과 실제 유량의 차이를 최소화하여 제어할 수 있게 된다.Accordingly, even when the rate of change of the target flow rate varies with time, the difference between the target flow rate and the actual flow rate can be minimized and controlled.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 의하면, 유량제어의 시작 전에 다이아프레임이 사전 개방된 상태로 구비되거나, 제어수단에 의해 사전 개방되므로, 유량 헌팅이 방지됨은 물론, 유량제어 초기의 실제 출력유량과 목적유량의 차이를 최소화할 수 있게 된다.According to the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, since the diaphragm is pre-opened prior to the start of the flow rate control or is pre-opened by the control means, flow hunting is prevented, The difference between the flow rate and the target flow rate can be minimized.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 의하면, 시간에 따라 변동되는 목적유량과 실제 유량의 차이가 최소화되도록 제어할 수 있게 된다.According to the flow rate control system according to an aspect of the present disclosure, it is possible to control so that the difference between the target flow rate and the actual flow rate that varies with time is minimized.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 의하면, 변동하는 목적유량의 시간변화율이 시간에 따라 달리하는 경우에도 목적유량과 실제 유량의 차이를 최소화하여 제어할 수 있게 된다.According to the flow rate control system according to one aspect of the present disclosure, even when the rate of change of the target flow rate varies with time, the difference between the target flow rate and the actual flow rate can be minimized and controlled.

본 개시의 일 태양에 따른 유량제어시스템에 의하면, 고가의 스텝모터를 이용한 전동밸브를 대신하여 정압 레귤레이터를 채용하면서도 높은 정밀도를 가지는 유량제어가 가능한 이점을 가진다. 더불어 제조 비용이 절감되는 이점을 가진다.The flow control system according to an aspect of the present disclosure has an advantage that flow control with high precision can be performed while employing a constant pressure regulator instead of a motor valve using an expensive step motor. In addition, the manufacturing cost is reduced.

도 1은 본 개시의 일 실시형태에 따른 유량제어시스템을 개념적으로 보인 도면,
도 2은 도 1에 따른 유량제어시스템의 구성을 보인 도면,
도 3는 본 개시의 다른 일 실시형태에 따른 유량제어시스템을 개념적으로 보인 도면,
도 4는 도 3의 유량제어시스템에 의한 유량제어 결과를 보인 선도이다.1 is a conceptual illustration of a flow control system in accordance with an embodiment of the present disclosure;
FIG. 2 is a view showing a configuration of a flow control system according to FIG. 1;
Figure 3 conceptually illustrates a flow control system according to another embodiment of the present disclosure;
FIG. 4 is a diagram showing the results of flow control by the flow control system of FIG. 3. FIG.

이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 이하에서 개시되는 기술적 사상의 명료한 이해를 위해 제한된 실시형태를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지는 아니하고 특허청구범위에 개시된 기술적 사상으로부터 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 도출할 수 있는 실시형태도 본 명세서에 개시된 실시형태로 이해되어야 함을 밝혀둔다.However, the present invention is not limited to these embodiments. For example, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit and scope of the present invention. It should be understood that the embodiments described herein are to be understood as the embodiments disclosed herein.

또한, 본 명세서 및 특허청구범위에서 사용된 용어는 본 발명자가 설명의 편의를 위하여 선택한 개념으로, 그 의미를 파악함에 있어서 사전적 의미에 한정되지 않고 본 개시의 기술적 사상에 부합되도록 적절히 해석되어야 할 것이다.The terms used in this specification and claims are to be understood by the inventor as a concept selected for the convenience of explanation and should not be construed in a linguistic sense in understanding the meaning thereof but should be appropriately interpreted in accordance with the technical idea of the present disclosure will be.

또한, 본 개시에 따른 유량제어시스템은, 그 적용 분야가 제한되지 않고 자동차, 반도체, 플랜트, 화학, 바이오 분야 등 산업 전반에 걸쳐 채용될 수 있으며, 그 일 예로서 반도체 산업의 경우, 웨이퍼 상에 공정에 필요한 화학약품 약액의 분사를 필요로 하는 웨이퍼 상에 막을 형성하는 도포 또는 증착하는 공정, 웨이퍼 상에 도포 된 감광막에 포토 마스크의 패턴을 전사하는 노광 공정, 웨이퍼 상에 형성된 막을 제거하는 식각 공정, 웨이퍼 표면을 세정하는 세정공정을 들 수 있다.In addition, the flow control system according to the present disclosure is not limited in its field of application and can be employed throughout the entire industry such as automobile, semiconductor, plant, chemical, and biotechnology fields. For example, in the case of the semiconductor industry, A step of applying or depositing a film to form a film on a wafer requiring injection of a chemical liquid necessary for the process, an exposure step of transferring a pattern of the photomask to the photoresist film applied on the wafer, an etching process of removing the film formed on the wafer , And a cleaning process for cleaning the surface of the wafer.

도 1은 본 개시의 일 실시형태에 따른 유량제어시스템을 개념적으로 보인 도면, 도 2은 도 1에 따른 유량제어시스템의 구성을 보인 도면이다.FIG. 1 is a conceptual view of a flow control system according to an embodiment of the present disclosure, and FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a flow control system according to FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시형태에 따른 유량제어시스템(100)은, 유량조절부(101), ON/OFF 밸브(113), 유량계(130) 및 제어수단(140)을 포함한다. 1 and 2, the flow rate control system 100 according to the present embodiment includes a flow rate regulator 101, an ON / OFF valve 113, a flow meter 130, and a control means 140 .

또한 이에 더하여 제어수단(140)의 제어동작을 위한 필요한 정보를 외부로부터 입력받아 제어수단(140)에 제공하거나, 외부로부터 입력받은 정보를 가공하여 제어수단(140)에 제공하는 상위제어부(150)가 더 구비될 수 있다.In addition, the control unit 140 receives information necessary for the control operation of the control unit 140 from the outside and provides the information to the control unit 140. The upper control unit 150 processes the information input from the outside and provides the processed information to the control unit 140. [ May be further included.

유량조절부(101)는, 다이아프레임(미도시)의 개방 정도를 조절하여 유량을 조절한다.The flow rate regulator 101 adjusts the flow rate by adjusting the opening degree of the diaphragm (not shown).

여기서, 다이아프레임은, 초기에 설정된 양만큼 사전 개방된 상태로 구비된다. Here, the diaphragm is pre-opened by an initially set amount.

또한, 본 실시형태에 있어서, 유량조절부(101)는 다이아프레임이 공급되는 유체의 압력에 의해 개방 정도가 조절되는 정압 레귤레이터(110) 및 정압 레귤레이터(110)에 공급되는 유체의 압력을 조절하는 전공 레귤레이터(120)로 마련될 수 있다.In the present embodiment, the flow rate regulator 101 regulates the pressure of the fluid supplied to the constant-pressure regulator 110 and the constant-pressure regulator 110 whose opening degree is regulated by the pressure of the fluid to which the diaphragm is fed And may be provided as a pneumatic regulator 120.

ON/OFF 밸브(113)는 유량조절부(101)의 하류에 배치되며, 유량조절부(101)로부터 외부로의 유동을 선택적으로 차단하는 기능을 한다. The ON / OFF valve 113 is disposed downstream of the flow rate regulator 101 and functions to selectively block the flow from the flow rate regulator 101 to the outside.

유량계(130)는 유량조절부(101)로 유입되는 유량을 계측한다. The flowmeter 130 measures the flow rate of the fluid flowing into the flow rate regulator 101.

제어수단(140)은, 유량계(130)에 의해 계측된 실제 유량과, 제어 기준이 되는 목적유량을 비교하여 유량조절부(101)의 다이아프레임의 개방 정도 및 ON/OFF 밸브의 개폐를 제어한다. The control means 140 compares the actual flow rate measured by the flow meter 130 with the target flow rate as a control reference and controls the opening degree of the diaphragm of the flow rate regulator 101 and the opening and closing of the ON / OFF valve .

여기서, 제어수단(140)은 ON/OFF 밸브(113)가 OFF 상태에서 제어를 시작하도록 마련된다.Here, the control means 140 is provided to start the control when the ON / OFF valve 113 is OFF.

정압 레귤레이터(110)는, 다이아프레임(미도시)의 개폐율에 따라 유량이 조절되며, 다이아프레임(미도시)의 개폐율은 후술하는 전공 레귤레이터(120)에서 공급되는 공기의 압력에 의해 조절되도록 구비된다.The flow regulator 110 adjusts the flow rate according to the opening and closing rate of the diaphragm (not shown) so that the opening and closing rate of the diaphragm (not shown) is controlled by the pressure of the air supplied from the pneumatic regulator 120 Respectively.

유량계(130)는, 유동 방향으로 정압 레귤레이터(110)의 상류에 구비되어 유량을 계측하는 것으로서, 그 종류는 무관하나, 초음파 유량계(130)로 구비되는 것이 유량계에 의한 유량의 계측 오차 발생을 최소화할 수 있는 이점을 가지므로 바람직하다.The flowmeter 130 is provided upstream of the constant-pressure regulator 110 in the flow direction to measure the flow rate. The type of the flowmeter 130 is not limited, but the ultrasonic flowmeter 130 minimizes the error in measuring the flow rate by the flowmeter It is preferable because it has an advantage that it can be performed.

전공 레귤레이터(120)는, 정압 레귤레이터(110)에 공기를 공급하여, 정압 레귤레이터(110)에 구비되는 다이아프레임을 개폐시키기 위한 것으로서, 공급되는 공기의 압력을 조절하여 다이아프레임의 개도(開度)를 조절하도록 구비된다.The electro-pneumatic regulator 120 supplies air to the positive pressure regulator 110 to open and close the diaphragm provided in the positive pressure regulator 110. The air pressure regulator 120 regulates the pressure of air supplied to open the diaphragm, .

여기서, 공급되는 공기의 압력은, 후술하는 상위제어부(150)를 통해 외부로부터 입력된 목적유량과 유량계(130)에 의해 감지된 유량의 차이를 기준으로 조절되도록 구비된다.Here, the supplied air pressure is adjusted based on the difference between the target flow amount input from the outside through the upper control unit 150, which will be described later, and the flow rate sensed by the flow meter 130.

한편, 전공 레귤레이터(120)는, 공기의 밀도가 일정하게 유지되도록 공기의 온도가 상승하는 것을 방지하는 열교환 수단을 가지는 것이 바람직하다. 이는 전공 레귤레이터(120)의 내부를 지나며 공기와 접촉에 의해 열교환이 이루어지는 냉각튜브로 구비될 수 있다.On the other hand, the electropneumatic regulator 120 preferably has heat exchange means for preventing the temperature of the air from rising to maintain the density of the air constant. This can be provided as a cooling tube that passes through the inside of the electropneumatic regulator 120 and performs heat exchange by contact with air.

제어수단(140)는, 유량계(130)에 의해 감지된 유량 정보와 목적유량을 차이를 피드백 제어에 의해 오차 범위 내로 제어하게 된다.The control means 140 controls the difference between the flow rate information sensed by the flow meter 130 and the target flow rate within an error range by feedback control.

구체적으로, 후술하는 상위제어부(150)로부터 외부로부터 입력된 목적유량을 전달받고, 유량계(130)로부터 감지된 유량 정보를 전달받아 양자의 크기를 비교한 후, 그 차이를 기준으로 전공 레귤레이터(120)에 전기적 신호를 인가한다. Specifically, the controller receives the target flow amount input from the upper control unit 150, receives the flow rate information from the flow meter 130, compares sizes of the flow rate information, and then, based on the difference, ). ≪ / RTI >

전기적 신호를 인가받은 전공 레귤레이터(120)는 그 전기적 신호의 크기에 비례하는 압력의 공기를 정압 레귤레이터(110)에 공급하여 다이아프레임의 개도를 조절한다. The electropneumatic regulator 120 which receives the electrical signal regulates the opening degree of the diaphragm by supplying air having a pressure proportional to the magnitude of the electrical signal to the positive pressure regulator 110.

본 실시형태에 있어서, 다이아프레임은, 초기에 설정된 양만큼 사전 개방된 상태로 구비되거나, 제어수단(140)에 의해 사전 개방된 상태로 제어되므로, 전공 레귤레이터(120)에 의한 개방 정도의 조절은 공기의 압력이 증가할수록 개방 정도가 감소하고, 공기의 압력이 감소할수록 개방 정도가 증가하도록 마련될 수 있다.In the present embodiment, the diaphragm is pre-opened by an initially set amount or controlled by the control means 140 in a pre-opened state, so that the degree of opening of the diaphragm by the electropneumatic regulator 120 As the air pressure increases, the degree of opening decreases, and as the air pressure decreases, the degree of opening increases.

이에 의해, 유량이 변경되며, 유량계(130)에 의해 계측된 변경된 유량과 목적유량을 다시 비교하여 위 제어동작을 반복함으로써, 유량계(130)로부터 입력되는 유량 정보와 목적유량의 차이를 오차 범위 내로 제어하게 된다.Thereby, the flow rate is changed, and the difference between the flow rate information input from the flow meter 130 and the target flow rate is corrected within the error range by repeating the above control operation by comparing the changed flow rate measured by the flow meter 130 and the target flow rate again Respectively.

한편, 본 실시형태에 있어서, ON/OFF 밸브(113)는 토출 초기 유량이 목적유량에 신속하게 이르도록 한다. On the other hand, in the present embodiment, the ON / OFF valve 113 causes the initial discharge flow rate to quickly reach the target flow rate.

구체적으로, 토출 초기 정압 레귤레이터(210)를 통해 토출 되는 유량이 목적유량에 근접시킨 후 ON/OFF 밸브(113)를 ON 상태로 전환함으로써 유량제어시스템(200)을 통해 목적유량이 공급될 수 있도록 한다.Specifically, the target flow rate is supplied through the flow control system 200 by switching the ON / OFF valve 113 to the ON state after the flow rate discharged through the initial static pressure regulator 210 approaches the target flow rate do.

그러나, 이 경우 토출 초기 정압 레귤레이터(210)를 통해 토출 되는 유량이 목적유량에 근접시키는 데 상당한 시간(약 3초)이 소요되며, 이를 개선하기 위한 구성이 요구된다. However, in this case, a considerable time (about 3 seconds) is required to bring the flow rate discharged through the initial static pressure regulator 210 to the target flow rate close to the target flow rate, and a configuration for improving the flow rate is required.

이를 위해, 본 실시형태는, 앞서 설명한 바와 같이 ON/OFF 밸브(113)가 OFF 상태에서 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방(Pre-Ready Open)되도록 구비되거나, 제어수단(140)에 의해 제어된다.To this end, in the present embodiment, as described above, when the ON / OFF valve 113 is in the OFF state, the diaphragm is pre-opened to a predetermined amount or controlled by the control means 140 .

일 예로, 전공 레귤레이터(220)에, ON/OFF 밸브(113)가 OFF 상태에서 목적유량의 토출을 위해 인가되어야 하는 전류 크기의 80~90%에 해당하는 전류가 미리 인가되도록 제어하여 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방(Pre-Ready Open)되도록 한다.The diaphragm may be controlled such that a current corresponding to 80 to 90% of the current magnitude to be applied for discharge of the target flow rate is applied to the electropneumatic regulator 220 in the OFF state of the ON / OFF valve 113, Pre-Ready Open is made by the set amount.

이에 의하면, ON/OFF 밸브가 OFF 상태에서 정압 레귤레이터가 설정된 양만큼 사전 개방(Pre-Ready Open)되므로, 토출 초기 토출 되는 유량이 목적유량에 신속히 이를 수 있게 된다. 본 발명자의 실험에 의하면 약 1.5초 이내에 목적유량과 1% 이내의 차이를 가지는 유량 토출이 이루어짐을 확인하였다. According to this, since the constant-pressure regulator is pre-openedly opened by an amount that is set when the ON / OFF valve is in the OFF state, the flow rate discharged at the initial stage of discharge can quickly reach the target flow rate. According to the experiment of the present inventor, it was confirmed that a flow rate discharge with a difference of 1% or less with the target flow rate was achieved within about 1.5 seconds.

한편, 본 실시형태에 있어서, 제어수단(140)에서 전공 레귤레이터(120)에 인가되는 전기적 신호는 4~20mA의 아날로그 전류 신호로 마련되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present embodiment, it is preferable that the electrical signal applied to the electropneumatic regulator 120 by the control means 140 is provided as an analog current signal of 4 to 20 mA.

전류 신호에 의한 제어는, 전압 신호에 의한 제어에 비하여 외부 노이즈에 대한 영향이 적은 장점을 갖는다. The control by the current signal has the advantage of being less influenced by external noise than the control by the voltage signal.

한편, 4~20mA의 전류 제어 신호는 아날로그 제어 규격과의 호환성에 있어서 유리한 이점을 가진다.On the other hand, the current control signal of 4 to 20 mA has an advantage in compatibility with the analog control standard.

상위제어부(150)는, 외부(예: 공정설비 운용자)로부터 목적유량을 입력받아 제어수단(140)에 인가하는 것이다. 상위제어부(150)는 목적유량 외에도 공정 설비의 운용을 위한 다양한 설정 값을 입력받고 공정 설비의 전체를 제어하는 기능을 수행하게 된다. 상위제어부(150)와 제어수단(140) 사이의 정보 전달은 통신에 의해 이루어지게 된다.The upper control unit 150 receives the target flow amount from the outside (for example, a process facility operator), and applies the flow rate to the control unit 140. In addition to the target flow rate, the upper control unit 150 receives various setting values for operating the process facility and controls the entire process facility. The information transfer between the upper control unit 150 and the control unit 140 is performed by communication.

이상에서 설명한 본 개시의 일 실시형태에 따른 유량제어시스템(100)에 의하면, 유량 제어를 위한 밸브가 고가의 전동밸브가 아닌 저가의 정압 레귤레이터로 구비되며, 정압 레귤레이터를 통과하는 유량의 제어가 전공 레귤레이터에서 공급되는 공기의 압력에 의해 이루어지고, ON/OFF 밸브(113)에 의해 출구 측의 갑작스런 압력변동을 방지할 수 있으므로 유량 헌팅을 방지할 수 있게 된다.According to the flow control system 100 according to the embodiment of the present invention described above, the valve for controlling the flow rate is provided as a low-cost constant-pressure regulator instead of an expensive motor valve, and the flow rate control through the constant- And it is possible to prevent sudden pressure fluctuation at the outlet side by the ON / OFF valve 113, thereby preventing flow hunting.

또한, 유량제어의 시작 전에 다이아프레임이 사전 개방된 상태로 구비되거나, 제어수단에 의해 사전 개방되므로, 유량제어 초기의 실제 출력유량과 목적유량의 차이를 최소화할 수 있게 된다.Also, since the diaphragm is pre-opened before the start of the flow control or is pre-opened by the control means, the difference between the actual output flow rate and the target flow rate at the initial stage of the flow control can be minimized.

도 3는 본 개시의 다른 일 실시형태에 따른 유량제어시스템을 개념적으로 보인 도면, 도 4는 도 3의 유량제어시스템에 의한 유량제어 결과를 보인 선도이다.FIG. 3 is a conceptual view of a flow control system according to another embodiment of the present disclosure, and FIG. 4 is a diagram showing a result of flow control by the flow control system of FIG.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 유량제어시스템(200)은, 앞서 설명한 실시형태와 구성에 있어서 동일하다. 다만 제어수단(140)에 의한 제어동작에 있어서 차이가 있으며, 그러한 차이로 인하여, 시간에 따라 목적유량이 변동되는 경우의 유량제어가 가능하게 된다.Referring to Figs. 3 and 4, the flow control system 200 according to the present embodiment is the same as the above-described embodiment and configuration. However, there is a difference in the control operation by the control means 140, and because of such difference, it becomes possible to control the flow rate when the target flow rate varies with time.

따라서, 유량조절부(201), ON/OFF 밸브(213), 유량계(230)에 대한 설명은 앞선 설명으로 갈음하고, 이하에서는 제어수단(240)에 의한 제어동작에 대해 구체적으로 설명한다.Therefore, the description of the flow rate regulator 201, the ON / OFF valve 213, and the flow meter 230 is omitted in the foregoing description, and the control operation by the control means 240 will be described in detail below.

제어수단(240)은 유량계(230)로부터 계측된 유량을 전달받아 제어 유량(Qa)과 비교하여 유량조절부(201)의 개도를 조절하는 것으로서, 피드백 제어를 통하여 유량조절부(201)을 지나는 유량이 제어 유량(Qa)과 오차범위 내에서 일치하도록 제어한다.The control means 240 controls the opening degree of the flow rate control unit 201 by comparing the flow rate measured by the flow rate meter 230 with the control flow rate Qa, The flow rate is controlled so as to coincide with the control flow rate (Qa) within the error range.

또한, 제어수단(240)은 제어 유량(Qa)을 설정된 시간간격(Ta) 당 설정된 변동유량(Qs) 만큼 변화시키면서 유량조절부(201)을 지나는 유량을 피드백 제어하게 된다.In addition, the control means 240 performs feedback control of the flow rate passing through the flow rate regulator 201 while varying the control flow rate Qa by the variable flow rate Qs set per the set time interval Ta.

상위제어부(250)는 유량제어시스템을 포함하는 전체 시스템(예: 식각 설비 시스템)에 대한 다양한 데이터를 외부(예: 시스템 운영자)로부터 입력받아, 각 제어 구성(예: 하위 제어시스템)에 전달하며 전체 시스템의 원활한 동작을 제어하는 것으로서, 외부로부터 제1 설정유량(Q1), 제1 설정유량과 다른 제2 설정유량(Q2) 및 제1 설정유량(Q1)에서 상기 제2 설정유량(Q2)으로 변화되는 시간간격(T)을 입력받아 제어수단(240)에 전달하게 된다.The upper control unit 250 receives various data for the entire system including the flow control system (e.g., the etching system) from the outside (e.g., the system operator), transfers the data to each control configuration (e.g., the lower control system) The second set flow rate Q2 is set at a first set flow rate Q1 different from the first set flow rate Q1 and a second set flow rate Q2 different from the first set flow rate. To the control unit 240. The control unit 240 receives the time interval T from the control unit 240,

종래 유량제어시스템에 있어서, 상위제어부는 시간에 따라 일정한 설정 유량의 정보를 제어수단에 제공하였는데, 시간에 따른 변동되는 유량의 제어를 위해, 일정한 시간 간격마다 변동된 설정 유량의 정보를 제어수단에 전달하는 경우 상위제어부의 시스템 프로그램 변경을 위한 개발비가 많이 요구되며, 특히 상위제어부와 제어수단 사이의 반복되는 지령 및 데이터 송수신은 제어시간의 지연을 초래하게 된다. In the conventional flow rate control system, the upper control unit has provided information on a constant set flow rate to the control means over time. In order to control the fluctuating flow rate over time, information of the set flow rate varied at regular time intervals is supplied to the control means The development cost for changing the system program of the high-level control unit is much required. In particular, repeated commands and data transmission / reception between the high-level control unit and the control unit cause a delay of the control time.

본 개시의 일 실시형태에 따르면, 상위제어부(250)가 초기에 목적유량정보로서, 제1,2 설정유량(Q1,Q2) 및 시간간격(T)에 대한 정보를 제공하는 것으로 충분하고, 제어수단(240)이 설정된 시간간격(Ta) 당 설정된 변동유량(Qs)을 이용하여 제어 유량(Qa)을 변경하여 제어하므로, 상위제어부(250)와 제어수단(240) 사이의 지령 및 데이터의 송수신을 최소화하여 제어의 시간 지연을 방지할 수 있게 된다. 결과적으로 시간에 따라 변동되는 유량의 정확한 제어가 가능해진다.According to an embodiment of the present disclosure, it is sufficient that the upper control section 250 initially provides the information on the first and second set flow rates Q1 and Q2 and the time interval T as the target flow rate information, The controller 240 changes the control flow rate Qa by using the variable flow rate Qs set for the set time interval Ta so that the command and data are sent and received between the upper control unit 250 and the control unit 240 The time delay of the control can be prevented. As a result, accurate control of the flow rate that varies with time becomes possible.

본 실시형태에 있어서, 제어수단(240)은, 상위제어부(250)에서 전달받은 제1 설정유량(Q1), 제2 설정유량(Q2) 및 시간간격(T)으로부터, 제어 유량(Qa)이 제1 설정유량(Q1)을 초기값으로 하여 설정된 시간간격(Ta)마다 설정된 변동유량(Qs)만큼 변동되어 시간간격(T)의 경과 후 제어 유량(Qa)이 제2 설정유량(Q2)과 같도록 제어하게 된다. In the present embodiment, the control means 240 calculates the control flow rate Qa from the first set flow rate Q1, the second set flow rate Q2 and the time interval T received from the upper control section 250 The control flow rate Qa after the elapse of the time interval T varies by the variable flow rate Qs set at the set time interval Ta with the first set flow rate Q1 as the initial value and the second set flow rate Q2 Respectively.

구체적으로, 설정된 변동유량(Qs)은, 1) 유량변동량(Qc=Q2-Q1)과 제어유량 변경 회수(Tc=T/Ta; Ta는 제어변동주기)를 연산하는 단계, 2) 유량변동량(Qc)을 제어유량 변경 회수(Tc)로 나누어(Qc/Tc) 설정된 변동유량(Qs)을 연산하는 단계에 의하여 도출된다. Specifically, the set variable flow rate Qs is calculated by: 1) calculating the flow rate variation amount Qc = Q2-Q1 and the control flow rate change number Tc = T / Ta; Qc is divided by the control flow rate change number Tc to calculate the variable flow rate Qs set by (Qc / Tc).

여기서, 제어변동주기(Ta)는 200ms인 것이 바람직하다. Here, it is preferable that the control fluctuation period Ta is 200 ms.

이에 의하면, 제어변동주기(Ta)가 길어짐으로 인하여 발생 되는 유량 오차를 최소화하면서도, 제어변동주기(Ta)가 짧아지는 경우 송수신 되어야 하는 데이터량의 증가로 인한 제어 시간 지연을 방지할 수 있게 된다.According to this, it is possible to prevent the control time delay due to an increase in the amount of data to be transmitted / received when the control fluctuation period Ta becomes short, while minimizing the flow error caused by the long control fluctuation period Ta.

또한, 유량변동량(Qc)은, 양(시간에 따라 유량이 증가하는 경우) 또는 음(시간에 따라 유량이 감소하는 경우)의 값을 가질 수 있으므로, 제어수단(240)에 의한 유량제어는 시간에 따라 제어 유량이 선형적으로 증가 또는 감소하는 것을 시간 지연 없이 정확히 제어할 수 있게 된다.Since the flow rate variation Qc can have a value (when the flow rate increases with time) or a negative value (when the flow rate decreases with time), the flow rate control by the control means 240 is time It is possible to precisely control the control flow rate to be linearly increased or decreased without delay.

도 4를 참조하면, 시간간격(T) 동안 제1 설정유량(Q1)인 800mL/min으로부터 제2 설정유량(Q2)인 500mL/min으로 선형적으로 감소 되는 유량변동의 제어가 이루어졌음을 확인할 수 있다Referring to FIG. 4, it is confirmed that the flow rate variation that is linearly reduced from 800 mL / min, which is the first set flow rate Q1, to 500 mL / min, which is the second set flow rate Q2, is controlled during the time interval T Can

한편, 본 실시형태에 있어서, 목적유량정보는, 적어도 셋 이상의 설정유량(Q1, Q2, Qn; n≥3인 정수) 및 순차적으로 변화되는데 소요되는 적어도 둘 이상의 시간간격(T1, Tm; T=n-1)일 수 있다.In the present embodiment, the target flow rate information includes at least three set flow rates (Q1, Q2, Qn; n is an integer of 3) and at least two time intervals (T1, n-1).

이때, 제어수단(240)은, 적어도 둘 이상의 시간간격 각각 및 그에 관련된 두 설정유량을 기초로 연산 된 설정된 시간간격(Ta)에 따라 변화되는 제어유량(Qa)과, 유량계(230)에 의해 계측된 유량을 비교하여 유량조절부(201)를 제어하는 것으로 구비될 수 있다. 여기서 개별적인 시간간격(Tm) 마다의 제어과정은 앞선 설명과 동일하다.At this time, the control means 240 determines whether or not the control flow rate Qa, which is changed according to the set time interval Ta calculated based on at least two time intervals and two related set flow rates, And controlling the flow rate regulator 201 by comparing the flow rate of the fluid. Here, the control procedure for each individual time interval Tm is the same as that described above.

이에 의하면, 변동하는 목적유량의 시간변화율이 시간에 따라 달리하는 경우에도 목적유량과 실제 유량의 차이를 최소화하여 제어할 수 있게 된다.Accordingly, even when the rate of change of the target flow rate varies with time, the difference between the target flow rate and the actual flow rate can be minimized and controlled.

Claims (11)

다이아프레임의 개방 정도를 조절하여 유량을 조절하는 유량조절부;로서, 초기 상기 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방된 상태로 구비되는 유량조절부;
상기 유량조절부의 하류에 배치되는 ON/OFF 밸브;
상기 유량조절부로 유입되는 유량을 계측하는 유량계; 및
상기 유량계에 의해 계측된 실제 유량과, 목적유량을 비교하여 상기 유량조절부의 다이아프레임의 개방 정도 및 상기 ON/OFF 밸브의 개폐를 제어하는 제어수단;으로서, 상기 ON/OFF 밸브가 OFF 상태에서 제어를 시작하는 제어수단;을 포함하는 유량제어시스템.A flow control unit for controlling the flow rate of the diaphragm by adjusting an opening degree of the diaphragm;
An ON / OFF valve disposed downstream of the flow rate regulator;
A flow meter for measuring a flow rate flowing into the flow rate regulator; And
And control means for controlling the opening degree of the diaphragm of the flow rate regulator and the opening and closing of the ON / OFF valve by comparing the actual flow rate measured by the flow meter with the target flow rate, And the control means starts the flow control system. 청구항 1에 있어서,
상기 유량조절부는, 상기 제어수단에 의해 상기 다이아프레임이 설정된 양만큼 사전 개방되는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method according to claim 1,
Wherein the flow rate regulator is pre-opened by a predetermined amount of the diaphragm by the control means. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 다이아프레임의 사전 개방 정도는, 상기 제어수단에 의해 상기 목적유량에 기초하여 조절되는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method according to claim 1 or 2,
And the degree of preliminary opening of the diaphragm is adjusted by the control means based on the target flow rate. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 유량조절부는,
상기 다이아프레임이 공급되는 유체의 압력에 의해 개방 정도가 조절되는 정압 레귤레이터; 및
상기 정압 레귤레이터에 공급되는 유체의 압력을 조절하는 전공 레귤레이터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flow-
A static pressure regulator whose opening degree is regulated by a pressure of fluid supplied to the diaphragm; And
And an electropneumatic regulator for regulating the pressure of the fluid supplied to the constant-pressure regulator. 청구항 4에 있어서,
상기 제어수단은, 상기 목적유량에 기초한 양의 전류를 상기 전공 레귤레이터에 사전 인가하여 상기 다이아프레임을 사전 개방시키는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 4,
Wherein the control means pre-applies a positive current based on the target flow rate to the electropneumatic regulator to pre-open the diaphragm. 청구항 5에 있어서,
상기 전공 레귤레이터에 사전 인가되는 전류의 양은, 상기 목적유량을 위해 인가되어야 하는 전류 크기의 80~90%에 해당하는 전류인 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 5,
Wherein the amount of the current pre-applied to the electropneumatic regulator is a current corresponding to 80 to 90% of the current magnitude to be applied for the target flow rate. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
외부로부터 상기 목적유량정보를 입력받아 상기 제어수단에 인가하는 상위제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method according to claim 1 or 2,
Further comprising: an upper control unit for receiving the target flow rate information from an external source and applying the flow rate information to the control unit. 청구항 7에 있어서,
상기 목적유량정보는, 제1 설정유량(Q1), 상기 제1 설정유량과 다른 제2 설정유량(Q2) 및 상기 제1 설정유량(Q1)에서 상기 제2 설정유량(Q2)으로 변화되는데 소요되는 시간간격(T)이며,
상기 제어수단은, 상기 제1 설정유량(Q1), 상기 제2 설정유량(Q2) 및 상기 시간간격(T)을 기초로 연산 된 설정된 시간간격(Ta)에 따라 변화되는 제어유량(Qa)과, 상기 유량계에 의해 계측된 유량을 비교하여 상기 유량조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 7,
The target flow rate information is changed from the first set flow rate Q1 to the second set flow rate Q2 different from the first set flow rate and from the first set flow rate Q1 to the second set flow rate Q2 Lt; RTI ID = 0.0 > (T), &
Wherein the control means changes the control flow rate Qa that varies according to the set time interval Ta computed based on the first set flow rate Q1, the second set flow rate Q2 and the time interval T, And controls the flow rate regulator by comparing the flow rate measured by the flow meter. 청구항 8에 있어서,
상기 제어유량(Qa)은, 상기 제1 설정유량(Q1)을 초기값으로 하여 설정된 시간간격(Ta)마다 설정된 변동유량(Qs)만큼 변동되어 상기 시간간격(T)의 경과 후 상기 제2 설정유량(Q2)이 되도록 정해지는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 8,
Wherein the control flow rate Qa is varied by a variable flow rate Qs set for each set time interval Ta with the first set flow rate Q1 as an initial value and after the elapse of the time interval T, And the flow rate is set to be the flow rate (Q2). 청구항 9에 있어서,
상기 설정된 변동유량(Qs)은,
유량변동량(Qc=Q2-Q1)과 제어유량 변경 회수(Tc=T/Ta; Ta는 제어변동주기)를 연산하는 단계; 및
상기 유량변동량을 제어유량 변경 회수로 나누어(Qc/Tc) 상기 설정된 변동유량(Qs)을 연산하는 단계;에 의하여 도출되는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 9,
The set variable flow rate (Qs)
Calculating a flow rate variation amount (Qc = Q2-Q1) and a control flow rate variation number (Tc = T / Ta; Ta is a control variation period); And
(Qc / Tc) and calculating the set variable flow rate (Qs) by dividing the flow rate variation amount by the control flow rate change number. 청구항 7에 있어서,
상기 목적유량정보는, 적어도 셋 이상의 설정유량(Q1, Q2, Qn; n≥3인 정수) 및 순차적으로 변화되는데 소요되는 적어도 둘 이상의 시간간격(T1, Tm; T=n-1)이고,
상기 제어수단은, 상기 적어도 둘 이상의 시간간격 각각 및 그에 관련된 두 설정유량을 기초로 연산 된 설정된 시간간격(Ta)에 따라 변화되는 제어유량(Qa)과, 상기 유량계에 의해 계측된 유량을 비교하여 상기 유량조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 유량제어시스템.The method of claim 7,
The target flow rate information is at least two set time intervals (T1, Tm, T = n-1) required to change at least three set flow rates (Q1, Q2, Qn;
The control means compares the control flow rate (Qa), which is changed according to the set time interval (Ta) calculated based on each of the at least two time intervals and two set flow rates related thereto, and the flow rate measured by the flowmeter And controls the flow rate regulator.
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