KR20160035973A - Discharge lamp - Google Patents

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Abstract

In a discharge lamp which forms an electrode by bonding different metal members, arc discharge is stabilized to prevent a change in illuminance. In a short arc-type discharge lamp (10) comprising a cathode (20) and an anode (30), by solid state bonding of a metal member (22) made of thorium containing tungsten, with a metal member (24) made of molybdenum of which the thermal expansion coefficient is larger than that of the metal member (22), a bonding surface (S) forms the cathode (20) formed along the vertical direction of the electrode axis of a tapper part (20A).

Description

방전 램프{DISCHARGE LAMP}DISCHARGE LAMP

본 발명은, 노광 장치 등에 이용되는 방전 램프에 관한 것으로, 특히, 쇼트 아크형 방전 램프 등의 고출력 방전 램프의 전극 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge lamp used in an exposure apparatus and the like, and more particularly to an electrode structure of a high-output discharge lamp such as a short arc type discharge lamp.

쇼트 아크형 방전 램프에서는, 방전관 내에 음극, 양극을 대향 배치시키고, 음극에서 양극으로의 전자 방출에 의해서 아크 방전이 생기고, 방전 발광한다. 램프 점등 중 전극은 고온 상태가 되기 때문에(예를 들면 2000℃ 이상), 전극 재료로서 고융점의 텅스텐(W)이 일반적으로 이용된다.In a short arc type discharge lamp, a cathode and an anode are disposed in opposition to each other in a discharge tube, and an arc discharge is caused by electron emission from the cathode to the anode. Since the electrode is in a high temperature state (for example, 2000 DEG C or more) during lamp lighting, tungsten (W) having a high melting point is generally used as an electrode material.

전극 선단부는, 사용 경과에 수반하여 소모되고, 엣지가 있는 형상으로부터 둥글림을 띤 형상으로 변형된다. 그 때문에, 아크 방전의 휘점 이동이 생기고, 아크 방전이 불안정하게 되어 조도 저하, 조도 변동을 부른다. 이러한 조도 저하, 조도 변동을 막기 위해, 전극 선단측의 테이퍼 부분에 돌기부를 형성하고, 돌기부의 결정립계의 개수를 한정하는 것에 의해서, 전극 선단부의 변형을 억제한다(특허문헌 1 참조).The tip of the electrode is consumed along with the elapse of use and deforms from a shape with an edge to a shape with a rounded shape. As a result, the spot shift of the arc discharge occurs, and the arc discharge becomes unstable, so that the illuminance decreases and the illuminance fluctuation is called. In order to prevent the degradation of the illuminance and the fluctuation of the illuminance, a protrusion is formed in the tapered portion on the electrode tip side, and the number of crystal grains of the protrusion is limited, thereby suppressing deformation of the electrode tip.

일본 공개특허 특개2003-132837호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-132837

결정립계의 개수를 조정하는 것은, 전극 제조 공정에 대해 번잡한 작업을 수반한다. 또, 테이퍼(taper) 부분에 돌기부를 형성하면 전극 선단부의 형상이 복잡하게 되어, 제조 코스트 업으로 연결된다.Adjusting the number of grain boundaries involves complicated operations for the electrode manufacturing process. In addition, if the protruding portion is formed in the taper portion, the shape of the tip of the electrode becomes complicated, and the manufacturing cost is increased.

따라서, 번잡한 전극 선단부의 제조 공정을 도입하지 않고, 전극 선단부의 형상 변화를 억제하는 전극 구조를 얻는 것을 요구할 수 있다.Therefore, it may be required to obtain an electrode structure for suppressing the shape change of the electrode tip portion without introducing the manufacturing process of the complicated electrode tip portion.

본 발명의 방전 램프는, 방전관과, 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비한다. 그리고, 적어도 일방의 전극이, 축경부(예를 들면, 테이퍼 부분)를 가지고, 그 전극이, 접합측 단면이 평탄한 선단측 부재와, 선단측 부재보다 열팽창 계수가 크고, 접합측 단면이 평탄한 후단측 부재를 접합시키는 것에 의해서 형성되어 있다. 예를 들면, 선단측 부재가, 텅스텐 또는 텅스텐을 주성분으로 하는 합금으로 구성되고, 후단측 부재가, 몰리브덴 또는 몰리브덴을 주성분으로 하는 합금으로 구성하는 것이 가능하다.The discharge lamp of the present invention comprises a discharge tube and a pair of electrodes disposed in the discharge tube. At least one of the electrodes has a reduced diameter portion (for example, a tapered portion), and the electrode is provided with a front end side member having a flat connecting end face and a rear end having a larger thermal expansion coefficient than the front end side member, And the side members are joined to each other. For example, the tip side member may be made of an alloy containing tungsten or tungsten as a main component, and the rear end side member may be made of an alloy containing molybdenum or molybdenum as a main component.

본 발명에서는, 후단측 부재의 열팽창 계수가 크기 때문에, 열응력이 접합면의 주연(周緣) 부근에 모이고, 응력이 전극 테이퍼면 등의 축경면을 따라서 전극 선단면 주연 부근에 걸리는 것으로, 장시간 램프 점등에 관련되지 않고, 전극 선단부의 형상이 유지된다. 여기서, 「접합측 단면이 평탄한」이란, 의도적으로 홈이나 요철이 접합측 단면에 설치되지 않고, 조면이 아닌 것을 나타내고, 평활면까지를 요구하는 것은 아니다. 열응력이 접합면에서 주연 부근에 집중하는 것을 방해하지 않는 범위에서 평탄하면 좋다.In the present invention, since the thermal expansion coefficient of the rear end side member is large, the thermal stress is gathered near the periphery of the joint surface, and the stress is caught near the periphery of the end surface of the electrode wire along the shaft diameter surface of the electrode tapered surface, The shape of the tip of the electrode is maintained irrespective of lighting. Here, " the joining side end face is flat " means that the groove or concavity and convexity are not provided on the joining side end face intentionally, and that the joining side end face is not a roughened surface. It may be flat in a range that does not hinder the thermal stress from concentrating near the periphery of the joint surface.

접합면 부근에서의 열전도성 등의 특성이 안정되도록 하기 위해서, 선단측 부재와 후단측 부재를, 모두 고체 부재로서 준비하고, 선단측 부재와 후단측 부재를 고상 접합하는 것에 의해서 전극을 형성하는 것이 가능하다.In order to stabilize the characteristics such as thermal conductivity near the bonding surface, it is preferable that the front-side member and the rear-end side member are both provided as solid members, and the front-end side member and the rear- It is possible.

후단측 부재와 선단측 부재와의 접합면의 위치에 대해서는, 축경부에, 전극축 수직 방향을 따라서 형성하는 것이 가능하다. 테이퍼 형상에 의해, 전극 선단면 주연 부근을 들어 올리려고 하는 힘이 크게 작용한다.The position of the joint surface between the rear end side member and the tip end side member can be formed along the axial direction in the direction perpendicular to the electrode axis. By the tapered shape, a force for lifting the periphery of the end face of the electrode wire greatly acts.

선단측 부재에서, 축경 부분의 표면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 연장부를, 접합면 주연 부근에 형성해도 좋다. 예를 들면, 연장부를, 선단측 부재의 접합면 주연 부근에 휘어진 부분으로서 형성할 수 있다. 혹은, 후단측 부재의 접합면 주연 부근의 부분이, 선단측 부재의 접합면 주연을 가리도록 구성해도 좋다.An extension extending in the direction away from the surface of the diameter-reduced portion of the distal-side member may be formed near the periphery of the joint surface. For example, the extended portion can be formed as a bent portion near the periphery of the joint surface of the front end side member. Alternatively, the vicinity of the periphery of the joint surface of the rear end side member may be configured to cover the periphery of the joint surface of the front end side member.

후단측 부재의 열팽창에 의해서 전극 선단면이 다른 일방의 전극측으로 신장하는 것을 고려하여, 램프 점등시의 한 쌍의 전극에 대한 전극간 거리를, 1개의 소재로 일체적으로 형성된 전극, 혹은 복수의 소재로 후단측 부재의 열팽창 계수가 선단측 부재의 열팽창 계수보다 크지 않은 전극에 대해서 정해지는 소정의 전극간 거리보다, 길게 설정하는 것이 좋다.Considering that the end surface of the electrode extends to one side of the other electrode due to the thermal expansion of the rear end side member, the interelectrode distance to the pair of electrodes at the time of lamp lighting is set to be an electrode formed integrally with one material, It is preferable that the thermal expansion coefficient of the rear end side member is set longer than the predetermined interelectrode distance determined for the electrode whose thermal expansion coefficient is not larger than the thermal expansion coefficient of the front end side member.

방전 램프가, 쇼트 아크형 방전 램프의 경우, 장시간 점등에 의한 선단측 부재의 소모를 고려하여, 선단측 부재의 축 방향 길이를 2mm이상으로 정하는 것이 좋다.When the discharge lamp is a short arc type discharge lamp, it is preferable to set the length in the axial direction of the front end side member to 2 mm or more in consideration of consumption of the front end side member due to lighting for a long time.

본 발명의 다른 태양에서의 방전 램프의 제조 방법은, 접합측 단면이 평탄한 선단측 부재와, 선단측 부재보다 열팽창 계수가 크고, 접합측 단면이 평탄한 후단측 부재를 성형하고, 선단측 부재와 후단측 부재를 접합측 단면에서 접촉시켜, 소정의 가압력으로 선단측 부재와 후단측 부재를 양측에서 가압하면서 통전하고, 단조 혹은 절삭 가공에 의해 축경 부분을 형성하는 것에 의해서, 적어도 일방의 전극을 제조한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a discharge lamp, the method comprising: forming a front end side member having a joining side end face and a rear end side member having a larger thermal expansion coefficient and flattening a joining side end face than the front end side member; Side members are brought into contact with each other at a joining side end face so that at least one of the electrodes is manufactured by energizing the front end side member and the rear end side member with a predetermined pressing force while pressing both sides to form a reduced diameter portion by forging or cutting .

본 발명에 의하면, 다른 금속 부재를 접합하여 전극을 형성하는 방전 램프에서, 아크 방전을 안정화 시켜 조도 변동을 억제할 수 있다.According to the present invention, in a discharge lamp in which electrodes are formed by bonding other metal members, the arc discharge can be stabilized and the fluctuation of the roughness can be suppressed.

[도 1] 본 실시 형태인 쇼트 아크형 방전 램프를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
[도 2] 음극의 개략적 단면도이다.
[도 3] 램프 점등 중의 음극 선단부의 변형을 나타낸 도면이다.
[도 4] 제2 실시 형태에서의 음극의 접합면 부근(도 2의 부호 Q 참조)의 단면도이다.
[도 5] 제3 실시 형태에서의 음극의 접합면 부근의 단면도이다.
[도 6] 실시예에서의 전극 선단부의 변위량을 그래프화한 도면이다.1 is a plan view schematically showing a short arc type discharge lamp according to the present embodiment.
2 is a schematic cross-sectional view of a cathode.
3 is a view showing deformation of a cathode tip portion during lamp lighting;
4 is a cross-sectional view of the vicinity of the joint surface of the negative electrode (refer to Q in Fig. 2) in the second embodiment.
5 is a cross-sectional view of the vicinity of a joint surface of the cathode in the third embodiment.
6 is a graph showing displacement amounts of electrode tip portions in the embodiment.

이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은, 제1 실시 형태인 쇼트 아크형 방전 램프를 모식적으로 나타낸 평면도이다.Fig. 1 is a plan view schematically showing a short arc type discharge lamp according to the first embodiment. Fig.

쇼트 아크형 방전 램프(10)는, 패턴 형성하는 노광 장치(도시하지 않음)의 광원 등에 사용 가능한 방전 램프이며, 투명한 석영 유리제의 방전관(발광관)(12)을 구비한다. 방전관(12)에는, 음극(20), 양극(30)이 소정간격을 가지고 대향 배치되어 있다.The short arc type discharge lamp 10 is a discharge lamp which can be used for a light source of an exposure apparatus (not shown) for forming a pattern, and has a discharge tube (light emitting tube) 12 made of transparent quartz glass. In the discharge tube 12, a cathode 20 and an anode 30 are disposed opposite to each other with a predetermined gap therebetween.

방전관(12)의 양측에는, 석영 유리제의 봉지관(13A, 13B)이 대향하도록 방전관(12)과 일체적으로 설치되고, 봉지관(13A, 13B)의 양단은, 꼭지쇠(14A, 14B)에 의해서 막혀 있다. 방전 램프(10)는, 여기에서는, 양극(30)이 상측, 음극(20)이 하측이 되도록 연직 방향을 따라서 배치되어 있다.The both ends of the sealing tubes 13A and 13B are provided on both sides of the discharge tube 12 with the vertexes 14A and 14B formed integrally with the discharge tube 12 so that the quartz glass sealing tubes 13A and 13B face each other, . Here, the discharge lamp 10 is arranged along the vertical direction so that the anode 30 is on the upper side and the cathode 20 is on the lower side.

봉지관(13A, 13B)의 내부에는, 금속성의 음극(20), 양극(30)을 지지하는 도전성의 전극 지지봉(17A, 17B)이 배설되고, 금속 링(도시하지 않음)과, 몰리브덴 등의 금속박(16A, 16B)을 개입시켜 도전성의 리드봉(15A, 15B)에 각각 접속된다. 봉지관(13A, 13B)은, 봉지관(13A, 13B) 내에 설치되는 유리관(도시하지 않음)과 용착되고, 이것에 의해서, 수은, 및 희가스를 봉입한 방전 공간(DS)이 봉지된다.Electrically conductive electrode support rods 17A and 17B for supporting the metallic cathode 20 and the anode 30 are disposed inside the sealing tubes 13A and 13B and are made of metal rings (not shown) and molybdenum Are connected to the conductive lead rods 15A and 15B through the metal foils 16A and 16B, respectively. The sealing tubes 13A and 13B are welded to glass tubes (not shown) provided in the sealing tubes 13A and 13B so that the discharge space DS sealed with mercury and rare gas is sealed.

리드봉(15A, 15B)은 외부의 전원부(도시하지 않음)에 접속되고, 리드봉(15A, 15B), 금속박(16A, 16B), 그리고 전극 지지봉(17A, 17B)을 개입시켜 음극(20), 양극(30)의 사이에 전압이 인가된다. 방전 램프(10)에 전력이 공급되면, 전극 간에 아크 방전이 발생하고, 수은에 의한 휘선(자외광)이 방사된다.The lead rods 15A and 15B are connected to an external power supply unit (not shown) and are connected to the cathode 20 via lead rods 15A and 15B, metal foils 16A and 16B, and electrode support rods 17A and 17B. , And the anode (30). When electric power is supplied to the discharge lamp 10, arc discharge occurs between the electrodes, and a bright line (ultraviolet light) by mercury is emitted.

도 2는, 음극의 개략적 단면도이다.2 is a schematic sectional view of a cathode.

음극(20)은, 음극 선단면(20S)을 갖는 금속 부재(선단측 부재)(22)와, 전극 지지봉(17A)과 연결하는 금속 부재(후단측 부재)(24)로 구성되어 있다. 원추 사다리꼴 형상의 금속 부재(22)는, 테이퍼 부분(축경부)(20A)을 갖는다. 금속 부재(24)는, 전극 지지봉(17A)과 접합하는 원주상 부분(24B)과, 금속 부재(22)와 접합하는 테이퍼 부분(축경부)(24A)을 갖는다. 선단측 부재(22)의 테이퍼 부분(22A)과 후단측 부재(24)의 테이퍼 부분(24A)에 의해서 음극(20)의 테이퍼 부분(축경부)(20A)이 구성된다.The cathode 20 is composed of a metal member (front end side member) 22 having a cathode front end face 20S and a metal member (rear end side member) 24 connected to the electrode supporting rod 17A. The truncated conical metal member 22 has a tapered portion (reduced diameter portion) 20A. The metal member 24 has a cylindrical portion 24B to be joined to the electrode support rod 17A and a tapered portion (reduced diameter portion) 24A to be joined to the metal member 22. The tapered portion 20A of the cathode 20 is constituted by the tapered portion 22A of the distal end side member 22 and the tapered portion 24A of the rear end side member 24. [

금속 부재(22)는, 여기에서는 텅스텐(W)에 토륨을 포함하게 한 토륨함유 텅스텐(Thoriated tungsten)을 소재로 한 전극으로서 구성되어 있다. 한편, 금속 부재(24)는, 금속 부재(22)보다 열팽창 계수의 큰 금속으로 구성되고, 여기에서는 몰리브덴(Mo)에 의해서 성형되고 있다. 몰리브덴으로 하는 것으로, 1개의 텅스텐재로 일체적으로 형성된 전극에 비해 중량이 가벼워지고, 내진성이 뛰어나다. 또, 금속 부재(22)는, 텅스텐을 주성분으로 하는 합금으로 성형하는 것도 가능하고, 순텅스텐으로 성형하는 것도 가능하다. 또, 금속 부재(24)는, 몰리브덴을 주성분으로 하는 합금으로 성형해도 괜찮다.The metal member 22 is formed as an electrode made of thorium-containing tungsten in which thorium is contained in tungsten (W). On the other hand, the metal member 24 is made of a metal having a thermal expansion coefficient larger than that of the metal member 22, and is formed of molybdenum (Mo) here. Molybdenum makes it lighter in weight than an electrode formed integrally with one tungsten material, and excellent in vibration resistance. The metal member 22 may be formed of an alloy containing tungsten as a main component and may be formed of pure tungsten. The metal member 24 may be formed of an alloy containing molybdenum as a main component.

토륨함유 텅스텐(Thoriated tungsten)으로 이루어지는 금속 부재(22)의 열팽창 계수는, 토륨의 함유량이 미소한 것으로부터(예를 들면, 2 wt% 이하,), 실질적으로 텅스텐의 열팽창 계수(약 4.4×10-6m/℃)로 동일하다. 한편, 몰리브덴으로 이루어지는 금속 부재(24)의 열팽창 계수는, 약 5.2×10-6m/℃가 되어, 금속 부재(24)의 열팽창 계수는, 금속 부재(22)의 열팽창 계수보다 크다.The thermal expansion coefficient of the metal member 22 made of thorium tungsten is substantially lower than that of tungsten because the content of thorium is small (for example, 2 wt% or less) -6 m / 占 폚). On the other hand, the thermal expansion coefficient of the metal member 24 made of molybdenum is about 5.2 10 -6 m / C, and the thermal expansion coefficient of the metal member 24 is larger than the thermal expansion coefficient of the metal member 22.

음극(20)은, 금속 부재(22, 24)를 접합하는 것에 의해서 성형되고, 여기에서는 방전 플라스마 소결(SPS)에 의해 제조되고 있다. 구체적으로는, 금속분체를 소결하여 고형화한 원주상 금속 소재(1122, 1124)(도 2 참조)를 준비하여, SPS 장치에 설치한다.The cathode 20 is formed by joining the metal members 22 and 24, and is manufactured here by discharge plasma sintering (SPS). Concretely, cylindrical metal materials 1122 and 1124 (see Fig. 2) solidified by sintering the metal powder are prepared and installed in the SPS apparatus.

SPS 장치에서는, 금속 소재(1122)의 평탄한 단면(접합측 단면)(1122S)과 금속 소재(1124)의 단면(1124S)을 밀접시키고, 금속 소재(1122)와 금속 소재(1124)의 양단을 가압하면서 전압을 걸어, 플라스마 방전에 의해서 금속 소재(1122, 1124)를 고상 접합시키다. 이 때의 전압치, 가압력, 가압 시간은, 전극 사이즈 등에 의해 정해진다.In the SPS apparatus, the flat end face (end face 1122S) of the metal material 1122 is brought into close contact with the end face 1124S of the metal material 1124 and the both ends of the metal material 1122 and the metal material 1124 are pressed And the metal materials 1122 and 1124 are solid-phase bonded by plasma discharge. The voltage value, the pressing force, and the pressing time at this time are determined by the electrode size and the like.

이 금속 소재(1122)와 금속 소재(1124)가, 각각 선단측의 금속 부재(22), 후단측의 금속 부재(24)가 된다.The metal material 1122 and the metal material 1124 serve as the metal member 22 on the front end side and the metal member 24 on the rear end side, respectively.

그리고, 고상 접합 후에 절삭 가공 등의 가공 처리를 가하는 것으로, 테이퍼 부분(20A)을 갖는 음극(20)이 형성된다. 음극(20)과, 텅스텐으로 이루어지는 양극(30)의 양극 선단면(30S)과의 사이의 전극간 거리(D)는, 음극(20)을 순텅스텐 혹은 텅스텐을 주성분으로 하는 합금만으로 성형하고, 다른 금속 부재를 접합하지 않고 음극(20)을 성형했을 경우에 정해지는 전극간 거리보다 길고, 그 전극간 거리(D)에 따라서 음극(20), 양극(30)이 대향 배치된다.After the solid-phase bonding, the cathode 20 having the tapered portion 20A is formed by applying processing such as cutting. The interelectrode distance D between the cathode 20 and the positive electrode tip end face 30S of the positive electrode 30 made of tungsten is obtained by forming the negative electrode 20 only from an alloy containing pure tungsten or tungsten as a main component, The cathode 20 and the anode 30 are opposed to each other in accordance with the distance D between the electrodes when the cathode 20 is formed without bonding the other metal members.

음극(20)의 접합면(S)은, 테이퍼 부분(20A)의 전극축(C)에 수직인 방향(여기에서는 90°)을 따라서 형성되고, 접합면(S) 전체에 걸쳐 틈새가 실질적으로 생기지 않는다. 즉, 금속 소재(1122, 1124)의 단면(1122S, 1124S)이 모두 평탄한 것으로부터, 미리 의도적으로 형성된 조면이나 요철 등에 기인하는 틈새가 접합면(S)에는 생기지 않는다. 또, 접합면(S)의 주연(QT)에도 틈새가 없게 고상 접합되고 있다.The bonding surface S of the cathode 20 is formed along the direction perpendicular to the electrode axis C of the tapered portion 20A (here, 90 deg.), And the gap across the bonding surface S is substantially It does not happen. That is, since the cross sections 1122S and 1124S of the metal materials 1122 and 1124 are all flat, there is no clearance on the joint surface S due to rough surfaces or irregularities formed intentionally beforehand. In addition, the periphery QT of the bonding surface S is solid-phase bonded without any gap.

이러한 음극(20)의 구조에 의해, 아크 방전의 휘점이동이 억제되어, 아크 방전의 안정화가 실현된다. 이것에 대해서, 이하 설명한다.By the structure of the cathode 20, the movement of the spot of the arc discharge is suppressed, and the stabilization of the arc discharge is realized. This will be described below.

도 3은, 램프 점등 중의 음극 선단부의 변형을 나타낸 도면이다.3 is a diagram showing deformation of the cathode tip portion during lamp lighting.

램프 점등 중, 금속 부재(22, 24)에는 모두 팽창하려고 하는 힘이 작용하지만, 금속 부재(24)보다 금속 부재(22)의 열팽창 계수가 작기 때문에, 금속 부재(24)의 전극축(C)에 따른 팽창력은, 접합면(S) 부근에서 저항을 받는다.Since the thermal expansion coefficient of the metal member 22 is smaller than that of the metal member 24 during the lamp lighting operation, the electrode shaft C of the metal member 24, Is subjected to a resistance in the vicinity of the joint surface (S).

한편, 상술한 것처럼 서로 평탄한 금속 소재 단면끼리를 맞대어 접합하고 있기 때문에 접합면(S)에는 응력이 작용하는 비교적 광대한 틈새, 공극이 생기지 않는다. 그 때문에, 접합면(S) 부근에서 생기는 열팽창의 응력은, 접합면(S)의 주연(QT)에 집중한다(화살표 참조).On the other hand, as described above, since flat metal material cross-sections are butted against each other, a relatively large gap or gap where stress acts on the joint surface S does not occur. Therefore, the stress of the thermal expansion occurring near the bonding surface S concentrates on the periphery QT of the bonding surface S (see arrows).

접합면(S)의 주연(QT)에 집중하는 응력은, 후단측의 금속 부재(24)의 테이퍼 표면(24A)에 작용하는 열팽창력이 상대적으로 큰 것 등에서, 선단측의 금속 부재(22)의 선단면 주연(20W)을 향해서 테이퍼 표면(22A)을 따라서 작용한다(화살표 참조). 그 결과, 선단면 주연(20W)이 솟아오르도록 변화한다. 특히, 접합면(S)이 음극(20)의 테이퍼 부분(20A)에 형성되어 있는 것으로, 테이퍼 표면(22A)을 따라서 작용하는 열팽창력이 보다 커진다.The stress concentrating on the peripheral edge QT of the joint surface S is a stress acting on the tapered surface 24A of the metal member 24 on the rear end side, And acts along the tapered surface 22A toward the leading end peripheral edge 20W of the tapered surface 20A (see arrows). As a result, the distal end peripheral edge 20W changes so as to rise. Particularly, since the joint surface S is formed in the tapered portion 20A of the cathode 20, the thermal expansion force acting along the tapered surface 22A becomes larger.

램프 점등 중의 음극 선단면(20S)은 매우 고온이 되기 때문에, 점등 시간이 누적하는데 따라 선단면 주연(20W)는 용융 등에 의해서 소모되고, 엣지 부분을 형성한 선단면 주연(20W)이 변형하여, 둥글림을 띈다. 그렇지만, 접합면(S) 부근에서 선단면 주연(20W) 부근으로 향한 힘이 램프 점등 중 작용함으로써, 선단면 주연(20W)에서는, 램프 점등 초기에 가까운 엣지 형상이 장기간 유지된다.The cathode end face 20S during lamp lighting becomes extremely high and therefore the leading edge peripheral edge 20W is consumed by melting or the like as the lighting time accumulates and the leading edge peripheral edge 20W formed with the edge portion is deformed, It is rounded. However, an edge shape close to the initial stage of lamp lighting is maintained for a long period of time at the front end edge periphery 20W, because a force directed toward the periphery of the front end face 20W in the vicinity of the joint surface S acts during lamp lighting.

도 3에는, 램프 점등 시간이 소정 시간 경과했을 때의 선단면 주연(20W)의 형상을 파선(CR2)으로 나타내 보이고 있다. 또, 1개의 금속 소재(텅스텐 등)로 음극을 형성했을 때의 선단면 주연(20W)의 형상을 파선(CR1)으로 나타내 보이고 있다. 선단면(20S)의 전극축(C)으로부터 둥글림을 띠기 시작하는 위치까지의 거리를 “ST”로 나타내면, 거리(ST)는 1개의 금속재료로 이루어지는 음극에서의 거리와 비교해서 길어지고, 또, 모퉁이의 떨어지는 방법이 완만하게 된다. 그 때문에, 아크의 휘점이동이 저감하여, 조도가 안정화 한다.3, the shape of the peripheral edge 20W of the front end face when the lamp lighting time has passed a predetermined time is shown by the broken line CR2. The shape of the leading edge peripheral edge 20W when the negative electrode is formed of one metal material (such as tungsten) is shown by the broken line CR1. When the distance from the electrode axis C of the distal end face 20S to the position where the electrode starts to be rounded is represented by " ST ", the distance ST is longer than the distance in the cathode made of one metal material, In addition, the way the corner falls becomes gentle. Therefore, the movement of the spot of the arc is reduced, and the illuminance is stabilized.

한편, 램프를 장시간 점등시키면, 금속 부재(22)와 금속 부재(24)의 열팽창 계수의 차이로부터, 전극 선단면(20S)은 양극(30)으로 상승하고, 전극간 거리가 짧아진다.On the other hand, when the lamp is turned on for a long time, the electrode front end face 20S rises to the anode 30 from the difference in thermal expansion coefficient between the metal member 22 and the metal member 24, and the distance between the electrodes becomes short.

그렇지만, 미리 설정한 전극간 거리(D)가, 실질적 동사이즈, 동형상이며 1개의 금속 소재로 음극(20)을 성형했을 경우의 전극간 거리보다 길게 설정되어 있기 때문에, 램프 점등 시간이 장시간에 이르는데 수반하여 아크 방전이 불안정하게 될 수는 없다.However, since the predetermined interelectrode distance D is set to be substantially the same size and the same copper shape and longer than the interelectrode distance when the cathode 20 is formed of one metal material, the lamp lighting time is set to be longer So that the arc discharge can not be made unstable.

또한, 복수의 금속 부재를 접합시켜 음극을 형성했을 경우에도, 후단측의 금속 부재의 열팽창 계수가 선단측의 금속 부재의 열팽창 계수보다 크지 않은 경우에는, 종래와 같은 전극간 거리 혹은 그것보다 짧은 전극간 거리를 정한다.When the thermal expansion coefficient of the metal member on the rear end side is not larger than the thermal expansion coefficient of the metal member on the tip end side even when a plurality of metal members are joined to form a negative electrode, Determine the distance between the two.

또한, 금속 부재(22)의 축 방향 높이(H)는, 통상의 쇼트 아크형 방전 램프(10)의 음극 사이즈(예를 들면, 세로 42mm, 가로 20mm)를 기준으로 했을 경우, 2mm 이상으로 하는 것이 좋다. 이것은, 램프 점등 중 금속 부재(22)가 1mm 이상 소모하는 것이 많아, 축 방향 높이(H)가 2mm보다 짧은 경우, 접합면의 주연부분 등이 노출해 버릴 우려가 있기 때문이다.The height H in the axial direction of the metal member 22 is set to be 2 mm or more when the cathode size (for example, 42 mm in length, 20 mm in width) of a typical short arc type discharge lamp 10 is taken as a reference It is good. This is because metal members 22 are often consumed by 1 mm or more during lamp lighting, and when the height H in the axial direction is shorter than 2 mm, the periphery of the joint surface may be exposed.

접합면이 노출하면, 선단면 주연(20W)을 밀어 올리려고 하는 힘이 충분히 작용하지 않게 된다. 보다 바람직하게는, 축 방향 높이(H)를 3mm 이상으로 하는 것이 좋다.When the joint surface is exposed, a force for pushing up the leading edge peripheral edge 20W is not sufficiently applied. More preferably, the axial height H is 3 mm or more.

이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 음극(20), 양극(30)을 구비하는 쇼트 아크형 방전 램프(10)에서, 토륨함유 텅스텐(Thoriated tungsten)으로 이루어지는 금속 부재(22)와, 금속 부재(22)보다 열팽창 계수의 큰 몰리브덴으로 이루어지는 금속 부재(24)를 고상 접합하는 것에 의해서, 접합면(S)이 테이퍼 부분(20A)의 전극축 수직 방향을 따라서 형성된 음극(20)을 형성한다.As described above, according to the present embodiment, in the short arc type discharge lamp 10 having the cathode 20 and the anode 30, the metal member 22 made of thorium-containing tungsten and the metal member 22 The metal member 24 made of molybdenum having a thermal expansion coefficient larger than that of the metal member 24 is solid-phase bonded to form the cathode 20 having the junction surface S formed along the direction perpendicular to the electrode axis of the tapered portion 20A.

다음으로, 도 4를 이용하여, 제2 실시 형태에 대해 설명한다. 제2 실시 형태에서는, 접합면 주연 부근에서 휨부가 형성되어 있다. 그 이외의 구성에 대해서는, 실질적으로 제1 실시 형태와 같다.Next, a second embodiment will be described with reference to Fig. In the second embodiment, the bent portion is formed near the periphery of the joint surface. Other configurations are substantially the same as those of the first embodiment.

도 4는, 제2 실시 형태에서의 음극의 접합면 부근(도 2의 부호 Q 참조)의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the vicinity of the joint surface of the negative electrode (see reference character Q in Fig. 2) in the second embodiment.

음극(20＇)은, 선단측의 금속 부재(22＇)와, 후단측의 금속 부재(24＇)로 구성되고, 접합면(S)이 전극축(C)의 수직 방향을 따라서 형성되어 있다. 또한, 금속 부재(22＇)에는, 접합면 주연(QT) 부근에서, 테이퍼 표면(22A＇)으로부터 멀어지도록 휨부(25)가 형성되고 있다.The cathode 20 'is composed of the metal member 22' on the tip end side and the metal member 24 'on the rear end side and the junction surface S is formed along the vertical direction of the electrode axis C . The metal member 22 'is formed with a bent portion 25 in the vicinity of the bonding surface periphery QT so as to be away from the tapered surface 22A'.

휨부(25)는, 접합면(S)의 주연(QT) 전체에 걸쳐 형성되고, 고상 접합 후에 절삭 가공하는 것에 의해서 형성 가능하다. 또, 고상 접합시에 휨부가 형성되도록 가열 온도, 가압력, 가압 시간 등을 조정해도 괜찮다. 또, 부분적으로 접합면(S)의 주연(QT)에 휨부(25)를 형성해도 좋다. 또한, 절삭 가공 대신에, 단조에 의해서 휨부(25)를 형성하는 것도 가능하고, 또, 쇼트 아크형 방전 램프(10)의 점등시에서의 금속 부재(24＇)의 열팽창력으로 형성해도 좋다.The bending portion 25 is formed over the entire circumference QT of the bonding surface S and can be formed by cutting after solid-phase bonding. Further, the heating temperature, pressing force, pressing time, and the like may be adjusted so as to form a bent portion at the time of solid-state bonding. It is also possible to partially form the bent portion 25 on the peripheral edge QT of the joint surface S. [ Instead of the cutting process, the bent portion 25 may be formed by forging, or may be formed by the thermal expansion force of the metal member 24 'at the time of lighting the discharge lamp 10 of the short arc type.

이와 같이 휨부(25)를 형성함으로써, 램프 점등 중에 테이퍼 표면(22A＇)을 따라서 금속 부재(22＇)를 밀어 올리려고 하는 응력이 휨부(25)에 걸리고, 휨부(25)의 변형하려고 하는 힘이, 선단면 단부의 엣지 형상을 유지하는 것에 연결된다(화살표 참조).By forming the bent portion 25 in this manner, stress that tends to push the metal member 22 'along the tapered surface 22A' during the lamp lighting is caught by the bent portion 25 and the force to deform the bent portion 25 (See arrows) to maintain the shape of the edges of the front end face portion.

그 결과, 아크 방전의 휘점이동이 억제되어, 아크 방전이 안정된다.As a result, the movement of the spots of the arc discharge is suppressed, and the arc discharge is stabilized.

또한, 여기에서는, 금속 부재(22＇)의 접합면측 단부가, 선단측의 금속 부재(22＇)로부터 후단측의 금속 부재(24＇)를 향해서 휘어지고 있는 구성이지만, 휘어지지 않아도 상관하지 않고, 테이퍼 표면(22A＇)으로부터 멀어지는 방향(전극 외측 방향)으로 연장되는 연장부를 마련하는 구성이면 좋다. 또, 도 4에서는, 주연(QT)에서, 접합면이 노출하도록 쐐기 모양의 틈새가 형성되고 있지만, 밀어 올리는 것을 고려하면 이것은 없어도 좋다.In this embodiment, the end surface of the metal member 22 'on which the joint surface is bent is bent toward the metal member 24' on the rear end side from the metal member 22 'on the tip end side. However, And an extending portion extending in a direction away from the tapered surface 22A '(electrode outer direction) may be provided. In Fig. 4, a wedge-shaped gap is formed so that the joint surface is exposed at the periphery QT, but this may not be necessary in consideration of push-up.

다음으로, 도 5를 이용하여, 제3 실시 형태인 방전 램프에 대해 설명한다. 제3 실시 형태에서는, 선단측의 금속 부재의 접합면 부근이, 후단측의 금속 부재에 의해서 덮여 있다.Next, a discharge lamp according to a third embodiment will be described with reference to FIG. In the third embodiment, the vicinity of the joint surface of the metal member on the tip end side is covered with the metal member on the rear end side.

도 5는, 제3 실시 형태에서의 음극의 접합면 부근의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of the vicinity of the joint surface of the cathode in the third embodiment.

음극(120)은, 선단측의 금속 부재(122)와, 후단측의 금속 부재(124)로 구성되고, 접합면(S)이 전극축(C)의 수직 방향을 따라서 형성되어 있다. 또한, 금속 부재(124)의 접합면 주연(QT) 부근의 부분(125)은, 접합면 주연(QT)를 덮고 있다.The cathode 120 is composed of a metal member 122 on the tip end side and a metal member 124 on the rear end side and the joint surface S is formed along the vertical direction of the electrode axis C. The portion 125 of the metal member 124 near the bonding surface periphery QT covers the bonding surface periphery QT.

이러한 형상은, 고상 접합시의 가열 온도, 가압력, 가압 시간 등을 조정하는 것에 의해서 형성할 수 있다. 혹은, 금속 부재(124)를 구성하는 금속 소재의 주연부에 요부(凹部)를 설치하고, 금속 부재(122)를 구성하는 금속 소재를 삽입한 후에 고상 접합하는 것도 가능하다. 또, 절삭 가공에 의해서 형성해도 좋다.This shape can be formed by adjusting the heating temperature at the time of solid phase bonding, the pressing force, the pressing time, and the like. Alternatively, a concave portion may be provided in the peripheral portion of the metal material constituting the metal member 124, and the metal material constituting the metal member 122 may be inserted, followed by solid-state bonding. It may be formed by cutting.

이와 같이 접합면 주연(QT)이 금속 부재(124)에 덮이는 것으로, 램프 점등 중에 테이퍼 표면(122A)을 따라서 금속 부재(122)를 밀어 올리려고 하는 힘이 전해지고(화살표 참조), 선단면 단부의 엣지 형상이 유지되어, 아크 휘점이동이 억제된다. 또, 접합면 주연(QT)의 일부를 가리도록 해도 괜찮다.The contact surface periphery QT is covered with the metal member 124 so that a force for pushing up the metal member 122 along the tapered surface 122A is transmitted during lamp lighting The edge shape of the end portion is maintained, and the movement of the arc spot is suppressed. It is also possible to cover a part of the bonding surface periphery QT.

제1~제3 실시 형태에서는, 다른 금속을 고상 접합하는 것에 의해서 음극을 형성하고 있지만, 양극에 대해서도와 동일하게 구성해도 괜찮다. 또, 양극만을 고상 접합에 의해서 형성해도 좋다. 선단측의 금속 부재와 후단측의 금속 부재는, 토륨함유 텅스텐(Thoriated tungsten), 몰리브덴으로 한정되지 않고, 후단측의 금속 부재의 열팽창 계수가 커지도록, 예를 들면 탄탈 등의 금속 소재 혹은 금속 이외의 소재를 이용하여 전극을 형성하는 것이 가능하다.In the first to third embodiments, the negative electrode is formed by solid-phase bonding other metals, but the positive electrode may be formed in the same manner as the positive electrode. Alternatively, only the positive electrode may be formed by solid phase bonding. The metal member on the tip end side and the metal member on the rear end side are not limited to thoriated tungsten and molybdenum but may be made of a metal material such as tantalum or a metal material other than metal It is possible to form the electrode using the material of the electrode.

전극 선단부를 밀어 올리는 팽창력이 작용하는 것을 고려하여, 선단측 금속 부재와 후단측 금속 부재와의 사이에 인서트재를 사이에 두어, 접합면 간의 밀착화를 해도 괜찮다. 인서트재는, 예를 들면, 레니움, 탄탈, 몰리브덴, 또는 이러한 합금을 이용하는 것이 가능하다. 또, 접합면에 대해서는, 전극 축에 대해 엄밀하게 수직이 아니어도 좋고, 대략 수직 방향을 따라서 있으면 좋다.The insert member may be placed between the front end side metal member and the rear end side metal member so as to be brought into close contact with each other in consideration of the fact that an expansion force for pushing up the electrode front end portion acts. As the insert material, it is possible to use, for example, rhenium, tantalum, molybdenum, or such an alloy. Further, the joint surface may not be strictly perpendicular to the electrode axis, but may be along the substantially vertical direction.

접합 방법으로서는, 고상 접합 이외의 확산 접합을 적용해도 좋고, 또, 레이저 용접 등 확산 접합 이외의 접합 방법을 적용하는 것도 가능하다. 또한, 쇼트 아크형 방전 램프 이외의 방전 램프에도 적용 가능하다.As the joining method, a diffusion joining other than the solid-phase joining may be applied, or a joining method other than the diffusion joining such as laser welding may be applied. It is also applicable to a discharge lamp other than a short arc type discharge lamp.

제1~제3 실시 형태에서는, 접합면이 전극축 수직 방향을 따라서 전극 테이퍼 부분에 형성되고 있지만, 테이퍼 부분 이외의 부분에 형성하는 것도 가능하다. 이 경우에도, 전극 선단면 주연 부근의 형상이 유지되어, 조도가 안정화 한다. 또, 제1~제3 실시 형태에서는, 전극을 테이퍼 형상으로 했지만, 이른바 포탄형의 원호형상이어도 괜찮다. 또한, 접합면을 테이퍼 부분에 형성되는 것을 나타냈지만, 원주상 부분에 형성해도 좋다.Although the bonding surfaces are formed in the electrode tapered portions along the direction perpendicular to the electrode axis in the first to third embodiments, they may be formed at portions other than the tapered portions. In this case also, the shape of the periphery of the edge of the end face of the electrode wire is maintained, and the illuminance is stabilized. In the first to third embodiments, the electrode is formed in a tapered shape, but a so-called arc-shaped arc shape may be used. Although the bonding surface is shown as being formed on the tapered portion, it may be formed on the circumferential portion.

이하, 도 6을 이용하여, 본 발명의 실시예를 설명한다. 여기에서는, 제1 실시 형태에 대응하는 방전 램프에 관해, 전극 선단 형상의 변화를 시뮬레이션에 의해서 검증했다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, with respect to the discharge lamp corresponding to the first embodiment, the change in the electrode tip shape was verified by simulation.

본 실시예의 방전 램프는, 선단측 금속 부재를 토륨함유 텅스텐(Thoriated tungsten), 후단측 금속 부재를 몰리브덴으로 구성한 음극에 의해서 구성되고, 2개의 금속 부재는 SPS 접합에 의해서 접합되고 있다. SPS 접합 장치에는, SPS 신텍스 주식회사제의 SPS 장치를 사용하고, 진공 분위기의 조건하에서, 압력 45MPa를 금속 부재 양측에서 더하고, 접합면 부근의 소결 온도 1500℃을 10분간 보관 유지하고, 고상 접합을 실시했다.In the discharge lamp of this embodiment, the tip-side metal member is made of thorium-containing tungsten and the rear-end metal member is made of molybdenum, and the two metal members are joined by SPS bonding. A SPS device manufactured by SPS Syntex Co., Ltd. was used for the SPS bonding apparatus, and a pressure of 45 MPa was added at both sides of the metal member under a vacuum atmosphere. The sintering temperature near the bonding surface was maintained at 1500 캜 for 10 minutes, did.

선단측 금속 부재의 축 방향 길이는 3mm, 음극의 직경을 20mm, 전체 길이를 42mm가 되는 음극을 모델화하고, 전력 12.5 kW로 상정한 열량에 근거하고, 계산기에 의한 방전 램프 점등시에 접합면 부근에 걸리는 응력의 시뮬레이션을 실시하였다. 시뮬레이션의 결과, 방전 램프의 점등 중, 접합면의 가장자리에 응력이 집중되고, 접합면 부근으로 솟아오르는 형상이 되어 있는 것이 확인되었다.The length of the tip metal member was 3 mm, the diameter of the cathode was 20 mm, and the total length was 42 mm. The cathode was modeled, and based on the calorie assumed at a power of 12.5 kW, The stresses were simulated. As a result of the simulation, it was confirmed that, during lighting of the discharge lamp, the stress concentrated on the edge of the joint surface and rose to the vicinity of the joint surface.

실시예 2에서는, 선단측 금속 부재의 축 방향 길이를 3mm, 5mm, 7mm로 한 3 종류의 음극을 모델화하고, 방전 램프의 점등시의 온도 분포를 재현하여, 점등 중의 전극 선단의 변위량(팽창량)을 계산하였다. 여기서의 변위량은, 전극 선단의 중심의 변위량을 기준(100%)으로 했을 때의 전극축으로부터의 거리(도 3의 부호 ST 참조)에 대한 형상 변화량(도 3의 부호 G 참조)을 나타낸다. 또, 선단측 금속 부재의 축 방향 길이 이외는, 상기 실시예 1과 같은 사양이다. 비교예로서는, 금속 부재끼리를 접합하지 않고 텅스텐만으로 일체적으로 형성된 음극(축 방향 길이 42mm)을 채용했다.In Example 2, three kinds of cathodes having axial lengths of 3 mm, 5 mm, and 7 mm in the axial direction of the tip side metal member were modeled and the temperature distribution at the time of lighting the discharge lamp was reproduced to determine the amount of displacement ) Were calculated. The amount of displacement herein refers to the amount of change in shape (see the symbol G in Fig. 3) with respect to the distance from the electrode axis (refer to reference character ST in Fig. 3) when the displacement amount of the center of the electrode tip is set as a reference (100%). Other than the length in the axial direction of the tip side metal member, the same specifications as those of the first embodiment are given. As a comparative example, a negative electrode (42 mm in axial direction) formed integrally with only tungsten without joining metal members was employed.

도 6은, 전극 선단부의 변위량을 그래프화한 도면이다.6 is a graph showing the amount of displacement of the electrode tip portion.

도 6에 나타내는 대로, 본 발명인 선단측 금속 부재의 축 방향 길이를 3mm, 5mm, 7mm로 한 3 종류의 음극의 선단 변위량(비율)이, 종래품과 비교해서 큰 것을 알 수 있다. 말하자면, 전극 선단의 형상을 유지하면서 소모하게 된다. 따라서, 아크 방전이 안정되어, 아크의 휘점이동이 저감 된다.As shown in Fig. 6, it can be seen that the amount of tip displacement (ratio) of the three kinds of cathodes having the axial lengths of 3 mm, 5 mm, and 7 mm of the tip side metal member of the present invention is larger than that of the conventional product. In other words, it consumes while maintaining the shape of the tip of the electrode. Therefore, the arc discharge is stabilized, and the movement of the arc spot is reduced.

10 쇼트 아크형 방전 램프
12 방전관
20 음극
20A 테이퍼 부분(축경부)
22 금속 부재(선단측 부재)
24 금속 부재(후단측 부재)
30 양극
C 전극축
S 접합면
QT 접합면 주연10 Short arc discharge lamp
12 discharge tube
20 cathode
20A Tapered part (Axial part)
22 Metal member (front end side member)
24 metal member (rear end side member)
30 Anode
C electrode axis
S abutment surface
QT bond surface

Claims (10)

방전관과,
상기 방전관 내에 배치되는 한 쌍의 전극을 구비하고,
적어도 일방의 전극이, 축경부를 갖고, 그리고, 접합측 단면이 평탄한 선단측 부재와,
상기 선단측 부재보다 열팽창 계수가 크고, 접합측 단면이 평탄한 후단측 부재를 접합시키는 것에 의해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
A discharge tube,
And a pair of electrodes disposed in the discharge tube,
Wherein at least one of the electrodes has a reduced diameter portion and a front end side member having a flat cross-
And a rear end side member having a thermal expansion coefficient larger than that of the front end side member and flattened at the joining end face.
제1항에 있어서,
상기 후단측 부재와 상기 선단측 부재와의 접합면이, 상기 축경부에서, 전극축 수직 방향을 따라서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
The method according to claim 1,
Wherein a junction surface between the rear end side member and the front end side member is formed along the vertical direction of the electrode axis at the reduced diameter portion.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선단측 부재에서, 상기 축경부의 표면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 연장부가, 접합면 주연 부근에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein an extended portion extending in a direction away from the surface of the reduced diameter portion in the distal end side member is formed in the vicinity of the periphery of the bonding surface.
제3항에 있어서,
상기 연장부가, 상기 선단측 부재의 접합면 주연 부근에 형성된 휘어진 상태 부분인 것을 특징으로 하는 방전 램프.
The method of claim 3,
Wherein the extending portion is a bent portion formed near a periphery of a joint surface of the front end side member.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 후단측 부재의 접합면 주연 부근의 부분이, 상기 선단측 부재의 접합면 주연을 덮는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
And a portion near the periphery of the joint surface of the rear end side member covers the periphery of the joint surface of the front end side member.
제1항 또는 제2항에 있어서,
램프 점등시의 상기 한 쌍의 전극에 대한 전극간 거리가, 1개의 소재로 일체적으로 형성된 전극, 혹은 복수의 소재로 후단측 부재의 열팽창 계수가 선단측 부재의 열팽창 계수보다 크지 않은 전극에 대해서 정해지는 소정의 전극간 거리보다, 긴 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
An electrode formed integrally with one electrode of the pair of electrodes at the time of lamp lighting or an electrode having a thermal expansion coefficient of the rear end side member not larger than a thermal expansion coefficient of the front end side member Wherein the predetermined distance between electrodes is longer than a predetermined distance between electrodes.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선단측 부재와 상기 후단측 부재가, 모두 고체 부재이며,
상기 선단측 부재와 상기 후단측 부재를 고상 접합하는 것에 의해서 전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
The front end side member and the rear end side member are both solid members,
And an electrode is formed by solid-state bonding the front end side member and the rear end side member.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선단측 부재가, 텅스텐 또는 텅스텐을 주성분으로 하는 합금이며,
상기 후단측 부재가, 몰리브덴 또는 몰리브덴을 주성분으로 하는 합금인 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the tip side member is an alloy containing tungsten or tungsten as a main component,
Wherein the rear end side member is an alloy containing molybdenum or molybdenum as a main component.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 방전 램프가, 쇼트 아크형 방전 램프이며,
상기 선단측 부재의 축 방향 길이가, 2mm 이상인 것을 특징으로 하는 방전 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the discharge lamp is a short arc type discharge lamp,
Wherein the axial length of the tip side member is 2 mm or more.
접합측 단면이 평탄한 선단측 부재와, 상기 선단측 부재보다 열팽창 계수가 크고, 접합측 단면이 평탄한 후단측 부재를 성형하고,
상기 선단측 부재와 상기 후단측 부재를 접합측 단면에서 접촉시켜, 소정의 가압력으로 상기 선단측 부재와 상기 후단측 부재를 양측에서 가압하면서 통전하고,
단조 혹은 절삭 가공에 의해 축경 부분을 형성하는 것에 의해서, 적어도 일방의 전극을 제조하는 것을 특징으로 하는 방전 램프의 제조 방법.Side member having a flat cross-section on the joining side and a rear-side member having a larger thermal expansion coefficient and a flat cross-section on the joining side than the above-
Side member and the rear-end-side member are brought into contact with each other at a joining-side end face so that the front-end side member and the rear-end side member are energized while being pressed at both sides with a predetermined pressing force,
Characterized in that at least one of the electrodes is manufactured by forming a diameter-reduced portion by forging or cutting.
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