KR20160016462A - Semiconductor package and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LED 다이 등과 같은 다양한 반도체 칩과 능동 소자 등을 캐비티(cavity) 영역에 실장하여 하나의 패키지로서 제작하는데 적합한 반도체 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a semiconductor package suitable for fabricating various semiconductor chips such as an LED die and an active element in a cavity region as a single package, and a manufacturing method thereof.
잘 알려진 바와 같이, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드 등과 같은 휴대 기기들에는 위치적으로 근접하면서도 물리적으로 격리가 필요한 반도체 디바이스들이 존재할 수 있다. 예컨대, LED 다이와 포토다이오드를 하나의 반도체 패키지로서 제작하고자 할 때, 두 소자 간을 광학적으로 분리(격리)하는 것이 필요하다.As is well known, portable devices such as cell phones, smart phones, smart pads, etc. may have semiconductor devices that are physically located close proximity to one another. For example, when an LED die and a photodiode are to be fabricated as a single semiconductor package, it is necessary to optically separate (isolate) between the two elements.
이를 위해, 종래에는 세라믹 기판 상에 두 개의 캐비티를 형성한 후 하나의 캐비티에 LED 다이를 부착하고, 다른 하나의 캐비티에 포토다이오드를 부착하고, 그 상부에 메탈 리드를 접착하는 방식으로 반도체 패키지를 제작하였다.For this purpose, conventionally, two cavities are formed on a ceramic substrate, an LED die is attached to one cavity, a photodiode is attached to another cavity, and a metal lead is attached to the cavity. Respectively.
그러나, 종래의 반도체 패키지는 세라믹 기판의 특성으로 인해 제작이 어렵다는 문제와 저가격화가 곤란하다는 문제가 있으며, 또한 메탈리드에 신호라인(예컨대, 비아 등)을 형성할 수 없다는 단점을 갖는다.
However, the conventional semiconductor package has a disadvantage that it is difficult to manufacture due to the characteristics of the ceramic substrate and that it is difficult to reduce the cost, and also that a signal line (for example, a via) can not be formed in the metal lead.
본 발명은, 캐비티를 갖는 다층 기판 구조를 이용하여 두 전자 소자 간을 광학적으로 격리시키는 반도체 패키지를 제공함으로써, 제작의 간소화 및 저가격화를 실현할 수 있는 새로운 반도체 패키지 및 그 제법을 제안하고자 한다.The present invention proposes a new semiconductor package and a manufacturing method thereof that can simplify fabrication and reduce cost by providing a semiconductor package that optically isolates two electronic devices using a multilayer substrate structure having a cavity.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 해결하고자 하는 과제는 아래의 기재들로부터 본 발명이 속하는 통상의 지식을 가진 자에 의해 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The problems to be solved by the present invention are not limited to those mentioned above, and another problem to be solved by the present invention can be clearly understood by those skilled in the art from the following description will be.
본 발명은, 일 관점에 따라, 하부 기판과, 상기 하부 기판 상의 일측 영역에 부착된 제 1 전자 소자와, 상기 하부 기판 상의 타측 영역에 부착된 제 2 전자 소자와, 상단 개방형의 제 1 캐비티를 통해 상기 제 1 전자 소자가 수납되고, 상단 개방형의 제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자가 수납되는 형태로 상기 하부 기판 상에 접착된 상부 기판을 포함하는 반도체 패키지를 제공한다.According to one aspect of the present invention, there is provided an electronic device comprising a lower substrate, a first electronic element attached to one side region of the lower substrate, a second electronic element attached to the other side region of the lower substrate, And an upper substrate bonded to the lower substrate in such a manner that the first electronic device is received through the first cavity and the second electronic device is received through a second open cavity of the upper cavity.
본 발명은, 다른 관점에 따라, 하부 기판의 일측 영역과 타측 영역에 제 1 전자 소자와 제 2 전자 소자를 각각 부착하는 과정과, 상기 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티와 상기 제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티가 격리 형태로 형성된 상부 기판을 준비하는 과정과, 상기 하부 기판의 접착 영역에 접착제를 도포하는 과정과, 상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되고, 상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 상부 기판을 상기 접착 영역에 접착시키는 과정을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: attaching a first electronic device and a second electronic device to one side region and another side region of a lower substrate; The method comprising the steps of: preparing an upper substrate having an open-ended second cavity for accommodating the second electronic element; applying an adhesive to the adhesive region of the lower substrate; And bonding the upper substrate to the bonding region by aligning the second electronic element to be housed in the first cavity and the second electronic element to be housed in the second cavity.
본 발명은, 또 다른 관점에 따라, 하부 기판과, 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 제 1 캐비티가 형성되어 상기 하부 기판 상에 접착된 하부 수납 기판과, 하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착되어 상기 제 1 캐비티에 수납되는 형태로 상기 하부 수납 기판 상에 접착된 중간 기판과, 상기 중간 기판의 상부에 부착된 제 2 전자 소자와, 제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자를 수납하는 형태로 상기 중간 기판 상에 접착된 상부 수납 기판과, 상기 상부 수납 기판 상에 접착된 상부 기판을 포함하는 반도체 패키지를 제공한다.According to a still further aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising a lower substrate, a lower storage substrate formed with a first cavity for receiving the first electronic element and bonded on the lower substrate, and a first electronic element An intermediate substrate adhered on the lower accommodating substrate in a form housed in the first cavity, a second electronic element attached to the upper portion of the intermediate substrate, and a second electronic element accommodated in the second cavity through the second cavity An upper storage substrate adhered on the intermediate substrate, and an upper substrate bonded on the upper storage substrate.
본 발명은, 또 다른 관점에 따라, 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티가 형성되어 있는 하부 수납 기판을 준비하는 과정과, 하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착된 중간 기판을 준비하는 과정과, 상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 하부 수납 기판 상에 상기 중간 기판을 접착하여 1층 구조물을 제작하는 과정과, 제작된 상기 1층 구조물을 준비된 하부 기판에 접착하는 과정과, 상기 중간 기판의 상부에 제 2 전자 소자를 부착하는 과정과, 제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티가 형성되어 있는 상부 수납 기판을 준비하는 과정과, 상기 상부 수납 기판의 상부에 상부 기판을 접착하여 2층 구조물을 제작하는 과정과, 상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 2층 구조물을 상기 중간 기판 상에 접착하는 과정을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: preparing a lower storage substrate having a first cavity having both open ends for housing a first electronic device; Preparing a one-layer structure by aligning the first electronic elements so as to be housed in the first cavity and adhering the intermediate substrate to the lower housing substrate to form a one-layer structure; A process of attaching a second electronic device to an upper portion of the intermediate substrate, a process of preparing an upper storage substrate having a second cavity of both ends open for accommodating a second electronic device, A step of attaching an upper substrate to an upper part of the upper housing substrate to form a two-layer structure, a step of positioning the second electronic element in the second cavity, And bonding the two-layer structure to the intermediate substrate by aligning the two-layer structure.
본 발명은, 또 다른 관점에 따라, 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 제 1 캐비티가 형성되어 있는 하부 수납 기판과, 하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착되어 상기 제 1 캐비티에 수납되는 형태로 상기 하부 수납 기판 상에 접착된 하부 기판과, 상기 하부 기판의 상부에 각각 부착된 제 2 및 제 3 전자 소자와, 제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자를 격리 수납하고, 제 3 캐비티를 통해 상기 제 3 전자 소자를 격리 수납하는 형태로 상기 하부 기판 상에 접착된 상부 수납 기판과, 상기 상부 수납 기판 상에 접착된 상부 기판을 포함하는 반도체 패키지를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic device comprising: a lower housing substrate on which a first cavity for housing a first electronic device is formed; and a second housing on which the first electronic device is mounted, A second substrate, a second substrate, a second substrate, a second substrate, a second substrate, a second substrate, and a second substrate, And an upper substrate bonded on the upper storage substrate, wherein the upper storage substrate is bonded to the lower substrate in a form of isolating and storing the third electronic device.
본 발명은, 또 다른 관점에 따라, 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티가 형성되어 있는 하부 수납 기판을 준비하는 과정과, 하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착된 하부 기판을 준비하는 과정과, 상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 하부 기판 상에 상기 하부 수납 기판을 접착하여 1층 구조물을 제작하는 과정과, 상기 하부 기판의 상부에 제 2 전자 소자와 제 3 전자 소자를 각각 부착하는 과정과, 상기 제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티와 상기 제 3 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 3 캐비티가 격리 형태로 형성된 상부 수납 기판을 준비하는 과정과, 상기 상부 수납 기판의 상부에 상부 기판을 접착하여 2층 구조물을 제작하는 과정과, 상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되고 상기 제 3 전자 소자가 상기 제 3 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 2층 구조물을 상기 하부 기판 상에 접착하는 과정을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법을 제공한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: preparing a lower receiving substrate having a first cavity of both open ends for receiving a first electronic device; Aligning the first electronic device so that the first electronic device is housed in the first cavity and adhering the lower housing substrate on the lower substrate to manufacture a one-layer structure; A step of attaching an electronic element and a third electronic element to each other; forming a second cavity of both ends for accommodating the second electronic element and a second cavity of both end openings for accommodating the third electronic element in an isolated form Preparing an upper storage substrate; bonding a top substrate to an upper portion of the upper storage substrate to manufacture a two-layer structure; It is received in the second cavity group and the third electronic component to the alignment position to be received in the third cavity is provided a method of manufacturing a semiconductor package comprising the step of bonding the second layered structure on the lower substrate.
본 발명은, 캐비티를 갖는 다층 기판 구조를 이용하여 두 전자 소자 간을 광학적으로 격리시킴으로써, 반도체 패키지의 제작 공정을 간소화할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 패키지의 저가격화를 실현할 수 있다.By optically isolating the two electronic devices using a multi-layer substrate structure having cavities, the present invention can simplify the fabrication process of the semiconductor package and realize the cost reduction of the semiconductor package.
또한, 본 발명은, 캐비티의 측벽에 비아를 형성함으로써, 반도체 패키지의 기능적 신뢰도를 증진시킬 수 있을 뿐만 아니라 반도체 패키지의 적용 확장성을 확보할 수 있다.
Further, according to the present invention, by forming a via in the side wall of the cavity, not only the functional reliability of the semiconductor package can be improved but also the application expandability of the semiconductor package can be secured.
도 1a는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 제 1 실시 예의 변형 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 2a 내지 2d는 본 발명의 제 1 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 제 2 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.
도 6a 내지 6f는 본 발명의 제 3 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.1A is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
1B is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a modified embodiment of the first embodiment of the present invention.
FIGS. 2A to 2D are process flow diagrams illustrating a main process for fabricating a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
4A to 4G are process flow diagrams illustrating a main process of manufacturing a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
6A to 6F are process flowcharts showing a main process of manufacturing a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
먼저, 본 발명의 장점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 여기에서, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 범주를 명확하게 이해할 수 있도록 하기 위해 예시적으로 제공되는 것이므로, 본 발명의 기술적 범위는 청구항들에 의해 정의되어야 할 것이다.First, the advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will be clarified with reference to the embodiments to be described in detail with reference to the accompanying drawings. While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
아울러, 아래의 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성 등에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들인 것으로, 이는 사용자, 운용자 등의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 그 정의는 본 명세서의 전반에 걸쳐 기술되는 기술사상을 토대로 이루어져야 할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. It is to be understood that the following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to intentions or customs of a user, an operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the technical idea described throughout this specification.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[실시 예1][Example 1]
도 1a는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.1A is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
도 1a를 참조하면, 본 실시 예의 반도체 패키지는, 예컨대 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드 등과 같은 휴대 기기(휴대 단말)에 적용할 수 있는 패키지 디바이스로서, 하부 기판(102)과 상부 기판(110) 등을 포함할 수 있다. 여기에서, 각 기판들은, 예컨대 PCB 기판을 의미할 수 있다.1A, the semiconductor package of this embodiment is a package device applicable to a portable device (portable terminal) such as a mobile phone, a smart phone, a smart pad, etc., and includes a
먼저, 하부 기판(102)의 일측 영역에는 제 1 전자 소자(104)가 부착되어 있고, 타측 영역에는 제 2 전자 소자(106)가 부착되어 있으며, 각 전자 소자의 전극 패드들과 하부 기판(102)에 형성된 기판 패드들은 도전성 와이어를 통해 물리적(전기적)으로 연결될 수 있다. 여기에서, 제 1 전자 소자(104)는, 예컨대 LED 등과 같은 광소자가 될 수 있으며, 제 2 전자 소자(106)는, 예컨대 압력 센서, 자이로 센서, 가속도 센서, 포토다이오드 등과 같은 소자일 수 있다,A first
그리고, 접착제(108)를 통해 하부 기판(102) 상에 접착되는 상부 기판(110)에는 제 1 전자 소자(104)가 수납되는 상단 개방형의 제 1 캐비티(111a)와 제 2 전자 소자(106)가 수납되는 상단 개방형의 제 2 캐비티(111b)가 형성되어 있다. 여기에서, 접착제(108)로서는, 예컨대 솔더 페이스트 또는 에폭시 페이스트 등이 이용될 수 있다.The
여기에서, 상부 기판(110)에 격리 형태로 형성되는 제 1 및 제 2 캐비티(111a, 111b)는, 예컨대 레이저를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성하거나 혹은 라우터를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성할 수 있다.Here, the first and
또한, 상부 기판(110)의 측벽, 즉 제 1 및 제 2 캐비티(111a, 111b)의 각 측벽에는 그 하부와 상부 간을 전기적으로 연결시키기 위한 비아(112)들이 형성되어 있으며, 상부 기판(120)의 상부에는 비아(112)와 연결되는 LGA(land grid array)(114) 등의 전극 어레이들이 형성되어 있다. 여기에서, LGA(114)는 도시 생략된 메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능할 수 있다.
한편, 본 실시 예에서는 하부 기판(102)과 상부 기판(110)을 모두 PCB 기판으로 하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 하부 기판(102)만을 PCB 기판으로 하고, 상부 기판(110)을 세라믹 기판으로 적용할 수도 있음은 물론이다.Although the
도 1b는 본 발명의 제 1 실시 예의 변형 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.1B is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a modified embodiment of the first embodiment of the present invention.
도 1b를 참조하면, 본 변형 실시 예의 반도체 패키지는, 상부 기판(110)의 상부에 LGA를 형성하는 도 1a의 실시 예와는 달리, LGA를 형성함이 없이 상부 기판(110) 위에 글라스 기판(116)을 접착한 점에 구조적인 차이를 갖는다.Referring to FIG. 1B, the semiconductor package of the present modified embodiment differs from the embodiment of FIG. 1A in that an LGA is formed on an
즉, 본 변형 실시 예의 반도체 패키지는 상부 기판(110) 위에 글라스 기판(116)을 접착한 구조를 제외한 나머지 구조들을 도 1a에 도시된 대응하는 구조들과 실질적으로 동일하다.That is, the semiconductor package of this modified embodiment is substantially the same as the corresponding structures shown in Fig. 1A except for the structure in which the
또한, 본 변형 실시 예의 반도체 패키지는, 도 1a에 도시된 실시 예에서와 동일하게, 하부 기판(102)과 상부 기판(110) 모두를 PCB 기판으로 하거나 혹은 하부 기판(102)만을 PCB 기판으로 하고, 상부 기판(110)을 세라믹 기판으로 적용할 수도 있음은 물론이다.1A, both the
한편, 도 1a 및 1b의 각 실시 예에서는 와이어 본딩을 이용하여 각 전자 소자를 하부 기판 상에 부착하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 필요 또는 용도에 따라 플립칩 본딩을 적용할 수도 있음은 물론이다.In the embodiments of FIGS. 1A and 1B, the electronic devices are mounted on the lower substrate by wire bonding. However, the present invention is not limited thereto. It goes without saying that it may be applied.
다음에, 상술한 바와 같은 구조를 갖는 본 실시 예에 따른 반도체 패키지를 제작하는 일련의 과정들에 대하여 상세하게 설명한다.Next, a series of processes for fabricating the semiconductor package according to the present embodiment having the above-described structure will be described in detail.
도 2a 내지 2d는 본 발명의 제 1 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.FIGS. 2A to 2D are process flow diagrams illustrating a main process for fabricating a semiconductor package according to a first embodiment of the present invention.
도 2a를 참조하면, 기판 패드와 도전선 등이 형성된 하부 기판(102)을 준비하고, 다이 부착 공정, 와이어 본딩 공정 등을 진행함으로써, 하부 기판(102)의 목표 위치, 즉 일측 영역에 제 1 전자 소자(104)를 부착하고, 타측 영역에 제 2 전자 소자(106)를 부착한다.2A, a
이어서, 하부 기판(102)의 일측 영역에 부착된 제 1 전자 소자(104)를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티(111a)와 하부 기판(102)의 타측 영역에 부착된 제 2 전자 소자(106)를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티(111b)가 격리 형태로 형성된 상부 기판(110)을 준비한다. 여기에서, 양단 개방형이라 함은, 제 1 및 제 2 캐비티(111a, 111b)가 상부 기판(110)의 상하부를 관통하는 형태로 개방되어 있음을 의미할 수 있다.The
다시, 접착제 도포 공정을 진행하여 하부 기판(102)의 각 접착 영역에 접착제(108)를 도포, 예컨대 솔더 페이스트 또는 에폭시 페이스트 등과 같은 접착제(108)를 도포한다. 여기에서, 접착제(108)는, 예컨대 스크린 프린팅 공정 등을 통해 원하는 위치에만 선택적으로 도포할 수 있다.The adhesive 108 is applied to each of the bonding areas of the
이어서, 제 1 전자 소자(104)가 제 1 캐비티(111a)에 수납되고, 제 2 전자 소자(106)가 제 2 캐비티(111b)에 수납되도록 위치 정렬시킨 후 기판 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 2b에 도시된 바와 같이, 하부 기판(102)의 상부에 상부 기판(110)을 접착시킨다.Subsequently, the first
그리고, 랜드 형성 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 2c에 도시된 바와 같이, 상부 기판(110)의 상부에 LGA(114), 즉 비아(112)와 연결되는 LGA(114)를 형성한다. 여기에서, LGA(114)는 도시 생략된 메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능할 수 있으며, 이러한 LGA(114)를 통해 반도체 패키지가 메인 기판에 접착됨으로써 두 전자 소자와 도전성 와이어 등이 외부 노출로부터 보호될 수 있다.Then, the
한편, 본 실시 예의 반도체 패키지 제조 방법은, 상부 기판(110)의 상부에 LGA를 형성함이 없이 글라스 기판을 접착할 수도 있다. 즉, 기판 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 2d에 도시된 바와 같이, 상부 기판(110) 위에 글라스 기판(116)을 접착하는 구조로 제작될 수 있다.
Meanwhile, in the semiconductor package manufacturing method of the present embodiment, the glass substrate may be bonded without forming an LGA on the
[실시 예2][Example 2]
도 3은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 실시 예의 반도체 패키지는, 예컨대 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드 등과 같은 휴대 기기(휴대 단말)에 적용할 수 있는 패키지 디바이스로서, 수직하게 순차 적층되는 하부 기판(302), 하부 수납 기판(306), 중간 기판(310), 상부 수납 기판(318) 및 상부 기판(322) 등을 포함할 수 있다. 여기에서, 각 기판들은, 예컨대 PCB 기판을 의미할 수 있다.3, the semiconductor package of this embodiment is a package device applicable to a portable device (portable terminal) such as a cell phone, a smart phone, a smart pad, etc., and includes a
먼저, 하부 기판(302)의 일측에는 하부 수납 기판(306)에 형성된 제 1 캐비티(307)와 외부간의 통기를 위한 제 1 홀(304)이 형성되어 있는데, 이러한 제 1 홀(304)은 제 1 캐비티(307)에 수납되는 제 1 전자 소자(312)의 종류에 따라 음향 홀로서 기능하거나 혹은 통풍 홀로서 기능할 수 있다.A
또한, 접착제(도시 생략)를 통해 하부 기판(302) 상에 접착되는 하부 수납 기판(306)에는 제 1 전자 소자(312)를 수납하기 위한 제 1 캐비티(307)가 형성되어 있으며, 제 1 캐비티(307)의 측벽에는 하부 수납 기판(306)의 하부와 상부 간을 전기적으로 연결시키기 위한 비아(308)들이 형성되어 있다.A
여기에서, 하부 수납 기판(306)에 형성되는 제 1 캐비티(307)는, 예컨대 레이저를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성하거나 혹은 라우터를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성할 수 있다.Here, the
그리고, 접착제(도시 생략)를 통해 하부 수납 기판(306) 상에 접착되는 중간 기판(310)의 하부에는 하부 수납 기판(306)에 형성된 제 1 캐비티(307)에 수납되는 제 1 전자 소자(312)가 부착되어 있고, 중간 기판(310)의 상부에는 제 2 캐비티(319)에 함께 수납되는 제 2 전자 소자(314)와 제 3 전자 소자(316)가 각각 부착되어 있다. 여기에서, 제 1 전자 소자(312)는, 예컨대 ASIC 다이 등이 될 수 있으며, 제 2 및 제 3 전자 소자(314, 316)는, 예컨대 각종 센서류(예컨대, LED, 압력 센서, 자이로 센서, 가속도 센서 등) 등이 될 수 있다.A first electronic device 312 (see FIG. 3), which is housed in a
여기에서, 제 1 캐비티(307)에 하나의 전자 소자를 수납하고, 제 2 캐비티(319)에 두 개의 전자 소자를 수납하는 것으로 하여 설명하였으나, 이것은 예시적인 제시일 뿐 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 캐비티 및 제 2 캐비티에 수납되는 전자 소자의 개수는 필요 또는 용도에 따라 하나 또는 다수개로 변경할 수 있음은 물론이다.Here, it is described that one electronic device is housed in the
또한, 접착제(도시 생략)를 통해 중간 기판(310) 상에 접착되는 상부 수납 기판(318)에는 제 2 및 제 3 전자 소자(314, 316)를 수납하기 위한 제 2 캐비티(319)가 형성되어 있으며, 제 2 캐비티(319)의 측벽에는 상부 수납 기판(318)의 하부와 상부 간을 전기적으로 연결시키기 위한 비아(320)들이 형성되어 있다.A
여기에서, 상부 수납 기판(318)에 형성되는 제 2 캐비티(319)는, 예컨대 레이저를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성하거나 혹은 라우터를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성할 수 있다.Here, the
그리고, 상부 수납 기판(318) 상에는 상부 기판(322)이 접착되는데, 이러한 상부 기판(322)의 일측에는 상부 수납 기판(318)에 형성된 제 2 캐비티(319)와 외부간의 통기를 위한 제 2 홀(324)이 형성되어 있으며, 이러한 제 2 홀(324)은 제 2 캐비티(319)에 수납되는 제 2 및 제 2 전자 소자(314, 316)의 종류에 따라 음향 홀로서 기능하거나 혹은 통풍 홀로서 기능할 수 있다.An
한편, 본 실시 예에서는 수직하게 적층되는 기판들을 모두 PCB 기판으로 하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 하부 기판, 중간 기판 및 상부 기판만을 PCB 기판으로 하고, 하부 수납 기판과 상부 수납 기판을 세라믹 기판으로 적용할 수도 있음은 물론이다.In the meantime, in the present embodiment, all vertically stacked substrates are described as a PCB substrate, but the present embodiment is not limited thereto. Only the lower substrate, the intermediate substrate, and the upper substrate may be formed as a PCB substrate, It goes without saying that the upper storage substrate may be applied as a ceramic substrate.
다음에, 상술한 바와 같은 구조를 갖는 본 실시 예에 따른 반도체 패키지를 제작하는 일련의 과정들에 대하여 상세하게 설명한다.Next, a series of processes for fabricating the semiconductor package according to the present embodiment having the above-described structure will be described in detail.
도 4a 내지 4g는 본 발명의 제 2 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.4A to 4G are process flow diagrams illustrating a main process of manufacturing a semiconductor package according to a second embodiment of the present invention.
도 4a를 참조하면, 기판 패드와 도전선 등이 형성되며 일측에 제 1 홀(304)이 형성된 하부 기판(302)을 준비하고, 중간 기판(310)의 하부에 부착될 제 1 전자 소자(312)를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티(307)와 제 1 캐비티(307)의 측벽에 비아(308)가 형성된 하부 수납 기판(306)을 준비한다. 여기에서, 양단 개방형이라 함은, 제 1 캐비티(307)가 하부 수납 기판(306)의 상하부를 관통하는 형태로 개방되어 있음을 의미할 수 있다.Referring to FIG. 4A, a
다시, 도전성 범프 등을 통해 제 1 전자 소자(312)가 그 하부에 부착된 중간 기판(310)을 준비한다.Again, an
이어서, 중간 기판(310)의 하부에 부착된 제 1 전자 소자(312)가 하부 수납 기판(306)의 제 1 캐비티(307)에 수납되도록 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 4b에 도시된 바와 같이, 하부 수납 기판(306) 상에 중간 기판(310)이 접착되는 형상의 1층 구조물을 제작한다.Next, the first
또한, 하부 수납 기판(306)과 중간 기판(310)으로 된 1층 구조물을 하부 기판(302)의 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 4c에 도시된 바와 같이, 하부 기판(302) 상에 1층 구조물을 접착시킨다.The one-layer structure including the
다음에, 도전성 범프 등을 이용하는 다이 부착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 4d에 도시된 바와 같이, 중간 기판(310) 상의 소정 위치에 제 2 전자 소자(314)와 제 3 전자 소자(316)를 각각 부착한다.4D, a second
도 4e를 참조하면, 중간 기판(310) 상에 부착된 제 2 전자 소자(314)와 제 3 전자 소자(316)를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티(319)와 제 2 캐비티(319)의 측벽에 비아(320)가 형성된 상부 수납 기판(318)을 준비하고, 기판 패드와 도전선 등이 형성되며 일측에 제 2 홀(324)이 형성된 상부 기판(322)을 준비한다. 여기에서, 양단 개방형이라 함은, 제 2 캐비티(319)가 상부 수납 기판(318)의 상하부를 관통하는 형태로 개방되어 있음을 의미할 수 있다.4E, a
이어서, 상부 기판(322)을 상부 수납 기판(318)의 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 4f에 도시된 바와 같이, 상부 수납 기판(318) 상에 상부 기판(322)이 접착되는 형상의 2층 구조물을 제작한다.Subsequently, the
다시, 중간 기판(310)의 상부에 부착된 제 2 및 제 3 전자 소자(314, 316)가 상부 수납 기판(318)의 제 2 캐비티(319)에 수납되도록 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 4g에 도시된 바와 같이, 중간 기판(310) 상에 2층 구조물을 접착시킴으로써 패키지 제작을 완료한다.
The second and third
[실시 예3][Example 3]
도 5는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 반도체 패키지의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 실시 예의 반도체 패키지는, 예컨대 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드 등과 같은 휴대 기기(휴대 단말)에 적용할 수 있는 패키지 디바이스로서, 수직하게 순차 적층되는 하부 수납 기판(502), 하부 기판(508), 상부 수납 기판(516) 및 상부 기판(520) 등을 포함할 수 있다. 여기에서, 각 기판들은, 예컨대 PCB 기판을 의미할 수 있다.5, the semiconductor package of this embodiment is a package device applicable to a portable device (portable terminal) such as a mobile phone, a smart phone, a smart pad, etc., and includes a
먼저, 하부 수납 기판(502)에는 제 1 전자 소자(510)를 수납하기 위한 제 1 캐비티(503)가 형성되어 있으며, 제 1 캐비티(503)의 측벽에는 하부 수납 기판(502)의 하부와 상부 간을 전기적으로 연결시키기 위한 비아(504)들이 형성되어 있다.A
여기에서, 하부 수납 기판(502)에 형성되는 제 1 캐비티(503)는, 예컨대 레이저를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성하거나 혹은 라우터를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성할 수 있다.Here, the
또한, 하부 수납 기판(502)의 하부에는 비아(504)와 연결되는 LGA(506) 등의 전극 어레이들이 형성되어 있다. 여기에서, LGA(506)는 도시 생략된 메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능할 수 있다.Further, electrode arrays such as an
그리고, 접착제(도시 생략)를 통해 하부 수납 기판(502) 상에 접착되는 하부 기판(508)의 하부에는 하부 수납 기판(502)에 형성된 제 1 캐비티(503)에 수납되는 제 1 전자 소자(510)가 부착되어 있고, 하부 기판(508)의 상부에는 제 2 캐비티(517a)에 수납되는 제 2 전자 소자(512)와 제 3 캐비티(517b)에 수납되는 제 3 전자 소자(514)가 각각 부착되어 있다. 여기에서, 제 1 전자 소자(510)는, 예컨대 ASIC 다이 등이 될 수 있으며, 제 2 및 제 3 전자 소자(512, 514)는, 예컨대 각종 센서류(예컨대, LED, 압력 센서, 자이로 센서, 가속도 센서 등) 등이 될 수 있다.A first electronic device 510 (see FIG. 5), which is housed in a
여기에서, 각 캐비티에 하나의 전자 소자만을 수납하는 것으로 하여 설명하였으나, 이것은 예시적인 제시일 뿐 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 각 캐비티에 수납되는 전자 소자의 개수는 필요 또는 용도에 따라 하나 이상의 다수개로 변경할 수 있음은 물론이다.Here, it is described that only one electronic element is housed in each cavity. However, this is only an exemplary illustration, and the present embodiment is not necessarily limited to this. The number of electronic elements housed in each cavity may be one The present invention is not limited thereto.
또한, 접착제(도시 생략)를 통해 하부 기판(508) 상에 접착되는 상부 수납 기판(516)에는 제 2 전자 소자(512)를 수납하기 위한 제 2 캐비티(517a)와 제 3 전자 소자(514)를 수납하기 위한 제 3 캐비티(517b)가 격리 형태로 형성되어 있으며, 제 2 및 제 3 캐비티(517a, 517b)의 측벽에는 상부 수납 기판(516)의 하부와 상부 간을 전기적으로 연결시키기 위한 비아(518)들이 형성되어 있다.A
여기에서, 상부 수납 기판(516)에 형성되는 제 2 및 제 2 캐비티(517a, 517b)는, 예컨대 레이저를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성하거나 혹은 라우터를 이용한 드릴링 공정을 통해 형성할 수 있다.Here, the second and
그리고, 상부 수납 기판(516) 상에는 상부 기판(520)이 접착되는데, 이러한 상부 기판(520)의 일측에는 상부 수납 기판(516)에 형성된 제 2 캐비티(517a)와 외부간의 통기를 위한 제 2 홀(522)이 형성되어 있으며, 상부 기판(520)의 타측에는 상부 수납 기판(516)에 형성된 제 3 캐비티(517b)와 외부간의 통기를 위한 제 3 홀(524)이 형성되어 있다. 이러한 제 2 및 제 3 홀(522, 524) 각각은 대응하는 각 캐비티에 수납되는 제 2 및 제 2 전자 소자(512, 514)의 종류에 따라 음향 홀로서 기능하거나 혹은 통풍 홀로서 기능할 수 있다.An
한편, 본 실시 예에서는 수직하게 적층되는 기판들을 모두 PCB 기판으로 하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 실시 예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 하부 기판과 상부 기판만을 PCB 기판으로 하고, 하부 수납 기판과 상부 수납 기판을 세라믹 기판으로 적용할 수도 있음은 물론이다.However, the present invention is not limited thereto. Only the lower substrate and the upper substrate may be used as the PCB substrate, and the lower and upper storage substrates may be used as the PCB substrate, May be applied as a ceramic substrate.
다음에, 상술한 바와 같은 구조를 갖는 본 실시 예에 따른 반도체 패키지를 제작하는 일련의 과정들에 대하여 상세하게 설명한다.Next, a series of processes for fabricating the semiconductor package according to the present embodiment having the above-described structure will be described in detail.
도 6a 내지 6f는 본 발명의 제 3 실시 예에 따라 반도체 패키지를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.6A to 6F are process flowcharts showing a main process of manufacturing a semiconductor package according to a third embodiment of the present invention.
도 6a를 참조하면, 하부 기판(508)의 하부에 부착될 제 1 전자 소자(510)를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티(503)와 제 1 캐비티(503)의 측벽에 비아(504)가 형성되며, 하부 측에 LGA(506)가 형성된 하부 수납 기판(502)을 준비한다. 여기에서, 양단 개방형이라 함은, 제 1 캐비티(503)가 하부 수납 기판(502)의 상하부를 관통하는 형태로 개방되어 있음을 의미할 수 있다.6A, a
다시, 도전성 범프 등을 통해 제 1 전자 소자(510)가 그 하부에 부착된 하부 기판(508)을 준비한다.Again, a
다음에, 하부 기판(508)의 하부에 부착된 제 1 전자 소자(510)가 하부 수납 기판(502)의 제 1 캐비티(503)에 수납되도록 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 6b에 도시된 바와 같이, 하부 수납 기판(502) 상에 하부 기판(508)이 접착되는 형상의 1층 구조물을 제작한다.Next, a first
그리고, 도전성 범프 등을 이용하는 다이 부착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 6c에 도시된 바와 같이, 하부 기판(508) 상의 일측 위치와 타측 위치에 제 2 전자 소자(512)와 제 3 전자 소자(514)를 각각 부착한다.6C, a second
도 6d를 참조하면, 하부 기판(508) 상에 부착된 제 2 전자 소자(512)와 제 3 전자 소자(514)를 각각 격리 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 및 제 3 캐비티(517a, 517b)와 제 2 및 제 3 캐비티(517a, 517b)의 각 측벽에 비아(518)가 형성된 상부 수납 기판(516)을 준비하고, 기판 패드와 도전선 등이 형성되며 일측에 제 2 홀(522)이 형성되고 타측에 제 3 홀(524)이 형성된 상부 기판(520)을 준비한다. 여기에서, 양단 개방형이라 함은, 제 2 및 제 3 캐비티(517a, 517b)가 상부 수납 기판(516)의 상하부를 관통하는 형태로 개방되어 있음을 의미할 수 있다.6D, second and
이어서, 상부 기판(520)을 상부 수납 기판(516)의 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 6e에 도시된 바와 같이, 상부 수납 기판(516) 상에 상부 기판(520)이 접착되는 형상의 2층 구조물을 제작한다.Subsequently, the
다음에, 하부 기판(508)의 상부에 부착된 제 2 전자 소자(512)가 상부 수납 기판(516)의 제 2 캐비티(517a)에 수납되고, 제 3 전자 소자(514)가 상부 수납 기판(516)의 제 3 캐비티(517b)에 수납되도록 목표 위치에 정렬시킨 후 접착제(예컨대, 솔더 페이스트, 에폭시 페이스트 등) 등을 이용하는 접착 공정을 진행함으로써, 일례로서 도 6f에 도시된 바와 같이, 하부 기판(508) 상에 2층 구조물을 접착시킴으로써 패키지 제작을 완료한다.Next, a second
이상의 설명은 본 발명의 기술사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 등이 가능함을 쉽게 알 수 있을 것이다. 즉, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것으로서, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims. It is easy to see that this is possible. That is, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the scope of the present invention but to limit the scope of the present invention.
따라서, 본 발명의 보호 범위는 후술되는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Therefore, the scope of protection of the present invention should be construed in accordance with the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
Claims (28)
상기 하부 기판 상의 일측 영역에 부착된 제 1 전자 소자와,
상기 하부 기판 상의 타측 영역에 부착된 제 2 전자 소자와,
상단 개방형의 제 1 캐비티를 통해 상기 제 1 전자 소자가 수납되고, 상단 개방형의 제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자가 수납되는 형태로 상기 하부 기판 상에 접착된 상부 기판
을 포함하는 반도체 패키지.
A lower substrate,
A first electronic element attached to one side region of the lower substrate,
A second electronic element attached to the other region on the lower substrate,
The first electronic device is received through a first cavity of a top open type and the second electronic device is received through a second cavity of a top open type,
≪ / RTI >
상기 제 1 전자 소자와 제 2 전자 소자 중 어느 한 소자는,
광소자인
반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Wherein one of the first electronic element and the second electronic element comprises:
Photon
Semiconductor package.
상기 하부 기판과 상부 기판 각각은,
PCB 기판인
반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Wherein the lower substrate and the upper substrate, respectively,
PCB substrate
Semiconductor package.
상기 하부 기판은 PCB 기판이고,
상기 상부 기판은 세라믹 기판인
반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Wherein the lower substrate is a PCB substrate,
The upper substrate is a ceramic substrate
Semiconductor package.
상기 상부 기판은,
상기 제 1 및 제 2 캐비티의 각 측벽에 비아가 형성된
반도체 패키지.
The method according to claim 1,
Wherein the upper substrate comprises:
Wherein vias are formed in the respective side walls of the first and second cavities
Semiconductor package.
상기 상부 기판은,
메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능하며, 상기 비아와 연결되는 LGA(land grid array)가 상부에 형성된
반도체 패키지.
6. The method of claim 5,
Wherein the upper substrate comprises:
And a land grid array (LGA) connected to the vias is formed at an upper portion thereof
Semiconductor package.
상기 패키지는,
상기 상부 기판 상에 접착된 글라스 기판
을 더 포함하는 반도체 패키지.
6. The method of claim 5,
The package includes:
A glass substrate adhered on the upper substrate
Further comprising:
상기 제 1 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 1 캐비티와 상기 제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티가 격리 형태로 형성된 상부 기판을 준비하는 과정과,
상기 하부 기판의 접착 영역에 접착제를 도포하는 과정과,
상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되고, 상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 상부 기판을 상기 접착 영역에 접착시키는 과정
을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법.
Attaching a first electronic device and a second electronic device to one side region and the other side region of the lower substrate,
The method comprising the steps of: preparing an upper substrate in which a first cavity having both ends open to receive the first electronic device and a second cavity having both open ends to receive the second electronic device are formed in an isolated form;
Applying an adhesive to an adhesion area of the lower substrate;
A step of bonding the upper substrate to the bonding region by aligning the first electronic element in the first cavity and the second electronic element in the second cavity,
≪ / RTI >
상기 상부 기판은,
상기 제 1 및 제 2 캐비티의 각 측벽에 비아가 형성되고,
상기 방법은,
메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능하며 상기 비아와 연결되는 LGA(land grid array)를 상기 상부 기판 상에 형성하는 과정
을 더 포함하는 반도체 패키지 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the upper substrate comprises:
A via is formed in each side wall of the first and second cavities,
The method comprises:
A process of forming a land grid array (LGA) functioning as an I / O for connection with the main substrate and connected to the vias on the upper substrate
≪ / RTI >
상기 상부 기판은,
상기 제 1 및 제 2 캐비티의 각 측벽에 비아가 형성되고,
상기 방법은,
상기 상부 기판 상에 글라스 기판을 접착하는 과정
을 더 포함하는 반도체 패키지 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the upper substrate comprises:
A via is formed in each side wall of the first and second cavities,
The method comprises:
A process of bonding a glass substrate onto the upper substrate
≪ / RTI >
상기 접착제는,
솔더 페이스트인
반도체 패키지 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Preferably,
Solder paste in
A method of manufacturing a semiconductor package.
상기 접착제는,
에폭시 페이스트인
반도체 패키지 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Preferably,
Epoxy paste
A method of manufacturing a semiconductor package.
제 1 전자 소자를 수납하기 위한 제 1 캐비티가 형성되어 상기 하부 기판 상에 접착된 하부 수납 기판과,
하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착되어 상기 제 1 캐비티에 수납되는 형태로 상기 하부 수납 기판 상에 접착된 중간 기판과,
상기 중간 기판의 상부에 부착된 제 2 전자 소자와,
제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자를 수납하는 형태로 상기 중간 기판 상에 접착된 상부 수납 기판과,
상기 상부 수납 기판 상에 접착된 상부 기판
을 포함하는 반도체 패키지.
A lower substrate,
A lower storage board formed with a first cavity for receiving a first electronic element and bonded on the lower substrate,
An intermediate substrate adhered on the lower storage substrate in a manner that the first electronic device is attached to the lower part and is housed in the first cavity;
A second electronic element attached to the upper portion of the intermediate substrate,
An upper storage board adhered to the intermediate board in a form of receiving the second electronic element through a second cavity,
The upper substrate
≪ / RTI >
상기 하부 기판은,
상기 제 1 캐비티와 외부간의 통기를 위한 홀이 형성된
반도체 패키지.
14. The method of claim 13,
Wherein the lower substrate comprises:
A hole for venting between the first cavity and the outside is formed
Semiconductor package.
상기 상부 기판은,
상기 제 2 캐비티와 외부간의 통기를 위한 홀이 형성된
반도체 패키지.
14. The method of claim 13,
Wherein the upper substrate comprises:
A hole for ventilation between the second cavity and the outside is formed
Semiconductor package.
상기 홀은,
음향 홀 또는 통풍 홀인
반도체 패키지.
16. The method according to claim 14 or 15,
The hole
Acoustic or ventilated
Semiconductor package.
상기 하부 수납 기판 및 상부 수납 기판은,
상기 제 1 및 제 2 캐비티의 각 측벽에 비아가 형성된
반도체 패키지.
14. The method of claim 13,
Wherein the lower storage board and the upper storage board are made of an insulating material,
Wherein vias are formed in the respective side walls of the first and second cavities
Semiconductor package.
상기 하부 기판, 하부 수납 기판, 중간 기판, 상부 수납 기판 및 상부 기판 각각은,
PCB 기판인
반도체 패키지.
14. The method of claim 13,
Wherein the lower substrate, the lower storage substrate, the intermediate substrate, the upper storage substrate,
PCB substrate
Semiconductor package.
상기 하부 기판, 중간 기판 및 상부 기판은 PCB 기판이고,
상기 하부 수납 기판 및 상부 수납 기판은 세라믹 기판인
반도체 패키지.
14. The method of claim 13,
Wherein the lower substrate, the intermediate substrate, and the upper substrate are PCB substrates,
The lower storage board and the upper storage board are made of a ceramic substrate
Semiconductor package.
하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착된 중간 기판을 준비하는 과정과,
상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 하부 수납 기판 상에 상기 중간 기판을 접착하여 1층 구조물을 제작하는 과정과,
제작된 상기 1층 구조물을 준비된 하부 기판에 접착하는 과정과,
상기 중간 기판의 상부에 제 2 전자 소자를 부착하는 과정과,
제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티가 형성되어 있는 상부 수납 기판을 준비하는 과정과,
상기 상부 수납 기판의 상부에 상부 기판을 접착하여 2층 구조물을 제작하는 과정과,
상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 2층 구조물을 상기 중간 기판 상에 접착하는 과정
을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법.
Preparing a lower receiving substrate on which a first cavity having both open ends for receiving a first electronic device is formed;
Preparing an intermediate substrate to which the first electronic device is attached,
Aligning the first electronic device so that the first electronic device is accommodated in the first cavity and adhering the intermediate substrate to the lower housing substrate to manufacture a one-layer structure;
Bonding the prepared one-layer structure to a prepared lower substrate,
Attaching a second electronic device to an upper portion of the intermediate substrate,
Preparing an upper housing board having a second cavity of both open ends for housing a second electronic element,
Forming a two-layer structure by bonding an upper substrate to an upper portion of the upper storage substrate;
And positioning the second electronic component to be housed in the second cavity to bond the two-layer structure onto the intermediate substrate
≪ / RTI >
하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착되어 상기 제 1 캐비티에 수납되는 형태로 상기 하부 수납 기판 상에 접착된 하부 기판과,
상기 하부 기판의 상부에 각각 부착된 제 2 및 제 3 전자 소자와,
제 2 캐비티를 통해 상기 제 2 전자 소자를 격리 수납하고, 제 3 캐비티를 통해 상기 제 3 전자 소자를 격리 수납하는 형태로 상기 하부 기판 상에 접착된 상부 수납 기판과,
상기 상부 수납 기판 상에 접착된 상부 기판
을 포함하는 반도체 패키지.
A lower housing substrate on which a first cavity for accommodating the first electronic element is formed,
A lower substrate adhered to the lower accommodating substrate in a manner that the first electronic device is attached to the lower portion and housed in the first cavity;
Second and third electronic elements respectively attached to the upper portion of the lower substrate,
An upper storage board adhered on the lower substrate in such a manner that the second electronic element is isolated and housed through a second cavity and the third electronic element is isolated and housed through a third cavity,
The upper substrate
≪ / RTI >
상기 상부 기판은,
상기 제 2 캐비티와 외부간의 통기를 위한 제 1 홀과 상기 제 3 캐비티와 외부간의 통기를 위한 제 2 홀이 형성된
반도체 패키지.
22. The method of claim 21,
Wherein the upper substrate comprises:
A first hole for ventilation between the second cavity and the outside and a second hole for ventilation between the third cavity and the outside are formed
Semiconductor package.
상기 제 1 및 제 2 홀은,
음향 홀 또는 통풍 홀인
반도체 패키지.
23. The method of claim 22,
Wherein the first and second holes
Acoustic or ventilated
Semiconductor package.
상기 하부 수납 기판 및 상부 수납 기판은,
상기 제 1, 제 2 및 제 3 캐비티의 각 측벽에 비아가 형성된
반도체 패키지.
22. The method of claim 21,
Wherein the lower storage board and the upper storage board are made of an insulating material,
A via is formed in each side wall of the first, second and third cavities
Semiconductor package.
상기 하부 기판은,
메인 기판과의 접속을 위한 I/O로서 기능하며, 상기 비아와 연결되는 LGA(land grid array)가 하부에 형성된
반도체 패키지.
25. The method of claim 24,
Wherein the lower substrate comprises:
And a land grid array (LGA) connected to the vias, the I /
Semiconductor package.
상기 하부 수납 기판, 하부 기판, 상부 수납 기판 및 상부 기판 각각은,
PCB 기판인
반도체 패키지.
22. The method of claim 21,
The lower storage substrate, the lower substrate, the upper storage substrate, and the upper substrate,
PCB substrate
Semiconductor package.
상기 하부 기판 및 상부 기판은 PCB 기판이고,
상기 하부 수납 기판 및 상부 수납 기판은 세라믹 기판인
반도체 패키지.
22. The method of claim 21,
Wherein the lower substrate and the upper substrate are PCB substrates,
The lower storage board and the upper storage board are made of a ceramic substrate
Semiconductor package.
하부에 상기 제 1 전자 소자가 부착된 하부 기판을 준비하는 과정과,
상기 제 1 전자 소자가 상기 제 1 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 하부 기판 상에 상기 하부 수납 기판을 접착하여 1층 구조물을 제작하는 과정과,
상기 하부 기판의 상부에 제 2 전자 소자와 제 3 전자 소자를 각각 부착하는 과정과,
상기 제 2 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 2 캐비티와 상기 제 3 전자 소자를 수납하기 위한 양단 개방형의 제 3 캐비티가 격리 형태로 형성된 상부 수납 기판을 준비하는 과정과,
상기 상부 수납 기판의 상부에 상부 기판을 접착하여 2층 구조물을 제작하는 과정과,
상기 제 2 전자 소자가 상기 제 2 캐비티에 수납되고 상기 제 3 전자 소자가 상기 제 3 캐비티에 수납되도록 위치 정렬시켜 상기 2층 구조물을 상기 하부 기판 상에 접착하는 과정
을 포함하는 반도체 패키지 제조 방법.Preparing a lower receiving substrate on which a first cavity having both open ends for receiving a first electronic device is formed;
Preparing a lower substrate to which the first electronic device is attached,
Aligning the first electronic device so that the first electronic device is accommodated in the first cavity and adhering the lower housing substrate on the lower substrate to manufacture a one-layer structure;
Attaching a second electronic device and a third electronic device to the upper portion of the lower substrate,
Preparing an upper storage board having a second cavity of both ends for storing the second electronic element and a second cavity of both open ends for storing the third electronic element in an isolated form;
Forming a two-layer structure by bonding an upper substrate to an upper portion of the upper storage substrate;
A step of bonding the two-layer structure to the lower substrate by aligning the second electronic element in the second cavity and the third electronic element in the third cavity
≪ / RTI >
Priority Applications (1)
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KR (1) | KR101688076B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08213497A (en) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device and its manufacture |
JPH10256424A (en) * | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Toshiba Corp | Package for semiconductor element |
JP2005129624A (en) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Yaskawa Electric Corp | Power module |
KR20130122263A (en) | 2012-04-30 | 2013-11-07 | 전자부품연구원 | Microphone package |
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2014
- 2014-08-05 KR KR1020140100680A patent/KR101688076B1/en active IP Right Grant
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JPH08213497A (en) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device and its manufacture |
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JP2005129624A (en) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Yaskawa Electric Corp | Power module |
KR20130122263A (en) | 2012-04-30 | 2013-11-07 | 전자부품연구원 | Microphone package |
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