KR20160015894A - Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus - Google Patents

Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20160015894A
KR20160015894A KR1020140098843A KR20140098843A KR20160015894A KR 20160015894 A KR20160015894 A KR 20160015894A KR 1020140098843 A KR1020140098843 A KR 1020140098843A KR 20140098843 A KR20140098843 A KR 20140098843A KR 20160015894 A KR20160015894 A KR 20160015894A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
power supply
probe
liquid
ground electrode
Prior art date
Application number
KR1020140098843A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102181616B1 (en
Inventor
김성훈
서상윤
김기민
엄광현
홍인표
이영준
Original Assignee
주식회사 다오닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 다오닉스 filed Critical 주식회사 다오닉스
Priority to KR1020140098843A priority Critical patent/KR102181616B1/en
Publication of KR20160015894A publication Critical patent/KR20160015894A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102181616B1 publication Critical patent/KR102181616B1/en

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61NELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/44Applying ionised fluids
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61NELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02Details
    • A61N1/04Electrodes
    • A61N1/0404Electrodes for external use
    • A61N1/0408Use-related aspects
    • A61N1/0428Specially adapted for iontophoresis, e.g. AC, DC or including drug reservoirs
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2245/00Applications of plasma devices
    • H05H2245/30Medical applications
    • H05H2245/34Skin treatments, e.g. disinfection or wound treatment
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2245/00Applications of plasma devices
    • H05H2245/30Medical applications
    • H05H2245/36Sterilisation of objects, liquids, volumes or surfaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2277/00Applications of particle accelerators
    • H05H2277/10Medical devices
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2277/00Applications of particle accelerators
    • H05H2277/14Portable devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electrotherapy Devices (AREA)

Abstract

Provided in the present invention are a plasma generation apparatus and a portable plasma beauty treatment device. The plasma generation apparatus comprises: a power electrode including a needle-shaped probe with a sharp end for receiving a high voltage and performing the discharge operation; a container-shaped grounding electrode including a ventilation hole on the side for enabling outside air to be circulated, arranged to cover the circumference of the power electrode; and a front case arranged on the opened front surface of the grounding electrode, arranged by being separated in the extension direction of the probe and facing the power electrode, and formed with an insulator including a penetration hole in the area facing the probe, for providing a discharge space which produces plasma.

Description

플라즈마 발생 장치 및 휴대용 플라즈마 미용기기 {Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus }TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a plasma generating apparatus and a portable plasma beauty apparatus,

본 발명은 인체의 피부 또는 모공 안의 세균을 박멸하고, 유기물과 이물질을 제거하기 위한 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a portable plasma aesthetic device for eradicating bacteria in the skin or pores of a human body and removing organic matter and foreign matter.

본 발명은 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것으로, 더 구체적으로 소형화된 전원 소스로 배터리를 내부에 장착하고, 플라즈마 방전을 촉매시키는 가스를 투입하지 않아도 플라즈마가 발생하는 휴대성을 확보한 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것이다. The present invention relates to a portable plasma beauty apparatus, and more particularly, to a portable plasma beauty apparatus having a battery mounted therein with a miniaturized power source and ensuring portability in which plasma is generated without introducing a gas for catalyzing a plasma discharge .

한국공개실용신안 20-2011-0003121은 "플라즈마를 이용한 휴대용 미용기기"를 개시하고 있으며, 플라즈마를 발생시키기 위해서 촉매 가스를 주입하고, 접지 전극에 관통홀을 형성하여 플라즈마가 직접 피부에 전달된다. 따라서, 피부 손상이 발생할 수 있다.Korean Utility Model Application Publication No. 20-2011-0003121 discloses a "portable beauty device using plasma." In order to generate plasma, a catalyst gas is injected and a through hole is formed in the ground electrode, so that plasma is directly transferred to the skin. Therefore, skin damage may occur.

한국등록특허 10-126232는 "플라즈마 피부재생장치"를 개시하고 있으며, 플라즈마를 발생시키기 위해서 촉매 가스를 주입하고, 접지 전극에 관통홀을 형성하여 플라즈마가 직접 피부에 전달된다. 따라서, 피부 손상이 발생할 수 있다.Korean Patent No. 10-126232 discloses a " plasma skin regeneration apparatus " in which a catalyst gas is injected to generate plasma, and a through hole is formed in the ground electrode, so that the plasma is directly transferred to the skin. Therefore, skin damage may occur.

물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 고체가 에너지를 받아 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이된다. 이때 중성 기체에 이온화 에너지 이상의 충분한 에너지가 인가되면 이온화 및 전자와 이온의 재결합에 의하여 전자, 이온, 중성 원자 및 분자로 이루어진 플라즈마를 만들 수 있다.The lowest energy state of matter is solid. The solid is energized gradually to become liquid, then to the gas. At this time, sufficient energy above the ionization energy is applied to the neutral gas, and ionization and recombination of electrons and ions can generate plasmas composed of electrons, ions, neutral atoms and molecules.

플라즈마 내부에는 양전하(이온), 음전하(전자)가 거의 같은 양으로 혼재하여 자유 입자에 가까운 브라운운동을 하면서도 전기적으로는 중성을 유지하고 있기 때문에 전기적으로 이온화된 전도성 가스종이라고 불리 운다.Electrically ionized conductive gas paper is called a "electrically ionized" because it maintains neutrality electrically while performing almost Brownian motion similar to free particles by mixing positive and negative charges (electrons) in the plasma.

플라즈마는 플라즈마 밀도, 전자 온도, 종들 간의 열평형 정도, 발생방식, 응용분야 등 여러 구분 기준이 있지만 밀도와 전자온도로 분류하는 것이 가장 기본적이다. Plasma has several criteria such as plasma density, electron temperature, degree of thermal equilibrium between species, generation method and application field, but it is most basic to classify it into density and electron temperature.

플라즈마를 열평형 정도에 의해서 구분 하면 , 국부열평형(LTE; Local thermal equilibrium)과 비국부 열평형(non-LTE)으로 나눌 수 있고, 국부열평형이란 용어는 플라즈마 입자의 모두의 온도가 플라즈마의 국부적 영역에서 같은 열역학적 상태를 의미한다.The local heat equilibrium (LTE) and the non-local thermal equilibrium (non-LTE) can be divided into the plasma by the degree of thermal equilibrium, and the term local heat equilibrium means that the temperature of all of the plasma particles is The same thermodynamic state in the local region.

연구나 제조 공정을 위한 플라즈마는 대개 LTE나 non-LTE plasma 중 하나이며,일반적으로 전자를 열 플라즈마 후자를 저온 플라즈마라고 한다. Plasma for research and manufacturing processes is usually one of LTE or non-LTE plasma, and the latter is generally called a thermal plasma and the latter is called a cold plasma.

본 발명에서는 저온 플라즈마를 대상으로 하며, 저온 플라즈마 중 대기압 플라즈마에 속한다. In the present invention, a low-temperature plasma is targeted and belongs to an atmospheric plasma in a low-temperature plasma.

대기압 플라즈마 (atmospheric pressure plasma)는 주로 물질의 표면 개질 및 코팅, 환경 정화 등의 분야에서 활용되고 있다. 최근에는 생체 적용과 바이오 메디칼 분야의 응용 가능성으로 관련 연구가 확대되고 있다. 바이오 메디칼 분야에서 대기압 플라즈마 제트 장치가 많이 연구되고 있다. Atmospheric pressure plasma is mainly used in the fields of surface modification, coating and environmental purification of materials. In recent years, related research has been expanded to apply biomedical applications and biomedical applications. Atmospheric plasma jet devices are being studied extensively in the field of biomedical research.

플라즈마 제트의 전극 구조는 대부분 침형의 바늘 전극 구조로 전원 장치에 따라서 다양한 구성 방식이 연구되고 있다. 주로 외부로부터 불활성 가스가 주입되고 바늘 전극 구조에 고전압이 가해져 플라즈마가 발생한다. 소형의 원형 평행 평판의 중심에 작은 구멍을 설치한 유전체 장벽 방전(DBD: Dielectric Barrier Discharge) 방식의 플라즈마 제트 장치도 소개되고 있다. The electrode structure of the plasma jet is mostly a needle electrode structure of a needle shape, and various configuration methods are being studied depending on the power supply apparatus. An inert gas is mainly injected from the outside and a high voltage is applied to the needle electrode structure to generate plasma. A dielectric barrier discharge (DBD) type plasma jet device having a small hole at the center of a small circular parallel plate has been introduced.

플라즈마 제트의 전원장치는 구동 주파수에 따라 여러 종류가 소개되고 있다. 수십~수백 kHz의 저주파 방전의 전원장치로는 DC 펄스 전원과 AC 전원이 있다. Various types of plasma jet power supplies are introduced according to the driving frequency. There are DC pulse power supply and AC power supply for low frequency discharge power of tens to hundreds of kHz.

플라즈마 제트는 살균과 멸균을 목적으로 많이 사용한다. 산소 라디칼을 포함하는 플라즈마를 이용하여 치아 미백과 병원균 파괴, 혈액 응고 등으로 활용이 연구되고 있다. 이러한 바이오 메디칼 분야의 활용에서 주요한 이슈들은 장치의 소형화 및 제어의 용이성, 인체에 대한 안정성 확보이다. Plasma jets are often used for sterilization and sterilization purposes. Plasma containing oxygen radicals has been used for tooth whitening, pathogen destruction, and blood coagulation. Major issues in the utilization of this biomedical field are the miniaturization and control of the device, and the stability of the human body.

생체의 세포나 인체에 직접 적용하기 위하여 전기적인 충격에 대한 안정성 확보가 중요한 과제이다. 그러므로 안정성 확보를 위해서는 고전압의 전극이 시료 및 인체에 직접 접촉되지 않아야 한다. 전극에 인가되는 구동 전압을 낮게 하고, 플라즈마 전류량을 1 ~ 2 mA의 작은 값으로 제어하여 생체에 대한 전기적인 충격이 없도록 해야 한다. 인체가 감지할 수 있는 최소 전류가 60Hz 상용 주파 교류에서 성인 남자의 경우 약 1mA이며, 주파수의 증가에 따라 감지 전류는 증가한다. 또한 고통을 느끼는 전류는 7 ~ 8 mA으로 그 이상의 높은 전류는 전기적뿐만이 아니라 열적으로도 위험한 요소가 된다. It is an important task to secure the stability against electric shock to be applied directly to living cells or human body. Therefore, in order to ensure stability, electrodes of high voltage should not come into direct contact with the sample and the human body. The driving voltage to be applied to the electrode should be lowered and the amount of plasma current should be controlled to a small value of 1 to 2 mA so that no electrical shock to the living body occurs. The minimum current that can be detected by the human body is about 1mA in a 60Hz commercial frequency alternating current for an adult man, and the sensing current increases with increasing frequency. In addition, the current feeling of pain is 7 ~ 8 mA, and higher currents are not only electrical but also thermally dangerous.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 피부에 자극을 최소화하면서 안정적인 미용효과를 제공하는 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것이다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention provides a plasma generating apparatus that provides a stable cosmetic effect while minimizing irritation to the skin.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 및 상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스를 포함한다.A plasma generator according to an embodiment of the present invention includes: a power supply electrode including a probe having a sharp needle shape and performing a discharge by receiving a high voltage; A cylindrical ground electrode arranged to surround the power supply electrode and including a vent on a side surface for circulating outside air; And an insulator disposed in an open front face of the ground electrode and spaced apart from the proximal direction of the probe so as to face the power supply electrode and providing a discharge space for generating plasma and having a through hole in a region facing the probe, And a front case formed.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, it may further comprise a tubular case including an internal cavity and formed of an insulator which is coupled to the ground electrode and extends in a central axis direction of the ground electrode.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the liquid storage portion disposed in the cavity; And a liquid transfer unit for vaporizing the liquid after moving the liquid stored in the liquid storage unit to the discharge space.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 액체 전달부가 제공하는 액체를 자연 기화 또는 강제 기화시키는 액체 기화부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the liquid transfer section may further include a liquid vaporizing section for spontaneously or vaporizing the liquid provided by the liquid transfer section.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 및 상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 상기 전원 전극에 공급하는 고전압 파워공급부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a battery mounted on the cavity and capable of charging / discharging; And a high voltage power supply unit mounted on the cavity and receiving a DC voltage from the battery to supply DC high voltage power to the power supply electrode.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 전극은 고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스; 대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침; 및 상기 전원 전극 베이스의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the power electrode includes a rectangular parallelepiped-shaped power electrode base provided with a high voltage; A plurality of probes arranged symmetrically and mounted on one surface of the power supply electrode base; And a power electrode protrusion protruding from the power electrode base at an opposite surface opposite to the one surface of the power electrode base and fitting into the power electrode protrusion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 접지 전극은 속이 빈 사각통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 측면에 형성된 제1 통풍구; 상기 제1 통풍구와 이격되어 배치된 제2 통풍구; 및 상기 몸체부의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부내측 접지부기 몸체부의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부 중에서 적어도 하나를 포함할 수있다.In one embodiment of the present invention, the ground electrode includes a body portion having a hollow rectangular tubular shape; A first vent hole formed on a side surface of the body portion; A second vent hole spaced apart from the first vent hole; And an auxiliary ground portion extending in the central axis direction from one side of the inner ground contact portion main body portion of the "U " shape disposed on the inner surface of the main body portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 통풍구는 상기 몸체부의 전면과 상기 몸체부의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second ventilation hole may be formed by recessing a part of a side of a side where the front surface of the body portion and the side surface of the body portion are in contact with each other.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전면 케이스는 판 형상의 전면 케이스 베이스; 상기 전면 케이스 베이스에 상기 탐침과 정렬되어 형성되는 관통홀; 및 상기 전면 케이스 베이스의 가장 자리에서 전면 케이스 베이스의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the front case includes a plate-shaped front case base; A through hole formed in alignment with the probe on the front case base; And a fitting part protruding from an arrangement plane of the front case base at an edge of the front case base.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 전극과 상기 접지 전극 사이에서 상기 전원 전극을 감싸도록 배치되는 절연 부재를 더 포함할 수 있다. 상기 절연 부재는 상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재; 및 상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an insulating member may be disposed between the power electrode and the ground electrode so as to surround the power electrode. The insulating member exposing the probe and surrounding three sides of the rectangular parallelepiped-shaped power electrode base of the power electrode, and exposing an upper surface of the power electrode base; And a second insulating member disposed on the exposed upper surface of the power electrode.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함할 수 있다.. 상기 케이스는 상기 접지 전극의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스; 및 상기 하부 케이스의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부와 결합하는 상부 케이스를 포함할 수 있다. 상기 하부 케이스는 직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부; 상기 하부 케이스 몸체부의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재; 상기 제1 절연 부재가 결합하는 제1 결합부; 상기 함몰부와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간을 분리하는 층간 분리막; 및 상기 제1 결합부 상기 함몰부를 분리하는 격벽을 포함할 수 있다. 상기 케비티는 상기 함몰부와 상기 상부 케이스의 하부면에 의하여 형성되고, 상기 층간 분리막은 상기 함몰부와 상기 액체 전달 공간을 연결하는 관통홀을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the antenna may further include a cylindrical case including an internal cavity and formed of an insulator which is coupled to the ground electrode and extends in a central axis direction of the ground electrode. A rectangular parallelepiped lower case coupled to the body of the ground electrode and including a depression therein; And an upper case coupled to the open top surface of the lower case and coupled with the auxiliary ground. Wherein the lower case has a rectangular parallelepiped shape and has a depression at an upper portion thereof; A U-shaped first insulating member disposed at one end of the lower case body and surrounding three sides of the rectangular parallelepiped-shaped power source electrode; A first coupling unit to which the first insulating member is coupled; An interlayer separator for separating the depression and the liquid transfer space formed below the depression; And a partition wall separating the depressed portion of the first coupling portion. The cavity may be formed by the depression and the lower surface of the upper case, and the interlayer separating film may include a through hole connecting the depression and the liquid transfer space.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 함몰부에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 상기 함몰부에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부; 상기 함몰부에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및 상기 층간 분리막의 관통홀 및 상기 액체 전달 공간에 배치되어 상기 액체저장부의 액체를 상기 방전공간에 제공하는 액체 전달부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a battery mounted on the depression and capable of charging / discharging; A high voltage power supply unit mounted on the depression and receiving DC voltage from the battery to supply DC high voltage power; A liquid storage portion mounted in the depression for storing a liquid to be vaporized; And a liquid transfer portion disposed in the through hole of the interlayer separator and the liquid transfer space to provide the liquid in the liquid storage portion to the discharge space.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탐침은 도전체로 형성되고, 상기 탐침의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the probe is formed of a conductor, and the surface of the probe may be coated with gold or platinum.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 접지 전극은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극의 표면은 도전체로 코팅될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the ground electrode is formed of a plastic material, and the surface of the ground electrode may be coated with a conductor.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 적어도 두 개의 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스; 상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스; 상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 포함할 수 있다.A plasma generator according to an embodiment of the present invention includes: a power supply electrode including a probe having a sharp needle shape and performing a discharge by receiving a high voltage; A cylindrical ground electrode disposed to surround the power supply electrode and including at least two vents on a side thereof so that external air can circulate; A cylindrical case including a cavity inside and formed of an insulator coupled to the ground electrode and extending in the direction of the central axis of the ground electrode; And an insulator formed on an open front surface of the ground electrode and spaced apart from the probe in a direction opposite to the power supply electrode to provide a discharge space for generating plasma and including a through hole in a region facing the probe Front case; A liquid reservoir disposed in the cavity; And a liquid transfer unit for vaporizing the liquid after moving the liquid stored in the liquid storage unit to the discharge space.

본 발명의 일 실시예 따른 휴대용 플라즈마 미용장치는 내부에 케비티를 포함하고 비전도성 재질로 형성된 케이스; 상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부; 상기 고전압 파워공급부로부터 DC 고전압 전력을 공급받아 플라즈마를 생성하는 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레에 상기 전원 전극과 이격되어 배치된 접지 전극; 상기 탐침에 정렬되어 형성된 관통홀을 포함하고 상기 전원 전극과 대향하여 배치되고 상기 접지 전극에 고정되는 비전도성 재질의 전면 케이스; 상기 케비티에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및 상기 액체저장부의 액체를 상기 전원 전극과 상기 전면 케이스 사이의 방전 공간으로 이동시키는 액체 전달부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a portable plasma beauty apparatus comprising: a case including a cavity and formed of a nonconductive material; A battery mounted on the cavity and chargeable and dischargeable; A high voltage power supply installed in the cavity and receiving DC voltage from the battery to supply DC high voltage power; A power supply electrode including a needle-shaped probe for generating a plasma by receiving DC high voltage power from the high voltage power supply unit; A ground electrode disposed around the power supply electrode and spaced apart from the power supply electrode; A front case including a through hole formed in alignment with the probe and disposed opposite to the power supply electrode and fixed to the ground electrode; A liquid storage portion mounted to the cavity and storing a liquid to be vaporized; And a liquid transfer unit for transferring the liquid in the liquid storage unit to a discharge space between the power supply electrode and the front case.

본 발명의 일 실시예에 따른 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법은 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극, 상기 전원 전극을 감싸는 통 형상의 접지 전극, 및 상기 접지 전극의 개방된 전면을 막고 관통홀을 포함하는 전면 케이스에 의하여 정의되는 방전 공간을 제공하는 단계; 상기 방전 공간에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계; 상기 전면 케이스를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 방전 공간에 플라즈마를 형성하는 단계; 및 상기 접지 전극에 형성된 적어도 두 개의 통풍구를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함한다.A portable plasma beauty treatment method according to an embodiment of the present invention includes a power supply electrode including a needle-like probe, a tubular ground electrode surrounding the power supply electrode, and a ground electrode covering the open front surface of the ground electrode, Providing a discharge space defined by the front case; Vaporizing water in the discharge space to provide water vapor; Forming a plasma in the discharge space by applying a DC high voltage to the power electrode in a state where the front case is in contact with the skin of the human body; And providing a convective flow in the discharge space through at least two vents formed in the ground electrode.

본 발명에서는 가스 주입 없이도 플라즈마를 발생시켜서 휴대가 편리하고 사용도 간편하며, 가스를 교체하지 않아도 되기에 비용적인 측면에서 효과적이다.In the present invention, the plasma is generated without gas injection, so that it is convenient to carry and easy to use, and it is effective in terms of cost since the gas need not be replaced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 개념도이다.
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 플라즈마 발생 장치에서 전면 케이스를 제거한 사시도이다.
도 3은 도 2a의 플라즈마 발생 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 접지 전극을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 3의 하부 케이스를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 2a의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 도 2a의 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치의 작동으로 형성된 플럼(plume)의 분광 스펙트럼을 도시한 그래프이다.
1 is a conceptual diagram illustrating a plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2A is a perspective view illustrating a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.
2B is a perspective view of the plasma generator of FIG. 2A, with the front case removed.
3 is an exploded perspective view of the plasma generating apparatus of FIG.
Fig. 4 is a perspective view showing the ground electrode of Fig. 3. Fig.
5 is a perspective view showing the lower case of Fig.
6 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'in FIG. 2A.
7 is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 2A.
8 is a graph showing a spectral spectrum of a plume formed by the operation of the plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

RF 방전에 비하여, DC 방전은 비용이 저렴하고 간단한 구조를 제공할 수 있다. 대기압 방전을 안정적으로 수행하기 위하여, 촉매 가스가 사용된다. 한편, 촉매가스는 별도의 가스 저장 수단을 요구하여, 휴대하기 불편하며 넓은 공간을 요구한다.Compared to RF discharge, DC discharge is cheap and can provide a simple structure. In order to stably perform atmospheric pressure discharge, a catalytic gas is used. On the other hand, the catalytic gas requires a separate gas storage means, which is inconvenient to carry and requires a large space.

본 발명의 일 실시예에 따른 촉매가스를 사용하지 않고, 방전 공간에 외부 대기와 대류를 발생시켜 안정적인 플라즈마를 사용할 수 있는 플라즈마 미용장치를 제공한다. 특히, 공기에 들어있는 산소, 수소, 수분, 질소등이 반응 하여 플라즈마가 생성된다. 특히, 수분의 양은 플라즈마 방전을 안정화시키고 OH 라디칼(수산기)을 생성할 수 있다. OH 라디칼은 살균, 탈취 작용을 수행할 수 있다.There is provided a plasma cosmetic device capable of generating stable outside air and convection in a discharge space without using a catalyst gas according to an embodiment of the present invention. Particularly, oxygen, hydrogen, water, nitrogen, etc. contained in air react to generate plasma. In particular, the amount of moisture can stabilize the plasma discharge and generate an OH radical (hydroxyl group). OH radicals can perform sterilization, deodorization.

만약, 밀폐된 공간에 수분이 계속 공급되는 경우, 상기 수분은 포화 수증기압에 도달하면 더 이상 기화되지 않고 액체로 액화될 수 있다. 따라서, 방전 구조에 치명적인 역활을 할 수 있다. 따라서, 수분이 공급되는 상황에서, 밀폐된 방전 공간에 공기의 대류가 요구된다. If moisture is continuously supplied to the closed space, the moisture can be liquefied into the liquid without vaporization any longer when the saturated water vapor pressure is reached. Therefore, it can play a critical role in the discharge structure. Therefore, in a situation where moisture is supplied, convection of air to the sealed discharge space is required.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 대기압 DC 방전이 수행되는 경우, 방전에 의하여 국부적으로 압력차가 발생하여, 이온풍(ion wind)이 발생할 수 있다. 이에 따라, 통풍구가 있는 경우, 수분이 계속 공급되는 상태에서 방전 공간은 대류 및 확산에 의하여 신선한 공기로 채워질 수 있다. 또한, 통풍구를 통하여 대류가 이루어지는 경우, 대기압 DC 방전 공간은 수증기의 응결을 억제할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when an atmospheric pressure DC discharge is performed, a local pressure difference may be generated due to the discharge, and ion wind may be generated. Accordingly, when there is a ventilation hole, the discharge space can be filled with fresh air by convection and diffusion in a state where water is continuously supplied. Further, when the convection is made through the ventilation hole, the atmospheric pressure DC discharge space can suppress condensation of water vapor.

또한, 대기압 DC 방전이 전원 전극과 접지로서 동작하는 인체에 사이에 직접 발생하는 경우, 약 1mA 이상의 전류가 피부로 흘를 수 있다. 이에 따라, 사용자는 고통을 느끼고 피부에 손상을 제공할 수 있다.Further, when atmospheric pressure DC discharge occurs directly between the power supply electrode and a human body operating as a ground, a current of about 1 mA or more may flow to the skin. As a result, the user feels pain and can provide damage to the skin.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 대기압 DC 방전을 하는 경우, 전원 전극과 피부 사이에 흐르는 전류를 약 1mA 이하로 억제하면서, 피부는 전면 케이스의 관통홀을 통하여 OH 라디칼(수산기) 등과 같은 라디칼을 공급받을 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in the case of performing atmospheric pressure DC discharge, the skin is irradiated with radicals such as OH radicals (hydroxyl groups) through the through holes of the front case while suppressing the current flowing between the power source electrode and the skin to about 1 mA or less Can be supplied.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are being provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the components have been exaggerated for clarity. Like numbers refer to like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 플라즈마 발생 장치(100)는 전원 전극(130), 접지 전극(120), 및 전면 케이스(110)를 포함하고, 대기압에서 DC 글로우 방전을 수행한다. 상기 전원 전극(120)은 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행한다. 상기 접지 전극(120)은 상기 전원 전극(130)의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구(121,122)를 포함하고 통 형상이다. 상기 전면 케이스(110)는 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침(132)의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극(130)에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침(132)을 마주보는 영역에 관통홀(112)을 포함하는 절연체로 형성된다.Referring to FIG. 1, a plasma generator 100 includes a power electrode 130, a ground electrode 120, and a front case 110, and performs a DC glow discharge at atmospheric pressure. The power supply electrode 120 includes a needle-shaped probe 132 having a sharp end and performs a discharge by receiving a high voltage. The ground electrode 120 is disposed so as to surround the power supply electrode 130 and has ventilation openings 121 and 122 on the side thereof for circulating outside air. The front case 110 is disposed on the open front face of the ground electrode 120 and spaced apart from the probe 132 in the direction of extension of the probe 132 to face the power electrode 130 and provide a discharge space for generating plasma And an insulator including a through hole 112 in a region facing the probe 132.

전원 전극(130)은 바늘 형상의 탐침(132)과 전원 전극 베이스(134)를 포함할 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)는 다각 기둥 또는 원 기둥 형상일 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)는 고전압 파워공급부(154)로부터 수 kV의 고전압을 공급받을 수 있다. 상기 탐침(132)은 하나 이상일 수 있다. 상기 탐침(132)은 구리, 금, 은, 철, 텅스텐등 의 전도성 재질일 수 있다. 상기 탐침(132)은 지름은 수백 마이크로 미터 내지 수 밀리미터일 수 있다. 바람직하게는 상기 탐침(132)의 지름은 2 mm일 수 있다. 상기 탐침(132)의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다. 상기 금 또는 백금 코팅은 오존 발생을 억제하고 상기 탐침(132)의 산화를 억제할 수 있다. 상기 탐침(132)은 대칭성을 가지고 배치될 수 있다. 상기 탐침(132)은 나사 결합을 통하여 상기 전원 전극 베이스(134)에 결합할 수 있다. 상기 탐침(132)은 상기 전원 전극 베이스(134)로부터 2 mm 내지 5 mm 정도 돌출될 수 있다. 상기 탐침(132)과 상기 전면 케이스(110) 사이의 거리는 5 mm 내지 10 mm일 수 있다.The power supply electrode 130 may include a needle-like probe 132 and a power supply electrode base 134. The power supply electrode base 134 may have a polygonal columnar shape or a circular columnar shape. The power supply electrode base 134 can receive a high voltage of several kV from the high voltage power supply unit 154. The probe 132 may be more than one. The probe 132 may be made of a conductive material such as copper, gold, silver, iron, or tungsten. The probe 132 may have a diameter ranging from a few hundred micrometers to several millimeters. Preferably, the diameter of the probe 132 may be 2 mm. The surface of the probe 132 may be coated with gold or platinum. The gold or platinum coating can suppress ozone generation and inhibit the oxidation of the probe 132. The probe 132 may be disposed symmetrically. The probe 132 may be coupled to the power supply electrode base 134 through a screw connection. The probe 132 may protrude from the power supply electrode base 134 by about 2 mm to 5 mm. The distance between the probe 132 and the front case 110 may be 5 mm to 10 mm.

절연 부재(140)는 상기 전원 전극 베이스(134)를 감싸도록 배치되어 상기 접지 전극(120)과 직접 접촉을 방지할 수 있다. 상기 절연 부재(140)는 단면이 사각형인 토로이드 형상일 수 있다. 상기 절연 부재(140)는 플라스틱 계열, 아크릴 계열, 또는 수지일 수 있다. 바람직하게는 상기 절연 부재는 ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene) 수지일 수 있다. The insulating member 140 is disposed to surround the power supply electrode base 134 to prevent direct contact with the ground electrode 120. The insulating member 140 may have a toroidal shape having a rectangular cross section. The insulating member 140 may be plastic, acrylic, or resin. Preferably, the insulating member may be ABS (Acrylonitrile Butadiene Styrene) resin.

상기 접지 전극(120)은 상기 절연부재(140)를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 접지 전극(120)은 도전성 물질로 형성되거나, 절연 물질에 도전성 코팅을 통하여 형성될 수 있다. 상기 접지 전극(120)은 단면이 사각형인 토로이드 형상 또는 사각형 통 형상일 수 있다.The ground electrode 120 may be disposed to surround the insulating member 140. The ground electrode 120 may be formed of a conductive material or may be formed of an insulating material through a conductive coating. The ground electrode 120 may be a toroidal shape having a rectangular cross section or a rectangular tubular shape.

상기 접지 전극(120)은 사용자의 손의 접촉에 의하여 접지될 수 있다. 이에 따라, 상기 전원 전극의 탐침(132)과 상기 접지 전극(120) 사이에 방전이 개시될 수 있다. 상기 방전은 플라즈마를 생성하고, 상기 플라즈마는 라디칼과 이온들을 포함한다. 따라서, 생성된 라디칼은 피부의 표면을 살균할 수 있다. 방전이 개시된 상태에서, 사용자의 피부가 상기 전면 케이스(110)에 접근하는 경우, 방전 공간에서 생성된 라이칼은 상기 전면 케이스(110)의 관통홀(112)을 통하여 피부에 제공될 수 있다.The ground electrode 120 may be grounded by contact of the user's hand. Accordingly, a discharge can start between the probe 132 of the power supply electrode and the ground electrode 120. The discharge generates a plasma, and the plasma includes radicals and ions. Thus, the resulting radical can sterilize the surface of the skin. When the user's skin approaches the front case 110 in a state where the discharge is started, the lyric generated in the discharge space may be provided to the skin through the through hole 112 of the front case 110.

상기 접지 전극(120)은 통 형상의 측면에 제1 통풍구(121) 및 제2 통풍구(122)를 포함할 수 있다. 제1 통풍구(121)는 상기 전원 전극(130)에 인접하여 배치되고, 제2 통풍구(122)는 상기 전면 케이스(110)에 인접하여 배치될 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 흡기구로 기능하고, 상기 제2 통풍구(122)는 배기로 기능할 수 있다. 상기 플라즈마 방전에 의하여, 이온 풍이 발생하여, 대류를 유도할 수 있다. 외부의 공기는 상기 제1 통풍구(121)를 통하여 유입되어, 방전을 통하여 라디칼을 형성할 수 있다. 라디칼은 피부에 제공되어, 살균 등을 작용할 수행하고, 상기 제2 통풍구(122)를 통하여 배기될 수 있다.The ground electrode 120 may include a first vent hole 121 and a second vent hole 122 on a cylindrical side surface. The first vent hole 121 may be disposed adjacent to the power source electrode 130 and the second vent hole 122 may be disposed adjacent to the front case 110. The first vent 121 functions as an intake port, and the second vent 122 functions as an exhaust. By the plasma discharge, an ion wind is generated, and convection can be induced. The outside air flows through the first vent 121 and can form radicals through discharging. The radicals are provided to the skin, perform sterilization or the like, and can be exhausted through the second vent hole (122).

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 리모트 플라즈마 방식을이용한다. 구체적으로, 플라즈마가 발생하는 부분과 피부에 작용하는 부분이 분리된다. 피부에는 직접적으로 플라즈마가 발생하지 않아, 플라즈마 발생 장치는 피부 자극없이 살균 등의 작용을 수행한다. The plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention uses a remote plasma method. Specifically, the portion where the plasma is generated and the portion that acts on the skin are separated. The plasma is not directly generated on the skin, and the plasma generating device performs an action such as sterilization without skin irritation.

전면 케이스(110)는 상기 접지 전극(120)의 개방된 일면에 삽입되어 끼움 결합할 수 있다. 상기 전면 케이스(110)는 인체의 피부와 맞닫는 곳으로 피부에 접촉시 거부감이 없는 비전도성 재질을 사용한다. 상기 전면 케이스(110)는 인체 피부와 전원 전극(130) 사이의 아크 방전을 억제할 수 있다. 상기 전면 케이스(110)의 재질은 실리콘 수지 또는 세라믹이 바람직하다. 전면 케이스(110)의 관통홀(112)은 상기 탐침(132)에 대향하여 배치되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 이온 풍은 상기 관통홀(112) 뒤에 있는 피부에 라디칼을 제공하여 살균 등의 작용을 수행할 수 있다.The front case 110 may be inserted into and engaged with an open side of the ground electrode 120. The front case 110 closes the skin of the human body and uses a nonconductive material having no irritation when it comes into contact with the skin. The front case 110 can suppress arc discharge between the human skin and the power supply electrode 130. The front case 110 is preferably made of silicone resin or ceramic. The through hole 112 of the front case 110 is preferably disposed to face the probe 132. Accordingly, the ion wind can provide a radical to the skin behind the through hole 112 to perform an action such as sterilization.

상기 케이스(160)는 상지 접지 전극(120)과 결합하여 고정될 수 있다. 상기 케이스(160)는 절연체로 형성되고, 플라스틱 재질 또는 수지일 수 있다. 상기 케이스(160)는 내부에 케비티(161)를 포함할 수 있다. 상기 케이스(160)는 상기 접지 전극(120)과 턱을 가지지 않고 연속적으로 결합할 수 있다. 상기 접지 전극(120)이 사각 통 형상인 경우, 상기 케이스(160)는 동일한 외경을 가진 사각 통 형상일 수 있다. 상기 접지 전극(120)이 원통 형상인 경우, 상기 케이스(160)는 동일한 외경을 가진 원통 형상일 수 있다. 상기 케이스(160)는 상부 케이스(164)와 하부 케이스(162)로 분리될 수 있다. 상기 상부 케이스(164)는 상기 하부 케이스(162)의 뚜껑일 수 있다. 상기 케비티 내부에 배터리, 고전압 파워공급부(154), 및 액체저장부가 배치될 수 있다.The case 160 may be fixedly coupled with the upper ground electrode 120. The case 160 is formed of an insulator, and may be a plastic material or a resin. The case 160 may include a cavity 161 therein. The case 160 can be continuously connected to the ground electrode 120 without having a jaw. When the ground electrode 120 has a rectangular tube shape, the case 160 may have a rectangular tube shape having the same outer diameter. When the ground electrode 120 has a cylindrical shape, the case 160 may have a cylindrical shape having the same outer diameter. The case 160 may be separated into an upper case 164 and a lower case 162. The upper case 164 may be a cover of the lower case 162. A battery, a high-voltage power supply 154, and a liquid reservoir may be disposed inside the cavity.

배터리(152)는 외부 전원으로부터 전력을 공급받아 충전될 수 있다. 또한, 상기 베터리(152)는 상기 고전압 파워공급부(154)에 DC 전압을 공급할 수 있다. 배터리는 리튬폴리머 건전지일 수 있다. 상기 배터리(152)는 직류전원단자에 의해 충전될 수 있다.The battery 152 can be charged with power supplied from an external power source. In addition, the battery 152 may supply a DC voltage to the high voltage power supply unit 154. The battery may be a lithium polymer battery. The battery 152 may be charged by a DC power source terminal.

고전압 파워공급부(154)는 상기 베터리로부 DC 7~12V를 공급받아 DC 3~8kV의 고전압을 발생시킬 수 있다. 상기 고전압 파워공급부(154)는 상기 전원 전극(130)에 고전압을 인가할 수 있다. The high-voltage power supply unit 154 may supply the battery DC 7 to 12 V and generate a high voltage of 3 to 8 kV DC. The high voltage power supply unit 154 may apply a high voltage to the power supply electrode 130.

액체저장부(156)는 액체를 저장하는 탱크이다. 상기 액체 저장부(156)는 물을 저장할 수 있다. 상기 액체 저장부(156)는 외부로부터 파이프로 연결하여 액체를 공급받을 수 있다. 상기 액체는 물일 수 있다. The liquid storage portion 156 is a tank for storing liquid. The liquid reservoir 156 may store water. The liquid reservoir 156 may be connected to a pipe from the outside to receive the liquid. The liquid may be water.

액체 전달부(170)는 상기 액체 저장부(156)에 저장된 물을 상기 전원 전극(130)과 상기 접지 전극(120) 사이의 방전 공간으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 액체 전달부(170)는 다공성 재질과 상기 다공성 재질을 감싸는 파이프를 포함할 수 있다. 상기 다공성 재질은 스펀지(sponge)일 수 있다. The liquid transfer unit 170 may transfer the water stored in the liquid storage unit 156 to the discharge space between the power supply electrode 130 and the ground electrode 120. For example, the liquid transfer portion 170 may include a porous material and a pipe surrounding the porous material. The porous material may be a sponge.

액체 기화부(174)는 상기 액체 전달부(170)가 이동시킨 액체를 기화시킬 수 있다. 상기 액체 기화부(174)는 초음파 진동자를 포함할 수 있다. 상기 초음파 진동자는 압전 소자일 수 있다. 상기 초음파 진동자는 물을 진동시켜 기화시킬 수 있다.The liquid vaporization portion 174 may vaporize the liquid transferred by the liquid transfer portion 170. The liquid vaporization unit 174 may include an ultrasonic vibrator. The ultrasonic vibrator may be a piezoelectric element. The ultrasonic vibrator can vibrate water by vibrating it.

도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 사시도이다.2A is a perspective view illustrating a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 2b는 도 2a의 플라즈마 발생 장치에서 전면 케이스를 제거한 사시도이다.2B is a perspective view of the plasma generator of FIG. 2A, with the front case removed.

도 3은 도 2a의 플라즈마 발생 장치의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of the plasma generating apparatus of FIG.

도 4는 도 3의 접지 전극을 나타내는 사시도이다.Fig. 4 is a perspective view showing the ground electrode of Fig. 3. Fig.

도 5는 도 3의 하부 케이스를 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view showing the lower case of Fig.

도 6은 도 2a의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'in FIG. 2A.

도 7은 도 2a의 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.7 is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 2A.

도 2 내지 도 7을 참조하면, 플라즈마 발생 장치(200)는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극(130), 상기 전원 전극(130)의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구(121,122)를 포함하고 통 형상의 접지 전극(120), 및 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침(132)의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극(130)에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스(110)를 포함한다.2 to 7, the plasma generator 200 includes a power supply electrode 130 including a probe tip 132 having a sharp tip shape and performing a discharge by receiving a high voltage, a power supply electrode 130, And a cylindrical ground electrode 120 disposed on the open front side of the ground electrode 120 and including a vent hole 121 and 122 on the side thereof for circulating external air, And a front case 110 which is disposed opposite to the power supply electrode 130 and which is spaced apart from the power supply electrode 130 and is formed of an insulator including a through hole in a region facing the probe to provide a discharge space for generating plasma .

상기 전원 전극(130)은 고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스(134), 대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침(132), 및 상기 전원 전극 베이스(134)의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스(134)에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부(136)를 포함할 수 있다.The power supply electrode 130 includes a rectangular parallelepiped shaped power supply electrode base 134 to which a high voltage is applied, a plurality of probes 132 arranged symmetrically and mounted on one surface of the power supply electrode base, And a power electrode protrusion 136 protruding from the power electrode base 134 at the other side opposite to the one side of the power electrode base 134 to fit into the power electrode base 134.

상기 전원 전극 베이스(134)는 직육면체 형상이고, 일면(xy 평면)에 복수의 홈이 형성되고, 각 홈에 탐침이 삽이되어 고정된다. 상기 탐침(132)은 상기 전원 전극 베이스(134)와 나사결합할 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)의 일면에 대향하는 타면에서 양의 x축 방향 및 음의 x축 방향으로 돌출된 전원 전극 돌출부(136)이 배치된다. 상기 전원 전극 돌출부(136)는 케이스 또는 절연 부재에 끼움 결합하여 상기 전원 전극(130)을 고정하면서 절연시킬 수 있다. 상지 전원 전극 베이스(134)의 재질은 알루미늄 또는 구리 재질일 수 있다.The power supply electrode base 134 has a rectangular parallelepiped shape, has a plurality of grooves formed on one surface (xy plane), and a probe is inserted and fixed in each groove. The probe 132 may be screwed with the power supply electrode base 134. A power electrode protrusion 136 protruding in positive x-axis direction and negative x-axis direction from the other surface opposite to one surface of the power supply electrode base 134 is disposed. The power electrode protrusion 136 may be inserted into a case or an insulating member to fix the power electrode 130 while fixing the power electrode. The upper power electrode base 134 may be made of aluminum or copper.

상기 탐침(132)은 도전체로 형성되고 음의 z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 탐침(132)의 재질은 텅스텐일 수 있다. 상기 탐침(132)의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다. 상기 금 또는 백금 코팅은 텅스텐의 산화를 억제하고, 오존의 과도한 생성을 억제할 수 있다.The probe 132 may be formed of a conductor and extend in the negative z-axis direction. The material of the probe 132 may be tungsten. The surface of the probe 132 may be coated with gold or platinum. The gold or platinum coating inhibits oxidation of tungsten and can inhibit excessive formation of ozone.

상기 접지 전극(120)은 속이 빈 사각통 형상의 몸체부(125), 상기 몸체부(125)의 측면에 형성된 제1 통풍구(121), 상기 제1 통풍구(121)와 이격되어 배치된 제2 통풍구(122), 상기 몸체부(125)의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부(123), 및 상기 몸체부(125)의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부(124)를 포함할 수 있다.The ground electrode 120 includes a body portion 125 having a hollow rectangular tube shape, a first vent 121 formed on a side of the body 125, a second vent 121 formed on the side of the body 125, U-shaped inner ground portion 123 disposed on the inner surface of the body portion 125 and an auxiliary ground portion 123 extending in the central axis direction from one side of the body portion 125. [ (Not shown).

상기 몸체부(125)는 사각통 형상이고, 내부 중심 부위에 "U" 자 형상의 내측 접지부(123)가 배치된다. 상기 내측 접지부(123)는 상기 몸체부의 내측면을 따라 배치되고, 상기 전원 전극(130)을 감싸는 절연 부재(241,262)의 3 측면을 고정할 수 있다. 또한, 액체 전달부(170)의 일단은 상기 내측 접지부(123)와 함께 상기 절연 부재(241)를 감싸도록 배치될 수 있다.The body portion 125 is formed in a rectangular tube shape, and an inner ground portion 123 having a "U" shape is disposed at an inner central portion. The inner grounding part 123 may be disposed along the inner surface of the body part and may fix three sides of the insulating members 241 and 262 surrounding the power supply electrode 130. One end of the liquid transfer part 170 may be arranged to surround the insulating member 241 together with the inner ground part 123. [

제1 통풍구(121)는 상기 내측 접지부(123)에 인접하여 배치되고 상기 몸체부(125)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 각 측면에 하나 씩 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제1 통풍구(121)는 슬릿 형상을 가질 수 있다. 상기 슬릿의 길이는 상기 탐침 사이의 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 이온 풍이 발생한 경우, 흡입구로 동작할 수 있다. The first ventilation hole 121 may be disposed adjacent to the inner grounding portion 123 and may extend through the body portion 125. The first vent holes 121 may be formed on each side. Accordingly, the first vent 121 may have a slit shape. The length of the slit may be substantially the same as the distance between the probes. The first vent 121 may act as an inlet when ion wind is generated.

제2 통풍구(122)는 상기 제1 통풍구(121)와 z 축 방향으로 이격되어 형성될 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)는 상기 몸체부(125)의 말단에 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 전면 케이스(110)과 상기 몸체부(125)의 일면이 서로 결합하는 부위에 함몰 부위가 형성되고, 상기 함몰 부위는 상기 제2 통풍구(122)를 제공할 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)의 크기는 상기 제1 통풍구(121)의 크기와 동일할 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)는 상기 몸체부(125)의 앞면과 상기 몸체부(125)의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성될 수 있다.The second ventilation holes 122 may be spaced apart from the first ventilation holes 121 in the z-axis direction. The second ventilation hole 122 may be disposed at a distal end of the body 125. Therefore, a depression may be formed at a portion where one surface of the front case 110 and the body 125 are coupled to each other, and the depression may provide the second ventilation hole 122. The size of the second vent hole 122 may be the same as the size of the first vent hole 121. The second ventilation hole 122 may be formed by a part of the side of the side where the front surface of the body part 125 and the side surface of the body part 125 are in contact with each other.

보조 접지부(124)는 상기 몸체부(124)의 상부면에서 z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 보조 접지부(124)는 사용자의 손가락이 용이하게 접촉할 수 있도록 제공될 수 있다. 상기 보조 접지부(124)는 상부 케이스(260)에 형성된 상부 케이스 홈(264)에 삽입될 수 있다.The auxiliary ground 124 may extend in the z-axis direction on the upper surface of the body portion 124. The auxiliary ground unit 124 may be provided so that the user's finger can easily touch. The auxiliary ground 124 may be inserted into the upper case groove 264 formed in the upper case 260.

상기 전면 케이스(110)는 판 형상의 전면 케이스 베이스(116), 상기 전면 케이스 베이스(116)에 상기 탐침(132)과 정렬되어 형성되는 관통홀(112), 및 상기 전면 케이스 베이스(116)의 모서리에서 전면 케이스 베이스(116)의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부(114)를 포함할 수 잇다.The front case 110 includes a plate-shaped front case base 116, a through hole 112 aligned with the probe 132 on the front case base 116, And a fitting portion 114 formed to protrude from an arrangement plane of the front case base 116 at an edge.

상기 전면 케이스 베이스(116)는 사각 판 형상이고, 상기 전면 케이스 베이스(116)의 중심 부위에는 일정한 간격으로 대칭적으로 배치된 관통홀(112)이 배치될 수 있다. 상기 전면 케이스(110)는 절연체로 세라믹 또는 실리콘 수지일 수 있다. 상기 관통홀(112)의 개수는 4 개일 수 있다. 상기 관통홀(112)은 상기 탐침의 z축 방향으로 정렬될 수 있다. 상기 끼움 결합부(114)는 상기 전면 케이스 베이스(116)의 모서리 부위에서 z축 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다.The front case base 116 may have a rectangular plate shape and a through hole 112 symmetrically disposed at a predetermined interval may be disposed in a central portion of the front case base 116. The front case 110 may be a ceramic or a silicone resin as an insulator. The number of the through holes 112 may be four. The through-hole 112 may be aligned in the z-axis direction of the probe. The fitting portion 114 may protrude in the z-axis direction at a corner of the front case base 116.

케이스(240, 260)는 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극(120)에 결합하고 상기 접지 전극(120)의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상이다.The case 240, 260 is cylindrical in shape including an internal cavity, and connected to the ground electrode 120 and extending in the direction of the central axis of the ground electrode 120.

상기 케이스(240, 260)는 상기 접지 전극(120)의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부(246)를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스(240), 및 상기 하부 케이스(240)의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부(124)와 결합하는 상부 케이스(260)를 포함한다. 상기 상부 케이스(260)는 상기 하부 케이스(240)의 투껑으로 동작한다.The case 240 has a rectangular parallelepiped lower case 240 coupled to the body of the ground electrode 120 and including a depression 246 therein, And an upper case (260) coupled to the auxiliary ground (124) and coupled to the auxiliary ground (124). The upper case 260 operates as a cover of the lower case 240.

상기 하부 케이스(240)는 직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부(249), 상기 하부 케이스 몸체부(241)의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극(130)의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재(241), 상기 제1 절연 부재(241)가 결합하는 제1 결합부(244), 상기 함몰부(246)와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간(245a)을 분리하는 층간 분리막(248), 및 상기 제1 결합부(244)와 상기 함몰부(246)를 분리하는 격벽(247)을 포함한다. 상기 케비티는 상기 함몰부(246)와 상기 상부 케이스(260)의 하부면에 의하여 형성될 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 상기 함몰부(246)와 상기 액체 전달 공간(245a)을 연결하는 관통홀(245)을 포함할 수 있다.The lower case 240 includes a lower case body 249 having a rectangular parallelepiped shape and a depression at an upper portion thereof, and three side faces of the rectangular parallelepiped power electrode 130 disposed at one end of the lower case body 241 A first engaging portion 244 engaging with the first insulative member 241, a second engaging portion 244 engaging with the depressed portion 246 and a liquid transfer space 244 formed in a lower portion of the depressed portion, An interlayer separator 248 for separating the first engaging portion 245a from the first engaging portion 244 and a partition wall 247 separating the first engaging portion 244 and the depression 246 from each other. The cavity may be formed by the depression 246 and the lower surface of the upper case 260. The interlayer separator 248 may include a through hole 245 connecting the depression 246 and the liquid transfer space 245a.

하부 케이스 몸체부(240)는 z축 방향으로 연장되는 직육 면체 형상이다. 상기 하부 케이스 몸체부(249)의 상부면에서는 함몰부(246)가 형성되어 있다. 상기 함몰부(246)는 직육면체 형상일 수 있다. 상기 함몰부(246)의 내부에는 고전압 파워공급부(154), 배터리(152), 및 액체저장부(156)가 배치될 수 있다. The lower case body 240 has a rectangular parallelepiped shape extending in the z-axis direction. A depression 246 is formed on the upper surface of the lower case body 249. The depressed portion 246 may have a rectangular parallelepiped shape. A high voltage power supply unit 154, a battery 152, and a liquid storage unit 156 may be disposed inside the depression 246.

상기 제1 절연 부재(241)는 상기 전원 전극 베이스(134)를 양 측면 및 하부면에서 감싸도록 형성된 "U"자 형태일 수 있다. 상기 제1 절연 부재(241)는 상기 하부 케이스 몸체부(249)의 음의 z축 방향의 일단에 배치될 수 잇다. The first insulating member 241 may be formed in a U-shape to enclose the power supply electrode base 134 on both sides and the lower surface. The first insulating member 241 may be disposed at one end of the lower case body 249 in the negative z-axis direction.

상기 제1 결합부(244)는 상기 제1 절연 부재(241)를 지지하도록 배치될 수 있다. 상기 제1 결합부(244)는 상기 하부 케이스 몸체부(249)와 연속적으로 연결될 수 있다. 상기 제1 절연부재(241)는 상기 제1 결합부(244)의 내부에서 음의 z축 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다. The first coupling portion 244 may be disposed to support the first insulation member 241. The first coupling portion 244 may be continuously connected to the lower case body 249. The first insulating member 241 may be disposed so as to protrude in the negative z-axis direction within the first coupling portion 244.

격벽(247)은 상기 제1 결합부(244)와 상기 함몰부(246)를 분리할 수 있다. 상기 격벽(247)은 상기 제1 절연 부재(241)와 일정한 간격을 유지할 수 있다. 상기 격벽(247)과 상기 제1 절연 부재(241) 사이의 공간에 상기 전원 전극 돌출부(136)가 삽입될 수 있다. 상기 격벽(247)의 중심에는 전기적 연결을 위한 함몰 부위(243)를 포함할 수 있다.  The partition wall 247 can separate the first engaging portion 244 and the depression 246 from each other. The barrier rib 247 may be spaced apart from the first insulating member 241 by a predetermined distance. The power electrode protrusion 136 may be inserted into a space between the barrier rib 247 and the first insulating member 241. The partition wall 247 may include a depression 243 for electrical connection.

상기 층간 분리막(248)은 상기 함몰부(246)의 하부면을 형성할 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 상기 층간 분리막(248)의 하부에 액체 전달 공간을 형성할 수 있다. 상기 액체 전달 공간(245a)에서는 상기 액체 전달부(170)가 배치될 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 관통홀(245)을 포함하고, 상기 관통홀(245)을 통하여 상기 액체 전달부(170)가 상기 액체 저장부(156)에 접촉하여 액체를 공급받을 수 있다.The interlayer separator 248 may form a lower surface of the depression 246. The interlayer separator 248 may form a liquid transfer space below the interlayer separator 248. In the liquid transfer space 245a, the liquid transfer portion 170 may be disposed. The interlayer separator 248 includes a through hole 245 through which the liquid transfer part 170 contacts the liquid storage part 156 to be supplied with the liquid.

상기 상부 케이스(260)는 제2 절연 부재(262), 및 상기 제2 절연 부재(262)와 연결되는 상부 케이스 몸체부(266)를 포함할 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)와 접촉하는 상기 상부 케이스 몸체부(266)의 상부면에는 상부 케이스 홈(264)이 형성될 수 있다. 상기 상부 케이스 홈(264)에는 상기 보조 전극부(124)가 배치될 수 있다. 상기 보조 전극부(124)의 상부면과 상기 상부 케이스 몸체부(266)의 상부면은 동일한 평면일 수 있다.The upper case 260 may include a second insulating member 262 and an upper case body 266 connected to the second insulating member 262. An upper case groove 264 may be formed on an upper surface of the upper case body 266 in contact with the second insulating member 262. The auxiliary electrode unit 124 may be disposed in the upper case groove 264. The upper surface of the auxiliary electrode unit 124 and the upper surface of the upper case body 266 may be flush with each other.

상기 제2 절연 부재(262)의 하부면은 상기 전원 전극 베이스(134)의 상부면과 접촉할 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면은 z 축 방향으로 진행함에 따라 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면으로부터 y축 방향으로 돌출될 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면은 상기 내측 접지부(123)와 접촉할 수 있다.The lower surface of the second insulating member 262 may contact the upper surface of the power supply electrode base 134. The upper surface of the second insulating member 262 may protrude in the y-axis direction from the upper surface of the second insulating member 262 as it proceeds in the z-axis direction. The upper surface of the second insulating member 262 may contact the inner ground portion 123.

절연 부재(262,241)는 상기 전원 전극(130)과 상기 접지 전극(120) 사이에 배치되고 상기 전원 전극(130)을 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 절연 부재(262,241)는 상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스(134)의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재(241), 및 상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재(262)를 포함할 수 있다.Insulating members 262 and 241 may be disposed between the power supply electrode 130 and the ground electrode 120 and surround the power supply electrode 130. The insulating member (262, 241) includes a first insulating member (241) that exposes the probe and surrounds three sides of the rectangular parallelepiped-shaped power electrode base of the power electrode and exposes an upper surface of the power electrode base (134) And a second insulating member 262 disposed on the exposed upper surface of the power electrode.

본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 접지 전극(120)은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극(120)의 표면은 도전체로 코팅될 수 있다.According to a modified embodiment of the present invention, the ground electrode 120 is formed of a plastic material, and the surface of the ground electrode 120 may be coated with a conductor.

본 발명의 일 실시예에 따른 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법은 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하는 전원 전극(130), 상기 전원 전극(130)을 감싸는 통 형상의 접지 전극(120), 및 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면을 막고 관통홀(112)을 포함하는 전면 케이스(110)에 의하여 정의되는 방전공간(101)을 제공하는 단계; 상기 방전공간(101)에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계; 상기 전면 케이스(110)를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 상기 방전공간(101)에 플라즈마를 형성하는 단계; 및 상기 접지 전극(120)에 형성된 적어도 두 개의 통풍구(121,122)를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함한다.The portable plasma beauty treatment method according to an embodiment of the present invention includes a power supply electrode 130 including a needle-like probe 132, a cylindrical ground electrode 120 surrounding the power supply electrode 130, Providing a discharge space (101) defined by a front case (110) covering the open front side of the electrode (120) and including a through hole (112); Vaporizing water in the discharge space (101) to provide water vapor; Forming a plasma in the discharge space (101) by applying a DC high voltage to the power electrode in a state where the front case (110) is in contact with the skin of the human body; And at least two vent holes (121, 122) formed in the ground electrode (120) to provide a convective flow in the discharge space.

케이스(160) 내부의 케비티(161)에 저장된 물은 액체 전달부(170)를 통하여 상기 방전공간(101)으로 전달된다. 상기 전달된 액체는 기화되어 플라즈마 발생을 위한 기체를 제공한다. 또한, 상기 접지 전극(120)에 형성된 통풍구(121,122)는 상기 방전공간(101)에 대류를 제공하여 안정적인 방전을 유지하고 액체의 액화를 억제할 수 있다. 플라즈마는 수산화기를 생성하고, 생성된 수산화기는 이온풍 및 확산에 의하여 인체의 피부에 제공되어 살균 작용을 수행할 수 있다.The water stored in the cavity 161 inside the case 160 is transferred to the discharge space 101 through the liquid transfer portion 170. The delivered liquid is vaporized to provide a gas for plasma generation. In addition, the ventilation holes 121 and 122 formed in the ground electrode 120 provide a convection current to the discharge space 101 to maintain a stable discharge and to suppress liquid liquefaction. The plasma generates hydroxyl groups, and the generated hydroxyl groups are provided to the skin of the human body by ion wind and diffusion, and can perform a sterilizing action.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치의 작동으로 형성된 플럼(plume)의 분광 스펙트럼을 도시한 그래프이다.8 is a graph showing a spectral spectrum of a plume formed by the operation of the plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 플라즈마는 발광하고, 플라즈마 방출광은 N2, OH-, N2+ 의 스펙트럼을 포함한다. 따라서, 수증기가 방전되어 수산화기를 형성할 수 있다.Referring to FIG. 8, the plasma emits light, and the plasma emission light includes a spectrum of N2, OH-, and N2 +. Thus, water vapor can be discharged to form a hydroxyl group.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, And all of the various forms of embodiments that can be practiced without departing from the technical spirit.

100: 플라즈마 발생 장치 110: 전면 케이스
120: 접지 전극 130: 전원 전극
140: 절연 부재 152: 배터리
154:고전압 파워공급부 156:액체저장부
160: 케이스 170: 액체전달부
100: plasma generator 110: front case
120: ground electrode 130: power electrode
140: Insulation member 152: Battery
154: high-voltage power supply unit 156: liquid storage unit
160: Case 170:

Claims (17)

끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극;
상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 및
상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
A power supply electrode including a probe having a sharp tip shape and performing discharge by receiving a high voltage;
A cylindrical ground electrode arranged to surround the power supply electrode and including a vent on a side surface for circulating outside air; And
And an insulator formed on the open front face of the ground electrode and spaced apart from the probe in a direction opposite to the power supply electrode to provide a discharge space for generating plasma and including a through hole in a region facing the probe And a front case.
제1 항에 있어서,
내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a cylindrical case including a cavity inside and formed of an insulator which is coupled to the ground electrode and extends in a central axis direction of the ground electrode.
제2 항에 있어서,
상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및
상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
3. The method of claim 2,
A liquid reservoir disposed in the cavity; And
Further comprising a liquid transfer unit for vaporizing the liquid after moving the liquid stored in the liquid storage unit to the discharge space.
제3 항에 있어서,
상기 액체 전달부가 제공하는 액체를 자연 기화 또는 강제 기화시키는 기화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method of claim 3,
Further comprising a vaporizing section for spontaneously or vaporizing the liquid provided by the liquid transfer section.
제3 항에 있어서,
상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 및
상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 상기 전원 전극에 공급하는 고전압 파워공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method of claim 3,
A battery mounted on the cavity and chargeable and dischargeable; And
And a high voltage power supply unit mounted on the cavity and receiving a DC voltage from the battery to supply DC high voltage power to the power supply electrode.
제1 항에 있어서,
상기 전원 전극은:
고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스;
대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침; 및
상기 전원 전극 베이스의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the power electrode comprises:
A rectangular parallelepiped shaped power supply electrode base provided with a high voltage;
A plurality of probes arranged symmetrically and mounted on one surface of the power supply electrode base; And
And a power electrode protrusion protruding from the power electrode base at an opposite surface opposite to the one surface of the power electrode base to fit into the power electrode base.
제1 항에 있어서,
상기 접지 전극은:
속이 빈 사각통 형상의 몸체부;
상기 몸체부의 측면에 형성된 제1 통풍구;
상기 제1 통풍구와 이격되어 배치된 제2 통풍구; 및
상기 몸체부의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부내측 접지부기 몸체부의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
The ground electrode comprises:
A hollow rectangular tubular body portion;
A first vent hole formed on a side surface of the body portion;
A second vent hole spaced apart from the first vent hole; And
And an auxiliary ground portion extending in the central axis direction from one side of the inner ground contact portion main body of the inner ground portion of the "U" shape disposed on the inner side of the main body portion.
제7 항에 있어서,
상기 제2 통풍구는 상기 몸체부의 전면과 상기 몸체부의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the second vent hole is formed by a part of the side of the side where the front surface of the body part and the side surface of the body part are in contact with each other.
제1 항에 있어서,
상기 전면 케이스는:
판 형상의 전면 케이스 베이스;
상기 전면 케이스 베이스에 상기 탐침과 정렬되어 형성되는 관통홀; 및
상기 전면 케이스 베이스의 가장 자리에서 전면 케이스 베이스의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
The front case includes:
A plate-shaped front case base;
A through hole formed in alignment with the probe on the front case base; And
And a fitting portion protruding from an arrangement plane of the front case base at an edge of the front case base.
제1 항에 있어서,
상기 전원 전극과 상기 접지 전극 사이에서 상기 전원 전극을 감싸도록 배치되는 절연 부재를 더 포함하고,
상기 절연 부재는:
상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재; 및
상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising an insulating member disposed between the power electrode and the ground electrode so as to surround the power electrode,
Wherein the insulating member comprises:
A first insulating member exposing the probe and surrounding three sides of the rectangular parallelepiped-shaped power supply electrode base and exposing an upper surface of the power supply electrode base; And
And a second insulating member disposed on the exposed upper surface of the power electrode.
제7 항에 있어서,
내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함하고,
상기 케이스는:
상기 접지 전극의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스; 및
상기 하부 케이스의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부와 결합하는 상부 케이스를 포함하고,
상기 하부 케이스는:
직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부;
상기 하부 케이스 몸체부의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재;
상기 제1 절연 부재가 결합하는 제1 결합부;
상기 함몰부와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간을 분리하는 층간 분리막; 및
상기 제1 결합부 상기 함몰부를 분리하는 격벽을 포함하고,
상기 케비티는 상기 함몰부와 상기 상부 케이스의 하부면에 의하여 형성되고,
상기 층간 분리막은 상기 함몰부와 상기 액체 전달 공간을 연결하는 관통홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
8. The method of claim 7,
Further comprising a cylindrical case including a cavity inside and formed of an insulator coupled to the ground electrode and extending in the direction of the central axis of the ground electrode,
Said case comprising:
A rectangular parallelepiped lower case coupled to the body of the ground electrode and including a depression therein; And
And an upper case coupled to an open top surface of the lower case and coupled with the auxiliary ground,
The lower case includes:
A lower case body portion having a rectangular parallelepiped shape and having a depression at an upper portion thereof;
A U-shaped first insulating member disposed at one end of the lower case body and surrounding three sides of the rectangular parallelepiped-shaped power source electrode;
A first coupling unit to which the first insulating member is coupled;
An interlayer separator for separating the depression and the liquid transfer space formed below the depression; And
And a partition wall separating the depressed portion of the first coupling portion,
Wherein the cavity is formed by the depression and the lower surface of the upper case,
Wherein the interlayer separating film includes a through hole connecting the depression and the liquid transfer space.
제11 항에 있어서,
상기 함몰부에 장착되고 충방전이 가능한 배터리;
상기 함몰부에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부;
상기 함몰부에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및
상기 층간 분리막의 관통홀 및 상기 액체 전달 공간에 배치되어 상기 액체저장부의 액체를 상기 방전공간에 제공하는 액체 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
12. The method of claim 11,
A battery mounted on the depression and being chargeable and dischargeable;
A high voltage power supply unit mounted on the depression and receiving DC voltage from the battery to supply DC high voltage power;
A liquid storage portion mounted in the depression for storing a liquid to be vaporized; And
Further comprising a through hole in the interlayer separation film and a liquid transfer part disposed in the liquid transfer space and providing liquid in the liquid storage part to the discharge space.
제1 항에 있어서,
상기 탐침은 도전체로 형성되고, 상기 탐침의 표면은 금 또는 백금으로 코팅된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the probe is formed of a conductor and the surface of the probe is coated with gold or platinum.
제1 항에 있어서,
상기 접지 전극은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극의 표면은 도전체로 코팅된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the ground electrode is formed of a plastic material, and the surface of the ground electrode is coated with a conductor.
끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극;
상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 적어도 두 개의 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극;
내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스;
상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스;
상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및
상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
A power supply electrode including a probe having a sharp tip shape and performing discharge by receiving a high voltage;
A cylindrical ground electrode disposed to surround the power supply electrode and including at least two vents on a side thereof so that external air can circulate;
A cylindrical case including a cavity inside and formed of an insulator coupled to the ground electrode and extending in the direction of the central axis of the ground electrode;
And an insulator formed on the open front face of the ground electrode and spaced apart from the probe in a direction opposite to the power supply electrode to provide a discharge space for generating plasma and including a through hole in a region facing the probe Front case;
A liquid reservoir disposed in the cavity; And
And a liquid transfer unit for transferring the liquid stored in the liquid storage unit to the discharge space and then vaporizing the liquid.
내부에 케비티를 포함하고 비전도성 재질로 형성된 케이스;
상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리;
상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부;
상기 고전압 파워공급부로부터 DC 고전압 전력을 공급받아 플라즈마를 생성하는 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극;
상기 전원 전극의 둘레에 상기 전원 전극과 이격되어 배치된 접지 전극;
상기 탐침에 정렬되어 형성된 관통홀을 포함하고 상기 전원 전극과 대향하여 배치되고 상기 접지 전극에 고정되는 비전도성 재질의 전면 케이스;
상기 케비티에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및
상기 액체저장부의 액체를 상기 전원 전극과 상기 전면 케이스 사이의 방전 공간으로 이동시키는 액체 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 휴대용 플라즈마 미용장치.
A case formed of a nonconductive material including a cavity inside;
A battery mounted on the cavity and chargeable and dischargeable;
A high voltage power supply installed in the cavity and receiving DC voltage from the battery to supply DC high voltage power;
A power supply electrode including a needle-shaped probe for generating a plasma by receiving DC high voltage power from the high voltage power supply unit;
A ground electrode disposed around the power supply electrode and spaced apart from the power supply electrode;
A front case including a through hole formed in alignment with the probe and disposed opposite to the power supply electrode and fixed to the ground electrode;
A liquid storage portion mounted to the cavity and storing a liquid to be vaporized; And
And a liquid transfer unit for transferring the liquid in the liquid storage unit to a discharge space between the power supply electrode and the front case.
바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극, 상기 전원 전극을 감싸는 통 형상의 접지 전극, 및 상기 접지 전극의 개방된 전면을 막고 관통홀을 포함하는 전면 케이스에 의하여 정의되는 방전 공간을 제공하는 단계;
상기 방전 공간에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계;
상기 전면 케이스를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 방전 공간에 플라즈마를 형성하는 단계; 및
상기 접지 전극에 형성된 적어도 두 개의 통풍구를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법.
Providing a discharge space defined by a power supply electrode including a needle-shaped probe, a tubular ground electrode surrounding the power supply electrode, and a front case covering the open front surface of the ground electrode and including a through hole;
Vaporizing water in the discharge space to provide water vapor;
Forming a plasma in the discharge space by applying a DC high voltage to the power electrode in a state where the front case is in contact with the skin of the human body; And
And providing a convection current to the discharge space through at least two vents formed in the ground electrode.
KR1020140098843A 2014-08-01 2014-08-01 Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus KR102181616B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140098843A KR102181616B1 (en) 2014-08-01 2014-08-01 Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140098843A KR102181616B1 (en) 2014-08-01 2014-08-01 Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160015894A true KR20160015894A (en) 2016-02-15
KR102181616B1 KR102181616B1 (en) 2020-11-23

Family

ID=55356741

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140098843A KR102181616B1 (en) 2014-08-01 2014-08-01 Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102181616B1 (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018026027A1 (en) * 2016-08-02 2018-02-08 주식회사 피글 Plasma stimulation device and acupuncture treatment device comprising same
CN109640502A (en) * 2018-12-19 2019-04-16 国网青海省电力公司电力科学研究院 A kind of discharge in water spininess-net electrode structure
KR20190043062A (en) * 2017-10-17 2019-04-25 광운대학교 산학협력단 Ozone-free Plasma Skin-care Device with Diode Ground-Pad
KR20190141043A (en) * 2018-06-12 2019-12-23 김병철 Fractional plasma skin therapy and skin therapy method
KR20200070567A (en) * 2018-12-10 2020-06-18 엘지전자 주식회사 Plasma sterilizing module and air purifier including for the same
KR20210092435A (en) 2020-01-16 2021-07-26 김대성 Plasma beauty device
WO2021151124A1 (en) * 2020-01-21 2021-07-29 Luong Thi Hong Lien Handheld cold plasma device
KR102336477B1 (en) * 2020-09-21 2021-12-08 (주)윈윈코리아 Portable anion generating device
CN114960145A (en) * 2021-02-26 2022-08-30 无锡小天鹅电器有限公司 Clothes treatment equipment
KR102499432B1 (en) * 2022-09-16 2023-02-13 주식회사 상신 plasma skin beauty device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100860039B1 (en) * 2007-07-12 2008-09-25 성균관대학교산학협력단 Atmospheric pressure plasma system
KR20090112831A (en) * 2008-04-25 2009-10-29 주식회사 하나에프비 Apparatus for generating atmospheric pressure plasma and surface treatment method using the same
KR100948951B1 (en) * 2007-07-16 2010-03-23 성균관대학교산학협력단 Atmospheric pressure plasma system provided with extended power electrode
KR200459927Y1 (en) * 2007-05-30 2012-04-20 주식회사 케이씨텍 Atmospheric pressure plasma cleaning device
KR20130095119A (en) * 2012-02-17 2013-08-27 김일욱 Atomospheric pressure plasma generating apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200459927Y1 (en) * 2007-05-30 2012-04-20 주식회사 케이씨텍 Atmospheric pressure plasma cleaning device
KR100860039B1 (en) * 2007-07-12 2008-09-25 성균관대학교산학협력단 Atmospheric pressure plasma system
KR100948951B1 (en) * 2007-07-16 2010-03-23 성균관대학교산학협력단 Atmospheric pressure plasma system provided with extended power electrode
KR20090112831A (en) * 2008-04-25 2009-10-29 주식회사 하나에프비 Apparatus for generating atmospheric pressure plasma and surface treatment method using the same
KR20130095119A (en) * 2012-02-17 2013-08-27 김일욱 Atomospheric pressure plasma generating apparatus

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018026027A1 (en) * 2016-08-02 2018-02-08 주식회사 피글 Plasma stimulation device and acupuncture treatment device comprising same
EP3494950A4 (en) * 2016-08-02 2019-10-02 Feagle Co., Ltd Plasma stimulation device and acupuncture treatment device comprising same
US11160726B2 (en) 2016-08-02 2021-11-02 Feagle Co., Ltd Plasma stimulation apparatus and acupuncture treatment apparatus including the same
KR20190043062A (en) * 2017-10-17 2019-04-25 광운대학교 산학협력단 Ozone-free Plasma Skin-care Device with Diode Ground-Pad
KR20190141043A (en) * 2018-06-12 2019-12-23 김병철 Fractional plasma skin therapy and skin therapy method
KR20200070567A (en) * 2018-12-10 2020-06-18 엘지전자 주식회사 Plasma sterilizing module and air purifier including for the same
CN109640502A (en) * 2018-12-19 2019-04-16 国网青海省电力公司电力科学研究院 A kind of discharge in water spininess-net electrode structure
KR20210092435A (en) 2020-01-16 2021-07-26 김대성 Plasma beauty device
WO2021151124A1 (en) * 2020-01-21 2021-07-29 Luong Thi Hong Lien Handheld cold plasma device
KR102336477B1 (en) * 2020-09-21 2021-12-08 (주)윈윈코리아 Portable anion generating device
CN114960145A (en) * 2021-02-26 2022-08-30 无锡小天鹅电器有限公司 Clothes treatment equipment
KR102499432B1 (en) * 2022-09-16 2023-02-13 주식회사 상신 plasma skin beauty device

Also Published As

Publication number Publication date
KR102181616B1 (en) 2020-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102181616B1 (en) Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus
KR101407672B1 (en) Plasma Skin Treatment Apparatus
KR101667646B1 (en) Plasma Beauty Equipment
KR101422823B1 (en) Plasma Skin Treatment Apparatus
KR101056097B1 (en) Atmospheric Pressure Plasma Generator
KR100977711B1 (en) Apparatus for generating atmospheric pressure plasma and surface treatment method using the same
KR101777621B1 (en) Atmospheric Pressure Plasma Apparatus
US20140314621A1 (en) Methods and devices for treating surfaces with surface plasma
KR20160098216A (en) Assembly for treating wounds
US20140311891A1 (en) Tubular floating electrode dielectric barrier discharge for applications in sterilization and tissue bonding
RU2012106425A (en) ADVANCED DEVICE AND METHOD FOR REDUCING THE QUANTITY OR REMOVAL OF PARTICLES
CN203167413U (en) Atmospheric-pressure dispersion-type cold plasma generator
US9572241B1 (en) Devices for creating non-thermal plasma and ozone
JP2018504757A (en) Plasma source containing porous dielectric
ATE346411T1 (en) ION GENERATOR AND AIR CONDITIONING DEVICE
KR101942362B1 (en) Plasma beauty device
KR101633586B1 (en) Atmosphere Pressure Plasma Generation Apparatus
KR101662160B1 (en) Skin treatment apparatus using plasma
KR20170100732A (en) Plasma humidifier
JP6304645B2 (en) Plasma generator
CN103052250A (en) Atmospheric pressure dispersion type cold plasma generation device
CN111298295B (en) Air plasma generating device and medical equipment with same
Xu et al. A two-mode portable atmospheric pressure air plasma jet device for biomedical applications
JPH09350A (en) Hairbrush
KR20170118660A (en) Plasma humidifier

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant