KR20150143679A - Method for producing color filter, composition for forming base layer, and organic el display device - Google Patents

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히데노리 타카하시
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Abstract

본 발명은, 형성되는 착색층의 밀착성이 우수함과 함께, 착색층 형성 시의 잔사의 발생이 억제된 컬러 필터의 제조 방법, 하지층 형성용 조성물 및 유기 EL 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은, 지지체 상에, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층을 형성하는 하지층 형성 공정과, 하지층 상에, (A) 착색제, (B) 중합 개시제, 및 (C) 중합성 화합물을 포함하는, 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 착색층을 형성하는 착색층 형성 공정을 포함한다.An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter, a composition for forming a base layer, and an organic EL display device in which adhesion of colored layers to be formed is excellent and generation of a residue at the time of forming a colored layer is suppressed. The method for producing a color filter according to the present invention comprises a base layer forming step of forming a base layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm on a support, And (C) a polymerizable compound, wherein the coloring layer is formed using a coloring and radiation sensitive composition.

Description

컬러 필터의 제조 방법, 하지층 형성용 조성물, 유기 EL 표시 장치{METHOD FOR PRODUCING COLOR FILTER, COMPOSITION FOR FORMING BASE LAYER, AND ORGANIC EL DISPLAY DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, a composition for forming a base layer, and an organic EL display device.

본 발명은, 컬러 필터의 제조 방법에 관한 것으로, 소정의 굴절률을 나타내는 하지층(下地層)을 이용한 컬러 필터의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a color filter, and relates to a method of manufacturing a color filter using a ground layer (underlying layer) exhibiting a predetermined refractive index.

컬러 필터는, 고체 촬상 소자나 액정 표시 장치의 디스플레이에 불가결한 구성부품이다. 이러한 컬러 필터를 형성하기 위하여, 착색 감방사선성 조성물이 주로 사용되고 있다(특허문헌 1). 또한, 특허문헌 1에 있어서는, 착색층의 하지층(언더코팅층)으로서 CT-2010(후지필름 일렉트로닉 머티리얼즈(주)제))을 사용하는 양태가 개시되어 있다.The color filter is an indispensable component for the display of the solid-state image pickup device and the liquid crystal display device. In order to form such a color filter, a color sensitive and radiation-sensitive composition is mainly used (Patent Document 1). Also, in Patent Document 1, an aspect is disclosed in which CT-2010 (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) is used as a base layer (undercoat layer) of a colored layer.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2012-198408호Patent Document 1: JP-A-2012-198408

한편 최근, 착색층의 미세화에 따라, 착색층의 밀착성의 보다 추가적인 향상이 요구되고 있다. 또, 동시에, 착색층 형성 시의 현상 처리 시의 잔사의 발생의 보다 추가적인 억제도 요구되고 있다.On the other hand, in recent years, as the coloring layer is made finer, further improvement of the adhesion of the colored layer is required. At the same time, further suppression of the generation of residues during development processing at the time of coloring layer formation is required.

본 발명자들은, 특허문헌 1에 기재된 하지층을 이용하여 컬러 필터의 제조를 실시한 바, 착색층의 밀착성 및 잔사의 억제의 양쪽 모두를 최근 요구되는 레벨로 동시에는 충족시키고 있지 못해, 추가적인 개량이 필요하다는 것을 발견했다.The inventors of the present invention have found that when the color filter is manufactured by using the foundation layer described in Patent Document 1, both the adhesion of the colored layer and the suppression of the residue can not be satisfied at the recently required level at the same time, .

본 발명은, 상기 실정을 감안하여, 형성되는 착색층의 밀착성이 우수함과 함께, 착색층 형성 시의 잔사의 발생이 억제된 컬러 필터의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a color filter in which adhesion of a colored layer to be formed is excellent in consideration of the above-described circumstances, and the generation of a residue at the time of forming the colored layer is suppressed.

본 발명자들은, 상기 과제를 달성하기 위하여 예의 연구한 결과, 소정의 굴절률을 나타내는 하지층을 사용함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성시켰다.Means for Solving the Problems The present inventors have intensively studied in order to achieve the above object, and as a result, they found that the above problems can be solved by using a base layer exhibiting a predetermined refractive index, thereby completing the present invention.

즉, 본 발명자들은, 이하의 구성에 의하여 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견했다.That is, the inventors of the present invention have found that the above problems can be solved by the following constitutions.

(1) 지지체 상에, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층을 형성하는 하지층 형성 공정과,(1) a base layer forming step of forming a base layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm on a support,

하지층 상에, (A) 착색제(바람직하게는 안료), (B) 중합 개시제, 및 (C) 중합성 화합물을 포함하는, 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 착색층을 형성하는 착색층 형성 공정A colored layer forming step of forming a colored layer using a coloring and radiation sensitive composition comprising (A) a colorant (preferably a pigment), (B) a polymerization initiator, and (C)

을 포함하는, 컬러 필터의 제조 방법.Wherein the color filter comprises a plurality of color filters.

(2) 착색제가 안료이며, 그 안료의 함유량이, 착색 감방사선성 조성물의 전체 질량에 대하여, 45질량% 이상인, (1)에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(2) The method for producing a color filter according to (1), wherein the coloring agent is a pigment and the content of the pigment is 45 mass% or more with respect to the total mass of the coloring and radiation-sensitive composition.

(3) 하지층이, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 유기 화합물을 함유하는, (1) 또는 (2)에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(3) The method for producing a color filter according to (1) or (2), wherein the base layer contains an organic compound having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm.

(4) 하지층이 트리아진환 함유 중합체를 함유하는, (1) 내지 (3) 중 어느 한 항에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(4) The method for producing a color filter according to any one of (1) to (3), wherein the underlayer contains a triazine ring-containing polymer.

(5) 트리아진환 함유 중합체가, 후술하는 식 (1A)~식 (4A)로 나타나는 반복 단위로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는, (4)에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(5) The process for producing a color filter according to (4), wherein the triazine ring-containing polymer comprises at least one kind selected from the group consisting of repeating units represented by the following formulas (1A) to (4A).

(6) 하지층 중에 있어서의 트리아진환 함유 중합체의 함유량이, 하지층 전체 질량에 대하여, 40질량% 이상인, (4) 또는 (5)에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(6) The method for producing a color filter according to (4) or (5), wherein the content of the triazine ring-containing polymer in the base layer is 40 mass% or more with respect to the total mass of the base layer.

(7) 트리아진환 함유 중합체의 중량 평균 분자량이 1000~100000인, (4) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(7) The process for producing a color filter according to any one of (4) to (6), wherein the triazine ring-containing polymer has a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000.

(8) 하지층 중에 금속 입자 또는 금속 산화물 입자가 실질적으로 포함되지 않는, (1) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 컬러 필터의 제조 방법.(8) The method for producing a color filter according to any one of (1) to (7), wherein metal particles or metal oxide particles are not substantially contained in the ground layer.

(9) 컬러 필터에 포함되는 착색층의 하지층을 형성하기 위하여 사용되는 하지층 형성용 조성물로서, 트리아진환 함유 중합체를 함유하는 하지층 형성용 조성물.(9) A composition for forming a ground layer, which is used for forming a ground layer of a colored layer contained in a color filter, comprising a triazine ring-containing polymer.

(10) 추가로, 고굴절률 저분자 화합물로서 플루오렌 구조를 갖는 화합물을 함유하는, (9)에 기재된 하지층 형성용 조성물.(10) The composition for forming a foundation layer according to (9), further comprising a compound having a fluorene structure as a high refractive index low molecular weight compound.

(11) 추가로, NaCl을 함유하는, (9) 또는 (10)에 기재된 하지층 형성용 조성물.(11) The composition for forming a foundation layer according to (9) or (10), further comprising NaCl.

(12) 유기 EL 소자와, 하지층과, 착색층을 갖는 유기 EL 표시 장치로서,(12) An organic EL display device having an organic EL element, a ground layer, and a colored layer,

하지층이, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층인, 유기 EL 표시 장치.Wherein the base layer is a ground layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm.

본 발명에 의하면, 형성되는 착색층의 밀착성이 우수함과 함께, 착색층 형성 시의 잔사의 발생이 억제된 컬러 필터의 제조 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing a color filter in which adhesion of a colored layer to be formed is excellent and generation of a residue at the time of forming the colored layer is suppressed.

도 1은 본 발명의 유기 EL 표시 장치의 일 양태의 일부의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a part of one embodiment of the organic EL display device of the present invention.

이하에 있어서, 본 발명의 내용에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.

또한, 본원 명세서에 있어서 "~"란 그 전후에 기재되는 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함하는 의미로 사용된다.In the present specification, "" is used to mean that the numerical values described before and after the lower limit and the upper limit are included.

또, 본 명세서에 있어서의 기(원자단)의 표기에 있어서, 치환 및 무치환을 기재하지 않은 표기는 치환기를 갖지 않는 것과 함께 치환기를 갖는 것도 포함하는 것이다. 예를 들면 "알킬기"란, 치환기를 갖지 않는 알킬기(무치환 알킬기)뿐만 아니라, 치환기를 갖는 알킬기(치환 알킬기)도 포함하는 것이다.In the notation of the group (atomic group) in the present specification, the notation in which substitution and non-substitution are not described includes those having a substituent and having a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group having no substituent (an unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).

또, 본 명세서 중에 있어서, "(메트)아크릴레이트"는 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 나타내고, "(메트)아크릴"은 아크릴 및 메타크릴을 나타내며, "(메트)아크릴로일"은 아크릴로일 및 메타크릴로일을 나타낸다. 또, 본 명세서 중에 있어서, "단량체"와 "모노머"는 동의이다. 본 발명에 있어서의 단량체는, 올리고머 및 폴리머와 구별되며, 중량 평균 분자량이 2,000 이하인 화합물을 말한다. 본 명세서 중에 있어서, 중합성 화합물이란, 중합성 관능기를 갖는 화합물을 말하며, 단량체여도 되고, 폴리머여도 된다. 중합성 관능기란, 중합 반응에 관여하는 기를 말한다.In the present specification, "(meth) acrylate" represents acrylate and methacrylate, "(meth) acryl" represents acryl and methacryl, "(meth) acryloyl" And methacryloyl. In the present specification, the terms "monomer" and "monomer" are synonyms. The monomer in the present invention is distinguished from an oligomer and a polymer, and refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less. In the present specification, the polymerizable compound means a compound having a polymerizable functional group, and may be a monomer or a polymer. The polymerizable functional group refers to a group involved in the polymerization reaction.

본 발명에서 말하는 "방사선"은, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 포함하는 것을 의미한다. 본 발명에서 말하는 "착색층"은, 컬러 필터에 이용되는 화소 및/또는 블랙 매트릭스로 이루어지는 층을 의미한다.The "radiation" in the present invention means that it includes visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like. The "colored layer" in the present invention means a layer made of a pixel and / or a black matrix used for a color filter.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법의 특징점으로서는, 소정의 굴절률을 나타내는 하지층을 사용하는 점을 들 수 있다. 이 하지층을 사용하면, 착색층 형성 시의 노광 시에 있어서의 난반사가 적고, 누설광에 의한 미노광부의 잔사가 적어짐과 함께, 착색층의 밀착성도 향상된다.The characteristic feature of the method of producing a color filter of the present invention is that a base layer exhibiting a predetermined refractive index is used. The use of this undercoat layer minimizes irregular reflection at the time of exposure in the formation of the colored layer, reduces the amount of unexposed portions due to the leakage light, and improves the adhesion of the colored layer.

그 중에서도, 하지층이 후술하는 바와 같이 트리아진환 함유 중합체를 포함하는 경우, 트리아진 골격이 평면 구조이기 때문에, 착색층 중의 벤젠환 구조나 착색제 중의 평면 구조와 트리아진 골격이 분자 간 상호 작용하기 쉬워, 착색층의 밀착성이 보다 더 향상된다.Among them, when the base layer contains a triazine ring-containing polymer as described later, since the triazine skeleton has a planar structure, the benzene ring structure in the colored layer, the planar structure in the coloring agent and the triazine skeleton are likely to interact with each other , The adhesion of the colored layer is further improved.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은, 하지층 형성 공정과, 착색층 형성 공정을 적어도 구비한다.The method for manufacturing a color filter of the present invention includes at least a base layer forming step and a colored layer forming step.

이하, 각 공정에서 사용되는 재료 및 순서에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the materials and procedures used in each step will be described in detail.

<하지층 형성 공정>&Lt; Lower layer forming step &

하지층 형성 공정은, 지지체 상에, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층을 형성하는 하지층 형성 공정이다.The base layer forming step is a base layer forming step of forming a base layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm on a support.

먼저, 본 공정에서 사용되는 지지체에 대하여 상세하게 설명하고, 그 후 하지층에 대하여 상세하게 설명한다.First, the support used in this step will be described in detail, and then the foundation layer will be described in detail.

(지지체)(Support)

지지체는, 하지층을 지지할 수 있는 기재이면, 그 종류는 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 고체 촬상 소자 등에 이용되는 광전 변환 소자 기판(고체 촬상 소자용 기판)(예를 들면, 실리콘 기판, 산화막, 질화 실리콘 등)을 들 수 있다. 또, 이들 지지체와 후술하는 착색층의 사이에는 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한 중간층 등 다른 층이 마련되어 있어도 된다.The support is not particularly limited as long as it is a substrate capable of supporting the base layer. For example, a photoelectric conversion element substrate (substrate for a solid-state imaging element) (for example, a silicon substrate, an oxide film, a silicon nitride, or the like) used for a solid-state imaging element or the like can be used. Further, other layers such as an intermediate layer may be provided between the support and the colored layer to be described later, so long as the effect of the present invention is not impaired.

또한, 후술하는 착색층은, 고체 촬상 소자용 기판의 촬상 소자 형성면측(표면)에 형성되어도 되고, 촬상 소자 비형성면측(이면)에 형성되어도 된다.Further, a colored layer to be described later may be formed on the imaging element formation surface side (surface) of the substrate for a solid-state imaging element, or on the imaging element formation surface side (back surface).

고체 촬상 소자용 기판에 있어서의 각 촬상 소자 간이나, 고체 촬상 소자용 기판의 이면에는, 차광막이 마련되어 있어도 된다.A light shielding film may be provided between each imaging element in the substrate for the solid-state imaging element or on the back surface of the substrate for the solid-state imaging element.

(하지층)(Ground floor)

하지층은, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상을 나타내고, 착색층의 밀착성이 보다 향상되거나, 또는 잔사의 발생이 보다 억제되는 점(이하, 간단히 "본 발명의 효과가 보다 우수한 점"이라고도 칭함)에서, 1.65 이상이 바람직하고, 1.70 이상이 보다 바람직하다. 상한은 특별히 제한되지 않지만, 통상, 2.0 이하인 경우가 많다.The underlayer has a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm, and the adhesion of the colored layer is further improved or the generation of the residue is further suppressed (hereinafter also simply referred to as " ) Is preferably 1.65 or more, more preferably 1.70 or more. The upper limit is not particularly limited, but is usually 2.0 or less.

굴절률의 측정 방법으로서는, J·A·Woollam·Japan사제 엘립소미터를 이용하여 측정할 수 있다. 측정 조건은, 633nm에서, 25℃로 하여, 5점의 평균값을 채용한다.The refractive index can be measured by using an ellipsometer manufactured by JA Woollam Japan. The measurement conditions are set at 25 DEG C at 633 nm, and an average value of 5 points is adopted.

하지층의 두께는 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 0.2~1.0μm가 바람직하고, 0.2~0.4μm가 보다 바람직하다.The thickness of the base layer is not particularly limited, but is preferably 0.2 to 1.0 μm, and more preferably 0.2 to 0.4 μm, from the viewpoint of more excellent effects of the present invention.

하지층에 포함되는 성분은 상기 굴절률을 나타내는 재료이면 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 유기 화합물이 바람직하고, 트리아진환 함유 중합체가 바람직하다.The component contained in the ground layer is not particularly limited as long as it is a material exhibiting the refractive index. However, an organic compound having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm is preferable, and a triazine ring-containing polymer is preferable .

또한, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 하지층 중에는 금속 입자 또는 금속 산화물 입자가 실질적으로 포함되지 않는 것이 바람직하다. 실질적으로 포함되지 않는다는 것은, 하지층 중에 있어서의 금속 입자 및 금속 산화물 입자의 합계 함유량이 0.01질량% 이하인 것을 의도하며, 100ppm 이하가 바람직하다. 금속 입자 또는 금속 산화물 입자가 실질적으로 포함되지 않음으로써, 하지층의 표면의 평탄성이 보다 향상되고, 결과적으로 하지층 상에 배치되는 착색층과의 밀착성이 보다 우수하다.In addition, from the viewpoint of the effect of the present invention being more excellent, it is preferable that the ground layer contains substantially no metal particles or metal oxide particles. It is intended that the total content of the metal particles and the metal oxide particles in the ground layer is 0.01 mass% or less, preferably 100 ppm or less. Since the metal particles or the metal oxide particles are not substantially contained, the flatness of the surface of the ground layer is further improved, and as a result, the adhesion to the colored layer disposed on the ground layer is more excellent.

이하, 트리아진환 함유 중합체에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the triazine ring-containing polymer will be described in detail.

(트리아진환 함유 중합체(이후, 간단히 중합체라고도 칭함))(A triazine ring-containing polymer (hereinafter simply referred to as a polymer)

트리아진환 함유 중합체는 그 구조 중에 트리아진환을 포함하는 중합체이며, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 하기 식 (1A)~(4A)로 나타나는 반복 단위로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 트리아진환 함유 중합체인 것이 바람직하다. 또한, 식 중, *는 결합 위치를 나타낸다.The triazine ring-containing polymer is a polymer containing a triazine ring in its structure, and has at least one kind selected from the group consisting of the repeating units represented by the following formulas (1A) to (4A) Triazine ring-containing polymer. In the formulas, * represents a bonding position.

또한, 트리아진환 함유 중합체 중에 있어서, 식 (1A)~(4A)로 나타나는 반복 단위의 합계 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 트리아진환 함유 중합체 중의 전체 반복 단위에 대하여, 50~100몰%가 바람직하고, 80~100몰%가 보다 바람직하다.In the triazine ring-containing polymer, the total content of the repeating units represented by the formulas (1A) to (4A) is not particularly limited, but from the viewpoint of the effect of the present invention being more excellent, , Preferably 50 to 100 mol%, and more preferably 80 to 100 mol%.

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure pct00001
Figure pct00001

상기 식 (1A) 중 또는 식 (2A) 중, R1A 및 R2A는, 서로 독립적으로, 수소 원자, 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 또는 아랄킬기를 나타낸다.In the formula (1A) or in the formula (2A), R 1A and R 2A independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group.

R3A는, 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알킬아미노기, 알콕시실릴기 함유 알킬아미노기, 아랄킬아미노기, 아릴아미노기, 알콕시기, 아랄킬옥시기 또는 아릴옥시기를 나타낸다.R 3A represents an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkylamino group, an alkoxysilyl group-containing alkylamino group, an aralkylamino group, an arylamino group, an alkoxy group, an aralkyloxy group or an aryloxy group.

상기 알킬기의 탄소수로서는, 1~20이 바람직하고, 중합체의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 1~10이 보다 바람직하며, 탄소수 1~3이 보다 더 바람직하다. 또, 그 구조는, 쇄상, 분기상, 환상 중 어느 것이어도 된다.The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably from 1 to 20, more preferably from 1 to 10, and still more preferably from 1 to 3, from the viewpoint of further improving the heat resistance of the polymer. Further, the structure may be any of chain, branched, and cyclic.

상기 알콕시기의 탄소수로서는, 1~20이 바람직하고, 중합체의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 1~10이 보다 바람직하며, 탄소수 1~3이 보다 더 바람직하다. 또, 그 알킬 부분의 구조는, 쇄상, 분기상, 환상 중 어느 것이어도 된다.The number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably from 1 to 20, more preferably from 1 to 10, and still more preferably from 1 to 3, from the viewpoint of further enhancing the heat resistance of the polymer. The structure of the alkyl moiety may be any of chain, branched, and cyclic.

상기 아릴기의 탄소수로서는, 6~40이 바람직하고, 중합체의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 6~16이 보다 바람직하며, 탄소수 6~13이 보다 더 바람직하다.The number of carbon atoms of the aryl group is preferably from 6 to 40, more preferably from 6 to 16, and even more preferably from 6 to 13, in view of further enhancing the heat resistance of the polymer.

아랄킬기의 탄소수로서는, 탄소수 7~20이 바람직하고, 그 알킬 부분은, 직쇄, 분기, 환상 중 어느 것이어도 된다.The number of carbon atoms of the aralkyl group is preferably from 7 to 20, and the alkyl moiety thereof may be linear, branched or cyclic.

상기 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 아랄킬기, 알킬아미노기, 아랄킬아미노기, 아릴아미노기의 구체예로서는, WO2010/128661호의 단락 0020~0025의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.As specific examples of the alkyl group, alkoxy group, aryl group, aralkyl group, alkylamino group, aralkylamino group and arylamino group, the description of paragraphs 0020 to 002 of WO2010 / 128661 may be taken into consideration.

알콕시실릴기 함유 알킬아미노기로서는, 모노알콕시실릴기 함유 알킬아미노기, 다이알콕시실릴기 함유 알킬아미노기, 트라이알콕시실릴기 함유 알킬아미노기 중 어느 것이어도 되고, 그 구체예로서는, WO2010/128661호의 단락 0026에 기재된 기를 들 수 있다.As the alkoxysilyl group-containing alkylamino group, any of a monoalkoxysilyl group-containing alkylamino group, a dialkoxysilyl group-containing alkylamino group and a trialkoxysilyl group-containing alkylamino group may be used, and specific examples thereof include those described in WO2010 / 128661 .

아릴옥시기, 아랄킬옥시기의 구체예로서는, WO2010/128661호의 단락 0027에 기재된 기를 들 수 있다.Specific examples of the aryloxy group and the aralkyloxy group include the groups described in paragraph 0027 of WO2010 / 128661.

Ar은, 방향환 및 복소환 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 포함하는 2가의 유기기를 나타낸다. 방향환으로서는, 벤젠환, 나프탈렌환, 안트라센환 등을 들 수 있다. 또, 복소환으로서는, 피리딘환, 피라졸환, 트리아졸환, 싸이아졸환, 아이소싸이아졸환, 옥사졸환, 싸이아다이아졸환, 피롤환, 아이소옥사졸환, 싸이오펜환, 퀴놀린환, 아이소퀴놀린환, 피리다진환, 피리미딘환 등을 들 수 있다. 또한, Ar은 방향환 및 복소환 이외에, 2가의 지방족 탄화수소기(바람직하게는 탄소수 1~8), -O-, -S-, -SO2-, -N(R)-(R: 알킬기), -CO-, -NH-, -COO-, -CONH-, 또는 이들을 조합한 기(예를 들면, 알킬렌옥시기, 알킬렌옥시카보닐기, 알킬렌카보닐옥시기 등)를 포함하고 있어도 된다.Ar represents a divalent organic group containing one or both of an aromatic ring and a heterocyclic ring. Examples of the aromatic ring include a benzene ring, a naphthalene ring, and an anthracene ring. Examples of the heterocycle include a pyridine ring, pyrazole ring, triazole ring, thiazole ring, isothiazole ring, oxazole ring, thiadiazole ring, pyrrole ring, isoxazole ring, thiophen ring, quinoline ring, isoquinoline ring , Pyridazine ring, pyrimidine ring and the like. Also, Ar is other than an aromatic ring and a heterocyclic ring, a divalent aliphatic hydrocarbon (preferably having a carbon number of 1 ~ 8), -O-, -S- , -SO 2 -, -N (R) - (R: alkyl group) , -CO-, -NH-, -COO-, -CONH-, or a combination thereof (for example, an alkyleneoxy group, an alkyleneoxycarbonyl group, an alkylenecarbonyloxy group, etc.).

그 중에서도, Ar로서는, 식 (3)~(19)로 나타나는 기가 바람직하다. 특히, 식 (6)~(19)로 나타나는 기가 바람직하고, 식 (6), (8), (9), (12), (13) 및 (15)~(19)로 나타나는 기가 보다 바람직하다.Among them, Ar is preferably a group represented by the formulas (3) to (19). In particular, the groups represented by formulas (6) to (19) are preferable, and the groups represented by formulas (6), (8), (9), (12), (13) .

[화학식 2](2)

Figure pct00002
Figure pct00002

상기 R1~R128은, 서로 독립적으로, 수소 원자, 할로젠 원자, 카복실기, 설폰기, 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기, 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알콕시기를 나타낸다.R 1 to R 128 independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfonic group, an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms, or an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms Alkoxy group.

W1, W2 및 W3은, 서로 독립적으로, 단결합, CR130R131(R130 및 R131은, 서로 독립적으로, 수소 원자 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기(단, 이들은 하나가 되어 환을 형성하고 있어도 됨)를 나타냄), -C(=O)-, -O-, -S-, -SO-, -SO2-, 또는 -NR129-(R129는, 수소 원자 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기를 나타냄)를 나타낸다.W 1 , W 2 and W 3 independently represent a single bond, CR 130 R 131 (R 130 and R 131 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms , -O-, -S-, -SO-, -SO 2 -, or -NR 129 - (wherein R 129 represents a hydrogen atom, , A hydrogen atom or an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms).

이들 알킬기, 알콕시기로서는 상기와 동일한 것을 들 수 있다.Examples of the alkyl group and the alkoxy group include the same ones as described above.

할로젠 원자로서는, 불소 원자, 염소 원자, 브로민 원자, 아이오딘 원자를 들 수 있다.Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.

또, X1 및 X2는, 서로 독립적으로, 단결합, 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬렌기, 또는 식 (20)으로 나타나는 기를 나타낸다.X 1 and X 2 independently represent a single bond, an alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms, or a group represented by formula (20).

[화학식 3](3)

Figure pct00003
Figure pct00003

상기 R132~R135는, 서로 독립적으로, 수소 원자, 할로젠 원자, 카복실기, 설폰기, 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기, 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알콕시기를 나타낸다.Each of R 132 to R 135 independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfonic group, an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms, or an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms Alkoxy group.

Y1 및 Y2는, 서로 독립적으로, 단결합 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬렌기를 나타낸다.Y 1 and Y 2 independently represent an alkylene group which may have a single bond or a branched structure of 1 to 10 carbon atoms.

이들 할로젠 원자, 알킬기, 알콕시기로서는 상기와 동일한 것을 들 수 있다.Examples of the halogen atom, the alkyl group and the alkoxy group include the same ones as described above.

탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬렌기로서는, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 트라이메틸렌기, 테트라메틸렌기, 펜타메틸렌기 등을 들 수 있다.Examples of the alkylene group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a trimethylene group, a tetramethylene group and a pentamethylene group.

적합한 Ar로서는, 플루오렌환을 함유하는 2가의 유기기를 들 수 있고, 예를 들면, 하기 식 (21) 또는 (22)로 나타나는 2가의 유기기가 적합하다.Suitable Ar is a divalent organic group containing a fluorene ring, and for example, a divalent organic group represented by the following formula (21) or (22) is suitable.

[화학식 4][Chemical Formula 4]

Figure pct00004
Figure pct00004

식 중, R136~R159는, 서로 독립적으로, 수소 원자, 할로젠 원자, 카복실기, 설폰기, 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기(단, R158 및 R159는 하나가 되어 환을 형성하고 있어도 됨), 또는 탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알콕시기를 나타낸다.Wherein, R 136 ~ R 159 are, independently of one another, a hydrogen atom, a halogen atom, a carboxyl group, a sulfone group, an alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms (however, R 158 and R 159 are one Or may form a ring), or an alkoxy group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms.

여기에서, 할로젠 원자로서는, 상기와 동일한 것을 들 수 있다.As the halogen atom, the same halogen atom can be mentioned.

탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알킬기로서는, 상기와 동일한 것을 들 수 있다.Examples of the alkyl group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms include the same ones as described above.

또, R158 및 R159가 하나가 되어 형성하는 환으로서는, 사이클로펜틸환, 사이클로헥실 환 등을 들 수 있다.Examples of the ring formed by R &lt; 158 &gt; and R &lt; 159 &gt; together are a cyclopentyl ring and a cyclohexyl ring.

탄소수 1~10의 분기 구조를 갖고 있어도 되는 알콕시기로서는, 상기와 동일한 것을 들 수 있다.Examples of the alkoxy group which may have a branched structure of 1 to 10 carbon atoms include the same ones as described above.

이들 중에서도, R136~R159로서는, 수소 원자가 바람직하다.Among them, a hydrogen atom is preferable as R 136 to R 159 .

상기 식 (3)~(19), (21) 및 (22)로 나타나는 기의 구체예로서는, 하기 식으로 나타나는 것을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.Specific examples of groups represented by the formulas (3) to (19), (21) and (22) include those represented by the following formulas, but are not limited thereto.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure pct00005
Figure pct00005

이들 중에서도, 보다 높은 굴절률의 중합체가 얻어지는 점에서, 하기 식으로 나타나는 기가 보다 바람직하다.Of these, the groups represented by the following formulas are more preferable because a polymer having a higher refractive index can be obtained.

[화학식 6][Chemical Formula 6]

Figure pct00006
Figure pct00006

또한, 고굴절률을 발현시킨다는 점에서, Ar부분으로서는, 플루오렌 골격이나 카바졸 골격 등의 환상 골격을 갖는 강직한 구조가, Ar부분이 조밀하게 모이기 쉬워, 전자 밀도가 향상되므로 적합하고, 또한 단순한 벤젠환도 작은 구조이기 때문에, Ar부분이 조밀하게 모이기 쉬워, 전자 밀도가 향상되므로 적합하다.In addition, from the standpoint of expressing a high refractive index, the Ar portion is preferably a rigid structure having a cyclic skeleton such as a fluorene skeleton or a carbazole skeleton because the Ar portion tends to gather densely and the electron density improves, Since the benzene ring has a small structure, the Ar part is easy to gather densely and the electron density is improved.

또, W1 등의 벤젠환의 연결기로서는, 높은 수소 결합능을 갖는, 카보닐을 포함하는 기나 아민 등의 관능기가, 아민 부위의 수소 원자(R1A 및/또는 R2A가 수소 원자인 경우)와 수소 결합을 형성하여 보다 Ar부분이 조밀하게 모이기 쉬워, 전자 밀도가 향상되므로 적합하다.As the linking group of the benzene ring such as W 1 , a functional group such as a carbonyl-containing group or an amine having a high hydrogen bonding ability is preferably a hydrogen atom (when R 1A and / or R 2A is a hydrogen atom) And it is more preferable that the Ar portion is more likely to gather densely and the electron density is improved.

이상과 같은 관점에서, 하기 식으로 나타나는 기가 바람직하다.From the above viewpoint, the group represented by the following formula is preferable.

[화학식 7](7)

Figure pct00007
Figure pct00007

보다 높은 굴절률을 발현하는 점에서 하기 식으로 나타나는 아릴기가 보다 바람직하다.The aryl group represented by the following formula is more preferable in that it exhibits a higher refractive index.

[화학식 8][Chemical Formula 8]

Figure pct00008
Figure pct00008

적합한 반복 단위 구조로서는, 하기 식 (23) 또는 (24)로 나타나는 것을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.Suitable repeating unit structures include those represented by the following formula (23) or (24), but are not limited thereto.

[화학식 9][Chemical Formula 9]

Figure pct00009
Figure pct00009

또, 중합체가 하이퍼브랜치 폴리머인 경우, 레지스트 용제 등의 안전성이 높은 용제에 대한 그 중합체의 용해성을 보다 높이는 것을 고려하면, 식 (25)로 나타나는 반복 단위 구조를 포함하는 것이 바람직하다.When the polymer is a hyperbranched polymer, it is preferable to include the repeating unit structure represented by the formula (25) in consideration of further enhancing the solubility of the polymer in a highly safe solvent such as a resist solvent.

[화학식 10][Chemical formula 10]

Figure pct00010
Figure pct00010

식 중, R1A, R2A 및 R77~R80은, 상기와 동일한 의미를 나타낸다.In the formula, R 1A , R 2A and R 77 to R 80 have the same meanings as defined above.

이러한 관점에서, 특히 적합한 반복 단위 구조로서는, 하기 식 (26)으로 나타나는 것을 들 수 있으며, 하기 식 (27)로 나타나는 고분기 중합체(하이퍼브랜치 폴리머)가 최적이다.From this point of view, particularly suitable repeating unit structures include those represented by the following formula (26), and a hyper branched polymer (hyperbranched polymer) represented by the following formula (27) is the most suitable.

[화학식 11](11)

Figure pct00011
Figure pct00011

식 중, R1A, R2A는, 상기와 동일한 의미를 나타낸다.Wherein R &lt; 1A &gt; and R &lt; 2A &gt; have the same meanings as defined above.

[화학식 12][Chemical Formula 12]

Figure pct00012
Figure pct00012

상기 식 (1A) 또는 식 (2A)로 나타나는 반복 단위를 갖는 트리아진환 함유 중합체의 제조법은 특별히 제한되지 않고, WO2010/128661호의 단락 0051~단락 0069에 기재된 방법을 들 수 있다.The production method of the triazine ring-containing polymer having the repeating unit represented by the formula (1A) or the formula (2A) is not particularly limited, and includes the methods described in paragraphs 0051 to 0069 of WO2010 / 128661.

다음으로, 식 (3A)에 대하여 설명한다.Next, Expression (3A) will be described.

[화학식 13][Chemical Formula 13]

Figure pct00013
Figure pct00013

식 (3A)에 있어서의 Ar은, 방향환 및 복소환 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 포함하는 2가의 유기기이면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 발명에 있어서는, 상술한 식 (3)~(19)로 나타나는 기 중 어느 하나가 바람직하고, 특히 식 (10), (11), (13) 및 (14)로 나타나는 기 중 어느 하나가 바람직하다.Ar in formula (3A) is not particularly limited as long as it is a divalent organic group including at least one of an aromatic ring and a heterocyclic ring. In the present invention, the above-mentioned formulas (3) to (19) (10), (11), (13) and (14) is particularly preferable.

또, 식 (10) 및 (11)의 경우, 이들 W1 및 W2가, S(황 원자)인 것이 적합하다.In the case of formulas (10) and (11), it is preferable that W 1 and W 2 are S (sulfur atom).

상술한 식 (3)~(19)로 나타나는 기의 구체예로서는, 하기 식으로 나타나는 것을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.Specific examples of the groups represented by the above-mentioned formulas (3) to (19) include those represented by the following formulas, but are not limited thereto.

[화학식 14][Chemical Formula 14]

Figure pct00014
Figure pct00014

이들 중에서도, 보다 높은 굴절률의 폴리머가 얻어지는 점에서, 하기 식으로 나타나는 아릴기가 보다 바람직하다.Of these, an aryl group represented by the following formula is more preferable because a polymer having a higher refractive index can be obtained.

[화학식 15][Chemical Formula 15]

Figure pct00015
Figure pct00015

또한, 보다 높은 굴절률을 발현하는 점에서, 하기 식으로 나타나는 아릴기가 보다 바람직하다.Further, from the viewpoint of exhibiting a higher refractive index, an aryl group represented by the following formula is more preferable.

[화학식 16][Chemical Formula 16]

Figure pct00016
Figure pct00016

적합한 반복 단위 구조로서는, 하기 식으로 나타나는 것을 들 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.Suitable repeating unit structures include those represented by the following formulas, but are not limited thereto.

[화학식 17][Chemical Formula 17]

상기 식 (3A)로 나타나는 반복 단위를 갖는 트리아진환 함유 중합체(하이퍼브랜치 폴리머)의 제조법은 특별히 제한되지 않고, 일본 공개특허공보 2012-97175호의 단락 0036~단락 0048에 기재된 방법을 들 수 있다.The production method of the triazine ring-containing polymer (hyperbranched polymer) having a repeating unit represented by the above formula (3A) is not particularly limited, and examples include the methods described in paragraphs 0036 to 0048 of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-97175.

다음으로 식 (4A)에 대하여 설명한다.Next, the equation (4A) will be described.

[화학식 18][Chemical Formula 18]

Figure pct00018
Figure pct00018

상기 식 (4A) 중, R4A~R9A는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, W로 치환되어 있어도 되는 페닐기, 또는 W로 치환되어 있어도 되는 나프틸기를 나타낸다.In the formula (4A), R 4A to R 9A each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, a phenyl group optionally substituted with W, &Lt; / RTI &gt;

Y1 및 Y2는, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 탄소수 1~10의 알킬기를 나타낸다.Y 1 and Y 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.

Z1 및 Z2는, 각각 독립적으로, 탄소수 1~10의 알킬렌기 또는 W로 치환되어 있어도 되는 페닐렌기를 나타낸다.Z 1 and Z 2 each independently represent an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a phenylene group which may be substituted with W;

W는, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, 또는 하이드록시기를 나타내고, n은, 0 또는 1 이상의 정수를 나타낸다.W represents an alkyl group of 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 10 carbon atoms, or a hydroxy group, and n represents 0 or an integer of 1 or more.

알킬기의 탄소수는 1~10이지만, 폴리머의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 1~5가 보다 바람직하고, 탄소수 1~3이 보다 더 바람직하다.The number of carbon atoms of the alkyl group is from 1 to 10, but from the viewpoint of further enhancing the heat resistance of the polymer, the number of carbon atoms is more preferably from 1 to 5, and still more preferably from 1 to 3 carbon atoms.

상기 알콕시기의 탄소수는, 1~10이지만, 폴리머의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 1~5가 보다 바람직하고, 탄소수 1~3이 보다 더 바람직하다. 또, 그 알킬 부분의 구조는, 쇄상, 분기상, 환상 중 어느 것이어도 된다.The number of carbon atoms of the alkoxy group is from 1 to 10, more preferably from 1 to 5, and still more preferably from 1 to 3, from the viewpoint of further increasing the heat resistance of the polymer. The structure of the alkyl moiety may be any of chain, branched, and cyclic.

알킬기, 알콕시기의 구조는 특별히 제한되지 않고, 일본 공개특허공보 2012-097176호의 단락 0019, 단락 0020에 기재된 알킬기의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.The structure of the alkyl group and the alkoxy group is not particularly limited, and the description of the alkyl group described in paragraph 0019, paragraph 0020 of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-097176 may be taken into consideration in the present specification.

W로 치환되어 있어도 되는 페닐기의 구체예로서는, 페닐기, o-하이드록시페닐기, m-하이드록시페닐기, p-하이드록시페닐기, o-메톡시페닐기, m-메톡시페닐기, p-메톡시페닐기, o-톨릴기, m-톨릴기, p-톨릴기 등을 들 수 있다.Specific examples of the phenyl group which may be substituted with W include a phenyl group, an o-hydroxyphenyl group, an m-hydroxyphenyl group, a p-hydroxyphenyl group, an o-methoxyphenyl group, a m-methoxyphenyl group, -Tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group and the like.

W로 치환되어 있어도 되는 나프틸기의 구체예로서는, α-나프틸기, β-나프틸기 등을 들 수 있다.Specific examples of the naphthyl group which may be substituted with W include an? -Naphthyl group and? -Naphthyl group.

상기 알킬렌기의 탄소수는 1~10이지만, 폴리머의 내열성을 보다 높이는 것을 고려하면, 탄소수 1~5가 보다 바람직하고, 탄소수 1~3이 보다 더 바람직하다. 또, 그 구조는, 쇄상, 분기상, 환상 중 어느 것이어도 된다.The number of carbon atoms of the alkylene group is from 1 to 10, more preferably from 1 to 5, and still more preferably from 1 to 3, from the viewpoint of further improving the heat resistance of the polymer. Further, the structure may be any of chain, branched, and cyclic.

알킬렌기의 구체예로서는, 메틸렌기, 에틸렌기, 트라이메틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 펜타메틸렌기 등을 들 수 있다.Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a trimethylene group, a propylene group, a tetramethylene group and a pentamethylene group.

W로 치환되어 있어도 되는 페닐렌기의 구체예로서는, p-페닐렌기, m-페닐렌기, o-페닐렌기나, 이들 페닐렌기가 갖는 수소 원자 중 적어도 하나가, W로 치환, 즉, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, 하이드록시기로 치환된 것을 들 수 있다.As specific examples of the phenylene group which may be substituted with W, at least one of a p-phenylene group, a m-phenylene group, an o-phenylene group and hydrogen atoms contained in these phenylene groups is substituted with W, An alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, and a hydroxy group.

상기 식 (4A)에 있어서, R4A~R9A로서는, 탄소수 1~5의 알킬기가 바람직하고, 탄소수 1~3의 알킬기가 보다 바람직하며, 메틸기가 최적이다.In the formula (4A), R 4A to R 9A are preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and most preferably a methyl group.

Y1 및 Y2는, 수소 원자가 바람직하다.Y 1 and Y 2 are preferably hydrogen atoms.

Z1 및 Z2는, 탄소수 1~5의 알킬렌기가 바람직하고, 탄소수 1~3의 알킬렌기가 보다 바람직하다.Z 1 and Z 2 are preferably an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms.

n은, 0 또는 1 이상의 정수이면, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 바람직하게는 0 또는 1~8의 정수이다.When n is 0 or an integer of 1 or more, it is not particularly limited, but is preferably 0 or an integer of 1 to 8.

본 발명에 있어서의, 적합한 반복 단위 구조로서는, 이하의 각 식으로 나타나는 것을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.Suitable repeating unit structures in the present invention include those represented by the following formulas, but are not limited thereto.

또한, 식 중, n은 상기와 동일하다.In the formula, n is the same as described above.

[화학식 19][Chemical Formula 19]

Figure pct00019
Figure pct00019

상기 식 (4A)로 나타나는 반복 단위를 갖는 트리아진환 함유 중합체의 제조법은 특별히 제한되지 않고, 일본 공개특허공보 2012-97176호의 단락 0028~단락 0044에 기재된 방법을 들 수 있다.The production method of the triazine ring-containing polymer having a repeating unit represented by the above formula (4A) is not particularly limited, and examples include the methods described in paragraphs 0028 to 0044 of JP-A No. 2012-97176.

하지층 중에 포함되는 트리아진환 함유 중합체는, 하기 식 (10A)로 나타나는 중합성 단량체를 적어도 포함하는 중합성 단량체를 경화시켜 얻어지는 중합체인 것도 바람직하다.It is also preferable that the triazine ring-containing polymer contained in the ground layer is a polymer obtained by curing a polymerizable monomer containing at least a polymerizable monomer represented by the following formula (10A).

[화학식 20][Chemical Formula 20]

Figure pct00020
Figure pct00020

식 (10A) 중, X4~X6 중 1개 또는 2개는, 식 (11A) 또는 식 (12A)(식 (11A) 중, R142는, 수소 원자, 탄소수 1~10의 알킬기 또는 탄소수 2~10의 알켄일기를 나타냄)로 나타나는 기이며, X4~X6 중 나머지는, 식 (13A) 또는 식 (14A)(식 (13A) 중, R143 및 R144는, 각각 독립적으로 페닐기 또는 나프틸기를 나타냄)로 나타나는 기이다.Type (10A) of, X 4 ~ 1 or 2 of X 6, the formula (11A) or formula (12A) (formula (11A) of, R 142 is a hydrogen atom, an alkyl group or carbon number of 1 to 10 carbon atoms a group represented by represents an alkenyl group of 2 ~ 10), X 4 ~ X 6 of the other, the equation (13A) or formula (14A) (formula (13A) of, R 143 and R 144 are each independently a phenyl group Or a naphthyl group).

[화학식 21][Chemical Formula 21]

Figure pct00021
Figure pct00021

중합체의 중량 평균 분자량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 500~500,000이 바람직하고, 1000~100,000이 보다 바람직하며, 보다 내열성을 향상시킴과 함께, 수축률을 낮게 한다는 점에서, 2,000 이상이 바람직하고, 보다 용해성을 높여, 얻어진 용액의 점도를 저하시킨다는 점에서, 50,000 이하가 바람직하며, 30,000 이하가 보다 바람직하고, 10,000 이하가 더 바람직하다.The weight average molecular weight of the polymer is not particularly limited, but is preferably 500 to 500,000, more preferably 1,000 to 100,000, more preferably 2,000 or more in view of improving the heat resistance and lowering the shrinkage rate, Is preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less, and even more preferably 10,000 or less in view of increasing the viscosity of the obtained solution and lowering the viscosity of the obtained solution.

또한, 본 발명에 있어서의 중량 평균 분자량은, 젤 퍼미에이션 크로마토그래피(이하, GPC라고 함) 분석에 의한 표준 폴리스타이렌 환산으로 얻어지는 평균 분자량이다.The weight average molecular weight in the present invention is an average molecular weight obtained by gel permeation chromatography (hereinafter referred to as GPC) analysis in terms of standard polystyrene.

또한, 본 발명에 있어서는, 시판 중인 고굴절률 수지를 적합하게 이용할 수 있다. 이하에 그 상품명(제품 번호)을 열기해 둔다.In the present invention, a commercially available high refractive index resin can be suitably used. Open the product name (product number) below.

(1) 초고굴절률, 고내열 코팅 재료: UR-108, UR-202, UR-501, HR-102(닛산 가가쿠 고교사제)(1) Ultra high refractive index and high heat resistant coating materials: UR-108, UR-202, UR-501, HR-102 (manufactured by Nissan Kagaku Kogyo Co.,

(2) 후막용 고굴절률 코팅 재료: UR-108, UR-204, HR-201(닛산 가가쿠 고교사제)(2) High refractive index coating material for thick film: UR-108, UR-204, HR-201 (manufactured by Nissan Kagaku Kogyo Co., Ltd.)

(3) 싸이오에폭시 수지 LPH1101(미쓰비시 가스 가가쿠사제)(3) Thioepoxy resin LPH1101 (manufactured by Mitsubishi Gas Kagaku Co., Ltd.)

(4) 에피설파이드 수지 MR-174(미쓰이 가가쿠사제)(4) Episulfide resin MR-174 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)

(5) 싸이오유레테인 수지 MR-7(미쓰이 가가쿠사제)(5) Thiourethane resin MR-7 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)

하지층 중에 있어서의 중합체의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 하지층 전체 질량에 대하여, 40질량% 이상이 바람직하고, 70~95질량%가 보다 바람직하다.The content of the polymer in the base layer is not particularly limited, but is preferably 40% by mass or more, and more preferably 70 to 95% by mass, based on the total mass of the base layer, from the viewpoint of more excellent effects of the present invention.

또한, 하지층에는 상기 중합체 이외의 다른 성분(예를 들면, 계면활성제, 밀착 향상제 등)이 포함되어 있어도 된다. 계면활성제, 밀착 향상제의 예시로서는, 후술하는 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 계면활성제, 밀착 향상제에서 설명하는 예시를 들 수 있다.The base layer may contain other components (for example, a surfactant, adhesion improver, etc.) other than the polymer. Examples of the surfactant and adhesion improver include the examples described in the surfactant and adhesion improver contained in the coloring and radiation-sensitive composition described later.

하지층에는, 고굴절률 저분자 화합물이 더 포함되어 있어도 된다. 고굴절률 저분자 화합물은, 고굴절률을 발현하는 구조를 갖는 저분자 화합물(고굴절률 저분자 화합물)이면 되고, 중합성기가 포함되어 있어도 된다. 즉, 고굴절률 저분자 화합물은, "중합성 모노머"(중합성기를 포함하는 화합물)여도 되고, "저분자 화합물"(중합성기를 포함하지 않는 화합물)이어도 되지만, "저분자 화합물"이 바람직하다.The base layer may further contain a high refractive index low molecular weight compound. The high refractive index low molecular weight compound may be a low molecular weight compound (high refractive index low molecular weight compound) having a structure capable of exhibiting a high refractive index, or may contain a polymerizable group. That is, the high refractive index low molecular weight compound may be a "polymerizable monomer" (a compound containing a polymerizable group) or a "low molecular weight compound" (a compound containing no polymerizable group), but a "low molecular weight compound" is preferable.

고굴절률 저분자 화합물의 분자량은 특별히 제한되지 않지만, 3000 이하가 바람직하고, 800 이하가 보다 바람직하며, 600 이하가 더 바람직하다.The molecular weight of the high refractive index low molecular weight compound is not particularly limited, but is preferably 3000 or less, more preferably 800 or less, still more preferably 600 or less.

고굴절률 저분자 화합물은, 하지층 형성용 조성물에 있어서는, 감도 조정제로서도 기능하며, 함유량을 적합화함으로써, 막의 형성 프로세스에 있어서, 수율을 향상시킬 수 있다. 고굴절률 저분자 화합물의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 트리아진환 함유 중합체의 함유량을 기준으로 하여 그 10질량% 이하가 바람직하고, 7질량% 이하가 보다 바람직하며, 5질량% 이하가 특히 바람직하다. 고굴절률 저분자 화합물을 미량 넣음으로써, 트리아진환 함유 중합체 단체(單體)와 비교하여 굴절률을 더 높일 수 있다.The high-refractive-index low-molecular-weight compound also functions as a sensitivity adjusting agent in the base layer forming composition, and the yield can be improved in the film forming process by adjusting the content. The content of the high refractive index low molecular weight compound is not particularly limited, but is preferably 10 mass% or less, more preferably 7 mass% or less, and particularly preferably 5 mass% or less, based on the content of the triazine ring containing polymer. By adding a small amount of a high-refractive-index low molecular weight compound, the refractive index can be further increased as compared with a triazine ring-containing polymer alone.

고굴절률 저분자 화합물로서는, 트리아진환 함유 중합체의 고굴절률을 발현하는 구조와 동일한 구조를 갖는 것이 바람직하다. 고굴절률 저분자 화합물은, 구체적으로는, 트리아진환 구조(식 (A))를 갖는 화합물이나, 플루오렌 구조(식 (B))를 갖는 화합물을 들 수 있다. 또, 상기 트리아진환 구조를 갖는 화합물 및 플루오렌 구조를 갖는 화합물은, 추가로 중합성기(예를 들면, 라디칼 중합성기(예: (메트)아크릴로일기 또는 바이닐기))가 포함되어 있어도 된다.As the high refractive index low molecular weight compound, it is preferable that the high refractive index low molecular weight compound has the same structure as the structure which expresses the high refractive index of the triazine ring containing polymer. Specific examples of the high refractive index low molecular weight compound include a compound having a triazine ring structure (formula (A)) or a compound having a fluorene structure (formula (B)). The compound having a triazine ring structure and the compound having a fluorene structure may further contain a polymerizable group (for example, a radically polymerizable group such as a (meth) acryloyl group or a vinyl group).

또, 상기 고굴절률 저분자 화합물은 후술하는 하지층 형성용 조성물에 포함되어 있어도 되고, 그 함유량은 상기 범위인 것이 바람직하다.The high refractive index low molecular weight compound may be contained in a composition for forming a base layer to be described later, and the content thereof is preferably in the above range.

[화학식 22][Chemical Formula 22]

Figure pct00022
Figure pct00022

(하지층의 형성 방법)(Method of forming underlayer)

하지층의 형성 방법은 특별히 제한되지 않고, 공지의 방법을 채용할 수 있다. 예를 들면, 상술한 중합체 등의 하지층을 형성하는 재료를 포함하는 하지층 형성용 조성물을, 지지체 상에 도포하고, 필요에 따라 경화 처리(예를 들면, 가열 처리 및/또는 노광 처리)를 실시하는 방법을 채용할 수 있다.The method of forming the foundation layer is not particularly limited and a known method can be employed. For example, a composition for forming an undercoat layer containing a material for forming a base layer such as the polymer described above is applied on a support, and a curing treatment (for example, a heat treatment and / or an exposure treatment) May be adopted.

도포의 방법은 특별히 제한되지 않고, 스프레이법, 롤 코트법, 회전 도포법(스핀 코트법), 바 도포법 등을 들 수 있다.The coating method is not particularly limited, and examples thereof include a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), and a bar coating method.

또, 하지층 형성용 조성물은, 투명한 조성물인 것이 바람직하고, 보다 구체적으로는, 조성물에 의하여 막 두께 1.0μm의 하지층을 형성했을 때, 하지층의 두께 방향에 대한 광투과율이, 400~700nm의 파장 영역 전역에 걸쳐 90% 이상이 되는 조성물인 것이 바람직하다.More specifically, when a base layer having a thickness of 1.0 탆 is formed by the composition, the light transmittance of the base layer in the thickness direction is preferably from 400 to 700 nm Is not less than 90% over the whole wavelength region of the wavelength region of the visible light.

즉, 하지층은, 막 두께 1.0μm에 있어서, 막의 두께 방향에 대한 광투과율이, 400~700nm의 파장 영역 전역에 걸쳐 90% 이상이 되는 막이 바람직하다.That is, the base layer is preferably a film having a light transmittance of 90% or more over the entire wavelength range of 400 to 700 nm in the film thickness direction of 1.0 占 퐉.

또한, 상기 광투과율은, 400~700nm의 파장 영역 전역에 걸쳐, 95% 이상인 것이 바람직하고, 99% 이상인 것이 보다 바람직하며, 100%인 것이 가장 바람직하다.The light transmittance is preferably 95% or more, more preferably 99% or more, and most preferably 100%, over the entire wavelength range of 400 to 700 nm.

하지층 형성용 조성물은 후술하는 착색제를 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 착색제의 함유량은, 조성물의 전체 고형분에 대하여, 0질량%인 것이 바람직하다.It is preferable that the composition for forming the foundation layer substantially contains no coloring agent described later. More specifically, the content of the colorant is preferably 0 mass% with respect to the total solid content of the composition.

또, 하지층 형성용 조성물에는, 필요에 따라, 가교제, 용제, 계면활성제, 밀착 향상제 등이 포함되어 있어도 된다. 용제, 계면활성제, 밀착 향상제의 각각의 예시로서는, 후술하는 착색 감방사선성 조성물에 포함되는 용제, 계면활성제, 밀착 향상제에서 설명하는 예시를 들 수 있다.The base layer forming composition may contain a crosslinking agent, a solvent, a surfactant, an adhesion improver, and the like, if necessary. Examples of each of the solvent, surfactant and adhesion improver include the examples described in the solvent, surfactant, and adhesion improver included in the coloring and radiation-sensitive composition described later.

또한, 가교제로서는, 상술한 중합체와 반응할 수 있는 치환기를 갖는 화합물이면 특별히 한정되는 것은 아니다.The crosslinking agent is not particularly limited as long as it is a compound having a substituent capable of reacting with the above-mentioned polymer.

그러한 화합물로서는, 메틸올기, 메톡시메틸기 등의 가교 형성 치환기를 갖는 멜라민계 화합물, 치환 요소계 화합물, 에폭시기 또는 옥세탄기 등의 가교 형성 치환기를 함유하는 화합물, 블록화 아이소사이아네이트를 함유하는 화합물, 산무수물을 갖는 화합물, (메트)아크릴기를 갖는 화합물, 페노플라스트 화합물 등을 들 수 있지만, 내열성이나 보존 안정성의 관점에서, 에폭시기, 블록 아이소사이아네이트기, (메트)아크릴기를 갖는 화합물이 바람직하다.As such a compound, a compound containing a crosslinking forming substituent such as a melamine compound having a crosslinking forming substituent such as a methylol group or a methoxymethyl group, a substituted urea compound, an epoxy group or an oxetane group, a compound containing a blocked isocyanate , A compound having an acid anhydride, a compound having a (meth) acryl group, and a phenoplast compound. From the viewpoint of heat resistance and storage stability, a compound having an epoxy group, a block isocyanate group and a (meth) desirable.

또한, 하지층 형성용 조성물에는, NaCl 등의 염의 함유량이 적은 것이 바람직하고, 100질량ppm 이하가 바람직하고, 50질량ppm 이하가 보다 바람직하다. 1질량ppm 이상이 바람직하고, 5질량ppm 이상이 보다 바람직하다. 염의 함유량이 상기 소정치 이하인 경우, 막의 결함의 발생이 보다 억제된다. 또, 염을 미량 첨가함으로써, 패턴 형상의 조정제로서 기능하여, 포토리소그래피로 패턴을 형성할 때에, 원하는 패턴을 형성하기 쉬워진다. 염의 함유량은, 여과에 의하여 조정할 수 있다.The composition for forming the undercoat layer preferably has a low content of salts such as NaCl, preferably 100 mass ppm or less, more preferably 50 mass ppm or less. 1 mass ppm or more is preferable, and 5 mass ppm or more is more preferable. When the salt content is not more than the predetermined value, occurrence of defects of the film is further suppressed. In addition, by adding a small amount of salt, it functions as a pattern shape adjuster, and when a pattern is formed by photolithography, a desired pattern can be easily formed. The salt content can be adjusted by filtration.

<착색층 형성 공정>&Lt; Coloring layer forming step &

착색층 형성 공정은, 상기에서 설명한 하지층 상에, (A) 착색제(바람직하게는 안료), (B) 중합 개시제, 및 (C) 중합성 화합물을 포함하는, 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 착색층을 형성하는 공정이다. 착색층의 색은 특별히 제한되지 않고, 사용되는 착색제의 종류에 따라 적절히 조정할 수 있으며, 예를 들면, 적색 착색층, 녹색 착색층, 청색 착색층 등을 들 수 있고, 이들을 하지층 상에 동시에 배치해도 된다.The coloring layer forming step is a step of forming a colored layer on the base layer described above by using a coloring and radiation sensitive composition comprising (A) a colorant (preferably a pigment), (B) a polymerization initiator, and (C) Thereby forming a colored layer. The color of the coloring layer is not particularly limited and can be appropriately adjusted according to the type of the coloring agent to be used. Examples of the coloring layer include a red coloring layer, a green coloring layer, and a blue coloring layer. You can.

이하에서는, 먼저, 본 공정에서 사용되는 착색 감방사선성 조성물에 대하여 상세하게 설명하고, 그 후 공정의 순서에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the coloring and radiation-sensitive composition used in the present step will be described in detail first, and the sequence of steps thereafter will be described in detail.

(착색 감방사선성 조성물(이후, 간단히 "조성물" "본 발명의 조성물"이라고도 칭함)(Hereinafter, simply referred to as "composition" "composition of the present invention"),

착색 감방사선성 조성물에는, (A) 착색제(바람직하게는 안료), (B) 중합 개시제, 및 (C) 중합성 화합물이 적어도 포함된다.The coloring and radiation-sensitive composition contains at least (A) a colorant (preferably a pigment), (B) a polymerization initiator, and (C) a polymerizable compound.

먼저, 각 성분에 대하여 상세하게 설명한다.First, each component will be described in detail.

((A) 착색제)((A) colorant)

착색제의 종류는 특별히 제한되지 않고, 유채색계(적색, 마젠타색, 황색, 청색, 사이안색 및 녹색 등)의 안료 또는 염료나, 흑색의 안료 또는 염료가 사용된다.The type of the colorant is not particularly limited, and pigments or dyes of a rape color system (red, magenta, yellow, blue, cyan, and green), black pigments or dyes are used.

유채색계의 안료로서는, 종래 공지의 다양한 무기 안료 또는 유기 안료를 이용할 수 있다. 또, 무기 안료든 유기 안료든, 고투과율인 것이 바람직한 것을 고려하면, 가능한 한 미세한 것을 사용하는 것이 바람직하고, 핸들링성도 고려하면, 상기 안료의 평균 1차 입경은, 0.01μm~0.1μm가 바람직하고, 0.01μm~0.05m가 보다 바람직하다.As the pigments of the raindrop series, various conventionally known inorganic pigments or organic pigments can be used. In view of the fact that the inorganic pigment or the organic pigment is preferably a high transmittance, it is preferable to use as fine as possible, and considering the handling property, the average primary particle diameter of the pigment is preferably from 0.01 mu m to 0.1 mu m , And more preferably 0.01 mu m to 0.05 mu m.

무기 안료로서는, 금속 산화물, 금속 착염 등으로 나타나는 금속 화합물을 들 수 있고, 구체적으로는, 철, 코발트, 알루미늄, 카드뮴, 납, 구리, 타이타늄, 마그네슘, 크로뮴, 아연, 안티모니, 은 등의 금속 산화물 및 금속의 복합 산화물을 들 수 있다. 타이타늄의 질화물, 은 주석 화합물, 은 화합물 등도 사용할 수 있다.Examples of the inorganic pigments include metallic compounds represented by metal oxides and metal complex salts and specifically include metals such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, Oxides and complex oxides of metals. Nitrides of titanium, silver tin compounds, silver compounds, and the like can also be used.

본 발명에 있어서 바람직하게 이용할 수 있는 안료로서, 이하의 것을 들 수 있다. 단 본 발명은, 이들에 한정되는 것은 아니다.Examples of pigments that can be preferably used in the present invention include the following pigments. However, the present invention is not limited thereto.

C. I. 피그먼트 옐로 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214 등,CI pigment yellow 1, 2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35: 1, 36, 36, 37, 37, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 128, 129, 137, 138, 128, 129, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 117, 118, 119, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 166, 167, 168, 169, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213,

C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17:1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73 등,CI Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73 Etc,

C. I. 피그먼트 레드 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 52:1, 52:2, 53:1, 57:1, 60:1, 63:1, 66, 67, 81:1, 81:2, 81:3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279CI Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 81: 2, 81: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 175, 176, 177, 178, 179, 170, 176, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279

C. I. 피그먼트 그린 7, 10, 36, 37, 58C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58

C. I. 피그먼트 바이올렛 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42

C. I. 피그먼트 블루 Blue 1, 2, 15, 15:1, 15: 2, 15:3, 15: 4, 15:6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 8015: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80

C. I. Pigment Black 1C. I. Pigment Black 1

이들 유기 안료는, 단독 혹은 색순도를 높이기 위하여 다양하게 조합하여 이용할 수 있다.These organic pigments can be used singly or in various combinations in order to enhance color purity.

안료로서는, 상술한 바와 같이, 무기 안료를 이용해도 되고, 무기 안료로서는, 예를 들면 금속 안료, 금속 화합물이나 금속 산화물 등으로 이루어지는 금속 함유 무기 안료, 카본 블랙 등을 들 수 있다.As the pigment, an inorganic pigment may be used as described above. Examples of the inorganic pigment include metal pigments, metal-containing inorganic pigments such as metal compounds and metal oxides, and carbon black.

또, 조성물은 컬러 필터의 착색 영역(화소)의 형성뿐만 아니라, 블랙 매트릭스의 형성에 사용해도 되고, 블랙 매트릭스 형성용 조성물에 이용되는 흑색 안료로서는, 카본, 타이타늄 블랙, 산화 철, 산화 타이타늄, 은 주석, 은 등 외에, 산화 타이타늄 등의 금속 산화물을 함유하는 금속 혼합물 등으로 이루어지는 안료를 이용할 수 있다. 타이타늄 블랙의 시판품의 예로서는 예를 들면, 미쓰비시 머티리얼사제 타이타늄 블랙 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N, 아코 가세이(주) 틸락크(Tilack) D 등을 들 수 있다.The composition may be used not only for forming a coloring region (pixel) of a color filter but also for forming a black matrix. Examples of the black pigment used for the black matrix forming composition include carbon black, titanium black, iron oxide, Tin, silver and the like, a metal mixture containing a metal oxide such as titanium oxide, or the like can be used. Examples of commercially available products of titanium black include titanium black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N manufactured by Mitsubishi Materials Corporation and Tilack D manufactured by Ako Kasei Co.,

안료로서는, 평균 입경(r)이, 20nm≤r≤300nm, 바람직하게는 125nm≤r≤250nm, 특히 바람직하게는 30nm≤r≤200nm를 충족시키는 안료가 바람직하다. 이러한 평균 입경의 안료를 이용함으로써, 고콘트라스트비이고, 또한 고광투과율의 화소를 얻을 수 있다. 여기에서 말하는 "평균 입경"이란, 안료의 1차 입자(단미결정(單微結晶))가 집합한 2차 입자에 대한 평균 입경을 의미한다. 평균 1차 입경은, SEM 또는 TEM으로 관찰하고, 입자가 응집하고 있지 않은 부분에서 입자 사이즈를 100개 계측하여, 평균값을 산출함으로써 구할 수 있다.As the pigment, a pigment which satisfies an average particle diameter (r) of 20 nm? R? 300 nm, preferably 125 nm? R? 250 nm, particularly preferably 30 nm? R? 200 nm is preferable. By using such a pigment having an average particle diameter, a pixel having a high contrast ratio and a high light transmittance can be obtained. The "average particle diameter" as used herein means an average particle diameter of secondary particles in which primary particles (single crystals) of a pigment are aggregated. The average primary particle size can be obtained by observing with SEM or TEM, measuring 100 particle sizes at the portion where particles are not aggregated, and calculating an average value.

또, 본 발명에 있어서 사용할 수 있는 안료의 2차 입자의 입경 분포(이하, 간단히 "입경 분포"라고 함)는, (평균 입경±100)nm에 들어가는 2차 입자가 전체의 70질량% 이상, 바람직하게는 80질량% 이상인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서는, 입경 분포는, 산란 강도 분포를 이용하여 측정했다.The particle size distribution (hereinafter simply referred to as "particle size distribution") of the secondary particles of the pigment that can be used in the present invention is such that the secondary particles reaching the (average particle diameter ± 100) nm are not less than 70% It is preferably at least 80% by mass. In the present invention, the particle size distribution was measured using the scattering intensity distribution.

상기한 평균 입경 및 입경 분포를 갖는 안료는, 시판 중인 안료를, 경우에 따라서 사용되는 다른 안료(평균 입경은 통상, 300nm를 넘음)와 함께, 바람직하게는 분산제 및 용제와 혼합한 안료 혼합액으로서, 예를 들면 비즈 밀, 롤 밀 등의 분쇄기를 이용하여, 분쇄하면서 혼합·분산함으로써 조제할 수 있다. 이와 같이 하여 얻어지는 안료는, 통상, 안료 분산액의 형태를 취한다.The above-mentioned pigment having an average particle diameter and a particle diameter distribution is a pigment mixture in which commercially available pigments are mixed with other pigments (average particle diameter is usually more than 300 nm) used as occasion demands, preferably with a dispersant and a solvent, For example, by pulverizing using a pulverizer such as a bead mill or a roll mill. The pigment thus obtained usually takes the form of a pigment dispersion.

조성물에 함유되는 안료의 함유량(농도)으로서는, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 조성물의 전체 고형분 중, 40질량% 이상인 것이 바람직하고, 45질량% 이상이 보다 바람직하며, 50질량%가 더 바람직하다. 상한에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 바람직하게는 75질량% 이하이다.The content (concentration) of the pigment contained in the composition is preferably 40% by mass or more, more preferably 45% by mass or more, and more preferably 50% by mass or more of the total solid content of the composition, desirable. The upper limit is not particularly limited, but is preferably 75% by mass or less.

염료로서는, 특별히 제한은 없고, 공지의 염료를 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 예를 들면, 일본 공개특허공보 소64-90403호, 일본 공개특허공보 소64-91102호, 일본 공개특허공보 평1-94301호, 일본 공개특허공보 평6-11614호, 일본 등록특허공보 2592207호, 미국 특허공보 제4,808,501호, 미국 특허공보 제5,667,920호, 미국 특허공보 제5,059,500호, 일본 공개특허공보 평5-333207호, 일본 공개특허공보 평6-35183호, 일본 공개특허공보 평6-51115호, 일본 공개특허공보 평6-194828호, 일본 공개특허공보 평8-211599호, 일본 공개특허공보 평4-249549호, 일본 공개특허공보 평10-123316호, 일본 공개특허공보 평11-302283호, 일본 공개특허공보 평7-286107호, 일본 공개특허공보 2001-4823호, 일본 공개특허공보 평8-15522호, 일본 공개특허공보 평8-29771호, 일본 공개특허공보 평8-146215호, 일본 공개특허공보 평11-343437호, 일본 공개특허공보 평8-62416호, 일본 공개특허공보 2002-14220호, 일본 공개특허공보 2002-14221호, 일본 공개특허공보 2002-14222호, 일본 공개특허공보 2002-14223호, 일본 공개특허공보 평8-302224호, 일본 공개특허공보 평8-73758호, 일본 공개특허공보 평8-179120호, 일본 공개특허공보 평8-151531호 등에 기재된 색소이다.The dye is not particularly limited, and a known dye can be appropriately selected and used. For example, JP-A-64-90403, JP-A-64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP-A-2592207 , U.S. Patent No. 4,808,501, U.S. Patent No. 5,667,920, U.S. Patent No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-211599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283 Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 7-286107, 2001-4823, 8-15522, 8-29771, and 8-146215 , Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 11-343437, Japanese Unexamined Patent Application, First Publication No. Hei 8-62416, Japanese Unexamined Patent Application, First Publication No. 2002-14220, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2002-14221, 2002-14222, 2002-14223, 8-302224, 8-73758, 8-179120, and 8-151531.

화학 구조로서는, 피라졸아조계, 아닐리노아조계, 트라이페닐메테인계, 안트라퀴논계, 안트라피리돈계, 벤질리덴계, 옥소놀계, 피라졸로트리아졸아조계, 피리돈아조계, 사이아닌계, 페노싸이아진계, 피롤로피라졸아조메타인계, 잔텐계, 프탈로사이아닌계, 벤조피란계, 인디고계 등의 염료를 사용할 수 있다. 이들 염료는 다량체여도 된다.Examples of the chemical structure include a pyrazolone group, anilino group, triphenylmethane group, anthraquinone group, anthrapyridone group, benzilidene group, oxolin group, pyrazolotriazole group, pyridazo group, , Pyrrolopyrazole azo methain, zanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo and the like can be used. These dyes may be multimers.

(분산제)(Dispersant)

또한, 본 발명의 조성물에서는, 안료의 분산성을 더 향상시키는 관점에서, 분산제를 첨가하는 것이 바람직하다.Further, in the composition of the present invention, it is preferable to add a dispersant in order to further improve the dispersibility of the pigment.

분산제(이하, "안료 분산제"라고 하는 경우가 있음)로서는, 고분자 분산제(예를 들면, 폴리아마이드아민과 그 염, 폴리카복실산과 그 염, 고분자량 불포화산 에스터, 변성 폴리유레테인, 변성 폴리에스터, 변성 폴리(메트)아크릴레이트, (메트)아크릴계 공중합체, 나프탈렌설폰산 포말린 축합물) 및 폴리옥시에틸렌알킬 인산 에스터, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 알칸올아민, 안료 유도체 등을 들 수 있다.Examples of the dispersant (hereinafter also referred to as "pigment dispersant") include polymer dispersants (for example, polyamide amines and salts thereof, polycarboxylic acids and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethane, (Meth) acrylic copolymer, naphthalenesulfonic acid-formalin condensate) and polyoxyethylene alkylphosphoric acid ester, polyoxyethylene alkylamine, alkanolamine, pigment derivative and the like .

고분자 분산제는, 그 구조로부터 또한 직쇄상 고분자, 말단 변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 블록형 고분자로 분류할 수 있다.The polymer dispersant can be classified into a linear polymer, a terminal modified polymer, a graft polymer, and a block polymer from the structure.

고분자 분산제는 안료의 표면에 흡착하여, 재응집을 방지하도록 작용한다. 이로 인하여, 안료 표면으로의 앵커 부위를 갖는 말단 변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 블록형 고분자를 바람직한 구조로서 들 수 있다. 한편, 안료 유도체는 안료 표면을 개질함으로써, 고분자 분산제의 흡착을 촉진시키는 효과를 갖는다.The polymer dispersant adsorbs on the surface of the pigment and acts to prevent re-aggregation. Accordingly, a terminal modified polymer, graft-type polymer, and block-type polymer having an anchor site to the pigment surface are preferable structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.

본 발명에 이용할 수 있는 안료 분산제의 구체예로서는, BYK Chemie사제 "Disperbyk-101(폴리아마이드아민 인산염), 107(카복실산 에스터), 110(산기를 포함하는 공중합물), 130(폴리아마이드), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170(고분자 공중합물)", "BYK-P104, P105(고분자량 불포화 폴리카복실산), BYK2001", EFKA사제 "EFKA 4047, 4050, 4010, 4165(폴리유레테인계), EFKA 4330, 4340(블록 공중합체), 4400, 4402(변성 폴리아크릴레이트), 5010(폴리에스터아마이드), 5765(고분자량 폴리카복실산염), 6220(지방산 폴리에스터), 6745(프탈로사이아닌 유도체), 6750(아조 안료 유도체)", 아지노모토 파인테크노사제 "아지스퍼 PB821, PB822", 교에이샤 가가쿠사제 "플로렌 TG-710(유레테인 올리고머)", "폴리플로 No.50E, No.300(아크릴계 공중합체)", 구스모토 가세이사제 "디스파론 KS-860, 873SN, 874, #2150(지방족 다가 카복실산), #7004(폴리에터에스터), DA-703-50, DA-705, DA-725", 가오사제 "데몰 RN, N(나프탈렌설폰산 포말린 중축합물), MS, C, SN-B(방향족 설폰산 포말린 중축합물)", "호모게놀 L-18(고분자 폴리카복실산)", "에멀겐 920, 930, 935, 985(폴리옥시에틸렌노닐페닐에터)", "아세타민 86(스테아릴아민아세테이트)", 루브리졸사제 "솔스퍼스 5000(프탈로사이아닌 유도체), 22000(아조 안료 유도체), 13240(폴리에스터아민), 3000, 17000, 27000(말단부에 기능부를 갖는 고분자), 24000, 28000, 32000, 38500(그래프트형 고분자)", 닛코 케미컬사제 "닛콜 T106(폴리옥시에틸렌소비탄모노올리에이트), MYS-IEX(폴리옥시에틸렌모노스테아레이트)" 등을 들 수 있다.Specific examples of the pigment dispersant usable in the present invention include Disperbyk-101 (polyamide amine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide), 161, BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid), BYK2001 ", manufactured by EFKA" EFKA 4047, 4050, 4010, 4165 (polyurethane copolymer) (Modified polyacrylate), 5010 (polyester amide), 5765 (high molecular weight polycarboxylic acid salt), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalate), EFKA 4330, 4340 (block copolymer), 4400, 6750 (azo pigment derivative) "manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd." Ajisper PB821, PB822 "manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.," Floren TG-710 (uretene oligomer) "manufactured by Kyoeisha Chemical Co., 50E, No.300 (acrylic copolymer) ", Dysparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polyvalent carboxylic acid) manufactured by Kusumoto Chemical Co., N (naphthalene sulfonic acid-formaldehyde polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic polyester), "# 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA- (Polyoxyethylene nonylphenyl ether) ", "acetamin 86 (stearyl polyoxyethylene nonylphenyl ether) ", " Homogenol L-18 (polymeric polycarboxylic acid) "," Emulgen 920, 930, 935, 985 Amine acetate) ", manufactured by Lubrizol Corporation," Sol Spurs 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyester amine), 3000, 17000, 27000 , 28000, 32000 and 38500 (graft polymer), NIKKOL T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate) and MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) manufactured by Nikko Chemical Co.,

이들 분산제는, 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 본 발명에 있어서는, 특히 안료 유도체와 고분자 분산제를 조합하여 사용하는 것이 바람직하다.These dispersants may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, it is particularly preferable to use a combination of a pigment derivative and a polymeric dispersing agent.

본 발명의 조성물 중에 있어서의 분산제의 함유량으로서는, 안료에 대하여, 1~100질량%인 것이 바람직하고, 3~100질량%가 보다 바람직하며, 5~80질량%가 더 바람직하다. 또, 조성물의 전체 고형분에 대하여, 10~30질량%인 것이 바람직하다.The content of the dispersant in the composition of the present invention is preferably from 1 to 100% by mass, more preferably from 3 to 100% by mass, and still more preferably from 5 to 80% by mass, based on the pigment. Further, it is preferably 10 to 30% by mass relative to the total solid content of the composition.

<중합 개시제><Polymerization Initiator>

본 발명의 조성물은, 중합 개시제를 포함한다. 중합 개시제는 1종류만이어도 되고, 2종류 이상이어도 되며, 2종류 이상인 경우는, 합계량이 하기 범위가 된다. 예를 들면, 중합 개시제의 함유량은, 본 발명의 조성물의 고형분에 대하여, 0.01~30질량%가 바람직하고, 0.1~20질량%가 보다 바람직하며, 0.1~15질량%가 더 바람직하다. 이 범위 내이면, 양호한 감도와 패턴 형성성이 얻어진다.The composition of the present invention includes a polymerization initiator. The polymerization initiator may be used alone or in combination of two or more, and in the case of two or more types, the total amount is in the following range. For example, the content of the polymerization initiator is preferably 0.01 to 30% by mass, more preferably 0.1 to 20% by mass, and still more preferably 0.1 to 15% by mass, based on the solid content of the composition of the present invention. Within this range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.

중합 개시제로서는, 광, 열 중 어느 하나 혹은 그 양쪽 모두에 의하여 중합성 화합물의 중합을 개시하는 능력을 갖는 한, 특별히 제한은 없으며, 목적에 따라 적절히 선택할 수 있지만, 광중합 개시제인 것이 바람직하다. 광으로 중합을 개시시키는 경우, 자외선 영역으로부터 가시의 광선에 대하여 감광성을 갖는 것이 바람직하다.The polymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of the polymerizable compound by either or both of light and heat, and can be appropriately selected in accordance with the purpose, but is preferably a photopolymerization initiator. In the case of initiating polymerization by light, it is preferable to have photosensitivity to visible light from the ultraviolet region.

또, 열로 중합을 개시시키는 경우에는, 150~250℃에서 분해하는 중합 개시제가 바람직하다.When heat polymerization is initiated, a polymerization initiator which decomposes at 150 to 250 캜 is preferable.

본 발명에 이용할 수 있는 중합 개시제로서는, 적어도 방향족기를 갖는 화합물인 것이 바람직하고, 예를 들면 아실포스핀 화합물, 아세토페논 화합물, α-아미노케톤 화합물, 벤조페논 화합물, 벤조인에터 화합물, 케탈 유도체 화합물, 싸이오잔톤 화합물, 옥심 화합물, 헥사아릴바이이미다졸 화합물, 트라이할로메틸 화합물, 아조 화합물, 유기 과산화물, 다이아조늄 화합물, 아이오도늄 화합물, 설포늄 화합물, 아지늄 화합물, 벤조인에터 화합물, 케탈 유도체 화합물, 메탈로센 화합물 등의 오늄염 화합물, 유기 붕소염 화합물, 다이설폰 화합물 등을 들 수 있다.The polymerization initiator usable in the present invention is preferably a compound having at least an aromatic group, and examples thereof include an acylphosphine compound, an acetophenone compound, an? -Amino ketone compound, a benzophenone compound, a benzoin ether compound, The present invention relates to a process for producing a compound represented by the general formula (I), a thiazonone compound, an oxime compound, a hexaarylbaimidazole compound, a trihalomethyl compound, an azo compound, an organic peroxide, a diazonium compound, an iodonium compound, An onium salt compound such as a ketal derivative compound and a metallocene compound, an organic boron salt compound, and a disulfone compound.

감도의 관점에서, 옥심 화합물, 아세토페논 화합물, α-아미노케톤 화합물, 트라이할로메틸 화합물, 헥사아릴바이이미다졸 화합물 및 싸이올 화합물이 바람직하다.From the viewpoint of sensitivity, oxime compounds, acetophenone compounds,? -Amino ketone compounds, trihalomethyl compounds, hexaarylbaiimidazole compounds and thiol compounds are preferable.

아세토페논 화합물, 트라이할로메틸 화합물, 헥사아릴바이이미다졸 화합물, 옥심 화합물로서는, 구체적으로는, 일본 공개특허공보 2012-208494호 단락 0506~0510(대응하는 미국 특허출원 공개공보 제2012/0235099호의 [0622~0628]) 등의 기재를 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.Specific examples of the acetophenone compound, the trihalomethyl compound, the hexaaryl bimidazole compound and the oxime compound are described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-208494, paragraphs 0506 to 0510 (corresponding US Patent Application Publication No. 2012/0235099 [0622 to 0628]), which are incorporated herein by reference.

광중합 개시제로서는, 옥심 화합물, 아세토페논 화합물 및 아실포스핀 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화합물이 더 바람직하다. 보다 구체적으로는, 예를 들면 일본 공개특허공보 평10-291969호에 기재된 아미노아세토페논계 개시제, 특허 제4225898호에 기재된 아실포스핀옥사이드계 개시제 및 앞서 설명한 옥심계 개시제, 또한 옥심계 개시제로서, 일본 공개특허공보 2001-233842호에 기재된 화합물도 이용할 수 있다.As the photopolymerization initiator, compounds selected from the group consisting of oxime compounds, acetophenone compounds and acylphosphine compounds are more preferred. More specifically, for example, an aminoacetophenone-based initiator disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-291969, an acylphosphine oxide-based initiator described in Japanese Patent No. 4225898, a oxime-based initiator described above, The compounds described in JP 2001-233842 A can also be used.

옥심계 개시제로서는, 시판품인 IRGACURE-OXE01(BASF사제), IRGACURE-OXE02(BASF사제)를 이용할 수 있다. 아세토페논계 개시제로서는, 시판품인 IRGACURE-907, IRGACURE-369 및 IRGACURE-379(상품명: 모두 BASF 재팬사제)를 이용할 수 있다. 또 아실포스핀계 개시제로서는 시판품인 IRGACURE-819나 DAROCUR-TPO(상품명: 모두 BASF 재팬사제)를 이용할 수 있다.As the oxime type initiator, commercially available IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF) and IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF) can be used. As the acetophenone-based initiator, commercially available IRGACURE-907, IRGACURE-369 and IRGACURE-379 (all trade names, all manufactured by BASF Japan) can be used. As the acylphosphine-based initiator, commercial products IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (all trade names, all manufactured by BASF Japan) can be used.

옥심계 개시제(옥심계 중합 개시제)로서는, 일본 공개특허공보 2012-208494호의 단락 0513(대응하는 미국 특허출원 공개공보 제2012/235099호의 [0632]) 이후의 식 (OX-1), (OX-2) 또는 (OX-3)으로 나타나는 화합물의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.Examples of the oxime-based initiator (oxime-based polymerization initiator) include compounds represented by the following formulas (OX-1), (OX- 2) or (OX-3), the contents of which are incorporated herein by reference.

옥심계 개시제로서는, TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309, TRONLY TR-PBG-305(창저우 강력 전자 신재료 유한 공사(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO., LTD)제) 등의 시판품도 사용할 수 있다. 또, 일본 공개특허공보 2012-113104호의 단락 0092란으로부터 단락 0096란에 기재되어 있는 중합 개시제의 기재를 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다. 이러한 옥심계 개시제를 사용함으로써, 경화 감도가 높고, 현상성이 양호한 수지 조성물을 제공할 수 있다. 상기 옥심계 개시제는, 일본 공개특허공보 2012-113104호의 0030란 이후에 설명되어 있는 화합물이다. 일반식으로서는, 일본 공개특허공보 2012-113104호 방법의 청구항 1에 기재된 일반식 (I)로 나타나고, 보다 바람직하게는 청구항 3에 기재된 일반식 (I-A)로 나타나는 것이며, 이들 기재를 참작할 수 있고, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.As the oxime type initiator, commercial products such as TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309 and TRONLY TR-PBG-305 (manufactured by CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO., LTD. Can also be used. Also, the description of the polymerization initiator described in paragraph 0096 of paragraph [0092] of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-113104 may be taken into consideration, and the contents thereof are incorporated herein by reference. By using such a oxime-based initiator, a resin composition having high curability and high developability can be provided. The oxime-based initiator is a compound described in JP-A-2012-113104, column &quot; 0030 &quot; The general formula is represented by the general formula (I) described in claim 1 of the method of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-113104, more preferably represented by the general formula (IA) described in claim 3, , The contents of which are incorporated herein by reference.

본 발명에서는, 중합 개시제의 라디칼 발생 효율의 향상, 감광 파장의 장파장화의 목적으로, 증감제를 함유하고 있어도 된다. 본 발명에 이용할 수 있는 증감제로서는, 중합 개시제에 대하여, 전자 이동 기구 또는 에너지 이동 기구로 증감시키는 것이 바람직하다.In the present invention, a sensitizer may be contained for the purpose of improving the radical generation efficiency of the polymerization initiator and increasing the wavelength of the photosensitive wavelength. As the sensitizer usable in the present invention, it is preferable to increase or decrease the amount of the polymerization initiator by an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism.

증감제로서는, 예를 들면 일본 공개특허공보 2008-32803호의 단락 번호 0101~0154에 기재되는 화합물을 들 수 있다.As the sensitizer, for example, compounds described in paragraphs 0101 to 0154 of JP-A No. 2008-32803 can be mentioned.

본 발명의 조성물 중에 있어서의 증감제의 함유량은, 배합하는 경우, 심부로의 광흡수 효율과 개시 분해 효율의 관점에서, 고형분 환산으로, 0.1질량%~20질량%인 것이 바람직하고, 0.5질량%~15질량%가 보다 바람직하다.The content of the sensitizer in the composition of the present invention is preferably from 0.1% by mass to 20% by mass, more preferably from 0.5% by mass to 20% by mass, in terms of solid content, To 15% by mass is more preferable.

증감제는, 1종 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다.The sensitizer may be used alone, or two or more may be used in combination.

(중합성 화합물)(Polymerizable compound)

중합성 화합물로서는, 상기 중합 개시제에 의하여 중합하는 화합물이면 되고, 공지의 중합성 화합물을 사용할 수 있다.As the polymerizable compound, any compound that is polymerized by the polymerization initiator may be used, and a known polymerizable compound may be used.

그 중에서도, 중합성의 관점에서, 적어도 하나의 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 부가 중합성 화합물을 사용할 수도 있고, 말단 에틸렌성 불포화 결합을 적어도 하나, 바람직하게는 2개 이상 갖는 화합물을 사용하는 것이 바람직하다.Among them, from the viewpoint of polymerizability, an addition polymerizable compound having at least one ethylenic unsaturated double bond may be used, or a compound having at least one, preferably two or more, terminal ethylenic unsaturated bonds is preferably used .

그 중에서도, 착색층의 밀착성이 보다 우수한 점에서, 중합성 화합물로서, 3개 이상의 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 중합성 화합물(이하, "다관능 모노머"라고 하는 경우가 있음)이 바람직하다. 이러한 화합물은 당해 산업분야에 있어서 널리 알려져 있는 것이며, 본 발명에 있어서는 이들을 특별히 한정 없이 이용할 수 있다. 본 발명에 있어서의 다관능 모노머는 1종 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다. 본 발명에서 이용하는 다관능 모노머는, (메트)아크릴레이트 모노머가 바람직하다.Of these, a polymerizable compound having three or more ethylenically unsaturated double bonds (hereinafter sometimes referred to as a "multifunctional monomer") is preferable as the polymerizable compound from the viewpoint of better adhesion of the colored layer. These compounds are well known in the art and can be used in the present invention without particular limitation. The multifunctional monomers in the present invention may be used singly or in combination of two or more. The multifunctional monomer used in the present invention is preferably a (meth) acrylate monomer.

이들의 구체적인 화합물로서는, 일본 공개특허공보 2009-288705호의 단락 번호 0095~0108에 기재되어 있는 화합물을 본 발명에 있어서도 적합하게 이용할 수 있다.As specific compounds of these compounds, compounds described in paragraphs 0095 to 0108 of JP-A-2009-288705 can be suitably used in the present invention.

상기 이외에, 하기 일반식 (MO-1)~(MO-6)으로 나타나는, 라디칼 중합성 모노머도 적합하게 이용할 수 있다. 또한, 식 중, T가 옥시알킬렌기인 경우에는, 탄소 원자측의 말단이 R에 결합한다.In addition to the above, radically polymerizable monomers represented by the following general formulas (MO-1) to (MO-6) can also be suitably used. In the formula, when T is an oxyalkylene group, the terminal on the carbon atom side is bonded to R.

[화학식 23](23)

Figure pct00023
Figure pct00023

식 중, n은, 각각, 0~14이며, m은, 각각, 1~8이다. 1분자 내에 복수 존재하는 R, T 및 Z는, 각각, 동일해도 되고, 상이해도 된다. T가 옥시알킬렌기인 경우에는, 탄소 원자측의 말단이 R에 결합한다. R 중 적어도 3개는, 중합성기이다.Wherein n is 0 to 14 and m is 1 to 8, respectively. The plurality of R, T and Z present in one molecule may be the same or different. When T is an oxyalkylene group, the terminal on the carbon atom side is bonded to R. At least three of R's are polymerizable groups.

n은 0~5가 바람직하고, 1~3이 보다 바람직하다.n is preferably 0 to 5, more preferably 1 to 3.

m은 1~5가 바람직하고, 1~3이 보다 바람직하다.m is preferably from 1 to 5, more preferably from 1 to 3.

R은,R &lt;

[화학식 24]&Lt; EMI ID =

Figure pct00024
Figure pct00024

가 바람직하고,Lt; / RTI &gt;

[화학식 25](25)

Figure pct00025
Figure pct00025

가 보다 바람직하다.Is more preferable.

상기 일반식 (MO-1)~(MO-6)으로 나타나는, 라디칼 중합성 모노머의 구체예로서는, 일본 공개특허공보 2007-269779호의 단락 번호 0248~단락 번호 0251에 기재되어 있는 화합물을 본 발명에 있어서도 적합하게 이용할 수 있다.Specific examples of the radically polymerizable monomer represented by the above general formulas (MO-1) to (MO-6) include compounds described in paragraphs 0248 to 0251 of JP-A No. 2007-269779 And can be suitably used.

그 중에서도, 다관능 모노머 등으로서는, 다이펜타에리트리톨트라이아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-330; 닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제), 다이펜타에리트리톨테트라아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-320; 닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제), 다이펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-310; 닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제), 다이펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD DPHA; 닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제) 및 이들의 (메트)아크릴로일기가 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜 잔기를 개재하고 있는 구조가 바람직하다. 이들의 올리고머 타입도 사용할 수 있다.Among them, dipentaerythritol triacrylate (KAYARAD D-330 manufactured by Nippon Kayaku K.K.) and dipentaerythritol tetraacrylate (KAYARAD D-320 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (Trade name: KAYARAD D-310, manufactured by Nippon Kayaku K.K.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co., Ltd.) and a structure in which these (meth) acryloyl groups interpose ethylene glycol and propylene glycol residues are preferable. These oligomer types can also be used.

예를 들면, RP-1040(닛폰 가야쿠 가부시키가이샤제) 등을 들 수 있다.For example, RP-1040 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.

본 발명에서 이용하는 다관능 모노머는, 특히 바람직하게는, 하기 일반식 (i)로 나타나는 화합물 및 일반식 (ii)로 나타나는 화합물로부터 선택되는 적어도 1종이다.The polyfunctional monomer used in the present invention is particularly preferably at least one selected from the compounds represented by the following general formulas (i) and (ii).

[화학식 26](26)

Figure pct00026
Figure pct00026

일반식 (i) 및 (ii) 중, E는, 각각, -((CH2)yCH2O)-, 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, y는, 각각, 1~10의 정수를 나타내며, X는, 각각, 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 또는 카복실기를 나타낸다.In the general formulas (i) and (ii), E represents - ((CH 2 ) y CH 2 O) - or - ((CH 2 ) y CH (CH 3 ) , Each represents an integer of 1 to 10, and X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group or a carboxyl group, respectively.

일반식 (i) 중, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, m은, 각각, 0~10의 정수를 나타내고, 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이다.In the general formula (i), the sum of the acryloyl group and the methacryloyl group is 3 or 4, m is an integer of 0 to 10, and the sum of m is an integer of 1 to 40 .

일반식 (ii) 중, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, n은, 각각, 0~10의 정수를 나타내고, 각각 n의 합계는 1~60의 정수이다.In the general formula (ii), the sum of the acryloyl group and the methacryloyl group is 5 or 6, and n is an integer of 0 to 10, and the sum of n is an integer of 1 to 60.

상기 식 중, E는, 각각, -((CH2)yCH2O)-, 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, -((CH2)yCH2O)-가 바람직하다.In the formula, E, respectively, - ((CH 2) y CH 2 O) -, or - ((CH 2) y CH (CH 3) O) - represents the, - ((CH 2) y CH 2 O) - is preferred.

y는, 각각, 1~10의 정수를 나타내고, 1~5의 정수가 바람직하며, 1~3이 보다 바람직하다.y each represent an integer of 1 to 10, preferably an integer of 1 to 5, more preferably 1 to 3.

X는, 각각, 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 또는 카복실기를 나타낸다.X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group or a carboxyl group, respectively.

일반식 (i) 중, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, 4개가 바람직하다.In the general formula (i), the total of the acryloyl group and the methacryloyl group is 3 or 4, preferably 4.

m은, 각각, 0~10의 정수를 나타내고, 1~5가 바람직하다. 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이며, 4~20개가 바람직하다.m each represents an integer of 0 to 10, preferably 1 to 5; The sum of each m is an integer of 1 to 40, preferably 4 to 20.

일반식 (ii) 중, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, 6개가 바람직하다.In the general formula (ii), the total of the acryloyl group and the methacryloyl group is 5 or 6, preferably 6.

n은, 각각, 0~10의 정수를 나타내고, 1~5가 바람직하다. 각각 n의 합계는 1~60의 정수이며, 4~30개가 바람직하다.n each represent an integer of 0 to 10, preferably 1 to 5; The sum of n is an integer of 1 to 60, preferably 4 to 30.

다관능 모노머로서는, 카복실기, 설폰산기, 인산기 등의 산기를 갖고 있어도 된다. 따라서, 에틸렌성 화합물이, 상기와 같이 혼합물인 경우와 같이 미반응의 카복실기를 갖는 것이면, 이를 그대로 이용할 수 있지만, 필요에 따라, 상술한 에틸렌성 화합물의 하이드록실기에 비방향족 카복실산 무수물을 반응시켜 산기를 도입해도 된다. 이 경우, 사용되는 비방향족 카복실산 무수물의 구체예로서는, 무수 테트라하이드로프탈산, 알킬화 무수 테트라하이드로프탈산, 무수 헥사하이드로프탈산, 알킬화 무수 헥사하이드로프탈산, 무수 석신산, 무수 말레산을 들 수 있다.The multifunctional monomer may have an acid group such as a carboxyl group, a sulfonic acid group, or a phosphoric acid group. Thus, if the ethylenic compound has an unreacted carboxyl group as in the case of the mixture as described above, it can be used as it is. If necessary, the nonylic carboxylic acid anhydride is reacted with the hydroxyl group of the ethylenic compound described above An acid group may be introduced. In this case, specific examples of the non-aromatic carboxylic acid anhydrides to be used include anhydrous tetrahydrophthalic acid, alkylated anhydrous tetrahydrophthalic acid, anhydrous hexahydrophthalic acid, alkylated anhydrous hexahydrophthalic acid, succinic anhydride, and maleic anhydride.

본 발명에 있어서, 산기를 갖는 모노머로서는, 지방족 폴리하이드록시 화합물과 불포화 카복실산과의 에스터이며, 지방족 폴리하이드록시 화합물의 미반응의 하이드록실기에 비방향족 카복실산 무수물을 반응시켜 산기를 갖게 한 다관능 모노머가 바람직하고, 특히 바람직하게는, 이 에스터에 있어서, 지방족 폴리하이드록시 화합물이 펜타에리트리톨 및/또는 다이펜타에리트리톨인 것이다. 시판품으로서는, 예를 들면 도아 고세이 가부시키가이샤제의 다염기산 변성 아크릴 올리고머로서, 아로닉스 시리즈의 M-305, M-510, M-520 등을 들 수 있다.In the present invention, the monomer having an acid group is an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid, which is obtained by reacting an unreacted hydroxyl group of an aliphatic polyhydroxy compound with a nonaromatic carboxylic acid anhydride to give an acid group, Monomers are preferred, and particularly preferred in this ester is aliphatic polyhydroxy compound pentaerythritol and / or dipentaerythritol. Commercially available products include, for example, M-305, M-510, and M-520 of Aronix series as a polybasic acid-modified acrylic oligomer made by Toagosei Co.,

산기를 갖는 다관능 모노머의 바람직한 산가로서는, 0.1~40mgKOH/g이며, 특히 바람직하게는 5~30mgKOH/g이다.The preferable acid value of the polyfunctional monomer having an acid group is 0.1 to 40 mg KOH / g, particularly preferably 5 to 30 mg KOH / g.

이들 다관능 모노머에 대하여, 그 구조, 단독 사용인지 병용인지, 첨가량 등의 사용 방법의 상세는 조성물의 최종적인 성능 설계에 맞추어 임의로 설정할 수 있다. 본 발명에서는, 다른 관능수 및/또는 다른 중합성기(예를 들면 아크릴산 에스터, 메타크릴산 에스터, 스타이렌계 화합물, 바이닐에터계 화합물)의 것을 병용 함으로써, 감도와 강도 양쪽 모두를 조절하는 방법도 유효하다. 또한, 3관능 이상 8관능 이하로 에틸렌옥사이드 쇄상의 다른 다관능 모노머를 병용하는 것이, 조성물의 현상성을 조절할 수 있어, 우수한 패턴 형성능이 얻어진다는 점에서 바람직하다. 또, 조성물에 함유되는 다른 성분(예를 들면, 중합 개시제, 착색제(안료), 수지 등)과의 상용성, 분산성에 대해서도, 다관능 모노머의 선택·사용법은 중요한 요인이며, 예를 들면 저순도 화합물의 사용이나 2종 이상의 병용에 의하여 상용성을 향상시킬 수 있는 경우가 있다. 또, 기판 등의 경질 표면과의 밀착성을 향상시키는 관점에서 특정의 구조를 선택하는 경우도 있을 수 있다.For these polyfunctional monomers, the details of the structure, the single use, the combination use, the amount of addition, and the like can be arbitrarily set in accordance with the final performance design of the composition. In the present invention, a method of controlling both sensitivity and strength by using other functional water and / or other polymerizable groups (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, styrene compound, vinyl ether compound) Do. Further, it is preferable to use other multifunctional monomers having three or more functional groups and less than eight functional groups on the chain of ethylene oxide from the viewpoint that the developability of the composition can be controlled and excellent pattern forming ability can be obtained. The compatibility and dispersibility with other components (for example, a polymerization initiator, a coloring agent (pigment), a resin, etc.) contained in the composition is also an important factor for selecting and using the polyfunctional monomer. For example, The compatibility may be improved by the use of the compound or by the combined use of two or more compounds. In addition, a specific structure may be selected from the viewpoint of improving adhesion with a hard surface such as a substrate.

중합성 화합물(특히, 다관능 모노머)의 농도(배합율)는, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 조성물 중의 전체 고형분 중 15질량% 이상인 것이 바람직하고, 20질량% 이상인 것이 바람직하며, 25질량% 이상인 것이 더 바람직하다. 상한에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 50질량% 이하인 것이 바람직하고, 40질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.The concentration (mixing ratio) of the polymerizable compound (in particular, the multifunctional monomer) is preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and more preferably 25% by mass or more based on the total solid content in the composition, % Or more. The upper limit is not particularly limited, but is preferably 50 mass% or less, and more preferably 40 mass% or less.

(그 외 임의 성분)(Other optional components)

상기 조성물에는, (A) 안료, (B) 중합 개시제 및 (C) 중합성 화합물 이외의 성분이 포함되어 있어도 된다. 예를 들면, 알칼리 가용성 수지, 중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머, 분산제, 용제, 계면활성제, 중합 금지제, 밀착 향상제, 자외선 흡수제 등을 들 수 있다.The composition may contain components other than the pigment (A), the polymerization initiator (B), and the polymerizable compound (C). Examples thereof include an alkali-soluble resin, an acrylic polymer having a polymerizable group, a dispersant, a solvent, a surfactant, a polymerization inhibitor, an adhesion improver, and an ultraviolet absorber.

이하, 임의 성분에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the optional components will be described in detail.

(알칼리 가용성 수지)(Alkali-soluble resin)

알칼리 가용성 수지로서는, 선상 유기 고분자 중합체로서, 분자(바람직하게는, 아크릴계 공중합체, 스타이렌계 공중합체를 주쇄로 하는 분자) 중에 적어도 하나의 알칼리 가용성을 촉진하는 기를 갖는 알칼리 가용성 수지 중에서 적절히 선택할 수 있다. 내열성의 관점에서는, 폴리하이드록시 스타이렌계 수지, 폴리실록세인계 수지, 아크릴계 수지, 아크릴아마이드계 수지, 아크릴/아크릴아마이드 공중합체 수지가 바람직하고, 현상성 제어의 관점에서는, 아크릴계 수지, 아크릴아마이드계 수지, 아크릴/아크릴아마이드 공중합체 수지가 바람직하다.As the alkali-soluble resin, a linear organic polymer can be appropriately selected from an alkali-soluble resin having at least one group capable of promoting alkali solubility in a molecule (preferably an acrylic copolymer, a styrene-based copolymer as a main chain) . From the viewpoint of heat resistance, a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, an acrylic resin, an acrylamide resin and an acryl / acrylamide copolymer resin are preferable. From the viewpoint of development control, an acrylic resin, an acrylamide resin , An acrylic / acrylamide copolymer resin is preferable.

알칼리 가용성을 촉진하는 기(이하, 산기라고도 함)로서는, 예를 들면 카복실기, 인산기, 설폰산기, 페놀성 수산기 등을 들 수 있지만, 용제에 가용이고 약알칼리 수용액에 의하여 현상 가능한 것이 바람직하고, (메트)아크릴산을 특히 바람직한 것으로서 들 수 있다. 이들 산기는, 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다.Examples of the group capable of promoting alkali solubility (hereinafter also referred to as an acid group) include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, a phenolic hydroxyl group and the like, but they are preferably soluble in a solvent and developable by a weakly alkaline aqueous solution, (Meth) acrylic acid is particularly preferable. These acid groups may be only one kind, or two or more kinds.

중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머로서는, 예를 들면 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트 등의 수산기를 갖는 모노머, 글라이시딜(메트)아크릴레이트 등의 에폭시기를 갖는 모노머, 2-아이소사이아네이트에틸(메트)아크릴레이트 등의 아이소사이아네이트기를 갖는 모노머 등을 들 수 있다. 이들 산기를 도입하기 위한 단량체는, 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다. 알칼리 가용성 수지에 산기를 도입하려면, 예를 들면 산기를 갖는 모노머 및/또는 중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머(이하 "산기를 도입하기 위한 단량체"라고 칭하는 경우도 있음)를, 단량체 성분으로 하여 중합하도록 하면 된다.Examples of the monomer capable of giving an acid group after polymerization include monomers having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, And an isocyanate group-containing monomer such as an ethyl (meth) acrylate. The monomers for introducing these acid groups may be one kind or two or more kinds. In order to introduce an acid group into the alkali-soluble resin, for example, a monomer having an acid group and / or a monomer capable of giving an acid group after polymerization (hereinafter sometimes referred to as " monomer for introducing an acid group ") is used as a monomer component The polymerization may be carried out.

또한, 중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머를 단량체 성분으로 하여 산기를 도입하는 경우에는, 중합 후에 예를 들면 산기를 부여하기 위한 처리가 필요하다.When an acid group is introduced as a monomer component capable of imparting an acid group after polymerization, a treatment for giving an acid group, for example, is required after polymerization.

알칼리 가용성 수지의 제조에는, 예를 들면 공지의 라디칼 중합법에 의한 방법을 적용할 수 있다. 라디칼 중합법으로 알칼리 가용성 수지를 제조할 때의 온도, 압력, 라디칼 개시제의 종류 및 그 양, 용제의 종류 등의 중합 조건은, 당업자에게 있어서 용이하게 설정 가능하고, 실험적으로 조건을 정하도록 할 수도 있다.For the production of the alkali-soluble resin, for example, a known radical polymerization method can be applied. Polymerization conditions such as the temperature, pressure, kind and amount of the radical initiator and the type of the solvent when the alkali-soluble resin is produced by the radical polymerization method can be easily set by those skilled in the art, have.

알칼리 가용성 수지로서 이용되는 선상 유기 고분자 중합체로서는, 측쇄에 카복실산을 갖는 폴리머가 바람직하고, 메타크릴산 공중합체, 아크릴산 공중합체, 이타콘산 공중합체, 크로톤산 공중합체, 말레산 공중합체, 부분 에스터화 말레산 공중합체, 노볼락형 수지 등의 알칼리 가용성 페놀 수지 등, 및 측쇄에 카복실산을 갖는 산성 셀룰로스 유도체, 수산기를 갖는 폴리머에 산무수물을 부가시킨 것 들 수 있다. 특히, (메트)아크릴산과, 이와 공중합 가능한 다른 단량체와의 공중합체가, 알칼리 가용성 수지로서 적합하다. (메트)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체로서는, 알킬(메트)아크릴레이트, 아릴(메트)아크릴레이트, 바이닐 화합물 등을 들 수 있다. 알킬(메트)아크릴레이트 및 아릴(메트)아크릴레이트로서는, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, n-뷰틸(메트)아크릴레이트, 아이소뷰틸(메트)아크릴레이트, (아이소)펜틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트, 헥실(메트)아크릴레이트, 옥틸(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 톨릴(메트)아크릴레이트, 나프틸(메트)아크릴레이트, 사이클로헥실(메트)아크릴레이트 등, 바이닐 화합물로서는, 스타이렌, α-메틸스타이렌, 바이닐톨루엔, 글라이시딜메타크릴레이트, 아크릴로나이트릴, 바이닐아세테이트, N-바이닐피롤리돈, 테트라하이드로퓨퓨릴메타크릴레이트, 폴리스타이렌 매크로모노머, 폴리메틸메타크릴레이트 매크로모노머 등, 일본 공개특허공보 평10-300922호에 기재된 N위 치환 말레이미드 모노머로서, N-페닐말레이미드, N-사이클로헥실말레이미드 등을 들 수 있다.As the linear organic polymer used as an alkali-soluble resin, a polymer having a carboxylic acid in its side chain is preferable, and a methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, Maleic acid copolymer, novolac-type resin and the like, acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain, and acid anhydrides added to the polymer having a hydroxyl group. Particularly, a copolymer of (meth) acrylic acid and other monomers copolymerizable therewith is suitable as an alkali-soluble resin. Examples of other monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid include alkyl (meth) acrylate, aryl (meth) acrylate, and vinyl compounds. Examples of the alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, hexyl (meth) (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, etc. Examples of the vinyl compound include styrene, Vinyl toluene, glycidyl methacrylate, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, tetrahydrofurfuryl methacrylate, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate As above, N-substituted maleimide monomers such as the monomer described in Black, Japanese Laid-Open Patent Publication No. Hei 10-300922, and the like can be mentioned N- phenyl maleimide, N- cyclohexyl maleimide.

(메트)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체로서는, 예를 들면 하기 식 (X)로 나타나는 반복 단위를 부여하는 단량체인 것도 바람직하다.As the other monomer copolymerizable with (meth) acrylic acid, for example, it is also preferable to be a monomer which gives a repeating unit represented by the following formula (X).

[화학식 27](27)

Figure pct00027
Figure pct00027

상기 식 (X) 중, R1X는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R2X는 탄소수 2 또는 3의 알킬렌기를 나타내며, R3X는 수소 원자 또는 탄소수 1~20의 알킬기를 나타내고, n은 1~15의 정수를 나타낸다. 상기 식 (X)로 나타나는 반복 단위는, 측쇄에 존재하는 벤젠환의 π전자의 효과에 의하여 착색제(특히, 안료) 표면으로의 흡착 및/또는 배향성이 양호해진다. 특히, 이 측쇄 부분이, 파라큐밀페놀의 에틸렌옥사이드 또는 프로필렌옥사이드 구조를 취하는 경우에는, 그 입체적인 효과도 더해져, 착색제(특히, 안료)에 대해서 보다 양호한 흡착 및/또는 배향면을 형성할 수 있기 때문에, 보다 효과가 높고 바람직하다. 또, R3X는 수소 원자 또는 탄소수 1~20의 알킬기를 나타내지만, 탄소수 1~20의 알킬기인 것이 바람직하다. 또, R3X가 알킬기인 경우에는, 그 중에서도, 탄소수가 1~10인 알킬기가 바람직하다. 이것은, R3X가 탄소수 1~10의 알킬기인 경우, 이 알킬기가 장애가 되어 수지끼리의 접근을 억제하여 착색제(특히, 안료)로의 흡착 및/또는 배향을 촉진하지만, 탄소수가 10을 넘으면 알킬기의 입체 장애 효과가 높아져 벤젠환의 착색제(특히, 안료) 표면으로의 흡착 및/또는 배향까지도 방해하게 되는 경우가 있기 때문이다. 이 현상은, R3X의 알킬기의 쇄장이 길어짐에 따라 현저해져, 탄소수가 20을 넘으면 벤젠환의 흡착 및/또는 배향이 극단적으로 저하된다. 이로 인하여, R3X로 나타나는 알킬기는, 탄소수가 1~20의 범위가 된다. 또한, R3X로 나타나는 알킬기로서는, 무치환의 알킬기, 또는 페닐기로 치환된 알킬기가 바람직하다.Wherein R 1X represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2X represents an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, R 3X represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and n represents an integer of 1 to 15 Lt; / RTI &gt; The repeating unit represented by the formula (X) has good adsorption and / or orientation to the surface of the colorant (particularly, pigment) due to the effect of the pi electrons of the benzene ring present in the side chain. Particularly, when the side chain moiety has the ethylene oxide or propylene oxide structure of para-cumylphenol, the stereosubstance is also added, so that a better adsorption and / or orientation plane can be formed with respect to the colorant (in particular, the pigment) , It is more effective and preferable. R 3X represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, but is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. When R 3X is an alkyl group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is particularly preferable. When R 3X is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, the alkyl group is impaired to inhibit the approach of resins to each other to promote adsorption and / or orientation to a colorant (in particular, a pigment). When the number of carbon atoms exceeds 10, And the adsorption and / or orientation to the surface of the benzene ring coloring agent (particularly, pigment) may be disturbed. This phenomenon becomes remarkable as the chain length of the alkyl group of R 3X becomes longer. When the number of carbon atoms exceeds 20, the adsorption and / or orientation of the benzene ring is extremely lowered. As a result, the alkyl group represented by R 3X has a carbon number of 1 to 20. As the alkyl group represented by R 3X , an unsubstituted alkyl group or an alkyl group substituted with a phenyl group is preferable.

또, 식 (X)에 있어서의 R2X는, 현상성의 관점에서, 탄소수 2의 알킬렌기인 것이 바람직하다.In addition, R 2X in the formula (X) is preferably an alkylene group having 2 carbon atoms from the viewpoint of developability.

또한, 식 (X)에 있어서의 n은, 현상성의 관점에서, 1~12의 범위가 바람직하다.Further, n in the formula (X) is preferably in the range of 1 to 12 from the viewpoint of developability.

본 발명에 있어서의 식 (X)로 나타나는 반복 단위는, 하기 식 (Y)로 나타나는 에틸렌성 불포화 단량체를 이용하여, 알칼리 가용성 수지 중에 도입된다.The repeating unit represented by the formula (X) in the present invention is introduced into the alkali-soluble resin using an ethylenically unsaturated monomer represented by the following formula (Y).

[화학식 28](28)

Figure pct00028
Figure pct00028

상기 식 (Y) 중, R1X, R2X, R3X 및 n은, 상기 식 (X)에 있어서의 R1X, R2X, R3X 및 n과 동의이며, 바람직한 예도 동일하다.The formula (Y), and of, R 1X, R 2X, R 3X and n, R 1X, R 2X, and R 3X n and copper in the formula (X), preferred examples are the same.

식 (Y)로 나타나는 에틸렌성 불포화 단량체로서는, 페놀에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트, 파라큐밀페놀에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트, 노닐페놀에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트, 노닐페놀프로필렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the ethylenic unsaturated monomer represented by the formula (Y) include phenol ethylene oxide modified (meth) acrylate, para-cumylphenol ethylene oxide modified (meth) acrylate, nonylphenol ethylene oxide modified (meth) acrylate, nonylphenol propylene oxide modified (Meth) acrylate, and the like.

또한, 이들 (메트)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체는 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다.In addition, these monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid may be either one type alone or two or more types.

알칼리 가용성 수지로서는, 하기 일반식 (ED)로 나타나는 화합물을 필수로 하는 단량체 성분을 중합하여 이루어지는 수지도 바람직하다.As the alkali-soluble resin, a resin obtained by polymerizing a monomer component essentially comprising a compound represented by the following formula (ED) is also preferable.

[화학식 29][Chemical Formula 29]

Figure pct00029
Figure pct00029

식 (ED) 중, R1 및 R2는, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 치환기를 갖고 있어도 되는 탄소수 1~25의 탄화수소기를 나타낸다.In the formula (ED), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group of 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent.

식 (ED)로 나타나는 화합물(이하 "에터다이머"라고 칭하는 경우도 있음)을 필수로 하는 단량체 성분을 중합하여 이루어지는 수지를 사용함으로써, 내열성과 함께 투명성도 매우 우수한 경화 도막을 형성할 수 있다.It is possible to form a cured coating film having excellent heat resistance as well as transparency by using a resin obtained by polymerizing a monomer component containing a compound represented by formula (ED) (hereinafter sometimes referred to as "ether dimer ").

에터다이머를 나타내는 일반식 (ED) 중, R1 및 R2로 나타나는 치환기를 갖고 있어도 되는 탄소수 1~25의 탄화수소기로서는, 특별히 제한은 없지만, 예를 들면 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 아이소프로필기, n-뷰틸기, 아이소뷰틸기, t-뷰틸기, t-아밀기, 스테아릴기, 라우릴기, 2-에틸헥실기 등의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기; 페닐 등의 아릴기; 사이클로헥실기, t-뷰틸기, 사이클로헥실기, 다이사이클로펜타다이엔일기, 트라이사이클로데칸일기, 아이소보닐기, 아다만틸기, 2-메틸-2-아다만틸기 등의 지환식기; 1-메톡시에틸기, 1-에톡시에틸기 등의 알콕시로 치환된 알킬기; 벤질 등의 아릴기로 치환된 알킬기; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 특히, 메틸기, 에틸기, 사이클로헥실기, 벤질기 등과 같은 산이나 열로 탈리하기 어려운 1급 또는 2급 탄소의 치환기가 내열성의 점에서 바람직하다.In the general formula (ED) representing the ether dimer, the hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent represented by R 1 and R 2 is not particularly limited and includes, for example, methyl, ethyl, A linear or branched alkyl group such as methyl, ethyl, propyl, n-butyl, isobutyl, t-butyl, t-amyl, stearyl, lauryl or 2-ethylhexyl; An aryl group such as phenyl; An alicyclic group such as a cyclohexyl group, a t-butyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentadienyl group, a tricyclodecanyl group, an isobornyl group, an adamantyl group and a 2-methyl-2-adamantyl group; An alkyl group substituted by an alkoxy such as a 1-methoxyethyl group or a 1-ethoxyethyl group; An alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl; And the like. Among these, an acid such as a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a benzyl group and the like, or a substituent of a primary or secondary carbon which is difficult to be removed by heat, is preferable from the viewpoint of heat resistance.

에터다이머의 구체예로서는, 일본 공개특허공보 2012-208494호의 공보 단락 0565(대응하는 미국 특허출원 공개공보 제2012/235099호의 [0694])의 에터다이머의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.As concrete examples of the ether dimer, the description of the ether dimmer of Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2012-208494, Publication No. 0565 (corresponding to United States Patent Application Publication No. 2012/235099 [0694]), .

이들 중에서도 특히, 다이메틸-2,2’-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 다이에틸-2,2’-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 다이사이클로헥실-2,2’-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 다이벤질-2,2’-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트가 바람직하다. 이들 에터다이머는, 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다. 일반식 (ED)로 나타나는 화합물 유래의 구조체는, 그 외의 단량체를 공중합시켜도 된다.Among these, dimethyl-2,2'- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diethyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis- Propylene glycol dicyclohexyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate and dibenzyl-2,2' - [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate. These ether dimers may be either one kind or two or more kinds. The structure derived from the compound represented by the formula (ED) may be copolymerized with another monomer.

알칼리 가용성 수지로서는, 특히 벤질(메트)아크릴레이트/(메트)아크릴산 공중합체나 벤질(메트)아크릴레이트/(메트)아크릴산/2-하이드록시에틸메타크릴레이트로 이루어지는 다원 공중합체가 적합하다. 이 경우의 다른 모노머로서는, 일본 공개특허공보 평7-140654호에 기재된, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트/폴리스타이렌 매크로모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 매크로모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-하이드록시에틸메타크릴레이트/폴리스타이렌 매크로모노머/메틸메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-하이드록시에틸메타크릴레이트/폴리스타이렌 매크로모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체 등을 들 수 있다.As the alkali-soluble resin, a multi-component copolymer comprising benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer and benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate is particularly suitable. Examples of other monomers in this case include 2-hydroxypropyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxy- 3-phenoxypropyl acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene macromonomer / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer , 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, and the like.

알칼리 가용성 수지의 산가로서는 바람직하게는 30~200mgKOH/g, 보다 바람직하게는 50~150mgKOH/g, 더 바람직하게는 70~120mgKOH/g이다. 이러한 범위로 함으로써, 미노광부의 현상 잔사를 효과적으로 저감시킬 수 있다.The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 30 to 200 mgKOH / g, more preferably 50 to 150 mgKOH / g, and even more preferably 70 to 120 mgKOH / g. Such a range makes it possible to effectively reduce the development residue of the unexposed portion.

또, 알칼리 가용성 수지의 중량 평균 분자량(Mw)으로서는, 2,000~50,000이 바람직하고, 5,000~30,000이 더 바람직하며, 7,000~20,000이 특히 바람직하다.The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin is preferably 2,000 to 50,000, more preferably 5,000 to 30,000, and particularly preferably 7,000 to 20,000.

알칼리 가용성 수지의 본 발명의 조성물 중에 있어서의 함유량으로서는, 조성물의 전체 고형분에 대하여, 10~50질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 15~40질량%이며, 특히 바람직하게는 20~35질량%이다.The content of the alkali-soluble resin in the composition of the present invention is preferably from 10 to 50 mass%, more preferably from 15 to 40 mass%, and particularly preferably from 20 to 35 mass%, based on the total solid content of the composition. to be.

<용제><Solvent>

본 발명의 조성물은, 일반적으로는, 용제를 이용하여 구성할 수 있다. 용제는, 각 성분의 용해성이나 조성물의 도포성을 만족하면 기본적으로는 특별히 제한은 없다.The composition of the present invention can be generally constituted by using a solvent. The solvent is not particularly limited if it satisfies the solubility of each component and the coating property of the composition.

용제로서는, 에스터류로서, 예를 들면, 아세트산 에틸, 아세트산-n-뷰틸, 아세트산 아이소뷰틸, 폼산 아밀, 아세트산 아이소아밀, 아세트산 아이소뷰틸, 프로피온산 뷰틸, 뷰티르산 아이소프로필, 뷰티르산 에틸, 뷰티르산 뷰틸, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 옥시아세트산 알킬(예: 옥시아세트산 메틸, 옥시아세트산 에틸, 옥시아세트산 뷰틸(예를 들면, 메톡시아세트산 메틸, 메톡시아세트산 에틸, 메톡시아세트산 뷰틸, 에톡시아세트산 메틸, 에톡시아세트산 에틸 등)), 3-옥시프로피온산 알킬에스터류(예: 3-옥시프로피온산 메틸, 3-옥시프로피온산 에틸 등(예를 들면, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸 등)), 2-옥시프로피온산 알킬에스터류(예: 2-옥시프로피온산 메틸, 2-옥시프로피온산 에틸, 2-옥시프로피온산 프로필 등(예를 들면, 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸)), 2-옥시-2-메틸프로피온산 메틸 및 2-옥시-2-메틸프로피온산 에틸(예를 들면, 2-메톡시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산 에틸 등), 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-옥소뷰탄산 메틸, 2-옥소뷰탄산 에틸 등 및 에터류로서, 예를 들면, 다이에틸렌글라이콜다이메틸에터, 테트라하이드로퓨란, 에틸렌글라이콜모노메틸에터, 에틸렌글라이콜모노에틸에터, 에틸렌글라이콜모노뷰틸에터아세테이트, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 다이에틸렌글라이콜모노메틸에터, 다이에틸렌글라이콜모노에틸에터, 다이에틸렌글라이콜모노뷰틸에터, 프로필렌글라이콜모노메틸에터, 프로필렌글라이콜모노메틸에터아세테이트, 프로필렌글라이콜모노에틸에터아세테이트, 프로필렌글라이콜모노프로필에터아세테이트 등, 및 케톤류로서, 예를 들면, 메틸에틸케톤, 사이클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등 및 방향족 탄화수소류로서, 예를 들면, 자일렌 등을 적합하게 들 수 있다.Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, , Methyl lactate, ethyl lactate, alkyloxyacetate (such as methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate (e.g., methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, Ethoxyacetic acid ethyl, etc.), 3-oxypropionic acid alkyl esters (e.g., methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate (e.g., methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, Ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate), 2-oxypropionic acid alkyl esters (e.g., methyl 2-oxypropionate, 2-oxypropionate Methyl propionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate) Methyl 2-methylpropionate and ethyl 2-oxy-2-methylpropionate (for example, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy- , Ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate and the like, and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran Ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol mono Propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propyl ether acetate and the like, and ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone and aromatic hydrocarbons such as xylene have.

이들 용제는, 알칼리 가용성 수지의 용해성, 도포면상의 개량 등의 관점에서, 2종 이상을 혼합하는 것도 바람직하다. 이 경우, 특히 바람직하게는, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에틸셀로솔브아세테이트, 락트산 에틸, 다이에틸렌글라이콜다이메틸에터, 아세트산 뷰틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 2-헵탄온, 사이클로헥산온, 에틸카비톨아세테이트, 뷰틸카비톨아세테이트, 에틸렌글라이콜모노뷰틸에터아세테이트, 프로필렌글라이콜메틸에터 및 프로필렌글라이콜메틸에터아세테이트로부터 선택되는 2종 이상으로 구성되는 혼합 용액이다.From the viewpoints of the solubility of the alkali-soluble resin, the improvement on the coated surface, etc., it is also preferable to mix two or more of these solvents. In this case, particularly preferable examples include methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethylcellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate , 2-heptanone, cyclohexanone, ethylcarbitol acetate, butylcarbitol acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol methyl ether and propylene glycol methyl ether acetate. It is a mixed solution composed of more than species.

용제의 조성물 중에 있어서의 함유량은, 도포성의 관점에서, 조성물의 전체 고형분 농도가 5~80질량%가 되는 양으로 하는 것이 바람직하고, 5~60질량%가 더 바람직하고, 10~50질량%가 특히 바람직하다.The content of the solvent in the composition is preferably 5 to 80% by mass, more preferably 5 to 60% by mass, and more preferably 10 to 50% by mass, in terms of the total solids concentration of the composition, Particularly preferred.

<계면활성제><Surfactant>

본 발명의 조성물에는, 도포성을 보다 향상시키는 관점에서, 각종 계면활성제를 첨가해도 된다. 계면활성제로서는, 불소계 계면활성제, 비이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 음이온계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 등의 각종 계면활성제를 사용할 수 있다.Various surfactants may be added to the composition of the present invention from the viewpoint of further improving the applicability. As the surfactant, various surfactants such as a fluorine surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and a silicone surfactant can be used.

특히, 본 발명의 조성물은, 불소계 계면활성제를 함유함으로써, 도포액으로서 조제했을 때의 액 특성(특히, 유동성)이 보다 향상되는 점에서, 도포 두께의 균일성이나 성액성(省液性)을 보다 개선할 수 있다.Particularly, since the composition of the present invention contains a fluorine-containing surfactant, the uniformity of liquid coating thickness and the liquid-repellency (liquid-repellency) can be improved by improving the liquid property Can be improved.

즉, 불소계 계면활성제를 함유하는 조성물을 적용한 도포액을 이용하여 막형성하는 경우에 있어서는, 피도포면과 도포액과의 계면 장력을 저하시킴으로써, 피도포면으로의 습윤성이 개선되어 피도포면으로의 도포성이 향상된다. 이로 인하여, 소량의 액량으로 수μm 정도의 박막을 형성한 경우이더라도, 두께 편차가 작은 균일한 두께의 막형성을 보다 적합하게 행할 수 있는 점에서 유효하다.That is, in the case of forming a film using a coating liquid to which a composition containing a fluorine-containing surfactant is applied, wettability to the surface to be coated is improved by lowering the interfacial tension between the surface to be coated and the coating liquid, . Therefore, even when a thin film of about several micrometers is formed in a small amount of liquid, it is effective in that it is possible to more suitably form a film having a uniform thickness with a small thickness deviation.

불소계 계면활성제 중의 불소 함유율은, 3질량%~40질량%가 적합하고, 보다 바람직하게는 5질량%~30질량%이며, 특히 바람직하게는 7질량%~25질량%이다. 불소 함유율이 이 범위 내인 불소계 계면활성제는, 도포막의 두께의 균일성이나 성액성의 점에서 효과적이며, 조성물 중에 있어서의 용해성도 양호하다.The fluorine content in the fluorine surfactant is preferably 3% by mass to 40% by mass, more preferably 5% by mass to 30% by mass, and particularly preferably 7% by mass to 25% by mass. The fluorine-containing surfactant having a fluorine content within this range is effective from the viewpoint of the uniformity of the thickness of the coating film and the lyophobic property, and the solubility in the composition is also good.

불소계 계면활성제로서는, 예를 들면 메가팍 F171, 동 F172, 동 F173, 동 F176, 동 F177, 동 F141, 동 F142, 동 F143, 동 F144, 동 R30, 동 F437, 동 F475, 동 F479, 동 F482, 동 F554, 동 F780, 동 F781(이상, DIC(주)제), 플루오라드 FC430, 동 FC431, 동 FC171(이상, 스미토모 3M(주)제), 서프론 S-382, 동 SC-101, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC1068, 동 SC-381, 동 SC-383, 동 S393, 동 KH-40(이상, 아사히 가라스(주)제), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002(OMNOVA사제) 등을 들 수 있다.Examples of the fluorine-based surfactant include Megapak F171, Dong F172, Dong F173, Dong F176, Dong F177, Dong F141, Dong F142, Dong F143, Dong F144, Dong R30, Dong F437, Dong F475, Dong F479, Dong F482 (Manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Surflon S-382, SC-101, and SC-101 (manufactured by Sumitomo 3M Limited), F554, F780, and F781 (manufactured by DIC Corporation), Fluorad FC430, (Manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), SC-103, SC-104, SC-105, SC1068, SC-381, SC- , PF6320, PF6520, PF7002 (manufactured by OMNOVA), and the like.

비이온계 계면활성제로서 구체적으로는, 글리세롤, 트라이메틸올프로페인, 트라이메틸올에테인 및 그들의 에톡실레이트 및 프로폭실레이트(예를 들면, 글리세롤프로폭실레이트, 글리세린에톡실레이트 등), 폴리옥시에틸렌라우릴에터, 폴리옥시에틸렌스테아릴에터, 폴리옥시에틸렌올레일에터, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에터, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에터, 폴리에틸렌글라이콜다이라우레이트, 폴리에틸렌글라이콜다이스테아레이트, 소비탄 지방산 에스터(BASF사제의 플루로닉 L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2, 테트로닉 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, 파이오닌 D-6112-W(다케모토 유시(주)제), 솔스퍼스 20000(니혼 루브리졸(주)제)) 등을 들 수 있다.Specific examples of the nonionic surfactant include glycerol, trimethylol propane, trimethylol ethane and their ethoxylates and propoxylates (for example, glycerol propoxylate, glycerine ethoxylate and the like), polyoxyethylene Polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol diallylate, polyethylene glycol Diestearate and consumptive fatty acid ester (pluronic L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2, Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, Pionin D- (Manufactured by Takemoto Yushi Co., Ltd.) and Solspers 20000 (manufactured by Nihon Lubrizol Corporation)).

양이온계 계면활성제로서 구체적으로는, 프탈로사이아닌 유도체(상품명: EFKA-745, 모리시타 산교(주)제), 오가노실록세인 폴리머 KP341(신에쓰 가가쿠 고교(주)제), (메트)아크릴산계 (공)중합체 폴리플로 No.75, No.90, No.95(교에이샤 가가쿠(주)제), W001(유쇼(주)제) 등을 들 수 있다.Specific examples of the cationic surfactant include phthalocyanine derivatives (trade name: EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Acrylic acid type (co) polymer Polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.).

음이온계 계면활성제로서 구체적으로는, W004, W005, W017(유쇼(주)사제) 등을 들 수 있다.Specific examples of the anionic surfactant include W004, W005 and W017 (manufactured by YUHO Co., Ltd.).

실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 도레이·다우코닝(주) 제 "도레이실리콘 DC3PA", "도레이실리콘 SH7PA", "도레이실리콘 DC11PA", "도레이실리콘 SH21PA", "도레이실리콘 SH28PA", "도레이실리콘 SH29PA", "도레이실리콘 SH30PA", "도레이실리콘 SH8400", 모멘티브·퍼포먼스·머티리얼즈사제 "TSF-4440", "TSF-4300", "TSF-4445", "TSF-4460", "TSF-4452", 신에쓰 실리콘 가부시키가이샤제 "KP341", "KF6001", "KF6002", 빅케미사제 "BYK307", "BYK323", "BYK330" 등을 들 수 있다.Examples of silicon based surfactants include fluororesins such as "TORAY Silicon DC3PA", "TORAY Silicone SH7PA", "TORAY Silicon DC11PA", "TORAY Silicone SH21PA", "TORAY Silicone SH28PA", "DORAY Silicone SH29PA TSF-4440 "," TSF-4445 "," TSF-4460 "," TSF-4452 "," Tory Silicone SH8400 "and" TSF-4440 "manufactured by Momentive Performance Materials "KF341", "KF6001", and "KF6002" manufactured by Shin-Etsu Silicones Co., Ltd., "BYK307", "BYK323", and "BYK330" manufactured by Big Chemie.

계면활성제는, 1종만을 이용해도 되고, 2종류 이상을 조합해도 된다.Only one surfactant may be used, or two or more surfactants may be combined.

계면활성제의 첨가량은 배합하는 경우, 조성물의 전체 질량에 대하여, 0.001질량%~2.0질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.005질량%~1.0질량%이다.The amount of the surfactant to be added is preferably from 0.001 mass% to 2.0 mass%, more preferably from 0.005 mass% to 1.0 mass%, based on the total mass of the composition.

<중합 금지제><Polymerization inhibitor>

본 발명의 조성물에 있어서는, 그 조성물의 제조 중 또는 보존 중에 있어서, 다관능 모노머의 불필요한 열중합을 저지하기 위하여, 소량의 중합 금지제를 첨가하는 것이 바람직하다.In the composition of the present invention, it is preferable to add a small amount of a polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the polyfunctional monomer during or during the preparation of the composition.

본 발명에 이용할 수 있는 중합 금지제로서는, 하이드로퀴논, p-메톡시페놀, o-메톡시페놀, 다이-t-뷰틸-p-크레졸, 피로갈롤, t-뷰틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4’-싸이오비스(3-메틸-6-t-뷰틸페놀), 2,2’-메틸렌비스(4-메틸-6-t-뷰틸페놀), N-나이트로소페닐하이드록시아민 제1 세륨염 등을 들 수 있다.Examples of the polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, o-methoxyphenol, di-tert-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl- Salts and the like.

또한, 조성물은, 증감 색소나 개시제의 활성 방사선에 대한 감도를 더 향상시키거나, 혹은 산소에 의한 다관능 모노머의 중합 저해를 억제하는 등의 목적으로 공증감제를 함유해도 된다. 또, 경화 피막의 물성을 개량하기 위하여, 희석제, 가소제, 감지화제(感脂化劑) 등의 공지의 첨가제를 필요에 따라 첨가해도 된다.Further, the composition may contain a notarization sensitizer for the purpose of further improving the sensitivity to the active radiation of the sensitizing dye or the initiator, or inhibiting the polymerization inhibition of the polyfunctional monomer by oxygen. In order to improve the physical properties of the cured coating, known additives such as a diluting agent, a plasticizer, and a sensitizing agent may be added as needed.

중합 금지제를 이용하는 경우의 첨가량으로서는, 조성물 중의 전체 고형분 중, 0.001질량%~0.015질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.03질량%~0.09질량%가 보다 바람직하다.When the polymerization inhibitor is used, the addition amount is preferably in the range of 0.001 mass% to 0.015 mass%, more preferably 0.03 mass% to 0.09 mass%, of the total solid content in the composition.

<밀착 향상제(밀착 촉진제)>&Lt; Adhesion improving agent (adhesion promoter) >

본 발명의 조성물에는, 기판 등의 경질 표면과의 밀착성을 향상시키기 위하여, 밀착 향상제를 첨가할 수 있다.In the composition of the present invention, an adhesion improver may be added in order to improve the adhesion with a hard surface such as a substrate.

밀착 향상제로서는, 실레인계 커플링제, 타이타늄 커플링제 등을 들 수 있다.Examples of the adhesion improver include a silane-based coupling agent and a titanium coupling agent.

실레인 커플링제는, 무기 재료와 화학 결합 가능한 가수분해성기로서 알콕시실릴기를 갖는 것이 바람직하다. 또 유기 수지와의 사이에서 상호 작용 또는 결합 형성하여 친화성을 나타내는 기를 갖는 것이 바람직하고, 그러한 기로서는 (메트)아크릴로일기, 페닐기, 머캅토기, 글라이시딜기, 옥세탄일기를 갖는 것이 바람직하고, 그 중에서도 (메트)아크릴로일기 또는 글라이시딜기를 갖는 것이 바람직하다.The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group chemically bondable to an inorganic material. (Meth) acryloyl group, a phenyl group, a mercapto group, a glycidyl group, and an oxetanyl group are preferable as the group having a group capable of interacting or forming a bond with an organic resin and exhibiting affinity , And among them, a (meth) acryloyl group or glycidyl group is preferable.

즉, 본 발명에 이용하는 실레인 커플링제로서는, 알콕시실릴기와, (메트)아크릴로일기 또는 에폭시기를 갖는 화합물인 것이 바람직하고, 구체적으로는 하기 구조의 (메트)아크릴로일-트라이메톡시실레인 화합물, 글라이시딜-트라이메톡시실레인 화합물 등을 들 수 있다.That is, the silane coupling agent used in the present invention is preferably a compound having an alkoxysilyl group and a (meth) acryloyl group or an epoxy group, and more specifically, a (meth) acryloyl-trimethoxysilane Compounds, glycidyl-trimethoxysilane compounds, and the like.

[화학식 30](30)

Figure pct00030
Figure pct00030

또, 본 발명에 있어서의 실레인 커플링제는, 1분자 중에 적어도 2종의 반응성이 다른 관능기를 갖는 실레인 화합물도 바람직하고, 특히 관능기로서 아미노기와 알콕시기를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 실레인 커플링제로서는, 예를 들면 N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-메틸다이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교사제, 상품명 KBM-602), N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-트라이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교사제, 상품명 KBM-603), N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-트라이에톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교사제, 상품명 KBE-602), γ-아미노프로필-트라이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교사제, 상품명 KBM-903), γ-아미노프로필-트라이에톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교사제, 상품명 KBE-903) 등이 있다.The silane coupling agent in the present invention is also preferably a silane compound having at least two functional groups different in reactivity from each other in one molecule, particularly preferably having an amino group and an alkoxy group as a functional group. Examples of such a silane coupling agent include N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-methyldimethoxysilane (trade name: KBM-602 available from Shin-Etsu Chemical Co., -Aminopropyl-trimethoxysilane (trade name: KBM-603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), N -? - aminoethyl -? - aminopropyltriethoxysilane -602),? -Aminopropyltrimethoxysilane (trade name: KBM-903, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.),? -Aminopropyltriethoxysilane (trade name: KBE-903 ).

실레인 커플링제를 이용하는 경우의 첨가량으로서는, 조성물 중의 전체 고형분 중, 0.1질량%~5.0질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.2질량%~3.0질량%가 보다 바람직하다.When the silane coupling agent is used, the addition amount is preferably in the range of 0.1% by mass to 5.0% by mass, more preferably 0.2% by mass to 3.0% by mass, in the total solid content in the composition.

<중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머>&Lt; Acrylic polymer having polymerizable group >

본 발명의 조성물은, 중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머를 함유하고 있어도 된다. 중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머가 갖는 중합성기로서는, 에틸렌성 불포화 결합성기가 예시되며, (메트)아크릴로일기 또는 바이닐기가 바람직하고, (메트)아크릴로일기가 더 바람직하다.The composition of the present invention may contain an acrylic polymer having a polymerizable group. As the polymerizable group of the acrylic polymer having a polymerizable group, an ethylenically unsaturated bonding group is exemplified, and a (meth) acryloyl group or a vinyl group is preferable, and a (meth) acryloyl group is more preferable.

본 발명에서 이용하는 중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머는, 통상, 중합성기를 갖는 구성 단위와, 다른 구성 단위를 포함한다.The acrylic polymer having a polymerizable group used in the present invention usually contains a constituent unit having a polymerizable group and another constituent unit.

본 발명에 있어서의 아크릴계 폴리머란 (메트)아크릴산, (메트)아크릴산 에스터, (메트)아크릴아마이드 중 어느 1종 이상 유래의 반복 단위를 갖는 바이닐 중합체를 말한다.The acrylic polymer in the present invention refers to a vinyl polymer having a repeating unit derived from at least one of (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylamide.

중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머에 포함되는, 중합성기의 비율로서는, 5~50인 것이 바람직하고, 10~40인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써 경화성과 현상성의 양립이 보다 효과적으로 달성된다. 여기에서, 중합성기의 비율이란, 몰 공중합 비율을 의미한다.The proportion of the polymerizable group contained in the acrylic polymer having a polymerizable group is preferably from 5 to 50, and more preferably from 10 to 40. By setting this range, compatibility between hardenability and developability can be more effectively achieved. Here, the ratio of the polymerizable group means a molar copolymerization ratio.

다른 구성 단위로서는, 예를 들면 산기를 포함하는 구성 단위가 예시된다. 산기로서는, 카복실기, 인산기, 설폰산기, 페놀성 수산기 등을 들 수 있고, 카복실기가 바람직하다.As another structural unit, for example, a structural unit containing an acid group is exemplified. Examples of the acid group include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group is preferable.

또, 본 발명에서 이용하는 중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머의 산가는, 10~200mgKOH/g인 것이 바람직하고, 20~150mgKOH/g인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써, 패턴 형성 시의, 미노광부의 용해성을 높이는 것이 가능해진다. 본 발명에 있어서의 산가는, 수산화 칼륨 용액과의 중화 적정에 의하여 얻어진 값을 말한다.The acid value of the acrylic polymer having a polymerizable group used in the present invention is preferably 10 to 200 mgKOH / g, and more preferably 20 to 150 mgKOH / g. By setting this range, it becomes possible to enhance the solubility of the unexposed portion at the time of pattern formation. The acid value in the present invention refers to a value obtained by neutralization titration with a potassium hydroxide solution.

중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머로서는, 예를 들면 카복실기 함유 수지에 글라이시딜(메트)아크릴레이트, 알릴글라이시딜에터 등의 글라이시딜기 함유 불포화 화합물이나 알릴알코올, 2-하이드록시아크릴레이트, 2-하이드록시메타크릴레이트 등의 불포화 알코올을 반응시킨 수지, 수산기를 갖는 카복실기 함유 수지에 유리(遊離) 아이소사이아네이트기 함유 불포화 화합물, 불포화 산무수물을 반응시킨 수지, 에폭시 수지와 불포화 카복실산과의 부가 반응물에 다염기산 무수물을 반응시킨 수지, 공액 다이엔 공중합체와 불포화 다이카복실산 무수물과의 부가 반응물에 수산기 함유 다관능 모노머를 반응시킨 수지, 염기 처리에 의하여 탈리 반응이 발생되고 불포화기를 부여하는 특정 관능기를 갖는 수지를 합성하고, 그 수지에 염기 처리를 실시함으로써 불포화기를 생성시킨 수지 등을 대표적인 수지로서 들 수 있다.Examples of the acrylic polymer having a polymerizable group include a glycidyl group-containing unsaturated compound such as glycidyl (meth) acrylate and allyl glycidyl ether, allyl alcohol, 2-hydroxyacrylate, A resin obtained by reacting an unsaturated compound containing a free (isocyanate group) or an unsaturated acid anhydride with a resin containing a carboxyl group having a hydroxyl group, a resin obtained by reacting an epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid , A resin obtained by reacting an addition reaction product of a conjugated diene copolymer and an unsaturated dicarboxylic acid anhydride with a polyfunctional monomer containing a hydroxyl group, a resin obtained by reacting a polyfunctional monomer with an addition reaction product of a conjugated diene copolymer with an unsaturated dicarboxylic anhydride, A resin having a specific functional group is synthesized, and the resin is subjected to a base treatment A resin obtained by forming an unsaturated group as a typical resin.

중합성기를 갖는 아크릴계 폴리머로서는, 일본 공개특허공보 2009-79150의 단락 0043~0067의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다. 또, 일본 공개특허공보 2009-79150의 단락 0063~0067의 고분자 화합물 1~22의 설명을 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.As the acrylic polymer having a polymerizable group, the description of paragraphs 0043 to 0067 of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2009-79150 may be taken into consideration and the contents thereof are incorporated herein by reference. Further, the description of Polymer Compounds 1 to 22 in paragraphs 0063 to 0067 of Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2009-79150 may be taken into consideration and the contents thereof are incorporated herein by reference.

<그 외의 성분><Other components>

본 발명의 조성물에는, 상기 필수 성분이나 상기 임의 첨가제에 더하여, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한, 목적에 따라 그 외의 성분을 적절히 선택하여 이용해도 된다.The composition of the present invention may be appropriately selected and used in addition to the essential components and the optional additives as long as the effects of the present invention are not impaired.

병용 가능한 그 외의 성분으로서는, 예를 들면 바인더 폴리머, 분산제, 증감제, 가교제, 경화 촉진제, 필러, 열경화 촉진제, 열중합 금지제, 가소제, 자외선 흡수제 등을 들 수 있고, 추가로 기재 표면에 대한 밀착 촉진제 및 그 외의 조제류(助劑類)(예를 들면, 도전성 입자, 충전제, 소포제, 난연제, 레벨링제, 박리 촉진제, 산화 방지제, 향료, 표면 장력 조정제, 연쇄 이동제 등)를 병용해도 된다.Examples of other components that can be used in combination include a binder polymer, a dispersant, a sensitizer, a crosslinking agent, a curing accelerator, a filler, a thermosetting accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer and an ultraviolet absorber. Adhesion promoters and other additives (for example, conductive particles, fillers, defoamers, flame retardants, leveling agents, release promoters, antioxidants, fragrances, surface tension regulators, chain transfer agents and the like) may be used in combination.

이들 성분을 적절히 함유시킴으로써, 형성하는 막의 안정성, 막물성(膜物性) 등의 성질을 조정할 수 있다.By suitably containing these components, properties such as the stability of the film to be formed and film properties can be adjusted.

이들 성분은, 예를 들면 일본 공개특허공보 2012-003225호의 단락 번호 0183 이후(대응하는 미국 특허출원 공개공보 제2013/0034812호의 [0237] 이후)의 기재, 일본 공개특허공보 2008-250074호의 단락 번호 0101~0102, 단락 번호 0103~0104 및 단락 번호 0107~0109 등의 기재를 참작할 수 있으며, 이들 내용은 본원 명세서에 원용된다.These components are described, for example, in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2012-003225, paragraphs 0183 and 2013 (corresponding to [0237] of U.S. Patent Application Publication No. 2013/0034812), Japanese Patent Application Publication No. 2008-250074 0101 to 0102, paragraph numbers 0103 to 0104, and paragraph numbers 0107 to 0109 can be taken into consideration, and these contents are incorporated herein by reference.

<조성물의 조제>&Lt; Preparation of composition >

본 발명의 조성물의 조제 양태에 대해서는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 본 발명의 필수 성분, 및 목적에 따라 병용되는 각종 첨가제를 혼합하여, 조제할 수 있다.The preparation of the composition of the present invention is not particularly limited, but it may be prepared by mixing, for example, the essential components of the present invention and various additives used in combination according to the purpose.

본 발명의 조성물은, 이물의 제거나 결함의 저감 등의 목적으로, 필터로 여과하는 것이 바람직하다.The composition of the present invention is preferably filtered with a filter for the purpose of removing foreign matters or reducing defects.

필터 여과에 이용하는 필터로서는, 종래부터 여과 용도 등으로 이용되고 있는 필터이면 특별히 한정되지 않고 이용할 수 있다.The filter used for the filter filtration is not particularly limited as long as it is a filter that has been conventionally used for filtration.

필터 재질의 예로서는, PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 등의 불소 수지; 나일론-6, 나일론-6,6 등의 폴리아마이드계 수지; 폴리에틸렌, 폴리프로필렌(PP) 등의 폴리올레핀 수지(고밀도, 초고분자량을 포함함); 등을 들 수 있다. 이들 소재 중에서도 폴리프로필렌(고밀도 폴리프로필렌을 포함함)이 바람직하다.Examples of the filter material include fluororesins such as PTFE (polytetrafluoroethylene); Polyamide based resins such as nylon-6, nylon-6,6 and the like; Polyolefin resins (including high density, ultra high molecular weight) such as polyethylene and polypropylene (PP); And the like. Of these materials, polypropylene (including high-density polypropylene) is preferable.

필터의 구멍 직경에는 특별히 한정은 없지만, 예를 들면 0.01~20.0μm 정도이며, 바람직하게는 0.01~5μm 정도이고, 더 바람직하게는 0.01~2.0μm 정도이다.The pore diameter of the filter is not particularly limited, but is, for example, about 0.01 to 20.0 μm, preferably about 0.01 to 5 μm, and more preferably about 0.01 to 2.0 μm.

필터의 구멍 직경을 상기 범위로 함으로써, 미세한 입자를 보다 효과적으로 제거할 수 있어, 탁도를 보다 저감시킬 수 있다.By setting the pore diameter of the filter within the above-mentioned range, fine particles can be removed more effectively, and turbidity can be further reduced.

여기에서, 필터의 구멍 직경은, 필터 제조사의 공칭값을 참조할 수 있다. 시판 중인 필터로서는, 예를 들면 니혼 폴 가부시키가이샤, 어드밴텍 도요 가부시키가이샤, 니혼 인테그리스 가부시키가이샤(구 니혼 마이크롤리스 가부시키가이샤) 또는 가부시키가이샤 키츠 마이크로필터 등이 제공하는 각종 필터 중에서 선택할 수 있다.Here, the hole diameter of the filter can refer to the nominal value of the filter manufacturer. As a commercially available filter, there may be selected, for example, various filters provided by Nippon Oil Corporation, Advantech Toyokawa Co., Ltd., Nippon Integrity Corporation (formerly Nihon Micro-Roller Corporation) or Kitsch Microfilter .

필터 여과에서는, 2종 이상의 필터를 조합하여 이용해도 된다.In filter filtration, two or more kinds of filters may be used in combination.

예를 들면, 우선 제1 필터를 이용하여 여과를 행하고, 다음으로, 제1 필터와는 구멍 직경이 다른 제2 필터를 이용하여 여과를 행할 수 있다.For example, first, filtration is performed using a first filter, and then filtration can be performed using a second filter having a different pore diameter from the first filter.

그 때, 제1 필터에서의 필터링 및 제2 필터에서의 필터링은, 각각, 1회만이어도 되고, 2회 이상 행해도 된다.At this time, the filtering in the first filter and the filtering in the second filter may be performed only once or two or more times, respectively.

제2 필터는, 상술한 제1 필터와 동일한 재료 등으로 형성된 것을 사용할 수 있다.The second filter may be formed of the same material as the first filter described above.

본 발명의 조성물은, 잉크젯으로 도포되는 것이 바람직하고, 잉크젯 기록 장치에 적용하는 데 적합한 물성을 갖는 것이 바람직하다.The composition of the present invention is preferably applied by inkjet, and preferably has properties suitable for application to an inkjet recording apparatus.

즉, 본 발명의 조성물을 잉크젯 기록 방법에 이용하는 경우에는, 토출성을 고려하여, 토출 시의 온도에서의 잉크 점도가 100mPa·s 이하인 것이 바람직하고, 50mPa·s 이하인 것이 보다 바람직하며, 상기 범위가 되도록 적절히 조성비를 조정하여 결정하는 것이 바람직하다.That is, when the composition of the present invention is used in an ink-jet recording method, the ink viscosity at a discharging temperature is preferably 100 mPa · s or less, more preferably 50 mPa · s or less, It is preferable to adjust the composition ratio as appropriate.

또한, 25℃(실온)에서의 조성물의 점도는, 바람직하게는 0.5mPa·s 이상 200mPa·s 이하, 보다 바람직하게는 1mPa·s 이상 100mPa·s 이하이며, 더 바람직하게는 2mPa·s 이상 50mPa·s 이하이다. 실온에서의 점도를 높게 설정함으로써, 요철이 있는 기판에 적용한 경우에도, 조성물의 드리핑이 방지되고, 그 결과로서 균일한 차광막의 형성이 가능해진다. 25℃에서의 점도가 200mPa·s보다 클 때에는, 조성물의 반송(장치 내에서의 액의 수송 상태)에 문제가 발생하는 경우가 있다.The viscosity of the composition at 25 ° C (room temperature) is preferably 0.5 mPa · s or more and 200 mPa · s or less, more preferably 1 mPa · s or more and 100 mPa · s or less, more preferably 2 mPa · s or more and 50 mPa S or less. By setting the viscosity at room temperature high, it is possible to prevent the composition from being dripped even when applied to a substrate having unevenness, and as a result, a uniform light-shielding film can be formed. When the viscosity at 25 占 폚 is more than 200 mPa 占 퐏, problems may occur in the conveyance of the composition (the conveying state of the liquid in the apparatus).

본 발명의 조성물의 표면 장력은, 바람직하게는 20mN/m~40mN/m, 보다 바람직하게는 23mN/m~35mN/m이다. 실리콘 기판이나 금속 배선 표면에 적용하는 경우, 드리핑 억제의 관점에서 20mN/m 이상이 바람직하고, 기판 등과의 밀착성, 친화성의 관점에서 35mN/m 이하가 바람직하다.The surface tension of the composition of the present invention is preferably 20 mN / m to 40 mN / m, and more preferably 23 mN / m to 35 mN / m. When it is applied to the surface of a silicon substrate or metal wiring, it is preferably 20 mN / m or more from the viewpoint of suppressing the dropping, and is preferably 35 mN / m or less from the viewpoint of adhesiveness with the substrate or the like and affinity.

<공정의 순서>&Lt; Sequence of process >

본 발명의 조성물을 이용하여 형성되는 착색층의 제조 방법은 특별히 제한되지 않고, 공지의 방법을 채용할 수 있다. 그 중에서도, 착색 감방사선성 조성물을 하지층 상에 부여하여, 착색 감방사선성 조성물층을 형성하는 공정(이하, "착색 감방사선성 조성물층 형성 공정"이라고도 함)과, 마스크를 통하여 착색 감방사선성 조성물층을 패턴 노광하는 공정(이하, "노광 공정"이라고도 함)과, 노광 후의 착색 감방사선성 조성물층을 현상하여 착색층(이하, "착색 패턴" "착색 화소"라고도 함)을 형성하는 공정(이하, "현상 공정"이라고도 함)을 포함하는 것이 바람직하다.The method for producing the colored layer formed using the composition of the present invention is not particularly limited and a known method can be employed. Among them, the step of imparting a coloring and radiation-sensitive composition onto a base layer to form a coloring and radiation-sensitive composition layer (hereinafter also referred to as a "step of forming a coloring and radiation-sensitive composition layer"), (Hereinafter also referred to as " coloring pattern ") is formed by developing the patterned radiation-sensitive composition layer after exposure (hereinafter also referred to as " coloring pattern " (Hereinafter, also referred to as "development step").

이후, 적합 양태의 각 공정의 순서에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the order of each step of the preferred embodiment will be described in detail.

(착색 감방사선성 조성물층 형성 공정)(Coloring and radiation-sensitive composition layer forming step)

착색 감방사선성 조성물층 형성 공정에서는, 하지층 상에, 상기 조성물을 부여하여 착색 감방사선성 조성물층을 형성한다.In the step of forming the coloring and radiation-sensitive composition layer, the composition is applied to the base layer to form a coloring and radiation-sensitive composition layer.

하지층 상에 대한 본 발명의 조성물의 적용 방법으로서는, 슬릿 도포, 잉크젯법, 회전 도포, 유연 도포, 롤 도포, 스크린 인쇄법 등의 각종 도포 방법을 적용할 수 있다.As a method of applying the composition of the present invention to the base layer, various coating methods such as slit coating, inkjet coating, spin coating, flex coating, roll coating, screen printing and the like can be applied.

착색 감방사선성 조성물층의 막 두께로서는, 0.1μm~10μm가 바람직하고, 0.2μm~5μm가 보다 바람직하며, 0.2μm~3μm가 더 바람직하다.The film thickness of the coloring and radiation-sensitive composition layer is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.2 to 5 μm, and further preferably 0.2 to 3 μm.

지지체 상에 도포된 착색 감방사선성 조성물층은 필요에 따라 건조(프리베이크)해도 되고, 건조는 핫플레이트, 오븐 등에서 50℃~140℃의 온도에서 10초~300초로 행할 수 있다.The coloring and radiation-sensitive composition layer applied on the support may be dried (pre-baked) if necessary, and the drying can be performed in a hot plate, an oven or the like at a temperature of 50 ° C to 140 ° C for 10 seconds to 300 seconds.

(노광 공정)(Exposure step)

노광 공정에서는, 착색 감방사선성 조성물층 형성 공정에 있어서 형성된 착색 감방사선성 조성물층을, 예를 들면 스테퍼 등의 노광 장치를 이용하여, 소정의 마스크 패턴을 갖는 마스크를 통하여 패턴 노광한다.In the exposure step, the coloring and radiation-sensitive composition layer formed in the coloring and radiation-sensitive composition layer forming step is pattern-exposed through a mask having a predetermined mask pattern by using an exposure apparatus such as a stepper.

노광 시에 이용할 수 있는 방사선(광)으로서는, 특히 g선, i선 등의 자외선이 바람직하게(특히 바람직하게는 i선) 이용된다. 조사량(노광량)은 30~1500mJ/cm2가 바람직하고, 50~1000mJ/cm2가 보다 바람직하며, 80~500mJ/cm2가 가장 바람직하다.As the radiation (light) usable at the time of exposure, ultraviolet rays such as g line and i line are preferably used (particularly preferably i line). Irradiation dose (exposure dose) is 30 ~ 1500mJ / cm 2 are preferred, and 50 ~ 1000mJ / cm 2 is more preferably, 80 ~ 500mJ / cm 2 is most preferred.

(현상 공정)(Developing step)

이어서 알칼리 현상 처리 등의 현상을 행함으로써, 노광 공정에 있어서의 광미조사 부분의 착색 감방사선성 조성물층이 현상액에 용출되어, 광경화한 부분만이 남는다.Subsequently, development such as alkali developing treatment is carried out, whereby the coloring and radiation-sensitive composition layer of the light-irradiated portion in the exposure step is eluted into the developer, leaving only the light-cured portion.

현상액으로서는, 하지의 촬상 소자나 회로 등에 데미지를 일으키지 않는, 유기 알칼리 현상액이 바람직하다. 현상 온도로서는 통상 20℃~30℃이며, 현상 시간은, 예를 들면 20초~90초이다. 보다 잔사를 제거하기 위하여, 최근에는 120초~180초 실시하는 경우도 있다. 나아가서는, 보다 잔사 제거성을 향상시키기 위하여, 현상액을 60초마다 털어내고, 추가로, 새롭게 현상액을 공급하는 공정을 수회 반복하는 경우도 있다.As the developer, an organic alkali developing solution which does not cause damage to the underlying imaging element or circuit is preferable. The development temperature is usually 20 ° C to 30 ° C, and the development time is, for example, 20 seconds to 90 seconds. In order to remove the residues, it is sometimes carried out 120 to 180 seconds in recent years. Further, in order to further improve the removability of the residue, the step of removing the developing solution every 60 seconds and further supplying the developing solution may be repeated several times.

현상액에 이용하는 알칼리제로서는, 예를 들면 암모니아수, 에틸아민, 다이에틸아민, 다이메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄하이드록사이드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 1,8-다이아자바이사이클로-[5,4,0]-7-운데센 등의 유기 알칼리성 화합물을 들 수 있고, 이들의 알칼리제를 농도가 0.001~10질량%, 바람직하게는 0.01~1질량%가 되도록 순수로 희석한 알칼리성 수용액이 현상액으로서 바람직하게 사용된다.Examples of the alkaline agent to be used in the developer include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8- And organic alkali compounds such as Javancyclo- [5,4,0] -7-undecene. These alkaline agents are diluted with pure water to a concentration of 0.001 to 10 mass%, preferably 0.01 to 1 mass% An alkaline aqueous solution is preferably used as the developer.

또한, 현상액에는 무기 알칼리를 이용해도 되고, 무기 알칼리로서는, 예를 들면 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 탄산 수소 나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨 등이 바람직하다.As the developing solution, an inorganic alkali may be used. As the inorganic alkali, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate and the like are preferable.

또한, 이러한 알칼리성 수용액으로 이루어지는 현상액을 사용한 경우에는, 일반적으로 현상 후 순수로 세정(린스)한다.When a developer comprising such an alkaline aqueous solution is used, it is generally cleaned (rinsed) with pure water after development.

다음으로, 건조를 실시한 후에 가열 처리(포스트베이크)를 행하는 것이 바람직하다. 다색의 착색층(착색 패턴)을 형성한다면, 각 색마다 상기 공정을 순차 반복하여 경화 피막을 제조할 수 있다. 이로써 컬러 필터가 얻어진다.Next, it is preferable to carry out a heat treatment (post-baking) after drying. If a multicolored coloring layer (coloring pattern) is formed, the above process can be repeated for each color in order to produce a cured coating. As a result, a color filter is obtained.

포스트베이크는, 경화를 완전한 것으로 하기 위한 현상 후의 가열 처리이며, 통상 100℃~240℃, 바람직하게는 200℃~240℃의 열경화 처리를 행한다.The post-baking is a post-development heat treatment for making the curing to be complete, and is generally subjected to a heat curing treatment at 100 캜 to 240 캜, preferably at 200 캜 to 240 캜.

이 포스트베이크 처리는, 현상 후의 도포막을, 상기 조건이 되도록 핫플레이트나 컨벡션 오븐(열풍 순환식 건조기), 고주파 가열기 등의 가열 수단을 이용하여, 연속식 혹은 배치식으로 행할 수 있다.The post-baking treatment can be carried out continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot-air circulation type drier), a high-frequency heater or the like so as to achieve the above-

또한, 본 발명의 제조 방법은, 필요에 따라, 상기 이외의 공정으로서, 컬러 필터의 제조 방법으로서 공지의 공정을 갖고 있어도 된다. 예를 들면, 상술한, 착색 감방사선성 조성물층 형성 공정, 노광 공정 및 현상 공정을 행한 후에, 필요에 따라, 형성된 착색층(착색 패턴)을 가열 및/또는 노광에 의하여 경화하는 경화 공정을 포함하고 있어도 된다.Further, the production method of the present invention may have a known process as a production method of a color filter as a process other than the above, if necessary. For example, it includes a curing step of curing the above-described colored layer (coloring pattern) by heating and / or exposure, if necessary, after the coloring and radiation-sensitive composition layer forming step, the exposure step and the developing step, .

컬러 필터에 있어서의 착색층(착색 화소)의 막 두께로서는, 2.0μm 이하가 바람직하고, 1.0μm 이하가 보다 바람직하다.The thickness of the colored layer (colored pixel) in the color filter is preferably 2.0 占 퐉 or less, more preferably 1.0 占 퐉 or less.

또, 착색층(착색 화소)의 사이즈(패턴 폭)로서는, 2.5μm 이하가 바람직하고, 2.0μm 이하가 보다 바람직하며, 1.7μm 이하가 특히 바람직하다.The size (pattern width) of the colored layer (coloring pixel) is preferably 2.5 占 퐉 or less, more preferably 2.0 占 퐉 or less, and particularly preferably 1.7 占 퐉 or less.

컬러 필터는, 액정 표시 장치나 고체 촬상 소자나 유기 EL 표시 장치에 이용할 수 있고, 특히 고체 촬상 용도나 유기 EL 표시 장치에 적합하다. 액정 표시 장치에 이용한 경우, 비저항의 저하에 수반하는 액정 분자의 배향 불량이 적고, 표시 화상의 색조가 양호하여 표시 특성이 우수하다.The color filter can be used for a liquid crystal display device, a solid-state imaging device, and an organic EL display device, and is particularly suitable for use in a solid-state imaging device or an organic EL display device. When used in a liquid crystal display device, the alignment defect of the liquid crystal molecules accompanying the lowering of the resistivity is small, the display image has a good color tone, and the display characteristics are excellent.

본 발명의 컬러 필터는, 색상이 우수하고 또한 내광성이 우수한 착색 화소를 갖는 점에서, 특히 액정 표시 장치용의 컬러 필터로서 적합하다. 이러한 컬러 필터를 구비한 액정 표시 장치는, 표시 화상의 색조가 양호하여 표시 특성이 우수한 고화질 화상을 표시할 수 있다.The color filter of the present invention is particularly suitable as a color filter for a liquid crystal display device because it has coloring pixels excellent in color and excellent in light resistance. A liquid crystal display device provided with such a color filter can display a high-quality image with good display characteristics and excellent display characteristics.

본 발명의 컬러 필터를 액정 표시 장치에 이용하면, 종래 공지의 냉음극관의 3파장관과 조합했을 때에 높은 콘트라스트를 실현할 수 있는데, 또한, 적색, 녹색, 청색의 LED 광원(RGB-LED)을 백 라이트로 함으로써 휘도가 높고, 또한 색순도가 높은 색재현성이 양호한 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.When the color filter of the present invention is used in a liquid crystal display device, high contrast can be realized when combined with a conventional three-wavelength tube of a cold cathode tube, and LED light sources (RGB-LEDs) of red, As the light, it is possible to provide a liquid crystal display device having high luminance and high color purity and good color reproducibility.

또, 본 발명의 컬러 필터는, 고체 촬상 소자에 적합하게 사용할 수 있다.Further, the color filter of the present invention can be suitably used for a solid-state image pickup device.

고체 촬상 소자의 구성으로서는, 본 발명의 컬러 필터가 구비된 구성이며, 고체 촬상 소자로서 기능하는 구성이면 특별히 한정은 없지만, 예를 들면 이하와 같은 구성을 들 수 있다.The configuration of the solid-state image pickup device is not particularly limited as long as it has the color filter of the present invention and functions as a solid-state image pickup device.

지지체 상에, 고체 촬상 소자(CCD, CMOS 등)의 수광 에리어를 구성하는 복수의 포토다이오드 및 폴리실리콘 등으로 이루어지는 전송 전극을 갖고, 포토다이오드 및 전송 전극 상에 포토다이오드의 수광부만 개구한 텅스텐 등으로 이루어지는 차광막을 가지며, 차광막 상에 차광막 전체면 및 포토다이오드 수광부를 덮도록 형성된 질화 실리콘 등으로 이루어지는 디바이스 보호막을 갖고, 디바이스 보호막 상에, 본 발명의 컬러 필터를 갖는 구성이다.A plurality of photodiodes constituting a light receiving area of a solid-state image pickup device (CCD, CMOS, or the like), a transfer electrode made of polysilicon or the like, and a photodiode and a tungsten And a device protective film made of silicon nitride or the like formed on the entire surface of the light shielding film and the photodiode light receiving portion so as to cover the light shielding film and has the color filter of the present invention on the device protective film.

또한, 디바이스 보호막 상으로서 컬러 필터 아래(지지체에 가까운 측)에 집광 수단(예를 들면, 마이크로 렌즈 등)을 갖는 구성이나, 컬러 필터 상에 집광 수단을 갖는 구성 등이어도 된다.Further, the device protective film may be a structure having condensing means (for example, a microlens or the like) under the color filter (near the support) or a structure having the condensing means on the color filter.

또, 본 발명은 상술한 하지층을 갖는 유기 EL 표시 장치에도 관한 것이다.The present invention also relates to an organic EL display device having the base layer described above.

이하에 도면을 참조하여, 본 발명의 유기 EL 표시 장치의 일 실시양태에 대하여 설명한다.Hereinafter, one embodiment of the organic EL display device of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은, 하지층(40) 및 착색층(50)을 포함하는 유기 EL 표시 장치(100)의 일 양태의 일부의 단면도이다. 각 화소는, 예를 들면 백색광을 발생하는 복수의 유기 EL 소자(20)와, 착색층(50(50R, 50G, 50B))과의 조합에 의하여 삼원색(적색, 녹색 및 청색) 중 어느 한 광을 발생하는 것이다. 복수의 유기 EL 소자(20)의 피치(중심간 거리)(P)는, 예를 들면 30μm 이하, 보다 바람직하게는 10μm 이하, 구체적으로는 예를 들면 약 2μm 내지 3μm이다. 피치(p)는, 0.5μm 이상이 바람직하고, 1μm 이상이 보다 바람직하다. 즉, 이 표시 장치는, 유기 EL 소자(20)의 치수가 매우 작은, 이른바 마이크로 디스플레이로 불리는 것이다. 또한, 이 표시 장치 상에는 접안 렌즈(도시하지 않음)가 마련되어 있으며, 사용자는, 표시 장치에 표시된 화상을, 접안 렌즈를 통하여 확대하여 보도록 되어 있다. 이로 인하여, 사용자가 볼 수 있는 것은, 표시 장치에 표시된 화상 중, 접안 렌즈의 수광각의 범위 내의 부분뿐이다.1 is a cross-sectional view of a part of an embodiment of an organic EL display device 100 including a base layer 40 and a colored layer 50. Fig. Each pixel is formed by combining any one of the three primary colors (red, green, and blue), for example, by combining a plurality of organic EL elements 20 that generate white light and the colored layers 50 (50R, 50G, . The pitch (center-to-center distance) P of the plurality of organic EL elements 20 is, for example, 30 占 퐉 or less, more preferably 10 占 퐉 or less, and specifically about 2 占 퐉 to 3 占 퐉. The pitch (p) is preferably 0.5 mu m or more, more preferably 1 mu m or more. That is, this display device is what is called a so-called micro display in which the size of the organic EL element 20 is very small. An eyepiece lens (not shown) is provided on the display device, and the user views the image displayed on the display device through the eyepiece lens in an enlarged manner. Therefore, only the portion of the image displayed on the display device within the range of the light receiving angle of the eyepiece can be seen by the user.

유기 EL 소자(20)는, 기판(10) 상에 행렬상으로 배치됨과 함께, 보호막(30)에 의하여 피복되어 있다. 보호막(30) 상에는, 접착층(도시하지 않음)을 사이에 두고, 유리 등으로 이루어지는 밀봉용 기판(60)이 전체면에 걸쳐서 첩합되어 있다. 이 밀봉용 기판(60)의 기판(10)측의 표면에 착색층(50)이 마련되어 있다.The organic EL elements 20 are arranged in a matrix on the substrate 10 and are covered with a protective film 30. On the protective film 30, a sealing substrate 60 made of glass or the like is bonded over the entire surface with an adhesive layer (not shown) interposed therebetween. A colored layer 50 is provided on the surface of the sealing substrate 60 on the substrate 10 side.

기판(10)으로서는, 유리 기판 등이 사용된다.As the substrate 10, a glass substrate or the like is used.

유기 EL 소자(20)의 구성은 특별히 제한되지 않고, 구성을 채용할 수 있어, 통상, 전극 간에 교시된 발광층을 포함하는 경우가 많다.The constitution of the organic EL element 20 is not particularly limited, and a configuration can be employed, and in many cases, a light emitting layer taught between electrodes is often included.

보호막(30)은, 예를 들면 두께가 0.5μm 내지 10μm이며, 질화 규소(SiN)에 의하여 구성되어 있다. 접착층(도시하지 않음)은, 예를 들면 자외선 경화 수지 또는 열경화 수지에 의하여 구성되어 있다. 밀봉용 기판(60)은, 접착층(도시하지 않음)과 함께 유기 EL 소자(20)를 밀봉하는 것이다. 밀봉용 기판(60)은, 예를 들면 유기 EL 소자(20)에서 발생한 광에 대하여 투명한 유리 등의 재료에 의하여 구성되어 있다.The protective film 30 is, for example, 0.5 탆 to 10 탆 in thickness and is made of silicon nitride (SiN). The adhesive layer (not shown) is made of, for example, an ultraviolet curing resin or a thermosetting resin. The sealing substrate 60 seals the organic EL element 20 together with an adhesive layer (not shown). The sealing substrate 60 is made of a material such as glass which is transparent to the light emitted from the organic EL element 20, for example.

착색층(50)은, 유기 EL 소자(20)에서 발생한 백색광을, 적색, 녹색 또는 청색의 색광으로서 취출하기 위한 것이며, 복수의 유기 EL 소자(20)에 각각 대향하는 적색 착색층(50R), 녹색 착색층(50G), 청색 착색층(50B)을 갖고 있다. 적색 착색층(50R), 녹색 착색층(50G) 및 청색 착색층(50B)은, 유기 EL 소자(20)에 대응하여 순서대로 배치되어 있다. 적색 착색층(50R), 녹색 착색층(50G) 및 청색 착색층(50B)은, 상술한 착색제 등을 포함하는 착색 감방사선성 조성물로 형성되는 층이며, 착색제의 선택에 따라, 목적으로 하는 적색, 녹색 또는 청색의 파장역에 있어서의 광투과율이 높고, 다른 파장역에 있어서의 광투과율이 낮아지도록 조정되어 있다.The coloring layer 50 is for extracting white light generated from the organic EL element 20 as red, green or blue color light and includes a red coloring layer 50R and a red coloring layer 50R opposed to the plurality of organic EL elements 20, A green coloring layer 50G, and a blue coloring layer 50B. The red coloring layer 50R, the green coloring layer 50G and the blue coloring layer 50B are arranged in order corresponding to the organic EL element 20. [ The red coloring layer 50R, the green coloring layer 50G and the blue coloring layer 50B are layers formed of a coloring and radiation-sensitive composition including the above-mentioned coloring agent and the like. Depending on the choice of the coloring agent, , The light transmittance in the green or blue wavelength range is high and the light transmittance in the other wavelength range is low.

착색층(50)은, 착색층(50)의 일부에는, 반투과 영역이 마련되어 있어도 된다. 이로써, 이 표시 장치에서는, 유기 EL 소자(20)의 치수가 작은 경우에도, 인접하는 착색층을 통과한 광의 회절에 의한 혼색을 보다 억제하는 것이 가능해진다. 반투과 영역은, 착색층의 일부에 반투과막이 마련되어 있음으로써, 착색층의 일부의 투과율을 가변시킨 것이다.The coloring layer 50 may be provided with a semi-transmissive region in a part of the coloring layer 50. Thus, in this display apparatus, even when the size of the organic EL element 20 is small, color mixing due to diffraction of light passing through the adjacent coloring layers can be further suppressed. The semitransmissive region is obtained by changing the transmittance of a part of the colored layer by providing a semi-transparent film on a part of the colored layer.

착색층(50) 아래에는, 상술한, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층(40)이 마련되어 있다. 하지층(40)이 배치됨으로써, 착색층(50)의 밀착성이 보다 우수하다.Below the colored layer 50, the above-described base layer 40 having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm is provided. Since the underlayer 40 is disposed, the adhesion of the colored layer 50 is more excellent.

상술한 바와 같이, 마이크로 디스플레이에서는, 유기 EL 소자의 치수가 매우 작다. 이로 인하여, 유기 EL 소자에 대응하여 마련되는 착색층의 크기도 매우 작아지기 때문에, 보다 추가적인 밀착성이 착색층에 요구된다. 본 발명에 있어서는, 상술한 하지층 상에 착색층을 배치함으로써, 치수가 매우 작은 착색층을 밀착성 좋게 배치하는 것이 가능해진다.As described above, in the microdisplay, the dimensions of the organic EL element are very small. Because of this, the size of the colored layer provided corresponding to the organic EL element is also very small, and further additional adhesion is required for the colored layer. In the present invention, by arranging the coloring layer on the base layer, it is possible to arrange the coloring layer having a very small dimension with good adhesion.

또, 상술한 바와 같이 하지층에 금속 입자 또는 금속 산화물 입자가 실질적으로 포함되지 않는 경우, 하지층의 평탄성이 향상되어, 하지층 상에 배치되는 착색층의 밀착성이 향상되기 때문에, 마이크로 디스플레이에 적합하게 적용할 수 있다.In the case where metal particles or metal oxide particles are not substantially contained in the ground layer as described above, the flatness of the ground layer is improved, and the adhesion of the colored layer disposed on the ground layer is improved. .

실시예Example

이하, 본 발명을 실시예에 의하여 더 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 그 주지를 넘지 않는 한, 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 특별히 설명하지 않는 한, "부", "%"는, 질량 기준이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it is beyond the ordinary knowledge. Unless otherwise stated, "part" and "%" are based on mass.

(제조예 1: Red 안료 분산액의 조제)(Preparation Example 1: Preparation of Red pigment dispersion)

하기 조성의 혼합액을, 0.3mm 직경의 지르코니아 비즈를 사용하여, 비즈 밀(감압 기구 구비 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이(주)제))에서, 3시간, 혼합, 분산하여, Red 안료 분산액을 조제했다.The mixed liquid of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon Express Co., Ltd.) equipped with a decompression apparatus) using zirconia beads having a diameter of 0.3 mm, To prepare a pigment dispersion.

·C. I. 피그먼트 레드 254 12.4부C. I. Pigment Red 254 12.4 part

·C. I. 피그먼트 레드 139 5.6부C. I. Pigment Red 139 5.6 part

·분산제: BYK사제 BYK-2001 3.6부· Dispersing agent: BYK-2001 manufactured by BYK 3.6 part

·알칼리 가용성 수지 1: 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Alkali-soluble resin 1: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer

(=70/30몰비, Mw: 30000, 산가: 110mgKOH/g) 3.6부(= 70/30 molar ratio, Mw: 30000, acid value: 110 mgKOH / g) 3.6 part

·용제: 프로필렌글라이콜메틸에터아세테이트 74.8부Solvent: propylene glycol methyl ether acetate 74.8 parts

(제조예 2: Green 안료 분산액의 조제)(Preparation Example 2: Preparation of Green Pigment Dispersion)

하기 조성의 혼합액을, 0.3mm 직경의 지르코니아 비즈를 사용하여, 비즈 밀(감압 기구 구비 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이(주)제))에서, 3시간, 혼합, 분산하여, Green 안료 분산액을 조제했다.The mixed liquid of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nihon Baii K.K.) equipped with a pressure reducing mechanism) using 0.3 mm diameter zirconia beads, To prepare a pigment dispersion.

·C. I. 피그먼트 그린 36 10.8부C. I. Pigment Green 36 10.8 part

·C. I. 피그먼트 옐로 150 7.2부C. I. Pigment Yellow 150 7.2

·분산제: BYK사제 BYK-2001 3.6부· Dispersing agent: BYK-2001 manufactured by BYK 3.6 part

·상기 알칼리 가용성 수지 1 3.6부The alkali-soluble resin 1 3.6 part

·용제: 프로필렌글라이콜메틸에터아세테이트 74.8부Solvent: propylene glycol methyl ether acetate 74.8 parts

(제조예 3: Blue 안료 분산액의 조제)(Preparation Example 3: Preparation of Blue Pigment Dispersion)

하기 조성의 혼합액을, 0.3mm 직경의 지르코니아 비즈를 사용하여, 비즈 밀(감압 기구 구비 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이(주)제))에서, 3시간, 혼합, 분산하여, Blue 안료 분산액을 조제했다.The mixed liquid of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon Express Co., Ltd.) equipped with a pressure reducing mechanism) using zirconia beads having a diameter of 0.3 mm, To prepare a pigment dispersion.

·C. I. 피그먼트 블루 15:6 14.4부C. I. Pigment Blue 15: 6 14.4 part

·C. I. 피그먼트 바이올렛 23 3.6부C. I. PIGMENT Violet 23 3.6 part

·분산제: BYK사제 BYK-2001 3.6부· Dispersing agent: BYK-2001 manufactured by BYK 3.6 part

·상기 알칼리 가용성 수지 1 3.6부The alkali-soluble resin 1 3.6 part

·용제: 프로필렌글라이콜메틸에터아세테이트 74.8부Solvent: propylene glycol methyl ether acetate 74.8 parts

(제조예 4: 적색 감방사선성 조성물의 조제)(Preparation Example 4: preparation of red radiation sensitive composition)

하기의 성분을 혼합하여, 적색 감방사선성 조성물을 조제했다.The following components were mixed to prepare a red radiation-sensitive composition.

·Red 안료 분산액 70.0부· Red pigment dispersion 70.0 parts

·상기 알칼리 가용성 수지 1 1.9부The alkali-soluble resin 1 1.9 part

·중합성 화합물 1: 다이펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(닛폰 가야쿠사제 상품명 가야라드 DPHA) 3.0부Polymerizable compound 1: Dipentaerythritol hexaacrylate (Kayadard DPHA available from Nippon Kayaku Co., Ltd.) 3.0 parts

·중합성 화합물 2: 펜타에리트리톨에틸렌옥사이드 변성 테트라아크릴레이트(닛폰 가야쿠사제 상품명 RP-1040) 1.3부Polymerizable compound 2: pentaerythritol ethylene oxide-modified tetraacrylate (RP-1040 available from Nippon Kayaku Co., Ltd.) 1.3 part

·중합 개시제 1: 하기의 구조(BASF사제, IRGACURE-OXE01) 1.3부Polymerization initiator 1: The following structure (IRGACURE-OXE01, manufactured by BASF) 1.3 part

·용제: 프로필렌글라이콜메틸에터아세테이트 22.4부Solvent: propylene glycol methyl ether acetate 22.4 parts

[화학식 31](31)

Figure pct00031
Figure pct00031

(제조예 5: 녹색 감방사선성 조성물의 조제)(Preparation Example 5: preparation of green-sensitive radiation-sensitive composition)

실시예 1의 Red 안료 분산액을 Green 안료 분산액에 치환한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 성분을 이용하여, 녹색 감방사선성 조성물을 조제했다.A green radiation-sensitive composition was prepared using the same components as in Example 1 except that the Red pigment dispersion of Example 1 was replaced by a Green pigment dispersion.

(제조예 6: 청색 감방사선성 조성물의 조제)(Preparation Example 6: Preparation of blue sensitive radiation-sensitive composition)

실시예 1의 Red 안료 분산액을 Blue 안료 분산액에 치환한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 성분을 이용하여, 청색 감방사선성 조성물을 조제했다.A blue radiation-sensitive composition was prepared using the same components as in Example 1, except that the Red pigment dispersion of Example 1 was replaced by a Blue pigment dispersion.

(제조예 7: 하지재 A)(Production Example 7: Base material A)

WO2010/128661을 참고로, m-페닐렌다이아민(28.94g, 0.27mol, Aldrich사제), 2,4,6-트라이클로로-1,3,5-트리아진(36.91g, 0.20mol, 도쿄 가세이 고교(주)제), 아닐린(56.53g, 0.6mol, 준세이 가가쿠(주)제)을 이용하여 합성을 행하여, 목적의 고분자 화합물 A를 46.12g 얻었다. 얻어진 고분자 화합물 A는 이하 구조 단위를 갖는 화합물이다. 고분자 화합물 A의 GPC에 의한 폴리스타이렌 환산으로 측정되는 중량 평균 분자량 Mw는 4,900, 다분산도 Mw/Mn은 2.21이었다.M-phenylene diamine (28.94 g, 0.27 mol, manufactured by Aldrich), 2,4,6-trichloro-1,3,5-triazine (36.91 g, 0.20 mol, Tokyo Kasei Co., (56.53 g, 0.6 mol, manufactured by Junsei Kagaku) to obtain 46.12 g of the desired polymeric compound A. The obtained polymeric compound A is a compound having a structural unit below. The polymer A had a weight average molecular weight Mw of 4,900 and a polydispersity Mw / Mn of 2.21 as measured by GPC in terms of polystyrene.

[화학식 32](32)

Figure pct00032
Figure pct00032

공기하, 10mL 가지형 플라스크에 상기에서 얻어진 고분자 화합물 A를 2.0g 첨가하고, 용매로서 사이클로헥산온 8.0g을 첨가하여, 실온에서 완전하게 용해시켜, 고분자 화합물 A의 20질량% 사이클로헥산온 용액을 조제했다.2.0 g of the polymeric compound A obtained above was added to a 10 mL eggplant-shaped flask, 8.0 g of cyclohexanone was added as a solvent, and the solution was completely dissolved at room temperature to obtain a 20% by mass cyclohexanone solution of Polymer Compound A It was prepared.

다음으로, 이 20질량% 사이클로헥산온 용액 1.0g에 사이클로헥산온 0.94g을 첨가하고, 그 후, 가교제로서 에폭시기를 함유하는 화합물인 에포리드 GT-401(다이셀 가가쿠 고교(주)제)의 10질량% 사이클로헥산온 용액 0.20g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 10.0질량부)을 첨가했다. 추가로, 밀착 촉진제로서 3-글라이시독시프로필트라이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교(주)제)의 5질량% 사이클로헥산온 용액 0.040g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 1질량부)을 첨가하고, 계면활성제로서, 상품명 메가팍 R-30(DIC(주)제)의 0.5질량% 사이클로헥산온 용액 0.040g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 0.1질량부)을 첨가하여, 용액이 균일하게 될 때까지 3시간 교반했다. 교반 후, 용질은 완전하게 용해되어, 담황색 투명 용액으로서, 고형분의 총 질량%가 10질량%인 폴리머 바니시(하지재 A)를 얻었다.Next, 0.94 g of cyclohexanone was added to 1.0 g of this 20 mass% cyclohexanone solution, and then Epolide GT-401 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) which is an epoxy group-containing compound as a crosslinking agent, (10.0 parts by mass relative to 100 parts by mass of the solid content of the polymer) of 10 mass% cyclohexanone solution of 10 mass%. Further, 0.040 g of a 5 mass% cyclohexanone solution of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as an adhesion promoter (100 parts by mass of the solid content of the polymer was 1 And 0.040 g of a 0.5 mass% cyclohexanone solution (trade name: Megapak R-30, manufactured by DIC Corporation) (0.1 mass part based on 100 mass parts of polymer solid content) was added as a surfactant And the mixture was stirred for 3 hours until the solution became homogeneous. After stirring, the solute was completely dissolved to obtain a polymer varnish (foundation material A) having a total mass% of solid content of 10% by mass as a pale yellow transparent solution.

(제조예 8: 하지재 B)(Production Example 8: Foundation material B)

WO2010/128661을 참고로, 9,9-비스(4-아미노페닐)플루오렌[2](6.48g, 0.018mol), 2,4,6-트라이클로로-1,3,5-트리아진[1](4.06g, 0.022mol), 아닐린(5.64g, 0.06mol)을 이용하여 합성을 행하여, 고분자 화합물 B를 10.1g 얻었다. 고분자 화합물 B는 이하 구조 단위를 갖는 화합물이다. 고분자 화합물 B의 GPC에 의한 폴리스타이렌 환산으로 측정되는 중량 평균 분자량 Mw는 2,200, 다분산도 Mw/Mn은 1.51이었다.(4-aminophenyl) fluorene [2] (6.48 g, 0.018 mol), 2,4,6-trichloro-1,3,5-triazine [1 ] (4.06 g, 0.022 mol) and aniline (5.64 g, 0.06 mol) to obtain 10.1 g of the polymer compound B. [ Polymer Compound B is a compound having the following structural unit. Polymer Compound B had a weight average molecular weight Mw of 2,200 and a polydispersity Mw / Mn of 1.51 as measured by GPC in terms of polystyrene.

[화학식 33](33)

Figure pct00033
Figure pct00033

공기하, 10mL 가지형 플라스크에 상기에서 얻어진 고분자 화합물 B 2.0g을 첨가하고, 용매로서 사이클로헥산온 8.0g을 첨가하여, 실온에서 완전하게 용해시켜, 고분자 화합물 B의 20질량% 사이클로헥산온 용액을 조제했다.2.0 g of the polymer compound B obtained above was added to a 10 mL eggplant-shaped flask, 8.0 g of cyclohexanone as a solvent was added, and the solution was completely dissolved at room temperature to obtain a 20% by mass cyclohexanone solution of Polymer Compound B It was prepared.

다음으로, 이 20질량% 사이클로헥산온 용액 1.0g에, 사이클로헥산온 0.72g을 첨가하고, 그 후, 가교제로서 에폭시기를 함유하는 화합물인 에포리드 GT-401(다이셀 가가쿠 고교(주)제)의 10질량% 사이클로헥산온 용액 0.15g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 7.5질량부)을 첨가했다. 추가로, 밀착 촉진제로서 3-글라이시독시프로필트라이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교(주)제)의 2질량% 사이클로헥산온 용액 0.10g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 1질량부)을 첨가하고, 계면활성제로서, 상품명 메가팍 R-30(DIC(주)제)의 0.1질량% 사이클로헥산온 용액 0.20g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 0.1질량부)을 첨가하여, 용액이 균일하게 될 때까지 3시간 교반했다. 교반 후, 용질은 완전하게 용해되어, 무색 담황색 용액으로서, 고형분의 총 질량%가 10질량%인 폴리머 바니시(하지재 B)를 얻었다.Next, 0.72 g of cyclohexanone was added to 1.0 g of the 20% by mass cyclohexanone solution, and thereafter, a mixture of Epolide GT-401 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), which is an epoxy group- ) Of cyclohexanone solution (7.5 parts by mass relative to 100 parts by mass of the solid content of the polymer) was added. Further, 0.10 g of a 2 mass% cyclohexanone solution of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as an adhesion promoter (the solid content of the polymer was adjusted to 1 , And 0.20 g of a 0.1 mass% cyclohexanone solution (trade name: Megapak R-30, manufactured by DIC Corporation) of 0.1 mass part based on 100 mass parts of the solid content of the polymer) was added as a surfactant And the mixture was stirred for 3 hours until the solution became homogeneous. After stirring, the solute was completely dissolved to obtain a polymer varnish (foundation material B) having a total mass% of solid content of 10 mass% as a colorless pale yellow solution.

(제조예 9: 하지재 C)(Production Example 9: Foundation material C)

공기하, 10mL 가지형 플라스크에 상기에서 얻어진 고분자 화합물 B 2.0g을 첨가하고, 용매로서 사이클로헥산온 8.0g을 첨가하여, 실온에서 완전하게 용해시켜, 고분자 화합물 B의 20질량% 사이클로헥산온 용액을 조제했다.2.0 g of the polymer compound B obtained above was added to a 10 mL eggplant-shaped flask, 8.0 g of cyclohexanone as a solvent was added, and the solution was completely dissolved at room temperature to obtain a 20% by mass cyclohexanone solution of Polymer Compound B It was prepared.

다음으로, 이 20질량% 사이클로헥산온 용액 1.0g에 사이클로헥산온 0.72g을 첨가하고, 그 후, 가교제로서 블록화 아이소사이아네이트를 함유하는 화합물인 VESTAGON B 1065(데구사 AG제)의 10질량% 사이클로헥산온 용액 0.10g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 5질량부)을 첨가했다. 추가로, 밀착 촉진제로서 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트라이메톡시실레인(신에쓰 가가쿠 고교(주)제)의 2질량% 사이클로헥산온 용액 0.10g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 1질량부)을 첨가하고, 계면활성제로서, 상품명 메가팍 R-30(DIC(주)제)의 0.1질량% 사이클로헥산온 용액 0.20g(폴리머의 고형분을 100질량부로 한 것에 대하여 0.1질량부)을 첨가하여, 용액이 균일하게 될 때까지 3시간 교반했다. 교반 후, 용질은 완전하게 용해되어, 무색 담황색 용액으로서, 고형분의 총 질량%가 10질량%인 폴리머 바니시(하지재 C)를 얻었다.Next, 0.72 g of cyclohexanone was added to 1.0 g of the 20 mass% cyclohexanone solution, and then 10 mass parts of VESTAGON B 1065 (manufactured by Degussa AG), which is a compound containing blocked isocyanate, as a crosslinking agent % Cyclohexanone solution (5 parts by mass relative to 100 parts by mass of the solid content of the polymer) was added. Further, 0.10 g of a 2% by mass cyclohexanone solution of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as an adhesion promoter (solid content of the polymer was 100 1 part by mass with respect to the mass part) was added and 0.20 g of a 0.1% by mass cyclohexanone solution of a trade name Megapak R-30 (manufactured by DIC Corporation) (the solid content of the polymer was changed to 100 parts by mass 0.1 part by mass), and the mixture was stirred for 3 hours until the solution became homogeneous. After stirring, the solute was completely dissolved to obtain a polymer varnish (foundation material C) having a total mass% of solid content of 10 mass% as a colorless pale yellow solution.

<실시예 1~9, 비교예 1~3>&Lt; Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 3 >

8인치 실리콘 웨이퍼 상에, 하지재 A~C 또는 CT-2010(후지필름 일렉트로닉 머티리얼즈(주)제)을 스핀 코트로 균일하게 도포하여 도포막을 형성하고, 형성된 도포막을 150℃의 핫플레이트에서 2분간, 추가로 300℃의 핫플레이트에서 5분간 가열 처리했다. 또한, 스핀 코트의 도포 회전수는, 상기 가열 처리 후의 도포막의 막 두께가 약 0.4μm가 되도록 조정했다.The substrate A to C or CT-2010 (manufactured by FUJIFILM ELECTRONICS MATERIALS CO., LTD.) Was evenly coated on an 8-inch silicon wafer by spin coating to form a coating film. Minute, and then further heat-treated for 5 minutes on a hot plate at 300 ° C. The spinning speed of the spin coat was adjusted so that the film thickness of the coating film after the heat treatment was about 0.4 mu m.

이상과 같이 하여, 하지층 구비 실리콘 웨이퍼를 얻었다.Thus, a silicon wafer with a base layer was obtained.

다음으로, 상기에서 제조한 착색 감방사선성 조성물(적색 감방사선성 조성물, 청색 감방사선성 조성물, 또는 녹색 감방사선성 조성물)을, 상기에서 얻은 하지층 구비 실리콘 웨이퍼의 하지층 상에 건조 후의 막 두께가 0.6μm가 되도록 스핀 코터를 이용하여 도포하고, 100℃의 핫플레이트를 이용하여 120초간 가열 처리(프리베이크)를 행했다.Next, the coloring and radiation-sensitive composition (red radiation-sensitive composition, blue radiation-sensitive composition or green radiation-sensitive composition) prepared above was applied onto the base layer of the base layer- (Thickness: 0.6 mu m) using a spin coater, and subjected to heat treatment (prebaking) using a hot plate at 100 DEG C for 120 seconds.

다음으로, i선 스테퍼 노광 장치 FPA-3000i5+(Canon(주)제)를 사용하여, 패턴 노광은, 21행×19열의 매트릭스상으로 배열된 패턴의 합계 399개소에 행했다. 이 때, 매트릭스 중 상기 21행은, 최소 노광량을 500J/m2로 하여, 500J/m2 간격으로 1행마다 노광량을 증가시킨 조건으로 되어 있으며, 한쪽의 상기 19열은, 초점 거리 최적값(Foucus 0.0μm)을 중심으로 하여 0.1μm 간격으로 초점 거리를 변화시킨 조건으로 되어 있다. 즉, 중앙 1열을 초점 거리 최적값으로 하고, 1열마다 초점 거리를 변화시킨 조건으로 하여, 네 변이 1.1μm인 정사각형 픽셀 패턴이 4mm×3mm의 범위 내에 배열하도록 화상 형성되는 포토마스크를 이용했다.Next, using i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), pattern exposure was performed at 399 locations in total of patterns arranged in a matrix of 21 rows x 19 columns. In this case, the 21 rows of the matrix, which is in that condition to increase the exposure amount for each and the minimum exposure dose to 500J / m 2, 500J / m in two intervals row, the 19th column of the one side, the focal length optimum value ( Foucus 0.0 mu m) at the center of the focal length of 0.1 mu m. That is, a photomask was used in which a square pixel pattern with four sides of 1.1 m was formed so as to be arranged in a range of 4 mm x 3 mm with the center one row being a focal length optimum value and the focal length being changed for each row .

그 후, 노광된 도포막이 형성되어 있는 실리콘 웨이퍼를 스핀·샤워 현상기(DW-30형, (주)케미트로닉스제)의 수평 회전 테이블 상에 재치하고, CD-2060(후지필름 일렉트로닉 머티리얼즈(주)제)을 이용하여 23℃에서 60초간 패들 현상을 행하여, 실리콘 웨이퍼 상에 착색층(착색 패턴)을 형성했다.Thereafter, the silicon wafer on which the exposed coated film was formed was placed on a horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by KEMITRONICS Co., Ltd.), and a CD-2060 (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., ) For 60 seconds at 23 deg. C to form a colored layer (colored pattern) on a silicon wafer.

착색층이 형성된 실리콘 웨이퍼를 순수로 린스 처리를 행하고, 그 후 스프레이 건조했다.The silicon wafer on which the colored layer was formed was rinsed with pure water, and then spray-dried.

추가로, 200℃의 핫플레이트를 이용하여 300초간 가열 처리(포스트베이크)를 행하여, 착색제에 대응한 착색 화소를 갖는 실리콘 웨이퍼(컬러 필터)를 얻었다.Further, heat treatment (post-baking) was performed for 300 seconds using a hot plate at 200 占 폚 to obtain a silicon wafer (color filter) having colored pixels corresponding to the coloring agent.

또한, 각 실시예 및 비교예에서 사용한 하지층 재료 및 착색 감방사선성 조성물의 조합은 후술하는 표 1에 정리하여 나타낸다. 또, 하지층의 굴절률은, 상술한 방법(장치)으로 측정했다.The combination of the base layer material and the coloring and radiation-sensitive composition used in each of the Examples and Comparative Examples is summarized in Table 1 described later. The refractive index of the ground layer was measured by the above-described method (apparatus).

<평가><Evaluation>

(패턴 형성성)(Pattern forming property)

상기에서 얻어진 웨이퍼 상에 형성되어 있는 착색 패턴을, 측장 SEM((주) 히타치 세이사쿠쇼제 S-9260 주사 전자 현미경)을 이용하여 측정하고, 노광부의 착색 패턴의 치수와 미노광부의 현상 잔부의 정도를 SEM상으로 평가했다. 노광부와 미노광부와의 사이의 현상액 용해도 차가 있으며, 노광부가 마스크 디자인 대로의 치수로 화상 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사가 없는 것이 바람직하다. 결과를 하기 표에 나타낸다. 평가 기준은, 하기에 나타내는데, A, B는 실용 레벨이다.The coloring pattern formed on the wafer thus obtained was measured using a measuring SEM (S-9260 Scanning Electron Microscope, Hitachi SEISAKUSHO CO., LTD.), And the dimension of the coloring pattern of the exposed portion and the degree of the remaining unexposed portion of the unexposed portion Was evaluated on a SEM. It is preferable that there is a difference in solubility of the developing solution between the exposed portion and the unexposed portion, that the exposed portion is image-formed with a dimension according to the mask design, and that there is no dissolved residue in the unexposed portion. The results are shown in the following table. The evaluation criteria are shown below, where A and B are practical levels.

(평가 기준)(Evaluation standard)

A: 노광부는 화상이 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사는 없으며, 패턴 형상은 양호한 직사각형이었다.A: The exposed portion of the image was formed at a ratio of 1: 1 with respect to the mask size, the unexposed portion had no dissolved residue, and the pattern had a good rectangular shape.

B: 노광부는 화상이 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사는 보이지 않았지만, 패턴 형상에 약간 흐트러짐이 있었다.B: The exposed portion of the image was formed at a ratio of 1: 1 with respect to the mask size, and no residue remained in the unexposed portion, but the pattern was slightly disordered.

C: 노광부에서는 패턴은 형성되어 있지만, 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있지 않거나, 혹은 미노광부에 현상 불량이 보였다.C: The pattern was formed in the exposed portion, but the pattern was not formed at a ratio of 1: 1 with respect to the mask size, or the development failure was observed in the unexposed portion.

D: 미노광부가 거의 용해되지 않고, 노광부도 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있지 않았다.D: The unexposed portion was hardly dissolved, and the exposed portion was not formed at a ratio of 1: 1 with respect to the mask size.

(패턴 밀착성)(Pattern adhesion)

웨이퍼 상에 형성되어 있는 착색 패턴을, 측장 SEM((주) 히타치 세이사쿠쇼제 S-9260 주사 전자 현미경)을 이용하여 관찰하여, 노광부의 밀착성을 광학 현미상으로 평가했다. 마스크 사이즈와 동일한 패턴 사이즈가 얻어지는 노광량으로 패턴 박리가 없는 것이 바람직하다. 결과를 하기 표에 나타낸다. 평가 기준은, 하기에 나타내는데, A, B는 실용 레벨이다.The coloring pattern formed on the wafer was observed using a measurement SEM (S-9260 Scanning Electron Microscope, Hitachi Seisakusho Co., Ltd.), and the adhesion of the exposed portion was evaluated in terms of optical microscope. It is preferable that there is no pattern peeling at an exposure amount at which a pattern size equal to the mask size is obtained. The results are shown in the following table. The evaluation criteria are shown below, where A and B are practical levels.

<평가 기준><Evaluation Criteria>

A: 패턴 박리 전혀 보이지 않는다.A: Pattern peeling is not seen at all.

B: 패턴 박리가 1~5화소 보인다.B: The pattern peeling is 1 to 5 pixels.

C: 패턴 박리가 6~100화소 보인다.C: The pattern peeling is 6 ~ 100 pixels.

D: 패턴 박리가 101화소 이상 보인다.D: Pattern peeling is visible at 101 pixels or more.

각 실시예 및 비교예의 평가 결과를, 표 1에 정리하여 나타낸다.The evaluation results of the examples and the comparative examples are summarized in Table 1.

또한, 표 1 중, "Red"는 "적색 감방사선성 조성물", "Green"은 "녹색 감방사선성 조성물", "Blue"는 "청색 감방사선성 조성물"을 의도한다.In Table 1, "Red ", " Red radiation sensitive composition "," Green ", and "Blue radiation sensitive composition"

[표 1][Table 1]

Figure pct00034
Figure pct00034

표 1에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서는, 착색층의 밀착성이 우수함과 함께, 잔사의 발생도 억제되고 있었다.As shown in Table 1, in the production method of the color filter of the present invention, the adhesion of the colored layer was excellent, and the occurrence of residue was also suppressed.

한편, 비교예에 나타내는 바와 같이, 소정의 굴절률을 나타내지 않는 하지층을 사용한 경우는, 원하는 효과가 얻어지지 않았다.On the other hand, as shown in the comparative example, when a ground layer not showing a predetermined refractive index was used, a desired effect was not obtained.

상술한 하지재 A~C로 형성되는 하지층을 이용하여, 상술한 도 1의 양태의 유기 EL 표시 장치(마이크로 OLED)를 제작했다. 보다 구체적으로는, 기판(유리 기판) 상에, 진공 증착법에 의하여, 제1 전극, 발광층 및 제2 전극으로 이루어지는 유기 EL 소자를 복수 제작했다. 또한, 도 1에 나타내는, 유기 EL 소자 간의 피치(P)는 2μm였다. 다음으로, 보호층을 배치하고, 보호층 상에 상술한 하지재 A를 이용하여, 상기 실시예와 동일한 순서에 따라, 하지층을 제작했다. 또한, 상술한 적색 감방사선성 조성물, 녹색 감방사선성 조성물 및 청색 감방사선성 조성물을 이용하여, 각 유기 EL 소자에 대향하는 위치에 적색 착색층, 녹색 착색층 및 청색 착색층(각 착색층의 크기 2μm×2μm)을 형성하고, 추가로, 그 위에 밀봉용 기판을 배치했다.The above-described organic EL display device (micro OLED) of the embodiment of Fig. 1 was fabricated by using the ground layer formed of the ground materials A to C described above. More specifically, a plurality of organic EL devices each comprising a first electrode, a light emitting layer and a second electrode were formed on a substrate (glass substrate) by a vacuum evaporation method. In addition, the pitch P between the organic EL elements shown in Fig. 1 was 2 m. Next, a protective layer was disposed, and a ground layer was formed on the protective layer using the ground material A described above in the same manner as in the above example. Further, by using the red radiation sensitive composition, the green radiation sensitive composition and the blue radiation sensitive composition described above, a red coloring layer, a green coloring layer and a blue coloring layer Size 2 占 퐉 占 2 占 퐉), and further, a sealing substrate was disposed thereon.

얻어진 유기 EL 표시 장치 중에 있어서, 각 착색층은 우수한 밀착성을 나타냄과 함께, 패턴 형성성도 우수했다.In each of the resulting organic EL display devices, each coloring layer exhibited excellent adhesion and excellent pattern formation properties.

또한, 상기 하지재 A 대신에, 하지재 B 및 C를 사용해도, 마찬가지로 원하는 효과가 얻어졌다.Also, instead of the above-mentioned foundation material A, desired effects can be similarly obtained by using the foundation materials B and C.

하지재 A에 있어서, NaCl을 50질량ppm, 30질량ppm, 또는 5질량ppm 첨가한 것을 각각 하지재 A-1, A-2, A-3으로 했다.The base materials A-1, A-2 and A-3 were prepared by adding 50 mass ppm, 30 mass ppm, or 5 mass ppm of NaCl to the base material A, respectively.

하지재 B에 있어서, NaCl을 50질량ppm, 30질량ppm, 또는 5질량ppm 첨가한 것을 각각 하지재 B-1, B-2, B-3으로 했다.The base materials B-1, B-2, and B-3 were prepared by adding 50 mass ppm, 30 mass ppm, or 5 mass ppm of NaCl in the foundation material B, respectively.

하지재 C에 있어서, NaCl을 50질량ppm, 30질량ppm, 또는 5질량ppm 첨가한 것을 각각 하지재 C-1, C-2, C-3으로 했다.The materials C-1, C-2 and C-3 were prepared by adding 50 mass ppm, 30 mass ppm, or 5 mass ppm of NaCl to ground material C, respectively.

이들 하지재를 이용한 것 이외에는, 실시예 1~9와 동일하게 하여 하지층 및 컬러 필터를 형성했다. 그 결과, 하지층의 결함의 발생이 저감된 것을 확인할 수 있었다.A ground layer and a color filter were formed in the same manner as in Examples 1 to 9 except that these ground materials were used. As a result, it was confirmed that the occurrence of defects in the ground layer was reduced.

하지재 A에 있어서, 고굴절률 저분자 화합물(플루오렌 구조를 갖는 저분자 화합물(상기 식 (B)))을 고분자 화합물 A 전체 질량에 대하여, 10질량%, 7질량%, 또는 5질량% 추가로 첨가하여, 각각 하지재 A-4, A-5, A-6으로 했다.(10% by mass, 7% by mass or 5% by mass) of the high refractive index low molecular weight compound (low molecular weight compound having fluorene structure (formula (B) 4, A-5, and A-6, respectively.

하지재 B에 있어서, 고굴절률 저분자 화합물(플루오렌 구조를 갖는 저분자 화합물(상기 식 (B)))을 고분자 화합물 A 전체 질량에 대하여, 10질량%, 7질량%, 또는 5질량% 추가로 첨가하여, 각각 하지재 B-4, B-5, B-6으로 했다.10 mass%, 7 mass%, or 5 mass% of the high refractive index low molecular weight compound (the low molecular weight compound having fluorene structure (formula (B))) is further added 4, B-5, and B-6, respectively.

하지재 C에 있어서, 고굴절률 저분자 화합물(플루오렌 구조를 갖는 저분자 화합물(상기 식 (B)))을 고분자 화합물 A 전체 질량에 대하여, 10질량%, 7질량%, 또는 5질량% 추가로 첨가하여, 각각 하지재 C-4, C-5, C-6으로 했다., 10 mass%, 7 mass%, or 5 mass% of the high refractive index low molecular weight compound (a low molecular weight compound having a fluorene structure (the above formula (B))) C-4, C-5, and C-6, respectively.

이들 하지재를 이용한 것 이외에는, 실시예 1~9와 동일하게 하여 하지층 및 컬러 필터를 형성했다. 그 결과, 하지층의 굴절률이 향상되는 것을 확인할 수 있었다.A ground layer and a color filter were formed in the same manner as in Examples 1 to 9 except that these ground materials were used. As a result, it was confirmed that the refractive index of the base layer was improved.

10 기판
20 유기 EL 소자
30 보호막
40 하지층
50 착색층
50R 적색 착색층
50G 녹색 착색층
50B 청색 착색층
60 밀봉용 기판
100 유기 EL 표시 장치(마이크로 OLED)
10 substrate
20 organic EL device
30 Shield
40 base layer
50 colored layer
50R red coloring layer
50G green colored layer
50B blue coloring layer
60 sealing substrate
100 organic EL display device (micro OLED)

Claims (12)

지지체 상에, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층을 형성하는 하지층 형성 공정과,
상기 하지층 상에, (A) 착색제, (B) 중합 개시제, 및 (C) 중합성 화합물을 포함하는, 착색 감방사선성 조성물을 이용하여 착색층을 형성하는 착색층 형성 공정
을 포함하는, 컬러 필터의 제조 방법.
A base layer forming step of forming a base layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm on a support,
A coloring layer forming step of forming a coloring layer on the base layer by using a coloring and radiation sensitive composition comprising (A) a colorant, (B) a polymerization initiator, and (C)
Wherein the color filter comprises a plurality of color filters.
청구항 1에 있어서,
상기 착색제가 안료이며, 그 함유량이, 상기 착색 감방사선성 조성물의 전체 질량에 대하여, 45질량% 이상인, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the coloring agent is a pigment and the content thereof is 45 mass% or more with respect to the total mass of the coloring and radiation-sensitive composition.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 하지층이, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 유기 화합물을 함유하는, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to claim 1 or 2,
Wherein the base layer contains an organic compound having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하지층이 트리아진환 함유 중합체를 함유하는, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the base layer contains a triazine ring-containing polymer.
청구항 4에 있어서,
상기 트리아진환 함유 중합체가, 식 (1A)~식 (4A)로 나타나는 반복 단위로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는, 컬러 필터의 제조 방법.
[화학식 1]
Figure pct00035

(식 (1A) 중, R1A 및 R2A는, 서로 독립적으로, 수소 원자, 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 또는 아랄킬기를 나타낸다. Ar은, 방향환 및 복소환 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 포함하는 2가의 유기기를 나타낸다. *는 결합 위치를 나타낸다.
식 (2A) 중, R1A 및 R2A는, 서로 독립적으로, 수소 원자, 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 또는 아랄킬기를 나타낸다. Ar은, 방향환 및 복소환 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 포함하는 2가의 유기기를 나타낸다. R3A는, 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알킬아미노기, 알콕시실릴기 함유 알킬아미노기, 아랄킬아미노기, 아릴아미노기, 알콕시기, 아랄킬옥시기 또는 아릴옥시기를 나타낸다. *는 결합 위치를 나타낸다.
식 (3A) 중, Ar은, 방향환 및 복소환 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 포함하는 2가의 유기기를 나타낸다. *는 결합 위치를 나타낸다.
식 (4A) 중, R4A~R9A는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, W로 치환되어 있어도 되는 페닐기, 또는 W로 치환되어 있어도 되는 나프틸기를 나타낸다. Y1 및 Y2는, 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 탄소수 1~10의 알킬기를 나타낸다. Z1 및 Z2는, 각각 독립적으로, 탄소수 1~10의 알킬렌기, 또는 W로 치환되어 있어도 되는 페닐렌기를 나타낸다. W는, 탄소수 1~10의 알킬기, 탄소수 1~10의 알콕시기, 또는 하이드록시기를 나타내고, n은, 0 또는 1 이상의 정수를 나타낸다. *는 결합 위치를 나타낸다.)
The method of claim 4,
Wherein the triazine ring-containing polymer comprises at least one kind selected from the group consisting of repeating units represented by formulas (1A) to (4A).
[Chemical Formula 1]
Figure pct00035

(In the formula (1A), R 1A and R 2A independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group, Ar represents an aromatic ring and / or a heterocyclic ring, And * indicates a bonding position.
In formula (2A), R 1A and R 2A independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group or an aralkyl group. Ar represents a divalent organic group containing one or both of an aromatic ring and a heterocyclic ring. R 3A represents an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkylamino group, an alkoxysilyl group-containing alkylamino group, an aralkylamino group, an arylamino group, an alkoxy group, an aralkyloxy group or an aryloxy group. * Indicates the binding position.
In the formula (3A), Ar represents a divalent organic group containing at least one of an aromatic ring and a heterocyclic ring. * Indicates the binding position.
In formula (4A), R 4A to R 9A each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, a phenyl group optionally substituted with W, Naphthyl group. Y 1 and Y 2 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. Z 1 and Z 2 each independently represent an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a phenylene group which may be substituted with W; W represents an alkyl group of 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 10 carbon atoms, or a hydroxy group, and n represents 0 or an integer of 1 or more. * Indicates the binding position.)
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
상기 하지층 중에 있어서의 상기 트리아진환 함유 중합체의 함유량이, 상기 하지층 전체 질량에 대하여, 40질량% 이상인, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to claim 4 or 5,
Wherein the content of the triazine ring-containing polymer in the ground layer is 40 mass% or more with respect to the total mass of the ground layer.
청구항 4 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 트리아진환 함유 중합체의 중량 평균 분자량이 1000~100000인, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to any one of claims 4 to 6,
Wherein the triazine ring-containing polymer has a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000.
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하지층 중에 금속 입자 또는 금속 산화물 입자가 실질적으로 포함되지 않는, 컬러 필터의 제조 방법.
The method according to any one of claims 1 to 7,
Wherein the base layer is substantially free of metal particles or metal oxide particles.
컬러 필터에 포함되는 착색층의 하지층을 형성하기 위하여 사용되는 하지층 형성용 조성물로서, 트리아진환 함유 중합체를 함유하는 하지층 형성용 조성물.A composition for forming a ground layer, which is used for forming a ground layer of a colored layer contained in a color filter, comprising a triazine ring-containing polymer. 청구항 9에 있어서,
추가로, 고굴절률 저분자 화합물로서 플루오렌 구조를 갖는 화합물을 함유하는, 하지층 형성용 조성물.
The method of claim 9,
Further, the composition for forming a ground layer contains a compound having a fluorene structure as a high refractive index low molecular compound.
청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
추가로, NaCl을 함유하는, 하지층 형성용 조성물.
The method according to claim 9 or 10,
Further, the composition for forming the ground layer contains NaCl.
유기 EL 소자와, 하지층과, 착색층을 갖는 유기 EL 표시 장치로서,
상기 하지층이, 파장 633nm에 있어서의 굴절률이 1.60 이상인 하지층인, 유기 EL 표시 장치.
An organic EL display device having an organic EL element, a ground layer, and a colored layer,
Wherein the base layer is a ground layer having a refractive index of 1.60 or more at a wavelength of 633 nm.
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