KR20150117472A - Nano-Micro probe and manufacturing method of the same - Google Patents

Nano-Micro probe and manufacturing method of the same Download PDF

Info

Publication number
KR20150117472A
KR20150117472A KR1020140042963A KR20140042963A KR20150117472A KR 20150117472 A KR20150117472 A KR 20150117472A KR 1020140042963 A KR1020140042963 A KR 1020140042963A KR 20140042963 A KR20140042963 A KR 20140042963A KR 20150117472 A KR20150117472 A KR 20150117472A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
micropiller
substrate
micro
forming
pair
Prior art date
Application number
KR1020140042963A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101585197B1 (en
Inventor
장재은
전병옥
최홍수
Original Assignee
재단법인대구경북과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인대구경북과학기술원 filed Critical 재단법인대구경북과학기술원
Priority to KR1020140042963A priority Critical patent/KR101585197B1/en
Publication of KR20150117472A publication Critical patent/KR20150117472A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101585197B1 publication Critical patent/KR101585197B1/en

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/04—Electrodes
    • A61N1/05—Electrodes for implantation or insertion into the body, e.g. heart electrode
    • A61N1/0551—Spinal or peripheral nerve electrodes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
    • A61B5/6846—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive
    • A61B5/6847—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive mounted on an invasive device
    • A61B5/685—Microneedles
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/04—Electrodes
    • A61N1/0404—Electrodes for external use
    • A61N1/0408—Use-related aspects
    • A61N1/0456—Specially adapted for transcutaneous electrical nerve stimulation [TENS]
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/18—Applying electric currents by contact electrodes
    • A61N1/32—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents
    • A61N1/36—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents for stimulation
    • A61N1/3605—Implantable neurostimulators for stimulating central or peripheral nerve system

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Neurology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Neurosurgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Orthopedic Medicine & Surgery (AREA)
  • Cardiology (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

The present invention relates to a probe, and a method for manufacturing the probe. The probe: has a complex structure of nanoneedles and micropillars; can be connected to a device operated in a micro-unit; and can be used as an invasive probe in a biotechnology field having curves. According to an embodiment of the present invention, a nano-micro probe comprises: a substrate which is bent when an external force is applied; at least one pair of micropillars formed on one side of the substrate at predetermined intervals which are narrower or wider than the intended intervals according to the bending of the substrate; and nanoneedles, each of which is formed on the pair of micropillars.

Description

나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법 {Nano-Micro probe and manufacturing method of the same}Nano-microprobe and method for manufacturing the same

본 발명은 나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있는 프루브 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a nano-microprobe and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a nano-microprobe having a composite structure of a nanodevice and a micropiller, And a method for producing the same.

최근 고령화되고 있는 사회에서, 알츠하이머, 헌팅턴 무도병 등과 같은 신경과 관련된 여러 가지 질병의 광범위한 확산이 그 어느 때보다 더 우려되고 있으며, 이에 대한 치료방법을 강구하는 것이 사회적으로 매우 중요한 과제로 대두되고 있다.In the recent aging society, the widespread spread of various neurological diseases such as Alzheimer's disease and Huntington's chorea is more concerned than ever, and it is becoming a socially important task to take care of it.

이와 같은 신경질환을 효과적으로 치료할 수 있는 방법 중 하나로, 신경소자를 이용하는 방법이 주목받고 있으며, 이러한 치료방법이 의학적으로 보다 더 활발하게 채택되고 있다.As a method for effectively treating such neurological diseases, a method of using a neural element has been attracting attention, and such a therapeutic method is being actively adopted more medically.

전술한 신경소자를 이용한 치료방법이라 함은 일반적으로 프루브(Probe, 탐침 전극)를 신경세포가 위치한 곳에 삽입하여 그 신호를 감지 및 자극하도록 하는 것을 말한다.The treatment method using the above-described neuron device generally refers to inserting a probe (probe electrode) into a place where a neuron is located to sense and stimulate the signal.

한편, 상기 목적을 위한 여러 가지 프루브가 이미 개발되어 있는데 대표적으로 실리콘을 에칭하여 만든 실리콘 프루브를 들 수 있다.On the other hand, various probes for the above purpose have already been developed. Typically, silicon probes made by etching silicon are exemplified.

이러한 프루브들은 나노 또는 마이크로 크기로 개발되고 있는데, 나노 프루브의 경우에는 직경은 나노 단위이나, 길이가 수 마이크로 단위이며, 마이크로 프루브의 경우에는 길이는 수백 마이크로 단위이나, 직경이 수십 마이크로 단위여서, 실제 구동하는 마이크로 소자와의 결합이 어렵거나, 또는 수십 나노의 정교한 접촉이 어려운 한계가 있다.These probes are being developed in nano or micro size, nanoprobe diameters in nanometers, lengths in micrometers, microprobe lengths in the hundreds of micrometers, and diameters in the tens of microameters, There is a limit in that it is difficult to couple with a driving micro device or an elaborate contact of several tens of nanometers.

또한, 기존의 바이오 분야에서 사용되는 침습용 니들인 경우 사이즈가 마이크로 사이즈 이상으로 매우 크며, 딱딱한 기판에 제조되어 유연하고 굴곡이 있는 여러 생체 부위의 연결에 적합하지 않았다.
In addition, in the case of an existing needle biopsy needle, the size of the needle is very large, more than a micro size, and it is not suitable for connection of various living body parts which are manufactured on a rigid substrate and are flexible and curved.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있는 프루브 및 이의 제조방법을 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a biosensor- And a method for producing the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브는, 외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판; 상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러; 및 상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들을 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a micro-nano probe including: a substrate bent when an external force is applied; At least one pair of micro pillars formed at predetermined intervals on one surface of the substrate and narrowed or widened in accordance with bending of the substrate; And nanowires formed on the pair of micro pillars, respectively.

이때, 물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 영역에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어진다.At this time, when a physical external force acts on a region between the pair of micro pillars in the region of the substrate, the substrate is bent in a direction opposite to the direction in which the micro pillars are formed, so that the gap between the pair of micro pillars is widened.

반면, 물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러의 양 외측에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아진다.On the other hand, when a physical external force acts on both sides of the pair of micro pillars in the region of the substrate, the substrate is bent in the direction in which the micro pillars are formed, so that the interval between the pair of micro pillars becomes narrow.

한편, 전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 동일한 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어진다.On the other hand, when an electrical external force is applied, when a voltage of the same polarity is applied to the pair of micropillers, the substrate is bent in a direction opposite to the direction in which the micropiller is formed, thereby widening the interval between the pair of micropillers.

반면, 전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 서로 다른 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아진다.On the other hand, when an electrical external force is applied, when a voltage having a different polarity is applied to the pair of micropillars, the substrate is bent in a direction in which the micropiller is formed, so that the interval between the pair of micropillars becomes narrow.

이때, 상기 기판은 박막 형태의 절연체 또는 박막 형태의 금속으로 이루어질 수 있다.At this time, the substrate may be formed of an insulator or a metal in the form of a thin film.

또한, 상기 마이크로-나노 프루브는 상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들에 코팅되는 금속막을 더 포함할 수 있다.The micro-nano probe may further include a metal film coated on the micropiller and the nanodevice.

또한, 상기 마이크로-나노 프루브는 외부 전원과 연결되어 전원을 공급받으며, 외부 상기 필러와 접촉하거나, 상기 마이크로 필러와 인접하여 위치하는 전극을 더 포함할 수 있다.The micro-nano probe may further include an electrode connected to an external power source to receive power, and contacting the external filler or positioned adjacent to the micropiller.

이때, 상기 전극은 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링 또는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하여 위치할 수 있다.
At this time, the electrode may be attached to a metal ring surrounding a lower end of the micropiller or attached to a lower end of the micropiller.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브 제조방법은, 마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계; 상기 마이크로 필러 상에 나노 니들을 형성하는 단계; 상기 모판에 기판을 형성하는 단계; 및 식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하여 프루브를 제조하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a micro-nano probe, including: forming a base plate and a micropiller by etching a structure to be used as a micropiller; Forming a nanodevice on the micropiller; Forming a substrate on the base plate; And removing the base plate except for the micropiller by using an etching process to manufacture a probe.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브 제조방법은, 마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계; 상기 모판에 기판을 형성하는 단계; 식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하는 단계; 및 상기 마이크로 필러에 나노 니들을 형성하여 프루브를 제조하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a micro-nano probe, including: forming a base plate and a micropiller by etching a structure to be used as a micropiller; Forming a substrate on the base plate; Removing the base plate except for the micro-pillars using etching; And forming nanowires on the micropiller to prepare probes.

이와 같은 마이크로-나노 프루브 제조방법에 있어서, 상기 나노 니들을 형성하는 단계는 성장법 또는 식각법을 이용하여 상기 나노 니들을 형성하는 것일 수 있다.In the manufacturing method of the micro-nano probe, the step of forming the nanodevices may include forming the nanodevices using a growth method or an etching method.

또한, 상기 기판을 형성하는 단계는 상기 모판에 폴리머를 코팅하거나 금속 박막을 부착하여 상기 기판을 형성하는 것일 수 있다.The step of forming the substrate may include coating a polymer on the base plate or attaching a metal thin film to form the substrate.

한편, 상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들을 금속 재료로 코팅하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include, after the step of fabricating the probe, coating the micropiller and the nanodevice with a metallic material.

또한, 상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 접촉하거나 인접하는 전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include, after the step of forming the probe, forming an electrode in contact with or adjacent to the micropiller.

이때, 상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링을 형성하는 것일 수 있다.At this time, the step of forming the electrode may be to form a metal ring surrounding the lower end of the micropiller.

또한, 상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하는 금속 편을 형성하는 것일 수 있다.
In addition, the step of forming the electrode may include attaching a metal piece to the lower end of the micropiller or forming a metal piece adjacent thereto.

이와 같은 본 발명의 실시 예에 따르면, 프루브는 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the probe has a composite structure of a nanoneedle and a micropiller, and can be connected to a device that interlocks with a micro unit, and can be used as an invasive probe in a biosector.

또한, 본 발명에 따른 프루브는 기판이 구부러질 수 있기 때문에 나노 크기의 물질을 잡는데 효과적으로 이용할 수 있다.
In addition, the probe according to the present invention can be effectively used for capturing nanoscale materials because the substrate can be bent.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 나노-마이크로 프루브의 구조를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 나노-마이크로 프루브의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 나노-마이크로 프루브의 사용례이다.
도 4는 본 발명의 나노-마이크로 프루브를 제조하기 위한 순서를 도시한 일례이다.
도 5는 본 발명의 나노-마이크로 프루브를 제조하기 위한 순서를 도시한 다른 예이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 나노-마이크로 프루브의 다양한 실시 예를 도시한 도면들이다.
도 8 내지 도 11은 본 발명의 나노-마이크로 프루브의 벤딩 동작방법의 일례들이다.1 is a perspective view illustrating a structure of a nano-micro probe according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of the nano-microprobe shown in Fig.
Figure 3 is an example of the use of a nano-microprobe according to an embodiment of the present invention.
4 is an example showing a procedure for manufacturing the nano-microprobe of the present invention.
5 is another example showing a procedure for producing the nano-microprobe of the present invention.
Figures 6 and 7 show various embodiments of the nano-microprobe of the present invention.
8 to 11 are examples of a bending operation method of the nano-microprobe of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to a person skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. It is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 나노-마이크로 프루브의 구조를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 나노-마이크로 프루브의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 나노-마이크로 프루브의 사용례이다.1 is a front view of a nano-microprobe shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a nano- microprobe according to an embodiment of the present invention. This is an example of the use of a microprobe.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 나노-마이크로 프루브(100)는 기판(110) 상에 마이크로 필러(120)가 형성되고, 상기 다수의 마이크로 필러(120)에는 나노 니들(130)이 형성된 구조로 이루어지며, 도 1 및 도 2에는 다수의 나노-마이크로 프루브(100)가 배열된 구조가 도시되어 있다.1 and 2, a nano-microprobe 100 according to an embodiment of the present invention includes a micropiller 120 formed on a substrate 110 and a plurality of micropillars 120 1 and 2 show a structure in which a plurality of nano-micro probes 100 are arranged.

이와 같은 구조로 형성되는 나노-마이크로 프루브(100)는 독립적으로 사용될 수 있으며, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 어레이(array) 형태로 다양한 부위에 동시에 침습적으로 전기적 신호를 인가하거나 측정하는데 사용될 수 있다.The nano-microprobe 100 having such a structure can be used independently. As shown in FIGS. 1 and 2, the nano-microprobe 100 can simultaneously and invasively apply or measure electrical signals to various portions in the form of an array Can be used.

여기서, 상기 기판(110)은 유연성이 있어 구부러질 수 있는 재질로 이루어지며, 일례로 폴리머(Polymer)와 같은 절연체가 박막 형태로 형성된 것일 수 있으며, 또한 알루미늄과 같은 금속이 박막 형태로 형성된 것일 수 있다.Here, the substrate 110 is made of a flexible and bendable material, for example, an insulator such as a polymer may be formed in the form of a thin film, and a metal such as aluminum may be formed in a thin film form have.

상기 마이크로 필러(120)는 예를 들면 실리콘(Si)으로 형성될 수 있으며, 이 외에 금속, 반도체 물질, 산화물(Oxide), 여러 가지 화합물로 구성된 복합 물질로 형성될 수도 있다.The micropiller 120 may be formed of, for example, silicon (Si), or may be formed of a composite material composed of a metal, a semiconductor material, an oxide, and various compounds.

상기 나도 니들(130)은 성장법 또는 식각법 등에 의해 형성될 수 있으며, 재질로는 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube), 금속, 반도체, 산화물, 복합 물질 등 다양하게 사용할 수 있다.The needle 130 may be formed by a growth method, an etching method, or the like. The material may be a carbon nanotube (CNT), a metal, a semiconductor, an oxide, a composite material, or the like.

한편, 상기 기판(110)이 구부러질 수 있는 특성을 가지므로, 이웃하는 마이크로 필러(120) 및 나노 니들(130) 거리를 축소 또는 확장하는 것이 용이하다.Meanwhile, since the substrate 110 has a characteristic of bending, it is easy to reduce or extend the distance between the neighboring micro pillars 120 and the nano needle 130.

따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 이웃하는 마이크로 필러(120) 및 나노 니들(130)이 한 쌍을 이루도록 하여, 나노 크기의 물질을 잡는 데 이용할 수 있다.
Thus, as shown in FIG. 3, adjacent pairs of micro pillars 120 and nano needles 130 may be used to hold a nano-sized material.

도 4는 본 발명의 나노-마이크로 프루브를 제조하기 위한 순서를 도시한 일례이다.4 is an example showing a procedure for manufacturing the nano-microprobe of the present invention.

도 4(a)에 도시된 바와 같이, 마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체(10)를 마련한 후, 구조체(10)를 식각하여 도 4(b)에 도시된 바와 같이 모판(11)과 마이크로 필러(12)를 형성한다.4 (a), after the structure 10 to be used as a micropiller is provided, the structure 10 is etched to form the micropillar 11 and the micropiller 11 as shown in FIG. 4 (b) 12 are formed.

이때, 상기 구조체(10)를 식각하는 경우, 건식 식각 또는 습식 식각 모두 이용될 수 있다.At this time, when the structure 10 is etched, both dry etching and wet etching can be used.

이후, 도 4(c)에 도시된 바와 같이, 마이크로 필러(12)에 나노 니들(13)을 성장법 또는 식각법을 이용하여 형성한 후, 도 4(d)에서와 같이 상기 모판(11)에 기판(14)을 형성한 후, 도 4(e)에 도시되 바와 같이, 식각을 통하여 상기 마이크로 필러(12)를 제외한 상기 모판(11)을 제거함으로써, 도 1의 나노-마이크로 프루브를 제조하게 된다.4 (c), the nano needle 13 is formed on the micro pillar 12 by a growth method or an etching method. Then, as shown in Fig. 4 (d) As shown in Fig. 4 (e), the base plate 11 excluding the micropiller 12 is removed by etching to form the nano-microprobe of Fig. 1 .

한편, 상기 기판(14)은 상기 모판(11)에 폴리머를 코팅하여 형성할 수 있으며, 또한 상기 모판(11)에 금속 박막을 부착하여 형성할 수도 있다.The substrate 14 may be formed by coating a polymer on the base 11, or by attaching a metal thin film to the base 11.

또한, 상기 모판(11)과 상기 마이크로 필러(12)는 동일한 재질로 형성되어 있기 때문에, 상기 모판(11)을 제거하는 과정에서 상기 마이크로 필러(12)가 제거되지 않도록 유의해야 한다.
Since the base plate 11 and the micro pillars 12 are formed of the same material, care must be taken to prevent the micro pillars 12 from being removed in the process of removing the base plate 11.

도 5는 본 발명의 나노-마이크로 프루브를 제조하기 위한 순서를 도시한 다른 예이다.5 is another example showing a procedure for producing the nano-microprobe of the present invention.

도 5(a)에서와 같이, 마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체(20)를 마련한 후, 구조체(20)를 식각하여 도 5(b)에 도시된 바와 같이 모판(21)과 마이크로 필러(22)를 형성한다. 이후, 도 5(c)에서와 같이 상기 모판(21)에 기판(23)을 형성한 후, 식각을 이용하여, 도 5(d)에서와 같이 상기 마이크로 필러(22)를 제외한 상기 모판(21)을 제거한다.5 (a), after the structure 20 to be used as the micropiller is provided, the structure 20 is etched to form the bottom plate 21 and the micropiller 22 as shown in FIG. 5 (b) . 5 (c), the substrate 23 is formed on the base plate 21, and then the base plate 23 is removed by etching, as shown in FIG. 5 (d) ).

이때, 상기 기판(23)은 상기 모판(21)에 폴리머를 코팅하여 형성할 수 있으며, 또한 상기 모판(21)에 금속 박막을 부착하여 형성할 수도 있다.At this time, the substrate 23 may be formed by coating the base plate 21 with a polymer, or may be formed by attaching a metal thin film to the base plate 21.

또한, 상기 모판(21)과 상기 마이크로 필러(22)는 동일한 재질로 형성되어 있기 때문에, 상기 모판(21)을 제거하는 과정에서 상기 마이크로 필러(22)가 제거되지 않도록 유의해야 한다.In addition, since the base plate 21 and the micro pillars 22 are formed of the same material, care must be taken not to remove the micro pillars 22 in the process of removing the base plate 21.

이후, 도 5(e)에 도시된 바와 같이 상기 마이크로 필러(22)에 나노 니들(24)를 형성하여, 도 1에 도시된 바와 같은 나노-마이크로 프루브를 제조하게 된다.
Thereafter, as shown in FIG. 5 (e), a nanowire 24 is formed on the micropiller 22 to produce a nano-microprobe as shown in FIG.

도 6 및 도 7은 본 발명의 나노-마이크로 프루브의 다양한 실시 예를 도시한 도면들이다.Figures 6 and 7 show various embodiments of the nano-microprobe of the present invention.

도 6에서와 같이, 본 발명의 나노-마이크로 프루브(100)는 마이크로 필러(120)와 나노 니들(130)에 코팅되는 금속막(140)을 더 포함할 수 있으며, 도 7에서와 같이, 마이크로 필러(120)와 접촉하거나 인접하는 전극(150)을 더 포함할 수 있다.6, the nano-microprobe 100 of the present invention may further include a metal film 140 coated on the micro pillars 120 and the nano needle 130, and as shown in FIG. 7, And may further include an electrode 150 in contact with or adjacent to the filler 120.

이때, 상기 전극(150)은 외부 전원(미도시)과 연결되어 전원을 공급받으며, 상기 마이크로 필러(120)의 하단을 감싸는 금속 링 또는 상기 마이크로 필러(120)의 하단에 부착되거나 인접하여 위치하는 금속 편(片)일 수 있으며, 상기 전극(150)의 구조가 여기에 한정되는 것은 아니다. The electrode 150 is connected to an external power source (not shown) and is supplied with power. The electrode 150 is attached to the lower end of the metal ring or the micro pillars 120 surrounding the lower end of the micro pillars 120, And the structure of the electrode 150 is not limited thereto.

또한, 상기 전극(150)이 금속 링인 경우 상기 마이크로 필러(120)에 끼움방식으로 결합될 수 있다.In addition, when the electrode 150 is a metal ring, the electrode 150 may be coupled to the micropiller 120 in a fitting manner.

한편, 상기 금속막(140)은 도 1에 도시된 바와 같은 나노-마이크로 프루브를 제조한 후, 마이크로 필러(120) 및 나노 니들(130)에 금속 재료를 코팅하는 과정을 통해 형성될 수 있다.Meanwhile, the metal layer 140 may be formed through a process of forming a nano-microprobe as shown in FIG. 1 and then coating a metal material on the micro pillars 120 and the nano needle 130.

또한, 상기 전극(150)은 도 1에 도시된 바와 같은 나노-마이크로 프루브를 제조한 후, 마이크로 필러(120)의 하단을 감싸거나, 마이크로 필러(120)의 하단에 부착되거나 인접하는 금속 편을 형성하는 과정을 통해 형성될 수 있다.
1, the electrode 150 may be manufactured by forming a nano-microprobe as shown in FIG. 1, then wrapping the lower end of the micropiller 120, or attaching a metal piece attached to the lower end of the micropiller 120 And the like.

한편, 도 8 내지 도 11은 본 발명의 나노-마이크로 프루브의 벤딩 동작방법의 일례들로서, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 외부에서 가해지는 물리적인 외력을 이용하여 나노-마이크로 프루브를 구부릴 수 있으며, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 전기적인 인력과 척력을 이용하여 나노-마이크로 프루브를 구부릴 수 있다.8 to 11 illustrate examples of the method of bending the nano-microprobe of the present invention. As shown in FIGS. 8 and 9, the nano-microprobe can be bent And as shown in FIGS. 10 and 11, the nano-microprobe can be bent using an electrical attractive force and a repulsive force.

이때, 도 8 및 도 9를 참조하면, 물리적 외력이 기판(110)의 어느 위치에 작용되는지에 따라 한 쌍의 마이크로 필러(120)의 간격이 변하게 된다.8 and 9, the distance between the pair of micro pillars 120 varies depending on the position of the substrate 110 in which the physical external force is applied.

즉, 도 8에서와 같이 물리적 외력이 기판(110)의 영역 중 한 쌍의 마이크로 필러(120)의 양 외측에 작용하는 경우 기판(110)이 마이크로 필러(120)가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 마이크로 필러(120)의 간격이 좁아진다.8, when a physical external force acts on both sides of the pair of micro pillars 120 of the region of the substrate 110, the substrate 110 is bent in the direction in which the micro pillars 120 are formed, The spacing of the pillars 120 becomes narrow.

반면, 도 9에서와 같이, 물리적 외력이 기판(110)의 영역 중 한 쌍의 마이크로 필러(120) 사이의 영역에 작용하는 경우 기판(110)이 마이크로 필러(120)가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 한 쌍의 마이크로 필러(120)의 간격이 넓어진다.9, when a physical external force acts on a region between a pair of micro pillars 120 of a region of the substrate 110, the substrate 110 is bent in a direction opposite to the direction in which the micro pillars 120 are formed The interval between the pair of micro pillars 120 is widened.

한편, 도 10 및 도 11을 참조하면, 전기적 외력이 작용하는 경우에는, 한 쌍의 마이크로 필러(120)에 동일한 극성의 전압이 인가되는지 혹은 서로 다른 극성의 전압이 인가되는지에 따라 한 쌍의 마이크로 필러(120)의 간격이 변하게 된다.10 and 11, when an external electrical force is applied, depending on whether a voltage having the same polarity or a voltage having a different polarity is applied to the pair of micropillars 120, The spacing of the pillars 120 is changed.

즉, 도 10에서와 같이, 한 쌍의 마이크로 필러(120)에 서로 다른 극성의 전압이 인가되면, 기판(110)이 마이크로 필러(120)가 형성되는 방향으로 구부러져 한 쌍의 마이크로 필러(120)의 간격이 좁아진다.10, when a voltage having a different polarity is applied to the pair of micro pillars 120, the substrate 110 is bent in the direction in which the micro pillars 120 are formed, and the pair of micro pillars 120 are bent, Is narrowed.

반면, 도 11에서와 같이, 한 쌍의 마이크로 필러(120)에 동일한 극성의 전압이 인가되는 경우, 기판(110)이 마이크로 필러(120)가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 마이크로 필러(120)의 간격이 넓어진다.11, when a voltage of the same polarity is applied to the pair of micro pillars 120, the substrate 110 is bent in a direction opposite to the direction in which the micro pillars 120 are formed, .

이때, 전압의 인가는 상기 전극(150)이 외부 전원으로부터 전원을 공급받는 것에 의해 이루어질 수 있다.
In this case, the voltage may be applied by the electrode 150 receiving power from an external power source.

이와 같이 본 발명에 따른 프루브는 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있다.As described above, the probe according to the present invention has a complex structure of a nanodevice and a micropiller, and can be connected to a device that is interlocked with a micro-unit, and can be used as an invasive probe in a bio-field.

또한, 본 발명에 따른 프루브는 기판이 구부러질 수 있기 때문에 나노 크기의 물질을 잡는데 효과적으로 이용할 수 있다.
In addition, the probe according to the present invention can be effectively used for capturing nanoscale materials because the substrate can be bent.

한편, 본 발명에 따른 나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법을 실시 예에 따라 설명하였지만, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명과 관련하여 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 범위 내에서 여러 가지의 대안, 수정 및 변경하여 실시할 수 있다.
Although the nano-microprobe according to the present invention and the method of manufacturing the same are described according to the embodiments, the scope of the present invention is not limited to the specific embodiments. And various alternatives, modifications, and alterations can be made within the scope.

따라서, 본 발명에 기재된 실시 예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Therefore, the embodiments described in the present invention and the accompanying drawings are intended to illustrate rather than limit the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and accompanying drawings . The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100 : 나노-마이크로 프루브
110 : 기판
120 : 마이크로 필러
130 : 나노 니들
140 : 금속막
150 : 전극100: Nano-microprobe
110: substrate
120: micropiller
130: Nano needle
140: metal film
150: electrode

Claims (17)

외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판;
상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러; 및
상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들;
을 포함하는 마이크로-나노 프루브.
A substrate which is bent when an external force acts;
At least one pair of micro pillars formed at predetermined intervals on one surface of the substrate and narrowed or widened in accordance with bending of the substrate; And
A nanoneedle formed on the pair of micro pillars, respectively;
Micro-nano-probe. ≪ / RTI >
제 1 항에 있어서,
물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 영역에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어지는 것인 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
Wherein when a physical external force is applied to a region between the pair of micro pillars in a region of the substrate, the substrate is bent in a direction opposite to a direction in which the micro pillars are formed to widen the gap between the pair of micro pillars. Nanoprobe.
제 1 항에 있어서,
물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러의 양 외측에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아지는 것인 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
Wherein when a physical external force acts on both sides of the pair of micro pillars in the region of the substrate, the substrate is bent in a direction in which the micro pillars are formed so that a distance between the pair of micro pillars is narrowed. Probe.
제 1 항에 있어서,
전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 동일한 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어지는 것인 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
Wherein when a voltage of the same polarity is applied to the pair of micro pillars, an interval between the pair of micro pillars is increased in a direction opposite to a direction in which the micro pillars are formed, - Nanoprobe.
제 1 항에 있어서,
전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 서로 다른 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아지는 것인 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
Wherein when a voltage of different polarity is applied to the pair of micro pillars when an external electrical force is applied, the substrate is bent in a direction in which the micro pillars are formed, thereby narrowing the interval between the pair of micro pillars - Nanoprobe.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 박막 형태의 절연체 또는 박막 형태의 금속으로 이루어지는 것인 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate is made of an insulator or a thin metal in the form of a thin film.
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들에 코팅되는 금속막;
을 더 포함하는 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
A metal film coated on the micropiller and the nanodevice;
Micro-nano-probe. ≪ / RTI >
제 1 항에 있어서,
외부 전원과 연결되어 전원을 공급받으며, 외부 상기 필러와 접촉하거나, 상기 마이크로 필러와 인접하여 위치하는 전극;
을 더 포함하는 마이크로-나노 프루브.
The method according to claim 1,
An electrode which is connected to an external power source and is supplied with power, is in contact with the external filler, or is located adjacent to the micropiller;
Micro-nano-probe. ≪ / RTI >
제 8 항에 있어서,
상기 전극은 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링 또는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하여 위치하는 금속 편인 마이크로-나노 프루브.
9. The method of claim 8,
Wherein the electrode is a metal ring surrounding the lower end of the micropiller or a metal piece attached to or positioned adjacent to a lower end of the micropiller.
마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계;
상기 마이크로 필러 상에 나노 니들을 형성하는 단계;
상기 모판에 기판을 형성하는 단계; 및
식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하여 프루브를 제조하는 단계;
를 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법.
Forming a matrix and a micropiller by etching a structure to be used as a micropiller;
Forming a nanodevice on the micropiller;
Forming a substrate on the base plate; And
Removing the base plate except for the micropiller using etching to manufacture a probe;
Wherein the nano-microprobe is fabricated by a method comprising the steps of:
마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계;
상기 모판에 기판을 형성하는 단계;
식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하는 단계; 및
상기 마이크로 필러에 나노 니들을 형성하여 프루브를 제조하는 단계;
를 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법.
Forming a matrix and a micropiller by etching a structure to be used as a micropiller;
Forming a substrate on the base plate;
Removing the base plate except for the micro-pillars using etching; And
Forming a probe on the micropiller by forming a nanodevice on the micropiller;
Wherein the nano-microprobe is fabricated by a method comprising the steps of:
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 나노 니들을 형성하는 단계는 성장법 또는 식각법을 이용하여 상기 나노 니들을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법.
The method according to claim 10 or 11,
Wherein the step of forming the nanodevices comprises forming the nanodevices using a growth method or an etching method.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 기판을 형성하는 단계는 상기 모판에 폴리머를 코팅하거나 금속 박막을 부착하여 상기 기판을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법.
The method according to claim 10 or 11,
Wherein the step of forming the substrate comprises coating the polymer on the base plate or attaching a metal thin film to form the substrate.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들을 금속 재료로 코팅하는 단계;
를 더 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법.
The method according to claim 10 or 11,
Coating the micropiller and the nanodevice with a metallic material after the step of fabricating the probe;
≪ / RTI >
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 접촉하거나 인접하는 전극을 형성하는 단계;
를 더 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법.
The method according to claim 10 or 11,
Forming an electrode adjacent to or in contact with the micropiller after the step of fabricating the probe;
≪ / RTI >
제 15 항에 있어서,
상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법.16. The method of claim 15,
Wherein forming the electrode comprises forming a metal ring surrounding the bottom of the micropiller. 제 15 항에 있어서,
상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하는 금속 편을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the step of forming the electrode forms a metal piece attached to or adjacent to the lower end of the micropiller.
KR1020140042963A 2014-04-10 2014-04-10 Nano-Micro probe and manufacturing method of the same KR101585197B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140042963A KR101585197B1 (en) 2014-04-10 2014-04-10 Nano-Micro probe and manufacturing method of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140042963A KR101585197B1 (en) 2014-04-10 2014-04-10 Nano-Micro probe and manufacturing method of the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150117472A true KR20150117472A (en) 2015-10-20
KR101585197B1 KR101585197B1 (en) 2016-01-14

Family

ID=54399811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140042963A KR101585197B1 (en) 2014-04-10 2014-04-10 Nano-Micro probe and manufacturing method of the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101585197B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107029350A (en) * 2017-03-15 2017-08-11 清华大学 A kind of microneedle array electrode for optic nerve prosthese
KR20200049442A (en) * 2018-10-31 2020-05-08 서석배 Needle unit, needle tip and skin caring device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018056584A1 (en) 2016-09-21 2018-03-29 삼성전자 주식회사 Method for measuring skin condition and electronic device therefor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004036202A1 (en) * 2002-10-16 2004-04-29 Cellectricon Ab Nanoelectrodes and nanotips for recording transmembrane currents in a plurality of cells
KR100793615B1 (en) 2006-07-21 2008-01-10 연세대학교 산학협력단 A biodegradable solid type microneedle and methods for preparing it
US9387000B2 (en) * 2008-05-23 2016-07-12 The University Of Queensland Analyte detection using a needle projection patch
WO2009149197A2 (en) 2008-06-03 2009-12-10 University Of Utah Research Foundation High aspect ratio microelectrode arrays enabled to have customizable lengths and methods of making the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107029350A (en) * 2017-03-15 2017-08-11 清华大学 A kind of microneedle array electrode for optic nerve prosthese
KR20200049442A (en) * 2018-10-31 2020-05-08 서석배 Needle unit, needle tip and skin caring device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101585197B1 (en) 2016-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Phan et al. Long-lived, transferred crystalline silicon carbide nanomembranes for implantable flexible electronics
Choi et al. Wearable and implantable soft bioelectronics using two-dimensional materials
Patil et al. Implantable neurotechnologies: a review of micro-and nanoelectrodes for neural recording
Cho et al. 3D electrodes for bioelectronics
Pradeep Narayanan et al. Solid silicon microneedles for drug delivery applications
Zhang et al. Tissue-compliant neural implants from microfabricated carbon nanotube multilayer composite
US7898156B2 (en) Muscle-driven nanogenerators
Peng et al. Flexible dry electrode based on carbon nanotube/polymer hybrid micropillars for biopotential recording
Suyatin et al. Nanowire-based electrode for acute in vivo neural recordings in the brain
WO2018113073A1 (en) Implanted flexible neural microelectrode comb, and preparation method and implantation method therefor
Kim et al. A hybrid silicon–parylene neural probe with locally flexible regions
KR101585197B1 (en) Nano-Micro probe and manufacturing method of the same
US9242087B2 (en) Nanocomposites for neural prosthetics devices
Koo et al. Nanomaterials on flexible substrates to explore innovative functions: From energy harvesting to bio-integrated electronics
US20130085359A1 (en) Flexible microelectrode for detecting neural signals and a method of fabricating the same
JP2020527379A5 (en)
KR101188368B1 (en) Nanowires neural probe electrodes and the manufacturing method of the same
US20210239644A1 (en) Fabrication of high aspect ratio tall free standing posts using carbon-nanotube (cnt) templated microfabrication
JP2015138718A (en) conductive carbon nanotube composite material
ITMI20080562A1 (en) MOLD WITH NANOMETRIC CHARACTERISTICS, METHOD OF REALIZATION OF SUCH MOLD AND RELATED USE IN A METHOD OF REALIZING A CARBON NANOTUBI ARRAY
Wang et al. Ultra-sensitive and wide sensing-range flexible pressure sensors based on the carbon nanotube film/stress-induced square frustum structure
KR101501283B1 (en) Manufacturing method of microneedles array panel
JP2011500260A (en) Neural element utilizing at least one nanowire
Koo et al. Fabrication of pyramid shaped three-dimensional 8× 8 electrodes for artificial retina
Zhang et al. Development of silicon probe with acute study on in vivo neural recording and implantation behavior monitored by integrated Si-nanowire strain sensors

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181212

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191203

Year of fee payment: 5