KR20150094099A - Micro Pump including check valve - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a micro-pump including a check valve, comprising: a check valve opening means for moving both of a first check valve and a second check valve to an opening position, wherein the first check valve is moved to a closing position and the second check valve is moved to the opening position when a pressurization member is moved to an expansion position, the first check valve is moved to the opening position and the second check valve is moved to the closing position when the pressurization member is moved to a contraction position, a fluid flowing from a first through-hole flows out of a second through-hole, both of the first check valve and the second check valve are moved to the opening position by the check valve opening means, and the fluid flowing from the second through-hole flows out of the first through hole. According to the present invention, the fluid is pressurized in one direction by the pressurization member, then it is possible to allow the fluid to rapidly flow backward by the check valve opening means, it is possible to embody a compact micro-pump having a simple structure with low costs, and there is no risk of breakdown.

Description

체크 밸브 결합형 마이크로 펌프{Micro Pump including check valve}[0001] The present invention relates to a micro-pump including a check valve,

본 발명은 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프에 관한 것으로서, 특히 가압 부재에 의하여 일 방향으로 유체를 가압한 후 체크 밸브 개방 수단에 의하여 신속히 유체를 역류시킬 수 있어, 저비용으로 단순한 구조의 초소형 마이크로 펌프의 구현이 가능하며 고장의 위험이 없는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프에 관한 것이다.In particular, the present invention relates to a check valve type micropump, and more particularly, to a micropump with a simple structure at a low cost, by which the fluid can be quickly flowed backward by the check valve opening means after the fluid is pressurized in one direction by the pressure member To a check valve-coupled micropump, which is capable of preventing the possibility of malfunction.

체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(Micro Pump including check valve)는, 유체를 일 방향으로만 흐르게 하고 역류하지 못하게 하는 체크 밸브를 적어도 하나 이상 사용하는 펌프로서, 이러한 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 일례로는, 대한민국 공개특허공보(공개번호: 제 10-2013-0130429호, 공개일자: 2013년12월02일)에 개시된 펌프 구조가 있다.A micro-pump including check valve is a pump that uses at least one check valve that allows the fluid to flow only in one direction and does not flow backward. As an example of such a check valve- There is a pump structure disclosed in Korean Patent Laid-open Publication No. 10-2013-0130429, published on Dec. 02, 2013.

종래의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프는, 상기 특허문헌의 도 6에서 알 수 있듯이, 유로가 형성된 하우징(100), 액추에이터에 의해 작동되는 멤브레인(200)을 포함하고 있으며, 유로의 입구와 출구에는 각각 체크 밸브(110, 120)가 설치되어 있다. 이러한 종래의 마이크로 펌프는 도 6(b)에 도시한 바와 같이, 멤브레인이 위쪽으로 당겨져 유로의 체적이 커지면 입구쪽 체크 밸브(110)가 안쪽으로 열려 유체가 유입되고, 멤브레인이 아래쪽으로 밀려 유로의 체적이 작아지면 입구측 체크 밸브(110)는 닫힌 상태에서 출구측 체크 밸브(120)가 열려 유로 내부의 유체가 외부로 배출되는 구조이다.As shown in FIG. 6 of the patent document, the conventional check valve-coupled micropump includes a housing 100 having a flow path formed therein and a membrane 200 operated by an actuator. Check valves 110 and 120 are provided. 6 (b), when the membrane is pulled upward to increase the volume of the flow path, the inlet-side check valve 110 is opened inward to allow the fluid to flow in, and the membrane is pushed downward, When the volume is reduced, the outlet check valve (120) is opened in a state where the inlet check valve (110) is closed and the fluid inside the flow passage is discharged to the outside.

그러나 이러한 종래의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프는, 상기 체크 밸브(110, 120)들을 동시에 모두 개방시키는 체크 밸브 개방 수단이 없으므로, 유체를 유로의 입구로부터 출구로 배출시킬 수 있을 뿐, 반대로 유체를 유로의 출구로부터 입구로 배출시킬 수는 없는 문제점이 있다.However, such a conventional check valve-coupled micropump does not have a check valve opening means for simultaneously opening all of the check valves 110 and 120 so that the fluid can be discharged from the inlet to the outlet of the flow passage, There is a problem in that it can not be discharged from the outlet of the outlet to the inlet.

대한민국 공개특허공보 제10-2013-0130429호, 2013년12월02일Korean Patent Publication No. 10-2013-0130429, December 02, 2013

본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 가압 부재에 의하여 일 방향으로 유체를 가압한 후 체크 밸브 개방 수단에 의하여 신속히 유체를 역류시킬 수 있어, 저비용으로 단순한 구조의 초소형 마이크로 펌프의 구현이 가능하며 고장의 위험이 없도록 구조가 개선된 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프를 제공하기 위함이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and its object is to provide a micro-miniature micro pump capable of quickly returning a fluid by a check valve opening means after a fluid is pressurized in one direction by a pressure member, The present invention relates to a check valve-coupled micropump which is capable of realizing a check valve-type micropump with improved structure so that there is no risk of failure.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프는, 외부와 통하는 제1 관통공과, 상기 제1 관통공과 연통되어 있으며 외부와 통하는 제2 관통공을 구비하며, 상기 제2 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제1 관통공으로 유출되거나, 상기 제1 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제2 관통공으로 유출될 수 있는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프로서, 상기 제1 관통공 및 상기 제2 관통공과 연통되어 있는 내부 공간을 구비하는 본체; 상기 본체의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 부재로서, 상기 본체의 내부 공간에 배치되며, 수축 위치와 팽창 위치 사이에서 미리 정한 거리만큼 왕복 위치 이동 가능하게 배치되어 있는 가압 부재; 상기 제1 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제1 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제1 체크 밸브; 상기 제2 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제2 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제2 체크 밸브; 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브를 모두 개방 위치로 이동시키기 위한 체크 밸브 개방 수단;을 포함하며, 상기 가압 부재가 상기 팽창 위치로 이동하면 상기 제1 체크 밸브는 폐쇄 위치로 이동하고 상기 제2 체크 밸브는 개방 위치로 이동하며, 상기 가압 부재가 상기 수축 위치로 이동하면 상기 제1 체크 밸브는 개방 위치로 이동하고 상기 제2 체크 밸브는 폐쇄 위치로 이동함으로써, 상기 제1 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제2 관통공으로 유출되며, 상기 체크 밸브 개방 수단에 의하여 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동됨으로써, 상기 제2 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제1 관통공으로 유출되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a check valve type micro pump according to the present invention includes a first through hole communicating with the outside, a second through hole communicating with the first through hole and communicating with the outside, Wherein the fluid introduced from the first through hole flows into the first through hole or the fluid introduced from the first through hole can flow out to the second through hole, wherein the first through hole and the second through hole A body having an inner space communicated with the ball; A pressing member disposed in an inner space of the main body and arranged to be reciprocated by a predetermined distance between a retracted position and an expanded position; A first check valve which is positionally movable between a closed position for closing the first through hole and an open position for opening the first through hole; A second check valve which is positionally movable between a closed position for closing the second through hole and an open position for opening the second through hole; And a check valve opening means for moving both the first check valve and the second check valve to an open position, wherein when the pressure member moves to the expanded position, the first check valve moves to a closed position, The second check valve moves to the open position and when the pressure member moves to the retracted position the first check valve moves to the open position and the second check valve moves to the closed position, Wherein the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by the check valve opening means so that the fluid introduced from the second through hole flows into the second through hole, 1 through-hole.

여기서, 상기 제1 체크 밸브는, 상기 본체의 내부 공간에 배치되어 있으며, 제1 탄성 부재에 의하여 상기 폐쇄 위치 방향으로 탄성 바이어스되어 있으며, 상기 제2 체크 밸브는, 상기 본체의 외부에 배치되어 있으며, 제2 탄성 부재에 의하여 상기 폐쇄 위치 방향으로 탄성 바이어스되어 있는 것이 바람직하다.Here, the first check valve is disposed in the inner space of the main body and is elastically biased in the direction of the closed position by the first elastic member, and the second check valve is disposed outside the main body , And is elastically biased in the direction of the closed position by the second elastic member.

여기서, 상기 본체는 제1 중심축을 따라 길게 연장되어 있으며, 상기 가압 부재는 상기 제1 중심축을 따라 상기 수축 위치와 상기 팽창 위치 사이에서 왕복 위치 이동 가능하며, 상기 제1 관통공과 상기 제2 관통공은, 상기 제1 중심축과 교차하는 제2 중심축을 따라 동일 선상에 배치되어 있으며, 상기 체크 밸브 개방 수단은, 상기 제2 중심축을 따라 길게 연장된 부재로서 상기 제2 중심축을 따라 왕복 위치 이동 가능하며, 일단부는 상기 제2 체크 밸브를 가압하여 개방 위치로 이동시킬 수 있도록 마련되며, 중간부에는 상기 제1 체크 밸브가 결합되어 있으며, 타단부는 상기 제1 관통공을 관통한 상태로 상기 본체의 외부에 배치되어 있는 연결 부재를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the main body is elongated along a first central axis, and the pressing member is reciprocally movable between the retracted position and the expanded position along the first central axis, and the first through hole and the second through hole And the check valve opening means is a member which is elongated along the second central axis and is reciprocatably movable along the second central axis, The first check valve is coupled to the intermediate portion, and the other end portion is connected to the first check valve through the first through hole, And a connecting member disposed on the outside of the housing.

여기서, 상기 연결 부재가 사용자에 의해 수동으로 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by manually pressing the connecting member by the user.

여기서, 상기 연결 부재가 압전소자에 의하여 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것일 수도 있다.Here, the first check valve and the second check valve may both be moved to the open position by pressing the connecting member by the piezoelectric element.

여기서, 상기 연결 부재가 솔레노이드 작동기에 의하여 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것일 수도 있다.Here, the connection member may be pressed by the solenoid actuator so that the first check valve and the second check valve are both moved to the open position.

본 발명에 따르면, 제1 관통공 및 제2 관통공과 연통되어 있는 내부 공간을 구비하는 본체; 상기 본체의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 부재로서, 상기 본체의 내부 공간에 배치되며, 수축 위치와 팽창 위치 사이에서 미리 정한 거리만큼 왕복 위치 이동 가능하게 배치되어 있는 가압 부재; 상기 제1 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제1 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제1 체크 밸브와, 상기 제2 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제2 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제2 체크 밸브와, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브를 모두 개방 위치로 이동시키기 위한 체크 밸브 개방 수단을 포함함으로써, 가압 부재에 의하여 일 방향으로 유체를 가압한 후 체크 밸브 개방 수단에 의하여 신속히 유체를 역류시킬 수 있어, 저비용으로 단순한 구조의 초소형 마이크로 펌프의 구현이 가능하며 고장의 위험이 없다는 효과가 있다.According to the present invention, there is provided an electronic device comprising: a main body having an internal space communicating with a first through hole and a second through hole; A pressing member disposed in an inner space of the main body and arranged to be reciprocated by a predetermined distance between a retracted position and an expanded position; A first check valve movable between a closed position for closing the first through hole and an open position for opening the first through hole, a closed position for closing the second through hole, And a check valve opening means for moving both the first check valve and the second check valve to the open position so that the first check valve can be moved in one direction It is possible to quickly reverse the flow of the fluid by the check valve opening means after the fluid is pressurized. Thus, it is possible to realize a very small micro pump with a simple structure at low cost, and there is no risk of failure.

도 1은 본 발명의 제1 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 가압 부재가 우측으로 위치 이동한 상태를 나타내는 도면이다.
도 3는 도 1에 도시된 양방향 마이크로 펌프의 가압 부재가 좌측으로 위치 이동한 상태를 나타내는 도면이다.
도 4은 도 1에 도시된 양방향 마이크로 펌프의 제1 체크 밸브 및 제2 체크 밸브가 모두 개방된 상태를 나타내는 도면이다.
도 5은 본 발명의 제2 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a check valve-coupled micropump according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a state in which the pressing member of the check valve-combined type micro pump shown in FIG. 1 is moved to the right.
Fig. 3 is a view showing a state in which the biasing micro-pump shown in Fig. 1 is moved to the left. Fig.
FIG. 4 is a view showing a state where both the first check valve and the second check valve of the bi-directional micropump shown in FIG. 1 are opened.
5 is a sectional view of a check valve-coupled micropump according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a check valve-coupled micropump according to a third embodiment of the present invention.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 단면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프의 가압 부재가 우측으로 위치 이동한 상태를 나타내는 도면이다. 도 3는 도 1에 도시된 양방향 마이크로 펌프의 가압 부재가 좌측으로 위치 이동한 상태를 나타내는 도면이다.1 is a cross-sectional view of a check valve coupling type micropump according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a state in which a pressing member of the check valve coupling type micropump shown in FIG. 1 is moved to the right. Fig. 3 is a view showing a state in which the biasing micro-pump shown in Fig. 1 is moved to the left. Fig.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 체크 밸브를 사용하는 소형 펌프로서, 본체(32)와, 가압 부재(33)와, 제1 체크 밸브(42)와, 제2 체크 밸브(43)와, 체크 밸브 개방 수단을 포함하여 구성된다. 1 to 3, a check valve micro pump 100 according to a preferred embodiment of the present invention is a micro pump using a check valve. The micro pump 100 includes a main body 32, a pressing member 33, A first check valve 42, a second check valve 43, and a check valve opening means.

상기 본체(32)는, 내부 공간을 가지는 원통형 실린더로서, 제1 중심축(C1)을 따라 수평 방향으로 길게 연장되어 있으며, 상기 내부 공간의 좌단부에 상기 가압 부재(33)를 구비하고 있다.The main body 32 is a cylindrical cylinder having an internal space and extends in the horizontal direction along the first central axis C1 and the pressing member 33 is provided at the left end of the internal space.

상기 가압 부재(33)는, 상기 본체(32)의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 원판형 피스톤 부재로서, 상기 본체(32)의 내부 공간을 수밀 가능하게 분할하도록 배치되어 있으며, 상기 본체(32)의 내부 공간의 좌단부에 근접한 수축 위치와 상기 본체(32)의 내부 공간 좌단부로부터 이격된 팽창 위치 사이에서, 상기 제1 중심축(C1)을 따라 미리 정한 거리만큼 왕복 위치 이동 가능하게 배치되어 있다.The pressing member 33 is a disc-shaped piston member for changing the volume of the internal space of the main body 32 and is arranged to divide the internal space of the main body 32 in a watertight manner, Between a contraction position close to the left end of the inner space of the main body 32 and an inflated position spaced apart from the left end of the inner space of the main body 32 so as to be reciprocally displaceable by a predetermined distance along the first central axis C1 .

본 실시예에서 상기 가압 부재(33)는, 외부로부터 공급되는 전기에 의하여 구조적 변형이 발생하는 압전소자(piezoelectric element)를 포함하여 구성되며 상세한 구성의 설명은 생략하기로 한다.In the present embodiment, the pressing member 33 includes a piezoelectric element that is structurally deformed by electricity supplied from the outside, and a detailed description of the constitution will be omitted.

상기 본체(32)의 우단부에는 제1 관통공(34)과 제2 관통공(35)이 형성되어 있다.A first through hole (34) and a second through hole (35) are formed in the right end of the main body (32).

상기 제1 관통공(34)은, 상기 본체(32)의 외부와 통하는 구멍으로서, 상기 제1 중심축(C1)과 서로 수직하게 교차하는 제2 중심축(C2) 상에 배치되며, 상기 본체(32)의 우단부 상측에 형성되어 있다.The first through hole 34 is an aperture that communicates with the outside of the main body 32 and is disposed on a second central axis C2 perpendicular to the first central axis C1, (Not shown).

상기 본체(32)의 우단부 상측에는, 상기 제1 관통공(34)을 둘러 감싸도록 배치된 파이프 형상의 상부 용기(37)가 마련되어 있다.A pipe-shaped upper container 37 is disposed above the right end of the main body 32 so as to surround the first through-hole 34.

상기 상부 용기(37)의 측면에는, 제2 연결관(41)과 연통되는 상부 용기공(371)이 형성되어 있다.On the side surface of the upper container 37, an upper container hole 371 communicating with the second connection pipe 41 is formed.

상기 제2 관통공(35)은, 상기 제1 관통공(34)과 마주한 상태로 동일 선상에 위치할 수 있도록 상기 제2 중심축(C2) 상에 배치되며, 상기 본체(32)의 우단부 하측에 형성되어 있다.The second through hole 35 is disposed on the second central axis C2 so as to be positioned in the same line as facing the first through hole 34, As shown in Fig.

상기 본체(32)의 우단부 하측에는, 상기 제2 관통공(35)을 둘러 감싸도록 배치된 원통형 하부 용기(36)가 마련되어 있다.A cylindrical lower container 36 is disposed below the right end of the main body 32 so as to surround the second through hole 35.

상기 하부 용기(36)의 측면에는, 제1 연결관(31)과 연통되는 하부 용기공(361)이 형성되어 있다.A lower container hole 361 communicating with the first connection pipe 31 is formed on a side surface of the lower container 36.

따라서, 상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 다른 장애물이 없다면, 상기 제1 연결관(31)으로부터 유입된 유체(F)가 상기 제2 관통공(35) 및 제1 관통공(34)을 거쳐서 상기 제2 연결관(41)으로 유출되거나, 상기 제2 연결관(41)으로부터 유입된 유체(F)가 상기 제1 관통공(34) 및 제2 관통공(35)을 거쳐서 상기 제1 연결관(31)으로 유출될 수 있는 구조이다.Accordingly, the check valve-associated micropump 100 is configured such that, if there is no other obstacle, the fluid F introduced from the first connection pipe 31 flows into the second through hole 35 and the first through hole 34 Through the first through hole 34 and the second through hole 35, the fluid F flowing out from the second connection pipe 41 flows into the second connection pipe 41 through the first through hole 34 and the second through hole 35, And can flow out to the first connection pipe (31).

상기 제1 체크 밸브(42)는, 상기 제1 관통공(34)을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제1 관통공(34)을 개방하는 개방 위치 사이에서, 상기 제1 중심축(C1)을 따라 상하 위치 이동 가능한 체크 밸브(check valve)이다.The first check valve 42 is arranged between the closed position for closing the first through hole 34 and the open position for opening the first through hole 34 so that the first center axis C1 And is a check valve capable of moving up and down.

상기 제1 체크 밸브(42)는, 원판형 부재로서, 상면은 아래로 갈수록 직경이 커지는 원뿔대 형상을 가지며, 하면은 평면 형상을 가진다.The first check valve 42 is a disc-shaped member, and its top surface has a truncated cone shape having a larger diameter toward the bottom, and a lower surface has a planar shape.

상기 제1 체크 밸브(42)는, 상기 본체(32)의 내부 공간에 배치되어 있으며, 제1 탄성 부재(44)에 의하여 폐쇄 위치인 상기 제1 관통공(34) 방향으로 탄성 바이어스되어 있다. The first check valve 42 is disposed in the inner space of the main body 32 and is elastically biased in the direction of the first through hole 34 in the closed position by the first elastic member 44.

상기 제1 탄성 부재(44)는, 원형의 코일 스프링으로서, 하단부는 상기 본체(32)의 내면에 결합되어 있으며, 상단부는 상기 제1 체크 밸브(42)의 하면에 결합되어 있다.The first elastic member 44 is a circular coil spring having a lower end coupled to an inner surface of the main body 32 and an upper end coupled to a lower surface of the first check valve 42.

따라서, 상기 제1 체크 밸브(42)는 외력이 없는 한 상기 제1 관통공(34)을 폐쇄하는 폐쇄 위치에 위치하게 된다.Therefore, the first check valve 42 is located at the closed position for closing the first through hole 34 as long as there is no external force.

상기 제2 체크 밸브(43)는, 구형 볼(ball) 형상의 부재로서, 상기 제2 관통공(35)을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제2 관통공(35)을 개방하는 개방 위치 사이에서, 상기 제1 중심축(C1)을 따라 상하 위치 이동 가능한 체크 밸브(check valve)이다.The second check valve 43 is a spherical ball member and is provided between the closed position for closing the second through hole 35 and the open position for opening the second through hole 35, And a check valve that is movable up and down along the first central axis C1.

상기 제2 체크 밸브(43)는, 상기 본체(32)의 외부 하측에 배치되어 있으며, 제2 탄성 부재(45)에 의하여 폐쇄 위치인 상기 제2 관통공(35) 방향으로 탄성 바이어스되어 있다.The second check valve 43 is disposed outside the main body 32 and is elastically biased by the second elastic member 45 toward the second through hole 35 in the closed position.

상기 제2 탄성 부재(45)는, 원형의 코일 스프링으로서, 하단부는 상기 하부 용기(36)의 바닥면에 결합되어 있으며, 상단부는 상기 제2 체크 밸브(43)의 하면에 결합되어 있다.The second elastic member 45 is a circular coil spring having a lower end coupled to a bottom surface of the lower container 36 and an upper end coupled to a lower surface of the second check valve 43.

따라서, 상기 제2 체크 밸브(43)는 외력이 없는 한 상기 제2 관통공(35)을 폐쇄하는 폐쇄 위치에 위치하게 된다.Therefore, the second check valve 43 is located at the closed position for closing the second through-hole 35 as long as there is no external force.

상기 체크 밸브 개방 수단은, 상기 제1 체크 밸브(42)와 상기 제2 체크 밸브(43)를 모두 개방 위치로 이동시키기 위한 수단으로서, 본 실시예에서는 연결 부재(46)와, 버튼 부재(47)와, 씰링 부재(48)를 포함한다.The check valve opening means is means for moving both the first check valve 42 and the second check valve 43 to the open position. In this embodiment, the connecting member 46, the button member 47 , And a sealing member (48).

상기 연결 부재(46)는, 상기 제2 중심축(C2)을 따라 길게 연장된 막대형 부재로서, 상승 위치와 하강 위치 사이에서 상기 제2 중심축(C2)을 따라 상하로 왕복 위치 이동 가능하게 마련되어 있다.The connecting member 46 is a rod-like member extending elongated along the second central axis C2. The connecting member 46 is movable upward and downward along the second central axis C2 between the raised position and the lowered position Lt; / RTI >

상기 연결 부재(46)의 하단부는, 상기 하강 위치에서 상기 제2 체크 밸브(43)를 아래로 가압하여 개방 위치로 이동시킬 수 있도록 마련되어 있다.The lower end of the connecting member 46 is provided so as to move the second check valve 43 downward to the open position at the lowered position.

상기 연결 부재(46)의 중간부에는, 상기 제1 체크 밸브(42)가 상하로 상대 이동 불가능하게 결합되어 있다.The first check valve 42 is vertically and non-movably coupled to the intermediate portion of the connecting member 46.

상기 연결 부재(46)의 상단부는, 상기 제1 관통공(34)을 관통한 상태로 상기 본체(32)의 외부에 배치되어 있다.The upper end of the connecting member 46 is disposed outside the main body 32 in a state of passing through the first through hole 34.

상기 버튼 부재(47)는, 유연한 재질의 원형 고무판 버튼으로서, 상기 상부 용기(37)의 상단 개구에 결합되어 있다. The button member 47 is a circular rubber plate button made of a flexible material and is coupled to the upper opening of the upper container 37.

상기 버튼 부재(47)가 사용자에 의하여 아래로 가압되어 변형되면, 상기 버튼 부재(47)의 하면이 상기 연결 부재(46)의 상단을 가압하여 하강 위치로 이동시킬 수 있도록 형성되어 있다.When the button member 47 is pressed downward by the user, the lower surface of the button member 47 is formed to be able to press the upper end of the connecting member 46 to move to the lowered position.

상기 씰링 부재(48)는, 상기 상부 용기(37)의 내부에 수용된 유체가 외부로 누설되지 않도록 하는 유연한 재질의 고무 막(membrane) 부재로서, 상기 버튼 부재(47)와 상기 상부 용기(37)의 상단 개구 사이에 배치되어 있다.The sealing member 48 is a flexible membrane member that prevents fluid contained in the upper container 37 from leaking to the outside. The button member 47 and the upper container 37, As shown in Fig.

이하에서는, 상술한 구성의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)를 사용하는 방법의 일례를 설명하기로 한다.Hereinafter, an example of a method of using the check valve-coupled micropump 100 having the above-described structure will be described.

먼저, 상기 가압 부재(33)에 전기가 공급되면, 상기 가압 부재(33)가 도 2에 도시된 바와 같이 우측의 팽창 위치로 위치 이동하게 되고, 유체(F)의 압력에 의하여 상기 제1 체크 밸브(42)는 상승하여 폐쇄 위치로 이동함으로써 상기 제1 관통공(34)이 폐쇄되고, 상기 제2 체크 밸브(43)는 하강하여 개방 위치로 이동함으로써 상기 제2 관통공(35)이 개방된다. 이때, 상기 가압 부재(33)의 우측에 있던 유체(F)는 상기 제2 관통공(35)을 통하여 유출되어 상기 제1 연결관(31)을 따라 외부로 흘러 가게 된다.First, when electricity is supplied to the pressure member 33, the pressure member 33 is moved to the right expansion position as shown in FIG. 2, The valve 42 is moved up to the closed position to close the first through hole 34 and the second check valve 43 to move down to the open position so that the second through hole 35 is opened do. At this time, the fluid F on the right side of the pressure member 33 flows out through the second through hole 35 and flows out along the first connection pipe 31.

이어서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 가압 부재(33)가 좌측의 수축 위치로 위치 이동하게 되면, 상기 유체(F)의 압력에 의하여 상기 제1 체크 밸브(42)는 하강하여 개방 위치로 위치 이동함으로써 상기 제1 관통공(34)이 개방되고, 상기 제2 체크 밸브(43)는 상승하여 폐쇄 위치로 위치 이동함으로써 상기 제2 관통공(35)이 개방된다. 이때, 상기 상부 용기(37)의 내부 공간에 있던 유체(F)는 상기 제1 관통공(34)을 통하여 상기 본체(32)의 내부 공간으로 흘러가게 된다.3, when the pressing member 33 moves to the left contraction position, the first check valve 42 is lowered to the open position by the pressure of the fluid F, The first through hole 34 is opened by moving the second check valve 43 and the second through hole 35 is opened by moving the second check valve 43 to the closed position. At this time, the fluid F in the inner space of the upper container 37 flows into the inner space of the main body 32 through the first through hole 34.

따라서, 상기 가압 부재(33)가 상술한 바와 같이 상기 수축 위치와 팽창 위치 사이에서 연속적으로 왕복 위치 이동하게 되면, 상기 제2 연결관(41)으로부터 유입된 유체(F)가 상기 제1 관통공(34) 및 제2 관통공(35)를 거쳐서 상기 제1 연결관(31)으로 계속 연속적으로 유출된다.Accordingly, when the pressing member 33 is continuously reciprocated between the retracted position and the retracted position as described above, the fluid F introduced from the second connecting pipe 41 flows into the first through- Through the second through hole (34) and the second through hole (35).

한편, 사용자가 손가락으로 상기 버튼 부재(47)를 아래로 가압하며, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 버튼 부재(47)가 하방으로 볼록하게 변형되고, 상기 버튼 부재(47)의 하면이 상기 연결 부재(46)의 상단을 가압하여 상기 연결 부재(46)가 하강 위치로 이동하게 된다. 이때, 상기 제1 체크 밸브(42) 및 제2 체크 밸브(43)가 모두 개방 위치로 위치 이동됨으로써, 상기 제1 관통공(34) 및 제2 관통공(35)가 모두 개방되며, 유체(F)가 상기 제1 연결관(31)으로부터 유입되어 상기 제2 관통공(35) 및 제1 관통공(34)을 거쳐서 상기 제2 연결관(41)으로 계속 연속적으로 역류하여 유출된다. 여기서, 상기 제1 연결관(31)으로부터 유입되는 유체(F)는 유압 차이에 의하여 상기 제2 연결관(41)으로 역류하며, 유체(F)는 상기 버튼 부재(47)가 눌려져 있는 동안만 역류한다.4, the button member 47 is downwardly convexly deformed, and the lower surface of the button member 47 is connected to the connection The upper end of the member 46 is pressed so that the connecting member 46 is moved to the lowered position. At this time, both the first check valve 42 and the second check valve 43 are moved to the open position so that both the first through hole 34 and the second through hole 35 are opened, F flows from the first connection pipe 31 and continuously flows backward to the second connection pipe 41 through the second through hole 35 and the first through hole 34 and flows out. Here, the fluid F flowing from the first connection pipe 31 flows back to the second connection pipe 41 due to the difference in hydraulic pressure, and the fluid F flows only into the second connection pipe 41 while the button member 47 is being pressed Flow backward.

상술한 구성의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 상기 제1 관통공(34) 및 상기 제2 관통공(35)과 연통되어 있는 내부 공간을 구비하는 본체(32)와, 상기 본체(32)의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 부재로서, 상기 본체(32)의 내부 공간에 배치되며, 수축 위치와 팽창 위치 사이에서 미리 정한 거리만큼 왕복 위치 이동 가능하게 배치되어 있는 가압 부재(33)와, 상기 제1 관통공(34)을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제1 관통공(34)을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제1 체크 밸브(42)와, 상기 제2 관통공(35)을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제2 관통공(35)을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제2 체크 밸브(43)와, 상기 제1 체크 밸브(42)와 상기 제2 체크 밸브(43)를 모두 개방 위치로 이동시키기 위한 체크 밸브 개방 수단을 포함하므로, 상기 가압 부재(33)에 의하여 일 방향으로 유체(F)를 가압한 후 상기 체크 밸브 개방 수단에 의하여 신속히 유체(F)를 역류시킬 수 있어, 저비용으로 단순한 구조의 초소형 마이크로 펌프의 구현이 가능하며 고장의 위험이 없다는 장점이 있다.The check valve-coupled micropump 100 of the above-described configuration includes a main body 32 having an internal space communicating with the first through hole 34 and the second through hole 35, A pressing member 33 disposed in the inner space of the main body 32 and arranged to be reciprocated by a predetermined distance between a retracted position and an expanded position, , A first check valve (42) movable between a closed position for closing the first through hole (34) and an open position for opening the first through hole (34), and a second check valve A second check valve (43) movable between a closed position for closing the first through hole (35) and an open position for opening the second through hole (35) (43) to the open position , The fluid F can be quickly backwashed by the check valve opening means after the fluid F is pressed in one direction by the urging member 33 and a micro-type micro pump having a simple structure can be realized at low cost And there is no risk of failure.

그리고, 상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 상기 제1 체크 밸브(42)가, 상기 본체(32)의 내부 공간에 배치되어 있으며, 제1 탄성 부재(44)에 의하여 폐쇄 위치인 상기 제1 관통공(34) 방향으로 탄성 바이어스되어 있으며, 상기 제2 체크 밸브(43)는, 상기 본체(32)의 외부에 배치되어 있으며, 제2 탄성 부재(45)에 의하여 폐쇄 위치인 상기 제2 관통공(35) 방향으로 탄성 바이어스되어 있으므로, 외력이 없는 상태에서 상기 제1 체크 밸브(42) 및 제2 체크 밸브(43)를 폐쇄 위치에 각각 위치시키기 용이하며, 단순한 구조와 낮은 비용으로 유체(F)의 역류를 효과적으로 방지하는 초소형 체크 밸브의 구현이 가능하며, 고장의 위험이 적다는 장점이 있다.The first check valve 42 is disposed in the inner space of the main body 32 and the first check valve 42 is connected to the first check valve 42 by the first elastic member 44, And the second check valve 43 is elastically biased in the direction of the first through hole 34. The second check valve 43 is disposed outside the main body 32 and is biased by the second elastic member 45 in the closed position Through holes 35 so that the first check valve 42 and the second check valve 43 can be easily positioned in the closed position in the absence of an external force and a simple structure and a low cost It is possible to realize an ultra-small check valve which effectively prevents backflow of the fluid F, and there is an advantage that the risk of failure is small.

또한, 상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 상기 본체(32)가 제1 중심축(C1)을 따라 길게 연장되어 있으며, 상기 가압 부재(33)는 상기 제1 중심축(C1)을 따라 상기 수축 위치와 상기 팽창 위치 사이에서 왕복 위치 이동 가능하며, 상기 제1 관통공(34)과 상기 제2 관통공(35)은, 상기 제1 중심축(C1)과 교차하는 제2 중심축(C2)을 따라 동일 선상에 배치되어 있으며, 상기 체크 밸브 개방 수단은, 상기 제2 중심축(C2)을 따라 길게 연장된 부재로서 상기 제2 중심축(C2)을 따라 왕복 위치 이동 가능하며, 일단부는 상기 제2 체크 밸브(43)를 가압하여 개방 위치로 이동시킬 수 있도록 마련되며, 중간부에는 상기 제1 체크 밸브(42)가 결합되어 있으며, 타단부는 상기 제1 관통공(34)을 관통한 상태로 상기 본체(32)의 외부에 배치되어 있는 연결 부재(46)를 포함하므로, 상기 연결 부재(46)를 가압하여 상기 제1 체크 밸브(42) 및 제2 체크 밸브(43)를 동시에 개방 위치로 위치 이동시킬 수 있는 장점이 있다.The main body 32 extends along the first central axis C1 and the urging member 33 extends along the first central axis C1 The first through hole 34 and the second through hole 35 are movable in a reciprocating position between the contraction position and the inflated position, And the check valve opening means is reciprocally moveable along the second central axis C2 as a member elongated along the second central axis C2, The first check valve 42 is coupled to the middle portion of the second check valve 43 and the other end of the first check valve 43 is connected to the first through hole 34, And a connecting member 46 disposed outside the main body 32 in a state of passing through the main body 32. Therefore, There is an advantage that the first check valve 42 and the second check valve 43 can be simultaneously moved to the open position by pressing the connecting member 46.

그리고, 상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)는, 상기 연결 부재(46)가 사용자에 의해 수동으로 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브(42)와 상기 제2 체크 밸브(43)가 모두 개방 위치로 이동되므로, 장치가 단순해지고 조작이 간편하다는 장점이 있다.The check valve type micro pump 100 may be configured such that the first check valve 42 and the second check valve 43 are both opened So that the apparatus is simplified and the operation is simple.

한편, 도 5에는 본 발명의 제2 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(200)가 도시되어 있다. 이 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(200)는 상술한 구성의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)와 대부분의 구성과 효과가 동일하므로, 이하에서는 그 차이점에 대해서만 설명하기로 한다. 5 shows a check valve-coupled micropump 200 according to a second embodiment of the present invention. This check valve coupling type micropump 200 has substantially the same structure and effects as the check valve coupling type micropump 100 having the above-described configuration, and therefore only the difference will be described below.

상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(200)는, 상기 버튼 부재(47)를 구비하는 대신에, 상기 상부 용기(37)의 상단부에 결합되어 있으며 상기 제1 중심축(C1)을 따라 길게 연장된 체크 밸브 개방 실린더(248)와, 상기 체크 밸브 개방 실린더(248)의 내부에 장착되어 상기 제1 중심축(C1)을 따라 상하로 왕복 이동하는 체크 밸브 개방 피스톤(247)을 포함하고 있다. The check valve combined micropump 200 may include a button member 47 coupled to an upper end of the upper container 37 and provided with a check extending along the first central axis C1, A valve opening cylinder 248 and a check valve opening piston 247 installed inside the check valve opening cylinder 248 and reciprocating upward and downward along the first central axis C1.

여기서 상기 체크 밸브 개방 피스톤(247)은, 상기 가압 부재(33)와 마찬가지로 외부로부터 공급되는 전기에 의하여 구조적 변형이 발생하는 압전소자(piezoelectric element)를 포함하여 구성되어 있다.The check valve opening piston 247 includes a piezoelectric element, which is structurally deformed by electricity supplied from the outside, like the pressure member 33.

따라서, 상기 체크 밸브 개방 피스톤(247)이 하강하여, 상기 연결 부재(46)가 가압됨으로써 하강 위치로 하강하면, 상기 제1 체크 밸브(42)와 상기 제2 체크 밸브(43)가 모두 개방 위치로 이동하게 된다.Therefore, when the check valve opening piston 247 is lowered and the connecting member 46 is pressed down to the lowered position, the first check valve 42 and the second check valve 43 are both opened .

상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(200)는, 상술한 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)과는 달리, 전기에 의하여 자동 작동될 수 있는 장점이 있다.The check valve coupling type micro pump 200 has an advantage that it can be automatically operated by electricity, unlike the check valve coupling type micro pump 100 described above.

한편, 도 6에는 본 발명의 제3 실시예인 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(300)가 도시되어 있다. 이 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(300)는 상술한 구성의 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)와 대부분의 구성과 효과가 동일하므로, 이하에서는 그 차이점에 대해서만 설명하기로 한다.6 shows a check valve coupling type micro pump 300 according to a third embodiment of the present invention. This check valve coupling type micro pump 300 has substantially the same structure and effects as the check valve coupling type micro pump 100 of the above-described configuration, and therefore only the difference will be described below.

상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(300)는, 상기 버튼 부재(47)를 구비하는 대신에, 상기 상부 용기(37)의 상단부에 결합되어 있는 솔레노이드 작동기(347)를 구비하고 있다.The check valve combined micropump 300 includes a solenoid actuator 347 coupled to an upper end of the upper container 37 instead of the button member 47.

상기 솔레노이드 작동기(347)는, 전자기장을 이용하여 작동되는 솔레노이드(solenoid) 작동기로서, 상기 연결 부재(46)의 상단부와 결합되어 있으며, 상기 연결 부재(46)를 상하로 위치 이동시킬 수 있도록 마련되어 있다.The solenoid actuator 347 is a solenoid actuator operated by using an electromagnetic field and is engaged with the upper end of the connecting member 46 and is capable of moving the connecting member 46 up and down .

상기 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(300)는, 상술한 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프(100)과는 달리 전기에 의하여 자동 작동될 수 있으며, 비교적 강력한 구동력을 발휘할 수 있는 장점이 있다.The check valve coupling type micro pump 300 can be operated automatically by electricity unlike the above-described check valve coupling type micro pump 100, and can exert a relatively strong driving force.

상술한 실시예들에서는, 상기 본체(32)가, 내부 공간을 가지는 원통형 용기이나 그 형태나 구조는 중요한 요소가 아니며, 내부 공간을 가지는 모든 용기를 포함하는 개념이다.In the above-described embodiments, the body 32 is a concept that includes a cylindrical container having an internal space, or the shape or structure thereof is not an important element, but includes all containers having an internal space.

상술한 실시예들에서는 상기 가압 부재(33)가, 원판형 피스톤으로 도시되어 있으나, 그 형태나 구조는 중요한 요소가 아니며 상기 본체(32)의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 모든 부재를 포함하는 개념이며, 예컨대 멤브레인(membrane) 부재와 같은 부재가 사용될 수도 있음은 물론이다.In the above-described embodiments, the pressing member 33 is shown as a disk-shaped piston, but its shape or structure is not an important element and includes all the members for changing the volume of the internal space of the main body 32 For example, a member such as a membrane member may be used.

이상으로 본 발명을 설명하였는데, 본 발명의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.The technical scope of the present invention is not limited to the contents described in the above embodiments, and the equivalent structure modified or changed by those skilled in the art can be applied to the technical It is clear that the present invention does not depart from the scope of thought.

＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프 31 : 제1 연결관
32 : 본체 33 : 가압 부재
34 : 제1 관통공 35 : 제2 관통공
36 : 하부 용기 361 : 하부 용기공
37 : 상부 용기 371 : 상부 용기공
41 : 제2 연결관 42 : 제1 체크 밸브
43 : 제2 체크 밸브 44 : 제1 탄성 부재
45 : 제2 탄성 부재 46 : 연결 부재
47 : 버튼 부재 48 : 씰링 부재
247 : 체크 밸브 개방 피스톤 248 : 체크 밸브 개방 실린더
347 : 솔레노이드 작동기[Description of Reference Numerals]
100: check valve combined type micro pump 31: first connection pipe
32: main body 33: pressure member
34: first through hole 35: second through hole
36: Lower container 361: Lower container container
37: upper container 371: upper container hole
41: second connection pipe 42: first check valve
43: second check valve 44: first elastic member
45: second elastic member 46: connecting member
47: Button member 48: Sealing member
247: check valve opening piston 248: check valve opening cylinder
347: Solenoid actuator

Claims (6)

외부와 통하는 제1 관통공과, 상기 제1 관통공과 연통되어 있으며 외부와 통하는 제2 관통공을 구비하며, 상기 제2 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제1 관통공으로 유출되거나, 상기 제1 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제2 관통공으로 유출될 수 있는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프로서,
상기 제1 관통공 및 상기 제2 관통공과 연통되어 있는 내부 공간을 구비하는 본체;
상기 본체의 내부 공간의 부피를 변화시키기 위한 부재로서, 상기 본체의 내부 공간에 배치되며, 수축 위치와 팽창 위치 사이에서 미리 정한 거리만큼 왕복 위치 이동 가능하게 배치되어 있는 가압 부재;
상기 제1 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제1 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제1 체크 밸브;
상기 제2 관통공을 폐쇄하는 폐쇄 위치와, 상기 제2 관통공을 개방하는 개방 위치 사이에서 위치 이동 가능한 제2 체크 밸브;
상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브를 모두 개방 위치로 이동시키기 위한 체크 밸브 개방 수단;을 포함하며,
상기 가압 부재가 상기 팽창 위치로 이동하면 상기 제1 체크 밸브는 폐쇄 위치로 이동하고 상기 제2 체크 밸브는 개방 위치로 이동하며, 상기 가압 부재가 상기 수축 위치로 이동하면 상기 제1 체크 밸브는 개방 위치로 이동하고 상기 제2 체크 밸브는 폐쇄 위치로 이동함으로써, 상기 제1 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제2 관통공으로 유출되며,
상기 체크 밸브 개방 수단에 의하여 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동됨으로써, 상기 제2 관통공으로부터 유입된 유체가 상기 제1 관통공으로 유출되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프A first through hole communicating with the outside and a second through hole communicating with the first through hole and communicating with the outside, wherein the fluid introduced from the second through hole flows out to the first through hole, The micropump can be flowed out to the second through hole,
A main body having an inner space communicating with the first through hole and the second through hole;
A pressing member disposed in an inner space of the main body and arranged to be reciprocated by a predetermined distance between a retracted position and an expanded position;
A first check valve which is positionally movable between a closed position for closing the first through hole and an open position for opening the first through hole;
A second check valve which is positionally movable between a closed position for closing the second through hole and an open position for opening the second through hole;
And check valve opening means for moving both the first check valve and the second check valve to the open position,
The first check valve moves to the closed position and the second check valve moves to the open position when the pressure member moves to the inflated position and the first check valve opens to the open position when the pressure member moves to the retracted position, And the second check valve is moved to the closed position so that the fluid introduced from the first through hole flows out to the second through hole,
Wherein the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by the check valve opening means so that the fluid introduced from the second through hole flows out to the first through hole. Type micro pump 제 1항에 있어서,
상기 제1 체크 밸브는, 상기 본체의 내부 공간에 배치되어 있으며, 제1 탄성 부재에 의하여 상기 폐쇄 위치 방향으로 탄성 바이어스되어 있으며,
상기 제2 체크 밸브는, 상기 본체의 외부에 배치되어 있으며, 제2 탄성 부재에 의하여 상기 폐쇄 위치 방향으로 탄성 바이어스되어 있는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프The method according to claim 1,
Wherein the first check valve is disposed in an inner space of the main body and is elastically biased in the direction of the closed position by the first elastic member,
And the second check valve is disposed outside the main body and is biased elastically in the direction of the closed position by the second elastic member. 제 2항에 있어서,
상기 본체는 제1 중심축을 따라 길게 연장되어 있으며, 상기 가압 부재는 상기 제1 중심축을 따라 상기 수축 위치와 상기 팽창 위치 사이에서 왕복 위치 이동 가능하며,
상기 제1 관통공과 상기 제2 관통공은, 상기 제1 중심축과 교차하는 제2 중심축을 따라 동일 선상에 배치되어 있으며,
상기 체크 밸브 개방 수단은, 상기 제2 중심축을 따라 길게 연장된 부재로서 상기 제2 중심축을 따라 왕복 위치 이동 가능하며, 일단부는 상기 제2 체크 밸브를 가압하여 개방 위치로 이동시킬 수 있도록 마련되며, 중간부에는 상기 제1 체크 밸브가 결합되어 있으며, 타단부는 상기 제1 관통공을 관통한 상태로 상기 본체의 외부에 배치되어 있는 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프3. The method of claim 2,
Wherein the main body is elongated along a first central axis and the pressing member is reciprocally movable between the retracted position and the inflated position along the first central axis,
Wherein the first through hole and the second through hole are arranged on the same line along a second central axis intersecting the first central axis,
Wherein the check valve opening means is a member elongated along the second central axis and is reciprocatably movable along the second central axis, the one end portion being capable of pressing the second check valve to move to the open position, And a connecting member disposed outside the main body in a state where the first check valve is coupled to the intermediate portion and the other end portion passes through the first through hole. 제 3항에 있어서,
상기 연결 부재가 사용자에 의해 수동으로 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프The method of claim 3,
Wherein the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by manually pressing the connecting member by the user. 제 3항에 있어서,
상기 연결 부재가 압전소자에 의하여 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프The method of claim 3,
Wherein the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by the piezoelectric element being pressed by the connecting member, 제 3항에 있어서,
상기 연결 부재가 솔레노이드 작동기에 의하여 가압됨으로써, 상기 제1 체크 밸브와 상기 제2 체크 밸브가 모두 개방 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 결합형 마이크로 펌프The method of claim 3,
Wherein the first check valve and the second check valve are both moved to the open position by the connection member being pressed by the solenoid actuator.
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