KR20150090560A - Device for Managing Suction Pressure - Google Patents

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KR20150090560A
KR20150090560A KR1020140011359A KR20140011359A KR20150090560A KR 20150090560 A KR20150090560 A KR 20150090560A KR 1020140011359 A KR1020140011359 A KR 1020140011359A KR 20140011359 A KR20140011359 A KR 20140011359A KR 20150090560 A KR20150090560 A KR 20150090560A
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이진수
이훈행
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Abstract

A device for managing suction pressure is disclosed. The present invention comprises: an input unit connected with a nozzle for measuring pressure, which is connected to a suction device; a measurement unit measuring suction pressure of the suction device; a calculation unit comparing suction pressure measured by the measurement unit with reference pressure; and a display unit displaying a comparison result between suction pressure calculated by the calculation unit and reference pressure. According to the present invention, normal operation of each air sampling device can be checked at once through separately measuring suction pressure in each air sampling device installed at a plurality of positions and comparing suction pressure with separate reference pressure.

Description

흡기압 관리 장치{Device for Managing Suction Pressure}Device for Managing Suction Pressure "

본 발명은 흡기압 관리 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 점검할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 장소에 설치된 각 에어 샘플링 장치에서의 흡기압의 개별 측정 및 개별 기준압과의 비교를 통해 각 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 일괄적으로 점검할 수 있도록 하는 흡기압 관리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an intake air pressure management apparatus, and more particularly, to an intake air pressure management apparatus capable of checking whether or not the air sampling apparatus is in normal operation, The intake air pressure of the air sampler can be checked at a glance whether the air samplers are normally operated or not.

반도체 장비 및 LCD 장비는 아주 미세한 오염원에도 그 기능이 저하 또는 마비되어 버리기 때문에 반도체 제조 설비는 이러한 오염원을 배제시키기 위하여 온도, 습도, 및 공기에 포함된 입자성 불순물(이하'파티클'이라 칭함) 등을 제어할 수 있는 특수한 실내 공간인 청정실 내에 설치된다.Since semiconductor devices and LCD equipment are degraded or paralyzed even in the case of very fine pollutants, the semiconductor manufacturing facility needs to remove temperature, humidity, and particulate impurities (hereinafter referred to as "particles") contained in the air Which is a special indoor space capable of controlling the indoor environment.

한편, 이와 같은 청정실의 공기 중에 떠다니는 파티클을 원하는 숫자 이하로 제어함으로써 청정실의 정정 상태를 관리하기 위하여 다양한 파티클 측정설비가 사용되고 있다.Meanwhile, various particle measuring apparatuses are used to control the correction state of the clean room by controlling the number of particles floating in the air of the clean room to a desired number or less.

즉, 청정실 내에 에어 샘플링 장치를 설치하고, 측정설비는 에어 샘플링 장치에 연결된 흡기 튜브를 통해 파티클을 수집 및 측정하게 된다.That is, an air sampling device is installed in the clean room, and the measuring equipment collects and measures the particles through the intake tube connected to the air sampling device.

그러나, 이와 같이 측정설비와 에어 샘플링 장치를 연결하는 흡기 튜브가 측정설비의 동작 과정에서 꺽이거나, 꼬임으로써 흡기 튜브에서의 압력이 증가되는 경우가 발생하며, 이와 같은 경우에는 측정설비를 통한 정상적인 파티클의 수집 및 측정은 불가능하게 된다.However, when the intake tube connecting the measuring equipment and the air sampling device is bent or twisted during the operation of the measuring equipment, the pressure in the intake tube may increase. In this case, the normal particles Can not be collected and measured.

따라서, 본 발명의 목적은, 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 점검할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 장소에 설치된 각 에어 샘플링 장치에서의 흡기압의 개별 측정 및 개별 기준압과의 비교를 통해 각 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 일괄적으로 점검할 수 있도록 하는 흡기압 관리 장치를 제공함에 있다.Therefore, it is an object of the present invention to provide an air sampling device capable of checking whether or not the air sampling device is operating normally, and also by individually measuring the intake air pressure in each air sampling device provided at a plurality of places, And an intake air pressure management device for collectively checking whether the sampling device normally operates.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 흡기압 관리 장치는, 흡기 장치에 연결된 압력 측정용 노즐이 연결되는 입력부; 상기 흡기 장치의 흡기압을 측정하는 측정부; 및 상기 측정부가 측정한 상기 흡기압과 소정의 기준압을 비교하는 연산부; 및 상기 연산부에 의한 상기 흡기압과 상기 기준압의 비교 결과를 표시하는 표시부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an intake air pressure management apparatus comprising: an input unit connected to a pressure measuring nozzle connected to an intake apparatus; A measuring unit for measuring an intake air pressure of the intake apparatus; And an operation unit for comparing the intake air pressure measured by the measurement unit with a predetermined reference pressure; And a display unit for displaying a comparison result between the intake pressure and the reference pressure by the calculation unit.

바람직하게는, 상기 흡기 장치는 청정실의 파티클 측정을 위해 상기 청정실 내부의 공기를 흡입하는 에어 샘플링 장치인 것을 특징으로 한다.Preferably, the intake device is an air sampling device for sucking air inside the clean room for measuring particles in a clean room.

또한, 상기 흡기 장치는 복수개가 설치되어 있으며, 상기 입력부에는 상기 복수개의 흡기 장치에 각각 연결된 복수개의 노즐이 각각 연결되는 복수개의 입력 단자가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, a plurality of intake apparatuses are provided, and the input unit is provided with a plurality of input terminals to which a plurality of nozzles respectively connected to the plurality of intake apparatuses are respectively connected.

또한, 상기 복수개의 흡기 장치에는 공기 흡입용 튜브가 각각 연결되어 있으며, 복수개의 공기 흡입용 튜브는 회전형 측정 장치에 연결된 것을 특징으로 한다.Further, the plurality of air intake tubes are connected to the plurality of intake apparatuses, respectively, and the plurality of air intake tubes are connected to the rotation measurement apparatus.

또한, 상기 회전형 측정 장치의 회전에 따라, 상기 복수개의 공기 흡입용 튜브 중 일부가 꺽임으로써, 꺽여진 공기 흡입용 튜브의 압력이 증가되는 경우에 상기 표시부에는 해당 흡기 장치의 정보가 표시되는 것을 특징으로 한다.Further, when the pressure of the bent air suction tube is increased by turning the part of the plurality of air suction tubes in accordance with the rotation of the rotating type measuring device, the information of the suction device is displayed on the display part .

본 발명에 따르면, 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 점검할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to check whether the air sampling device is operating normally or not.

아울러, 본 발명에 따르면, 복수의 장소에 설치된 각 에어 샘플링 장치에서의 흡기압의 개별 측정 및 개별 기준압과의 비교를 통해 각 에어 샘플링 장치의 정상 동작 여부를 일괄적으로 점검할 수 있게 된다.In addition, according to the present invention, it is possible to collectively check whether each air sampling device is in normal operation by individually measuring the intake air pressure in each air sampling device provided at a plurality of places and comparing with the individual reference pressure.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치의 사용 상태를 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치의 구조를 나타내는 기능 블록도, 및
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치의 표시부에서의 표시 정보를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state of use of an intake air pressure management apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 is a functional block diagram showing the structure of an intake air pressure management apparatus according to an embodiment of the present invention, and Fig.
3 is a diagram showing display information on a display unit of the intake air pressure management apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is to be noted that the same elements among the drawings are denoted by the same reference numerals whenever possible. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치(100)의 사용 상태를 나타내는 도면이다. 도 1에서와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치(100)는 압력 측정용 노즐(70)(예를 들면, 6mm의 튜브)을 통해 흡기 장치(50)와 연결된 상태에서 흡기 장치(50)의 흡기압을 측정하며, 측정된 흡기압과 소정의 기준압을 비교하고, 그 비교 결과를 표시하게 된다.1 is a view showing a use state of an intake air pressure management apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 1, an intake air pressure management apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an intake system 50, The intake air pressure of the engine 50 is measured, the measured intake air pressure is compared with a predetermined reference pressure, and the comparison result is displayed.

한편, 도 1에서의 흡기 장치(50)는 청정실 등에서의 파티클(Particle) 측정을 위해 청정실 등의 내부에 고정대(55)를 통해 설치된 상태에서, 청정실 등의 내부의 공기를 흡입하는 에어 샘플링 장치이다.1 is an air sampling device for sucking air inside a clean room or the like in a state where it is installed in a clean room or the like through a fixing table 55 for measuring particles in a clean room or the like .

한편, 본 발명을 실시함에 있어서 흡기 장치(50)는 여러 장소에 복수개가 설치될 수도 있으며, 이 경우에는 복수개의 흡기 장치(50)에 연결된 복수개의 노즐(70)이 각각 연결되는 복수개의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)(예를 들면, 6mm의 튜브의 삽입구)가 흡기압 관리 장치(100)에 각각 구비되도록 함이 바람직할 것이다.In this case, a plurality of nozzles 70 connected to the plurality of intake apparatuses 50 may be connected to a plurality of input terminals 50 connected to the plurality of intake apparatuses 50, It is preferable that the intake air pressure management apparatus 100-1, 100-2, .., 100-10 (for example, a 6 mm tube insertion opening) is provided in the intake air pressure management apparatus 100, respectively.

한편, 도 1에서와 같이 흡기 장치(50)에는 공기 흡입용 튜브(90)의 일단이 연결되어 있으며, 공기 흡입용 튜브(90)의 타단은 회전형 측정 장치(200)에 연결되어 있다.1, one end of the air suction tube 90 is connected to the intake device 50, and the other end of the air suction tube 90 is connected to the rotating type measuring device 200. As shown in FIG.

회전형 측정 장치(200)에는 진공 펌프(250)가 구비되어 있으며, 진공 펌프(250)의 구동에 따라 공기 흡입용 튜브(90)에 흡기압이 인가되면 흡기 장치(50)는 청정실 등의 내부의 공기를 흡입하게 되며, 흡입된 공기는 공기 흡입용 튜브(90)를 따라 회전형 측정 장치(200)에 공급된다.The rotary type measuring apparatus 200 is provided with a vacuum pump 250. When the suction pressure is applied to the air suction tube 90 by driving the vacuum pump 250, And the sucked air is supplied to the rotatable measuring device 200 along the air suction tube 90.

한편, 회전형 측정 장치(200)는 복수개의 공기 흡입용 튜브(90)가 연결된 상태에서, 수직 방향으로 회전하며 각각의 공기 흡입용 튜브(90)를 통해 공급되는 공기에 포함된 파티클을 측정하게 되며, 이와 같이 회전형 측정 장치(200)가 회전하는 과정에서 특정 공기 흡입용 튜브(90)가 꺽인 상태가 되면, 공기 흡입용 튜브(90)의 압력이 증가되게 된다.Meanwhile, the rotating type measuring apparatus 200 rotates in a vertical direction with a plurality of air intake tubes 90 connected thereto, and measures particles included in the air supplied through each of the air intake tubes 90 When the specific air suction tube 90 is bent in the process of rotating the rotary measuring apparatus 200, the pressure of the air suction tube 90 is increased.

이와 같이 공기 흡입용 튜브(90)의 꺽임으로 인해 압력이 증가되거나, 공기 흡입용 튜브(90)가 회전형 측정 장치(200)와로부터 분리되는 경우에 흡기 장치(50)를 통한 에어 샘플링의 수집이 원활하지 않게 되며, 이는 회전형 측정 장치(200)에서의 파티클 측정의 실패(Particle Counting Failure)로 귀결된다.In this way, when the pressure is increased due to the bending of the air suction tube 90, or when the air suction tube 90 is separated from the rotating type measuring device 200, the collection of the air sampling through the suction device 50 This results in a particle counting failure in the rotatable measuring apparatus 200.

따라서, 본 발명에 따른 흡기압 관리 장치(100)에서는 각각의 흡기 장치(50)에 연결되어 있는 각각의 압력 측정용 노즐(70)을 통해 흡기압을 측정하며, 측정된 흡기압을 소정의 기준압과 비교함으로써, 각각의 공기 흡입용 튜브(90)의 상태를 점검할 수 있게 된다.Therefore, in the intake air pressure management apparatus 100 according to the present invention, the intake air pressure is measured through each of the pressure measurement nozzles 70 connected to the respective intake apparatuses 50, and the measured intake air pressure is set to a predetermined reference By comparison with the pressure, it becomes possible to check the condition of each air suction tube 90.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치(100)의 구조를 나타내는 기능 블록도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치(100)는 입력부(110), 측정부(130), 표시부(150), 및 연산부(170)를 포함한다.2 is a functional block diagram showing the structure of an intake air pressure management apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 2, an intake air pressure management apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an input unit 110, a measurement unit 130, a display unit 150, and an operation unit 170.

입력부(110)에는 도 1에서와 같이 복수개의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)가 구비되어 있으며, 복수개의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)에는 복수개의 흡기 장치(50)에 각각 연결된 복수개의 압력 측정용 노즐(70)이 각각 연결됨으로써, 측정부(130)는 각각의 흡기 장치(50)에서의 흡기압을 측정할 수 있게 된다.As shown in FIG. 1, the input unit 110 includes a plurality of input terminals 100-1, 100-2, .., 100-10, and a plurality of input terminals 100-1, 100-2, .., 100-10 The plurality of pressure measuring nozzles 70 connected to the plurality of intake apparatuses 50 are connected to the measuring unit 130 so that the measuring unit 130 can measure the intake air pressure in each of the intake apparatuses 50.

한편, 연산부(170)에는 각각의 흡기 장치(50)의 정상 상태(예를 들면, 공기 흡입용 튜브(90)의 꺽임 등으로 인한 튜브(90)내의 압력 증가가 없는 상태)에서의 흡기압인 기준압 정보가 저장되어 있으며, 연산부(170)는 측정부(130)에서 측정되는 각 흡기 장치(50)의 흡기압과 각 흡기 장치(50)에 대해 기 저장되어 있는 기준압을 비교함으로써, 각 흡기 장치(50)의 흡기압의 정상 여부(또는, 각 흡기 장치(50)의 공기 흡입용 튜브(90)의 정상 상태 여부)를 판단하게 된다.On the other hand, the calculation unit 170 is provided with a calculation unit for calculating a reference value of the intake pressure in the steady state of each intake apparatus 50 (for example, a state in which there is no increase in pressure in the tube 90 due to bending of the air intake tube 90) And the arithmetic unit 170 compares the intake air pressure of each of the intake apparatuses 50 measured by the measurement unit 130 with the reference pressure stored in advance for each of the intake apparatuses 50, Whether or not the intake pressure of the apparatus 50 is normal (or whether or not the air intake tube 90 of each intake apparatus 50 is steady).

본 발명을 실시함에 있어서, 연산부(170)에 저장된 각 흡기 장치(50)별 소정의 기준압 정보는 관리자에 의해 개별 입력 및 설정된 값으로서, 관리자는 각 흡기 장치(50)에 연결된 공기 흡입용 튜브(90)의 길이 등의 각 흡기 장치(50)별 설치 조건 및 설치 환경 등을 고려하여 각 흡기 장치(50)별로 소정의 기준압(예를 들면, 3CFM)을 결정하게 된다.In implementing the present invention, the predetermined reference pressure information for each intake apparatus 50 stored in the calculation unit 170 is individually input and set by the administrator, and the manager sets the air intake tube connected to each intake apparatus 50 (For example, 3CFM) is determined for each intake apparatus 50 in consideration of the installation condition and the installation environment for each intake apparatus 50 such as the length of the intake system 50,

한편, 연산부(170)는 각 흡기 장치(50)별로 저장되어 있는 소정의 기준압과 측정부(130)에 의해 측정된 각 흡기 장치(50)별 흡기압이 소정의 오차 범위 내에 있는지 여부를 판단한다.On the other hand, the arithmetic unit 170 determines whether or not a predetermined reference pressure stored for each intake apparatus 50 and an intake pressure of each intake apparatus 50 measured by the measurement unit 130 are within a predetermined error range do.

예를 들면, 연산부(170)는 특정 흡기 장치(50)에 대한 기준압(예를 들면, 3CFM)과 해당 흡기 장치(50)에 대해 측정된 흡기압(예를 들면, 2.8CFM)이 10% 이내의 오차 범위 내에 있는 경우에는 해당 흡기 장치(50)의 흡기압이 정상 상태에 있는 것으로 판단하고, 측정된 흡기압(예를 들면, 2.2CFM)이 기준압(예를 들면, 3CFM) 대비 10%를 초과하는 오차 범위에 있는 것으로 판단된 경우에는 해당 흡기 장치(50)의 흡기압은 비정상 상태에 있는 것으로 판단하게 된다.For example, the arithmetic section 170 calculates the intake air pressure (for example, 3CFM) for the specific intake system 50 and the intake pressure measured for the intake system 50 (for example, 2.8CFM) It is determined that the intake air pressure of the intake apparatus 50 is in the normal state and the measured intake air pressure (for example, 2.2 CFM) is equal to or higher than the reference pressure (for example, 3 CFM) %, It is determined that the intake air pressure of the intake apparatus 50 is in an abnormal state.

한편, 이와 같이 연산부(170)에 의해 특정 흡기 장치(50)의 흡기압이 비정상 상태에 있는 것으로 판단된 경우에 표시부(150)는 비정상 상태에 있는 것으로 판단된 흡기 장치(50)에 연결된 압력 측정용 노즐(70)이 연결되어 있는 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)의 정보 및 해당 흡기 장치(50)의 정보를 표시하게 된다.If it is determined by the arithmetic unit 170 that the intake air pressure of the specific intake system 50 is in an abnormal state, the display unit 150 displays the pressure measured in the intake system 50, which is determined to be in an abnormal state, 100-2,..., 100-10 to which the nozzle 70 is connected, and the information of the intake apparatus 50, as shown in FIG.

그 결과, 관리자는 특정 흡기 장치(50)에서의 흡기압의 이상이 발생한 것을 확인할 수 있게 되며, 그에 따라 해당 흡기 장치(50)에 연결된 공기 흡입용 튜브(90)의 상태를 점검하고, 공기 흡입용 튜브(90)의 꺽임, 꼬임, 이탈 등의 상태를 정비 및 보완할 수 있게 된다.As a result, the administrator can confirm that the abnormality of the intake pressure in the specific intake apparatus 50 has occurred, thereby checking the state of the air intake tube 90 connected to the intake apparatus 50, It is possible to repair and supplement the state of the bending, twisting, and disengagement of the tube 90.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡기압 관리 장치(100)의 표시부(150)에서의 표시 정보를 나타내는 도면이다. 도 3에서와 같이, 입력부(110)에 10개의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)가 구비되어 있는 경우에 표시부(150)에는 각각의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)를 통해 측정된 흡기압 정보(LOCE1, LOCE2,...,LOCE10)가 실시간으로 표시됨이 바람직할 것이며, 현재 흡기압을 측정하고 있는 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)에 대응되는 흡기압 정보 표시 부분을 점멸 표시하거나, 다른 색으로 표시함으로써 현재 흡기압이 측정되고 있는 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10) 및 흡기 장치(50)의 정보를 나타내도록 함이 바람직할 것이다.3 is a diagram showing display information in the display unit 150 of the intake air pressure management apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, when ten input terminals 100-1, 100-2, .., 100-10 are provided in the input unit 110, the display unit 150 is provided with input terminals 100-1, 100-2 LOCE1, LOCE2, ..., LOCE10) measured through the intake valves 100-1, 100-2, ..., 100-10 are displayed in real time, and the input terminals 100-1, 100-2 100-1, 100-2,..., 100-10 in which the current intake air pressure is measured by flashing or displaying the intake air pressure information corresponding to the intake air pressure information, It is preferable to display the information of the intake apparatus 50.

아울러, 표시부(150)에는 "Data: 16/250"에서와 같이 측정된 흡기압의 총 저장 회수(250)를 표시하거나, 흡기압 관리 장치(100)의 현재 가동 상태(Run/Stop)를 표시하거나, 각각의 입력 단자(100-1,100-2,..,100-10)에서의 흡기압 측정 시간(Sample time: 60sec)을 표시하거나, 각 흡기 장치(50)에서의 흡기압을 순차적으로 측정함에 있어서의 대기 시간 정보(Hold Time: 05sec)를 표시함이 바람직할 것이다.In addition, the display unit 150 displays the total storage number 250 of intake air pressures measured as in "Data: 16/250" or displays the current operation state (Run / Stop) of the intake air pressure management apparatus 100 Or the intake pressure measurement time (Sample time: 60 sec) on each of the input terminals 100-1, 100-2, .., 100-10 is displayed, or the intake pressure in each intake device 50 is measured It is preferable to display the waiting time information (Hold Time: 05 sec) in the case of the waiting time.

한편, 본 발명을 실시함에 있어서는, 표시부(150)에 표시되는 상기 흡기압 측정 시간(Sample time: 60sec) 및 대기 시간 정보(Hold Time: 05sec)는 관리자가 미리 설정해둔 값으로서, 관리자는 필요에 따라 연산부(170)를 통해 이들 설정값을 수정할 수도 있을 것이다.In carrying out the present invention, the intake air pressure measurement time (Sample time: 60 sec) and the waiting time information (Hold Time: 05 sec) displayed on the display unit 150 are values set in advance by the manager, The set values may be modified through the arithmetic operation unit 170.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 응용예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 응용예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

또한, 본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
Furthermore, the terms used in the present invention are used only to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

50: 흡기 장치, 70: 압력 측정용 노즐,
90: 공기 흡입용 튜브, 100: 흡기압 관리 장치,
110: 입렵부, 130: 측정부,
150: 표시부, 170: 연산부,
200: 회전형 측정 장치, 250: 진공펌프.50: intake device, 70: pressure measuring nozzle,
90: air suction tube, 100: intake air pressure management device,
110: mouthpiece, 130: measuring part,
150: display section, 170: operation section,
200: Rotary measuring device, 250: Vacuum pump.

Claims (5)

흡기 장치에 연결된 압력 측정용 노즐이 연결되는 입력부;
상기 흡기 장치의 흡기압을 측정하는 측정부; 및
상기 측정부가 측정한 상기 흡기압과 소정의 기준압을 비교하는 연산부; 및
상기 연산부에 의한 상기 흡기압과 상기 기준압의 비교 결과를 표시하는 표시부
를 포함하는 흡기압 관리 장치.
An input unit to which a pressure measuring nozzle connected to the intake apparatus is connected;
A measuring unit for measuring an intake air pressure of the intake apparatus; And
An operation unit for comparing the intake air pressure measured by the measurement unit with a predetermined reference pressure; And
A display unit for displaying a result of comparison between the intake air pressure and the reference pressure by the calculation unit;
And an intake air pressure control device for controlling the intake air pressure.
제1항에 있어서,
상기 흡기 장치는 청정실의 파티클 측정을 위해 상기 청정실 내부의 공기를 흡입하는 에어 샘플링 장치인 것인 흡기압 관리 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the intake device is an air sampling device that sucks air inside the clean room for particle measurement in a clean room.
제1항에 있어서,
상기 흡기 장치는 복수개가 설치되어 있으며, 상기 입력부에는 상기 복수개의 흡기 장치에 각각 연결된 복수개의 노즐이 각각 연결되는 복수개의 입력 단자가 구비되어 있는 것인 흡기압 관리 장치.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of intake apparatuses are provided, and the input unit is provided with a plurality of input terminals each of which is connected to a plurality of nozzles respectively connected to the plurality of intake apparatuses.
제3항에 있어서,
상기 복수개의 흡기 장치에는 공기 흡입용 튜브가 각각 연결되어 있으며, 복수개의 공기 흡입용 튜브는 회전형 측정 장치에 연결된 것인 흡기압 관리 장치.
The method of claim 3,
Wherein the plurality of air intake tubes are connected to the plurality of intake apparatuses, respectively, and the plurality of air intake tubes are connected to the rotation measurement apparatus.
제4항에 있어서,
상기 회전형 측정 장치의 회전에 따라, 상기 복수개의 공기 흡입용 튜브 중 일부가 꺽임으로써, 꺽여진 공기 흡입용 튜브의 압력이 증가되는 경우에 상기 표시부에는 해당 흡기 장치의 정보가 표시되는 것인 흡기압 관리 장치.5. The method of claim 4,
Wherein when the pressure of the bent air suction tube is increased by turning a part of the plurality of air suction tubes in accordance with rotation of the rotating type measuring device, information of the suction device is displayed on the display part Pressure management device.
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