KR20150086126A

KR20150086126A - Mask device

Info

Publication number: KR20150086126A
Application number: KR1020140006315A
Authority: KR
Inventors: 류상준
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2014-01-17
Filing date: 2014-01-17
Publication date: 2015-07-27

Abstract

A mask device according to an embodiment of the present invention may include a mask frame, wires which cross an opening part formed in the center of the mask frame, and wire fixing parts which control the tension of each of the wires and fix the wires to the mask frame.

Description

MASK DEVICE

본 발명은 마스크 장치에 관한 것이다The present invention relates to a mask apparatus

현재 알려져 있는 표시 장치에는 액정 표시 장치(liquid crystal display: LCD), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel: PDP), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode device: OLED device), 전계 효과 표시 장치(field effect display: FED), 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display device) 등이 있다.Currently known display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode (OLED) device, a field effect display display: FED, and electrophoretic display device.

특히, 유기 발광 표시 장치는 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광층에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.In particular, an organic light emitting diode display includes two electrodes and an organic light emitting layer disposed therebetween. Electrons injected from one electrode and holes injected from the other electrode are combined in the organic light emitting layer to form excitons excitons are formed, and the excitons emit energy and emit light.

유기 발광 표시 장치는 자발광(self-luminance) 특성을 가지며, 액정 표시 장치와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성을 나타내므로 차세대 표시 장치로 주목을 받고 있다.The organic light emitting display device has a self-luminance characteristic, and unlike a liquid crystal display device, a separate light source is not required, so that thickness and weight can be reduced. Further, organic light emitting display devices are attracting attention as next generation display devices because they exhibit high quality characteristics such as low power consumption, high luminance, and fast response speed.

이와 같은 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층을 형성하기 위해 표시 장치의 기판 상에 red(R), green(G), blue(B) 색의 유기 물질을 증착한다. Such an organic light emitting display device deposits red (R), green (G), and blue (B) organic materials on a substrate of a display device to form an organic light emitting layer.

이때, 복수개의 와이어로 이루어진 마스크 장치를 이용하여, 기판 상에 증착 물질을 증착시킬 수 있다. At this time, the deposition material may be deposited on the substrate by using a mask device composed of a plurality of wires.

그러나, 와이어는 용접 등에 의해 마스크 프레임에 고정되고, 이후 시간이 지나면 와이어의 장력이 약해져 일정한 증착 패턴을 유지하기 어렵게 된다. However, the wire is fixed to the mask frame by welding or the like, and after a lapse of time, the tension of the wire becomes weak, making it difficult to maintain a constant deposition pattern.

또한, 용접 등에 의해 와이어가 마스크 프레임에 고정되어, 증착 패턴을 변경할 수 없는 문제가 발생한다. Further, the wire is fixed to the mask frame by welding or the like, and a problem arises that the vapor deposition pattern can not be changed.

본 발명의 일 실시예는, 와이어의 장력을 조절할 수 있으며, 증착 패턴을 다양하게 변경할 수 있는 마스크 장치를 제공하고자 한다. One embodiment of the present invention is to provide a mask device capable of adjusting the tension of a wire and variously changing a deposition pattern.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치는, 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임의 중앙에 형성된 개구부를 가로지르는 복수개의 와이어 및 상기 복수개의 와이어 각각의 장력을 조절하며 상기 와이어를 상기 마스크 프레임에 고정시키는 복수개의 와이어 고정부를 포함할 수 있다.A mask apparatus according to an embodiment of the present invention includes a mask frame, a plurality of wires crossing an opening formed at the center of the mask frame, and a plurality of wires for adjusting the tension of each of the plurality of wires and fixing the wires to the mask frame Wire fixing portions.

이때, 상기 와이어 고정부는 상기 와이어의 양측 단부에 결합될 수 있다. At this time, the wire fixing part may be coupled to both ends of the wire.

이때, 상기 와이어의 상기 양측 단부 중 적어도 하나는 상기 와이어 고정부에 감길 수 있다. At this time, at least one of the opposite end portions of the wire may be wound around the wire fixing portion.

한편, 상기 와이어 고정부는 인접한 상기 와이어의 간격을 조절할 수 있다. Meanwhile, the wire fixing part can adjust the interval of the adjacent wires.

이때, 상기 마스크 프레임은, 상기 개구부를 중심으로 서로 마주보는 한 쌍의 지지대를 포함하며, 상기 한 쌍의 지지대에는 상기 와이어 고정부가 이동할 수 있는 가이드 부가 형성될 수 있다.In this case, the mask frame includes a pair of supports opposed to each other with the opening as a center, and the pair of supports may be provided with a guide portion through which the wire fixing portion can move.

이때, 상기 가이드 부는 홈 형상 또는 슬릿 형상일 수 있다. At this time, the guide portion may have a groove shape or a slit shape.

한편, 상기 한 쌍의 지지대 각각에는 복수개의 가이드 부가 형성될 수 있다. On the other hand, each of the pair of supports may be provided with a plurality of guide portions.

이때, 상기 복수개의 가이드 부 각각에는 상기 복수개의 와이어 각각에 결합된 상기 와이어 고정부가 이동할 수 있다.At this time, the wire fixing part coupled to each of the plurality of wires can move to each of the plurality of guide parts.

한편, 상기 와이어 고정부는, 상기 가이드 부를 따라 이동하는 제1 몸체, 상기 제1 몸체와 체결되어 상기 제1 몸체를 상기 마스크 프레임에 고정하는 체결부 및 상기 와이어의 일측 단부에 결합되며 상기 제1 몸체에 회전 가능하게 결합되는 제2 몸체를 포함할 수 있다. The wire fixing part may include a first body moving along the guide part, a fastening part fastened to the first body and fixing the first body to the mask frame, and a fastening part fastened to one end of the wire, And a second body rotatably coupled to the second body.

이때, 상기 와이어의 상기 일측 단부는 상기 제2 몸체에 감길 수 있다. At this time, the one end of the wire may be wound on the second body.

한편, 상기 제1 몸체는 상기 가이드 부를 관통할 수 있다. Meanwhile, the first body may pass through the guide portion.

이때, 상기 제1 몸체의 외주면에는 나사산이 형성되며, 상기 체결부의 내주면에는 상기 나사산에 대응하는 대응 나사산이 형성될 수 있다. At this time, a thread is formed on the outer circumferential surface of the first body, and a corresponding thread corresponding to the thread is formed on the inner circumferential surface of the fastening portion.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 와이어의 장력을 조절함으로써 와이어가 처져 증착 패턴이 변형되는 것을 방지할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, by controlling the tension of the wire, it is possible to prevent the wire from sagging and deforming the deposition pattern.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 와이어의 간격을 조절함으로써 제작하려는 표시 장치에 따라 다양한 증착 패턴을 형성할 수 있다. Also, according to an embodiment of the present invention, various deposition patterns can be formed according to a display device to be manufactured by adjusting the interval of the wires.

도 1은 유기 발광 표시 장치의 하나의 화소의 등가 회로도이다.
도 2는 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 자른 마스크 장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치를 이용하여 기판에 증착 물질을 증착하는 과정을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치의 와이어 고정부의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 장치의 평면도이다.1 is an equivalent circuit diagram of one pixel of an organic light emitting diode display.
2 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display.
3 is a plan view of a mask apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the mask device taken along line IV-IV in FIG.
5 illustrates a process of depositing a deposition material on a substrate using a mask apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a wire fixing portion of a mask apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a plan view of a mask apparatus according to another embodiment of the present invention.

첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.In the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Also, when a layer is referred to as being "on" another layer or substrate, it may be formed directly on another layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. Like numbers refer to like elements throughout the specification.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치는, 표시 장치의 기판에 증착 물질이 일정한 패턴으로 증착되도록 사용되는 마스크 장치로서, 증착 패턴을 형성하는 와이어의 장력을 조절할 수 있으며, 또한 인접한 와이어의 간격을 조절하여 증착 패턴을 용이하게 변경할 수 있다. 3 and 4, a mask apparatus according to an embodiment of the present invention is used for depositing a deposition material in a predetermined pattern on a substrate of a display device, wherein the mask apparatus adjusts a tension of a wire forming a deposition pattern And the deposition pattern can be easily changed by adjusting the interval of the adjacent wires.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치는 마스크 프레임(310), 와이어(330) 및 와이어 고정부(350)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the mask apparatus according to an embodiment of the present invention may include a mask frame 310, a wire 330, and a wire fixing unit 350.

마스크 프레임(310)은 후술하는 복수개의 와이어의 양측 단부를 고정 및 지지할 수 있다. The mask frame 310 can fix and support both ends of a plurality of wires to be described later.

이때, 마스크 프레임(310)은 중앙에 개구부(370)가 형성된 판재 형상일 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 개구부(370)는 사각 형상을 이룰 수 있다. 여기에서, 증착 물질이 개구부(370)를 관통하여 기판 상에 증착하게 된다. At this time, the mask frame 310 may be in the form of a plate having an opening 370 at the center thereof. As shown in Fig. 3, the opening 370 may have a rectangular shape. Here, a deposition material is deposited on the substrate through the opening 370.

마스크 프레임(310)은 개구부(370)를 중심으로 서로 마주보는 한 쌍의 지지대로 이루어진다. 이때, 한 쌍의 지지대에는 각각 가이드 부(380)가 형성될 수 있다. The mask frame 310 is composed of a pair of supports opposed to each other with the opening 370 as a center. At this time, guide portions 380 may be formed on the pair of supports.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 가이드 부(380)는 한 쌍의 지지대 각각에 형성될 수 있다. 이때, 가이드 부(380)는 각각의 지지대에 하나의 홈 형상 또는 마스크 프레임(310)을 관통하는 슬릿 형상(slit)으로 이루어질 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. According to an embodiment of the present invention, the guide portion 380 may be formed on each of the pair of supports. At this time, the guide portion 380 may be formed in a single groove shape or a slit through the mask frame 310 on each support. A detailed description thereof will be given later.

마스크 프레임(310)은 와이어를 견고하게 고정한 채 그 형상이 변형되지 않을 정도의 강성을 가진다. 마스크 프레임(310)을 이루는 물질은 마스크 장치에 사용되는 공지의 물질이 적용될 수 있다. The mask frame 310 has such a rigidity that the shape of the mask frame 310 is not deformed while firmly fixing the wire. As the material forming the mask frame 310, a known material used in a masking apparatus can be applied.

한편, 복수개의 와이어(330)가 마스크 프레임(310)에 결합될 수 있다. 복수개의 와이어(330)는 인접한 와이어(330)의 간격(W)이 일정하도록 나란하게 배치될 수 있다. Meanwhile, a plurality of wires 330 may be coupled to the mask frame 310. The plurality of wires 330 may be arranged in parallel so that the interval W between the adjacent wires 330 is constant.

이때, 복수개의 와이어(330)는 마스크 프레임(310)의 개구부(370)를 가로질러 배치될 수 있다. At this time, the plurality of wires 330 may be disposed across the opening 370 of the mask frame 310.

이에 의해, 복수개의 와이어(330)는 증착 패턴을 형성할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 복수개의 와이어(330) 사이로 증착 물질(410)이 기판(500)에 증착되어, 기판(500) 상에 증착 물질이 일정한 패턴을 형성할 수 있다. Thereby, the plurality of wires 330 can form a vapor deposition pattern. As shown in FIG. 5, a deposition material 410 is deposited on the substrate 500 between a plurality of wires 330, so that a certain pattern of deposition material can be formed on the substrate 500.

와이어(330)는 그 단면이 원형일 수 있다. 그러나, 와이어(330)의 단면 형상은 이에 한정되지 않고, 사각형, 오각형, 육각형 등의 다각 형상으로 이루어질 수 있다. The wire 330 may have a circular cross section. However, the cross-sectional shape of the wire 330 is not limited thereto, but may be a polygonal shape such as a square, a pentagon, or a hexagon.

한편, 와이어(330)의 굵기는 10 ㎛ 내지 수백 ㎛일 수 있다. 와이어(330)의 굵기는 마스트 장치를 사용하여 제작되는 표시 장치의 크기에 따라 달라질 수 있다. On the other hand, the wire 330 may have a thickness of 10 탆 to several hundred 탆. The thickness of the wire 330 may vary depending on the size of the display device manufactured using the mast device.

이때, 와이어(330)는 후술하는 와이어 고정부(350)에 감길 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. At this time, the wire 330 can be wound around the wire fixing part 350 described later. A detailed description thereof will be given later.

도 3을 참조하면, 복수개의 와이어(330)는 와이어 고정부(350)에 의해 마스크 프레임(310)에 고정될 수 있다. 이때, 와이어 고정부(350)는 복수개의 와이어(330)의 장력을 조절할 수 있다. Referring to FIG. 3, a plurality of wires 330 may be fixed to the mask frame 310 by wire fixing portions 350. At this time, the wire fixing part 350 can adjust the tension of the plurality of wires 330.

와이어 고정부(350)는 각각의 와이어(330)의 양측 단부에 결합될 수 있다. 와이어(330)의 양측 단부가 상기 한 쌍의 지지대에 위치하는 와이어 고정부(350)에 결합된다. The wire fixing portions 350 may be coupled to both ends of the respective wires 330. Both ends of the wire 330 are coupled to the wire fixing portion 350 located at the pair of supports.

이때, 와이어(330)는 와이어 고정부(350)에 고정되어 수평을 유지한 채 마스크 프레임(310)에 고정될 수 있다. At this time, the wire 330 may be fixed to the wire fixing part 350 and fixed to the mask frame 310 while being kept horizontal.

한편, 와이어(330)의 양측 단부 중 적어도 하나는 와이어 고정부(350)에 감길 수 있다. 이에 의해, 와이어(330)의 장력을 조절할 수 있다. At least one of both ends of the wire 330 may be wound around the wire fixing part 350. Thus, the tension of the wire 330 can be adjusted.

예를 들어, 마스크 프레임(310)에 고정된 와이어(330)의 장력이 약해져 와이어(330)의 수평이 유지 되지 않거나 와이어(330)의 간격이 일정하지 않는 경우, 와이어(330)의 일측 단부가 고정부(350)에 감김으로써 와이어(330)의 수평을 유지할 수 있다. For example, when the tension of the wire 330 fixed to the mask frame 310 is weakened so that the horizontal position of the wire 330 is not maintained or the distance between the wires 330 is not constant, The wire 330 can be kept horizontal by being wound around the fixing portion 350.

본 발명의 일 실시예에 따르면 와이어 고정부(350)는 제1 몸체(353), 제2 몸체(351) 및 체결부(355)로 이루어질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the wire fixing portion 350 may include a first body 353, a second body 351, and a fastening portion 355.

도 6를 참조하면, 제1 몸체(353)는 가이드 부(380)를 따라 이동할 수 있다. 이때, 가이드 부(380)는 마스크 프레임(310)을 관통할 수 있다. 가이드 부(380)가 마스크 프레임(310)을 관통하는 경우, 가이드 부(380)는 슬릿 형상으로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 6, the first body 353 can move along the guide portion 380. At this time, the guide portion 380 can penetrate the mask frame 310. When the guide portion 380 passes through the mask frame 310, the guide portion 380 may be formed in a slit shape.

이때, 체결부(355)는 제1 몸체(353)와 체결되어, 제1 몸체(353)가 마스크 프레임(310)에 고정되게 한다. 보다 자세히, 제1 몸체(353)의 외주면에는 나사산이 형성될 수 있다. 그리고, 체결부(355)의 내주면에는 상기 나사산에 대응되는 대응 나사산이 형성될 수 있다. At this time, the fastening part 355 is fastened to the first body 353 so that the first body 353 is fixed to the mask frame 310. More specifically, threads may be formed on the outer peripheral surface of the first body 353. A corresponding thread corresponding to the thread may be formed on the inner circumferential surface of the fastening portion 355.

즉, 제1 몸체(353)와 체결부(355)는 각각 볼트와 너트로 이루어질 수 있다. 그러나, 제1 몸체(353)와 체결부(355)의 체결 방식은 이에 한정되지 않고, 공지의 다양한 방식으로 체결 고정될 수 있다. That is, the first body 353 and the fastening portion 355 may be formed of bolts and nuts, respectively. However, the fastening manner of the first body 353 and the fastening portion 355 is not limited to this, and can be fastened and fixed by various known methods.

또한, 제2 몸체(351)는 제1 몸체(353)의 상부에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 즉, 제2 몸체(351)는 와이어(330)의 일측 단부와 결합되며, 상기 일측 단부를 결합한 채 제1 몸체(353)에 회전 가능하게 결합된다.In addition, the second body 351 may be rotatably coupled to the upper portion of the first body 353. That is, the second body 351 is engaged with one end of the wire 330, and is rotatably coupled to the first body 353 while coupling the first end.

이에 의해, 와이어(330)의 일측 단부가 제2 몸체(351)에 감기게 된다. As a result, one end of the wire 330 is wound on the second body 351.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치는 복수개의 와이어(330)의 간격을 조절할 수 있다. 와이어(330)의 간격을 조절함으로써, 증착 패턴을 다양하게 변경할 수 있다. Meanwhile, the mask device according to an embodiment of the present invention can adjust the spacing of the plurality of wires 330. By adjusting the spacing of the wires 330, the deposition pattern can be varied in various ways.

즉, 제조하려는 표시 장치의 픽셀의 크기에 따라 와이어(330)의 간격을 조절할 수 있다. That is, the interval of the wires 330 can be adjusted according to the size of the pixels of the display device to be manufactured.

도 3에 도시된 바와 같이, 와이어 고정부(350)가 마스크 프레임(310)에 형성된 가이드 부(380)를 따라 이동함으로써 와이어(330)의 간격을 조절할 수 있다. 3, the distance between the wires 330 can be adjusted by moving the wire fixing part 350 along the guide part 380 formed in the mask frame 310. [

보다 자세히, 와이어 고정부(350)의 제1 몸체(353)가 가이드 부(380)를 따라 이동함으로써 와이어(330)의 간격을 조절할 수 있다. More specifically, the distance between the wires 330 can be adjusted by moving the first body 353 of the wire fixing part 350 along the guide part 380.

이때, 와이어(330)가 일정한 간격을 유지하면, 제1 몸체(353)와 체결부(355)를 서로 체결하여 제1 몸체(353)를 마스크 프레임(310)에 고정시킬 수 있다. The first body 353 and the coupling part 355 may be fastened to each other to fix the first body 353 to the mask frame 310. In this case,

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 장치의 평면도이다.7 is a plan view of a mask apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 장치에 대해 설명하기로 한다. Referring to FIG. 7, a mask apparatus according to another embodiment of the present invention will be described.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 장치는 마스크 프레임(310), 와이어(330) 및 와이어 고정부(350)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the mask device according to another embodiment of the present invention may include a mask frame 310, a wire 330, and a wire fixing portion 350.

마스크 프레임(310)은 복수개의 와이어(330)의 양측 단부를 고정 및 지지할 수 있다. The mask frame 310 can fix and support both ends of the plurality of wires 330.

이때, 마스크 프레임(310)은 중앙에 개구부(370)가 형성된 판재 형상일 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 개구부(370)는 사각 형상을 이룰 수 있다. 여기에서, 증착 물질이 개구부(370)를 관통하여 기판 상에 증착하게 된다. At this time, the mask frame 310 may be in the form of a plate having an opening 370 at the center thereof. As shown in Fig. 7, the opening 370 may have a rectangular shape. Here, a deposition material is deposited on the substrate through the opening 370.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 가이드 부(380)는 한 쌍의 지지대 각각에 형성될 수 있다. 이때, 가이드 부(380)는 각각의 지지대에 복수개가 형성될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the guide portion 380 may be formed on each of the pair of supports. At this time, a plurality of guide portions 380 may be formed on each support.

도 7에 도시된 바와 같이, 각각의 지지대에는 복수개의 가이드부(381, 382, 383, 384)가 형성될 수 있다. As shown in FIG. 7, a plurality of guide portions 381, 382, 383, and 384 may be formed on each support.

각각의 가이드부(381, 382, 383, 384)에는 하나의 와이어 고정부(350)가 위치할 수 있다. One wire fixing portion 350 can be positioned in each of the guide portions 381, 382, 383, and 384.

이때, 와이어 고정부(350)가 각각의 가이드부(381, 382, 383, 384)를 따라 이동할 수 있다. 도 3에서와 마찬가지로, 가이드부(381, 382, 383, 384)는 홈 형상 또는 마스크 프레임(310)을 관통하는 슬릿 형상(slit)으로 이루어질 수 있다. At this time, the wire fixing portion 350 can move along the respective guide portions 381, 382, 383, and 384. 3, the guide portions 381, 382, 383, and 384 may have a groove shape or a slit that penetrates the mask frame 310.

복수개의 와이어(330)는 와이어 고정부(350)에 의해 마스크 프레임(310)에 고정될 수 있다. 이때, 와이어 고정부(350)는 복수개의 와이어(330)의 장력을 조절할 수 있다. The plurality of wires 330 may be fixed to the mask frame 310 by the wire fixing portion 350. At this time, the wire fixing part 350 can adjust the tension of the plurality of wires 330.

예를 들어, 마스크 프레임(310)에 고정된 와이어(330)의 장력이 약해져 와이어(330)의 수평이 유지 되지 않거나 와이어(330)의 간격이 일정하지 않는 경우, 와이어(330)의 일측 단부가 고정부(350)에 감김으로써 와이어(330)의 수평을 유지할 수 있다.For example, when the tension of the wire 330 fixed to the mask frame 310 is weakened so that the horizontal position of the wire 330 is not maintained or the distance between the wires 330 is not constant, The wire 330 can be kept horizontal by being wound around the fixing portion 350.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치에 의해 표시 장치의 기판에 증착 물질을 증착시킬 수 있다. 예를 들어, 증착 물질은 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층을 형성하는 유기 물질일 수 있다. Meanwhile, the deposition material may be deposited on the substrate of the display device by the mask device according to an embodiment of the present invention. For example, the deposition material may be an organic material forming an organic light emitting layer of an organic light emitting display.

이하에서는, 도 1 및 도 2를 참조하여 증착 물질이 증착되어 형성되는 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode Device: OLED)에 대해 간략히 설명하기로 한다. Hereinafter, an organic light emitting diode (OLED) device formed by depositing a deposition material will be briefly described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

도 1은 유기 발광 표시 장치의 하나의 화소의 등가 회로도이다. 도 2는 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.1 is an equivalent circuit diagram of one pixel of an organic light emitting diode display. 2 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display.

도 1을 참조하면, 유기 발광 표시 장치는 복수의 신호선(121, 171, 172)과 이들에 연결되어 있는 화소(pixel)(PX)를 포함한다. 화소(PX)는 적색 화소(R), 녹색 화소(G) 및 청색 화소(B) 중 어느 하나일 수 있다. Referring to FIG. 1, an OLED display includes a plurality of signal lines 121, 171, and 172 and a pixel PX connected to the plurality of signal lines 121, 171, and 172. The pixel PX may be any one of a red pixel R, a green pixel G and a blue pixel B. [

신호선은 게이트 신호(또는 주사 신호)를 전달하는 주사 신호선(scanning signal line)(121), 데이터 신호를 전달하는 데이터선(data line)(171), 구동 전압을 전달하는 구동 전압선(driving voltage line)(172) 등을 포함한다. 주사 신호선(121)은 대략 행 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터선(171)은 대략 열 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하다. 구동 전압선(172)은 대략 열 방향으로 뻗어 있는 것으로 도시되어 있으나, 행 방향 또는 열 방향으로 뻗거나 그물 모양으로 형성될 수 있다.The signal line includes a scanning signal line 121 for transmitting a gate signal (or a scanning signal), a data line 171 for transmitting a data signal, a driving voltage line for transmitting a driving voltage, (172), and the like. The scanning signal lines 121 extend substantially in the row direction, are substantially parallel to each other, the data lines 171 extend in a substantially column direction, and are substantially parallel to each other. Although the driving voltage line 172 is shown extending substantially in the column direction, it may extend in the row direction or the column direction, or may be formed in a net shape.

이때, 한 화소(PX)는 스위칭 트랜지스터(switching transistor)(T1) 및 구동 트랜지스터(driving transistor)(T2)를 포함하는 박막 트랜지스터, 유지 축전기(storage capacitor)(Cst) 및 유기 발광 소자(organic light emitting element)(LD)를 포함한다. 도면에 표시되지 않았으나, 하나의 화소(PX)는 유기 발광 소자에 제공되는 전류를 보상하기 위해 부가적으로 박막 트랜지스터 및 축전기를 더 포함할 수 있다.At this time, one pixel PX includes a thin film transistor including a switching transistor T1 and a driving transistor T2, a storage capacitor Cst and an organic light emitting device element (LD). Although not shown in the drawing, one pixel PX may further include a thin film transistor and a capacitor in order to compensate the current provided to the organic light emitting element.

스위칭 트랜지스터(T1)는 제어 단자(control terminal)(N1), 입력 단자(input terminal)(N2) 및 출력 단자(output terminal)(N3)를 가지는데, 제어 단자(N1)는 주사 신호선(121)에 연결되어 있고, 입력 단자(N2)는 데이터선(171)에 연결되어 있으며, 출력 단자(N3)는 구동 트랜지스터(T2)에 연결되어 있다. 스위칭 트랜지스터(T1)는 주사 신호선(121)으로부터 받은 주사 신호에 응답하여 데이터선(171)으로부터 받은 데이터 신호를 구동 트랜지스터(T2)에 전달한다.The switching transistor T1 has a control terminal N1, an input terminal N2 and an output terminal N3. The control terminal N1 is connected to the scanning signal line 121, An input terminal N2 is connected to the data line 171 and an output terminal N3 is connected to the driving transistor T2. The switching transistor T 1 transmits a data signal received from the data line 171 to the driving transistor T 2 in response to a scanning signal received from the scanning signal line 121.

그리고, 구동 트랜지스터(T2) 또한 제어 단자(N3), 입력 단자(N4) 및 출력 단자(N5)를 가지는데, 제어 단자(N3)는 스위칭 트랜지스터(T1)에 연결되어 있고, 입력 단자(N4)는 구동 전압선(172)에 연결되어 있으며, 출력 단자(N5)는 유기 발광 소자(LD)에 연결되어 있다. 구동 트랜지스터(T2)는 제어 단자(N3)와 출력 단자(N5) 사이에 걸리는 전압에 따라 그 크기가 달라지는 출력 전류(Id)를 흘린다.The driving transistor T2 also has a control terminal N3, an input terminal N4 and an output terminal N5. The control terminal N3 is connected to the switching transistor T1, Is connected to the driving voltage line 172 and the output terminal N5 is connected to the organic light emitting diode LD. The driving transistor T2 flows an output current Id whose magnitude varies depending on the voltage applied between the control terminal N3 and the output terminal N5.

이때, 축전기(Cst)는 구동 트랜지스터(T2)의 제어 단자(N3)와 입력 단자(N4) 사이에 연결되어 있다. 이 축전기(Cst)는 구동 트랜지스터(T2)의 제어 단자(N3)에 인가되는 데이터 신호를 충전하고 스위칭 트랜지스터(T1)가 턴 오프(turn-off)된 뒤에도 이를 유지한다.At this time, the capacitor Cst is connected between the control terminal N3 and the input terminal N4 of the driving transistor T2. The capacitor Cst charges the data signal applied to the control terminal N3 of the driving transistor T2 and maintains the data signal even after the switching transistor T1 is turned off.

한편, 유기 발광 소자(LD)는 예를 들면 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)로서, 구동 트랜지스터(T2)의 출력 단자(N5)에 연결되어 있는 애노드(anode)와 공통 전압(Vss)에 연결되어 있는 캐소드(cathode)를 가진다. 유기 발광 소자(LD)는 구동 트랜지스터(T2)의 출력 전류(Id)에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다. The organic light emitting diode LD is an organic light emitting diode (OLED), for example, and includes an anode connected to the output terminal N5 of the driving transistor T2 and a common electrode Vss, And a cathode connected to the cathode. The organic light emitting diode LD emits light with different intensity according to the output current Id of the driving transistor T2 to display an image.

유기 발광 소자(LD)는 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 어느 하나 또는 하나 이상의 빛을 고유하게 내는 유기 물질을 포함할 수 있으며, 유기 발광 장치는 이들 색의 공간적인 합으로 원하는 영상을 표시한다.The organic light emitting diode LD may include an organic material that uniquely emits one or more of primary colors such as red, green, and blue primary colors, and the organic light emitting device may include a spatial sum The desired image is displayed.

스위칭 트랜지스터(T1) 및 구동 트랜지스터(T2)는 n-채널 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)이지만, 이들 중 적어도 하나는 p-채널 전계 효과 트랜지스터일 수 있다. 또한, 트랜지스터(T1, T2), 축전기(Cst) 및 유기 발광 소자(LD)의 연결 관계가 바뀔 수 있다.The switching transistor Tl and the driving transistor T2 are n-channel field effect transistors (FETs), but at least one of them may be a p-channel field effect transistor. Also, the connection relationship between the transistors T1 and T2, the capacitor Cst, and the organic light emitting diode LD can be changed.

하기에서는 유기 발광 표시 장치를 도 2에 도시된 단면도를 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the organic light emitting diode display will be described with reference to the sectional view shown in FIG.

도 2를 참조하면, 기판(123)은 유리, 석영, 세라믹, 플라스틱 등으로 이루어진 절연성 기판으로 형성된다. 그러나, 본 발명의 일 실시예는 이에 한정되지 않고, 기판(123)은 스테인리스 강 등으로 이루어진 금속성 기판으로 형성될 수도 있다. Referring to FIG. 2, the substrate 123 is formed of an insulating substrate made of glass, quartz, ceramics, plastic, or the like. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and the substrate 123 may be formed of a metallic substrate made of stainless steel or the like.

그리고, 기판(123) 위에는 기판 버퍼층(126)이 형성된다. 기판 버퍼층(126)은 불순 원소의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하는 역할을 한다. A substrate buffer layer 126 is formed on the substrate 123. The substrate buffer layer 126 prevents penetration of impurity elements and serves to planarize the surface.

이때, 기판 버퍼층(126)은 상기 기능을 수행할 수 있는 다양한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판 버퍼층(126)은 질화 규소(SiNx)막, 산화 규소(SiO₂)막, 산질화 규소(SiOxNy)막 중 어느 하나가 사용될 수 있다. 그러나, 기판 버퍼층(126)은 반드시 필요한 구성은 아니며, 기판(123)의 종류 및 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다.At this time, the substrate buffer layer 126 may be formed of various materials capable of performing the functions described above. For example, the substrate buffer layer 126 may be any one of a silicon nitride (SiNx) film, a silicon oxide (SiO ₂ ) film, and a silicon oxynitride (SiO x N y) film. However, the substrate buffer layer 126 is not necessarily required, and may be omitted depending on the type of the substrate 123 and the process conditions.

기판 버퍼층(126) 위에는 구동 반도체층(137)이 형성된다. 구동 반도체층(137)은 다결정 규소막으로 형성된다. 또한, 구동 반도체층(137)은 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역(135), 채널 영역(135)의 양 옆으로 도핑되어 형성된 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)을 포함한다. 이때, 도핑되는 이온 물질은 붕소(B)와 같은 P형 불순물이며, 주로 B₂H₆이 사용된다. 여기서, 이러한 불순물은 박막 트랜지스터의 종류에 따라 달라진다.A driving semiconductor layer 137 is formed on the substrate buffer layer 126. The driving semiconductor layer 137 is formed of a polycrystalline silicon film. The driving semiconductor layer 137 also includes a channel region 135 that is not doped with an impurity and a source region 134 and a drain region 136 that are formed by doping both sides of the channel region 135. At this time, the ionic material to be doped is a P-type impurity such as boron (B), and mainly B ₂ H ₆ is used. Here, such impurities vary depending on the type of the thin film transistor.

구동 반도체층(137) 위에는 질화 슈소(SiNx) 또는 산화 규소(SiO₂) 따위로 형성된 게이트 절연막(127)이 형성된다. 게이트 절연막(127) 위에는 구동 게이트 전극(133)을 포함하는 게이트 배선이 형성된다. 그리고, 구동 게이트 전극(133)은 구동 반도체층(137)의 적어도 일부, 특히 채널 영역(135)와 중첩되도록 형성된다.A gate insulating film 127 formed of a silicon nitride (SiNx) film or a silicon oxide (SiO ₂ ) film is formed on the driving semiconductor layer 137. On the gate insulating film 127, a gate wiring including the driving gate electrode 133 is formed. The driving gate electrode 133 is formed so as to overlap at least a part of the driving semiconductor layer 137, particularly, the channel region 135.

한편, 게이트 절연막(127) 상에는 구동 게이트 전극(133)을 덮는 층간 절연막(128)이 형성된다. 게이트 절연막(127)과 층간 절연막(128)에는 구동 반도체층(137)의 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)을 드러내는 컨택홀(128a)이 형성된다. 층간 절연막(128)은, 게이트 절연막(127)과 마찬가지로, 질화 슈소(SiNx) 또는 산화 규소(SiO₂) 등의 세라믹(ceramic) 계열의 소재를 사용하여 만들어질 수 있다.On the other hand, an interlayer insulating film 128 covering the driving gate electrode 133 is formed on the gate insulating film 127. A contact hole 128a is formed in the gate insulating film 127 and the interlayer insulating film 128 to expose the source region 134 and the drain region 136 of the driving semiconductor layer 137. [ The interlayer insulating film 128 may be made of a ceramic material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO ₂ ) in the same manner as the gate insulating film 127.

그리고, 층간 절연막(128) 위에는 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)을 포함하는 데이터 배선이 형성된다. 또한, 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)은 각각 층간 절연막(128) 및 게이트 절연막(127)에 형성된 컨택홀(128a)을 통해 구동 반도체층(137)의 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)과 연결된다.A data line including the driving source electrode 131 and the driving drain electrode 132 is formed on the interlayer insulating film 128. The driving source electrode 131 and the driving drain electrode 132 are connected to the source region 134 of the driving semiconductor layer 137 through the contact hole 128a formed in the interlayer insulating film 128 and the gate insulating film 127, Drain region 136 of the transistor.

이와 같이, 구동 반도체층(137), 구동 게이트 전극(133), 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)을 포함하여 구동 박막 트랜지스터(130)가 형성된다. 구동 박막 트랜지스터(130)의 구성은 전술한 예에 한정되지 않고, 당해 기술 분야의 전문가가 용이하게 실시할 수 있는 공지된 구성으로 다양하게 변경 가능하다.The driving thin film transistor 130 including the driving semiconductor layer 137, the driving gate electrode 133, the driving source electrode 131, and the driving drain electrode 132 is formed. The configuration of the driving thin film transistor 130 is not limited to the above-described example, and can be variously changed to a known configuration that can be easily practiced by those skilled in the art.

그리고, 층간 절연막(128) 상에는 데이터 배선을 덮는 평탄화막(124)이 형성된다. 평판화막(124)은 그 위에 형성될 유기 발광 소자의 발광 효율을 높이기 위해 단차를 없애고 평탄화시키는 역할을 한다. 또한, 평탄화막(124)은 드레인 전극(132)의 일부를 노출시키는 전극 비아홀(122a)을 갖는다.On the interlayer insulating film 128, a planarization film 124 covering the data lines is formed. The flattened film 124 serves to eliminate the step and planarize the organic light emitting device to improve the luminous efficiency of the organic light emitting device to be formed thereon. The planarization film 124 has an electrode via hole 122a for exposing a part of the drain electrode 132. [

평탄화막(124)은 아크릴계 수지(polyacrylates resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides rein), 불포화 폴리에스테르계 수지(unsaturated polyesters resin), 폴리페닐렌계 수지(poly phenylenethers resin), 폴리페닐렌설파이드계 수지(poly phenylenesulfides resin), 및 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB) 중 하나 이상의 물질 등으로 만들 수 있다.The planarization layer 124 may be formed of a resin such as polyacrylates resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, polyimides resin, at least one of unsaturated polyesters resin, polyphenylenethers resin, polyphenylenesulfides resin, and benzocyclobutene (BCB) may be used.

여기에서, 본 발명에 따른 일 실시예는 전술한 구조에 한정되는 것은 아니며, 경우에 따라 평탄화막(124)과 층간 절연막(128) 중 어느 하나는 생략될 수도 있다. Here, one embodiment according to the present invention is not limited to the above-described structure, and either the planarizing film 124 or the interlayer insulating film 128 may be omitted in some cases.

이때, 평탄화막(124) 위에는 유기 발광 소자의 제 1 전극, 즉 화소 전극(160)이 형성된다. 즉, 유기 발광 표시 장치는 복수의 화소들마다 각각 배치된 복수의 화소 전극(160)을 포함한다. 이때, 복수의 화소 전극(160)은 서로 이격 배치된다. 화소 전극(160)은 평탄화막(124)의 전극 비아홀(122a)을 통해 드레인 전극(132)과 연결된다.At this time, the first electrode of the organic light emitting diode, that is, the pixel electrode 160 is formed on the planarization film 124. That is, the organic light emitting display includes a plurality of pixel electrodes 160 arranged for each of a plurality of pixels. At this time, the plurality of pixel electrodes 160 are disposed apart from each other. The pixel electrode 160 is connected to the drain electrode 132 through the electrode via hole 122a of the planarization layer 124. [

또한, 평탄화막(124) 위에는 화소 전극(160)을 드러내는 개구부를 갖는 화소 정의막(125)이 형성된다. 즉, 화소 정의막(125)은 각 화소마다 형성된 복수개의 개구부를 갖는다. 이때, 화소 정의막(125)에 의해 형성된 개구부마다 유기 발광층(170)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 화소 정의막(125)에 의해 각각의 유기 발광층이 형성되는 화소 영역이 정의될 수 있다.A pixel defining layer 125 having an opening for exposing the pixel electrode 160 is formed on the planarization layer 124. That is, the pixel defining layer 125 has a plurality of openings formed for each pixel. At this time, the organic light emitting layer 170 may be formed for each opening formed by the pixel defining layer 125. Accordingly, a pixel region in which each organic light emitting layer is formed by the pixel defining layer 125 can be defined.

이때, 화소 전극(160)은 화소 정의막(125)의 개구부에 대응하도록 배치된다. 그러나, 화소 전극(160)은 반드시 화소 정의막(125)의 개구부에만 배치되는 것은 아니며, 화소 전극(160)의 일부가 화소 정의막(125)과 중첩되도록 화소 정의막(125) 아래에 배치될 수 있다.At this time, the pixel electrode 160 is arranged to correspond to the opening of the pixel defining layer 125. However, the pixel electrode 160 is not necessarily disposed only in the opening of the pixel defining layer 125, and the pixel defining layer 125 may be disposed below the pixel defining layer 125 such that a portion of the pixel defining layer 125 overlaps the pixel defining layer 125 .

화소 정의막(125)은 폴리아크릴계 수지(polyacrylates resin) 및 폴리이미드계(polyimides) 등의 수지 또는 실리카 계열의 무기물 등으로 만들 수 있다.The pixel defining layer 125 may be made of a resin such as a polyacrylate resin or a polyimide or a silica-based inorganic material.

한편, 화소 전극(160) 위에는 유기 발광층(170)이 형성된다.On the other hand, an organic light emitting layer 170 is formed on the pixel electrode 160.

그리고, 유기 발광층(170) 상에는 제 2 전극, 즉 공통 전극(180)이 형성될 수 있다. 이와 같이, 화소 전극(160), 유기 발광층(170) 및 공통 전극(180)을 포함하는 유기 발광 소자(LD)가 형성된다. A second electrode, that is, the common electrode 180, may be formed on the organic light emitting layer 170. Thus, the organic light emitting diode LD including the pixel electrode 160, the organic light emitting layer 170, and the common electrode 180 is formed.

이때, 화소 전극(160) 및 공통 전극(180)은 각각 투명한 도전성 물질로 형성되거나 반투과형 또는 반사형 도전성 물질로 형성될 수 있다. 화소 전극(160) 및 공통 전극(180)을 형성하는 물질의 종류에 따라, 유기 발광 표시 장치는 전면 발광형, 배면 발광형 또는 양면 발광형이 될 수 있다.At this time, the pixel electrode 160 and the common electrode 180 may be formed of a transparent conductive material or may be formed of a transflective or reflective conductive material, respectively. Depending on the type of the material forming the pixel electrode 160 and the common electrode 180, the organic light emitting display may be a top emission type, a bottom emission type, or a both-sided emission type.

한편, 공통 전극(180) 위에는 공통 전극(180)을 덮어 보호하는 덮개막(190)이 유기막으로 형성될 수 있다.On the other hand, a cover film 190 covering and protecting the common electrode 180 may be formed on the common electrode 180 as an organic film.

그리고, 덮개막(190) 위에는 박막 봉지층(141)이 형성되어 있다. 박막 봉지층(141)은 기판(123)에 형성되어 있는 유기 발광 소자(LD)와 구동 회로부를 외부로부터 밀봉시켜 보호한다.A thin-film encapsulating layer 141 is formed on the lid 190. The thin film sealing layer 141 protects the organic light emitting device LD and the driving circuit portion formed on the substrate 123 from the outside by sealing.

박막 봉지층(141)은 서로 하나씩 교대로 적층되는 봉지 유기막(141a, 141c)과 봉지 무기막(173, 121d)을 포함한다. 도 6에서는 일례로 2개의 봉지 유기막(141a, 141c)과 2개의 봉지 무기막(141b, 141d)이 하나씩 교대로 적층되어 박막 봉지층(141)을 구성하는 경우를 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다.The thin film encapsulating layer 141 includes encapsulating organic films 141a and 141c and encapsulating inorganic films 173 and 121d which are alternately stacked one by one. In the example shown in FIG. 6, two encapsulating organic films 141a and 141c and two encapsulating inorganic films 141b and 141d are alternately stacked one by one to form the thin film encapsulating layer 141, but the present invention is not limited thereto .

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 장치는, 증착 패턴을 형성하는 와이어의 장력을 조절할 수 있으며, 또한 인접한 와이어의 간격을 조절하여 증착 패턴을 용이하게 변경할 수 있다. The mask apparatus according to an embodiment of the present invention can adjust the tension of the wire forming the deposition pattern and can easily change the deposition pattern by adjusting the interval of adjacent wires.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

310 마스크 프레임 330 와이어
350 와이어 고정부 370 개구부
380 가이드 부 351 제2 몸체
353 제1 몸체 355 체결부310 mask frame 330 wire
350 wire fixing portion 370 opening
380 guide portion 351 second body
353 first body 355 fastening portion

Claims

A mask frame;
A plurality of wires traversing openings formed in the center of the mask frame,
And a plurality of wire fixing portions for adjusting the tension of each of the plurality of wires and fixing the wire to the mask frame.

The method of claim 1,
And the wire fixing portion is coupled to both ends of the wire.

3. The method of claim 2,
Wherein at least one of the opposite end portions of the wire is wound on the wire fixing portion.

The method of claim 1,
And the wire fixing part adjusts the interval of the adjacent wires.

5. The method of claim 4,
The mask frame includes:
And a pair of supports opposed to each other around the opening,
Wherein the pair of support rods is provided with a guide portion capable of moving the wire fixing portion.

The method of claim 5,
Wherein the guide portion has a groove shape or a slit shape.

The method of claim 5,
Wherein each of the pair of support rods is provided with a plurality of guide portions.

8. The method of claim 7,
And the wire fixing part coupled to each of the plurality of wires can move to each of the plurality of guide parts.

The method of claim 5,
The wire-
A first body moving along the guide portion;
A fastening part fastened to the first body to fasten the first body to the mask frame,
And a second body coupled to one end of the wire and rotatably coupled to the first body.

The method of claim 9,
And said one end of said wire is wound on said second body.

The method of claim 9,
And the first body passes through the guide portion.

12. The method of claim 11,
A thread is formed on an outer circumferential surface of the first body,
And a corresponding thread corresponding to the thread is formed on the inner circumferential surface of the fastening portion.