KR20150084323A - Method for Super Miniature X-ray Tube - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a manufacturing method for an ultra small X-ray tube and more specifically relates to an air-tight sealing method for forming a vacuum area during manufacturing an ultra small X-ray tube. The ultra small X-ray tube comprises: an X-ray penetration window; a ceramic based cylindrical shaped pipe material having the target material at the top; and a ceramic stem unit having a source of electrons discharge such as an electric field emission source or thermionic source on one side. Also, the manufacturing method for ultra small X-ray tube comprises the following steps of: inserting a first joining sheet along the ceramic cylindrical pipe member; inserting a titanium sheet into the first joining sheet; inserting a second joining sheet into the titanium sheet; inserting the ceramic stem into the second joining sheet; and melting the first and the second joining sheets but heating the titanium sheet without melting to manufacture an ultra small X-ray tube. By vacuum joining at low temperature, damages to the electron emission device can be minimized and by rolling up as a cone before insertion of the stem, separation and removal of the stem can be prevented, yielding a higher vacuum joining efficiency than the existing manufacturing method for an X-ray tube and improving the joining efficiency of ultra small X-ray tube.

Description

초소형 엑스선관의 제조방법{Method for Super Miniature X-ray Tube}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method of manufacturing a miniature X-ray tube,

본 발명은 초소형 엑스선관의 제조시, 진공부 형성을 위한 밀봉 접합방법에 관한 것이다.The present invention relates to a seal bonding method for forming a vacuum in the production of a miniature X-ray tube.

방사선을 이용한 암 치료기술 중 인체삽입을 통한 근접치료법에 있어서, 방사선 에너지를 체내의 목적부위에 집중시켜 암세포의 사멸을 유도하는 것이다.Among the techniques of cancer treatment using radiation, in the proximal treatment through insertion of human body, the radiation energy is concentrated at a target site in the body to induce the death of cancer cells.

다른 방사선 치료법인 외부 치료법에 비해 방사선이 정상조직에 적게 조사되고,상대적으로 암세포에 높은 선량을 조사할 수 있어 치료효율을 증대 시킬 수 있다. 이러한 근접치료를 위해 종래에는 방사선 동위원소를 사용하여 왔으나, 방사선이 항상 발생되어 시술자 자신도 방사선에 피폭될 위험성이 항상 존재하며, 짧은 반감기로 인한 방사선원의 정기적인 공급, 동위원소 보관 및 관리, 사용 후 방사선 폐기물 처리 등의 까다로운 작업이 필요하고, 발생하는 방서선의 에너지와 선량 조절이 어려워 암 주위의 선량분포를 조절하기 어렵다는 단점이 있다.Compared with the external therapy, which is another radiotherapy method, radiation is irradiated less to normal tissues, and relatively high doses can be irradiated to cancer cells, so that the treatment efficiency can be increased. Conventionally, radiation isotopes have been used for these proximal treatments. However, there is always a risk that the operator himself / herself will be exposed to radiation, and the periodic supply of the radiation source due to short half-life, storage and management of isotopes, It is difficult to control the dose distribution around the cancer because it is difficult to control the energy and the dose of the generated radiation.

상기와 같은 단점들을 극복하기 위하여 인체 내부에 삽입할 수 있는 정도의 크기를 갖는 열전자 또는 레이져 다이오드를 이용한 초소형 엑스선관 및 최근 개발되는 나노 전계 방출원을 이용한 초소형 엑스선관이 개발되고 있으며, 산업용 비파괴 검사기 분야에서 기존의 장비로는 검사가 불가능한 초미세 구조물의 검사를 위한 비파괴 검사기의 X선 발생원으로 사용되어 적용분야가 확대되고 있다.In order to overcome such disadvantages, a miniature X-ray tube using a thermoelectric or laser diode having a size enough to be inserted into the human body and a recently developed mini-X-ray tube using a nano field emission source have been developed. The X-ray source of NDT for inspection of ultrafine structures that can not be inspected by conventional equipment is expanding its application field.

하지만, 상기와 같은 초소형 엑스선관의 제조에 있어서, 일반적인 엑스선관의 제조와 달리 진공밀봉을 위한 접합효율이 낮고, 진공누설이 발생하여 초소형 엑스선관의 제조효율 및 수명이 짧아지는 단점이 있다.However, unlike general X-ray tube fabrication, the manufacturing efficiency of the X-ray tube is low and the vacuum leakage is generated in the manufacturing of the X-ray tube, which shortens the manufacturing efficiency and life span of the X-ray tube.

이는 접합 시, 접합부위와 전계방출원 또는 열전자원과 같은 전자방출원간 이격구간이 작아 고온의 접합온도에 노출된 전자방출소자가 파괴되어 엑스선 발생효율이 감소하게 되며, 접합을 위한 압력을 가하지 못해 접합강도가 저하되어 진공누설에 따른 엑스선관의 성능이 감소하게 된다.This is because, during bonding, the gap between the electron emission sources such as the field emission source or the thermoelectric source on the junction is small, so that the electron emission device exposed to the high junction temperature is destroyed and the efficiency of generating X- The strength decreases and the performance of the X-ray tube decreases due to the vacuum leakage.

본 발명은 상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위한 것으로, 특히 초소형 엑스선관의 접합효율 및 진공누설을 방지할 수 있는 초소형 엑스선관의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a miniature X-ray tube capable of preventing the bonding efficiency and the vacuum leakage of the miniature X-ray tube.

본 발명의 초소형 엑스선관 접합방법은, X선 투과창, 타겟물질이 상부에 형성된 세라믹 원통형 관형부재와, 전계방출원 또는 열전자원과 같은 전자방출원(이하 전자방출원)이 일면 상부에 형성된 세라믹 스템부를 삽입 접합하는 초소형 엑스선관 제조방법에 있어서, 세라믹 원통형 관형부재 내측면을 따라 제1접합시트를 삽입하는 단계, 제1접합시트 내측으로 티타늄시트를 삽입하는 단계, 티타늄시트 내측으로 제2 접합시트를 삽입하는 단계, 제2 접합시트 내측으로 상기 세라믹 스템부를 삽입하는 단계 및 제1 및 제2 접합시트들이 용융되고, 티타늄시트는 용융되지 않는 온도로 가열하여 접합한다.The present invention provides a method of joining an X-ray tube with an X-ray transmission window, a ceramic cylindrical tubular member having a target material formed thereon, an electron emission source such as a field emission source or a thermoelectric source, The method comprising the steps of: inserting a first bonding sheet along an inner side surface of a ceramic cylindrical tubular member; inserting a titanium sheet into the first bonding sheet; bonding the second bonding sheet to the inside of the titanium sheet A step of inserting the sheet, a step of inserting the ceramic stem part into the second joint sheet, and a step of joining by heating the first and second joint sheets to a temperature at which they are not melted and the titanium sheet is not melted.

제1접합시트, 티타늄시트, 제2 접합시트는 원뿔형상으로 말아서 삽입할 수 있다.The first bonding sheet, the titanium sheet, and the second bonding sheet can be rolled into a conical shape.

제1 접합시트 및 제2 접합시트는 동일한 두께일 수 있다.The first bonding sheet and the second bonding sheet may be of the same thickness.

제1 접합시트 및 제2 접합시트는 동일한 재질일 수 있다.The first bonding sheet and the second bonding sheet may be made of the same material.

티타늄시트의 두께는 제1 접합시트 두께보다 최대한 20%를 초과하지 않는다.The thickness of the titanium sheet does not exceed a maximum of 20% of the first bond sheet thickness.

초소형 엑스선관은 전자를 가속하는 전극 및/또는 전자를 집속하는 전극을 포함할 수 있다.The micro-X-ray tube may include an electrode for accelerating electrons and / or an electron-attracting electrode.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 초소형 엑스선관 제조방법에 의하면, 낮은 온도에서 진공 접합하여 전계방출원 또는 열전자원의 파손을 최소화할 수 있으며, 원뿔형상으로 말아서 삽입하여 스템의 삽입 시, 스템의 이격 및 탈착을 방지할 수 있어 기존의 엑스선관의 제조방법에 비해 진공 접합 효율이 높고, 초소형 엑스선관의 접합 작업 효율을 향상 시킬 수 있다.As described above, according to the method for manufacturing an ultra-miniature X-ray tube according to the present invention, breakage of a field emission source or thermoelectric material can be minimized by vacuum bonding at a low temperature. When inserting the stem into a conical shape, Separation and detachment can be prevented, so that the vacuum bonding efficiency is higher than that of a conventional X-ray tube manufacturing method, and the efficiency of joining operation of the X-ray tube can be improved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초소형 X선관의 단면도를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 초소형 X선관의 접합부를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 초소형 X선관의 단면도를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 초소형 X선관의 접합재 단면을 나타낸 도면이다.1 is a cross-sectional view of an ultrasmall X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a junction of an ultra-small X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of an ultra-small X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a bonding material of an ultra-small X-ray tube according to an embodiment of the present invention.

이하의 상세한 설명 및 사례는 본 발명의 적합한 실시예를 나타내는 것이지만 예시를 위한 것일 뿐 본 발명의 사상 및 범위에 있어서의 여러 가지 변형 및 개량을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It is to be understood that the following detailed description and examples are illustrative of preferred embodiments of the present invention but are for the purpose of illustration and are not to be construed as limiting the scope of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 않된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며,본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선관의 단면을 나타낸 것으로, 도1을 참조하여 상세히 설명하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선관은 세라믹스로 형성된 스템부(107)에 전자방출원(108)이 형성되어 있고, 세라믹 원통형 관형부재(103)에는 X선 투과창(101) 및 타겟(102)이 일체로 형성되어 있으나, X선 투과창(101) 및 타겟(102)은 스템부(107)와 관형부재(103)의 진공 기밀 접합 후 형성할 수도 있다.1 is a cross-sectional view of a micro-X-ray tube according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, a micro-X-ray tube according to an embodiment of the present invention includes a stem portion 107 formed of ceramics Ray transmission window 101 and the target 102 are integrally formed in the ceramic cylindrical tubular member 103. The X-ray transmission window 101 and the target 102 are integrally formed, May be formed after the vacuum tight sealing of the stem portion 107 and the tubular member 103.

또한, X선 투과창(101)은 도면에서 평판형상으로 형성되어 있으나, 인체삽입형 초소형 X선의 경우, 원주방향으로 X선을 방사하기 위해 곡면, 원뿔형상으로 형성될 수도 있다.In addition, although the X-ray transmission window 101 is formed in the shape of a flat plate in the drawing, in the case of a human-body-type micro X-ray, it may be formed into a curved surface or a conical shape in order to radiate X-rays in the circumferential direction.

상기 스템부(107)에는 전자방출원(108) 이외에 전자를 가속하는 전극(미도시) 및/또는 전자를 집속하는 전극(미도시)이 형성될 수 있으며, 이러한 가속/집속 전극의 유무를 특별히 제한하지 않는다.In addition to the electron emitter 108, an electrode (not shown) and / or an electron (not shown) that accelerates electrons and / or electrons can be formed in the stem 107. The presence or absence of the acceleration / Not limited.

상기 스템부(107)와 원통형 관형부재(103)를 진공밀봉하기 위해 제1 접합시트(104), 티타늄 시트(105), 제2 접합시트(106)를 순차적으로 원추형상으로 말아서 원통형 관형부재(103)의 내측에 끼워 넣어 삽입하고, 이후 상기 스템부(107)가 원뿔형상으로 말아서 형성된 제2 접합시트(106)와 외접하도록 끼워 넣어 삽입한다.The first bonding sheet 104, the titanium sheet 105 and the second bonding sheet 106 are sequentially conically rolled in order to vacuum-seal the stem portion 107 and the cylindrical tubular member 103 to form a cylindrical tubular member 103, and then the stem portion 107 is inserted and inserted into the second joint sheet 106 formed in a conical shape so as to be circumscribed.

도 2는 일 실시예에 따른 스템부(207)와 원통형 관형부재(203)와 제1 접합시트(204), 티타늄 시트(205) 및 제2 접합시트(206)를 확대한 도면으로, 제1 접합시트(204)와 제2 접합시트(206) 사이에 티타늄 시트(205)가 게재되어 있다.FIG. 2 is an enlarged view of a stem portion 207, a cylindrical tubular member 203, a first bonding sheet 204, a titanium sheet 205, and a second bonding sheet 206 according to an embodiment. A titanium sheet 205 is placed between the bonding sheet 204 and the second bonding sheet 206.

상기 티타늄 시트(205)는 제1, 제2 접합시트(204,206)의 용융 시, 젖음성을 개선하여 원통형 관형부재(203)와 스템부(207)간 미세간격 사이에서 모세관 원리를 통해 상기 제1, 제2 접합시트(204,206)가 용융되어 형성된 접합재가 고르게 분포할 수 있도록 하며, 이를 통해 진공부(210)을 형성하고, 초소형 X선관의 접합성 및 기밀성을 향상 시키게 된다.The titanium sheet 205 improves the wettability of the first and second bonding sheets 204 and 206 by melting the first and second bonding sheets 204 and 206 and between the cylindrical tubular member 203 and the stem 207 through the capillary principle, The second bonding sheets 204 and 206 are melted to uniformly distribute the bonding material, thereby forming the vacuum 210, thereby improving the bonding and airtightness of the microminiature X-ray tube.

이러한 효과를 위해서는 접합온도의 설정이 필요하며, 접합온도는 사용되는 상기 제1, 제2 접합시트(204,206)의 종류에 따라 변경될 수 있으나, 제1, 제2 접합시트(204, 206)들은 용융되고, 티타늄 시트(205)는 용융되지 않는 온도에서 접합온도가 설정되어야 하며, 접합 시 사용되는 티타늄은 융점이 1800℃로 매우 높지만, 대기중에서는 600℃ 이상으로 가열 시, 쉽게 산화티타늄이 되므로, 가열은 진공 분위기에서 수행하도록 한다.For this effect, it is necessary to set the bonding temperature, and the bonding temperature can be changed according to the kind of the first and second bonding sheets 204 and 206 used. However, the first and second bonding sheets 204 and 206 The melting temperature of the titanium sheet 205 should be set at a temperature at which the titanium sheet 205 is not melted and the titanium used at the time of bonding has a very high melting point of 1,800 ° C. However, , And heating is performed in a vacuum atmosphere.

상기 제1, 제2 접합시트(204, 206)는 70~80wt% Ag와 20~30wt% Cu의 조성을 갖고 있으며, 상기 브레이징재 조성에서 Cu의 양이 30wt% 이상이 되면 접합에 필요한 온도가 더 높아지게 되고, 20wt% 이하가 되면 접합강도가 떨어지게 된다.The first and second bonding sheets 204 and 206 have a composition of 70 to 80 wt% Ag and 20 to 30 wt% Cu. When the amount of Cu is 30 wt% or more in the brazing re-composition, When the content is less than 20 wt%, the bonding strength is lowered.

하지만 상기 제1, 제2 접합시트(204, 206)의 조성을 상기 재료 및 조성으로 한정하지 않으며, Ti 보다 낮은 융점을 갖고, 접합강도가 유지될 수 있는 박편의 시트형상을 형성할 수 있으면 재료 및 조성은 특별히 제한하지 않는다.However, if the composition of the first and second bonding sheets 204 and 206 is not limited to the above-described materials and compositions, and it is possible to form a sheet shape of a flake having a lower melting point than Ti and capable of maintaining the bonding strength, The composition is not particularly limited.

또한 상기 제1, 제2 접합시트(204, 206)는 각각 30~80㎛의 두께로 형성되어 용융 시, 모세관 현상에 의해 접합면에 고르게 퍼질 수 있도록 구성되며, 제1 접합시트(204)와 제2 접합시트(206)는 서로 다른 두께로 형성되어 있어도 무방하나, 접합 균일성 및 접합강도 향상을 위해 동일한 두께로 형성되는 것이 바람직하다.Each of the first and second bonding sheets 204 and 206 is formed to have a thickness of 30 to 80 μm and is uniformly spread on the bonding surface by the capillary phenomenon upon melting. The second bonding sheet 206 may be formed to have different thicknesses, but is preferably formed to have the same thickness for improving the bonding uniformity and the bonding strength.

상기 티타늄 시트(205)는 5~15㎛ 두께의 Ti 순도가 97~100%인 시트를 사용하며, 상기 제1 접합시트(204) 또는 제2 접합시트(206) 두께의 20%를 넘지 않도록 형성하는 것이 바람직하다. 티타늄 시트(205)의 두께가 접합시트의 20%를 초과하게 되면, 접합효율이 저하될 수 있다.The titanium sheet 205 may be formed using a sheet having a Ti purity of 97 to 100% in a thickness of 5 to 15 탆 and not exceeding 20% of the thickness of the first bonding sheet 204 or the second bonding sheet 206 . If the thickness of the titanium sheet 205 exceeds 20% of the bonded sheet, the bonding efficiency may be lowered.

도면 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선관의 다른 단면을 나타낸 것으로, 세라믹 원통형 관형부재(303)에 제1 접합시트(304), 티타늄 시트(305) 제2 접합시트(306)가 순차적으로 삽입된 후, 제2 접합시트(306) 내측으로 외접하여 삽입된 스템(307)이 형성되어 있다.3 shows another cross-section of a micro-X-ray tube according to an embodiment of the present invention, in which a first bonding sheet 304, a titanium sheet 305 and a second bonding sheet 306 are attached to a ceramic cylindrical tubular member 303 And then a stem 307 inserted and circumscribed to the inside of the second joint sheet 306 is formed.

상기 스템(307)에는 전자방출원(미도시)과 전압공급부(미도시)를 연결하기 위한 리드단자(미도시)가 통과되는 관통홀(310)이 형성되어 있으며, 전자를 가속하는 전극 및/또는 전자를 집속하는 전극을 형성 시, 추가로 관통홀이 형성될 수 있다.The stem 307 is formed with a through hole 310 through which a lead terminal (not shown) for connecting an electron emission source (not shown) and a voltage supply unit (not shown) passes, Alternatively, when forming an electrode which concentrates electrons, a through hole may be additionally formed.

도면 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 엑스선관의 접합방법을 나타낸 것으로, 세라믹 원통형 관형부재(403)에 삽입되는 제1 접합시트(404), 티타늄 시트(405), 제2 접합시트(406)가 원뿔형상으로 말아서 삽입된다.4 illustrates a method of joining a micro-X-ray tube according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, a first joining sheet 404, a titanium sheet 405, and a second joining sheet 407 inserted into a ceramic cylindrical tubular member 403 406 are curled in a conical shape.

상기 제1 접합시트(404), 티타늄 시트(405), 제2 접합시트(406)를 원뿔 형상으로 말아서 삽입하는 것은 초박형의 상기 각 시트(404, 405, 406)가 삽입 공정중 세라믹 원통형 관형부재(403)에서 이탈하는 것을 방지하여 견고히 삽입되도록 하고, 스템(407)의 삽입 후, 각 시트(404, 405, 406)가 서로 고르게 접합면을 유지할 수 있도록 하기 위한 것으로, 원뿔형상으로 말린 시트들(404, 405, 406)이 원통형 관형부재(403)에 차례로 삽입 시, 말려있는 각 시트들(404, 405, 406)에 작용되는 장력에 의해 원통형 관형부재(403)에 끼워져 각 시트들(404, 405, 406)이 삽입 후 원통형 관형부재(403)에서 이탈되지 않으며, 스템(407)이 삽입되는 압력에 의해 원통형상으로 풀어지며 상기 원통형 관형부재(403), 스템(407) 사이에서 균일한 접합면을 형성하게 된다.The insertion of the first bonding sheet 404, the titanium sheet 405 and the second bonding sheet 406 in a conical shape is performed by inserting the ultra-thin sheets 404, 405, 406 into the ceramic cylindrical tubular member 405 and 406 after the insertion of the stem 407 so as to maintain the joint surfaces evenly with respect to each other, 405 and 406 are inserted into the cylindrical tubular member 403 and then inserted into the cylindrical tubular member 403 by the tension applied to each of the dried sheets 404, 405 and 406 are not released from the cylindrical tubular member 403 after the insertion and are released into a cylindrical shape by the pressure at which the stem 407 is inserted and are uniformly distributed between the cylindrical tubular member 403 and the stem 407 Thereby forming a bonding surface.

상기와 같은 방법을 통해 원통형 관형부재(403), 제1 접합시트(404), 티타늄시트(405), 제2 접합시트(406) 및 스템(407)이 차례로 삽입된 후, 10-5 내지 10-6 torr의 진공 분위기, 600~1000℃의 온도범위에서 접합을 진행하여 제1 접합시트(404) 및 제2 접합시트(406)는 용융되고, 용융되지 않은 티타늄시트(405)의 우수한 젖음성으로 인해 상기 용융된 접합재(404, 406)가 원통형 관형부재(403)와 스템(407)의 접합면에 고르게 분포하여 접합강도 및 진공 기밀성이 우수한 접합면을 형성할 수 있다.After the cylindrical tubular member 403, a first bonding sheet 404, titanium sheet 405, a second bonding sheet 406 and the stem 407 through the same method as described above is inserted, in turn, 10 -5 to 10 The first bonding sheet 404 and the second bonding sheet 406 are melted by proceeding the bonding in a vacuum atmosphere of -6 torr and a temperature range of 600-1000 占 폚 and the excellent wettability of the unfused titanium sheet 405 The molten bonding material 404 and 406 are evenly distributed on the bonding surfaces of the cylindrical tubular member 403 and the stem 407 to form a bonding surface having excellent bonding strength and vacuum tightness.

상기에 기재된 온도 및 진공분위기는 본 발명의 일 실시예로 상기 범위로 한정되는 것은 아니며, 제1, 제2 접합시트(404,406)들은 용융되고, 티타늄 시트(405)는 용융되지 않는 온도에서 접합온도를 설정할 수 있다.The temperature and the vacuum atmosphere described above are not limited to the above range in one embodiment of the present invention and the first and second bonding sheets 404 and 406 are melted and the titanium sheet 405 is heated at the bonding temperature Can be set.

상기의 제조방법들을 통해 초소형 엑스선관의 접합효율 및 진공누설을 방지할 수 있는 초소형 엑스선관의 제조방법을 제공할 수 있다.It is possible to provide a method of manufacturing a miniature X-ray tube that can prevent the bonding efficiency and the vacuum leakage of the miniature X-ray tube through the above-described manufacturing methods.

101 : X선 투과창
102 : 타겟
103,203,303,403 : 세라믹 원통형 관형부재
104,204,304,404 : 제1 접합시트
105,205,304,405 : 티타늄 시트
106,206,306,406 : 제2 접합시트
107,207,307,407 : 세라믹 스템
108 : 전자방출원
210 : 진공부
310 : 관통홀101: X-ray transmission window
102: target
103, 203, 303, 403: Ceramic cylindrical tubular member
104, 204, 304, 404: first bonding sheet
105, 205, 304, 405: Titanium sheet
106, 206, 306, 406:
107, 207, 307, 407: Ceramic stems
108: electron emission source
210:
310: Through hole

Claims (6)

X선 투과창, 타겟물질이 상부에 형성된 세라믹 원통형 관형부재와, 전자방출원이 일면 상부에 형성된 세라믹 스템부를 삽입 접합하는 초소형 엑스선관 제조방법에 있어서,
상기 세라믹 원통형 관형부재 내측면을 따라 제1접합시트를 삽입하는 단계;
상기 제1접합시트 내측으로 티타늄시트를 삽입하는 단계;
상기 티타늄시트 내측으로 제2 접합시트를 삽입하는 단계;
상기 제2 접합시트 내측으로 상기 세라믹 스템부를 삽입하는 단계; 및
상기 제1 및 제2 접합시트들이 용융되고, 상기 티타늄시트는 용융되지 않는 온도로 가열하여 접합하는 것을 특징으로 하는 초소형 엑스선관 제조방법.An X-ray tube manufacturing method for inserting and joining an X-ray transmission window, a ceramic cylindrical tubular member having a target material formed thereon, and a ceramic stem portion formed on an upper surface of the electron emission source,
Inserting a first bonded sheet along the inner side of the ceramic tubular member;
Inserting a titanium sheet into the first bonded sheet;
Inserting a second bonding sheet into the titanium sheet;
Inserting the ceramic stem portion into the second joint sheet; And
Wherein the first and second bonding sheets are melted, and the titanium sheet is heated and bonded to a temperature at which the titanium sheet is not melted. 제 1 항에 있어서,
상기 제1접합시트는 원뿔형상으로 말아서 삽입하는 것을 특징으로 하는 초소형 엑스선관 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first bonding sheet is rolled in a conical shape. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 접합시트 및 상기 제2 접합시트는 동일한 두께인 것을 특징으로 하는 초소형 엑스선관 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first bonding sheet and the second bonding sheet have the same thickness. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 접합시트 및 상기 제2 접합시트는 동일한 재질인 것을 특징으로 하는 초소형 엑스선관 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first bonding sheet and the second bonding sheet are made of the same material. 제 1 항에 있어서,
상기 티타늄시트의 두께는 상기 제1 접합시트 또는 제2 접합시트의 두께보다 최대한 20%를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 초소형 엑스선관 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the titanium sheet does not exceed a maximum of 20% of the thickness of the first bonding sheet or the second bonding sheet. 제 1 항에 있어서,
상기 전자방출원은 열전자원으로 형성되는 초소형 엑스선관 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the electron emission source is formed of thermoelectric material.
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