KR20150022438A - Flow control valve - Google Patents

Flow control valve Download PDF

Info

Publication number
KR20150022438A
KR20150022438A KR20130100300A KR20130100300A KR20150022438A KR 20150022438 A KR20150022438 A KR 20150022438A KR 20130100300 A KR20130100300 A KR 20130100300A KR 20130100300 A KR20130100300 A KR 20130100300A KR 20150022438 A KR20150022438 A KR 20150022438A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
diaphragm
pressure
passage
flow control
pressure chamber
Prior art date
Application number
KR20130100300A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
조충희
Original Assignee
주식회사 엑시언
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엑시언 filed Critical 주식회사 엑시언
Priority to KR20130100300A priority Critical patent/KR20150022438A/en
Publication of KR20150022438A publication Critical patent/KR20150022438A/en

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32Details
    • F16K1/34Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32Details
    • F16K1/34Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/36Valve members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/126Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a diaphragm, bellows, or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Abstract

A flow control valve of the present invention includes a housing with an inflow passage and an outflow passage; a body received inside the housing; a cover blocking the opened end of the body to from a pressure chamber; a diaphragm installed inside the pressure chamber; a control passage connecting the pressure chamber and the flow passages; and a servo regulator controlling the opening degree of the control passage. The present invention is characterized in that the diaphragm is divided into an upper diaphragm and a lower diaphragm. In addition, the present invention is characterized in that the servo regulator applies pressure to a space between the upper and lower diaphragms to open and close the inflow passage. Accordingly, the present invention is capable of being applied to various flow control system due to the structure proper to a flow control system requiring a large flow amount; using a large or small solenoid valve by being improved to solve a problem of an existing diaphragm; reducing manufacture cost by simplifying components to reduce a volume of the product; and facilitating the maintenance of the product. Furthermore, the present invention is capable of preventing a loss due to a pressure difference (pressure hunting) generated in the middle of the operation of the flow control valve and regularly maintaining the pressure of an outlet to obtain desirable flow control efficiency.

Description

유량 제어 밸브{FLOW CONTROL VALVE}[0001] FLOW CONTROL VALVE [0002]

본 발명은 유량 제어 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 개선된 형태의 다이어프램을 적용하여 대유량 제어용 저압 밸브의 역할을 수행하기 적합한 구조를 지닌 유량 제어 밸브에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control valve, and more particularly, to a flow control valve having a structure suitable for performing a role of a low pressure valve for large flow control by applying an improved diaphragm.

일반적으로, 산업에 사용되는 유량 제어 밸브는, 유입유로와 배출유로를 갖추고 상기 유로를 개폐할 수 있는 개폐장치를 구비하여 사용자가 요구하는 시간에 원하는 유량을 얻을 수 있는 장치이다.In general, a flow control valve used in an industry is provided with an inlet flow path and an outlet flow path, and has an opening / closing device capable of opening and closing the flow path, thereby obtaining a desired flow rate at a time requested by the user.

이러한 유량 제어 밸브의 유량 제어기능은 많은 분야에서 사용되며 모터를 사용하여 밸브를 개폐하는 전동식 유량 제어 밸브나, 다이어프램을 사용하여 밸브를 개폐하는 다이어프램식 유량 제어 밸브 등이 있다.The flow control function of the flow control valve is used in many fields, including an electric flow control valve for opening and closing a valve using a motor, and a diaphragm flow control valve for opening and closing a valve using a diaphragm.

그 중에서도, 다이어프램식 유량 제어 밸브는 단순한 구조에 따른 내구성 증가와 제작의 용이성 및 유량 제어 효과가 뛰어나 넓은 범위에서 다양하게 개발되어 사용되고 있다.Among them, the diaphragm type flow control valve has been developed and used in a wide range because of its durability according to a simple structure, ease of fabrication, and flow control effect.

이러한 다이어프램식 유량 제어 밸브에 관한 대표적인 예가 하기 문헌 1(이하, '종래기술'이라 한다)에 개시되어 있으며, 도 1을 참조하여 종래기술에 따른 레귤레이터에 대하여 설명한다.A typical example of such a diaphragm-type flow control valve is disclosed in Document 1 (hereinafter referred to as "prior art"), and a conventional regulator will be described with reference to FIG.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래기술의 다이어프램밸브는 유입통로(1a) 및 유출통로(1b)에 연결하여 통하는 오목형상인 밸브실(1c)의 밑면에 밸브시이트(1d)를설치한 스테인레스강제의 몸체(1)와, 밸브실(1c) 내로 밸브시이트(1d)와 대향하도록 배치되며, 밸브실(1c)의 기밀을 유지함과 아울러, 상하방향으로 탄성변형하여 밸브시이트(1d)에 당좌 또는 밸브시이트(1d)로부터 이좌하는 금속제의 다이어프램(2)과, 다이어프램(2)의 외주연부에 설치되고, 개스킷(7)을 연결하여 다이어프램(2)의 외주연부를 몸체(1)와의 사이에서 협압유지하는 스테인레스강제의 보닛(3)과, 몸체(1)에 나착되며, 보닛(3)을 몸체(1)측으로 압압고정하는 스테인레스강제의 보닛너트(4)와, 보닛(3)의 오르 내림을 자유롭게 끼워 통하게 하여, 다이어프램(2)을 하방으로 탄성변형시키는 스테인레스강제의 스템(5)과, 스템(5)의 하단부에 감착된 합성수지제 혹은 합성고무제의 다이어프램 누름(8)과, 스템(5)을 상방으로 힘을 가하는 코일스프링(9)과, 보닛(3)에 설치되며, 작동에어에 의하여 스템(5)을 하방으로 구동하는 실린더구조의 공기압 액츄에이터(6)등으로 구성된다.1, the diaphragm valve of the prior art has a valve seat 1d provided on the bottom surface of a concave valve chamber 1c communicating with the inlet passage 1a and the outlet passage 1b. The valve seat 1d is made of stainless steel The valve seat 1d and the valve seat 1d are arranged so as to oppose the valve seat 1d so as to keep the airtightness of the valve chamber 1c and to be elastically deformed in the vertical direction, A metal diaphragm 2 disposed below the valve seat 1d and a diaphragm 2 provided on the outer peripheral edge of the diaphragm 2 are connected to each other to connect the outer periphery of the diaphragm 2 with the body 1 A bonnet nut 4 made of stainless steel and adhered to the body 1 for pressing and fixing the bonnet 3 to the side of the body 1; To allow the diaphragm 2 to be elastically deformed downward, A diaphragm presser 8 made of synthetic resin or synthetic rubber attached to the lower end of the stem 5; a coil spring 9 for applying upward force to the stem 5; 3, and is constituted by a pneumatic actuator 6 of a cylinder structure which drives the stem 5 downward by operating air.

그러나, 선행문헌에 개시된 종래기술의 다이어프램밸브는 대유량을 요구하는 유량 제어 시스템에 부적합한 구조이며, 이러한 다이어프램의 구조는 다이어프램과 연동되는 스프링을 통해 요구되는 압력을 셋팅하였으나, 이는 압력 강하(Pressure drop) 및 이력 현상(Hysterisis)에 노출되는 단점이 있다.However, the prior art diaphragm valve disclosed in the prior art is a structure unsuitable for a flow control system requiring a large flow rate. The structure of this diaphragm sets the required pressure through a spring interlocked with the diaphragm, ) And hysteresis (hysteresis).

또한, 유체를 이송하면서 유량과 압력을 제어하는 장치의 특성상 출구압의 변동에 따른 공급효율이 저하되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the supply efficiency is deteriorated due to fluctuation of the outlet pressure due to the characteristics of the device for controlling the flow rate and the pressure while the fluid is being transferred.

그리고, 많은 유량이 배출될 경우에 발생하는 진동에 취약한 문제점을 지니고 있다.Also, it is vulnerable to vibration generated when a large amount of flow is discharged.

더욱이, 저압용 대형 유량 제어 밸브에 적용되는 다이어프램은 그 구조가 커질 수 밖에 없으며, 다이어프램의 압력을 조정하는 스프링 또한 큰 제품을 적용해야한다. 이로 인해 제품의 외관이 커짐에 따라 제작비용이 증가하고 설치 및 유지보수가 어려운 점이 있다.Furthermore, the diaphragm applied to a large flow control valve for low pressure must have a large structure, and a large spring for adjusting the pressure of the diaphragm must also be applied. As a result, the appearance of the product increases, which increases manufacturing costs and makes installation and maintenance difficult.

따라서, 대유량 제어가 가능하며 고압과 저압을 모두 수용하기 적합한 구조 및 개선된 형태의 다이어프램을 적용한 유량 제어 밸브의 개발이 필요한 시점이다.Therefore, it is necessary to develop a flow control valve which is capable of controlling a large flow rate and has a structure suitable for accommodating both high and low pressure, and an improved diaphragm.

또한, 유로를 개폐하여 엔진 등의 장치로 이송시키는 과정에서 발생하는 압력차에 의한 손실율을 방지하거나, 사용자가 원하는 유량 제어 효율을 얻기 위해 출구압을 일정하게 유지할 수 있도록 2중 방식의 다이어프램을 적용한 유량 제어 밸브의 개발이 필요한 시점이다.
In addition, a double diaphragm is applied so as to maintain a constant outlet pressure in order to prevent a loss rate due to a pressure difference generated in the process of opening and closing a flow path and transferring the flow path to an apparatus such as an engine or to obtain a desired flow rate control efficiency It is time to develop a flow control valve.

한국등록특허 제0173534호 (1998.10.30. 등록)Korean Registered Patent No. 0173534 (Registered on October 30, 1998)

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 대유량 제어 및 저얍용 유량 제어 시스템에 적합하며, 보편적인 다이어프램이 지닌 구조적 단점을 극복할 수 있는 개선된 형태의 다이어프램을 적용한 유량 제어 밸브를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the related art, and it is an object of the present invention to provide a diaphragm which is suitable for a large flow rate control and a low pressure flow rate control system, In which a diaphragm is applied.

본 발명의 다른 목적은, 엔진 등의 장치로 유체를 이송하는 과정에서 발생하는 압력손실을 방지하거나 사용자가 원하는 유량 제어 효율을 얻기 위해 출구압을 일정하게 유지할 수 있도록 2중 방식의 다이어프램을 적용한 유량 제어 밸브를 제공하는데 있다.
It is another object of the present invention to provide a flow rate control apparatus and a control method thereof that can prevent a pressure loss occurring in a process of transferring a fluid to an apparatus such as an engine or to apply a double flow diaphragm to maintain a constant outlet pressure, And to provide a control valve.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유량 제어 밸브는, 유입유로와 출구유로가 형성되는 하우징과 상기 하우징에 수용되는 바디와 상기 바디의 개방된 단부를 마감하여 압력실을 형성하는 커버와 상기 압력실에 설치되는 다이어프램과 상기 압력실과 유로유로를 연통시키는 제어유로 및 상기 제어유로의 개도량을 제어하는 서보 레귤레이터를 포함하되, 상기 다이어프램은 상부 다이어프램과 하부 다이어프램으로 구분형성되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to attain the above object, the present invention provides a flow control valve comprising: a housing having an inlet flow path and an outlet flow passage; a body accommodated in the housing; a cover forming a pressure chamber by closing an open end of the body; And a servo regulator for controlling a diaphragm installed in the pressure chamber, a control passage communicating the pressure chamber and the passage passage, and an opening amount of the control passage, wherein the diaphragm is divided into an upper diaphragm and a lower diaphragm do.

또한, 상기 서보 레귤레이터는 상기 유입유로가 개폐되도록 상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램 사이의 공간에 압력을 인가하는 것을 특징으로 한다.The servo regulator applies pressure to the space between the upper diaphragm and the lower diaphragm so that the inflow channel is opened and closed.

또한, 상기 상부 다이어프램의 면적보다 하부 다이어프램의 면적이 더 넓도록 형성되어 상기 하부 다이어프램에 작용하는 압력이 더 크도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The lower diaphragm is formed to have a larger area than the upper diaphragm, so that the pressure acting on the lower diaphragm is larger.

또한, 상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램은 연동되도록 결합되어 구비되는 것을 특징으로 한다.The upper diaphragm and the lower diaphragm may be coupled to each other.

또한, 상기 바디에는 유입유로와 압력실을 연통시키는 유입구와 상기 출구유로와 압력실을 연통시키는 배출구가 형성되며, 상기 하부 다이어프램에는 상기 유입구를 개폐하는 밸브체가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the body is provided with an inlet for communicating the inflow passage and the pressure chamber, and an outlet for communicating the outlet passage and the pressure chamber, and the lower diaphragm is provided with a valve body for opening and closing the inlet.

또한, 상기 제어유로를 개폐하는 솔레노이드 밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, a solenoid valve for opening and closing the control passage is further provided.

또한, 상기 하우징에는 상기 제어유로와 출구유로를 연통시키는 배출유로가 형성되되, 유량 제어 밸브의 정지 시에 상기 배출유로를 통해 상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램 사이의 잔압이 상기 출구유로로 배출되어 상기 유입구가 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.
When the flow control valve is stopped, a residual pressure between the upper diaphragm and the lower diaphragm is discharged to the outlet passage through the discharge passage, so that the inlet port Is closed.

본 발명에 따른 유량 제어 밸브에 의하면, 기존 다이어프램의 구성인 스프링 구조를 생략하고 다이어프램에 인가되는 압력을 상기 제어유로와 서보 레귤레이터를 적용한 개선된 다이어프램을 통해, 압력 강하(Pressure drop) 또는 이력 현상(Hysterisis) 등 압력 효율의 손실로 이어지는 문제점을 보완하였다.According to the flow control valve of the present invention, the spring structure, which is a constitution of the existing diaphragm, is omitted, and the pressure applied to the diaphragm is reduced by a pressure drop or a hysteresis phenomenon through an improved diaphragm using the control channel and the servo regulator Hysterisis) and the like.

또한, 상기 하우징에 형성된 유로와 상기 유입구를 개폐하는 밸브체가 대유량 제어에 적합하도록 구비되며, 이에 따라 대유량을 요구하는 대유량 제어용 시스템에 적용하기 용이한 장점을 지니게 됨으로써, 요구되는 압력에 제한받지 않고 폭 넓은 압력의 유체를 수용하여 다양한 유량 제어 시스템에 적용이 가능하다.In addition, the flow path formed in the housing and the valve element opening / closing the inlet port are provided so as to be suitable for the large flow rate control, and thus it is easy to apply to a large flow rate control system requiring a large flow rate, It can be applied to various flow control systems by receiving wide pressure fluid.

더욱이, 상기 다이어프램을 2중 방식의 다이어프램으로 적용하여 유로를 개폐하여 엔진 등의 장치로 이송시키는 과정에서 발생하는 압력차에 의한 손실(Pressure Hunting)을 방지하거나, 사용자가 원하는 유량 제어 효율을 얻기 위해 출구압을 일정하게 유지할 수 있는 장점을 지니게 된다.
Further, by applying the diaphragm as a double diaphragm, it is possible to prevent pressure hunting due to a pressure difference generated in the process of opening and closing the oil passage and transferring it to an apparatus such as an engine or to obtain a desired flow rate control efficiency So that the outlet pressure can be kept constant.

도 1은 종래의 유량 제어 밸브의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브를 도시한 분해사시도이다.
도 3은 도 2를 조립한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 작동상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 효과를 도시한 그래프이다.
1 is a view showing an example of a conventional flow control valve.
2 is an exploded perspective view showing a flow control valve according to the present invention.
FIG. 3 is a perspective view assembled with FIG. 2. FIG.
4 is a cross-sectional view of a flow control valve according to the present invention.
5 is an operational state diagram of a flow control valve according to the present invention.
6 is a graph showing the effect of the flow control valve according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브를 도시한 분해사시도이고, 도 3은 도 2를 조립한 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 작동상태도이며, 도 6은 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 효과를 도시한 그래프이다.FIG. 2 is a perspective exploded view showing a flow control valve according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view assembled with FIG. 2, FIG. 4 is a sectional view of a flow control valve according to the present invention, Fig. 6 is a graph showing the effect of the flow control valve according to the present invention. Fig.

도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브(A)는, 유입유로(110)와 출구유로(120)가 형성되는 하우징(100)과, 상기 하우징(100)에 수용되는 바디(200)와, 상기 바디(200)의 개방된 단부를 마감하여 압력실(220)을 형성하는 커버(210)와, 상기 압력실(220)에 설치되는 다이어프램(300)과, 상기 압력실(220)과 유입유로(110)를 연통시키는 제어유로(130) 및 상기 제어유로(130)의 개도량을 제어하는 서보 레귤레이터(400)를 포함하되, 상기 다이어프램(300)은 상부 다이어프램(310)과 하부 다이어프램(320)으로 구분형성되도록 구성된다.2 to 5, the flow control valve A according to the present invention includes a housing 100 having an inlet flow path 110 and an outlet flow path 120, A cover 210 which forms a pressure chamber 220 by closing an open end of the body 200, a diaphragm 300 installed in the pressure chamber 220, And a servo regulator 400 for controlling the amount of opening of the control flow path 130. The diaphragm 300 is connected to the upper diaphragm 310 And a lower diaphragm 320.

또한, 상기 서보 레귤레이터(400)는 상기 유입유로(110)가 개폐되도록 상기 상부 다이어프램(310)과 하부 다이어프램(320) 사이의 공간에 압력을 인가한다.The servo regulator 400 applies pressure to the space between the upper diaphragm 310 and the lower diaphragm 320 so that the inflow channel 110 is opened or closed.

먼저, 상기 하우징(100)은 육면체 형상으로 구비되며 유량 제어 밸브(A)의 부품이 강건하고 안정적으로 결합될 수 있는 형상이라면 어떠한 형상이라도 상관없다.First, the housing 100 may have a hexahedral shape and may have any shape as long as the components of the flow control valve A can be firmly and stably coupled.

그리고, 상기 하우징(100)의 상측에는 상기 바디(200)에 대응하여 바디수용부(102)가 형성되어 상기 하우징(100)에 상기 바디(200)가 안정적으로 조립된다.A body receiving part 102 is formed on the upper side of the housing 100 to correspond to the body 200 to stably assemble the body 200 to the housing 100.

또한, 상기 유입유로(110)와 출구유로(120)가 상기 하우징(100)의 저면에 동일한 방향으로 형성됨에 따라, 가스가 공급되거나 배출되는 호수의 연결이 일정방향으로 이루어져 요구되는 설치 공간이 감소되고 유지 및 보수가 용이한 장점을 지닌다.In addition, since the inflow channel 110 and the outlet channel 120 are formed in the same direction on the bottom surface of the housing 100, connection of the gas supplied or discharged is made in a predetermined direction, And is easy to maintain and repair.

한편, 상기 커버(210)는 원 형상으로 구비되며, 상기 바디(200)를 덮을 수 있도록 형성된다.Meanwhile, the cover 210 is formed in a circular shape so as to cover the body 200.

또한, 상기 하우징(100)에 볼트 체결 방식으로 결합되고, 상기 하우징(100)과 커버(210) 사이에 밀봉을 위한 O링이 개재된다.Also, an O-ring for sealing is interposed between the housing 100 and the cover 210 by bolts fastening to the housing 100.

이때, 상기 커버(210)의 기능 및 역할을 수행할 수 있는 형상이라면 어떠한 형상이라도 상관없다.At this time, any shape may be used as long as it can perform the function and role of the cover 210.

한편, 상기 바디(200)는 제1바디(200a)와 제2바디(200b)와 제3바디(200c)로 구분형성되며, 상기 바디수용부(102)에 제1바디(200a)부터 적층되어 상기 제3바디(200c)가 최상단에 위치하게 된다.The body 200 is divided into a first body 200a, a second body 200b and a third body 200c. The first body 200a is stacked on the body receiving portion 102 The third body 200c is positioned at the uppermost position.

또한, 상기 제1바디(200a)에는 상기 유입유로(110)와 연통되는 유입구(202)와, 상기 출구유로(120)와 연통되는 배출구(204)가 형성된다.The first body 200a has an inlet 202 communicating with the inlet flow path 110 and an outlet 204 communicating with the outlet flow path 120. [

그리고, 상기 제2바디에는 연통홈(206)이 형성되며, 상기 연통홈(206)은 상기 제어유로(130)와 연통되도록 구비된다.A communication groove 206 is formed in the second body, and the communication groove 206 is communicated with the control channel 130.

한편, 상기 상부 다이어프램(310)은 상기 제2바디(200b)와 제3바디(200c) 사이에 개재되고, 상기 하부 다이어프램(320)은 상기 제1바디(200a)와 제2바디(200b) 사이에 개재됨에 따라, 상기 압력실(220)이 하단압력실(220a)과 중단압력실(220b)과 상단압력실(220c)로 구분된다.The upper diaphragm 310 is interposed between the second body 200b and the third body 200c and the lower diaphragm 320 is interposed between the first body 200a and the second body 200b The pressure chamber 220 is divided into a lower pressure chamber 220a, an intermediate pressure chamber 220b, and an upper pressure chamber 220c.

이때, 상기 상부 다이어프램(310)의 면적보다 하부 다이어프램(320)의 면적이 더 넓도록 형성되어 상기 하부 다이어프램(320)에 작용하는 압력이 더 크도록 구성된다.At this time, the area of the lower diaphragm 320 is formed to be wider than the area of the upper diaphragm 310, so that the pressure acting on the lower diaphragm 320 is larger.

또한, 상기 상부 다이어프램(310)과 하부 다이어프램(320)은 연동되도록 결합되며, 상기 하부 다이어프램(320)에는 상기 유입구(202)를 개폐하는 밸브체(330)가 구비된다.The upper diaphragm 310 and the lower diaphragm 320 are coupled to each other to interlock. The lower diaphragm 320 is provided with a valve body 330 for opening and closing the inlet 202.

그리고, 상기 상부 다이어프램(310)의 하측에는 상기 하부 다이어프램(320)과 결합되는 제1결합부재(312)가 구비되고, 상기 상부 다이어프램(310)의 상측에는 상기 상부 다이어프램(310)의 작동 중에 발생하는 변형을 방지하는 제1플레이트(314)가 구비된다.The first diaphragm 310 is coupled to the lower diaphragm 320 and the first diaphragm 310 is coupled to the first diaphragm 310. The first diaphragm 310 is coupled to the lower diaphragm 320, A first plate 314 is provided to prevent deformation.

또한, 상기 하부 다이어프램(320)의 상측에는 상기 제1결합부재(312)와 대응하여 결합되는 제2결합부재(322)가 구비되고, 상기 하부 다이어프램(320)의 하측에는 상기 하부 다이어프램(310)의 작동 중에 발생하는 변형을 방지하는 제2플레이트(324)가 구비된다.The upper diaphragm 320 is provided with a second engaging member 322 coupled to the first engaging member 312 and the lower diaphragm 310 is provided on the lower side of the lower diaphragm 320, A second plate 324 is provided to prevent deformation that occurs during operation of the apparatus.

이때, 상기 제1결합부재(312)와 제2결합부재(322)는 조립이 간편한 'T'자형 결합구조로 조립된다.At this time, the first engaging member 312 and the second engaging member 322 are assembled into a 'T' -shaped coupling structure that is easy to assemble.

이에 따라, 상기 제어유로(130)의 가스가 상기 서보 레귤레이터(400)를 거쳐 상기 중단압력실(220b)로 유입되면 상기 상부 다이어프램(310)에 작용하는 압력보다 상기 하부 다이어프램(320)에 작용하는 압력이 더 크므로 상기 다이어프램(300)은 하강하게 되며, 상기 밸브체(330)도 함께 하강하여 상기 유입구(202)는 개방되어진다.Accordingly, when the gas in the control passage 130 flows into the intermittent pressure chamber 220b through the servo regulator 400, the pressure acting on the lower diaphragm 320 is lower than the pressure acting on the upper diaphragm 310 Since the pressure is higher, the diaphragm 300 is lowered and the valve body 330 is also lowered, so that the inlet 202 is opened.

그리고, 개방된 상기 유입구(202)를 통해 하단압력실(220a)로 유입된 가스는 상기 배출구(204)를 거쳐 출구유로(120)를 통해 외부로 이송된다.The gas introduced into the lower pressure chamber 220a through the opened inlet port 202 is transferred to the outside through the outlet port 204 through the outlet port 120. [

이때, 상기 다이어프램(300)이 유입구(202)가 폐쇄되는 방향으로 이동하도록 상기 상부 다이어프램(310)에 상시적으로 압력이 작용됨에 따라, 상기 출구유로(120)에 발생하는 유체 와류현상을 방지하고, 외부 충격에 따른 상기 밸브체(330)의 급작스런 작동으로 인한 상기 출구유로(120)의 압력 및 유량 변동의 최소화가 가능하게 된다.At this time, as the pressure is constantly applied to the upper diaphragm 310 so that the diaphragm 300 moves in a direction in which the inlet port 202 is closed, the fluid flow phenomenon occurring in the outlet flow path 120 is prevented It is possible to minimize the pressure and flow rate fluctuations of the outlet passage 120 due to sudden operation of the valve body 330 due to an external shock.

이로써, 상기 다이어프램(300)을 2중 방식의 다이어프램으로 적용하여 유량 제어 밸브(A)가 작동하는 과정에서 발생하는 압력차에 의한 손실(Pressure Hunting)을 최소화하게 되고, 사용자가 원하는 유량 제어 효율을 얻기 위해 출구압을 일정하게 유지할 수 있게 된다.Accordingly, the diaphragm 300 is applied to a diaphragm of a double type to minimize pressure hunting caused by the operation of the flow control valve A, So that the outlet pressure can be kept constant.

더욱이, 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 적용된 2중 구조의 다이어프램(300)은 일반적인 1개의 다이어프램에 비해 출구압의 변동이 비교적 고르며 안정된 압력으로 유량을 제어하는 것을 확인할 수 있다. 이것은 곧, 공급받는 장치의 급작스런 작동 등의 외부 충격에도 유량 제어 밸브(A)의 출구압을 안정적으로 제어하여 유량 변동의 최소화가 가능하다는 것을 증명한다.Further, as shown in FIG. 6, it can be seen that the diaphragm 300 of the double structure applied to the present invention controls the flow rate with a stable pressure and the outlet pressure fluctuates relatively more than a general one diaphragm. This proves that it is possible to minimize the fluctuation of the flow rate by stably controlling the outlet pressure of the flow control valve (A) even when an external shock such as a sudden operation of the supplied device occurs.

이때, 상기 커버(210)에는 상단압력실(220c)이 밀폐됨에 따라 상기 상단압력실(220c)의 내부 압력에 의해 상기 상부 다이어프램(310)의 작동에 영향이 미치지 않도록 밀폐방지홈(212)이 형성된다.As the upper pressure chamber 220c is closed, the cover 210 prevents the upper diaphragm 310 from being affected by the internal pressure of the upper pressure chamber 220c. .

한편, 상기 하우징(100)의 측면에는 상기 서보 레귤레이터(400)가 조립되어 상기 제어유로(130)의 개도량을 제어하도록 구비된다.On the other hand, the servo regulator 400 is assembled to the side surface of the housing 100 to control the opening amount of the control flow path 130.

그리고, 상기 서보 레귤레이터(400)로 유입된 가스는 상기 서보 레귤레이터(400)를 통해 감압되며, 상기 제어유로(130)와 연통홈(206)을 통해 상기 중단압력실(220b)로 유입된다.The gas flowing into the servo regulator 400 is depressurized through the servo regulator 400 and flows into the interrupted pressure chamber 220b through the control passage 130 and the communication groove 206. [

이때, 상기 서보 레귤레이터(400)의 설정압력을 조절하여 상기 중단압력실(220b)로 유입되는 가스의 압력을 제어할 수 있다.At this time, the set pressure of the servo regulator 400 may be adjusted to control the pressure of the gas flowing into the stop pressure chamber 220b.

한편 상기 밸브체(330)는 유입구(202)를 마감하는 밸브(332)와 상기 하부 다이어프램(320)과 밸브(332)가 결합하도록 구비되는 밸브 스템(334)으로 구성된다.The valve body 330 includes a valve 332 closing the inlet 202 and a valve stem 334 coupled to the lower diaphragm 320 and the valve 332.

구체적으로, 상기 밸브(332)는 유입구(202)를 마감하기 용이하도록 상기 유입구(202)와 맞닿는 상부가 곡면으로 형성된 반구 형상이며, 상기 밸브 시템(334)은 상기 하부 다이어프램(320)과 밸브(332)의 조립이 간편한 'T'자형 결합구조로 구비된다.Specifically, the valve 332 has a hemispherical shape having an upper curved surface that contacts the inlet 202 to facilitate closing of the inlet 202, and the valve stem 334 contacts the lower diaphragm 320 and the valve T " -shaped coupling structure that is easy to assemble.

따라서, 기존의 다이어프램 방식은 구비된 스프링의 탄성력을 조절하여 다이어프램에 인가되는 압력을 제어하지만, 본 발명에 적용된 다이어프램(300)은 기존 스프림 구조에 따른 문제점을 해소하기 위해 스프링을 생략하는 대신 상기 제어유로(130)와 서보 레귤레이터(400)의 조합을 통하여 개선하게 된 것이다.However, the diaphragm 300 according to the present invention is not limited to the above-described structure in which the spring is omitted in order to solve the problem associated with the existing sprinkle structure. However, in the conventional diaphragm type diaphragm, the pressure applied to the diaphragm is controlled by adjusting the elastic force of the spring. This is achieved through a combination of the control flow path 130 and the servo regulator 400.

한편, 상기 제어유로(130)를 개폐하는 솔레노이드 밸브(500)가 더 구비된다.Meanwhile, a solenoid valve 500 for opening and closing the control flow path 130 is further provided.

이에 따라, 상기 솔레노이드 밸브(500)를 통해 상기 제어유로(130)를 신속하고 정확하게 개폐함으로써 안정적인 유량 제어가 가능하다.Accordingly, the control flow path 130 can be quickly and accurately opened and closed through the solenoid valve 500, thereby enabling stable flow rate control.

그리고, 상기 하우징(100)에는 상기 제어유로(130)와 출구유로(120)를 연통시키는 배출유로(140)가 형성되며, 유량 제어 밸브(A)의 정지 시에 상기 배출유로(140)를 통해 상기 중단압력실(220b) 내의 잔압이 상기 출구유로(120)로 배출되어 상기 유입구(202)가 폐쇄된다.The housing 100 is formed with a discharge passage 140 for communicating the control passage 130 and the outlet passage 120. When the flow control valve A is stopped, The residual pressure in the shutoff pressure chamber 220b is discharged to the outlet passage 120 and the inlet 202 is closed.

구체적으로, 상기 배출유로(140)는 상기 서보 레귤레이터(400)부터 중단압력실(220b)까지의 구간 중 어느 한 지점에서 시작하여 상기 출구유로(120)의 측면까지 연통된 유로이며, 상기 배출유로(140)는 유량 제어 밸브(A)의 정지 시에 상기 솔레노이드 밸브(500)에 의해 상기 제어유로(130)가 폐쇄된 상태에서 상기 중단압력실(220b)과 제어유로(130)에 남아 있는 내부 잔압을 상기 출구유로(120)로 배출시키도록 구비되는 유로이다.Specifically, the discharge passage 140 is a passage that starts at any point in the section from the servo regulator 400 to the intermediate pressure chamber 220b and communicates with the side surface of the outlet passage 120, When the flow control valve A is stopped by the solenoid valve 500 and the control flow path 130 is closed by the solenoid valve 500, And discharges the residual pressure to the outlet passage 120.

이로 인해, 상기 중단압력실(220b)의 내부 압력이 감소하여 상기 밸브체(330)가 상승하여 상기 유입구(202)를 폐쇄하게 된다.As a result, the internal pressure of the shutoff pressure chamber 220b decreases, and the valve body 330 rises to close the inlet 202.

또한, 유량 제어 밸브(A)를 이루는 부품의 조립에 있어서, 각 부품의 밀봉을 통해 기밀을 유지하기 위한 O링 및 O링홈이 구비된다.Further, in assembly of the components constituting the flow control valve A, an O-ring and an O-ring groove for maintaining airtightness through the sealing of each component are provided.

따라서, 기존 다이어프램의 구성인 스프링 구조를 생략하고 다이어프램에 인가되는 압력을 상기 제어유로(130)와 서보 레귤레이터(400)를 조합을 통해 제어함으로써, 종래의 다이어프램 방식이 지닌 문제점을 보완하게 된다.Therefore, the problem of the conventional diaphragm method can be overcome by omitting the spring structure which is a constitution of the conventional diaphragm and controlling the pressure applied to the diaphragm through a combination of the control flow path 130 and the servo regulator 400. [

또한, 상기 하우징(100)에 형성된 유입유로(110)와 출구유로(120)와 유입구(202) 및 상기 유입구(202)를 개폐하는 밸브체(330)가 대유량을 제어하기 적합하도록 구비되어 대유량 제어용 시스템에 적용하기 용이한 장점을 지니게 된다.The inflow channel 110 and the outlet channel 120 formed in the housing 100 and the inlet port 202 and the valve body 330 for opening and closing the inlet port 202 are provided to be suitable for controlling the flow rate. And has an advantage of being easily applied to a system for controlling a flow rate.

이에 따라, 요구되는 압력에 제한 받지 않고 폭 넓은 압력의 유체를 수용하게 됨으로써, 다양한 유량 제어 시스템에 적용할 수 있게 된다.
As a result, the fluid can be accommodated in a wide range of pressures without being restricted by the required pressure, so that it can be applied to various flow control systems.

이하, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the flow control valve according to the present invention will be described.

먼저, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, 상기 솔레노이드 밸브(500)의 정지 시에 상기 제어유로(130)는 폐쇄되고, 상기 유입유로(110)로 유입된 가스의 압력에 따른 상기 밸브체(330)의 동작에 의해 상기 유입구(202)가 폐쇄되어 유입된 가스는 상기 유입유로(110)에 정류하게 된다.5 (a), when the solenoid valve 500 is stopped, the control flow path 130 is closed and the valve (not shown) corresponding to the pressure of the gas flowing into the inflow path 110 is closed The inlet port 202 is closed by the operation of the sieve 330 and the introduced gas is rectified to the inlet flow path 110.

여기서, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 상기 솔레노이드 밸브(500)에 전원이 인가되면 상기 제어유로(130)는 개방되고, 상기 유입유로(110)에 정류되었던 가스는 상기 제어유로(130)를 통해 상기 서보 레귤레이터(400)로 유입된다.5 (b), when power is applied to the solenoid valve 500, the control flow path 130 is opened and the gas rectified in the inflow path 110 flows into the control flow path 130 to the servo regulator 400.

그리고, 상기 서보 레귤레이터(400)로 유입된 가스는 상기 서보 레귤레이터(400)의 설정된 압력에 맞추어 감압되어진 후에 상기 제어유로(130)와 연통홈(206)을 통해 상기 중단압력실(220b)로 유입된다.The gas introduced into the servo regulator 400 is depressurized to a set pressure of the servo regulator 400 and then introduced into the interrupted pressure chamber 220b through the control passage 130 and the communication groove 206 do.

이에 따라, 상기 다이어프램(300)이 하강하여 상기 하부 다이어프램(320)과 연동된 상기 밸브체(330)도 함께 하강하고 상기 유입구(202)가 개방되어 상기 유입유로(110)의 가스가 상기 하단압력실(220a)로 유입되어지고, 이렇게 유입된 가스는 상기 배출구(204)와 출구유로(120)를 통해 외부로 이송된다.Accordingly, the diaphragm 300 is lowered and the valve body 330 interlocked with the lower diaphragm 320 is also lowered, and the inlet 202 is opened so that the gas in the inlet flow path 110 flows into the lower pressure And the introduced gas is delivered to the outside through the outlet 204 and the outlet flow path 120.

반면, 도 5의 (c)에 도시한 바와 같이, 상기 솔레노이드 밸브(500)에 전원이 차단되면 상기 제어유로(130)는 폐쇄되고, 상기 중단압력실(220b)과 제어유로(130)에 남아 있는 잔압이 상기 배출유로(140)를 통해 상기 출구유로(120)로 이송되어 외부로 배출됨으로써 상기 밸브체(330)가 승강하게 되고 상기 유입구(202)는 폐쇄되어진다.
5 (c), when the power to the solenoid valve 500 is cut off, the control flow path 130 is closed and remains in the stop pressure chamber 220b and the control flow path 130, The residual pressure is transferred to the outlet passage 120 through the discharge passage 140 and discharged to the outside so that the valve body 330 is moved up and down and the inlet 202 is closed.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

A : 유량 제어 밸브 100 : 하우징
102 : 바디수용부 110 : 유입유로
120 : 출구유로 130 : 제어유로
140 : 배출유로 200 : 바디
202 : 유입구 204 : 배출구
206 : 연통홈 210 : 커버
212 : 밀폐방지홈 220 : 압력실
300 : 다이어프램 310 : 상부 다이어프램
320 : 하부 다이어프램 330 : 밸브체
400 : 서보 레귤레이터 500 : 솔레노이드 밸브
A: Flow control valve 100: Housing
102: body receiving portion 110: inflow channel
120: outlet line 130: control line
140: exhaust flow passage 200: body
202: inlet 204: outlet
206: communication groove 210: cover
212: sealing groove 220: pressure chamber
300: diaphragm 310: upper diaphragm
320: lower diaphragm 330: valve body
400: Servo regulator 500: Solenoid valve

Claims (7)

유입유로와 출구유로가 형성되는 하우징;
상기 하우징에 수용되는 바디;
상기 바디의 개방된 단부를 마감하여 압력실을 형성하는 커버;
상기 압력실에 설치되는 다이어프램;
상기 압력실과 유입유로를 연통시키는 제어유로; 및
상기 제어유로의 개도량을 제어하는 서보 레귤레이터;를 포함하되,
상기 다이어프램은 상부 다이어프램과 하부 다이어프램으로 구분형성되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
A housing having an inlet flow path and an outlet flow path formed therein;
A body received in the housing;
A cover closing the open end of the body to form a pressure chamber;
A diaphragm installed in the pressure chamber;
A control passage communicating the pressure chamber and the inflow passage; And
And a servo regulator for controlling the amount of opening of the control passage,
Wherein the diaphragm is divided into an upper diaphragm and a lower diaphragm.
제 1항에 있어서,
상기 서보 레귤레이터는 상기 유입유로가 개폐되도록 상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램 사이의 공간에 압력을 인가하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
The method according to claim 1,
Wherein the servo regulator applies pressure to a space between the upper diaphragm and the lower diaphragm such that the inflow channel is opened and closed.
제 2항에 있어서,
상기 상부 다이어프램의 면적보다 하부 다이어프램의 면적이 더 넓도록 형성되어 상기 하부 다이어프램에 작용하는 압력이 더 크도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
3. The method of claim 2,
Wherein an area of the lower diaphragm is formed to be wider than an area of the upper diaphragm so that the pressure acting on the lower diaphragm is larger.
제 3항에 있어서,
상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램은 연동되도록 결합되어 구비되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
The method of claim 3,
Wherein the upper diaphragm and the lower diaphragm are coupled to each other.
제 4항에 있어서,
상기 바디에는 유입유로와 압력실을 연통시키는 유입구와 상기 출구유로와 압력실을 연통시키는 배출구가 형성되며, 상기 하부 다이어프램에는 상기 유입구를 개폐하는 밸브체가 구비되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
5. The method of claim 4,
Wherein the body is provided with an inlet for communicating the inflow passage and the pressure chamber and a discharge port for communicating the outlet passage and the pressure chamber, and the lower diaphragm is provided with a valve body for opening and closing the inlet.
제 4항에 있어서,
상기 제어유로를 개폐하는 솔레노이드 밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
5. The method of claim 4,
Further comprising a solenoid valve for opening / closing the control flow passage.
제 4항에 있어서,
상기 하우징에는 상기 제어유로와 출구유로를 연통시키는 배출유로가 형성되되,
유량 제어 밸브의 정지 시에 상기 배출유로를 통해 상기 상부 다이어프램과 하부 다이어프램 사이의 잔압이 상기 출구유로로 배출되어 상기 유입구가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 밸브.
5. The method of claim 4,
Wherein the housing is provided with a discharge passage for communicating the control passage and the outlet passage,
Wherein when the flow control valve is stopped, a residual pressure between the upper diaphragm and the lower diaphragm is discharged to the outlet passage through the discharge passage so that the inlet is closed.
KR20130100300A 2013-08-23 2013-08-23 Flow control valve KR20150022438A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130100300A KR20150022438A (en) 2013-08-23 2013-08-23 Flow control valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130100300A KR20150022438A (en) 2013-08-23 2013-08-23 Flow control valve

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150022438A true KR20150022438A (en) 2015-03-04

Family

ID=53020439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20130100300A KR20150022438A (en) 2013-08-23 2013-08-23 Flow control valve

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150022438A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3276936B2 (en) Flow control valve
CN102985730B (en) For valve rod and the valve plug apparatus of fluid conditioner
US8726925B2 (en) Back pressure regulating valve with valve cartridge
EP2629169B1 (en) Balanced valve cartridge
KR102024951B1 (en) Pressure-balanced fluid pressure regulators
US20030066562A1 (en) Pressure regulator utilizing a disc spring
CN107795697B (en) Stabilizer cartridge for fluid regulator
EP3362718B1 (en) Control member for a fluid control device
KR102503774B1 (en) valve device
RU2602467C2 (en) Cover design for use with fluid flow rate regulators
US20090260699A1 (en) Throttling structure for use in a fluid pressure device
CN106838397B (en) Pressure regulating device with variable travel stop
KR20090013239A (en) Fluid pressure regulator
KR20150024789A (en) Pressure-reducing valve
WO2015066581A1 (en) Valve plug for pressure regulator
CA2568706C (en) Wafer-type direct-acting valve
CN112469934A (en) Valve device, fluid control method, semiconductor manufacturing device, and semiconductor manufacturing method
JP5384303B2 (en) Pressure reducing valve
US10338611B2 (en) Regulator
KR20200008167A (en) Actuators, valves and semiconductor manufacturing equipment
KR20150022438A (en) Flow control valve
US3392751A (en) Pressure control valve
US20160274599A1 (en) Pressure-reducing valve
KR20150022061A (en) Flow control valve
KR20200014812A (en) Actuators, valves, fluid supply systems, and semiconductor manufacturing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right