KR20150000941U - Pipe magnet filter - Google Patents

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KR20150000941U KR2020130007089U KR20130007089U KR20150000941U KR 20150000941 U KR20150000941 U KR 20150000941U KR 2020130007089 U KR2020130007089 U KR 2020130007089U KR 20130007089 U KR20130007089 U KR 20130007089U KR 20150000941 U KR20150000941 U KR 20150000941U
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나필찬
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    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/06—Filters making use of electricity or magnetism
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract

본 고안에 따른 파이프 자석 필터는, 반도체 실리콘 웨이퍼 절단 작업시 톱 기계 절단 부 하부의 좁은 공간에 설치하여, 냉각 오일에 섞여 나오는 쇠 가루를 자석에 붙여서 모으고, 간단하게 밖으로 분리해서 냉각 오일로부터 쇠 가루를 분리해냄으로 해서 오일의 질을 높여 오래 재사용할 수 있게 하며, 웨이퍼의 절단면을 곱게하여 후공정의 시간을 단축하여 생산성을 높이고, 생산원가를 낮추는 효과와 품질을 높이는 효과를 제공하게 된다.The pipe magnet filter according to the present invention is installed in a narrow space under the cutting portion of the saw machine during the cutting operation of the semiconductor silicon wafer. The iron powder mixed with the cooling oil is adhered to the magnet and collected, The quality of the oil can be increased and the wafer can be reused for a long time. Further, the cut surface of the wafer can be finely cut to shorten the post-processing time, thereby improving the productivity, lowering the production cost and improving the quality.

Description

파이프 자석 필터{Pipe magnet filter}Pipe magnet filter

본 고안은 액체 속에 섞여있는 쇠 가루를 걸러내는 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 실리콘 웨이퍼 절단 작업시 톱 기계의 좁은 공간에 설치하여, 냉각 오일에 섞여 나오는 쇠 가루를 자석에 붙여서 모으고, 밖으로 분리해서 쇠가루를 수거 해내는 파이프 자석 필터에 관한 것이다. The present invention relates to a device for filtering iron powder mixed in a liquid, particularly, in a narrow space of a saw machine for cutting semiconductor silicon wafers. The iron powder mixed with the cooling oil is attached to magnets and collected, The present invention relates to a pipe magnet filter for collecting a pipe magnet filter.

기존의 마그넷 세퍼레이터는 흐르는 관로에 회전하는 롤러를 물에 담그고 회전시키며, 롤러내부에는 전자석이나 영구자석을 넣어 롤러가 회전할 때 바닥의 쇠가루를 롤러 외경부에 붙여 올려 스크레이퍼로 긁어 이탈시켜 분리 수거하도록 하고있다.Conventional magnet separator is used to immerse rotating rollers in water and rotate them. In addition, electromagnets or permanent magnets are inserted into the rollers. When the rollers rotate, the bottom of the rollers is stuck on the outside of the roller, scraped off by a scraper, .

그러나 크기가 큰 관계로 장치를 작게 만들어야하는 경우에는 사용이 불가하다.However, since it is large, it is not usable when it is necessary to make the device small.

따라서 에어필터 처럼 얇고 작은 평면형의 세퍼레이터가 필요한 것이다. Therefore, it is necessary to use a thin and small flat separator like an air filter.

본 고안은 상기와 같은 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 그 목적은 냉각수가 톱날을 식히고 떨어지는 위치의 작은 틈에 설치할 수 있는 것으로, 가는 비자성의 파이프 여러 개를 평면상으로 묶고, 파이프 내부에는 자석을 길게 나열 삽입하여 쇠 가루가 파이프의 표면에 붙도록 한 다음 파이프 묶음을 밖으로 빼내서 쇠 가루를 분리 수거하는 파이프 자석 필터를 제공함에 있다.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a method of cooling a saw blade in which a cooling water can be installed in a small gap at a position where a saw blade is cooled down, And a pipe magnet filter for inserting the iron powder into the surface of the pipe and pulling out the pipe bundle to separate and collect the iron powder.

이러한 본 고안의 목적은 파이프 자석 필터를 제공하므로 해서 달성되게 되는데, 이 파이프 자석 필터는 일 측을 막은 여러 개의 비자성 파이프를 평면상으로 엮어서 플래이트 형태로 구성하고, 파이프 내부에는 자석 여러 개를 연이어 마개와 연결하여 길게 삽입 구성하며, 마개는 쉽게 자석을 파이프에 착 탈이 가능하도록 씰을 구비하여 설치하여, 쇠가루는 파이프 표면에 붙게하고, 물은 파이프 내부로 침투하지 못하도록 하여 작은 틈에 용이한 착 탈과 깔끔한 처리로 작업을 쉽게 하며 성능을 오래 유지하도록 제공한다.
The objective of the present invention is achieved by providing a pipe magnet filter, which is made up of a plurality of non-magnetic pipes covering one side in a planar fashion and in the form of a plate, The stopper is attached to the pipe with a long seal. The stopper is equipped with a seal to easily attach and detach the magnet to the pipe. The crusher attaches to the surface of the pipe, and water is prevented from penetrating into the pipe, It is easy to work with the decoration and neat processing, and it is provided to maintain the performance for a long time.

본 고안에 따른 파이프 자석 필터는, 반도체 실리콘 웨이퍼 절단 작업시 톱 기계 절단 부 하부의 좁은 공간에 설치하여, 냉각 오일에 섞여 나오는 쇠 가루를 자석에 붙여서 모으고, 간단하게 밖으로 분리해서 냉각 오일로부터 쇠 가루를 분리해냄으로 해서 오일의 질을 높여 오래 재사용할 수 있게 하며, 웨이퍼의 절단면을 곱게하여 후공정의 시간을 단축하여 생산성을 높이고, 생산원가를 낮추는 효과와 품질을 높이는 효과를 제공하게 된다.
The pipe magnet filter according to the present invention is installed in a narrow space under the cut portion of the saw machine during the cutting operation of the semiconductor silicon wafer. The iron powder mixed with the cooling oil is adhered to the magnet and collected, The quality of the oil can be increased and the wafer can be reused for a long time. Further, the cut surface of the wafer can be finely cut to shorten the post-processing time, thereby improving the productivity, lowering the production cost and improving the quality.

도 1은 본 고안의 일실시 예의 파이프 자석 필터의 전체 구성 사시도
도 2는 본 고안의 파이프 자석 필터의 파이프 길이방향 단면도
도 3는 본 고안의 파이프 자석 필터의 자석 고정 프레임 사시도
도 4는 본 고안의 다른 실시 파이프 자석 필터의 전체 구성 사시도FIG. 1 is a perspective view showing the entire configuration of a pipe magnet filter according to an embodiment of the present invention. FIG.
2 is a cross-sectional view of the pipe magnet filter of the present invention in the pipe longitudinal direction
3 is a perspective view of a magnet fixing frame of a pipe magnet filter of the present invention
Fig. 4 is an overall perspective view of another embodiment pipe magnet filter of the present invention

다음 본 고안을 일 실시 예에 대하여 설명하겠다.The present invention will now be described with reference to an embodiment.

도 1 내지, 도 3에는 본 고안의 파이프 자석 필터가 상세하게 도시되어 있는데, 본 고안은 반도체 웨이퍼 생산 공장의 초기공정 중 반도체 실리콘 웨이퍼 절단 작업 공정의 톱 기계로 원재료가 웨이퍼로 절단되는 하부의 냉각오일이 흘러나오는 좁은 공간에 설치하여, 냉각 오일에 섞여 나오는 쇠 가루를 자석에 붙여서 모으고, 간단하게 밖으로 빼내서 냉각 오일로부터 쇠 가루를 분리해냄으로 해서 오일의 질을 높여 오래 재사용할 수 있게 하는 파이프 자석 필터를 제공하는 것이다.1 to 3 show a pipe magnet filter of the present invention in detail. The present invention is a saw machine for a semiconductor silicon wafer cutting operation process in the initial process of a semiconductor wafer production factory, It is installed in a narrow space where the oil flows out. By attaching iron powder mixed with cooling oil to the magnet and collecting it, it is easily taken out to separate the iron powder from the cooling oil, thereby increasing the quality of the oil and reusing it. Filter.

도면에서 10은 필터 본체이다. 이 본체(10)는 대략 비자성의 비교적 가는 파이프로(12)로 구성하고 일 측은 오일이 유입되지 않도록 막으며, 타측은 자석 고정 프레임(20)이 삽입될 수 있도록 개방한다.In the figure, reference numeral 10 denotes a filter body. The main body 10 is made of a relatively non-magnetic relatively thin pipe 12, one side is closed to prevent oil from flowing in, and the other side is opened so that the magnet fixing frame 20 can be inserted.

또 파이프(12) 외경부의 양측 끝에는 연결고리(11)를 구비하여 파이프(12)를 여러개 연결할 수 있도록 구성한다.In addition, a connection ring 11 is provided at both ends of the outer diameter portion of the pipe 12 so that a plurality of pipes 12 can be connected.

파이프(12)와 파이프(12) 사이에는 적당한 거리를 두어 오일이 흐르면서 쇠가루가 자석(21)의 자력에 끌려 파이프(12) 외경부에 붙을 수 있도록 구성한다.A proper distance is provided between the pipe 12 and the pipe 12 so that the cork is attracted to the magnetic force of the magnet 21 and adhered to the outer diameter of the pipe 12 as the oil flows.

자석 고정 프레임(20)에는 자석(21)을 길이 방향으로 여러 개를 구비하여 설치하고, 일측 끝에는 자석 프레임 연결고리(22)를 구비하여 자석 고정 프레임(20)을 여러 연결할 수 있도록 구성한다.The magnet fixing frame 20 is provided with a plurality of magnets 21 in the longitudinal direction and a magnet frame connecting ring 22 is provided at one end of the magnet fixing frame 20 to connect the magnet fixing frames 20 in various ways.

여기서 여러 개의 자석 고정 프레임(20)을 연결하여 본체(10) 파이프(12)의 개방부에 삽입 장착하여 톱 기계의 냉각오일이 떨어지는 곳에 설치하면 본체(10) 파이프(12) 사이로 오일이 흐르면서 쇠가루는 본체(10) 파이프(12)의 외경부에 달라 붙게 된다.When the plurality of magnet fixing frames 20 are connected to each other and inserted into the open portion of the pipe 12 of the main body 10 and installed at a place where the cooling oil of the saw machine is dropped, oil flows through the main body 10 pipes 12, Is adhered to the outer diameter portion of the pipe (12) of the main body (10).

많은 양의 쇠가루가 본체(10) 파이프(12) 외경부에 붙으면 파이프 자석 필터를 꺼내서 쇠가루 수집 통에 대고 자석 고정 프레임(20)을 본체(10)에서 분리하면 쇠가루는 수집통에 떨어지고, 파이프 자석 필터의 본체(10) 파이프(12)는 청소가 되어 필터는 재사용을 할 수가 있는 것이다.When a large amount of cigarette is attached to the neck portion of the pipe 10 of the main body 10, the pipe magnet filter is taken out and the magnet fixing frame 20 is detached from the main body 10 with respect to the cigarette collecting barrel. The main body 10 of the filter pipe 12 is cleaned and the filter can be reused.

도 4는 본 고안의 또 다른 실시 예이다.Figure 4 is another embodiment of the present invention.

도면으로 상세히 설명하면, 도면에서 10 필터 본체이다. 이 본체(10)는 대략 비자성의 비교적 가는 파이프(12)로 구성하고 일 측은 오일이 유입되지 않도록 막으며, 타측은 자석 고정 프레임(20)이 삽입될 수 있도록 개방한다.Referring to the drawings in detail, FIG. This main body 10 is constituted by a relatively non-magnetic relatively thin pipe 12, one side is sealed to prevent oil from flowing in, and the other side is opened so that the magnet fixing frame 20 can be inserted.

또 파이프(12) 외경부의 양측 끝에는 연결고리(11)를 구비하여 파이프(12)를 여러개 연결할 수 있도록 구성한다.In addition, a connection ring 11 is provided at both ends of the outer diameter portion of the pipe 12 so that a plurality of pipes 12 can be connected.

파이프(12)와 파이프(12) 사이에는 적당한 거리를 두어 오일이 흐르면서 쇠가루가 자석(21)의 자력에 끌려 파이프(12) 외경부에 붙을 수 있도록 구성하고, 자석 고정 프레임(20)에는 자석(21)을 길이 방향으로 여러 개를 구비하여 설치하고, 파이프(12)들의 개방부에는 자석 고정 프레임(20)을 삽입하고, 오일이 침투되지 않도록 씰링하여 구성하며, 본체(10) 파이프(12) 외경부에는 스크레이퍼(30)을 설치한다.The cigarette is attracted to the magnetic force of the magnet 21 and adhered to the outer diameter portion of the pipe 12 while the oil flows through the pipe 12 and the pipe 12 at a proper distance. The pipe 12 is provided with a plurality of pipes 21 in the longitudinal direction and a magnet fixing frame 20 is inserted into the openings of the pipes 12 to seal the oil from infiltration. A scraper (30) is provided on the outer diameter portion.

이렇게 구성된 파이프 자석 필터를 톱 기계의 냉각오일이 떨어지는 곳에 설치하면 본체(10) 파이프(12) 사이로 오일이 흐르면서 쇠가루는 본체(10) 파이프(12)의 외경부에 달라 붙게 된다.When the pipe magnet filter configured as described above is installed at a place where the cooling oil of the saw machine is dropped, oil flows through the pipe 12 of the main body 10 so that the cigarette sticks to the outer diameter portion of the pipe 12 of the main body 10.

많은 양의 쇠가루가 본체(10) 파이프(12) 외경부에 붙으면 파이프 자석 필터를 꺼내서 쇠가루 수집통에 대고 스크레이퍼(30)를 파이프(12)의 좌우로 이동시키면 쇠가루는 수집통에 떨어지고, 파이프 자석 필터의 본체(10) 파이프(12)는 청소가 되어 재사용을 할 수가 있는 것이다.When a large amount of cadmium is attached to the neck portion of the main body 10 pipe 12, when the pipe magnet filter is taken out and the scraper 30 is moved to the left and right of the pipe 12 against the cadmium collecting cylinder, the cadmium falls into the collecting cylinder, The main body 10 of the filter and the pipe 12 can be cleaned and reused.

이상에서와 같이 본 고안의 실시 예에 대하여 설명하였으나, 본 고안은 이에 국한하지 않고 청구범위에 기재된 범위 내에서 변경이 가능할 것이다.
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited thereto but may be modified within the scope of the claims.

10: 필터 본체
11: 연결고리
12: 파이프
20: 자석 고정 프레임
21: 자석
22: 자석 프레임 연결고리
30: 스크레이퍼10:
11: Connection ring
12: pipe
20: Magnet fixing frame
21: Magnet
22: Magnetic frame connection ring
30: Scraper

Claims (3)

상기 여러 개의 비자성 파이프를 플레이트 형으로 구성하고 본체와;
파이프 내부에는 자석을 구비한 자석 고정 프레임이 구비되고,
본체에서 자석 고정 프레임을 탈착할 수 있도록 구성된 것을 포함하여서 된 파이프 자석 필터.
A plurality of non-magnetic pipes arranged in a plate shape;
A magnet fixing frame having a magnet is provided inside the pipe,
Wherein the magnet fixing frame is detachable from the main body.
상기 여러 개의 비자성 파이프를 플레이트 형으로 구성하고 본체와;
파이프 내부에는 자석을 구비한 자석 고정 프레임이 설치되고,
파이프 외 경부에는 다수의 구멍으로 형성된 스크레이퍼가 구성된 것을 포함하여서 된 파이프 자석 필터.
A plurality of non-magnetic pipes arranged in a plate shape;
A magnet fixing frame having a magnet is provided inside the pipe,
And a scraper formed from a plurality of holes in the pipe outer diameter portion.
제 2항에 있어서,
상기 스크레이퍼를 다수의 구멍들이 반으로 나누어지는 두 쪽으로 구성하고, 스크레이퍼를 탈착할 수 있도록 구성된 것을 포함하여서 된 파이프 자석 필터.
3. The method of claim 2,
Wherein the scraper is configured so that a plurality of holes are divided into two halves and the scraper is detachable.
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