KR20140087432A - Ultra Violet Irradiation Apparatus Including Light Emitting Diode Light Source - Google Patents

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허재열
최용범
홍승호
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

Provided in the present invention is an ultraviolet rays irradiation apparatus including a light emitting diode illuminant unit, comprising a pick-up unit for picking up or picking down a substrate having a thin film; a stage for moving while having the substrate placed on; an illuminant unit for irradiating an ultraviolet rays onto the substrate, using multiple light emitting diodes; a measurement unit for measuring a performance of the ultraviolet rays; and a control unit for controlling the pick-up unit, stage, illuminant unit, and the measurement unit.

Description

발광다이오드 광원부를 포함하는 자외선 조사장치 {Ultra Violet Irradiation Apparatus Including Light Emitting Diode Light Source}[0001] The present invention relates to an ultraviolet ray irradiating apparatus including a light emitting diode light source unit (Ultra Violet Irradiation Apparatus Including Light Emitting Diode Light Source)

본 발명은 자외선 조사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 구성되는 광원부를 포함하는 자외선 조사장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an ultraviolet ray irradiation apparatus, and more particularly, to an ultraviolet ray irradiation apparatus including a light source unit including a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix form.

일반적으로, 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성과 분극 성질을 이용하여 구동되는데, 액정분자는 그 구조가 가늘고 길기 때문에 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자 배열의 방향을 제어할 수 있다.Generally, a liquid crystal display device is driven by using optical anisotropy and polarization properties of a liquid crystal. Since a liquid crystal molecule has a long and narrow structure, the liquid crystal display device has a directional arrangement, and an electric field is artificially applied to a liquid crystal to control the direction can do.

즉, 전기장을 이용하여 액정분자의 배열을 변화시키면, 액정의 광학적 이방성에 의해 액정분자의 배열 방향으로 빛이 굴절하여 영상을 표시할 수 있다.That is, when the arrangement of the liquid crystal molecules is changed by using the electric field, the light is refracted in the arrangement direction of the liquid crystal molecules due to the optical anisotropy of the liquid crystal, and an image can be displayed.

최근에는 박막트랜지스터 및 화소전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정표시장치(active matrix liquid crystal display device: AM-LCD device)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목 받고 있다.Recently, an active matrix liquid crystal display device (AM-LCD device) in which a thin film transistor and a pixel electrode are arranged in a matrix manner has received the most attention because of its excellent resolution and video realization capability.

이러한 액정표시장치는, 화소전극이 형성된 어레이기판과, 공통전극이 형성된 컬러필터기판과, 어레이기판 및 컬러필터기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어지는데, 어레이기판과 액정층 사이와 컬러필터기판과 액정층 사이에는 각각 액정분자의 초기배향을 위한 배향막이 형성된다. Such a liquid crystal display device comprises an array substrate on which pixel electrodes are formed, a color filter substrate on which a common electrode is formed, and a liquid crystal layer interposed between the array substrate and the color filter substrate. An alignment film for initial alignment of the liquid crystal molecules is formed between the liquid crystal layers.

일반적으로 배향막은 러빙(rubbing)과 같은 물리적 배향방법을 통하여 형성되는데, 기판 상부에 형성된 폴리이미드(polyimide: PI)의 박막에 러빙포를 마찰시킴으로써 배향성을 갖는 배향막을 형성할 수 있다.Generally, an alignment layer is formed through a physical orientation method such as rubbing. An alignment layer having an aligning property can be formed by rubbing a rubbing cloth on a thin film of polyimide (PI) formed on a substrate.

그러나, 이러한 물리적 배향방법은 러빙포에 의한 손상이나 오염 등의 단점이 있다. However, such a physical orientation method has disadvantages such as damage and contamination due to rubbing.

이러한 단점을 극복하기 위하여, 자외선(ultraviolet: UV) 조사와 같은 광 배향방법이 제안되었는데, 반응성 액정단량체(reactive mesogen: RM)의 박막에 편광 자외선를 조사함으로써 배향성을 갖는 배향막을 형성할 수 있다.
In order to overcome such disadvantages, a photo alignment method such as ultraviolet (UV) irradiation has been proposed. An alignment film having an orientation can be formed by irradiating polarized ultraviolet rays to a thin film of a reactive liquid crystal monomer (RM).

한편, 최근에는 3차원영상의 깊이감과 입체감에 대한 요구가 증가함에 따라 3차원영상 표시장치가 널리 연구되고 있는데, 3차원영상 표시장치는 통상 부피표현방식(volumetric type), 3차원표현방식(holographic type), 입체감표현방식(stereoscopic type)으로 구분될 수 있다.In recent years, 3D image display devices have been extensively studied as the demand for depth sense and depth sense of three-dimensional images increases. Volumetric type, three-dimensional (3D) type, and stereoscopic type.

입체감표현방식(stereoscopic type) 중에서 편광분할 안경방식에서는, 표시패널이 좌안영상 및 우안영상을 표시하고, 표시패널 전면의 패턴드 리타더(patterned retarder)가 좌안영상 및 우안영상을 상이한 편광상태를 갖도록 변조하고, 편광분할 안경의 좌안렌즈 및 우안렌즈가 각각 좌안영상 및 우안영상을 통과시켜 각각 시청자의 좌안 및 우안으로 전달하여 시청자가 3차원영상을 느끼도록 한다.In the stereoscopic type stereoscopic type, in the polarized light splitting spectacles, the display panel displays the left eye image and the right eye image, and the patterned retarder on the front surface of the display panel has different polarization states between the left eye image and the right eye image And the left eye lens and the right eye lens of the polarization splitting glasses pass through the left eye image and the right eye image, respectively, and transmit the left eye image and the right eye image to the left and right eyes of the viewer, respectively, so that the viewer feels the three-dimensional image.

이러한 3차원영상 표시장치에 사용되는 패턴드 리타더는, 반응성 액정단량체(reactive mesogens: RM)의 박막에 인접한 수평열 또는 수직열 별로 상이한 편광상태를 갖는 편광 자외선을 조사함으로써 형성될 수 있다.
The pattern reliader used in such a three-dimensional image display device can be formed by irradiating a polarized ultraviolet ray having a different polarization state for each horizontal row or vertical row adjacent to a thin film of a reactive liquid crystal monomer (reactive mesogens: RM).

이와 같이, 액정표시장치의 배향막이나 3차원영상 표시장치의 패턴드 리타더는 수은램프로부터 출사되는 자외선을 이용하여 형성될 수 있는데, 배향막 또는 패턴드 리타더의 형성에 사용되는 자외선 조사장치의 광원부에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. As described above, the patterned retarder of the liquid crystal display device or the three-dimensional image display device can be formed by using ultraviolet rays emitted from the mercury lamp. The light source portion of the ultraviolet ray irradiation device used for forming the alignment film or the pattern reliader Will be described with reference to the drawings.

도 1은 종래의 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a light source unit of a conventional ultraviolet irradiation apparatus.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 자외선 조사장치의 광원부(10)는, 램프(20), 반사경(22) 및 편광자(24)를 포함한다.1, the light source unit 10 of the conventional ultraviolet irradiator includes a lamp 20, a reflector 22, and a polarizer 24. As shown in Fig.

램프(20)는 자외선을 출사하고, 반사경(22)은 자외선 출사방향의 반대편에서 램프(20)를 둘러싸도록 배치되고, 편광자(24)는 출사된 자외선을 편광 자외선으로 변조한다.The lamp 20 emits ultraviolet rays, and the reflecting mirror 22 is arranged to surround the lamp 20 at the opposite side of the ultraviolet ray emitting direction. The polarizer 24 modulates the emitted ultraviolet rays into polarized ultraviolet rays.

이러한 광원부(10)의 편광자(24) 하부에는 박막이 형성된 기판(미도시)이 배치되며, 광원부(10) 또는 기판을 이동하면서 박막에 편광 자외선을 조사함으로써 배향성을 갖는 박막을 형성할 수 있다.
A substrate (not shown) having a thin film formed thereon is disposed under the polarizer 24 of the light source unit 10 and a polarizing ultraviolet ray is irradiated to the thin film while moving the light source unit 10 or the substrate.

여기서, 반사경(22)은 램프(20) 후방으로 출사되는 자외선을 전방으로 반사함으로써, 램프(20)로부터 출사되는 자외선의 광효율을 향상시키는 역할을 한다.The reflector 22 reflects the ultraviolet rays emitted to the rear of the lamp 20 forward, thereby improving the light efficiency of the ultraviolet rays emitted from the lamp 20. [

그러나, 반사경(22)을 이용하여 광효율을 어느 정도 개선하더라도 누설광을 완전히 제거할 수는 없는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.However, even if the light efficiency is improved to some extent by using the reflector 22, the leakage light can not be completely removed, which will be described with reference to the drawings.

도 2는 종래의 자외선 조사장치의 광원부에서 출사되는 광의 경로를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the path of light emitted from a light source portion of a conventional ultraviolet irradiation device.

도 2에 도시한 바와 같이, 광원부(10)의 램프(20)로부터 후방으로 출사되는 자외선은 반사경(22)에서 반사되어 램프(20)로부터 전방으로 출사되는 자외선과 합류되어 광효율을 개선한다.2, ultraviolet rays emitted from the lamp 20 of the light source unit 10 rearward are reflected by the reflecting mirror 22 and combined with ultraviolet rays emitted forward from the lamp 20, thereby improving light efficiency.

그러나, 반사경(22)에서 반사되는 자외선 중 일부는 전방 이외의 측방으로 출사되어 누설광(26)이 발생한다.
However, some of the ultraviolet rays reflected by the reflecting mirror 22 are emitted laterally except the front side, and the leakage light 26 is generated.

이와 같이, 종래의 자외선 조사장치에서는, 반사경(22)을 통하여 광효율을 개선하더라도, 누설광(26)에 의한 광효율 개선에 한계가 있으며 그에 따른 에너지 증가에 한계가 있다는 문제가 있다.Thus, in the conventional ultraviolet irradiator, even if the light efficiency is improved through the reflector 22, there is a limit to the improvement of the light efficiency due to the leakage light 26, and there is a problem that the energy increase is limited.

또한, 반사경(22)을 사용함으로써, 자외선의 광폭이 제한된다는 문제가 있다.Further, by using the reflector 22, there is a problem that the width of ultraviolet light is limited.

그리고, 램프(20)를 길게 제작하기 어렵고, 램프(20)가 길어질수록 하중에 의한 램프(20) 처짐 문제가 심화되므로, 대형화되는 기판의 크기에 대응하기 어려운 문제가 있다. Further, it is difficult to make the lamp 20 long, and as the lamp 20 becomes longer, the problem of deflection of the lamp 20 due to the load is increased, so that it is difficult to cope with the size of the large-sized substrate.

또한, 일반적으로 수은을 사용하는 램프(20)는 수명이 짧아서 자외선 조사장치의 유지비용이 증가하고, 이에 따라 표시장치의 제조비용이 증가하는 문제가 있다.
In addition, the lifetime of the lamp 20 using mercury is generally short, so that the maintenance cost of the ultraviolet irradiating apparatus is increased, thereby increasing the manufacturing cost of the display apparatus.

본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 광원부를 구성함으로써, 대면적 기판에 적용이 용이하고 고에너지의 출력이 가능한 발광다이오드 광원부를 포함하는 자외선 조사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made in order to solve such a problem, and it is an object of the present invention to provide a light source unit having a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix form, And an irradiation device.

그리고, 본 발명은, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 광원부를 구성함으로써, 유지비가 절감되고 배향막 제조비용이 감소되는 발광다이오드 광원부를 포함하는 자외선 조사장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide an ultraviolet irradiator including a light emitting diode light source unit in which a light source unit is composed of a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix form, thereby reducing the maintenance cost and the manufacturing cost of the alignment film.

위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 박막이 형성된 기판이 반입 및 반출되는 반입반출부와; 상기 기판을 안치하여 이동할 수 있는 스테이지와; 다수의 발광다이오드 모듈을 이용하여 상기 기판에 자외선을 조사하는 광원부와; 상기 자외선의 성능을 측정하는 측정부와; 상기 반입반출부, 상기 스테이지, 상기 광원부 및 상기 측정부를 제어하는 제어부를 포함하는 자외선 조사장치를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a substrate processing apparatus comprising: a carry-in / carry-out section in which a substrate on which a thin film is formed is carried in and out; A stage capable of holding and moving the substrate; A light source unit that emits ultraviolet light to the substrate using a plurality of light emitting diode modules; A measuring unit measuring the performance of the ultraviolet ray; And a controller for controlling the carry-in / carry-out section, the stage, the light source section, and the measurement section.

그리고, 상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 평면 또는 타원면에 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. The plurality of light emitting diode modules may be arranged in a matrix on a plane or an ellipsoid.

또한, 상기 다수의 발광다이오드 모듈 각각은, 상기 자외선을 출사하는 발광다이오드 패키지와; 상기 발광다이오드 패키지의 전방에 배치되어 상기 자외선을 전달하는 광가이드와; 상기 광가이드의 전방에 배치되어 상기 자외선을 집광하여 평행광화 하는 렌즈와; 상기 발광다이오드 패키지에 연결되어 전압이 인가되는 배선을 포함할 수 있다.Each of the plurality of light emitting diode modules includes: a light emitting diode package for emitting the ultraviolet light; A light guide disposed in front of the light emitting diode package and transmitting the ultraviolet light; A lens disposed in front of the light guide to condense the ultraviolet light to form parallel light; And a wiring connected to the light emitting diode package to receive a voltage.

그리고, 상기 광가이드는 사각기둥 형상을 가지며, 상기 광가이드의 내면에는 반사막이 형성될 수 있으며, 상기 렌즈는 볼록렌즈일 수 있다. The light guide may have a square pillar shape, a reflection film may be formed on the inner surface of the light guide, and the lens may be a convex lens.

또한, 상기 다수의 발광다이오드 모듈 각각은, 상기 자외선을 출사하는 발광다이오드 패키지와; 상기 발광다이오드 패키지의 전방에 배치되어 상기 자외선을 집광하여 평행광화 하는 미러와; 상기 발광다이오드 패키지에 연결되어 전압이 인가되는 배선을 포함할 수 있다. Each of the plurality of light emitting diode modules includes: a light emitting diode package for emitting the ultraviolet light; A mirror disposed in front of the light emitting diode package to condense ultraviolet light to form parallel light; And a wiring connected to the light emitting diode package to receive a voltage.

그리고, 상기 미러는 원뿔대 형상을 가지며, 상기 미러의 내면에는 반사막이 형성될 수 있다. The mirror has a truncated cone shape, and a reflection film may be formed on the inner surface of the mirror.

또한, 상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 독립적인 독립적인 전압을 인가 받아서 독립적으로 발광할 수 있다. In addition, the plurality of light emitting diode modules may emit independent independent voltages and emit light independently.

그리고, 상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 각각 독립적인 전압이 인가되는 다수의 블록으로 구분되어 블록단위로 발광할 수 있다.
The plurality of light emitting diode modules may be divided into a plurality of blocks to which independent voltages are applied, and may emit light in units of blocks.

본 발명은, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 광원부를 구성함으로써, 대면적 기판에 적용이 용이하고 고에너지의 출력이 가능한 효과가 있다. According to the present invention, a light source unit is constituted by a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix form, which is easy to apply to a large area substrate and has an effect of outputting high energy.

그리고, 본 발명은, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 광원부를 구성함으로써, 유지비가 절감되고 배향막 제조비용이 감소되는 효과가 있다.
Further, the present invention has the effect of reducing the maintenance cost and reducing the manufacturing cost of the alignment film, by constituting the light source unit with a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix form.

도 1은 종래의 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 도면.
도 2는 종래의 자외선 조사장치의 광원부에서 출사되는 광의 경로를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 정면도.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부의 발광다이오드 모듈을 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 사시도.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 정면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a light source unit of a conventional ultraviolet irradiation apparatus. Fig.
2 is a cross-sectional view showing a path of light emitted from a light source unit of a conventional ultraviolet irradiator.
3 is a perspective view showing an ultraviolet irradiation device according to a first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a light source unit of an ultraviolet irradiation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
5 is a front view showing a light source unit of an ultraviolet irradiation apparatus according to the first embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating a light emitting diode module of a light source unit of an ultraviolet irradiation apparatus according to a second embodiment of the present invention.
7 is a perspective view illustrating a light source unit of an ultraviolet irradiation apparatus according to a third embodiment of the present invention.
8 is a front view showing a light source unit of an ultraviolet irradiator according to a third embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 액정표시장치의 배향막 형성공정 및 3차원영상 표시장치의 패턴드 리타더 형성공정에 이용될 수 있는 본 발명에 따른 발광다이오드 광원부를 포함하는 자외선 조사장치를 설명한다.Hereinafter, an ultraviolet irradiation device including a light emitting diode light source unit according to the present invention, which can be used in an alignment film formation process of a liquid crystal display device and a pattern drifter formation process of a three-dimensional image display device, will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating an ultraviolet irradiating apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치(110)는, 반입반출부(120), 스테이지(130), 광원부(140), 측정부(150) 및 제어부(160)를 포함한다. 3, the ultraviolet irradiating apparatus 110 according to the first embodiment of the present invention includes a carry-in / carry-out unit 120, a stage 130, a light source 140, a measuring unit 150, 160).

반입반출부(120)는, 배향을 위한 박막이 형성된 기판(미도시)이 반입되고, 박막에 대한 자외선 조사가 완료된 기판이 반출되는 부분으로, 다수의 기판이 적재된 카세트가 반입반출부와 연결될 수 있다.The carry-in / carry-out unit 120 is a part where a substrate (not shown) having a thin film for alignment is brought in and a substrate on which ultraviolet rays are irradiated to the thin film is taken out. The cassette on which a plurality of substrates are stacked is connected to the carry- .

스테이지(130)는, 배향을 위한 박막이 기판이 안치되는 부분으로, 자외선을 스캔방식으로 기판에 조사하기 위하여 수평면 상에서 서로 직교하는 X축 및 Y축 방향으로 직선으로 이동하거나 Z축 방향을 중심으로 회전할 수 있다. The stage 130 is a part in which a thin film for alignment is placed on the substrate and moves linearly in the X and Y axis directions orthogonal to each other on the horizontal plane in order to irradiate the substrate with ultraviolet rays in a scanning manner, It can rotate.

광원부(140)는, 기판 상부에 배치되어 자외선을 출사하는 부분으로, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈로 이루어지며, 다수의 발광다이오드 모듈을 독립적으로 구동하여 필요 에너지에 따라 자외선 출사영역을 자유롭게 설정할 수 있다. The light source unit 140 includes a plurality of light emitting diode modules arranged in a matrix and arranged to emit ultraviolet rays. The plurality of light emitting diode modules are independently driven to emit ultraviolet light according to the required energy. You can set it freely.

이러한 광원부(140)의 구성은 뒤에서 상세히 설명한다. The structure of the light source 140 will be described later in detail.

측정부(150)는, 광원부(140)의 정상동작 여부를 파악하기 위하여 광원부(140)로부터 출사되는 자외선의 성능을 측정하는 부분으로, 자외선의 광량 및 에너지 분포와 형태 등을 측정할 수 있다. The measuring unit 150 measures the performance of the ultraviolet ray emitted from the light source unit 140 to determine whether the light source unit 140 operates normally or not. The measuring unit 150 can measure the light amount, energy distribution, and shape of the ultraviolet ray.

제어부(160)는, 반입반출부(120), 스테이지(130), 광원부(140) 및 측정부(150)를 제어하는 부분으로, 자외선 조사 조건에 따라 스테이지(130)의 이동방향 및 속도를 설정하고, 광원부(140)의 출력 에너지 및 발광영역을 설정할 수 있다.
The control unit 160 is a part for controlling the carry-in / carry-out unit 120, the stage 130, the light source unit 140 and the measuring unit 150. The control unit 160 sets the moving direction and the speed of the stage 130 according to the ultraviolet ray irradiation conditions And the output energy and the light emitting area of the light source 140 can be set.

이러한 자외선 조사장치(110)에서는, 다수의 발광다이오드 모듈로 광원부(140)를 구성함으로써, 자외선 조사장치(110)을 대면적 기판에 용이하게 적용할 수 있고 유지비를 절감할 수 있는데, 이러한 광원부(140)의 구성을 도면을 참조하여 설명한다.In such an ultraviolet irradiating apparatus 110, the ultraviolet irradiating apparatus 110 can be easily applied to a large-area substrate and the maintenance cost can be reduced by configuring the light source unit 140 with a plurality of light emitting diode modules. 140 will be described with reference to the drawings.

도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 사시도 및 정면도로, 도 3을 함께 참조하여 설명한다.4 and 5 are a perspective view and a front view showing the light source unit of the ultraviolet irradiator according to the first embodiment of the present invention, and will be described with reference to FIG.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치(110)의 광원부(140)는, 다수의 발광다이오드(light emitting diode: LED) 모듈(142)과, 편광자(144)를 포함한다. 4 and 5, the light source unit 140 of the ultraviolet irradiator 110 according to the first embodiment of the present invention includes a plurality of light emitting diode (LED) modules 142, And a polarizer 144.

다수의 발광다이오드 모듈(142)은, 평면(flat surface)에 상하좌우로 매트릭스(matrix) 형태로 배열되어 각각 자외선을 출사하며, 편광자(144)는, 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 전방에 배치되어 다수의 발광다이오드 모듈(142)로부터 출사되는 자외선을 편광 자외선으로 변조한다. The plurality of light emitting diode modules 142 are arranged in a matrix form on a flat surface so as to emit ultraviolet rays respectively and the polarizer 144 is disposed in front of the plurality of light emitting diode modules 142 And modulates ultraviolet rays emitted from the plurality of light emitting diode modules 142 into polarized ultraviolet rays.

다수의 발광다이오드 모듈(142) 각각은, 발광다이오드 패키지(170), 광가이드(172), 렌즈(174) 및 배선(176)을 포함한다.Each of the plurality of light emitting diode modules 142 includes a light emitting diode package 170, a light guide 172, a lens 174, and a wiring 176.

도시하지는 않았지만, 발광다이오드 패키지(170)는, 전자 및 정공의 결합에 의하여 자외선을 출사하는 발광다이오드 칩과, 발광다이오드 칩을 덮는 투명수지를 포함할 수 있다. Although not shown, the light emitting diode package 170 may include a light emitting diode chip that emits ultraviolet rays through the combination of electrons and holes, and a transparent resin that covers the light emitting diode chip.

광가이드(172)는, 발광다이오드 패키지(170) 전방에 배치되어 발광다이오드 패키지(170)로부터 출사되는 자외선을 렌즈(174)로 전달하는 역할을 하는데, 광가이드(172)는 사각기둥 형상을 가질 수 있으며, 광가이드(172)의 내면에는 상대적으로 자외선에 대한 반사율이 높은 반사막이 형성될 수 있다. The light guide 172 is disposed in front of the light emitting diode package 170 and transmits the ultraviolet light emitted from the light emitting diode package 170 to the lens 174. The light guide 172 has a rectangular pillar shape And a reflective film having a high reflectivity with respect to ultraviolet rays may be formed on the inner surface of the light guide 172.

렌즈(174)는, 광가이드(172) 전방에 배치되어 발광다이오드 패키지(170)로부터 출사되는 자외선을 집광하여 평행광화 하는 역할을 하는데, 예를 들어(174) 볼록렌즈일 수 있다.The lens 174 is disposed in front of the light guide 172 and collects ultraviolet light emitted from the light emitting diode package 170 to collimate the light. For example, the lens 174 may be a convex lens.

발광다이오드 패키지(170)로부터 출사되는 자외선은 약 110도 이상의 방사각을 가질 수 있는데, 이러한 자외선을 그대로 조사할 경우 분산에 의하여 원하는 에너지 및 균일도를 확보하지 못할 수 있다.The ultraviolet rays emitted from the light emitting diode package 170 may have a radiation angle of about 110 degrees or more. If such ultraviolet rays are directly irradiated, desired energy and uniformity may not be secured due to dispersion.

따라서, 렌즈(174)를 이용하여 발광다이오드 패키지(170)로부터 출사되는 자외선을 집광하여 평행광으로 변조함으로써, 자외선 조사를 위한 에너지 및 균일도를 확보할 수 있다. Therefore, by focusing the ultraviolet light emitted from the light emitting diode package 170 using the lens 174 and modulating it into parallel light, energy and uniformity for ultraviolet light irradiation can be ensured.

배선(176)은, 발광다이오드 패키지(170)의 발광다이오드 칩에 연결되어 전압이 인가되는 부분으로, 다수의 발광다이오드 모듈(142)은 배선(176)을 통하여 각각 전원부(미도시)에 독립적으로 연결될 수 있다. The wiring 176 is connected to the light emitting diode chip of the light emitting diode package 170 and is applied with a voltage and the plurality of light emitting diode modules 142 are connected to the power supply unit Can be connected.

이 경우, 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 배선(176)으로는 독립적인 전압이 인가될 수 있으며, 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 발광다이오드 패키지(170)는 독립적으로 발광할 수 있다. In this case, an independent voltage may be applied to the wiring 176 of the plurality of light emitting diode modules 142, and the light emitting diode package 170 of the plurality of light emitting diode modules 142 may independently emit light.

그리고, 필요에 따라 다수의 발광다이오드 모듈(142)이 다수의 블록으로 구분되고, 다수의 블록은 각각 전원부에 독립적으로 연결되고, 다수의 블록 각각의 발광다이오드 모듈(142)은 전원부에 비독립적으로 연결될 수 있다.The plurality of light emitting diode modules 142 are divided into a plurality of blocks, and the plurality of blocks are independently connected to the power supply unit, and the light emitting diode modules 142 of each of the plurality of blocks are independently connected to the power supply unit Can be connected.

이 경우, 다수의 블록의 배선(176)으로는 독립적인 전압이 인가되고, 다수의 블록 각각의 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 배선(176)으로는 비독립적인 전압이 인가될 수 있으며, 다수의 블록의 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 발광다이오드 패키지(170)는 독립적으로 발광하고, 다수의 블록 각각의 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 발광다이오드 패키지(170)는 비독립으로 발광(동시에 발광 또는 비발광)할 수 있다. In this case, an independent voltage is applied to the wiring 176 of the plurality of blocks, and a voltage independent from the wiring 176 of the plurality of light-emitting diode modules 142 of each of the plurality of blocks may be applied, The light emitting diode package 170 of the plurality of light emitting diode modules 142 of the plurality of blocks independently emits light and the light emitting diode package 170 of the plurality of light emitting diode modules 142 of each of the plurality of blocks emits light (Simultaneous light emission or non-light emission).

즉, 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 발광다이오드 패키지(170)는 블록단위로 발광할 수 있다.
That is, the light emitting diode package 170 of the plurality of light emitting diode modules 142 can emit light in units of blocks.

이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사장치(110)에서는, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 개수 및 밀도를 조절하여 광원부(140)로부터 출사되는 자외선 빔(beam)의 크기를 다양하게 변경할 수 있으므로, 지외선 조사장치(110)를 대면적 기판에 용이하게 적용할 수 있다.As described above, in the ultraviolet irradiating apparatus 110 according to the first embodiment of the present invention, the number and density of the plurality of light emitting diode modules 142 arranged in a matrix form are adjusted so that the ultraviolet beam emitted from the light source unit 140 beam can be variously changed, so that the ultraviolet irradiation device 110 can be easily applied to a large-area substrate.

예를 들어, 스캔방식으로 자외선을 조사할 경우, 다수의 발광다이오드 모듈(142)의 개수를 조절하여 자외선 빔의 폭을 변경함으로써, 배향을 위하여 박막에 조사되는 자외선의 누적 광량 및 누적 에너지를 자유롭게 변경할 수 있다. For example, when the ultraviolet rays are irradiated by a scanning method, the number of the plurality of light emitting diode modules 142 is adjusted to change the width of the ultraviolet beam, so that the cumulative light amount and cumulative energy of the ultraviolet light irradiated to the thin film can be freely Can be changed.

그리고, 다수의 발광다이오드 모듈(142) 각각에 집광을 위한 렌즈(174)를 구비함으로써, 박막의 배향을 위하여 조사되는 자외선을 평행광화 할 수 있으며, 그 결과 자외선 조사장치(110)의 광효율을 개선할 수 있다. By providing the lens 174 for condensing in each of the plurality of light emitting diode modules 142, the ultraviolet rays irradiated for the orientation of the thin film can be collimated and as a result, the light efficiency of the ultraviolet irradiator 110 can be improved can do.

또한, 다수의 발광다이오드 모듈(142)을 독립적으로 발광하고, 실시간으로 점멸함으로써, 광원부(140)의 수명이 연장되고 유지비용이 절감되며, 그 결과 배향공정의 비용을 절감하여 제조비용을 감소시킬 수 있다.
In addition, since the plurality of light emitting diode modules 142 emit light independently and blink in real time, the lifespan of the light source unit 140 is extended and the maintenance cost is reduced. As a result, the cost of the alignment process is reduced, .

한편, 다른 실시예에서는 다수의 발광다이오드 모듈 각각에 미러를 구성할 수도 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.On the other hand, in another embodiment, a mirror may be formed in each of the plurality of light emitting diode modules, which will be described with reference to the drawings.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부의 발광다이오드 모듈을 도시한 도면으로, 자외선 조사장치의 나머지 부분은 제1실시예와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다. 6 is a view illustrating a light emitting diode module of a light source unit of an ultraviolet light emitting apparatus according to a second embodiment of the present invention. The remaining part of the ultraviolet light emitting apparatus is the same as that of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부는, 상하좌우로 매트릭스(matrix) 형태로 배열되어 각각 자외선을 출사하는 다수의 발광다이오드 모듈(242)을 포함하며, 다수의 발광다이오드 모듈(242) 각각은, 발광다이오드 패키지(270), 미러(272) 및 배선(274)을 포함한다.6, the light source unit of the ultraviolet light irradiation apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a plurality of light emitting diode modules 242 arranged in a matrix form in upper, lower, left, and right sides to emit ultraviolet rays, respectively And each of the plurality of light emitting diode modules 242 includes a light emitting diode package 270, a mirror 272, and a wiring 274.

도시하지는 않았지만, 발광다이오드 패키지(270)는, 전자 및 정공의 결합에 의하여 자외선을 출사하는 발광다이오드 칩과, 발광다이오드 칩을 덮는 투명수지를 포함할 수 있다. Although not shown, the light emitting diode package 270 may include a light emitting diode chip that emits ultraviolet rays by the combination of electrons and holes, and a transparent resin that covers the light emitting diode chip.

미러(272)는, 발광다이오드 패키지(270) 전방에 배치되어 발광다이오드 패키지(270)로부터 출사되는 자외선을 집광하여 평행광화 하는 역할을 한다.The mirror 272 is disposed in front of the light emitting diode package 270 to collect ultraviolet light emitted from the light emitting diode package 270 and to collimate the ultraviolet light.

발광다이오드 패키지(270)로부터 출사되는 자외선은 약 110도 이상의 방사각을 가질 수 있는데, 이러한 자외선을 그대로 조사할 경우 분산에 의하여 원하는 에너지 및 균일도를 확보하지 못할 수 있다.The ultraviolet rays emitted from the light emitting diode package 270 may have a radiation angle of about 110 degrees or more. If such ultraviolet rays are directly irradiated, desired energy and uniformity may not be secured due to dispersion.

따라서, 미러(272)를 이용하여 발광다이오드 패키지(270)로부터 출사되는 자외선을 집광하여 평행광으로 변조함으로써, 자외선 조사를 위한 에너지 및 균일도를 확보할 수 있다. Therefore, by using the mirror 272 to condense ultraviolet light emitted from the light emitting diode package 270 into parallel light, it is possible to secure energy and uniformity for ultraviolet light irradiation.

이러한 미러(272)는, 원뿔대(truncated cone) 형상 또는 깔대기 형상을 가질 수 있으며, 미러(272)의 내면에는 상대적으로 자외선에 대한 반사율이 높은 반사막이 형성될 수 있다.The mirror 272 may have a truncated cone shape or a funnel shape, and a reflection film having a high reflectivity with respect to ultraviolet rays may be formed on the inner surface of the mirror 272.

배선(274)은, 발광다이오드 칩에 연결되어 전압이 인가되는 부분으로, 다수의 발광다이오드 모듈(242)은 배선(276)을 통하여 각각 전원부(미도시)에 독립적으로 연결되거나, 각각 전원부에 독립적으로 연결되는 다수의 블록으로 구분되어 다수의 블록 각각의 발광다이오드 모듈(242)은 전원부에 비독립적으로 연결될 수 있다.The wiring 274 is connected to the light emitting diode chip and the voltage is applied thereto and the plurality of light emitting diode modules 242 are independently connected to the power supply unit (not shown) via the wiring 276, And the light emitting diode modules 242 of each of the plurality of blocks may be independently connected to the power source unit.

이에 따라, 다수의 발광다이오드 모듈(242)의 발광다이오드 패키지(270)는 독립적으로 발광하거나, 블록단위로 발광할 수 있다.
Accordingly, the light emitting diode packages 270 of the plurality of light emitting diode modules 242 can independently emit light or emit light in units of blocks.

한편, 다른 실시예에서는 다수의 발광다이오드 모듈이 타원면에 매트릭스 형태로 배열될 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다. Meanwhile, in another embodiment, a plurality of light emitting diode modules may be arranged in a matrix on an elliptical surface, which will be described with reference to the drawings.

도 7 및 도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부를 도시한 사시도 및 정면도로, 제1실시예와 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.7 and 8 are a perspective view and a front view showing the light source unit of the ultraviolet irradiating apparatus according to the third embodiment of the present invention, and a description of the same parts as those of the first embodiment will be omitted.

도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사장치의 광원부(340)는, 다수의 발광다이오드 모듈(342)과, 편광자(344)를 포함한다. 7 and 8, the light source unit 340 of the ultraviolet irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention includes a plurality of light emitting diode modules 342 and a polarizer 344.

다수의 발광다이오드 모듈(342)은, 타원면(ellipsoidal surface)에 상하좌우로 매트릭스(matrix) 형태로 배열되어 각각 자외선을 출사하며, 편광자(344)는, 다수의 발광다이오드 모듈(342)의 전방에 배치되어 다수의 발광다이오드 모듈(342)로부터 출사되는 자외선을 편광 자외선으로 변조한다. The plurality of light emitting diode modules 342 are arranged in a matrix form on an ellipsoidal surface so as to emit ultraviolet rays respectively and the polarizer 344 is disposed in front of the plurality of light emitting diode modules 342 And modulates ultraviolet rays emitted from the plurality of light emitting diode modules 342 into polarized ultraviolet rays.

다수의 발광다이오드 모듈(342) 각각은, 발광다이오드 패키지(370), 광가이드(372), 렌즈(374) 및 배선(376)을 포함한다.Each of the plurality of light emitting diode modules 342 includes a light emitting diode package 370, a light guide 372, a lens 374, and a wiring 376.

여기서, 다수의 발광다이오드 모듈(342)은 타원면에 배치되므로, 다수의 발광다이오드 모듈(342)로부터 출사되는 자외선 빔의 폭을 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 다수의 발광다이오드 모듈(342)로부터 출사되는 자외선 빔의 에너지 밀도를 증가시키고 균일도를 개선할 수 있다. Since the plurality of light emitting diode modules 342 are disposed on the elliptic surface, the width of the ultraviolet beam emitted from the plurality of light emitting diode modules 342 can be reduced, and accordingly, the light emitted from the plurality of light emitting diode modules 342 The energy density of the ultraviolet beam can be increased and the uniformity can be improved.

그리고, 다수의 발광다이오드 모듈(342)은 배선(376)을 통하여 각각 전원부(미도시)에 독립적으로 연결되거나, 각각 전원부에 독립적으로 연결되는 다수의 블록으로 구분되어 다수의 블록 각각의 발광다이오드 모듈(342)은 전원부에 비독립적으로 연결될 수 있다.The plurality of light emitting diode modules 342 may be independently connected to a power supply unit (not shown) through a wiring 376 or may be divided into a plurality of blocks independently connected to a power supply unit, (342) may be connected to the power supply unit independently.

이에 따라, 다수의 발광다이오드 모듈(342)의 발광다이오드 패키지(370)는 독립적으로 발광하거나, 블록단위로 발광할 수 있다.
Accordingly, the light emitting diode packages 370 of the plurality of light emitting diode modules 342 can independently emit light or emit light in units of blocks.

이와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사장치에서는, 다수의 발광다이오드 모듈(342)을 타원면에 매트릭스 형태로 배열함으로써, 광원부(340)로부터 출사되는 자외선을 집광하여 자외선 빔의 폭을 감소시킬 수 있으며, 그 결과 자외선 조사장치로부터 출사되는 자외선의 에너지 밀도를 증가시키고 균일도를 개선할 수 있으며, 자외선 조사장치를 대면적 기판에 더욱 용이하게 적용할 수 있다.
As described above, in the ultraviolet light irradiation apparatus according to the third embodiment of the present invention, the plurality of light emitting diode modules 342 are arranged in a matrix on the elliptical surface to collect the ultraviolet light emitted from the light source unit 340, As a result, the energy density of the ultraviolet ray emitted from the ultraviolet ray irradiating device can be increased and the uniformity can be improved, and the ultraviolet ray irradiating device can be more easily applied to the large-area substrate.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It can be understood that

110: 자외선 조사장치 120: 반입반출부
130: 스테이지 140: 광원부
142: 발광다이오드 모듈 144: 편광자
150: 측정부 160: 제어부110: ultraviolet irradiator 120: carry-
130: stage 140: light source
142: light emitting diode module 144: polarizer
150: measuring section 160:

Claims (9)

박막이 형성된 기판이 반입 및 반출되는 반입반출부와;
상기 기판을 안치하여 이동할 수 있는 스테이지와;
다수의 발광다이오드 모듈을 이용하여 상기 기판에 자외선을 조사하는 광원부와;
상기 자외선의 성능을 측정하는 측정부와;
상기 반입반출부, 상기 스테이지, 상기 광원부 및 상기 측정부를 제어하는 제어부
를 포함하는 자외선 조사장치.
A carry-in / carry-out portion in which a thin film-formed substrate is carried in and out;
A stage capable of holding and moving the substrate;
A light source unit that emits ultraviolet light to the substrate using a plurality of light emitting diode modules;
A measuring unit measuring the performance of the ultraviolet ray;
A controller for controlling the carry-in / carry-out section, the stage, the light source section,
And an ultraviolet irradiator.
제 1 항에 있어서,
상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 평면 또는 타원면에 매트릭스 형태로 배열되는 자외선 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of light emitting diode modules are arranged in a matrix on a plane or an elliptical surface.
제 2 항에 있어서,
상기 다수의 발광다이오드 모듈 각각은,
상기 자외선을 출사하는 발광다이오드 패키지와;
상기 발광다이오드 패키지의 전방에 배치되어 상기 자외선을 전달하는 광가이드와;
상기 광가이드의 전방에 배치되어 상기 자외선을 집광하여 평행광화 하는 렌즈와;
상기 발광다이오드 패키지에 연결되어 전압이 인가되는 배선
을 포함하는 자외선 조사장치.
3. The method of claim 2,
Wherein each of the plurality of light emitting diode modules includes:
A light emitting diode package for emitting the ultraviolet rays;
A light guide disposed in front of the light emitting diode package and transmitting the ultraviolet light;
A lens disposed in front of the light guide to condense the ultraviolet light to form parallel light;
A wiring connected to the light emitting diode package,
And an ultraviolet ray irradiation device.
제 3 항에 있어서,
상기 광가이드는 사각기둥 형상을 가지며, 상기 광가이드의 내면에는 반사막이 형성되는 자외선 조사장치.
The method of claim 3,
Wherein the light guide has a square pillar shape, and a reflective film is formed on the inner surface of the light guide.
제 3 항에 있어서,
상기 렌즈는 볼록렌즈인 자외선 조사장치.
The method of claim 3,
Wherein the lens is a convex lens.
제 2 항에 있어서,
상기 다수의 발광다이오드 모듈 각각은,
상기 자외선을 출사하는 발광다이오드 패키지와;
상기 발광다이오드 패키지의 전방에 배치되어 상기 자외선을 집광하여 평행광화 하는 미러와;
상기 발광다이오드 패키지에 연결되어 전압이 인가되는 배선
을 포함하는 자외선 조사장치.
3. The method of claim 2,
Wherein each of the plurality of light emitting diode modules includes:
A light emitting diode package for emitting the ultraviolet rays;
A mirror disposed in front of the light emitting diode package to condense ultraviolet light to form parallel light;
A wiring connected to the light emitting diode package,
And an ultraviolet ray irradiation device.
제 6 항에 있어서,
상기 미러는 원뿔대 형상을 가지며, 상기 미러의 내면에는 반사막이 형성되는 자외선 조사장치.
The method according to claim 6,
Wherein the mirror has a truncated cone shape, and a reflection film is formed on the inner surface of the mirror.
제 1 항에 있어서,
상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 독립적인 독립적인 전압을 인가 받아서 독립적으로 발광하는 자외선 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of light emitting diode modules emit independent independent voltages to independently emit light.
제 1 항에 있어서,
상기 다수의 발광다이오드 모듈은, 각각 독립적인 전압이 인가되는 다수의 블록으로 구분되어 블록단위로 발광하는 자외선 조사장치. The method according to claim 1,
The plurality of light emitting diode modules are divided into a plurality of blocks to which independent voltages are applied, and emit light in block units.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016212376A (en) * 2015-05-06 2016-12-15 ウィア・コーポレーション Photo-alignment device
JP2017173604A (en) * 2016-03-24 2017-09-28 東芝ライテック株式会社 Manufacturing apparatus of liquid crystal panel

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016212376A (en) * 2015-05-06 2016-12-15 ウィア・コーポレーション Photo-alignment device
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