KR20140085268A

KR20140085268A - Piezo Actuator

Info

Publication number: KR20140085268A
Application number: KR1020120155631A
Authority: KR
Inventors: 이인호
Original assignee: (주)테라다인; 이인호
Priority date: 2012-12-27
Filing date: 2012-12-27
Publication date: 2014-07-07

Abstract

A piezo actuator according to the present invention comprises a piezo which is contracted or expanded by applied voltage; a diaphragm to which the piezo is attached and which generates vibration by the bending motion according to the expansion and contraction of the piezo; a weight which is connected to the diaphragm to amplify the vibration generated by the diaphragm; a bracket which is arranged at least partially on opposite sides of the diaphragm; a case which is disposed opposite the bracket and which surrounds at least a portion of the piezo, the diaphragm, and the weight; a support member which supports the diaphragm; and a buffered member which is disposed at a part where the case or the bracket is connected to the support member and which is disposed between the support member and the bracket or between the support member and the diaphragm.

Description

Piezo Actuator

본 발명은 피에조 액츄에이터에 관한 것이다.
The present invention relates to a piezo actuator.

터치스크린은 공간 절약이 가능하고 조작성과 간편성, 사양변경 간편, 이용자 인식 높음, IT와의 연동성이 용이, 상품 차별화등의 많은 장점을 지니고 있다. 이와 같은 잇점으로 인해 많은 사람들이 누구나 쉽게 정보 접근이 가능한 잇점을 제공하여 산업, 교통, 서비스, 의료, 모바일 등 다양한 분야에서 폭 넓게 사용되고 있다. 특히 정보화 사회로의 빠른 변화로 인해 언제 어디서나 정보를 이용할 수 있고 편리한 작동을 위한 장치의 중요성이 증가함에 따라 입력 장치의 하나인 터치 패널을 적용한 터치스크린이 등장하게 되었다. 터치 패널의 입력 방법으로는 손가락이나 디스플레이 전용 펜을 사용하여 패널을 접촉함으로서 신호 입력이 발생된다. 이 때 신호 입력의 발생 여부를 인식하는 방법의 하나로 촉각을 이용하는 방법이 사용되고 있는데, 현재 촉각을 이용하는 방법으로 진동모터나 리니어 모터가 사용되고 있다. 이들은 소형 모터의 일종으로 영구자석과 코일을 사용하여 전자기력을 발생시켜 동작하고 있고 있다. 이러한 방식의 진동체는 구조 및 구성물이 복잡하고 전자기 유도 장애 등의 문제로 인해 그 응용분야가 제한적이다.The touch screen has many advantages such as space saving, ease of operation, simplicity of specification, high user awareness, easy interoperability with IT, and product differentiation. Because of this advantage, many people have the advantage of easy access to information, which is widely used in various fields such as industry, transportation, service, medical, and mobile. Especially, due to the rapid change into the information society, the importance of the device for the convenience of using the information anytime and anywhere has increased, and the touch screen using the touch panel, which is one of the input devices, has appeared. As an input method of the touch panel, a signal input is generated by touching the panel using a finger or a display exclusive pen. At this time, as a method of recognizing whether a signal input is generated, a method using a tactile sense is used. Currently, a vibration motor or a linear motor is used as a method using a tactile sense. These are small motors that operate by generating electromagnetic force using permanent magnets and coils. The vibrating body of this type has a limited application field due to complicated structure and constitution, and problems such as electromagnetic induction disorder.

따라서 이와 같은 문제점을 극복하고 소형 경량화 및 기동과 정지의 응답성이 우수한 진동체에 대한 연구가 활발한 실정이다. 이에 따라 최근에는 피에조 액츄에이터에 대한 연구가 활발하나 낙하시 깨지는 문제로 인해 사용상에 여러가지 제약을 받고 있다.
Therefore, there are active researches on vibrating bodies that overcome these problems and are small and lightweight, and have excellent responsiveness to start and stop. Recently, research on piezo actuators has been actively carried out.

본 발명의 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 보다 향상된 진동력과 소형 경량화 및 낙하 및 충격 등에 강한 특성을 갖는 피에조 액츄에이터를 제공하기 위한 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a piezoelectric actuator having improved vibration power, small size, light weight, and characteristics such as dropping and impact.

이런한 목적을 달성하기 위하여, 인가되는 전압에 의해 수축 또는 팽창이 이루어지는 피에조, 상기 피에조가 부착되고 상기 피에조의 수축 또는 팽창에 따른 벤딩 운동에 의해 진동을 발생시키는 진동판, 상기 진동판과 연결되어 상기 진동판에 의해 발생되는 진동을 증폭시키기 위한 웨이트, 상기 진동판과 적어도 일부가 마주보고 배치되는 브라켓, 상기 브라켓과 마주보고 배치되어 상기 피에조, 진동판 및 상기 웨이트를 적어도 일부를 감싸고 있는 케이스, 상기 진동판을 지지하는 지지부재 및 상기 케이스 또는 상기 브라켓과 상기 지지부재가 연결되는 부위에 설치되며, 상기 지지부재와 상기 브라켓 사이 또는 상기 지지부재와 상기 진동판 사이에 배치된 완충부재를 포함한다.In order to achieve the above object, there is provided a piezoelectric vibrator comprising: a piezoelectric member which is contracted or expanded by an applied voltage; a diaphragm attached with the piezoelectric member and generating vibration by bending motion caused by contraction or expansion of the piezoelectric member; A case that faces the bracket and surrounds at least a part of the piezo, the diaphragm, and the weight, and a case that supports the diaphragm And a cushioning member provided at a portion where the support member and the case or the bracket and the support member are connected and disposed between the support member and the bracket or between the support member and the vibration plate.

상기 완충부재는 상기 지지부재와 상기 브라켓 사이 또는 상기 지지부재와 상기 케이스 사이에 배치되어 상기 진동판을 지지하는 것이 가능하다.The buffer member is disposed between the support member and the bracket or between the support member and the case to support the diaphragm.

상기 완충부재는 상기 진동판의 일부분을 감싸고 상기 지지부재와 연결되어 상기 진동판을 지지할 수 있다.The buffer member may enclose a part of the diaphragm and may be connected to the support member to support the diaphragm.

상기 완충부재는 고무나 수지 재질을 사용하되 공기의 기포를 이용하여 형성된 것으로 탄성이 있는 것이 바람직하다.The cushioning member is preferably made of rubber or resin material, and is formed using air bubbles and is preferably elastic.

그리고 인가되는 전압에 의해 수축 또는 팽창이 이루어지는 피에조, 상기 피에조가 부착되고 상기 피에조의 수축 또는 팽창에 따른 벤딩 운동에 의해 진동을 발생시키는 진동판, 상기 진동판과 연결되어 상기 진동판에 의해 발생되는 진동을 증폭시키기 위한 웨이트, 상기 진동판과 적어도 일부가 마주보고 배치되는 브라켓, 상기 브라켓과 마주보고 배치되어 상기 피에조, 진동판 및 상기 웨이트를 적어도 일부를 감싸고 있는 케이스 및 상기 진동판의 운동 방향과 동일 방향으로 배치되어 상기 진동판을 지지하는 복수개의 지지부재를 포함할 수 있다.A vibration plate which vibrates due to the bending motion caused by the contraction or expansion of the piezo, a vibration plate connected to the vibration plate to amplify the vibration generated by the vibration plate, A case which is arranged facing the bracket and encloses at least a part of the piezo, the diaphragm and the weight, and a case which is arranged in the same direction as the direction of motion of the diaphragm, And a plurality of support members for supporting the diaphragm.

상기 지지 부재는 홈과 돌기를 이용하여 고정할 수 있다.The support member may be fixed using a groove and a projection.

또는 상기 지지 부재는 고정턱을 이용하여 고정할 수 도 있다.Alternatively, the support member may be fixed using a fixing jaw.

상기 지지 부재는 용접, 본딩, 코킹등의 방식을 이용하여 고정하는 방법도 있다.
The supporting member may be fixed by a method such as welding, bonding, or caulking.

본 발명의 특징 및 잇점들을 첨부 도면에 의거하여 다음의 상세한 설명으로 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다
The features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention, on the basis of the principle that a concept of a term can be properly defined to explain it in a normal and best manner. Should be interpreted as

이러한 구조로 이루어진 본 발명에 따른 피에조 액츄에이터는 전압의 세기와 방향에 따라 피에조가 진동판과 함께 벤딩 작용을 하여 웨이트를 벤딩 방향으로 동작하여 진동을 발생시킬 수 있다. 그리고 본 발명에 따른 피에조 액츄에이터는 기존의 영구자석과 코일 대신에 피에조를 사용함으로써 경박단소화가 가능하고 보다 향상된 진동력과 빠른 응답속도를 얻을 수 있다. 또한 본 발명은 구조적인 안정도를 증가시키고 높은 진동력을 낼 수 있으며 낙하신뢰성을 크게 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
In the piezoelectric actuator according to the present invention having such a structure, the piezoelectric body bends with the diaphragm according to the intensity and direction of the voltage, so that the weight can operate in the bending direction to generate vibration. In the piezo actuator according to the present invention, by using a piezo instead of a conventional permanent magnet and a coil, it is possible to reduce the size and thickness of the piezo actuator, and to obtain improved vibration power and quick response speed. Further, the present invention has the effect of increasing the structural stability, providing a high vibration force, and greatly improving dropping reliability.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 피에조 액츄에이터의 개략적인 분해 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 단면도
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 완충부재를 설명하는 도면
도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 완충부재를 설명하는 도면1 is a schematic exploded perspective view of a piezoelectric actuator according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view according to an embodiment of the present invention
3 is a view for explaining a buffer member according to still another embodiment of the present invention;
4 is a view for explaining a buffer member according to another embodiment of the present invention;

이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 다른 피에조 액츄에이터는 도면 1 내지 도면 3에 도시한 바와 같이, 일부분이 평판 형태를 갖는 브라켓(160)과, 상기 브라켓(160)의 일측면에 위치하며 고정부재(200)를 통하여 결합되고 탄성이 있는 진동판(130)이 있다. 그리고 상기 진동판(130)에는 피에조(140)가 부착되어 있다. 상기 피에조(140)는 전압이 인가되는 방향에 따라 그 길이 방향으로 수축 또는 팽창하는 특성을 가지며, 이러한 특성을 가진 피에조(140)가 부착된 진동판(130)은 상기 피에조(140)의 수축 또는 팽창에 따라 상측 또는 하측으로 휘어지게 된다. 그리고 상기 진동판(130) 양 끝의 일부를 이용하여 웨이트(120)를 고정시킨다. 상기 진동판(130) 끝단에 상기 웨이트(120)을 조립할 때 항상 일정하고 안정적인 조립상태를 유지하기 위해 오목형상이나 볼록 형상 또는 일부 평면 형상의 별도의 상기 웨이트(120) 고정용 돌기와 함께 구성될 수있다. 그러나 상기 웨이트(120)와 상기 진동판(130)을 고정시키는 방법을 특별히 한정하는 것은 아니다.
As shown in FIGS. 1 to 3, the piezo actuator according to the present invention includes a bracket 160 having a flat plate shape, a plurality of piezoelectric actuators 160, which are disposed on one side of the bracket 160 and are coupled through a fixing member 200 There is an elastic diaphragm 130. A piezo 140 is attached to the diaphragm 130. The diaphragm 130 attached with the piezoelectric 140 having such a characteristic has a characteristic that the shrinkage or swelling of the piezo 140 is affected by the shrinkage or swelling of the piezoelectric 140, As shown in FIG. Then, the weight 120 is fixed using a part of both ends of the diaphragm 130. When the weight 120 is assembled to the end of the diaphragm 130, the weight 120 may be formed with a separate projection for fixing the weight 120 in a concave shape, a convex shape, or a part of a plane shape in order to maintain a constant and stable assembled state . However, the method of fixing the weight 120 and the diaphragm 130 is not particularly limited.

그리고 상기 진동판(130)에 고정된 상기 웨이트(120)는 질량이 높은 재질을 사용함으로써 작은 부피에서 큰 진동을 낼 수 있도록 하며 보통은 텅스텐 성분이 들어가는 분말 소결 제품을 사용한다. 이 때 상기 웨이트(120), 상기 진동판(130) 등의 재질 및 형상에 따라 본 발명의 진동 주파수에 크게 영향을 미친다.The weight 120 fixed to the diaphragm 130 is made of a high-mass material so that a large vibration can be generated in a small volume. In general, a powder sintered product containing a tungsten component is used. At this time, depending on the material and shape of the weight 120, the diaphragm 130, and the like, the vibration frequency of the present invention greatly affects.

그리고 상기 웨이트(120)와 상기 케이스(110), 상기 진동판(130)과 상기 웨이트(120) 사이에 댐핑부재(180)를 둔다. 그리고 상기 진동판(130)과 상기 브라켓(160)사이에도 댐핑부재(180)를 둘 수 있다. 상기 댐핑부재(180)는 상기 웨이트(120)와 상기 진동판(130)이 진동을 발생할 때 상기 케이스(110)나 상기 브라켓(160)과 직접 접촉하여 소음을 발생시키는 것을 막아주며, 외부의 급격한 충격 등에 의해 상기 웨이트(120)와 상기 진동판(130)이 상기 케이스(110)나 상기 브라켓(160)과 부딪혀서 파괴가 되거나 변형이 되는 것을 막아주고,상기 피에조(140)가 파괴되는 것을 방지해준다. 그러나 댐핑부재(180)는 상기 웨이트(120)가 상하로 움직일 때 항상 순시접촉을 통하여 동작하며 이로 인해 소음이 발생한다. 따라서 댐핑부재(180)는 재질이 딱딱하고 압축율이 작을수록 소음이 크게 발생함으로, 보통은 부드러운 러버나 수지 재질에 기포를 발생시켜 압축율을 높여 사용한다. 따라서 웨이트가 정상 동작에서는 적절한 댐핑부재(180)를 설정하여 사용하면 저소음의 액츄에이터를 만들 수 있으나 압축율이 높고 부드러워 외부로부터 낙하, 진동 등의 강한 충격에는 적당한 완충 작용을 하기 어렵다. 따라서 외부 충격등의 에너지가 상기 피에조(140)에 바로 전달되어 상기 피에조(140)가 파괴되기 쉽다. 따라서 이런 문제를 해결하고자 상기 브라켓(160)과 상기 지지부재(200)사이에 별도로 완충 부재(210)를 두었다. A damping member 180 is placed between the weight 120 and the case 110, between the diaphragm 130 and the weight 120. A damping member 180 may be disposed between the vibration plate 130 and the bracket 160. The damping member 180 prevents noise from being directly brought into contact with the case 110 or the bracket 160 when the weight 120 and the diaphragm 130 vibrate, The weight 120 and the diaphragm 130 are prevented from colliding with the case 110 or the bracket 160 to prevent the diaphragm 130 and the diaphragm 130 from being broken or deformed and the piezoelectric 140 to be prevented from being broken. However, the damping member 180 always operates through momentary contact when the weight 120 moves up and down, thereby generating noise. Therefore, since the damping member 180 is harder in material and smaller in compression ratio, noise is generated more largely. Generally, the damping member 180 generates bubbles in a soft rubber or resin material to increase the compression ratio. Accordingly, when the weight is in a normal operation, a suitable damping member 180 may be used to produce a low-noise actuator. However, since the compression ratio is high and smooth, it is difficult to appropriately buffer shocks against strong impacts such as falling or vibration from the outside. Therefore, energy such as an external impact is directly transmitted to the piezo 140, and the piezo 140 is liable to be destroyed. To solve this problem, a buffer member 210 is separately provided between the bracket 160 and the support member 200.

일반적으로 상기 브라켓(160)과 상기 지지부재(200)사이에 아무 것도 두지 않고 바로 상기 브라켓(160)과 상기 지지부재(200)를 직접 고정하는 경우에는, 외부로부터의 강한 충격이나 진동이 상기 지지부재를 통하여 바로 상기 피에조(140)에 전달되어 상기 피에조(140)가 파괴되기 쉽다. 따라서 잘 깨기기 쉬운 상기 피에조(140)를 보로하기 위해서는 외부의 충격이 바로 상기 피에조(140)로 가지 않고 상기 완충부재(210)를 통하여 그 힘을 완충하여 전달함으로써 상기 피에조(140)를 깨지지 않도록 보호할 수 있다. 보통 상기 완충부재(210)는 고무나 수지 재질을 사용하되 공기의 기포를 이용하여 형성된 것으로 탄성이 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다.In general, when the bracket 160 and the support member 200 are directly fixed without placing anything between the bracket 160 and the support member 200, Is directly transmitted to the piezo (140) through the member and the piezo (140) is liable to be destroyed. Therefore, in order to borne the fragile piezza 140, an external shock does not directly go to the piezo 140 but buffers the force through the buffer member 210, thereby preventing the piezo 140 from breaking Can be protected. Usually, the cushioning member 210 is made of rubber or resin but is formed using air bubbles and is preferably elastic.

도면 2에서 보면 상기 완충부재(210)는 상기 지지부재와 상기 브라켓 사이에 배치되어 상기 진동판을 지지하는 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 2, the buffer member 210 is disposed between the support member and the bracket to support the diaphragm.

도면 3에서는 상기 지지부재(200)가 폭이 좁고 홈과 돌기를 이용하여 상기 지지부재(200)와 상기 케이스(110) 고정하며 또한 상기 지지부재(200)와 상기 브라켓(160)을 고정하되 그 사이에 각각 상기 완충부재(210)을 배치하고 있다.3, the supporting member 200 is narrow and has a groove and a projection to fix the supporting member 200 and the case 110, and also to fix the supporting member 200 and the bracket 160, And the cushioning member 210 is disposed between the cushioning members.

도면 2와 도면3에서 본 바와 같이 상기 진동판(130)의 운동 방향과 동일 방향으로 배치되어 상기 진동판을 지지하는 복수개의 지지부재(200)를 포함하고 있는 것을 알 수 있다. 상기 지지부재(200)는 서로 반대방향으로 배치되어 하나는 상기 케이스(110)와 상기 완충부재(210)와 결합되어 있고, 또 다는 지지부재(200)는 상기 브라켓(160)과 상기 완충부재(210)와 결합되어 있는 것을 알 수 있다. As shown in FIGS. 2 and 3, it can be seen that a plurality of support members 200 are disposed in the same direction as the movement direction of the diaphragm 130 and support the diaphragm. The support members 200 are disposed in opposite directions to each other and one is coupled to the case 110 and the buffer member 210 and the support member 200 is coupled to the bracket 160 and the buffer member 210. [ 210). &Lt; / RTI >

상기 지지 부재(200)는 홈과 돌기를 이용하여 고정할 수 있거나 또는 상기 지지 부재(200)는 고정턱(220)을 이용하여 고정하는 방법도 있다The supporting member 200 may be fixed using a groove and a projection, or the supporting member 200 may be fixed by using a fixing jaw 220

결합강도가 커야 하는 경우에는 상기 지지 부재는 용접, 본딩, 코킹등의 방식을 이용하여 고정하는 것을 검토 할 수도 있으나 이 때는 상기 완충부재(210)의 효과가 떨어진다.In the case where the bonding strength is large, it is possible to consider fixing the supporting member using a method such as welding, bonding, and caulking, but at this time, the effect of the buffer member 210 is reduced.

도면 4는 또 다른 실시 예로 도면 4에서 보면 상기 완충부재(210)는 상기 진동판(130)의 끝 단의 일부분을 감싸고 있으며, 상기 브라켓(160) 또는 상기 케이스(110)와 일체로 형성된 상기 지지부재(200)가 상기 완충부재(210)와 상기 진동판(130)과 연결되어 상기 진동판을 지지하고 있다.
4, the buffer member 210 surrounds a part of the end of the diaphragm 130, and the support member 210 integrally formed with the bracket 160 or the case 110, as shown in FIG. 4, (200) is connected to the buffer member (210) and the diaphragm (130) to support the diaphragm.

이상 도면 1내지 도면 4에서 본 바와 같이, 상기 상기 지지부재(200)가 상기 케이스(110) 또는 상기 브라켓(160)과 연결되는 부위에 설치되며, 상기 지지부재(200)와 상기 브라켓(160) 사이 또는 상기 지지부재(200)와 상기 진동판(130) 사이에 배치된 완충부재(210)을 배치함으로써 외부의 충격이나 낙하시에 발생되는 강한 진동을 완충하는 역할을 한다. 따라서 외부 충격에 강한 피에조 액츄에이터 실현이 가능하다.
1 to 4, the support member 200 is provided at a portion where the support member 200 is connected to the case 110 or the bracket 160, and the support member 200 and the bracket 160, And a cushioning member 210 disposed between the support member 200 and the diaphragm 130. The cushioning member 210 serves to buffer strong vibrations generated during external impact or dropping. Therefore, it is possible to realize a piezoelectric actuator which is resistant to an external impact.

이상 본 발명은 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 피에조 액츄에이터에 한정되지않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위에 의하여 명확해질 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not to be limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. It is obvious that the present invention can be modified or improved by those skilled in the art. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 피에조 액츄에이터
110 : 케이스 120 : 웨이트
130 : 진동판 140 : 피에조
160 : 브라켓 170 : 인쇄회로기판
180 : 댐핑 부재 200 : 고정 부재
210 : 완충 부재 220 : 고정턱 100: Piezo actuator
110: Case 120: Weight
130: diaphragm 140: piezo
160: Bracket 170: Printed circuit board
180: damping member 200: fixing member
210: buffer member 220:

Claims

A piezo that shrinks or expands due to an applied voltage;
A diaphragm to which the piezo is attached and which generates vibration by bending motion due to contraction or expansion of the piezo;
A weight connected to the diaphragm to amplify vibration generated by the diaphragm;
A bracket disposed at least partially opposite to the diaphragm;
A case disposed opposite to the bracket and surrounding at least a portion of the piezo, the diaphragm, and the weight;
A support member for supporting the diaphragm; And
And a cushioning member provided at a portion where the case or the bracket and the support member are connected and disposed between the support member and the bracket or between the support member and the vibration plate.

The method according to claim 1,
Wherein the buffer member is disposed between the support member and the bracket or between the support member and the case to support the diaphragm.

The method according to claim 1,
Wherein the buffer member surrounds a part of the diaphragm and is connected to the support member to support the diaphragm.

The method according to claim 1,
Wherein the cushioning member is made of rubber or resin but is made of air bubbles and has elasticity.

A piezo that shrinks or expands due to an applied voltage;
A diaphragm to which the piezo is attached and which generates vibration by bending motion due to contraction or expansion of the piezo;
A weight connected to the diaphragm to amplify vibration generated by the diaphragm;
A bracket disposed at least partially opposite to the diaphragm;
A case disposed opposite to the bracket and surrounding at least a portion of the piezo, the diaphragm, and the weight; And
And a plurality of support members arranged in the same direction as the direction of motion of the diaphragm to support the diaphragm.

6. The method of claim 5,
Wherein the support member is fixed using grooves and projections.

6. The method of claim 5,
Wherein the support member is fixed by using a fixing jaw.

6. The method of claim 5,
Wherein the support member is fixed by a method such as welding, bonding, caulking, or the like.