KR20140075421A - X-ray detector detecting x-ray in accordance to penetration distance - Google Patents

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KR20140075421A
KR20140075421A KR1020120143732A KR20120143732A KR20140075421A KR 20140075421 A KR20140075421 A KR 20140075421A KR 1020120143732 A KR1020120143732 A KR 1020120143732A KR 20120143732 A KR20120143732 A KR 20120143732A KR 20140075421 A KR20140075421 A KR 20140075421A
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, an X-ray detector comprises an X-ray source which radiates a first X-ray and a second X-ray with a different energy level from each other; an X-ray detecting unit which generates a pair of electron-holes according to the incidence of the first and second X-rays in order to output a signal depending on a transmission distance of the first and second X-rays; and a signal processing unit which generates an output signal having both information on the transmission distance of the first and second X-rays proportional to the energy levels of the first and second X-rays and information on the intensity of the first and second X-rays in the transmission distance.

Description

투과 거리에 따라 Ｘ 선을 검출하는 Ｘ 선 검출기{X-RAY DETECTOR DETECTING X-RAY IN ACCORDANCE TO PENETRATION DISTANCE}X-RAY DETECTOR DETECTING X-RAY IN ACCORDANCE TO PENETRATION DISTANCE < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 투과 거리에 따라 X 선을 검출하는 X 선 검출기에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray detector for detecting X-rays in accordance with a transmission distance.

X 선을 이용한 검사는 검사대상물을 개방하거나 파괴하지 않아도 그 내부에 대한 검사를 실시할 수 있어 의료 및 산업분야의 전반에 걸쳐 비파괴 검사법으로 널리 사용되고 있다.X-ray inspection is widely used as a non-destructive inspection method throughout the medical and industrial fields because it can perform inspections without opening or destroying the object to be inspected.

종래에는 이러한 엑스선 촬영을 위하여 엑스선에 감광되는 필름을 사용하여 피사체의 두께나 밀도 차에 의한 음영으로서 피사체 내부를 영상화 하여 이로써 내부 결함을 판단하게 된다.Conventionally, a film that is exposed to X-rays is used for imaging such an X-ray, and the inside of the object is imaged as shading due to the difference in thickness or density of the object, thereby determining internal defects.

한편, 종래와 같은 필름을 사용한 아날로그식 촬영방법은 찍을 때마다 필름이 필요하며 필름의 인화에 시일이 걸리는 단점이 있고, 촬영된 필름을 보관하기 위한 별도의 보관시설이 필요하며, 촬영된 필름을 이동시키기 위한 작업도 필요하여 사용 및 운용이 번거로운 단점이 있었다.On the other hand, in the analog type photographing method using a conventional film, there is a disadvantage that a film is required every time the photograph is taken, sealing is required for printing the film, a separate storage facility for storing the taken film is required, There is a disadvantage that it is troublesome to use and operate.

최근에 들어 전자기술 및 IT 기술이 발달함에 따라 종래의 필름을 이용한 아날로그식 촬영방법 대신 필름이 필요 없는 디지털 장치를 이용하여 X 선 영상을 획득하는 X 선 검출기가 소개되고 있다.Recently, with the development of electronic technology and IT technology, an X-ray detector for acquiring an X-ray image using a digital device which does not need a film has been introduced instead of a conventional analog filming method using a film.

한국등록특허 10-0680700Korean Patent No. 10-0680700

본 발명의 실시예에 따른 X 선 검출기는 X 선의 흡수되는 비율을 증가시키고 사용자에게 오브젝트에 대한 다양한 정보를 제공할 수 있도록 하기 위한 것이다. The X-ray detector according to the embodiment of the present invention is intended to increase the absorption rate of X-rays and provide various information about the object to the user.

본 발명의 실시예에 따른 X 선 검출기는 서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출하는 X 선 소스, 상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 입사에 따라 전자-정공쌍을 생성하여 상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 투과 거리에 따른 신호를 출력하는 X 선 검출부 및 상기 제1 X 선과 제2 X 선의 에너지 레벨에 비례하는 제1 상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 투과거리에 대한 정보와, 상기 투과거리에서의 상기 제1 X 선 및 상기 제2 X 선의 세기에 대한 정보를 갖는 출력신호를 생성하는 신호 처리부를 포함한다.The X-ray detector according to the embodiment of the present invention includes an X-ray source for emitting a first X-ray and a second X-ray having different energy levels, an electron-hole pair according to incidence of the first X- An X-ray detector for generating a signal corresponding to a transmission distance between the first X-ray and the second X-ray, and a second X-ray detector for detecting a first X-ray and a second X- And a signal processing unit for generating an output signal having information on the transmission distance and information on the intensities of the first X-ray and the second X-ray in the transmission distance.

상기 투과 거리는 상기 단위 센서의 위치에 따라 결정될 수 있다.The transmission distance may be determined according to the position of the unit sensor.

상기 신호 처리부는 상기 단위 센서로부터 출력된 아날로그 신호를 증폭하는 증폭기, 상기 증폭된 아날로그 신호의 전압과 기준전압을 비교하는 비교부, 및 상기 비교부의 비교 결과를 카운팅하는 카운터를 포함할 수 있다.The signal processing unit may include an amplifier for amplifying an analog signal output from the unit sensor, a comparator for comparing a voltage of the amplified analog signal with a reference voltage, and a counter for counting a comparison result of the comparator.

상기 신호 처리부는 제1 셰이퍼와 제2 셰이퍼를 더 포함하며, 상기 제1 셰이퍼는 상기 증폭기 및 상기 비교부 사이에 연결되어 상기 증폭된 아날로그 신호에 대해 잡신호를 제거하고 파고선별 기능을 수행하고, 상기 제2 셰이퍼는 상기 비교부 및 상기 카운터 사이에 연결되어 상기 비교부로부터 출력된 펄스 형태의 신호로부터 노이즈를 제거할 수 있다.Wherein the signal processing unit further includes a first shaper and a second shaper, the first shaper being connected between the amplifier and the comparator unit to remove a signal from the amplified analog signal, perform a cranking function, And the second shaper is connected between the comparator and the counter to remove noise from the pulse-shaped signal output from the comparator.

상기 비교부는 제1 비교기와 제2 비교기를 포함하며, 상기 제1 비교기는 제1 기준전압과 상기 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교하고, 상기 제2 비교기는 제2 기준전압과 상기 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교할 수 있다.Wherein the comparator includes a first comparator and a second comparator, wherein the first comparator compares a voltage of the amplified analog signal with a first reference voltage, and the second comparator compares a voltage of the amplified analog signal with a second reference voltage, Can be compared.

본 발명의 실시예에 따른 X 선 검출기는 복수의 에너지 레벨을 지닌 X 선을 이용하여 X 선의 흡수 비율을 높이면서도 사용자에게 다양한 정보를 제공할 수 있다.The X-ray detector according to the embodiment of the present invention can provide various information to the user while increasing the X-ray absorption ratio by using X-rays having a plurality of energy levels.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기를 나타낸다.
도 2 및 도 3는 본 발명의 실시예에 따른 X 선 검출기의 신호 처리부의 예들을 나타낸다.
도 4는 도 2에 도시된 신호 처리부를 통하여 얻을 수 있는 정보의 영역을 나타낸다. 1A and 1B show an X-ray detector according to a first embodiment of the present invention.
FIGS. 2 and 3 show examples of the signal processing unit of the X-ray detector according to the embodiment of the present invention.
FIG. 4 shows an area of information obtainable through the signal processing unit shown in FIG.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention in which the object of the present invention can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

도 1a 및 도 1b은 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기를 나타낸다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기는 X 선 소스(radiation source)(100), X 선 검출부(200), 신호 처리부(300)를 포함한다.1A and 1B show an X-ray detector according to a first embodiment of the present invention. 1A and 1B, an X-ray detector according to a first embodiment of the present invention includes a radiation source 100, an X-ray detecting unit 200, and a signal processing unit 300 .

X 선 소스(100)는 서로 다른 에너지 레벨(energy level)을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출한다. 본 발명의 제1 실시예에서 X 선 소스(100)는 알파선(α-ray), 감마선(γ-ray) 또는 X선과 같은 X 선을 방출한다. 이 때 X 선 소스(100)가 방출하는 제1 X 선과 제2 X 선은 서로 다른 에너지를 지닐 수 있다. 예를 들어, 제1 X 선과 제2 X 선이 X선인 경우 제1 X 선과 제2 X 선은 서로 다른 에너지 레벨을 지닐 수 있으며 60 keV, 88 keV, 또는 120 keV의 에너지 레벨을 지닐 수 있다. The X-ray source 100 emits a first X-ray and a second X-ray having different energy levels. In the first embodiment of the present invention, the X-ray source 100 emits X-rays such as alpha ray, gamma ray, or X ray. At this time, the first X-ray and the second X-ray emitted from the X-ray source 100 may have different energies. For example, if the first X-ray and the second X-ray are X-rays, the first X-ray and the second X-ray may have different energy levels and may have energy levels of 60 keV, 88 keV, or 120 keV.

X 선 검출부(200)는 제1 X 선과 제2 X 선의 입사에 따라 전자-정공쌍을 생성하여 제1 X 선과 제2 X 선의 투과 거리에 따른 신호를 출력한다. The X-ray detecting unit 200 generates an electron-hole pair according to the incidence of the first X-ray and the second X-ray and outputs a signal according to the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray.

본 발명의 제1 실시예에서 X 선 검출부(200)는 검출 센싱부(210)를 포함하며, 검출 센싱부(210)는 제1 X 선 및 제2 X 선의 투과에 따라 전자-정공쌍를 방출하는 광전물질을 포함할 수 있다. 광전물질은 X 선이 가전자대의 전자와 충돌하여 전자를 자유공간으로 여기시키고 반도체를 이온화시켜 전자-정공쌍을 형성하는 물질이다. 광전물질은 CZT(Cadmium-Zinc-Telluride), Amorphous Selenium, CdTe, PbO, HgO 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 이와는 다른 광전물질을 포함할 수도 있다. In the first embodiment of the present invention, the X-ray detecting unit 200 includes a detection sensing unit 210, and the detection sensing unit 210 emits an electron-hole pair according to the transmission of the first X-ray and the second X- Photoelectric material. The photoelectric material is a material in which an X-ray collides with electrons of a valence band to excite electrons into free space and ionize the semiconductor to form electron-hole pairs. The photoelectric material may include at least one of Cadmium-Zinc-Telluride (CZT), Amorphous Selenium, CdTe, PbO, and HgO. However, the photoelectric material may include other photoelectric materials.

이 때 제1 X 선 및 제2 X 선이 입사되는 검출 센싱부(210)의 제1 측면(S1)의 폭(w1)은 제1 X 선 및 제2 X 선의 진행 방향(예를 들어, 도 1a 및 도 1b의 X축 방향)과 평행한 검출 센싱부(210)의 제2 측면(S2)의 폭(w2)보다 작을 수 있다. The width w1 of the first side surface S1 of the detection sensing portion 210 into which the first X-ray and the second X-ray are incident is set such that the width w1 of the first side surface S1 of the detection sensing portion 210, And the width w2 of the second side surface S2 of the detection sensing portion 210 parallel to the X-axis direction in Figs. 1A and 1B.

이 때 검출 센싱부(210)의 제1 측면(S1)의 폭(w1)은 X 선의 진행 방향과 교차하는 방향(예를 들어, 도 1a 및 도 1b의 Y축 방향)의 폭일 수 있고, 검출 센싱부(210)의 제2 측면(S2)의 폭(w2)은 X 선의 진행 방향과 평행한 방향의 폭일 수 있다. At this time, the width w1 of the first side surface S1 of the detection sensing portion 210 may be a width in a direction intersecting the advancing direction of the X-ray (for example, the Y-axis direction in Figs. 1A and 1B) The width w2 of the second side surface S2 of the sensing portion 210 may be a width in a direction parallel to the traveling direction of the X-ray.

X 선은 파장이 매우 작기 때문에 X 선이 투과하는 검출 센싱부(210)의 폭이 작을 수록 검출 센싱부(210)가 X 선을 검출할 확률은 작아지게 된다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예와 다르게 X 선이 입사되는 검출 센싱부(210)의 제2 측면(S2)의 폭(w2)이 검출 센싱부(210)의 제1 측면(S1)의 폭(w1)보다 클 경우, X 선의 투과 가능 거리는 검출 센싱부(210)의 제1 측면(S1)의 폭(w1)과 같으므로 검출 센싱부(210)가 X 선을 검출할 확률은 작아지게 된다.Since the X-ray has a very small wavelength, the smaller the width of the detection sensing unit 210 through which the X-ray is transmitted, the smaller the probability that the detection sensing unit 210 will detect the X-ray. 4, the width w2 of the second side surface S2 of the detection sensing portion 210 to which the X-ray is incident is smaller than the width w2 of the second sensing portion 210 of the detection sensing portion 210, as in the first embodiment of the present invention. The detection distance of the X-ray is equal to the width w1 of the first side S1 of the detection sensor 210. Therefore, when the detection sensor 210 detects the X- The probability of detection is reduced.

반면에 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예의 경우 X 선이 입사되는 검출 센싱부(210)의 제1 측면(S1)의 폭(w1)이 검출 센싱부(210)의 제2 측면(S2)의 폭(w2)보다 작으므로 X 선의 투과 가능 거리는 검출 센싱부(210)의 제2 측면(S2)의 폭(w2)과 같으므로 검출 센싱부(210)가 X 선을 검출할 확률은 커진다. 1A and 1B, in the first embodiment of the present invention, the width w1 of the first side surface S1 of the detection sensing portion 210 to which the X-ray is incident is smaller than the width w1 of the detection sensing portion 210 The width of the second side surface S2 of the detection sensor 210 is smaller than the width w2 of the second side surface S2 of the detection sensor 210 so that the detection sensing unit 210 detects X The probability of detecting a line increases.

이 때 제1 X 선 및 제2 X 선의 투과거리는 제1 X 선 및 제2 X 선의 에너지 레벨에 비례한다. 도 5은 X 선의 에너지 레벨과 투과 거리의 관계를 나타낸 그래프이다. 도 5의 그래프에서 가로축은 X 선이 CZT를 투과한 거리를 나타내고, 도 4의 세로축은 X 선의 에너지 밀도를 나타낸다. 도 5에 도시된 바와 같이, 에너지 레벨이 높은 X 선일수록 CZT를 투과하는 거리가 증가할 확률이 높아짐을 알 수 있다. At this time, the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray is proportional to the energy levels of the first X-ray and the second X-ray. 5 is a graph showing the relationship between the energy level of X-rays and the transmission distance. In the graph of Fig. 5, the horizontal axis represents the distance X-ray penetrates the CZT, and the vertical axis of Fig. 4 represents the X-ray energy density. As shown in FIG. 5, it can be seen that the probability that the distance through which the CZT is transmitted increases as the energy level of the X-ray increases.

따라서 X 선 소스(100)가 서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출하고 제1 X 선의 에너지 레벨이 제2 X 선의 에너지 레벨보다 큰 경우, 제1 X 선이 검출 센싱부(210)를 투과하는 거리가 제2 X 선이 검출 센싱부(210)를 투과하는 거리보다 클 확률이 증가한다. Accordingly, when the X-ray source 100 emits the first X-ray and the second X-ray having different energy levels and the energy level of the first X-ray is greater than the energy level of the second X-ray, The probability that the distance through which the second X-ray penetrates the detection unit 210 is greater than the distance through which the second X-ray penetrates the detection unit 210 increases.

X 선 소스(100)가 서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출하므로 X 선 검출부(200)는 제1 X 선과 제2 X 선에 따른 신호를 출력한다. Since the X-ray source 100 emits the first X-ray and the second X-ray having different energy levels, the X-ray detecting unit 200 outputs signals corresponding to the first X-ray and the second X-ray.

본 발명의 제1 실시예에서 투과 거리는 검출 센싱부(210)의 단위 센서(sen1, sen2, sen3)의 위치에 따라 결정될 수 있다. 검출 센싱부(210)는 제1 X 선과 제2 X 선의 진행 방향(예를 들어, X축 방향)으로 배열된 복수 개의 단위 센서(sen1, sen2, sen3)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 단위 센서 sen1은 X 선 소스(100)로부터 가장 가깝고 단위 센서 sen3은 X 선 소스(100)로부터 가장 멀다. 따라서 단위 센서 sen3은 제1 X 선 및 제2 X 선 중 에너지 레벨이 높은 X 선을 검출할 확률이 커질 수 있다. In the first embodiment of the present invention, the transmission distance may be determined according to the positions of the unit sensors sen1, sen2, sen3 of the detection sensing unit 210. [ The detection sensing unit 210 may include a plurality of unit sensors sen1, sen2, sen3 arranged in the traveling direction of the first X-ray and the second X-ray (for example, the X-axis direction). For example, the unit sensor sen1 is closest to the X-ray source 100 and the unit sensor sen3 is farthest from the X-ray source 100. [ Therefore, the probability that the unit sensor sen3 detects an X-ray having a high energy level among the first X-ray and the second X-ray can be increased.

본 발명의 제1 실시예에서는 제1 X 선과 제2 X 선의 진행방향으로 3 개의 단위 센서가 배열되었으나 이는 일례일 뿐이며 이에 한정되는 것은 아니다. In the first embodiment of the present invention, three unit sensors are arranged in the traveling direction of the first X-ray and the second X-ray, but the present invention is not limited thereto.

신호 처리부(300)는 제1 X 선과 제2 X 선의 투과거리에 대한 정보와, 투과거리에서의 제1 X 선 및 제2 X 선의 세기에 대한 정보를 갖는 출력신호를 생성한다. The signal processing unit 300 generates an output signal having information on the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray and information on the intensities of the first X-ray and the second X-ray in the transmission distance.

이를 위하여 본 발명의 제1 실시예에서 신호 처리부(300)는 제1 X 선 및 제2 X 선의 진행방향을 따라 배열된 단위 센서들(sen 1, sen 2, sen 3)로부터 출력된 신호들을 디지털 신호로 변환할 수 있다. To this end, in the first embodiment of the present invention, the signal processing unit 300 converts signals output from the unit sensors sen 1, sen 2, sen 3 arranged along the traveling direction of the first X-ray and the second X- Signal.

도 2 및 도 3는 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기의 신호 처리부(300)의 예들을 나타낸다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 각 단위 센서(sen1, sen2, sen3)는 제1 전극(E11, E12, E13)과 제2 전극(E2)을 포함할 수 있다. 제1 전극(E11, E12, E13)과 제2 전극(E2) 사이의 광전물질은 제1 X 선 및 제2 X 선의 입사에 따라 전자-정공쌍을 생성한다. 도 2 및 도 3에서 E11, E12, E13 각각은 단위 센서 sen1, 단위 센서 sen2, 단위 센서 sen3의 제1 전극에 해당된다. 2 and 3 show examples of the signal processing unit 300 of the X-ray detector according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 2 and 3, each unit sensor sen1, sen2, sen3 may include first electrodes E11, E12, and E13 and a second electrode E2. The photoelectric material between the first electrodes E11, E12 and E13 and the second electrode E2 generates an electron-hole pair according to the incidence of the first X-ray and the second X-ray. In FIGS. 2 and 3, E11, E12, and E13 correspond to the first electrodes of the unit sensor sen1, the unit sensor sen2, and the unit sensor sen3.

이 때 제2 전극(E2)에는 전자-정공쌍을 분리하기 위한 전압(Vo)가 공급될 수 있다. 전압(Vo)이 양의 전압이면 광전물질에 의하여 생성된 전자가 제2 전극(E2)으로 이동하고 정공이 제1 전극(E11, E12, E13)으로 이동할 수 있다. 또한 전압(Vo)가 음의 전압이면 광전물질에 의하여 생성된 정공이 제2 전극(E2)으로 이동하고 전자가 제1 전극(E11, E12, E13)으로 이동할 수 있다. At this time, a voltage Vo for separating the electron-hole pairs may be supplied to the second electrode E2. If the voltage Vo is a positive voltage, electrons generated by the photoelectric material may move to the second electrode E2 and holes may move to the first electrodes E11, E12, and E13. Also, if the voltage Vo is a negative voltage, holes generated by the photoelectric material may move to the second electrode E2 and electrons may move to the first electrodes E11, E12, and E13.

도 2에 도시된 바와 같이, 신호 처리부(300)는 증폭기(310), 비교부(320) 및 카운터(counter)(330)를 포함할 수 있다. 증폭기(310)는 제1 전극(E11, E12, E13)으로부터 출력된 아날로그 신호를 증폭한다. 제1 전극(E11, E12, E13)으로부터 출력된 아날로그 신호는 광전물질에 의하여 형성된 전자 또는 정공에 의하여 생성된 것이다. 본 발명의 제1 실시예에서 증폭기(310)는 미소전류를 증폭할 수 있는 전하증폭기(charge amplifier)일 수 있다. 2, the signal processing unit 300 may include an amplifier 310, a comparison unit 320, and a counter 330. [ The amplifier 310 amplifies the analog signals output from the first electrodes E11, E12, and E13. The analog signals output from the first electrodes E11, E12, and E13 are generated by electrons or holes formed by the photoelectric material. In the first embodiment of the present invention, the amplifier 310 may be a charge amplifier capable of amplifying a small current.

증폭기(310)에 의하여 증폭된 신호는 극히 짧은 시간에 생기는 펄스일 수 있으므로 제1 셰이퍼(shaper)(340)는 증폭기(310) 및 비교부(320) 사이에 연결되어 증폭된 아날로그 신호에 대해 잡신호를 제거하고 파고선별 기능을 수행하여 펄스 모양을 재구성한다.The first shaper 340 may be connected between the amplifier 310 and the comparator 320 to amplify the amplified analog signal by a predetermined amount of time, And performs a crushing and sorting function to reconstruct the pulse shape.

제1 셰이퍼(340)로부터 출력된 신호는 비교부(320)로 입력되고, 비교부(320)는 기준전압과 제1 셰이퍼(340)로부터 출력된 신호의 전압을 비교한다. 비교부(320)는 제1 비교기(321)와 제2 비교기(323)를 포함할 수 있다. 이 때 제1 비교기(321)는 제1 기준전압과 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교하고, 제2 비교기(323)는 제2 기준전압과 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교할 수 있다The signal output from the first shaper 340 is input to the comparator 320, and the comparator 320 compares the reference voltage and the voltage of the signal output from the first shaper 340. The comparator 320 may include a first comparator 321 and a second comparator 323. At this time, the first comparator 321 compares the voltage of the amplified analog signal with the first reference voltage, and the second comparator 323 compares the voltage of the amplified analog signal with the second reference voltage

제1 비교기(321)는 제1 기준전압(Vth_H_1, Vth_H_2, Vth_H_3)과 제1 셰이퍼(340)로부터 출력된 신호의 전압을 비교하고, 제2 비교기(323)는 제2 기준전압(Vth_L_1, Vth_L_2, Vth_L_3)과 제1 셰이퍼(340)로부터 출력된 신호의 전압을 비교할 수 있다. The first comparator 321 compares the first reference voltage Vth_H_1, Vth_H_2 and Vth_H_3 with the voltage of the signal output from the first shaper 340 and the second comparator 323 compares the second reference voltages Vth_L_1 and Vth_L_2 , Vth_L_3) and the voltage of the signal output from the first shaper 340 can be compared.

이 때 Vth_H_1, Vth_H_2, Vth_H_3 각각은 Vth_L_1, Vth_L_2, Vth_L_3보다 큰 전압값일 수 있다. 또한, Vth_H_1, Vth_H_2, 및 Vth_H_3은 서로 같은 전압값이거나, Vth_H_1, Vth_H_2, 또는 Vth_H_3 중 하나의 전압값은 나머지 두 전압값과 다를 수 있다. 마찬가지로 Vth_L_1, Vth_L_2, 및 Vth_L_3은 서로 같은 전압값이거나, Vth_L_1, Vth_L_2, 또는 Vth_L_3 중 하나의 전압값은 나머지 두 전압값과 다를 수 있다. In this case, each of Vth_H_1, Vth_H_2, and Vth_H_3 may be a voltage value greater than Vth_L_1, Vth_L_2, and Vth_L_3. In addition, Vth_H_1, Vth_H_2, and Vth_H_3 may be the same voltage value, or one of Vth_H_1, Vth_H_2, and Vth_H_3 may be different from the other two voltage values. Similarly, Vth_L_1, Vth_L_2, and Vth_L_3 may have the same voltage value, or one of Vth_L_1, Vth_L_2, and Vth_L_3 may be different from the remaining two voltage values.

제1 비교기(321)와 제2 비교기(323)의 동작에 따라 비교부(320)는 다양한 정보를 출력할 수 있다. 예를 들어, 제1 비교기(321)가 기준전압(Vth_H_1, Vth_H_2, Vth_H_3)보다 큰 비교전압의 입력시 하이 레벨 신호(high level signal)를 출력하거나, 기준전압(Vth_H_1, Vth_H_2, Vth_H_3)보다 작은 비교전압의 입력시 하이 신호를 출력할 수 있다. 마찬가지로 제2 비교기(323)가 기준전압(Vth_L_1, Vth_L_2, Vth_L_3)보다 큰 비교전압이 입력될 때 하이 신호를 출력하거나, 기준전압(Vth_L_1, Vth_L_2, Vth_L_3)보다 작은 비교전압이 입력될 때 하이 신호를 출력할 수 있다. The comparing unit 320 may output various information according to the operation of the first comparator 321 and the second comparator 323. For example, when the first comparator 321 outputs a high level signal at the time of inputting a comparison voltage that is larger than the reference voltages Vth_H_1, Vth_H_2, and Vth_H_3, or outputs a high level signal when the comparison voltage is smaller than the reference voltages Vth_H_1, Vth_H_2 and Vth_H_3 A high signal can be output when the comparison voltage is input. Similarly, when the second comparator 323 outputs a high signal when a comparison voltage having a magnitude larger than the reference voltages Vth_L_1, Vth_L_2 and Vth_L_3 is input, or when a comparison voltage smaller than the reference voltages Vth_L_1, Vth_L_2 and Vth_L_3 is input, Can be output.

제2 셰이퍼(350)는 비교부(320) 및 카운터(330) 사이에 연결되어 비교부(320)로부터 출력된 펄스 형태의 신호로부터 노이즈를 제거하고, 카운터(330)는 비교부(320)의 비교 결과를 카운팅한다. The second shaper 350 is connected between the comparator 320 and the counter 330 to remove noise from the pulse signal output from the comparator 320 and the counter 330 receives the noise from the comparator 320 The comparison result is counted.

데이터 스캐너(data scanner)(360)는 카운터(330)로부터 병렬적으로 입력된 입력신호를 직렬적으로 출력한다. The data scanner 360 serially outputs the input signals input from the counter 330 in parallel.

이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기는 제1 X 선 및 제2 X 선의 진행방향에 따라 배열된 복수 개의 단위 센서(sen1, sen2, sen3)를 통하여 제1 X 선 및 제2 X 선의 투과 거리에 대한 정보와, 투과거리에서의 제1 X 선과 제2 X 선의 세기에 대한 정보를 갖는 출력신호를 생성할 수 있다. As described above, the X-ray detector according to the first embodiment of the present invention has the first X-ray and the second X-ray through the plurality of unit sensors sen1, sen2, sen3 arranged in the traveling direction of the first X- It is possible to generate an output signal having information on the transmission distance of the X-ray and information on the intensities of the first X-ray and the second X-ray in the transmission distance.

이 때 제1 X 선과 제2 X 선의 세기에 대한 정보는 단위 센서들(sen1, sen2, sen3)로부터 특정 전압 영역(예를 들어, ① 영역, ② 영역, 또는 ③ 영역)에 해당되는 전자-정공쌍이 발생하는 횟수에 해당될 수 있다. At this time, the information about the intensities of the first X-ray and the second X-ray is obtained from the unit sensors sen1, sen2, sen3 by the electron-hole corresponding to the specific voltage region (for example, It may correspond to the number of times the pair occurs.

이와 같은 정보를 통하여 제1 X 선과 제2 X 선이 투과된 특정 오브젝트(object)(도 1a 및 도 1b 참조)(40)의 상태를 보다 상세히 알 수 있다. 예를 들어, 서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선이 사람 몸의 암세포 조직에 방출된다고 가정한다. Through this information, the state of a specific object (see FIGS. 1A and 1B) 40 through which the first X-ray and the second X-ray are transmitted can be known in more detail. For example, it is assumed that the first X-ray and the second X-ray having different energy levels are emitted to the cancer cell tissue of the human body.

본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기는 동일한 암세포 조직에 서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출하고, 오브젝트(40)를 투과한 제1 X 선과 제2 X 선이 검출 센싱부(210)를 투과한 거리에 대한 정보를 획득할 수 있다. 암세포 조직과 같은 오브젝트(40)의 경우 특정 에너지 레벨의 X 선에 의해서는 구별이 안될 수 있지만 본 발명의 제1 실시예에 따른 X 선 검출기는 제1 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 에너지 레벨을 지닌 제2 X 선이 동일 오브젝트(40)를 통과할 때 제1 X 선과 제2 X 선의 투과 거리에 대한 정보를 동시에 얻을 수 있으므로 오브젝트(40)의 상태 파악에 대한 정확도를 높일 수 있다. The X-ray detector according to the first embodiment of the present invention emits a first X-ray and a second X-ray having different energy levels in the same cancer cell tissue, and emits a first X-ray and a second X- Information on the distance transmitted through the detection sensing unit 210 can be obtained. Although an object 40 such as cancer cell tissue may not be distinguished by an X-ray of a specific energy level, the X-ray detector according to the first embodiment of the present invention can detect a first X-ray having a first energy level and a second energy The information on the transmission distances of the first X-ray and the second X-ray can be obtained at the same time when the second X-ray having the same level passes through the same object 40, so that the accuracy of the state of the object 40 can be improved.

이상의 설명에서는 증폭부와 비교부(320) 사이에 제1 셰이퍼(340)가 있으나 증폭부가 비교부(320)와 연결될 수도 있다. 또한 도 2의 신호 처리부(300)의 경우 비교부(320)와 카운터(330) 사이에 제2 셰이퍼(350)가 있으나 서로 비교부(320)와 카운터(330)가 연결될 수도 있다.In the above description, the first shaper 340 is provided between the amplification unit 320 and the comparison unit 320, but the amplification unit 320 may be connected to the comparison unit 320. In the case of the signal processing unit 300 of FIG. 2, the second shaper 350 is provided between the comparing unit 320 and the counter 330, but the comparing unit 320 and the counter 330 may be connected to each other.

다음으로 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 X 선 검출기에 대해 설명한다. Next, an X-ray detector according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 5a 및 도 5b은 본 발명의 제2 실시예에 따른 X 선 검출기를 나타낸다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 X 선 검출기는 X 선 소스(100), X 선 검출부(400) 및 신호 처리부(500)를 포함한다. 5A and 5B show an X-ray detector according to a second embodiment of the present invention. 5A and 5B, the X-ray detector according to the second embodiment of the present invention includes an X-ray source 100, an X-ray detecting unit 400, and a signal processing unit 500.

X 선 소스(100)는 서로 다른 에너지 레벨(energy level)을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출한다. X 선 소스(100)에 대해서는 앞서 상세한 설명이 이루어졌으므로 이에 대한 설명은 생략된다. The X-ray source 100 emits a first X-ray and a second X-ray having different energy levels. Since the X-ray source 100 has been described in detail above, a description thereof will be omitted.

X 선 검출부(400)는 제1 X 선과 제2 X 선의 입사에 따라 전자-정공쌍을 생성하여 제1 X 선과 제2 X 선의 투과 거리에 따른 신호를 출력한다. 투과 거리에 대해서는 앞서 상세히 설명하였으므로 이에 대한 설명은 생략된다.The X-ray detecting unit 400 generates an electron-hole pair according to the incidence of the first X-ray and the second X-ray and outputs a signal according to the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray. Since the transmission distance has been described in detail in the foregoing, a description thereof will be omitted.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.

Claims (5)

서로 다른 에너지 레벨을 지닌 제1 X 선과 제2 X 선을 방출하는 X 선 소스;
상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 입사에 따라 전자-정공쌍을 생성하여 상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 투과 거리에 따른 신호를 출력하는 X 선 검출부; 및
상기 제1 X 선과 제2 X 선의 에너지 레벨에 비례하는 제1 상기 제1 X 선과 상기 제2 X 선의 투과거리에 대한 정보와, 상기 투과거리에서의 상기 제1 X 선 및 상기 제2 X 선의 세기에 대한 정보를 갖는 출력신호를 생성하는 신호 처리부
를 포함하는 X 선 검출기.An X-ray source emitting a first X-ray and a second X-ray having different energy levels;
An X-ray detector for generating an electron-hole pair according to the incidence of the first X-ray and the second X-ray and outputting a signal corresponding to the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray; And
Information on the transmission distance of the first X-ray and the second X-ray which is proportional to the energy levels of the first X-ray and the second X-ray, information on the transmission distance of the first X-ray and the second X- A signal processing unit < RTI ID = 0.0 >
Ray detector. 제1항에 있어서,
상기 투과 거리는 상기 단위 센서의 위치에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 X 선 검출기. The method according to claim 1,
Wherein the transmission distance is determined according to a position of the unit sensor. 제1항에 있어서,
상기 신호 처리부는
상기 단위 센서로부터 출력된 아날로그 신호를 증폭하는 증폭기,
상기 증폭된 아날로그 신호의 전압과 기준전압을 비교하는 비교부, 및
상기 비교부의 비교 결과를 카운팅하는 카운터
를 포함하는 것을 특징으로 하는 X 선 검출기.The method according to claim 1,
The signal processing unit
An amplifier for amplifying an analog signal output from the unit sensor,
A comparator for comparing the voltage of the amplified analog signal with a reference voltage,
A counter for counting the comparison result of the comparator
X-ray detector. 제3항에 있어서,
상기 신호 처리부는 제1 셰이퍼와 제2 셰이퍼를 더 포함하며,
상기 제1 셰이퍼는 상기 증폭기 및 상기 비교부 사이에 연결되어 상기 증폭된 아날로그 신호에 대해 잡신호를 제거하고 파고선별 기능을 수행하고,
상기 제2 셰이퍼는 상기 비교부 및 상기 카운터 사이에 연결되어 상기 비교부로부터 출력된 펄스 형태의 신호로부터 노이즈를 제거하는 것을 특징으로 하는 X 선 검출기.The method of claim 3,
Wherein the signal processing unit further includes a first shaper and a second shaper,
Wherein the first shaper is connected between the amplifier and the comparator to remove a signal from the amplified analog signal and perform a cranking function,
And the second shaper is connected between the comparator and the counter to remove noise from the pulse-shaped signal output from the comparator. 제3항에 있어서,
상기 비교부는 제1 비교기와 제2 비교기를 포함하며,
상기 제1 비교기는 제1 기준전압과 상기 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교하고,
상기 제2 비교기는 제2 기준전압과 상기 증폭된 아날로그 신호의 전압을 비교하는 것을 특징으로 하는 X 선 검출기. The method of claim 3,
Wherein the comparator includes a first comparator and a second comparator,
Wherein the first comparator compares a voltage of the amplified analog signal with a first reference voltage,
And the second comparator compares the voltage of the amplified analog signal with the second reference voltage.
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