KR20140035132A - 유기발광소자 밀봉장치 - Google Patents

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KR20140035132A
KR20140035132A KR1020120101605A KR20120101605A KR20140035132A KR 20140035132 A KR20140035132 A KR 20140035132A KR 1020120101605 A KR1020120101605 A KR 1020120101605A KR 20120101605 A KR20120101605 A KR 20120101605A KR 20140035132 A KR20140035132 A KR 20140035132A
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황재석
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엘아이지에이디피 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 유기발광소자 밀봉장치는 챔버; 상기 챔버 내부에 구비되며, 일면에 유기발광층이 형성되고 그 위로 필름이 가부착된 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 구비되는 프레스 플레이트; 상기 스테이지의 하부에 구비되며, 상기 스테이지를 상승시켜 상기 스테이지와 상기 프레스 플레이트에 의해 상기 기판과 상기 필름이 가압되도록 하는 복수개의 승강부; 상기 챔버 하부에 구비되며, 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부를 지지하기 위한 리프터; 및 상기 리프터가 이동하는 메인 가이드 레일을 포함하고, 유지 보수가 용이하며, 기판과 필름의 전면을 고르게 합착하여 고품질의 제품을 생산할 수 있다.

Description

유기발광소자 밀봉장치{Sealing Apparatus of Organic Light Emitting Diodes}
본 발명은 유기발광소자 밀봉장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 유기발광층이 형성된 기판에 필름을 부착하는 유기발광소자 밀봉장치에 관한 것이다.
유기발광소자를 이용한 디스플레이 장치는, 유기 EL(Electro Luminescence) 층에 전압을 인가하여 유기 EL 물질의 분자 상태를 기저 상태에서 여기 상태로 끌어올리고, 그 분자 상태가 기저 상태로 복귀할 때 여기 상태와 기저 상태의 에너지 차가 빛으로 방출되는 성질을 이용한 것이다.
유기발광소자를 이용한 패널은 유리기판 위에 투명전극 재료로서 ITO(Indium Tin Oxide)를 이용하여 양극을 형성하고, 그 위에 유기 박막층을 성막한 후, 다시 그 위에 음극을 형성하여 제작함이 일반적이다.
유기박막층은 공기 중의 수분과 산소에 약하므로 소자의 수명을 증가시키기 위해 봉합하는 필름을 부착한다. 그러나 종래에 필름을 부착하는 공정은 기판에 필름이 기밀하게 부착되지 않고, 기판을 수취하는 리프트핀을 승강하는 장치 등을 구비하여 장치 구성이 복잡하며 이로 인한 장치의 유지보수에 문제가 있다.
더욱이 종래에 필름을 부착하는 방법은 종래의 합착장치 공개특허공보 10-2008-0053064와 같은 형태를 변경하는 방법을 사용하였으나, 이러한 방법은 필름을 기밀하게 부착하는데 어려움이 있었으며, 장비의 유지보수가 어려운 문제가 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0053064
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 구성이 간소하면서도 유기발광층이 형성된 기판에 필름을 기밀하게 합착할 수 있는 유기발광소자 밀봉장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 유지보수가 용이한 유기발광소자 밀봉장치를 제공하기 위한 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 유기발광소자 밀봉장치는 챔버; 상기 챔버 내부에 구비되며, 일면에 유기발광층이 형성되고 그 위로 필름이 가부착된 기판이 안착될 수 있는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 구비되는 프레스 플레이트; 상기 스테이지의 하부에 구비되며, 상기 스테이지를 상승시켜 상기 스테이지와 상기 프레스 플레이트에 의해 상기 기판과 상기 필름이 가압되도록 하는 복수개의 승강부; 상기 챔버 하부에 구비되며, 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부를 지지하기 위한 리프터; 상기 리프터가 이동하는 메인 가이드 레일을 포함한다.
상기 복수개의 승강부는 직사각형 형태로 배치되고, 상기 메인 가이드 레일은 상기 챔버의 길이가 긴 방향으로 이동한다.
상기 챔버의 하부에는 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부의 상부를 고정시켜 상기 챔버의 외측으로 이송하기 위한 보조 가이드부를 포함하고, 상기 보조 가이드부는 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부의 상부와 결합되는 고정틀부, 상기 고정틀부가 이동하는 보조 가이드 레일을 포함한다.
상기 보조 가이드 레일은 상기 챔버의 길이가 짧은 방향으로 이동한다.
상기 프레스 플레이트에는 상기 기판과 상기 필름이 가열 가압되도록 가열플레이트를 포함할 수 있으며, 상기 스테이지에는 상기 기판과 상기 필름이 가열 가압되도록 가열 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 프레스 플레이트의 일면에는 상기 기판과 상기 필름이 가압 시에 완충역할을 하는 완충부를 포함할 수 있으며, 상기 완충부는 실리콘 고무층 또는 박막형태의 플레이트일 수 있다. 상기 챔버의 하부에는 상기 챔버 내로 반입된 기판을 지지하는 지지핀이 상기 스테이지를 관통하도록 고정 설치될 수 있으며, 상기 스테이지가 상승하면 상기 지지핀에 의해 지지되었던 상기 기판이 상기 스테이지에 지지되고, 상기 스테이지가 하강하면 상기 스테이지에 지지되었던 상기 지지핀에 상기 기판이 지지될 수 있다.
본 발명에 따른 유기발광소자 밀봉장치는 구성이 간소하여 유지 보수가 용이하며, 기판과 필름의 전면을 고르게 합착하여 고품질의 제품을 생산할 수 있다.
또한, 승강부를 용이하게 유지보수 할 수 있어, 유지보수에 따른 시간을 단축시킬 수 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치의 개략적 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 챔버 내로 기판이 반입된 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 기판과 필름이 가열 가압되는 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 기판과 필름의 합착 후 스테이지가 하강하는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 필름이 합착된 기판을 반출하는 상태를 도시한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에 구비된 승강부를 유지보수 하기 위해 승강부를 승강시키는 리프터의 작동 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에 구비된 승강부를 외부로 반출하는 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에 구비된 복수개의 승강부 및 메인 가이드 레일을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에 구비된 보조 가이드 레일을 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치의 개략적 측단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치(100)는 챔버(110)를 구비하며, 챔버(110) 내측 하부에는 스테이지(150)가 구비되고, 챔버(110) 내측 상부에는 프레스 플레이트(160)가 구비된다.
또한 챔버(110)의 하부에서 챔버(110)를 지지하는 하부프레임(130)과, 챔버(110)의 상부에 위치하여 프레스 플레이트(160)를 상부에서 지지하는 상부프레임(120)과, 스테이지(150)를 승강하는 복수개의 승강부(140)가 구비된다.
그리고 챔버(110)의 하부에는 승강부(140) 이외에 별도로 스테이지(150)를 승강시킬 수 있는 스테이지 작동부(240)가 구비된다. 스테이지 작동부(240)는 잭 스크루 형태(Jack screw) 또는 리니어 액추에이터(Linear actuator) 등의 형태를 사용할 수 있다. 승강부(140)는 밀봉공정 진행을 위해 스테이지(150)를 상승시키며, 스테이지 작동부(240)는 스테이지(150)를 밀봉공정 이전의 높이 까지 상부측으로 상승시킨다.
챔버(110)의 양측면에는 필름(S2)이 가부착된 기판(S1)이 반입 및 반출되는 게이트 밸브(111a, 111b)가 구비되어 이를 통해 필름(S2)이 가부착된 기판(S1)이 반입 및 반출되도록 구성된다. 게이트 밸브(111a, 111b)는 챔버(110)의 한 쪽에만 형성되어 기판(S1)이 출입될 수도 있다. 챔버(110)는 본 발명에서 설명하는 바와 같이 하나의 몸체에 게이트 밸브가 구성된 형태(Closed type)로 제작하거나 개별적인 상부챔버 및 하부챔버로 구성되어 이들이 밀착 및 이격되어 공정공간을 형성하는 형태(Open type)로 제작할 수 있다.
또한 챔버(110)는 진공분위기에서 유기발광소자의 밀봉공정이 이루어질 수 있도록 진공배기관(미도시)과 연통되며, 도시되지 않았지만, 챔버(110)의 외부에는 진공배기관(미도시)과 연결되는 고진공분자펌프(Turbo Molecular Pump, TMP), 드라이 펌프(Dry Pump) 등이 설치된다.
또한 챔버(110)에는 필름(S2)이 가부착된 기판(S1)이 챔버(110) 내로 반입되었을 때나 필름(S2)과 합착이 종료된 기판(S1)이 챔버(110) 밖으로 반출되기 위해 대기할 때, 기판(S1)을 지지하는 지지핀(112)이 고정 형태로 설치된다. 지지핀(112)은 본 발명의 실시예에서 설명하는 바와 같이 챔버(110) 바닥에 고정된 형태로 설치할 수 있으며, 다른 형태로 챔버(110) 바닥을 관통하도록 챔버(110)가 아닌 다른 곳에 고정된 형태로도 설치할 수 있다.
지지핀(112)은 복수 개가 챔버(110)의 바닥면에 설치될 수 있으며, 각 지지핀(112)은 동일한 길이로 형성되어 기판(S1)을 평탄하게 지지할 수 있다. 지지핀(112)은 기판(S1)을 챔버(110) 내부 또는 외부로 반입 또는 반출하는 이송암(미도시)이 기판(S1)의 하면을 용이하게 지지하여 이송할 수 있게 한다.
종래의 기판합착장치나 기판밀봉장치에서는 반입되는 기판을 수취하여 스테이지에 안착시키기 위해, 상하로 구동하는 리프트 핀, 리프트 핀을 지지하는 핀 플레이트 및 핀 플레이트를 상하로 구동하는 승강기 등이 구비되어, 장치의 구성이 복잡하고 이에 따라 장치의 유지보수가 어려웠다.
그러나 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치(100)는 리프트 핀 및 이를 구동하기 위한 구동계를 이용하지 않고 챔버(110) 하부에 고정 설치되는 지지핀(112)을 구비하여 장치의 구성을 간소화 하며, 동시에 기판(S1)의 반입 및 반출을 용이하게 한다.
즉, 기판(S1)이 반입 또는 반출될 경우 스테이지(150)는 하강하여 스테이지(150)의 사이에 위치한 지지핀(112)이 돌출됨에 따라 지지핀(112)에 의해 기판(S1)은 지지되고, 공정이 진행될 경우 스테이지(150)는 상승하여 기판(S1)은 스테이지(150)에 지지된다.
한편, 스테이지(150)에는 스테이지(150)에 안착된 필름(S2)이 가부착된 기판(S1)을 가열할 수 있는 하부 가열 플레이트(151)가 구비된다. 하부 가열 플레이트(151)는 필름(S2)과 기판(S1)의 합착이 용이하게 이루어지도록 기판(S1) 및 필름(S2)을 가열한다. 하부 가열 플레이트(151)에는 열선 등이 구비될 수 있으며, 또는 온도 조절이 가능한 다른 형태의 발열체가 구비되는 형태일 수 있다.
스테이지(150) 및 하부 가열 플레이트(151)에는 지지핀(112)이 스테이지(150)와 하부 가열 플레이트(151)를 관통할 수 있도록 지지핀(112)의 설치 위치와 대응하는 위치에 지지핀홀(152)이 형성된다.
그리고 스테이지(150)에는 필름(S2)과 기판(S1)을 가압할 경우 완충을 위한 실리콘 러버 형태 등의 완충부(미도시)를 구비시킬 수 있다.
완충부는 실리콘 러버와 같은 수지형태 이외에 수지 또는 금속 박막 형태의 플레이트를 사용할 수도 있다. 완충부로 사용하는 실리콘 및 박막은 중심부분이 높게 형성되도록 한다. 이러한 형태로 완충부를 제작해야 기판(S1)의 중심 부분부터 외곽방향으로 압착공정이 안정적으로 진행된다. 이 경우 박막 형태의 완충부를 상부에 위치한 프레스 플레이트(160)에 설치하고, 프레스 플레이트(160)를 하강하여 밀봉공정을 진행 할 수도 있게 된다. 이를 위해 챔버(110)의 상부측에는 프레스 플레이트(160)를 승강시킬 수 있는 별도의 보조 승강부(440)가 구비된다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 하부프레임(130)에 의해 형성된 챔버(110) 하부의 공간에는 스테이지(150)를 승강시키는 승강부(140)가 구비된다. 승강부(140)는 도6a 및 도6b에 도시된 바와 같이, 공기 주머니와 같이 팽창하는 벨로우즈 형태의 실린더(141)와, 실린더(141)에 연결된 구동축(145)을 구비한다. 구동축(145)과 스테이지(150)의 사이에는 승강축(142)이 구비되어 구동축(145)의 작동에 의해 스테이지(150)를 승강시킨다. 승강부(140)는 다른 형태의 액추에이터를 사용할 수 있다.
승강축(142)은 챔버(110)의 하부를 관통하여 승강부(140)부로부터 전달받은 힘에 의해 스테이지(150)를 상승시켜 밀봉 가압공정을 진행한다. 승강축(142)은 스테이지(150)와 결합되는 형태 또는 분리 가능한 형태가 될 수 있으며, 승강축(142)과 구동축(145) 또한 결합되는 형태 또는 분리 가능한 형태일 수 있다. 챔버(110) 하부면과 승강축(142) 사이에는 승강축(142)을 감싸는 기밀부재(143)가 구비된다. 이는 승강축(142)에 의해 관통되는 부분을 통해 챔버(110) 내부의 기밀이 누출되는 것을 방지하기 위함이다. 기밀부재(143)로는 승강축(142)의 승강에 따라 신축되는 벨로우즈가 사용될 수 있다.
또한 도시되진 않았지만, 승강축(142)은 스프링과 같은 탄성부재를 포함하여 스테이지(150)를 탄성 지지함으로서, 기판(S1)과 필름(S2)을 압착할 때에 발생할 수 있는 필요 이상의 압력으로부터 필름(S2) 및 기판(S1)을 보호할 수 있다.
승강부(140)의 하부에는 챔버(110)에 연결된 승강부(140)를 분리하여 챔버(110)의 외측으로 이송하기 위한 복수개의 메인 가이드 레일(260)이 구비된다.
도 8에 도시된 바와 같이, 메인 가이드 레일(260)은 복수개의 승강부(140) 에 이상이 발생하여 유지보수를 진행해야 할 경우 용이하게 교체할 수 있도록 챔버(110)의 외측으로 교체 대상 승강부(140)를 꺼낼 수 있도록 안내하기 위한 것이다.
이러한 메인 가이드 레일(260)은 챔버(110) 내부에 반입되는 직사각형의 기판(S1)과 대응하도록 장변 방향 또는 챔버(110)의 길이가 긴 방향으로 복수개가 설치된다. 메인 가이드 레일(260)에는 승강부(140)를 상승시켜 이송하기 위한 도 6a 및 도 6b와 같은 리프터(400)가 위치하여 장변 방향으로 이동한다. 리프터(400)는 메인 가이드 레일(260)을 통하여 교체 대상 승강부(140)의 하부측으로 이동시키고, 리프터(400)를 챔버(110)로부터 교체 대상 승강부(140)를 분리하면 이를 지지하는 상태로 메인 가이드 레일(260)을 통해 챔버(110)의 외측으로 이동시켜 유지보수를 하게 된다. 리프터(400)는 휠이 구비되어 메인 가이드 레일(260)을 구름 운동한다.
또한 챔버(110)의 하부(113)에는 승강부(140)를 챔버(110)로부터 분리시켜 교체하고자 할 경우 승강부(140)를 챔버(110)의 길이가 짧은 방향 또는 기판(S1)의 단변에 해당하는 방향으로 이송하도록 도 9와 같은 복수개의 보조 가이드부(360)가 구비된다. 보조 가이드부(360)는 승강부(140)를 교체할 경우 챔버(110)로부터 분리된 승강부(140)의 상부를 고정하여 챔버(110)의 외측으로 이송하기 위한 것이다.
이러한 보조 가이드부(360)는 챔버(110) 외측 하부면을 따라 이동하는 고정틀부(362)와 고정틀부(362)가 이동하는 보조 가이드 레일(361)을 포함한다.
상술한 메인 가이드 레일(260)과 보조 가이드 레일(361)은 서로 직각을 이루는 형태로 배치되며, 이에 따라 리프터(400)와 고정틀부(362) 역시 서로 직각을 이루는 형태로 이동하며, 부분적으로는 교차되어 이동하기도 한다.
예를 들어, 교체 대상 승강부(140)의 하부로 메인 가이드 레일(260)상을 이동하는 리프터(400)를 이동시킨 후 리프터(400)를 상승시켜 승강부(140)를 받친 상태에서 챔버(110)로부터 교체 대상 승강부(140)를 분리한다. 챔버(110)로부터 승강부(140)가 분리되면 메인 가이드 레일(260)을 따라 이동시켜 챔버(110)의 외측으로 교체 대상 승강부(140)를 이송시켜 외부로 반출한 후 유지보수를 진행한다.
다른 방법으로 도 7에 도시된 바와 같이, 교체 대상 승강부(140)의 하부(d-4)로 리프터(400)를 이동시킨 후 리프터(400)를 작동시켜 승강부(140)를 받친 상태에서 승강부(140)를 챔버(110)로부터 분리한 후 인근에 위치한 고정틀부(362)에 승강부(140)의 상부를 고정시킨다. 이후 보조 가이드 레일(361)을 따라 교체 대상 승강부(140)를 이동시켜 챔버(110)의 외측(f-4)으로 이송한 후 외부로 반출시켜 유지보수를 진행한다.
즉, 리프터(400) 및 메인 가이드 레일(260)과 보조 가이드부(360)는 승강부(140)를 유지 보수하고자 할 경우 챔버(110)의 외측으로 이동시킬 수 있는 최단거리를 제공하기 위한 것이다. 이에 따라 신속한 승강부(140)의 유지보수가 가능하게 된다.
한편, 프레스 플레이트(160)는 스테이지(150)의 상부에 스테이지(150)와 마주하도록 구비된다. 프레스 플레이트(160)는 챔버(110) 상부를 관통하는 지지대(121)에 의해 상부프레임(120)에 지지된다. 또는 도시되지 않았지만, 챔버(110) 내측 상면에 설치될 수 있다.
지지대(121)에 의해 지지되는 경우, 챔버(110) 상부면과 상부프레임(120) 사이에는 지지대(121)를 감싸는 기밀부재(미도시)가 구비될 수 있다. 이는 지지대(121)에 의해 관통되는 부분을 통해 챔버(110) 내부의 기밀이 누출되는 것을 방지하기 위함이다. 기밀부재로는 벨로우즈가 사용될 수 있다.
프레스 플레이트(160)에는 필름(S2)과 기판(S1)의 합착이 용이하게 이루어지도록 기판(S1) 및 필름(S2)을 가열하는 상부 가열 플레이트(162)가 구비될 수 있다. 상부 가열 플레이트(162)에는 열선 등이 구비될 수 있으며, 또는 온도 조절이 가능한 다른 형태의 발열체가 구비되는 형태일 수 있다.
또한 프레스 플레이트(160)가 스테이지(150)와 마주하는 면에는 프레스 플레이트(160)와 스테이지(150)가 기판(S1)과 필름(S2)을 압착할 때에 발생할 수 있는 필름(S2)과 프레스 플레이트(160) 사이의 마찰과 필요 이상의 압력으로부터 필름(S2) 및 기판(S1)을 보호하기 위해 완충역할을 하는 완충부(161)가 구비될 수 있다. 완충부(161)로는 소정의 탄성력을 갖는 재질, 예를 들면 실리콘 러버(silicon rubber)로 형성된 층이 사용될 수 있다.
또는 도시되진 않았지만, 지지대(121)는 탄성부재를 포함하여 프레스 플레이트(160)를 탄성지지하여 필요 이상의 압력으로부터 필름(S2) 및 기판(S1)을 보호할 수도 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치(100)의 승강부(140)를 유지 보수하는 방법에 대해 설명한다.
예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이 승강부(140)가 배치된 상태에서 어느 한 부분(d-6)에 위치한 승강부(140)를 교체해야할 경우 해당 부분이 메인 가이드 레일(260d)을 통해서 챔버(110)의 외측으로 이동하는 것이 최단거리인지, 메인 가이드 레일(260d)과 보조 가이드 레일(360)을 사용하는 것이 최단거리인지 판단한다.
상기와 같은 경우 교체 대상 승강부(140)의 앞쪽에 위치(d-7)한 하나의 승강부(140)만 이동시키면 되기 때문에 메인 가이드 레일(260d)만을 사용하여 앞서 위치(d-7)한 하나의 승강부(140)를 먼저 빼낸 후 교체 대상이 위치(d-6)한 승강부(140)를 챔버(110)의 외측으로 이동시킨 후 유지보수를 진행한다.
만약 다른 부분(d-4)에 위치한 승강부(140)를 교체해야 할 경우 해당 부분이 메인 가이드 레일(260d)을 통해서 챔버(110)의 외측으로 이동하는 것이 최단거리인지, 메인 가이드 레일(260d)과 보조 가이드 레일(360)을 사용하는 것이 최단거리인지 판단한다.
상기와 같은 경우 챔버(110)의 길이가 긴 방향을 기준으로 해당 메인 가이드 레일(260d)의 앞쪽에 위치한 승강부(140)는 3개(d-5, d-6, d-7)이고, 길이가 짧은 방향으로는 2개(e-4, f-4)의 승강부(140)를 빼내면 되기 때문에 최단거리인 챔버(110)의 길이가 짧은 방향을 통해 유지보수를 진행한다. 이 경우 길이가 짧은 방향에 위치한 2개(e-4, f-4)의 승강부(140)를 각각 해당 메인 가이드 레일(260e)(260f)에 리프터(400)를 이동시켜 챔버(110)로부터 분리한 후 고정틀부(362)에 고정시켜 외부로 먼저 반출한다. 이후 도 7에 도시된 바와 같이 교체 대상 승강부(140)가 위치하고 있는 해당 메인 가이드 레일(260d)에 리프터(400)를 이동시켜 승강부(140)를 챔버(110)로부터 분리한다. 그리고 승강부(140)를 고정틀부(362)에 고정하여 챔버(110)의 외측에 위치한 메인 가이드 레일(260f) 상으로 이동시켜 유지보수를 진행한다.
이러한 메인 가이드 레일(260)과 보조 가이드부(360)를 사용하는 방법은 본 발명의 실시예에서와 같이 챔버(110)의 길이가 긴 방향에 메인 가이드 레일(260)을 설치하여 승강부(140)의 하부를 받쳐 이송하는 형태 및 챔버(110)의 길이가 짧은 방향에 보조 가이드부(360)를 설치하여 승강부(140)의 상부를 고정한 후 이송하는 형태를 사용할 수 있다. 그러나 이외에 도시하지는 않았으나 길이가 긴 방향에 보조 가이드부(360)를 설치하여 승강부(140)의 상부를 고정한 후 이송하는 형태 및 길이가 짧은 방향에 메인 가이드(260)를 설치하여 리프터(400)로 승강부(140)의 하부를 받쳐 이송하는 형태로도 변형하여 실시 할 수 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치(100)에 의한 유기발광소자 밀봉방법에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 챔버 내로 기판이 반입된 상태를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(110) 일측에 형성된 게이트 밸브(111a)가 열리고, 필름(S2)이 가부착된 기판(S1)이 이송암(미도시)에 의해 지지되어 챔버(110) 내부로 반입된다.
기판(S1)이 지지핀(112)의 상측에 위치하면 이송암(미도시)은 기판(S1)이 지지핀(112)에 안착되도록 하강하고, 기판(S1)이 지지핀(112)에 의해 지지되면 기판(S1)으로부터 이탈하여 챔버(110) 외부로 반출된다.
이송암(미도시)이 챔버(110) 외부로 반출되면 게이트 밸브(111a)가 닫혀 챔버(110)를 밀폐한 후, 진공배기관을 통해 배기가 시작되고 챔버(110) 내부는 점차 진공 분위기로 형성된다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 기판과 필름이 가열 가압되는 상태를 도시한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(110) 내부의 진공분위기 형성이 진행되는 과정 또는 진공 형성이 완료되면, 스테이지 작동부(240)를 작동시켜 스테이지(150)를 밀봉공정 이전의 상태까지 상승시킨다. 스테이지(150)가 상승함에 따라 지지핀(112)에 의해 지지되던 기판(S1)은 스테이지(150)에 의해 지지되며 지지핀(112)으로부터 이탈된다.
진공형성이 완료되면 승강부(140)를 작동하여 스테이지(150)를 상승시켜 필름(S2)이 완충부(161)에 접촉하면, 스테이지(150)를 상승시키는 상승력과 상승력에 대한 프레스 플레이트(160)의 반작용력에 의해 필름(S2)과 기판(S1)은 압착되며 밀봉되게 된다.
이 때, 프레스 플레이트(160)와 스테이지(150)의 가열 플레이트(151,162)는 가열되어 필름(S2)과 기판(S1)이 용이하게 밀봉되도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 기판과 필름의 합착 후 스테이지가 하강하는 상태를 도시한 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 필름(S2)과 기판(S1)의 압착이 완료된 후에는 승강부(140)의 실린더(141)가 승강축(142)을 하강시켜 스테이지(150) 및 기판(S1)을 하강시킨다. 또한, 스테이지 작동부(240)를 작동시켜 스테이지(150)를 더욱 하강시킨다.
스테이지(150)가 하강함에 따라, 지지핀(112)은 스테이지(150)에 형성된 지지핀홀(152)로 진입하게 되고, 지지핀(112)의 단부가 스테이지(150)의 상면을 통하여 노출되고 이에 따라 기판(S1)은 지지핀(112)에 의해 지지된다.
스테이지(150)는 지지핀(112)에 의해 기판(S1)이 지지된 후에도 하강을 일정 시간 지속하여, 스테이지(150)의 상면과 기판(S1)의 하면 사이에 이송암(미도시)이 출입할 수 있는 공간이 확보되도록 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치에서 필름이 합착된 기판을 반출하는 상태를 도시한 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지(150)의 하강이 완료되거나, 스테이지(150)의 하강이 진행되는 도중에 게이트 밸브(111a)(111b)가 열릴 수 있다. 기판(S1)이 지지핀(112)에 의해 지지되면 이송암(미도시)이 기판(S1)의 하측으로 반입되고, 기판(S1)을 지지핀(112)으로부터 수취하여 챔버(110) 외부로 반출하게 된다.
공정시간 단축을 위해 일측의 게이트 밸브(111a)에서 기판(S1)의 반출이 진행되는 도중에 타측의 게이트 밸브(111b)에서는 다른 기판의 반입이 진행될 수 있다.
상기와 같은 구성에 의해, 본 실시예에 따른 유기발광소자 밀봉장치(100)는 간소한 구성으로 기판(S1)과 필름(S2)의 전면에 대한 고른 합착을 가능하게 한다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100: 유기발광소자 밀봉장치 110: 챔버
111a, 111b: 게이트 밸브 112: 지지핀
120: 상부프레임 121: 지지대
130: 하부프레임 140: 승강부
141: 실린더 142: 승강축
143: 기밀부재 150: 스테이지
151: 하부 가열 플레이트 152: 지지핀홀
160: 프레스 플레이트 161: 완충부
162: 상부 가열 플레이트 170: 진공배기관
260: 메인 가이드 레일 360: 보조 가이드부
361: 보조 가이드 레일 400: 리프터

Claims (13)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 구비되며, 일면에 유기발광층이 형성되고 그 위로 필름이 가부착된 기판이 안착될 수 있는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 구비되는 프레스 플레이트;
    상기 스테이지의 하부에 구비되며, 상기 스테이지를 상승시켜 상기 스테이지와 상기 프레스 플레이트에 의해 상기 기판과 상기 필름이 가압되도록 하는 복수개의 승강부;
    상기 챔버 하부에 구비되며, 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부를 지지하기 위한 리프터; 및
    상기 리프터가 이동하는 메인 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 승강부는 직사각형 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 메인 가이드 레일은 상기 챔버의 길이가 긴 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 챔버의 하부에는 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부의 상부를 고정시켜 상기 챔버의 외측으로 이송하기 위한 보조 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 보조 가이드부는 상기 챔버로부터 분리된 상기 승강부의 상부와 결합되는 고정틀부, 상기 고정틀부가 이동하는 보조 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 보조 가이드 레일은 상기 챔버의 길이가 짧은 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 프레스 플레이트에는 상기 기판과 상기 필름이 가열 가압되도록 가열플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지에는 상기 기판과 상기 필름이 가열 가압되도록 가열 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 프레스 플레이트의 일면에는 상기 기판과 상기 필름이 가압 시에 완충역할을 하는 완충부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 완충부는 실리콘 고무층인 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 완충부는 박막형태의 플레이트인 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버의 하부에는 상기 챔버 내로 반입된 기판을 지지하는 지지핀이 상기 스테이지를 관통하도록 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 스테이지가 상승하면 상기 지지핀에 의해 지지되었던 상기 기판이 상기 스테이지에 지지되고, 상기 스테이지가 하강하면 상기 스테이지에 지지되었던 상기 지지핀에 상기 기판이 지지되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자 밀봉장치.
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