KR20140011606A - Manufacturing method for a touch pad and a touch pad manufactured by the method - Google Patents

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KR20140011606A
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최용민
김현수
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(주)인터플렉스
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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a touch pad and a touch pad manufactured by the method. According to the embodiment of the present invention, the method for manufacturing a touch pad includes a step of preparing a substrate having a conductor layer formed on a pattern part; and a pattern formation step of forming a touching sensor pattern and a ling part by patterning the conductor layer.

Description

터치패드의 제조방법 및 상기 방법으로 제조된 터치패드{MANUFACTURING METHOD FOR A TOUCH PAD AND A TOUCH PAD MANUFACTURED BY THE METHOD}Method of manufacturing a touch pad and a touch pad manufactured by the above method TECHNICAL FIELD

본 발명은 터치패드의 제조방법에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 제조과정에서 발생하는 부식을 방지할 수 있는 터치패드의 제조방법에 대한 것이다. 본 발명은 또한 상기 제조방법으로 제조된 터치패드에 대한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a touch pad, and more particularly, to a method of manufacturing a touch pad capable of preventing corrosion occurring in a manufacturing process. The present invention also relates to a touch pad manufactured by the above manufacturing method.

최근 휴대용 장치의 발달로 스마트폰, 태블릿 컴퓨터, 게임기, 학습보조장치 및 카메라 등이 널리 사용되고 있다. 이러한 휴대용 장치들의 입력방식은, 기존의 마우스나 키보드 입령방식에서 현재는 터치 입력방식으로 진화하고 있는 중이다. 터치 입력방식은 화면을 보면서 직접 화면 위의 아이콘이나 프로그램을 선택하는 것이 가능하기 때문에 사용자로 하여금 직관적인 사용법을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 장치의 소형화 및 경량화에도 장점이 있다.Recently, smart phones, tablet computers, game machines, learning aids, and cameras are widely used due to the development of portable devices. The input method of such portable devices is evolving from a mouse or keyboard input method to a touch input method. Since the touch input method can directly select an icon or a program on the screen while viewing the screen, the user can not only intuitively use the device, but also has advantages in downsizing and lightening the device.

상기와 같은 터치에 의한 입력을 하기 위한 수단으로서 터치패널이 사용된다. 일반적으로 터치패널은 터치센서 패턴이 형성되어 있는 터치패드와 상기 터치패드를 구동하기 위한 구동수단을 포함한다. 상기 터치패드는 일반적으로, 투명기판, 상기 투명기판상에 형성된 터치센서 패턴 및 상기 터치센서 패턴과 상기 구동수단을 연결하는 배선부를 포함한다. 또한 상기 터치패드는 기기 본체와의 연결을 위하여 FPCB 등과 접속되기 위한 접속용 배선부를 포함하기도 한다. 상기와 같은 터치패드의 터치센서 패턴과 배선부는 에칭 등의 방법으로 패턴화되어 형성되는데, 상기 패턴의 형성과정에서 부식이 발생하기도 한다.A touch panel is used as a means for inputting by touch as described above. In general, the touch panel includes a touch pad having a touch sensor pattern formed thereon and driving means for driving the touch pad. The touch pad generally includes a transparent substrate, a touch sensor pattern formed on the transparent substrate, and a wiring portion connecting the touch sensor pattern and the driving means. In addition, the touch pad may include a connection wiring part for connecting to an FPCB or the like for connection with the main body of the device. The touch sensor pattern and the wiring part of the touch pad are patterned and formed by etching, and the like, and corrosion may occur during the formation of the pattern.

구체적으로, 상기 터치패드는 ITO와 같은 투명도전성 물질 또는 금속이 코팅된 투명필름에서 상기 투명도전성 물질 또는 금속을 식각하여 패턴을 형성함으로써 제조될 수 있다. 이러한 식각을 위해서는 에칭을 하게 되는데, 상기 에칭 과정에서 부식이 발생할 수 있다. 이러한 부식은 주로 배선부에서 발생한다. 상기 배선부는 터치패드에 형성된 터치센서 패턴을 구동회로와 연결하거나, 상기 터치패드를 기기 본체와 연결하기 위한 부분에 해당되는데, 상기 배선부는 전기적 특성을 위하여 투명도전성 물질층에 금속층이 적층된 구조를 갖는 경우가 많다. 이때, 상기 에칭과정에서의 부식은 주로 상기 금속층에서 발생한다.Specifically, the touch pad may be manufactured by forming a pattern by etching the transparent conductive material or metal from a transparent conductive material such as ITO or a metal-coated transparent film. Etching is performed for such etching, and corrosion may occur in the etching process. This corrosion occurs mainly in the wiring section. The wiring part corresponds to a part for connecting a touch sensor pattern formed on the touch pad to a driving circuit or connecting the touch pad to a main body of the device, wherein the wiring part has a structure in which a metal layer is laminated on a transparent conductive material layer for electrical characteristics. There are many cases. In this case, corrosion in the etching process mainly occurs in the metal layer.

상기와 같은 부식이 발생할 경우, 배선부에 불량이 발생할 수 있고 이는 결국 터치패드 및 상기 터치패드를 사용하는 터치패널의 불량으로 이어진다. 따라서 상기와 같은 배선부에서의 불량을 방지하는 것이 필요하다.If such corrosion occurs, a defect may occur in the wiring part, which eventually leads to a failure of the touch pad and the touch panel using the touch pad. Therefore, it is necessary to prevent the defect in the wiring portion as described above.

이에 본 발명자들은, 터치패드에서 상기 부식이 발생하는 것을 방지하기 위하여 연구를 하였다. 그 결과 본 발명자들은, 상기 터치패드의 제조과정에서, 상기 배선부를 접지시킬 경우 상기 부식이 발생하는 것을 방지할 수 있음을 알게 되었다.The present inventors have studied to prevent the corrosion from occurring in the touch pad. As a result, the present inventors have found that, in the manufacturing process of the touch pad, when the wiring part is grounded, the corrosion can be prevented from occurring.

이에 본 발명에서는, 배선부에서 부식이 발생하는 것을 방지할 수 있는 터치패드의 제조방법을 제공하고자 한다. 본 발명에서는 또한 상기 배선부에서의 부식이 방지된 터치패드를 제공하고자 한다. 또한 본 발명에서는 상기 터치패드를 포함하는 터치패널을 제공하고자 한다.In the present invention, to provide a method of manufacturing a touch pad that can prevent the corrosion occurs in the wiring portion. Another object of the present invention is to provide a touch pad in which corrosion is prevented in the wiring part. In addition, the present invention is to provide a touch panel including the touch pad.

본 발명의 일례에서는 터치패널에 사용되는 터치패드의 제조방법을 제공한다.An example of the present invention provides a method of manufacturing a touch pad used in a touch panel.

본 발명의 일례에 따른 상기 터치패드의 제조방법은, 패턴부 및 상기 패턴부 외부에 배치된 더미부를 가지며, 상기 패턴부에는 도전재층이 형성된 기판을 준비하는 단계; 및 상기 도전재층을 패터닝하여 터치센서 패턴과 배선부를 형성하는 패턴 형성단계;를 포함하며, 여기서, 상기 더미부는 도전성을 가지며, 상기 패턴 형성단계에서 상기 배선부는 상기 더미부와 전기적으로 연결되도록 형성된다.According to one or more exemplary embodiments, a method of manufacturing a touch pad includes: preparing a substrate having a pattern portion and a dummy portion disposed outside the pattern portion, wherein the pattern portion includes a conductive material layer; And a pattern forming step of forming a touch sensor pattern and a wiring part by patterning the conductive material layer, wherein the dummy part is conductive, and the wiring part is formed to be electrically connected to the dummy part in the pattern forming step. .

본 발명의 일례에 따르면, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층 및 금속층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the conductive material layer may include at least one of a transparent conductive oxide layer and a metal layer.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 기판을 준비하는 단계에서는 도전재층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 도전재층을 형성하는 단계는, 기판상에 투명도전성산화물층을 형성하는 단계; 및 상기 투명도전성산화물층 상에 금속층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the preparing of the substrate may include forming a conductive material layer, and the forming of the conductive material layer may include forming a transparent conductive oxide layer on the substrate; And forming a metal layer on the transparent conductive oxide layer.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층 및 상기 투명도전성산화물층 상에 형성된 금속층을 포함하며, 상기 패턴 형성단계는 상기 도전재층을 패터닝하여 투명도전성산화물층 및 금속층을 갖는 터치센서 패턴과 배선부를 형성하는 1차 식각단계; 및 상기 터치센서 패턴에서 금속층을 제거하는 2차 식각단계;를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the conductive material layer includes a transparent conductive oxide layer and a metal layer formed on the transparent conductive oxide layer, and the pattern forming step is a touch sensor having a transparent conductive oxide layer and a metal layer by patterning the conductive material layer. A first etching step of forming a pattern and a wiring part; And a second etching step of removing the metal layer from the touch sensor pattern.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 패턴 형성단계에서 상기 배선부는 상기 더미부까지 연장되도록 형성될 수 있다.According to an example of the present invention, the wiring part may be formed to extend to the dummy part in the pattern forming step.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 패턴 형성단계에서 상기 배선부의 말단에는 도전성 연결부를 형성하여, 상기 도전성 연결부가 상기 더미부와 연결되도록 할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present invention, the conductive connection part may be formed at the end of the wiring part in the pattern forming step so that the conductive connection part is connected to the dummy part.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 배선부는 금속층을 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the wiring unit may include a metal layer.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 터치센서 패턴은 투명도전성산화물(TCO)층을 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the touch sensor pattern may include a transparent conductive oxide (TCO) layer.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 투명도전성산화물(TCO)층은 ITO층, IZO층 및 AZO층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the transparent conductive oxide (TCO) layer may include at least one of an ITO layer, an IZO layer, and an AZO layer.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 더미부는 접지부(grounding part)인 것이 가능하다.According to an example of the present invention, the dummy part may be a grounding part.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 더미부는 금속층을 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the dummy part may include a metal layer.

본 발명의 일례에 따른 터치패드의 제조방법은 상기 더미부를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of manufacturing a touch pad according to an example of the present invention may further include removing the dummy part.

본 발명의 일례에서는 상기 제조방법으로 제조된 터치패드를 제공한다.In one embodiment of the present invention provides a touch pad manufactured by the manufacturing method.

본 발명에 의하면 터치패드의 제조과정에서 발생하는 부식을 방지할 수 있다. 그 결과, 터치패드의 제조과정에서 발생할 수 있는 불량을 방지하여 공정의 효율화를 이룩할 수 있다. 또한, 상기 본 발명에 따른 터치패드를 사용하는 터치패널의 불량을 방지할 수 있다.According to the present invention it is possible to prevent the corrosion generated during the manufacturing process of the touch pad. As a result, defects that may occur in the manufacturing process of the touch pad may be prevented, thereby making the process more efficient. In addition, it is possible to prevent a defect of the touch panel using the touch pad according to the present invention.

도 1은 패턴부(300)와 더미부(200)를 구비한 기판(100)의 일례를 보여주는 도면이다.
도 2a 내지 2i는, 터치패드의 제조공정에서 패턴 형성에 대한 일례를 단계적으로 보여주는 개략이다.
도 3은 종래 방법으로 제조된 터치패드의 일례에서, 더미부(200) 내부의 패턴부(300)에 형성된 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)를 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3에서 A 부분을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 5는 종래방법으로 제조된 터치패드에서, 배선부(500)에 부식이 발생한 것(B로 표시된 영역)을 보여주는 도면이다.
도 6는 종래의 방법으로 제조된 터치패드의 배선부 말단을 보여주는 사진이다.
도 7은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 일례에서, 더미부(200) 내부의 패턴부(300)에 형성된 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)를 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 8a는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 일례에서, 더미부(200)와 배선부(500)의 말단부를 상세하게 보여주는 도면이다(도 7의 C부분).
도 8b는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 다른 일례에서, 더미부(200)와 배선부(500)의 말단부를 상세하게 보여주는 도면이다.
도 8c는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 또 다른 일례에서, 더미부(200)와 배선부(500)의 말단부를 상세하게 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 배선부 말단을 보여주는 사진이다.
1 is a diagram illustrating an example of a substrate 100 having a pattern portion 300 and a dummy portion 200.
2A to 2I are schematic diagrams showing an example of pattern formation in a step of manufacturing a touch pad.
3 is a diagram illustrating a touch sensor pattern 400 and a wiring part 500 formed on the pattern part 300 inside the dummy part 200 in one example of a touch pad manufactured by a conventional method.
4 is an enlarged view illustrating a portion A of FIG. 3.
FIG. 5 is a view illustrating corrosion of the wiring unit 500 (area denoted by B) in the touch pad manufactured by the conventional method.
Figure 6 is a photograph showing the wiring terminal end of the touch pad manufactured by a conventional method.
7 is a diagram illustrating a touch sensor pattern 400 and a wiring part 500 formed on the pattern part 300 inside the dummy part 200 in one example of the touch pad manufactured by the method according to the present invention. .
8A is a view showing in detail an end portion of the dummy part 200 and the wiring part 500 in one example of the touch pad manufactured by the method according to the present invention (part C of FIG. 7).
8B is a view showing in detail an end portion of the dummy part 200 and the wiring part 500 in another example of the touch pad manufactured by the method according to the present invention.
8C is a view illustrating in detail an end portion of the dummy part 200 and the wiring part 500 in another example of the touch pad manufactured by the method according to the present invention.
Figure 9 is a photograph showing the wiring terminal end of the touch pad manufactured by the method according to the present invention.

이하, 구체적인 일례들을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples.

본 발명은 첨부된 도면에 개시된 실시예를 중심으로 설명한다. 그러나, 본 발명의 범위가 하기 설명하는 실시예나 도면들로 한정되는 것은 아니다. 첨부된 도면은 다양한 실시예들 중 본 발명의 설명하기에 적합한 예를 선택하여 표현한 것일 뿐이다.The present invention will be described based on the embodiments disclosed in the accompanying drawings. However, the scope of the present invention is not limited to the embodiments and drawings described below. The accompanying drawings are merely selected and expressed as examples suitable for describing the present invention among various embodiments.

첨부된 도면에서는, 이해를 돕기 위하여 각 구성요소와 그 형상 등이 간략하게 그려지거나 또는 과장되어 그려지기도 하였으며, 실제 제품에 있는 구성요소가 표현되지 않고 생략되기도 하였다. 따라서 도면은 이해를 돕기 위한 것으로 해석해야 한다. 한편, 도면 상에서 동일한 역할을 하는 요소들은 동일한 부호로 표시하였다. In the accompanying drawings, for ease of understanding, each component and its shape may be briefly drawn or exaggerated, and components of the actual product may not be represented and omitted. Therefore, the drawings should be construed as to aid understanding. Meanwhile, elements that play the same role in the drawings are denoted by the same reference numerals.

또한, 어떤 층이나 구성요소가 다른 층이나 또는 구성요소의 '상'에 있다라고 기재되는 경우에는, 상기 어떤 층이나 구성요소가 상기 다른 층이나 구성요소와 직접 접촉하여 배치된 경우 뿐만 아니라, 그 사이에 제3의 층이 개재되어 배치된 경우까지 모두 포함하는 의미이다.It will also be understood that where a layer or element is described as being on the " top " of another layer or element, it is to be understood that not only where such layer or element is disposed in direct contact with the other layer or element, To the case where the third layer is disposed interposed between the first and second layers.

본 발명의 일례에서는, 패턴부(300) 및 상기 패턴부 외부에 배치된 더미부(200)를 가지며, 상기 패턴부(300)에는 도전재층이 형성된 기판(100)을 준비하는 단계; 및 상기 도전재층을 패터닝하여 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)를 형성하는 패턴 형성단계;를 포함하는 터치패드의 제조방법을 제공한다. 여기서, 상기 더미부(200)는 도전성을 가지며, 상기 패턴 형성단계에서 상기 배선부(500)는 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되도록 형성된다.In one embodiment of the present invention, having a pattern portion 300 and the dummy portion 200 disposed outside the pattern portion, the pattern portion 300 is a step of preparing a substrate 100 having a conductive material layer formed; And a pattern forming step of forming the touch sensor pattern 400 and the wiring part 500 by patterning the conductive material layer. Here, the dummy part 200 is conductive, and in the pattern forming step, the wiring part 500 is formed to be electrically connected to the dummy part 200.

도 1에서는 본 발명의 일례에 따른 터치패드의 제조에 사용되는 기판(100)을 보여준다. 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 기판(100)에는 패턴부(300)가 배치되어 있으며, 상기 패턴부(300) 외부에는 더미부(200)가 배치되어 있다.1 shows a substrate 100 used in the manufacture of a touchpad according to an example of the present invention. As shown in FIG. 1, a pattern part 300 is disposed on the substrate 100, and a dummy part 200 is disposed outside the pattern part 300.

본 발명의 일례에 따르면 상기 더미부(200)는 접지부(grounding part) 역할을 할 수 있다. 한편, 상기 더미부(200)는 금속층을 포함할 수 있다. 상기 더미부(200)가 금속층을 포함하는 경우 금속접지 패드와 같은 기능 할 수 있게 된다.According to an example of the present invention, the dummy part 200 may serve as a grounding part. On the other hand, the dummy part 200 may include a metal layer. When the dummy part 200 includes a metal layer, the dummy part 200 may function as a metal ground pad.

상기 패턴부(300)에는 도전재층이 형성되어 있는데, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층(110; transparent conductive oxide, 간략히 "TCO"라고도 함) 및 금속층(120) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.A conductive material layer is formed on the pattern part 300, and the conductive material layer may include at least one of a transparent conductive oxide layer 110 (also referred to simply as “TCO”) and a metal layer 120.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 기판을 준비하는 단계에서는 상기 도전재층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 도전재층을 형성하는 단계는, 기판(100)에 투명도전성산화물층(100)을 형성하는 단계; 및 상기 투명도전성산화물층(110) 상에 금속층(120)을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.According to an example of the present invention, the preparing of the substrate may include forming the conductive material layer. The forming of the conductive material layer may include forming a transparent conductive oxide layer 100 on the substrate 100; And forming a metal layer 120 on the transparent conductive oxide layer 110.

본 발명의 일례에 따르면, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층(110) 및 상기 투명도전성산화물층(110) 상에 형성된 금속층(120)을 포함하며, 상기 패턴 형성단계는, 상기 도전재층을 패터닝하여 투명도전성산화물층(110) 및 금속층(120)을 갖는 터치센서 패턴과 배선부를 형성하는 1차 식각단계; 및 상기 터치센서 패턴에서 금속층(120)을 제거하는 2차 식각단계;를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the conductive material layer includes a transparent conductive oxide layer 110 and the metal layer 120 formed on the transparent conductive oxide layer 110, the pattern forming step, by patterning the conductive material layer Forming a touch sensor pattern and a wiring part including the transparent conductive oxide layer 110 and the metal layer 120; And a second etching step of removing the metal layer 120 from the touch sensor pattern.

도 2a 내지 2i는 터치패드의 제조공정에 대한 일례를 도식적으로 표현한 것이다. 상기 공정으로 제조된 터치패드는 터치패널에 적용될 수 있다.2A to 2I schematically illustrate an example of a manufacturing process of a touch pad. The touch pad manufactured by the above process may be applied to the touch panel.

상기 터치패드는 투명도전성 산화물(transparent conductive oxide; TCO)층과 금속층이 적층된 기판을 패터닝하여 제조될 수 있다. 즉, 도 2a에서 보는 바와 같이, 기판(100)상에 투명도전성 산화물(110)층과 금속층(120)이 적층된 적층체를 이용하여 터치패드를 제조할 수 있다.The touch pad may be manufactured by patterning a substrate on which a transparent conductive oxide (TCO) layer and a metal layer are stacked. That is, as shown in FIG. 2A, the touch pad may be manufactured using a laminate in which the transparent conductive oxide 110 layer and the metal layer 120 are stacked on the substrate 100.

상기 적층체는 필요에 따라 다양한 방법으로 준비될 수 있다. 기판(100)상에 투명도전성 산화물(110)층을 형성한 후 금속층(120)을 적층하여 상기 적층체를 형성할 수도 있고, 또한 투명도전성 산화물(110)층이 형성된 기판(100)을 구입한 후 상기 투명도전성 산화물(110)층상에 금속층(120)을 추가로 형성하여 상기 적층체를 형성할 수도 있으며, 기판(100)상에 투명도전성 산화물(110)층과 금속층(120)이 적층된 적층체를 구입하여 사용할 수도 있다.The laminate may be prepared in various ways as needed. After forming the transparent conductive oxide 110 layer on the substrate 100, the metal layer 120 may be laminated to form the laminate, or the substrate 100 having the transparent conductive oxide 110 layer may be purchased. Thereafter, the laminate may be further formed by further forming a metal layer 120 on the transparent conductive oxide 110 layer, and a laminate in which the transparent conductive oxide 110 layer and the metal layer 120 are stacked on the substrate 100. Sieves can also be purchased and used.

상기 기판(100)으로서, 투명 필름 형태의 기판을 사용할 수 있다. 이러한 기판의 일례로서, 예를 들어, PET 기판을 사용할 수 있으며, PET 기판 외에 PI 기판, PE 기판 등을 사용할 수도 있음은 물론이다. As the substrate 100, a substrate in the form of a transparent film may be used. As an example of such a substrate, for example, a PET substrate may be used, and of course, a PI substrate, a PE substrate, or the like may be used in addition to the PET substrate.

도 2a에서 보면, 상기 기판(100) 상에는 투명도전성산화물(110)층이 형성된다. 상기 투명도전성산화물층(110)에 적용되는 투명도전성 산화물로서, ITO, IZO, AZO 등을 사용할 수 있다. 일반적으로 상기 투명도전성 산화물로서 ITO가 널리 사용된다. 상기와 같은 투명필름형태의 기판에 ITO가 적층되어 있는 경우, 이를 "ITO 필름"이라고도 한다.Referring to FIG. 2A, a transparent conductive oxide 110 layer is formed on the substrate 100. As the transparent conductive oxide applied to the transparent conductive oxide layer 110, ITO, IZO, AZO, or the like may be used. In general, ITO is widely used as the transparent conductive oxide. When ITO is laminated on the transparent film type substrate as described above, this is also referred to as "ITO film".

상기 투명도전성산화물(110)층 상에는 금속층(120)이 적층되어 있다. 상기 금속층을 형성하는 금속의 종류에는 Au, Al, Cu, Mo, Nb, Ti, W 등이 있다. 상기 금속층(120)은 Au, Al, Cu, Mo, Nb, Ti 및 W로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 금속층(120)은 단일의 금속층으로 형성될 수도 있고 2층 이상의 금속층으로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 상기 금속층(120)은 Nb를 포함하는 제1금속층 상에 Ag를 포함하는 제2금속층이 적층된 구조를 가질 수도 있다. 상기 제1금속층을 형성하는 금속과 상기 제2금속층을 형성하는 금속은 필요에 따라 달라질 수 있다. 상기 제1금속층과 제2금속층은 각각 Al과 Cu로 형성되거나, Cu와 Ag, Mo와 Ag, 또는 Cu와 Au 등으로 형성될 수 있다. 상기 금속층의 층구조와 상기 금속층에 포함되는 금속의 종류는 당업자가 필요에 따라 적의하게 선택할 수 있다.The metal layer 120 is stacked on the transparent conductive oxide 110 layer. Examples of the metal for forming the metal layer include Au, Al, Cu, Mo, Nb, Ti, W, and the like. The metal layer 120 may include at least one selected from the group consisting of Au, Al, Cu, Mo, Nb, Ti, and W. The metal layer 120 may be formed of a single metal layer or may be formed of two or more metal layers. For example, the metal layer 120 may have a structure in which a second metal layer including Ag is stacked on the first metal layer including Nb. The metal forming the first metal layer and the metal forming the second metal layer may vary as necessary. The first metal layer and the second metal layer may be formed of Al and Cu, or Cu and Ag, Mo and Ag, or Cu and Au, respectively. The layer structure of the metal layer and the type of metal included in the metal layer may be appropriately selected by those skilled in the art as necessary.

도 2a에서와 같이, 기판(100)-TCO층(120)-금속층(130)의 적층체를 원자재라고도 한다. 상기 기판(100)-TCO층(120)-금속층(130)의 적층체를 제조하여 사용할 수도 있고, 상업적으로 시판되는 상품을 구입하여 사용할 수도 있다.As shown in FIG. 2A, the laminate of the substrate 100, the TCO layer 120, and the metal layer 130 is also referred to as a raw material. The laminate of the substrate 100, the TCO layer 120, and the metal layer 130 may be manufactured and used, or a commercially available product may be purchased and used.

이하에서는 설명의 일원화를 위하여, 기판(100)으로서 투명 PET 필름을 사용하고, 투명도전성산화물층(120)으로서 ITO층을 사용하고, 금속층(130)으로서 Nb과 Ag를 포함하는 층을 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다. 상기의 예는, 설명의 혼란 및 복잡화를 방지하여 설명을 단순화하기 위하여 다양한 실시예들 중 하나를 단순 선택한 것일 뿐, 본 발명의 권리범위가 상기 선택된 예에 의하여 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, for the purpose of unification of the description, a transparent PET film is used as the substrate 100, an ITO layer is used as the transparent conductive oxide layer 120, and a layer containing Nb and Ag is used as the metal layer 130. An example will be described. The above example is merely selected one of the various embodiments in order to simplify the description by avoiding confusion and complexity of the description, the scope of the present invention is not limited by the selected example.

도 2b에서 보는 바와 같이 기판(100)-TCO층(120)-금속층(130)의 적층체상에 포토레지스트(130)를 도포한다. 이어, 도면에 도시하지는 않았지만 마스크를 이용하여 선택적으로 노광을 한 후 현상하여, 도 2c에서 보는 바와 같이 포토레지스트(130)가 선택적으로 제거되도록 한다. 다음 도 2d에서 보는 바와 같이 에칭을 하여 패턴을 형성한다. 도면에 구체적으로 표현되지는 않았지만, 상기 에칭은 금속에칭과 TCO에칭의 두단계를 거칠 수 있다. 상기 에칭 후, 도 2e에서 보는 바와 같이 포토레지스트 잔사를 제거하여 1차 패턴을 완성한다. 상기와 같은 과정이 1차 식각단계에 해당된다. 도 2e에서 내부의 패턴은 터치센서 패턴(400)의 위치에 대응되고, 바깥쪽의 패턴은 배선부(500)의 위치에 대응될 수 있다.As shown in FIG. 2B, a photoresist 130 is coated on the laminate of the substrate 100, the TCO layer 120, and the metal layer 130. Subsequently, although not shown in the drawings, the photoresist 130 may be selectively removed after exposure using a mask and then developed, as shown in FIG. 2C. Next, as shown in FIG. 2D, etching is performed to form a pattern. Although not specifically illustrated in the drawings, the etching may be performed in two steps, metal etching and TCO etching. After the etching, the photoresist residue is removed as shown in FIG. 2E to complete the primary pattern. The above process corresponds to the first etching step. In FIG. 2E, the inner pattern may correspond to the position of the touch sensor pattern 400, and the outer pattern may correspond to the position of the wiring part 500.

다음으로 도 2f에서 보는 바와 같이, 상기 1차 식각 과정에 의하여 형성된 1차 패턴과 기판상에 2차로 포토레지스트(140)를 도포한다. 마찬가지로, 도면에 도시하지는 않았지만 마스크를 이용하여 선택적으로 노광을 한 후 현상하여, 도 2g에서 보는 바와 같이 상기 2차 포토레지스트(140)가 선택적으로 제거되도록 한다. 다음 도 2h에서 보는 바와 같이 다시 에칭을 하여 내부 패턴에서는 금속층(120)을 제거하여 투명전도성산화물층(110), 즉, ITO층만 남도록 한다. 상기 에칭 후, 도 2i에서 보는 바와 같이 포토레지스트 잔사를 제거하여 2차 패턴을 완성한다. 상기와 같은 과정이 2차 식각단계에 해당된다. 도 2i에서 내부의 패턴은 투명전도성산화물층(110), 즉, ITO층만 남겨진 터치센서 패턴(400)이 되고, 바깥쪽의 패턴은 투명전도성산화물층(110)상에 금속층(120)이 배치된 배선부(500)가 된다.Next, as shown in FIG. 2F, the photoresist 140 is secondarily applied on the first pattern and the substrate formed by the first etching process. Similarly, although not shown in the drawings, the mask is selectively exposed and developed using a mask to selectively remove the secondary photoresist 140 as shown in FIG. 2G. Next, as shown in FIG. 2H, the metal layer 120 is removed from the internal pattern to leave only the transparent conductive oxide layer 110, that is, the ITO layer. After the etching, as shown in FIG. 2I, the photoresist residue is removed to complete the secondary pattern. The above process corresponds to the second etching step. In FIG. 2I, an inner pattern becomes a transparent conductive oxide layer 110, that is, a touch sensor pattern 400 in which only an ITO layer is left, and an outer pattern includes a metal layer 120 disposed on the transparent conductive oxide layer 110. It becomes the wiring part 500.

이와 같이 본 발명의 일례에 따른 터치패드의 제조방법은 2차례의 식각단계를 거친다. 1차 식각단계는 패턴 형상을 획득하기 위한 단계라고 할 수 있으며, 2차 식각 단계는 내부패턴인 터치센서 패턴(400)에서 금속층을 제거하여 투명전도성산화물층(110)으로 된 패턴을 얻기 위한 단계라고 할 수 있다. 상기 2차 식각단계는 투명한 터치센서 패턴(400)을 얻기 위하여 필요한 단계이다.As described above, the method for manufacturing a touch pad according to an example of the present invention undergoes two etching steps. The first etching step may be referred to as a step for obtaining a pattern shape, and the second etching step is a step for obtaining a pattern made of the transparent conductive oxide layer 110 by removing the metal layer from the touch sensor pattern 400 which is an inner pattern. It can be said. The secondary etching step is a necessary step to obtain a transparent touch sensor pattern 400.

본 발명의 일례에 따른 터치패드의 제조방법에서, 상기 1차 식각단계에 의하여 형성된 1차 패턴에서 상기 배선부(500)는 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되도록 형성된다. 도 6에서 보는 바와 같이, 본 발명의 일례에 따른 제조방법에 의하여 제조된 터치패드에서는, 상기 터피센서 패턴(400)은 상기 배선부(500)와 전기적으로 연결되어 있고, 상기 배선부(500)는 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되어 있다. In the method of manufacturing a touch pad according to an embodiment of the present invention, the wiring part 500 is formed to be electrically connected to the dummy part 200 in the primary pattern formed by the primary etching step. As shown in FIG. 6, in the touch pad manufactured by the manufacturing method according to the exemplary embodiment of the present invention, the turf sensor pattern 400 is electrically connected to the wiring unit 500 and the wiring unit 500. Is electrically connected to the dummy part 200.

이때, 상기 더미부(200)는 접지부로서의 기능을 한다. 상기 설명한 바와 같은 단계를 거쳐 터치패드를 제조한 후, 제품화를 위하여 상기 더미부(200)를 제거할 수 있다. 즉, 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)를 갖는 터치패드를 제조한 후, 상기 더미부(200)를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.At this time, the dummy part 200 functions as a ground part. After the touch pad is manufactured through the steps as described above, the dummy part 200 may be removed for commercialization. That is, after manufacturing the touch pad having the touch sensor pattern 400 and the wiring part 500, the method may further include removing the dummy part 200.

반면, 종래 터치패드의 제조과정에서는 상기 배선부(500)가 더미부(200)와 연결되지 않은 상태에서 2차 식각이 진행된다. 즉, 도 3에서 보는 바와 같이 배선부(500)와 더미부(200)가 서로 이격되어 전기적으로 단절되어 있다.On the other hand, in the manufacturing process of the conventional touch pad, the secondary etching is performed while the wiring unit 500 is not connected to the dummy unit 200. That is, as shown in FIG. 3, the wiring part 500 and the dummy part 200 are electrically disconnected from each other.

구체적으로, 도 3에 개시된 종래의 터치패드는, 복수개의 센서전극(410)이 구비된 터치센서 패턴(400) 및 상기 터치센서 패턴(400)을 구동회로 또는 외부의 FPCB 등과 전기적으로 연결하기 위한 배선부(500)를 포함한다. 상기 배선부(500)는, 구동회로 또는 외부의 FPCB 등과 전기적으로 직접 접속되는 접속전극(520) 및 상기 터치센서 패턴(400)을 상기 접속전극(520)과 연결하는 리드선(510)을 포함한다. 상기 리드선(510)과 상기 접속전극(520)은 복수개로 형성되며, 상기 터치센서 패턴(400)을 구성하는 일련의 센서전극(410)과 직접 연결된다.Specifically, the conventional touch pad disclosed in FIG. 3 is for electrically connecting the touch sensor pattern 400 including the plurality of sensor electrodes 410 and the touch sensor pattern 400 to a driving circuit or an external FPCB. The wiring part 500 is included. The wiring part 500 includes a connection electrode 520 electrically connected directly to a driving circuit or an external FPCB, etc., and a lead wire 510 connecting the touch sensor pattern 400 to the connection electrode 520. . The lead wire 510 and the connection electrode 520 are formed in plural and are directly connected to a series of sensor electrodes 410 constituting the touch sensor pattern 400.

도 3에 개시된 종래의 터치패드에서는, 1차 시각단계 이후 형성된 1차 패턴에서 상기 배선부(500)가 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되지 않게 된다. 도 4는 이해를 돕기 위하여, 도 3에서 배선부(500)와 더미부(200)의 일부를 포함하는 영역인 A 부분을 확대하여 보여주는 도면이다. 이와 같이 상기 배선부(500)가 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되지 않은 상태에서 2차 식각단계를 진행할 경우 배선부의 말단에서 부식이 발생하는 것을 관찰할 수 있다. In the conventional touch pad disclosed in FIG. 3, the wiring part 500 is not electrically connected to the dummy part 200 in the first pattern formed after the first visual step. 4 is an enlarged view of part A, which is a region including a portion of the wiring part 500 and the dummy part 200 in FIG. As such, when the second etching process is performed while the wiring unit 500 is not electrically connected to the dummy unit 200, it can be observed that corrosion occurs at the end of the wiring unit.

상기 부식은 특히 배선폭 및 배선간격이 좁을수록 더 잘 발생함을 관찰할 수 있다. 이러한 부식은 또한 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)의 연결부분에서 확연히 관찰된다. 즉, 터치센서 패턴(400)의 센서전극(410)과 배선부(500)의 리드선(510)이 접속하는 부분에서 상기 부식이 뚜렷하다. 상기 부식은 금속과 ITO가 적층되거나 접속된 부분, 즉 도전체와 도전체의 적층 또는 접속 부분에서 발생하는 것으로 갈바닉 부식이라고 볼 수도 있다.It can be observed that the corrosion occurs more particularly, the narrower the wiring width and wiring spacing. This corrosion is also clearly observed at the connection of the touch sensor pattern 400 and the wiring portion 500. That is, the corrosion is apparent at the portion where the sensor electrode 410 of the touch sensor pattern 400 and the lead wire 510 of the wiring part 500 are connected. Corrosion may be regarded as galvanic corrosion, which occurs at a portion where a metal and ITO are laminated or connected, that is, a laminate or a connection portion of a conductor and a conductor.

도 5는 종래방법으로 제조된 터치패드에서, 배선부(500)에 부식이 발생한 것을 보여주는 도면이다. 도 5에서 B로 표시된 영역에서 부식이 뚜렷하게 관찰된다. 한편, 도 6은 종래의 방법으로 제조된 터치패드의 배선부 말단에서 부식이 발생한 것을 보여주는 사진이다.5 is a view showing that corrosion occurs in the wiring unit 500 in the touch pad manufactured by the conventional method. Corrosion is clearly observed in the area marked B in FIG. 5. On the other hand, Figure 6 is a photograph showing that the corrosion occurs at the end of the wiring portion of the touch pad manufactured by a conventional method.

본 발명의 일례에서는 상기 배선부(500)가 접지단 역할을 하는 더미부(200)와 전기적으로 연결될 수 있도록 함으로써, 터치패널의 제조과정에서 발생할 수 있는 부식을 방지한다.In the exemplary embodiment of the present invention, the wiring unit 500 may be electrically connected to the dummy unit 200 serving as the ground terminal, thereby preventing corrosion that may occur during manufacturing of the touch panel.

도 7은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 터치패드에서, 더미부(200) 내부의 패턴부(300)에 형성된 터치센서 패턴(400)과 배선부(500)를 예시적으로 보여주는 도면이다. 상기 패턴부(300)에는 복수개의 센서전극(410)이 구비된 터치센서 패턴(400) 및 상기 터치센서 패턴(400)을 구동회로 또는 외부의 FPCB 등과 전기적으로 연결하기 위한 배선부(500)가 구비된다. 상기 배선부(500)는, 구동회로 또는 외부의 FPCB 등과 전기적으로 직접 접속되는 접속전극(520) 및 상기 터치센서 패턴(400)을 상기 접속전극(520)과 연결하는 리드선(510)을 포함한다. 7 is a diagram illustrating a touch sensor pattern 400 and a wiring part 500 formed on the pattern part 300 inside the dummy part 200 in the touch pad manufactured by the method according to the present invention. The pattern part 300 includes a touch sensor pattern 400 having a plurality of sensor electrodes 410 and a wiring part 500 for electrically connecting the touch sensor pattern 400 with a driving circuit or an external FPCB. It is provided. The wiring part 500 includes a connection electrode 520 electrically connected directly to a driving circuit or an external FPCB, etc., and a lead wire 510 connecting the touch sensor pattern 400 to the connection electrode 520. .

도 7에서 보면 상기 배선부(500)가 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되어 있음을 알 수 있다. Referring to FIG. 7, it can be seen that the wiring part 500 is electrically connected to the dummy part 200.

도 8a 내지 8c는 상기 배선부(500)의 말단에서 상기 배선부(500)와 상기 더미부(200)의 연결관계를 보다 상세히 도시한 일례들이다.8A to 8C illustrate examples of the connection relationship between the wiring part 500 and the dummy part 200 at the end of the wiring part 500.

도 8a는 도 7의 "C"에 해당되는 부부분으로서, 상기 배선부(500) 자체가 상기 더미부(200)까지 연장되어 있다. 즉, 상기 배선부(500)의 접속전극(520)이 상기 더미부(200)가지 연정되어 형성될 수 있다.FIG. 8A is a portion corresponding to "C" in FIG. 7, and the wiring part 500 itself extends to the dummy part 200. That is, the dummy electrode 200 may be connected to the connection electrode 520 of the wiring part 500.

도 8b와 도 8c에서는 상기 배선부(500)의 말단에는 도전성 연결부(530)를 형성한 것을 보여준다. 구체적으로, 배선부(500)의 접속전극(520)에서 연장되는 연결부(530)를 형성하여 상기 연결부(520)가 상기 더미부와 연결되도록 한 것이다.8B and 8C, the conductive connection part 530 is formed at the end of the wiring part 500. Specifically, the connection part 520 is formed to extend from the connection electrode 520 of the wiring part 500 so that the connection part 520 is connected to the dummy part.

구체적으로, 도 8b에서는 투명도전성산화물층(100)에 의하여 연결부(530)를 형성한 것이며, 도 8c에서는 리드선(510)과 동일한 형태로 상기 연결부(530)를 형성한 것이다.Specifically, in FIG. 8B, the connection part 530 is formed by the transparent conductive oxide layer 100, and in FIG. 8C, the connection part 530 is formed in the same form as the lead wire 510.

본 발명에서는 상기 도 2a 내지 2i에 개시된 바와 같이 2차례의 식각단계를 거친다. 상기 2차 식각단계는 도 2g 내지 내지 도 2i에서 보는 바와 같이, 내부 패턴인 터치센서 패턴(400)에서 투명전도성산화물층(110)상에 존재하는 금속층(120)을 제거하는 공정에 해당된다. 이 때, 도 2b에서 보는 바와 같이 금속층(120) 에칭 전에 포토레지스트(140)를 도포하여 외부 패턴, 즉 배선부(500)의 금속층(120)을 보호하고 있지만, 종래에는 상기 2차 식각단계에서 배선부(500)의 금속층(120)에 부분적으로 부식이 발생하였다. 본 발명에서는 In the present invention, two etching steps are performed as described in FIGS. 2A to 2I. As shown in FIGS. 2G to 2I, the secondary etching step corresponds to a process of removing the metal layer 120 existing on the transparent conductive oxide layer 110 in the touch sensor pattern 400, which is an internal pattern. In this case, as shown in FIG. 2B, the photoresist 140 is applied before the metal layer 120 is etched to protect the external pattern, that is, the metal layer 120 of the wiring part 500, but conventionally, in the secondary etching step Corrosion partially occurred in the metal layer 120 of the wiring part 500. In the present invention,

본 발명의 일례에서는, 상기와 같이 상기 배선부(500)가 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되도록 한 상태에서 2차 식각단계가 진행된다. 구체적으로, 1차 식각단계에서 상기 배선부(500)가 상기 더미부(200)와 전기적으로 연결되도록 1차 패턴을 형성한 상태에서 2차 식각단계를 진행함으로써 배선부(500)에서의 부식을 방지할 수 있다. In one example of the present invention, a secondary etching step is performed in a state in which the wiring unit 500 is electrically connected to the dummy unit 200 as described above. Specifically, in the first etching step, the wiring part 500 undergoes a second etching step in a state in which a first pattern is formed to be electrically connected to the dummy part 200, thereby preventing corrosion in the wiring part 500. You can prevent it.

도 9에서는 본 발명의 일례에 따른 방법으로 제조된 터치패드의 배선부 말단의 모습을 보여준다. 본 발명에서와 배선부(500)를 접지단 역할을 하는 더미부(200)와 연결되도록 함으로써 배선부의 부식을 방지할 수 있다.Figure 9 shows the appearance of the wiring terminal end of the touch pad manufactured by the method according to an example of the present invention. In the present invention, the wiring unit 500 may be connected to the dummy unit 200 serving as a ground terminal, thereby preventing corrosion of the wiring unit.

상기 배선부에서의 부식이 방지되는 메카니즘은 갈바닉 부식의 원리에서 찾을 수 있을 것이다.A mechanism for preventing corrosion in the wiring portion may be found in the principle of galvanic corrosion.

갈바닉 부식은 부식성 용액이나 전해질 용액에 두 금속이 접촉된 상태 또는 전기적으로 연결된 상태로 담겨 있을 때, 두 금속의 전위 차에 의해 전자의 이동이 발생하고, 그에 따라 부식이 일어나는 것이다. 본 발명에서 상기 배선부를 접지단과 연결함으로써 전위차가 억제되고 그에 따라 전자의 이동이 억제됨으로써 배선부의 부식이 방지된 것으로 유추할 수 있다. Galvanic corrosion is the movement of electrons due to the potential difference between two metals when the two metals are in contact or electrically connected in a corrosive or electrolyte solution, thereby causing corrosion. In the present invention, it can be inferred that the potential difference is suppressed by connecting the wiring part with the ground terminal, and thus, the movement of electrons is suppressed, thereby preventing corrosion of the wiring part.

상기 터치센터 패턴(400)과 배선부(500)가 형성되면, 상기 더미부(200)를 잘라내어 터치패드를 완성할 수 있다. 상기 더미부(200)를 제거하는 과정에서 접속전극(520)의 연장부 또는 도전성 연결부(530)도 역시 제거될 수 있다.When the touch center pattern 400 and the wiring part 500 are formed, the dummy part 200 may be cut out to complete the touch pad. In the process of removing the dummy part 200, the extension part or the conductive connection part 530 of the connection electrode 520 may also be removed.

본 발명의 일례에서는 또한 상기와 같이 제조된 터치패드를 제공한다. 상기 터치패드는 터치패널에 적용될 수 있다.One example of the present invention also provides a touch pad manufactured as described above. The touch pad may be applied to a touch panel.

100: 기판 110: ITO층
120: 금속층 130, 140: 포토레지스트 층
200: 더미부 300: 패턴부
400: 터치센서 패턴 410: 센서전극
500: 배선부 510: 리드선
520: 접속전극 530: 도전성 연결부
100: substrate 110: ITO layer
120: metal layer 130, 140: photoresist layer
200: dummy portion 300: pattern portion
400: touch sensor pattern 410: sensor electrode
500: wiring portion 510: lead wire
520: connecting electrode 530: conductive connection

Claims (13)

패턴부 및 상기 패턴부 외부에 배치된 더미부를 가지며, 상기 패턴부에는 도전재층이 형성된 기판을 준비하는 단계; 및
상기 도전재층을 패터닝하여 터치센서 패턴과 배선부를 형성하는 패턴 형성단계;를 포함하며,
상기 더미부는 도전성을 가지며,
상기 패턴 형성단계에서, 상기 배선부는 상기 더미부와 전기적으로 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.
Preparing a substrate having a pattern portion and a dummy portion disposed outside the pattern portion, the conductive portion layer is formed on the pattern portion; And
And a pattern forming step of patterning the conductive material layer to form a touch sensor pattern and a wiring part.
The dummy part is conductive,
In the pattern forming step, the wiring portion is a manufacturing method of the touch pad, characterized in that formed to be electrically connected to the dummy portion.
제 1항에 있어서, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층 및 금속층 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, wherein the conductive material layer comprises at least one of a transparent conductive oxide layer and a metal layer. 제 1항에 있어서, 상기 기판을 준비하는 단계에서는 도전재층을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 도전재층을 형성하는 단계는, 기판상에 투명도전성산화물층을 형성하는 단계; 및 상기 투명도전성산화물층 상에 금속층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.
The method of claim 1, wherein preparing the substrate includes forming a conductive material layer.
The forming of the conductive material layer may include forming a transparent conductive oxide layer on a substrate; And forming a metal layer on the transparent conductive oxide layer.
제 1항에 있어서, 상기 도전재층은 투명도전성산화물층 및 상기 투명도전성산화물층 상에 형성된 금속층을 포함하며,
상기 패턴 형성단계는, 상기 도전재층을 패터닝하여 투명도전성산화물층 및 금속층을 갖는 터치센서 패턴과 배선부를 형성하는 1차 식각단계; 및
상기 터치센서 패턴에서 금속층을 제거하는 2차 식각단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.
The method of claim 1, wherein the conductive material layer comprises a transparent conductive oxide layer and a metal layer formed on the transparent conductive oxide layer,
The pattern forming step may include: a first etching step of patterning the conductive material layer to form a touch sensor pattern and a wiring part having a transparent conductive oxide layer and a metal layer; And
A second etching step of removing the metal layer from the touch sensor pattern;
Method of manufacturing a touch pad comprising a.
제 1항에 있어서,
상기 패턴 형성단계에서, 상기 배선부는 상기 더미부까지 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.
The method of claim 1,
In the pattern forming step, the wiring portion manufacturing method of the touch pad, characterized in that formed to extend to the dummy portion.
제 1항에 있어서,
상기 패턴 형성단계에서, 상기 배선부의 말단에는 도전성 연결부를 형성하여, 상기 도전성 연결부가 상기 더미부와 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.
The method of claim 1,
In the pattern forming step, a conductive connection portion is formed at the end of the wiring portion, so that the conductive connection portion is connected to the dummy portion manufacturing method of the touch pad.
제 1항에 있어서, 상기 배선부는 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, wherein the wiring part comprises a metal layer. 제 1항에 있어서, 상기 터치센서 패턴은 투명도전성산화물(TCO)층을 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, wherein the touch sensor pattern comprises a transparent conductive oxide (TCO) layer. 제 8항에 있어서, 상기 투명도전성산화물(TCO)층은 ITO층, IZO층 및 AZO층 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 8, wherein the transparent conductive oxide (TCO) layer comprises at least one of an ITO layer, an IZO layer, and an AZO layer. 제 1항에 있어서, 상기 더미부는 접지부(grounding part)인 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dummy part is a grounding part. 제 1항에 있어서, 상기 더미부는 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dummy part comprises a metal layer. 제 1항에 있어서, 상기 더미부를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패드의 제조방법.The method of claim 1, further comprising removing the dummy part. 제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 의한 제조방법으로 제조된 터치패드.A touch pad manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 12.
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