KR20140006215A - Method for thermochromic window and thermochromic window - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 써모크로믹 윈도우에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 온도에 따라 적외선의 투과율이 조절되는 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 써모크로믹 윈도우에 관한 것이다.
The present invention relates to a method for manufacturing a thermochromic window and a thermochromic window, and more particularly, to a method for manufacturing a thermochromic window and a thermochromic window in which infrared rays transmittance is adjusted according to temperature.
최근 석유 등의 화학 에너지원의 가격이 급등하면서 새로운 에너지원 개발의 필요성이 커지고 있다. 또한, 이에 못지않게 에너지 절감기술의 중요성도 증대되고 있다. 실제로 일반 가정의 에너지 소비량 중 60% 이상은 냉·난방비로 사용된다. 특히 일반 주택 및 건물에서 창문을 통해 소비되는 에너지는 24%에 이른다. Recently, as the prices of chemical energy sources such as petroleum have skyrocketed, the need to develop new energy sources is growing. In addition, the importance of energy-saving technologies is increasing as well. In fact, more than 60% of household energy consumption is used for heating and cooling. In particular, 24% of the energy consumed by windows in general houses and buildings is consumed.
이에 따라 창문의 기본 기능인 건물의 미관 및 조망 특성을 유지하면서도 창문의 기밀 및 단열 특성을 높여 창문을 통해 소비되는 에너지를 줄이기 위한 다양한 노력이 이루어지고 있으며, 대표적으로 창문의 크기를 조절하는 방법에서부터 고단열 윈도우를 설치하는 방법 등이 실시되고 있다.Accordingly, a variety of efforts have been made to reduce the energy consumed through the windows by increasing the airtightness and insulation properties of the windows while maintaining the aesthetic and visual characteristics of the building, which is the basic function of the windows. Typically, And a method of installing an insulating window.
고단열 윈도우의 종류에는 복층 글라스에 아르곤(Ar) 가스 등을 주입하여 열 교환 현상을 막는 아르곤 가스 주입 복층 글라스와 로이 (Low-E) 글라스 등이 있다. 이외에도 열적 특성을 지닌 층을 글라스에 코팅하여 태양광을 통한 에너지 유입을 조절하는 글라스 등이 연구되고 있다.Types of high-insulation windows include argon gas injection multilayer glass and low-E glass that inject argon (Ar) gas into the multilayer glass to prevent heat exchange. In addition, a glass that controls energy inflow through sunlight by coating a layer having thermal properties on glass has been studied.
특히, 로이 글라스는 글라스 표면에 금속 또는 금속산화물을 얇게 코팅하여 창을 통해 들어오는 가시광선은 대부분 안으로 투과시켜 실내를 밝게 유지할 수 있도록 하고 적외선 영역의 복사선은 효과적으로 차단하여 겨울철에는 건물 안에서 발생한 난방열이 밖으로 빠져나가지 못하도록 차단하고, 여름철에는 건물 바깥의 열기를 차단하여 냉·난방비를 줄이는 효과가 있으나, 가시광선 이외의 파장에 대해서는 반사를 하는 특성에 의해, 특히 겨울철에 태양에서 나오는 적외선 부분을 실내로 유입시키지 못하고, 계절(온도)에 따라 태양광의 투과율이 조절되지 않는다는 단점을 가지고 있다.In particular, Roy glass has a thin coating of metal or metal oxide on the surface of the glass, allowing most visible light to pass through the window to keep the interior bright, and effectively shielding infrared radiation from radiation. It prevents it from escaping and reduces the cooling and heating costs by blocking heat outside the building in summer, but it reflects the wavelengths other than visible light, especially in winter, which introduces infrared rays from the sun into the room. There is a disadvantage that the transmittance of sunlight is not adjusted according to the season (temperature).
이에 써모크로믹(thermochromic) 효과를 지닌 물질을 글라스 위에 코팅하여 글라스가 어떤 일정한 온도 이상이 되면 가시광선은 들어오지만 근적외선 및 적외선은 차단하여 실내온도가 상승하지 않게 하는 써모크로믹 윈도우에 관한 기술이 개발되고 있다.The thermochromic window technology is applied by coating a material with a thermochromic effect on the glass so that when the glass becomes above a certain temperature, visible light enters, but near-infrared and infrared rays are blocked so that the room temperature does not rise. Is being developed.
특히, 상전이 온도가 68℃로써 비교적 실용 가능한 온도에 가까운 이산화바나듐(VO2)을 글라스에 코팅하여 에너지 효율을 증가시키기 위한 다양한 연구가 진행 중이다.In particular, various studies are being conducted to increase energy efficiency by coating vanadium dioxide (VO 2 ) on a glass, which has a phase transition temperature of 68 ° C., which is close to a practical temperature.
도 1은 글라스 기판의 일면에 VO2로 이루어진 써모크로믹 박막을 코팅한 써모크로믹 윈도우의 상전이 전/후 온도에 따른 태양광의 투과율 변화를 나타낸 그래프이다.1 is a graph showing the change in transmittance of sunlight according to the temperature before and after the phase transition of the thermochromic window coated with a thermochromic thin film made of VO 2 on one surface of the glass substrate.
도 1에 나타난 바와 같이, 써모크로믹 물질을 글라스에 코팅함으로써, 상전이 온도 전/후로 태양광의 투과율, 특히 적외선 영역에서의 투과율이 변함을 알 수 있고, 이에 의해 건물 등의 냉·난방 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.As shown in Figure 1, by coating the thermochromic material on the glass, it can be seen that the transmittance of the sunlight, in particular in the infrared region changes before and after the phase transition temperature, thereby improving the cooling and heating energy efficiency of buildings, etc. Can be improved.
한편, 건축용 윈도우로서 외부 시인성을 개선하기 위해서는 가시광 투과율이 높아야 한다.On the other hand, in order to improve external visibility as a building window, the visible light transmittance must be high.
하지만, 써모크로믹 박막은 금속성의 특성을 가지고 있어 가시광 투과율이 낮다는 단점이 있다. However, since the thermochromic thin film has a metallic property, the visible light transmittance is low.
이에 종래에는, 써모크로믹 박막의 가시광 투과율을 향상시키기 위해 반사방지(anti-reflection)층을 써모크로믹 박막 상에 코팅하였으나, 이에 의하는 경우 반사방지층의 코팅을 위한 별도의 공정이 필요하고, 반사반지층의 코팅에 의해 써모크로믹 박막의 상전이 특성이 저하된다는 문제가 발생하였다.Accordingly, in order to improve the visible light transmittance of the thermochromic thin film, an anti-reflection layer is coated on the thermochromic thin film. However, in this case, a separate process for coating the anti-reflection layer is required. There arises a problem that the phase-transfer characteristics of the thermochromic thin film are reduced by coating the reflective ring layer.
또한, 써모크로믹 박막의 가시광 투과율을 향상시키기 위한 다른 방법으로, 써모크로믹 박막의 두께를 얇게 하는 방법을 사용할 수 있으나, 이에 의하는 경우 써모크로믹 박막의 상전이 특성이 불균일하게 일어난다는 문제가 발생한다.
In addition, as another method for improving the visible light transmittance of the thermochromic thin film, a method of reducing the thickness of the thermochromic thin film may be used, but in this case, the problem of uneven phase transition characteristics of the thermochromic thin film may occur. Occurs.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 우수한 써모크로믹 특성을 가지면서도 높은 가시광 투과율을 갖는 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 써모크로믹 윈도우를 제공하는 것이다.
The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide a thermochromic window manufacturing method and a thermochromic window having a high visible light transmittance while having excellent thermochromic properties It is.
이를 위해, 본 발명은 기판 상에 박막을 코팅하는 단계; 상기 박막 상에 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 패턴이 형성된 박막 상에 써모크로믹 물질을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법을 제공한다.To this end, the present invention comprises the steps of coating a thin film on the substrate; Forming a pattern on the thin film; And coating a thermochromic material on the patterned thin film.
여기서, 상기 박막은 이온 결합 또는 금속 결합 물질로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 TiO2 또는 SiO2로 이루어질 수 있다.Here, the thin film may be made of an ionic bond or a metal bond material, preferably TiO 2 or SiO 2 .
그리고, 상기 패턴을 형성하는 단계는 상기 박막을 열처리 하거나 상기 박막에 자외선을 조사하여 이루어질 수 있다.The forming of the pattern may be performed by heat treating the thin film or irradiating the thin film with ultraviolet rays.
또한, 상기 써모크로믹 물질은 이산화바나듐(VO2), 산화티타늄(Ⅲ)(Ti2O3), 산화나이오븀(NbO2), 및 황화니켈(NiS) 중 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다.In addition, the thermochromic material may be made of any one of vanadium dioxide (VO 2 ), titanium (III) oxide (Ti 2 O 3 ), niobium oxide (NbO 2 ), and nickel sulfide (NiS). .
그리고, 상기 기판 상에 박막을 코팅하는 단계는 스핀 코팅(spin coating) 법에 의해 이루어질 수 있으며, 상기 써모크로믹 물질을 코팅하는 단계는 스퍼터링(sputtering) 증착법에 의해 이루어질 수 있다.The coating of the thin film on the substrate may be performed by spin coating, and the coating of the thermochromic material may be performed by sputtering deposition.
또한, 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 패턴을 가지고 형성된 박막; 및 상기 박막 상에 형성된 써모크로믹 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우를 제공하다.In addition, the present invention provides a semiconductor device comprising a substrate; A thin film formed on the substrate with a pattern; And it provides a thermochromic window comprising a thermochromic thin film formed on the thin film.
또한, 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 패턴을 가지고 형성된 박막; 및 상기 패턴 내에 충진된 써모크로믹 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우를 제공한다.In addition, the present invention provides a semiconductor device comprising a substrate; A thin film formed on the substrate with a pattern; And a thermochromic material filled in the pattern.
여기서, 상기 패턴의 폭(width)은 30 ~ 50 ㎚인 것이 바람직하다.
Here, the width of the pattern is preferably 30 to 50 nm.
본 발명에 따르면, 써모크로믹 윈도우는 우수한 써모크로믹 특성 및 높은 가시광 투과율을 가질 수 있다.According to the present invention, the thermochromic window can have excellent thermochromic properties and high visible light transmittance.
또한, 태양광 중 단파장 대역의 투과율을 현저하게 감소시킬 수 있다.
In addition, the transmittance of the short wavelength band in sunlight can be significantly reduced.
도 1은 글라스 기판의 일면에 VO2로 이루어진 써모크로믹 박막을 코팅한 써모크로믹 윈도우의 상전이 전/후 온도에 따른 태양광의 투과율 변화를 나타낸 그래프.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우 제조방법의 개략적인 흐름도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우의 개략적인 단면도.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우의 개략적인 단면도.1 is a graph showing the change in transmittance of sunlight according to the temperature before and after the phase transition of the thermochromic window coated with a thermochromic thin film made of VO 2 on one surface of the glass substrate.
2 is a schematic flowchart of a method of manufacturing a thermochromic window according to an embodiment of the present invention;
3 is a schematic cross-sectional view of a thermochromic window according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view of a thermochromic window according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 써모크로믹 윈도우 제조방법 및 써모크로믹 윈도우에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a thermochromic window and a thermochromic window according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우 제조방법의 개략적인 흐름도이다.2 is a schematic flowchart of a method of manufacturing a thermochromic window according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우는 기판에 박막을 코팅하는 단계(S100), 박막 상에 패턴을 형성하는 단계(S200), 및 패턴이 형성된 박막 상에 써모크로믹 물질을 코팅하는 단계(S300)를 포함하여 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 2, the thermochromic window according to the present invention comprises the steps of coating a thin film on a substrate (S100), forming a pattern on the thin film (S200), and forming a thermochromic material on the patterned thin film. It may be made, including the step of coating (S300).
본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우를 제조하기 위해 우선, 기판 상에 박막을 코팅한다(S100).In order to manufacture a thermochromic window according to the present invention, first, a thin film is coated on a substrate (S100).
여기서, 기판은 지지 기재로서, 바람직하게는 소다라임(soda-lime)계 건축용 글라스가 사용될 수 있다.Here, the substrate may be used as a supporting substrate, preferably soda-lime-based architectural glass.
박막은 패턴이 형성될 기재로서, 기판 상에 형성되며 차단막의 기능을 수행할 수 있다. The thin film is a substrate on which a pattern is to be formed, and is formed on a substrate and may function as a blocking film.
일반적으로 후술한 써모크로믹 물질의 코팅 공정은 고온에서 이루어지게 된다. 이때 기판 상에 써모크로믹 물질을 직접 코팅하게 되면 기판 내의 이온이 코팅되는 써모크로믹 물질로 확산되어 써모크로믹 물질이 써모크로믹 특성을 잃게 된다. 이에 본 발명의 박막은 기판 내의 이온이 써모크로믹 물질로 확산되는 것을 방지하는 확산 장벽(diffusion barrier)역할을 할 수 있다. 특히, 기판이 소다다임계 글라스 기판인 경우, 박막은 글라스 기판 내의 나트륨(Na) 이온이 써모크로믹 물질로 나트륨 확산(sodium diffusion)하는 것을 방지할 수 있다.In general, the coating process of the thermochromic material described below is performed at a high temperature. If the thermochromic material is directly coated on the substrate, the thermochromic material loses the thermochromic properties by being diffused into the thermochromic material to which ions in the substrate are coated. Accordingly, the thin film of the present invention may serve as a diffusion barrier to prevent ions in the substrate from diffusing into the thermochromic material. In particular, when the substrate is a soda-based glass substrate, the thin film may prevent sodium (Na) ions in the glass substrate from being diffused into the thermochromic material.
박막은 이온 결합 또는 금속 결합 물질로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 TiO2 또는 SiO2 로 이루어질 수 있다.The thin film may be made of an ionic bond or a metal bond material, preferably TiO 2 or SiO 2 .
박막의 코팅은 스핀-코팅(spin coating) 법에 의해 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 습식 코팅(wet coating), 딥 코팅(dip coating), 롤 코팅(roll coating), 스크린 코팅(screen coating), 분무 코팅(spray coating), 스핀 캐스팅(spin casting), 흐름 코팅(flow coating), 스크린 인쇄(screen printing), 잉크젯(ink jet) 또는 드롭 캐스팅(drop casting) 등 다양한 방법이 이용될 수 있다.
Coating of the thin film may be performed by a spin-coating method, but is not limited thereto, and may be wet coating, dip coating, roll coating, or screen coating. Various methods may be used, such as spray coating, spin casting, flow coating, screen printing, ink jet, or drop casting.
이후, 박막 상에 패턴을 형성한다.Thereafter, a pattern is formed on the thin film.
박막은 식각(etching) 등 다양한 방법에 의해 형성될 수 있으나, 바람직하게는 자기 조립(self assembly)에 의해 형성될 수 있다.The thin film may be formed by various methods such as etching, but may be preferably formed by self assembly.
즉, 이온 결합(ionic bonding) 또는 금속 결합(metallic bonding) 물질로 이루어진 박막을 고온 열처리하거나, 박막에 자외선(UV)을 조사하여 패턴을 형성할 수 있다. 이온 결합 또는 금속 결합된 물질에 열처리 또는 자외선 조사를 하면, 물질을 구성하는 원자 간의 결합이 끊어지거나 재결합되며 자기 조립되어 나노 스케일(nano scale)을 갖는 패턴이 형성되게 된다.That is, a pattern may be formed by high temperature heat treatment of a thin film made of an ionic bonding or a metallic bonding material, or by irradiating UV light on the thin film. When heat treatment or ultraviolet irradiation is performed on an ion-bonded or metal-bonded material, bonds between atoms constituting the material are broken or recombined, and self-assembled to form a pattern having a nano scale.
패턴의 폭(width) 및 깊이(depth)는 열처리 또는 자외선 조사의 조건을 제어하여 조절이 가능하다. 특히, 패턴의 폭을 조절하여 단파장 대역의 투과율을 현저하게 감소시킴으로써, 박막에 형성된 패턴이 반사방지(anti-reflection)의 기능을 수행하게 할 수 있다.The width and depth of the pattern can be adjusted by controlling the conditions of heat treatment or ultraviolet irradiation. In particular, by controlling the width of the pattern to significantly reduce the transmittance of the short wavelength band, it is possible to make the pattern formed on the thin film to perform the function of anti-reflection.
바람직하게, 패턴의 폭은 30 ~ 50 ㎚일 수 있다. 또한, 패턴의 깊이는 30 ~ 50 ㎚일 수 있다.
Preferably, the width of the pattern may be between 30 and 50 nm. In addition, the depth of the pattern may be 30-50 nm.
마지막으로, 패턴이 형성된 박막 상에 써모크로믹 물질을 코팅한다(S300).Finally, the thermochromic material is coated on the patterned thin film (S300).
써모크로믹 물질은 특정 온도(상전이 온도)에서 상전이되는 써모크로믹 현상에 의해 결정구조가 바뀌어 물리적 성질(전기 전도도, 적외선 투과율 등)이 급격히 변화하는 물질로, 상전이 전/후로 태양광 특히, 적외선의 차단 또는 반사율이 변화하는 특성을 갖는다. 이와 같은 써모크로믹 물질은 이산화바나듐(VO2), 산화티타늄(Ⅲ)(Ti2O3), 산화나이오븀(NbO2), 및 황화니켈(NiS) 중 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있다.Thermochromic material is a substance whose crystal structure changes due to the thermochromic phenomenon that is phase-transformed at a specific temperature (phase transition temperature), and thus the physical properties (electric conductivity, infrared transmittance, etc.) change rapidly. Has the property of changing the blocking or reflectance. Such a thermochromic material may be made of any one of vanadium dioxide (VO 2 ), titanium (III) oxide (Ti 2 O 3 ), niobium oxide (NbO 2 ), and nickel sulfide (NiS).
패턴이 형성된 박막 상에 써모크로믹 물질을 코팅하면, 단차 피복(step coverage)에 의해 박막의 전면에 걸쳐 균일한 두께로 코팅되지 않고 패턴이 형성된 영역이 패턴이 형성되지 않은 영역보다 더 두껍게 코팅된다.When the thermochromic material is coated on the patterned thin film, the patterned area is coated thicker than the unpatterned area without step coating. .
특히, 써모크로믹 물질의 코팅은 스퍼터링(sputtering) 증착법에 의해 이루어질 수 있는데, 이와 같은 스퍼터링 증착법에 의하는 경우, 선택적으로 코팅 두께의 차이를 갖게 되며, 또한, 코팅이 된 영역과 코팅이 되지 않은 영역이 존재하게 된다. 이는 스퍼터링된 써모크로믹 물질이 단차에 의해 패턴이 형성된 영역으로 더 흘러 들어가게 되고, 또한, 패턴이 형성된 영역에 전자기 필드가 더 강하게 형성되어 증착이 더 잘되기 때문이다.In particular, the coating of the thermochromic material may be carried out by sputtering deposition. In such sputtering deposition, the coating thickness is selectively different, and the coated area and the uncoated area are uncoated. The realm will exist. This is because the sputtered thermochromic material flows further into the patterned area by the step, and the electromagnetic field is formed more strongly in the patterned area, so that the deposition is better.
이와 같이, 패턴이 형성된 박막 상에 코팅되는 써모크로믹 물질의 코팅 두께가 단차 피복에 의해 불균일하게 됨으로써, 코팅 두께가 상대적으로 얇거나 코팅이 안된 영역은 국부적으로 가시광 투과율이 높아지게 되어, 이에 의해 써모크모믹 윈도우는 전체적으로 높은 가시광 투과율을 갖게된다.
As such, the coating thickness of the thermochromic material coated on the patterned thin film becomes uneven by the step coating, so that the region having a relatively thin coating thickness or the uncoated region has a high visible light transmittance locally. The morphomic window has a high visible light transmittance as a whole.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우의 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a thermochromic window according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우는 기판(100), 기판(100) 상에 패턴을 가지고 형성된 박막(200), 및 박막(200) 상에 형성된 써모크로믹 박막(300)을 포함하여 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 3, the thermochromic window according to the present invention includes a
이와 같이, 패턴을 갖는 박막(200) 상에 형성되는 써모크로믹 박막(300)의 두께를 패턴부와 비패턴부에서 서로 다르게 형성함으로써, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우는 온도에 따라 적외선의 차단 또는 반사율이 조절되는 써모크로믹 특성을 가지면서도, 높은 가시광 투과율을 가질 수 있다.As such, by forming the thickness of the thermochromic
즉, 패턴부에 형성된 써모크로믹 박막은 일정 두께 이상을 가짐으로써, 우수한 상전이 특성을 가지고, 비패턴부에 형성된 써모크로믹 박막은 얇은 두께를 가짐으로써, 높은 가시광 투과율을 가진다.
That is, the thermochromic thin film formed on the pattern portion has a predetermined thickness or more, and thus has excellent phase transition characteristics, and the thermochromic thin film formed on the non-pattern portion has a thin thickness and thus has high visible light transmittance.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 써모크로믹 윈도우의 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of a thermochromic window according to another embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우는 기판(100), 기판(100) 상에 패턴을 가지고 형성된 박막(200), 및 패턴 내에 충진된 써모크로믹 물질(400)을 포함하여 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 4, the thermochromic window according to the present invention includes a
이와 같이, 패턴을 갖는 박막(200)의 패턴부에만 써모크로믹 물질(400)을 충진함으로써, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우는 우수한 써모크로믹 특성 및 높은 가시광 투과율을 가질 수 있다.As such, by filling the
또한, 본 발명에 따른 써모크로믹 윈도우의 패턴의 폭은 30 ~ 50 ㎚일 수 있다.In addition, the width of the pattern of the thermochromic window according to the present invention may be 30 to 50 nm.
이에 의해, 패턴이 태양광 중 단파장 대역의 투과율을 현저하게 감소시키는 반사방지(anti-reflection)층의 기능을 수행하게 할 수 있다.
This allows the pattern to perform the function of an anti-reflection layer that significantly reduces the transmittance of short wavelength bands in sunlight.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims as well as the appended claims.
100: 기판 200: 패턴을 갖는 박막
300: 써모크로믹 박막 400: 써모크로믹 물질100: substrate 200: a thin film having a pattern
300: thermochromic thin film 400: thermochromic material
Claims (10)
상기 박막 상에 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 패턴이 형성된 박막 상에 써모크로믹 물질을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
Coating a thin film on the substrate;
Forming a pattern on the thin film; And
And coating a thermochromic material on the patterned thin film.
상기 박막은 이온 결합 또는 금속 결합 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
The method of claim 1,
The thin film is a method of manufacturing a thermochromic window, characterized in that made of an ionic bond or a metal bond material.
상기 패턴을 형성하는 단계는 상기 박막을 열처리 하거나 상기 박막에 자외선을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
3. The method of claim 2,
Forming the pattern is a method of manufacturing a thermochromic window, characterized in that the heat treatment of the thin film or by irradiating the thin film with ultraviolet light.
상기 이온 결합 또는 금속 결합 물질은 TiO2 또는 SiO2 인 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
3. The method of claim 2,
The ion bond or metal bond material is TiO 2 or SiO 2 Thermochromic window manufacturing method characterized in that.
상기 써모크로믹 물질은 이산화바나듐(VO2), 산화티타늄(Ⅲ)(Ti2O3), 산화나이오븀(NbO2), 및 황화니켈(NiS) 중 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
The method of claim 1,
The thermochromic material is made of any one of vanadium dioxide (VO 2 ), titanium (III) oxide (Ti 2 O 3 ), niobium oxide (NbO 2 ), and nickel sulfide (NiS). Thermochromic Window Manufacturing Method.
상기 기판 상에 박막을 코팅하는 단계는 스핀 코팅(spin coating) 법에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
The method of claim 1,
Coating the thin film on the substrate is a method of manufacturing a thermochromic window, characterized in that by spin coating (spin coating) method.
상기 써모크로믹 물질을 코팅하는 단계는 스퍼터링(sputtering) 증착법에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우 제조방법.
The method of claim 1,
Coating the thermochromic material is a method of manufacturing a thermochromic window, characterized in that by the sputtering deposition method.
상기 기판 상에 패턴을 가지고 형성된 박막; 및
상기 박막 상에 형성된 써모크로믹 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우.
Board;
A thin film formed on the substrate with a pattern; And
And a thermochromic thin film formed on the thin film.
상기 기판 상에 패턴을 가지고 형성된 박막; 및
상기 패턴 내에 충진된 써모크로믹 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우.
Board;
A thin film formed on the substrate with a pattern; And
A thermochromic window comprising a thermochromic material filled in said pattern.
상기 패턴의 폭(width)은 30 ~ 50 ㎚인 것을 특징으로 하는 써모크로믹 윈도우.
10. The method according to claim 8 or 9,
Thermochromic window, characterized in that the width of the pattern is 30 ~ 50nm.
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|---|---|---|---|---|
| KR101537947B1 (en) * | 2014-12-24 | 2015-07-29 | 한국세라믹기술원 | Thermo-chromic tile for blocking infrared ray and manufacturing method of the tile |
| KR20180054139A (en) * | 2016-11-15 | 2018-05-24 | (주)도 은 | Transparent substrate with pattern |
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