KR20130136045A - 그래핀 전사방법 - Google Patents

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KR20130136045A
KR20130136045A KR1020120059564A KR20120059564A KR20130136045A KR 20130136045 A KR20130136045 A KR 20130136045A KR 1020120059564 A KR1020120059564 A KR 1020120059564A KR 20120059564 A KR20120059564 A KR 20120059564A KR 20130136045 A KR20130136045 A KR 20130136045A
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김보현
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송성호
공병선
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한국과학기술원
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Abstract

본 발명은 전기적, 열적, 기계적으로 탁월한 특성을 지닌 그래핀의 고유 물성을 유지하면서 기판상에 in-situ로 그래핀을 전사할 수 있으며, 기판에 바인더 층을 형성함으로써, 기판과 그래핀 사이 또는 그래핀과 그래핀 사이의 결합력을 향상시킬 수 있는 그래핀 전사방법을 제공하는 것으로, 본 발명에 따라 전사된 그래핀은 우수한 전기 및 열전도도, 기계적 특성을 지닌다.

Description

그래핀 전사방법{method for transcripting graphene}
본 발명은 그래핀 전사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게 비산화 흑연으로부터 간단하게 그래핀을 전사하는 방법에 관한 것이다.
그래핀은 sp2 결합으로 되어 있는 1개의 탄소 원자가 3개의 다른 탄소 원자와 결합한 육각형 벌집 모양의 흑연면이 단원자층으로 이루어진 이차원 평면 구조를 갖는 탄소 동소체이다. 그래핀은 크기나 형태에 따라 독특한 물리적 성질을 갖는 거대분자로서, 다이아몬드의 2배에 가까운 열전도도 및 구리와 비교하여 1,000배 가량 높은 전류 이송 능력, 철강에 못지않은 인장력 등의 뛰어난 물성을 가져, 나노 스케일의 전기, 전자 디바이스, 나노 센서, 광전자 디바이스, 고기능 복합재 등 모든 공학 분야에서의 응용 가능성이 매우 높은 것으로 평가되고 있다.
따라서 세계 각국은 그래핀을 금속, 세라믹 또는 고분자 등 기존 소재에 분산시킨 나노복합재료 개발연구에 많은 투자를 하고 있다.
한편 그래핀을 합성하는 방법으로는 기계적 박리 (Mechanical Exfoliation), SiC 기판에서의 에피텍셜 성장 (Epitaxial Growth), 화학기상증착 (CVD, Chemical Vapor Deposition), 화학적 합성법 (Graphite OxideReduction), 흑연 층간화합물 (Graphite Intercalation Compound) 등이 방법에 의해 제조할 수 있다.
기계적 박리법은 간단한 제조 공정에 의해 고품질의 그래핀을 제조할 수 있으나 제조된 그래핀의 매우 낮은 수율 및 불균일한 그래핀 시트의 크기는 상업적으로 응용하기에 적합하지 않다.
에피텍시 및 화학기상증착법을 이용하여 제조된 그래핀은 흑연의 극심한 산화환원 공정에 의해 제조된 흑연층간화합물에 비해 기계적, 열적, 전기적으로 우수한 그래핀 시트를 합성할 수 있으나 약 1000 ℃의 고온공정으로 인한 높은 제조비용 및 협소한 반응기 공간으로 인한 낮은 수율은 여전히 해결해야 할 과제로 남아있다.
상기와 같은 고온공정에서의 문제점을 해결하기 위한 수단으로 한국공개공보 제 2011-0106625에 값싼 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 전이 금속염들을 2성분이상의 공융시스템을 도입하여 낮은 온도에서 고품질 비산화 그래핀 제조방법을 개시하고 있다.
그러나, 상기의 방법에 의해 제조된 그래핀은 층간에 층간 화합물인 금속염으로 인해 in-situ로 그래핀을 기판 상에 전사하는 어려움이 있으며, 또한 금속염 제거를 위한 세척 시 반데르 발스 힘(Van der Waals Force)에 의해 다시 재결합하여 그래핀 시트를 기판에 전사 및 그래핀 시트 사이를 세척하는 데 어려움이 있다.
한편, 액체-기체 계면으로부터 기판 등의 고체 표면에 단층막 또는 다층막을 이전하는 방법으로서 랭뮤어-블라젯 트러프(Langmuir-Blodgett Trough; 이하 LB 트러프라함.)를 이용한 방법이 알려져 있다(K. A. Blodgett, JACS. 1935, 57, 1007).
LB 트러프는 트러프 내에 물 등과 같은 분산매를 넣고, 상기 분산매와 공기 사이의 계면에 위치하는 양친매성 분자막을 기판 등의 고체 표면으로 이전하게 된다.
다시 말해, LB 트러프 이용 방법은, 비휘발성 또는 비수용성 물질이 수면 상에 존재할 때 이물질의 분자들과 수면과의 부착력(Adhesion)이 분자들 간의 응집력(Cohesion)보다 크면 분자들이 수면 위에서 확산 이론에 따라 분산되고, 분산된 분자들은 단분자 박막을 형성하므로 이를 기판 등의 고체 표면에 나노 두께의 박막으로 전사하는 방법이다. 이때, 수면 상에 분자가 분산되기 위해서는 분자 자체가 양친매성(Amphiphilicity)을 지녀서 상기 양친매성 분자가 수면과 접촉하였을 경우, 친수성 부분은 물에 잠기고 소수성 부분은 수면과 반대 방향으로 배향됨으로써, 상기 양친매성 분자가 공기와 물의 계면 상태에만 위치하여야 한다.
그러나 이전 대상 물질의 농도, 상기 농도 조절을 위한 적당한 유기 용매의 선택 및 트러프에 장착된 배리어(barrier)를 사용한 계면 압력의 조절 등과 같이 여전히 개선되어야할 문제점이 존재한다.
한국공개공보 제 2011-0106625(2011.09.29)
K. A. Blodgett, JACS. 1935, 57, 1007
본 발명은 그래핀 고유의 물성을 유지하면서 손상없이 대면적이면서 간단한 공정으로 고품질의 그래핀을 전사하는 방법을 제공한다.
본 발명은 그래핀을 전사하는 방법을 제공하며 본 발명의 그래핀 전사방법은,
a) 극성 용매를 함유하는 제 1용매층의 상부에 비극성 용매 또는 양친성 용매를 함유하는 제 2용매층을 형성하는 단계;
b) 상기 제 2용매층 상부에 흑연 층간 화합물이 분산된 흑연 층간 화합물 분산층을 형성하는 단계;및
c) 바인드층이 형성된 기판의 바인드층 상부를 상기 흑연 층간 화합물 분산층의 표면과 접촉시켜 그래핀을 제조하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따른 2용매층은 비극성 용매 또는 양친성 용매를 사용하는데 비극성 용매로서 바람직하게는 사염화 탄소, 벤젠 및 헥산에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물을 N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸폼아마이드(DMF), 에탄올 및 피리딘에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물인 용매에 분산시킨 것일 수 있다.
또한 본 발명의 일실시예에 따른 흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물이 5 ~ 20 중량%로 포함된 것일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 흑연 층간 화합물은 흑연 층간에 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물이 삽입된 것으로, A) 알칼리 금속염과 알칼리 토금속염을 혼합한 염혼합물과 흑연을 혼합하는 단계;및
B) 상기 단계의 혼합물을 공융 온도이상으로 가열하여 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 흑연의 층간에 삽입하여 흑연 층간 화합물을 제조하는 단계;를 포함할 수 있다.
염혼합물은 공융 온도가 200 ~ 400℃일 수 있으며, 바인더층은 열경화형 수지, 실온경화형 수지, 핫멜트형 수지 또는 감압형 수지일 수 있다.
기판은 무기질 기판, 유기물 기판, 또는 금속기판일 수 있으며 본 발명의 그래핀 전사방법에서 상기 b) 내지 c)단계를 일 단위공정으로 하여 상기 단위공정이 2회이상 반복수행할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법은 랭뮤어-블라젯 트러프(Langmuir-Blodgett Trough)을 이용할 수 있다.
본 발명의 그래핀 전사방법은 그래핀 고유 물성을 유지하면서도 간단한 공정으로 대면적의 그래핀을 전사할 수 있으며, 전사과정에서 손상을 최소화 할 수 있고, 기판과의 결합강도가 높아 높은 기계적 물성을 요구하는 고기능성 복합재에 널리 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 기판인 글래스의 표면을 바인드층으로 개질것을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 LB 트러프를 이용하여 그래핀을 기판에 전사하는 것을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 따라 기판에 전사된 그래핀의 사진 및 XRD 분석 결과이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 따라 기판에 전사된 그래핀의 투명도를 측정한 결과이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따라 기판에 전사된 그래핀의 온도 증가에 따른 전도도를 측정한 결과이다.
본 발명은 그래핀의 손상없이 간단한 공정으로 대면적의 그래핀을 전사하는 방법을 제공한다.
본 발명의 그래핀 전사방법은,
a) 극성 용매를 함유하는 제 1용매층의 상부에 비극성 용매 또는 양친성 용매를 함유하는 제 2용매층을 형성하는 단계;
b) 상기 제 2용매층 상부에 흑연 층간 화합물이 분산된 흑연 층간 화합물 분산층을 형성하는 단계;및
c) 바인드층이 형성된 기판의 바인드층 상부를 상기 흑연 층간 화합물 분산층의 표면과 접촉시켜 그래핀을 제조하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따른 극성 용매는 한정이 있는 것은 아니나, 물, 알코올 또는 이들의 혼합물일 수 있으며, 보다 구체적으로 전기전도도와 같은 그래핀의 물성을 저하시킬 수 있는 잔류 염을 보다 효과적으로 제거하기 위해서 물, 메탄올, 에탄올 및 아세톤에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비극성 용매 또는 양친성 용매는 극성 용매를 함유하는 제 1용매층과 혼합되지 않아 층이 분리될 수 있는 것이면 가능하며, 층분리가 가능하고 제 2용매층상에 형성될 흑연 층간 화합물 분산층의 흑연 층간 화합물의 층간에 형성된 염이 제 1용매층인 극성용매에 녹아 제거되도록 가능한 얇은 두께로 형성될 수 있다는 측면에서 바람직하게는 사염화탄소, 벤젠 및 헥산에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있다.
제 1용매층 상부에 형성되는 제 2용매층의 두께는 흑연 층간 화합물의 염 제거를 보다 효과적으로 하기 위해 가능한 얇은 것이 바람직하나, 0.3nm ~ 100 nm일 수 있으며 이러한 두께를 가질 때 순도 높은 그래핀을 얻을 수 있다.
본 발명은 두 가지의 용매를 사용하여 두층을 형성하여 그래핀을 전사하는 방법으로, 이러한 방법은 고 품질의 그래핀을 균일한 박막을 형성하여 보다 용이하고 간편하며 경제적인 방법으로 그래핀 전사가 가능한 장점을 가진다.
본 발명의 일 실시예에 따른 바인더층은 바인더 물질을 포함하여 기판상에 제조되는 층을 의미하는 것으로 기판과 기판에 전사될 그래핀 사이에 존재하여 기판과 그래핀 사이의 결합의 강도를 높이기 위한 것으로 이해될 수 있다.
흑연 층간 화합물은 흑연 층간에 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물이 삽입된 물질로, 구체적으로 A) 알칼리 금속염과 알칼리 토금속염을 혼합한 염혼합물과 흑연을 혼합하는 단계;및 B) 상기 단계의 혼합물을 공융 온도이상으로 가열하여 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 흑연의 층간에 삽입하여 흑연 층간 화합물을 제조하는 단계;를 포함하여 제조될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 염혼합물은 공융 온도가 200 ~ 400 ℃일 수 있으며, 보다 실질적으로 250 ~ 300℃일 수 있다.
흑연 층간 화합물에 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 삽일 할 시 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 적절하게 선택하여 공융온도를 낮추어서 낮은 온도에서 흑연 층간 화합물이 제조되어 이후 제조될 그래핀의 고유 물성에 최소한의 영향을 미치게 할 수 있다.
본 발명의 그래핀 전사방법은 종래의 그래핀 제조방법, 예를 들어 흑연을 산화하고 다시 환원하여 화학적 박리방법보다 간단하고 단순한 공정으로 수행되며, 산화흑연을 사용하지 않고 비산화 흑연을 사용함으로 그래핀 고유물성을 그대로 유지할 수 있으며, 고온등과 같은 혹독한 조건에서의 전사방법보다 그래핀의 손상을 최소화할 수 있어 고품질의 그래핀을 전사할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물을 용매에 분산시킨 용액으로 용매에 분산이 용이하게 이루어지는 용매이면 가능하나, 바람직하게 N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸폼아마이드(DMF), 에탄올 및 피리딘에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있다.
흑연 층간 화합물 분산층은 제 1용매층 상부에 존재하는 제 2용매층에 다시 분산되어져 흑연 층간 화합물에 잔류하는 염들은 극성 용매인 제 1용매층에 흡수되며 제 2용매층에는 단층 그래핀이 존재하게 된다.
흑연 층간 화합물 분산층은 극성용매인 제 1용매층에는 혼합되지 않으면서도 제 2용매층에는 혼합될 수 있어야 하며 또한 흑연 층간 화합물의 분산이 잘 이루어져야 한다. 또한 제조상에 발생하는 잔류 염들을 제 1층인 극성 용매에 제거할 수 있는 장점도 있다. 이러한 이유로 바람직하게는 제 1층인 극성 용매는 에탄올, 아세톤 및 물에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있으며 제 2층은 무극성 용매로 사염화 탄소, 벤젠 및 헥산에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물일 수 있다.
흑연 층간 화합물 분산층에 포함되는 흑연 층간 화합물의 중량%를 조절하여 즉, 흑연 층간 화합물 분산층의 농도를 제어하여 흑연 층간 화합물에 포함되어 있는 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 효율적으로 제어하여 전사된 그래핀의 전기 전도도와 같은 물성을 감소시키지 않을 수 있으며, 전사되는 그래핀의 층수를 제어할 수 있다.
따라서 바람직한 흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물이 용매에 5 ~ 50 중량%로 포함된 것일 수 있으며, 바람직하게는 5 ~ 20 중량% 로 포함될 수 있다.
또한 흑연 층간 화합물 분산층은 두께가 0.3 nm ~ 100 nm일 수 있다.
본 발명의 그래핀 전사방법에 따라 제조된 그래핀은 단층 혹은 다층일 수 있다.
다음으로 그래핀이 전사될 기판은 통상적으로 사용되는 물질이라면 모두 가능하나, 무기질 기판, 유기물 기판, 또는 금속기판일 수 있으며, 보다 구체적으로 무기질 기판으로 글래스 기판, GaN 기판, 실리카 기판, 유기질 기판으로 PET 기판, PEN 기판, PES 기판, 금속기판으로 Ni, Co, Fe, Pt, Pd, Au, Al, Cr, Cu, Mn, Mo, Rh, Ir, Ta, Ti, W, U, V 및 Zr에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 금속이 포함된 기판이 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 바인더층은 고분자물질을 포함하여 형성될 수 있으며 열경화형 수지, 실온경화형 수지, 핫멜트형 수지 또는 감압형 수지일 수 있다.
또한 기판과 바인더층 사이에 플라즈마를 더 포함할 수 있다.
실질적으로는 친수성기와 소수성기를 가진 화합물을 포함하는 고분자물질일 수 있으며, 이러한 일례를 도 1에 나타내었다.
도 1의 도면 부호 100은 기판이며 200은 플라즈마, 200은 바인더층을 나타낸다.
기판에 바인더층을 형성하는 방법은 통상적인 방법으로 가능하며, 일례를 들어, 딥코팅, 스핀코팅, 진공증착 등의 방법이 사용될 수 있다.
바인더층의 두께는 0.01μm 내지 1,000μm일 수 있다. 그래핀과 기판의 접착력을 최대화하고 전사된 그래핀의 물성을 유지시키기위한 측면에서 상기와 같은 범위가 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법에서 상기 b) 내지 c)단계를 일 단위공정으로 하여 상기 단위공정이 2회이상 반복수행할 수 있으며 이러한 공정을 수행하여 고품질의 그래핀이 다층으로 적층된 그래핀을 얻을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법은 한정이 있는 것은 아니나 랭뮤어-블라젯 트러프(Langmuir-Blodgett Trough)을 이용할 수 있다.
이하에서 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
[실시예 1]
흑연 층간 화합물 제조
ZnCl2 , NaCl, KCl을 최저 공융점 혼합몰비 ZnCl2 : NaCl : KCl = 0.6 : 0.2 : 0.2로 혼합하고 여기에 흑연 1 g을 첨가하여 350℃에서 10시간 동안 수열합성(hydrothermal)장비를 사용하여 흑연 층간 화합물을 제조하였다.
바인더층이 형성된 기판
기판으로 유리를 산소 플라즈마 처리한 후 바인더 물질로 암모늄프로필에톡실레인(3-AMINOPROPYLTRIETHOXYSILANE)을 30ml을 사용하여 증기 증착방법으로 기판에 바인더층을 형성하였다.
보다 구체적으로 도 1에서와 같이 기판인 유리(청색으로 표시)상부에 산소 플라즈마 처리를 통해 친수성 계면을 형성하고 기판과 그래핀 사이의 접착력을 향상시켜 고른 그래핀막을 형성시키기 위해 바인더 물질로 암모늄프로필에톡실레인을 사용해 바인더 층을 형성하였다.
그래핀 전사방법
수조에 극성용매로 물을 사용하고, 비극성용매로 n-헥산을 이용하여 극성용매인 1용매층 상부에 제 2용매층으로 n-헥산을 피펫을 사용하여 제 2용매층을 형성시켰다.
제 2용매층상에 피리딘에 흑연 층간 화합물이 10중량%로 포함된 흑연 층간 화합물 분산액을 피펫을 이용하여 분산시킨 후 상기 바인더층이 형성된 기판을 이용하여 랭뮤어 블라젯 방법으로 그래핀을 전사하였다. 전사된 그래핀의 특성을 도 3에 나타내었다.
도 3의 글래스에 전사된 그래핀의 사진 및 AFM, XRD 분석 결과에서 보이는 바와 같이 그래핀은 투명하면서도 균일한 단분자 막을 형성한 것을 알 수 있으며, 보다 구체적으로 살펴보면 AFM 분석 결과 거칠기(roughness)는 14.4,nm로 그래핀이 균일하게 분포되어 고품질의 그래핀 막이 형성된 것을 알 수 있으며, XRD분석결과 적층막의 결정성이 사라지는 것으로 단층 그래핀이 형성된 것을 알 수 있다.
또한 도 4와 도5는 글래스에 전사된 그래핀의 투명도 및 면저항을 측정한 결과로 전사된 그래핀 필름은 투명도 80%에 면저항 1KΩ/□의 높은 전도도 특성을 보이며, 어닐링(Annealing) 시 더욱 향상된 전도도 특성을 보임을 확인할 수 있다.
따라서, 본 발명의 전사방법에 의해 전사된 그래핀은 우수한 전기 전도도 특성을 지니고 있음을 확인할 수 있으며, 온도에 따른 효과는 수분이 제거되는 온도에서 전기적인 특성이 급격하게 향상됨을 알 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예를 통하여 본 발명을 도시하고 상세히 설명하였으나, 본 발명은 특정의 바람직한 실시예로 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

Claims (11)

  1. a) 극성 용매를 함유하는 제 1용매층의 상부에 비극성 용매 또는 양친성 용매를 함유하는 제 2용매층을 형성하는 단계;
    b) 상기 제 2용매층 상부에 흑연 층간 화합물이 분산된 흑연 층간 화합물 분산층을 형성하는 단계;및
    c) 바인드층이 형성된 기판의 바인드층 상부를 상기 흑연 층간 화합물 분산층의 표면과 접촉시켜 그래핀을 전사하는 단계;를 포함하는 그래핀 전사방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 비극성 용매는 사염화 탄소, 벤젠 및 헥산에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물인 그래핀 전사방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물을 N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸폼아마이드(DMF), 에탄올 및 피리딘에서 선택되는 하나 또는 둘이상의 혼합물인 용매에 분산시킨 것인 그래핀 전사방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    흑연 층간 화합물 분산층은 흑연 층간 화합물이 5 ~ 20 중량%로 포함된 것인 그래핀 전사방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    흑연 층간 화합물은 흑연 층간에 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물이 삽입된 것인 그래핀 전사방법.
  6. 제 4항에 있어서,
    흑연 층간 화합물은
    A) 알칼리 금속염과 알칼리 토금속염을 혼합한 염혼합물과 흑연을 혼합하는 단계;및
    B) 상기 단계의 혼합물을 공융 온도이상으로 가열하여 알칼리 금속, 알칼리 토금속 또는 이들의 혼합물을 흑연의 층간에 삽입하여 흑연 층간 화합물을 제조하는 단계;를 포함하는 것인 그래핀 전사방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    염혼합물은 공융 온도가 200 ~ 400 ℃인 그래핀 전사방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 바인더층은 열경화형 수지, 실온경화형 수지, 핫멜트형 수지 또는 감압형 수지인 그래핀 전사방법.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 기판은 무기질 기판, 유기물 기판, 또는 금속기판인 그래핀 전사방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 b) 내지 c)단계를 일 단위공정으로 하여 상기 단위공정이 2회이상 반복수행되는 그래핀 전사방법.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 그래핀 전사방법은 랭뮤어-블라젯 트러프(Langmuir-Blodgett Trough)을 이용하는 것인 그래핀 전사방법.
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