KR20130125976A - 미세구조물을 구비한 기판 - Google Patents

미세구조물을 구비한 기판 Download PDF

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KR20130125976A
KR20130125976A KR1020120049664A KR20120049664A KR20130125976A KR 20130125976 A KR20130125976 A KR 20130125976A KR 1020120049664 A KR1020120049664 A KR 1020120049664A KR 20120049664 A KR20120049664 A KR 20120049664A KR 20130125976 A KR20130125976 A KR 20130125976A
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KR1020120049664A
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박지영
조병래
도재필
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삼성테크윈 주식회사
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
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    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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Abstract

본 발명은 기판이 개시된다. 본 발명은, 외부로부터 토출되는 액제의 맺힘 현상이 발생하는 액제맺힘영역부와, 상기 액제맺힘영역의 테두리를 형성하는 테두리영역부를 포함하고, 상기 액제맺힘영역부 및 상기 테두리영역부 중 적어도 하나에는 미세구조부가 형성된다.

Description

미세구조물을 구비한 기판{Substrate having microstructure}
본 발명은 기판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 미세구조물을 구비한 기판에 관한 것이다.
정량, 정형의 액체를 기판에 토출하는 방법에는 장치의 압력, 토출량, 토출 방법, 토출부 외부의 공기압 등의 물리적인 방법에 의존하거나 액체를 미량으로 토출 또는 도포 할 때에 액체의 점도에 관계없이 고속으로 정밀하게 원하는 도포형상을 형성하는 방법 및 장치가 있다.
또한, 상기와 같이 정량, 정형의 액체를 기판에 토출하기 위하여 액상 재료가 막 패턴 형성 영역으로부터 유출되거나 영역 밖으로 스며들어 퍼지는 것을 억제하여 소정의 패턴 형상 및 두께의 막 패턴을 형성하는 기술이 있다.
그러나 상기와 같은 기술들은 기판 상에 떨어진 액체의 형상을 정확하게 하기에는 다소 기술적으로 어려움이 있다. 특히 압력, 토출량, 토출 방법, 공기압 등을 활용하는 기술인 경우에는 전체의 크기를 미세화하기 어렵고, 공압 등의 오차로 인하여 원하는 패턴을 형성하는 것이 다소 어려울 수 있다. 또한, 액상 재료가 막 패턴 형성 영역으로 유출되는 기술과 같은 경우에는 기판 상에 홈을 파야 하므로 홈의 끝단부에 액체가 모이거나 홈으로 다른 물질이 들어가 와류를 발생시켜 이물질이 빠져 나오지 못하여 유동제어가 다소 어려운 문제가 있을 수 있다.
상기와 같은 유체를 기판에 토출하는 기술에는 한국등록특허공보 제0525720호(발명의 명칭 : 액체정량토출 방법 및 장치, 특허권자 : 무사시 엔지니어링 인코포레이티드)에 구체적으로 개시되어 있다.
한국공개특허공보 제0525720호
본 발명의 실시예들은 미세구조물을 구비함으로써 액제의 맺힘 현상을 구현 가능한 기판을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 외부로부터 토출되는 액제의 맺힘 현상이 발생하는 액제맺힘영역부와, 상기 액제맺힘영역의 테두리를 형성하는 테두리영역부를 포함하고, 상기 액제맺힘영역부 및 상기 테두리영역부 중 적어도 하나에는 미세구조부가 형성되는 기판을 제공할 수 있다.
또한, 상기 미세구조부는 상기 기판의 외면에 음각 또는 양각 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 미세구조부는 다각기둥 형태, 반구 형태 또는 원기둥 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 미세구조부는 복수개 구비되고, 상기 복수개의 미세구조부는, 서로 제 1 거리로 서로 이격되어 상기 액제맺힘영역에 형성되는 제 1 미세구조부와, 상기 액제맺힘영역의 최외각에 형성되는 상기 제 1 미세구조부로부터 상기 제 1 거리와 상이한 제 2 거리로 이격되어 상기 테두리영역부에 형성되는 제 2 미세구조부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리보다 크게 형성될 수 있다.
또한, 상기 미세구조부는 복수개 구비되고, 상기 각 미세구조부는 크기, 상기 미세구조부 사이의 간격 및 상기 각 미세구조부의 배열 형태 중 적어도 하나가 상이하게 형성될 수 있다.
또한, 상기 액제맺힘영역 및 상기 테두리영역 중 적어도 하나에는 친수성 물질 및 소수성 물질 중 적어도 하나가 도포될 수 있다.
또한, 상기 액제맺힘영역 및 상기 테두리영역 중 적어도 하나에는 에칭, 부식 및 플라즈마 처리를 통한 표면 개질 중 적어도 하나가 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 미세구조물을 기판 상에 형성시킴으로써 다양한 액제의 맺힘 현상을 용이하고 신속하게 구현할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들은 별도의 외력을 사용하지 않고 정밀한 액제의 맺힘 현상을 구현할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판을 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판을 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 기판 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 기판 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 기판(100)은 외부로부터 토출되는 액제(L)의 맺힘 현상이 발생하는 액제맺힘영역부(120)를 포함할 수 있다. 또한, 기판(100)은 액제맺힘영역부(120)의 테두리를 형성하는 테두리영역부(130)를 포함할 수 있다.
이때, 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 중 적어도 하나에는 미세구조부(미표기)가 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 모두 상기 미세구조부가 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 상기 미세구조부는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 미세구조부는 기판(100)의 외면에 음각 또는 양각 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로 상기 미세구조부는 기판(100)의 외면으로부터 인입되어 형성되는 음각 형태일 수 있으며, 기판(100)의 외면으로부터 돌출되어 형성되는 양각 형태일 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 미세구조부가 양각 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
또한, 상기 미세구조부의 형상은 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 미세구조부는 다각기둥 형태, 반구 형태 또는 원기둥 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 미세구조부가 원기둥 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기 미세구조부는 복수개 구비될 수 있다. 특히 복수개의 상기 미세구조부는 액제맺힘영역부(120)에 형성되는 제 1 미세구조부(121)를 포함할 수 있다. 또한, 복수개의 상기 미세구조부는 테두리 영역에 형성되는 제 2 미세구조부(131)를 포함할 수 있다.
이때, 제 1 미세구조부(121) 및 제 2 미세구조부(131)는 복수개 구비되어 서로 일정 간격 이격되도록 형성될 수 있다. 특히 제 1 미세구조부(121)는 각각 제 1 거리로 서로 이격되도록 형성될 수 있다. 또한, 제 2 미세구조부(131)는 각각 제 1 거리로 서로 이격되도록 형성될 수 있다.
상기와 같이 형성되는 액제맺힘영역부(120)과 테두리영역부(130)은 서로 일정 간격 이격되도록 형성될 수 있다. 이때, 테두리영역부(130)은 액제맺힘영역부(120)을 감싸도록 형성될 수 있다. 또한, 액제맺힘영역부(120)의 최외곽 부분과 테두리영역부(130)의 최내측 부분은 서로 제 2 거리만큼 이격될 수 있다.
구체적으로 액제맺힘영역부(120)의 최외곽 부분에 형성되는 제 1 미세구조부(121)로부터 테두리영역부(130)의 최내측 부분에 형성되는 제 2 미세구조부(131) 사이의 거리는 상기 제 2 거리만큼 이격될 수 있다. 이때, 상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리와 상이하게 형성될 수 있다. 특히 상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리보다 크게 형성될 수 있다.
한편, 상기 미세구조부는 크기, 상기 미세구조부 사이의 간격 및 상기 각 미세구조부의 배열 형태 중 적어도 하나가 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제 1 미세구조부(121) 및 제 2 미세구조부(131)의 크기는 상이하게 형성될 수 있다. 이때, 상기 크기는 높이, 폭, 두께 등 형상의 수치를 나타내는 모든 인자를 포함할 수 있다.
또한, 제 1 미세구조부(121) 사이의 간격과 제 2 미세구조부(131)의 간격은 서로 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 미세구조부(121) 사이의 간격은 제 2 미세구조부(131) 간격보다 크게 형성될 수 있다. 또한, 제 1 미세구조부(121) 사이의 간격은 제 2 미세구조부(131) 간격보다 작게 형성될 수 있다.
제 1 미세구조부(121)의 배열 형태는 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 미세구조부(121)의 배열 형태는 각 제 1 미세구조부(121)가 다이아몬드 형태, 일렬 형태, 삐뚤어진 형태 등 다양하게 형성될 수 있다. 이때, 제 1 미세구조부(121)의 배열 형태는 상기에 한정되지 않으며, 상기에서 설명한 지핑 현상이 발생할 수 있는 모든 배열 형태를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 미세구조부(121)의 배열 형태가 일렬 형태인 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 중 적어도 하나는 친수성 물질 및 소수성 물질 중 적어도 하나가 도포될 수 있다. 이때, 친수성 물질 및 소수성 물질은 일반적인 친수성 물질 및 소수성 물질와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 따라서 액제(L)의 퍼짐에 따른 특성에 적합한 구조를 차용하여 다양한 액제(L)의 퍼짐 현상을 구현할 수 있다.
또한, 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 중 적어도 하나는 물리적 표면 처리가 될 수 있다. 구체적으로 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 중 적어도 하나는 에칭, 부식 및 플라즈마 처리를 통한 표면 개질 중 적어도 하나가 수행될 수 있다. 이때, 에칭, 부식 및 플라즈마 처리를 통한 표면 개질의 경우는 기판(100)의 재료에 따라 일반적으로 사용되는 방법이 사용될 수 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기와 같이 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130) 중 적어도 하나에 에칭 또는 플라즈마 처리를 통한 표면 개질이 수행되는 경우 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130)는 상기에서 설명한 친수성 물질이 도포된 경우와 유사해질 수 있다. 반면, 상기 부식이 수행되는 경우 액제맺힘영역부(120) 및 테두리영역부(130)는 상기에서 설명한 소수성 물질이 도포된 경우와 유사해질 수 있다.
다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기에서 설명한 친수성 물질 및 소수성 물질이 도포되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 기판(100)에서 액제(L) 맺힘 현상에 대해서 상세히 살펴보면 하기와 같다. 구체적으로 외부에서 노즐 등을 통하여 기판(100) 상에 액제(L)를 떨어뜨릴 수 있다.
이때, 상기 떨어진 액제(L)는 기판(100)의 액제맺힘영역부(120)의 일부에 안착할 수 있다. 액제(L)는 액제맺힘영역부(120)에 형성되어 있는 복수개의 제 1 미세구조부(121)의 상면과 사이에 배치될 수 있다.
액제(L)는 하나의 제 1 미세구조부(121)로부터 근접한 제 1 미세구조부(121)로 이동할 수 있다. 이때, 액제(L)가 이동하는 방법은 지핑(ZIPPING) 현상에 의하여 전면, 측면과 후면으로 이동할 수 있다. 특히 상기와 같이 이동하는 액제(L)는 제 1 미세구조부(121)의 크기, 제 1 미세구조부(121) 사이의 간격 및 액제맺힘영역부(120)에 도포되는 물질에 따라 다양한 속도 및 형상을 형성할 수 있다.
상기와 같이 이동하는 액제(L)는 액제맺힘영역부(120)의 최외곽에 도달하면 이동을 멈출 수 있다. 특히 상기와 같이 이동하는 액제(L)는 테두리영역부(130)과 인접한 부분에 도달하면 제 1 미세구조부(121) 및 제 2 미세구조부(131)가 존재하지 않아 더 이상 이동할 수 있다. 또한, 액제맺힘영역부(120)과 테두리영역부(130) 사이에 서로 도포되는 물질이 서로 상이하여 액제(L)와 표면 사이의 접촉각이 가변함으로써 액제(L)는 상기와 같이 이동을 멈출 수 있다.
한편, 액제맺힘영역부(120)과 테두리영역부(130)은 사용자가 설계 초기에 형성하고자 하는 액제(L)의 형태에 따라 다양하게 설계될 수 있다. 예를 들면, 액제(L)의 맺힘 현상을 이용하여 최종적으로 액제(L)의 평면상 형상을 다각형으로 형성하고 싶은 경우 복수개의 제 1 미세구조부(121)를 다각형 형태로 배열할 수 있다.
또한, 최종적인 액제(L)의 평면상 형상이 원형인 경우 복수개의 제 1 미세구조부(121)를 원형 형태로 배열할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 제 1 미세구조부(121)가 사각형 형태로 배열되어 액제맺힘영역부(120)가 사각형을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 액제맺힘영역부(120)를 가변시킴으로써 사용자는 다양한 형태의 액제(L) 형상을 만들 수 있다.
따라서 기판(100)은 액제맺힘영역부(120)의 형상을 자유롭게 설계함으로써 기판(100)에 필요한 미세패턴을 신속하고 정밀하게 형성할 수 있다. 또한, 기판(100)은 별도의 외력을 사용하지 않고 정밀한 액제(L)의 맺힘 현상을 구현할 수 있어 공정이 간소화해지고 비용을 절감할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판(200)을 보여주는 사시도이다. 도 4는 도 3에 도시된 기판(200) 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 기판(200)은 상기에서 설명한 바와 같이 액제맺힘영역부(220) 및 테두리영역부(230)가 형성될 수 있다. 이때, 액제맺힘영역부(220) 및 테두리영역부(230)는 상기에서 설명한 바와 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액제맺힘영역부(220)가 팔각형 형태로 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
기판(200)은 테두리영역부(230)에 형성되는 제 2 미세구조부(231)를 포함할 수 있다. 이때, 제 2 미세구조부(231)는 상기 도 1에서 설명한 제 2 미세구조부(131)와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 이하에서는 제 2 미세구조부(231)는 육각기둥 형태로 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같이 액제맺힘영역부(220)와 테두리영역부(230)가 형성되는 경우 액제맺힘영역부(220)와 테두리영역부(230)는 서로 접촉각이 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 액제맺힘영역부(220)에는 친수성 물질이 도포되고 테두리영역부(230)에는 소수성 물질이 도포되어 액제(L)와 기판(200)의 외면과의 접촉각이 상이하게 형성될 수 있다.
또한, 액제맺힘영역부(220)에는 소수성 물질이 도포되고 테두리영역부(230)에는 친수성 물질이 도포되어 액제(L)와 기판(200)의 외면과의 접촉각이 상이하게 형성되는 것도 가능하다.
특히 액제맺힘영역부(220) 및 테두리영역부(230)에는 상기에서 설명한 바와 같이 물리적 표면 처리를 하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액제맺힘영역부(220)에는 친수성 물질이 도포되고, 테두리영역부(230)에는 소수성 물질이 도포되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 액제맺힘영역부(220)와 테두리영역부(230)를 도포하는 경우, 액제맺힘영역부(220)에 친수성의 성질을 갖는 액제(L)를 떨어뜨릴 수 있다. 상기와 같이 떨어진 액제(L)는 친수성 물질이 도포된 액제맺힘영역부(220) 전체로 이동할 수 있다.
상기와 같이 이동하다가 소수성 물질이 도포된 테두리영역부(230)와 접촉하면, 액제(L)는 더 이상 이동하지 않을 수 있다.
따라서 기판(200)은 액제맺힘영역부(220)의 형상을 자유롭게 설계함으로써 기판(200)에 필요한 미세패턴을 신속하고 정밀하게 형성할 수 있다. 또한, 기판(200)은 별도의 외력을 사용하지 않고 정밀한 액제(L)의 맺힘 현상을 구현할 수 있어 공정이 간소화해지고 비용을 절감할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판(300)을 보여주는 사시도이다. 도 6은 도 5에 도시된 기판(300) 상의 액제 맺힘 현상을 보여주는 사시도이다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 기판(300)은 상기에서 설명한 바와 같이 액제맺힘영역부(320) 및 테두리영역부(330)가 형성될 수 있다. 이때, 액제맺힘영역부(320) 및 테두리영역부(330)는 상기에서 설명한 바와 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액제맺힘영역부(320)가 원형 형태로 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
기판(300)은 액제맺힘영역부(320)에 형성되는 제 1 미세구조부(321)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 미세구조부(321)는 상기 도 1에서 설명한 제 1 미세구조부(121)와 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 이하에서는 제 1 미세구조부(321)는 반구 형태로 형성되는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
한편, 액제맺힘영역부(320) 및 테두리영역부(330)에는 상기에서 설명한 바와 같이 친수성 물질 또는 소수성 물질이 도포될 수 있다. 또한, 액제맺힘영역부(320) 및 테두리영역부(330)에는 상기에서 설명한 바와 같이 물리적 표면 처리를 하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 액제맺힘영역부(320) 및 테두리영역부(330)에 친수성 물질 또는 소수성 물질이 도포되지 않는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 형성된 기판(300) 상에 액제(L)를 떨어뜨리는 경우 액제(L)는 액제맺힘영역부(320)에서 이동할 수 있다. 구체적으로 액제(L)가 떨어지는 경우, 액제(L)는 액제맺힘영역부(320)의 일부에 안착할 수 있다.
상기와 같이 안착한 액제(L)는 상기에서 설명한 지핑(ZIPPING) 현상에 의하여 액제맺힘영역부(320)의 전체로 이동할 수 있다. 구체적으로 액제(L)는 서로 인접한 제 1 미세구조부(321)로 이동하여 액제맺힘영역부(320)로 이동할 수 있다.
이때, 액제(L)가 상기와 같이 이동하다가 액제맺힘영역부(320)의 최외곽에 형성되는 제 1 미세구조부(321)에 도달하면 더 이상 이동하지 않을 수 있다. 구체적으로 상기와 같이 액제맺힘영역부(320)의 최외각에서 제 1 미세구조부(321)가 더 이상 형성되지 않아 상기에서 설명한 지핑 현상이 더 이상 발생하지 않을 수 있다.
특히 액제(L)가 액제맺힘영역부(320)의 최외곽에 도달하면, 테두리영역부(330)의 내측면과 일정간격 이격되므로 더 이상 진행하지 않고 멈출 수 있다.
따라서 기판(300)은 액제맺힘영역부(320)의 형상을 자유롭게 설계함으로써 기판(300)에 필요한 미세패턴을 신속하고 정밀하게 형성할 수 있다. 또한, 기판(300)은 별도의 외력을 사용하지 않고 정밀한 액제(L)의 맺힘 현상을 구현할 수 있어 공정이 간소화해지고 비용을 절감할 수 있다.
특히 기판(300)은 액제맺힘영역부(320)의 형상을 다양하게 변경 설계할 수 있으므로 기판(300) 상에 미세패턴을 형성하거나 액제(L)가 필요한 영역을 구조적으로 확정할 수 있으므로 다양한 산업 분야에 사용되는 기판(300)을 용이하게 설계할 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100,200,300 : 기판
120,220,320 : 액제맺힘영역부
121,221,321 : 제 1 미세구조부
130,230,330 : 테두리영역부
131,231,331 : 제 2 미세구조부

Claims (8)

  1. 외부로부터 토출되는 액제의 맺힘 현상이 발생하는 액제맺힘영역부; 및
    상기 액제맺힘영역의 테두리를 형성하는 테두리영역부;를 포함하고,
    상기 액제맺힘영역부 및 상기 테두리영역부 중 적어도 하나에는 미세구조부가 형성되는 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세구조부는 상기 기판의 외면에 음각 또는 양각 형태로 형성되는 기판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 미세구조부는 다각기둥 형태, 반구 형태 또는 원기둥 형태로 형성되는 기판.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세구조부는 복수개 구비되고,
    상기 복수개의 미세구조부는,
    서로 제 1 거리로 서로 이격되어 상기 액제맺힘영역에 형성되는 제 1 미세구조부; 및
    상기 액제맺힘영역의 최외각에 형성되는 상기 제 1 미세구조부로부터 상기 제 1 거리와 상이한 제 2 거리로 이격되어 상기 테두리영역부에 형성되는 제 2 미세구조부;를 구비하는 기판.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리보다 크게 형성되는 기판.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세구조부는 복수개 구비되고,
    상기 각 미세구조부는 크기, 상기 미세구조부 사이의 간격 및 상기 각 미세구조부의 배열 형태 중 적어도 하나가 상이하게 형성되는 기판.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 액제맺힘영역 및 상기 테두리영역 중 적어도 하나에는 친수성 물질 및 소수성 물질 중 적어도 하나가 도포되는 기판.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 액제맺힘영역 및 상기 테두리영역 중 적어도 하나에는 에칭, 부식 및 플라즈마 처리를 통한 표면 개질 중 적어도 하나가 수행되는 기판.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150098150A (ko) * 2014-02-19 2015-08-27 서울대학교산학협력단 표면장력을 이용한 미세유체 플랫폼 상에서의 액체 패터닝 및 세포고정화 방법
KR101718491B1 (ko) * 2016-08-01 2017-04-05 주식회사 큐리오시스 액체 패터닝 장치
US11666938B2 (en) 2016-08-01 2023-06-06 Curiosis Co., Ltd. Liquid patterning device and method

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