KR20130103454A - 실린더 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 보어의 내벽을 검사하는 실린더 검사장치에 관한 것으로서, 광원과, 렌즈와, 미러와, 재귀반사부와, 카메라와, 광차단부를 포함한다. 광원은 광을 조사한다. 렌즈는 광원으로부터 입사된 광을, 일정 각도 확산시켜 진행시키는 시야를 가진다. 미러는 렌즈로부터 입사된 광을 보어의 내벽으로 반사시킨다. 재귀반사부는 렌즈의 측부에 설치되며, 보어의 내벽에 반사되어 입사되는 광을, 입사 방향과 동일하게 보어의 내벽으로 재귀반사시킨다. 카메라는 재귀반사부에서 재귀반사되어 보어의 내벽 및 미러를 경유한 광이 입사되며, 보어의 내벽의 영상을 촬상한다. 광차단부는 렌즈와 미러를 연결하는 광경로상에 배치되고, 미러에 의해 반사된 후 카메라로 직접 입사되는 광을 차단한다. 카메라, 렌즈 및 미러는 보어의 내벽을 따라 일렬로 배치된다.

Description

실린더 검사장치{Apparatus for inspecting cylinder}
본 발명은 실린더 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보어의 내벽에 광을 조사하여 영상을 획득함으로써 보어 내벽의 결함을 검사하는 실린더 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 엔진, 보일러, 배관, 열교환기, 튜브, 발전기, 실린더, 용기, 탱크 등 보어 구조를 갖는 각종 구조물은 의료용 내시경과 같은 원리로 구성된 검사장치를 이용하여 구조물을 해체, 분해, 절단하지 않고 외부에서 검사장치를 보어 내부에 삽입하여 검사한다.
그 구체적인 방법으로는 검사장치의 선단부를 보어 내부에 삽입시켜 광을 조사하고 카메라를 통하여 영상을 획득함으로써 보어의 내벽의 상태를 검사한다. 통상적으로 보어의 내벽 검사장치를 이용하여 보어의 내벽에 잔류하는 이물질에 의한 오염 정도, 긁힘, 도금 상태, 보어를 제작하는 과정에서 형성된 기공, 내벽에 잔류하는 금속 칩 등을 검사하게 된다.
그런데 종래기술에 따른 검사장치는 렌즈가 가이드관의 선단부 앞에 설치된 구조를 갖기 때문에, 렌즈를 보어의 내벽과 마주보도록 하기 위하여 가이드관을 구부려야 하는 구조적인 한계가 있다.
따라서 종래의 검사장치는 광섬유 내시경이나 보어 스코프 같은 것을 사용하나 자동검사에 문제가 발생하고, 보어의 내벽이 곡면으로 형성되어 보어의 내벽에 의해 반사가 심해 보어 내벽의 상태를 정밀하게 검사하는 데는 적합하지 못한 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 보어의 내벽의 영상을 촬상하는 카메라, 보어의 내벽을 향해 광을 진행시키는 렌즈 및 재귀반사부가 보어의 내벽을 따라 일렬로 배치되도록 구성함으로써, 보어 내벽의 영상의 왜곡을 방지하고, 특히 보어 내벽이 가공면인 경우 결함에 대한 선명한 영상을 획득할 수 있는 실린더 검사장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실린더 검사장치는, 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 입사된 광을, 일정 각도 확산시켜 진행시키는 시야를 가지는 렌즈; 상기 렌즈로부터 입사된 광을 보어의 내벽으로 반사시키는 미러; 상기 렌즈의 측부에 설치되며, 상기 보어의 내벽에 반사되어 입사되는 광을, 입사 방향과 동일하게 상기 보어의 내벽으로 재귀반사시키는 재귀반사부; 상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 보어의 내벽 및 상기 미러를 경유한 광이 입사되며, 상기 보어의 내벽의 영상을 촬상하는 카메라; 및 상기 렌즈와 상기 미러를 연결하는 광경로상에 배치되고, 상기 미러에 의해 반사된 후 상기 카메라로 직접 입사되는 광을 차단하는 광차단부;를 포함하며, 상기 카메라, 상기 렌즈 및 상기 미러는 상기 보어의 내벽을 따라 일렬로 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 실린더 검사장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 미러는 상기 렌즈를 향해 볼록하게 형성된 비구면 반사면을 구비한다.
본 발명에 따른 실린더 검사장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 미러는 평행한 상면과 하면을 구비한 잘린 원뿔 형상으로 형성되며, 상기 잘린 원뿔의 경사진 측면에 상기 렌즈로부터 입사된 광을 상기 보어의 내벽을 향해 반사시키는 반사면을 구비한다.
본 발명에 따른 실린더 검사장치에 있어서, 구체적으로는, 상기 카메라와 상기 렌즈 사이에 배치되며, 상기 광원으로부터 조사된 광을 반사시켜 상기 렌즈로 전송하고, 상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 보어의 내벽 및 상기 미러를 경유한 광을 투과시켜 상기 카메라로 전송하는 광전송부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 실린더 검사장치에 있어서, 구체적으로는, 상부에는 상기 카메라를 수용하고, 하부에는 상기 미러를 수용하며, 상기 카메라와 상기 미러 사이에 상기 광원, 상기 렌즈 및 상기 재귀반사부를 수용하며, 측벽은 광을 투과시키는 투명성 재질로 형성된 경통;을 더 포함한다.
본 발명의 실린더 검사장치에 따르면, 보어 내벽은 가공면인 경우가 대부분이기 때문에 보어 내벽이 거울과 같이 반짝거려 깨끗한 영상을 얻기 어려웠으나 재귀반사 효과를 이용하여 보어 내벽의 결함에 대한 선명한 영상을 획득할 수 있다.
또한, 본 발명의 실린더 검사장치에 따르면, 광효율을 높일 수 있고 불필요한 광이 카메라에 입사되어 영상을 왜곡시키는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 검사장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실린더 검사장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 실린더 검사장치의 변형례를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 실린더 검사장치의 광전송부의 변형례를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 실린더 검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 검사장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 실린더 검사장치(100)는, 보어의 검사 내벽에 광을 조사하여 영상을 획득함으로써 보어 내벽의 결함을 검사하는 것으로서, 광원(110)과, 광전송부(120)와, 렌즈(130)와, 재귀반사부(140)와, 카메라(150)와, 광차단부(160)와, 경통(170)을 포함한다.
상기 광원(110)은, 보어(10)의 검사 내벽(11)에 조사되는 광을 발생한다. 본 실시예에서는 광원(110)으로 고출력의 LED 램프를 이용하며, 광원(110)은 후술할 카메라(150)의 측부에 배치되어 광원(110)으로부터 조사된 광이 광전송부(120)에 의해 광경로가 약 90도 정도 꺾여 렌즈(130)에 입사된다. 한편, 광원(110)은 카메라(150)의 입구부에 동축적으로 설치될 수도 있다.
상기 광전송부(120)는, 광원(110)으로부터 조사된 광을 반사시켜 광경로를 약 90도 정도 꺾어 렌즈(130)로 전송하고, 후술할 재귀반사부(140)에서 재귀반사되어 보어의 내벽(11)을 경유한 광을 투과시켜 카메라(150)로 전송한다. 광전송부(120)는 카메라(150)와 렌즈(130) 사이에 배치되는데, 만약 공간의 제약이 발생하면 렌즈(130) 전방에 배치될 수도 있다. 본 실시예에서 광전송부(120)는 빔스플리터가 이용된다.
상기 렌즈(130)는, 광원(110)으로부터 출력되어 광전송부(120)를 경유하여 입사된 광을, 검사하고자 하는 보어의 내벽(11)을 향해 진행시키는 시야를 가진다. 입사된 광을 보어의 내벽(11)을 향해 진행시키기 위하여, 본 실시예의 렌즈(130)로는 광각렌즈(wide-angle lens)가 이용된다.
인간의 육안에 보이는 시각에 가깝도록 제작된 표준렌즈의 사각(寫角)은 40~60°인 데 비해, 광각렌즈의 사각(寫角)은 60~80°로써 더 넓은 각도를 촬영할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 렌즈(130)는 광축과 평행하게 배치된 보어의 내벽(11)에 충분한 광량이 조사되도록 할 수 있다.
상기 재귀반사부(140)는, 입사되는 광(L)을 입사 방향과 동일한 방향으로 재귀반사시키는 부재이다. 광원(110)으로부터 조사된 광(L)은 렌즈(130)를 경유하여 보어의 내벽(11)을 향하여 진행하고, 보어의 내벽(11)에서 반사되어 재귀반사부(140)로 입사되며, 재귀반사부(140)에 입사된 광은 입사 방향과 동일한 방향으로 보어의 내벽(11) 측으로 재귀반사된다.
이때, 보어의 내벽(11) 표면에 결함이 있는 경우 재귀반사 경로가 꺾기기 때문에 결함 부분이 주위보다 더 검거나 밝게 표현되어 깨끗한 영상을 얻을 수 있는 것이다.
본 실시예의 재귀반사부(140)는 원뿔 형상으로 형성된다. 원뿔 형상의 재귀반사부(140)는 그 측면(141)이 보어의 내벽(11)과 약간의 경사를 가지면서 마주보도록 배치되며, 보어의 내벽(11)으로부터 입사되는 광(L)은 원뿔의 측면(141)에서 재귀반사된다.
상기 카메라(150)는, 보어의 내벽(11)의 영상을 촬상하여 보어의 내벽(11) 상의 결함을 검출한다. 보어의 내벽(11)의 영상을 획득하기 위하여 재귀반사부(140)에서 재귀반사되어 보어의 내벽(11)을 경유한 광이 카메라(150)로 입사된다.
전체 광경로를 살펴보면, 광원(110)으로부터 출력된 광은 광전송부(120)에 의해 반사되어 렌즈(130)에 입력된다. 렌즈(130)에 입력된 광은 광각렌즈의 특성에 의해 보어의 내벽(11)을 향해 진행되고, 보어의 내벽(11)에서 반사된 광은 재귀반사부(140)에 도달한다. 재귀반사부(140)에서 재귀반사된 광(L)은 다시 보어의 내벽(11)에 의해 재차 반사되어 렌즈(130)를 경유하여 카메라(150)에 입사된다.
본 실시예의 카메라(150)로는 보어의 내벽(11)의 전체적인 영상을 획득할 수 있는 에어리어 카메라(area camera)가 이용되는 것이 바람직하고, 이외 결함 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.
상기 광차단부(160)는, 재귀반사부(140)에 의해 재귀반사된 후 카메라(150)로 직접 입사되는 광을 차단한다. 보어의 내벽(11)을 경유하지 않고 카메라(150)로 직접 입사되는 광은 광량이 너무 커서 보어의 내벽(11) 영상에서의 결함 검출을 어렵게 한다. 따라서, 카메라(150)로 직접 입사되는 광을 차단함으로써, 보다 선명한 보어의 내벽(11)의 영상을 획득할 수 있다.
광차단부(160)는, 렌즈(130)와 재귀반사부(140)를 연결하는 광경로(LP) 상에 배치되며, 원뿔 형상의 재귀반사부(140)의 꼭지점 상측에 배치된다.
상기 경통(170)은, 실린더 검사장치를 구성하는 카메라(150), 광원(110), 광전송부(120), 렌즈(130), 재귀반사부(140), 광차단부(160)를 수용하여 실린더 검사장치를 일체형으로 구성한다.
경통(170)의 상부에는 카메라(150)가 설치되고, 경통(170)의 하부에는 재귀반사부(140)가 설치된다. 또한, 경통(170)의 내부에서는 카메라(150)와 재귀반사부(140) 사이에 광원(110), 광전송부(120), 렌즈(130), 광차단부(160)가 수용된다. 경통(170)은 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되는 것이 바람직하며, 측벽은 광을 투과시키는 투명성 재질로 형성된다. 이때, 투명성 재질의 광 간섭을 줄이기 위하여 광원(110) 측 또는 카메라(150) 측에 편광 필터를 배치할 수 있다.
도 1에 도시되지는 않았지만, 본 실시예의 실린더 검사장치는 경통(170)을 상하 방향으로 승강시키는 직선이송유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다. 보어(10)의 깊이가 깊어서 1회의 촬상으로는 보어 내벽(11)의 전체면을 다 커버할 수 없는 경우, 경통(170)을 상하 방향으로 승강시키면서 보어(10) 내부의 원하는 깊이에서의 보어 내벽(11)의 영상을 획득할 수 있다.
본 실시예의 직선이송유닛은 리니어 모터, 회전 모터와 볼스크류가 조합된 구성 등이 채용될 수 있으며, 이러한 구성은 해당 기술분야의 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 직선이송유닛의 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 실시예의 실린더 검사장치는 카메라(150), 렌즈(130) 및 재귀반사부(140)가 보어의 내벽(11)을 따라 일렬로 배치된다. 상술한 바와 같이 구성요소를 배치하여 광경로를 형성함으로써, 검사장치의 선단부를 보어 내벽을 향해 구부리지 않고 검사장치 일체를 직선 형상으로 보어 내부에 삽입하여 보어 내벽의 영상을 획득하고, 보어 내벽의 결함을 효과적으로 검사할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 실린더 검사장치는, 보어 내벽의 영상을 획득하기 위한 광학부품을 보어의 내벽을 따라 일렬로 배치하고 직선 형상의 검사장치를 보어 내부에 삽입하여 보어 내벽의 영상을 획득함으로써, 보어 내벽의 영상의 왜곡을 방지하고, 보어 내벽의 결함에 대한 선명한 영상을 획득할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 실린더 검사장치는, 재귀반사부에 의해 반사된 후 카메라로 직접 입사되는 광을 차단하는 광차단부를 구비함으로써, 광효율을 높일 수 있고 불필요한 광이 카메라에 입사되어 영상을 왜곡시키는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실린더 검사장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2에 있어서, 도 1에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지칭되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지는 것으로서, 그들 각각에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2를 참조하면, 본 실시예의 실린더 검사장치(200)는, 광원(210)과, 광전송부(220)와, 렌즈(230)와, 재귀반사부(240)와, 카메라(250)와, 광차단부(260)와, 경통(270)과, 비구면 미러(280)를 포함한다.
상기 광원(210)은 광을 조사하고, 상기 광전송부(220)는 카메라(250)와 렌즈(230) 사이에 배치되며, 광원(110)으로부터 조사된 광을 반사시켜 렌즈(230)로 전송하고, 재귀반사부(240)에서 재귀반사되어 보어의 내벽(11) 및 비구면 미러(280)를 경유한 광을 투과시켜 카메라(150)로 전송한다.
상기 렌즈(230)는 광원(210)으로부터 입사된 광을, 일정 각도 확산시켜 진행시키는 시야를 가진다. 도 1에 도시된 실시예의 렌즈(130)는 광각렌즈를 이용하였으나, 본 실시예의 렌즈(230)는 협각렌즈를 이용하는 것이 바람직하다.
도 1에 도시된 실시예의 렌즈(130)는 입력된 광을 보어의 내벽(11)을 향해 진행시키지만, 본 실시예의 렌즈(230)는 입력된 광을 비구면 미러(280)의 반사면(281)을 향해 진행시키므로, 도 1에 도시된 실시예의 렌즈(130)와 같은 넓은 사각(寫角)이 필요하지 않다. 따라서, 본 실시예의 렌즈(230)는 일반적인 사각(寫角)보다 다소 좁은 사각을 가지는 협각렌즈가 바람직하다.
상기 비구면 미러(280)는 렌즈(230)로부터 입사된 광을 보어의 내벽(11)으로 반사시킨다. 본 실시예의 비구면 미러(280)는 렌즈(230)를 향해 볼록하게 형성된 비구면 반사면(281)을 구비하며, 비구면 반사면(281)에 의해 반사된 광은 보어의 내벽(11)을 향해 진행한다.
상기 재귀반사부(240)는 보어의 내벽(11)에 반사되어 입사되는 광을, 입사 방향과 동일하게 보어의 내벽(11)으로 재귀반사시키는 것으로서, 본 실시예에서는 렌즈(230)의 측부에 설치되는 것을 특징으로 한다. 본 실시예의 재귀반사부(240)는 평판 형상으로 원형 형상의 렌즈(230)의 외측을 감싸도록 형성되며, 렌즈(230)와 경통(270)의 내벽 사이의 공간에 설치된다.
상기 카메라(250)는, 보어의 내벽(11)의 영상을 촬상하며, 재귀반사부(240)에서 재귀반사되어 보어의 내벽(11) 및 비구면 미러(280)를 경유한 광이 입사된다.
전체 광경로를 살펴보면, 광원(210)으로부터 출력된 광은 광전송부(220)에 의해 반사되어 렌즈(230)에 입력된다. 렌즈(230)에 입력된 광은 비구면 미러의 반사면(281)을 향해 진행되고, 비구면 미러의 반사면(281)에서 반사된 광은 보어의 내벽(11)을 향해 진행한다. 보어의 내벽(11)에서 반사된 광은 재귀반사부(240)로 향하고, 재귀반사부(240)에서 재귀반사된 광은 다시 보어의 내벽(11), 비구면 미러(280) 및 렌즈(230)를 경유하여 카메라(250)에 입사된다.
상기 광차단부(260)는, 비구면 미러(280)에 의해 반사된 후 카메라(250)로 직접 입사되는 광을 차단하며, 렌즈(230)와 비구면 미러(280)를 연결하는 광경로(LP) 상에 배치된다.
상기 경통(270)은, 상부에는 카메라(250)를 수용하고, 하부에는 비구면 미러(280)를 수용하며, 카메라(250)와 비구면 미러(280) 사이에 광원(210), 광전송부(220), 렌즈(230), 광차단부(260) 및 재귀반사부(240)를 수용한다. 경통(270)은 전체적으로 원기둥 형상으로 형성되는 것이 바람직하며, 측벽은 광을 투과시키는 투명성 재질로 형성된다.
본 실시예의 광원(210), 광전송부(220), 카메라(250), 광차단부(260), 경통(270)은 도 1에 도시된 실시예의 광원(110), 광전송부(120), 카메라(150), 광차단부(160), 경통(170)과 거의 동일한 기능을 수행하고 배치관계에서만 미차를 보이므로, 상세한 설명은 생략하고 도 1에 도시된 실시예에서의 설명으로 대신한다.
본 실시예의 실린더 검사장치는 카메라(250), 렌즈(230) 및 비구면 미러(280)가 보어의 내벽(11)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에 도시된 실시예와 마찬가지로, 검사장치의 선단부를 보어 내벽을 향해 구부리지 않고 검사장치 일체를 직선 형상으로 보어 내부에 삽입하여 보어 내벽의 영상을 획득하고, 보어 내벽의 결함을 효과적으로 검사할 수 있다.
도 3은 도 2의 실린더 검사장치의 변형례를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 실린더 검사장치의 미러(280')는 상면과 하면을 구비한 잘린 원뿔 형상으로 형성된다. 잘린 원뿔 형상의 미러(280')는 측면이 보어의 내벽(11)과 약간의 경사를 가지면서 마주보도록 배치되며, 잘린 원뿔의 경사진 측면에 렌즈(230)로부터 입사된 광을 보어의 내벽(11)을 향해 반사시키는 반사면(281')을 구비한다.
도 4는 본 발명의 실린더 검사장치의 광전송부의 변형례를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 실린더 검사장치에서는 광전송부(120,220)로서 빔스플리터를 이용한 경우를 예로 들어 설명하였으나, 부분 반사미러(120')를 광전송부로 이용할 수도 있다. 부분 반사미러(120')는 중앙부의 일정 영역에 배치된 반사미러(121)와 반사미러(121)를 둘러싸도록 배치된 투명부재(122)로 구성된다. 부분 반사미러(120')의 중앙부에 배치된 반사미러(121)는 광원(110)으로부터 조사된 광을 렌즈로 전송하고, 반사미러(121)의 외측을 둘러싸는 투명부재(122)는 카메라(150)로 전송되는 광을 투과시킨다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 실린더 검사장치
110 : 광원
130 : 렌즈
140 : 재귀반사부
150 : 카메라

Claims (5)

  1. 광을 조사하는 광원;
    상기 광원으로부터 입사된 광을, 일정 각도 확산시켜 진행시키는 시야를 가지는 렌즈;
    상기 렌즈로부터 입사된 광을 보어의 내벽으로 반사시키는 미러;
    상기 렌즈의 측부에 설치되며, 상기 보어의 내벽에 반사되어 입사되는 광을, 입사 방향과 동일하게 상기 보어의 내벽으로 재귀반사시키는 재귀반사부;
    상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 보어의 내벽 및 상기 미러를 경유한 광이 입사되며, 상기 보어의 내벽의 영상을 촬상하는 카메라; 및
    상기 렌즈와 상기 미러를 연결하는 광경로상에 배치되고, 상기 미러에 의해 반사된 후 상기 카메라로 직접 입사되는 광을 차단하는 광차단부;를 포함하며,
    상기 카메라, 상기 렌즈 및 상기 미러는 상기 보어의 내벽을 따라 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 실린더 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미러는 상기 렌즈를 향해 볼록하게 형성된 비구면 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 실린더 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 미러는 평행한 상면과 하면을 구비한 잘린 원뿔 형상으로 형성되며,
    상기 잘린 원뿔의 경사진 측면에 상기 렌즈로부터 입사된 광을 상기 보어의 내벽을 향해 반사시키는 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 실린더 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 카메라와 상기 렌즈 사이에 배치되며, 상기 광원으로부터 조사된 광을 반사시켜 상기 렌즈로 전송하고, 상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 보어의 내벽 및 상기 미러를 경유한 광을 투과시켜 상기 카메라로 전송하는 광전송부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상부에는 상기 카메라를 수용하고, 하부에는 상기 미러를 수용하며, 상기 카메라와 상기 미러 사이에 상기 광원, 상기 렌즈 및 상기 재귀반사부를 수용하며, 측벽은 광을 투과시키는 투명성 재질로 형성된 경통;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 검사장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170027482A (ko) 2015-09-02 2017-03-10 성현엠엔티(주) 관 내면 검사장치
CN106525867A (zh) * 2016-12-29 2017-03-22 重庆市江津区恩聪机械厂 汽缸外壳缺陷检测系统的视觉检测装置
CN109822619A (zh) * 2017-11-23 2019-05-31 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种柔性机器人应力检测机构

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101584455B1 (ko) * 2014-10-20 2016-01-11 한국광기술원 부품의 내부를 촬영하는 촬영 모듈 및 이를 이용한 촬영 시스템
KR101751985B1 (ko) 2015-09-03 2017-06-30 한국기계연구원 광학장치를 이용한 관내부 검사 시스템
KR101720326B1 (ko) 2015-09-08 2017-03-28 한국기계연구원 촬상소자가 관 내부에 삽입되는 관 검사용 광학장치
KR20170029954A (ko) 2015-09-08 2017-03-16 한국기계연구원 관 내부 검사용 광학장치
KR20170030239A (ko) 2015-09-09 2017-03-17 한국기계연구원 실린더 내벽 결함 검사 장치
CN109827517B (zh) * 2017-11-23 2020-07-31 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种铸件内腔机器人检测机构

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0031653A1 (en) * 1979-12-19 1981-07-08 Beecham Group Plc N-Substituted alpha-amino acids, processes for making them and pharmaceutical compositions containing them
JP2605168Y2 (ja) * 1993-07-07 2000-06-26 忠清 杉田 内視鏡
JP3454547B2 (ja) * 1993-09-14 2003-10-06 株式会社フジクラ 内面スキャナー装置
KR101180835B1 (ko) * 2010-04-02 2012-09-07 주식회사 쓰리비 시스템 결점 검사장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170027482A (ko) 2015-09-02 2017-03-10 성현엠엔티(주) 관 내면 검사장치
CN106525867A (zh) * 2016-12-29 2017-03-22 重庆市江津区恩聪机械厂 汽缸外壳缺陷检测系统的视觉检测装置
CN109822619A (zh) * 2017-11-23 2019-05-31 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种柔性机器人应力检测机构

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