KR20130086402A - System for measuring efficiency of spatial light modulator - Google Patents

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KR20130086402A
KR20130086402A KR1020120007122A KR20120007122A KR20130086402A KR 20130086402 A KR20130086402 A KR 20130086402A KR 1020120007122 A KR1020120007122 A KR 1020120007122A KR 20120007122 A KR20120007122 A KR 20120007122A KR 20130086402 A KR20130086402 A KR 20130086402A
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Abstract

PURPOSE: A system for measuring the performance of a spatial light modulator is provided to measure at least one of the intensity variation and the phase variation of the modulator. CONSTITUTION: A system (100) for measuring the performance of a spatial light modulator includes an optical source part (110), multiple optical splitters (122,124,126,128), the spatial light modulator, multiple optical detectors (142,144), an optical control unit (160), a photographing unit (180), and an analyzing unit (190). The optical source part includes an optical source (112) emitting light, and an optical diffuser (114) diffusing the light from the optical source. The optical splitter splits the light. The spatial light modulator modulates and outputs the light according to hologram information. The optical detector detects the intensity of the light, and the optical control unit controls the phase and the intensity of the light. The photographing unit photographs the interfered light, and the analyzing unit analyzes the performance of the spatial light modulator.

Description

공간 광변조기의 성능 측정 시스템{System for measuring efficiency of Spatial light modulator}System for measuring efficiency of Spatial light modulator

본 개시는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템에 관한 것이다.The present disclosure relates to a performance measurement system of a spatial light modulator.

3차원 영상 표시장치는 보다 더 사실적이고 효과적으로 영상을 표현할 수 있어 의료영상, 게임, 광고, 교육, 군사 등 여러 분야에서 요구되고 있으며, 이에 따라 3차원 영상을 구현하기 위한 방식으로 홀로그래피(holography)나 스테레오스코피(stereoscopy) 방식이 널리 연구되고 있다. 3D image display device is more realistic and effective to represent the image is required in various fields such as medical imaging, games, advertising, education, military, etc. Therefore, holography or holography Stereoscopy has been widely studied.

홀로그래피 방식은 피사체로부터의 빛과 간섭성이 있는 참조광을 겹쳐서 얻어지는 간섭신호를 기록하고 이를 재생하는 원리를 이용하는 것으로, 입체감 있는 영상을 구현하는 이상적인 디스플레이 방식이다. 1940년대 영국의 과학자 Dennis Gabor에 의해 홀로그래피가 제안 된 이후 수 많은 과학자들에 의해 홀로그래피의 연구가 진행되어 왔다. 현재 홀로그래피는 동화상 촬영을 위한 펄스 홀로그램, 넓은 공간 광경의 표시와 광 시야각을 가능하게 하는 스테레오 홀로그램, 대량 생산이 가능한 엠보스 홀로그램, 자연색을 표시하는 천연색 홀로그램, 디지털 촬상소자를 이용한 디지털 홀로그래피, 그리고 전자적인 홀로그램의 표시를 위한 전자 홀로그래피 등 여러 가지 기술이 개발 되고 있다. 1990년 이후 통용되고 있는 전자 홀로그래피는 차세대 영상기술로써 홀로그래피를 이용하는 방식을 연구하는 분야이다. 이는 원본 물체를 촬영한 영상을 화소별로 주사하여 전송하는 방식으로 홀로그램을 만들고 이 홀로그램에 포함된 데이터를 샘플링하여 전송하고, 이 전송된 데이터로부터 홀로그램을 복원하여 표시장치에 원본 대상물체를 복제하는 방식을 사용한다.The holography method uses the principle of recording and reproducing an interference signal obtained by superposing coherent reference light with light from a subject, and is an ideal display method for implementing a three-dimensional image. Since holography was proposed by the British scientist Dennis Gabor in the 1940's, the work of holography has been carried out by many scientists. Holography now includes pulse holograms for moving images, stereo holograms for wide spatial viewing and wide viewing angles, embossed holograms for mass production, natural holograms for natural colors, digital holography with digital imaging devices, and electronics. Various techniques have been developed, such as electronic holography for the display of conventional holograms. Electron holography, which has been used since 1990, is a field of study of the method of using holography as the next generation image technology. In this method, a hologram is created by scanning an image of an original photographed pixel by pixel, the data contained in the hologram is sampled and transmitted, the hologram is restored from the transmitted data, and the original object is copied to the display device Lt; / RTI >

　하지만 홀로그램에 포함된 데이터 양은 현실적으로 샘플링하여 전송하기에는 너무 많은 양 이므로 현재까지 컴퓨터로 제작된 홀로그램을 만들어 이것을 전기 광학적 방식으로 표시하는 연구가 수행되고 있다.　또한 홀로그램 소자의 한계를 극복하기 위한 형태의 여러 가지 홀로그램 시스템이 연구 되고 있다. 일 예로 홀로그램의 계산 데이터 량을 줄이기 위하여 아이 트래킹(Eye-tracking)방식을 통해 홀로그램을 표시하는 방식이나, 공간 광변조기를 포함한 홀로그램 광학소자의 성능을 측정하는 연구도 수행되고 있다. However, since the amount of data included in the hologram is too large to be sampled and transmitted, researches have been made on a hologram produced by a computer so as to display it in an electro-optical manner. Various hologram systems have been studied to overcome the limitation of the hologram element. For example, in order to reduce the amount of calculation data of the hologram, a hologram display method using eye tracking or a method of measuring the performance of a holographic optical device including a spatial light modulator has been conducted.

본 개시는 공간 광변조기의 성능을 측정하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템을 제공한다. The present disclosure provides a performance measurement system of a spatial light modulator that measures the performance of the spatial light modulator.

본 발명의 일 유형에 따르는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템은, 제1 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제2 및 제3 광으로 분배하는 제1 광분배기; 상기 제2 광의 세기를 검출하는 제1 광검출기; 홀로그램 정보가 기록되어 있으며, 상기 제3 광을 상기 홀로그램 정보에 따라 변조시켜 제4 광을 출력하는 공간 광변조기; 상기 제4 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 제5 및 제6 광으로 분배하는 제2 광분배기; 상기 제5 광의 세기를 검출하는 제2 광검출기; 및 상기 제2 광의 세기와 상기 제5 광의 세기를 기초로 상기 공간 광 변조기에서의 광효율을 산출하는 분석 장치;를 포함한다.A performance measuring system of a spatial light modulator according to one type of the present invention includes: a first optical splitter that partially reflects first light and transmits the rest to second and third light having different propagation paths; A first photodetector for detecting the intensity of the second light; A spatial light modulator having hologram information recorded thereon, and outputting a fourth light by modulating the third light according to the hologram information; A second optical splitter that partially reflects the fourth light and transmits the remaining light to the fifth and sixth lights; A second photodetector for detecting the intensity of the fifth light; And an analyzing device for calculating light efficiency in the spatial light modulator based on the intensity of the second light and the intensity of the fifth light.

그리고, 상기 분석 장치는, 상기 제2 광의 세기에 상기 제1 광분배기의 분배 비율을 곱하여 상기 제3 광의 세기를 예측하고, 상기 제5 광의 세기에 상기 제2 광분배기의 분배 비율을 곱한 값과 상기 제5 광의 세기를 더하여 상기 제4 광의 세기를 예측하며, 상기 예측된 제3 광의 세기에 대한 상기 예측된 제4 광의 세기로 상기 공간 광변조기의 세기 변화를 산출할 수 있다.The analyzer may estimate the intensity of the third light by multiplying the intensity of the second light by the distribution ratio of the first optical splitter, and the value obtained by multiplying the intensity of the fifth light by the distribution ratio of the second optical splitter. The intensity of the fourth light may be estimated by adding the intensity of the fifth light, and the intensity change of the spatial light modulator may be calculated based on the predicted intensity of the fourth light with respect to the predicted intensity of the third light.

또한, 광원; 및 상기 광원에서 출력된 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 상기 제1 광과 제7 광으로 분배하는 제3 광분배기;를 더 포함할 수 있다.In addition, a light source; And a third optical splitter that partially reflects the light output from the light source and transmits the remaining light to distribute the light to the first and seventh lights having different propagation paths.

그리고, 상기 광원은 가간섭성 광을 출력할 수 있다.The light source may output coherent light.

또한, 상기 광원에서 출력되는 광을 확산시키는 광환산기;를 더 포함할 수 있다.In addition, a light conversion device for diffusing the light output from the light source; may further include.

그리고, 상기 제7 광의 진행 경로를 변경시키는 제1 경로 변경기;를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a first path changer for changing a traveling path of the seventh light.

또한, 상기 제7 광의 세기 및 위상 중 적어도 하나를 조절하는 광 조절 장치; 및 상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 일부와 상기 제6광의 일부를 결합하여 출력하는 제4 광분배기;를 더 포함할 수 있다.In addition, the light adjusting device for adjusting at least one of the intensity and phase of the seventh light; And a fourth optical splitter configured to combine a portion of the light output from the light adjusting device and a portion of the sixth light to output the combined light.

그리고, 상기 제4 광분배기에서 출력된 광을 촬영하는 촬영 장치;를 더 포함하고, 상기 분석 장치는, 상기 촬영 장치에서 촬영된 영상으로부터 상기 제6 광과 상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 위상 차를 산출할 수 있다.And a photographing apparatus configured to photograph light output from the fourth optical splitter, wherein the analysis apparatus comprises: a phase difference between the sixth light and the light output from the light adjusting apparatus from an image photographed by the photographing apparatus; Can be calculated.

또한, 상기 광 조절 장치는, 상기 제7 광의 세기를 상기 제6 광의 세기와 동일한 세기로 조절할 수 있다.The light adjusting device may adjust the intensity of the seventh light to the same intensity as that of the sixth light.

그리고, 상기 광 조절 장치는, 상기 제7 광의 위상을 상기 홀로그램 정보에 대응하는 위상 변화 만큼 조절할 수 있다.The light adjusting device may adjust the phase of the seventh light by a phase change corresponding to the hologram information.

또한, 상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 진행 경로를 변경시키는 제2경로 변경기;를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a second path changer for changing a traveling path of the light output from the light adjusting device.

한편, 본 발명의 다른 유형에 따르는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템은,제1 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제2 및 제3 광으로 분배하는 제1 광분배기; 상기 제2 광의 세기를 검출하는 제1 광검출기; 제3 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제4 및 제5 광으로 분배하는 제2 광분배기; 홀로그램 정보가 기록되어 있으며, 상기 제5 광을 상기 홀로그램 정보에 따라 변조시켜 제6 광을 출력하는 공간 광변조기; 상기 제6 광의 일부인 제7 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 제8 및 제9 광으로 분배하는 제3 광분배기; 상기 제8 광의 세기를 검출하는 제2 검출기; 및 상기 제2 광의 세기와 상기 제8 광의 세기를 기초로 상기 공간 광 변조기에서의 광효율을 산출하는 분석 장치;를 포함한다. On the other hand, the performance measurement system of the spatial light modulator according to another type of the present invention, a first optical splitter that reflects the first light and transmits the rest to the second and third light having different propagation paths; A first photodetector for detecting the intensity of the second light; A second optical splitter that partially reflects the third light and transmits the other to distribute the fourth and fifth lights having different propagation paths; A spatial light modulator having hologram information recorded thereon, and outputting a sixth light by modulating the fifth light according to the hologram information; A third optical splitter that partially reflects the seventh light, which is a part of the sixth light, and transmits the remaining light to the eighth and ninth lights; A second detector for detecting the intensity of the eighth light; And an analyzing device for calculating light efficiency in the spatial light modulator based on the intensity of the second light and the intensity of the eighth light.

그리고, 상기 제2 광분배기는 상기 제6 광이 입사되면 상기 제7 광을 반사시킬 수 있다.The second optical splitter may reflect the seventh light when the sixth light is incident.

또한, 상기 분석 장치는, 상기 제2 광의 세기에 상기 제1 광분배기의 분배 비율을 곱하여 상기 제3 광의 세기를 예측하고 예측된 상기 제3 광의 세기에 상기 제2 광분배기의 투과율을 곱하여 상기 제5 광의 세기를 예측하며, 상기 제7 광의 세기에 상기 제3 광분배기의 분배 비율을 곱한 값과 상기 제7 광의 세기를 더하여 상기 제4 광의 세기를 예측하며, 상기 예측된 제3 광의 세기에 대한 상기 예측된 제4 광의 세기로 상기 공간 광변조기의 세기 변화를 산출할 수 있다. The analyzer may further estimate the intensity of the third light by multiplying the intensity of the second light by the distribution ratio of the first light splitter and multiply the predicted intensity of the third light by the transmittance of the second light splitter. Predicting the intensity of the light, and predicting the intensity of the fourth light by multiplying the intensity of the seventh light by the distribution ratio of the third light splitter and the intensity of the seventh light, and predicting the intensity of the fourth light. The intensity change of the spatial light modulator may be calculated based on the predicted intensity of the fourth light.

본 개시의 성능 측정 시스템은 공간 광변조기의 세기 변화량 및 위상 변화량 중 적어도 하나를 측정할 수 있다.The performance measurement system of the present disclosure may measure at least one of an intensity change amount and a phase change amount of the spatial light modulator.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공간 광변조기의 성능을 측정하는 시스템의 블록도이다.
도 2는 1에 도시된 시스템의 분석 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 공간 광변조기의 성능을 측정하는 시스템의 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시된 시스템의 분석 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이다.1 is a block diagram of a system for measuring the performance of a spatial light modulator in accordance with one embodiment of the present invention.
2 is a block diagram schematically showing an analysis apparatus of the system shown in FIG. 1.
3 is a block diagram of a system for measuring the performance of a spatial light modulator in accordance with another embodiment of the present invention.
4 is a block diagram schematically illustrating an analysis apparatus of the system illustrated in FIG. 3.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공간 광변조기(130)의 성능을 측정하는 시스템(100)의 블록도이다. 도 2는 1에 도시된 시스템(100)의 분석 장치(190)를 개략적으로 도시한 블럭도이다. 도 1에 도시된 성능 측정 시스템(100)은 투과형 공간 광변조기(130)의 성능을 측정할 수 있다. 1 is a block diagram of a system 100 for measuring the performance of a spatial light modulator 130 in accordance with one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram schematically showing an analysis device 190 of the system 100 shown in FIG. 1. The performance measurement system 100 illustrated in FIG. 1 may measure the performance of the transmissive spatial light modulator 130.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 시스템(100)은, 광을 출사하는 광원부(110), 광을 분배시키는 다수의 광분배기(122, 124, 126, 128), 공간 광변조기(130), 광의 세기를 검출하는 다수의 광검출기(142, 144), 광의 위상 및 세기를 조절하는 광 조절 장치(160), 간섭된 광을 촬영하는 촬영 장치(180) 및 공간 광변조기(130)의 성능을 분석하는 분석 장치(190)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a system 100 according to an embodiment includes a light source unit 110 that emits light, a plurality of light distributors 122, 124, 126, and 128 that distribute light, and a spatial light modulator 130. Performance of the plurality of photodetectors 142 and 144 for detecting the intensity of light, the light adjusting device 160 for adjusting the phase and intensity of the light, the imaging device 180 for photographing the interfering light, and the spatial light modulator 130 It includes an analysis device 190 for analyzing the.

광원부(110)는 광을 출사하는 광원(112) 및 광원(112)에서 출사된 광을 확산시키는 광확산기(114)를 포함할 수 있다. 광원(112)에서 출사되는 광은 가간섭성 레이저일 수 있다. 설명의 편의를 도모하기 위해 광원부(110)에서 출력되는 광을 제1 광이라고 하며, 각 구성요소를 투과한 광에 대해서도 제2 내지 제10 광 등으로 각각 칭한다. The light source unit 110 may include a light source 112 that emits light and a light diffuser 114 that diffuses the light emitted from the light source 112. The light emitted from the light source 112 may be a coherent laser. For convenience of explanation, the light output from the light source unit 110 is referred to as first light, and the light transmitted through each component is also referred to as second to tenth light, and the like.

제1 광분배기(122)는 광원부(110)에서 출력된 제1 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제1 광을 진행 경로가 다른 제2 광 및 제3 광으로 분배한다. 제2 광과 제3 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 여기서 광분배기의 분배 비율은 반사율에 대한 투과율을 칭한다. 제1 광분배기(122)의 분배 비율은 1일 수 있다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다. The first light splitter 122 partially reflects and partially transmits the first light output from the light source unit 110, thereby distributing the first light into second and third lights having different propagation paths. The advancing path of the second light and the third light may be perpendicular. However, it is not limited thereto. Here, the distribution ratio of the light splitter refers to the transmittance with respect to the reflectance. The distribution ratio of the first optical splitter 122 may be one. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

제1 광분배기(122)를 투과한 제2 광은 제2 광분배기(124)로 입사된다. 제2 광분배기(124)도 제2 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제2 광을 제4 광 및 제5 광으로 분배한다. 제4 광과 제5 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 분배 비율은 제4 광의 세기가 제5 광의 세기보다 작을 수 있다. 제4 광은 후술하겠지만 공간 광변조기(130)에 입사되는 광을 예상하는데 이용되기 때문이다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다.The second light passing through the first optical splitter 122 is incident to the second optical splitter 124. The second light splitter 124 also distributes the second light into the fourth and fifth light by partially reflecting and partially transmitting the second light. The fourth light and the fifth light may have perpendicular paths. However, it is not limited thereto. In addition, the distribution ratio may be that the intensity of the fourth light is less than the intensity of the fifth light. Although the fourth light will be described later, it is used to predict the light incident on the spatial light modulator 130. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

제2 광분배기(124)에서 반사된 제4 광은 제1 광검출기(142)로 입사된다. 제1 광검출기(142)는 포토다이오드를 포함할 수 있다. 그리하여, 제2 광분배기(124)는 제4 광을 수광하여 전기적 신호로 변환한다. The fourth light reflected by the second optical splitter 124 is incident to the first photodetector 142. The first photodetector 142 may include a photodiode. Thus, the second optical splitter 124 receives the fourth light and converts it into an electrical signal.

그리고, 제2 광분배기(124)를 투과한 제5 광은 공간 광변조기(130)로 입사되어 투과된다. 공간 광변조기(130)는 홀로그램 정보가 기록된 소자이다. 그리하여, 공간 광변조기(130)로 광이 입사되면, 입사된 광은 공간 광변조기(130)를 투과하면서 위상이 변하여 홀로그램을 재생한다. 제어 장치는 공간 광변조기(130)에 홀로그램 정보를 기록하거나 삭제할 수 있는 장치이다. 제어 장치는 홀로그램 정보를 실시간으로 기록 또는 제거할 수 있다. The fifth light transmitted through the second light splitter 124 is incident to the spatial light modulator 130 and then transmitted. The spatial light modulator 130 is a device in which hologram information is recorded. Thus, when light is incident on the spatial light modulator 130, the incident light is transmitted through the spatial light modulator 130, the phase is changed to reproduce the hologram. The control device is a device capable of recording or deleting hologram information in the spatial light modulator 130. The control device may record or remove the hologram information in real time.

한편, 광이 공간 광변조기(130)를 투과할 때 반사 등의 이유로 투과되는 광의 세기가 감소될 수 있다. 투과형 공간 광변조기(130)는 입사된 광의 세기에 대해 투과되는 광의 세기가 클수록 성능이 우수하다고 할 수 있다. 그러므로, 투과된 광의 세기를 측정하여 공간 광변조기(130)의 성능을 평가할 수 있다. 뿐만 아니라, 공간 광변조기(130)의 성능을 평가하기 위해 홀로그램 정보에 의한 광의 위상 변화도 측정할 필요가 있다. 일단 광의 세기 변화를 측정하는 방법에 대해 설명한다. On the other hand, when the light passes through the spatial light modulator 130, the intensity of the transmitted light may be reduced for reasons such as reflection. The transmissive spatial light modulator 130 may be said to have better performance as the intensity of light transmitted to the intensity of incident light increases. Therefore, it is possible to evaluate the performance of the spatial light modulator 130 by measuring the intensity of the transmitted light. In addition, in order to evaluate the performance of the spatial light modulator 130, it is necessary to measure the phase change of the light due to the hologram information. First, a method of measuring the change in intensity of light will be described.

제2 광분배기(124)를 투과하는 제5 광은 공간 광변조기(130)에 입사되어 위상 및 세기 중 적어도 하나가 변화된 제6 광으로 출력된다. 상기한 제6 광은 제3 광분배기(126)로 입사된다. 제3 광분배기(126)도 제6 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제6 광을 제7 광 및 제8 광으로 분배한다. 제7 광과 제8 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 분배 비율은 제7 광의 세기가 제8 광의 세기보다 작을 수 있다. 제8 광은 후술하겠지만 공간 광변조기(130)에 의한 광의 위상 변화를 평가하는데 이용되기 때문이다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다.The fifth light passing through the second optical splitter 124 is incident on the spatial light modulator 130 and output as the sixth light having at least one of phase and intensity changed. The sixth light is incident on the third light splitter 126. The third light splitter 126 also distributes the sixth light to the seventh and eighth light by partially reflecting the sixth light and partially transmitting the sixth light. The seventh and eighth lights may have perpendicular paths. However, it is not limited thereto. In addition, the distribution ratio may be that the intensity of the seventh light is less than the intensity of the eighth light. This is because the eighth light will be described later, but is used to evaluate the phase change of the light by the spatial light modulator 130. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

제3 광분배기(126)에서 반사된 제7 광은 제2 광검출기(144)로 입사된다. 제2 광검출기(144)도 제1 광검출기(142)와 마찬가지로 포토다이오드를 포함할 수 있다. 제2 광검출기(144)는 제7 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하여 분석 장치(190)로 인가한다. 그리고, 제8 광은 제4 광분배기(128)로 입사한다. 제4 광분배기(128)는 제3 광분배기(126)에서 투과된 제8 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제8 광을 진행 경로가 다른 제9 광 및 제10 광으로 분배한다. 제9 광과 제10 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 제10 광은 제4 광분배기(128)를 투과하여 촬영 장치(180)로 진행하는 광이다. The seventh light reflected by the third optical splitter 126 is incident to the second photodetector 144. The second photodetector 144 may include a photodiode similarly to the first photodetector 142. The second photodetector 144 receives the seventh light, converts the seventh light into an electrical signal, and applies the same to the analysis device 190. Then, the eighth light is incident on the fourth light splitter 128. The fourth optical splitter 128 partially reflects and partially transmits the eighth light transmitted by the third optical splitter 126 to thereby distribute the eighth light to the ninth and tenth lights having different propagation paths. The ninth light and the tenth light may have perpendicular paths. The tenth light passes through the fourth light splitter 128 and travels to the imaging device 180.

한편, 공간 광변조기(130)에 의한 광의 위상 변화에 대한 정확도를 측정하기 위해, 광 조절 장치(160)에 의해 제1 광분배기(122)에서 투과된 제3 광은 위상 및 세기가 조절된다. 광 조절 장치(160)는 위상을 조절하는 위상 지연판과 세기를 조절하는 ND(Nuetral Density) 필터를 포함할 수 있다. 위상 지연판 및 ND 필터는 제3 광의 진행 경로 상에 순차적으로 배치될 수 있다. 위상 지연판은 제3 광을 홀로그램 정보에 대응하는 위상 변화만큼 지연시킨다. 그리고, ND 필터는 위상 지연된 제3 광의 세기를 제3 광분배기(126)에서 출력되는 제8 광의 세기로 조절할 수 있다. On the other hand, in order to measure the accuracy of the phase change of the light by the spatial light modulator 130, the phase and intensity of the third light transmitted from the first optical splitter 122 by the light adjusting device 160 is adjusted. The light regulating device 160 may include a phase delay plate for adjusting phase and a NU (Nuetral Density) filter for adjusting the intensity. The phase retardation plate and the ND filter may be sequentially disposed on the traveling path of the third light. The phase retarder delays the third light by a phase change corresponding to the hologram information. The ND filter may adjust the intensity of the phase-delayed third light to the intensity of the eighth light output from the third optical splitter 126.

광 조절 장치(160)에 의해 위상 및 세기가 조절된 제3 광을 제11 광이라고 칭한다. 제4 광분배기(128)는 입사되는 제11 광의 일부는 반사시키고 나머지는 투과시킴으로써, 제11 광을 제12 광과 제13 광으로 분배한다. 제12 광은 제10 광과 동일한 진행 경로로 진행하므로 간섭된다. 그리하여, 촬영 장치(180)는 제10 광과 제12 광이 간섭된 광 간섭 영상을 촬영할 수 있다. The third light whose phase and intensity are adjusted by the light adjusting device 160 is referred to as eleventh light. The fourth light splitter 128 reflects a part of the incident eleventh light and transmits the remaining light to distribute the eleventh light to the twelfth light and the thirteenth light. The twelfth light travels in the same traveling path as that of the tenth light and thus is interfered with. Thus, the photographing apparatus 180 may photograph the optical interference image in which the tenth light and the twelfth light interfere.

한편, 제10 광과 제12 광의 진행 경로를 일치시키기 위해, 광의 이동 경로를 변경시킬 수 있는 하나 이상의 경로 변경기를 더 포함할 수 있다. 도 1에서는 제3 광의 진행경로를 90도 변경시키는 제1 경로 변경기(172), 광 조절기에서 출사된 광을 90도 변경시켜 제4 광분배기(128)로 입사시키는 제2 경로 변경기(174)가 도시되어 있다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이다. 따라서, 이에 한정되지 않는다. 경로 변경기는 미러일 수 있다. Meanwhile, in order to match the traveling path of the tenth light and the twelfth light, one or more path changers capable of changing the moving path of the light may be further included. In FIG. 1, a first path changer 172 which changes a traveling path of a third light by 90 degrees, and a second path changer 174 which enters the fourth optical splitter 128 by changing the light emitted from the light controller by 90 degrees. ) Is shown. However, this is for convenience of explanation. Therefore, it is not limited to this. The path changer can be a mirror.

도 2를 참조하면, 분석 장치(190)는 제1 광검출기(142)에서 검출된 제4 광의 세기로부터 공간 광변조기(130)에 입사되는 제5 광의 세기를 예측하는 제1 세기 예측부(191), 제2 광검출기(144)에서 검출된 제7 광의 세기로부터 공간 광변조기(130)에서 출력되는 제6 광의 세기를 예측하는 제2 세기 예측부(192), 제1 세기 예측부(191) 및 제2 세기 예측부(192)의 결과로부터 광의 세기 변화를 산출하는 제1 산출부(193) 및 촬영 장치(180)에서 인가된 광간섭 영상으로부터 위상 변화의 정확도를 산출하는 제2 산출부(194)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2, the analysis apparatus 190 may include a first intensity predictor 191 that predicts the intensity of the fifth light incident on the spatial light modulator 130 from the intensity of the fourth light detected by the first photodetector 142. ), A second intensity predictor 192 and a first intensity predictor 191 which predict the intensity of the sixth light output from the spatial light modulator 130 from the intensity of the seventh light detected by the second photodetector 144. And a first calculator 193 that calculates a change in intensity of light from the result of the second intensity predictor 192 and a second calculator that calculates an accuracy of a phase change from an optical interference image applied by the photographing apparatus 180 ( 194).

제1 세기 예측부(191)는 제4 광의 세기에 제2 광분배기(124)의 분배 비율을 곱하여 제5 광의 세기를 예측한다. 예를 들어, 제2 광분배기(124)의 분배 비율이 9이면, 제1 세기 산출부는 제4 광의 세기에 9를 곱하여 제5 광의 세기를 예측한다.The first intensity predictor 191 multiplies the intensity of the fourth light by the distribution ratio of the second optical splitter 124 to predict the intensity of the fifth light. For example, if the distribution ratio of the second optical splitter 124 is 9, the first intensity calculator multiplies the intensity of the fourth light by 9 to predict the intensity of the fifth light.

제2 세기 예측부(192)는 제7 광의 세기에 제3 광분배기(126)의 분배 비율을 곱한 값과 제7 광의 세기를 더하여 제6 광의 세기를 예측한다. 제3 광분배기(126)의 분배 비율은 제6 광이 제7 광과 제8 광으로 분배될 때, 제7 광의 세기에 대한 제8 광의 세기를 말한다. 예를 들어, 제6 광의 세기가 10이고, 제3 광분배기(126)의 분배 비율이 7/3이면, 제2 광검출기(144)는 3인 제7 광의 세기를 검출하여 그 결과를 제2 세기 예측부(192)에 인가한다. 제2 세기 예측부(192)는 제7 광의 세기인 3에 제3 광분배기(126)의 분배 비율이 7/3을 곱한 값인 7에 제7 광의 세기인 3을 더한 10을 제6 광의 세기로 예측한다. The second intensity predicting unit 192 predicts the intensity of the sixth light by adding the seventh light intensity multiplied by the distribution ratio of the third light splitter 126 to the seventh light intensity. The distribution ratio of the third light splitter 126 refers to the intensity of the eighth light with respect to the intensity of the seventh light when the sixth light is divided into the seventh and eighth lights. For example, if the intensity of the sixth light is 10 and the distribution ratio of the third light splitter 126 is 7/3, the second photodetector 144 detects the intensity of the seventh light of 3 and returns the result of the second light. The intensity predictor 192 is applied. The second intensity predicting unit 192 calculates the seventh intensity of the seventh light by adding three, the intensity of the seventh light, to the sixth intensity of the seventh light, in which the distribution ratio of the third optical splitter 126 is multiplied by 7/3. Predict.

그리고 나서, 제1 산출부(193)는 예측된 제5 광의 세기에 대한 예측된 제6 광의 세기를 세기 변화율로 한다. 세기 변화율이 1에 가까울수록 공간 광변조기(130)의 성능은 우수하다고 평가할 수 있다.Then, the first calculator 193 sets the predicted intensity of the sixth light to the predicted intensity of the fifth light as the intensity change rate. As the intensity change rate approaches 1, the performance of the spatial light modulator 130 may be evaluated to be excellent.

또한, 촬영 장치(180)에서 인가된 영상은 광간섭 영상이므로, 제2 산출부(194)는 광간섭 영상으로부터 공간 광변조기(130)에 의해 위상이 변경된 제10 광과 광 조절 장치(160)에 의해 위상이 변경된 제12 광의 위상차를 산출한다. 제10 광은 제6 광과 세기만 다를 뿐 위상은 동일하고, 제12 광은 제11 광과 세기만 다를 뿐 위상이 동일하기 때문에 제10 광과 제12 광의 위상차로 제6 광과 제11 광의 위상차를 산출할 수 있다. 산출된 위상차가 0에 가까울수록 공간 광변조기(130)의 성능은 우수하다고 평가할 수 있다. 제10 광은 제6 광과 세기만 다를 뿐 위상은 동일하고, 제12 광은 제11 광과 세기만 다를 뿐 위상이 동일하다. In addition, since the image applied by the photographing apparatus 180 is an optical interference image, the second calculator 194 may adjust the tenth light and the light adjusting device 160 whose phase is changed by the spatial light modulator 130 from the optical interference image. The phase difference of the 12th light whose phase changed by is computed. Since the tenth light differs in intensity only from the sixth light, and the same phase, and the twelfth light differs in intensity only from the eleventh light, the tenth light has a phase difference between the sixth light and the eleventh light. The phase difference can be calculated. As the calculated phase difference approaches zero, the performance of the spatial light modulator 130 may be evaluated to be excellent. The tenth light differs only in intensity from the sixth light, and the phase is the same, and the twelfth light differs in intensity only from the eleventh light and is identical in phase.

성능 출력부(195)는 제1 산출부(193)에서 산출된 세기 변화율에 대한 정보 또는 위상 변화율에 대한 정보를 수치로 출력한다. 성능 출력부(195)는 디스플레이부로 구현될 수 있다. 상기와 같은 분석 장치(190)는 PC 등으로 구현될 수 있다.The performance output unit 195 numerically outputs information on the intensity change rate or information on the phase change rate calculated by the first calculator 193. The performance output unit 195 may be implemented as a display unit. The analysis device 190 as described above may be implemented as a PC.

도 1은 투과형 공간 광변조기(130)의 성능을 측정하는 시스템(100)에 대해 설명하였다. 반사형 공간 광변조의 성능도 측정할 수 있다. 단지 반사형 공간 광변조기(130)는 입사된 광을 반사시켜 홀로그램을 재생시키기 때문에 불필요한 광이 제1 및 제2 광검출기(144)와 촬영 장치(180) 등에 입사되는 것을 방지하는 파장판 또는 편광판이 추가적으로 필요할 수 있다. 1 illustrates a system 100 for measuring the performance of a transmissive spatial light modulator 130. The performance of reflective spatial light modulation can also be measured. Since only the reflective spatial light modulator 130 reflects the incident light to reproduce the hologram, the wavelength plate or the polarizing plate which prevents unnecessary light from entering the first and second photodetectors 144 and the imaging device 180, etc. This may be necessary in addition.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공간 광변조기(230)의 성능을 측정하는 시스템(200)의 블록도이다. 도 4은 도 3에 도시된 시스템(200)의 분석 장치(290)를 개략적으로 도시한 블럭도이다. 3 is a block diagram of a system 200 for measuring the performance of a spatial light modulator 230 in accordance with one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram schematically illustrating an analysis device 290 of the system 200 shown in FIG. 3.

도 3을 참조하면, 다른 실시예에 따른 시스템(100)은, 광을 출사하는 광원부(210), 광을 분배시키는 다수의 광분배기(222, 224, 226, 228), 공간 광변조기(230), 광의 세기를 검출하는 다수의 광검출기(242, 244), 광의 위상 및 세기를 조절하는 광 조절 장치(260) 및 간섭된 광을 촬영하는 촬영 장치(280) 및 공간 광변조기(230)의 성능을 분석하는 분석 장치(290)를 포함한다.Referring to FIG. 3, a system 100 according to another embodiment includes a light source unit 210 that emits light, a plurality of light distributors 222, 224, 226, and 228 that distribute light, and a spatial light modulator 230. Performance of the plurality of photodetectors 242 and 244 for detecting the intensity of light, the light adjusting device 260 for adjusting the phase and intensity of the light, and the imaging device 280 and the spatial light modulator 230 for photographing the interfering light. It includes an analysis device 290 for analyzing the.

광원부(210)는 광을 출사하는 광원(212) 및 광원(212)에서 출사된 광을 확산시키는 광확산기(214)를 포함할 수 있다. 광원(212)에서 출사되는 광은 가간섭성 레이저일 수 있다. 광원부(210)와 제1 광분배기(222) 사이에는 1/4 파장판(310)이 배치되어 있다. 그리하여, 광원부(210)에서 출사되는 선형 편광은 1/4 파장판(310)에 의해 원형 편광으로 변환된다. 제1 광분배기(122)로 입사되는 원형 편광을 제1 광이라고 칭한다. The light source unit 210 may include a light source 212 that emits light and a light diffuser 214 that diffuses the light emitted from the light source 212. The light emitted from the light source 212 may be a coherent laser. The quarter wave plate 310 is disposed between the light source unit 210 and the first optical splitter 222. Thus, the linearly polarized light emitted from the light source unit 210 is converted into circularly polarized light by the quarter wave plate 310. Circularly polarized light incident on the first optical splitter 122 is called first light.

제1 광분배기(122)는 입사된 제1 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제1 광을 진행 경로가 다른 제2 광 및 제3 광으로 분배한다. 제2 광과 제3 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 분배 비율은 일대일일 수 있다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다. The first optical splitter 122 partially reflects the incident first light and partially transmits the first light, thereby distributing the first light into second and third light having different propagation paths. The advancing path of the second light and the third light may be perpendicular. However, it is not limited thereto. In addition, the distribution ratio may be one-to-one. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

제1 광분배기(222)를 투과한 제3 광은 제2 광분배기(224)로 입사된다. 제2 광분배기(224)도 제3 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제3 광을 제4 광 및 제5 광으로 분배한다. 제4 광과 제5 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 분배 비율은 제4 광의 세기가 제5 광의 세기보다 작을 수 있다. 제4 광은 후술하겠지만 공간 광변조기(230)에 입사되는 광을 예상하는데 이용되기 때문이다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다.The third light passing through the first optical splitter 222 is incident to the second optical splitter 224. The second light splitter 224 also distributes the third light into the fourth and fifth light by partially reflecting the third light and partially transmitting the third light. The fourth light and the fifth light may have perpendicular paths. However, it is not limited thereto. In addition, the distribution ratio may be that the intensity of the fourth light is less than the intensity of the fifth light. Although the fourth light will be described later, it is used to predict the light incident on the spatial light modulator 230. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

제2 광분배기(224)에서 반사된 제4 광은 제1 광검출기(242)로 입사된다. 제1 광검출기(242)는 포토다이오드를 포함할 수 있다. 그리하여, 제2 광분배기(224)는 제4 광을 수광하여 전기적 신호로 변환한다. The fourth light reflected by the second optical splitter 224 is incident to the first photodetector 242. The first photodetector 242 may include a photodiode. Thus, the second optical splitter 224 receives the fourth light and converts it into an electrical signal.

한편, 제1 광분배기(222)와 제2 광분배기(224) 사이에는 제2 광의 진행 경로를 변경시키는 제1 경로 변경기(272)가 더 포함될 수 있다. 제1 경로 변경기(272)는 제2 광의 진행 경로를 90도 변경시킬 수 있다. Meanwhile, a first path changer 272 for changing the traveling path of the second light may be further included between the first light splitter 222 and the second light splitter 224. The first path changer 272 may change the traveling path of the second light by 90 degrees.

제3 광분배기(226)는 제2 광분배기(224)를 투과한 제5 광을 일부는 투과시키고 일부는 반사시킴으로써, 제6 광과 제7 광으로 분배한다. 제6 광과 제7 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 분배 비율은 1일 수 있다. 제7 광은 공간 광변조기(230)에 입사되지만, 제6 광은 본 시스템(200)에서 이용된다. 그러나, 이는 설명의 편의를 도모하기 위함이고, 이에 한정되지 않는다.The third optical splitter 226 partially transmits the fifth light transmitted through the second optical splitter 224 and reflects the fifth light, thereby splitting the sixth light and the seventh light. The sixth light and the seventh light may have perpendicular paths. However, it is not limited thereto. In addition, the distribution ratio may be one. The seventh light is incident on the spatial light modulator 230, but the sixth light is used in the present system 200. However, this is for convenience of description and the present invention is not limited thereto.

그리고, 제3 광분배기(226)를 투과한 제7 광은 공간 광변조기(230)로 입사되어 반사된다. 공간 광변조기(230)는 홀로그램 정보가 기록된 소자이다. 그리하여, 공간 광변조기(230)로 광이 입사되면, 입사된 광은 공간 광변조기(230)를 반사하면서 위상이 변하여 홀로그램을 재생한다. 제어 장치는 공간 광변조기(230)에 홀로그램 정보를 기록하는 장치이다. 광이 공간 광변조기(230)를 투과할 때 투과 등의 이유로 반사되는 광의 세기가 감소될 수 있다. 반사형 공간 광변조기(230)는 반사되는 광의 세기가 많을수록 성능이 우수하다고 할 수 있다. 그러므로, 반사된 광의 세기를 측정하여 공간 광변조기(230)의 성능을 평가할 수 있다. The seventh light transmitted through the third optical splitter 226 is incident on the spatial light modulator 230 and reflected. The spatial light modulator 230 is a device in which hologram information is recorded. Thus, when light enters the spatial light modulator 230, the incident light reflects the spatial light modulator 230, and the phase is changed to reproduce the hologram. The control device is a device for recording hologram information in the spatial light modulator 230. When light passes through the spatial light modulator 230, the intensity of the reflected light may be reduced due to transmission or the like. The reflective spatial light modulator 230 may be said to have better performance as the intensity of reflected light increases. Therefore, it is possible to evaluate the performance of the spatial light modulator 230 by measuring the intensity of the reflected light.

제3 광분배기(226)를 투과하는 제7 광은 공간 광변조기(230)에 입사되어 위상 및 세기 중 적어도 하나가 변화된 제8 광으로 출력된다. 상기한 제8 광은 제3 광분배기(226)로 입사된다. 제3 광분배기(226)도 제8 광을 일부는 반사시키고 일부는 투과시킴으로써, 제8 광을 제9 광 및 제10 광으로 분배한다. 제9 광과 제10 광은 진행 경로가 수직일 수 있다. 제9 광은 공간 광변조기(230)의 성능을 측정하는데 이용된다.The seventh light passing through the third optical splitter 226 is incident on the spatial light modulator 230 and output as the eighth light having at least one of phase and intensity changed. The eighth light is incident on the third optical splitter 226. The third light splitter 226 also distributes the eighth light into the ninth and tenth light by partially reflecting the eighth light and transmitting the eighth light. The ninth light and the tenth light may have perpendicular paths. The ninth light is used to measure the performance of the spatial light modulator 230.

제3 광분배기(226)에서 반사된 제9 광은 제4 광분배기(228)에서 일부는 반사되고 일부는 투사된다. 제9 광 중 제4 분배기에서 반사된 광을 제11 광이라고 하고, 제9 광 중 제4 광분배기(228)를 투과한 광을 제12 광이라고 한다. 제 11 광은 제2 광검출기(244)로 입사된다. 제2 광검출기(244)도 제1 광검출기(242)와 마찬가지로 포토다이오드를 포함할 수 있다. 제2 광검출기(244)는 제11 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하여 분석 장치(290)로 인가한다. 한편, 제4 광분배기(228)를 투과한 제12 광의 진행 경로상에는 제1 수평 편광판(320) 및 촬영 장치(280)가 순차적으로 배치된다. 제1 수평 편광판(320)에 의해 원형 편광인 제12 광 중 수직 편광된 성분은 차단되고, 수평 편광된 성분만이 촬영 장치(280)에 입사된다. The ninth light reflected by the third optical splitter 226 is partially reflected and partially projected by the fourth optical splitter 228. Among the ninth lights, the light reflected by the fourth distributor is called eleventh light, and the light transmitted through the fourth light splitter 228 of the ninth lights is called twelfth light. The eleventh light is incident on the second photodetector 244. The second photodetector 244 may include a photodiode similarly to the first photodetector 242. The second photodetector 244 receives the eleventh light, converts it into an electrical signal, and applies the same to the analyzer 290. Meanwhile, the first horizontal polarizer 320 and the photographing apparatus 280 are sequentially disposed on the path of the twelfth light transmitted through the fourth optical splitter 228. The vertically polarized component of the twelfth light that is circularly polarized by the first horizontal polarizer 320 is blocked, and only the horizontally polarized component is incident on the imaging device 280.

한편, 제1 광분배기(222)를 투과한 제2 광의 진행 경로상에는 제2 수평 편광판(330)이 배치된다. 제2 수평 편광판(330)은 원형 편광인 제2 광 중 수직 편광 성분을 차단하여 수평 편광된 제2 광을 투과시킨다. 또한, 제1 광분배기(222)와 광 조절 장치(260) 사이에는 제2 경로 변경기(274)가 배치될 수 있다. 제2 경로 변경기(274)는 제2 광의 진행 경로를 90도 변경시킬 수 있다. 도 3에서 제2 경로 변경기(274)가 제2 수평 편광판(330)과 광 조절 장치(260) 사이에 배치되어 수평 편광된 제3 광의 진행 경로를 변경시키는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제2 수평 편광판(330)이 제2 경로 변경기(274)와 광 조절 장치(260) 사이에 배치되어 제2 경로 변경기(274)는 원형 편광된 제2 광의 진행 경로를 변경시킬 수도 있다. On the other hand, the second horizontal polarizer 330 is disposed on the traveling path of the second light transmitted through the first optical splitter 222. The second horizontal polarizer 330 transmits the horizontally polarized second light by blocking the vertical polarization component of the second light that is circularly polarized light. In addition, a second path changer 274 may be disposed between the first light splitter 222 and the light control device 260. The second path changer 274 may change the traveling path of the second light by 90 degrees. In FIG. 3, the second path changer 274 is disposed between the second horizontal polarizer 330 and the light control device 260 to change the traveling path of the third polarized light, but the present invention is not limited thereto. . The second horizontal polarizer 330 may be disposed between the second path changer 274 and the light adjusting device 260 so that the second path changer 274 may change the traveling path of the circularly polarized second light.

공간 광변조기(230)에 의한 광의 위상 변화에 대한 정확도를 측정하기 위해, 광 조절 장치(260)에 의해 수평 편광된 제2 광은 위상 및 세기가 조절된다. 광 조절 장치(260)는 위상을 조절하는 위상 지연판과 세기를 조절하는 ND(Nuetral Density) 필터를 포함할 수 있다. 위상 지연판 및 ND 필터는 수평 편광된 제2 광의 진행 경로 상에 순차적으로 배치될 수 있다. 위상 지연판은 수평 편광된 제2 광을 홀로그램 정보에 대응하는 위상 변화만큼 지연시킨다. 그리고, ND 필터는 위상 지연된 수평 편광된 제2 광의 세기를 공간 광변조기(230)에서 출력되는 제8 광의 세기로 조절할 수 있다. In order to measure the accuracy of the phase change of the light by the spatial light modulator 230, the second light horizontally polarized by the light adjusting device 260 is adjusted in phase and intensity. The light adjusting device 260 may include a phase retardation plate for adjusting phase and a NU (Nuetral Density) filter for adjusting the intensity. The phase retardation plate and the ND filter may be sequentially disposed on a traveling path of the horizontally polarized second light. The phase retarder delays the horizontally polarized second light by a phase change corresponding to the hologram information. The ND filter may adjust the intensity of the horizontally delayed second polarized light to the intensity of the eighth light output from the spatial light modulator 230.

광 조절 장치(260)에 의해 위상 및 세기가 조절된 수평 편광된 제3 광을 제13 광이라고 칭한다. 제3 광분배기(226)는 제13 광의 일부는 반사시키고 제13 광의 나머지는 투과시킨다. 제3 광분배기(226)를 투과한 제13 광의 일부를 제14 광이라고 한다. 또한, 제4 광분배기(228)는 제14 광의 일부는 반사시키고 제14 광의 나머지는 투과시킨다. 제14 광 중 제4 광분배기(228)에 의해 반사된 광을 제15 광이라고 하고, 제14 광 중 제4 광분배기(228)를 투과한 광을 제16 광이라고 한다. The horizontally polarized third light whose phase and intensity are adjusted by the light adjusting device 260 is referred to as thirteenth light. The third light splitter 226 reflects part of the thirteenth light and transmits the rest of the thirteenth light. A part of the thirteenth light transmitted through the third optical splitter 226 is called fourteenth light. In addition, the fourth light splitter 228 reflects part of the fourteenth light and transmits the remainder of the fourteenth light. The light reflected by the fourth optical splitter 228 among the fourteenth lights is called the fifteenth light, and the light transmitted through the fourth optical splitter 228 among the fourteenth lights is called the sixteenth light.

한편, 제4 광분배기(228)와 제2 광검출기(244) 사이에는 수직 편광판(340)이 배치된다. 제15 광은 수평으로 편광된 광이기 때문에 수직 편광판(340)에 의해 차단된다. 제4 광분배기(228)를 투과한 제16 광의 진행 경로 상에는 제1 수평 편광판(320) 및 촬영 장치(280)가 순차적으로 배치되어 있다. 제16 광은 수평으로 편광된 광이기 때문에 제1 수평 편광판(320)을 통과한다. 또한, 공간 광변조기(230)에서 반사되어 제3 및 제4 광분배기(226, 228)를 투과한 제12 광 중 제1 수평 편광판(320)을 통과한 수평 편광된 제12 광은 제16 광과 간섭 무늬를 형성한다. Meanwhile, a vertical polarizer 340 is disposed between the fourth optical splitter 228 and the second photodetector 244. Since the fifteenth light is horizontally polarized light, the fifteenth light is blocked by the vertical polarizer 340. The first horizontal polarizer 320 and the photographing apparatus 280 are sequentially disposed on the path of the sixteenth light passing through the fourth optical splitter 228. Since the sixteenth light is horizontally polarized light, it passes through the first horizontal polarizer 320. In addition, the twelfth light horizontally polarized through the first horizontal polarizer 320 of the twelfth light reflected by the spatial light modulator 230 and transmitted through the third and fourth light splitters 226 and 228 is the sixteenth light. And form an interference fringe.

도 3의 분석장치도 분석 장치(290)는 제1 광검출기(242)에서 검출된 제4 광의 세기로부터 공간 광변조기(230)에 입사되는 제7 광의 세기를 예측하는 제1 세기 예측부(291), 제2 광검출기(244)에서 검출된 제11 광의 세기로부터 공간 광변조기(230)에서 출력되는 제8 광의 세기를 예측하는 제2 세기 예측부(292), 제1 세기 예측부(291) 및 제2 세기 예측부(292)의 결과로부터 광의 세기 변화를 산출하는 제1 산출부(293) 및 촬영 장치(280)에서 인가된 광간섭 영상으로부터 위상 변화의 정확도를 산출하는 제2 산출부(294)를 포함할 수 있다. Analysis device 290 of FIG. 3 is a first intensity predictor 291 that predicts the intensity of the seventh light incident on the spatial light modulator 230 from the intensity of the fourth light detected by the first photodetector 242. ), A second intensity predictor 292 and a first intensity predictor 291 that predict the intensity of the eighth light output from the spatial light modulator 230 from the intensity of the eleventh light detected by the second photodetector 244. And a first calculation unit 293 for calculating a change in intensity of light from the result of the second intensity prediction unit 292 and a second calculation unit for calculating the accuracy of the phase change from the optical interference image applied by the photographing apparatus 280 ( 294).

제1 세기 예측부(291)는 제4 광의 세기에 제2 광분배기(224)의 분배 비율을 곱하여 제5 광의 세기를 예측하고, 제5 광의 세기에 제3 광분배기(226)의 투과율을 곱하여 제7 광의 세기를 예측한다. 제2 세기 예측부(292)는 제11 광의 세기에 제4 광분배기(228)의 분배 비율을 곱한 값과 제11 광의 세기를 더하여 제9 광의 세기를 예측하고, 제9 광의 세기에 제3 광분배기(226)의 분배 비율을 곱한 값과 제9 광의 세기를 더하여 제8 광의 세기를 예측한다.The first intensity predictor 291 estimates the fifth light intensity by multiplying the distribution ratio of the second light splitter 224 by the intensity of the fourth light, and multiplies the transmittance of the third light splitter 226 by the intensity of the fifth light. The intensity of the seventh light is predicted. The second intensity predicting unit 292 predicts the ninth light by adding the intensity of the eleventh light to the distribution ratio of the fourth light splitter 228 and the intensity of the eleventh light, and predicts the ninth light to the third light. The intensity of the ninth light is added by multiplying the distribution ratio of the divider 226 to predict the intensity of the eighth light.

그리고 나서, 제1 산출부(293)는 예측된 제7 광의 세기에 대한 예측된 제8 광의 세기를 세기 변화율로 한다. 세기 변화율이 1에 가까울수록 공간 광변조기(230)의 성능은 우수하다고 평가할 수 있다.Then, the first calculator 293 sets the predicted intensity of the eighth light to the predicted intensity of the seventh light as the intensity change rate. As the intensity change rate approaches 1, the performance of the spatial light modulator 230 may be evaluated to be excellent.

또한, 촬영 장치(280)에서 인가된 영상은 광간섭 영상이므로, 제2 산출부(294)는 간섭 영상으로부터 공간 광변조기(230)에 의해 위상이 변경되어 있으며 수평 편광된 제12 광과 광 조절 장치(260)에 의해 위상이 변경되어 있으며 수평 편광된 제16 광의 위상차를 산출한다. 그리고, 산출된 위상차가 0에 가까울수록 공간 광변조기(230)의 성능은 우수하다고 평가할 수 있다. 성능 출력부(295)는 제1 산출부(293)에서 산출된 세기 변화율에 대한 정보 또는 위상 변화율에 대한 정보를 수치로 출력한다. 성능 출력부(295)는 디스플레이부로 구현될 수 있다. 상기와 같은 분석 장치(290)는 PC 등으로 구현될 수 있다.In addition, since the image applied by the photographing apparatus 280 is an optical interference image, the second calculator 294 has a phase shifted from the interference image by the spatial light modulator 230 and adjusts the light and the horizontally polarized twelfth light. The device 260 has changed the phase and calculates the phase difference of the horizontally polarized sixteenth light. As the calculated phase difference approaches 0, the performance of the spatial light modulator 230 may be evaluated to be excellent. The performance output unit 295 outputs the information on the intensity change rate or the information on the phase change rate calculated by the first calculator 293 as a numerical value. The performance output unit 295 may be implemented as a display unit. The analysis device 290 as described above may be implemented as a PC.

상기와 같이, 공간 광변조기(230)의 광효율 및 위상 변화의 정확도를 측정할 수 있기 때문에 불량의 공간 광변조기(230)를 용이하게 구별할 수 있다. As described above, since the light efficiency and phase change accuracy of the spatial light modulator 230 can be measured, the defective spatial light modulator 230 can be easily distinguished.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It should be understood that various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention.

110, 210 : 광원부 122, 222 : 제1 광분배기
124, 224 : 제2 광분배기 126, 226 : 제3 광분배기
128, 228 : 제4 광분배기 130, 230 : 공간 광변조기
142, 242 : 제1 광검출기 144, 244 : 제2 광검출기
160, 260 : 광 조절 장치 172, 272 : 제1 경로 조절기
174, 274 : 제2 경로 조절기 180, 280 : 촬영 장치
190, 290 : 분석 장치 110, 210: light source 122, 222: first optical splitter
124, 224: second optical splitter 126, 226: third optical splitter
128, 228: fourth optical splitter 130, 230: spatial light modulator
142, 242: first photodetector 144, 244: second photodetector
160, 260: light control device 172, 272: first path regulator
174, 274: second path adjuster 180, 280: photographing device
190, 290: analysis device

Claims (14)

제1 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제2 및 제3 광으로 분배하는 제1 광분배기;
상기 제2 광의 세기를 검출하는 제1 광검출기;
홀로그램 정보가 기록되어 있으며, 상기 제3 광을 상기 홀로그램 정보에 따라 변조시켜 제4 광을 출력하는 공간 광변조기;
상기 제4 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 제5 및 제6 광으로 분배하는 제2 광분배기;
상기 제5 광의 세기를 검출하는 제2 광검출기; 및
상기 제2 광의 세기와 상기 제5 광의 세기를 기초로 상기 공간 광 변조기에서의 광효율을 산출하는 분석 장치;를 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. A first optical splitter that partially reflects the first light and transmits the rest to second and third light having different propagation paths;
A first photodetector for detecting the intensity of the second light;
A spatial light modulator having hologram information recorded thereon, and outputting a fourth light by modulating the third light according to the hologram information;
A second optical splitter that partially reflects the fourth light and transmits the remaining light to the fifth and sixth lights;
A second photodetector for detecting the intensity of the fifth light; And
And an analysis device for calculating light efficiency in the spatial light modulator based on the intensity of the second light and the intensity of the fifth light. 제 1항에 있어서,
상기 분석 장치는,
상기 제2 광의 세기에 상기 제1 광분배기의 분배 비율을 곱하여 상기 제3 광의 세기를 예측하고,
상기 제5 광의 세기에 상기 제2 광분배기의 분배 비율을 곱한 값과 상기 제5 광의 세기를 더하여 상기 제4 광의 세기를 예측하며,
상기 예측된 제3 광의 세기에 대한 상기 예측된 제4 광의 세기로 상기 공간 광변조기의 세기 변화를 산출하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 1,
The analysis device,
Predicting the intensity of the third light by multiplying the intensity of the second light by the distribution ratio of the first optical splitter,
The intensity of the fourth light is predicted by adding the intensity of the fifth light multiplied by the distribution ratio of the second optical splitter and the intensity of the fifth light.
And calculate a change in intensity of the spatial light modulator with the predicted fourth light intensity relative to the predicted third light intensity. 제 1항에 있어서,
광원; 및
상기 광원에서 출력된 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 상기 제1 광과 제7 광으로 분배하는 제3 광분배기;를 더 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 1,
Light source; And
And a third optical splitter that partially reflects the light output from the light source and transmits the remaining light to distribute the light to the first and seventh light having different propagation paths. 제 3항에 있어서,
상기 광원은 가간섭성 광을 출력하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 3,
The light source is a performance measurement system of a spatial light modulator for outputting coherent light. 제 3항에 있어서,
상기 광원에서 출력되는 광을 확산시키는 광환산기;를 더 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 3,
And a light conversion device configured to diffuse light output from the light source. 제 3항에 있어서,
상기 제7 광의 진행 경로를 변경시키는 제1 경로 변경기;를 더 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 3,
And a first path changer for changing a traveling path of the seventh light. 제 3항에 있어서,
상기 제7 광의 세기 및 위상 중 적어도 하나를 조절하는 광 조절 장치; 및
상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 일부와 상기 제6광의 일부를 결합하여 출력하는 제4 광분배기;를 더 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. The method of claim 3,
A light adjusting device for adjusting at least one of an intensity and a phase of the seventh light; And
And a fourth optical splitter configured to combine a portion of the light output from the light adjusting device and a portion of the sixth light to output the combined light. 제 7항에 있어서,
상기 제4 광분배기에서 출력된 광을 촬영하는 촬영 장치;를 더 포함하고,
상기 분석 장치는,
상기 촬영 장치에서 촬영된 영상으로부터 상기 제6 광과 상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 위상 차를 산출하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템 8. The method of claim 7,
And a photographing apparatus for photographing the light output from the fourth optical splitter.
The analysis device,
Performance measurement system of the spatial light modulator for calculating the phase difference between the sixth light and the light output from the light control device from the image photographed by the imaging device 제 7항에 있어서,
상기 광 조절 장치는,
상기 제7 광의 세기를 상기 제6 광의 세기와 동일한 세기로 조절하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템 8. The method of claim 7,
The light control device,
Performance measurement system of the spatial light modulator for adjusting the intensity of the seventh light to the same intensity as the sixth light 제 7항에 있어서,
상기 광 조절 장치는,
상기 제7 광의 위상을 상기 홀로그램 정보에 대응하는 위상 변화 만큼 조절하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템 8. The method of claim 7,
The light control device,
Performance measurement system of the spatial light modulator for adjusting the phase of the seventh light by the phase change corresponding to the hologram information 제 7항에 있어서,
상기 광 조절 장치에서 출력된 광의 진행 경로를 변경시키는 제2 위상 변조기;를 더 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. 8. The method of claim 7,
And a second phase modulator for changing a propagation path of the light output from the light adjusting device. 제1 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제2 및 제3 광으로 분배하는 제1 광분배기;
상기 제2 광의 세기를 검출하는 제1 광검출기;
제3 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 진행 경로가 다른 제4 및 제5 광으로 분배하는 제2 광분배기;
홀로그램 정보가 기록되어 있으며, 상기 제5 광을 상기 홀로그램 정보에 따라 변조시켜 제6 광을 출력하는 공간 광변조기;
상기 제6 광의 일부인 제7 광을 일부는 반사시키고 나머지는 투과시켜 제8 및 제9 광으로 분배하는 제3 광분배기;
상기 제8 광의 세기를 검출하는 제2 검출기; 및
상기 제2 광의 세기와 상기 제8 광의 세기를 기초로 상기 공간 광 변조기에서의 광효율을 산출하는 분석 장치;를 포함하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. A first optical splitter that partially reflects the first light and transmits the rest to second and third light having different propagation paths;
A first photodetector for detecting the intensity of the second light;
A second optical splitter that partially reflects the third light and transmits the other to distribute the fourth and fifth lights having different propagation paths;
A spatial light modulator having hologram information recorded thereon, and outputting a sixth light by modulating the fifth light according to the hologram information;
A third optical splitter that partially reflects the seventh light, which is a part of the sixth light, and transmits the remaining light to the eighth and ninth lights;
A second detector for detecting the intensity of the eighth light; And
And an analysis device for calculating light efficiency in the spatial light modulator based on the intensity of the second light and the intensity of the eighth light. 제 12에 있어서,
상기 제2 광분배기는
상기 제6 광이 입사되면 상기 제7 광을 반사시키는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템.13. The method according to claim 12,
The second optical splitter
And a performance measurement system of the spatial light modulator reflecting the seventh light when the sixth light is incident. 제 12에 있어서,
상기 분석 장치는,
상기 제2 광의 세기에 상기 제1 광분배기의 분배 비율을 곱하여 상기 제3 광의 세기를 예측하고 예측된 상기 제3 광의 세기에 상기 제2 광분배기의 투과율을 곱하여 상기 제5 광의 세기를 예측하며,
상기 제7 광의 세기에 상기 제3 광분배기의 분배 비율을 곱한 값과 상기 제7 광의 세기를 더하여 상기 제4 광의 세기를 예측하며,
상기 예측된 제3 광의 세기에 대한 상기 예측된 제4 광의 세기로 상기 공간 광변조기의 세기 변화를 산출하는 공간 광변조기의 성능 측정 시스템. 13. The method according to claim 12,
The analysis device,
Predicting the intensity of the third light by multiplying the intensity of the second light by the distribution ratio of the first optical splitter, and predicting the intensity of the fifth light by multiplying the predicted intensity of the third light by the transmittance of the second optical splitter,
Predicting the intensity of the fourth light by adding the intensity of the seventh light to the distribution ratio of the third optical splitter and the intensity of the seventh light,
And calculate a change in intensity of the spatial light modulator with the predicted fourth light intensity relative to the predicted third light intensity.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149080A (en) * 2001-11-08 2003-05-21 Ricoh Co Ltd Characteristic evaluating device for hologram element
US7154660B2 (en) * 2005-05-23 2006-12-26 Texas Instruments Incorporated Testing of spatial light modulators (SLM)
JP2008175536A (en) * 2007-01-16 2008-07-31 Pulstec Industrial Co Ltd Evaluation system of hologram recording medium and evaluation method of hologram recording medium
KR20110021705A (en) * 2008-05-28 2011-03-04 가부시키가이샤 니콘 Inspection device and inspecting method for spatial light modulator, illuminating optical system, method for adjusting the illuminating optical system, exposure device, and device manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003149080A (en) * 2001-11-08 2003-05-21 Ricoh Co Ltd Characteristic evaluating device for hologram element
US7154660B2 (en) * 2005-05-23 2006-12-26 Texas Instruments Incorporated Testing of spatial light modulators (SLM)
JP2008175536A (en) * 2007-01-16 2008-07-31 Pulstec Industrial Co Ltd Evaluation system of hologram recording medium and evaluation method of hologram recording medium
KR20110021705A (en) * 2008-05-28 2011-03-04 가부시키가이샤 니콘 Inspection device and inspecting method for spatial light modulator, illuminating optical system, method for adjusting the illuminating optical system, exposure device, and device manufacturing method

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