KR20130059972A - Solar cell and method of fabricating the same - Google Patents

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PURPOSE: A solar cell and a method for fabricating the same are provided to prevent moisture and oxygen from penetrating into the solar cell by forming a hydrophobic particle layer on an interface. CONSTITUTION: A back electrode layer(200) is arranged on a support substrate(100). A light absorption layer(300) is arranged on the back electrode layer. A buffer layer(400) is arranged on the light absorption layer. A hydrophobic particle layer(600) is arranged on the buffer layer. A front electrode layer(700) is arranged on the hydrophobic particle layer.

Description

태양전지 및 이의 제조방법{SOLAR CELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}SOLAR CELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

실시예는 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다.An embodiment relates to a solar cell and a manufacturing method thereof.

태양전지는 p-n 접합 다이오드에 빛을 쪼이면 전자가 생성 되는 광기전력 효과(photovoltaic effect)를 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 소자로 정의할 수 있다. 태양전지는 접합 다이오드로 사용되는 물질에 따라, 실리콘 태양전지, I-III-VI족 또는 III-V족 화합물로 대표되는 화합물 반도체 태양전지, 염료감응 태양전지, 유기물 태양전지로 나눌 수 있다. A solar cell can be defined as a device that converts light energy into electric energy by using a photovoltaic effect that generates electrons when light is applied to a p-n junction diode. The solar cell can be classified into a silicon solar cell, a compound semiconductor solar cell represented by group I-III-VI or III-V, a dye-sensitized solar cell, and an organic solar cell, depending on materials used as a junction diode.

I-III-VI족 Chalcopyrite계 화합물 반도체 중 하나인 CIGS(CuInGaSe) 태양전지는 광 흡수가 뛰어나고, 얇은 두께로도 높은 광전 변환효율을 얻을 수 있으며, 전기 광학적 안정성이 매우 우수하여 기존 실리콘 태양전지를 대체할 수 있는 태양전지로 부각되고 있다. CIGS (CuInGaSe) solar cell, which is one of the I-III-VI family chalcopyrite compound semiconductors, has excellent light absorption, high photoelectric conversion efficiency even at a thin thickness, and excellent electro- It is emerging as an alternative solar cell.

CIGS 태양전지는 외부로부터 수분(H2O) 또는 산소(O2) 등에 저항력이 있어야 하며, 이러한 신뢰성 문제를 해결 하는 것은 CIGS 태양전지 성능에 있어 상당히 중요한 요소 중 하나이다. CIGS 태양전지가 수분에 노출되는 경우, CIGS 막에 균열이나 막 벗겨짐이 발생하고, CIGS 조성에도 변화를 가져온다. 또한, 수분에 노출된 CIGS 태양전지는 반사도가 증가할 뿐만 아니라 효율이 저하되는 등의 문제가 발생한다. CIGS solar cells must be resistant to moisture (H 2 O) or oxygen (O 2 ) from the outside, and solving these reliability problems is one of the important factors in CIGS solar cell performance. When CIGS solar cells are exposed to moisture, cracks or flaking occur in the CIGS film, and the CIGS composition is also changed. In addition, CIGS solar cells exposed to moisture not only increases the reflectivity but also lowers the efficiency.

실시예는 신뢰성 및 안정성이 향상되고, 광-전 변환효율이 향상된 태양전지 및 이의 제조 방법을 제공하고자 한다. The embodiment is to provide a solar cell and a manufacturing method thereof having improved reliability and stability, and improved photoelectric conversion efficiency.

실시예에 따른 태양전지는 지지기판 상에 배치되는 후면 전극층; 상기 후면 전극층 상에 배치되는 광 흡수층; 상기 광 흡수층 상에 배치되는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 배치되는 고저항 버퍼층; 상기 고저항 버퍼층 상에 배치되는 소수성(hydrophobic) 입자층; 및 상기 소수성(hydrophobic) 입자층 상에 배치되는 전면 전극층을 포함한다.A solar cell according to an embodiment includes: a rear electrode layer disposed on a supporting substrate; A light absorbing layer disposed on the rear electrode layer; A buffer layer disposed on the light absorbing layer; A high resistance buffer layer disposed on the buffer layer; A hydrophobic particle layer disposed on the high resistance buffer layer; And a front electrode layer disposed on the hydrophobic particle layer.

실시예에 따른 태양전지의 제조방법은 지지기판 상에 후면 전극층을 형성하는 단계; 상기 후면 전극층 상에 광 흡수층을 형성하는 단계; 상기 광 흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상에 고저항 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 고저항 버퍼층 상에 소수성(hydrophobic) 입자층을 형성하는 단계; 및 상기 소수성(hydrophobic) 입자층 상에 전면 전극층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a solar cell according to an embodiment includes forming a rear electrode layer on a supporting substrate; Forming a light absorbing layer on the back electrode layer; Forming a buffer layer on the light absorbing layer; Forming a high resistance buffer layer on the buffer layer; Forming a hydrophobic particle layer on the high resistance buffer layer; And forming a front electrode layer on the hydrophobic particle layer.

실시예에 따른 태양전지는 소수성(hydrophobic) 입자층을 제공함으로써, 수분(H2O) 또는 산소(O2)가 계면을 따라 태양전지 내부로 침투하는 것을 최소화 할 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 태양전지는 수분과 산소로부터 태양전지 셀들을 효과적으로 보호함으로써, 소자의 안정성 및 신뢰성 확보에 크게 기여할 수 있다. 또한, 소수성 입자층에서 수분이 흘러내릴 때, 오염물질도 함께 흘러감으로써 자가세정(selfcleaning)의 효과가 있다. The solar cell according to the embodiment may minimize the penetration of moisture (H 2 O) or oxygen (O 2 ) into the solar cell along the interface by providing a hydrophobic particle layer. Accordingly, the solar cell according to the embodiment effectively contributes to securing the stability and reliability of the device by effectively protecting the solar cells from moisture and oxygen. In addition, when water flows down in the hydrophobic particle layer, contaminants also flow along, which has the effect of self-cleaning.

도 1 내지 도 5는 실시예에 따른 태양전지의 제조방법을 도시하는 단면도들이다. 1 to 5 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a solar cell according to an embodiment.

실시예의 설명에 있어서, 각 기판, 층, 막 또는 전극 등이 각 기판, 층, 막, 또는 전극 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여(indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
In the description of the embodiments, where each substrate, layer, film, or electrode is described as being formed "on" or "under" of each substrate, layer, film, or electrode, etc. , “On” and “under” include both “directly” or “indirectly” other components. In addition, the upper or lower reference of each component is described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for the sake of explanation and does not mean the size actually applied.

도 1 내지 도 5는 실시예에 따른 태양전지를 제조하는 방법을 설명하는 단면도들이다. 이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 실시예에 따른 태양전지 및 이의 제조방법을 상세히 서술하도록 한다. 1 to 5 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a solar cell according to an embodiment. Hereinafter, a solar cell and a method of manufacturing the same according to an embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5.

도 1을 참조하면, 지지기판(100) 상에 후면 전극층(200)을 형성한다. 상기 지지기판(100)은 플레이트 형상을 가지며, 상기 후면 전극층(200), 광 흡수층(300), 버퍼층(400), 고저항 버퍼층(500), 소수성 입자층(600) 및 전면 전극층(700)을 지지한다. Referring to FIG. 1, the back electrode layer 200 is formed on the support substrate 100. The support substrate 100 has a plate shape and supports the rear electrode layer 200, the light absorbing layer 300, the buffer layer 400, the high resistance buffer layer 500, the hydrophobic particle layer 600, and the front electrode layer 700. do.

상기 지지기판(100)은 절연체일 수 있다. 상기 지지기판(100)은 유리기판, 플라스틱기판 또는 금속기판일 수 있다. 더 자세하게, 상기 지지기판(100)은 소다 라임 글래스(soda lime glass) 기판일 수 있다. 또한, 상기 지지기판(100)은 리지드하거나 플렉서블할 수 있다. 더 자세하게, 상기 지지기판(100)은 플렉서블 기판일 수 있다.The support substrate 100 may be an insulator. The support substrate 100 may be a glass substrate, a plastic substrate, or a metal substrate. In more detail, the support substrate 100 may be a soda lime glass substrate. In addition, the support substrate 100 may be rigid or flexible. In more detail, the support substrate 100 may be a flexible substrate.

상기 후면 전극층(200)은 상기 지지기판(100) 상에 배치된다. 상기 후면 전극층(200)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 도금의 방법으로 형성될 수 있다. The back electrode layer 200 is disposed on the support substrate 100. The back electrode layer 200 may be formed by physical vapor deposition (PVD) or plating.

상기 후면 전극층(200)은 도전층이다. 상기 후면 전극층(200)은 몰리브덴(Mo), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 및 구리(Cu) 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 이 가운데, 특히 몰리브덴(Mo)은 다른 원소에 비해 상기 지지기판(100)과 열팽창 계수의 차이가 적기 때문에, 접착성이 우수하여 박리현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The back electrode layer 200 is a conductive layer. The rear electrode layer 200 may be formed of any one of molybdenum (Mo), gold (Au), aluminum (Al), chromium (Cr), tungsten (W), and copper (Cu). Among them, in particular, molybdenum (Mo) has a smaller difference between the support substrate 100 and the coefficient of thermal expansion than other elements, and thus it is possible to prevent the occurrence of peeling due to excellent adhesion.

도 2를 참조하면, 상기 광 흡수층(300)은 상기 후면 전극층(200) 상에 배치된다. 상기 광 흡수층(300)은 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ 화합물을 포함한다. 예를 들어, 상기 광 흡수층(300)은 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)(Se,S)2; CIGSS계) 결정 구조, 구리-인듐-셀레나이드계 또는 구리-갈륨-셀레나이드계 결정 구조를 가질 수 있다.Referring to FIG. 2, the light absorbing layer 300 is disposed on the back electrode layer 200. The light absorption layer 300 includes an I-III-VI compound. For example, the light absorbing layer 300 may be formed of a copper-indium-gallium-selenide-based (Cu (In, Ga) (Se, S) 2 ; CIGSS-based) crystal structure, copper-indium-selenide-based, or copper- It may have a gallium-selenide-based crystal structure.

상기 광 흡수층(300)은 예를 들어, 구리, 인듐, 갈륨, 셀레늄을 동시 또는 구분하여 증발시키면서 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2; CIGS계)의 광 흡수층(300)을 형성하는 방법과 금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션(Selenization) 공정에 의해 형성시키는 방법이 폭넓게 사용되고 있다.The light absorbing layer 300 may be, for example, copper-indium-gallium-selenide-based (Cu (In, Ga) Se 2 ; CIGS-based) while simultaneously evaporating copper, indium, gallium, and selenium. The method of forming (300) and the method of forming a metal precursor film and forming it by the selenization process are used widely.

금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션 하는 것을 세분화하면, 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정에 의해서, 상기 이면전극(300) 상에 금속 프리커서 막이 형성된다. 이후, 상기 금속 프리커서 막은 셀레니제이션(selenization) 공정에 의해서, 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2; CIGS계)의 광 흡수층(300)이 형성된다.When the metal precursor film is formed and selenization is subdivided, a metal precursor film is formed on the back electrode 300 by a sputtering process using a copper target, an indium target, and a gallium target. Thereafter, the metal precursor film is formed of a copper-indium-gallium-selenide-based (Cu (In, Ga) Se 2 ; CIGS-based) light absorbing layer by a selenization process.

이와는 다르게, 상기 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 상기 셀레니제이션 공정은 동시에 진행될 수 있다.Alternatively, the copper target, the indium target, the sputtering process using the gallium target, and the selenization process may be performed simultaneously.

이와는 다르게, 구리 타겟 및 인듐 타겟 만을 사용하거나, 구리 타겟 및 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 셀레니제이션 공정에 의해서, CIS계 또는 CIG계 광 흡수층(300)이 형성될 수 있다.Alternatively, the CIS-based or CIG-based optical absorption layer 300 can be formed by using only a copper target and an indium target, or by a sputtering process and a selenization process using a copper target and a gallium target.

도 3을 참조하면, 상기 버퍼층(400) 및 상기 고저항 버퍼층(500)은 순차적으로 상기 광 흡수층(300) 상에 배치된다. Referring to FIG. 3, the buffer layer 400 and the high resistance buffer layer 500 are sequentially disposed on the light absorbing layer 300.

상기 버퍼층(400)은 황화 카드뮴, ZnS, InXSY 및 InXSeYZn(O, OH) 등을 포함한다. 상기 버퍼층(400)은 상기 광 흡수층(300) 상에 황화 카드뮴이 화학 용액 증착법(chemical bath deposition; CBD)에 의해서 증착되어 형성될 수 있다. 상기 고저항 버퍼층(500)은 상기 버퍼층(400) 상에 징크 옥사이드가 스퍼터링 공정에 의하여 증착될 수 있다. 예를 들어, 상기 고저항 버퍼층(500)은 불순물이 도핑되지 않은 징크 옥사이드(i-ZnO)일 수 있다. The buffer layer 400 includes cadmium sulfide, ZnS, In x S y, and In x Se y Zn (O, OH). The buffer layer 400 may be formed by depositing cadmium sulfide on the light absorbing layer 300 by chemical bath deposition (CBD). The high resistance buffer layer 500 may deposit zinc oxide on the buffer layer 400 by a sputtering process. For example, the high resistance buffer layer 500 may be zinc oxide (i-ZnO) that is not doped with impurities.

도 4를 참조하면, 상기 소수성 입자층(600)은 상기 고저항 버퍼층(500) 상에 배치된다. 상기 소수성 입자층(600)은 다수개의 소수성 입자들(610)로 형성될 수 있다. 또한, 상기 소수성 입자들(610) 각각은 산화물 입자(611) 및 상기 산화물 입자를 둘러싸는 소수성막(612)으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 소수성 입자들(610)은 산화물 입자(611) 및 소수성막(612)으로 이루어진 코어-쉘 구조를 가질 수 있다. Referring to FIG. 4, the hydrophobic particle layer 600 is disposed on the high resistance buffer layer 500. The hydrophobic particle layer 600 may be formed of a plurality of hydrophobic particles 610. In addition, each of the hydrophobic particles 610 may be formed of an oxide particle 611 and a hydrophobic layer 612 surrounding the oxide particle. That is, the hydrophobic particles 610 may have a core-shell structure composed of an oxide particle 611 and a hydrophobic film 612.

상기 소수성 입자층(600)의 두께는 약 1 nm 내지 약 10 nm 일 수 있으며, 더 자세하게, 상기 소수성 입자층(600)의 두께는 약 5 nm 내지 약 10 nm 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 상기 소수성 입자들(610)의 평균 직경은 1 nm 내지 10 nm 일 수 있으며, 더 자세하게, 상기 소수성 입자들(610)의 평균 직경은 약 5 nm 내지 약 10 nm 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 도 4에는 단일층의 소수성 입자층(600)만을 개시하였으나, 실시예는 이에 제한되지 않는다. 즉, 다수층의 소수성 입자층도 본원의 실시예에 포함될 수 있다. The thickness of the hydrophobic particle layer 600 may be about 1 nm to about 10 nm, and more specifically, the thickness of the hydrophobic particle layer 600 may be about 5 nm to about 10 nm, but is not limited thereto. In addition, the average diameter of the hydrophobic particles 610 may be 1 nm to 10 nm, and more specifically, the average diameter of the hydrophobic particles 610 may be about 5 nm to about 10 nm, but is not limited thereto. It is not. In addition, although only a single layer of hydrophobic particle layer 600 is disclosed in FIG. 4, the embodiment is not limited thereto. That is, multiple layers of hydrophobic particles may also be included in the examples herein.

상기 산화물 입자(611)는 상기 고저항 버퍼층(500)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 더 자세하게, 상기 산화물 입자(611)는 상기 고저항 버퍼층(500)과 동일한 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 상기 산화물 입자(611) 및 상기 버퍼층(500) 각각은불순물이 도핑되지 않은 징크 옥사이드(i-ZnO)로 형성될 수 있다. The oxide particles 611 may be formed of the same material as the high resistance buffer layer 500. In more detail, the oxide particles 611 may be formed of the same material as the high resistance buffer layer 500. For example, each of the oxide particles 611 and the buffer layer 500 may be formed of zinc oxide (i-ZnO) that is not doped with impurities.

상기 소수성막(612)은 상기 산화물 입자(611)를 둘러싼다. 또한, 상기 소수성막(612)은 하기 화학식 1로 표시되는 실란 화합물을 포함할 수 있다. The hydrophobic film 612 surrounds the oxide particle 611. In addition, the hydrophobic layer 612 may include a silane compound represented by Formula 1 below.

[화학식 1][Formula 1]

R1-Si(X)3 R 1 -Si (X) 3

상기 화학식 1에서, R1 및 X는 각각 독립적으로 수소원자; 할로겐 원자; 히드록시기; 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알킬기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알케닐기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알키닐기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴알킬기; 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알콕시기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴옥시기를 포함할 수 있다. 더 자세하게, 상기 R1은 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알킬기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알케닐기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알키닐기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴알킬기; 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알콕시기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴옥시기일 수 있고, 상기 X는 할로겐 원자, 예를 들어, 염소(Cl)일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In Formula 1, R 1 and X are each independently a hydrogen atom; A halogen atom; A hydroxy group; A substituted or unsubstituted C1-C20 alkyl group; Substituted or unsubstituted C2-C20 alkenyl group; Substituted or unsubstituted C2-C20 alkynyl group; Substituted or unsubstituted C6-C20 aryl group; A substituted or unsubstituted C6-C20 arylalkyl group; Substituted or unsubstituted C1-C20 alkoxy group; It may include a substituted or unsubstituted C6-C20 aryloxy group. In more detail, R 1 is a substituted or unsubstituted C1-C20 alkyl group; Substituted or unsubstituted C2-C20 alkenyl group; Substituted or unsubstituted C2-C20 alkynyl group; Substituted or unsubstituted C6-C20 aryl group; A substituted or unsubstituted C6-C20 arylalkyl group; Substituted or unsubstituted C1-C20 alkoxy group; It may be a substituted or unsubstituted C6-C20 aryloxy group, X may be a halogen atom, for example, chlorine (Cl), but is not limited thereto.

일 구현예로, 상기 소수성막(612)은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 옥타데실트리에톡시실란, 페닐옥시운데실트리메톡시실란, 또는 (헵타데카플루오로-1,1,2,2-테트라히드로데실)트리에톡시실란으로 형성될 수 있다. 더 자세하게, 상기 소수성막(612)은 옥타데실트리클로로실란(OTS)으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In one embodiment, the hydrophobic layer 612 may be octadecyltrichlorosilane (OTS), octadecyltriethoxysilane, phenyloxyundecyltrimethoxysilane, or (heptadecafluoro-1,1, 2,2-tetrahydrodecyl) triethoxysilane. In more detail, the hydrophobic layer 612 may be formed of octadecyltrichlorosilane (OTS), but is not limited thereto.

상기 소수성 입자층(600)은 다양한 방법에 의해 제조될 수 있다. 일 구현예로, 상기 소수성 입자층(600)은 소수성 물질과 유기 용매를 포함하는 혼합 용매 제조하고, 산화물 입자(611)를 상기 혼합 용매에 분산시키고, 상기 혼합 용매를 상기 고저항 버퍼층 상에 도포하고, 열처리하여 상기 산화물 입자 상에 소수성막(612)을 코팅함으로써 제조될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The hydrophobic particle layer 600 may be manufactured by various methods. In one embodiment, the hydrophobic particle layer 600 is prepared a mixed solvent comprising a hydrophobic material and an organic solvent, dispersing oxide particles 611 in the mixed solvent, and applying the mixed solvent on the high resistance buffer layer It may be prepared by coating a hydrophobic film 612 on the oxide particles by heat treatment, but is not limited thereto.

보다 상세하게, 소수성 물질은 상기 언급한 화학식 1로 표시되는 물질이라면 특별히 제한 없이 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 소수성 물질로는 옥타데실트리클로로실란을 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 또한, 본원에서 사용되는 용매는 상기 소수성 물질을 녹일 수 있는 용매, 예를 들어, 지방족 탄화수소 용매, 방향족계 탄화수소 용매, 케톤계 용매, 에테르계 용매, 아세테이트계 용매, 알콜계 용매, 아미드계 용매, 실리콘계 용매 및 상기 용매들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 용매로는 톨루엔을 사용할 수 있다. 이에 따라, 옥타데실트리클로로실란-톨루엔 혼합 용액을 제조할 수 있다.More specifically, the hydrophobic material may be used without particular limitation as long as it is a material represented by the above-mentioned formula (1). For example, octadecyltrichlorosilane may be used as the hydrophobic material, but is not limited thereto. In addition, the solvent used herein may be a solvent capable of dissolving the hydrophobic material, for example, an aliphatic hydrocarbon solvent, an aromatic hydrocarbon solvent, a ketone solvent, an ether solvent, an acetate solvent, an alcohol solvent, an amide solvent, At least one selected from the group consisting of silicone solvents and mixtures of the above solvents may be used. For example, toluene may be used as the solvent. Thereby, an octadecyl trichlorosilane-toluene mixed solution can be manufactured.

이후, 상기 혼합 용액에 상기 산화물 입자(611)를 분산시키고 초음파 세정기 등을 사용하여 교반 시킨다. 이후, 상기 산화물 입자(611)를 포함하는 혼합 용액을 상기 고저항 버퍼층(500)에 도포한다. 이 때, 상기 혼합 용액은 침적법, 스프레이법, 스핀코팅법, 및 프린팅법으로 이루어진 군에서 선택되는 습식 코팅 방법으로 도포될 수 있다. 이어서, 상기 혼합 용액을 열처리하여 용매를 선택적으로 증발 시킴으로써, 상기 산화물 입자(611) 상에 소수성막(612)을 코팅할 수 있다. 상기 열처리 공정은 약 100℃ 내지 약 200℃에서 수행될 수 있다. Thereafter, the oxide particles 611 are dispersed in the mixed solution and stirred using an ultrasonic cleaner. Thereafter, a mixed solution including the oxide particles 611 is applied to the high resistance buffer layer 500. At this time, the mixed solution may be applied by a wet coating method selected from the group consisting of immersion method, spray method, spin coating method, and printing method. Subsequently, the mixed solution may be heat-treated to selectively evaporate the solvent, thereby coating the hydrophobic film 612 on the oxide particles 611. The heat treatment process may be performed at about 100 ℃ to about 200 ℃.

상기 언급한 방법에 의하여 제조되는 소수성 입자층(600)은 물과의 접촉각이 약 90° 내지 약 150°일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The hydrophobic particle layer 600 manufactured by the above-mentioned method may have a contact angle with water of about 90 ° to about 150 °, but is not limited thereto.

이와 같이, 실시예에 따른 태양전지는 고저항 버퍼층(500) 상에 소수성 입자층(600)을 형성함으로써, 외부 습기나 물방울이 상기 소수성 입자층(600) 내부로 스며들지 않고, 상기 소수성 입자층(600)의 표면을 따라 흘러내리게 한다. 따라서, 수분(H2O) 또는 산소(O2)가 계면을 통해 태양전지 내부로 침투하는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 상기 소수성 입자층(600)에서 수분이 흘러내릴 때, 오염물질도 함께 흘러감으로써 자가세정(selfcleaning)의 효과가 있고, 태양전지의 효율이 향상될 수 있다. As described above, in the solar cell according to the embodiment, the hydrophobic particle layer 600 is formed on the high resistance buffer layer 500, so that external moisture or water droplets do not penetrate into the hydrophobic particle layer 600, and the hydrophobic particle layer 600 is formed. Flow along the surface of the Therefore, it is possible to minimize the penetration of moisture (H 2 O) or oxygen (O 2 ) into the solar cell through the interface. In addition, when water flows down from the hydrophobic particle layer 600, contaminants may also flow together to have a self-cleaning effect, and solar cell efficiency may be improved.

도 5를 참조하면, 상기 전면 전극층(700)은 상기 소수성 입자층(600) 상에 배치된다. 상기 전면 전극층(700)은 투광성 전도성 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 전면 전극층(700)은 n 형 반도체의 특성을 가질 수 있다. 이 때, 상기 전면 전극층(700)은 상기 버퍼층(400)과 함께 n 형 반도체층을 형성하여 p 형 반도체층인 상기 광 흡수층(300)과 pn 접합을 형성할 수 있다. 상기 전면 전극층(700)은, 예를 들어, 알루미늄 도핑된 징크 옥사이드(AZO)로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 5, the front electrode layer 700 is disposed on the hydrophobic particle layer 600. The front electrode layer 700 may be formed of a transparent conductive material. In addition, the front electrode layer 700 may have characteristics of an n-type semiconductor. In this case, the front electrode layer 700 may form an n-type semiconductor layer together with the buffer layer 400 to form a pn junction with the light absorbing layer 300, which is a p-type semiconductor layer. The front electrode layer 700 may be formed of, for example, aluminum doped zinc oxide (AZO).

상기 전면 전극층(700)은 상기 소수성 입자층(600) 상에 투명한 도전물질이 적층됨으로써 제조될 수 있다. 상기 투명한 도전물질의 예로서는 알루미늄 또는 보론 등이 도핑된 징크 옥사이드 등을 들 수 있다. 상기 전면 전극층(700)을 형성하기 위한 공정은 상온 내지 약 300℃의 온도에서 진행될 수 있다. 예를 들어, 상기 전면 전극층(700)은 스퍼터링 또는 화학기상증착법(chemical vapor deposition)에 의하여 제조될 수 있다. 더 자세하게, 상기 스퍼터링에 의하여 전면 전극층(700)을 형성하기 위하여, RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착하는 방법과 Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링 등이 사용될 수 있다.
The front electrode layer 700 may be manufactured by stacking a transparent conductive material on the hydrophobic particle layer 600. Examples of the transparent conductive material include zinc oxide doped with aluminum or boron. The process for forming the front electrode layer 700 may be performed at room temperature to about 300 ℃. For example, the front electrode layer 700 may be manufactured by sputtering or chemical vapor deposition. In more detail, in order to form the front electrode layer 700 by the sputtering, a method of depositing using a ZnO target and a reactive sputtering using a Zn target may be used as the RF sputtering method.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

Claims (12)

지지기판 상에 배치되는 후면 전극층;
상기 후면 전극층 상에 배치되는 광 흡수층;
상기 광 흡수층 상에 배치되는 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 배치되는 고저항 버퍼층;
상기 고저항 버퍼층 상에 배치되는 소수성(hydrophobic) 입자층; 및
상기 소수성(hydrophobic) 입자층 상에 배치되는 전면 전극층을 포함하는 태양전지.
A rear electrode layer disposed on the supporting substrate;
A light absorbing layer disposed on the rear electrode layer;
A buffer layer disposed on the light absorbing layer;
A high resistance buffer layer disposed on the buffer layer;
A hydrophobic particle layer disposed on the high resistance buffer layer; And
A solar cell comprising a front electrode layer disposed on the hydrophobic particle layer.
제 1 항에 있어서,
상기 소수성 입자층은 다수개의 소수성 입자들을 포함하고,
상기 소수성 입자들 각각은 산화물 입자 및 상기 산화물 입자를 둘러싸는 소수성막을 포함하는 태양전지.
The method of claim 1,
The hydrophobic particle layer includes a plurality of hydrophobic particles,
Each of the hydrophobic particles comprises an oxide particle and a hydrophobic film surrounding the oxide particle.
제 2 항에 있어서,
상기 소수성막은 하기 화학식 1로 표시되는 실란 화합물을 포함하는 태양전지:
[화학식 1]
R1-Si(X)3
(R1 및 X는 각각 독립적으로 수소원자; 할로겐 원자; 히드록시기; 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알킬기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알케닐기; 치환 또는 비치환된 C2-C20의 알키닐기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴알킬기; 치환 또는 비치환된 C1-C20의 알콕시기; 치환 또는 비치환된 C6-C20의 아릴옥시기를 포함한다).
3. The method of claim 2,
The hydrophobic film is a solar cell comprising a silane compound represented by the following formula (1):
[Formula 1]
R 1 -Si (X) 3
Each independently represent a hydrogen atom; a halogen atom; a hydroxy group; a substituted or unsubstituted C1-C20 alkyl group; a substituted or unsubstituted C2-C20 alkenyl group; a substituted or unsubstituted C2-C20 alkynyl group Substituted or unsubstituted C6-C20 aryl group substituted or unsubstituted C6-C20 arylalkyl group substituted or unsubstituted C1-C20 alkoxy group; substituted or unsubstituted C6-C20 aryloxy group do).
제 2 항에 있어서,
상기 소수성막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 옥타데실트리에톡시실란, 페닐옥시운데실트리메톡시실란, 또는 (헵타데카플루오로-1,1,2,2-테트라히드로데실)트리에톡시실란으로 형성되는 태양전지.
3. The method of claim 2,
The hydrophobic film may be octadecyltrichlorosilane (OTS), octadecyltriethoxysilane, phenyloxyundecyltrimethoxysilane, or (heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrodecyl) tree Solar cell formed of ethoxysilane.
제 1 항에 있어서,
상기 산화물 입자는 상기 고저항 버퍼층과 동일 물질로 형성되는 태양전지.
The method of claim 1,
The oxide particles are formed of the same material as the high resistance buffer layer.
제 5 항에 있어서,
상기 산화물 입자와 상기 고저항 버퍼층은 각각 불순물이 도핑되지 않은 징크 옥사이드(i-ZnO)를 포함하는 태양전지.
The method of claim 5, wherein
Each of the oxide particles and the high resistance buffer layer includes zinc oxide (i-ZnO) that is not doped with impurities.
제 2 항에 있어서,
상기 소수성 입자들의 평균 직경은 1 nm 내지 10 nm 인 태양전지.
3. The method of claim 2,
The average diameter of the hydrophobic particles is 1 nm to 10 nm solar cell.
제 1 항에 있어서,
상기 소수성 입자층의 두께는 1 nm 내지 10 nm 인 태양전지.
The method of claim 1,
The thickness of the hydrophobic particle layer is 1 nm to 10 nm solar cell.
제 1 항에 있어서,
상기 소수성 입자층은 물에 대한 접촉각이 90° 내지 150°인 것을 포함하는 태양전지.
The method of claim 1,
The hydrophobic particle layer is a solar cell comprising a contact angle to the water 90 ° to 150 °.
지지기판 상에 후면 전극층을 형성하는 단계;
상기 후면 전극층 상에 광 흡수층을 형성하는 단계;
상기 광 흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 버퍼층 상에 고저항 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 고저항 버퍼층 상에 소수성(hydrophobic) 입자층을 형성하는 단계; 및
상기 소수성(hydrophobic) 입자층 상에 전면 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법.
Forming a back electrode layer on the support substrate;
Forming a light absorbing layer on the back electrode layer;
Forming a buffer layer on the light absorbing layer;
Forming a high resistance buffer layer on the buffer layer;
Forming a hydrophobic particle layer on the high resistance buffer layer; And
A method of manufacturing a solar cell comprising forming a front electrode layer on the hydrophobic particle layer.
제 10 항에 있어서,
상기 소수성 입자층을 형성하는 단계는,
소수성 물질과 유기 용매를 포함하는 혼합 용매 제조하고,
산화물 입자를 상기 혼합 용매에 분산시키고,
상기 혼합 용매를 상기 고저항 버퍼층 상에 도포하고, 열처리하여 상기 산화물 입자 상에 소수성막을 코팅하는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Forming the hydrophobic particle layer,
Preparing a mixed solvent comprising a hydrophobic material and an organic solvent,
Oxide particles are dispersed in the mixed solvent,
Coating the mixed solvent on the high resistance buffer layer, and heat treatment to coat a hydrophobic film on the oxide particles.
제 11 항에 있어서,
상기 혼합 용매는 침적법, 스프레이법, 스핀코팅법, 및 프린팅법으로 이루어진 군에서 선택되는 습식 코팅 방법으로 도포되는 태양전지의 제조방법.
The method of claim 11,
The mixed solvent is a solar cell manufacturing method is applied by a wet coating method selected from the group consisting of a deposition method, a spray method, a spin coating method, and a printing method.
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