KR20130028429A - Apparatus of dispensing-head-unit - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정 디스플레이의 제조 과정에서 기판 상에 액정을 적하시키는 액정 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a dispensing head unit of a liquid crystal dispenser for dropping a liquid crystal onto a substrate in the manufacturing process of the liquid crystal display.
액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 입력하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하는 표시장치이다.A liquid crystal display (LCD) is a display device that displays an image by individually inputting data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form to adjust light transmittance of the liquid crystal cells.
액정 디스플레이를 제조하기 위하여 종래에는 액정 진공 방식을 사용하였으나, 근래에는 액정 적하 방식이 주로 이용되고 있다. 액정 적하 방식은 액정을 직접 기판에 적하하고, 적하된 액정을 기판의 합착 압력에 의해 기판 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 방식이다.In order to manufacture a liquid crystal display, a liquid crystal vacuum method is conventionally used, but in recent years, a liquid crystal dropping method is mainly used. The liquid crystal dropping method is a method of forming a liquid crystal layer by dropping a liquid crystal directly onto a substrate and uniformly distributing the dropped liquid crystal over the entire substrate by the bonding pressure of the substrate.
일반적으로 액정 적하 공정은 액정 디스펜서에 의해 수행된다. 대한민국 공개특허 2010-0011868 A, 미국특허 공개번호 US 2010/0224071 A1, 미국특허 공개번호 US 2009/0071974 A1 등에는 다양한 방식으로 작동하는 액정 디스펜서가 개시된다.Generally, the liquid crystal dropping process is performed by a liquid crystal dispenser. Korean Patent Publication No. 2010-0011868 A, US Patent Publication No. US 2010/0224071 A1, US Patent Publication No. US 2009/0071974 A1 and the like disclose a liquid crystal dispenser that operates in various ways.
대한민국 공개특허 제2010-0011868호에 개시된 액정 디스펜서는 실린더 및 실린더 내의 흡입 공간에 상승 및 하강 가능한 구조로 삽입되는 피스톤을 포함하고, 피스톤이 상승하면 액정이 실린더 내부로 흡입되고 피스톤이 하강하면 흡입 공간 내부의 액정이 실린더로부터 토출되도록 구성된다. 이때, 실린더로부터 토출되는 액정의 양은 피스톤의 이동 전후의 변위에 의해 결정된다. 실린더의 하강은 피스톤을 Z축을 따라 이동시키는 모터에 의해 이루어지며, 실린더의 하강 거리는 모터에 입력되는 단위펄스값에 의해 결정된다.The liquid crystal dispenser disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2010-0011868 includes a cylinder and a piston inserted into the suction space in the cylinder in a structure capable of being raised and lowered, and when the piston is raised, the liquid crystal is sucked into the cylinder and the suction space is lowered. The liquid crystal inside is discharged from the cylinder. At this time, the amount of liquid crystal discharged from the cylinder is determined by the displacement before and after the movement of the piston. The lowering of the cylinder is made by a motor that moves the piston along the Z axis, and the lowering distance of the cylinder is determined by the unit pulse value input to the motor.
미국 공개번호 US 2010/0224071 A1에 개시된 액재 토출 장치는 플런저를 후퇴시켜 계량부에 액재를 충전시킨 후 플런저를 전진시켜 액재를 토출시키도록 구성되며, 주사기와 유사한 원리로 작동한다. 본 기술 또한 계량부로부터 토출되는 액재의 양은 플런저의 이동 전후의 변위에 의해 결정된다.The liquid material ejecting apparatus disclosed in US Publication No. US 2010/0224071 A1 is configured to retract the plunger to fill the metering material with the metering material, and then advance the plunger to eject the liquid material, and operate on a principle similar to a syringe. This technique also determines the amount of liquid material discharged from the metering section by the displacement before and after the movement of the plunger.
미국특허 공개번호 US 2009/0071974 A1에 개시된 액체 토출 장치는 실린더 내의 플런저를 왕복시켜 액정을 실린더로 흡입 및 실린더로부터 토출시키도록 구성되며, 본 기술 또한 실린더로부터 토출되는 액체의 양은 플런저의 이동 전후의 변위에 의해 결정된다.The liquid ejection apparatus disclosed in US Patent Publication No. US 2009/0071974 A1 is configured to reciprocate a plunger in a cylinder to inhale and eject liquid crystal into the cylinder, and the present technology also includes an amount of liquid ejected from the cylinder before and after the movement of the plunger. Determined by the displacement.
상기의 선행 기술들에 있어서 피스톤 및 플러저의 구동 방식은 서로 다르나, 피스톤 또는 플런저 등으로 구현되는 이동부재를 이동시켜 액정이 수용되는 수용공간의 용적을 감소시킴으로써 액정을 수용공간으로부터 토출시키는 용적제어방식이라는 점에서는 동일하다. In the above prior arts, the driving method of the piston and the plunger is different from each other, but the volume control method of discharging the liquid crystal from the receiving space by reducing the volume of the accommodating space in which the liquid crystal is accommodated by moving the moving member implemented by the piston or the plunger. The same thing is true.
한편, 액정 디스펜서는 미리 설정된 정량의 액정을 기판에 적하시키는 것이 요구되는데 이를 위해서는 적하되는 각각의 액정 방울의 양이 미리 설정된 양과 동일하게 유지되는 것이 바람직하다. 상기와 같이 액정의 수용공간의 용적을 제어함으로써 액정을 적하하는 방식의 액정 디스펜서의 경우, 적하되는 액정 방울의 양은 액정의 수용공간 내를 이동하는 이동부재의 이동 전후의 변위에 의해 결정된다. 따라서, 용적제어방식의 액정 디스펜서에 있어서, 적하되는 액정 방울의 양이 미리 설정된 양과 동일하기 위해서는 이동부재가 미리 설정된 거리만큼 이동해야 한다. 한편, 일반적으로 이동부재는 이동부재 구동유닛에 의해 이동하도록 구성되며, 이동부재 구동유닛에는 이동부재 구동유닛을 제어하기 위한 작동 신호가 입력된다. 따라서, 이동부재의 변위는 이동부재 구동유닛에 입력되는 작동 신호의 크기에 의해 결정된다. 그런데, 이동부재 구동유닛에 매회 동일한 크기의 작동 신호가 입력되더라도 이동부재 구동유닛의 가공오차, 조립오차, 노후화, 또는 오작동 등에 의하여 이동부재의 변위는 매번 달라질 수 있다. 따라서, 용적제어방식의 액정 디스펜서에 있어서 적하되는 액정 방울의 양을 미리 설정된 양과 동일하게 하기 위해서는 이동부재의 이동 시마다 이동부재를 미리 설정된 값만큼 이동시킬 필요가 있으며, 이를 위해서는 이동부재의 변위를 측정할 필요가 있다.On the other hand, the liquid crystal dispenser is required to drop a predetermined amount of liquid crystal on the substrate, for this purpose, it is preferable that the amount of each liquid crystal drop is kept equal to the preset amount. In the case of the liquid crystal dispenser in which the liquid crystal is dropped by controlling the volume of the accommodating space of the liquid crystal as described above, the amount of the liquid crystal drop dropped is determined by the displacement before and after the movement of the moving member moving in the accommodating space of the liquid crystal. Therefore, in the liquid crystal dispenser of the volume control method, the moving member must move by a predetermined distance in order for the amount of the liquid crystal drops to be dropped to be equal to the preset amount. On the other hand, in general, the moving member is configured to move by the moving member driving unit, the operation member for controlling the moving member driving unit is input to the moving member driving unit. Therefore, the displacement of the movable member is determined by the magnitude of the operation signal input to the movable member drive unit. However, even when an operation signal of the same size is input to the moving member driving unit every time, the displacement of the moving member may change every time due to processing errors, assembly errors, aging, or malfunction of the moving member driving unit. Therefore, in the liquid crystal dispenser of the volume control method, it is necessary to move the moving member by a preset value every time the moving member moves in order to make the amount of the liquid crystal drop dropped to the preset amount. Needs to be.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이동부재의 실제 변위를 측정하여 이동부재가 미리 설정된 거리만큼 이동할 수 있도록 함으로써 미리 설정된 양의 액정을 적하시킬 수 있는 디스펜싱 헤드유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and provides a dispensing head unit that can drop a predetermined amount of liquid crystal by measuring the actual displacement of the moving member to move the moving member by a predetermined distance. Its purpose is to.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 액정 수용공간이 형성되고 일 측에 액정 토출통로가 형성되는 액정 수용부재 및 상기 수용공간 내에서 이동하여 상기 수용공간의 용적을 감소시켜 상기 수용공간 내에 수용된 액정을 상기 액정 토출통로를 통해 토출시키는 이동부재를 포함하는 토출수단; 상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향을 따라 상기 이동부재와 일체로 이동하는 이동파트; 상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 고정파트; 및 상기 고정파트에 대한 상기 이동파트의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함하는 디스펜싱 헤드유닛을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention, the liquid crystal accommodating space is formed and the liquid crystal accommodating member is formed on one side and the liquid crystal accommodating member is moved in the accommodating space to reduce the volume of the accommodating space by the accommodating space Discharge means including a moving member for discharging the liquid crystal contained therein through the liquid crystal discharge passage; A moving part moving integrally with the moving member along the moving direction of the moving member when the moving member moves; A fixed part having a position fixed in a moving direction of the moving member when the moving member moves; And it provides a dispensing head unit comprising a displacement measuring means for measuring the displacement of the moving part relative to the fixed part.
상기 변위측정수단은, 상기 변위측정수단은 비접촉식 변위 센서 또는 접촉식 변위 센서일 수 있다.The displacement measuring means may be a non-contact displacement sensor or a contact displacement sensor.
상기 비접촉식 변위 센서는 리니어 스케일 및 리니어 인코더이거나 레이저 변위 센서일 수 있다.The non-contact displacement sensor may be a linear scale and linear encoder or a laser displacement sensor.
상기 접촉식 변위 센서는 선형 가변 차동 변환기일 수 있다.The contact displacement sensor may be a linear variable differential transducer.
또한 본 발명은, 액정이 수용되는 수용공간이 형성되고 일 측에 액정 토출통로가 형성되는 액정 수용부재 및 상기 수용공간 내에서 이동하여 상기 수용공간의 용적을 감소시켜 상기 수용공간 내에 수용된 액정을 상기 액정 토출통로를 통해 토출시키는 이동부재를 포함하는 토출수단; 상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향에 대하여 위치가 고정되는 고정파트; 및 상기 고정파트에 대한 상기 이동부재의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함하는 디스펜싱 헤드유닛을 제공한다.The present invention also provides a liquid crystal accommodating member in which an accommodating space for accommodating liquid crystal is formed and a liquid crystal discharging passage is formed on one side thereof, and moving in the accommodating space to reduce the volume of the accommodating space, thereby receiving the liquid crystal contained in the accommodating space. Discharge means including a moving member for discharging through the liquid crystal discharge passage; A fixed part having a position fixed to the moving direction of the moving member when the moving member moves; And it provides a dispensing head unit comprising a displacement measuring means for measuring the displacement of the movable member relative to the fixed part.
상기 변위측정수단은, 상기 변위측정수단은 비접촉식 변위 센서 또는 접촉식 변위 센서일 수 있다.The displacement measuring means may be a non-contact displacement sensor or a contact displacement sensor.
상기 비접촉식 변위 센서는 리니어 스케일 및 리니어 인코더이거나 레이저 변위 센서일 수 있다.The non-contact displacement sensor may be a linear scale and linear encoder or a laser displacement sensor.
상기 접촉식 변위 센서는 선형 가변 차동 변환기일 수 있다.The contact displacement sensor may be a linear variable differential transducer.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 변위측정수단을 이용하여 이동부재의 변위를 측정함으로써 액정의 토출행정마다 매번 이동부재의 실제 변위를 정확하게 측정할 수 있어 정량의 액정을 적하시킬 수 있는 효과가 있다.According to one embodiment of the present invention, by measuring the displacement of the moving member by using the displacement measuring means, it is possible to accurately measure the actual displacement of the moving member every time the discharge stroke of the liquid crystal, thereby reducing the amount of liquid crystal. .
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 측면도이다.
도 2는 도 1의 디스펜싱 헤드유닛의 정면 부분 절개도이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 액정 수용부재 및 이동부재에 의해 액정이 흡입 및 토출되는 과정을 순차적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 리니어 스케일 및 리니어 인코더로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 레이저 변위 센서로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 선형 가변 차동 변환기로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 리니어 스케일 및 리니어 인코더로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 레이저 변위 센서로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 선형 가변 차동 변환기로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.1 is a side view of a dispensing head unit according to a first embodiment of the present invention.
2 is a front partial cutaway view of the dispensing head unit of FIG. 1.
3A to 3D are cross-sectional views sequentially illustrating a process in which liquid crystal is sucked and discharged by the liquid crystal receiving member and the moving member of the dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention.
4 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented with a linear scale and a linear encoder in the dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention.
5 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented by a laser displacement sensor in the dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention.
6 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented as a linear variable differential converter in the dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention.
7 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented with a linear scale and a linear encoder in the dispensing head unit according to the second embodiment of the present invention.
8 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented as a laser displacement sensor in the dispensing head unit according to the second embodiment of the present invention.
9 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented as a linear variable differential converter in the dispensing head unit according to the second embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 디스펜싱 헤드유닛은 액정 디스펜서에 하나 또는 그 이상이 구비되며, 기판에 대해 상대 이동하면서 기판상에 액정을 적하시킨다. 본 발명에 따른 디스펜싱 헤드유닛은 액정이 수용되는 수용공간의 용적이 이동부재의 이동에 의해 감소함에 따라 액정이 수용공간으로부터 토출되는 용적제어방식에 의해 액정을 적하하며, 이동부재의 이동 전후의 변위를 측정하는 변위측정수단이 구비되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에서는 이동부재의 변위를 측정하기 위해 두 가지 방식이 개시된다. 첫 번째는 디스펜싱 헤드유닛의 구성요소들 중 이동부재와 일체로 이동하는 파트의 변위를 측정함으로써 이동부재의 변위를 간접적으로 측정하는 방식이고, 두 번째는 이동부재의 변위를 직접 측정하는 방식이다.Dispensing head unit according to the present invention is provided with one or more in the liquid crystal dispenser, the liquid crystal is dropped on the substrate while moving relative to the substrate. In the dispensing head unit according to the present invention, the liquid crystal is dropped by the volume control method in which the liquid crystal is discharged from the accommodating space as the volume of the accommodating space in which the liquid crystal is accommodated is reduced by the movement of the movable member, and before and after the movement of the movable member. Displacement measuring means for measuring the displacement is provided. In the present invention, two methods are disclosed for measuring the displacement of the movable member. The first method is to measure the displacement of the moving member indirectly by measuring the displacement of the moving parts of the dispensing head unit integrally with the moving member, and the second is to measure the displacement of the moving member directly. .
먼저, 이동부재의 변위를 간접적으로 측정하는 방식에 대해서 제1 실시예를 참조하여 설명한다. First, a method of indirectly measuring the displacement of the movable member will be described with reference to the first embodiment.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 측면도이고, 도 2는 도 1의 디스펜싱 헤드유닛의 정면 부분 절개도이다.1 is a side view of a dispensing head unit according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front partial cutaway view of the dispensing head unit of FIG. 1.
본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛은, 액정 수용부재(300)와 이동부재(400)로 구성되며 소정량의 액정을 토출시키는 토출수단과, 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 이동 방향을 따라 이동부재(400)와 일체로 이동하는 이동파트와, 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 고정파트와, 고정파트에 대한 이동파트의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함한다. 또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛은, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(130)에 이동 가능하게 결합되는 지지 조립체(200)와, 이동부재(400)와 연결되어 이동부재(400)를 액정 수용부재(300)에 대하여 이동시키는 구동유닛과, 기판에 적하될 액정을 저장하는 액정 저장부(520)와, 일단이 액정 저장부(520)에 삽입되고 타단이 토출수단에 연결되는 튜브(530)를 포함할 수 있다. 액정 저장부(520)에 저장된 액정은 튜브(530)를 통해 토출수단에 의해 흡입되어 노즐(610)을 통해 기판에 적하된다.The dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention includes a liquid
도 3a 내지 도 3d를 참조하면, 본 발명에 따른 토출수단은 액정 수용부재(300)와 이동부재(400)를 포함한다. 액정 수용부재(300)에는 액정이 수용되는 수용공간(310)과, 수용공간(310) 내의 액정을 토출하기 위한 액정 토출통로(330)가 형성되고, 수용공간(310)과 액정 토출통로(330)는 서로 연통한다.토출수단은 액정 저장부(520)로부터 수용공간(310)으로 액정을 흡입하여 액정을 토출하도록 구성될 수 있다. 이때, 액정 수용부재(300)에는 액정을 수용공간(310) 내로 흡입하기 위한 액정 흡입통로(320)가 형성될 수 있다.3A to 3D, the discharge means according to the present invention includes a liquid
이동부재(400)는 수용공간(310) 내에서 이동하여 수용공간(310)의 용적을 감소시켜 수용공간(310) 내에 수용된 액정을 액정 토출통로(330)를 통해 토출시킨다. 다시 말해, 본 발명의 토출수단은 용적제어방식으로 액정을 토출시키며, 예컨대 액정 수용부재(300)는 실린더일 수 있으며, 이동부재(400)는 피스톤일 수 있다. 이동부재(400)는 수용공간(310)에 삽입되는 펌핑부(410)와, 펌핑부(410)의 상단에 일체로 형성되는 결합부(420)를 포함하며, 펌핑부(410)에는 외주면의 일부가 절단된 절단부(412)가 형성된다. 이동부재(400)는 액정 수용부재(300)의 수용공간(310)에 이동부재(400)의 축을 중심으로 회전 가능하며 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입된다. 이동부재(400)가 수용공간(310)에 삽입된 상태에서 액정 흡입통로(320) 및 액정 토출통로(330)는 펌핑부(410)의 외주면에 의해 수용공간(310)과의 연결이 차단되나, 이동부재(400)의 회전 시 액정 흡입통로(320) 또는 액정 토출통로(330) 중 절단부(412)가 대향하는 어느 하나는 수용공간(310)과 연통된다. 즉, 액정 수용부재(300)의 액정 흡입통로(320) 및 액정 토출통로(330)가 절단부(412)에 의해 번갈아가면서 개방된다.The moving
도 3a 내지 도 3d에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛의 액정 수용부재(300) 및 이동부재(400)에 의해 액정이 흡입 및 토출되는 과정이 순차적으로 도시된다. 도 3a에 도시된 바와 같이 이동부재(400)의 절단부(412)가 액정 수용부재(300)의 액정 흡입통로(320)와 대향한 상태에서, 도 3b에 도시된 바와 같이 이동부재(400)가 상승하면 액정이 압력차에 의하여 액정 흡입통로(320)를 통해 수용공간(310)으로 흡입된다. 이 상태에서 도 3c에 도시된 바와 같이 절단부(412)가 액정 토출통로(330)를 향하도록 이동부재(400)가 이동부재(400)의 축을 중심으로 회전한 후, 도 3에 도시된 바와 같이 이동부재(400)가 하강하면 수용공간(310) 내의 액정이 액정 토출통로(330)를 통해 토출된다. 이때, 이동부재(400)는 상승한 거리와 동일한 거리를 한번에 하강하여 수용공간(310) 내의 액정을 한 번에 모두 토출시킬 수 있고, 그와 달리 상승한 거리를 나누어서 단계적으로 하강하여 수용공간(310)의 액정을 분할하여 토출시킬 수도 있다.3A to 3D sequentially illustrate a process in which the liquid crystal is sucked and discharged by the liquid
상기와 같이 본 실시예에서 토출수단은 액정 수용부재(300)의 수용공간(310)에 삽입된 이동부재(400)의 회전 및 직선 이동에 의하여 액정을 흡입 및 토출한다. 이동부재(400)를 회전 및 직선 이동시키는 구동유닛은 회전 구동유닛(700)과 직선 구동유닛(800)을 포함한다. As described above, the discharge means sucks and discharges the liquid crystal by rotation and linear movement of the moving
도 1 및 도 2를 참조하면, 회전 구동유닛(700)은 지지 조립체(200)에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 모터(710)를 포함하며, 제1 모터(710)의 회전축(712)에는 이동부재(400)의 결합부(420)가 탈착 가능하게 결합된다. 회전 구동유닛(700)은 이동부재(400)에 회전력을 제공하여 이동부재(400)를 회전시킨다.1 and 2, the
직선 구동유닛(800)은, 회전 구동유닛(700)에 결합되고 내주면에 나사산이 형성되는 관통홀(812)을 구비하는 연결부재(810)와, 회전력을 발생시키는 제2 모터(840)와, 연결부재(810)의 관통홀(812)을 관통하며 일단이 제2 모터(840)의 회전축(712)에 결합되고 타단이 지지 조립체(200)에 회전 가능하게 결합되는 볼 스크루(850)를 포함한다. 제2 모터(840)가 작동하면 볼 스크루(850)가 회전하고, 볼 스크루(850)의 회전에 의해 연결부재(810)는 상승 또는 하강한다. 연결부재(810)에 결합된 회전 구동유닛(700)은 연결부재(810)와 일체로 승강하며, 이에 따라 회전 구동유닛(700)에 결합된 이동부재(400)가 상하로 직선 운동을 한다. The
본 실시예에서 변위측정수단은 고정파트에 대한 이동파트의 변위를 검출하도록 구성된다. 여기서, 이동파트란 수용공간(310) 내의 액정을 토출하기 위해 이동부재(400)가 이동할 때 디스펜싱 헤드유닛의 여러 구성요소 중 이동부재(400)의 이동 방향을 따라 이동부재(400)와 일체로 이동하는 구성요소를 의미하고, 고정파트란 수용공간(310) 내의 액정을 토출하기 위해 이동부재(400)가 이동할 때 디스펜싱 헤드유닛의 여러 구성요소 중 이동부재(400)의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 구성요소를 의미한다. 다시 말해, 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트는, 디스펜싱 헤드유닛에 대해 어느 방향으로도 이동하지 않고 고정되어 있거나, 또는 디스펜싱 헤드유닛에 대해 특정 방향으로 이동할 수는 있으나 적어도 이동부재(400)의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 구성요소이다. 고정파트의 위치가 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 고정되어 있기만 하면 이동부재(400)의 변위를 측정하기 위한 기준이 될 수 있기 때문이다. 반면, 이동파트는 디스펜싱 헤드유닛의 여러 구성요소 중 이동부재(400)의 이동 시 적어도 이동부재(400)의 이동 방향에 대해서는 이동부재(400)와 일체로 이동하는 구성요소이다. 이동부재(400)의 이동 시 이동파트의 변위와 이동부재(400)의 변위는 동일하다는 전제 하에서 이동부재(400)의 변위는 이동파트의 변위를 측정함으로써 측정될 수 있다. In this embodiment, the displacement measuring means is configured to detect the displacement of the moving part with respect to the fixed part. Here, the moving part is integrated with the moving
변위측정수단은 고정파트에 대한 이동파트의 변위를 검출할 수 있는 다양한 방식의 접촉식 또는 비접촉식 변위 센서일 수 있다. 접촉식 변위 센서는 고정파트와 이동파트에 동시에 접촉하여 고정파트에 대한 이동파트의 변위를 측정하는 변위 센서를 의미하며, 예컨대 선형 가변 차동 변환기(Linear Variable Differential Transformer, LVDT)로 구현될 수 있다. 비접촉식 변위 센서는 고정파트와 이동파트에 동시에 접촉하지 않고 고정파트에 대한 이동파트의 변위를 측정하는 변위 센서를 의미하며, 예컨대 리니어 인코더, 레이저 변위 센서, 초음파식 변위 센서, 광학식 변위 센서 등으로 구현될 수 있다.The displacement measuring means may be a contact or non-contact displacement sensor in a variety of ways capable of detecting displacement of the moving part relative to the fixed part. The contact displacement sensor refers to a displacement sensor that contacts the fixed part and the moving part simultaneously and measures the displacement of the moving part with respect to the fixed part. For example, the contact displacement sensor may be implemented as a linear variable differential transformer (LVDT). The non-contact displacement sensor means a displacement sensor that measures the displacement of the moving part relative to the fixed part without contacting the fixed part and the moving part at the same time. For example, the non-contact displacement sensor may be implemented as a linear encoder, a laser displacement sensor, an ultrasonic displacement sensor, or an optical displacement sensor. Can be.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 리니어 스케일 및 리니어 인코더로 구현되는 예를 도시하는 도면이고, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 레이저 변위 센서로 구현되는 예를 도시하는 도면이며, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 선형 가변 차동 변환기로 구현되는 예를 도시하는 도면이다. 4 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented with a linear scale and a linear encoder in the dispensing head unit according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a disc according to the first embodiment of the present invention. FIG. 6 is a view illustrating an example in which a displacement measuring means is implemented as a laser displacement sensor in a fencing head unit, and FIG. 6 is a displacement variable means in a dispensing head unit according to a first embodiment of the present invention. It is a figure which shows the example which becomes.
도 4를 참조하면, 변위측정수단의 일례로서, 변위측정수단은 리니어 스케일(linear scale)(911) 및 리니어 인코더(linear encoder)(912)에 의해 구현될 수 있다. 리니어 스케일(911)이 이동부재(400)와 일체로 이동하는 디스펜싱 헤드유닛의 이동파트에 고정되고, 리니어 인코더(912)는 센싱면이 리니어 스케일(911)을 향하도록 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 고정된다. 리니어 스케일(911)은 일정한 간격으로 슬릿(slit)이 형성되고, 리니어 인코더(912)는 리니어 스케일(911)에 형성된 슬릿을 검출하여 이동파트의 변위를 검출한다. 리니어 스케일(911)의 길이는 적어도 이동부재(400)의 이동 거리 이상이 되는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 4, as an example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may be implemented by a
이동파트가 고정파트에 대하여 상대 이동 시 리니어 스케일(911)과 리니어 인코더(912) 또한 상대 이동함으로써 리니어 스케일(911) 및 리니어 인코더(912)에 의하여 고정파트에 대한 이동파트의 변위가 측정된다. 이 측정 결과는 제어부로 전달되고 미리 설정된 변위와 비교된 후 이동부재 구동유닛의 제어에 이용될 수 있다. 변위측정수단에 의하여 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 대한 이동파트의 변위가 정확하게 측정되므로 액정 적하 공정 도중 이동부재(400)가 설정된 변위만큼 이동하지 않은 경우 이를 보정해줄 수 있다.When the moving part moves relative to the fixed part, the
도 4에 도시된 실시예에서 리니어 스케일(911)은 연결부재(810)에 고정되고 리니어 인코더(912)는 지지 조립체(200)에 고정된다. 즉, 이동파트는 연결부재(810)이고 고정파트는 지지 조립체(200)이다. 그러나, 이동파트는 예컨대, 제1 모터(710), 제1 모터(710)의 회전축(712) 등과 같이 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)와 동일한 방향으로 이동부재(400)와 일체로 이동하는 그 밖의 다양한 구성요소 일 수 있으며, 고정파트 또한 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 이동 방향으로 위치가 고정되는 그 밖의 다양한 구성요소 일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4, the
한편, 도 4에는 리니어 스케일(911)이 디스펜싱 헤드유닛의 이동파트에 고정되고 리니어 인코더(912)가 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 고정되는 것으로 도시되었으나, 이와는 반대로 리니어 인코더(912)가 이동파트에 고정되고 리니어 스케일(911)이 고정파트에 고정될 수도 있다.Meanwhile, although FIG. 4 shows that the
도 5를 참조하면, 변위측정수단의 다른 예로서, 변위측정수단은 레이저 변위 센서(913)로 구현될 수 있다. 레이저 변위 센서(913)는 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 고정되고, 이동부재(400)의 이동 시 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 대하여 이동파트의 변위를 측정한다. Referring to FIG. 5, as another example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may be implemented by the
도 5에는 레이저 변위 센서(913)가 고정파트인 지지 조립체(200)에 고정되어 이동파트인 연결부재(810)의 상면을 측정면으로 삼고 연결부재(810)의 변위를 측정하는 것으로 도시되었다. 그러나, 레이저 변위 센서(913)가 변위를 측정하기 위해 설정하는 측정면은 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)와 동일한 방향으로 일체로 이동하는 그 밖의 다양한 구성요소의 다양한 부위가 될 수 있다. 또한, 레이저 변위 센서(913)가 고정되는 고정파트는 지지 조립체(200) 뿐만 아니라 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 디스펜싱 헤드유닛의 다양한 구성요소일 수 있다.In FIG. 5, the
도 6을 참조하면, 변위측정수단의 또 다른 예로서, 변위측정수단은 선형 가변 차동 변환기(Linear Variable Differential Transformer, LVDT)(914)로 구현될 수 있다. 선형 가변 차동 변환기(914)는 고정파트인 지지 조립체(200)에 고정되고 접촉자(915)가 이동파트인 연결부재(810)의 상면에 접촉되도록 구성될 수 있다. 선형 가변 차동 변환기(914)의 접촉자(915)는 연결부재(810) 측으로 가압되고 연결부재(810)의 이동 시 연결부재(810)와 함께 이동한다. 선형 가변 차동 변환기(914)는 접촉자(915)의 변위를 전기적 신호로 변환하여 연결부재(810)의 변위를 측정한다. Referring to FIG. 6, as another example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may be implemented by a linear variable differential transformer (LVDT) 914. The linear variable
다음으로는 이동부재의 변위를 직접 측정하는 방식에 대해서 제2 실시예를 참조하여 설명한다.Next, a method of directly measuring the displacement of the movable member will be described with reference to the second embodiment.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 리니어 스케일 및 리니어 인코더로 구현되는 예를 도시하는 도면이고, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 레이저 변위 센서로 구현되는 예를 도시하는 도면이며, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛에 있어서 변위측정수단이 선형 가변 차동 변환기로 구현되는 예를 도시하는 도면이다.7 is a view showing an example in which the displacement measuring means is implemented with a linear scale and a linear encoder in the dispensing head unit according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a disc according to the second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a view illustrating an example in which a displacement measuring means is implemented as a laser displacement sensor in a fencing head unit. FIG. 9 is a displacement variable means in a dispensing head unit according to a second embodiment of the present invention. It is a figure which shows the example which becomes.
제2 실시예의 디스펜싱 헤드유닛은 변위측정수단이 이동파트가 아니라 이동부재의 변위를 직접 측정하는 점을 제외하고는 제1 실시예와 유사하므로, 이하에서는 제1 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다. Since the dispensing head unit of the second embodiment is similar to the first embodiment except that the displacement measuring means directly measures the displacement of the moving member, not the moving part, the following description focuses on differences from the first embodiment. Explain.
본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛은, 액정 수용부재(300)와 이동부재(400)로 구성되며 액정 저장부로부터 액정을 흡입하여 소정량의 액정을 토출시키는 토출수단과, 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 위치가 고정되는 고정파트와, 고정파트에 대한 이동부재(400)의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함한다. 또한, 도시되지 않았으나 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스펜싱 헤드유닛은 도 1에 도시된 실시예와 같이, 이동부재(400)와 연결되어 이동부재(400)를 액정 수용부재(300)에 대하여 이동시키는 구동유닛을 비롯하여, 디스펜싱 헤드유닛의 작동에 필요한 그 밖의 공지의 구성요소를 포함할 수 있다. Dispensing head unit according to the second embodiment of the present invention is composed of a liquid
본 실시예의 토출수단은 제1 실시예의 토출수단의 구성과 동일한 구성을 가지며, 작동방식 또한 제1 실시예와 동일하다. 그러나, 본 실시예에서 변위측정수단은 이동부재(400)의 위치를 검출하도록 구성된다.The discharge means of this embodiment has the same configuration as that of the discharge means of the first embodiment, and the operation method is also the same as that of the first embodiment. However, the displacement measuring means in this embodiment is configured to detect the position of the moving
도 7을 참조하면, 변위측정수단의 일례로서, 변위측정수단은 리니어 스케일(921) 및 리니어 인코더(922)를 포함할 수 있다. 리니어 스케일(921)이 이동부재(400)에 고정되고, 리니어 인코더(922)는 센싱면이 리니어 스케일(921)을 향하도록 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트(550)에 고정된다. 리니어 스케일(921) 및 리니어 인코더(922)의 작동 방식은 도 4의 실시예와 동일하다.Referring to FIG. 7, as an example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may include a
리니어 스케일(921)은 이동부재(400)의 펌핑부(410)에 고정된다. 리니어 스케일(921)은 전체 길이에 걸쳐 이동부재(400)에 고정될 수 있는 부위라면 이동부재(400)의 어떤 부위라도 고정될 수 있다. 이동부재(400)가 액정 수용부재(300) 내에서 직선 이동할 때 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 위치가 고정되는 리니어 인코더(922)가 리니어 스케일(921)에 형성된 슬릿을 검출하여 이동부재(400)의 변위를 검출한다. The
이와 같이 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)의 변위가 변위측정수단에 의해 직접 측정되므로 이동부재(400)의 변위를 간접적으로 측정하는 것보다 정확하게 이동부재(400)의 변위를 측정할 수 있다. 즉, 도 4에 도시된 실시예의 경우 이동부재(400)의 변위와 이동파트의 변위가 동일하다는 전제 하에서 이동파트의 변위를 측정함으로써 이동부재(400)의 변위를 간접적으로 측정한다. 따라서, 도 4의 실시예의 경우 이동파트와 이동부재(400) 간의 유격 등으로 인하여 이동파트와 이동부재(400)의 변위가 서로 달라지면 측정된 변위값과 이동부재(400)의 실제 변위간에 차이가 있을 수 있는데 반해, 도 7에 도시된 실시예의 경우 측정된 변위값과 이동부재(400)의 실제 변위간에 차이가 있을 수 있는 가능성이 더욱 감소한다.As such, since the displacement of the
한편, 이동부재(400) 자체에 리니어 인코더(922)가 고정될 수 있는 구조가 제공될 수 있다면 리니어 인코더(922)가 이동부재(400)에 고정되고 리니어 스케일(921)이 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트에 고정될 수도 있다.On the other hand, if the moving
도 8을 참조하면, 변위측정수단의 다른 예로서, 변위측정수단은 레이저 변위 센서(923)로 구현될 수 있다. 레이저 변위 센서(923)는 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 위치가 고정되는 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트(560)에 고정되고, 이동부재(400)의 이동 시 디스펜싱 헤드유닛의 고정파트(560)에 대하여 이동부재(400)의 변위를 측정한다.Referring to FIG. 8, as another example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may be implemented by a
레이저 변위 센서(923)에 의해 측정되는 이동부재(400)의 측정면은 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 수직인 면인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 이동부재(400)의 이동 방향에 대하여 평행한 면을 제외하고는 측정면이 될 수 있다.The measurement surface of the moving
도 9를 참조하면, 변위측정수단의 또 다른 예로서, 변위측정수단은 선형 가변 차동 변환기(924)로 구현될 수 있다. 선형 가변 차동 변환기(924)는 고정파트(570)에 고정되고 접촉자(925)가 이동부재(400)의 결합부(420)의 상면에 접촉되도록 구성될 수 있다. 선형 가변 차동 변환기(924)의 접촉자(925)는 이동부재(400) 측으로 가압되고 이동부재(400)의 이동 시 이동부재(400)와 함께 이동한다. 선형 가변 차동 변환기(924)는 접촉자(925)의 변위를 전기적 신호로 변환하여 이동부재(400)의 변위를 측정한다.Referring to FIG. 9, as another example of the displacement measuring means, the displacement measuring means may be implemented with a linear variable
상술된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 기술적 특징인 변위측정수단을 이용하여 이동부재의 변위를 측정하여 이동부재의 실제 변위가 미리 설정된 변위값과 동일한지를 비교하는 것은 상술된 실시예에 한정되어 적용되는 것은 아니다. 즉, 선행기술에 소개된 다양한 방식의 액정 디스펜서를 포함하여 이동부재의 이동에 의하여 수용공간에 수용되는 액정이 토출되는 용적제어방식의 액정 디스펜서라면 본 발명의 기술적 특징은 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 수정 및 변경되어 적용 가능할 것이다.The above-described embodiment is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the actual displacement of the movable member by measuring the displacement of the movable member using the displacement measuring means which is a technical feature of the present invention is equal to the preset displacement value. The comparison is not limited to the above-described embodiment. That is, if the liquid crystal dispenser of the volume control method including the liquid crystal dispenser of the various methods introduced in the prior art is discharged liquid crystal accommodated in the receiving space by the movement of the moving member in the range without departing from the essential characteristics Various modifications and changes will be applicable.
300: 액정 수용부재 310: 수용공간
320: 액정 흡입통로 330: 액정 토출통로
400: 이동부재 410: 펌핑부
420: 결합부 520: 액정 저장부
530: 튜브 610: 노즐
700: 회전 구동유닛 710: 제1 모터
800: 직선 구동유닛 810: 연결부재
840: 제2 모터 850: 볼 스크루
911, 921: 리니어 스케일 912, 922: 리니어 인코더
913, 923: 레이저 변위 센서 914, 924: 선형 가변 차동 변환기300: liquid crystal accommodating member 310: accommodating space
320: liquid crystal suction passage 330: liquid crystal discharge passage
400: moving member 410: pumping unit
420: coupling unit 520: liquid crystal storage unit
530: tube 610: nozzle
700: rotation drive unit 710: first motor
800: linear drive unit 810: connecting member
840: second motor 850: ball screw
911, 921:
913, 923:
Claims (10)
상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향을 따라 상기 이동부재와 일체로 이동하는 이동파트;
상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향으로는 위치가 고정되는 고정파트; 및
상기 고정파트에 대한 상기 이동파트의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함하는 디스펜싱 헤드유닛.A liquid crystal accommodating member having a liquid crystal accommodating space and a liquid crystal discharging passage formed at one side thereof, and moving in the accommodating space to reduce the volume of the accommodating space to discharge the liquid crystal contained in the accommodating space through the liquid crystal discharging passage. Discharge means including a member;
A moving part moving integrally with the moving member along the moving direction of the moving member when the moving member moves;
A fixed part having a position fixed in a moving direction of the moving member when the moving member moves; And
Dispensing head unit comprising a displacement measuring means for measuring the displacement of the moving part relative to the fixed part.
상기 변위측정수단은 비접촉식 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method of claim 1,
The displacement measuring means is a dispensing head unit is a non-contact displacement sensor.
상기 비접촉식 변위 센서는 리니어 스케일 및 리니어 인코더, 또는 레이저 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method of claim 2,
The non-contact displacement sensor is a dispensing head unit, a linear scale and a linear encoder, or a laser displacement sensor.
상기 변위측정수단은 접촉식 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method of claim 1,
The displacement measuring means is a dispensing head unit is a contact displacement sensor.
상기 접촉식 변위 센서는 선형 가변 차동 변환기(Linear Variable Differential Transformer, LVDT)인 디스펜싱 헤드유닛.5. The method of claim 4,
The contact displacement sensor is a dispensing head unit (Linear Variable Differential Transformer, LVDT).
상기 이동부재의 이동 시 상기 이동부재의 이동 방향에 대하여 위치가 고정되는 고정파트; 및
상기 고정파트에 대한 상기 이동부재의 변위를 측정하는 변위측정수단을 포함하는 디스펜싱 헤드유닛.A liquid crystal accommodating member having a liquid crystal accommodating space is formed and a liquid crystal discharging passage is formed at one side thereof, and the liquid crystal contained in the accommodating space is reduced by moving in the accommodating space to reduce the volume of the accommodating space. Discharge means including a moving member for discharging;
A fixed part having a position fixed to the moving direction of the moving member when the moving member moves; And
Dispensing head unit comprising a displacement measuring means for measuring the displacement of the movable member relative to the fixed part.
상기 변위측정수단은 비접촉식 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method according to claim 6,
The displacement measuring means is a dispensing head unit is a non-contact displacement sensor.
상기 비접촉식 변위 센서는 리니어 스케일 및 리니어 인코더, 또는 레이저 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method of claim 7, wherein
The non-contact displacement sensor is a dispensing head unit, a linear scale and a linear encoder, or a laser displacement sensor.
상기 변위측정수단은 접촉식 변위 센서인 디스펜싱 헤드유닛.The method according to claim 6,
The displacement measuring means is a dispensing head unit is a contact displacement sensor.
상기 접촉식 변위 센서는 선형 가변 차동 변환기(Linear Variable Differential Transformer, LVDT)인 디스펜싱 헤드유닛.10. The method of claim 9,
The contact displacement sensor is a dispensing head unit (Linear Variable Differential Transformer, LVDT).
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103383468A (en) * | 2013-06-28 | 2013-11-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | Detecting system and method of seal agent coating equipment and seal agent coating machine |
KR101899243B1 (en) * | 2017-03-30 | 2018-09-14 | 주식회사 프로텍 | Stroke Control Type Viscous Liquid Pump |
KR101916575B1 (en) | 2017-03-30 | 2018-11-07 | 주식회사 프로텍 | Flowrate Measuring Type Viscous Liquid Pump |
CN109653978A (en) * | 2019-01-11 | 2019-04-19 | 深圳市世椿智能装备股份有限公司 | A kind of plunger type gluing device |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3914395A1 (en) * | 2019-01-21 | 2021-12-01 | Nordson Corporation | System and method for dispenser control |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06510860A (en) * | 1991-09-18 | 1994-12-01 | ベンタナ・メデイカル・システムズ・インコーポレーテツド | liquid dispenser |
JPH09159505A (en) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Iwashita Eng Kk | Delivery quantity control device in fixed quantity delivery unit |
KR20040008966A (en) * | 2002-07-20 | 2004-01-31 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Apparatus for dispensing Liquid crystal and method for dispensing thereof |
KR20110061325A (en) * | 2009-12-01 | 2011-06-09 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Paste dispenser |
KR20110068357A (en) * | 2009-12-16 | 2011-06-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Cylinder and liquid crystal dispenser having the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004089762A (en) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for applying liquid material |
KR100637590B1 (en) * | 2005-07-08 | 2006-10-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Apparatus for cutting glass substrates in manufacturing process of flat type displayer |
KR100649962B1 (en) * | 2006-06-28 | 2006-11-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Head unit of paste dispenser |
KR101015137B1 (en) * | 2008-10-31 | 2011-02-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Cylinder and head apparatus having the same and liquid crystal dispenser having the same |
CN201625618U (en) * | 2010-03-11 | 2010-11-10 | 首钢莫托曼机器人有限公司 | Real-time automatic tracking gluing device |
-
2011
- 2011-09-09 KR KR1020110091982A patent/KR101949120B1/en active IP Right Grant
-
2012
- 2012-03-21 CN CN2012100755233A patent/CN102989638A/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06510860A (en) * | 1991-09-18 | 1994-12-01 | ベンタナ・メデイカル・システムズ・インコーポレーテツド | liquid dispenser |
JPH09159505A (en) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Iwashita Eng Kk | Delivery quantity control device in fixed quantity delivery unit |
KR20040008966A (en) * | 2002-07-20 | 2004-01-31 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Apparatus for dispensing Liquid crystal and method for dispensing thereof |
KR20110061325A (en) * | 2009-12-01 | 2011-06-09 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Paste dispenser |
KR20110068357A (en) * | 2009-12-16 | 2011-06-22 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Cylinder and liquid crystal dispenser having the same |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103383468A (en) * | 2013-06-28 | 2013-11-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | Detecting system and method of seal agent coating equipment and seal agent coating machine |
CN103383468B (en) * | 2013-06-28 | 2016-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | The detection system of sealed plastic box coating apparatus and detection method, sealed plastic box coating machine |
KR101899243B1 (en) * | 2017-03-30 | 2018-09-14 | 주식회사 프로텍 | Stroke Control Type Viscous Liquid Pump |
KR101916575B1 (en) | 2017-03-30 | 2018-11-07 | 주식회사 프로텍 | Flowrate Measuring Type Viscous Liquid Pump |
CN109653978A (en) * | 2019-01-11 | 2019-04-19 | 深圳市世椿智能装备股份有限公司 | A kind of plunger type gluing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102989638A (en) | 2013-03-27 |
KR101949120B1 (en) | 2019-02-19 |
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