KR20130019048A - 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체 - Google Patents

에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체 Download PDF

Info

Publication number
KR20130019048A
KR20130019048A KR1020110080958A KR20110080958A KR20130019048A KR 20130019048 A KR20130019048 A KR 20130019048A KR 1020110080958 A KR1020110080958 A KR 1020110080958A KR 20110080958 A KR20110080958 A KR 20110080958A KR 20130019048 A KR20130019048 A KR 20130019048A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
conductor
signal
energy harvesting
micro
Prior art date
Application number
KR1020110080958A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101273491B1 (ko
Inventor
조종두
이흥식
Original Assignee
인하대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 인하대학교 산학협력단 filed Critical 인하대학교 산학협력단
Priority to KR1020110080958A priority Critical patent/KR101273491B1/ko
Publication of KR20130019048A publication Critical patent/KR20130019048A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101273491B1 publication Critical patent/KR101273491B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/02—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/08—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with magnetostriction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0091—Magnetic properties, e.g. guiding magnetic flux
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/05—Type of movement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

본 발명은 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체에 관한 것으로서, 유연 플레이트에 자기변형박막들을 증착하며, 신호 입력부로부터 전송되는 신호에 의해 유도 자기장을 발생시켜, 특정 방향으로 이동되는 운동체를 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 플레이트; 상기 플레이트의 일측에 형성되어, 외부로부터 신호를 입력받아 전류를 발생시키며, 유도 자기장을 발생시키는 도체; 및 상기 플레이트에 증착 형성되며, 상기 도체로부터 발생되는 유도 자기장에 따라 자기 변형되어, 상기 플레이트를 이동시키는 자기변형박막; 을 포함한다.

Description

에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체{MICRO MAGNETOSTRICTIVE ACTUATOR BY ENERGY HARVESTING}
본 발명은 MEMS 공정에 의해 제작되는 마이크로 자기 왜곡 운동체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유연 플레이트에 자기변형박막들을 증착하며, 신호 입력부로부터 전송되는 신호에 의해 유도 자기장을 발생시켜, 특정 방향으로 이동되는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체에 관한 것이다.
일반적으로 전기장과 자기장이 서로 연관되어 나타날 때, 양쪽을 합쳐서 전자기장이라 한다. 원래 전기장은 정전하(靜電荷)의 주위에, 자기장은 자극(磁極)의 주위에 생기는 것으로 각각 독립된 물리대상이지만, 전하가 운동하여 전기장이 시간적으로 변동하는 곳에서는 반드시 자기장이 생기고, 역으로 자기장이 변동하면 전기장이 동반되는 등, 일반적으로는 양쪽이 동시에 나타나는 경우가 많으므로 이를 전자기장이라고 한다.
자기변형재료는 외부에서 인가되는 자기장에 의해 치수의 변화(주로 길이의 변화를 일컬음)가 발생하는 재료를 말한다. 자기변형재료에 대하여는 1842년 Joule에 의해 처음으로 자기변형 현상이 이론적으로 정립되었으며, 1960년대 희토류 금속(rare earth elements)과 자기 천이금속(magnetic transition metals)과의 합금을 통해 상온에서 10-3 정도의 큰 자기변형을 갖는 Terfenol이 개발되었다. 1980년대 미국의 AMES에서 작은 인가 자기장 하에서도 큰 변형을 보이는 Terfenol-D가 개발되어 상업적인 성공을 거두었다.
최근에는 MEMS 기술의 발전과 더불어 자기변형재료를 이용하는 MEMS소자(주로 미소 작동기)의 제작 및 설계에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 자성재료를 다루는 세계적 연구그룹의 하나인 영국 Cardiff University의 Wolfson Center for Magnetics에서는 1997년에 자기변형 띠를 사용하여 뼈의 파손 상태를 모니터링 하는 기법을 제시한 바 있으며(Meydan T. et al., Sens. Actuator A-phys. 59, 192-196, 1997), 2004년도에는 굽힘의 양을 측정하기위한 자기변형센서를 개발하였고 그 결과를 2006년도에 발표하였으며(H. Pfㆌtzner et al., Sens. Actuator A-phys. 129, 154-158, 2006), 2007년도에 자기변형 재료를 이용한 치과용 스케일러를 제작하였다. 최근 2009년도에는 응력 측성 센서와 작동기 제작을 위한 자성변화 및 자기-기계적 특성에 대한 연구결과를 발표하였다(Nlebedim I. C. et al., IEEE Trans. Magn., 45, 1543-1547, 2009).
박막 자성재료 연구그룹인 영국 York 대학의 The Magnetic Thin Films Research Group은 1993년도에 자성 박막의 전기전도성과 자기저항 특성을 연구하여 발표하였으며(Shufeng Zhang et al., J. Appl. Phys., 73, 5315-5319, 1993), 2004년도에는 자성 다층 박막의 자기저항을 비 접촉식으로 측정하는 기법을 발표하였고(M. Vopsaroiu et al., Phys. Rev. B, 70, 214423-1~214423-7, 2004), 2007년도에는 다층박막과 자기변형 스핀 밸브의 센서응용을 위해 자기저항 값을 30 μm 해상도 2차원 이미지화 시킨 연구 결과를 발표하였다(S. M. Stirka et al. J. Magn. Magn. Mater. 316, e953-e959, 2007). 현재는 자성 박막의 나노 공정연구 및 나노 자성특성 연구를 진행하고 있다(http://www-users.york.ac.uk/~yx2/ research.htm 참조).
에너지 하베스팅 기술은 자연의 빛에너지, 인간 신체 또는 연소형 엔진으로부터의 저온 폐열에너지, 휴대용 기기 탑재/부착장치의 미세 진동에너지, 인간의 신체활동(걷거나 뛰는)으로 인한 소산 에너지 등을 흡수하여 Thermoelectric Element, Electrochemical Reaction, DC/AC Generator, Piezoelectric Transducer, Capacitor Transducer나 Photovoltaic Cell 등과 같은 에너지 하베스팅 소자기술을 이용하여 전기에너지로 변환, 전자기기의 전력으로 사용하는 환경에너지 재생형 에너지원이라 할 수 있다. 실제로 인체, 공장의 기계, 각종의 전파, 많은 물체가 발생하는 열 및 진동, RF파 등의 미세 에너지원을 수확하고 폐이용하여 전력 시스템으로 사용이 가능한 것인가라고 오래 전부터 논의되고 있었는데 최근의 그린 에너지 정책 및 원격 제어 시스템의 발전으로 더욱 부각되고 있다.
에너지 하베스트 기술의 제일목적은 전력 코스트를 절감하는 것이지만 그 외에도 이것을 통하여 새로운 응용분야의 개척도 염두에 두고 개발되고 있다.
영국 Leeds 대학교 연구원들은 2009년부터 행진을 하는 군인들로부터 동력에너지를 획득할 수 있는 시스템을 개발하고 있다. 150만 달러가 소요되는 이 계획은 인간의 에너지를 군사분야의 적용을 위한 유용한 전력으로 전환하는 방법을 찾는데 초점을 맞추고 있다. 이는 군대를 위해 태양 및 생체열을 회수하는 기술 개발을 포함하는 일명 "배터리가 없는 군인(battery-free soldier) 프로젝트"의 일환으로 수행되는 것이다.
국내에서도 이미 무선으로 전지를 충전하여 사용할 수 있는 RF 박막전지가 상용화되고 있어 무선 원격 에너지 전송이 기술적으로 가능함을 보여주고 있다. 박막전지는 양극/전해질/음극의 모든 구성요소가 고체상태로 이루어져 있으며, 반도체 공정기술을 기반으로 하는 증착기술(PVD,CVD)에 의해 얇은 기판상에 수 마이크론 내외의 두께로 구현된다. 현재리튬금속산화물과 리튬을 각각 양극 및 음극 물질로 사용하고 있으며, 또한 Li conducting Glassyinorganic 박막을 고체전해질로 사용하고 있다. 이러한 박막전지의 제작은 cluster형태로 구성된하나의 in-situ 시스템에서 모두 이루어지고 있으며, 또한 RF무선충전방식, 접촉 방식 및 에너지 하베스팅 방식에 의한 충전이 가능하다.
이러한 에너지 하베스팅 개념이 우리들의 생활에 깊이 침투하게 되면서 제품은 더더욱 소형화하지만 그 기능은 더욱 고도화되고 있으며, 소형화, 집적화되는 기술에는 MEMS 기술이 핵심적인 기술로 활용될 수 있다.
한편, 자기 왜곡 운동체와 관련해서는 본 출원인이 기 출원한 한국공개특허 10-2007-0064975호(이하, '선행문헌') 이외에 다수 출원 및 등록되어 있다.
선행문헌에 따른 자기 왜곡 운동체는 그 공개공보의 도 1a 에 도시된 바와 같이, 마이크로 로봇에 있어서, 소정 재질의 플레이트; 상기 플레이트의 하단면에 일정 간격으로 수직 형성된 복수의 보행수단; 상기 플레이트의 상단면에 일정 간격으로 형성되되 포지티브 및 네거티브 자기변형박막들이 교대로 형성되어 외부에서 인가되는 AC 자기장에 따라 자기 변형하는 제 1 자기변형박막들; 및 상기 플레이트의 하단면인 각 보행수단 사이에 형성되되 상기 제 1 자기변형박막들의 각 박막과 대응하는 위치에 서로 다른 성질의 자기변형박막이 교대로 형성되어 외부에서 인가되는 AC 자기장에 따라 자기 변형하는 제 2 자기변형박막들; 을 포함하여 이루어진다.
그러나, 선행문헌과 같은 종래의 자기변형 운동체는 단순히 외부의 자기장에 의해 변형되는 한계가 있었다.
한국공개특허 10-2007-0064975호(공개일: 2007.06.22, 발명의 명칭: 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체, 청구범위 제1항).
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로 본 발명의 제 1 목적은, 유연 플레이트에 자기변형박막들을 증착하며, 신호 입력부로부터 전송되는 신호에 의해 유도 자기장을 발생시켜, 특정 방향으로 이동되는 운동체를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 제 2 목적은, 외부로부터 전송되는 전기신호 이외에도, 자체전기발전을 위한 자극신호를 바탕으로 전류를 발생시키고, 유도 자기장을 발생시킬 수 있는, 자체 에너지 하베스팅에 의해 이동시킬 수 있는 운동체를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 제 3 목적은, 내부에서 발생된 유도 자기장과, 외부에서 인가한 자기장 또는 외부 물체(자성재료)에 의해 발생되는 자기장에 의해, 국소적으로 자기변형이 일어나는 운동체를 제공함에 있다.
이러한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체에 관한 것으로, 플레이트; 상기 플레이트의 일측에 형성되어, 외부로부터 신호를 입력받아 전류를 발생시키며, 유도 자기장을 발생시키는 도체; 및 상기 플레이트에 증착 형성되며, 상기 도체로부터 발생되는 유도 자기장에 따라 자기 변형되어, 상기 플레이트를 이동시키는 자기변형박막; 을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 유연 플레이트에 자기변형박막들을 증착하며, 신호 입력부로부터 전송되는 신호에 의해 유도 자기장을 발생시켜, 특정 방향으로 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 따르면, 외부로부터 전송되는 전기신호 이외에도, 자체전기발전을 위한 자극신호를 바탕으로 전류를 발생시키고, 유도 자기장을 발생시킬 수 있는, 자체 에너지 하베스팅에 의해 이동시킬 수 있는 효과도 있다.
그리고 본 발명에 따르면, 내부에서 발생된 유도 자기장과, 외부에서 인가한 자기장 또는 외부 물체(자성재료)에 의해 발생되는 자기장에 의해, 일어나는 국소적으로 자기변형에 따라 운동체를 이동시킬 수 있는 효과도 있다.
도 1a 는 종래 자기 왜곡 운동체에 관한 구성도.
도 2 는 본 발명에 따른 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체 에 관한 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 음전하의 이동에 따른 전류 발생 및 자기장이 유도되는 모습을 보이기 위한 일예시도.
도 4 는 본 발명에 따른 외부 자기장과, 내부에서 발생된 유도 자기장에 의해, 자기변형이 일어나 운동체가 이동하는 모습을 보이는 일예시도.
본 발명의 구체적 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 발명에 관련된 공지 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체에 관하여 도 2 내지 도 4 를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 는 본 발명에 따른 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체(A)에 관한 구성도로서, 도시된 바와 같이 플레이트(100), 도체(200), 자기변형박막(300) 및 신호 입력부(400)를 포함하여 이루어진다.
플레이트(100)는 폴리이미드 필름(Poly-imide Film) 또는 SU-8 등의 유연 재질로 이루어진다.
도체(200)는 상기 플레이트(100)의 일측에 형성되어, 도 3 에 도시된 바와 같이, 외부로부터 신호를 입력받아 전류를 발생시키며, 소정 주파수의 유도 자기장을 발생시킨다.
즉, 도체(200)는 유도 자기장을 통해 서로 다른 공명주파수를 가지는 다수개의 자기변형박막(300)의 길이를 선택적으로 변형시킴으로써, 플레이트(100)가 특정 방향으로 이동되도록 제어한다.
이때, 도체(200)는 마이크로 또는 나노 크기를 가지는 유도 코일 또는 환형 도체일 수 있으며, 상기 유도 코일은 섬유 또는 반자성 물체로 이루어질 수 있다.
자기변형박막(Magnetostrictive thin film)(300)은 플레이트(100)의 상하단면에 매트릭스 형태로 다수 증착 형성되며, 상기 도체(200)로부터 발생된 유도 자기장에 따라 자기 변형되어, 플레이트(100)를 이동시킨다.
이때, 자기변형박막(300)은 TbDyFe, Tb-Fe, Sm-Fe 및 Terfenol 재질 중에서 선택 사용되되, 2종 이상이 선택 사용될 수 있다. 또한, 스퍼터링 방식에 의해 플레이트 상에 증착 형성되는 것이 바람직하며, 인접하는 박막들(310을 기준으로 하였을 때, 320)과 서로 다른 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 자기변형박막(300)의 자기변형 방향은 X축 또는 Y축이며, 인접하는 박막들(310을 기준으로 하였을 때, 320)과 자기변형되는 방향 및 공명주파수가 서로 다르게 형성된다. 예를 들어, 상기 도 2 에 도시된 바와 같이, 310 박막은, 인접한 320 박막과 90도 회전되어 증착 형성된다.
따라서, 상기 도체(200)로부터 발생된 유도 자기장에 따라 서로 다른 공명주파수를 가지는 다수개의 자기변형박막(300)은 그 길이가 변형된다.
신호 입력부(400)는 상기 도체(200)로 신호를 전송한다.
이에 따라, 앞서 상술한 바와 같이 신호 입력부(400)로부터 신호를 입력받은 도체(200)는 유도 자기장을 통해 서로 다른 공명주파수를 가지는 다수개의 자기변형박막(300)의 길이를 선택적으로 변형시킴으로써, 플레이트(100)가 특정 방향으로 이동되도록 제어한다.
이때, 신호 입력부(400)를 통해 전송하는 신호는, RF 방식을 이용한 전기신호이거나, 전류를 발생하기 위한 자극신호 일 수 있다.
여기서 자극신호는, 상기 도체(200)의 자체전기발전을 위한 신호로서, Dead Weight의 진동을 발생시키기 위한 신호 또는 형상기억합금(Shape Memory Alloy) 박막의 열 변화에 의한 진동을 발생시키기 위한 신호일 수 있다.
따라서, 도체(200)는 RF 방식을 통한 전기신호를 입력받아 전류를 발생시키거나, 자체전기발전을 위해, 진동을 발생시키기 위한 자극신호를 입력받아 전류를 발생시킨다.
한편, 상술한 플레이트(100) 및 자기변형박막(300)의 형태는 직사각형, 정사각형, 원형, 마름모형 등으로 다양하게 설정할 수 있다.
그리고, 도 4 에 도시된 바와 같이, 자기변형박막(300)은 도체(200)를 통해 발생된 유도 자기장과, 외부에서 인가한 자기장 또는 외부 물체(자성재료)에 의해 발생되는 자기장에 의해, 국소적으로 자기변형이 일어날 수 있다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
A: 에너지 하베스팅에 의한 자기변형 왜곡 운동체
100: 플레이트 200: 도체
300: 자기변형박막 400: 신호 입력부

Claims (12)

  1. 플레이트(100);
    상기 플레이트(100)의 일측에 형성되어, 외부로부터 신호를 입력받아 전류를 발생시키며, 유도 자기장을 발생시키는 도체(200); 및
    상기 플레이트(100)에 증착 형성되며, 상기 도체(200)로부터 발생되는 유도 자기장에 따라 자기 변형되어, 상기 플레이트(100)를 이동시키는 자기변형박막(300); 을 포함하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플레이트(100)는,
    유연 플레이트로서, 폴리이미드 필름(Poly-imide Film) 또는 SU-8 재질인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도체(200)는,
    RF 방식을 통한 전기신호를 입력받아 전류를 발생시키거나, 자체전기발전을 위해, 진동을 발생시키기 위한 자극신호를 입력받아 전류를 발생시키는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도체(200)는,
    상기 유도 자기장을 통해 서로 다른 공명주파수를 가지는 다수개의 자기변형박막(300)의 길이를 선택적으로 변형시킴으로써, 상기 플레이트(100)가 특정 방향으로 이동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도체(200)는,
    마이크로 또는 나노 크기를 가지는 유도 코일 또는 환형 도체이며, 상기 유도 코일은 섬유 또는 반자성 물체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기변형박막(300)은,
    상기 플레이트(100)의 상하단면에 매트릭스 형태로 다수 증착 형성되며,
    인접하는 자기변형박막(300)들과 자기변형되는 방향 및 공명주파수가 서로 다른 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기변형박막(300)은,
    TbDyFe, Tb-Fe, Sm-Fe 및 Terfenol 재질 중에서 선택 사용되는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기변형박막(300)은,
    스퍼터링 방식에 의해 상기 플레이트(100)에 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 도체(200)로 신호를 전송하는 신호 입력부(400); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 신호는,
    RF 방식을 이용한 전기신호이거나, 전류를 발생하기 위한 자극신호인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 자극신호는,
    상기 도체(200)의 자체전기발전을 위한 신호로서, Dead Weight의 진동을 발생시키기 위한 신호 또는 형상기억합금(Shape Memory Alloy) 박막의 열 변화에 의한 진동을 발생시키기 위한 신호인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기변형박막(300)은,
    상기 도체(200)로부터 발생된 유도 자기장과, 외부 자기장에 의해 자기변형이 일어나는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체.
KR1020110080958A 2011-08-16 2011-08-16 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체 KR101273491B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110080958A KR101273491B1 (ko) 2011-08-16 2011-08-16 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110080958A KR101273491B1 (ko) 2011-08-16 2011-08-16 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130019048A true KR20130019048A (ko) 2013-02-26
KR101273491B1 KR101273491B1 (ko) 2013-06-17

Family

ID=47897279

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110080958A KR101273491B1 (ko) 2011-08-16 2011-08-16 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101273491B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190053450A (ko) * 2017-11-10 2019-05-20 한국과학기술연구원 나노링 구조의 탄소나노튜브가 포함된 유전복합체의 제조방법 및 나노링 구조의 탄소나노튜브가 포함된 유전복합체를 이용한 에너지 하베스팅 장치
KR20190123924A (ko) * 2018-04-25 2019-11-04 한양대학교 산학협력단 Rf 신호를 이용하는 에너지 하베스팅 장치
CN114101016A (zh) * 2021-11-04 2022-03-01 之江实验室 一种磁控柔性超声换能装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101711789B1 (ko) 2016-03-16 2017-03-02 충남대학교산학협력단 자기변형부재를 이용한 에너지 하베스팅 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100258470B1 (ko) * 1997-07-10 2000-11-01 윤종용 마이크로액츄에이터(MicroActuator)
EP1446862B1 (en) * 2001-11-06 2013-10-23 Stephen L. Patrick Motionless electromagnetic generator
US7275440B2 (en) * 2004-11-18 2007-10-02 Sulphco, Inc. Loop-shaped ultrasound generator and use in reaction systems
KR20070064977A (ko) * 2005-12-19 2007-06-22 인하대학교 산학협력단 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190053450A (ko) * 2017-11-10 2019-05-20 한국과학기술연구원 나노링 구조의 탄소나노튜브가 포함된 유전복합체의 제조방법 및 나노링 구조의 탄소나노튜브가 포함된 유전복합체를 이용한 에너지 하베스팅 장치
KR20190123924A (ko) * 2018-04-25 2019-11-04 한양대학교 산학협력단 Rf 신호를 이용하는 에너지 하베스팅 장치
CN114101016A (zh) * 2021-11-04 2022-03-01 之江实验室 一种磁控柔性超声换能装置
CN114101016B (zh) * 2021-11-04 2022-08-23 之江实验室 一种磁控柔性超声换能装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101273491B1 (ko) 2013-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Annapureddy et al. Magnetic energy harvesting with magnetoelectrics: an emerging technology for self-powered autonomous systems
Leung et al. A review on applications of magnetoelectric composites: From heterostructural uncooled magnetic sensors, energy harvesters to highly efficient power converters
Akinaga Recent advances and future prospects in energy harvesting technologies
Kim et al. Piezoelectric MEMS for energy harvesting
Annapureddy et al. Exceeding milli-watt powering magneto-mechano-electric generator for standalone-powered electronics
Kang et al. High power magnetic field energy harvesting through amplified magneto‐mechanical vibration
Hajra et al. Triboelectric nanogenerator using multiferroic materials: An approach for energy harvesting and self-powered magnetic field detection
Li et al. Recent progress on piezoelectric energy harvesting: structures and materials
CN103107739B (zh) 基于mems的动磁铁型电磁-压电复合式宽频俘能器
Kiziroglou et al. Materials and techniques for energy harvesting
Wu et al. A multiferroic module for biomechanical energy harvesting
KR101273491B1 (ko) 에너지 하베스팅에 의한 마이크로 자기 왜곡 운동체
US10825983B2 (en) Magnetoelectric energy harvester and manufacturing method thereof
Palneedi et al. Enhanced self-biased magnetoelectric coupling in laser-annealed Pb (Zr, Ti) O3 thick film deposited on Ni foil
Song et al. Stable output performance generated from a magneto-mechano-electric generator having self-resonance tunability with a movable proof mass
KR20180024042A (ko) 자기전기 에너지 하베스터 및 그의 제조방법
Tong et al. Emerging materials for energy harvesting
US11616393B2 (en) Low-power high-frequency directional tunable AC magnetic field
Kumar et al. Epoxy-free fabrication techniques for layered/2-2 magnetoelectric composite: a review
Liu et al. Self‐biased magnetoelectric composite for energy harvesting
Zhou et al. Magnetoelectric energy harvester
KR101354158B1 (ko) 진동형 전자기식 에너지 하베스터
Saini et al. A Spin-Charge-Regulated Self-Powered Nanogenerator for Simultaneous Pyro-Magneto-Electric Energy Harvesting
Baraskar et al. Harvesting stray magnetic field for powering wireless sensors
Behera et al. Magnetostrictive materials

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160404

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170223

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180406

Year of fee payment: 6