KR20130016532A - Dead zone avoiding temperature control system for semiconductor manufacturing equipment using reversal of polarity of thermoelectric element - Google Patents

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KR20130016532A
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Abstract

PURPOSE: A temperature control system of semiconductor manufacturing equipment for avoiding a dead zone is provided to maintain the constant temperature of refrigerant by using a chiller. CONSTITUTION: A main control unit(100) controls the temperature of a load within a manufacturing facility. The main control unit linearly controls voltage to supply a control output and a polarity signal. A polar conversion part(120) generates voltage or current according to the control output. The polar conversion part changes polarity according to the polarity signal. A thermoelectric module block part classifies thermoelectric module blocks into multiple groups. [Reference numerals] (100) Main control unit; (110) Dead zone computation unit; (111) Control range determination unit; (112) Output reconfiguration unit; (113) Control signal generation unit; (120) Polar conversion part; (AA) Refrigerant

Description

열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템{Dead zone avoiding temperature Control System for Semiconductor Manufacturing Equipment using Reversal of Polarity of Thermoelectric Element}Dead zone avoiding temperature control system for semiconductor manufacturing equipment using reversal of polarity of thermoelectric element

본 발명은 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존(dead zone)을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관한 것으로, 특히 반도체 제조장비의 온도조절장치인 칠러(chiller)에 열전모듈(Thermoelectric Module)을 적용하여 냉매를 냉각 또는 가열상태로 전환하도록 하는 경우 발생되는 데드존의 제어 불안정을 해소하기 위한 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements. In particular, a thermoelectric module is provided in a chiller, which is a temperature control device of semiconductor manufacturing equipment. The present invention relates to a temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements to solve control instability of dead zones generated when the refrigerant is switched to a cooling or heating state by applying a.

반도체 소자 기술이 점차 고도화되면서 반도체 제조 설비에 적용되는 장비의 제어정밀도 역시 중요해지고 있다. 이러한 반도체 제조 설비 중 기본이 되는 것이 반도에 제조 설비의 온도를 제어하기 위한 칠러(chiller)이다.As semiconductor device technology becomes more advanced, control precision of equipment applied to semiconductor manufacturing facilities is also becoming important. The basis of such semiconductor manufacturing equipment is a chiller for controlling the temperature of the manufacturing equipment on the peninsula.

이러한 반도체 제조 설비의 칠러는 냉매를 가열하거나 냉각시켜 온도를 제어하게 되는데, 기존에는 다양한 히터와 냉각 수단이 적용되어 냉매의 온도를 제어하였다.The chiller of such a semiconductor manufacturing facility controls a temperature by heating or cooling a refrigerant. In the past, various heaters and cooling means are applied to control the temperature of the refrigerant.

도 1은 종래 칠러의 구조를 보인 것으로, 도시한 바와 같이 냉매 탱크(2)에 저장된 냉매를 순환부(3)에 의해 순환시켜 작용 부하(4)에 제공하며, 이러한 작용부하에 작용되어 온도가 변화된 냉매를 열교환부(1)에서 가열 혹은 냉각하여 냉매의 온도를 일정하게 만들어 냉매 탱크(2)에 제공하도록 구성된다. 1 shows a structure of a conventional chiller, and as shown in the drawing, the refrigerant stored in the refrigerant tank 2 is circulated by the circulation unit 3 to be provided to the working load 4, and the temperature is applied to the working load. The changed refrigerant is configured to be heated or cooled in the heat exchange unit 1 to make the temperature of the refrigerant constant and provide it to the refrigerant tank 2.

상기 열교환부(1)는 냉각부(1a)와 가열부(1b)를 포함하며, 이러한 열교환부(1)의 구조와 제어 방식이 칠러 제작기술의 핵심이라 할 수 있다.The heat exchanger 1 includes a cooling unit 1a and a heating unit 1b, and the structure and control method of the heat exchanger 1 may be the core of the chiller manufacturing technology.

일반적으로 열교환부(1)는 냉각을 위해서 냉매를 이용하고 있는데, 냉동기를 이용하는 기계식 방식의 경우 부피가 크고 소음과 진동이 심하기 때문에 최근에는 소음이 작고 크기가 작으면서도 전자적으로 정밀한 제어가 가능한 열전소자를 이용하는 방식이 많이 사용되고 있다.In general, the heat exchanger 1 uses a refrigerant for cooling. In the mechanical method using a refrigerator, a thermoelectric element capable of controlling electronically precisely with small noise and small size is possible because of its large volume and high noise and vibration. Many methods are used.

이러한 열전소자는 널리 알려진 펠티어(Peltier) 소자를 주로 이용하는데, 열에너지를 전기에너지로 변환하거나 전기에너지를 열에너지로 직접 변환할 수 있어, 비교적 간단한 구성으로 효과적인 냉각이 가능하기 때문에 냉각용도로 많이 사용되고 있다. The thermoelectric device mainly uses a well-known Peltier device, which can convert thermal energy into electrical energy or directly convert thermal energy into thermal energy, and thus it is widely used for cooling because it enables effective cooling with a relatively simple configuration. .

일반적으로 상기 열전소자는 흡열면과 방열면을 구비하며, 열을 흡열면에서 방열면으로 이동시켜 냉각이 이루어지도록 하는데, 열전방향을 역전시킴으로써 가열도 가능하기 때문에 사실상 열전 소자는 가열과 냉각 모두에 사용할 수도 있다.In general, the thermoelectric element has a heat absorbing surface and a heat dissipating surface, and the heat is transferred from the heat absorbing surface to the heat dissipating surface so that cooling is achieved. Can also be used.

하지만, 단일 열전소자를 통해서 냉각과 가열을 동시에 실시할 경우 원하는 온도 제어를 위해 극성이 가변 되는 상황이 자주 발생하게 되므로 소자 파괴 등의 위험이 있고 히스테리시스 영역이 넓기 때문에 정밀 제어가 어렵고 펄스를 통한 디지털 제어도 용이하지 않다. 또한, 가열과 냉각을 전환할 경우 적절한 열교환부를 더 구성해야 한다는 점 또한 단일 열전소자를 가열과 냉각 모두에 사용하는 구성을 쉽게 도입하지 못하도록 하는 요인이 되었다.However, when cooling and heating are performed simultaneously through a single thermoelectric element, a situation in which the polarity is changed frequently for the desired temperature control occurs frequently. Therefore, there is a risk of element destruction and the hysteresis region is wide, which makes precise control difficult and digital through pulse. Control is also not easy. In addition, the need to further configure the appropriate heat exchanger when switching between heating and cooling has also been a factor that makes it difficult to introduce a configuration that uses a single thermoelectric element for both heating and cooling.

따라서, 기존에는 이러한 문제점 때문에 전자식 칠러라 하더라도 냉각은 열전소자를 이용하지만 가열을 위해서 별도의 히터를 더 구성한 방식이 일반적으로 사용되었다. Therefore, in the related art, even though the electric chiller uses a thermoelectric element for cooling, a method of additionally configuring a separate heater for heating has been generally used.

그러나 이러한 복수 온도제어 수단을 이용할 경우 구조가 복잡해지고 비용이 증가하며 관리가 어려워지는 문제가 있다. However, when using the plurality of temperature control means there is a problem that the structure is complicated, the cost increases and the management is difficult.

이를 해결하기 위해서 동 출원인은 등록특허 제10-081749호를 통해서 열전모듈의 극성을 전환하여 냉각 또는 가열모드로 절환될 수 있도록 구성하고 PID 연산을 통해서 선형적 제어 정보를 아날로그 값으로 얻은 후, 극성에 대응되는 정보는 디지털로 관리하고 제어량은 아날로그 출력의 절대값으로 관리하도록 함으로써 히스테리시스를 최소화하면서 단일 열전소자를 냉각과 가열 모두에 사용하도록 한 온도 제어 시스템을 제안한 바 있다. In order to solve this problem, the applicant can configure the thermoelectric module to be switched to the cooling or heating mode through the registered patent No. 10-081749 and obtain linear control information as an analog value through PID operation, and then polarity. We have proposed a temperature control system that uses a single thermoelectric element for both cooling and heating, while minimizing hysteresis, by managing the information corresponding to digitally and controlling the control amount by the absolute value of the analog output.

이를 통해서 단일의 열전모듈로 냉각뿐만 아니라 가열도 할 수 있도록 구성하면서도 열전모듈의 내구성 및 제어정밀도를 향상시켜 냉매를 가열하기 위한 별도의 히터를 생략하여 온도제어 시스템의 경량화와 소형화를 실현하였으며, 제작비용의 감소와 유지보수의 간소화를 이룰 수 있게 되었다.
Through this configuration, not only cooling but also heating can be performed with a single thermoelectric module, but the durability and control accuracy of the thermoelectric module are improved, and a separate heater for heating the refrigerant is omitted, thereby reducing the temperature control system's weight and miniaturization. It is possible to reduce costs and simplify maintenance.

상기와 같은 전자식 칠러는 냉매를 이용하여 작용부하의 온도를 유지하는 방식이기 때문에 실제 많은 양의 냉매 온도를 가변시키기 위한 제어 조작량은 제어의 대상이 되는 온도 조절량에 비해 상당히 클 수밖에 없다. 즉, 작은 크기의 온도 조절을 위해서도 이를 제어하기 위한 제어 조작량은 상당히 커지게 된다. 따라서, PID 제어에 의한 선형 제어와 극성 제어를 통해 히스테리시스의 크기를 줄여 반응성을 높였다 하더라도 애초에 작은 온도 조절을 위해서도 큰 값으로 제어가 이루어져야 한다는 점 때문에 단일 열전소자를 이용하여 냉각과 가열을 모두 실시할 경우 원하는 온도를 유지하기 위한 PID 출력량과 극성은 자주 가변할 수밖에 없다. 예를 들어 원하는 온도에서 1도만 다른 값이 검출되더라도 이를 원하는 온도로 맞추기 위해서는 열전소자를 그 몇 배의 온도로 가변시켜야 원하는 제어 시간 내에 온도 조절이 가능하게 되며, 원하는 온도를 맞추기 위해서는 냉각과 가열을 가변하면서 조절할 수밖에 없어 큰 값의 전압이 상이한 극성으로 교차되면서 열전소자에 가해지게 된다. 이는 열전소자의 수명을 줄이고 큰 제어량의 극성 교차에 의해 원하는 온도 역시 목표 온도에 수렴하지 못하고 가변을 지속하게 되는 문제를 발생시킨다. 이렇게 원하는 온도 근처에서 제어출력과 실제 온도가 비교적 긴 시간 동안 가변되는 제어 불안정 영역을 데드존(Dead zone)이라 한다. Since the electronic chiller is a method of maintaining the temperature of the working load by using the refrigerant, the control operation amount for varying the actual amount of the refrigerant amount is inevitably large compared to the temperature control amount to be controlled. In other words, the control operation amount for controlling the temperature becomes very large even for the small temperature adjustment. Therefore, even though the hysteresis is reduced and the reactivity is increased through linear control and polarity control by PID control, it must be controlled to a large value even for small temperature control at first. Therefore, both cooling and heating can be performed using a single thermoelectric element. In this case, the PID output quantity and polarity to maintain the desired temperature can often be changed. For example, even if a value other than 1 degree is detected at the desired temperature, in order to set it to the desired temperature, the thermoelectric element should be changed to several times the temperature to control the temperature within the desired control time. As it is variable and can not be adjusted, a large voltage is applied to the thermoelectric element while crossing with different polarities. This reduces the lifetime of the thermoelectric element and causes a problem that the desired temperature is not converged to the target temperature and continues to be variable due to a large control amount of polarity crossing. The dead zone is a control unstable region in which the control output and the actual temperature change for a relatively long time near the desired temperature.

이러한 데드존에서의 제어 불안정은 제어 수단을 열전소자로 단일화시켜 달성한 크기 감소, 구성 단순화, 비용 감소, 관리비 감소, 소음 감소 등의 다양한 장점을 퇴색시키는 문제점으로 지적되고 있다.
Such control instability in the dead zone has been pointed out as a problem of fading various advantages such as size reduction, configuration simplification, cost reduction, management cost reduction, noise reduction achieved by unifying control means with thermoelectric elements.

따라서, 기왕에 열전모듈(TEM) 블록만을 이용면서 PID 제어와 극성 전환을 통해 제어 정밀도, 속도, 크기, 비용, 관리 등에 뛰어난 효과를 제공하도록 구성된 전자식 칠러의 다양한 장점을 활용하기 위해서는 이러한 데드존에서의 제어 불안정을 효과적으로 해결해야 할 필요가 있다.
Therefore, in order to take advantage of the various advantages of the electric chiller, which is configured to provide excellent effects in control precision, speed, size, cost, and management through PID control and polarity switching while only using a thermoelectric module (TEM) block, There is a need to effectively address control instability.

등록특허 10-0817419Patent Registration 10-0817419

전술한 문제점을 개선하기 위한 본 발명 실시예들의 목적은 열전모듈 블록을 복수로 구성하고 데드존에 해당하는 제어값이 얻어질 경우 열전모듈 블록을 구분하여 상이한 방식으로 제어하도록 함으로써, 실제 PID 제어값이 데드존 영역을 벗어나도록 하여 불안정한 제어가 근본적으로 발생하지 않도록 한 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공하는 것이다. An object of the embodiments of the present invention for improving the above-mentioned problem is to configure a plurality of thermoelectric module blocks and when the control value corresponding to the dead zone is obtained to distinguish the thermoelectric module block to control in a different manner, the actual PID control value It is to provide a temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids the dead zone generated during the polarity switching of the thermoelectric element to leave the dead zone region so that unstable control does not occur fundamentally.

본 발명 실시예들의 다른 목적은 열전모듈 블록을 개별 제어가 가능한 복수의 그룹으로 구분하여 구성한 후 제어 출력이 데드존에 해당할 경우 일측 그룹의 열전모듈 블록을 제어 출력과 무관한 고정값을 제공하도록 하고 나머지 그룹의 열전모듈 블록을 통해 제어가 이루어지도록 함으로써, 제어 출력의 위치를 변화시켜 데드존을 회피할 수 있도록 한 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공하는 것이다. Another object of the embodiments of the present invention is to divide the thermoelectric module block into a plurality of groups that can be individually controlled and then to provide a fixed value irrelevant to the control output of the thermoelectric module block of one group if the control output corresponds to a dead zone. And the temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment that avoids dead zones generated when switching polarity of the thermoelectric elements to change the position of the control output to avoid dead zones by controlling the control through the remaining thermoelectric module blocks. To provide.

본 발명 실시예들의 다른 목적은 열전모듈 블록을 PID 선형 제어 및 극성 전환 방식으로 제어하여 가열과 냉각이 모두 가능하도록 한 구성을 그대로 수용하여 소형이며 진동이 작고 구성이 간단하며 저렴한 기존 장점을 모두 유지한 상태에서 제어부에 데드존 회피 구성을 추가하고 기 적용되는 열전모듈 블록만을 복수로 구성하는 비교적 간단한 구조 변형만으로 심각한 제어 불안을 야기하는 데드존 문제를 근본적으로 해결하도록 하도록 한 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공하는 것이다.
Another object of the embodiments of the present invention is to control the thermoelectric module block in a PID linear control and polarity switching method to accommodate the configuration that allows both heating and cooling as it is small, small vibration, simple configuration and low cost to maintain all existing advantages In case of adding the dead zone avoidance to the control unit in one state, it is possible to change the polarity of the thermoelectric element to solve the dead zone problem that causes serious control anxiety with only a relatively simple structural deformation consisting of a plurality of applied thermoelectric module blocks. It is to provide a temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 반도체 제조설비내의 작용부하의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 PID연산에 의하여 전압량을 선형적으로 제어하여 제어 출력량과 극성 신호를 제공하는 메인 제어부와; 상기 메인 제어부에서 제공된 제어 출력량에 따라 제공할 전압 혹은 전류를 생성하고 상기 극성 신호에 따라 극성을 정 또는 역으로 전환시키는 극성전환부와; 하나 이상의 열전소자와 열교환부로 이루어진 열전모듈 블록을 상기 극성전환부에 의해 개별 제어가 가능한 복수의 그룹으로 구분하여 배치한 열전모듈 블록부와; 상기 메인 제어부가 제공하는 제어 출력량과 극성 신호에 따른 제어 범위가 기 설정된 데드존에 해당하는 경우 상기 열전모듈 블록부에서 적어도 한 그룹의 열전 모듈 블록은 고정된 출력을 제공하고 나머지 그룹의 열전 모듈 블록은 상기 메인 제어부의 제어에 따르도록 제어 출력을 재구성하여 상기 극성전환부에 제공하는 데드존 연산부를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment to avoid the dead zone generated when the thermoelectric device polarity switching according to an embodiment of the present invention to adjust the temperature of the working load in the semiconductor manufacturing equipment to a set temperature A main controller for linearly controlling the voltage amount by PID operation to provide a control output amount and a polarity signal; A polarity switching unit for generating a voltage or current to be provided according to the control output amount provided by the main control unit and switching the polarity to the positive or the reverse according to the polarity signal; A thermoelectric module block unit for dividing and arranging a thermoelectric module block including at least one thermoelectric element and a heat exchanger into a plurality of groups individually controlled by the polarity switching unit; When the control output amount provided by the main controller and the control range according to the polarity signal correspond to a preset dead zone, the thermoelectric module block of the thermoelectric module block unit provides a fixed output and the thermoelectric module block of the remaining group. The controller may include a dead zone calculator configured to reconfigure a control output to be provided to the polarity switching unit according to the control of the main controller.

상기 데드존 연산부는 상기 고정된 출력을 제공하는 열전모듈 블록 그룹에 의해 상기 메인 제어부에 의해 제어되는 열전모듈 블록 그룹의 제어 범위가 데드존을 벗어나도록 하여 상기 제어 범위에서는 극성전환이 발생하지 않도록 한다.The dead zone calculation unit allows the control range of the thermoelectric module block group controlled by the main control unit to be out of the dead zone by the thermoelectric module block group providing the fixed output so that polarity switching does not occur in the control range. .

상기 데드존 연산부는 상기 제어 범위가 극성 전환점을 기준으로 -10% 내지 10% 범위에 속하는 경우 데드존에 속하는 것으로 판단할 수 있다.The dead zone operator may determine that the dead zone belongs to the dead zone when the control range is in the range of -10% to 10% based on the polarity change point.

상기 데드존 연산부는 상기 메인 제어부의 제어 출력량에 의해 제어 범위가 데드존에 속하는지 판단하는 제어범위 판단부와; 상기 제어범위 판단부에 의해 제어범위가 데드존에 속하는 것으로 판단되는 경우 상기 열전모듈 블록부의 그룹들에 제공할 출력을 구분하여 일 그룹에는 고정 출력을 할당하고 나머지 그룹에 메인 제어부의 제어 출력을 할당하는 출력 재구성부와; 상기 출력 재구성부가 제공하는 출력의 크기와 극성을 상기 극성 전환부에 제공하는 제어 신호 생성부를 포함하여 이루어질 수 있다.The dead zone calculator comprises: a control range determiner that determines whether a control range belongs to a dead zone based on a control output amount of the main controller; If it is determined by the control range determination unit that the control range belongs to the dead zone, the output to be provided to the groups of the thermoelectric module block unit is divided, and a fixed output is assigned to one group, and the control output of the main controller is allocated to the remaining groups. An output reconstruction unit; It may include a control signal generator for providing the polarity and the polarity of the output provided by the output reconstruction unit.

상기 열전모듈 블록부는 2개 이상의 열전모듈 블록으로 구성되며, 각 열전모듈 블록의 열교환부에는 냉매와 냉각수(P.C.W)가 직렬 혹은 병렬로 연결된다.The thermoelectric module block part includes two or more thermoelectric module blocks, and a refrigerant and a cooling water (P.C.W) are connected in series or in parallel to a heat exchange part of each thermoelectric module block.

상기 데드존 연산부는 제어 영역과 상이한 극성으로 고정 출력을 설정할 수 있으며, 상기 메인 제어부의 출력 변화에 따라 상기 고정 출력을 가변할 수도 있다.The dead zone calculator may set the fixed output to have a different polarity than the control region, and may change the fixed output according to an output change of the main controller.

상기 데드존 연산부는 상기 메인 제어부로부터 설정 온도, 작용 부하의 온도, 제어 히스토리 중 적어도 하나를 통해 얻어진 환경 정보를 더 제공받아 상기 고정 출력의 크기나 극성을 결정할 수 있다.The dead zone calculator may further receive environment information obtained from at least one of a set temperature, a working load temperature, and a control history from the main controller to determine the size or polarity of the fixed output.

본 발명의 다른 실시예에 따른 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 반도체 제조설비내의 작용부하의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 PID연산에 의하여 전압량을 선형적으로 제어하여 제어 출력량과 극성 신호를 통해 열전소자를 제어하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서, 하나 이상의 열전소자와 열교환부로 이루어진 열전모듈 블록이 복수로 배치된 열전모듈 블록부와; 상기 제어 출력량이 기 설정된 데드존에 속하는 경우 상기 열전모듈 블록부의 일부 열전모듈 블록을 고정값 출력으로 설정하고 그 외의 열전모듈 블록을 상기 제어 출력량과 극성 신호를 기준으로 제어하도록 출력을 재구성하는 데드존 연산부를 포함한다.
According to another embodiment of the present invention, a temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of a thermoelectric element may adjust a voltage amount by PID operation to adjust a temperature of an operating load in a semiconductor manufacturing facility to a set temperature. A temperature control system of a semiconductor manufacturing facility for linearly controlling a thermoelectric element through a control output amount and a polarity signal, the thermoelectric module block part including a plurality of thermoelectric module blocks including at least one thermoelectric element and a heat exchange part; A dead zone configured to set some thermoelectric module blocks of the thermoelectric module block unit to a fixed value output and to reconfigure the output to control other thermoelectric module blocks based on the control output amount and the polarity signal when the control output amount belongs to a preset dead zone. It includes an operation unit.

본 발명 실시예에 따른 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 열전모듈 블록을 복수로 구성하고 데드존에 해당하는 제어값이 얻어질 경우 열전모듈 블록을 구분하여 상이한 방식으로 제어함으로써, 실제 PID 제어값이 데드존 영역을 벗어나도록 하여 제어 안정성을 크게 높일 수 있는 효과가 있다.The temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements according to an embodiment of the present invention constitutes a plurality of thermoelectric module blocks and distinguishes thermoelectric module blocks when control values corresponding to dead zones are obtained. By controlling in a different manner, the actual PID control value is out of the dead zone area, thereby greatly increasing the control stability.

본 발명 실시예에 따른 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 열전모듈 블록을 PID 선형 제어 및 극성 전환 방식으로 제어하여 가열과 냉각이 모두 가능하도록 한 구성을 그대로 수용하여 소형이며 진동이 작고 구성이 간단하며 저렴한 기존 장점을 모두 유지한 상태에서 제어부에 데드존 회피 구성을 추가하고 기 적용되는 열전모듈 블록만을 복수로 구성하는 비교적 간단한 구조 변형만으로 심각한 제어 불안을 야기하는 데드존 문제를 근본적으로 해결하도록 하여 기존의 장점은 유지하면서도 시스템의 신뢰성과 정밀성도 크게 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 이는 기존 시스템에 대해서도 쉽게 적용이 가능하므로 용이한 시스템 업그레이드를 유도할 수도 있어 시스템 관리에 대한 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
The temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment that avoids dead zones generated during the polarity switching of the thermoelectric device according to the embodiment of the present invention controls the thermoelectric module block in a PID linear control and a polarity switching method so that both heating and cooling are possible. It is compact, small in vibration, simple in configuration, and inexpensive, while maintaining all existing advantages, it adds a dead zone avoidance configuration to the control unit, and severe control anxiety with only a relatively simple structural modification consisting of a plurality of applied thermoelectric module blocks. By fundamentally solving the dead zone problem caused, it is possible to greatly increase the reliability and precision of the system while maintaining the existing advantages. In addition, this can be easily applied to the existing system can also lead to an easy system upgrade has the effect of increasing the reliability of the system management.

도 1은 종래 칠러의 구성도.
도 2는 열전소자 극성전환 방식을 적용한 전자식 칠러의 구성도.
도 3은 열전소자 극성전환 방식에 적용되는 제어 다이어그램.
도 4는 PID 선형제어와 극성전환을 이용하는 경우의 제어 출력 그래프도.
도 5는 데드존에서의 제어 상태를 나태는 그래프도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 온도제어 시스템의 구성도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 온도제어 시스템을 이용한 경우의 제어 상태를 나타내는 그래프도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 동작 과정을 보인 순서도.1 is a block diagram of a conventional chiller.
2 is a block diagram of an electronic chiller applying the thermoelectric device polarity switching method.
3 is a control diagram applied to the thermoelectric device polarity switching method.
4 is a control output graph in the case of using PID linear control and polarity switching.
5 is a graph showing the control state in the dead zone.
6 is a block diagram of a temperature control system according to an embodiment of the present invention.
7 is a graph showing a control state when using a temperature control system according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating an operation process according to an embodiment of the present invention.

상기한 바와 같은 본 발명을 첨부된 도면들과 실시예들을 통해 상세히 설명하도록 한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other objects, features and advantages of the invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings.

도 2는 열전소자의 극성전환을 이용한 반도체 제조설비의 온도제어 시스템의 예를 보인 것으로, 도시된 바와 같이 반도체 제조설비의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 전압공급 여부 및 극성전환 여부에 대한 제어신호를 인가하는 제어부(10)와, 상기 제어부(10)의 제어신호에 따라 공급되는 전류를 변환 및 필터링하고 극성을 정 또는 역으로 전환시켜 열전모듈블록(50)으로 전류를 공급하는 극성전환부(30)와, 상기 극성전환부(30)로부터 공급되는 전류에 의해 내부에 설치된 열전모듈(51)로 열교환부(52)에서 냉매를 냉각 또는 가열시키는 열전모듈 블록(50)과, 상기 냉각 또는 가열된 냉매를 저장하고 순환부(65)를 통해 작용부하(4)로 공급하는 냉매탱크(60)를 포함한다.Figure 2 shows an example of the temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment using the polarity switching of the thermoelectric element, as shown in the control signal for whether the voltage supply and polarity switching in order to adjust the temperature of the semiconductor manufacturing equipment to the set temperature A polarity switching unit for converting and filtering the current supplied according to the control signal of the control unit 10 and applying the current to the thermoelectric module block 50 by switching the polarity to the positive or the reverse ( 30 and a thermoelectric module block 50 for cooling or heating the refrigerant in the heat exchange unit 52 by the thermoelectric module 51 installed therein by the current supplied from the polarity switching unit 30, and the cooling or heating. And a refrigerant tank 60 for storing the supplied refrigerant and supplying it to the working load 4 through the circulation unit 65.

상기 제어부(10)는 작용부하(4)의 온도와 미리 설정된 설정온도를 비교하여 작용부하(4)에 대한 냉각 또는 가열 여부를 판단하고, 그에 따라 전압의 공급 여부 및 전압의 정역 여부에 대한 제어신호를 극성전환부(30)로 인가한다. The controller 10 compares the temperature of the working load 4 with a preset set temperature to determine whether to cool or heat the working load 4, and accordingly controls whether the voltage is supplied and whether or not the voltage is constant. The signal is applied to the polarity switching unit 30.

상기 극성전환부(30)는 메인 제어부(10)에서 인가된 제어신호에 따라, 열전모듈(TEM) 블록(50)에 제공할 전력을 생성하여 제공하는데, 내부적으로 구동에 필요한 DC 전압을 생성하여 제공하는 DC전원부(40), 상기 DC 전원부(40)의 전원을 상기 제어부(10)의 제어에 따라 소정의 크기와 극성으로 생성하는 전압 제어부(20)와, 상기 전압 제어부(20)가 제공하는 크기와 극성의 전압을 열전모듈 블록(50)에 제공하는 전압 인가부(30)로 이루어진다.The polarity switching unit 30 generates and provides electric power to be provided to the thermoelectric module (TEM) block 50 according to a control signal applied from the main controller 10, and internally generates a DC voltage for driving. The DC power supply unit 40, the voltage control unit 20 for generating the power of the DC power supply unit 40 to a predetermined size and polarity under the control of the control unit 10, and the voltage control unit 20 The voltage application unit 30 provides a voltage having a magnitude and a polarity to the thermoelectric module block 50.

상기 제어부(10)는 제어량을 비례(P: Proportinal), 적분(I: Integral) 및 미분(D: Differential) 연산을 통해 계산하여 극성 정보와 제어량 정보를 전압 제어부(20)를 통해서 전압 인가부(31)에 전달하게 되는데, 이를 통해서 상기 전압 인가부(31)는 열전모듈 블록(50)에 제공할 출력을 조절한다.The control unit 10 calculates the control amount through a proportional (P: Proportinal), integral (I: Integral), and differential (D: Differential) operation to calculate the polarity information and the control amount information through the voltage control unit 20 through the voltage applying unit ( 31), through which the voltage applying unit 31 adjusts the output to be provided to the thermoelectric module block (50).

상기 제어부(10)와 극성 전환부(30)의 동작은 도 3과 같은 제어 다이어그램을 기준으로 실시되는데, 도시된 바와 같이 좌측의 다이어그램은 알려져 있는 PID 제어 블록이고, 우측은 극성 전환을 위한 제어 블록이다. 도시된 바와 같이 PID 제어 결과(제어 출력 Y)는 그 제어량의 절대값에 해당하는 아날로그 값과 극성 판단에 따른 디지털 값으로 출력된다.
The operation of the control unit 10 and the polarity switching unit 30 is performed based on the control diagram as shown in FIG. 3. As shown, the diagram on the left is a known PID control block, and the right is a control block for polarity switching. to be. As shown, the PID control result (control output Y) is output as an analog value corresponding to the absolute value of the control amount and a digital value according to the polarity determination.

도 4는 극성 전환에 의한 열전모듈 블록의 제어 방식을 보인 것으로, 도시된 바와 같이 실제 PID 출력에 의해서 얻어진 제어 출력(좌측)은 사실상 냉각과 가열을 모두 포함하고 있는 것으로 이를 실제 열전모듈 블록 제어를 위해 직접 이용할 수는 없다. Figure 4 shows the control method of the thermoelectric module block by switching the polarity, as shown, the control output (left) obtained by the actual PID output actually includes both cooling and heating, which is the actual thermoelectric module block control There is no direct use.

따라서, 가열에 해당하는 부분(제어 출력이 음의 값인 경우)은 우측에 도시한 바와 같이 그 제어량의 절대값을 취해 양의 값으로 변환하고, 전류의 방향을 반대로 제어할 수 있도록 별도의 디지털 극성 신호를 설정한다.Therefore, the part corresponding to heating (when the control output is negative value) takes the absolute value of the control amount and converts it to the positive value as shown on the right side, and separate digital polarity so that the direction of the current can be reversely controlled. Set the signal.

이러한 제어 신호와 방식에 의해서 이를 기반으로 동작하는 전원수단(예를 들어 스위칭 모드 파워 서플라이(SMPS))를 간단하고 정확하게 제어함으로써 열전모듈 블록만으로도 정밀한 냉각과 가열에 대한 제어가 가능한 온도 제어 시스템을 구성할 수 있게 된다.
These control signals and methods make it simple and accurate to control the power supply means (for example, switching mode power supply (SMPS)) operating based on this, thus constructing a temperature control system that enables precise cooling and heating control with just the thermoelectric module block. You can do it.

이렇게 PID 선형 제어와 극성 전환 방식을 통해서 별도의 히터 없이도 열전모듈 블록만을 이용하여 비교적 정밀한 온도 제어가 가능하게 되었지만, 원하는 온도를 유지하기 위해서 가열 출력과 냉각 출력이 교차되는 온도제어를 실시할 경우 열전모듈 블록에 제공되는 제어 신호의 극성을 자주 바꾸게 되므로 그 출력 및 실제 작용 부하의 온도가 상승 및 하강하는 불안정한 상태가 나타나는 데드존(Dead Zone)을 피할 수 없다. 즉, 원하는 온도를 유지하기 위해서는 가열 출력과 냉각 출력이 교차되는 제어가 상당 부분을 차지하게 되는데 이러한 데드존에서의 온도 제어가 불안정하다는 점은 단일 열전모듈 블록을 이용하여 얻는 여러 장점에도 불구하고 상당히 치명적인 약점으로 작용하고 있다.
In this way, the PID linear control and the polarity switching method enable relatively precise temperature control using only the thermoelectric module block without a separate heater. However, in order to maintain a desired temperature, thermoelectric control is performed when the heating output and the cooling output cross each other. Since the polarity of the control signal provided to the module block is frequently changed, dead zones that exhibit unstable conditions where the temperature of the output and the actual working load rise and fall are inevitable. In other words, in order to maintain a desired temperature, the control where the heating output and the cooling output cross is a large part, and the instability of temperature control in the dead zone is quite significant despite the advantages of using a single thermoelectric module block. It is acting as a fatal weakness.

도 5는 데드존에서의 온도 제어 상태를 보인 예로서, 도시한 바와 같이 좌측은 온도, 우측은 제어를 위한 제어 영역(출력량의 범위)을 나타낸 것으로, 예를 들어 목표 온도 설정값(Set Value:SV)이 30도이고 현재 측정 온도(Process Value:PV)가 31도인 경우 실제 조작량(Manipulated Value:MV)은 PID 제어를 통해서 원하는 온도에 맞추기 위해서 제어량이 -10%~10% 사이에서 크게 진동하는 현상이 발생함을 알 수 있다. 5 illustrates an example of a temperature control state in a dead zone. As shown in FIG. 5, the left side shows a temperature, and the right side shows a control region (range of output amount) for control. For example, a target temperature set value (Set Value: If SV) is 30 degrees and the current measured value (Process Value (PV) is 31 degrees), the actual manipulated value (MV) is controlled to oscillate greatly between -10% and 10% to achieve the desired temperature through PID control. It can be seen that the phenomenon occurs.

즉, 예를 들어 -10%~10% 사이와 같이 극성이 교차되는 영역에서 제어가 이루어지게 되면 원하는 온도를 유지하기 위해서 열전모듈 블록의 극성이 자주 변화되는 제어가 이루어질 수밖에 없고, 실제 온도의 작은 변화에도 제어량이 크게 변화되는 상황이 발생하게 되며 큰 값의 극성 변화에 의해 정밀 제어가 어려워 실제 온도 역시 목표 온도에 도달하지 못하고 계속 가변하게 된다.
That is, if the control is made in the region where the polarity crosses, for example, between -10% and 10%, the control in which the polarity of the thermoelectric module block is frequently changed is necessary to maintain the desired temperature. Even if the change occurs, a large amount of control occurs, and precise control is difficult due to a large change in polarity, so the actual temperature does not reach the target temperature and continues to vary.

이를 해결하기 위해서 본 발명의 실시예에서는 제어 영역이 데드존이 될 경우 제어 자체를 애초에 데드존이 아닌 영역에서 실시하도록 하여 극성 교차 수를 극단적으로 줄임으로써 이러한 불안정한 제어 상태가 나타나지 않도록 하여 이러한 문제를 근본적으로 발생하지 않도록 한다.
In order to solve this problem, in the embodiment of the present invention, when the control area becomes a dead zone, the control itself is initially performed in a non-dead zone area so that the number of polarity crossings is extremely reduced so that such an unstable control state does not appear. It doesn't happen fundamentally.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 다른 온도제어 시스템의 구성도로서, 도시된 바와 같이 반도체 제조설비 내의 작용부하의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 PID연산에 의하여 전압량을 선형적으로 제어하여 제어 출력량과 극성 신호를 제공하는 메인 제어부(100)와, 상기 메인 제어부(100)에서 제공된 제어 출력량에 따라 제공할 전압 혹은 전류를 생성하고 상기 극성 신호에 따라 극성을 정 또는 역으로 전환시키는 극성전환부(120)와, 하나 이상의 열전소자와 열교환부로 이루어진 열전모듈 블록을 개별 제어가 가능한 복수의 그룹으로 구분하여 배치한 열전모듈 블록부(131~133)와, 상기 메인 제어부가 제공하는 제어 출력량과 극성 신호에 따른 제어 범위가 기 설정된 데드존에 해당하는 경우 상기 열전모듈 블록부(131~133)에서 적어도 한 그룹의 열전 모듈 블록은 고정된 출력을 제공하고 나머지 그룹의 열전 모듈 블록은 상기 메인 제어부(100)의 제어에 따른 상기 극성전환부(120)에 의해 제어되도록 하는 데드존 연산부(110)를 포함하여 이루어진다. FIG. 6 is a configuration diagram of a temperature control system according to an embodiment of the present invention, in which a voltage is linearly controlled by PID operation in order to adjust the temperature of a working load in a semiconductor manufacturing facility to a set temperature. A polarity switch for generating a voltage or current to be provided according to the control output amount provided by the main control unit 100 and providing a control output amount and a polarity signal, and switching the polarity to positive or reverse according to the polarity signal And a thermoelectric module block unit 131 to 133 arranged to divide the thermoelectric module block including at least one thermoelectric element and a heat exchanger into a plurality of groups that can be individually controlled, and a control output amount provided by the main controller. If the control range according to the polarity signal corresponds to a preset dead zone, at least one group of thermoelectric modules in the thermoelectric module block units 131 to 133. The block provides a fixed output and the remaining group of thermoelectric module blocks includes a dead zone calculation unit 110 to be controlled by the polarity switching unit 120 under the control of the main control unit 100.

실질적으로 상기 구성 외에도 냉매 탱크, 순환부, 각종 유량 제어부, 온도 센싱부 등이 구성됨은 자명한 것이므로 생략한다. Substantially, in addition to the above configuration, the refrigerant tank, the circulation unit, various flow control units, the temperature sensing unit, and the like are obviously omitted.

한편, 상기 메인 제어부(100)는 주로 마이크로콘트롤러 등의 연산이 가능한 수단이나 컴퓨터 등의 수단으로 구성되 되거나 이들과 네트워킹 되는 다양한 제어 수단을 포함할 수 있다. 더불어, 상기 구성에서 데드존 연산부(110)는 상기 메인 제어부(100)와 별개의 구성으로 나타나있으나, 이는 기존 구성과의 차이점을 설명하기 위한 것으로 실실적으로 상기 데드존 연산부(110)는 메인 제어부(100)와 적어도 일부가 통합 구성될 수 있음은 당업자에게 자명한 것이다.On the other hand, the main control unit 100 may include a variety of control means consisting mainly of a means such as a computer, such as a microcontroller or a computer, or networking with them. In addition, the dead zone calculation unit 110 in the configuration is shown as a separate configuration from the main control unit 100, but this is for explaining the difference from the existing configuration, the dead zone calculation unit 110 is actually the main control unit It will be apparent to those skilled in the art that at least some of 100 may be integrated.

도시된 구성에서, 상기 극성 전환부(120)는 실질적으로 다양한 전원 관리 구성과 전원 제공 수단(예를 들어 SMPS)을 포함할 수 있으며, 메인 제어부(100)의 제어를 위한 전압이나 전류량과 극성 정보에 의해 열전모듈 블록(131~133)을 개별적으로 혹은 소정의 그룹으로 제어할 수 있는데, 여기서는 데드존 연산부(110)에서 상기 메인 제어부(100)의 제어값을 재구성하여 상기 극성 전환부(120)에 제공하며, 단일 제어값이 아닌 개별적 열전모듈 블록이나 그룹별 제어값으로 구분하여 제공할 수 있다. In the illustrated configuration, the polarity switching unit 120 may include substantially various power management configurations and power supply means (for example, SMPS), and voltage or current amount and polarity information for controlling the main controller 100. The thermoelectric module blocks 131 to 133 may be controlled individually or in a predetermined group. In this case, the dead zone calculator 110 reconfigures the control value of the main controller 100 to reconfigure the polarity switch 120. It can be provided in the individual thermoelectric module block or group control value instead of a single control value.

상기 열전모듈 블록부(131~133)는 실질적으로 2개 이상의 열전모듈 블록으로 구성되며, 각 열전모듈 블록의 열교환부에는 냉매와 냉각수(P.C.W)가 직렬 혹은 병렬로 연결된다. 이는 기존의 열전모듈 블록이 복수의 열전소자와 열교환부로 구성되어 있다는 점에서 이를 분리 구성한 것이므로 부피나 비용의 증가는 그리 크지 않다. 즉, 기존에는 6000W 급 열전모듈 블록을 구성했다면 이번에는 이를 각각 2000W급 열전모듈 3개로 분리하여 구성할 수 있다. 이렇게 분리 구성되는 열전모듈 블록부의 수는 제어 복잡도와 구성 비용 등을 고려하여 결정한다.The thermoelectric module block parts 131 to 133 are substantially composed of two or more thermoelectric module blocks, and a refrigerant and a cooling water (P.C.W) are connected in series or in parallel to the heat exchange parts of each thermoelectric module block. This is because the conventional thermoelectric module block is composed of a plurality of thermoelectric elements and the heat exchanger to separate them, so the increase in volume or cost is not so large. That is, if the conventional 6000W thermoelectric module block is configured, this time it can be divided into three 2000W class thermoelectric modules, respectively. The number of separate thermoelectric module block parts is determined in consideration of control complexity and configuration cost.

상기 데드존 연산부(100)는 앞서 간략히 설명한 바와 같이 메인 제어부(100)에서 PID 제어로 연산한 제어 출력이 데드존(예를 들어 -10%~10% 제어 영역)에 속하는 경우 한 그룹의 열전 모듈 블록은 고정된 출력을 제공하도록 하고 나머지 열전 모듈 블록을 통해 실질적인 제어가 이루어지도록 출력을 재구성하여 극성 전환부(120)에 제공함으로써 실질적인 제어가 이루어지는 출력의 제어 영역이 데드존을 벗어난 영역으로 이동하도록 한다. 그에 따라 실질적인 제어가 이루어지는 영역에서는 가급적 극성 변화가 이루어지지 않도록 하며, 정밀한 목표 온도 제어가 가능하도록 한다.As described above, the dead zone calculator 100 includes a group of thermoelectric modules when the control output calculated by the PID control in the main controller 100 belongs to a dead zone (for example, -10% to 10% control region). The block is configured to provide a fixed output and the output is reconfigured and provided to the polarity switching unit 120 so that the actual control is performed through the remaining thermoelectric module block so that the control area of the output where the actual control is performed moves to an area outside the dead zone. do. As a result, the polarity change is prevented as much as possible in the region in which the actual control is performed, and precise target temperature control is possible.

도시된 실시예에서 제 1 열전모듈 블록(131)이 제 1그룹으로 데드존 회피를 위한 고정 출력을 제공하는 기능을 수행하도록 설정하고, 제 2 열전모듈 블록(132)과 제 3 열전모듈 블록(133)은 제 2그룹으로 제어를 위한 동작을 수행하도록 설정할 수 있다. 이 경우 상기 제 2그룹을 제어하기 위한 제어 출력은 하나의 제어선로를 이용할 수도 있다.In the illustrated embodiment, the first thermoelectric module block 131 is set to perform a function of providing a fixed output for dead zone avoidance to the first group, and the second thermoelectric module block 132 and the third thermoelectric module block ( 133 may be set to perform an operation for control to the second group. In this case, one control line may be used as a control output for controlling the second group.

이를 위해서, 상기 데드존 연산부(100)는 내부적으로 상기 메인 제어부(100)의 제어 출력량에 의해 제어 범위가 데드존에 속하는지 판단하는 제어범위 판단부(111)와, 상기 제어범위 판단부(111)에 의해 제어 범위가 데드존에 속하는 것으로 판단되는 경우 상기 열전모듈 블록부의 그룹들(제 1 그룹과 제 2 그룹)에 제공할 출력을 구분하여 제 1 그룹(131)에는 고정 출력을 할당하고 제 2 그룹(132, 133)에 메인 제어부(100)의 제어 출력을 할당하는 출력 재구성부(112)와, 상기 출력 재구성부(112)가 제공하는 출력의 크기와 극성을 상기 극성 전환부(120)에 제공하는 제어 신호 생성부(113)를 포함할 수 있다. 물론, 이러한 구성들은 다양한 형태로 조합 분류될 수 있다.To this end, the dead zone calculation unit 100 is a control range determination unit 111 for determining whether the control range belongs to the dead zone by the control output amount of the main control unit 100, and the control range determination unit 111 If it is determined that the control range belongs to the dead zone, the output to be provided to the groups (the first group and the second group) of the thermoelectric module block unit is divided and the fixed group is assigned to the first group 131 and An output reconstruction unit 112 for allocating the control outputs of the main control unit 100 to the two groups 132 and 133, and the polarity switching unit 120 for the magnitude and polarity of the output provided by the output reconstruction unit 112. It may include a control signal generator 113 provided to. Of course, these configurations can be combined in various forms.

도시된 실시예에서 상기 열전모듈 블록부(131~133)는 홀수의 열전모듈 블록으로 구성하고, 이중 데드존 연산부(110)에 의해 고정 출력을 제공하는 열전모듈 블록 그룹의 열전모듈 블록의 수는 나머지 열전모듈 블록 그룹의 수보다 작게 설정한다. 이를 통해 비교적 간단하게 제어 비율을 조절할 수 있다.In the illustrated embodiment, the thermoelectric module block units 131 to 133 are formed of odd-numbered thermoelectric module blocks, and the number of thermoelectric module blocks of the thermoelectric module block group providing fixed output by the double dead zone calculating unit 110 is Set smaller than the number of remaining thermoelectric module block groups. This makes the control ratio relatively simple to adjust.

이는 데드존 연산을 위해서 일측 열전모듈 블록이 실제 제어에 반하는 출력을 제공하기 때문에 전력 소모가 많아질 수 있기 때문에 가능한 이를 줄이기 위한 것이다. 이를 위해서 상기 복수로 적용되는 열전모듈 블록의 용량은 동일하지 않게 구성될 수 있으며, 예를 들어 고정 출력을 제공할 수도 있는 열전모듈 블록의 경우 가장 작은 용량으로 구성할 수도 있다.This is to reduce the possible power consumption because one thermoelectric module block provides an output against the actual control for the dead zone operation. To this end, the capacities of the plurality of thermoelectric module blocks to be applied may be configured to be not the same, for example, the thermoelectric module block that may provide a fixed output may be configured to the smallest capacity.

한편, 상기 데드존 연산부(110)는 출력을 재구성하여 고정 출력을 제공할 때 가열이나 냉각을 위한 고정값을 상기 제 1 그룹의 열전모듈 블록(131)에 제공할 수 있는데, 이러한 경우 실제 제어 범위는 그와 반대 극성 쪽으로 이동하게 되므로 실제 온도 제어가 이루어지는 제 2 그룹의 열전모듈 블록(132, 133)은 상기 제 1 그룹의 열전모듈 블록(131)과 상이한 극성의 제어가 이루어질 수 있다.Meanwhile, when the dead zone calculator 110 reconfigures the output to provide a fixed output, the dead zone calculator 110 may provide a fixed value for heating or cooling to the thermoelectric module block 131 of the first group, in which case the actual control range. Since the second side moves toward the opposite polarity, the thermoelectric module blocks 132 and 133 of the second group in which the actual temperature control is performed may have different polarities than the thermoelectric module blocks 131 of the first group.

이러한 고정값이나 고정 극성의 설정은 기 설정된 값을 이용할 수도 있으나 목표 온도(SV)와 현재 작용부하의 온도(PV)를 고려하여 결정될 수 있으며, 필요한 경우 현재 조작량(MV)이나 기존 제어 상태에 대한 히스토리를 근거로 결정될 수도 있다. 즉, 상기 데드존 연산부(110)는 상기 메인 제어부(10)로부터 설정 온도, 작용 부하의 온도, 제어 히스토리 중 적어도 하나를 통해 얻어진 환경 정보를 더 제공받아 상기 고정 출력의 크기나 극성을 결정할 수 있다. 더불어, 제어 상황에 따라(예를 들어 목표 온도에 거의 근접한 경우) 상기 고정 출력의 크기는 가변될 수도 있다.
The setting of the fixed value or the fixed polarity may use a predetermined value, but may be determined in consideration of the target temperature (SV) and the temperature of the current working load (PV), and, if necessary, the current operation amount (MV) or the existing control state. It may be determined based on history. That is, the dead zone calculator 110 may further receive environment information obtained from at least one of a set temperature, a load of an operating load, and a control history from the main controller 10 to determine the size or polarity of the fixed output. . In addition, the size of the fixed output may vary depending on the control situation (for example, when close to the target temperature).

도 7은 도 6을 통해 설명한 본 발명의 실시예의 제어 방식을 설명하기 위한 제어의 예로서, 제어를 위한 조작량이 제어 영역의 -10~10% 영역, 즉 데드존에 속하는 경우 데드존 연산부에 의해 조작 대상을 구분하여 출력을 재구성한 경우이다.FIG. 7 is an example of control for explaining the control method of the embodiment of the present invention described with reference to FIG. 6. When the manipulation amount for control belongs to an area of -10 to 10% of the control area, that is, the dead zone, It is the case that the output is reconfigured by classifying the operation target.

도시한 바와 같이, 데드존 연산부는 환경 정보에 의해 현재 작용 부하의 온도를 낮추어야 한다는 점을 고려하여 제 1그룹에 대한 조작량을 MV1과 같이 고정 값의 가열이 되도록 제어값과 극성을 설정한다. 이에 의해서 원하는 목표 온도(SV)에 현재 작용부하의 온도(PV)를 맞추기 위해 제어되는 제 2그룹의 조작량은 MV2와 같이 데드존을 벗어난 영역에서 이루어지게 된다.As shown, the dead zone calculator sets the control value and the polarity so that the manipulated variable for the first group is heated at a fixed value, such as MV1, in consideration of the fact that the temperature of the current working load must be lowered by the environmental information. Thereby, the second group of manipulated amounts controlled to match the current PV to the desired target temperature SV is made in an area out of the dead zone such as MV2.

결국, 제어를 위한 극성 전환은 발생하지 않으며 동일 극성 내에서의 정밀 제어에 의해 원하는 목표 온도까지의 제어가 안정적으로 이루어지게 된다.As a result, polarity switching for control does not occur and control to a desired target temperature is made stable by precise control within the same polarity.

경우에 따라서 고정 출력의 경우 환경에 무관하게 냉각이나 가열 상태로 기 설정될 수도 있고, 제어에 의해 목표 온도에 도달하는 정도를 고려하여 고정 출력이 조절되면서 전력 소모를 줄일 수도 있다.In some cases, the fixed output may be set to a cooling or heating state irrespective of the environment, or the power consumption may be reduced while the fixed output is adjusted in consideration of the degree of reaching the target temperature by control.

물론, 필요한 제어 조작량이 데드존을 벗어나는 경우 상기 제 1그룹의 열전모듈 블록은 고정 출력을 중단하고 다른 그룹의 열전모듈 블록들과 함께 제어에 따른 동작을 수행하게 된다.
Of course, when the required control operation amount is out of the dead zone, the thermoelectric module block of the first group stops the fixed output and performs an operation according to the control together with the thermoelectric module blocks of the other group.

도 8은 본 발명의 동작 과정을 설명하는 순서도로서, 도시한 바와 같이 먼저 제어 온도(SV)가 설정되면, 메인 제어부는 제어 온도와 실제 작용 부하의 온도(PV)를 측정하여 그 차이에 대한 PID 연산을 수행하여 제어량을 아날로그 상태로 산출한다. 상기 산출된 아날로그 상태의 제어량은 실질적으로 열전 모듈 블록들을 제어하기 위한 전원을 생성하기 위하여 0~5V 나 0~20mA 사이의 제어량 절대값과 극성 신호로 구분된다. FIG. 8 is a flowchart illustrating an operation process of the present invention. When the control temperature SV is set as shown in the drawing, the main controller measures the control temperature and the temperature of the actual working load and PID for the difference. The calculation is performed to calculate the control amount in an analog state. The calculated control amount of the analog state is substantially divided into an absolute value of a control amount between 0-5V or 0-20mA and a polarity signal to generate a power source for controlling the thermoelectric module blocks.

해당 제어량 절대값과 극성 신호에 따른 조작 영역은 데드존 연산부에서 데드존 해당 여부가 확인되며, 데드존이 아닌 경우 해당 제어량 절대값과 극성 신호는 극성 변환부에 제공되며 상기 극성 변환부는 0~200VDC의 전압을 지정된 극성으로 생성하여 제어 대상이 되는 열전모듈 블록들을 제어하여 원하는 온도 제어가 이루어지게 된다. The control zone according to the absolute value of the control amount and the polarity signal is confirmed whether or not the dead zone, the absolute value of the control amount and the polarity signal is provided to the polarity conversion unit if the dead zone is not dead zone, the polarity conversion unit 0 ~ 200VDC By controlling the thermoelectric module blocks to be controlled by generating a voltage of the specified polarity, desired temperature control is achieved.

만일, 데드존 연산부에서 조작범위가 데드존에 속하는 것으로 판단하면, 상기 데드존은 기 설정된 일부 열전모듈 블록(혹은 그룹)의 제어 상태를 소정 극성의 고정값으로 결정하여 상기 극성 변환부에 제공하며, 나머지 열전모듈 블록(혹은 그룹)의 제어 상태는 상기 제공된 제어량과 절대값을 기준으로 제어한다.If the dead zone calculation unit determines that the operation range belongs to the dead zone, the dead zone determines a predetermined control state of some thermoelectric module blocks (or groups) as a fixed value having a predetermined polarity and provides the polarity conversion unit. The control state of the remaining thermoelectric module block (or group) is controlled based on the provided control amount and absolute value.

이 경우, 상기 데드존 연산부는 제어할 대상에 대한 제어량과 극성에 따른 열량을 실제 제어가 수행될 열전모듈 블록이 제공할 수 있는 열량을 고려하여 재구성하여 제공할 수 있다. 이 과정에서 제어량 조작 영역이 데드존을 벗어나게 된다.
In this case, the dead zone calculator may reconfigure and provide the amount of heat according to the control amount and the polarity of the object to be controlled in consideration of the amount of heat that the thermoelectric module block to be actually controlled may provide. In this process, the control amount operating area leaves the dead zone.

상기 방식은 데드존 연산부가 메인 제어부와 별개로 구성되는 경우의 방식이며, 상기 데드존 연산부의 일부 기능이 메인 제어부와 통합되는 경우 상기 열량을 기준으로 제어량과 극성을 가변하는 구체적인 제어량 재구성은 애초에 메인 제어부가 PID 제어 단계에서 파라미터 변경 등으로 수용하여 처리할 수도 있음에 주의한다. 이때, 제어범위 판단부는 메인 제어부의 파라미터 변경을 위한 모드 절환 용도로 이용될 수 있다.The method is a case where the dead zone calculation unit is configured separately from the main control unit, and when some functions of the dead zone calculation unit are integrated with the main control unit, a specific control amount reconstruction that changes the control amount and the polarity based on the heat amount is initially performed. Note that the control unit may accept and process a parameter change in the PID control step. In this case, the control range determination unit may be used for mode switching for changing a parameter of the main controller.

한편, 상기 일부 열전모듈 블록의 제어 상태를 고정값으로 결정하는 과정은 단순히 현재의 SV, PV, MV의 상태를 기준으로 할 수도 있으나 기존 제어 과정의 히스토리를 참조하여 적절한 고정값 크기와 극성을 결정할 수도 있다.
Meanwhile, the process of determining the control state of the thermoelectric module block as a fixed value may be simply based on the current state of SV, PV, or MV, but the appropriate fixed value size and polarity may be determined by referring to the history of the existing control process. It may be.

상기 설명한 방식을 이용할 경우 기존에 사용하던 열전모듈 블록을 작게 구분하고, 데드존 연산을 위한 구성을 더 부가하는 것으로 크기나 부피의 증가를 최소화하고 기존 시스템과의 호환 가능성을 높이면서도 데드존에 의한 불안정한 온도제어 상황을 근본적으로 피할 수 있게 된다. When using the method described above, by dividing the thermoelectric module blocks used in the past, and adding a configuration for the dead zone calculation to minimize the increase in size or volume and increase the compatibility with the existing system, Unstable temperature control situations can be fundamentally avoided.

따라서, 열전모듈 블록만을 이용하여 냉각과 가열을 정밀하게 제어할 수 있으면서도 크기, 비용, 소음 등을 낮추고 관리 비용을 절감할 수 있음과 아울러 데드존에 의한 문제점도 근본적으로 해결한 전자식 칠러를 제공할 수 있게 된다.
Therefore, it is possible to provide an electronic chiller that can precisely control cooling and heating using only the thermoelectric module block while reducing the size, cost, noise, and management cost, and also fundamentally solves the problem caused by the dead zone. It becomes possible.

이상에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예들에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허 청구의 범위에서 첨부하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능할 것이다. In the above described and illustrated with respect to preferred embodiments according to the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. .

100: 메인 제어부 110: 데드존 연산부
111: 제어범위 판단부 112: 출력 재구성부
113: 제어신호 생성부 120: 극성 변환부
131~133: 열전모듈 블록100: main control unit 110: dead zone calculation unit
111: control range determination unit 112: output reconstruction unit
113: control signal generator 120: polarity converter
131 ~ 133: thermoelectric module block

Claims (13)

반도체 제조설비내의 작용부하의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 PID연산에 의하여 전압량을 선형적으로 제어하여 제어 출력량과 극성 신호를 제공하는 메인 제어부와;
상기 메인 제어부에서 제공된 제어 출력량에 따라 제공할 전압 혹은 전류를 생성하고 상기 극성 신호에 따라 극성을 정 또는 역으로 전환시키는 극성전환부와;
하나 이상의 열전소자와 열교환부로 이루어진 열전모듈 블록을 상기 극성전환부에 의해 개별 제어가 가능한 복수의 그룹으로 구분하여 배치한 열전모듈 블록부와;
상기 메인 제어부가 제공하는 제어 출력량과 극성 신호에 따른 제어 범위가 기 설정된 데드존에 해당하는 경우 상기 열전모듈 블록부에서 적어도 한 그룹의 열전 모듈 블록은 고정된 출력을 제공하고 나머지 그룹의 열전 모듈 블록은 상기 메인 제어부의 제어에 따르도록 제어 출력을 재구성하여 상기 극성전환부에 제공하는 데드존 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
A main controller for linearly controlling the voltage amount by PID operation to provide a control output amount and a polarity signal in order to adjust the temperature of the working load in the semiconductor manufacturing facility to a set temperature;
A polarity switching unit for generating a voltage or current to be provided according to the control output amount provided by the main control unit and switching the polarity to the positive or the reverse according to the polarity signal;
A thermoelectric module block unit for dividing and arranging a thermoelectric module block including at least one thermoelectric element and a heat exchanger into a plurality of groups individually controlled by the polarity switching unit;
When the control output amount provided by the main controller and the control range according to the polarity signal correspond to a preset dead zone, the thermoelectric module block of the thermoelectric module block unit provides a fixed output and the thermoelectric module block of the remaining group. The temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment to avoid dead zones generated during the polarity switching of the thermoelectric element, characterized in that it comprises a dead zone calculation unit for reconfiguring a control output to provide to the polarity switching unit in accordance with the control of the main control unit. .
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 상기 고정된 출력을 제공하는 열전모듈 블록 그룹에 의해 상기 메인 제어부에 의해 제어되는 열전모듈 블록 그룹의 제어 범위가 데드존을 벗어나도록 하여 상기 제어 범위에서는 극성전환이 발생하지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The method of claim 1, wherein the dead zone calculation unit has a polarity in the control range so that the control range of the thermoelectric module block group controlled by the main control unit by the thermoelectric module block group providing the fixed output is out of the dead zone. A temperature control system of a semiconductor manufacturing facility for avoiding dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements, characterized in that the switching does not occur.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 상기 제어 범위가 극성 전환점을 기준으로 -10% 내지 10% 범위에 속하는 경우 데드존에 속하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
2. The dead zone of claim 1, wherein the dead zone operator determines that the dead zone belongs to a dead zone when the control range is in a range of -10% to 10% based on the polarity switching point. Temperature control system of semiconductor manufacturing equipment to avoid.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 상기 메인 제어부의 일부로 포함되는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The temperature control system of claim 1, wherein the dead zone calculation unit is included as a part of the main control unit.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는
상기 메인 제어부의 제어 출력량에 의해 제어 범위가 데드존에 속하는지 판단하는 제어범위 판단부와;
상기 제어범위 판단부에 의해 제어범위가 데드존에 속하는 것으로 판단되는 경우 상기 열전모듈 블록부의 그룹들에 제공할 출력을 구분하여 일 그룹에는 고정 출력을 할당하고 나머지 그룹에 메인 제어부의 제어 출력을 할당하는 출력 재구성부와;
상기 출력 재구성부가 제공하는 출력의 크기와 극성을 상기 극성 전환부에 제공하는 제어 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The method of claim 1, wherein the dead zone calculation unit
A control range determination unit that determines whether the control range belongs to a dead zone by the control output amount of the main control unit;
If it is determined by the control range determination unit that the control range belongs to the dead zone, the output to be provided to the groups of the thermoelectric module block unit is divided, and a fixed output is assigned to one group, and the control output of the main controller is allocated to the remaining groups. An output reconstruction unit;
And a control signal generation unit configured to provide a magnitude and a polarity of an output provided by the output reconstruction unit to the polarity switching unit. 12.
제 1항에 있어서, 상기 열전모듈 블록부는 2개 이상의 열전모듈 블록으로 구성되며, 각 열전모듈 블록의 열교환부에는 냉매와 냉각수(P.C.W)가 직렬 혹은 병렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
According to claim 1, wherein the thermoelectric module block portion is composed of two or more thermoelectric module blocks, the thermoelectric element polarity switching, characterized in that the refrigerant and the cooling water (PCW) is connected in series or parallel to the heat exchange unit of each thermoelectric module block Temperature control system of semiconductor manufacturing equipment to avoid dead zones generated during
제 1항에 있어서, 상기 열전모듈 블록부는 홀수의 열전모듈 블록으로 구성되며, 이중 데드존 연산부에 의해 고정 출력을 제공하는 열전모듈 블록 그룹의 열전모듈 블록의 수는 나머지 열전모듈 블록 그룹의 수보다 작은 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The thermoelectric module block unit of claim 1, wherein the thermoelectric module block unit includes an odd number of thermoelectric module blocks, and the number of thermoelectric module blocks of the thermoelectric module block group providing fixed output by the double dead zone calculating unit is greater than the number of remaining thermoelectric module block groups. A temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements, characterized in that small.
제 1항에 있어서, 상기 열전모듈 블록부에 구성되는 열전모듈 블록의 용량은 상이한 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The temperature control system of claim 1, wherein the capacities of the thermoelectric module blocks formed in the thermoelectric module block part are different from each other.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 제어 영역과 상이한 극성으로 고정 출력을 설정하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The temperature control system of claim 1, wherein the dead zone calculation unit sets a fixed output to a polarity different from that of the control region.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 상기 메인 제어부의 출력 변화에 따라 상기 고정 출력을 가변하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The temperature control system of claim 1, wherein the dead zone calculating unit varies the fixed output according to an output change of the main controller.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 고정 출력으로 가열이나 냉각을 위한 고정값을 상기 일측 그룹의 열전모듈 블록에 제공하는 것으로 실제 제어 범위를 그와 반대 극성쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The thermoelectric device of claim 1, wherein the dead zone calculating unit provides a fixed value for heating or cooling to the thermoelectric module block of one side by using a fixed output to move the actual control range toward the opposite polarity. A temperature control system for semiconductor manufacturing equipment that avoids dead zones generated during polarity switching.
제 1항에 있어서, 상기 데드존 연산부는 상기 메인 제어부로부터 설정 온도, 작용 부하의 온도, 제어 히스토리 중 적어도 하나를 통해 얻어진 환경 정보를 더 제공받아 상기 고정 출력의 크기나 극성을 결정하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
The method of claim 1, wherein the dead zone calculator further receives environmental information obtained from at least one of a set temperature, an operating load temperature, and a control history from the main controller to determine the size or polarity of the fixed output. A temperature control system of a semiconductor manufacturing facility that avoids dead zones generated during polarity switching of thermoelectric elements.
반도체 제조설비내의 작용부하의 온도를 설정된 온도로 조절하기 위하여 PID연산에 의하여 전압량을 선형적으로 제어하여 제어 출력량과 극성 신호를 통해 열전소자를 제어하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서,
하나 이상의 열전소자와 열교환부로 이루어진 열전모듈 블록이 복수로 배치된 열전모듈 블록부와;
상기 제어 출력량이 기 설정된 데드존에 속하는 경우 상기 열전모듈 블록부의 일부 열전모듈 블록을 고정값 출력으로 설정하고 그 외의 열전모듈 블록을 상기 제어 출력량과 극성 신호를 기준으로 제어하도록 출력을 재구성하는 데드존 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
A temperature control system of a semiconductor manufacturing facility which controls the thermoelectric element through a control output amount and a polarity signal by linearly controlling the voltage amount by PID operation to adjust the temperature of the working load in the semiconductor manufacturing facility to a set temperature.
A thermoelectric module block part in which a plurality of thermoelectric module blocks including at least one thermoelectric element and a heat exchange part are disposed;
A dead zone configured to set some thermoelectric module blocks of the thermoelectric module block unit to a fixed value output and to reconfigure the output to control other thermoelectric module blocks based on the control output amount and the polarity signal when the control output amount belongs to a preset dead zone. Temperature control system of the semiconductor manufacturing equipment to avoid dead zones generated during the thermoelectric device polarity switching characterized in that it comprises a calculation unit.
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KR101302156B1 (en) * 2013-05-08 2013-08-30 (주)테키스트 Calorie monitoring base temperature control system for semiconductor manufacturing equipment using thermoelectric element
KR102290890B1 (en) * 2020-07-06 2021-08-20 주식회사 에프에스티 Mixed chiller system used in semiconductor processing equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3820942B2 (en) * 2001-08-30 2006-09-13 ヤマハ株式会社 Thermoelectric module mounting apparatus and temperature control method thereof
KR100817419B1 (en) * 2007-04-20 2008-03-27 (주)테키스트 Temperature control system for semiconductor manufacturing equipment using reversal of polarity of thermoelectric element
JP2009010138A (en) * 2007-06-27 2009-01-15 Denso Corp Thermoelectric conversion element circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101302156B1 (en) * 2013-05-08 2013-08-30 (주)테키스트 Calorie monitoring base temperature control system for semiconductor manufacturing equipment using thermoelectric element
KR102290890B1 (en) * 2020-07-06 2021-08-20 주식회사 에프에스티 Mixed chiller system used in semiconductor processing equipment

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