KR20120137837A - Middle band type organic solar cell by using metal oxide quantum dot and method of producing the same - Google Patents
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- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 55
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims abstract description 57
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 60
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 37
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)sulfonyl]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(S(=O)(=O)C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 82
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 abstract 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 8
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- -1 BDSDA-ODA Chemical compound 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000005428 wave function Effects 0.000 description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 3
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenyl)sulfonylphthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYUQOJXNTSCEKL-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxoisoindol-5-yl)oxyisoindole-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)NC(=O)C2=CC(OC=2C=C3C(=O)NC(C3=CC=2)=O)=C1 KYUQOJXNTSCEKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLLGXSLBOPFWQV-UHFFFAOYSA-N MGK 264 Chemical compound C1=CC2CC1C1C2C(=O)N(CC(CC)CCCC)C1=O WLLGXSLBOPFWQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002803 fossil fuel Substances 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000005610 quantum mechanics Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K30/10—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising heterojunctions between organic semiconductors and inorganic semiconductors
- H10K30/15—Sensitised wide-bandgap semiconductor devices, e.g. dye-sensitised TiO2
- H10K30/152—Sensitised wide-bandgap semiconductor devices, e.g. dye-sensitised TiO2 the wide bandgap semiconductor comprising zinc oxide, e.g. ZnO
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L31/035209—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions comprising a quantum structures
- H01L31/035218—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions comprising a quantum structures the quantum structure being quantum dots
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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Abstract
Description
본 발명은 중간밴드계 유기물 태양전지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속 산화물 양자점을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an intermediate band organic solar cell, and more particularly to an intermediate band organic solar cell using a metal oxide quantum dot and a method of manufacturing the same.
태양전지는 무한한 에너지원인 태양광을 이용하여 전기를 생산하는 것으로 지난 수십년간 화석 연료를 대체할 것으로 주목 받아 왔다.Solar cells have been attracting attention for replacing fossil fuels over the last few decades by producing electricity from solar energy, an infinite source of energy.
단결정 실리콘 태양전지의 경우 25% 이상의 높은 효율을 달성하였지만, 제조 과정에서의 생산 비용과 에너지 소비가 매우 높다. 최대 31%의 광전변환효율을 가지는 단일 밴드 갭 태양 전지는 반도체 밴드 갭에서 전자-포논 산란에 의한 열로 손실되기 때문이다. 따라서, 고효율 태양전지의 개발에 대한 관심이 커져왔다.Single-crystal silicon solar cells achieve high efficiencies of more than 25%, but their production costs and energy consumption during manufacturing are very high. This is because single-bandgap solar cells with photoelectric conversion efficiencies up to 31% are lost to heat due to electron-phonon scattering in the semiconductor bandgap. Therefore, interest in the development of high efficiency solar cells has increased.
최근 양자점을 이용한 중간밴드계 태양전지는 3세대 고효율 태양전지로 그 연구가 활발히 진행되고 있다. 중간밴드계(intermediate band, IB)는 와이드 밴드갭(wide band gap)의 호스트(host) 재료에 양자점이나 불순물을 주입하여 형성된다. 중간밴드계가 형성되는 에너지 준위 위치는 주입되는 양자점이나 불순물에 의해 결정되고 형성되는 중간밴드계의 위치에 따라 광전 변환 효율이 결정된다. 즉, 작은 크기의 양자점을 사용하면 더 짧은 파장대의 빛을 흡수하며, 보다 큰 크기의 양자점을 사용하면 더 긴 파장의 빛을 흡수한다. 따라서, 하나의 태양전지에 서로 다른 크기의 양자점을 조합하면 더 많은 빛을 흡수하게 되어 일반 벌크 화합물 반도체에 비해 높은 광전변환 효율을 얻을 수 있다.Recently, the middle band solar cell using quantum dots has been actively researched as a third generation high efficiency solar cell. The intermediate band (IB) is formed by injecting quantum dots or impurities into a host material having a wide band gap. The position of the energy level at which the intermediate band system is formed is determined by the injected quantum dots or impurities, and the photoelectric conversion efficiency is determined by the position of the intermediate band system formed. In other words, the use of smaller sized quantum dots absorbs shorter wavelength bands, while the larger sized quantum dots absorb longer wavelengths. Therefore, by combining quantum dots of different sizes in one solar cell, more light is absorbed and thus higher photoelectric conversion efficiency can be obtained than in general bulk compound semiconductors.
하지만, 기존의 양자점 태양전지의 경우 뚜렷한 효율 향상이 보이지 않고 있다. 또한, 양자점 주입 밀도가 높을 경우 호스트 재료의 전기적 성질이 저하되는 경향이 있다. 따라서, 이를 위해서는 보다 작은 사이즈의 불순물 주입을 통한 중간밴드계 형성의 시도가 요구된다.However, in the case of the conventional quantum dot solar cell, there is no obvious improvement in efficiency. In addition, when the quantum dot injection density is high, the electrical properties of the host material tend to be lowered. Therefore, an attempt to form an intermediate band system by impurity implantation of a smaller size is required.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 광전변환효율을 향상시키기 위해 다결정 ZnO층과 금속 산화물 양자점을 포함한 폴리이미드층을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an intermediate band organic solar cell using a polyimide layer including a polycrystalline ZnO layer and a metal oxide quantum dot to improve photoelectric conversion efficiency.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 기판; 상기 기판 상에 형성된 p형 다결정 ZnO층; 상기 p형 다결정 ZnO층 상에 형성된 폴리이미드층; 상기 폴리이미드층 상에 형성된 n형 다결정 ZnO층; 및 상기 n형 다결정 ZnO층 상에 형성된 전극을 포함하고, 상기 폴리이미드층은 금속 산화물 양자점을 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지를 제공한다.One aspect of the present invention to achieve the above technical problem is a substrate; A p-type polycrystalline ZnO layer formed on the substrate; A polyimide layer formed on the p-type polycrystalline ZnO layer; An n-type polycrystalline ZnO layer formed on the polyimide layer; And an electrode formed on the n-type polycrystalline ZnO layer, and the polyimide layer provides an intermediate band organic solar cell including metal oxide quantum dots.
상기 기판은 단결정 Si 기판, 다결정 Si 기판, ITO 기판, 사파이어 기판 또는 유리 기판일 수 있다.The substrate may be a single crystal Si substrate, a polycrystalline Si substrate, an ITO substrate, a sapphire substrate or a glass substrate.
상기 p형 다결정 ZnO층 또는 n형 다결정 ZnO층은 나노 로드 구조를 포함할 수 있다.The p-type polycrystalline ZnO layer or the n-type polycrystalline ZnO layer may include a nanorod structure.
상기 p형 다결정 ZnO층의 두께는 50nm 내지 300nm일 수 있다.The p-type polycrystalline ZnO layer may have a thickness of 50 nm to 300 nm.
상기 폴리이미드층은 BPDA-PDA, PMDA-PDA, ODPA-PDA, 6FDA-PDA, BTDA-ODA, DMAc, BDSDA-ODA, DSDA, BPDA-Bz, TMA-PPD 또는 ODA-PI를 포함할 수 있다.The polyimide layer may include BPDA-PDA, PMDA-PDA, ODPA-PDA, 6FDA-PDA, BTDA-ODA, DMAc, BDSDA-ODA, DSDA, BPDA-Bz, TMA-PPD or ODA-PI.
상기 금속 산화물 양자점은 In2O3, CuO, Cu2O3, PbO, Bi12SiO20, ZnO2, SnO2, GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi12GeO20, Bi12SiO20, Cd2SnO4, CdSnO3 및 Li3CuO3 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The metal oxide quantum dots include In 2 O 3 , CuO, Cu 2 O 3 , PbO, Bi 12 SiO 20 , ZnO 2 , SnO 2 , GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi 12 GeO 20 , Bi 12 SiO 20 , It may include at least one selected from Cd 2 SnO 4 , CdSnO 3 and Li 3 CuO 3 .
상기 금속 산화물 양자점의 지름은 1nm 내지 100nm일 수 있다.The metal oxide quantum dot may have a diameter of about 1 nm to about 100 nm.
상기 금속 산화물 양자점은 2층 이상의 다층으로 형성될 수 있다.The metal oxide quantum dots may be formed in a multilayer of two or more layers.
상기 금속 산화물 양자점은 이종 물질들이 적층된 탠덤구조일 수 있다.The metal oxide quantum dot may be a tandem structure in which heterogeneous materials are stacked.
상기 전극은 ITO 전극일 수 있다.The electrode may be an ITO electrode.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계; 상기 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 폴리이미드층을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 형성된 폴리이미드층을 건조시켜서 상기 금속 박막을 녹이고 금속이온을 생성하는 단계; 상기 폴리이미드층을 열처리하고 상기 생성된 금속이온과의 화학적 반응을 통하여 상기 폴리이미드층 내에 금속 산화물 양자점을 형성하는 단계; 상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층 상에 n형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계; 및 상기 n형 다결정 ZnO층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법을 제공한다.Another aspect of the present invention to achieve the technical problem is preparing a substrate; Forming a p-type polycrystalline ZnO layer on the substrate; Forming a metal thin film on the p-type polycrystalline ZnO layer; Forming a polyimide layer on the metal thin film; Drying the polyimide layer formed on the metal thin film to melt the metal thin film and generate metal ions; Heat treating the polyimide layer and forming metal oxide quantum dots in the polyimide layer through chemical reaction with the generated metal ions; Forming an n-type polycrystalline ZnO layer on the polyimide layer including the metal oxide quantum dots; And it provides a method for manufacturing an intermediate band-based organic solar cell comprising the step of forming an electrode on the n-type polycrystalline ZnO layer.
상기 n형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계 이전에, 상기 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계부터 상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층을 형성하는 단계를 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 할 수 있다.Before forming the n-type polycrystalline ZnO layer, the step of forming a polyimide layer containing the metal oxide quantum dots from the step of forming a metal thin film on the p-type polycrystalline ZnO layer is repeated two or more times. You can do
상기 금속 박막은 Zn, In 또는 Cu일 수 있다.The metal thin film may be Zn, In, or Cu.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계; 상기 p형 다결정 ZnO층의 상부를 패터닝하여 상부가 패턴된 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계; 상기 상부가 패턴된 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 폴리이미드층을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 형성된 폴리이미드층을 건조시켜서 상기 금속 박막을 녹이고 금속이온을 생성하는 단계; 상기 폴리이미드층을 열처리하고 상기 생성된 금속이온과의 화학적 반응을 통하여 상기 폴리이미드층 내에 금속 산화물 양자점을 형성하는 단계; 상기 금속산화물 양자점을 포함하는 폴리이미드층 상에 n형 다결정 ZnO 박막을 형성하는 단계; 및 상기 n형 다결정 ZnO 박막 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법을 제공한다.Another aspect of the present invention to achieve the technical problem is preparing a substrate; Forming a p-type polycrystalline ZnO layer on the substrate; Patterning an upper portion of the p-type polycrystalline ZnO layer to form a p-type polycrystalline ZnO layer patterned thereon; Forming a metal thin film on the upper patterned p-type polycrystalline ZnO layer; Forming a polyimide layer on the metal thin film; Drying the polyimide layer formed on the metal thin film to melt the metal thin film and generate metal ions; Heat treating the polyimide layer and forming metal oxide quantum dots in the polyimide layer through chemical reaction with the generated metal ions; Forming an n-type polycrystalline ZnO thin film on the polyimide layer including the metal oxide quantum dots; And it provides a method for manufacturing an intermediate band-based organic solar cell comprising the step of forming an electrode on the n-type polycrystalline ZnO thin film.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 다결정 ZnO 박막과 금속산화물 양자점을 이용한 다층구조의 양자우물구조를 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지를 이용하여 광전변환효율을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, a photoelectric conversion efficiency may be improved by using an intermediate band organic material solar cell using a quantum well structure having a multilayer structure using a polycrystalline ZnO thin film and a metal oxide quantum dot.
다만, 본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
도 1a 내지 도 1f는 본 발명의 일 실시예에 따른 금속산화물 양자점을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법을 공정단계에 따라 나타낸 사시도들이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴된 p형 다결정 ZnO층 상에 형성된 금속산화물 양자점을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지의 사시도이다.
도 3은 ZnO 다결정 박막 상에 In2O3 나노입자가 포함된 폴리이미드층(polyimide layer)의 단면 이미지이다.1A to 1F are perspective views illustrating a method of manufacturing an intermediate band organic solar cell using a metal oxide quantum dot according to an embodiment of the present invention according to a process step.
2 is a perspective view of an intermediate band organic solar cell using metal oxide quantum dots formed on a patterned p-type polycrystalline ZnO layer according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional image of a polyimide layer including In 2 O 3 nanoparticles on a ZnO polycrystalline thin film.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Like numbers refer to like elements throughout. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
실시예Example 1 One
도 1a 내지 도 1f는 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 산화물 양자점을 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조 방법을 공정 단계에 따라 나타낸 사시도들이다.1A to 1F are perspective views illustrating a method of manufacturing an intermediate band organic solar cell including a metal oxide quantum dot according to an embodiment of the present invention, according to process steps.
도 1a을 참조하면, 기판(100)을 준비한다. 상기 기판(100)은 단결정 Si 기판, 다결정 Si 기판, ITO(Induim Tin Oxide) 기판, 사파이어 기판 또는 유리 기판일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다. Referring to FIG. 1A, a
상기 기판(100) 상에 p형 다결정 ZnO층(200)을 형성한다.A p-type
상기 p형 다결정 ZnO층(200)의 두께는 50nm 내지 300nm일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다. 만일 p형 다결정 ZnO층의 두께가 50nm 미만이면, 얇은 막질로 인해 엑시톤이 충분히 형성되지 않는 문제가 발생한다. 또한, p형 다결정 ZnO층의 두께가 300nm를 상회하는 경우, 형성된 엑시톤이 전극으로 충분히 전달되지 못하고, 결정구조의 벌크 내부에서 재결합하는 문제가 발생한다.The p-type
예를 들어, ITO 투명전극 기판 상에 N2, NO, N2O, NH3 또는 Zn3N4 가스 분위기에서 스퍼터링 방법 또는 Pulsed Laser Deposition(PLD)법을 통하여 p형 ZnO 다결정 박막을 약 200nm의 두께로 형성할 수 있다.For example, N 2 , NO, N 2 O, NH 3 or Zn 3 N 4 on an ITO transparent electrode substrate. The p-type ZnO polycrystalline thin film may be formed to a thickness of about 200 nm through a sputtering method or a pulsed laser deposition (PLD) method in a gas atmosphere.
기존의 실리콘 및 화합물 반도체 태양전지에서 에너지 밴드갭이 3.4 eV인 ZnO는 윈도우 역할만을 수행하였다. 그러나, 본 발명에서는 윈도우 역할이 아닌 양자점 중간밴드 태양전지의 효율을 증가시키는 역할을 한다. 즉, ZnO 박막을 이용하여 자외선 영역의 태양광을 흡수하여 엑시톤을 형성하여 기전력을 발생시킨다. 또한, 본 발명에서 ZnO 박막은 단결정 구조가 아니고 다결정 구조로 되어 있음을 특징으로 한다.In conventional silicon and compound semiconductor solar cells, ZnO with an energy bandgap of 3.4 eV served only as a window. However, the present invention serves to increase the efficiency of the quantum dot mid band solar cell rather than the window role. That is, the ZnO thin film is used to absorb sunlight in the ultraviolet region to form excitons to generate electromotive force. In addition, the ZnO thin film in the present invention is characterized by having a polycrystalline structure instead of a single crystal structure.
단결정 p형 ZnO 박막은 500℃ 이상의 고온 열처리 공정이 필요하나, 다결정 p형 ZnO박막은 기판온도를 100℃ 내지 500℃로 한다.The single crystal p-type ZnO thin film requires a high temperature heat treatment process of 500 ° C. or higher, but the polycrystalline p-type ZnO thin film has a substrate temperature of 100 ° C. to 500 ° C.
상기 기판 온도가 상승하는 것을 방지하기 위하여 기판을 7회/분 내지 12회/분으로 회전을 시켜서 기판온도를 100℃ 내지 500℃로 유지시킬 수 있다. 만일 기판의 회전수가 7회/분 이하인 경우 수직구조의 다결정 ZnO 박막이 형성되지 않을 우려가 있고, 12회/분 이상인 경우 ZnO 다결정의 박막이 휘어지는 나노로드 형태로 제작될 수 있다. 기판을 12회/분 이상 회전시킬 경우 다결정 박막 내부에 보이드나 핀홀 등이 다량으로 형성되어 누설전류가 발생하여 광전변환 효율을 감소시킬 수 있다.In order to prevent the substrate temperature from rising, the substrate may be rotated at 7 times / minute to 12 times / minute to maintain the substrate temperature at 100 ° C to 500 ° C. If the number of revolutions of the substrate is less than 7 times / min, there is a fear that the polycrystalline ZnO thin film of the vertical structure is not formed, and if more than 12 times / min can be produced in the form of a nanorod bend the ZnO polycrystalline thin film. When the substrate is rotated more than 12 times / minute, a large amount of voids or pinholes are formed in the polycrystalline thin film, and thus leakage current may be generated to reduce the photoelectric conversion efficiency.
주입되는 N2, NO, N2O, NH3, 또는 Zn3N4 가스는 2sccm 내지 10sccm일 수 있다. 만일, 상기 가스가 2sccm 미만일 경우, 스퍼터링을 이용한 활성 플라즈마(reactive plasma)를 이용할 경우 충분히 이온화되지 않아 다결정 ZnO 박막 내부에 도핑이 충분하지 않을 우려가 있다. 또한, 상기 가스가 10sccm 이상일 경우 도핑 농도가 상승하여 1x1018 cm-3 이상이 되는데 이는 과도한 홀이 형성되어 p-n 접합특성이 태양전지로서 적합하지 않다. 또한, PLD를 이용하여 p형 ZnO 다결정 박막을 형성시킬 경우도 마찬가지다.N 2 , NO, N 2 O, NH 3 , or Zn 3 N 4 injected The gas may be between 2 sccm and 10 sccm. If the gas is less than 2 sccm, there is a concern that doping may not be sufficient in the polycrystalline ZnO thin film due to insufficient ionization when using an active plasma using sputtering. In addition, when the gas is 10sccm or more, the doping concentration is increased to 1x10 18 cm -3 or more, which is because the excessive holes are formed, pn junction characteristics are not suitable as a solar cell. The same applies to the case where a p-type ZnO polycrystalline thin film is formed using PLD.
도 1b를 참조하면, 상기 p형 다결정 ZnO층(200) 상에 금속 박막(300)을 형성한다.Referring to FIG. 1B, a metal
상기 금속 박막(300)은 Zn, In 또는 Cu일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다. 상기 금속 박막(300)의 두께는 5nm 내지 10nm일 수 있다.The metal
만일, 상기 금속 박막(300)의 두께가 10nm를 상회하는 경우, 후술할 폴리이미드층과의 화학반응에서 모두 용해되지 않고 일부가 금속 박막으로 잔류할 우려가 있다.If the thickness of the metal
도 1c를 참조하면, 상기 금속 박막(300) 상에 폴리이미드층(400)을 형성한다.Referring to FIG. 1C, a
상기 폴리이미드층은 BPDA-PDA(poly(p-phenylene biphenylene carboximide)), PMDA-PDA(poly(p-phenylene pyromellitimide)), ODPA-PDA(poly(p-phenylene 3,3',4,4'-oxydiphthalimide)), 6FDA-PDA(poly(p-phenylene 4,4'-hexafluoro isopropylidene diphthalimide)), BTDA-ODA(3,3',4,4'-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride-4,4'-oxydianiline), DMAc(Dimethylacetamide), BDSDA-ODA(4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfide-oxydianhydride), DSDA(3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride), BPDA-Bz (poly(4,4'-biphenylene biphenyltetracarboximide), TMA-PPD(trimellitic anhydride-p-phenylene diamine) 또는 ODA-PI (4,4'-oxydianiline-polyimide)일 수 있다.The polyimide layer is BPDA-PDA (poly (p-phenylene biphenylene carboximide)), PMDA-PDA (poly (p-phenylene pyromellitimide)), ODPA-PDA (poly (p-phenylene 3,3 ', 4,4' -oxydiphthalimide)), 6FDA-PDA (poly (p-phenylene 4,4'-hexafluoro isopropylidene diphthalimide)), BTDA-ODA (3,3 ', 4,4'-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride-4,4'-oxydianiline), Dimethylacetamide (DMAc), BDSDA-ODA (4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylsulfide-oxydianhydride), DSDA (3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride), BPDA-Bz (poly (4,4'-biphenylene biphenyltetracarboximide), trimellitic anhydride-p-phenylene diamine (TMA-PPD) or ODA-PI (4,4'-oxydianiline-polyimide).
상기 폴리이미드층(400)의 두께는 50nm 내지 100nm일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다.The
예를 들어, Cu 금속박막 상에 BPDA-PDA를 스핀 코팅하여 폴리이미드층을 형성할 수 있다.For example, the polyimide layer may be formed by spin coating BPDA-PDA on the Cu metal thin film.
도 1d를 참조하면, 폴리머의 경화 과정을 거치면서 폴리이미드층 내에 금속 산화물 나노 입자가 제조되어 금속산화물 양자점(510)이 형성된다.Referring to FIG. 1D, metal oxide nanoparticles are manufactured in a polyimide layer through a curing process of a polymer to form a metal oxide quantum dot 510.
양자점(Quantum Dots)은 나노 크기의 0차원적 초미세 구조를 말한다. 이 나노 크기의 구조에서는 고전 물리에서 관찰되지 않았던 양자 구속 효과(quantum confinement effect), 양자 수송(quantum transport) 효과와 같은 양자 효과들이 나타나게 된다.Quantum dots are nanoscale, zero-dimensional ultrafine structures. In this nanoscale structure, quantum effects such as quantum confinement effects and quantum transport effects that have not been observed in classical physics appear.
상기 금속 산화물 양자점(510)은 In2O3, CuO, Cu2O3, PbO, Bi12SiO20, ZnO2, SnO2, GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi12GeO20, Bi12SiO20, Cd2SnO4, CdSnO3 및 Li3CuO3 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다.The metal oxide quantum dots 510 may be formed of In 2 O 3 , CuO, Cu 2 O 3 , PbO, Bi 12 SiO 20 , ZnO 2 , SnO 2 , GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi 12 GeO 20 , Bi 12 SiO 2 , Cd 2 SnO 4 , CdSnO 3 and Li 3 CuO 3 . However, the present invention is not limited thereto.
상기 금속 산화물 양자점(510)의 지름은 1nm 내지 100nm일 수 있다. 만일 금속 산화물 양자점의 지름이 1nm 미만이면, 양자점의 형성이 실질적으로 곤란해지며, 양자점의 입도의 조절이 곤란해진다. 또한, 금속 산화물 양자점의 지름이 100nm를 상회하는 경우, 양자점에 따른 엑시톤 형성의 고유의 효과를 기대하기 힘들다.The diameter of the metal oxide quantum dot 510 may be 1 nm to 100 nm. If the diameter of the metal oxide quantum dots is less than 1 nm, formation of the quantum dots becomes substantially difficult, and adjustment of the particle size of the quantum dots becomes difficult. In addition, when the diameter of the metal oxide quantum dots exceeds 100 nm, it is difficult to expect the inherent effect of the exciton formation according to the quantum dots.
예를 들어, 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층은 금속박막과 폴리아믹산(polyamic acid, PAA)의 화학적 반응 방법에 의해 형성한다.For example, the polyimide layer including the metal oxide quantum dots is formed by a chemical reaction method of a metal thin film and polyamic acid (PAA).
상기 금속 산화물 양자점(510)은 2층 이상의 다층으로 형성될 수 있다.The metal oxide quantum dots 510 may be formed in a multilayer of two or more layers.
후술할 n형 다결정 ZnO층(600)을 형성하는 단계 이전에, 상기 p형 다결정 ZnO층(200) 상에 금속 박막(300)을 형성하는 단계부터 상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층(500)을 형성하는 단계를 2회 이상 반복하여 2층 이상의 다층 구조인 금속 산화물 양자점(510)을 형성할 수 있다.Prior to forming the n-type polycrystalline ZnO layer 600 to be described later, the polyimide layer 500 including the metal oxide quantum dots from the step of forming the metal
상기 금속 산화물 양자점(510)은 이종 물질들이 적층된 탠덤(Tendem)구조일 수 있다.The metal oxide quantum dot 510 may have a tandem structure in which heterogeneous materials are stacked.
예를 들어, 금속 박막을 5nm 내지 10nm 두께로 증착한 후 폴리이미드층을 10nm 이하의 두께로 스핀 코팅하여 소프트 베이킹(soft baking)하고 폴리머의 경화과정을 이용하여 금속 산화물 양자점을 형성하고, 이 과정을 반복 수행할 경우 다층의 금속 산화물 양자점 구조를 형성할 수 있다. 또한, 이종 물질의 금속 박막들을 사용하여 상기 과정을 반복 수행할 경우 탠덤 구조의 금속 산화물 양자점을 형성할 수 있다.For example, a metal thin film is deposited to a thickness of 5 nm to 10 nm, followed by spin coating a polyimide layer to a thickness of 10 nm or less, soft baking, and forming a metal oxide quantum dot using a curing process of a polymer. When repeatedly performed, a multi-layer metal oxide quantum dot structure may be formed. In addition, when the above process is repeated using metal thin films of different materials, a tandem metal oxide quantum dot may be formed.
도 1e를 참조하면, 상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층(500) 상에 다결정 n형 ZnO층(600)을 형성한다.Referring to FIG. 1E, a polycrystalline n-type ZnO layer 600 is formed on the polyimide layer 500 including the metal oxide quantum dots.
n형 다결정 ZnO층(600)은 태양광을 흡수한 금속산화물 양자점에 의하여 형성된 엑시톤(exciton)이 분리되어 전자 및 정공의 운반자가 전극으로 쉽게 전달될 수 있도록 한다.The n-type polycrystalline ZnO layer 600 separates excitons formed by metal oxide quantum dots absorbing sunlight, so that carriers of electrons and holes can be easily transferred to the electrodes.
상기 n형 다결정 ZnO층(600)의 두께는 50nm 내지 300nm일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다.The n-type polycrystalline ZnO layer 600 may have a thickness of 50 nm to 300 nm. However, the present invention is not limited thereto.
상기 p형 다결정 ZnO층 또는 n형 다결정 ZnO층은 나노 로드 구조를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다.The p-type polycrystalline ZnO layer or the n-type polycrystalline ZnO layer may include a nanorod structure. However, the present invention is not limited thereto.
예를 들어, 금속 산화물 양자점이 포함된 BPDA-PDA 고분자층 위에 물리적 증기 증착법을 통하여 n형 다결정 ZnO층을 약 34nm 증착한다.For example, about 34 nm of an n-type polycrystalline ZnO layer is deposited on the BPDA-PDA polymer layer including the metal oxide quantum dots by physical vapor deposition.
도 1f를 참조하면, 상기 n형 다결정 ZnO층(600) 상에 전극(700)을 형성한다.Referring to FIG. 1F, an electrode 700 is formed on the n-type polycrystalline ZnO layer 600.
상기 전극(700)은 ITO 전극일 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않는다.The electrode 700 may be an ITO electrode. However, the present invention is not limited thereto.
예를 들어, n형 다결정 ZnO층 상에 ITO(Indium Tin Oxide)를 약 140nm의 두께로 증착한다. 상기 ITO의 게이트 전극의 직경은 약 200㎛이다.For example, indium tin oxide (ITO) is deposited on the n-type polycrystalline ZnO layer to a thickness of about 140 nm. The diameter of the gate electrode of the ITO is about 200 mu m.
금속 산화물 나노 입자의 경우 폴리이미드 내에 균일한 크기를 가지는 양자우물 구조를 형성하게 된다. 규칙적으로 배열된 동일한 폭을 가지는 양자 우물들에서 광조사에 의하여 형성되는 전자와 정공의 상태는 파동함수로 기술이 가능하다. 다층으로 형성된 동일한 폭을 가지는 양자우물 구조에서 형성되는 엑시톤은 재결합되어 소실되지 않고 동일한 위상을 가지는 파동함수를 가지는 전자들이 직접 터널링에 의하여 n형 ZnO층으로 움직이게 된다.In the case of the metal oxide nanoparticles, a quantum well structure having a uniform size is formed in the polyimide. The states of electrons and holes formed by light irradiation in regularly arranged quantum wells having the same width can be described by the wave function. Excitons formed in the quantum well structure having the same width formed in multiple layers are recombined and are not lost, and electrons having wave functions having the same phase are moved to the n-type ZnO layer by direct tunneling.
또한, 엑시톤에서 분리된 홀은 p형 ZnO층을 통하여 전극으로 움직인다. 이때 폴리이미드층 내부에 형성된 양자 우물 구조에 위상이 일치하는 파동함수가 존재할 확률이 가장 높은 에너지 준위가 결정이 되는데 이는 양자역학(quantum mechanics)의 시간 의존 슈뢰딩거 방정식(time-dependent Schrodinger equation)을 통하여 유추가 가능하다.In addition, the hole separated in the exciton moves to the electrode through the p-type ZnO layer. At this time, the energy level with the highest probability of the phase-matched wave function in the quantum well structure formed inside the polyimide layer is determined by the time-dependent Schrodinger equation of quantum mechanics. Induction is possible.
즉, 터널링 되어 방출되는 전자 및 정공의 에너지와 상태를 고려하면 WKB(Wentzel-Kramers-Brillouin) 근사를 사용하여 폴리이미드 내에 형성된 양자 우물에 엑시톤 형성과 동시에 위치하는 전자 및 정공 그리고 그들의 파동함수가 일치한다.In other words, considering the energy and state of electrons and holes emitted through tunneling, electrons and holes coinciding with exciton formation and their wave functions coincide with quantum wells formed in polyimide using WKB (Wentzel-Kramers-Brillouin) approximation. do.
따라서, 직접 터널링으로 n형 ZnO층 및 p형 ZnO층으로 엑시톤 재결합하지 않고 방출되는 연속적인 에너지 준위가 형성된다. 이를 중간밴드(intermediated band)라고 정의를 할 수가 있으며 이는 양자점 뿐만 아니라 반도체 박막에 불순물을 추가하여 불순물 준위를 형성하여 중간밴드를 형성할 수 있다.Thus, direct tunneling forms a continuous energy level that is released without exciton recombination into the n-type ZnO layer and the p-type ZnO layer. This may be defined as an intermediate band, which may form an impurity level by adding impurities to a semiconductor thin film as well as a quantum dot to form an intermediate band.
본 발명에서 자외선 영역(3.4eV)은 다결정 ZnO층이 흡수를 하고, 그 이외의 가시광 영역인 400nm 내지 700nm의 파장을 흡수하기 위하여 금속 산화물 양자점의 물질의 종류를 변환하거나 양자점의 크기를 조절함으로써 중간밴드의 위치를 임의로 조절할 수 있다.In the present invention, the ultraviolet region (3.4eV) is absorbed by the polycrystalline ZnO layer, and in order to absorb the wavelength of 400nm to 700nm other than the visible region, the intermediate of the metal oxide quantum dot by changing the kind of material or adjusting the size of the quantum dot The position of the band can be adjusted arbitrarily.
따라서, 태양광 파장의 흡수 대역이 각기 다른 탠덤(Tandem)형 태양전지의 제작이 가능하다.Therefore, it is possible to fabricate tandem solar cells having different absorption bands of solar wavelengths.
실시예Example 2 2
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴된 p형 다결정 ZnO층 상에 형성된 금속산화물 양자점을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지의 사시도이다.2 is a perspective view of an intermediate band organic solar cell using metal oxide quantum dots formed on a patterned p-type polycrystalline ZnO layer according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 태양전지의 효율을 극대화하기 위하여 p형 다결정 ZnO층(200)을 패터닝한다. 상기 도 1a 내지 도 1f의 제조공정에서, p형 다결정 ZnO층(200) 상에 금속 박막(300)을 형성하는 단계 이전에 p형 다결정 ZnO층(200)을 패터닝하는 단계를 더 추가하여 패턴된 p형 다결정 ZnO층(210)상에 형성된 금속산화물 양자점을 이용한 중간밴드계 유기물 태양전지를 제조할 수 있다.Referring to FIG. 2, the p-type
상기 p형 다결정 ZnO층(200)의 상부를 패터닝을 하여 폴리이미드층과 만나는 ZnO층의 단면적을 증가시켜서 양자점에서 형성된 엑시톤에서 분리된 정공이 p형 다결정 ZnO 박막을 통하여 전극으로 흘러가는 밀도를 증가시키는 역할을 수행한다.By patterning the upper portion of the p-type
패턴의 모양은 한 변의 길이가 100㎛ 이하인 직사각형 또는 지름이 100㎛ 이하인 원형일 수 있다. 만일, 한 변의 길이 또는 지름이 100㎛ 이상인 경우 태양전지의 광전변환 효율의 향상 효과가 적어질 우려가 있다.The shape of the pattern may be a rectangle having a length of 100 μm or less or a circle having a diameter of 100 μm or less. If the length or diameter of one side is 100 µm or more, there is a fear that the effect of improving the photoelectric conversion efficiency of the solar cell is reduced.
상기 패턴의 깊이는 폴리이미드의 두께와 다층으로 형성된 양자점의 지름 및 밀도를 고려하여 임의로 조절할 수 있다.The depth of the pattern may be arbitrarily adjusted in consideration of the thickness of the polyimide and the diameter and density of the quantum dots formed in a multilayer.
예를 들어, ITO 투명 전극 상부에 나노 로드처럼 성장된 패턴된 다결정 ZnO층을 물리적 증착법인 스퍼터링 방법으로 형성한다. 상기 패턴된 다결정 ZnO층은 종래의 다결정 Si 기판과 마찬가지로 효율이 증가하는 효과와 함께 금속산화물 양자점에서 형성된 엑시톤이 분리되어 전극으로 빠르게 움직이게 할 수 있는 효과도 동시에 가져온다.For example, a patterned polycrystalline ZnO layer grown like a nanorod on an ITO transparent electrode is formed by sputtering, a physical vapor deposition method. The patterned polycrystalline ZnO layer has the effect of increasing efficiency as well as the conventional polycrystalline Si substrate, and at the same time, the excitons formed from the metal oxide quantum dots are separated and move quickly to the electrode.
도 3은 ZnO 다결정 박막 상에 In2O3 나노입자가 포함된 폴리이미드층(polyimide layer)의 단면 이미지이다.3 is a cross-sectional image of a polyimide layer including In 2 O 3 nanoparticles on a ZnO polycrystalline thin film.
도 3을 참조하면, ITO 박막 상에 스퍼터링 방법을 이용하여 ZnO 다결정 박막을 약 120nm의 두께로 증착한다.Referring to FIG. 3, a ZnO polycrystalline thin film is deposited to a thickness of about 120 nm using a sputtering method on an ITO thin film.
상기 ZnO 다결정 박막 상에 열증착법을 이용하여 In을 약 5nm 두께로 증착한다. 그 후, 상기 In 금속박막에 약 50nm 두께의 폴리아믹산(polyamic acid, PAA)을 스핀코팅방법으로 증착한다. 이 실험에서 PAA용액은 N-methyl-2-pyrrolidone(3wt.%)에 BPDA-PDA를 섞어서 만든다.In is deposited to a thickness of about 5 nm on the ZnO polycrystalline thin film by thermal deposition. Thereafter, a polyamic acid (PAA) having a thickness of about 50 nm is deposited on the In metal thin film by spin coating. In this experiment, PAA solution was made by mixing BPDA-PDA with N-methyl-2-pyrrolidone (3wt.%).
진공 건조기 안에서 PAA와 금속은 상온에서 약 24시간 동안 용해된다. 이 과정에서 PAA는 In 금속박막을 녹이고 In 금속이온을 생성한다.PAA and metals are dissolved in a vacuum dryer for about 24 hours at room temperature. In this process, PAA melts the In metal thin film and generates In metal ions.
그 다음에, 135℃에서 30분간 가열 후, 급속열처리방법을 이용하여 질소 분위기에서 400℃로 1시간 동안 가열된다.Then, after heating for 30 minutes at 135 ℃, it is heated for 1 hour to 400 ℃ in a nitrogen atmosphere using a rapid heat treatment method.
가열 과정 동안 금속이온과 산소에 노출된 PAA의 화학적 반응에 의해 고분자층 안에 금속 산화물 나노 입자가 형성되어 금속 산화물 양자점이 된다. 상기 In2O3 나노입자의 지름은 약 15nm임을 나타낸다.During the heating process, metal oxide nanoparticles are formed in the polymer layer by chemical reaction of PAA exposed to metal ions and oxygen to form metal oxide quantum dots. The diameter of the In 2 O 3 nanoparticles is about 15nm.
상기 도 3에 개시된 바대로 나노입자는 양자점으로 작용하고, 형성된 나노입자는 폴리이미드층 내부에 장입된 것을 확인할 수 있다.As shown in FIG. 3, the nanoparticles act as quantum dots, and the formed nanoparticles may be loaded into the polyimide layer.
상술한 바대로, ZnO 다결정 박막 상에 폴리이미드층이 형성되고, 폴리이미드층 내부에 양자점이 형성된다. 따라서, 양자점의 크기 또는 재질을 조절하여 가시광선에 포함된 다양한 파장대의 빛을 흡수할 수 있으며, 이를 통해 광전변환효율을 상승시킴을 확인할 수 있다.As described above, a polyimide layer is formed on the ZnO polycrystalline thin film, and a quantum dot is formed inside the polyimide layer. Therefore, by adjusting the size or the material of the quantum dot can absorb the light of various wavelengths included in the visible light, it can be seen that it increases the photoelectric conversion efficiency.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형 및 변경이 가능하다.In the above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and changes by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention. You can change it.
100: 기판 200: p형 다결정 ZnO층
210: 패턴된 p형 다결정 ZnO층 300: 금속 박막
400: 폴리이미드층
500: 금속산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층
510: 금속산화물 양자점 600: n형 다결정 ZnO층
700: 전극100: substrate 200: p-type polycrystalline ZnO layer
210: patterned p-type polycrystalline ZnO layer 300: metal thin film
400: polyimide layer
500: polyimide layer containing a metal oxide quantum dot
510: metal oxide quantum dot 600: n-type polycrystalline ZnO layer
700: electrode
Claims (14)
상기 기판 상에 형성된 p형 다결정 ZnO층;
상기 p형 다결정 ZnO층 상에 형성된 폴리이미드층;
상기 폴리이미드층 상에 형성된 n형 다결정 ZnO층; 및
상기 n형 다결정 ZnO층 상에 형성된 전극을 포함하고,
상기 폴리이미드층은 금속 산화물 양자점을 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지.Board;
A p-type polycrystalline ZnO layer formed on the substrate;
A polyimide layer formed on the p-type polycrystalline ZnO layer;
An n-type polycrystalline ZnO layer formed on the polyimide layer; And
An electrode formed on the n-type polycrystalline ZnO layer,
The polyimide layer is an intermediate band organic material solar cell including a metal oxide quantum dot.
상기 기판은 단결정 Si 기판, 다결정 Si 기판, ITO 기판, 사파이어 기판 또는 유리 기판인 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The substrate is a mid band organic solar cell of a single crystal Si substrate, a polycrystalline Si substrate, an ITO substrate, a sapphire substrate or a glass substrate.
상기 p형 다결정 ZnO층 또는 n형 다결정 ZnO층은 나노 로드 구조를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The p-type polycrystalline ZnO layer or n-type polycrystalline ZnO layer is an intermediate band organic solar cell comprising a nano-rod structure.
상기 p형 다결정 ZnO층의 두께는 50nm 내지 300nm인 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The p-type polycrystalline ZnO layer has a thickness of 50nm to 300nm intermediate band-based organic solar cell.
상기 폴리이미드층은 BPDA-PDA, PMDA-PDA, ODPA-PDA, 6FDA-PDA, BTDA-ODA, DMAc, BDSDA-ODA, DSDA, BPDA-Bz, TMA-PPD 또는 ODA-PI를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The polyimide layer is an intermediate band system including BPDA-PDA, PMDA-PDA, ODPA-PDA, 6FDA-PDA, BTDA-ODA, DMAc, BDSDA-ODA, DSDA, BPDA-Bz, TMA-PPD or ODA-PI. Organic solar cell.
상기 금속 산화물 양자점은 In2O3, CuO, Cu2O3, PbO, Bi12SiO20, ZnO2, SnO2, GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi12GeO20, Bi12SiO20, Cd2SnO4, CdSnO3 및 Li3CuO3 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The metal oxide quantum dots include In 2 O 3 , CuO, Cu 2 O 3 , PbO, Bi 12 SiO 20 , ZnO 2 , SnO 2 , GaO, MgO, GeO, BaO, SrO, Bi 12 GeO 20 , Bi 12 SiO 20 , Intermediate band-based organic solar cell comprising at least one selected from Cd 2 SnO 4 , CdSnO 3 and Li 3 CuO 3 .
상기 금속 산화물 양자점의 지름은 1nm 내지 100nm인 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The metal oxide quantum dot has a diameter of 1nm to 100nm intermediate band-based organic solar cell.
상기 금속 산화물 양자점은 2층 이상의 다층으로 형성된 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The metal oxide quantum dot is an intermediate band organic solar cell formed of two or more layers.
상기 금속 산화물 양자점은 이종 물질들이 적층된 탠덤구조인 중간밴드계 유기물 태양전지.9. The method of claim 8,
The metal oxide quantum dot is an intermediate band organic solar cell having a tandem structure in which heterogeneous materials are stacked.
상기 전극은 ITO 전극인 중간밴드계 유기물 태양전지.The method of claim 1,
The electrode is an intermediate band organic solar cell of the ITO electrode.
상기 기판 상에 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계;
상기 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계;
상기 금속 박막 상에 폴리이미드층을 형성하는 단계;
상기 금속 박막 상에 형성된 폴리이미드층을 건조시켜서 상기 금속 박막을 녹이고 금속이온을 생성하는 단계;
상기 폴리이미드층을 열처리하고 상기 생성된 금속이온과의 화학적 반응을 통하여 상기 폴리이미드층 내에 금속 산화물 양자점을 형성하는 단계;
상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층 상에 n형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계; 및
상기 n형 다결정 ZnO층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법.Preparing a substrate;
Forming a p-type polycrystalline ZnO layer on the substrate;
Forming a metal thin film on the p-type polycrystalline ZnO layer;
Forming a polyimide layer on the metal thin film;
Drying the polyimide layer formed on the metal thin film to melt the metal thin film and generate metal ions;
Heat treating the polyimide layer and forming metal oxide quantum dots in the polyimide layer through chemical reaction with the generated metal ions;
Forming an n-type polycrystalline ZnO layer on the polyimide layer including the metal oxide quantum dots; And
Method of manufacturing an intermediate band-based organic solar cell comprising the step of forming an electrode on the n-type polycrystalline ZnO layer.
n형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계 이전에,
상기 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계부터 상기 금속 산화물 양자점이 포함된 폴리이미드층을 형성하는 단계를 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법.The method of claim 11,
Prior to forming the n-type polycrystalline ZnO layer,
And forming a polyimide layer including the metal oxide quantum dots two or more times from forming a metal thin film on the p-type polycrystalline ZnO layer.
상기 금속 박막은 Zn, In 또는 Cu인 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법.The method of claim 11,
The metal thin film is Zn, In or Cu method of manufacturing an intermediate band organic solar cell.
상기 기판 상에 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계;
상기 p형 다결정 ZnO층의 상부를 패터닝하여 상부가 패턴된 p형 다결정 ZnO층을 형성하는 단계;
상기 상부가 패턴된 p형 다결정 ZnO층 상에 금속 박막을 형성하는 단계;
상기 금속 박막 상에 폴리이미드층을 형성하는 단계;
상기 금속 박막 상에 형성된 폴리이미드층을 건조시켜서 상기 금속 박막을 녹이고 금속이온을 생성하는 단계;
상기 폴리이미드층을 열처리하고 상기 생성된 금속이온과의 화학적 반응을 통하여 상기 폴리이미드층 내에 금속 산화물 양자점을 형성하는 단계;
상기 금속산화물 양자점을 포함하는 폴리이미드층 상에 n형 다결정 ZnO 박막을 형성하는 단계; 및
상기 n형 다결정 ZnO 박막 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 중간밴드계 유기물 태양전지의 제조방법.Preparing a substrate;
Forming a p-type polycrystalline ZnO layer on the substrate;
Patterning an upper portion of the p-type polycrystalline ZnO layer to form a p-type polycrystalline ZnO layer patterned thereon;
Forming a metal thin film on the upper patterned p-type polycrystalline ZnO layer;
Forming a polyimide layer on the metal thin film;
Drying the polyimide layer formed on the metal thin film to melt the metal thin film and generate metal ions;
Heat treating the polyimide layer and forming metal oxide quantum dots in the polyimide layer through chemical reaction with the generated metal ions;
Forming an n-type polycrystalline ZnO thin film on the polyimide layer including the metal oxide quantum dots; And
Method of manufacturing an intermediate band-based organic solar cell comprising the step of forming an electrode on the n-type polycrystalline ZnO thin film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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ID=47904763
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
KR20140112654A (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-24 | 삼성전자주식회사 | Solar cell |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100665698B1 (en) * | 2005-03-16 | 2007-01-09 | 한양대학교 산학협력단 | Quantom Dot Light-Emitting Diode Combined With Polymer |
US20080230782A1 (en) | 2006-10-09 | 2008-09-25 | Homer Antoniadis | Photoconductive devices with enhanced efficiency from group iv nanoparticle materials and methods thereof |
KR20090047107A (en) * | 2007-11-07 | 2009-05-12 | 한양대학교 산학협력단 | Fabrication method of solar cell utilizing semiconductor nanoparticles embedded in a polymer layer |
KR101012565B1 (en) | 2009-06-05 | 2011-02-07 | 한양대학교 산학협력단 | Solar Cell of having Nanowires and Nanoparticles, and Method of fabricating the same |
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