KR20120135724A - Piezoelectric valve - Google Patents

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KR20120135724A KR1020110054599A KR20110054599A KR20120135724A KR 20120135724 A KR20120135724 A KR 20120135724A KR 1020110054599 A KR1020110054599 A KR 1020110054599A KR 20110054599 A KR20110054599 A KR 20110054599A KR 20120135724 A KR20120135724 A KR 20120135724A
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경원산업 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A piezoelectric valve is provided to increase generation force and the bending displacement of a piezoelectric actuator by extending one surface in the opposite side to a surface where the displacement occurs to support the piezoelectric actuator. CONSTITUTION: A piezoelectric valve comprises a housing(10), a piezoelectric actuator(20), and a pressing part(30). The housing comprises a hole and a flow path. Air flows in or out through the hole and is moved through the flow path. One end of the piezoelectric actuator is fixed in the housing by a fixing member and the other end thereof is supported by the housing. The pressing part presses the other end of the piezoelectric actuator at a constant pressure.

Description

압전 밸브{Piezoelectric Valve}Piezoelectric Valves {Piezoelectric Valve}

본 발명은 압전 밸브에 관한 것으로, 특히 압전 액추에이터의 굴곡 변위를 증가시킬 수 있는 압전 밸브에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to piezoelectric valves, and more particularly to piezoelectric valves capable of increasing the bending displacement of piezoelectric actuators.

압전 밸브는 다양한 분야에 사용될 수 있는데, 예를 들면 공기 이젝터에서 고압의 공기를 배출하기 위하여 부압을 형성하는 장치로도 사용될 수 있고, 곡물선별기에도 사용될 수 있다. Piezoelectric valves can be used in a variety of applications, for example, can be used as a device for forming a negative pressure to discharge the high pressure air from the air ejector, it can also be used in grain sorters.

일반적으로 사용되는 종래의 압전밸브는 변위를 발생시키는 압전 액추에이터가 한쪽만 고정되어 구동하도록 구성되는데, 한쪽을 고정하여 구동하게 되면 벤더 액츄에이터의 변위를 크게 할 수 있다는 장점이 있지만 발생력이 부족하다는 문제점이 있다. Conventionally used piezoelectric valves are configured so that only one side of the piezoelectric actuator generating displacement is fixed and driven. The fixed side of the piezoelectric valve has the advantage that the displacement of the bender actuator can be increased, but the generation force is insufficient. have.

특히, 벤더 액추에이터가 밸브의 유로를 막고 있을 때, 유로를 닫는 힘을 증대시키기 위하여 벤더 액추에이터의 끝단을 스프링으로 누르는 경우가 있는데, 이러한 경우 벤더 액추에이터의 변위는 급격히 줄어들게 된다. In particular, when the bender actuator is blocking the flow path of the valve, the end of the bender actuator may be pushed with a spring to increase the force for closing the flow path. In this case, the displacement of the bender actuator may be drastically reduced.

이를 해결하기 위하여 바이모프(bimorph) 형태의 벤더 액추에이터를 적용하여 변위와 발생력을 개선하였지만, 대립하고 있는 압전 세라믹의 어느 하나에는 분극방향과 반대방향으로 전압이 인가되므로 성능 향상을 위하여 고전압을 인가할 수 없고 내구성이 떨어지는 문제점이 있다.
To solve this problem, a bimorph bender actuator was applied to improve displacement and generating force.However, one of the opposing piezoelectric ceramics has a voltage applied in a direction opposite to the polarization direction. There is a problem that can not be durable.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 압전 액추에이터의 하단이 하우징에 고정되도록 하여 압전 액추에이터의 발생력을 증가시키는 것을 목적으로 한다.
The present invention is to solve this problem, it is an object of the lower end of the piezoelectric actuator to be fixed to the housing to increase the generating force of the piezoelectric actuator.

본 발명에 따른 압전 밸브는 공기가 유입 또는 유출되는 홀 및 상기 홀을 통해 유입된 공기가 이동하는 유로가 형성된 하우징; 길이 방향으로 길게 형성되고 일단이 고정부재에 의해 상기 하우징에 고정되고, 고정되지 않은 부분은 상기 하우징에 의해 지지되는 압전 액추에이터; 및 상기 압전 액추에이터의 고정되지 않은 타단을 일정한 압력으로 눌려주는 가압부;를 포함하여 구성된다. The piezoelectric valve according to the present invention includes a housing having a hole through which air is introduced or discharged and a flow path through which the air introduced through the hole moves; A piezoelectric actuator which is elongated in the longitudinal direction and whose one end is fixed to the housing by a fixing member, and which is not fixed, is supported by the housing; And a pressurizing portion for pressing the other end of the piezoelectric actuator, which is not fixed, to a predetermined pressure.

상기 하우징의 상부는 평평하게 형성되어 상기 압전 액추에이터를 지지하되, 상기 압전 액추에이터가 고정되는 부분의 반대편에 상기 유로가 형성될 수 있다. The upper portion of the housing may be flat to support the piezoelectric actuator, and the flow path may be formed on the opposite side of the portion where the piezoelectric actuator is fixed.

상기 고정부재는 상기 하우징의 끝단에 형성될 수 있다. The fixing member may be formed at an end of the housing.

상기 압전 액추에이터는 전압인가에 의하여 길이 방향 변위를 발생시킬 수 있는 압전체와 상기 압전체의 한 면에 접합되어 상기 압전체의 굴곡 변위를 일으킬 수 있게 하는 섬유강화플라스틱(FRP)을 포함하는 것이 바람직하다. The piezoelectric actuator preferably includes a piezoelectric material capable of generating longitudinal displacement by applying a voltage and a fiber-reinforced plastic (FRP) bonded to one side of the piezoelectric body to cause bending displacement of the piezoelectric body.

상기 유출구와 상기 압전 액추에이터 사이에는 공기의 유출을 방지하기 위한 기밀부재가 형성될 수 있다. An airtight member may be formed between the outlet and the piezoelectric actuator to prevent the outflow of air.

상기 가압부는 상기 압전 액추에이터를 가압하는 탄성부재와 상기 탄성부재의 탄성력을 조절하는 조절 스크류를 포함할 수 있다. The pressing unit may include an elastic member for pressing the piezoelectric actuator and an adjustment screw for adjusting the elastic force of the elastic member.

상기 홀은 공기가 유입되는 유입구와 상기 유로의 끝단에 형성되어 공기가 유출되는 유출구를 포함할 수 있다.
The hole may include an inlet through which air is introduced and an outlet through which air is discharged, formed at an end of the flow path.

본 발명에 의하면, 변위가 발생하는 방향과 반대 면을 연장하여 압전 액추에이터를 지지함으로서 발생력을 증가시킬 수 있다. 따라서 압전 액추에이터의 굴곡 변위를 증가시킬 수 있다. According to the present invention, the generating force can be increased by supporting the piezoelectric actuator by extending the surface opposite to the direction in which the displacement occurs. Therefore, the bending displacement of the piezoelectric actuator can be increased.

또한, 본 발명에 의하면 가압부에 의해 압전 액추에이터를 가압함으로써 유로의 기밀유지를 향상시킬 수 있다.
Further, according to the present invention, it is possible to improve the airtightness of the flow path by pressing the piezoelectric actuator by the pressurizing portion.

도 1은 본 발명에 따른 압전밸브의 사시도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 압전밸브의 정면도를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 것이다.
도 4는 종래 기술에 따른 압전 밸브와 본 발명에 따른 압전 밸브의 변위를 비교한 것이다.
도 5는 종래기술에 따른 압전 밸브와 본 발명에 따른 압전 밸브의 발생력의 실험 데이터를 나타낸 그래프이다.
1 shows a perspective view of a piezoelectric valve according to the present invention.
Figure 2 shows a front view of the piezoelectric valve according to the present invention.
3 shows another embodiment of the present invention.
Figure 4 compares the displacement of the piezoelectric valve according to the prior art and the piezoelectric valve according to the present invention.
Figure 5 is a graph showing the experimental data of the generating force of the piezoelectric valve according to the prior art and the piezoelectric valve according to the present invention.

본 발명의 압전 액추에이터의 하부를 지지하여 발생력을 개선하는 압전 밸브를 개시한다. Disclosed is a piezoelectric valve supporting a lower portion of a piezoelectric actuator of the present invention to improve a generating force.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 압전밸브의 사시도를 도시한 것이고, 도 2는 도 1의 정면 단면도이고, 도 3은 하우징(10)의 상세도이다.1 is a perspective view of a piezoelectric valve according to the present invention, FIG. 2 is a front sectional view of FIG. 1, and FIG. 3 is a detailed view of the housing 10.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 다른 압전 밸브는 공압에 의해 공기가 유입되는 유입구(12), 상기 유입구와 연통되어 공기가 통과하는 유로(14), 및 상기 유로를 통과한 공기가 배출되는 유출구(16)가 형성된 하우징(10), 상기 유로(14)가 밀폐되도록 하우징(10)의 상부에 형성되는 압전 액추에이터(20), 및 상기 압전 액추에이터(20)에 압력을 가하는 가압부(30)를 포함하여 구성된다. 본 실시예에서는 유입구(12)와 유출구(16)가 별도로 형성되어 있으나 하나의 홀만을 형성하여 이를 통하여 공기가 유입 또는 유출되도록 할 수도 있다. 1 and 2, the piezoelectric valve according to the present invention has an inlet 12 through which air is introduced by pneumatic pressure, a flow passage 14 through which air passes, and air passing through the flow passage. A housing 10 having a discharge outlet 16 formed therein, a piezoelectric actuator 20 formed at an upper portion of the housing 10 to seal the flow passage 14, and a pressurizing part for applying pressure to the piezoelectric actuator 20 ( 30). In this embodiment, although the inlet 12 and the outlet 16 are formed separately, only one hole may be formed to allow air to flow in or out.

상기 압전 액추에이터(20)의 한쪽 끝단은 고정나사(40)에 의해 단단하게 고정되어 있고, 그 반대편 끝단은 상기 가압부(30)에 의해 프레스되어 일정한 힘이 가해진다. One end of the piezoelectric actuator 20 is firmly fixed by the fixing screw 40, and the other end thereof is pressed by the pressing unit 30 to apply a constant force.

압전 액추에니터(20)는 판형으로 전기를 입력 에너지로 하여 기계적 변위를 발생시키는 특성을 갖는다. 상기 압전 액추에이터(20)는 가로나 세로 중 어느 한 방향의 길이가 다른 방향의 길이보다 긴 형상으로 이루어지며, 전압인가에 의하여 변위를 발생시키는 압전체(22)와, 섬유강화플라스틱(FRP)로 마련되어 굴곡 변위에 유연성을 가지는 심(shim)부재(24)가 상호 접합 형성된다. 섬유강화복합재료는 강화재인 섬유 재료를 수지 재료에 복합시켜, 기계적 강도와 내열성을 좋게 한 재료이다. 심부재(24)는 압전체(22)의 열팽창계수와 실질적으로 동일한 열팽창계수를 갖는다. 상기 열팽창계수는 섬유 재료로 이루어진 섬유부(미도시)와 수지 재료로 이루어진 수지부(미도시)의 부피비를 조절하여 조절할 수 있다. The piezoelectric actuator 20 has a plate-like characteristic of generating mechanical displacement by using electricity as input energy. The piezoelectric actuator 20 has a shape in which the length of either the horizontal or vertical direction is longer than the length of the other direction, and is provided with a piezoelectric member 22 and a fiber-reinforced plastic (FRP) for generating displacement by applying a voltage. Shim members 24 having flexibility in bending displacements are formed to be bonded to each other. Fiber-reinforced composite material is a material in which a fiber material which is a reinforcing material is compounded with a resin material to improve mechanical strength and heat resistance. The core member 24 has a coefficient of thermal expansion substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the piezoelectric body 22. The thermal expansion coefficient can be adjusted by adjusting the volume ratio of the fiber portion (not shown) made of the fiber material and the resin portion (not shown) made of the resin material.

상기 압전체(22)는 압전 세라믹과 전극들로 구성되며, 전극들을 통해 압전 세라믹의 양면에 전압이 인가되면, 압전 세라믹에 전계가 발생하여 압전체(22)의 길이 방향 변위가 발생할 수 있다. 심부재(24)는 압전체(22)의 어느 한 면에 접합되어, 압전체(22)의 굴곡 변위를 일으킬 수 있도록 한다. 심부재(24)는 판 형상으로 이루어지며, 어느 한 면이 압전체(22)의 어느 한 면과 마주한 상태에서 압전체(22)에 접합될 수 있다. 상기 압전체(22)에 길이 방향 변위가 발생할 때, 압전체(22)의 양면 중 심부재(24)와 접합된 면은 심부재(24)에 의해 변위 발생이 억제됨으로써, 압전체(22)의 굴곡 변위를 일으킬 수 있게 한다. The piezoelectric body 22 includes a piezoelectric ceramic and electrodes. When voltage is applied to both surfaces of the piezoelectric ceramic through the electrodes, an electric field may be generated in the piezoelectric ceramic to cause longitudinal displacement of the piezoelectric body 22. The core member 24 is joined to either side of the piezoelectric body 22 to cause bending displacement of the piezoelectric body 22. The core member 24 may be formed in a plate shape and may be bonded to the piezoelectric body 22 in a state in which one surface thereof faces one surface of the piezoelectric body 22. When a longitudinal displacement occurs in the piezoelectric body 22, the surface joined to the center member 24 on both sides of the piezoelectric body 22 is prevented from generating displacement by the core member 24, thereby bending the piezoelectric body 22. To cause it.

상기 압전 액추에이터(20)는 상기 유입구(12)와 접촉되는 부위에 기밀부재(50)가 도포된다. 상기 기밀부재(50)는 밸브가 오프된 경우, 보다 나은 기밀을 유지하기 위한 것으로 입구 혹은 출구가 닿는 압전체 면에 일정 두께의 폴리머(고무, 우레탄, 실리콘 등)가 도포되는 구조이다. The piezoelectric actuator 20 is coated with an airtight member 50 at a portion in contact with the inlet 12. The airtight member 50 has a structure in which a polymer (rubber, urethane, silicone, etc.) having a predetermined thickness is applied to the piezoelectric surface on which the inlet or the outlet contacts to maintain a better airtight when the valve is turned off.

상기 가압부(30)는 압전 액추에이터(20)를 눌러 압전 액추에이터가 유로(14)를 닫는 힘을 증대시키는 기능을 한다. 가압부(30)는 탄성부재를 사용하는 것이 바라직하다. 본 실시예에서는 가압부(30)는 탄성부재(32), 탄성 조절 스크류(34), 및 고정부(36)로 구성되어 있다. 상기 탄성부재는 스프링을 포함한다. 상기 고정부(36)는 도시된 것과 같이 고정부(38)에 의해 하우징(10)에 고정될 수도 있고 하우징(10)과 일체로 형성될 수도 있다. The pressing unit 30 presses the piezoelectric actuator 20 to increase the force of closing the flow passage 14 by the piezoelectric actuator. The pressing unit 30 is preferably to use an elastic member. In this embodiment, the pressing portion 30 is composed of an elastic member 32, elastic adjustment screw 34, and the fixing portion 36. The elastic member includes a spring. The fixing part 36 may be fixed to the housing 10 by the fixing part 38 as shown, or may be integrally formed with the housing 10.

상기 고정나사(40)는 상전 액추에이터(20)의 한쪽 끝단을 하우징에 고정하기 위한 수단이다. The fixing screw 40 is a means for fixing one end of the phase change actuator 20 to the housing.

즉, 상기 압전 액추에니터(20)의 일단은 고정나사(40)에 의해 고정되고 타단은 가압부(30)에 의해 눌려진 상태에서 전계가 가해지면 압전 액추에이터(20)의 변위에 의해 반발력에 의해 스프링(32)이 위로 밀려나게 되며 공기 유입구(12)가 오픈되어 공기가 유입되게 된다. 본 실시예어서는 공기 유입구와 유출구를 별도로 표시하였지만 유출구를 별도로 형성하지 않아도 무방하다. That is, when one end of the piezoelectric actuator 20 is fixed by the fixing screw 40 and the other end is pressed by the pressing unit 30, and an electric field is applied, the repulsive force is caused by the displacement of the piezoelectric actuator 20. The spring 32 is pushed upward and the air inlet 12 is opened so that air is introduced. In this embodiment, the air inlet and outlet are separately indicated, but the outlet may not be separately formed.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 도시한 것으로 압전 액추에이터(20)를 고정하는 고정나사(40)가 하우징의 끝단에 형성된 것을 도시한 것이다. 도 3 (a)는 압전 액추에이터가 하우징의 상부에 안착되어 있는 것을 도시한 것이고, 도 3(b)는 압전 액추에이터가 제거된 것을 도시한 것이다. 도 3을 참조하면 하우징(10)의 하부에 유로(14)가 형성되어 있고, 압전 액추에이터(20)는 고정나사(40)에 의해 일측이 고정되어 있고, 반대편으로 연장되어 있는 타측의 하우징의 가장자리(18)에 의해 지지되는 것을 확인할 수 있다. 상기 유로(14)의 폭은 자유롭게 조절 가능하다. 3 illustrates another embodiment of the present invention, in which a fixing screw 40 for fixing the piezoelectric actuator 20 is formed at the end of the housing. Figure 3 (a) shows that the piezoelectric actuator is seated on the upper portion of the housing, Figure 3 (b) shows that the piezoelectric actuator is removed. Referring to FIG. 3, a flow path 14 is formed at a lower portion of the housing 10, and one side of the piezoelectric actuator 20 is fixed by a fixing screw 40, and an edge of the housing on the other side extending to the opposite side. It can be confirmed that it is supported by (18). The width of the flow passage 14 is freely adjustable.

도 4는 종래 기술에 의한 액추에이터의 발생력과 본 발명에 의한 액추에이터의 발생력을 비교 도시한 것이다. Figure 4 shows a comparison between the generating force of the actuator according to the prior art and the generating force of the actuator according to the present invention.

도 4(a), (b)에서와 같이 오프시에나 무부하 상태(가압부에 의해 압전 액추에이터를 눌러주는 힘이 없는 상태)의 경우에는 발생력에 차이가 없으나, 외력이 작용하는 경우, 종래와 같이 압전 액추에이터(20)를 지지하는 지지대가 없는 경우 압전 액추에이터가 하부로 처지게 되어 발생력이 감소하게 되지만, 본 발명과 같이 압전 액추에이터의 하부가 지지되는 경우에는 압전 액추에이터가 처지는 것을 방지할 수 있어 발생력이 더 커지는 효과가 있다. As shown in Figs. 4A and 4B, there is no difference in the generating force in the off state or in the no-load state (the state in which there is no force for pushing the piezoelectric actuator by the pressurizing unit). If there is no support for supporting the actuator 20, the piezoelectric actuator will be drooped downward, so that the generating force will be reduced. However, when the lower portion of the piezoelectric actuator is supported as in the present invention, the piezoelectric actuator can be prevented from sagging. There is a growing effect.

도 5는 종래기술에 의한 압전 밸브와 본 발명에 의한 압전 밸브의 발생력을 비교한 실험치를 나타낸 그래프이다. 도 5를 참조하면 본 발명의 경우 발생력이 큰 것을 확인할 수 있다.
5 is a graph showing an experimental value comparing the generating force of the piezoelectric valve according to the prior art and the piezoelectric valve according to the present invention. Referring to Figure 5 it can be seen that the generation force is large in the case of the present invention.

상기와 같은 구조에 의해 압전 액추에이터(20)에 연결된 전선에 전원을 인가하면 압전체가 위치하고 있는 면으로 압전 액추에이터 자유단(고정되지 않은 끝단)의 끝을 누르는 외력을 이기며 휘는 변위가 발생하게 된다. 더욱 상세히 살펴보면 다음과 같다. When the power is applied to the wire connected to the piezoelectric actuator 20 by the above structure, bending displacement occurs while winning an external force that pushes the end of the piezoelectric actuator free end (unfixed end) to the surface where the piezoelectric body is located. Looking in more detail as follows.

<액추에이터가 입구를 막고 있는 경우><If the actuator is blocking the entrance>

초기 상태는 압전 액추에이터(20)가 입구를 막고 있으며, 입구(12)에서 공기압이 가해졌을 때 압전 액추에이터(20)를 누르는 외력이 공기압에 의한 힘보다 커서 입구가 닫혀있는 상태가 된다.In the initial state, the piezoelectric actuator 20 is blocking the inlet, and when the air pressure is applied at the inlet 12, the external force that presses the piezoelectric actuator 20 is greater than the force by the air pressure, so that the inlet is closed.

압전 액추에이터(20)에 전압이 인가되면 압전 액추에이터(20)는 굴곡 변위 발생하게 되고, 굴곡 변위가 발생됨에 따라 외력은 더 크게 작용하게 되고 길게 연장된 하우징의 면(18)이 압전 액추에이터(20)의 아랫면을 지지하면서 압전 액추에이터(20)가 아래로 처지지 않고 굴곡 변위를 일으킨다. When a voltage is applied to the piezoelectric actuator 20, the piezoelectric actuator 20 generates a bending displacement, and as the bending displacement occurs, the external force acts more and the surface 18 of the elongated housing extends into the piezoelectric actuator 20. While supporting the lower surface of the piezoelectric actuator 20 causes the bending displacement without falling down.

상기와 같이 압전 액추에이터(20)가 굴곡 변위를 일으키게 되면 입구(12)의 유로가 열리게 되어 입구에 머물고 있던 가압된 공기는 압전 액추에이터(20)가 위치한 공간을 경유하여 출구(18)로 이동하게 된다.As described above, when the piezoelectric actuator 20 causes the bending displacement, the flow path of the inlet 12 opens, and the pressurized air staying at the inlet moves to the outlet 18 via the space in which the piezoelectric actuator 20 is located. .

전압을 인가하여 굴곡된 압전 액추에이터(20)의 압전체에 충전된 전하를 방전하게 되면 압전 액추에이터(20)는 원상태로 돌아가게 된다.
When the voltage is applied to discharge the charge charged in the piezoelectric body of the curved piezoelectric actuator 20, the piezoelectric actuator 20 is returned to its original state.

<액추에이터가 출구를 막고 있는 경우><If the actuator is blocking the exit>

초기 상태는 압전 액추에이터(20)가 출구를 막고 있으며, 입구에서 공기압이 가해졌을 때 압전 액추에이터(20)가 위치한 공간을 공기압이 채우게 되며, 압전 액추에이터(20)를 누르는 외력에 공기압에 의한 힘이 더해져서 압전 액추에이터(20)를 누르게 된다.In the initial state, the piezoelectric actuator 20 is blocking the outlet, and when the air pressure is applied at the inlet, the air pressure is filled in the space where the piezoelectric actuator 20 is located, and the force by the air pressure is greater than the external force pressing the piezoelectric actuator 20. To press the piezoelectric actuator 20.

압전 액추에이터(20)에 전압이 인가되면 압전 액추에이터(20)는 굴곡 변위 발생하게 되고, 굴곡 변위가 발생됨에 따라 외력은 더 크게 작용하게 되고 길게 연장된 하우징의 면이 압전 액추에이터(20)의 아랫면을 지지하면서 압전 액추에이터(20)가 아래로 처지지 않고 굴곡 변위를 일으킨다.When voltage is applied to the piezoelectric actuator 20, the piezoelectric actuator 20 generates a bending displacement, and as the bending displacement occurs, the external force acts more and the surface of the elongated housing extends to the lower surface of the piezoelectric actuator 20. While supporting, the piezoelectric actuator 20 does not sag down and causes bending displacement.

상기와 같이 압전 액추에이터(20)가 굴곡 변위를 일으키게 되면 출구의 유로가 열리게 되어 액추에이터가 위치한 공간에 머물고 있던 가압된 공기는 출구로 이동하게 된다.As described above, when the piezoelectric actuator 20 causes a bending displacement, the passage of the outlet is opened so that the pressurized air staying in the space where the actuator is located moves to the outlet.

전압을 인가하여 굴곡된 압전 액추에이터(20)의 압전체에 충전된 전하를 방전하게 되면 압전 액추에이터(20)는 원상태로 돌아가게 된다.When the voltage is applied to discharge the charge charged in the piezoelectric body of the curved piezoelectric actuator 20, the piezoelectric actuator 20 is returned to its original state.

이상, 본 명세서에 기재된 내용 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.The terms used in the description and claims described herein are not to be construed in a dictionary sense, and the inventors can properly define the concept of terms in order to explain their invention in the best way. On the basis of this, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 뿐만 아니라 도면에 도시된 형상 및 구성은 본 발명의 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 발명의 출원시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 할 것이다.
Accordingly, the shapes and configurations shown in the drawings as well as the embodiments described herein do not represent all of the technical ideas of the present invention, and various equivalents may be substituted for them at the time of filing of the present invention. It will be appreciated that variations may exist.

10 : 하우징 12 : 유입구 14 : 유로
16 : 유출구 20: 압전 액추에이터 22 : 압전체
24 : 심부재 30 : 가압부 32 : 탄성부재
34 : 탄성 조절 스크류 40 : 고정나사 50 : 기밀부재
10 housing 12 inlet 14 flow path
16 outlet 20 20 piezoelectric actuator 22 piezoelectric body
24 core member 30 press part 32 elastic member
34: elastic adjustment screw 40: fixing screw 50: airtight member

Claims (7)

공기가 유입 또는 유출되는 홀 및 상기 홀을 통해 유입된 공기가 이동하는 유로가 형성된 하우징;
길이 방향으로 길게 형성되고 일단이 고정부재에 의해 상기 하우징에 고정되고, 고정되지 않은 부분은 상기 하우징에 의해 지지되는 압전 액추에이터; 및
상기 압전 액추에이터의 고정되지 않은 타단을 일정한 압력으로 눌려주는 가압부;를 포함하는 압전 밸브.
A housing having a hole through which air is introduced or discharged and a flow path through which the air introduced through the hole moves;
A piezoelectric actuator which is elongated in the longitudinal direction and whose one end is fixed to the housing by a fixing member, and which is not fixed, is supported by the housing; And
And a pressurizing part for pressing the other end of the piezoelectric actuator, which is not fixed, to a predetermined pressure.
제 1항에 있어서,
상기 하우징의 상부는 평평하게 형성되어 상기 압전 액추에이터를 지지하되, 상기 압전 액추에이터가 고정되는 부분의 반대편에 상기 유로가 형성되어 있는 압전 밸브.
The method of claim 1,
The upper portion of the housing is formed flat to support the piezoelectric actuator, the piezoelectric valve is formed on the opposite side of the portion where the piezoelectric actuator is fixed.
제 1항에 있어서,
상기 고정부재는 상기 하우징의 끝단에 형성되어 있는 압전 밸브.
The method of claim 1,
The fixing member is a piezoelectric valve formed at the end of the housing.
제 1항에 있어서,
상기 압전 액추에이터는 전압인가에 의하여 길이 방향 변위를 발생시킬 수 있는 압전체와 상기 압전체의 한 면에 접합되어 상기 압전체의 굴곡 변위를 일으킬 수 있게 하는 섬유강화플라스틱(FRP)을 포함하는 압전 밸브.
The method of claim 1,
The piezoelectric actuator includes a piezoelectric body capable of generating longitudinal displacement by applying a voltage and a fiber-reinforced plastic (FRP) bonded to one side of the piezoelectric body to cause bending displacement of the piezoelectric body.
제 1항에 있어서,
상기 유출구와 상기 압전 액추에이터 사이에는 공기의 유출을 방지하기 위한 기밀부재가 형성되어 있는 압전 밸브.
The method of claim 1,
A piezoelectric valve is formed between the outlet and the piezoelectric actuator to prevent the leakage of air.

제 1항에 있어서,
상기 가압부는 상기 압전 액추에이터를 가압하는 탄성부재와 상기 탄성부재의 탄성력을 조절하는 조절 스크류를 포함하는 압전 밸브.

The method of claim 1,
The pressing unit includes a piezoelectric valve including an elastic member for pressing the piezoelectric actuator and an adjustment screw for adjusting an elastic force of the elastic member.
제 1항에 있어서,
상기 홀은 공기가 유입되는 유입구와 상기 유로의 끝단에 형성되어 공기가 유출되는 유출구를 포함하는 압전 밸브.

The method of claim 1,
The hole is a piezoelectric valve including an inlet for the air flows in and the outlet formed in the end of the flow path for the air outflow.

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