KR20120119838A - Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator - Google Patents

Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator Download PDF

Info

Publication number
KR20120119838A
KR20120119838A KR1020110038055A KR20110038055A KR20120119838A KR 20120119838 A KR20120119838 A KR 20120119838A KR 1020110038055 A KR1020110038055 A KR 1020110038055A KR 20110038055 A KR20110038055 A KR 20110038055A KR 20120119838 A KR20120119838 A KR 20120119838A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical modulator
acoustic optical
temperature
pump
acoustic
Prior art date
Application number
KR1020110038055A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101203448B1 (en
Inventor
박홍진
황남구
최이호
한재봉
전광진
송주종
노신연
Original Assignee
주식회사 엘티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘티에스 filed Critical 주식회사 엘티에스
Priority to KR1020110038055A priority Critical patent/KR101203448B1/en
Publication of KR20120119838A publication Critical patent/KR20120119838A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101203448B1 publication Critical patent/KR101203448B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • G02F1/113—Circuit or control arrangements
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE: A temperature control device of an acousto-optic modulator is provided to always uniformly maintain the state of a laser beam by maintaining the temperature of the acousto-optic modulator. CONSTITUTION: An acousto-optic modulator(110) diffracts and emits a laser beam. A pump(120) supplies cooling water to the acousto-optic modulator. The cooling water cools the acousto-optic modulator. A heat exchanger(130) cools the returned cooling water from the acousto-optic modulator. The heat exchanger supplies the cooling water to the pump again. A temperature measuring unit(140) measures the temperature of the acousto-optic modulator. A controller(150) controls the discharge rate of the pump.

Description

음향광학변조기의 온도 제어장치{APPARATUS FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF ACOUSTO-OPTIC MODULATOR}Temperature control device for acoustic optical modulator {APPARATUS FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF ACOUSTO-OPTIC MODULATOR}

본 발명은 음향광학변조기의 온도 제어장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 음향광학변조기의 온도를 균일하게 유지하기 위한 음향광학변조기의 온도 제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a temperature control apparatus of an acoustic optical modulator, and more particularly, to a temperature control apparatus of an acoustic optical modulator for maintaining a uniform temperature of the acoustic optical modulator.

음향광학변조기(acousto-optic modulator, AOM)는 흔히 레이저빔을 분할 또는 변조하는데 사용된다. 음향광학변조기의 기본 원리에 따르면 응력을 받는 음향광학 매질요소는 굴절률이 변한다. 응력이 압전 변환기(piezoelectric transducer)에 의해 발생될 수 있는 것과 같은 고주파의 RF신호인 경우, 굴절률은 주기적으로 변한다. 주기적인 굴절 패턴은 브래그 회절(Bragg diffraction)이라 불리는 회절 격자(diffraction grating)를 발생시키는 역할을 한다. RF신호가 인가되지 않은 상태에서 음향광학변조기를 통과하면서 회절되지 않은 빔을 0차 회절빔(zeroth order beam)이라고 부르고, RF신호가 인가된 상태에서 음향광학변조기를 통과하면서 첫 번째 회절 빔을 1차 회절빔(first order beam)이라고 부른다.Acousto-optic modulators (AOMs) are often used to split or modulate a laser beam. According to the basic principle of an acoustic optical modulator, a stressed acoustic optical medium element has a change in refractive index. If the stress is a high frequency RF signal such as can be generated by a piezoelectric transducer, the refractive index changes periodically. The periodic refraction pattern serves to generate a diffraction grating called Bragg diffraction. The non-diffraction beam passing through the acoustic optical modulator in the absence of the RF signal is called a zeroth order beam, and the first diffraction beam is passed through the acoustic optical modulator while the RF signal is applied. This is called the first order beam.

도 1은 종래의 음향광학변조기를 통과한 레이저빔의 진행 경로를 도시한 도면이다.1 is a view showing a path of a laser beam passing through a conventional acoustic optical modulator.

도 1을 참조하면, 구동회로로부터 RF신호(R)가 음향광학변조기(1)에 인가되면, 음향광학변조기(1)는 음향광학 매질요소 내에 음향파면(A1)을 발생시킨다. 이때 RF신호(R)가 인가되지 않으면, 입사된 레이저빔(L)은 회절되지 않은 채 입사된 방향과 동일한 방향으로 0차 회절빔(L0)으로 출사된다. 또한, RF신호(R)가 인가되면, 입사된 레이저빔(L)의 대부분은 음향파면(A1)에서 브래그 반사되어 1차 회절빔(L1)으로 출사된다. 물론, RF신호(R)가 인가된 상태에서도 입사된 레이저빔(L)의 미소한 일부는 음향파면(A1)에서 회절되지 않은 채 0차 회절빔(L0)으로 출사되기는 하지만, 이는 논외로 한다.Referring to FIG. 1, when an RF signal R is applied to an acoustic optical modulator 1 from a driving circuit, the acoustic optical modulator 1 generates an acoustic wave surface A1 in an acoustic optical medium element. At this time, if the RF signal R is not applied, the incident laser beam L is emitted as the zero-order diffraction beam L0 in the same direction as the incident direction without diffraction. In addition, when the RF signal R is applied, most of the incident laser beams L are reflected by Bragg on the acoustic wave surface A1 and emitted as the first diffraction beam L1. Of course, even a small portion of the incident laser beam (L) even when the RF signal (R) is applied is emitted as a zero-order diffraction beam (L0) without diffraction at the acoustic wave surface (A1), but this is out of the question .

그러나, 이와 같이 레이저빔을 제어하는 음향광학변조기(1)의 온도가 적절히 제어되지 못하면, 음향광학변조기(1)의 온도가 레이저 가공 작업 동안 주기적인 변동하게 된다. 음향광학변조기의 온도 변동은 음향광학변조기를 경유하는 레이저빔에 영향을 미쳐 레이저빔의 퀄러티를 불균일하게 하고, 이는 레이저빔이 조사되는 가공대상물의 품질을 저하시키는 문제점을 발생시킨다.However, if the temperature of the acoustic optical modulator 1 for controlling the laser beam in this way is not properly controlled, the temperature of the acoustic optical modulator 1 will be periodically varied during the laser machining operation. The temperature fluctuation of the acoustic optical modulator affects the laser beam passing through the acoustic optical modulator, resulting in non-uniform quality of the laser beam, which causes a problem of degrading the quality of the object to which the laser beam is irradiated.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저빔을 회절시켜 가공대상물의 원하는 위치에 조사시키는 음향광학변조기의 온도를 항상 균일하게 유지시킴으로써, 음향광학변조기를 경유하는 레이저빔의 상태를 항상 균일하게 유지하여 레이저 가공의 품질을 향상시킬 수 있는 음향광학변조기의 온도 제어장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, by always maintaining a uniform temperature of the acoustic optical modulator to diffract the laser beam to a desired position of the object to be processed, thereby ensuring that the laser passes through the acoustic optical modulator. It is to provide a temperature control device of an acoustic optical modulator that can maintain a uniform state of the beam at all times to improve the quality of laser processing.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 전기적 신호가 인가되면 입사되는 레이저빔을 회절시켜 출사시키는 음향광학변조기(Acousto-Optic Modulator, AOM); 상기 음향광학변조기를 냉각시키기 위한 냉각수를 상기 음향광학변조기에 공급하는 펌프; 상기 음향광학변조기를 경유하여 복귀되는 냉각수를 냉각시키고, 상기 냉각수를 다시 상기 펌프에 공급하는 열교환부; 상기 음향광학변조기에 설치되어 상기 음향광학변조기의 온도를 측정하는 온도 측정부; 및 상기 음향광학변조기의 온도를 피드백받아, 상기 펌프의 토출량을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator of the present invention includes: an acoustic optical modulator (AOM) for diffracting and radiating an incident laser beam when an electrical signal is applied; A pump for supplying cooling water for cooling the acoustic optical modulator to the acoustic optical modulator; A heat exchanger for cooling the cooling water returned through the acoustic optical modulator and supplying the cooling water to the pump again; A temperature measuring unit installed in the acoustic optical modulator to measure a temperature of the acoustic optical modulator; And a control unit which receives the temperature of the acoustic optical modulator and controls the discharge amount of the pump.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 열교환부는 하나 마련되고, 상기 펌프와 상기 음향광학변조기와 상기 온도 측정부는 복수 개 마련되며, 상기 냉각수는, 하나의 열교환부로부터 복수의 펌프에 분기되어 공급되고, 각각의 펌프로부터 각각의 음향광학변조기에 공급되고, 각각의 음향광학변조기를 경유하여 하나의 열교환부에 복귀되며, 각각의 온도 측정부는 각각의 음향광학변조기에 설치된다.In the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present invention, Preferably, the heat exchange part is provided, a plurality of the pump, the acoustic optical modulator and the temperature measuring part is provided, the coolant is one heat exchange part Branched to a plurality of pumps, supplied from each pump to each acoustic optical modulator, returned to one heat exchanger via each acoustic optical modulator, and each temperature measuring section is provided to each acoustic optical modulator. Is installed.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 온도 측정부는, 상기 음향광학변조기에 접촉되게 설치되는 열전대를 포함한다.In the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present invention, preferably, the temperature measuring part includes a thermocouple installed to be in contact with the acoustic optical modulator.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 펌프 내에 장착된 회전자의 회전수를 제어함으로써, 상기 펌프의 토출량을 변동시킨다.In the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present invention, preferably, the control unit varies the discharge amount of the pump by controlling the rotation speed of the rotor mounted in the pump.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제어부는, 복수의 온도 측정부로부터 각각의 음향광학변조기의 온도를 피드백받아, 상기 복수의 펌프 내에 장착된 회전자의 회전수를 개별적으로 제어함으로써, 상기 펌프의 토출량을 개별적으로 변동시킨다.In the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present invention, preferably, the control unit receives feedback of the temperature of each acoustic optical modulator from a plurality of temperature measuring units, and rotates the rotor mounted in the plurality of pumps. By controlling the number individually, the discharge amount of the pump is varied individually.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 복수의 펌프는 상기 열교환기와 분리되어 각각 설치된다.In the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present invention, Preferably, the plurality of pumps are provided separately from the heat exchanger.

본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치에 있어서, 바람직하게는, 도광판에 음각 패턴을 형성하는 가공에 이용된다.In the temperature control apparatus of the acoustooptic modulator according to the present invention, it is preferably used for a process of forming an intaglio pattern on the light guide plate.

본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치에 따르면, 향광학변조기로부터 출사되는 레이저빔의 상태를 항상 균일하게 유지하여 레이저 가공의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator of the present invention, the quality of laser processing can be improved by always maintaining the state of the laser beam emitted from the optical optical modulator.

또한, 본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치에 따르면, 음향광학변조기의 온도를 직접적으로 그리고 신속하게 제어할 수 있다.Further, according to the temperature control device of the acoustic optical modulator of the present invention, it is possible to directly and quickly control the temperature of the acoustic optical modulator.

또한, 본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치에 따르면, 도광판의 출사면 전체에서 균일한 광산란이 이루어져 도광판의 품질을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator of the present invention, it is possible to improve the quality of the light guide plate by the uniform light scattering is made over the entire emission surface of the light guide plate.

한편, 본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치에 따르면, 가공대상물에 조사되는 복수의 레이저빔의 상태를 균일하게 하여 가공대상물의 전체에 걸쳐 가공 품질을 균일하게 유지할 수 있다.On the other hand, according to the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator of the present invention, the state of the plurality of laser beams irradiated to the object to be processed can be made uniform, so that the processing quality can be maintained uniformly throughout the object.

또한, 본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치에 따르면, 전체 장치의 구성을 간소화하고, 비용을 절감할 수 있다.In addition, according to the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator of the present invention, it is possible to simplify the configuration of the entire apparatus, and to reduce the cost.

도 1은 음향광학변조기를 통과한 레이저빔의 진행 경로를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치를 개략적으로 도시한 구성도이고,
도 3은 도 2의 음향광학변조기의 온도 제어장치를 이용하여 도광판에 패턴을 가공한 일례를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a view showing a path of a laser beam passing through an acoustic optical modulator,
Figure 2 is a schematic diagram showing a temperature control device of the acoustic optical modulator according to an embodiment of the present invention,
3 is a diagram illustrating an example of processing a pattern on a light guide plate by using the temperature control device of the acoustic optical modulator of FIG.
Figure 4 is a schematic diagram showing a temperature control device of the acoustic optical modulator according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of a temperature control apparatus of an acoustic optical modulator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치를 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 3은 도 2의 음향광학변조기의 온도 제어장치를 이용하여 도광판에 패턴을 가공한 일례를 도시한 도면이다.2 is a configuration diagram schematically showing a temperature control device of an acoustic optical modulator according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is an example of processing a pattern on the light guide plate using the temperature control device of the acoustic optical modulator of FIG. Figure is a diagram.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예의 음향광학변조기의 온도 제어장치(100)는, 음향광학변조기의 온도를 균일하게 유지하기 위한 것으로서, 음향광학변조기(110)와, 음향광학변조기 컨트롤러(111)와, 펌프(120)와, 열교환부(130)와, 온도 측정부(140)와, 제어부(150)를 포함한다.2 and 3, the temperature control device 100 of the acoustic optical modulator of the present embodiment is for maintaining the temperature of the acoustic optical modulator uniformly, the acoustic optical modulator 110 and the acoustic optical modulator controller ( 111, a pump 120, a heat exchanger 130, a temperature measuring unit 140, and a controller 150.

상기 음향광학변조기(Acousto-Optic Modulator, AOM)(110)는, 음향광학변조기 컨트롤러(111)로부터 전기적 신호가 인가되면 입사되는 레이저빔(L)을 회절시켜 출사시킨다. 전기적 신호, 즉 RF신호가 음향광학변조기(110)에 인가되지 않으면 입사된 레이저빔(L)은 회절되지 않은 채 입사된 방향과 동일한 방향으로 0차 회절빔으로 출사되고, RF신호가 음향광학변조기(110)에 인가되면 입사된 레이저빔(L)의 대부분은 음향광학변조기(110) 내부의 음향파면에 의해 브래그 반사되어 1차 회절빔으로 출사된다.The acoustic-optic modulator (AOM) 110 diffracts and emits the incident laser beam L when an electrical signal is applied from the acoustic-optic modulator controller 111. When no electrical signal, that is, an RF signal is applied to the acoustic optical modulator 110, the incident laser beam L is emitted as a zero-order diffraction beam in the same direction as the incident direction without diffraction, and the RF signal is an acoustic optical modulator. When applied to 110, most of the incident laser beams L are reflected by Bragg by the acoustic wavefront inside the acoustic optical modulator 110 and are emitted as the first diffraction beam.

상기 음향광학변조기 컨트롤러(111)는, 전기적 신호, 즉 RF신호를 생성하여 음향광학변조기(110)에 전송한다. 음향광학변조기 컨트롤러(111)에서 생성된 RF신호에 따라 음향광학변조기(110)를 통과하는 레이저빔(L)의 회절각이 변경될 수 있다.The acoustic optical modulator controller 111 generates an electrical signal, that is, an RF signal and transmits the generated electrical signal to the acoustic optical modulator 110. The diffraction angle of the laser beam L passing through the acoustic optical modulator 110 may be changed according to the RF signal generated by the acoustic optical modulator controller 111.

상기 펌프(120)는, 음향광학변조기(110)를 냉각시키기 위한 냉각수를 음향광학변조기(110)에 공급한다. 펌프(120)로부터 토출된 냉각수가 흐르는 냉각 유로(10)는 펌프, 음향광학변조기 컨트롤러(111), 음향광학변조기(110), 열교환부(130), 펌프(120)를 연결하는 순환 유로로 구성된다. 펌프(120)로부터 토출된 냉각수는 냉각 유로(10)를 경유하여 음향광학변조기 컨트롤러(111)와, 음향광학변조기(110)를 냉각시키고, 열교환부(130)로 복귀된다.The pump 120 supplies coolant for cooling the acoustic optical modulator 110 to the acoustic optical modulator 110. The cooling flow path 10 through which the coolant discharged from the pump 120 flows includes a circulation flow path connecting the pump, the acoustic optical modulator controller 111, the acoustic optical modulator 110, the heat exchanger 130, and the pump 120. do. The coolant discharged from the pump 120 cools the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 via the cooling passage 10, and returns to the heat exchanger 130.

도 2에서 본 실시예의 펌프(120)는 열교환부(130) 내부에 설치되는 것으로 도시되었으나, 펌프(120)는 열교환부(130) 외부에 별도로 설치될 수도 있다.In FIG. 2, the pump 120 of the present embodiment is illustrated as being installed inside the heat exchanger 130, but the pump 120 may be separately installed outside the heat exchanger 130.

상기 열교환부(130)는, 음향광학변조기(110)를 경유하여 복귀되는 냉각수를 냉각시키고, 냉각수를 다시 펌프(120)에 공급한다. 음향광학변조기 컨트롤러(111)와 음향광학변조기(110)를 경유하면서 음향광학변조기 컨트롤러(111)와 음향광학변조기(110)의 열을 빼앗아 뜨거워진 냉각수는 열교환부(130) 내부의 차가운 유체로 열을 전달하면서 다시 냉각되고, 소정의 온도까지 냉각된 냉각수는 다시 펌프(120)에 공급되어 냉각 유로(10)를 순환하게 된다. The heat exchanger 130 cools the cooling water returned through the acoustic optical modulator 110, and supplies the cooling water to the pump 120 again. Cooling water deprived of heat of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 while passing through the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 is heated by cold fluid inside the heat exchange unit 130. Cooling again while transmitting the cooling water cooled to a predetermined temperature is supplied to the pump 120 again to circulate the cooling flow path (10).

상기 온도 측정부(140)는, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)에 각각 설치되어, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도를 각각 측정한다.The temperature measuring unit 140 is installed in the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, respectively, and measures the temperature of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, respectively.

본 실시예에서는, 온도 측정부(140)로 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)에 접촉되게 설치되는 열전대(Thermocouple)를 이용한다. 열전대는 열전기쌍 혹은 열전쌍이라고도 불리우며, 서로 다른 종류의 금속을 접속한 것으로 열전 효과를 일으키는 금속선이다.In the present embodiment, a thermocouple is installed to be in contact with the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 as the temperature measuring unit 140. Thermocouples, also called thermocouples or thermocouples, are metal wires that produce thermoelectric effects by connecting different kinds of metals.

상기 제어부(150)는, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도를 각각 피드백받아, 펌프(120)의 토출량을 제어한다.The control unit 150 receives the temperature of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, respectively, and controls the discharge amount of the pump 120.

음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)가 정상적으로 동작할 수 있는 정상작동온도가 제어부(150)에 미리 설정되고, 레이저 가공 작업 중 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도가 설정 범위(예컨대, 정상작동온도의 ±5%) 밖으로 상승 또는 하강하면, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)를 경유하는 냉각수의 양을 조정함으로써 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도가 다시 정상작동온도로 복귀될 수 있도록 한다.The normal operating temperature at which the Acoustic Optical Modulator Controller 111 and the Acoustic Optical Modulator 110 can operate normally is preset in the control unit 150, and the Acoustic Optical Modulator Controller 111 and the Acoustic Optical Modulator 110 during the laser processing operation. ) Rises or falls outside the set range (e.g., ± 5% of the normal operating temperature), the acoustic optical modulator controller by adjusting the amount of coolant passing through the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110. The temperature of the 111 and the acoustic optical modulator 110 can be returned to the normal operating temperature.

이때, 제어부(150)는 펌프(120) 내에 장착된 회전자의 회전수를 제어함으로써 펌프(120)의 토출량을 변동시킨다. 즉, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도가 정상작동온도를 벗어나 지나치게 상승하면, 제어부(150)는 펌프(120) 내에 장착된 회전자의 회전수를 증가시켜 펌프(120)의 토출량을 늘린다. 늘어난 펌프(120)의 토출량으로 인해 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)에는 더 많은 양의 냉각수가 공급되어 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도는 하강하게 된다.At this time, the controller 150 changes the discharge amount of the pump 120 by controlling the rotation speed of the rotor mounted in the pump 120. That is, if the temperatures of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 rise excessively beyond the normal operating temperature, the controller 150 increases the number of revolutions of the rotor mounted in the pump 120 to increase the pump ( Increase the discharge amount of 120. Due to the increased discharge amount of the pump 120, a greater amount of cooling water is supplied to the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, so that the temperature of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 decreases. Done.

마찬가지로, 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도가 정상작동온도로부터 벗어나 지나치게 하강하면, 제어부(150)는 펌프(120) 내에 장착된 회전자의 회전수를 감소시켜 펌프(120)의 토출량을 줄인다. 줄어든 펌프(120)의 토출량으로 인해 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)에는 더 적은 양의 냉각수가 공급되어 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 온도는 상승하게 된다.Similarly, if the temperature of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110 falls too far from the normal operating temperature, the controller 150 reduces the number of revolutions of the rotor mounted in the pump 120 to reduce the pump ( Reduce the discharge volume of 120). Due to the reduced discharge amount of the pump 120, less amount of cooling water is supplied to the Acoustic Optical Modulator Controller 111 and the Acoustic Optical Modulator 110, so that the temperature of the Acoustic Optical Modulator Controller 111 and the Acoustic Optical Modulator 110 rises. Done.

본 발명의 음향광학변조기의 온도 제어장치(100)는 도광판(2)에 음각 패턴을 형성하는 가공에 이용된다. 입사되는 광을 산란시키기 위하여 도광판(2)의 표면에 광산란용 라인 형태의 패턴을 형성하는데, 음향광학변조기(110)를 이용하여 레이저빔(L)을 스위칭하면서 레이저 가공을 수행할 수 있다. 도광판(2)에 형성되는 음각 패턴은 직선부(3a)와 공백부(3b)가 반복되면서 진행하는 은선 형태를 보이게 되는데, 직선부(3a)와 공백부(3b)를 만들기 위하여 음향광학변조기(110)를 이용하여 레이저빔(L)을 스위칭한다. 예컨대, 0차 회절빔을 이용하여 레이저빔(L)을 도광판(2)에 전달하여 직선부(3a)를 형성하고, 1차 회절빔으로 스위칭하여 레이저빔(L)이 도광판(2)에 전달되는 것을 차단하여 공백부(3b)를 형성할 수 있다.The temperature control device 100 of the acoustic optical modulator of the present invention is used in the process of forming a negative pattern on the light guide plate (2). In order to scatter the incident light, a light scattering line-shaped pattern is formed on the surface of the light guide plate 2, and the laser processing may be performed while switching the laser beam L using the acoustic optical modulator 110. The intaglio pattern formed on the light guide plate 2 is in the form of a hidden line proceeding by repeating the straight portion 3a and the void portion 3b. The acoustic optical modulator (3) is used to make the straight portion 3a and the void portion 3b. The laser beam L is switched using the 110. For example, the laser beam L is transmitted to the light guide plate 2 using the zero-order diffraction beam to form a straight portion 3a, and the laser beam L is transferred to the light guide plate 2 by switching to the first diffraction beam. The blank portion 3b can be formed by blocking the gap.

도광판(2)에 형성된 패턴은 백라이트 유닛 내의 광원으로부터 발산되는 빛을 액정디스플레이 패널 전체 면에 균일하게 전달하는 기능을 수행한다. 도광판(2)에 패턴을 형성하기 위해 조사되는 레이저빔(L)은, 일반적으로 PMMA 또는 PC 재질로 제작되는 도광판(2)의 가공에 적합하도록 CO2 레이저부에 의해 생성되는 적외선(infra-red) 파장의 레이저빔(L)이 이용된다. 레이저빔(L)은 용도에 따라 연속파(continuous wave) 레이저빔 또는 펄스발진된 레이저빔이 사용될 수 있다.The pattern formed on the light guide plate 2 serves to uniformly transmit the light emitted from the light source in the backlight unit to the entire surface of the liquid crystal display panel. The laser beam L irradiated to form a pattern on the light guide plate 2 is infra-red generated by the CO2 laser unit so as to be suitable for processing the light guide plate 2 generally made of PMMA or PC material. The laser beam L of the wavelength is used. The laser beam L may be a continuous wave laser beam or a pulsed laser beam, depending on the application.

본 실시예에서는 직선부(3a)와 공백부(3b)를 반복적으로 형성하는 공정에서 음향광학변조기(110)의 온도를 일정하게 유지시킴으로써, 음향광학변조기(110)를 경유하는 레이저빔(L)은 음향광학변조기(110)의 온도 변화에 따른 영향을 받지 않고 항상 동일한 특성을 유지할 수 있다. 도광판(2)에 음각 패턴을 형성하는 레이저빔(L)은 균일한 발산각, 초점거리 등의 특성을 가지게 되어, 음각 패턴은 균일한 단면 깊이 및 형상을 가질 수 있다.In this embodiment, the laser beam L passing through the acoustic optical modulator 110 is maintained by keeping the temperature of the acoustic optical modulator 110 constant in the process of repeatedly forming the straight portion 3a and the void portion 3b. Is not affected by the temperature change of the acoustic optical modulator 110 can always maintain the same characteristics. The laser beam L forming the intaglio pattern on the light guide plate 2 has characteristics such as a divergence angle and a focal length, and the intaglio pattern may have a uniform cross-sectional depth and shape.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 레이저빔을 회절시켜 가공대상물의 원하는 위치에 조사시키는 음향광학변조기의 온도를 항상 균일하게 유지시킴으로써, 음향광학변조기를 경유하는 레이저빔의 상태를 항상 균일하게 유지하여 레이저 가공의 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present embodiment configured as described above always maintains a uniform temperature of the acoustic optical modulator that diffracts the laser beam to a desired position of the object to be processed, thereby passing through the acoustic optical modulator. By maintaining the state of the laser beam uniformly at all times, the effect of improving the quality of laser processing can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 음향광학변조기의 온도 변화에 따라 음향광학변조기를 냉각시키는 냉각수의 양을 조절함에 따라, 음향광학변조기의 온도를 직접적으로 그리고 신속하게 제어할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present embodiment configured as described above, by adjusting the amount of cooling water for cooling the acoustic optical modulator according to the temperature change of the acoustic optical modulator, the temperature of the acoustic optical modulator directly The effect can be controlled quickly and quickly.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 항상 균일한 온도를 유지하는 음향광학변조기로부터 출사되는 레이저빔을 이용하여 도광판에 음각 패턴을 형성함으로써, 도광판의 출사면 전체에서 균일한 광산란이 이루어져 도광판의 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present exemplary embodiment configured as described above forms an intaglio pattern on the light guide plate by using a laser beam emitted from the acoustic optical modulator that maintains a uniform temperature at all times, thereby outputting the light guide plate. Uniform light scattering is performed on the entire surface to obtain an effect of improving the quality of the light guide plate.

한편, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.On the other hand, Figure 4 is a schematic diagram showing a temperature control device of the acoustic optical modulator according to another embodiment of the present invention.

도 4에 있어서, 도 2 및 도 3에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지칭되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지는 것으로서, 그들 각각에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.In FIG. 4, members referred to by the same reference numerals as the members shown in FIGS. 2 and 3 have the same configuration and function, and detailed descriptions of each of them will be omitted.

도 4를 참조하면, 본 실시예의 음향광학변조기의 온도 제어장치(200)는, 복수의 음향광학변조기의 온도를 개별적으로 제어하기 위한 것으로서, 복수의 음향광학변조기(110)와, 복수의 음향광학변조기 컨트롤러(111)와, 복수의 펌프(220)와, 단일의 열교환부(230)와, 복수의 온도 측정부(140)와, 제어부(250)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the temperature control apparatus 200 of the acoustic optical modulator of the present embodiment is for controlling the temperatures of the plurality of acoustic optical modulators individually, and includes the plurality of acoustic optical modulators 110 and the plurality of acoustic optical modulators. The modulator controller 111, a plurality of pumps 220, a single heat exchanger 230, a plurality of temperature measuring units 140, and a controller 250 are included.

도광판(2)에 음각 패턴을 형성하는 공정에서 공정 시간을 단축시키기 위하여 복수의 레이저빔(L)을 이용하여 도광판(2)을 가공할 수 있다. 본 실시예의 음향광학변조기의 온도 제어장치(200)는 복수의 레이저빔(L)을 이용하는 경우, 각각의 레이저빔(L)의 경로를 스위칭하는 복수의 음향광학변조기(110)의 온도를 개별적으로 제어하기 위한 것으로서, 2개의 음향광학변조기(110)가 설치된 경우를 예로 들어 설명한다.In the process of forming the intaglio pattern on the light guide plate 2, the light guide plate 2 may be processed using a plurality of laser beams L to shorten the process time. When the temperature control apparatus 200 of the acoustic optical modulator of the present embodiment uses the plurality of laser beams L, the temperature of the plurality of acoustic optical modulators 110 for switching the paths of the respective laser beams L is individually. As a control, a case in which two acoustic optical modulators 110 are installed will be described as an example.

도 4에 도시된 바와 같이, 냉각수는 서로 다른 냉각 유로(21,22)를 통해 단일의 열교환부(230)로부터 복수의 펌프(220)로 분기된다. 이때, 복수의 펌프(220)는 열교환기(230)와 분리되어 각각 설치된다. 각각의 펌프(220)로부터 토출된 냉각수는 각각의 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)에 공급되고, 공급된 냉각수는 음향광학변조기 컨트롤러(111) 및 음향광학변조기(110)의 열을 흡수한다. 이후, 냉각수는 단일의 열교환부(230)에 복귀되어 차가워진 후, 다시 각각의 펌프(220)로 공급된다.As shown in FIG. 4, the coolant is branched from the single heat exchanger 230 to the plurality of pumps 220 through different cooling flow paths 21 and 22. In this case, the plurality of pumps 220 are installed separately from the heat exchanger 230. The coolant discharged from each pump 220 is supplied to each of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, and the supplied cooling water is supplied to the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110. Absorbs heat. Thereafter, the cooling water is returned to the single heat exchanger 230 and cooled, and then is again supplied to each pump 220.

각각의 온도 측정부(140)는 각각의 음향광학변조기 컨트롤러(111)와 음향광학변조기(110)에 설치되고, 제어부(250)는 복수의 온도 측정부(140)로부터 각각의 음향광학변조기 컨트롤러(111)와 음향광학변조기(110)의 온도를 피드백받는다.Each temperature measuring unit 140 is installed in each of the acoustic optical modulator controller 111 and the acoustic optical modulator 110, the control unit 250 is a plurality of acoustic optical modulator controller (from the plurality of temperature measuring unit 140) 111) and the temperature of the acoustic optical modulator 110 is fed back.

제어부(250)는 피드백받은 온도와 미리 설정된 음향광학변조기(110)의 정상작동온도를 비교하여 복수의 펌프(220) 내에 장착된 회전자의 회전수를 개별적으로 제어함으로써, 펌프(220)의 토출량을 개별적으로 변동시킨다. 이와 같이, 펌프(220)의 토출량을 개별적으로 변동시킴으로써, 음향광학변조기(110)에 공급되는 냉각수의 양을 개별적으로 제어할 수 있다.The controller 250 compares the feedback temperature with a preset operating temperature of the acoustic optical modulator 110 to individually control the rotational speeds of the rotors mounted in the plurality of pumps 220, thereby discharging the pump 220. Are changed individually. In this way, by varying the discharge amount of the pump 220 individually, it is possible to individually control the amount of cooling water supplied to the acoustic optical modulator 110.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 복수의 음향광학변조기에 각각 대응하는 복수의 펌프를 마련하고 각각의 음향광학변조기에 공급되는 냉각수의 양을 개별적으로 제어하여 복수의 음향광학변조기가 일정한 온도를 유지하도록 함으로써, 가공대상물에 조사되는 복수의 레이저빔의 상태를 균일하게 하여 가공대상물의 전체에 걸쳐 가공 품질을 균일하게 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present embodiment configured as described above comprises a plurality of pumps corresponding to the plurality of acoustic optical modulators, respectively, and individually controlling the amount of cooling water supplied to each acoustic optical modulator. By maintaining the constant temperature of the plurality of acoustic optical modulators, the state of the plurality of laser beams irradiated to the object to be processed can be made uniform, and the effect of uniformly maintaining the processing quality over the entire object can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 음향광학변조기의 온도 제어장치는, 열교환부를 복수 개 마련하지 않고, 단일의 열교환부에 복수의 펌프를 공용으로 사용함으로써, 전체 장치의 구성을 간소화하고, 비용을 절감할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the temperature control apparatus of the acoustic optical modulator according to the present embodiment configured as described above simplifies the configuration of the whole apparatus by using a plurality of pumps in common in a single heat exchange unit without providing a plurality of heat exchange units. As a result, the cost can be reduced.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

110 : 음향광학변조기
120 : 펌프
130 : 열교환부
140 : 온도 측정부
150 : 제어부110: acoustic optical modulator
120: pump
130: heat exchanger
140: temperature measuring unit
150:

Claims (7)

전기적 신호가 인가되면 입사되는 레이저빔을 회절시켜 출사시키는 음향광학변조기(Acousto-Optic Modulator, AOM);
상기 음향광학변조기를 냉각시키기 위한 냉각수를 상기 음향광학변조기에 공급하는 펌프;
상기 음향광학변조기를 경유하여 복귀되는 냉각수를 냉각시키고, 상기 냉각수를 다시 상기 펌프에 공급하는 열교환부;
상기 음향광학변조기에 설치되어 상기 음향광학변조기의 온도를 측정하는 온도 측정부; 및
상기 음향광학변조기의 온도를 피드백받아, 상기 펌프의 토출량을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.Acousto-Optic Modulator (AOM) for diffracting the incident laser beam when the electrical signal is applied;
A pump for supplying cooling water for cooling the acoustic optical modulator to the acoustic optical modulator;
A heat exchanger for cooling the cooling water returned through the acoustic optical modulator and supplying the cooling water to the pump again;
A temperature measuring unit installed in the acoustic optical modulator to measure a temperature of the acoustic optical modulator; And
And a control unit which receives the temperature of the acoustic optical modulator and controls the discharge amount of the pump. 제1항에 있어서,
상기 열교환부는 하나 마련되고, 상기 펌프와 상기 음향광학변조기와 상기 온도 측정부는 복수 개 마련되며,
상기 냉각수는, 하나의 열교환부로부터 복수의 펌프에 분기되어 공급되고, 각각의 펌프로부터 각각의 음향광학변조기에 공급되고, 각각의 음향광학변조기를 경유하여 하나의 열교환부에 복귀되며,
각각의 온도 측정부는 각각의 음향광학변조기에 설치되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method of claim 1,
The heat exchange unit is provided with one, the pump, the acoustic optical modulator and the temperature measuring unit are provided in plurality,
The cooling water is branched from one heat exchanger to a plurality of pumps, supplied to each acoustic optical modulator from each pump, and returned to one heat exchanger via each acoustic optical modulator,
Each temperature measuring unit is installed in each of the acoustic optical modulator temperature control device of the acoustic optical modulator. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 온도 측정부는,
상기 음향광학변조기에 접촉되게 설치되는 열전대를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method according to claim 1 or 2,
The temperature measuring unit,
And a thermocouple installed in contact with the acousto-optic modulator. 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 펌프 내에 장착된 회전자의 회전수를 제어함으로써, 상기 펌프의 토출량을 변동시키는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method of claim 1,
The control unit,
And controlling the rotational speed of the rotor mounted in the pump to vary the discharge amount of the pump. 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
복수의 온도 측정부로부터 각각의 음향광학변조기의 온도를 피드백받아,
상기 복수의 펌프 내에 장착된 회전자의 회전수를 개별적으로 제어함으로써, 상기 펌프의 토출량을 개별적으로 변동시키는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method of claim 2,
The control unit,
The feedback of the temperature of each acoustic optical modulator from a plurality of temperature measuring unit,
And individually controlling the number of rotations of the rotors mounted in the plurality of pumps to individually vary the discharge amount of the pumps. 제2항에 있어서,
상기 복수의 펌프는 상기 열교환기와 분리되어 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method of claim 2,
The plurality of pumps are the temperature control device of the acoustic optical modulator, characterized in that installed separately from the heat exchanger. 제1항 또는 제2항에 있어서,
도광판에 음각 패턴을 형성하는 가공에 이용되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조기의 온도 제어장치.The method according to claim 1 or 2,
A temperature control device for an acoustic optical modulator, characterized in that used for the processing of forming a negative pattern on the light guide plate.
KR1020110038055A 2011-04-22 2011-04-22 Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator KR101203448B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110038055A KR101203448B1 (en) 2011-04-22 2011-04-22 Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110038055A KR101203448B1 (en) 2011-04-22 2011-04-22 Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120119838A true KR20120119838A (en) 2012-10-31
KR101203448B1 KR101203448B1 (en) 2012-11-21

Family

ID=47287019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110038055A KR101203448B1 (en) 2011-04-22 2011-04-22 Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101203448B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180032128A (en) 2016-09-21 2018-03-29 전자부품연구원 Acousto-optic modulator and method for manufacturing the same
WO2020023764A1 (en) * 2018-07-27 2020-01-30 Electro Scientific Industries, Inc. Acousto-optical device with integrated temperature sensor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002341468A (en) * 2001-05-16 2002-11-27 Fuji Photo Film Co Ltd Image recorder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180032128A (en) 2016-09-21 2018-03-29 전자부품연구원 Acousto-optic modulator and method for manufacturing the same
WO2020023764A1 (en) * 2018-07-27 2020-01-30 Electro Scientific Industries, Inc. Acousto-optical device with integrated temperature sensor

Also Published As

Publication number Publication date
KR101203448B1 (en) 2012-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102013426B1 (en) Thickness control of substrates
US9746684B2 (en) Combined light modulation device for tracking users
CN107005020A (en) The method of the power output of laser system and tuning laser system
KR101203448B1 (en) Apparatus for controlling temperature of acousto-optic modulator
KR102459299B1 (en) OPTICAL SYSTEM FOR PRODUCING AN ILLUMINATION LINE
KR20190120243A (en) Method and apparatus for forming radiation for laser processing
US10350705B2 (en) Micromachining method for patterning a material
DE102015116752B4 (en) LASER SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING THE WAVE FRONT OF A LASER BEAM
JP5993111B2 (en) Temperature control system
US10274665B2 (en) Back light unit for holographic display
JP2015026081A (en) Control apparatus and control method for acousto-optical component
WO2015141137A1 (en) Hologram data generating method, hologram image reproduction method, and hologram image reproduction device
US20160313559A1 (en) Method for manufacturing diffractive optic element and image display device
KR20120039747A (en) Optical system for generating a light beam for treating a substrate
US20090092160A1 (en) External cavity laser with a tunable holographic element
KR20150114328A (en) Laser beam shaper and laser processing machine with the same
KR101189537B1 (en) Method for controlling laser beam using acousto-optic modulator
CA2781320C (en) System and method for the spatial tailoring of laser light using temporal phase modulation
JPH0833993A (en) Laser beam machine and laser beam processing method and liquid crystal panel
US20220360036A1 (en) Apparatus, laser system and method for combining coherent laser beams
JP4949015B2 (en) Method, arrangement and modifying unit for modifying the wavefront of a light beam
KR101051823B1 (en) Laser generator for light guide plate processing
Antonov Wide-angle polarization-independent paratellurite-based acousto-optic laser radiation modulator
TW480789B (en) Processing laser device
JP2016206677A (en) Method for producing holographic optical element, and display device including holographic optical element produced by that method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151026

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee