KR20120052821A - 복합 수정 진동자 및 그 제조방법 - Google Patents

복합 수정 진동자 및 그 제조방법 Download PDF

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KR20120052821A
KR20120052821A KR1020100114140A KR20100114140A KR20120052821A KR 20120052821 A KR20120052821 A KR 20120052821A KR 1020100114140 A KR1020100114140 A KR 1020100114140A KR 20100114140 A KR20100114140 A KR 20100114140A KR 20120052821 A KR20120052821 A KR 20120052821A
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temperature
measuring element
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이종필
박장호
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삼성전기주식회사
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    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
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Abstract

본 발명은 복합 수정 진동자 및 복합 수정 진동자 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자는 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자; 세라믹 패키지 내부에 상기 압전 소자에 인접하여 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자; 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극에 각각 연결되는 압전 소자 입력 단자와 압전 소자 출력 단자; 및 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부에 형성된 온도 측정 소자에 연결되는 온도 측정 소자 입력 단자와 온도 측정 소자 출력 단자;를 포함한다.

Description

복합 수정 진동자 및 그 제조방법{A MULTI QUARTZ VIBRATOR AND FABRICATING METHOD THEREOF}
본 발명은 복합 수정 진동자에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 수정 진동자의 온도를 정확하게 측정하여 온도 편차로 인한 주파수 매칭의 문제를 개선할 수 있는 복합 수정 진동자에 관한 것이다.
수정 진동자는 수정 발진기라고도 불리며, SiO2로 구성된 석영(Quartz)을 얇은 조각 형태로 제조하여 압전 소자와 상기 압전 소자의 양면에 Au 또는 Ag와 같은 도전성 물질로 이루어진 전극을 형성한다. 상기 전극에 전압을 가하면 전기 일그러짐 효과에 의해 변형력이 더해져서 진동이 일어난다. 진동이 일어나면 압전 효과에 의해 전극에 전압이 유발되고, 그 진동수는 수정의 역학적 성질이나 크기에 따라 정해지며, 일반적으로 온도 등의 변화에 대해 안정하고 Q값도 매우 높다.
이러한 성질을 이용하여 이동 통신 기기에 있어서 주파수를 제어하기 위해 수정 진동자가 사용된다. 수정 진동자의 경우 넓은 사용 온도 범위에서 외부 온도 변화에 대하여 일정한 안정적인 주파수를 유지해야 한다.
그러나, 수정 진동자는 실제 온도에 대하여 주파수 변화 특성을 나타낸다. 따라서, 수정 진동자와 온도에 따른 주파수를 보정하는 보상 회로를 수정 진동자에 구비하여 수정 진동자와 주파수간의 편차를 줄임으로써 보다 안정적이고 정확한 특성을 갖는 수정 진동자를 구현해낼 수 있다.
본 발명의 목적은 수정 진동자의 정확한 온도 측정을 통해 수정 진동자와 온도에 따른 정확한 주파수 보정을 통해, 외부 온도 변화에 대하여 일정하고 안정적인 주파수를 유지할 수 있는 복합 수정 진동자를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 간단한 방법으로 수정 진동자 내부의 온도를 측정하여, 외부 온도 변화에 대하여 일정하고 안정적인 주파수를 유지할 수 있는 복합 수정 진동자 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자는 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자; 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자; 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극에 각각 연결되는 압전 소자 입력 단자와 압전 소자 출력 단자; 및 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 온도 측정 소자에 연결되는 온도 측정 소자 입력 단자와 온도 측정 소자 출력 단자;를 포함한다.
상기 온도 측정 소자는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지 내부의 상면, 하면 또는 측면에 형성될 수 있다.
상기 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부에 형성된 온도 측정 소자 또는 압전 소자를 접지하는 제1 접지 단자 및 제2 접지 단자를 더 포함할 수 있다.
상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 상기 온도 측정 소자 입력 단자, 압전 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치될 수 있다.
상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 제1 접지 단자, 압전 소자 입력 단자, 제2 접지 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치되고, 제1 접지 단자와 상기 압전 소자 입력 단자 사이에 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 하나가 배치되며, 제2 접지 단자와 상기 압전 소자 출력 단자 사이에 상기 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 나머지 하나가 배치될 수 있다.
상기 온도 측정 소자는 써미스터(thermistor)일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 수정 진동자 제조방법은 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자를 세라믹 패키지 내부에 탑재하는 단계; 및 세라믹 패키지 내부에 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자를 탑재하는 단계;를 포함한다.
상기 온도 측정 소자는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지 내부의 상면, 하면 또는 측면에 탑재할 수 있다.
상기 온도 측정 소자는 써미스터(thermistor)일 수 있다.
본 발명에 따르면 수정 진동자의 온도를 정확하게 측정할 수 있으며, 그에 따라 수정 진동자와 주파수 간의 온도 편차를 줄임으로써 보다 안정적이고 정확한 특성을 갖는 수정 진동자를 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면 간단한 방법으로 수정 진동자 내부의 정확한 온도를 측정하여, 외부 온도 변화에 대하여 일정하고 안정적인 주파수를 유지할 수 있는 복합 수정 진동자 제조 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 회로도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 하부 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명한다. 다만, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 회로도이고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 하부 평면도이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 사시도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자(1)는 세라믹 패키지(100, 200)와 상기 세라믹 패키지(100, 200) 내부에 탑재된 압전 소자(30)와 온도 측정 소자(13)를 포함한다.
보다 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자(1)의 단면을 나타내는 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자는 세라믹 패키지(100, 200) 내부에 형성되며, 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극(10a) 및 제2 여진 전극(10b)이 형성된 압전 소자(30); 세라믹 패키지 내부에 상기 압전 소자에 인접하여 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자(13); 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 제1 전극 및 제2 전극에 각각 연결되는 압전 소자 입력 단자와 압전 소자 출력 단자; 및 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부에 형성된 온도 측정 소자에 연결되는 온도 측정 소자 입력 단자와 온도 측정 소자 출력 단자;를 포함한다.
상기 세라믹 패키지(100, 200)는 커버(100)와 세라믹 케이스(200)를 포함하며, 세라믹 케이스(200) 내부에 여러 가지 소자가 탑재된 후 이를 커버(100)로 봉함으로써 복합 수정 진동자가 제조될 수 있다.
상기 압전 소자(30)는 SiO2로 구성된 석영(Quartz)을 절단한 뒤 그 상면과 하면에 제1 여진 전극(10a)과 제2 여진 전극(10b)을 형성함으로써 제조될 수 있다. 상기 압전 소자(30)는 세라믹 패키지 내부에 형성된 연결 전극(20)에 의하여 압전 소자 입력 단자 및 압전 소자 출력 단자에 전기적으로 연결되어 외부 집적 회로와 연결될 수 있다.
상기 온도 측정 소자(13)는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지의 상면, 하면 또는 측면에 형성될 수 있다. 도 2를 참조하면, 압전 소자 하부에 온도 측정 소자(13)가 세라믹 패키지 하면에 탑재될 수 있으며, 그에 따라 압전 소자(13)에 인접하여 압전 소자(13)가 탑재된 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정할 수 있다.
상기 온도 측정 소자(13)는 써미스터(thermistor)일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 써미스터 이외에 패키지 내부의 온도를 측정하여 외부 집적 회로(IC) 전달할 수 있는 온도 측정 소자가 사용될 수 있다.
써미스터의 경우 도 3을 참조하면, 전원(Vcc)에 연결되며, 써미스터의 온도에 따라 일정한 저항값을 가지므로 그 저항값을 측정하여 써미스터가 탑재된 세라믹 패키지의 온도를 측정할 수 있다.
이와 같은 방식으로 측정된 온도는 집적 회로에 수신되어 세라믹 패키지에 탑재된 압전 소자의 온도-주파수 변화를 보상하기 위한 값으로 사용될 수 있다.
세라믹 패키지 외부에 온도 측정 소자가 탑재되면, 압전 소자의 정확한 온도를 측정할 수 없기 때문에 온도-주파수 변화에 따른 정확한 온도 편차를 보상하기 어렵다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면 압전 소자에 인접하여 압전 소자의 온도를 측정함으로 압전 소자의 정확한 온도를 측정할 수 있고, 그에 따라 온도-주파수 변화에 따른 정확한 온도 편차를 보상할 수 있게 된다. 따라서 복합 수정 진동자의 주파수 정밀도를 확보할 수 있다.
상기 압전 소자는 외부 집적 회로와 연결되기 위한 압전 소자 입력 단자 및 압전 소자 출력 단자를 포함한다. 상기 압전 소자 입력 단자와 상기 압전 소자 출력단자는 연결 전극(20)을 통하여 연결되어 세라믹 패키지 밑면에 형성되어 집적 회로와 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 온도 측정 소자는 상기 온도 측정 소자 입력 단자와 상기 온도 측정 소자 출력 단자를 포함하며, 상기 온도 측정 소자 입력 단자를 전원에 연결하고, 온도 측정 소자 출력 단자를 집적 회로에 연결하여 일정한 전압에 따른 온도-저항 변화 특성에 따라 저항 값을 측정하여 온도 값을 측정할 수 있다.
상기 온도 측정 소자 입력 단자 및 온도 측정 소자 출력 단자는 세라믹 패키지의 밑면에 형성되며, 세라믹 패키지 내부에 형성된 온도 측정 소자와 전기적으로 연결되도록 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 세라믹 패캐지 밑면에 온도 측정 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자, 압전 소자 입력 단자 및 압전 소자 출력 단자를 배치하기 위하여, 상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 온도 측정 소자 입력 단자, 압전 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치될 수 있다.
상기 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부에 형성된 소자를 접지하여 외부로부터의 영향을 최소화하는 제1 접지 단자 및 제2 접지 단자를 더 포함할 수 있다.
상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 제1 접지 단자, 압전 소자 입력 단자, 제2 접지 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치되고, 제1 접지 단자와 상기 압전 소자 입력 단자 사이에 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 하나가 배치되고, 제2 접지 단자와 상기 압전 소자 출력 단자 사이에 상기 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 나머지 하나가 배치될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 회로도이다. 도 3을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자(1) 온도 측정 소자와 압전 소자를 모두 포함한다.
온도 측정 소자(13)는 전원(Vcc)에 연결되어 온도에 따라 적절한 저항 값을 가질 수 있다. 결국 온도 측정 소자(13)의 저항값을 측정하여 상기 복합 수정 진동자(1) 내부의 온도를 측정할 수 있다.
측정된 온도를 온도 보상 회로를 포함하는 집적회로(IC)에 입력하고, 상기 집적회로(IC)는 주파수 공급원인 압전 소자(13)로부터 주파수를 수신하여 수신된 주파수의 온도에 따라 수신된 주파수 변화 특성을 보상하여 온도 편차로 인한 주파수 매칭의 문제를 개선할 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자의 하부 평면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 온도 측정 소자 입력 단자, 압전 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치될 수 있다.
도 4a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 시계 방향으로 온도 측정 소자 입력 단자(50a), 압전 소자 입력 단자(60a), 온도 측정 소자 출력 단자(50b) 및 압전 소자 출력 단자(60b)가 배치될 수 있다.
세라믹 패키지의 밑면의 각각의 모서리에 온도 측정 소자와 압전 소자의 입출력 단자를 배치할 수 있는데, 일반적인 수정 진동자의 경우 각각의 모서리에 압전 소자 입력 단자와 압전 소자 출력 단자를 배치하고 2개의 접지 전극을 배치할 수 있다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면 온도 측정 소자를 세라믹 패키지 내부에 탑재하고, 수정 진동자의 설계를 크게 변경하지 않고 단지 2개의 접지 전극을 온도 측정 소자 입력 단자와 온도 측정 소자 출력 단자로 대체함으로써 간단한 방법으로 온도 측정 소자를 포함하는 복합 수정 진동자를 제공할 수 있다.
한편, 상기 접지 전극은 복합 수정 진동자는 주파수 발생시 노이즈를 방지하고, 외부로부터의 영향을 최소화하기 위하여 수정 진동자 내부에 탑재되는데, 이러한 접지 전극과 온도 측정 소자를 모두 포함하기 위하여 다음과 같은 방식으로 온도 측정 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자, 압전 소자 입력 단자, 압전 소자 출력 단자 및 2개의 접지 전극을 다음과 같이 배치할 수 있다.
도 4b 및 도 4c를 참조하면, 상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 제1 접지 단자, 압전 소자 입력 단자, 제2 접지 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치되고, 제1 접지 단자와 상기 압전 소자 입력 단자 사이에 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 하나가 배치되고, 제2 접지 단자와 상기 압전 소자 출력 단자 사이에 상기 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 나머지 하나가 배치될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향으로 제1 접지 전극(71a), 압전 소자 입력 단자(61a), 제2 접지 전극(71b) 및 암전 소자 출력 단자(61b)를 배치할 수 있다. 그리고, 제1 접지 전극(71a)와 압전 소자 입력 단자(61a) 사이에 온도 측정 소자 입력 단자(51a)를 배치하고, 제2 접지 전극(71b)와 압전 소자 출력 단자(61b) 사이에 온도 측정 소자 출력 단자(51b)를 배치할 수 있다.
또한, 도 4c를 참조하면, 상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향으로 제1 접지 전극(72a), 압전 소자 입력 단자(62a), 제2 접지 전극(72b) 및 암전 소자 출력 단자(62b)를 배치할 수 있다. 그리고, 압전 소자 출력 단자(62b)와 제1 접지 전극(72a) 사이에 온도 측정 소자 입력 단자(52a)를 배치하고, 압전 소자 입력 단자(62a)와 제2 접지 전극 사이에 온도 측정 소자 출력 단자(52b)를 배치할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면 다양한 방식으로 입력 단자, 출력 단자 및 접지 전극을 배치할 수 있고, 이에 따라 간단한 방식으로 내부에 온도 측정 소자를 형성되고, 접지 전극이 형성된 복합 수정 진동자를 제공할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 복합 수정 진동자 제조방법은 세라믹 패키지 내부에 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자를 탑재하는 단계; 및 세라믹 패키지 내부에 상기 압전 소자에 인접하여 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자를 탑재하는 단계;를 포함한다.
세라믹 케이스 내부에 제1 여진 전극과 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자를 탑재하고, 압전 소자에 인접하게 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 소자를 탑재할 수 있다.
그리고 세라믹 케이스를 덮개로 봉하여 복합 수정 진동자를 제조할 수 있다.
상기 온도 측정 소자는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지의 상면, 하면 또는 측면에 탑재할 수 있으며, 압전 소자가 탑재되기 전 또는 압전 소자가 탑재되고 난 후에 온도 측정 소자가 탑재될 수 있다.
상기 온도 측정 소자는 써미스터(thermistor)일 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니며 세라믹 패키지 내부에서 온도를 측정할 수 있는 소자가 탑재될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 복합 수정 진동자 제조방법의 경우 별도의 온도 측정 소자를 형성하는 공정을 거치지 않고, 수정 진동자를 제조하는 공정 중에 압전 소자가 탑재되는 패키지 내부에 온도 측정 소자를 탑재함으로써 간단한 방법으로 수정 진동자의 제조 공정을 크게 변경하지 않고, 온도 측정 소자를 포함하는 복합 수정 진동자를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 압전 소자가 탑재된 수정 진동자 내부의 실제 온도를 측정하기 때문에 온도 측정 기능을 포함하는 복합 수정 진동자를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 복합 수정 진동자 내부의 실제 온도를 측정함으로써 수정 진동자의 온도-주파수 변화 특성에 대한 주파수 공급원과 공급원으로부터 주파수를 수신하는 집적회로 간의 주파수 편차를 보상하여 주파수 정밀도를 확보할 수 있다.
그리고, 본 발명의 일 실시예에 따르면 외부 온도 측정 소자를 별도의 공정을 부가하지 않고 복합 수정 진동자 내부에 실장함으로써 단순한 공정으로 온도를 측정할 수 있는 복합 수정 진동자를 제조할 수 있다.
1: 복합 수정 진동자
10a, 10b: 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극
13: 온도 측정 소자
20: 연결 전극
30: 압전 소자
60a, 61a, 62a: 압전 소자 입력 단자
60b, 61b, 62b: 압전 소자 출력 단자
50a, 51a, 52a: 온도 측정 소자 입력 단자
50b, 51b, 52b: 온도 측정 소자 출력 단자
71a, 72a: 제1 접지 전극
71b, 72b: 제2 접지 전극
100: 커버
200: 세라믹 케이스

Claims (9)

  1. 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자;
    상기 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자;
    상기 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극에 각각 연결되는 압전 소자 입력 단자와 압전 소자 출력 단자; 및
    상기 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 온도 측정 소자에 연결되는 온도 측정 소자 입력 단자와 온도 측정 소자 출력 단자;
    를 포함하는 복합 수정 진동자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 온도 측정 소자는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지 내부의 상면, 하면 또는 측면에 형성되는 복합 수정 진동자.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세라믹 패키지의 밑면의 양단에 형성되며, 상기 세라믹 패키지 내부에 형성된 온도 측정 소자 또는 압전 소자를 접지하는 제1 접지 단자 및 제2 접지 단자를 더 포함하는 복합 수정 진동자.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 상기 온도 측정 소자 입력 단자, 압전 소자 입력 단자, 온도 측정 소자 출력 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치되는 복합 수정 진동자.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 세라믹 패키지의 밑면의 모서리에 각각 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 제1 접지 단자, 압전 소자 입력 단자, 제2 접지 단자 및 압전 소자 출력 단자가 배치되고,
    상기 제1 접지 단자와 상기 압전 소자 입력 단자 사이에 상기 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 하나가 배치되며,
    상기 제2 접지 단자와 상기 압전 소자 출력 단자 사이에 상기 온도 측정 소자 입력 단자 또는 상기 온도 측정 소자 출력 단자 중 나머지 하나가 배치되는 복합 수정 진동자.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 온도 측정 소자는 써미스터(thermistor) 인 복합 수정 진동자.
  7. 상부 및 하부에 각각 제1 여진 전극 및 제2 여진 전극이 형성된 압전 소자를 세라믹 패키지 내부에 탑재하는 단계; 및
    상기 세라믹 패키지 내부에 상기 세라믹 패키지 내부의 온도를 측정하는 온도 측정 소자를 탑재하는 단계;
    를 포함하는 복합 수정 진동자 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 온도 측정 소자는 상기 압전 소자에 인접하도록 상기 세라믹 패키지 내부의 상면, 하면 또는 측면에 탑재하는 복합 수정 진동자 제조 방법.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 온도 측정 소자는 써미스터(thermistor) 인 복합 수정 진동자 제조 방법.
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