KR20120051843A - Circulation apparatus and drying/cooling apparatus with fluid guide - Google Patents

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KR20120051843A
KR20120051843A KR1020100113155A KR20100113155A KR20120051843A KR 20120051843 A KR20120051843 A KR 20120051843A KR 1020100113155 A KR1020100113155 A KR 1020100113155A KR 20100113155 A KR20100113155 A KR 20100113155A KR 20120051843 A KR20120051843 A KR 20120051843A
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basket
fluid
fluid guide
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cleaning
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KR1020100113155A
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이태희
박재신
김유찬
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(주)에프아이에스
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    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects

Abstract

PURPOSE: A cleaning apparatus having a fluid guide unit and a drying and cooling apparatus are provided to circulate fluid of a fluid container unit in and out of a basket by spraying the fluid to the inner center of the basket. CONSTITUTION: A cleaning apparatus comprises a basket(20) which accommodates objects and has through holes(22), a fluid guide unit which is formed toward the inner upper side of the basket from the bottom opening(24) of the basket and has through holes(32), a fluid container unit(10) which accommodates cleaning solution or etching solution in which the basket is dipped, and a nozzle(44) which sprays fluid inside the fluid container unit toward the opening of the basket.

Description

유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치{Circulation Apparatus and Drying/Cooling Apparatus with Fluid Guide}Cleaner and Dry Cooling Apparatus with Fluid Guide Section Circulation Apparatus and Drying / Cooling Apparatus with Fluid Guide

본 발명은 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치에 대한 것으로, 보다 상세하게는 유체 수용부에 위치되는 유체가 바스켓 내부로, 바스켓 내부에 위치되는 유체가 바스켓 외부로 순환되도록 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a cleaning device and a dry cooling device having a fluid guide portion, and more particularly, a fluid guide portion for circulating the fluid located in the fluid receiving portion into the basket and the fluid located in the basket to the outside of the basket. It relates to a washing device and a dry cooling device.

일반적으로 반도체 제조에 사용되는 폴리 실리콘 비드와 같은 물체를 세정 및 식각할 경우에는, 세정액이 든 세정조에 다수의 물체를 투여한 후, 불활성 가스를 이용한 버블링을 통하여 물체의 표면에 붙은 이물질을 제거하곤 하였다. 그런데 이러한 종래 기술은 시간이 오래 걸리는 문제점이 있어, 도 1에 도시된 바와 같이, 세정조에 바스켓을 구비한 세정장치가 제시되었다.
In general, when cleaning and etching an object such as polysilicon beads used in semiconductor manufacturing, a plurality of objects are administered to a cleaning tank containing a cleaning liquid, and then foreign substances adhering to the surface of the object are removed by bubbling with an inert gas. Used to. By the way, such a prior art has a problem that takes a long time, as shown in Figure 1, a cleaning apparatus having a basket in the cleaning tank has been proposed.

도 1은 다수의 물체를 세정하기 위한 종래 세정 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 세정액이 채워지는 세정조(100)와, 크고 작은 다수의 물체(200)가 수용되며 세정조(100) 내부에 위치되는 바스켓(150)을 포함한다. 그리고 바스켓(150)은 세정조(100) 내부에서 상하 유동되는데, 이때, 바스켓(150)에 구비되는 다수의 통공(152)을 통하여 세정액이 바스켓(150) 내부로 이동되면서 흐름을 형성하여, 물체(200)의 표면에 붙은 이물질을 떨어트리도록 구성된다.1 is a view for explaining a conventional cleaning device for cleaning a plurality of objects. Referring to FIG. 1, the cleaning tank 100 includes a cleaning tank 100 filled with a cleaning liquid, and a basket 150 in which a plurality of large and small objects 200 are accommodated and positioned inside the cleaning tank 100. And the basket 150 is up and down flow in the cleaning tank 100, at this time, through the plurality of through holes 152 provided in the basket 150, the cleaning liquid is moved into the basket 150 to form a flow, the object It is configured to drop foreign matter adhering to the surface of the (200).

그러나 바스켓(150)이 상하 유동될 때 발생되는 세정액의 흐름에 의한 물살의 압력 즉, 수압은 바스켓(150) 내표면 주위로만 발생될 뿐, 바스켓(150) 중앙 부분은 밀집된 물체(200)들로 인하여 세정액의 흐름이 크게 발생되지 않게 되며, 이에 따라, 바스켓(150) 내표면과 인접된 물체(200)들은 세정 및 식각이 잘 이루어지나, 바스켓(150)의 중앙 부분에 위치되는 물체(200)들은 세정 및 식각이 잘 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.
However, the pressure of the water caused by the flow of the cleaning liquid generated when the basket 150 flows up and down, that is, the water pressure, is generated only around the inner surface of the basket 150, and the central portion of the basket 150 is composed of dense objects 200. Due to this, the flow of the cleaning liquid is not greatly generated. Accordingly, the objects 200 adjacent to the inner surface of the basket 150 are well cleaned and etched, but the object 200 positioned at the central portion of the basket 150 is formed. They have a problem that the cleaning and etching is not well done.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 바스켓 외부에서 내부로 또는, 바스켓 내부에서 외부로의 유체 순환이 용이해지도록 하여, 바스켓에 놓여지는 물체의 위치에 상관없이 세정, 식각, 건조 또는 냉각이 수월하게 진행되도록 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치를 제공하도록 하는 데 있다.
An object of the present invention for solving the problems of the prior art as described above to facilitate the fluid circulation from the outside of the basket to the inside, or from the inside of the basket, cleaning, etching regardless of the position of the object placed on the basket To provide a cleaning device and a dry cooling device having a fluid guide to facilitate the drying or cooling.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다수의 물체가 수용되며 외면에 다수의 통공이 형성되는 바스켓; 상기 바스켓 저면의 개방된 개방부에서 상기 바스켓의 내부 상방으로 길게 형성되되, 내부에 공간부가 구비되고, 외면에 다수의 관통홀이 형성되는 유체 가이드부; 내부에 수용되는 세정액 또는 식각액에 상기 바스켓이 침전되는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부 내부에서 상기 바스켓의 상기 개방부 방향으로 유체를 분사하는 노즐을 포함하며, 상기 노즐에서 분사되는 유체가 상기 유체 가이드부의 상기 공간부로 가이드 된 후, 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부 중앙으로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a basket in which a plurality of objects are accommodated and a plurality of through holes are formed on an outer surface thereof; A fluid guide part which is formed at an open portion of the bottom surface of the basket and extends upwardly inside the basket, and has a space portion therein and has a plurality of through holes formed on the outer surface thereof; A fluid receiving part in which the basket is precipitated in a cleaning liquid or an etching liquid accommodated therein; And a nozzle for injecting fluid in the direction of the opening of the basket within the fluid receiving part, wherein the fluid injected from the nozzle is guided to the space part of the fluid guide part, and then passes through the through hole of the fluid guide part. It provides a cleaning device having a fluid guide portion, characterized in that guided to the center through the basket.

또한, 상기 바스켓은 상기 유체 수용부 내부에서 상하 이동되도록 구성되어, 상기 유체 수용부의 유체가 상기 바스켓의 상기 통공 및 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치를 제공한다.In addition, the basket is configured to move up and down inside the fluid receiving portion, the fluid guide, characterized in that the fluid is guided into the basket through the through hole of the basket and the through hole of the fluid guide portion It provides a washing apparatus having a portion.

또한, 상기 노즐로 공급되는 유체는 세정액 또는 식각액으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치를 제공한다.In addition, the fluid supplied to the nozzle provides a cleaning device having a fluid guide portion, characterized in that consisting of a cleaning liquid or etching liquid.

또한, 본 발명은 다수의 물체가 수용되며 외면에 다수의 통공이 형성되는 바스켓; 상기 바스켓 저면의 개방된 개방부에서 상기 바스켓의 상방으로 길게 형성되되, 내부에 공간부가 구비되고, 외면에 다수의 관통홀이 형성되는 유체 가이드부; 상기 바스켓이 수용되는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부 내부에서 상기 바스켓의 상기 개방부 방향으로 공기를 분사하는 노즐을 포함하며, 상기 노즐에서 분사되는 공기가 상기 유체 가이드부의 상기 공간부로 가이드 된 후, 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부 중앙으로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치를 제공한다.In addition, the present invention is a basket that accommodates a plurality of objects and a plurality of through-holes are formed on the outer surface; A fluid guide part formed to be extended upward from the basket at an open part of the bottom of the basket, having a space part therein, and having a plurality of through holes formed on an outer surface thereof; A fluid receiving portion in which the basket is accommodated; And a nozzle for injecting air in the direction of the opening of the basket within the fluid receiving portion, wherein the air injected from the nozzle is guided to the space portion of the fluid guide portion, and then opens the through hole of the fluid guide portion. It provides a dry cooling device having a fluid guide portion, characterized in that guided to the center through the basket.

또한, 상기 공기는 열풍 또는 냉풍으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치를 제공한다.In addition, the air provides a dry cooling device having a fluid guide portion, characterized in that consisting of hot air or cold air.

또한, 상기 바스켓은 자전되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치를 제공한다.
In addition, the basket provides a dry cooling device having a fluid guide portion, characterized in that configured to rotate.

본 발명에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치는 바스켓 내부 중앙으로 분사되는 유체에 의하여 유체 수용부에 위치되는 유체가 바스켓 내부로, 바스켓 내부에 위치되는 유체가 바스켓 외부로 순환되므로, 바스켓 내부에서 유체 순환이 원활하게 이루어지는 효과가 있다.In the cleaning device and the dry cooling device including the fluid guide unit according to the present invention, the fluid located in the fluid receiving part is circulated to the inside of the basket and the fluid located in the basket is circulated to the outside of the basket by the fluid injected into the center of the basket. There is an effect that the fluid circulation is smoothly inside.

또한, 본 발명에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치는 바스켓 내부에서 그 외부로 유체 순환이 원활하게 이루어지므로, 바스켓에 수용되는 물체의 세정, 식각, 건조 또는 냉각이 용이한 효과가 있다.
In addition, since the cleaning device and the dry cooling device having the fluid guide unit according to the present invention smoothly circulate fluid from the inside of the basket to the outside thereof, there is an effect of easily washing, etching, drying or cooling an object accommodated in the basket. .

도 1은 다수의 물체를 세정 및 식각하기 위한 종래 세정 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치에서 유체가 순환되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.1 is a view illustrating a conventional cleaning apparatus for cleaning and etching a plurality of objects.
2 is a view schematically showing a cleaning device having a fluid guide unit according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view illustrating a state in which a fluid is circulated in a cleaning device having a fluid guide unit according to a first embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a dry cooling apparatus having a fluid guide unit according to a second exemplary embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치 및 건냉장치를 더욱 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail a washing apparatus and a dry cooling apparatus having a fluid guide unit according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치에서 유체가 순환되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a cleaning apparatus having a fluid guide unit according to a first preferred embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a fluid in the cleaning apparatus having a fluid guide unit according to the first preferred embodiment of the present invention. Is a diagram for explaining a state in which is cycled.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치는 폴리 실리콘 비드와 같은 물체를 세정 또는 식각하기 위한 것으로, 바스켓(20), 유체 가이드부(30), 유체 수용부(10) 및 분사수단(40)을 포함하여 구성된다.2 and 3, the cleaning device having a fluid guide unit according to the first embodiment of the present invention is for cleaning or etching an object such as polysilicon beads, the basket 20, the fluid guide unit ( 30), the fluid receiving portion 10 and the injection means 40 is configured.

바스켓(20)은 세정 또는 식각 하고자 하는 물체가 수용되는 것으로, 그 내부에 물체가 수용되도록 공간이 구비되고, 그 외면에 다수의 통공(22)이 형성된다. 그리고 바스켓(20) 저면 중앙에서 양측 방향으로 길게 개방부(24)가 형성되는데, 상기 개방부(24)에 후술하는 유체 가이드부(30)의 저면이 고정 위치된다. 그리고 바스켓(20)은 실린더 등에 의하여 후술하는 유체 수용부(10) 내부에서 상하 이동되며, 이때, 통공(22) 및 개방부(24)를 통하여 유체 수용부(10)에 수용되는 유체가 바스켓(20) 내부로 이동된다.The basket 20 accommodates an object to be cleaned or etched, and a space is provided to accommodate the object therein, and a plurality of through holes 22 are formed on an outer surface thereof. And the opening part 24 is formed long in the both sides direction from the center of the bottom surface of the basket 20, the bottom surface of the fluid guide portion 30 to be described later is fixed to the opening portion 24. And the basket 20 is moved up and down inside the fluid receiving portion 10 to be described later by a cylinder, etc., at this time, the fluid received in the fluid receiving portion 10 through the through hole 22 and the opening 24 is a basket ( 20) It is moved inside.

유체 가이드부(30)는 상기 바스켓(20) 저면의 개방된 개방부(24)에서 상기 바스켓(20)의 상방으로 길게 형성되되, 내부에 공간부(34)가 구비되고, 외면에 다수의 관통홀(32)이 형성된다. 그리고 상기 유체 가이드부(30)에서 바스켓(20)의 개방부(24)와 대응되는 저면은 개방되도록 구성되어, 바스켓(20)이 상하이동될 때, 유체 수용부(10)에 구비되는 유체가 유체 가이드부(30)로 용이하게 이동되고, 이렇게 유체 가이드부(30)로 이동된 유체는 관통홀(32)을 통하여 바스켓(20) 내부 중앙으로 유도되도록 구성된다.The fluid guide portion 30 is formed to extend upward from the basket 20 at the open portion 24 of the bottom surface of the basket 20, and has a space 34 therein, and a plurality of through-holes on the outer surface thereof. The hole 32 is formed. And the bottom surface corresponding to the opening portion 24 of the basket 20 in the fluid guide portion 30 is configured to open, when the basket 20 is moved, the fluid provided in the fluid receiving portion 10 The fluid guide part 30 is easily moved, and the fluid thus moved to the fluid guide part 30 is configured to be guided to the inner center of the basket 20 through the through hole 32.

유체 수용부(10)는 내부에 세정액 등의 유체가 수용되어 있으며, 이렇게 세정액이 수용된 유체 수용부(10)에 바스켓(20)이 완전히 침전되도록 구성된다.The fluid accommodating part 10 is configured such that a fluid such as a cleaning liquid is accommodated therein, and the basket 20 is completely deposited in the fluid accommodating part 10 in which the cleaning liquid is accommodated.

분사수단(40)은 바스켓(20) 내부로 유체를 분사하기 위한 것으로, 유체 수용부(10) 내부에서 바스켓(20)의 개방부(24)와 대응되도록 위치되는 노즐(44)과, 상기 유체 수용부(10) 내부에 위치되되, 외부에서 공급되는 세정액 또는, 유체 수용부(10)에 수용되는 세정액을 상기 노즐(44)로 공급하는 유체관(42)을 포함하여 구성된다. 그리고 노즐(44)에서 바스켓(20)의 개방부(24) 방향으로 세정액이 분사되면, 분사되는 세정액은 바스켓(20)의 개방부(24)를 통하여 유체 가이드부(30)로 이동되며, 이어서 유체 가이드부(30)의 관통홀(32)을 통하여 바스켓(20) 내부 중앙으로 유도된 후, 바스켓(20)의 통공(22)을 통하여 외부로 배출된다. 이때, 콴다(Coanda) 효과에 의하여 유체 수용부(10)에서 노즐(44) 주변에 위치되는 세정액 또한, 바스켓(20) 내부 중앙으로 추가로 유입되어, 노즐(44)에서 바스켓(20)으로 공급되는 세정액보다 더 많은 양의 세정액이 바스켓(20) 내부로 유입되며, 이처럼 많은 양의 세정액이 바스켓(20) 내부로 유입되므로, 세정 효과는 더 극대화되게 된다.
The injection means 40 is for injecting fluid into the basket 20, the nozzle 44 positioned to correspond to the opening 24 of the basket 20 in the fluid receiving part 10, and the fluid. Located inside the accommodating part 10, and configured to include a fluid tube 42 for supplying the cleaning liquid supplied from the outside or the cleaning liquid accommodated in the fluid accommodating part 10 to the nozzle 44. When the cleaning liquid is injected from the nozzle 44 toward the opening portion 24 of the basket 20, the sprayed cleaning liquid is moved to the fluid guide portion 30 through the opening portion 24 of the basket 20. After being guided to the inside of the basket 20 through the through hole 32 of the fluid guide part 30, it is discharged to the outside through the through hole 22 of the basket 20. At this time, the cleaning liquid located around the nozzle 44 in the fluid receiving portion 10 by the Coanda effect is also additionally introduced into the center of the basket 20, and is supplied from the nozzle 44 to the basket 20. Since a larger amount of the cleaning liquid is introduced into the basket 20 than the cleaning liquid, and such a large amount of the cleaning liquid is introduced into the basket 20, the cleaning effect is further maximized.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치의 작용에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the operation of the cleaning device having a fluid guide portion according to a first embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치는 먼저, 유체 수용부(10)에 세정액이 수용되고, 이어서 유체 수용부(10) 내부에 위치된 바스켓(20)에 세정하고자 하는 물체들이 수용된다. 그 후, 바스켓(20)이 유체 수용부(10) 내부에서 상하 이동되며, 이때, 노즐(44)에서 바스켓(20)의 개방부(24) 방향으로 세정액이 분사된다.Referring to the drawings, the cleaning apparatus having a fluid guide according to the first embodiment of the present invention, first, the cleaning liquid is received in the fluid receiving portion 10, and then the basket (located inside the fluid receiving portion 10) 20) objects to be cleaned are accommodated. Thereafter, the basket 20 moves up and down inside the fluid receiving portion 10, and at this time, the cleaning liquid is injected from the nozzle 44 toward the opening portion 24 of the basket 20.

그러면, 바스켓(20)의 상하 이동에 의하여 바스켓(20) 주변에는 세정액의 흐름 즉, 수압이 발생되며, 이러한 세정액의 흐름에 의한 압력에 의하여 유체 수용부(10)에 수용된 세정액이 바스켓(20)의 통공(22)을 통하여 바스켓(20) 내표면 주위로 침투되면서 바스켓(20) 내표면 주위에 위치된 물체들을 세정시키게 된다. 이와 동시에, 노즐(44)에서 바스켓(20)의 개방부(24) 방향으로 분사되는 세정액은 유체 가이드부(30)로 이동된 후, 유체 가이드부(30)의 관통홀(32)을 통하여 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사된다. 그리고 이때, 콴다(Coanda) 효과에 의하여 유체 수용부(10)에서 노즐(44) 주변에 위치되는 세정액 또한, 바스켓(20) 내부 중앙으로 유도 및 분사된다. 그리고 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사되는 세정액의 수압에 의하여 바스켓(20)의 중앙에 위치된 물체들이 세정된다. Then, the flow of the cleaning liquid, that is, the hydraulic pressure, is generated around the basket 20 by the vertical movement of the basket 20. The cleaning liquid contained in the fluid accommodating part 10 by the pressure of the cleaning liquid flows into the basket 20. It penetrates around the inner surface of the basket 20 through the through hole 22 to clean objects placed around the inner surface of the basket 20. At the same time, the cleaning liquid sprayed from the nozzle 44 toward the opening portion 24 of the basket 20 is moved to the fluid guide portion 30 and then through the through hole 32 of the fluid guide portion 30. 20 is injected into the inner center. At this time, the cleaning liquid located around the nozzle 44 in the fluid receiving unit 10 is also guided and injected into the inner center of the basket 20 by a Coanda effect. In addition, objects located in the center of the basket 20 are cleaned by the hydraulic pressure of the cleaning liquid injected into the center of the basket 20.

즉, 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치는 바스켓(20)의 상하 이동에 의하여 세정액이 바스켓(20) 내표면 주위로 침투하여 바스켓(20) 내표면 주위에 위치되는 물체들을 세정시키고, 노즐(44)에서 유체 가이드부(30)로 분사되는 세정액이 노즐(44) 주변에 위치되는 세정액과 함께 바스켓(20) 내부 중앙으로 침투하여 바스켓(20) 내부 중앙에 위치되는 물체들을 세정시킴으로써, 세정액이 바스켓(20)의 중앙으로 용이하게 침투되고, 이어서 바스켓(20)의 외부로 배출된다. 이처럼 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 세정장치는 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사되는 세정액에 의하여, 유체 수용부(10)에 위치되는 세정액이 바스켓(20) 내부로, 바스켓(20) 내부에 위치되는 수용액이 바스켓(20) 외부로 이동되므로, 바스켓(20) 내부에서 유체 순환이 원활하게 이루어지는 효과가 있다.That is, in the cleaning apparatus having the fluid guide unit according to the first preferred embodiment of the present invention, the cleaning liquid penetrates around the inner surface of the basket 20 by vertical movement of the basket 20 and is positioned around the inner surface of the basket 20. Cleaning objects are cleaned, and the cleaning liquid injected from the nozzle 44 to the fluid guide part 30 penetrates into the center of the basket 20 together with the cleaning liquid located around the nozzle 44 and is located at the center of the inside of the basket 20. By washing the objects to be cleaned, the cleaning liquid easily penetrates into the center of the basket 20 and then is discharged to the outside of the basket 20. As described above, in the cleaning apparatus including the fluid guide unit according to the first exemplary embodiment of the present invention, the cleaning liquid is disposed in the basket 20 by the cleaning liquid injected into the center of the basket 20. Since the aqueous solution located in the basket 20 is moved to the outside of the basket 20, the fluid circulation is smoothly performed in the basket 20.

한편, 본 발명의 제 1 실시예에서 유체는 세정액으로 구성되나, 이는 일 예시를 보여주는 것으로, 작업 목적에 따라, 물체를 식각시키는 식각액으로 구성되어, 물체를 식각하도록 구성될 수도 있다. 이 경우, 유체 수용부(10)에 수용되는 유체 및 노즐(44)에서 분사되는 유체는 식각액으로 구성된다.
On the other hand, the fluid in the first embodiment of the present invention is composed of a cleaning liquid, which shows an example, it is composed of an etching liquid for etching the object, depending on the purpose of the operation, may be configured to etch the object. In this case, the fluid accommodated in the fluid receiving portion 10 and the fluid injected from the nozzle 44 are composed of an etchant.

도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.4 is a view illustrating a dry cooling apparatus having a fluid guide unit according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치는 상기 제 1 실시예에서 유체 수용부(10)에 수용되는 유체 및 노즐(44)에서 분사되는 유체가 공기로 구성되고, 바스켓(20)이 자전되도록 구성되는 것을 제외하고는 상기 제 1 실시예와 동일하도록 구성된다.Referring to FIG. 4, in the dry cooling apparatus including the fluid guide unit according to the second exemplary embodiment of the present invention, the fluid accommodated in the fluid receiving unit 10 and the fluid injected from the nozzle 44 in the first embodiment may be used. It is composed of air and is configured to be the same as the first embodiment except that the basket 20 is configured to rotate.

즉, 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치는 크고 작은 다수의 물체를 건조시키기 위한 것으로, 물체가 수용되는 바스켓(20), 바스켓(20)의 내부 중앙에 위치되는 유체 가이드부(30), 내부에 바스켓(20)이 위치되는 유체 수용부(10) 및 유체 가이드부(30)로 유체를 분사하는 분사수단(40)을 포함하여 구성된다.That is, the dry cooling apparatus having the fluid guide unit according to the second exemplary embodiment of the present invention is for drying a large number of small and large objects, and is located in the inner center of the basket 20 and the basket 20 in which the objects are accommodated. It comprises a fluid guide portion 30, the fluid receiving portion 10, the basket 20 is located therein and the injection means 40 for injecting a fluid to the fluid guide portion 30.

그리고 유체 수용부(10)에 유체 즉, 공기가 수용되고, 이어서 유체 수용부(10) 내부에 위치된 바스켓(20)에 건조하고자 하는 물체들이 수용된다. 그 후, 바스켓(20)이 유체 수용부(10) 내부에서 자전되며, 이때, 노즐(44)에서 바스켓(20)의 개방부(24) 방향으로 공기, 예를 들면 고온의 공기가 분사된다. The fluid, that is, air, is accommodated in the fluid receiving portion 10, and then objects to be dried are accommodated in the basket 20 located inside the fluid receiving portion 10. Thereafter, the basket 20 is rotated inside the fluid receiving portion 10, in which air, for example, hot air, is injected from the nozzle 44 toward the opening portion 24 of the basket 20.

그러면 바스켓(20)의 스핀에 의한 원심력에 의하여 물체의 표면에 있는 물 등이 외부로 흘러나와 건조를 돕게 되며, 이때, 노즐(44)에서 유체 가이드부(30)로 분사되는 공기가 바스켓(20) 내부 중앙으로 안내된다. 그리고 이렇게 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사되는 열풍은 바스켓(20)의 원심력에 의하여 빠른 속도로 바스켓(20) 외부로 빠져나오게 되며, 이에 따라 물체들은 보다 빠르게 건조되게 된다. 즉, 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사되는 열풍에 의하여 바스켓(20)의 중앙 및 내표면에 위치된 물체들 모두가 한꺼번에 건조되는 것이다.Then, water or the like on the surface of the object flows to the outside by the centrifugal force by the spin of the basket 20 to help the drying, and at this time, the air injected from the nozzle 44 to the fluid guide unit 30 is basket 20 Is guided to the inner center. And the hot air is injected into the center of the basket 20 is discharged to the outside of the basket 20 at a high speed by the centrifugal force of the basket 20, so that the objects are dried faster. That is, all of the objects located at the center and the inner surface of the basket 20 are dried at the same time by hot air injected into the center of the basket 20.

이처럼 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치는 바스켓(20) 내부 중앙으로 분사되는 열풍에 의하여 유체 수용부(10)에 위치되는 공기가 바스켓(20) 내부로, 바스켓(20) 내부에 위치되는 공기가 바스켓(20) 외부로 빠르게 이동되므로, 유체 순환이 원활하게 이루어지고, 이에 따라 건조 기능이 향상되는 효과가 있다.As described above, in the dry cooling apparatus including the fluid guide unit according to the second exemplary embodiment of the present invention, air placed in the fluid receiving unit 10 is heated into the basket 20 by the hot air injected into the center of the basket 20. (20) Since the air located inside the fast moving to the outside of the basket 20, the fluid circulation is made smoothly, there is an effect that the drying function is improved.

한편, 본 발명의 제 2 실시예에서 유체는 열풍으로 구성되나, 이를 한정하는 것은 아님은 당연하고, 사용자의 목적에 따라, 물체를 냉각시키는 냉풍으로 구성될 수도 있다.
On the other hand, in the second embodiment of the present invention, the fluid is composed of hot air, but is not limited to this, of course, it may be composed of cold air for cooling the object according to the user's purpose.

본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 유체 수용부 20: 바스켓
22: 통공 24: 개방부
30: 유체 가이드부 32: 관통홀
34: 공간부 40: 분사수단
42: 유체관 44: 노즐10: fluid receiving portion 20: basket
22: through-hole 24: opening
30: fluid guide portion 32: through hole
34: space part 40: injection means
42: fluid pipe 44: nozzle

Claims (6)

다수의 물체가 수용되며 외면에 다수의 통공이 형성되는 바스켓;
상기 바스켓 저면의 개방된 개방부에서 상기 바스켓의 내부 상방으로 길게 형성되되, 내부에 공간부가 구비되고, 외면에 다수의 관통홀이 형성되는 유체 가이드부;
내부에 수용되는 세정액 또는 식각액에 상기 바스켓이 침전되는 유체 수용부; 및
상기 유체 수용부 내부에서 상기 바스켓의 상기 개방부 방향으로 유체를 분사하는 노즐을 포함하며,
상기 노즐에서 분사되는 유체가 상기 유체 가이드부의 상기 공간부로 가이드 된 후, 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부 중앙으로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치.
A basket in which a plurality of objects are accommodated and a plurality of through holes are formed on an outer surface thereof;
A fluid guide part which is formed at an open portion of the bottom surface of the basket and extends upwardly inside the basket, and has a space portion therein and has a plurality of through holes formed on the outer surface thereof;
A fluid receiving part in which the basket is precipitated in a cleaning liquid or an etching liquid accommodated therein; And
A nozzle for injecting fluid into the basket toward the opening of the basket,
And a fluid injected from the nozzle is guided to the space part of the fluid guide part, and then guides the fluid guide part to the inside of the basket through the through hole of the fluid guide part.
제 1 항에 있어서,
상기 바스켓은 상기 유체 수용부 내부에서 상하 이동되도록 구성되어,
상기 유체 수용부의 유체가 상기 바스켓의 상기 통공 및 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치.
The method of claim 1,
The basket is configured to move up and down inside the fluid receiving portion,
And a fluid guide part is guided into the basket through the through hole of the basket and the through hole of the fluid guide part.
제 1 항에 있어서,
상기 노즐로 공급되는 유체는 세정액 또는 식각액으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 세정장치.
The method of claim 1,
The fluid supplied to the nozzle is a cleaning device having a fluid guide portion, characterized in that consisting of a cleaning liquid or etching liquid.
다수의 물체가 수용되며 외면에 다수의 통공이 형성되는 바스켓;
상기 바스켓 저면의 개방된 개방부에서 상기 바스켓의 상방으로 길게 형성되되, 내부에 공간부가 구비되고, 외면에 다수의 관통홀이 형성되는 유체 가이드부;
상기 바스켓이 수용되는 유체 수용부; 및
상기 유체 수용부 내부에서 상기 바스켓의 상기 개방부 방향으로 공기를 분사하는 노즐을 포함하며,
상기 노즐에서 분사되는 공기가 상기 유체 가이드부의 상기 공간부로 가이드 된 후, 상기 유체 가이드부의 상기 관통홀을 통하여 상기 바스켓 내부 중앙으로 유도되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치.
A basket in which a plurality of objects are accommodated and a plurality of through holes are formed on an outer surface thereof;
A fluid guide part formed to be extended upward from the basket at an open part of the bottom of the basket, having a space part therein, and having a plurality of through holes formed on an outer surface thereof;
A fluid receiving portion in which the basket is accommodated; And
A nozzle for injecting air in the direction of the opening of the basket within the fluid receiving portion,
And the air injected from the nozzle is guided to the space part of the fluid guide part, and then is guided to the center of the basket through the through hole of the fluid guide part.
제 4 항에 있어서,
상기 공기는 열풍 또는 냉풍으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치.
The method of claim 4, wherein
Dry air cooling device having a fluid guide portion characterized in that the air is composed of hot air or cold air.
제 4 항에 있어서,
상기 바스켓은 자전되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 가이드부를 구비하는 건냉장치.The method of claim 4, wherein
Drying device having a fluid guide portion characterized in that the basket is configured to rotate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104162518A (en) * 2014-06-12 2014-11-26 台州全球英工贸有限公司 Mini-type cleaning machine

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