KR20120032675A - The apparatus for calibration of the differential pressure gauge and apparatus for calibration of the pressure gauge - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A differential pressure gauge correction device and a pressure gauge correction device are provided to improve accuracy, enable rapid correction and diagnosis, and measure the pressure difference. CONSTITUTION: A differential pressure gauge correction device comprises a first container(110), a second container(120), a volume modulator(140), and a differential pressure gauge(138). The second container is separated from the first container. The volume modulator is placed on one side of the first container. The differential pressure gauge is connected to the first container and the second container. The volume modulator varies the volume of the first container. The volume modulator corrects the measurement signal of the differential pressure gauge.

Description

차압계 교정 장치 및 압력계 교정장치{The Apparatus For Calibration Of The Differential Pressure Gauge And Apparatus for Calibration Of The Pressure Gauge }The Apparatus For Calibration Of The Differential Pressure Gauge And Apparatus for Calibration Of The Pressure Gauge}

본 발명은 차압계 및 압력계의 교정 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로 압력 진동을 주어 차압계 및 압력계를 교정하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a calibration device for a differential pressure gauge and a pressure gauge, and more particularly, to a device for calibrating a differential pressure gauge and a pressure gauge by applying pressure vibration.

압력계의 교정은 일반적으로 기준 압력계를 이용하거나 정의에 의한 힘과 면적의 관계로부터 압력 눈금을 정의하게 된다.Calibration of a manometer generally uses a reference manometer or defines the pressure scale from the relation of force and area by definition.

한편, 차압계는 두 공간(용기)의 압력 차이를 측정한다. 각 용기의 압력은 불문하고, 상기 차압계는 상대적인 압력 차이만을 측정한다. 상기 차압계는 주로 미세한 압력 차이를 측정하고자 할 때 유용하게 사용된다.On the other hand, the differential pressure gauge measures the pressure difference between the two spaces (containers). Regardless of the pressure in each vessel, the differential pressure gauge only measures the relative pressure difference. The differential pressure gauge is mainly used when a small pressure difference is to be measured.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 차압계의 한쪽 용기에 인위적인 압력진동을 주어 차압계의 상태를 빠른 속도로 진단 및 교정하는 차압계 교정 장치에 관한 것이다.One technical problem to be solved of the present invention relates to a differential pressure gauge calibration apparatus for diagnosing and correcting the state of the differential pressure gauge at a high speed by giving artificial pressure vibration to one container of the differential pressure gauge.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 차압계의 한쪽 용기에 인위적인 압력진동을 주어 차압계의 상태를 빠른 속도로 진단 및 교정하는 차압계 교정 방법에 관한 것이다.One technical problem to be solved of the present invention relates to a differential pressure gauge calibration method for diagnosing and correcting the state of the differential pressure gauge at a high speed by giving artificial pressure vibration to one container of the differential pressure gauge.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 압력계의 용기에 인위적인 압력진동을 주어 압력계의 상태를 빠른 속도로 진단 및 교정하는 압력계 교정 장치에 관한 것이다.One technical problem to be solved of the present invention relates to a manometer calibration device for diagnosing and correcting the state of the manometer at a high speed by giving artificial pressure vibration to the vessel of the manometer.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 압력계의 용기에 인위적인 압력진동을 주어 압력계의 상태를 빠른 속도로 진단 및 교정하는 압력계 교정 방법에 관한 것이다.One technical problem to be solved of the present invention relates to a pressure gauge calibration method for diagnosing and correcting the state of the pressure gauge at a high speed by giving an artificial pressure vibration to the vessel of the pressure gauge.

본 발명의 일 실시예에 따른 차압계 교정 장치는 제1 용기, 상기 제1 용기에 이격되어 배치된 제2 용기, 상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부, 및 상기 제1 용기 및 상기 제2 용기에 연결된 차압계를 포함한다. 상기 체적 변조부는 시간에 따라 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고 상기 차압계의 측정 신호를 교정한다.According to an embodiment of the present disclosure, an apparatus for calibrating a differential pressure gauge includes a first container, a second container spaced apart from the first container, a volume modulator disposed on one side of the first container, and the first container and the first container. 2 includes a differential pressure gauge connected to the vessel. The volume modulator changes the volume of the first vessel with time and corrects the measurement signal of the differential pressure gauge.

본 발명의 일 실시예에 따른 압력계 교정 장치는 제1 용기, 상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부, 및 상기 제1 용기에 연결된 압력계를 포함한다. 상기 체적 변조부는 시간에 따라 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고 상기 압력계의 측정 신호를 교정한다.The manometer calibration device according to an embodiment of the present invention includes a first vessel, a volume modulator disposed at one side of the first vessel, and a pressure gauge connected to the first vessel. The volume modulator changes the volume of the first vessel with time and corrects the measurement signal of the pressure gauge.

종래의 압력계의 교정은 대부분 기준압력계를 사용하거나 힘과 면적으로부터 계산된 압력값을 이용하여 교정하게 된다. 하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력계 교정 방법은 정확도가 우수하고 저비용과 짧은 시간에 손쉽고도 간단하게 교정 및/또는 진단할 수 있다.Conventional pressure gauges are calibrated mostly using reference pressure gauges or pressure values calculated from forces and areas. However, the pressure gauge calibration method according to an embodiment of the present invention is excellent in accuracy and can be easily and simply calibrated and / or diagnosed at low cost and short time.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압계 교정 장치를 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압계의 측정값과 이론값을 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 차압계의 측정값과 이론값을 설명하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력계 교정 장치를 설명하는 도면이다.1 is a view for explaining a differential pressure gauge calibration apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining the measured value and the theoretical value of the differential pressure gauge according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining the measured value and the theoretical value of the differential pressure gauge according to another embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining a pressure gauge calibration apparatus according to another embodiment of the present invention.

차압은 임의 어느 두 공간의 압력차를 말한다. 즉, 차압계는 두 공간의 압력값에 관계없이 각 각의 압력 차이만을 측정한다. 상기 차압계는 하나의 압력센서로 측정이 가능하다. 특히, 두 공간의 압력 차이가 미세할 경우, 상기 차압계는 두 개의 압력계를 사용하는 것보다 더 좋은 분해능으로 압력 차이를 측정할 수 있다. The differential pressure refers to the pressure difference in any two spaces. That is, the differential pressure gauge measures only the pressure difference between each pressure regardless of the pressure values in the two spaces. The differential pressure gauge can be measured by one pressure sensor. In particular, when the pressure difference between the two spaces is minute, the differential pressure gauge can measure the pressure difference with better resolution than using two pressure gauges.

두 압력에 미소한 차이가 있는 경우, 압력계는 읽는 값에 비해 차이가 너무 작아 오직 측정기의 감도 한도 내에서 만이 구별이 가능하다. 또한, 압력계는 정확히 교정되어야 한다.If there is a slight difference in the two pressures, the pressure gauge is too small for the reading to be distinguishable only within the sensitivity limits of the meter. In addition, the pressure gauge must be correctly calibrated.

한편, 차압계를 사용할 경우, 예측되는 차압의 범위에 맞게 센서의 감도는 조절되어, 상기 차압계는 미소한 압력 차이를 쉽게 측정할 수 있다.On the other hand, when using a differential pressure gauge, the sensitivity of the sensor is adjusted according to the predicted differential pressure range, the differential pressure gauge can easily measure the minute pressure difference.

미소한 압력 차이를 측정하기 위해, 상기 차압계는 일반 압력계와 마찬가지 방법으로 교정될 수 있다. 하지만, 상기 차압계의 교정은 매우 복잡한 과정을 거친다. In order to measure minute pressure differences, the differential pressure gauge can be calibrated in the same way as a normal pressure gauge. However, the calibration of the differential pressure gauge is a very complicated process.

본 발명의 일 실시예에 따른 차압계 교정 장치는 차압계의 한 쪽 용기에 인위적으로 압력 진동을 준다. 상기 차압계 교정 장치는 상기 차압계의 기준점 및/또는 차압계의 정확성 여부를 제공할 수 있다. 즉, 주어진 체적을 진동시키고, 나타나는 반응을 차압계로 측정하여, 상기 차압계는 쉽게 교정될 수 있다.Differential pressure gauge calibration apparatus according to an embodiment of the present invention artificially gives pressure vibration to one container of the differential pressure gauge. The differential pressure gauge calibration apparatus may provide a reference point of the differential pressure gauge and / or whether the differential pressure gauge is accurate. That is, the differential pressure gauge can be easily calibrated by vibrating a given volume and measuring the resulting reaction with a differential pressure gauge.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure may be made thorough and complete, and to fully convey the spirit of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the components have been exaggerated for clarity. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압계 교정 장치를 설명하는 도면이다.1 is a view for explaining a differential pressure gauge calibration apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하여, 상기 차압계 교정 장치는 제1 용기(110), 상기 제1 용기(110)에 이격되어 배치된 제2 용기(120), 상기 제1 용기(110)의 일측에 배치된 체적 변조부(140), 및 상기 제1 용기(110) 및 상기 제2 용기(120)에 연결된 차압계(138)를 포함한다. 상기 체적 변조부(140)는 시간에 따라 상기 제1 용기(110)의 체적을 변화시키고 이에 따라 상기 차압계(138)의 측정 신호를 교정한다.Referring to FIG. 1, the differential pressure gauge calibration device includes a first container 110, a second container 120 spaced apart from the first container 110, and a volume disposed on one side of the first container 110. And a differential pressure gauge 138 connected to the modulator 140 and the first vessel 110 and the second vessel 120. The volume modulator 140 changes the volume of the first container 110 with time and corrects the measurement signal of the differential pressure gauge 138 accordingly.

본 발명의 동작 원리를 설명한다.The operating principle of the present invention will be described.

상기 차압계 교정 장치는 등온 상태 또는 단열 상태에서 동작할 수 있다. 단열 상태의 경우에서, 체적 변화에 따른 온도 변화가 발생할 수 있으나, 이 온도 변화는 무시할 수 있다.The differential pressure gauge calibration device may operate in an isothermal or adiabatic state. In the case of an adiabatic state, a temperature change may occur due to a volume change, but this temperature change can be ignored.

상기 체적 변조부(140)의 진폭이 v0이고, 상기 체적 변조부(140)가 사인 함수(sine function)의 형태로 시간에 따라 상기 진폭을 구동시킬 수 있다. 상기 체적 변조부의 시간에 따라 변하는 체적(v(t))은 다음과 같이 주어진다. The amplitude of the volume modulator 140 is v 0 , and the volume modulator 140 may drive the amplitude over time in the form of a sine function. The volume v (t) which changes with time of the volume modulator is given as follows.

Figure pat00001
Figure pat00001

여기서, ω는 각주파수이다. 상기 제1 용기(110)의 시간(t)에 따른 부피(V1(t))는 다음과 같이 주어진다. 상기 각주파수에 대응하는 주파수는 수 Hz 이하일 수 있다. Where ω is the angular frequency. The volume V 1 (t) over time t of the first vessel 110 is given as follows. The frequency corresponding to the angular frequency may be several Hz or less.

Figure pat00002
Figure pat00002

여기서, V10은 상기 제1 용기(110)의 초기 상태의 부피이다. 상기 제1 용기(110)의 시간에 따른 압력(P1(t))은 다음과 같이 주어진다. Here, V 10 is the volume of the initial state of the first vessel (110). The pressure P 1 (t) over time of the first vessel 110 is given as follows.

Figure pat00003
Figure pat00003

여기서, 제1 용기(110)의 초기 압력(P10)과 제2 용기(120)의 초기압력(P20)은 P0로 동일한 것으로 가정한다. P0는 대기압, 대기압 이상, 또는 대기압 이하의 압력일 수 있다. 또한, 상기 제1 용기(110)의 초기 부피는 V10이고, 상기 제2 용기(120)의 초기 부피는 V20이다.Here, the initial pressure (P 10) and the initial pressure (P 20) of the second container 120 of the first container 110 is assumed to be equal to P 0. P 0 may be at atmospheric pressure, above atmospheric pressure, or below atmospheric pressure. In addition, the initial volume of the first vessel 110 is V 10 , the initial volume of the second vessel 120 is V 20 .

v0가 V10보다 충분히 작은 경우, 수학식 3은 다음과 같이 근사될 수 있다.When v 0 is sufficiently smaller than V 10 , Equation 3 may be approximated as follows.

Figure pat00004
Figure pat00004

또한, 제1 용기(110)의 초기 부피(V10)와 제2 용기(120)의 초기 부피(V20)가 V0로 동일한 경우, 압력 차이는 수학식 4로부터 다음과 같이 표시될 수 있다.Also, when the initial volume V 10 of the first vessel 110 and the initial volume V 20 of the second vessel 120 are equal to V 0 , the pressure difference may be expressed as follows from Equation 4 as follows. .

Figure pat00005
Figure pat00005

수학식 5를 이용하여, 차압계(138)의 실제 측정값과 이론값의 차이를 확인하면, 상기 차압계(138)는 교정 및/또는 진단될 될 수 있다. 상기 체적 변조부(140)의 진폭(v0)은 변경되고, 상기 차압계(138)는 다시 교정될 수 있다. 상기 차압계(138)의 감도 및 지연 시간이 조절되어, 상기 차압계(138)는 교정될 수 있다.Using Equation 5, if the difference between the actual measured value and the theoretical value of the differential pressure gauge 138 is confirmed, the differential pressure gauge 138 may be calibrated and / or diagnosed. The amplitude v 0 of the volume modulator 140 is changed, and the differential pressure gauge 138 may be recalibrated. The sensitivity and delay time of the differential pressure gauge 138 may be adjusted so that the differential pressure gauge 138 may be calibrated.

수학식 5는 v0 << V10 조건과 V10 = V20 = V0 조건을 이용하였다. 그러나, 위의 두 조건을 충족하지 않는 경우에도 위에서 설명한 동작원리는 유사하게 적용될 수 있다.Equation 5 is based on the condition v 0 << V 10 and V 10 = V 20 = V 0 conditions were used. However, even if the above two conditions are not satisfied, the above-described operating principle can be similarly applied.

교정 또는 진단속도를 중요시하는 경우, 이 방법은 매우 유용하다. 특히 제1 용기(110)와 제2 용기(120)의 체적 차이가 미소하고, 체적 변조부(140)의 진폭(v0)가 V10 의 1 퍼센트 정도이면, 수학식 5의 근사는 이론값에 크게 영향을 미치지 않는다.This method is very useful when the speed of calibration or diagnosis is important. In particular, when the volume difference between the first vessel 110 and the second vessel 120 is minute and the amplitude v 0 of the volume modulator 140 is about 1 percent of V 10 , the approximation of Equation 5 is a theoretical value. Does not significantly affect

상기 제1 용기(110)는 고정된 체적을 가지고 있는 한 다양한 형태 또는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 제1 가스 공급라인(114)은 상기 제1 용기(110)에 가스를 주입할 수 있다. 제1 가스 공급 밸브(112)는 상기 제1 가스 공급라인(114) 중간에 배치되어 상기 제1 가스 공급 라인(114)을 개폐할 수 있다. 상기 제1 용기(110)에 공급되는 가스는 공기, 질소, 아르콘, 헬륨 가스 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.The first container 110 may be formed of various shapes or various materials as long as they have a fixed volume. The first gas supply line 114 may inject gas into the first container 110. The first gas supply valve 112 may be disposed in the middle of the first gas supply line 114 to open and close the first gas supply line 114. The gas supplied to the first container 110 may include at least one of air, nitrogen, arcon, and helium gas.

상기 제2 용기(120)는 고정된 체적을 가지고 있는 한 다양한 형태 또는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 제2 가스 공급라인(124)은 상기 제2 용기(120)에 가스를 주입할 수 있다. 제2 가스 공급 밸브(122)는 상기 제2 가스 공급라인(124) 중간에 배치되어 상기 제2 가스 공급 라인(124)을 개폐할 수 있다. 상기 제2 용기(120)에 공급되는 가스는 공기, 질소, 아르콘, 헬륨 가스 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.The second container 120 may be formed of various shapes or various materials as long as the second container 120 has a fixed volume. The second gas supply line 124 may inject gas into the second vessel 120. The second gas supply valve 122 may be disposed in the middle of the second gas supply line 124 to open and close the second gas supply line 124. The gas supplied to the second vessel 120 may include at least one of air, nitrogen, arcon, and helium gas.

연결 파이프(134)는 상기 제1 용기와 상기 제2 용기를 연결할 수 있다. 연결 밸브(132)는 상기 연결 파이프(132)를 개폐할 수 있다.The connection pipe 134 may connect the first vessel and the second vessel. The connection valve 132 may open and close the connection pipe 132.

상기 제1 가스 공급 밸브(112)를 개방하여 소정의 가스는 상기 제1 용기(110)에 주입된다. 이어서, 상기 제1 가스 공급 밸브(112)는 폐쇄된다. 이어서, 상기 연결 밸브(132)가 개방되어, 상기 제1 용기(110)의 압력과 상기 제2 용기(120)의 압력은 일치될 수 있다. 이어서, 상기 연결 밸브(132)는 폐쇄된다.By opening the first gas supply valve 112, a predetermined gas is injected into the first container 110. Subsequently, the first gas supply valve 112 is closed. Subsequently, the connection valve 132 may be opened such that the pressure of the first vessel 110 and the pressure of the second vessel 120 may coincide. The connecting valve 132 is then closed.

체적 변조부(140)는 피스톤 또는 주름관을 포함할 수 있다. 상기 체적 변조부(140)는 상기 제1 용기(110)의 체적을 주기적으로 변화시킬 수 있는 한 다양하게 변형될 수 있다. 상기 체적 변조부(140)가 피스톤을 포함하는 경우, 상기 체적 변조부(140)는 피스톤(142), 상기 피스톤(142)이 직선 운동하도록 안내하는 가이드부(144), 및 상기 피스톤(142)에 직선 운동을 제공하는 구동부(146)를 포함할 수 있다. 상기 구동부(146)는 회전 운동을 직선 운동으로 바꾸는 크랭크 구조를 포함할 수 있다. 상기 가이드부(144)는 상기 제1 용기(110)에 장착될 수 있다. 상기 피스톤(142)은 상기 가이드부(144) 내에서 가스의 누출없이 직선 운동할 수 있다.The volume modulator 140 may include a piston or a corrugated pipe. The volume modulator 140 may be variously modified as long as it can periodically change the volume of the first container 110. When the volume modulator 140 includes a piston, the volume modulator 140 includes a piston 142, a guide part 144 for guiding the piston 142 in a linear motion, and the piston 142. It may include a drive unit 146 to provide a linear motion to the. The drive unit 146 may include a crank structure for converting a rotational motion into a linear motion. The guide part 144 may be mounted to the first container 110. The piston 142 may linearly move without leaking gas in the guide part 144.

상기 체적 변조부(140)는 시간에 따라 직선형, 단계형 또는 사인 함수형을 제공할 수 있다. 상기 체적 변조부(140)는 시간에 따라 상기 제1 용기(110)의 체적을 변화시키고, 상기 차압계(138)는 차압을 측정한다. 상기 차압계(138)의 측정신호는 이론치와 일치되도록, 상기 차압계(138)의 차압의 세기 또는 시간 지연 등이 교정될 수 있다. 예를 들어, 상기 차압계(138)의 차압의 세기는 이론치와 측정값이 서로 표로 표시되거나, 이론치와 측정값을 서로 연결하는 함수로 표시될 수 있다. 또는 상기 차압계(138)의 차압의 세기는 이론치와 일치하도록 이득이 수정될 수 있다. The volume modulator 140 may provide a linear, stepped or sinusoidal function according to time. The volume modulator 140 changes the volume of the first container 110 with time, and the differential pressure gauge 138 measures the differential pressure. The strength or time delay of the differential pressure of the differential pressure gauge 138 may be corrected such that the measurement signal of the differential pressure gauge 138 is consistent with a theoretical value. For example, the strength of the differential pressure of the differential pressure gauge 138 may be displayed as a table of theoretical values and measured values, or as a function of connecting the theoretical values and measured values to each other. Alternatively, the gain of the differential pressure of the differential pressure gauge 138 may be modified to match the theoretical value.

차압계(138)는 판막(diaphram)을 이용할 수 있다. 상기 차압계(138)의 방식은 다양하게 변형될 수 있다. 차압계(138)는 상기 제1 용기(110)에 제1 파이프(134)를 통하여 연결되고, 상기 차압계(138)는 상기 제2 용기(120)에 제2 파이프(136)를 통하여 연결될 수 있다. The differential pressure gauge 138 may use a diaphram. The manner of the differential pressure gauge 138 may be variously modified. The differential pressure gauge 138 may be connected to the first container 110 through a first pipe 134, and the differential pressure gauge 138 may be connected to the second container 120 through a second pipe 136.

제1 펌핑 라인(154)과 제1 펌핑 밸브(152)는 상기 제1 용기(110)에 연결될 수 있다. 또한, 제2 펌핑 라인(164)과 제2 펌핑 밸브(162)는 상기 제2 용기(120)에 연결될 수 있다. 상기 제1 펌핑 밸브(152) 및/또는 상기 제2 펌핑 밸브(162)는 개방되어, 상기 제1 용기(110) 및/또는 제2 용기(120)는 진공 상태로 배기될 수 있다.The first pumping line 154 and the first pumping valve 152 may be connected to the first container 110. In addition, the second pumping line 164 and the second pumping valve 162 may be connected to the second container 120. The first pumping valve 152 and / or the second pumping valve 162 may be opened so that the first container 110 and / or the second container 120 may be evacuated in a vacuum state.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압계의 측정값과 이론값을 설명하는 도면이다.2 is a view for explaining the measured value and the theoretical value of the differential pressure gauge according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 체적 변조부(140)의 체적은 소정의 진폭(v0)을 가지고 시간에 따라 사인함수로 진동한다. 측정값(예측)과 이론값 사이의 시간 지연 및 진폭의 차이가 측정될 수 있다. 상기 체적 변조부의 진폭(v0) 및/또는 각주파수는 점차적으로 증가되면서, 상기 측정값이 측정될 수 있다. 상기 측정값과 이론값은 테이블화되거나, 함수화될 수 있다. 또는, 차압계의 이득이 변경되어 상기 측정값은 이론값에 일치될 수 있다.1 and 2, the volume of the volume modulator 140 vibrates with a sine function with time with a predetermined amplitude v 0 . The difference in time delay and amplitude between the measured value (prediction) and the theoretical value can be measured. As the amplitude v 0 and / or the angular frequency of the volume modulator gradually increases, the measured value may be measured. The measured and theoretical values can be tabulated or functionalized. Alternatively, the gain of the differential pressure gauge may be changed such that the measured value is consistent with the theoretical value.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 차압계의 측정값과 이론값을 설명하는 도면이다.3 is a view illustrating measured values and theoretical values of a differential pressure gauge according to another embodiment of the present invention.

도 1 및 도 3을 참조하면, 체적 변조부(140)의 체적은 소정의 진폭(v0)을 가지고 시간에 따라 진동한다. 측정값(예측)과 이론값의 세기는 동일하나 기울기가 다를 수 있다. 상기 측정값과 이론값은 테이블화되거나, 함수화될 수 있다. 또는, 차압계의 이득이 변경되어 상기 측정값은 이론값에 일치될 수 있다.1 and 3, the volume of the volume modulator 140 vibrates with time with a predetermined amplitude v 0 . The strengths of the measured (predicted) and theoretical values are the same, but the slopes may be different. The measured and theoretical values can be tabulated or functionalized. Alternatively, the gain of the differential pressure gauge may be changed such that the measured value is consistent with the theoretical value.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력계 교정 장치를 설명하는 도면이다.4 is a view for explaining a pressure gauge calibration apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 압력계 교정 장치는 제1 용기(110), 상기 제1 용기(110)의 일측에 배치된 체적 변조부(140), 및 상기 제1 용기(110)에 연결된 압력계(139)를 포함한다. 상기 체적 변조부(140)는 시간에 따라 상기 제1 용기(110)의 체적을 변화시키고 상기 압력계(139)의 측정 신호를 교정한다.Referring to FIG. 4, the pressure gauge calibration device includes a first container 110, a volume modulator 140 disposed on one side of the first container 110, and a pressure gauge 139 connected to the first container 110. It includes. The volume modulator 140 changes the volume of the first vessel 110 with time and corrects the measurement signal of the pressure gauge 139.

상기 제1 용기(110)의 부피의 시간에 따른 변조는 피스톤 또는 주름관을 사용하여 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 체적 변조부(140)는 주름관(141) 및 구동부(147)를 포함할 수 있다. 상기 주름관(141)은 상기 구동부(147)에 의하여 체적이 가변될 수 있다. 상기 구동부(147)는 회전 운동을 직선운동으로 변경하는 수단을 포함할 수 있다.Time-dependent modulation of the volume of the first vessel 110 may be performed using a piston or corrugated pipe. For example, the volume modulator 140 may include a corrugated pipe 141 and a driver 147. The corrugated pipe 141 may have a variable volume by the driving unit 147. The drive unit 147 may include a means for changing the rotational movement to a linear movement.

상기 제1 용기(110)는 고정된 체적을 가지고 있는 한 다양한 형태 또는 다양한 재료로 형성될 수 있다. 제1 가스 공급라인(114)은 상기 제1 용기(110)에 가스를 주입할 수 있다. 제1 가스 공급 밸브(112)는 상기 제1 가스 공급라인(114) 중간에 배치되어 상기 제1 가스 공급 라인(114)을 개폐할 수 있다. 상기 제1 용기(110)에 공급되는 가스는 공기, 질소, 아르콘, 헬륨 가스 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.The first container 110 may be formed of various shapes or various materials as long as they have a fixed volume. The first gas supply line 114 may inject gas into the first container 110. The first gas supply valve 112 may be disposed in the middle of the first gas supply line 114 to open and close the first gas supply line 114. The gas supplied to the first container 110 may include at least one of air, nitrogen, arcon, and helium gas.

상기 압력계(139)는 대기압 이상에서 사용되는 압력계 또는 대기압 이하에 사용되는 진공 압력계일 수 있다. 상기 진공 압력계가 장착되는 경우, 제1 펌핑 라인(154) 및 제1 펌핑 밸브(152)는 상기 제1 용기(110)에 장착될 수 있다. 상기 제1 펌핑 밸브(152)는 개방되어, 상기 제1 용기(110)는 진공 상태로 배기될 수 있다. 상기 압력계(139)는 상기 제1 용기(110)에 제1 파이프(134)를 통하여 연결될 수 있다.The pressure gauge 139 may be a pressure gauge used above atmospheric pressure or a vacuum pressure gauge used below atmospheric pressure. When the vacuum pressure gauge is mounted, the first pumping line 154 and the first pumping valve 152 may be mounted to the first container 110. The first pumping valve 152 may be opened, and the first container 110 may be evacuated in a vacuum state. The pressure gauge 139 may be connected to the first container 110 through a first pipe 134.

본 발명의 일 실시예에 따른 압력계 교정 방법은 제1 용기(110)의 부피 및 압력을 측정하는 단계, 상기 제1 용기(110)의 부피를 시간에 따라 변조하는 단계, 상기 제1 용기(110)의 압력을 압력계(139)로 측정하는 단계, 및 상기 압력계(139)를 교정하는 단계를 포함한다. 상기 압력계(139)로 측정한 압력은 이론치와 동일하도록 교정될 수 있다.Pressure gauge calibration method according to an embodiment of the present invention measuring the volume and pressure of the first vessel 110, modulating the volume of the first vessel 110 with time, the first vessel 110 Measuring pressure of the pressure gauge with a pressure gauge 139, and calibrating the pressure gauge 139. The pressure measured by the pressure gauge 139 may be calibrated to be equal to the theoretical value.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.While the invention has been shown and described with respect to certain preferred embodiments thereof, the invention is not limited to these embodiments, and has been claimed by those of ordinary skill in the art to which the invention pertains. It includes all the various forms of embodiments that can be implemented without departing from the spirit.

110: 제1 용기
120: 제2 용기
140: 체적 변조부
138: 차압계110: first container
120: second container
140: volume modulator
138: differential pressure gauge

Claims (11)

제1 용기;
상기 제1 용기에 이격되어 배치된 제2 용기;
상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부; 및
상기 제1 용기 및 상기 제2 용기에 연결된 차압계를 포함하고,
상기 체적 변조부는 시간에 따라 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고 상기 차압계의 측정 신호를 교정하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치.A first container;
A second container spaced apart from the first container;
A volume modulator disposed on one side of the first container; And
A differential pressure gauge connected to said first vessel and said second vessel,
And the volume modulator changes the volume of the first vessel with time and corrects the measurement signal of the differential pressure gauge. 제1 항에 있어서,
상기 체적 변조부는 피스톤 또는 주름관을 사용하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치.The method according to claim 1,
And the volume modulator uses a piston or a corrugated pipe. 제1 항에 있어서,
상기 체적 변조부는 시간에 따라 직선형, 단계형 또는 사인 함수형인 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치.The method according to claim 1,
The volume modulator calibration device, characterized in that the linear, step or sinusoidal function according to time. 제1 항에 있어서,
상기 제1 용기와 상기 제2 용기를 연결하는 연결 파이프;및
상기 연결 파이프를 개폐하는 연결 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치.The method according to claim 1,
A connecting pipe connecting the first vessel and the second vessel; and
Differential pressure gauge calibration device further comprises a connection valve for opening and closing the connection pipe. 제1 항에 있어서,
상기 제1 용기에 가스를 공급하는 제1 가스 공급라인;
상기 제1 가스 공급 라인을 개폐하는 제1 가스 공급 밸브;
상기 제2 용기에 가스를 공급하는 제2 가스 공급라인;
상기 제2 가스 공급 라인을 개폐하는 제2 가스 공급 밸브;
상기 제1 용기를 배기하는 제1 펌핑 라인;
상기 제1 펌핑부를 개폐하는 제1 펌핑 밸브;
상기 제2 용기를 배기하는 제2 펌핑 라인; 및
상기 제2 펌핑부를 개폐하는 제2 펌핑 밸브 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 장치.The method according to claim 1,
A first gas supply line supplying gas to the first container;
A first gas supply valve configured to open and close the first gas supply line;
A second gas supply line supplying gas to the second container;
A second gas supply valve configured to open and close the second gas supply line;
A first pumping line exhausting the first vessel;
A first pumping valve which opens and closes the first pumping part;
A second pumping line for exhausting the second vessel; And
Differential pressure gauge calibration device further comprises at least one of the second pumping valve for opening and closing the second pumping unit. 제1 용기 및 제2 용기의 부피 및 압력을 측정하는 단계;
상기 제1 용기의 부피를 시간에 따라 변조하는 단계;
상기 제1 용기와 상기 제2 용기의 압력의 차이를 차압계로 측정하는 단계; 및
상기 차압계를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 방법.Measuring the volume and pressure of the first vessel and the second vessel;
Modulating the volume of the first vessel with time;
Measuring the difference in pressure between the first vessel and the second vessel with a differential pressure gauge; And
And calibrating the differential pressure gauge. 제6 항에 있어서,
상기 제1 용기의 부피의 시간에 따른 변조는 피스톤 또는 주름관을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 차압계 교정 방법.The method of claim 6,
Time-dependent modulation of the volume of the first vessel is performed using a piston or corrugated pipe. 제6 항에 있어서,
제1 용기 및 제2 용기를 연결하는 연결하는 연결관에 배치된 연결 밸브를 개방하여 상기 제1 용기 및 상기 제2 용기의 압력을 동일하게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 차압계 교정 방법.The method of claim 6,
And opening the connecting valve disposed in the connecting pipe connecting the first vessel and the second vessel to equalize the pressures of the first vessel and the second vessel. 제1 용기;
상기 제1 용기의 일측에 배치된 체적 변조부; 및
상기 제1 용기에 연결된 압력계를 포함하고,
상기 체적 변조부는 시간에 따라 상기 제1 용기의 체적을 변화시키고 상기 압력계의 측정 신호를 교정하는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 장치.A first container;
A volume modulator disposed on one side of the first container; And
A pressure gauge connected to the first vessel,
And the volume modulator changes the volume of the first vessel with time and corrects the measurement signal of the pressure gauge. 제9 항에 있어서,
상기 제1 용기의 부피의 시간에 따른 변조는 피스톤 또는 주름관을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 장치.10. The method of claim 9,
Time-based modulation of the volume of the first vessel is a pressure gauge calibration device, characterized in that performed using a piston or corrugated pipe. 제1 용기의 부피 및 압력을 측정하는 단계;
상기 제1 용기의 부피를 시간에 따라 변조하는 단계;
상기 제1 용기의 압력을 압력계로 측정하는 단계; 및
상기 압력계를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력계 교정 방법.Measuring the volume and pressure of the first vessel;
Modulating the volume of the first vessel with time;
Measuring the pressure of the first vessel with a pressure gauge; And
Manometer calibration method comprising the step of calibrating the pressure gauge.
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