KR20120011913A - Air conditioning system of clean room using minute ejection nozzle - Google Patents

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KR20120011913A
KR20120011913A KR1020100072389A KR20100072389A KR20120011913A KR 20120011913 A KR20120011913 A KR 20120011913A KR 1020100072389 A KR1020100072389 A KR 1020100072389A KR 20100072389 A KR20100072389 A KR 20100072389A KR 20120011913 A KR20120011913 A KR 20120011913A
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정승우
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정승우
이승윤
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Abstract

PURPOSE: An air conditioning system of a clean room using a minute jet nozzle is provided to obtain an effect preventing environmental pollution and energy saving because a heat source for a humidification is not needed. CONSTITUTION: An air conditioning system of a clean room using a minute jet nozzle comprises a resonator, a supply air duct, a return air duct(120), and a nozzle array(130). The resonator supplies an air circulating function by installing outside of the clean room. The supply air duct and return air duct are extended to the clean room, thereby providing a path for the circulation. The nozzle array installed inside of the return air duct comprises a plurality of the minute jet nozzles minutely jetting water by supplied water and air.

Description

미세분사노즐을 이용한 클린룸의 공조 시스템{Air conditioning system of clean room using minute ejection nozzle}Air conditioning system of clean room using minute ejection nozzle

본 발명은 클린룸의 공조 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 미세분사노즐을 이용한 물 분무를 통하여 클린룸 내부에 대하여 가습이나 냉각 등의 공조기능을 제공하는 클린룸의 공조 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an air conditioning system of a clean room, and more particularly, to an air conditioning system of a clean room that provides an air conditioning function such as humidification or cooling to the inside of the clean room by spraying water using a fine spray nozzle.

반도체 등의 제조공정에 사용되는 클린룸은 항시 청정상태와 더불어 적정 온도 및 습도가 유지되어야 한다.Clean rooms used in manufacturing processes, such as semiconductors, should always be kept clean and at the proper temperature and humidity.

클린룸의 온도 및 습도 조절을 위해 클린룸의 내부는 연중 냉방상태가 요구되며, 이를 위해 통상적으로 클린룸에는 외기를 가열 및 가습하여 클린룸 내부로 공급하는 증기 가습식 보일러가 설치된다.In order to control the temperature and humidity of the clean room, the interior of the clean room is required to be cooled all year round. To this end, the clean room is typically equipped with a steam humidifying boiler that supplies the inside of the clean room by heating and humidifying the outside air.

클린룸의 증기 가습 기술과 관련하여 대한민국 공개특허 제2000-0075177호에는 초순수를 가열 분무시키는 온수 가습기가 개시되어 있다. 상기 공개특허 제2000-0075177호에 따르면 초순수를 비접촉 간접가열 방식으로 가열시킨 후 노즐을 통해 분무함으로써 히터에 의한 초순수의 오염을 줄일 수 있다.In connection with the steam humidification technology of a clean room, Korean Laid-Open Patent Publication No. 2000-0075177 discloses a hot water humidifier for heating and spraying ultrapure water. According to the Patent Publication No. 2000-0075177, it is possible to reduce the contamination of ultrapure water by the heater by heating the ultrapure water in a non-contact indirect heating method and spraying through a nozzle.

그러나, 증기 가습 방식의 공조 시스템은 증기의 생성을 위한 열원의 초기 비용과 런닝 비용이 많이 발생할 뿐만 아니라, 열원의 런닝에 따른 CO2 등으로 인한 환경오염 문제도 발생하여 이에 대한 대책이 요구되고 있다.However, the steam humidification air conditioning system not only incurs an initial cost and a running cost of a heat source for generating steam, but also generates CO 2 according to the heat source running. There is also a problem of environmental pollution caused by such a problem, and a countermeasure is required.

대안으로, 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에는 클린룸 내의 온도 및 습도를 감지하여 규정치 이하일 경우 초미립상태의 초순수를 클린룸 내부에 직접 분무함으로써 증발잠열을 흡수하여 클린룸 내의 온도를 저하시키는 직접분무식 기화가습장치 및 습도제어방법이 개시되어 있다.Alternatively, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2009-0031227 detects temperature and humidity in a clean room and directly sprays ultra-pure water in a clean room to lower the temperature in the clean room by spraying ultra-pure water in a clean state directly into the clean room. A spray vaporization humidifier and a humidity control method are disclosed.

상기 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에 따르면 수증기를 클린룸 내부에 직접 기화 가습하여 필요한 초순수량을 공급함으로써 기존의 공조 시스템에서 요구되는 가습에 필요한 가열부하를 생략하여 운전비용을 절감할 수 있다.According to the Republic of Korea Patent Publication No. 2009-0031227 it is possible to reduce the operating cost by eliminating the heating load required for the humidification required in the existing air conditioning system by supplying the ultra-pure water required by vaporizing the steam directly into the clean room.

그러나, 상기 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에 개시된 바와 같이 클린룸 내부에 직접 수증기를 분무하는 기술은 미처 기화되지 않은 수분이 클린룸 내부의 전기/전자 설비나 반도체 등의 제조품에 직접적으로 접촉하여 설비 고장이나 제품 불량을 유발할 수 있는 취약점이 있다.However, as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2009-0031227, a technique for spraying water vapor directly into a clean room is to contact the manufactured products such as semiconductors, electrical / electronic facilities, or semiconductors without any vaporized water. There are vulnerabilities that can cause equipment failure or product failure.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 가습을 위한 열원이 필요치 않으며, 클린룸 내부에 간접적으로 물을 미세 분무할 수 있는 구조를 가진 클린룸의 공조 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made in consideration of the above problems, and does not require a heat source for humidification, and an object thereof is to provide an air conditioning system of a clean room having a structure capable of finely spraying water indirectly into the clean room. have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 클린룸의 리턴 에어덕트 내에 설치되는 노즐 어레이를 구비한 공조 시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an air conditioning system having a nozzle array installed in a return air duct of a clean room.

즉, 본 발명에 따른 클린룸의 공조 시스템은 클린룸의 외부에 설치되어 공기순환 기능을 제공하는 공조기; 상기 공조기로부터 클린룸으로 연장되어 공기의 순환을 위한 유로를 제공하는 서플라이 에어덕트 및 리턴 에어덕트; 및 상기 리턴 에어덕트 내에 설치되고, 물과 에어를 공급받아 물을 미세분무하는 복수개의 미세분사노즐로 이루어진 노즐 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.That is, the air conditioning system of the clean room according to the present invention is installed outside the clean room to provide an air circulation function; A supply air duct and a return air duct extending from the air conditioner to a clean room to provide a flow path for circulation of air; And a nozzle array installed in the return air duct, the nozzle array comprising a plurality of fine spray nozzles supplied with water and air to finely spray water.

상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 내부를 폭방향으로 가로지르는 물 공급관 및 에어 공급관에 상기 복수개의 미세분사노즐이 일정 간격으로 병렬 연결된 구조를 가지며, 상기 리턴 에어덕트의 높이방향으로 복수개가 배열될 수 있다.The nozzle array has a structure in which the plurality of fine spray nozzles are connected in parallel to the water supply pipe and the air supply pipe that traverse the interior of the return air duct in the width direction at regular intervals, and a plurality of the nozzle arrays are arranged in the height direction of the return air duct. Can be.

상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치되는 것이 바람직하다.The nozzle array may be installed to penetrate both side walls of the return air duct.

상기 클린룸의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고, 공조 시스템에는 상기 모니터링 센서의 출력신호에 따라 상기 노즐 어레이에 공급되는 물의 양을 비례제어하는 한편, 상기 노즐 어레이에 공급되는 에어를 온/오프 제어하는 제어부;가 더 포함될 수 있다.A monitoring sensor for detecting temperature or humidity is installed in the clean room, and an air conditioning system proportionally controls the amount of water supplied to the nozzle array according to an output signal of the monitoring sensor, and is supplied to the nozzle array. The control unit for controlling the on / off air may be further included.

상기 노즐 어레이는 상기 노즐 어레이에서 분무되는 물의 기화거리만큼 상기 공조기와 이격되는 것이 바람직하다.The nozzle array may be spaced apart from the air conditioner by the vaporization distance of water sprayed from the nozzle array.

바람직하게, 상기 미세분사노즐은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무하도록 구성될 수 있다.Preferably, the fine spray nozzle may be configured to spray water to the size of the average particle diameter of 10 ~ 14㎛.

본 발명은 종래의 증기 가습 방식의 공조 시스템과는 달리 가습을 위한 열원이 필요치 않으므로 에너지 절약과 환경오염 방지 효과를 제공할 수 있다.The present invention does not require a heat source for humidification, unlike conventional steam humidification air conditioning system can provide energy saving and environmental pollution prevention effect.

또한, 리턴 에어덕트를 경유하여 물의 미세분무를 수행함으로써 완전히 기화된 수증기를 클린룸 내부로 공급할 수 있는 이점이 있다.In addition, there is an advantage that it is possible to supply the completely vaporized water vapor into the clean room by performing the fine spray of water via the return air duct.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클린룸 공조 시스템의 구성도,
도 2는 도 1에서 노즐 어레이의 구성을 도시한 부분확대 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 노즐 어레이의 설치예를 도시한 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description of the invention given below, serve to further the understanding of the technical idea of the invention. And should not be construed as limiting.
1 is a block diagram of a clean room air conditioning system according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a partially enlarged perspective view illustrating a configuration of a nozzle array in FIG. 1;
3 is a configuration diagram illustrating an installation example of the nozzle array illustrated in FIG. 1.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공조 시스템의 구성도이며, 도 2는 도 1에서 리턴 에어덕트 내에 설치되는 노즐 어레이의 구성도이다.1 is a configuration diagram of an air conditioning system according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a configuration diagram of a nozzle array installed in the return air duct in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클린룸의 공조 시스템은 클린룸(1)의 외부에 설치되는 공조기(100)와, 공조기(100)와 클린룸(1)을 연결하는 서플라이 에어덕트(110) 및 리턴 에어덕트(120)와, 리턴 에어덕트(120) 내에 설치된 노즐 어레이(130)를 포함한다.1 and 2, an air conditioning system of a clean room according to a preferred embodiment of the present invention includes an air conditioner 100 and an air conditioner 100 and a clean room 1 installed outside the clean room 1. And a supply air duct 110 and a return air duct 120 to connect to each other, and a nozzle array 130 installed in the return air duct 120.

공조기(100)는 클린룸(1) 내부로 공기를 공급하는 한편, 클린룸(1) 내부로부터 배기되는 공기를 다시 클린룸(1) 내부로 공급하는 순환 기능을 제공한다. 공조기(100)로는 통상적으로 클린룸의 외부에 설치되는 공조기기가 채용될 수 있다. 필요에 따라 공조기(100)에는 히팅(Heating) 수단이나 쿨링(Cooling) 수단이 구비될 수 있다.The air conditioner 100 supplies air into the clean room 1, and provides a circulation function of supplying air exhausted from the inside of the clean room 1 back into the clean room 1. As the air conditioner 100, an air conditioner that is typically installed outside the clean room may be employed. If necessary, the air conditioner 100 may be provided with a heating means or a cooling means.

서플라이 에어덕트(110)는 공조기(100)로부터 클린룸(1)으로 연장되어 클린룸(1) 내부로 공기를 공급하기 위한 유로를 제공한다.The supply air duct 110 extends from the air conditioner 100 to the clean room 1 to provide a flow path for supplying air into the clean room 1.

리턴 에어덕트(120)는 공조기(100)로부터 클린룸(1)으로 연장되어 클린룸(1)에서 배출되는 공기를 공조기(100)로 리턴(Return)시키는 유로를 제공한다.The return air duct 120 extends from the air conditioner 100 to the clean room 1 to provide a flow path for returning air discharged from the clean room 1 to the air conditioner 100.

노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120) 내부를 가로지르도록 설치되어 공조기(100) 방향으로 물을 미세분무하는 기능을 수행한다. 노즐 어레이(130)는 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과, 상기 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과 연통되는 복수개의 미세분사노즐(133)을 포함한다.The nozzle array 130 is installed to cross the inside of the return air duct 120 to perform a function of spraying water toward the air conditioner 100. The nozzle array 130 includes a water supply pipe 132 and an air supply pipe 131, and a plurality of fine spray nozzles 133 in communication with the water supply pipe 132 and the air supply pipe 131.

본 발명에 있어서 노즐 어레이(130)의 구성은 도면에 도시된 예에 한정되지 않고, 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)에 어레이 형태로 설치되는 복수개의 미세분사노즐(133)에 의해 물을 미세 분무하는 기능을 제공하는 한 다양한 형상이나 구조로 변형될 수 있음은 물론이다. 노즐 어레이(130)에 있어서, 미세분사노즐(133)은 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)에 착탈 가능하게 조립될 수 있으며, 대안으로 상기 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과 일체화된 형태로 제공될 수도 있다.In the present invention, the configuration of the nozzle array 130 is not limited to the example shown in the drawings, and the water is supplied by the plurality of fine spray nozzles 133 installed in an array form in the water supply pipe 132 and the air supply pipe 131. Of course, it can be modified into various shapes or structures as long as it provides a function of fine spraying. In the nozzle array 130, the fine spray nozzle 133 may be detachably assembled to the water supply pipe 132 and the air supply pipe 131, and, alternatively, to the water supply pipe 132 and the air supply pipe 131. It may be provided in an integrated form.

미세분사노즐(133)은 에어 공급관(131)을 통해 공급되는 고압의 에어로 물을 미세분무하는 기능을 제공한다. 통상의 클린룸에 요구되는 물의 기화율이나 가습 성능 등을 고려할 때 미세분사노즐(133)의 노즐 구경은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무할 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다. 이러한 미세분사노즐(133)에는 예컨대, 100~200bar의 고압 에어가 공급되는 것이 바람직하나, 본 발명이 이러한 예에 한정되지 않음은 물론이다.The fine spray nozzle 133 provides a function of finely spraying water with high pressure air supplied through the air supply pipe 131. In consideration of the vaporization rate, humidification performance, and the like of water required for a normal clean room, the nozzle diameter of the fine spray nozzle 133 is preferably designed to spray water with an average particle diameter of 10 to 14 µm. It is preferable that the high-pressure air of, for example, 100 to 200 bar is supplied to the fine spray nozzle 133, but the present invention is not limited to this example.

도 3에 도시된 바와 같이 노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120)의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치된다. 이러한 구성에 의하면 리턴 에어덕트(120)의 바깥에서 노즐 어레이(130)의 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)을 통하여 물과 에어를 편리하게 공급할 수 있다. 대안으로, 노즐 어레이(130)는 그 양단이 리턴 에어덕트(120)의 내측면에 고정되는 형태로 설치될 수도 있다.As shown in FIG. 3, the nozzle array 130 is installed to penetrate both side walls of the return air duct 120 facing each other. According to this configuration, water and air can be conveniently supplied through the water supply pipe 132 and the air supply pipe 131 of the nozzle array 130 outside the return air duct 120. Alternatively, the nozzle array 130 may be installed in such a manner that both ends thereof are fixed to the inner side surface of the return air duct 120.

노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120)의 높이방향으로 복수개가 일정 간격으로 배치된다. 이러한 배열 구조에 따르면 클린룸(1) 내부로 공급되는 물 분무량의 선택폭을 충분히 크게 확보할 수 있다.The nozzle array 130 is arranged in a plurality of predetermined intervals in the height direction of the return air duct 120. According to this arrangement structure, it is possible to secure a sufficiently large selection width of the water spray amount supplied into the clean room 1.

비록 도면에는 도시되지 않았으나, 클린룸(1)의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고, 공조 시스템에는 모니터링 센서의 출력신호에 따라 노즐 어레이(130)의 동작을 제어하는 제어부가 포함된다. 제어부는 미세분사노즐(133)에 공급되는 물의 양에 대해서는 통상의 비례 제어법을 적용하고, 미세분사노즐(133)에 공급되는 에어에 대해서는 온(On)/오프(Off) 제어법을 적용하여 노즐 어레이(130)를 제어한다.Although not shown in the drawing, a monitoring sensor for detecting temperature or humidity is installed in the clean room 1, and a control unit for controlling the operation of the nozzle array 130 according to an output signal of the monitoring sensor is provided in the air conditioning system. Included. The control unit applies a normal proportional control method to the amount of water supplied to the fine jet nozzle 133, and applies an on / off control method to the air supplied to the fine jet nozzle 133 to apply the nozzle array. Control 130.

공조기(100)나 클린룸(1) 내부의 젖음 방지를 위하여 노즐 어레이(130)에서 분무된 물은 충분히 기화된 상태에서 공조기(100) 내부의 흡기 팬으로 유입되어야 한다. 이를 위해 노즐 어레이(130)는 노즐 어레이(130)에서 분무되는 물의 기화거리만큼 공조기(100)와 간격을 두고 설치된다. 여기서, 물의 기화거리는 노즐 어레이(130)에서 분무된 물의 이동속도와 물의 기화시간의 곱으로 표현될 수 있다. 상기 노즐 어레이(130)에서 분무된 물의 이동속도는 리턴 에어덕트(120)의 전방 또는 앞단에 위치하는 배기 팬과 공조기(100) 내부의 흡기 팬의 회전속도에 의해 결정된다. 상기 물의 기화시간은 물의 평균입경과 리턴 에어덕트(120)의 내부온도 및 습도에 의해 결정된다.In order to prevent the wetting of the air conditioner 100 or the clean room 1, the water sprayed from the nozzle array 130 should flow into the intake fan inside the air conditioner 100 in a sufficiently vaporized state. To this end, the nozzle array 130 is installed at intervals from the air conditioner 100 by the vaporization distance of water sprayed from the nozzle array 130. Here, the vaporization distance of the water may be expressed as the product of the moving speed of the water sprayed from the nozzle array 130 and the vaporization time of the water. The movement speed of the water sprayed from the nozzle array 130 is determined by the rotational speed of the exhaust fan located in front or front of the return air duct 120 and the intake fan in the air conditioner 100. The evaporation time of the water is determined by the average particle diameter of the water and the internal temperature and humidity of the return air duct 120.

리턴 에어덕트(120) 내부에 있어서 노즐 어레이(130)와 공조기(100) 사이에는 먼지 등 이물질이나 습기가 공조기(100) 내부로 유입되는 것을 차단하기 염화수지필터(140)가 개재되는 것이 바람직하다.In the return air duct 120, the chloride resin filter 140 may be interposed between the nozzle array 130 and the air conditioner 100 to block foreign substances such as dust or moisture from entering the air conditioner 100. .

상기와 같은 구성을 갖는 클린룸의 공조 시스템은 클린룸(1) 내부에서 배출되어 공조기(100)로 리턴되는 공기에 대하여 물을 미세 분무하도록 동작한다. 즉, 리턴 에어덕트(120) 내에 설치된 노즐 어레이(130)에 의해 공조기(100) 방향으로 물의 미세 분무가 수행되고, 완전히 기화된 상태로 공조기(100)에 유입된 수증기는 다시 서플라이 에어덕트(110)를 통해 클린룸(1) 내부로 공급되어 클린룸(1) 내부의 온도와 습도를 제어하는 작용을 하게 된다.The air conditioning system of the clean room having the configuration as described above operates to finely spray water on the air discharged from the inside of the clean room 1 and returned to the air conditioner 100. That is, fine spraying of water is performed in the direction of the air conditioner 100 by the nozzle array 130 installed in the return air duct 120, and the water vapor introduced into the air conditioner 100 in a completely vaporized state is again supplied to the supply air duct 110. It is supplied into the clean room (1) through the) to act to control the temperature and humidity inside the clean room (1).

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described above by means of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and will be described below by the person skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of the claims.

1: 클린룸 100: 공조기
110: 서플라이 에어덕트 120: 리턴 에어덕트
130: 노즐 어레이 131: 에어 공급관
132: 물 공급관 133: 미세분사노즐
140: 염화수지필터1: clean room 100: air conditioner
110: supply air duct 120: return air duct
130: nozzle array 131: air supply pipe
132: water supply pipe 133: fine spray nozzle
140: chloride resin filter

Claims (6)

클린룸에 설치되는 공조 시스템에 있어서,
클린룸의 외부에 설치되어 공기순환 기능을 제공하는 공조기;
상기 공조기로부터 클린룸으로 연장되어 공기의 순환을 위한 유로를 제공하는 서플라이 에어덕트 및 리턴 에어덕트; 및
상기 리턴 에어덕트 내에 설치되고, 물과 에어를 공급받아 물을 미세분무하는 복수개의 미세분사노즐로 이루어진 노즐 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.In the air conditioning system installed in the clean room,
An air conditioner installed outside the clean room to provide an air circulation function;
A supply air duct and a return air duct extending from the air conditioner to a clean room to provide a flow path for circulation of air; And
And a nozzle array installed in the return air duct, the nozzle array comprising a plurality of fine spray nozzles supplied with water and air to spray water. 제1항에 있어서,
상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 내부를 폭방향으로 가로지르는 물 공급관 및 에어 공급관에 상기 복수개의 미세분사노즐이 일정 간격으로 병렬 연결된 구조를 가지며,
상기 노즐 어레이가 상기 리턴 에어덕트의 높이방향으로 복수개가 배열된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.The method of claim 1,
The nozzle array has a structure in which the plurality of fine spray nozzles are connected in parallel at regular intervals to a water supply pipe and an air supply pipe that traverse the interior of the return air duct in a width direction.
And a plurality of nozzle arrays are arranged in a height direction of the return air duct. 제2항에 있어서,
상기 노즐 어레이가 상기 리턴 에어덕트의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.The method of claim 2,
And the nozzle array penetrates opposite side walls of the return air duct. 제2항에 있어서,
상기 클린룸의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고,
상기 모니터링 센서의 출력신호에 따라 상기 노즐 어레이에 공급되는 물의 양을 비례제어하는 한편, 상기 노즐 어레이에 공급되는 에어를 온/오프 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.The method of claim 2,
Inside the clean room, a monitoring sensor for detecting temperature or humidity is installed,
And a control unit configured to proportionally control the amount of water supplied to the nozzle array according to the output signal of the monitoring sensor, and to control on / off air supplied to the nozzle array. . 제1항에 있어서,
상기 노즐 어레이는 상기 노즐 어레이에서 분무되는 물의 기화거리만큼 상기 공조기와 이격된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.The method of claim 1,
And the nozzle array is spaced apart from the air conditioner by a vaporization distance of water sprayed from the nozzle array. 제1항에 있어서,
상기 미세분사노즐은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.The method of claim 1,
The fine spray nozzle is an air conditioning system of a clean room, characterized in that to spray water in the size of an average particle diameter of 10 ~ 14㎛.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160059145A (en) * 2014-11-18 2016-05-26 주식회사 원방테크 Plenum moisturizing system
KR102227573B1 (en) 2020-10-11 2021-03-12 김도영 Ceiling embedded fine dust and virus removal device
KR102256116B1 (en) 2020-10-11 2021-05-25 김도영 Sterilization and deodorization air conditioner
KR102277573B1 (en) 2020-10-11 2021-07-19 김도영 Stand-type fine dust and virus removal device
KR20210133368A (en) * 2020-04-28 2021-11-08 환경에너지솔루션 주식회사 Gas condenser with automatic washing apparatus

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