KR20110128464A - Filters employing porous electrodes coated with insulating materials - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유전체로 구성된 여과재의 양면에 유연성이 뛰어난 기공성 전극을 형성하고, 상기 기공성 전극 사이에 일정한 크기의 전압을 인가하여 유전체 여과재를 전기적으로 분극함으로써 정전기적으로 활성화시킨 공기정화용 필터에 있어서,The present invention provides an air purifying filter which electrostatically activates by forming a porous electrode having excellent flexibility on both sides of a filter material composed of a dielectric material and applying a voltage of a predetermined magnitude between the porous electrodes to electrically polarize the dielectric filter material. ,
상기 전극사이의 접촉으로 인한 단락문제를 해결하면서도 전기장의 세기를 저하시키지 않기 위해 상기 유연성이 뛰어난 기공성 전극의 표면을 부분적으로 절연물질로 코팅한 전극을 적용한 공기정화용 필터에 관한 것이다.The present invention relates to an air purifying filter applying an electrode partially coated with an insulating material on the surface of the porous porous electrode having excellent flexibility in order to solve the short circuit problem due to contact between the electrodes and not reduce the strength of the electric field.
종래 공기정화용 필터는 유전체 섬유 등의 여과재를 메쉬스크린(mesh screen)와 같은 금속망 형태의 전극 사이에 위치시키고 상기 전극 사이에 일정크기의 전압을 인가하는 방식이 적용되어왔다. 상기 금속망 형태의 전극은 평면 형상의여과재에 주로 적용되어 왔으며, 여과면적을 보다 증가시키기 위하여 절곡된 형태의 여과재를 사용하기도 하였으나, 필터의 절곡 간격(W)이 넓은 형태로만 적용되었다. 이러한 금속망 형태의 전극이 적용된 필터는 주로 건물 또는 지하역사 공조 시스템의 전처리용 필터로서 사용되었다.In the conventional air purification filter, a filter material such as a dielectric fiber is placed between electrodes of a metal mesh type such as a mesh screen and a voltage of a predetermined size is applied between the electrodes. The metal mesh type electrode has been mainly applied to a planar filter material, and in order to further increase the filter area, a bent filter medium has been used, but the bending interval (W) of the filter is only applied to a wide shape. This metal mesh type electrode is mainly used as a filter for pretreatment of a building or underground air conditioning system.
금속망 전극이 적용된 필터의 경우 두께가 최소 5mm 이상의 매우 두꺼운 필터가 사용되었는데, 이는 금속망 전극의 성형성이 나쁘기 때문에 전극간의 접촉으로 인한 전기적 단락문제를 예방하기 위한 수단으로서 두꺼운 필터를 사용하여 왔다.In the case of the filter with the mesh electrode, a very thick filter having a thickness of at least 5 mm was used. Since the formability of the mesh electrode is poor, a thick filter has been used as a means for preventing an electrical short circuit caused by contact between the electrodes. .
종래의 금속망 전극 적용 필터는 고효율 필터에 필수적인 수 mm 수준의 촘촘한 절곡간격(W)을 갖는 절곡필터에 적용하는 것이 불가능하기 때문에 미세 먼지입자의 제거효율이 낮고 전극간의 접촉으로 인한 전기적 단락문제 등에도 해결방안이 없어 적용범위의 한계를 갖고 있는 문제가 있다.The conventional metal mesh electrode filter cannot be applied to a bending filter having a close bending width (W) of several millimeters, which is essential for a high efficiency filter. There is also a problem that there is a limit of coverage because there is no solution.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로서 종래의 금속망 전극을 대신하여 유연성이 우수하며 공기 저항이 낮은 기공성 전극을 유전체 여과재의 양면에 형성하고, 상기 기공성 전극 사이에 일정한 크기의 전압을 인가하여 미세 먼지입자의 제거효율을 향상시킬 수 있는 공기정화용 필터를 제공함에 있어서, 상기 기공성 전극 표면은 부분적으로 절연성 물질을 코팅하여 전극 표면에서의 전기장 저하 현상이 발생하지 않고 일정한 세기의 전기장을 유지할 수 있도록 하는 것에 그 목적이 있다.The present invention is designed to solve the above problems of the prior art, forming a porous electrode having excellent flexibility and low air resistance on both sides of the dielectric filter material in place of the conventional metal mesh electrode, and has a constant size between the porous electrodes. In providing an air purifying filter capable of improving the removal efficiency of fine dust particles by applying a voltage of, the porous electrode surface is partially coated with an insulating material so that the electric field deterioration phenomenon does not occur on the surface of the electrode. The purpose is to maintain the electric field of the.
본 발명은 유전체로 구성되어 처리기체가 투과하면서 미세입자가 포집될 수 있는 유전상수 1.1~20 범위의 유전체 여과재; 상기 유전체 여과재의 양면에 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 기공성 전극; 및 상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 기공성 전극에 전압을 인가할 수 있는 전원;을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터를 제공한다. 이 때, 상기 유전체 여과재의 양면 중 어느 일면은 표면을 절연성 물질로 코팅하지 않을 수도 있다. The present invention comprises a dielectric filter material having a dielectric constant ranging from 1.1 to 20 in which microparticles can be collected while the treatment gas is permeated; A porous electrode formed on both surfaces of the dielectric filter material and coated with 5 to 99% of the surface with an insulating material; And a power source capable of applying a voltage to the porous electrode so as to electrically polarize the dielectric filter material to electrostatically activate the dielectric filter medium. At this time, either side of both surfaces of the dielectric filter medium may not be coated with an insulating material.
또한, 본 발명은 유전체로 구성되어 처리기체가 투과하면서 미세입자가 포집될 수 있는 유전상수 1.1~20 범위의 유전체 여과재; 상기 유전체 여과재의 양면에 코팅 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 전도성 물질로 이루어진 전도층; 및 상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 전도층에 전압을 인가할 수 있는 전원;을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터를 제공한다. 이 때, 상기 유전체 여과재의 양면 중 어느 일면은 표면을 절연성 물질로 코팅하지 않을 수도 있다.In addition, the present invention comprises a dielectric filter material of the dielectric constant ranging from 1.1 to 20 that is composed of a dielectric material that can be collected while the permeation process gas fine particles; A conductive layer formed on both sides of the dielectric filter material and made of a conductive material coated with an insulating material of 5 to 99% of the surface thereof; And a power source capable of applying a voltage to the conductive layer so as to electrically polarize the dielectric filter material to electrostatically activate the dielectric filter medium. At this time, either side of both surfaces of the dielectric filter medium may not be coated with an insulating material.
상기 전도층은 카본블랙, 탄소나노튜브, 카본나노와이어, 카본파이버 및 흑연으로 이루어진 카본계 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 전도성 물질로 이루어진다.The conductive layer is made of at least one conductive material selected from the group consisting of carbon black, carbon nanotubes, carbon nanowires, carbon fibers, and graphite.
또한, 본 발명은 유전체로 구성되어 처리기체가 투과하면서 미세입자가 포집될 수 있는 유전상수 1.1~20 범위의 유전체 여과재; 상기 유전체 여과재의 일면에 전도성 물질을 코팅하여 형성된 전도층; 상기 전도층의 이면에 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 기공성 전극; 및 상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 기공성 전극에 전압을 인가할 수 있는 전원;을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터를 제공한다. 이때, 상기 전도층은 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅할 수 있는 것도 포함한다. In addition, the present invention comprises a dielectric filter material of the dielectric constant ranging from 1.1 to 20 that is composed of a dielectric material that can be collected while the permeation process gas fine particles; A conductive layer formed by coating a conductive material on one surface of the dielectric filter material; A porous electrode formed on the rear surface of the conductive layer and coated with 5 to 99% of the surface with an insulating material; And a power source capable of applying a voltage to the porous electrode so as to electrically polarize the dielectric filter material to electrostatically activate the dielectric filter medium. In this case, the conductive layer includes an insulating material that can coat 5 to 99% of the surface.
상기 기공성 전극 또는 전도층 표면의 5~99%를 절연성 물질로 부분적으로 코팅하는 것은 전극 사이의 접촉 등으로 인한 전기적 단락문제를 해결함과 동시에 절연성 물질로 표면 전체를 완전하게 코팅하는 경우 발생할 수 있는 전기장 세기의 저하문제를 방지할 수 있고 일정한 세기의 전기장을 유지할 수 있기 때문인 것으로, 상기 기공성 전극 또는 전도층 표면에 코팅된 절연성 물질이 상기 범위를 벗어날 경우 전극사이의 접촉에 의한 전기적 단락문제가 발생할 수 있다. 상기 절연성 물질이 전극 표면에 코팅되는 면적은 보다 바람직하게는 80~97%이다. 이 때, 전극 표면에 형성되는 절연성 물질 코팅층의 두께는 1~500㎛ 범위 내에서 조절될 수 있다. Partially coating 5 to 99% of the surface of the porous electrode or conductive layer with an insulating material may occur when the entire surface is completely coated with the insulating material while solving an electrical short circuit caused by contact between the electrodes. This is because it is possible to prevent a problem of deterioration of the electric field strength and maintain a constant electric field, and an electrical short circuit caused by contact between electrodes when the insulating material coated on the surface of the porous electrode or the conductive layer is out of the above range. May occur. The area in which the insulating material is coated on the electrode surface is more preferably 80 to 97%. At this time, the thickness of the insulating material coating layer formed on the electrode surface can be adjusted within the range of 1 ~ 500㎛.
상기 유전체 여과재는 유전상수가 1.1~20 범위인 것을 사용하는 것이 바람직하며, 통상적으로 사용하는 것이라면 어느 것이든 가능하다. 상기 유전체 여과재는 합성유기고분자, 천연유기고분자 및 무기재료를 포함하여 섬유상 또는 입자상의 유전체 여과재를 사용할 수 있으며, 이때 유전체 여과재의 유전상수의 범위는 1.1~20인 것이 바람직하다. 상기 합성유기고분자로는 폴리카보네이트(POLYCARBONATE), 폴리에스테르(POLYESTER), 폴리에틸렌(POLYETHYLENE), 폴리아미드(POLYAMIDE), 폴리프로필렌(POLYPROPYLENE), 폴리스티렌(POLYSTYRENE), 폴리테트라플루오르에틸렌(POLYTETRA FLUOROETHYLENE), 폴리비닐알콜(POLYVINYL ALCOHOL) 및 폴리비닐클로라이드(POLYVINYL CHLORIDE) 등을, 천연유기고분자로는 셀룰로오스(CELLULOSE), 종이(PAPER(DRY)), 코튼(COTTON) 및 실크(SILK) 등을, 무기재료로는 글라스(Glass), 실리카(Silica), 카본(Carbon) 및 알루미나(Alumina) 등을 포함하여 사용할 수 있다.The dielectric filter medium is preferably used in the dielectric constant range of 1.1 to 20, any one can be used as usual. The dielectric filter medium may be a fibrous or particulate dielectric filter medium including synthetic organic polymers, natural organic polymers, and inorganic materials, wherein the dielectric constant of the dielectric filter medium is preferably in the range of 1.1 to 20. The synthetic organic polymer is polycarbonate (POLYCARBONATE), polyester (POLYESTER), polyethylene (POLYETHYLENE), polyamide (POLYAMIDE), polypropylene (POLYPROPYLENE), polystyrene (POLYSTYRENE), polytetrafluoroethylene (POLYTETRA FLUOROETHYLENE), poly Polyvinyl alcohol (POLYVINYL ALCOHOL) and polyvinyl chloride (POLYVINYL CHLORIDE) are used as natural organic polymers such as cellulose (CELLULOSE), paper (PAPER (DRY)), cotton (COTTON) and silk (SILK). The glass may include glass, silica, carbon, alumina, or the like.
상기 기공성 전극은 유연성이 우수하며 다공성의 기공을 형성할 수 있는 전도성 섬유의 직포 또는 부직포 형태인 것을 특징으로 한다. 이러한 형태의 기공성 전극은 여과면적을 극대화하기 위해 매우 촘촘한 절곡간격(W)을 갖도록 설계된 고효율 절곡형 필터에 적용이 가능하다.The porous electrode is excellent in flexibility and is characterized in that the woven or non-woven form of the conductive fiber capable of forming porous pores. This type of porous electrode can be applied to a highly efficient bent filter designed to have a very narrow bending interval (W) to maximize the filtration area.
상기 전도성 섬유는 카본섬유 또는 금속섬유를 포함하여, 금속섬유는 스테인레스 스틸, 구리, 니켈 등의 금속을 사용할 수 있다. The conductive fiber may include carbon fiber or metal fiber, and the metal fiber may use metal such as stainless steel, copper, or nickel.
상기 기공성 전극은 비전도성 섬유의 직포 또는 부직포에 전도성 물질을 코팅하여 사용할 수 있다. 상기 전도성 물질을 코팅하는 방법은 무전해 도금법, 화학적 또는 물리적 증착법, 금속나노입자 기상합성에 의한 직접 코팅법, 졸겔 액상 합성법, 분무법, 함침법 및 전도성입자 페이스트 페인팅법 등을 포함한다. The porous electrode may be used by coating a conductive material on the woven or nonwoven fabric of the non-conductive fiber. The method of coating the conductive material may include an electroless plating method, a chemical or physical vapor deposition method, a direct coating method by metal nanoparticle vapor phase synthesis, a sol-gel liquid phase synthesis method, a spray method, an impregnation method, and a conductive particle paste painting method.
본 발명에 있어서, 전극 표면에 절연성 물질을 코팅하는 방법은 절연성 물질이 포함된 용액을 전극 표면에 직접을 분무하여 코팅한 후 건조하는 방법, 고분자수지 거품을 전극표면에 코팅하면서 발포시켜 건조하는 방법 및 다습한 조건하에 고분자 용액을 노출시킴으로써 용액 위에 응축된 마이크론 크기의 액체 방울 자국을 다공성 구조의 기공으로 활용하는 응축현상기술(breath figure technique)을 이용하여 다공성 고분자막을 코팅하는 방법 등을 포함한다.In the present invention, the method of coating the insulating material on the electrode surface is a method of spraying and coating a solution containing the insulating material directly on the electrode surface, followed by drying, foaming while coating the polymer resin foam on the electrode surface to dry And coating a porous polymer membrane using a breath figure technique that utilizes a micron-sized liquid droplet trace as a pore of a porous structure by exposing the polymer solution under humid conditions.
상기 기공성 전극은 기공이 형성된 유연하고 일정한 기공률을 갖는 전도성 필름을 사용할 수 있으며, 상기 전도성 필름은 통상적으로 사용되는 것이라면 어느 것을 사용해도 좋다. The porous electrode may use a conductive film having pores in which a flexible and constant porosity is formed, and the conductive film may be used as long as it is commonly used.
또한, 상기 기공성 전극은 비전도성이면서 유연한 기공성 필름을 사용할 수 있는데, 이때 기공성 필름은 표면에 전도성 물질을 코팅하여 사용한다. 상기 전도성 물질을 코팅하는 방법은 무전해 도금법, 화학적 또는 물리적 증착법, 금속나노입자 기상합성에 의한 직접 코팅법, 졸겔 액상 합성법, 분무법, 함침법 및 전도성 입자 페이스트 페인팅법 등을 포함한다.In addition, the porous electrode may be a non-conductive and flexible porous film, wherein the porous film is used by coating a conductive material on the surface. The method of coating the conductive material may include an electroless plating method, a chemical or physical vapor deposition method, a direct coating method by metal nanoparticle vapor phase synthesis, a sol-gel liquid phase synthesis method, a spray method, an impregnation method, and a conductive particle paste painting method.
상기 필름으로 구성된 기공성 전극은 전극 사이의 접촉 등으로 인한 전기적 단락 문제를 해결하기 위하여 표면에 추가로 절연성 물질을 코팅할 수 있다. 상기 표면에 절연성 물질을 코팅하는 방법은 절연성 물질의 용액에 함침하는 방법 또는 절연성 물질을 분무하여 코팅하는 방법 등을 포함한다.The porous electrode composed of the film may further coat an insulating material on the surface in order to solve the electrical short-circuit problem due to contact between the electrodes. The method of coating the insulating material on the surface includes a method of impregnating a solution of the insulating material, a method of spraying and coating the insulating material and the like.
상기와 같이 유연성이 우수한 본 발명의 기공성 전극이 적용된 공기정화용 필터는 여과면적을 증가시키기 위하여 임의의 절곡간격(W), 절곡깊이(L)를 갖는 절곡형 필터로 제작될 수 있다.구체적으로는 1~300 mm 범위의 절곡간격(W) 및 5~2000 mm 범위의 절곡깊이(L), 절곡깊이(L)에 대한 절곡간격(W)의 크기비(W/L)가 0.01~5 범위인 절곡형 필터가 보다 바람직하다.As described above, the air filtering filter to which the porous electrode of the present invention having excellent flexibility is applied may be manufactured as a bent filter having an arbitrary bending interval (W) and bending depth (L) in order to increase the filtration area. Is the bending interval (W) in the range of 1 to 300 mm and the bending depth (L) in the range of 5 to 2000 mm, and the size ratio (W / L) of the bending interval (W) to the bending depth (L) is in the range of 0.01 to 5 A phosphorus bent filter is more preferable.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 절연막 코팅 전극 적용 필터는 유전체 여과재를 정전기적으로 활성화시킴으로써 유입되는 미세 먼지입자의 제거효율을 향상시킬 수 있고, 전극 간의 접촉으로 인한 전기적 단락을 방지할 수 있으며 특히 절연성 물질을 국소적으로 코팅함으로써 전극 표면에서의 전기장 세기 저하현상이 발생하지 않도록 할 수 있는 장점이 있다. 또한, 동일한 미세 먼지입자 제거효율을 기준으로 기존 필터에 비해 공기저항 특성인 압력 손실을 큰 폭으로 줄일 수 있고, 유연한 기공성 전극을 사용함으로써 전극을 여과재 양면에 적용하더라도 전극과 여과재를 함께 절곡할 수 있기 때문에 대면적 절곡형 필터 제작이 가능하다.As described above, the insulating film coating electrode applied filter according to the present invention can improve the removal efficiency of the fine dust particles introduced by electrostatically activating the dielectric filter medium, can prevent the electrical short circuit due to contact between the electrodes In particular, by locally coating an insulating material, there is an advantage that the electric field strength reduction phenomenon does not occur on the electrode surface. In addition, the pressure loss, which is an air resistance characteristic, can be greatly reduced compared to the existing filter based on the same fine dust particle removal efficiency.By using the flexible porous electrode, the electrode and the filter medium can be bent together even when the electrode is applied to both sides of the filter medium. As a result, a large-area bendable filter can be manufactured.
도 1은 본 발명에 따른 필터의 단면을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 필터에서 외부에서 인가된 전기장으로 인해 분극된 유전체 섬유 여과재의 단면을 보여주는 개념도이다.
도 3은 상기 도 2에서 보이는 섬유 한 개를 분리하여 나타낸 것으로, 해당 섬유 주변에 형성된 전기장 및 유선의 형상, 그리고 전기적으로 대전된 먼지입자가 받은 쿨롱 정전기력(Coulombic Force)을 나타낸 것이다.
도 4는 상기 도 2에서 보이는 섬유 한 개를 분리하여 나타낸 것으로, 섬유 및 먼지입자의 분극으로 인해 먼지입자가 받은 분극 정전기력을 나타낸 것이다.
도 5는 일정한 거리(h)의 간극을 가진 전극사이에 일정한 전압(Vo)을 인가한 것을 나타낸 것이다.
도 6은 전극표면이 절연물질로 코팅된 경우와 코팅되지 않은 경우의 전극사이 거리에 따른 전압의 변화 특성을 나타낸 것이다.
도 7은 전극 표면에 절연물질이 부분적으로 코팅된 경우와 코팅되지 않은 경우의 전극사이 거리에 따른 전압의 변화 특성을 나타낸 것이다.
도 8은 절연막 코팅 전극 적용 필터의 개념도로, 평면형 필터의 단면을 나타낸 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 기공성 전극 적용 공기정화용 필터의 개념도로, 절곡형 필터의 단면을 나타낸 것이다.
도 10은 종래 금속망 전극을 적용한 절곡 필터(상부 그림)와 본 발명에 따른 절연막 코팅 전극을 적용한 절곡 필터(하부 그림)를 나타낸 것이다.
도 11은 기공성 전극 적용 공기정화용 필터의 한 실시예로서 유전체 섬유부직포 여과재와 본 발명에 따른 절연막 코팅 섬유부직포 전극을 분리하여 나타낸 것이다.
도 12는 유전체 섬유부직포 여과재, 본 발명에 따른 절연막 코팅 섬유부직포 전극으로 구성된 절연막 코팅 전극 적용 필터를 나타낸 것이다.
도 13은 절연막이 부분적으로 형성된 섬유부직포 전극 표면의 모습을 확대하여 나타낸 것이다.
도 14는 절연성 물질이 부분적으로 코팅된 섬유부직포 전극을 구성하는 섬유를 확대하여 나타낸 것이다.
도 15는 절연막이 부분적으로 형성된 섬유부직포 전극을 구성하는 개별섬유를 확대하여 나타낸 것이다.
도 16은 전도성 물질이 코팅된 유연한 기공성 필름 전극의 전도성 물질이 코팅된 면을 절연성 물질로 부분적으로 코팅한 것을 나타낸 것이다.
도 17은 상기 도 16의 해체도이다.
도 18은 본 발명에 따른 절연막 코팅 전극 적용 필터가 덕트에 설치된 실시예를 나타낸 것이다.
도 19은 본 발명에 따른 임의의 절곡간격(W) 및 절곡깊이(L)를 갖는 기공성 전극 적용 절곡형 공기정화용 필터를 나타낸 것이다.1 shows a cross section of a filter according to the invention.
2 is a conceptual diagram showing a cross section of a dielectric fiber filter material polarized due to an externally applied electric field in a filter according to the present invention.
FIG. 3 shows a single fiber shown in FIG. 2 and shows a shape of an electric field and a streamline formed around the fiber, and a Coulombbic force received by electrically charged dust particles.
Figure 4 shows one of the fibers shown in Figure 2 separated, showing the polarization electrostatic force received by the dust particles due to the polarization of the fibers and dust particles.
FIG. 5 shows that a constant voltage Vo is applied between electrodes having a constant distance h.
Figure 6 shows the voltage change characteristics according to the distance between the electrode when the electrode surface is coated with an insulating material and when not coated.
FIG. 7 illustrates a change in voltage according to a distance between electrodes when an insulating material is partially coated on an electrode surface and when the electrode is not coated.
8 is a conceptual diagram of an insulating film coating electrode applied filter, showing a cross section of a planar filter.
9 is a conceptual diagram of a filter for air purification applying a porous electrode according to the present invention, showing a cross section of a bent filter.
10 shows a bending filter (upper figure) applying a conventional metal mesh electrode and a bending filter (lower figure) applying an insulating film coating electrode according to the present invention.
FIG. 11 shows a dielectric fiber nonwoven filter medium and an insulating film coated fiber nonwoven electrode according to the present invention as an embodiment of a filter for air purification using a porous electrode.
12 shows an insulating film coating electrode application filter composed of a dielectric fiber nonwoven filter material and an insulating film coating fiber nonwoven electrode according to the present invention.
FIG. 13 is an enlarged view of the surface of a fiber nonwoven fabric electrode on which an insulating film is partially formed.
FIG. 14 is an enlarged view of fibers constituting the fibrous nonwoven electrode partially coated with an insulating material.
FIG. 15 is an enlarged view of individual fibers constituting the fibrous nonwoven electrode having an insulating film partially formed thereon.
FIG. 16 illustrates a partial coating of the conductive material coated surface of the flexible porous film electrode coated with the conductive material with an insulating material.
FIG. 17 is a disassembled view of FIG. 16.
Figure 18 shows an embodiment in which the insulating film coating electrode applied filter according to the present invention is installed in the duct.
Figure 19 shows a porous air applied filter for a porous electrode having a certain bending interval (W) and bending depth (L) according to the present invention.
이하, 본 발명을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 유전체 여과재의 양면에 전극을 형성한 것으로 처리기체 유동 방향으로 처리기체의 유입면, 유전체 섬유여과재 및 처리기체 유출면의 순으로 구성되며, 상기 전극에 일정한 전압을 인가한 형태의 정전활성 필터를 나타낸 것이다. 상기 여과재의 두께를 'd', 여과재 사이에 인가된 전압을 ‘V0'라 했을 때, 여과재에 인가되는 평균 전기장의 세기는 E0=V0/d이다.1 shows electrodes formed on both sides of a dielectric filter material, and includes an inflow surface of a processing gas, a dielectric fiber filter material, and a processing gas outlet surface in a flow direction of a processing gas, and a static voltage is applied to the electrode. It shows a filter. When the thickness of the filter medium is 'd' and the voltage applied between the filter mediums is 'V 0 ', the intensity of the average electric field applied to the filter medium is E 0 = V 0 / d.
도 2는 유전체 여과재 각각의 섬유가 그림에 수직방향으로 정렬되었다고 가정하였을 경우 여과재 외부에 인가된 전기장으로 인해 분극된 유전체 섬유의 단면을 보여주는 개념도이다. 이때, 상기 E0의 크기를 갖는 전기장이 유동의 방향과 평행하게 인가될 경우, 유동과 함께 유입되어 필터 내부를 통과하는 먼지입자에 작용하는 정전기력은 크게 두 가지로 구분되는데, 첫 번째로 도 3에서 보이는 바와 같이 도 2에서 보이는 섬유 한 개만을 분리하여 나타내어 보면, 상기 섬유 주변에 형성된 전기장 및 유선의 형상 및 전기적으로 대전된 먼지입자가 받는 쿨롱 정전기력(Coulombic Force)을 확인할 수 있다. 상기 정전기력은 유입되는 먼지입자가 q만큼 대전되었고, 필터 내부 어느 한 지점에서의 전기장을 E라 했을 경우, 먼지입자는 쿨롱력(Coulombic Force)이라는 정전기력 F=qE를 받게 되며, 이러한 쿨롱력의 방향은 전기장, E의 방향을 따르게 된다. 도 3의 점선은 외부전기장 및 분극된 섬유로 인한 전기장으로 인해 섬유 주변에 형성된 전기장의 패턴을 나타낸 것이며, 실선은 섬유 주위의 유동장을 나타내는 유선을 보여준다.FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating a cross section of a dielectric fiber polarized due to an electric field applied to the outside of the filter medium when the fibers of each of the dielectric filter media are vertically aligned in the drawing. At this time, when the electric field having the size of E 0 is applied in parallel to the direction of flow, the electrostatic force applied to the dust particles flowing with the flow through the filter is divided into two, firstly, FIG. As shown in FIG. 2, only one fiber shown in FIG. 2 is separated and the shape of the electric field and the streamline formed around the fiber and the Coulombbic force received by the electrically charged dust particles can be confirmed. The electrostatic force is charged by the amount of dust particles to the q, and when the electric field at any point inside the filter is called E, the dust particles are subjected to the electrostatic force F = qE of Coulombbic force, the direction of this Coulomb force Is in the direction of the electric field, E. The dotted line in FIG. 3 shows the pattern of the electric field formed around the fiber due to the external electric field and the electric field due to the polarized fiber, and the solid line shows the streamline representing the flow field around the fiber.
상기 먼지입자에 작용하는 두 번째 정전기력은 도 4에서 볼 수 있듯이, 필터에 인가된 전기장으로 인해 발생한 정전기력은 유입되는 먼지입자와 필터를 구성하는 섬유에 쌍극자 모멘트를 유도하여 먼지입자와 섬유를 분극시키고, 상기 분극된 먼지입자와 섬유 사이에 분극력이라는 정전기력이 작용한다. 이때, 먼지입자에 작용하는 분극력의 크기는 전기장 세기의 제곱에 비례한다.(F～∇E2)As shown in Figure 4, the second electrostatic force acting on the dust particles, the electrostatic force generated by the electric field applied to the filter induces a dipole moment in the dust particles and the fibers constituting the filter to polarize the dust particles and fibers The electrostatic force acts as a polarization force between the polarized dust particles and the fiber. At this time, the magnitude of the polarization force acting on the dust particles is proportional to the square of the electric field strength. (F ～ ∇E 2 )
본 발명에 있어서, 상기에서 보는 바와 같이 필터 외부에 전기장을 인가하여 상기의 두 가지 정전기력에 의해 먼지입자를 매우 효과적으로 제거할 수 있다.In the present invention, as shown above, by applying an electric field to the outside of the filter, the dust particles can be removed very effectively by the two electrostatic forces.
도 5와 같이 일정한 거리(h)의 간극을 가진 전극에 일정한 전압(Vo)을 인가하였을 경우, 도6은 전극표면이 절연물질로 코팅된 경우와 코팅되지 않은 경우의 전극사이 거리에 따른 전압의 변화 특성을 나타낸 것으로, 절연체가 전극표면에 코팅된 경우, 절연체로 인해 전극표면에서 급격한 전압의 저하가 발생한다. 따라서, 유연한 기공성 전극 또는 전도층의 표면을 절연성 물질로 완전히 코팅한 경우에는 위의 경우에서처럼 전극표면에서 급격한 전압의 저하가 발생하기 때문에 전극사이에 위치하는 유전체 여과재의 정전활성화 효과가 저하되고 먼지제거효과도 감소하게 된다. 하지만, 도 7에서 볼 수 있는 바와 같이 본 발명에 따른 전극 표면에 절연물질이 부분적으로 코팅된 경우 전압의 급속한 저하가 없어 전압의 변화특성이 코팅되지 않은 경우와 유사한 효과를 나타낸다.When a constant voltage Vo is applied to an electrode having a constant distance h as shown in FIG. 5, FIG. 6 shows the voltage according to the distance between the electrodes when the electrode surface is coated with an insulating material and when it is not coated. The change characteristics are shown. When the insulator is coated on the electrode surface, a sudden drop in voltage occurs at the electrode surface due to the insulator. Therefore, when the surface of the flexible porous electrode or the conductive layer is completely coated with an insulating material, as shown in the above case, a sudden voltage drop occurs on the surface of the electrode, so that the electrostatic activation effect of the dielectric filter medium between the electrodes is reduced and dust The removal effect is also reduced. However, as shown in FIG. 7, when the insulating material is partially coated on the electrode surface according to the present invention, there is no rapid drop in voltage, thereby exhibiting a similar effect to the case where the voltage change characteristic is not coated.
본 발명에 따른 절연성 물질이 부분적으로 코팅된 기공성 전극 적용 공기정화용 필터는 도 8과 같이 평면구조(Flat sheet) 형태로 나타낼 수 있다. 이는 유전체 여과재의 양면에 절연물질이 부분적으로 코팅된 유연한 기공성 전극이 형성될 수 있으며, 다른 양태로 유전체 여과재의 양면에 절연물질이 부분적으로 코팅된 전도층이 형성될 수 있다. 또 다른 양태로 본 발명은 유전체 여과재의 일면은 절연물질이 부분적으로 코팅된 전도층, 상기 전도층의 이면은 절연물질이 부분적으로 코팅된 기공성 전극으로 이루어질 수 있다. The pore electrode applied air purification filter partially coated with the insulating material according to the present invention may be represented in the form of a flat sheet as shown in FIG. 8. This may be a flexible porous electrode partially coated with an insulating material on both sides of the dielectric filter medium, and in another embodiment, a conductive layer partially coated with the insulating material may be formed on both sides of the dielectric filter medium. In still another aspect of the present invention, one surface of the dielectric filter medium may be formed of a conductive layer partially coated with an insulating material, and the rear surface of the conductive layer may be formed of a porous electrode partially coated with an insulating material.
도 9는 본 발명의 절연막 부분 코팅 전극 적용 필터를 접어서 여과면적을 증대시킨 필터의 절곡면 방향의 단면 형상으로 유연한 기공성 전극을 적용시켜 절곡형태로 성형이 가능함으로써 평면상 구조의 필터에 비해 매우 높은 여과면적을 제공할 수 있다. 이는 도 10의 상부 그림에서 보는 바와 같이 종래 금속망 전극을 적용한 절곡형 필터가 금속망의 성형성 한계로 인해 절곡간격(W)에 한계가 있는 반면, 도 10의 하부 그림에 나타낸 본 발명의 절연물질 부분코팅 유연한 기공성 전극 적용 절곡형 필터는 절곡간격(W)에 한계가 없다는 이점으로 인해 동일한 유동 단면적에 대해 처리할 수 있는 유량을 크게 향상 시킬 수 있다. 9 is a cross-sectional shape in the direction of the bent surface of the filter by increasing the filtration area by folding the filter of the insulating film portion coated electrode of the present invention by applying a flexible porous electrode can be formed in a bent form, compared to the filter having a planar structure It can provide high filtration area. This is because the bending filter to which the conventional metal mesh electrode is applied as shown in the upper figure of FIG. 10 has a limit on the bending interval (W) due to the formability limitation of the metal mesh, while the insulation of the present invention shown in the lower figure of FIG. Material Partially Coated Flexible Porous Electrode Bent Filters offer the advantage of no limit to the bending distance (W), which can greatly improve the flow rates that can be handled for the same flow cross-sectional area.
도 11은 기공성 전극 적용 공기정화용 필터의 한 실시예로서 유전체 섬유부직포 여과재와 본 발명에 따른 절연막 코팅 섬유부직포 전극을 분리하여 나타낸 것이다.FIG. 11 shows a dielectric fiber nonwoven filter medium and an insulating film coated fiber nonwoven electrode according to the present invention as an embodiment of a filter for air purification using a porous electrode.
도 12는 절연막 코팅 전극 적용 필터의 한 실시예를 나타낸 것으로, 유전체 여과재로는 유전체 섬유부직포 형태의 여과재가 사용되었고, 절연성 물질이 부분적으로 코팅된 유연한 기공성 전극으로는 유연성이 높은 섬유부직포 형태의 전극을 사용한 것이다. 상기 유전체 섬유부직포 여과재의 전면과 후면에 상기 절연성 물질이 부분적으로 코팅된 유연한 기공성 전극이 적용되고, 상기 두 전극사이에 소정 크기의 전압을 인가하여 전극사이에 위치한 유전체 섬유부직포 여과재를 전기적으로 분극하여 활성화시킬 수 있다.FIG. 12 shows an embodiment of an insulating film coating electrode applied filter, wherein a filter medium in the form of a dielectric fiber nonwoven fabric is used as the dielectric filter material, and a highly porous fiber nonwoven fabric type in the form of a highly porous polymer electrode coated with an insulating material. The electrode was used. A flexible porous electrode partially coated with the insulating material is applied to the front and rear surfaces of the dielectric fiber nonwoven filter material, and electrically polarizes the dielectric fiber nonwoven filter material positioned between the electrodes by applying a voltage having a predetermined magnitude between the two electrodes. Can be activated.
도 13은 절연막이 부분적으로 형성된 섬유부직포 전극 표면의 모습을 확대하여 나타낸 것으로, 각 섬유 전극의 표면에 다공성 절연막이 코팅된 형태를 보여준다.FIG. 13 is an enlarged view of a surface of a fibrous nonwoven fabric electrode in which an insulating film is partially formed, and shows a form in which a porous insulating film is coated on the surface of each fiber electrode.
도 14는 절연성 물질이 부분적으로 코팅된 유연성 섬유부직포 전극을 구성하는 섬유를 확대하여 나타낸 개념도로서 전도성 물질이 코팅된 유연성 섬유 표면에 절연 물질이 불규칙하게 부분적으로 코팅된 모습을 나타낸 것이다.FIG. 14 is an enlarged conceptual view showing fibers constituting a flexible fiber nonwoven electrode having an insulating material partially coated thereon, and showing an appearance in which an insulating material is irregularly partially coated on a surface of a flexible fiber coated with a conductive material.
본 발명의 절연막 코팅 전극 적용 필터는 다른 양태로 도 15와 같이 전도성 물질이 코팅된 유연성 섬유(절연체)의 표면에 추가로 절연성 물질이 기공성 막의 형태로 코팅될 수도 있다. In another embodiment, the insulating film coating electrode application filter may further include an insulating material in the form of a porous film on the surface of the flexible fiber (insulator) coated with the conductive material as shown in FIG. 15.
도 16과 도 17은 전도성 물질이 코팅된 유연한 기공성 필름 전극에 있어서 전도성 물질이 코팅된 면에 절연성 물질을 부분적으로 코팅한 것을 나타내며 이는 두 전극 사이에 일정한 전압을 인가할 경우 상기 두 전극간의 접촉으로 인한 전기적 단락문제를 방지하면서도 전기장의 세기를 그대로 유지시킬 수 있는 이점이 있다.FIG. 16 and FIG. 17 show a partial coating of an insulating material on the surface coated with the conductive material in the flexible porous film electrode coated with the conductive material, and the contact between the two electrodes when a constant voltage is applied between the two electrodes. There is an advantage that can maintain the strength of the electric field while preventing the electrical short circuit caused by.
본 발명에 의한 절연막 코팅 전극 적용 필터는 도 18과 같이 덕트 내에 설치되어 오염가스인 처리기체를 고효율로 처리할 수 있다. 상기 필터는 도 19와 같이 임의의 절곡간격(W)과 절곡깊이(L)를 가지고 있어, 이와 같은 절곡 구조를 통해 여과면적을 극대화함으로써 처리기체의 유량을 증대시킬 수 있다. The insulating film coating electrode applied filter according to the present invention can be installed in the duct as shown in FIG. The filter has an arbitrary bending interval (W) and a bending depth (L) as shown in FIG. 19, and the flow rate of the processing gas can be increased by maximizing the filtration area through the bending structure.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 장치도와 같이 특정된 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. In the present invention as described above has been described by the specific matters and the specific embodiments and drawings as shown in the specific device diagram, which is provided only to help a more general understanding of the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment. For those skilled in the art, various modifications and variations are possible from such description.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and all of the equivalents or equivalents of the claims as well as the claims to be described later will belong to the scope of the present invention. .
1 : 절연물질이 부분적으로 코팅된 유연한 기공성 전극 적용 절곡형 필터
2 : 덕트
100 : 유전체 섬유여과재 101 : 분극된 유전체 섬유의 단면
110 : 섬유 주위의 전기장 120 : 유선(stream line)
130 : 분극 정전기력장 200 : 전극
210 : 절연물질이 부분적으로 코팅된 유연한 기공성 전극
220 : 절연물질이 부분적으로 코팅된 전도성 물질 코팅면
400 : 전원 500 : 섬유필터 600 : 금속망
700 : 유전체 섬유부직포 여과재
720 : 절연물질이 부분적으로 코팅된 유연성 섬유부직포 전극
800 : 유연 기공성 필름 801 : 기공
802 : 전도성 물질 803 : 절연성 물질
810 : 절연성 물질 코팅부 900 : 유전체 섬유1: bend filter with flexible porous electrode partially coated with insulating material
2: duct
100: dielectric fiber filter material 101: cross section of polarized dielectric fiber
110: electric field around the fiber 120: stream line
130: polarized electrostatic field 200: electrode
210: flexible porous electrode partially coated with an insulating material
220: coating surface of conductive material partially coated with insulating material
400: power 500: fiber filter 600: metal mesh
700: dielectric fiber nonwoven fabric filter material
720: flexible nonwoven fabric electrode coated with an insulating material
800: flexible porous film 801: pore
802: conductive material 803: insulating material
810: insulating material coating portion 900: dielectric fiber
Claims (16)
상기 유전체 여과재의 양면에 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 기공성 전극; 및
상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 기공성 전극에 전압을 인가할 수 있는 전원;
을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
A dielectric filter material having a dielectric constant in the range of 1.1 to 20, which is composed of a dielectric material and allows micro particles to be collected while the processing gas is permeated;
A porous electrode formed on both surfaces of the dielectric filter material and coated with 5 to 99% of the surface with an insulating material; And
A power source capable of applying a voltage to the porous electrode so as to electrically polarize the dielectric filter material to electrostatically activate the dielectric filter medium;
Insulation coating electrode applied filter comprising a.
상기 유전체 여과재의 양면에 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 전도층; 및
상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 전도층에 전압을 인가할 수 있는 전원;
을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
A dielectric filter material having a dielectric constant in the range of 1.1 to 20, which is composed of a dielectric material and allows micro particles to be collected while the processing gas is permeated;
Conductive layers formed on both surfaces of the dielectric filter material and coated with 5 to 99% of the surface with an insulating material; And
A power source capable of applying a voltage to the conductive layer so as to electrically polarize the dielectric filter medium to electrostatically activate it;
Insulation coating electrode applied filter comprising a.
상기 유전체 여과재의 일면에 형성되는 전도층;
상기 전도층의 이면에 형성되며, 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 기공성 전극; 및
상기 유전체 여과재를 전기적으로 분극하여 정전기적으로 활성화시킬 수 있도록 기공성 전극에 전압을 인가할 수 있는 전원;
을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
A dielectric filter material having a dielectric constant in the range of 1.1 to 20, which is composed of a dielectric material and allows micro particles to be collected while the processing gas is permeated;
A conductive layer formed on one surface of the dielectric filter medium;
A porous electrode formed on the rear surface of the conductive layer and coated with 5 to 99% of the surface with an insulating material; And
A power source capable of applying a voltage to the porous electrode so as to electrically polarize the dielectric filter material to electrostatically activate the dielectric filter medium;
Insulation coating electrode applied filter comprising a.
상기 전도층은 절연성 물질로 표면의 5~99%를 코팅한 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 3, wherein
The conductive layer is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the coating of 5 to 99% of the surface with an insulating material.
상기 유전체 여과재의 양면 중 어느 일면은 표면을 절연성 물질로 코팅하지 않은 기공성 전극인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 1,
Any one surface of both surfaces of the dielectric filter medium is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the porous electrode is not coated with an insulating material.
상기 유전체 여과재의 양면 중 어느 일면은 표면을 절연성 물질로 코팅하지 않은 전도층인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 2,
Any one of both surfaces of the dielectric filter medium is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the conductive layer is not coated with an insulating material.
상기 기공성 전극은 전도성 섬유의 직포 또는 부직포인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1 and 3,
The porous electrode is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the woven or non-woven fabric of the conductive fiber.
상기 기공성 전극은 비전도성 섬유의 직포 또는 부직포에 전도성 물질을 코팅한 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1 and 3,
The porous electrode is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the conductive material coated on a woven or nonwoven fabric of non-conductive fibers.
상기 전도성 섬유는 카본섬유 또는 금속섬유를 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 7, wherein
The conductive fiber is an insulating film coating electrode applied filter comprising a carbon fiber or a metal fiber.
상기 전도성 물질을 코팅하는 방법은 무전해 도금법, 화학적 또는 물리적 증착법, 금속나노입자 기상합성에 의한 직접 코팅법, 졸겔 액상 합성법, 분무법, 함침법 및 전도성입자 페이스트 페인팅법을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 8,
The coating method of the conductive material may include an electroless plating method, a chemical or physical vapor deposition method, a direct coating method by metal nanoparticle vapor phase synthesis, a sol-gel liquid phase synthesis method, a spraying method, an impregnation method, and a conductive particle paste painting method. .
상기 절연성 물질을 코팅하는 방법은 절연성 물질이 포함된 용액을 전극 표면에 직접을 분무하여 코팅한 후 건조하는 방법, 고분자수지 거품을 전극표면에 코팅하면서 발포시켜 건조하는 방법 및 다습한 조건하에 고분자 용액을 노출시킴으로써 용액 위에 응축된 마이크론 크기의 액체 방울 자국을 다공성 구조의 기공으로 활용하는 응축현상기술(breath figure technique)을 이용하여 다공성 고분자막을 코팅하는 방법을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1 to 10,
The method of coating the insulating material is a method of coating the electrode containing the insulating material by spraying the coating directly on the surface of the electrode and then drying, the method of drying the foam by coating the polymer resin foam on the electrode surface and the polymer solution under humid conditions An insulating film coating electrode applied filter comprising a method of coating a porous polymer membrane by using a condensation phenomenon technique that utilizes a micron-sized droplet of droplets condensed on a solution as a pore of a porous structure by exposing a to.
상기 기공성 전극은 기공이 형성된 유연한 전도성 필름인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1 and 3,
The porous electrode is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the porous conductive film formed with pores.
상기 기공성 전극은 기공이 형성된 유연한 비전도성 필름인 것으로 상기 비전도성 필름 표면에 전도성 물질을 코팅한 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1 and 3,
The porous electrode is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the porous non-conductive film is a porous non-conductive film is coated with a conductive material on the surface.
상기 비전도성 필름에 전도성 물질을 코팅하는 방법은 무전해 도금법, 화학적 또는 물리적 증착법, 금속나노입자 기상합성에 의한 직접 코팅법, 졸겔 액상 합성법, 분무법, 함침법 및 전도성입자 페이스트 페인팅법을 포함하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method of claim 13,
The method of coating a conductive material on the non-conductive film includes an electroless plating method, a chemical or physical vapor deposition method, a direct coating method by metal nanoparticle vapor phase synthesis, an sol-gel liquid phase synthesis method, a spraying method, an impregnation method, and a conductive particle paste painting method. Coating electrode applied filter.
상기 절연막 코팅 전극 적용 필터는 임의의 절곡간격(W) 및 절곡깊이(L)를 갖는 절곡형 필터인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
The method according to claim 1, wherein
The insulating film coating electrode applied filter is an insulating film coating electrode applied filter, characterized in that the bent filter having a predetermined bending interval (W) and bending depth (L).
상기 절연막 코팅 전극 적용 필터는 1~300 mm 범위의 절곡간격(W) 및 5~2000 mm 범위의 절곡깊이(L), 절곡깊이(L)에 대한 절곡간격(W)의 크기비(W/L)가 0.01~5 범위인 절곡형 필터인 것을 특징으로 하는 절연막 코팅 전극 적용 필터.
16. The method of claim 15,
The insulating film coating electrode applied filter has a bending interval (W) in the range of 1 to 300 mm, a bending depth (L) in the range of 5 to 2000 mm, and a size ratio of the bending interval (W) to the bending depth (L) (W / L ) Is a filter of the insulating film coating electrode, characterized in that the bent filter having a range of 0.01 to 5.
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