KR20110071667A - 텍스쳐링 처리장치 - Google Patents
텍스쳐링 처리장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20110071667A KR20110071667A KR1020090128293A KR20090128293A KR20110071667A KR 20110071667 A KR20110071667 A KR 20110071667A KR 1020090128293 A KR1020090128293 A KR 1020090128293A KR 20090128293 A KR20090128293 A KR 20090128293A KR 20110071667 A KR20110071667 A KR 20110071667A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- etching gas
- solar cell
- texturing
- chamber
- area
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0236—Special surface textures
- H01L31/02366—Special surface textures of the substrate or of a layer on the substrate, e.g. textured ITO/glass substrate or superstrate, textured polymer layer on glass substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Weting (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
본 발명은 식각가스 배출구의 면적을 선택적으로 조절함으로써 태양전지 기판들 사이의 식각속도 불균일 현상을 해소할 수 있는 텍스쳐링 처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 텍스쳐링 처리장치는 식각 용액 및 태양전지 기판이 구비되는 공간을 제공하는 챔버 및 상기 챔버 상단에 구비되는 식각가스 배출수단을 포함하여 이루어지며, 상기 식각가스 배출수단은, 몸체부와, 상기 몸체부를 수직 관통하는 형태로 일정 간격을 두고 복수개 형성되어 상기 챔버 내부의 식각가스를 외부로 배출하는 식각가스 배출구와, 상기 몸체부의 일측에 구비된 배출구 면적조절부재용 홈과, 상기 배출구 면적조절부재용 홈 내에서 수평 슬라이딩 이동 가능하여 상기 식각가스 배출구의 노출 면적을 선택적으로 조절하는 배출구 면적조절부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
텍스쳐링, 식각속도
Description
본 발명은 텍스쳐링 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 식각가스 배출구의 면적을 선택적으로 조절함으로써 태양전지 기판들 사이의 식각속도 불균일 현상을 해소할 수 있는 텍스쳐링 처리장치에 관한 것이다.
태양전지는 태양광을 직접 전기로 변환시키는 태양광 발전의 핵심소자로서, 기본적으로 p-n 접합으로 이루어진 다이오드(diode)라 할 수 있다. 태양광이 태양전지에 의해 전기로 변환되는 과정을 살펴보면, 태양전지의 p-n 접합부에 태양광이 입사되면 전자-정공 쌍이 생성되고, 전기장에 의해 전자는 n층으로, 정공은 p층으로 이동하게 되어 p-n 접합부 사이에 광기전력이 발생되며, 이 때 태양전지의 양단에 부하나 시스템을 연결하면 전류가 흐르게 되어 전력을 생산할 수 있게 된다.
한편, 태양전지의 광전변환 효율을 향상시키기 위해 통상, 태양전지 기판 표면 상에 요철을 형성한다. 태양전지 표면의 요철은 태양전지에 입사되는 빛의 난반사를 유도하여 태양전지의 광흡수율을 높여 궁극적으로 태양전지의 광전변환 효율을 향상시키는 역할을 한다.
이와 같은 요철을 형성하는 공정을 텍스쳐링(texturing) 공정이라 하며, 텍스쳐링 공정은 일반적으로 태양전지 기판 표면을 습식 식각하는 방법을 통해 진행된다. 구체적으로, 도 1에 도시한 바와 같은 텍스쳐링 배쓰(texturing bath)(101) 내에 식각 용액 예를 들어, 불산(HF)과 질산(HNO3)의 혼합 용액을 채운 다음, 상기 식각 용액 내에 태양전지 기판(103)을 장입시켜 기판(103) 표면의 식각을 유도하는 과정으로 진행된다.
이 때, 태양전지 기판(103)은 복수의 행렬을 이루어 롤러(102)를 통해 이송되는데 통상, 5개의 열을 지어 이송된다. 또한, 상기 텍스쳐링 배쓰(101) 상단에는 식각 가스가 배출되는 식각가스 배출수단(104)이 구비되며, 상기 식각가스 배출수단(104)에는 복수의 식각가스 배출구(105)가 구비되는데 각각의 식각가스 배출구(105)는 상기 태양전지 기판(103)의 각 열에 상응하는 위치에 구비된다.
이와 같은 종래의 텍스쳐링 배쓰(101)를 이용한 텍스쳐링 공정에 있어서, 동일한 텍스쳐링 배쓰(101)를 통과한 태양전지 기판(103)들 사이에 식각 속도의 차이가 발생되는 문제점이 있다. 식각 속도의 불균일이 발생되는 원인은 배쓰(101) 내부의 온도, 식각 용액 농도의 불균일, 식각가스 배출량의 차이 등을 들 수 있는데, 식각가스 배출구(105)를 통해 배출되는 식각가스의 양에 따라 배쓰(101) 내부의 온도가 영향을 받는 바, 식각가스 배출량의 제어를 통해 배쓰(101) 내부온도의 제어가 가능하고 이를 통해 태양전지 기판(103)들 사이의 식각속도 불균일 문제를 해소할 여지가 있다.
그러나, 종래의 텍스쳐링 배쓰(101)의 경우 각각의 식각가스 배출구(105)의 면적이 서로 다를 뿐만 아니라 식각가스 배출구(105)의 면적을 선택적으로 조절할 수 없어 식각가스 배출량 제어를 통해 배쓰(101) 내부온도의 제어가 불가능하다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 식각가스 배출구의 면적을 선택적으로 조절함으로써 태양전지 기판들 사이의 식각속도 불균일 현상을 해소할 수 있는 텍스쳐링 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 텍스쳐링 처리장치는 식각 용액 및 태양전지 기판이 구비되는 공간을 제공하는 챔버 및 상기 챔버 상단에 구비되는 식각가스 배출수단을 포함하여 이루어지며, 상기 식각가스 배출수단은, 몸체부와, 상기 몸체부를 수직 관통하는 형태로 일정 간격을 두고 복수개 형성되어 상기 챔버 내부의 식각가스를 외부로 배출하는 식각가스 배출구와, 상기 몸체부의 일측에 구비된 배출구 면적조절부재용 홈과, 상기 배출구 면적조절부재용 홈 내에서 수평 슬라이딩 이동 가능하여 상기 식각가스 배출구의 노출 면적을 선택적으로 조절하는 배출구 면적조절부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 챔버 내에 롤러가 구비되며 복수개의 태양전지 기판이 상기 롤러 상에서 행렬을 이루어 이동되며, 상기 식각가스 배출구는 상기 태양전지 기판의 각 열에 상응하는 위치에 구비될 수 있다. 또한, 상기 배출구 면적조절부재의 면적은 상기 식각가스 배출구의 면적보다 크며, 상기 식각가스 배출수단은 상기 챔버의 상단에 일정 간격 이격되어 복수개 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 텍스쳐링 처리장치는 다음과 같은 효과가 있다.
텍스쳐링 공정에서 발생되는 식각가스의 배출량을 각 위치별로 선택적으로 조절 가능함에 따라, 텍스쳐링 챔버 내의 온도를 제어할 수 있게 되고 이를 통해 태양전지 기판들 사이의 식각속도 불균일 문제를 해소할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 텍스쳐링 처리장치를 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 텍스쳐링 처리장치의 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텍스쳐링 처리장치는 도 2에 도시한 바와 같이, 먼저 챔버(201)를 구비한다. 상기 챔버(201) 내측에는 태양전지 기판(203)을 일정 속도로 이동시키는 롤러(202)가 구비되며, 상기 태양전지 기판(203)은 상기 롤러(202) 상에서 행렬을 이루어 이동된다. 이 때, 태양전지 기판(203)은 복수의 열을 이룰 수 있는데, 일 실시예로 도 2는 5개의 열로 이동되는 태양전지 기판(203)을 도시하였다. 또한, 상기 챔버(201) 내에는 상기 태양전지 기판(203)들이 충분히 잠기도록 식각 용액으로 채워진다. 상기 식각 용액으로는 불산(HF)과 질산(HNO3)의 혼합 용액 등이 이용될 수 있다.
상기 챔버(201)의 상단에는 태양전지 기판(203)과 식각 용액이 반응하여 형성된 식각가스가 배출되는 식각가스 배출수단(210)이 구비된다. 상기 식각가스 배출수단(210)은 상기 챔버(201)의 상단에서 일정 간격을 두고 이격된 상태로 복수개 구비될 수 있다.
상기 식각가스 배출수단(210)은 세부적으로 몸체부(211), 식각가스 배출구(212) 및 배출구 면적조절부재(214)를 포함하여 구성된다. 상기 몸체부(211)는 직육면체 형상으로 이루어지며, 상기 식각가스 배출구(212)는 상기 몸체부(211)를 수직 관통하는 형태로 이루어져 상기 챔버(201) 내에서 생성된 식각가스를 외부로 배출하는 역할을 한다. 상기 식각가스 배출구(212)는 상기 몸체부(211) 상에서 일정 간격을 두고 복수개 구비될 수 있으며, 상기 식각가스 배출구(212)는 상기 롤러(202) 상에서 이동되는 태양전지 기판(203)의 각 열에 상응하는 위치에 구비될 수 있다.
한편, 상기 몸체부(211)의 일측에는 배출구 면적조절부재용 홈(213)이 구비되고, 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213) 내에는 배출구 면적조절부재(214)가 선택적으로 슬라이딩 이동된다. 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213)은 상기 식각가스 배출구(212)의 관통 방향에 수직되는 방향으로 형성된다. 달리 표현하여, 상기 식각가스 배출구(212)는 상기 몸체부(211)를 수직 관통하는 방향으로 형성되고, 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213)은 상기 몸체부(211)의 수평 방향으로 형성된다.
또한, 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213)이 형성된 부위는 상기 식각가스 배출구(212)가 형성된 부위를 포함하며, 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213) 내에 서 슬라이딩 이동되는 배출구 면적조절부재(214)의 면적 역시 상기 식각가스 배출구(212)의 면적보다 크다. 이에 따라, 도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이 상기 배출구 면적조절부재용 홈(213) 내에서의 배출구 면적조절부재(214)의 슬라이딩 이동에 의해, 상기 식각가스 배출구(212)는 선택적으로 일부분이 노출되거나 모든 부분이 노출 또는 차폐될 수 있다. 즉, 상기 배출구 면적조절부재(214)의 이동에 의해 상기 식각가스 배출구(212)의 노출 면적을 선택적으로 조절할 수 있다. 이와 함께, 각각의 식각가스 배출구(212)마다 배출구 면적조절부재용 홈(213)과 배출구 면적조절부재(214)가 구비됨에 따라, 각각의 식각가스 배출구(212)의 노출 면적을 독립적으로 조절할 수 있다.
이와 같이, 배출구 면적조절부재(214)를 이용하여 식각가스 배출구(212)의 노출 면적을 선택적으로 조절할 수 있음에 따라, 상기 각각의 식각가스 배출구(212)를 통해 배출되는 식각가스의 양을 제어할 수 있게 되며, 궁극적으로 식각가스 배출량 제어를 통해 챔버(201) 내부온도의 제어 및 태양전기 기판(203)들 사이의 식각속도 불균일 문제를 해소할 수 있게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 텍스쳐링 배쓰의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 텍스쳐링 처리장치의 사시도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 텍스쳐링 처리장치에서 식각가스 배출구의 면적이 선택적으로 조절되는 것을 나타낸 참고도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
201 : 챔버 202 : 롤러
203 : 태양전지 기판 210 : 식각가스 배출수단
211 : 몸체부 212 : 식각가스 배출구
213 : 배출구 면적조절부재용 홈
214 : 배출구 면적조절부재
Claims (4)
- 식각 용액 및 태양전지 기판이 구비되는 공간을 제공하는 챔버; 및상기 챔버 상단에 구비되는 식각가스 배출수단을 포함하여 이루어지며,상기 식각가스 배출수단은,몸체부와,상기 몸체부를 수직 관통하는 형태로 일정 간격을 두고 복수개 형성되어 상기 챔버 내부의 식각가스를 외부로 배출하는 식각가스 배출구와,상기 몸체부의 일측에 구비된 배출구 면적조절부재용 홈과,상기 배출구 면적조절부재용 홈 내에서 수평 슬라이딩 이동 가능하여 상기 식각가스 배출구의 노출 면적을 선택적으로 조절하는 배출구 면적조절부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 텍스쳐링 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 챔버 내에 롤러가 구비되며 복수개의 태양전지 기판이 상기 롤러 상에서 행렬을 이루어 이동되며, 상기 식각가스 배출구는 상기 태양전지 기판의 각 열에 상응하는 위치에 구비되는 것을 특징으로 하는 텍스쳐링 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 배출구 면적조절부재의 면적은 상기 식각가스 배출구의 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 텍스쳐링 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 식각가스 배출수단은 상기 챔버의 상단에 일정 간격 이격되어 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 텍스쳐링 처리장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020090128293A KR20110071667A (ko) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 텍스쳐링 처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020090128293A KR20110071667A (ko) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 텍스쳐링 처리장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20110071667A true KR20110071667A (ko) | 2011-06-29 |
Family
ID=44402726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020090128293A KR20110071667A (ko) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 텍스쳐링 처리장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20110071667A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150106620A (ko) * | 2014-03-12 | 2015-09-22 | 주성엔지니어링(주) | 기판처리장치용 가스분배판 |
| KR20160011397A (ko) * | 2014-07-22 | 2016-02-01 | 주성엔지니어링(주) | 가스 분배장치 |
-
2009
- 2009-12-21 KR KR1020090128293A patent/KR20110071667A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150106620A (ko) * | 2014-03-12 | 2015-09-22 | 주성엔지니어링(주) | 기판처리장치용 가스분배판 |
| KR20160011397A (ko) * | 2014-07-22 | 2016-02-01 | 주성엔지니어링(주) | 가스 분배장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2958153B1 (en) | Post-processing apparatus of solar cell | |
| US9178086B2 (en) | Method for fabricating back-contact type solar cell | |
| KR101745683B1 (ko) | 태양 전지 및 그 제조 방법 | |
| KR20130048948A (ko) | 양면수광형 태양전지 및 그 제조방법 | |
| KR101011493B1 (ko) | 태양전지 제조 공정시스템 | |
| US20150270431A1 (en) | Apparatus and method for performance recovery of laminated photovoltaic module | |
| KR20110071667A (ko) | 텍스쳐링 처리장치 | |
| CN102412338B (zh) | 多晶硅光学掩膜制绒工艺 | |
| KR20100040037A (ko) | 기판이송용 트레이 및 이를 구비한 진공처리장치 | |
| WO2012072579A1 (en) | Method for printing a substrate | |
| KR101089992B1 (ko) | 태양전지의 선택적 에미터 형성방법 | |
| KR101125450B1 (ko) | 후면전극형 태양전지의 제조방법 | |
| KR20120004170A (ko) | 인라인 벨트 퍼니스 | |
| KR20110060084A (ko) | 습식 식각장치 | |
| KR101680384B1 (ko) | 태양 전지의 제조 방법 | |
| KR20120005201A (ko) | 건식 텍스쳐링 장치 | |
| KR101523272B1 (ko) | 이온 임플란테이션을 이용한 태양 전지 텍스쳐링 방법 | |
| KR20130048945A (ko) | 양면수광형 태양전지 및 그 제조방법 | |
| KR101172614B1 (ko) | 후면전극형 태양전지 및 그 제조방법 | |
| KR20120101746A (ko) | 태양전지 제조장치 | |
| Desrues et al. | High quality industrial phosphorus emitter doping obtained with innovative plasma immersion ion implantation (PIII) processes | |
| KR101161096B1 (ko) | 태양전지의 선택적 에미터 형성방법 | |
| KR101760011B1 (ko) | 태양 전지 및 그 제조 방법 | |
| KR20100077806A (ko) | 태양전지 제조용 확산로 | |
| KR20120037121A (ko) | 태양 전지의 제조 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |