KR20110043899A - Microfluidic device for air bubble removal and fluid injection/removal - Google Patents

Microfluidic device for air bubble removal and fluid injection/removal Download PDF

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KR20110043899A KR1020090100633A KR20090100633A KR20110043899A KR 20110043899 A KR20110043899 A KR 20110043899A KR 1020090100633 A KR1020090100633 A KR 1020090100633A KR 20090100633 A KR20090100633 A KR 20090100633A KR 20110043899 A KR20110043899 A KR 20110043899A
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Abstract

PURPOSE: A microfluidic chip device for eliminating air bubbles and injecting/eliminating fluid is provided to prevent air bubbles contained in an injection solution from being introduced into a microfluidic chip. CONSTITUTION: A fluid introducing part(10) is prepared. Introduced fluid is remained in a fluid receiving part(11) before the fluid is introduced into a micro channel. A duct part(12) is in connection with the fluid receiving part and discharges air introduced with the fluid from and introduces other kinds of fluid. A cover is arranged on the upper side of the duct part. The fluid introducing part is in connection with a syringe.

Description

공기방울 제거 및 유체 주입/제거를 위한 미세 유체칩용 소자 {Microfluidic device for air bubble removal and fluid injection/removal}Microfluidic device for air bubble removal and fluid injection / removal}

본 발명은 유체 주입부, 공기 방울 제거, 새로운 용액의 주입 및 용액의 제거의 기능을 가지는 덕트부 및 유체 수용부를 가진 미세 유체칩용 소자, 이를 포함하는 미세 유체칩 및 상기 미세 유체칩용 소자의 제조방법에 관한 것이다.The present invention is a device for microfluidic chip having a fluid inlet, a duct part and a fluid receiving part having a function of removing air bubbles, injecting a new solution and removing a solution, a microfluidic chip including the same, and a method for manufacturing the device for the microfluidic chip It is about.

칩 내에 형성되어 있는 미세채널로 미량의 분석 대상 물질을 흘려보내면서, 그 안에 존재하는 각종 물질을 분석할 수 있는 칩을 의미하는 미세유체 칩(microfluidic chip)은 랩온어칩(lab-on-achip, LOC : '칩 위의 실험실'이라는 의미)이라고 하며, 작은 칩 내에서 분석 대상 물질을 한 번에 분석할 수 있는 칩의 형태로 최근 다양하게 개발되고 있다. 미세유체 칩은 물질의 분석, 분리, 및 합성 등을 위하여 사용되고 있으며, 점차로 그 사용 분야가 확대되고 있다. 미세유체 칩은 포토리소그래피나 고온-엠보싱(hot-embossing), 몰딩 등의 미세가공 기술로 만들어진 미세채널(14) 구조에 덮개를 덮어 미량의 유체를 보관(contain)하거나 조절(manipulate)할 수 있도록 한 칩으로 소모되는 시약의 양을 줄이고 분석시간을 짧게 할 수 있다는 장점을 가지고 있다.A microfluidic chip, which refers to a chip capable of flowing a small amount of analyte into a microchannel formed in the chip and analyzing various materials therein, is a lab-on-achip chip. LOC, which means 'laboratory on chip', has been developed in recent years in the form of a chip that can analyze analytes at once in a small chip. Microfluidic chips are being used for the analysis, separation, and synthesis of materials, and their fields of use are gradually expanding. The microfluidic chip covers the microchannel 14 structure made by micromachining techniques such as photolithography, hot-embossing, molding, and the like, so that a small amount of fluid can be contained or controlled. One chip has the advantage of reducing the amount of reagent consumed and shorten the analysis time.

미세 유체 공학 기술을 이용하여 제조한 마이크로 유체칩(microfluidic chip)은 마이크로 사이즈의 채널을 포함하고 있는 칩이다. 미세 채널(14)을 통해 소량의 유체가 흘러가면서 각종 반응과 작용이 일어나도록 함으로서 기존에 실험실에서 여러 복잡한 과정을 거쳐야 했던 일들이 칩 상에서 이루어지는 것이 가능하다. Microfluidic chips manufactured using microfluidic technology are chips containing microsized channels. By allowing a small amount of fluid to flow through the microchannel 14, various reactions and actions can be performed on the chip, which previously required a complicated process in the laboratory.

특히 미세유체 칩을 이용한 세포 배양 시스템은 세포-기반 연구에 있어서, 일반적인 세포배양과 비교하여 농도 구배 등과 같은 배양 환경의 제어가 용이하고 실험 결과의 반복성이 우수할 뿐만 아니라, 컨포칼 현미경과 같이 이미지를 확인하는 경우에도 투명한 미세유체 칩 플랫폼을 사용함으로써 가능하다.In particular, cell culture systems using microfluidic chips, in cell-based research, are easier to control the culture environment, such as concentration gradients and better repeatability of the experimental results than in general cell culture, as well as images such as confocal microscopy. It is also possible by using a transparent microfluidic chip platform.

종래의 미세유체 세포 배양 시스템은 불수용성인 하이드로겔에 세포를 현탁시키고 매입시켜 3차 구조( 3-dimensional system)를 형성하는 것이었으나, 합성 하이드로겔은 독성을 가질 수 있고, 하이드로겔이 유체의 흐름을 방해하지 않기 위하여 하이드로다이나믹 포커싱(hydrodynamic focusing)과 같은 유체감지시스템을 구비하여야 하며, 고형암 등과 같이 세포의 응집이 생기는 경우에는 적합하지 않는 등 미세유체 시스템에서 사용하기에 어려운 문제점이 있어 왔다.Conventional microfluidic cell culture systems have been used to suspend and embed cells in insoluble hydrogels to form a 3-dimensional system, but synthetic hydrogels can be toxic and hydrogels In order to not disturb the flow, it has to be provided with a fluid detection system such as hydrodynamic focusing, and has been difficult to use in a microfluidic system, such as being unsuitable in case of aggregation of cells such as solid cancer.

종래의 하이드로겔을 사용하지 않는 미세유체 칩의 경우에는 주입용액에 공기 방울이 포함된 경우 이를 제거하는 것이 매우 어려우므로 미세유체칩 내 농도 구배를 형성하거나 유체의 혼합 등의 경우 유체의 흐름이 공기방울에 의하여 달라 지고, 칩 내의 세포 표면에 손상을 입히는 등의 문제점이 종종 발생되었다.In the case of the microfluidic chip which does not use the conventional hydrogel, it is very difficult to remove the air bubbles in the injection solution. And often cause problems such as damaging the surface of the cells in the chip.

Siew-Min Ong 등(A gel-free 3D microfluidic cell culture system, Biomaterials, 29 (2008) 3237-3244)에서는 하이드로겔을 사용하지 않고 버블 트랩을 가진 3차원 미세유체소자 세포배양시스템에 대하여 개시하고 있으나, 순차적으로 용액을 주입하거나, 다른 용액으로 교체하기 위하여는 다른 용액이 든 주사기로 계속 교체하여야 하는 번거로움을 가지고 있으며, 미세 유체칩 내의 기존의 용액을 제거하는 것이 불가능하였다.Siew-Min Ong et al. (A gel-free 3D microfluidic cell culture system, Biomaterials, 29 (2008) 3237-3244) disclose a three-dimensional microfluidic cell culture system with a bubble trap without using a hydrogel. In order to inject the solution sequentially, or to replace it with another solution, it is cumbersome to continuously replace it with a syringe containing another solution, and it is impossible to remove the existing solution in the microfluidic chip.

따라서, 하이드로겔을 이용하지 않으면서도 유체 내 공기 방울이 형성되지 않고 용액의 주입 및 교환이 용이한 미세유체 칩의 개발이 절실한 상황이다.Therefore, there is an urgent need for the development of microfluidic chips that are easy to inject and exchange solutions without forming air bubbles in the fluid without using a hydrogel.

본 발명은 다양한 용액 및 세포를 순차적으로 주입하는 것이 가능하고, 공기방울이 미세채널 내로 유입되는 것을 방지할 수 있는 덕트부(12), 유체 주입부(10) 및 유체 수용부(11)를 포함하는 미세 유체칩용 소자(100)를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is capable of sequentially injecting various solutions and cells, and includes a duct portion 12, a fluid injection portion 10 and a fluid receiving portion 11 that can prevent air bubbles from entering the microchannels. An object of the present invention is to provide an element 100 for a microfluidic chip.

본 발명은 위와 같은 과제를 달성하기 위해 다음과 같은 과제 해결 수단을 제공한다.The present invention provides the following problem solving means to achieve the above object.

1. 유체 주입부(10); 주입된 유체가 미세채널(14)로 유입되기 위해 일정 시간 머무르는 유체 수용부(11); 및 상기 유체 수용부(11)와 연결되어 있으면서, 유체 주입시 유체와 함께 유입된 공기를 배출시키거나, 상기 유체 주입부(10)를 통해 주입된 유체와 다른 종류의 유체를 주입하기 위한 덕트부(12)로 이루어진 미세 유체칩용 소자(100).1. fluid inlet 10; A fluid receiving portion 11 which stays for a predetermined time for the injected fluid to flow into the microchannel 14; And a duct part connected to the fluid receiving part 11 to discharge air introduced together with the fluid during fluid injection, or to inject a fluid different from the fluid injected through the fluid injection part 10. Element 100 for a microfluidic chip consisting of (12).

2. 위 1에 있어서, 덕트부(12)는 그 상단에 개폐가능한 덮개를 가진 미세 유체칩용 소자(100).2. In the above 1, the duct part 12 is a microfluidic chip device (100) having a cover that can be opened and closed at the top.

3. 위 1에 있어서, 유체 주입부(10)(10)는 주입될 유체가 담긴 주사기와 연결될 수 있도록 형성된 것인 미세 유체칩용 소자(100).3. In the above 1, the fluid injection unit (10) (10) is a device for a microfluidic chip that is formed to be connected to the syringe containing the fluid to be injected (100).

4, 위 1에 있어서, 덕트부(12)는 피펫 또는 스포이드 작업을 수행할 수 있을 정도의 폭으로 형성된 것인 미세 유체칩용 소자(100).4, in the above 1, the duct part 12 is a device for a microfluidic chip is formed in a width enough to perform a pipette or dropper operation (100).

5. 위 4에 있어서, 덕트부(12)는 폭이 5-10 mm인 미세 유체칩용 소자(100).5. In the above 4, the duct part 12 is 5-10 mm in width for the microfluidic chip device (100).

6. 위 1 내지 5 중 어느 한 항의 소자를 1개 이상 포함하는 미세 유체칩. 6. Microfluidic chip comprising one or more of any one of the above 1 to 5.

7. 하부 플레이트(20)의 바닥면에 미세채널(14)을 형성시키는 단계,7. forming the microchannels 14 on the bottom surface of the lower plate 20,

상기 미세채널(14)의 말단과 접하도록 하부 플레이트(20)를 관통하는 구멍을 뚫어 유체 수용부(11)를 형성시키는 단계,Forming a fluid receiving portion 11 by drilling a hole through the lower plate 20 to contact the end of the microchannel 14,

상기 유체 수용부(11)를 덮을 수 있는 상부 플레이트(21)를 접합시키는 단계,Bonding the upper plate 21 to cover the fluid receiving part 11;

상기 유체 수용부(11)보다 작고 상부 플레이트(21)를 관통하는 2개의 구멍을 뚫어 상기 유체 수용부(11)와 연결되도록 유체 주입부(10)와 덕트부(12)를 형성시키되, 상기 덕트부(12)가 유체의 진행 방향에 대하여 상기 유체 주입부(10)보다 상기 미세채널(14)에 가깝게 형성시키는 단계, 및The fluid injection part 10 and the duct part 12 are formed to be connected to the fluid receiving part 11 by drilling two holes smaller than the fluid receiving part 11 and penetrating the upper plate 21. Forming a portion 12 closer to the microchannel 14 than the fluid injecting portion 10 with respect to a flow direction of the fluid, and

상기 하부 플레이트(20)의 바닥면을 기판(22)에 접합시키는 단계Bonding the bottom surface of the lower plate 20 to the substrate 22

를 포함하는 미세 유체칩용 소자(100)의 제조방법.Method for producing a microfluidic chip device 100 comprising a.

8. 위 7에 있어서, 유체 수용부(11)는 폭이 7 ~ 11 mm인 제조방법.8. In the above 7, the fluid receiving portion (11) is 7 ~ 11 mm in width manufacturing method.

9. 위 7에 있어서, 유체 주입부(10)는 주입될 유체가 담긴 주사기와 연결될 수 있도록 형성된 것인 제조방법.9. In the above 7, the fluid injection portion 10 is formed to be connected to the syringe containing the fluid to be injected is a manufacturing method.

10. 위 7에 있어서, 덕트부(12)는 개폐 가능한 덮개가 구비되고 피펫 또는 스포이드 작업을 수행할 수 있을 정도의 폭으로 형성된 것인 제조방법.10. In the above 7, the duct part 12 is provided with an opening and closing cover is formed in a width enough to perform the pipette or dropper operation.

11. 위 10에 있어서, 덕트부(12)는 폭이 5-10 mm인 제조방법.11. In the above 10, the duct section 12 is 5-10 mm in width manufacturing method.

12. 위 7에 있어서, 상부 플레이트(21)의 넓이는 유체 수용부의 넓이보다 넓고 하부 플레이트(20) 넓이보다 넓지 않은 제조방법.12. The method according to the above 7, wherein the width of the upper plate (21) is wider than the width of the fluid receiving portion and not wider than the width of the lower plate (20).

13. 위 7에 있어서, 접합은 플라즈마 접합 방법을 통한 것인 제조방법.13. The method according to the above 7, wherein the bonding is via a plasma bonding method.

14. 위 7에 있어서, 상기 패드는 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리메틸메타클릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리아크리레이트(polyacrylates), 폴리카보네이트(polycarbonates), 폴리스티렌(polystylene), 폴리실릭 올레핀(polycyclic olefins), 폴리이미드(polyimides) 및 폴리우레탄(polyurethanes)로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 제작된 제조방법.14. In the above 7, the pad is polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylmethacrylate (polymethylmethacrylate (PMMA), polyacrylates (polyacrylates), polycarbonates, polystyrene (polystylene), poly Manufacturing method made of any one selected from the group consisting of polycyclic olefins (polycyclic olefins), polyimides (polyimides) and polyurethanes (polyurethanes).

본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)는 주입 용액에 포함된 공기 발울이 미세유체 칩 내로 함께 유입되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 복잡한 구조의 미세유체 채널을 이용한 농도 구배 형성 및 유체의 혼합시 유체의 흐름을 방해하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.The device 100 for the microfluidic chip of the present invention can prevent the air bubbles contained in the injection solution from being introduced into the microfluidic chip, thereby forming a concentration gradient using a microfluidic channel having a complex structure and mixing the fluids. It can effectively prevent the disturbance of the fluid flow.

본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)는 덕트부(12)의 덮개(13)를 열어 기존의 용액을 제거하고 새로운 용액을 주입하거나, 기존의 용액과는 다른 용액을 주입하는 것이 가능하므로 유체 주입부(10)(10)의 주사기를 교체할 필요가 없이 용액의 교환 및 주입이 가능하다.The device 100 for a microfluidic chip of the present invention opens the cover 13 of the duct part 12 to remove the existing solution and inject a new solution, or to inject a different solution from the existing solution. It is possible to exchange and inject a solution without having to replace the syringes of the parts 10 and 10.

본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)는 세포를 주사기를 이용하여 밀어 넣을 필요 없이 덕트부(12)의 덮개(13)를 열어 스포이드나 피펫을 이용하여 바로 미세 유체채널 내로 주입할 수 있으므로, 장기간의 세포 배양, 세포 약물 스크리닝 칩 등에 효과적으로 적용하는 것이 가능하다.The microfluidic chip device 100 of the present invention can be injected directly into the microfluidic channel by using a dropper or a pipette by opening the cover 13 of the duct part 12 without pushing the cells with a syringe. It is possible to apply effectively to cell culture, cell drug screening chip and the like.

본 발명은 유체 주입부(10); 주입된 유체가 미세채널(14)로 유입되기 위해 일정 시간 머무르는 유체 수용부(11); 및 상기 유체 수용부(11)와 연결되어 있으면서, 유체 주입시 유체와 함께 유입된 공기를 배출시키거나, 상기 유체 주입부(10)를 통해 주입된 유체와 다른 종류의 유체를 주입하기 위한 덕트부(12)로 이루어진 미세 유체칩용 소자(100)를 사용함으로써 미세 유체 채널 내의 공기 방울 생성을 방지할 수 있고, 미세 유체 채널 내로 용액 및 세포를 순차적으로 유입하는 것이 가능한 미세 유체칩용 소자(100)에 관한 것이다. The present invention is a fluid inlet 10; A fluid receiving portion 11 which stays for a predetermined time for the injected fluid to flow into the microchannel 14; And a duct part connected to the fluid receiving part 11 to discharge air introduced together with the fluid during fluid injection, or to inject a fluid different from the fluid injected through the fluid injection part 10. By using the microfluidic chip element 100 made of (12), it is possible to prevent the generation of air bubbles in the microfluidic channel, and to the microfluidic chip element 100 capable of sequentially introducing solutions and cells into the microfluidic channel. It is about.

이하 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 유체 주입부(10)는 미세유체채널에 유체를 주입하는 부분을 가리킨다. 본 발명의 '유체'란 형상이 정해지지 않고 흐르는 성질을 가지고 있는 것으로서, 액체 및 기체를 포함한다. 세포배양용 미세유체칩에서 세포배양 배지는 상기 유체 주입부(10)로 주입될 수 있다. 상기 유체 주입구는 유체의 주입을 용이하게 할 수 있도록 압력을 가할 수 있는 기기와 연결될 수 있으며, 유체를 주입하기에 적당한 폭으로 이루어진다. 바람직하게는 주입될 유체가 담긴 주사기와 연결될 수 있다. 유체 주입구의 형상은 유체를 주입하기에 적당한 것으로서 동그 라미, 세모, 네모 등의 형상이 가능하나 이에 제한되지는 않는다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에서 유체 주입구는 폭이 1 ~2 mm인 튜브로 연결되었으며, 상기 튜브는 주사기와 연결되었다. 유체 주입구의 폭이 1 mm 이하인 경우에는 유체의 주입이 원활하지 않고, 2 mm 이상인 경우에는 미세 유체 채널 내로 유입되는 유체의 속도를 조절하기에 어려움이 있다.The fluid inlet 10 of the present invention refers to a part for injecting fluid into the microfluidic channel. The term "fluid" of the present invention has a property of flowing without being defined, and includes liquid and gas. In the cell culture microfluidic chip, the cell culture medium may be injected into the fluid injection unit 10. The fluid inlet may be connected to a device capable of applying pressure to facilitate the injection of the fluid and has a width suitable for injecting the fluid. It may preferably be connected with a syringe containing the fluid to be injected. The shape of the fluid inlet is suitable for injecting fluid, but may be a shape of a circle, a triangle, a square, and the like, but is not limited thereto. In one preferred embodiment of the present invention the fluid inlet is connected by a tube with a width of 1-2 mm, and the tube is connected with a syringe. When the width of the fluid inlet is 1 mm or less, the fluid is not smoothly injected, and when it is 2 mm or more, it is difficult to control the speed of the fluid flowing into the microfluidic channel.

본 발명의 유체 수용부(11)는 유체 주입부(10)로부터 주입된 유체가 미세 유체 채널로 유입되기 위해 일정 시간 머무르는 부분을 가리킨다. 유체가 유체 수용부(11)에 머무르는 시간은 유체의 주입속도, 유체의 점도 및 유체의 양 등에 따라 결정되며, 유체 주입부(10)로부터 주입된 유체가 미세 유체 채널로 유입되기 전까지의 상기 일정 시간 동안 유체는 유체 수용부(11)에 머무르는 것이 가능하다. 유체가 유체 수용부(11)에 머무르는 동안, 유체는 계속적으로 미세 유체 채널 내로 흘러갈 수도 있고, 유체 주입부(10)에서 주입을 멈추는 경우에는 유체 수용부(11) 내에서 정체되어 있을 수도 있다.The fluid accommodating part 11 of the present invention refers to a part where the fluid injected from the fluid injecting part 10 stays for a predetermined time to flow into the microfluidic channel. The time that the fluid stays in the fluid receiving portion 11 is determined by the injection speed of the fluid, the viscosity of the fluid and the amount of the fluid, etc., the constant until the fluid injected from the fluid injection portion 10 flows into the microfluidic channel It is possible for the fluid to stay in the fluid receiving portion 11 for a time. While the fluid stays in the fluid containment 11, the fluid may continue to flow into the microfluidic channel, or may be stagnant in the fluid containment 11 when the injection stops at the fluid inlet 10. .

상기 주입된 유체가 미세 유체 채널로 유입되기 전에 일정 시간 유체 수용부(11)에 머무르는 동안 유체 주입시 유체 내에 함께 유입된 공기 방울이 유체 수용부(11)와 연결된 덕트부(12)로 빠져나갈 수 있다. While the injected fluid stays in the fluid receiving portion 11 for a predetermined time before flowing into the microfluidic channel, air bubbles introduced together in the fluid may escape into the duct portion 12 connected to the fluid receiving portion 11 during the fluid injection. have.

본 발명에서 '덕트부(12)'는 공기 또는 유체가 흐를 수 있는 통로를 의미하는 것으로 본 발명의 덕트부(12)는 상단에 개폐가능한 덮개(13)를 포함할 수 있다. 덕트부(12)의 형상은 피펫 또는 스포이드를 이용하여 유체를 주입하기에 적당한 것으로서 동그라미, 세모, 네모 등의 형상이 가능하나 이에 제한되지는 않는다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에서 상기 덕트부(12)는 덮개(13)를 포함하며 덕트부(12)의 폭이 5 ~ 10 mm 이다. 덕트부(12)의 폭이 5 mm 이하이면 피펫이나 스포이드를 통하여 용액을 제거하거나 세포를 주입하기에 용이하지 않고, 10 mm 보다 클 경우에는 채널 내로 오염 물질이 쉽게 혼입될 수 있다.In the present invention, the duct part 12 refers to a passage through which air or fluid can flow, and the duct part 12 of the present invention may include an opening and closing cover 13 at an upper end thereof. The shape of the duct part 12 is suitable for injecting a fluid using a pipette or an eyedropper, but may be a circle, a triangle, a square, or the like, but is not limited thereto. In one preferred embodiment of the present invention, the duct part 12 includes a cover 13 and the width of the duct part 12 is 5 to 10 mm. When the width of the duct part 12 is 5 mm or less, it is not easy to remove the solution or inject cells through the pipette or the dropper, and when larger than 10 mm, contaminants may be easily introduced into the channel.

도 3에 도시된 바와 같이, 종래 유체 주입구만을 포함하는 미세 유체칩(A)과 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)를 포함하는 미세 유체칩(B)에 각각 유체를 주입할 경우, (a)와 같이 용액 유입되다가 (b)와 같이 유입 용액 내 공기 (붉은 화살표) 가 포함 되게 되면 (A) 경우에는 공기 방울이 미세 유체 채널 구조 사이에 끼어 잘 빠지지 않아 유체 흐름을 방해하나, 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)를 사용한 (B)의 경우에는 용액 유입 도중 기체가 주입되어도 미세 유체 채널 내에는 유입되지 않으므로 채널 내에는 (a) 상태와 같은 안정적인 유체 흐름이 유지될 수 있다.As shown in FIG. 3, when injecting fluid into the microfluidic chip A including only the conventional fluid injection port and the microfluidic chip B including the microfluidic chip device 100 of the present invention, respectively (a When (b) includes air (red arrow) in the inflow solution as shown in (b), the air bubbles are interposed between the microfluidic channel structures to prevent fluid flow. In the case of (B) using the fluid chip device 100, even when gas is injected during solution inflow, the fluid is not introduced into the microfluidic channel, so that a stable fluid flow such as (a) may be maintained in the channel.

특히 미세 유체 유체 채널이 헤링본 구조나 뱀모양 구조와 같이 복잡한 구조를 가지는 경우 주입구를 통하여 주입되는 유체에 공기 방울이 포함되면 미세 유체 채널 내 농도 구배의 형성시나 유체의 혼합시에 유입된 공기 방울에 의하여 유체의 흐름이 매우 달라진다. 따라서, 본 발명에 따른 덕트부(12)는 유체와 함께 유입된 공기 방울을 유체가 미세 유체 채널로 주입되기 전에 제거함으로써 상기 문제점을 해결할 수 있다. 유체와 함께 유입된 공기 방울은 가벼우므로 유체 수용 부(11)에서 머무르는 동안 덕트부(12) 쪽으로 올라가게 되고 유체만 미세 유체 채널 내로 유입되는 것이 가능하다.In particular, when the microfluidic fluid channel has a complicated structure, such as a herringbone structure or a snake-like structure, when air is included in the fluid injected through the inlet, the air bubbles introduced during the formation of the concentration gradient in the microfluidic channel or when the fluid is mixed The flow of fluid is very different. Therefore, the duct part 12 according to the present invention can solve the above problem by removing the air bubbles introduced with the fluid before the fluid is injected into the microfluidic channel. Since the air bubbles introduced with the fluid are light, it is possible to ascend toward the duct part 12 while staying in the fluid receiving part 11 and only the fluid is introduced into the microfluidic channel.

또한, 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)의 덕트부(12)를 통하여, 피펫 또는 스포이드를 이용하여 유체 주입부(10)를 통해 주입된 다른 종류 또는 같은 종류의 유체를 추가로 주입할 수 있고, 본 발명의 덕트부(12)를 통하여 미세 유체 채널 내에 세포를 유입할 수도 있다. 피펫이나 스포이드를 이용하여 세포가 포함된 배지를 직접 덕트부(12)를 통하여 유입함으로써 종래 유체 주입구의 주사기의 압력을 이용하여 세포를 밀어 넣을 경우 세포가 상해를 입는 문제점이 발생하지 않는다. 또한, 세포 약물 스크리닝의 경우 해당 약물을 상기 덕트부(12)를 통하여 주입할 수 있다. 또한, 유체 주입부(10)에서는 액체인 용액을 유입하지 않고 빈 주사기를 연결시켜 기체를 밀어 넣어 주면서 미세 유체 채널 내로 유입될 용액은 상기 덕트부(12)를 통하여 유입시키는 것도 가능하다.In addition, through the duct part 12 of the device 100 for a microfluidic chip of the present invention, another kind or the same kind of fluid injected through the fluid injector 10 may be additionally injected using a pipette or an eyedropper. The cells may be introduced into the microfluidic channel through the duct part 12 of the present invention. When a cell containing a cell is directly introduced through a duct part 12 using a pipette or an eyedropper, the cell is not injured when the cell is pushed using the pressure of a syringe of a conventional fluid inlet. In addition, in the case of cell drug screening, the drug may be injected through the duct part 12. In addition, in the fluid inlet 10, a solution to be introduced into the microfluidic channel may be introduced through the duct part 12 while pushing the gas by connecting an empty syringe without introducing a solution that is a liquid.

또한, 본 발명의 덕트부(12)를 통하여 미세 유체 채널 내로 유입된 유체를 제거하는 것이 가능하다. 유체의 교환이 필요한 경우, 종래에는 유체 주입구에서 다른 유체가 포함된 튜브를 이미 주입된 유체의 튜브와 교환하고 새로운 유체를 주입시킬 수 밖에 없으므로, 새로운 유체 주입 후 일정 시간은 먼저 주입한 유체와 새로운 유체의 혼합이 생기고, 새로운 유체 주입 후 유체가 완전히 바뀔 때까지 일정시간이 소요된다. 그러나, 본 발명은 덕트부(12)를 통하여 이미 주입된 유체를 제거하고 유체 주입부(10)로 새로운 유체를 주입함으로써 먼저 주입된 유체와 새로운 유체의 혼합이 거의 생기지 않으며, 빠르게 유체를 교환할 수 있다.In addition, it is possible to remove the fluid introduced into the microfluidic channel through the duct part 12 of the present invention. In the case where the fluid needs to be exchanged, conventionally, the fluid inlet has to replace a tube containing another fluid with a tube of already injected fluid and inject a new fluid. It takes some time for the mixing of the fluid to occur and for the fluid to change completely after a new fluid injection. However, the present invention removes the fluid already injected through the duct part 12 and injects a new fluid into the fluid injection part 10, so that a mixture of the first injected fluid and the new fluid hardly occurs, and the fluid can be changed quickly. Can be.

본 발명은 상기 유체 주입부(10), 유체 수용부(11) 및 덕트부(12)로 이루어진 미세 유체칩용 소자(100)를 1개 이상 포함하는 미세 유체칩을 제공한다.The present invention provides a microfluidic chip including one or more microfluidic chip elements 100 including the fluid injecting part 10, the fluid accommodating part 11, and the duct part 12.

본 발명에 따른 미세 유체칩용 소자(100)가 포함될 수 있는 미세 유체칩은 미세 유체 공학에서 사용되는 랩온어칩을 의미하며, 또한 이러한 의미는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적으로 사용되고 이 분야의 당업자라면 쉽게 이해할 수 있는 의미라고 할 수 있다. The microfluidic chip, which may include the microfluidic chip device 100 according to the present invention, refers to a lab-on-a-chip used in microfluidics, and this meaning is commonly used in the art to which the present invention pertains, and those skilled in the art Ramen can be said to be easily understood.

또한, 본 발명은 상기 미세 유체칩용 소자(100)의 제조방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a method for manufacturing the device 100 for the microfluidic chip.

본 발명에 따른 미세 유체칩용 소자(100)의 제조방법은The method of manufacturing a microfluidic chip device 100 according to the present invention

하부 플레이트(20)의 바닥면에 미세채널(14)을 형성시키는 단계,Forming the microchannels 14 on the bottom surface of the lower plate 20,

상기 미세채널(14)의 말단과 접하도록 하부 플레이트(20)를 관통하는 구멍을 뚫어 유체 수용부(11)를 형성시키는 단계,Forming a fluid receiving portion 11 by drilling a hole through the lower plate 20 to contact the end of the microchannel 14,

상기 유체 수용부(11)를 덮을 수 있는 상부 플레이트(21)를 접합시키는 단계,Bonding the upper plate 21 to cover the fluid receiving part 11;

상기 유체 수용부(11)보다 작고 상부 플레이트(21)를 관통하는 2개의 구멍을 뚫어 상기 유체 수용부(11)와 연결되도록 유체 주입부(10)와 덕트부(12)를 형성시키되, 상기 덕트부(12)가 유체의 진행 방향에 대하여 상기 유체 주입부(10)보다 상기 미세채널(14)에 가깝게 형성시키는 단계, 및The fluid injection part 10 and the duct part 12 are formed to be connected to the fluid receiving part 11 by drilling two holes smaller than the fluid receiving part 11 and penetrating the upper plate 21. Forming a portion 12 closer to the microchannel 14 than the fluid injecting portion 10 with respect to a flow direction of the fluid, and

상기 하부 플레이트(20)의 바닥면을 기판(22)에 접합시키는 단계를 포함한 다. Bonding the bottom surface of the lower plate 20 to the substrate 22.

또한, 상기 제조방법은 덕트부(12) 및 유체 주입부(10)에 맞는 관을 각각 끼우는 단계를 더 포함할 수 있으며, 덕트부(12)에는 개폐가능한 덮개(13)를 추가하는 것이 가능하다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에서 유체 주입부(10)와 덕트부(12)에는 각각 폭이 1 ~ 2 mm 및 5 ~ 10 mm인 관을 추가로 끼워 미세 유체칩용 소자(100)를 완성하였으나, 상기 유체 주입부(10) 및 덕트부(12)의 형상 및 폭은 당업자가 본 발명에 적합하다고 판단되는 범위내에서 자유로이 변경할 수 있다. In addition, the manufacturing method may further include the step of fitting the pipes to the duct part 12 and the fluid injection part 10, respectively, it is possible to add an opening and closing cover 13 to the duct part 12. . In the preferred embodiment of the present invention, the fluid inlet 10 and the duct 12 have a width of 1 to 2 mm and 5 to 10 mm, respectively, by inserting a tube for the microfluidic chip 100, The shape and width of the fluid injection section 10 and the duct section 12 can be freely changed within the range determined by those skilled in the art suitable for the present invention.

또한, 본 발명의 유체 주입부(10) 및 덕트부(12)는 유체 수용부(11)를 통하여 연결되며, 평행하게 위치할 수도 있고 직각으로 위치할 수도 있다. 다만, 유체 주입부(10)와 덕트부(12)가 직각으로 위치되는 경우에는 덕트부(12)는 유체 수용부(11)의 상부에 위치되도록 하는 것이 바람직하다. In addition, the fluid injection portion 10 and the duct portion 12 of the present invention is connected through the fluid receiving portion 11, may be located in parallel or at right angles. However, when the fluid injection part 10 and the duct part 12 are positioned at right angles, the duct part 12 is preferably positioned above the fluid receiving part 11.

상기 제조방법에서 하부 플레이트(20)와 상부 플레이트(21), 및 완성된 미세 유체칩용 소자(100)를 기판(22)에 접합하는 것은 플라즈마 접합을 이용하는 것이 바람직하며, 본 발명의 바람직한 일 실시예에서는 산소 플라즈마 접합을 이용하였다. 하부 플레이트(20)와 접착될 수 있는 기판(22)은 유리기판이 바람직하나, 이에 한정되지 않는다.In the manufacturing method, the lower plate 20, the upper plate 21, and the completed microfluidic chip device 100 are preferably bonded to the substrate 22 by using plasma bonding, and a preferred embodiment of the present invention. Oxygen plasma bonding was used. The substrate 22 that can be attached to the lower plate 20 is preferably a glass substrate, but is not limited thereto.

이러한 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)는 기존의 마이크로칩 제작에 널리 사용되는 폴리디메틸실록산(PDMS)을 사용하여 제작할 수 있고(Samuel K. Sia and George M. Whitesides, Electrophoresis, 2003, 24, 3563-3576) 폴리메틸메타클릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리아크리레이트(polyacrylates), 폴 리카보네이트(polycarbonates), 폴리스티렌(polystylene), 폴리실릭 올레핀(polycyclic olefins), 폴리이미드(polyimides) 및 폴리우레탄(polyurethanes)을 사용하여 제작될 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다.The device 100 for a microfluidic chip of the present invention can be manufactured using polydimethylsiloxane (PDMS), which is widely used in conventional microchip fabrication (Samuel K. Sia and George M. Whitesides, Electrophoresis, 2003, 24, 3563-3576) polymethylmethacrylate (PMMA), polyacrylates, polycarbonates, polystyrene, polycyclic olefins, polyimides and polyimides It may also be manufactured using urethane (polyurethanes), but is not limited thereto.

〔실시예〕[Examples]

하기의 실시예는 본 발명의 내용을 구체적으로 설명하기 위한 것이며, 이에 의하여 본 발명의 범위가 결코 한정되어 해석될 수 없다.The following examples are intended to specifically describe the contents of the present invention, whereby the scope of the present invention is never limited and can be interpreted.

실시예Example 1. 미세 유체칩용 소자(100)의 제작 1. Fabrication of microfluidic chip device 100

도 2에 나타난 바와 같이 미세 유체칩용 소자(100)를 제작하였다.As shown in FIG. 2, the device 100 for a microfluidic chip was manufactured.

PDMS로 이루어진 하부 플레이트(20)에 미세채널(14)을 주조한 후, 미세 유체 채널 말단에 폭이 8 mm 인 구멍을 내어 유체 수용부(11)를 제작하였다(i, ii). PDMS로 이루어진 상부 플레이트(21)를 유체 수용부(11) 및 미세채널(14)과 평행하고 유체 수용부를 덮을 수 있도록 하부 플레이트(20)에 산소 플라즈마 처리를 통해 접착하였다(iii). 상부 플레이트에 유체 수용부(11)보다 폭이 작고 상부 플레이트를 관통하는 구멍을 뚫어 폭이 6 mm 인 덕트부(12)와 폭이 1.2 mm인 유체 주입부(10)를 만들었다(ⅳ). 제작된 상부 및 하부 플레이트를 산소 플라즈마 접합 방법을 통하여 유리 기판(22)에 부착시켰다(ⅴ). (ⅵ) PCR용 마이크로 튜브를 뚜껑을 포함하도록 상단 부 반을 잘라 덕트부(12)에 꽂고, 유체 주입부(10)에는 관(튜빙)을 꽂아 주사기와 연결하였다.After casting the microchannel 14 to the lower plate 20 made of PDMS, the fluid receiving portion 11 was manufactured by making a hole having a width of 8 mm at the end of the microfluidic channel (i, ii). The upper plate 21 made of PDMS was attached to the lower plate 20 by oxygen plasma treatment so as to be parallel to the fluid receiving part 11 and the microchannel 14 and to cover the fluid receiving part (iii). In the upper plate, a width smaller than that of the fluid accommodating part 11 and a hole penetrating the upper plate was made to make a duct part 12 having a width of 6 mm and a fluid injection part 10 having a width of 1.2 mm (ⅳ). The prepared upper and lower plates were attached to the glass substrate 22 through an oxygen plasma bonding method. (Iii) The micro-tube for PCR was cut into the duct part 12 so as to include a lid, and a tube (tubing) was inserted into the fluid injection part 10 to connect with a syringe.

실시예Example 2. 미세 유체칩용 소자(100)의 덕트부(12) 2. Duct part 12 of element 100 for microfluidic chip 를To 통한 염료 주입 확인 Dye injection via injection

도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 미세 유체칩용 소자(100)를 2개 구비한 미세 유체칩에 두 가지의 용액을 주입하였다. 미세 유체 채널 입구 부에 연결된 튜빙이 주사기와 연결되어 펌프를 이용해 일정 속도로 (10 ㎕/min) 무색의 물과 파란색의 염료를 주입(ⅰ)하였다. 다른 용액 주입을 위해 좌측 덕트부(12)의 뚜껑을 열고(ⅱ), 좌측 덕트부(12)에 있는 물을 피펫맨을 이용해 제거(ⅲ)한 후, 노란색 염료를 좌측 덕트부(12)를 통하여 피펫맨을 이용해 주입(ⅳ)하고 덮개(13)를 닫았다(v). 주사기와 연결된 튜빙으로는 물과 파란색 염료를 계속적으로 주입하였으며, 좌측 덕트부(12)를 통하여 유입된 노란 염료가 밀려 나와 미세 유체 채널 내에는 노란색과 파란색 염료가 흐르는 상태가 됨을 확인할 수 있었다(vi). 과정에서 덕트부(12)의 덮개(13)를 닫자 약간의 압력이 걸려 (v)에서와 같이 미세 유체내에서 노란 염료와 푸른 염료가 섞여 녹색의 유체가 흐르는 상황이 발생하였으나, 1분 내에 (vi)와 같이 정상적으로 노란색과 파란색 염료가 흐르는 상태로 회복됨을 확인하였다.As shown in FIG. 4, two solutions were injected into the microfluidic chip including two microfluidic chip elements 100 according to the present invention. Tubing connected to the microfluidic channel inlet was connected with a syringe to inject colorless water and blue dye at a constant rate (10 μl / min) using a pump. Open the lid of the left duct section 12 for another solution injection (ii), remove the water in the left duct section 12 using a pipetteman, and then remove the yellow dye from the left duct section 12. The pipette was injected using a pipette man and the cover 13 was closed (v). Water and blue dye were continuously injected into the tubing connected to the syringe, and yellow dye introduced through the left duct part 12 was pushed out, and yellow and blue dye flowed in the microfluidic channel (vi). ). When the cover 13 of the duct part 12 was closed in the process, a slight pressure was applied, and a yellow fluid and a blue dye were mixed in the microfluid as shown in (v). As shown in vi), yellow and blue dyes were normally recovered to flow.

실시예Example 3. 미세 유체칩용 소자(100)가 포함된 미세 유체 채널의 농도  3. Concentration of the microfluidic channel including the microfluidic chip device 100 구배gradient 확인 Confirm

본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)를 2개를 포함하도록 미세 유체칩을 제작하였다. 농도 구배 채널은 채널의 폭이 0.2 mm 가 되도록 제작하였으며, 세포 배 양 채널은 폭이 2 mm 되도록 제작하였다(도5). 미세 유체 칩의 유체 주입부(10) 1을 통해 붉은색 형광을 띄는 로도민 (rhodamine)10 uM)을 주입하고, 유체 주입부(10) 2를 통하여 증류수를 주입한 후 세포 배양 채널에 형성되는 로도민의 농도 구배를 형광 사진 및 형광강도의 프로파일을 도 6에 나타내었다. 그 결과 농도 구배가 고르게 형성됨을 확인할 수 있었다.The microfluidic chip was manufactured to include two microfluidic chip elements 100 of the present invention. The concentration gradient channel was made to have a width of 0.2 mm, and the cell culture channel was made to have a width of 2 mm (FIG. 5). A red fluorescent rhodamine (10 uM) is injected through the fluid injection part 10 1 of the microfluidic chip, and distilled water is injected through the fluid injection part 10 2 to be formed in the cell culture channel. The concentration gradient of rhodamine is shown in FIG. 6 by fluorescence photograph and fluorescence intensity profile. As a result, it was confirmed that the concentration gradient is formed evenly.

실시예Example 4. 미세  4. Fine 유체칩Fluid chip 내 세포 배양 My cell culture

실시예 1에서 제작된 미세 유체칩용 소자(100)를 포함하는 미세 유체칩의 덕트부(12)의 덮개(13)를 열어 피펫으로 장상피 세포주 HT-20가 포함된 배지를 넣고 덮개(13)를 닫아 채널 내로 세포를 유입시킨 후, 용액 입구부를 통하여 하루동안 배지를 흘려보내면서 세포를 배양하였다. 그 결과 세포가 채널 내에 고르게 분포되어 잘 배양되는 것을 확인할 수 있었다(도 7). Open the cover 13 of the duct part 12 of the microfluidic chip including the microfluidic chip device 100 manufactured in Example 1, and put the medium containing the intestinal epithelial cell line HT-20 into a pipette and the cover 13 After closing the cells into the channel, the cells were cultured while flowing the medium through the solution inlet for one day. As a result, it was confirmed that the cells were evenly distributed in the channel and well cultured (FIG. 7).

[도 1]은 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)(A) 및 실제 제작예(B)를 도시한 것이다. 실제 제작예(B)에서 덕트부(12)에는 200 ㎕ 용량의 마이크로 튜브를 뚜껑을 포함하도록 상단 부분의 반을 잘라서 끼워넣었으며, 유체 주입부(10)에는 주사기에 연결된 관을 끼워 넣었다.1 shows the microfluidic chip element 100 (A) and the actual fabrication example (B) of the present invention. In the actual production example (B), the duct part 12 was cut into a half of the upper part to include a lid of a 200 μl capacity microtube, and the fluid injection part 10 was inserted into a tube connected to the syringe.

[도 2]는 본 발명에 따른 미세 유체칩용 소자(100)의 제조방법을 도시한 것이다.2 illustrates a method of manufacturing a device 100 for a microfluidic chip according to the present invention.

[도 3]은 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)의 공기 방울 제거 기능을 도시한 것이다. (A)는 종래 유체 주입구만을 포함하는 미세 유체칩이며, (B)는 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)를 포함하는 미세 유체칩이다.FIG. 3 illustrates the air bubble removing function of the device 100 for a microfluidic chip of the present invention. (A) is a microfluidic chip including only a conventional fluid injection port, and (B) is a microfluidic chip including the microfluidic chip element 100 of the present invention.

[도 4]는 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)의 일 실시예를 도시한 것이다.4 shows an embodiment of the device 100 for a microfluidic chip of the present invention.

[도 5]는 본 발명의 미세 유체칩용 소자(100)를 두 개의 입구부 및 세포 주입구에 적용한 미세 유체 칩 채널의 도면(A) 및 일 제작예(B)를 도시한 것이다.FIG. 5 illustrates a drawing (A) and a fabrication example (B) of a microfluidic chip channel in which the microfluidic chip device 100 of the present invention is applied to two inlets and a cell inlet.

[도 6]은 도 5에 따라 제작된 미세 유체 칩의 세포 배양 구역에 형성된 농도 구배의 형광 사진 및 형광 강도의 프로파일을 나타낸 것이다.FIG. 6 shows fluorescence photographs and fluorescence intensity profiles of concentration gradients formed in the cell culture zone of the microfluidic chip prepared according to FIG. 5.

[도 7]은 도 5에 따라 제작된 미세 유체 칩 내에서 하루 동안 배양시킨 장상피 세포의 사진이다.FIG. 7 is a photograph of intestinal epithelial cells cultured for one day in the microfluidic chip prepared according to FIG. 5.

10 : 유체 주입부 10: fluid inlet

11 : 유체 수용부11: fluid receiving part

12: 덕트부12: duct section

13: 덮개13: cover

14: 미세채널14: microchannel

20: 하부 플레이트20: lower plate

21: 상부 플레이트21: top plate

22: 기판22: substrate

100: 미세 유체칩용 소자100: element for microfluidic chip

Claims (14)

유체 주입부(10);A fluid inlet 10; 주입된 유체가 미세채널(14)로 유입되기 위해 일정 시간 머무르는 유체 수용부(11); 및A fluid receiving portion 11 which stays for a predetermined time for the injected fluid to flow into the microchannel 14; And 상기 유체 수용부(11)와 연결되어 있으면서, 유체 주입시 유체와 함께 유입된 공기를 배출시키거나, 상기 유체 주입부(10)를 통해 주입된 유체와 다른 종류의 유체를 주입하기 위한 덕트부(12);While being connected to the fluid receiving portion 11, the duct portion for discharging the air introduced with the fluid during the fluid injection, or for injecting a different type of fluid from the fluid injected through the fluid injection (10) ( 12); 로 이루어진 미세 유체칩용 소자(100).Device for microfluidic chip 100 made of. 제1항에 있어서, 덕트부(12)는 그 상단에 개폐 가능한 덮개(13)가 구비된 것인 미세 유체칩용 소자.The device for microfluidic chip according to claim 1, wherein the duct part (12) is provided with a cover (13) openable at an upper end thereof. 제1항에 있어서, 유체 주입부(10)는 주입될 유체가 담긴 주사기와 연결될 수 있도록 형성된 것인 미세 유체칩용 소자.The device of claim 1, wherein the fluid injection part is formed to be connected to a syringe containing a fluid to be injected. 제1항에 있어서, 덕트부(12)는 피펫 또는 스포이드 작업을 수행할 수 있을 정도의 폭으로 형성된 것인 미세 유체칩용 소자.The device for microfluidic chip of claim 1, wherein the duct part 12 is formed to a width sufficient to perform a pipette or an eyedropper operation. 제4항에 있어서, 덕트부(12)는 폭이 5 - 10 mm인 미세 유체칩용 소자.The device for microfluidic chip according to claim 4, wherein the duct section has a width of 5-10 mm. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 소자를 1개 이상 포함하는 미세 유체칩.A microfluidic chip comprising at least one device according to any one of claims 1 to 5. 하부 플레이트(20)의 바닥면에 미세채널(14)을 형성시키는 단계,Forming the microchannels 14 on the bottom surface of the lower plate 20, 상기 미세채널(14)의 말단과 접하도록 하부 플레이트(20)를 관통하는 구멍을 뚫어 유체 수용부(11)를 형성시키는 단계,Forming a fluid receiving portion 11 by drilling a hole through the lower plate 20 to contact the end of the microchannel 14, 상기 유체 수용부(11)를 덮을 수 있는 상부 플레이트(21)를 접합시키는 단계,Bonding the upper plate 21 to cover the fluid receiving part 11; 상기 유체 수용부(11)보다 작고 상부 플레이트(21)를 관통하는 2개의 구멍을 뚫어 상기 유체 수용부(11)와 연결되도록 유체 주입부(10)와 덕트부(12)를 형성시키되, 상기 덕트부(12)가 유체의 진행 방향에 대하여 상기 유체 주입부(10)보다 상기 미세채널(14)에 가깝게 형성시키는 단계, 및The fluid injection part 10 and the duct part 12 are formed to be connected to the fluid receiving part 11 by drilling two holes smaller than the fluid receiving part 11 and penetrating the upper plate 21. Forming a portion 12 closer to the microchannel 14 than the fluid injecting portion 10 with respect to a flow direction of the fluid, and 상기 하부 플레이트(20)의 바닥면을 기판(22)에 접합시키는 단계Bonding the bottom surface of the lower plate 20 to the substrate 22 를 포함하는 미세 유체칩용 소자(100)의 제조방법.Method for producing a microfluidic chip device 100 comprising a. 제 7항에 있어서, 유체 수용부(11)는 폭이 7 - 12 mm인 제조방법.8. A method according to claim 7, wherein the fluid receiving portion (11) is 7-12 mm wide. 제 7항에 있어서, 유체 주입부(10)는 주입될 유체가 담긴 주사기와 연결될 수 있도록 형성된 것인 제조방법.8. The method of claim 7, wherein the fluid inlet (10) is formed to be connected to a syringe containing the fluid to be injected. 제 7항에 있어서, 덕트부(12)는 개폐 가능한 덮개(13)가 구비되고 피펫 또는 스포이드 작업을 수행할 수 있을 정도의 폭으로 형성된 것인 제조방법.8. The method according to claim 7, wherein the duct section (12) is provided with an opening and closing cover (13) and formed to a width wide enough to perform a pipette or dropper operation. 제 10항에 있어서, 덕트부(12)는 폭이 5-10 mm인 제조방법.The method according to claim 10, wherein the duct section (12) is 5-10 mm wide. 제 7항에 있어서, 상부 플레이트(21)의 넓이는 유체 수용부의 넓이보다 넓고 하부 플레이트(20) 넓이보다 넓지 않은 제조방법.8. A method according to claim 7, wherein the width of the upper plate (21) is wider than the width of the fluid receiving portion and not wider than the width of the lower plate (20). 제 7항에 있어서, 접합은 플라즈마 접합 방법을 통한 것인 제조방법.8. The method of claim 7, wherein the bonding is via a plasma bonding method. 제 6항에 있어서, 상부 또는 하부 플레이트(10, 20)는 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리메틸메타클릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리아크리레이트(polyacrylates), 폴리카보네이트(polycarbonates), 폴리스티렌(polystylene), 폴리실릭 올레핀(polycyclic olefins), 폴리이미드(polyimides) 및 폴리우레탄(polyurethanes)로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 제작된 제조방법.The method of claim 6, wherein the upper or lower plates (10, 20) are made of polydimethylsiloxane (PDMS), polymethylmethacrylate (PMMA), polyacrylates, polycarbonates, A manufacturing method made of any one selected from the group consisting of polystyrene, polycyclic olefins, polyimides and polyurethanes.
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