KR20110002318A - Semiconductor memory device and testing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 설계 기술에 관한 것으로, 특히 다수의 메모리 뱅크를 인에이블(enable)시켜 테스트 동작을 수행하는 반도체 메모리 장치와 그의 테스트 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로 DDR SDRAM(Double Data Rate Synchronous DRAM)을 비롯한 반도체 메모리 장치의 공정 기술이 급속도로 발전함에 따라 반도체 메모리 장치를 구성하는 내부 회로의 집적도는 나날이 증가하고 있다. 이러한 높은 집적도로 인하여 반도체 메모리 장치 내에는 수천만 개 이상의 메모리 셀(memory cell)을 구비할 수 있게 되었으며, 메모리 셀의 증가는 보다 많은 데이터를 저장할 수 있는 기반을 마련해 주었다. 하지만, 메모리 셀 들의 증가는 이를 테스트하는데 소모되는 시간 역시 늘려주었다. 테스트를 수행하는데 소모되는 시간은 제품의 비용(cost)을 결정하는 요소로 작용하기 때문에, 이를 단축하기 위한 여러 가지 방안들이 제시되고 있 다. 이중 하나가 압축 테스트 모드(compress test mode)이다. 압축 테스트 모드란 다수의 메모리 셀에 원하는 데이터를 저장한 이후 저장된 데이터를 압축하여 출력하는 방법으로써, 테스트 수행자는 압축되어 출력되는 압축 데이터를 근거로 다수의 메모리 셀의 정상/불량을 판단할 수 있다.In general, as the process technology of semiconductor memory devices including DDR Double Data Rate Synchronous DRAM (DRAM) is rapidly developed, the density of internal circuits constituting the semiconductor memory device is increasing day by day. This high degree of integration allows more than tens of millions of memory cells to be provided in a semiconductor memory device, and the increase in memory cells has provided a foundation for storing more data. However, the increase in memory cells also increased the time spent testing them. Since the time spent performing the test is a factor in determining the cost of the product, various measures have been proposed to shorten it. One of them is the compression test mode. The compression test mode is a method of compressing and outputting stored data after storing desired data in a plurality of memory cells, and a tester can determine whether the memory cells are normal or defective based on the compressed and output compressed data. .
도 1 은 기존의 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a block diagram illustrating a part of a configuration of a conventional semiconductor memory device.
도 1 을 참조하면, 반도체 메모리 장치는 뱅크 인에이블신호 생성부(110)와 메모리 영역(130)을 구비한다.Referring to FIG. 1, a semiconductor memory device includes a bank enable
뱅크 인에이블신호 생성부(110)는 압축 테스트신호(TPARA)와 액티브 신호(ACT)에 응답하여 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)를 생성한다. 여기서, 압축 테스트신호(TPARA)는 압축 테스트 모드 진입(entry)시 활성화되는 신호이고, 액티브 신호(ACT)는 반도체 메모리 장치의 액티브 동작시 활성화되는 신호이다.The bank enable
메모리 영역(130)은 다수의 메모리 셀을 각각 구비하는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)를 포함하며, 각 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)는 해당하는 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>) 각각에 응답하여 인에이블된다.The
도 2 는 도 1 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 2 is a timing diagram for describing an operation waveform of each signal in the configuration of FIG. 1.
도 1 과 도 2 를 참조하하여 반도체 메모리 장치의 압축 테스트 모드에 대하여 살펴보기로 한다. 우선, 압축 테스트 모드에 진입하게 되면 압축 테스트신 호(TPARA)는 논리'로우(low)'에서 논리'하이(high)'로 천이한다. 이후 액티브 신호(ACT)가 활성화되면 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)는 모두 논리'로우'에서 논리'하이'로 천이하며 활성화된다. 이렇게 활성화된 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)를 인에이블시킨다.A compression test mode of a semiconductor memory device will be described with reference to FIGS. 1 and 2. First, when the compression test mode is entered, the compression test signal TPARA transitions from logic 'low' to logic 'high'. Thereafter, when the active signal ACT is activated, all of the bank enable signals EN_BK <0: 7> are activated by transitioning from logic 'low' to logic 'high'. The activated plurality of bank enable signals EN_BK <0: 7> enable the plurality of memory banks BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7.
이어서, 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)가 인에이블되면, 테스트 수행자는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)에 테스트 데이터를 입력한다. 이렇게 입력된 데이터는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)에 저장되고, 이후 이렇게 저장된 테스트 데이터는 데이터 압축 회로(도시되지 않음)를 통해 압축되어 출력된다. 테스트 수행자는 이렇게 출력되는 압축 데이터를 근거로 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)에 포함되는 다수의 메모리 셀의 정상/불량을 판단할 수 있다.Then, when multiple memory banks (BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7) are enabled, the test performer performs a plurality of memory banks (BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, Enter test data in BANK7). The data thus input is stored in a plurality of memory banks BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7, and the test data thus stored is compressed and output through a data compression circuit (not shown). . The test performer may determine whether the memory cells are included in the memory banks BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, and BANK7 in a normal / defective manner based on the output compressed data.
위의 동작에서 살펴보았듯이, 압축 테스트 모드에서는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)가 액티브 신호(ACT)에 대응하여 한 시점에 모두 인에이블 된다. 이는 테스트 장비로 하여금 과도한 피크 전류(peak current)를 야기한다. 즉, 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)가 한 시점에 모두 인에이블되면서 요구되는 전류량이 급격하게 증가하고, 이를 공급해 주어야하는 테스트 장비에는 과도한 피 크 전류가 발생한다. 과도한 피크 전류는 테스트 장비의 오동작을 유발하며, 테스트 장비의 오동작은 결국 테스트하고자 하는 반도체 메모리 장치의 상태를 정확하게 판단할 수 없다. 나아가 불량이 발생한 반도체 메모리 장치에 대하여 정상이라는 잘못된 테스트 결과를 검출할 수 있으며, 이는 출하된 반도체 메모리 장치의 신뢰성을 크게 떨어뜨리는 결과를 초래한다.As described above, in the compression test mode, the plurality of memory banks BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, and BANK7 are all enabled at one time in response to the active signal ACT. This causes the test equipment to have excessive peak current. That is, as many memory banks (BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, and BANK7) are all enabled at one time, the required amount of current rapidly increases and excessive peaks are required for test equipment that must supply them. Current is generated. Excessive peak current causes a malfunction of the test equipment, and the malfunction of the test equipment cannot accurately determine the state of the semiconductor memory device to be tested. Furthermore, a false test result of normal can be detected with respect to a defective semiconductor memory device, which greatly reduces the reliability of the shipped semiconductor memory device.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 인에이블시켜 테스트 모드를 수행할 수 있는 반도체 메모리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object thereof is to provide a semiconductor memory device capable of performing a test mode by sequentially enabling a plurality of memory banks.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 메모리 장치는, 다수의 뱅크 인에이블신호에 응답하여 인에이블되는 다수의 메모리 뱅크; 및 테스트 모드시 액티브 신호에 응답하여 상기 다수의 뱅크 인에이블신호를 순차적으로 활성화시키기 위한 지연수단을 구비한다.In accordance with an aspect of the present invention, a semiconductor memory device includes: a plurality of memory banks enabled in response to a plurality of bank enable signals; And delay means for sequentially activating the plurality of bank enable signals in response to an active signal in a test mode.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 반도체 메모리 장치는, 테스트 모드시 액티브 신호에 응답하여 제1 및 제2 뱅크 인에이블신호를 생성하기 위한 인에이블신호 생성수단; 상기 제1 및 제2 뱅크 인에이블신호 각각을 제1 및 제2 지연시간만큼 지연하여 출력하기 위한 제1 및 제2 지연수단; 및 상기 제1 및 제2 지연수단에서 출력되는 신호에 응답하여 인에이블되는 다수의 메모리 뱅크를 구비한다.In accordance with another aspect of the present invention, a semiconductor memory device includes: enable signal generation means for generating first and second bank enable signals in response to an active signal in a test mode; First and second delay means for delaying and outputting each of the first and second bank enable signals by a first and a second delay time; And a plurality of memory banks enabled in response to the signals output from the first and second delay means.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 반도체 메모리 장치는, 테스트 모드시 액티브 신호에 응답하여 소오스 인에이블신호를 생성하기 위한 인에이블신호 생성수단; 상기 소오스 인에이블신호에 서로 다른 지연시간을 반영하여 다수의 뱅크 인에이블신호를 생성하기 위한 지연수단; 및 상기 다수의 뱅크 인에이블신호에 응답하여 인에이블되는 다수의 메모리 뱅크를 구비한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory device, comprising: enable signal generation means for generating a source enable signal in response to an active signal in a test mode; Delay means for generating a plurality of bank enable signals by reflecting different delay times to the source enable signals; And a plurality of memory banks enabled in response to the plurality of bank enable signals.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 방법은, 테스트 모드시 순차적으로 활성화되는 다수의 뱅크 인에이블신호를 생성하는 단계; 상기 다수의 뱅크 인에이블신호에 응답하여 다수의 메모리 뱅크를 인에이블시키는 단계; 및 상기 다수의 메모리 뱅크에 예정된 테스트 데이터를 입력하고, 이를 압축하여 출력하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a test method of a semiconductor memory device, the method comprising: generating a plurality of bank enable signals sequentially activated in a test mode; Enabling a plurality of memory banks in response to the plurality of bank enable signals; And inputting predetermined test data into the plurality of memory banks, compressing the predetermined test data, and outputting the compressed test data.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치는 테스트 모드시 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 인에이블시킴으로써, 테스트 모드시 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류를 줄여주는 것이 가능하다.In the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention, by sequentially enabling the plurality of memory banks in the test mode, it is possible to reduce the peak current generated in the test equipment in the test mode.
본 발명은 테스트 모드시 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 인에이블시켜 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류를 줄여줌으로써, 테스트 장비의 오동작을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, by enabling a plurality of memory banks sequentially in the test mode, the peak current generated in the test equipment is reduced, thereby preventing the malfunction of the test equipment.
또한, 본 발명은 안정적인 압축 테스트 모드를 통해 얻어지는 테스트 결과를 통해 테스트 대상이 되는 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 상태를 정확하게 판단할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the present invention can obtain the effect of accurately determining the memory cell state of the semiconductor memory device to be tested through the test result obtained through the stable compression test mode.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. .
도 3 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도이다.3 is a block diagram illustrating a part of a configuration of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.
도 3 을 참조하면, 반도체 메모리 장치는 뱅크 인에이블신호 생성부(310)와, 지연부(330), 및 메모리 영역(350)을 구비한다.Referring to FIG. 3, the semiconductor memory device includes a bank enable
뱅크 인에이블신호 생성부(310)는 압축 테스트신호(TPARA)와 액티브 신호(ACT)에 응답하여 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)를 생성한다. 본 발명의 제1 실시예에 따르면 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>) 중 'EN_BK<0:3>' 뱅크 인에이블신호는 메모리 영역(350)으로 바로 전달되고, 나머지 'EN_BK<4:7>' 뱅크 인에이블신호는 지연부(330)로 전달된다.The bank enable
지연부(330)는 'EN_BK<4:7>' 뱅크 인에이블신호를 지연시켜 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<4:7>)를 생성한다. 여기서, 지연부(330)는 압축 테스트신호(TPARA)에 응답하여 입력 신호에 대한 지연 동작을 수행한다. 참고로, 노말 모드(normal mode)에 대응하는 동작을 수행하기 위하여, 노말 모드(normal mode)시 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)를 메모리 영역(350)으로 전달하기 위한 회로(도시되지 않음)가 구비되는 것이 바람직하며, 이때 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)는 외부에서 인가되는 어드레스에 대응하여 활성화된다.The
메모리 영역(350)은 다수의 메모리 셀을 각각 구비하는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)를 포함하며, 각 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7)는 'EN_BK<0:3>' 뱅크 인에이블신호와 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<4:7>) 각각에 응답하여 인에이블된다.The
도 4 는 도 3 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 4 is a timing diagram illustrating an operation waveform of each signal in the configuration of FIG. 3.
도 3 과 도 4 를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 압축 테스트 모드에 대하여 살펴보기로 한다. 우선, 압축 테스트 모드에 진입하게 되면 압축 테스트신호(TPARA)는 논리'로우'에서 논리'하이'로 천이한다. 이후 액티브 신호(ACT)가 활성화되면 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)가 모두 논리'로우'에서 논리'하이'로 천이하며 활성화된다. 이때, 'EN_BK<4:7>' 뱅크 인에이블신호는 지연부(330)로 입력되며 'tD' 시간만큼 지연되어 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<4:7>)로서 출력된다. 따라서, 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7) 중 'BANK0', 'BANK1', BANK2', 'BANK3' 메모리 뱅크는 'EN_BK<0:3>' 뱅크 인에이블신호에 의하여 인에이블되고, 'tD' 시간 이후에 'BANK4', 'BANK5', 'BANK6', 'BANK7' 메모리 뱅크는 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<4:7>)에 의하여 인에이블 된다. A compression test mode according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. First, when the compression test mode is entered, the compression test signal TPARA transitions from logic 'low' to logic 'high'. Thereafter, when the active signal ACT is activated, all of the bank enable signals EN_BK <0: 7> are activated by transitioning from logic 'low' to logic 'high'. At this time, the 'EN_BK <4: 7>' bank enable signal is input to the
여기서, 'BANK0', 'BANK1', BANK2', 'BANK3' 메모리 뱅크와 'BANK4', 'BANK5', 'BANK6', 'BANK7' 메모리 뱅크를 각각 하나의 뱅크 그룹이라 정의한다면, 본 발명의 제1 실시예에서는 다수의 메모리 뱅크(BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, BANK7) 중 하나의 뱅크 그룹과 다른 하나의 뱅크 그룹이 순차적으로 인에이블 된다. 이러한 순차적인 인에이블 동작에 의하여 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류는 감소한다.Here, the memory banks' BANK0 ',' BANK1 ', BANK2', and 'BANK3' and the 'BANK4', 'BANK5', 'BANK6' and 'BANK7' memory banks are defined as one bank group, respectively. In an exemplary embodiment, one bank group of the plurality of memory banks BANK0, BANK1, BANK2, BANK3, BANK4, BANK5, BANK6, and BANK7 and the other bank group are sequentially enabled. This sequential enable operation reduces the peak current generated by the test equipment.
도 5 는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도이다.5 is a block diagram illustrating a part of a configuration of a semiconductor memory device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 5 를 참조하면, 반도체 메모리 장치는 뱅크 인에이블신호 생성부(510)와, 다수의 지연부(530), 및 메모리 영역(550)을 구비한다. 뱅크 인에이블신호 생성부(510)와 메모리 영역은(550)은 도 3 의 제1 실시예에서 이미 설명하였으며, 제1 실시예와 비교하여 제2 실시예는 다수의 지연부(530)가 달라졌다.Referring to FIG. 5, a semiconductor memory device includes a bank enable
다수의 지연부(530)는 뱅크 인에이블 신호 생성부(510)에서 출력되는 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>) 각각에 서로 다른 지연시간을 반영하여 출력하기 위한 것으로, 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537)를 구비한다. 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537)는 압축 테스트신호(TPARA)에 응답하여 입력 신호에 대한 지연 동작을 수행하며, 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537)는 입력되는 신호에 대하여 서로 다른 지연시간이 반영될 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다.The plurality of
도 6 은 도 5 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 6 is a timing diagram for describing an operation waveform of each signal in the configuration of FIG. 5.
도 5 와 도 6 을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 압축 테스트 모드에 대하여 살펴보기로 한다.A compression test mode according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
압축 테스트 모드에 진입한 상태 즉, 압축 테스트신호(TPARA)가 활성화된 상태에서 액티브 신호(ACT)가 활성화되면, 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호는 뱅크 인에이블신호 생성부(510)에서 출력되어 메모리 영역(550)으로 전달되고 해당하는 메모리 뱅크(도시되지 않음)를 인에이블시킨다. 여기서, 'EN_BK<1:7>' 뱅크 인에이블신호 역시 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호와 함께 활성화된다. 이때, 'EN_BK<1:7>' 뱅크 인에이블신호는 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537) 중 해당하는 지연부로 입력되고 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537)는 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<1:7>)를 출력한다. 제1 내지 제7 지연부(531, …, 537)에서 반영되는 지연시간은 각각 서로 다르기 때문에, 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<1:7>) 각각은 서로 다른 지연 시간이 반영된다. 도면에서 볼 수 있듯이 'D_EN_BK<1>' 지연된 뱅크 인에이블신호는 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호와 대비하여 'tD1' 이후에 활성화되고, 'D_EN_BK<7>' 지연된 뱅크 인에이블신호는 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호와 대비하여 'tD7' 이후에 활성화된다. 메모리 영역(550)에 포함되는 각 뱅크들은 활성화 시점이 서로 다른 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호와 지연된 뱅크 인에이블신호(D_EN_BK<1:7>)에 응답하여 인에이블된다. 결국,이러한 순차적인 인에이블 동작에 의하여 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류는 감소한다.When the active signal ACT is activated while the compression test mode is entered, that is, when the compression test signal TPARA is activated, the 'EN_BK <0>' bank enable signal is generated by the bank enable
도 7 은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도이다.7 is a block diagram illustrating a part of a configuration of a semiconductor memory device according to a third embodiment of the present invention.
도 7 을 참조하면, 반도체 메모리 장치는 뱅크 인에이블신호 생성부(510)와, 다수의 지연부(730)를 구비한다.Referring to FIG. 7, a semiconductor memory device includes a bank enable
뱅크 인에이블신호 생성부(510)는 압축 테스트 모드에서 다수의 메모리 뱅크(도시되지 않음) 중 해당하는 메모리 뱅크를 인에이블시키기 위한 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호를 생성한다. 여기서, 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호는 'EN_BK<1:7>' 뱅크 인에이블신호를 생성하기 위한 소오스 신호가 된다.The bank enable
다수의 지연부(730)는 'EN_BK<0>' 뱅크 인에이블신호를 입력받아 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<1:7>)를 생성하기 위한 것으로, 직렬 연결된 제1 내지 제7 지연부(731, …, 737)를 구비한다. 여기서, 제1 내지 제7 지연부(731, …, 737) 각각은 압축 테스트신호(TPARA)에 응답하여 인에이블될 수 있다.The plurality of
본 발명의 제3 실시예의 경우 제2 실시예와 마찬가지로 서로 다른 활성화 시점을 가지는 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)를 얻을 수 있다. 이렇게 순차적으로 활성화되는 다수의 뱅크 인에이블신호(EN_BK<0:7>)는 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 인에블시키며, 이러한 순차적인 인에이블 동작에 의하여 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류는 감소한다.In the third embodiment of the present invention, as in the second embodiment, a plurality of bank enable signals EN_BK <0: 7> having different activation points can be obtained. The sequentially enabled bank enable signals EN_BK <0: 7> enable the memory banks sequentially, and the peak current generated in the test equipment is reduced by the sequential enable operations. .
전술한 바와 같이 본 발명의 제1 내지 제3 실시예는 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 활성화시켜 줌으로써, 테스트 장비에서 발생하는 피크 전류를 줄여주는 것이 가능하다. 테스트 장비 입장에서 피크 전류가 줄어드는 것은 그만큼 테스트 대상이 되는 반도체 메모리 장치를 보다 안정적으로 테스트할 수 있음을 의미하며, 곧 테스트 대상이 되는 반도체 메모리 장치의 상태를 보다 정확하게 판단하는 것이 가능하다.As described above, in the first to third embodiments of the present invention, by sequentially activating a plurality of memory banks, it is possible to reduce the peak current generated in the test equipment. Reducing the peak current from the test equipment means that the semiconductor memory device under test can be tested more stably, and thus, it is possible to more accurately determine the state of the semiconductor memory device under test.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 이상에서 설명한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경으로 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above-described preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.
또한, 전술한 실시예에서는 다수의 메모리 뱅크를 순차적으로 인에이블시켜 주는 것을 일례로 설명하였다. 하지만, 본 발명은 다수의 반도체 메모리 장치를 테스트하는데 사용되는 테스트 장비에 있어서 모든 반도체 메모리 장치가 한 시점에 동작하여 피크 전류가 늘어나는 문제점을 제거하는 경우에도 적용할 수 있다.In addition, in the above-described embodiment, the enabling of a plurality of memory banks in sequence has been described as an example. However, the present invention can be applied to a case in which all semiconductor memory devices operate at one time in the test equipment used to test a plurality of semiconductor memory devices, thereby eliminating the problem of increasing the peak current.
도 1 은 기존의 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도.1 is a block diagram for explaining a part of a configuration of a conventional semiconductor memory device.
도 2 는 도 1 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도.FIG. 2 is a timing diagram for explaining an operation waveform for each signal in the configuration of FIG. 1. FIG.
도 3 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도.3 is a block diagram for explaining a part of a configuration of a semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention;
도 4 는 도 3 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도.FIG. 4 is a timing diagram for describing an operation waveform of each signal in the configuration of FIG. 3. FIG.
도 5 는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도.FIG. 5 is a block diagram for explaining a part of a configuration of a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention; FIG.
도 6 은 도 5 의 구성에서 각 신호들에 대한 동작 파형을 설명하기 위한 타이밍도.FIG. 6 is a timing diagram for describing an operation waveform for each signal in the configuration of FIG. 5. FIG.
도 7 은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 일부 구성을 설명하기 위한 블록도.FIG. 7 is a block diagram for explaining a part of a configuration of a semiconductor memory device according to a third embodiment of the present invention; FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
310 : 뱅크 인에이블신호 생성부 330 : 지연부310: bank enable signal generator 330: delay unit
350 : 메모리 영역350 memory area
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KR1020090059848A KR20110002318A (en) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | Semiconductor memory device and testing method thereof |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101226276B1 (en) * | 2011-02-28 | 2013-01-25 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device comprising bank enable signal generation circuit |
-
2009
- 2009-07-01 KR KR1020090059848A patent/KR20110002318A/en not_active Application Discontinuation
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KR101226276B1 (en) * | 2011-02-28 | 2013-01-25 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device comprising bank enable signal generation circuit |
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