KR20100105263A - Substrate holder - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: In the substrate holder is the existing large area X rays image sensor manufacturing process, by replacing the vacuum absorption equipment for clinching substrate facility is simplified. CONSTITUTION: A substrate holder(100) is formed into the structure of including the main body(110) and fixing equipment. The main body is composed of the flake type member of the size winding than substrate. The shape of the main body becomes various according to the size and form of substrate. The fixing equipment comprises perpendicular the elastic member, and the horizontal elastic member and substrate securing clip(140).

Description

기판 홀더 {Substrate holder}Board Holder {Substrate holder}

본 발명은 기판 홀더에 관한 것으로, 보다 구체적으로 판상형의 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이한 구조의 기판 홀더에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate holder, and more particularly, to a substrate holder having a structure in which a plate-shaped substrate can be stably mounted and the substrate can be easily attached and detached.

일반적으로 의료분야에서 일반적으로 사용되는 영상 진단 장치인 엑스선 촬영장치는 엑스선 발생부와 촬영판으로 이루어져 환자의 신체 일정 부위에 엑스선을 조사하여 뼈의 골절 여부 및 장기의 이상 여부 등을 검진하는 장치이다.In general, an X-ray imaging apparatus, which is an image diagnosis apparatus generally used in a medical field, is composed of an X-ray generator and a photographing plate to examine X-rays on a certain part of a patient's body to check bone fractures and organ abnormalities. .

이때, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 엑스선 발생부와 촬영판 사이에 환자의 검진하고자 하는 신체부위를 위치시킨 상태에서 상기 엑스선 발생부에 의해 엑스선을 조사하면, 상기 촬영판을 통해 영상을 얻을 수 있는 구조로 이루어진다.In this case, the X-ray photographing apparatus is configured to obtain an image through the photographing plate when X-rays are irradiated by the X-ray generating unit while the body part to be examined is positioned between the X-ray generating unit and the photographing plate. Is made of.

그러나, 상기 엑스선 촬영장치는 상기 촬영판에서 촬영된 필름을 현상해야 하는 번거로움이 있었고, 여러 환자에 따른 필름을 보관, 관리하는 과정에서 많은 공간과 시간과 경비 및 인력이 필요한 문제점이 있었다.However, the X-ray photographing apparatus has a problem of developing a film photographed from the photographing plate, and a lot of space, time, expense, and manpower are required in the process of storing and managing films according to various patients.

따라서, 기존의 필름방식의 엑스선 촬영장치를 대체하는 기술로 DR(Digital Radiography)이라고 대표되는 X선 이미지 센서를 이용한 디지털 영상 진단 장치가 연구 진행되고 있다.Therefore, a digital imaging apparatus using an X-ray image sensor represented by DR (Digital Radiography) is being researched as a technology to replace an existing film type X-ray imaging apparatus.

상기 디지털 영상 진단 장치는 디지털 방식으로 영상을 획득하는 장치로서, 엑스선을 디지털 센서에 조사하여 이를 전기적인 신호로 바꾸어서 영상을 획득하는 장치이다. The digital imaging apparatus is an apparatus for acquiring an image in a digital manner, and is an apparatus for acquiring an image by irradiating an X-ray to a digital sensor and converting the same into an electrical signal.

따라서, 상기 X선 이미지 센서는 디지털 영상 진단 장치의 핵심적인 기술로, 상기 디지털 센서의 성능에 따라 상기 디지털 영상 진단 장치에서 출력되는 영상의 질을 좌우하게 된다.Therefore, the X-ray image sensor is a core technology of the digital imaging apparatus, and the quality of the image output from the digital imaging apparatus depends on the performance of the digital sensor.

이러한 X선 이미지 센서는 주로 환자의 사지골절, 두부 및 흉부와 같은 광범위한 면적의 영상을 획득하게 되는데, 이로 인해 상기 디지털 센서는 대면적 X선 이미지 센서로 제조되어야 한다.The X-ray image sensor mainly acquires images of a wide area such as limb fractures, heads, and chests of patients, and thus the digital sensor must be manufactured with a large area X-ray image sensor.

한편, 대면적 X선 이미지 센서의 제조 과정은 다음과 같다. Meanwhile, the manufacturing process of the large area X-ray image sensor is as follows.

먼저, TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성시킨 후, 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 1 지지 테이블에 위치시킨다. 그 다음, 신틸레이터 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨 후 상기 기판 홀더를 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨다. 그리고 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착시킨 후, 합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널의 외주 테두리 부위를 실링한다. 마지막으로, 합착된 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널에 회로기판 및 커버를 설치 또는 조립하여 대면적 X선 이미지 센서를 완성한다. First, an adhesive is applied on the TFT panel to form an adhesive layer, and then the TFT panel on which the adhesive layer is formed is placed on a first support table provided in the vacuum chamber. The scintillator panel is then mounted to a second support table provided in the vacuum chamber and then the substrate holder is mounted to a second support table provided in the vacuum chamber. Then, the second support table is moved to bond the scintillator panel and the TFT panel, and then the joined edges of the scintillator panel and the TFT panel are sealed. Finally, a circuit board and a cover are installed or assembled on the bonded scintillator panel and the TFT panel to complete a large area X-ray image sensor.

이 때, 상기 신틸레이터 패널은 상기 제 2 지지 테이블에 진공 흡착 방식을 사용하여 장착되며, 상기 신틸레이터 패널이 상기 TFT 패널에 합착될 때 진공 흡착을 해제하여 상기 제 2 지지 테이블에서 상기 신틸레이터 패널이 분리되게 한다. At this time, the scintillator panel is mounted on the second support table by using a vacuum adsorption method, and when the scintillator panel is bonded to the TFT panel, the vacuum adsorption is released to the scintillator panel on the second support table. To be separated.

그러나, 상기 진공 흡착 방식의 고정은 상기 신틸레이터 패널의 변형을 유발시키며, 변형된 신틸레이터 패널이 상기 TFT 패널과 합착되어 대면적 X선 이미지 센서를 제조하게 되면 센싱 결과가 정확하지 않거나, 오작동 및 고장의 원인이 되는 문제점이 발생한다. However, the fixing of the vacuum adsorption method causes deformation of the scintillator panel, and when the modified scintillator panel is combined with the TFT panel to produce a large area X-ray image sensor, the sensing result is not accurate or malfunctions and Problems that cause a failure occur.

또한, TFT 패널과 신틸레이터 패널의 합착 과정에 진공 흡착 설비를 구비하여야 하기 때문에 비용이 상승하고, 제 2 지지 테이블에 상기 신틸레이터 패널을 장착하는 작업이 복잡하다는 단점이 있다. In addition, since the vacuum adsorption facility must be provided in the bonding process of the TFT panel and the scintillator panel, the cost increases, and the work of mounting the scintillator panel on the second support table is complicated.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점과 과거로부터 요청되어온 기술적 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-described problems of the prior art and the technical problems required from the past.

본 발명의 목적은 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이하여, 이동이 간편한 구조의 기판 홀더를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate holder having a structure in which a substrate can be stably mounted, the substrate can be easily detached, and the structure can be easily moved.

또한, 본 발명의 목적은 종래의 대면적 X선 이미지 센서 제조 공정에서 기판을 고정시키기 위해 사용되는 진공 흡착 설비를 대체할 수 있으므로 기판의 변형을 방지하면서도 설비를 단순화시킬 수 있는 기판 홀더를 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a substrate holder that can replace the vacuum adsorption equipment used to hold the substrate in a conventional large area X-ray image sensor manufacturing process, thereby simplifying the installation while preventing deformation of the substrate. will be.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판을 올려놓는 본체, 및 상기 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치를 포함하고, 상기 고정장치는 상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되는 기판 고정 클립, 상기 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a main body on which a substrate is placed, and a plurality of fixing devices for fixing a portion of an edge of the substrate, wherein the fixing device applies elasticity in a vertical direction of the main body. It characterized in that it comprises a vertical elastic portion, a substrate fixing clip in close contact with the upper edge portion of the main body by the elasticity of the vertical elastic portion, a horizontal elastic portion for applying elasticity so that the substrate fixing clip is moved horizontally in the inner direction of the main body. .

바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 탄성부는, 상기 본체에 고정되어 있는 제 1 고정부, 상기 제 1 고정부와 제 1 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the horizontal elastic portion is connected to the first fixing portion fixed to the main body, the first fixing portion and the first elastic member, the horizontal moving portion to move horizontally in the inner or outer direction of the main body It is characterized by including.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 수직 탄성부는, 상기 수평 이동부와 제 2 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 수직 방향으로 이동하는 수직 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the vertical elastic portion is connected to the horizontal moving portion and the second elastic member, characterized in that it comprises a vertical moving portion moving in the vertical direction of the main body.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 이동부의 이동을 조절하는 수평 조절 손잡이를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, it further comprises a horizontal adjustment knob for adjusting the movement of the horizontal moving unit.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 수평 조절 손잡이를 당겨 상기 기판 고정 클립이 본체의 외측 방향으로 수평 이동한 상태에서 다시 본체의 내측 방향으로 이동하지 않도록 고정시키는 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, it characterized in that it comprises a locking portion for pulling the horizontal adjustment knob to fix the substrate fixing clip so as not to move again in the inner direction of the main body while the substrate fixing clip is horizontally moved in the outer direction of the main body.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 고정장치는 2 개의 기판 고정 클립을 구비 하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the fixing device is characterized by having two substrate fixing clips.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체의 하면에는 기판 홀더 이동 손잡이가 설치되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the lower surface of the body is characterized in that the substrate holder movement knob is installed.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체에는 외부 장치에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가 위치하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the main body is characterized in that the mounting groove or mounting screw for mounting to the external device is located.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 기판은 대면적 센서 기판인 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the substrate is a large area sensor substrate.

본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.The present invention has the following excellent effects.

본 발명의 기판 홀더는 기판을 안정적으로 장착할 수 있고, 기판의 탈착이 용이하여, 이동이 간편한 구조를 이룬다.The substrate holder of the present invention can stably mount the substrate, and the substrate can be easily attached and detached to form a structure that is easy to move.

또한, 본 발명의 기판 홀더는 종래의 대면적 X선 이미지 센서 제조 공정에서 기판을 고정시키기 위해 사용되는 진공 흡착 설비을 대체할 수 있으므로 기판의 변형을 방지하면서도 설비를 단순화시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the substrate holder of the present invention can replace the vacuum adsorption equipment used to fix the substrate in the conventional large area X-ray image sensor manufacturing process, thereby providing the effect of simplifying the installation while preventing deformation of the substrate.

본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.The terms used in the present invention were selected as general terms as widely used as possible, but in some cases, the terms arbitrarily selected by the applicant are included. In this case, the meanings described or used in the detailed description of the present invention are considered, rather than simply the names of the terms. The meaning should be grasped.

이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the technical structure of the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1에는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 홀더의 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 기판 홀더의 반대측 면에 관한 사시도가 도시되어 있다.1 shows a perspective view of a substrate holder according to a first embodiment of the invention, and FIG. 2 shows a perspective view of the opposite side of the substrate holder of FIG. 1.

이들 도면을 참조하면, 기판 홀더(100)는 본체(110) 및 고정장치를 포함하는 구조로 이루어진다.Referring to these drawings, the substrate holder 100 has a structure including a main body 110 and a fixing device.

상기 본체(100)는 기판을 올려놓을 수 있도록, 기판보다 넓은 크기의 판상형 부재로서, 기판의 크기 및 형태에 따라서 상기 본체의 형상이 다양해 질 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에서는 사각형의 기판을 고정하는 기판 홀더에 대한 도면 및 설명이 기재되어 있으나, 기판의 구조에 따라서 상기 기판 홀더의 본체는 원형, 타원형, 또는 다각형의 판상형 구조 등 다양한 형상을 가질 수 있다. The main body 100 is a plate-shaped member having a larger size than the substrate so that the substrate can be placed thereon, and the main body 100 may have various shapes according to the size and shape of the substrate. That is, in the embodiment of the present invention, although the drawings and description of the substrate holder for fixing the rectangular substrate is described, the body of the substrate holder according to the structure of the substrate has a variety of shapes such as circular, oval, or polygonal plate-like structure Can have

상기 고정장치는 수직 탄성부, 수평 탄성부, 및 기판 고정 클립(140)을 포함하며, 상기 수직 탄성부는 상기 기판 고정 클립(140)에 수직 방향으로 탄력을 인가하여 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에 밀착되도록 한다. 또한, 상기 수평 탄성부는 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가한다. 따라서, 상기 본체(110) 상에 기판을 올려놓은 후, 상기 수평 탄성부의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립이 상기 본체의 내측으로 수평 이동하면서 상기 기판 고정 클립(140)의 일부가 상기 기판의 테두리 부위상에 위치하게 되고, 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 기판의 테두리 부위를 수직으로 압박한다. 상기 고정장치의 작동에 관한 설명은 하기 도 3 내지 도 6의 설명에서 다시 구체적으로 설명한다.The fixing device includes a vertical elastic portion, a horizontal elastic portion, and a substrate fixing clip 140, wherein the vertical elastic portion applies elasticity to the substrate fixing clip 140 in a vertical direction to the upper edge of the main body 110. Make sure that it is in close contact with the site. In addition, the horizontal elastic portion applies elasticity so that the substrate fixing clip 140 moves horizontally in the inward direction of the main body 110. Therefore, after the substrate is placed on the main body 110, the substrate fixing clip is horizontally moved to the inside of the main body by the elasticity of the horizontal elastic portion, so that a part of the substrate fixing clip 140 is the edge portion of the substrate. The substrate fixing clip 140 vertically presses the edge portion of the substrate by the elasticity of the vertical elastic portion. Description of the operation of the fixing device will be described in detail again in the description of Figures 3 to 6 below.

또한 상기 고정장치는 기판을 안정적으로 고정할 수 있도록 복수 개가 상기 본체(110)의 테두리 부위에 설치된다. 구체적으로, 상기 고정장치는 상기 본체(110)의 테두리 부위에서 상기 본체(110)의 중심을 기준으로 대칭되도록 복수 개가 설치된다. 그리고, 상기 고정장치는 상기 기판을 더욱 안정적으로 고정할 수 있도록 기판 고정 클립(140)을 각각 2 개씩 포함된 구조로 이루어진다.In addition, a plurality of fixing devices are installed on the edge portion of the main body 110 to stably fix the substrate. Specifically, a plurality of fixing devices are installed to be symmetrical with respect to the center of the main body 110 at the edge portion of the main body 110. In addition, the fixing device has a structure in which two substrate fixing clips 140 are provided, respectively, so as to more stably fix the substrate.

상기 본체(110)에서, 상기 기판이 고정되는 면의 반대측 면에는 이동 손잡이(170)가 위치하며, 따라서 상기 기판 홀더(100)를 용이하게 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 기판 홀더(100)에 기판이 고정된 상태, 또는 고정되어 있지 않은 상태에서 상기 기판 홀더를 다른 위치로 이동시키는 작업이 용이해진다.In the main body 110, the movement handle 170 is located on the side opposite to the surface on which the substrate is fixed, so that the substrate holder 100 can be easily moved. That is, it becomes easy to move the substrate holder to another position while the substrate is fixed to the substrate holder 100 or not fixed.

또한, 상기 본체(110)에는 상기 기판 홀더(100)를 다른 외부 장치에 장착시키기 위한 장착 홈 또는 장착 나사(180)가 위치하며, 상기 다른 외부 장치에는 상기 장착 홈 또는 장착 나사에 대응하는 장착 나사 또는 장착 홈을 형성시켜서 상기 외부 장치에 상기 기판 홀더(100)가 안정적으로 장착되게 하는 구조를 이룬다. 그러나 상기 외부 장치에 상기 기판 홀더(100)가 장착나사 및 장착 홈에 의해서 장착되는 구조에 한정되지 않고, 다양한 구조로도 장착 구조의 구현이 가능하다. In addition, a mounting groove or a mounting screw 180 for mounting the substrate holder 100 to another external device is located in the main body 110, and a mounting screw corresponding to the mounting groove or a mounting screw is located in the other external device. Alternatively, the substrate holder 100 may be stably mounted to the external device by forming a mounting groove. However, the substrate holder 100 is not limited to a structure in which the substrate holder 100 is mounted to the external device by a mounting screw and a mounting groove, and the mounting structure may be implemented in various structures.

도 3 내지 도 6에는 고정장치의 작동 구조에 관한 측면도들이 도시되어 있다. 3 to 6 show side views of the working structure of the fixing device.

이들 도면을 참조하면, 상기 고정장치는 수평 탄성부, 수직 탄성부, 기판 고정 클립(140), 및 상기 수평 탄성부를 조절하는 수평 조절 손잡이(150)를 포함하는 구조를 이룬다.Referring to these drawings, the fixing device has a structure including a horizontal elastic portion, a vertical elastic portion, a substrate fixing clip 140, and a horizontal adjustment knob 150 for adjusting the horizontal elastic portion.

상기 수평 탄성부는 기판 홀더(100)의 본체(110)에 고정되어 있는 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128), 상기 제 1 고정부(122)와 제 1 탄성부재(126)로 연결되며, 상기 본체(110)의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부(124)를 포함한다. The horizontal elastic part includes a first fixing part 122 and a second fixing part 128 that are fixed to the main body 110 of the substrate holder 100, and the first fixing part 122 and the first elastic member 126. Is connected to, and includes a horizontal moving unit 124 to move horizontally in the inner or outer direction of the main body 110.

상기 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128)는 상기 본체(110)에 고정되어 상기 수평 이동부(124)의 수평 이동의 범위를 제한한다. 따라서, 상기 수평 이동부(124)는 상기 제 1 고정부(122) 및 제 2 고정부(128) 사이에서 이동하며, 상기 수평 이동부(124)의 이동 축(129) 상에 제 1 탄성부재(126)가 위치한다. 그리고, 상기 수평 이동부(124)와 상기 기판 고정 클립(140)이 연결되어 있다. 또한, 상기 제 1 탄성부재(126)에 의해 상기 수평 이동부(124)에 탄력이 인가되어 상기 수평 이동부(124)가 상기 본체(110)의 내측 방향으로 이동한다. 상기 수평 조절 손잡이(150)는 상기 수평 이동부(124)의 이동 축(129)에 연결되어 있어서, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 상기 본체(110)의 외측으로 잡아당기면 상기 수평 이동부(124)도 상기 본체(110)의 외측으로 이동하게 되고, 따라서 상기 기판 고정 클립(140)도 상기 수평 이동부(124)의 이동에 따라 상기 본체(110)의 외측으로 이동한다. The first fixing part 122 and the second fixing part 128 are fixed to the main body 110 to limit the range of horizontal movement of the horizontal moving part 124. Therefore, the horizontal moving part 124 moves between the first fixing part 122 and the second fixing part 128, and the first elastic member on the moving shaft 129 of the horizontal moving part 124. 126 is located. The horizontal moving part 124 and the substrate fixing clip 140 are connected to each other. In addition, elasticity is applied to the horizontal moving part 124 by the first elastic member 126 so that the horizontal moving part 124 moves inwardly of the main body 110. The horizontal adjusting knob 150 is connected to the moving shaft 129 of the horizontal moving part 124, so that the horizontal moving part 124 is pulled out of the main body 110. ) Also moves to the outside of the main body 110, so that the substrate fixing clip 140 also moves to the outside of the main body 110 in accordance with the movement of the horizontal moving part (124).

상기 수직 탄성부는 상기 수평 이동부(124)와 제 2 탄성부재(134)로 연결된 수직 이동부(132)를 포함한다. 상기 기판 고정 클립(140)은 상기 수직 이동부(132)와 수직 이동 축(136)으로 연결된다. 따라서 상기 수직 이동부(132)가 수직으로 이동하면 상기 기판 고정 클립(140)도 수직으로 이동한다. 즉, 상기 기판 고정 클립(140)은 상기 제 2 탄성부재(134)의 탄력에 의해서 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위를 압박하며, 상기 수직 이동부(132)를 누르면 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격된다. The vertical elastic part includes a vertical moving part 132 connected to the horizontal moving part 124 and the second elastic member 134. The substrate fixing clip 140 is connected to the vertical moving part 132 and the vertical moving axis 136. Therefore, when the vertical moving part 132 moves vertically, the substrate fixing clip 140 also moves vertically. That is, the substrate fixing clip 140 presses the upper edge portion of the main body 110 by the elasticity of the second elastic member 134, and presses the vertical moving part 132 to fix the substrate fixing clip 140. ) Is spaced apart from the upper edge portion of the main body 110.

상기 수평 조절 손잡이(150)를 당겨서 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 외측으로 이동한 구조가 도 6에 도시되어 있고, 상기 수직 이동부(132)를 눌러 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격된 구조가 도 7에 도시되어 있다. 또한, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 당기고 상기 수직 이동부(132)를 눌러 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위에서 이격됨과 동시에 상기 본체(110)의 외측으로 이동한 구조가 도 8에 도시되어 있다. 6 illustrates a structure in which the substrate fixing clip 140 is moved outwardly of the main body 110 by pulling the horizontal adjustment knob 150, and the substrate fixing clip is pressed by pressing the vertical moving part 132. 140 is spaced apart from the upper edge portion of the main body 110 is shown in FIG. In addition, by pulling the horizontal adjustment knob 150 and pressing the vertical moving part 132 the substrate fixing clip 140 is spaced apart from the upper edge portion of the main body 110 and at the same time moved to the outside of the main body 110. One structure is shown in FIG.

상기 고정장치는 상기와 같은 작동 구조를 사용하여 상기 본체(110)상에 기판을 올려 놓은 후 상기 기판 고정 클립(140)이 상기 본체(110)의 상면 테두리 부위를 압박하여 상기 기판을 고정하는 구조를 이룬다.The fixing device has a structure in which the substrate fixing clip 140 fixes the substrate by pressing the upper edge portion of the main body 110 after placing the substrate on the main body 110 using the operation structure as described above. To achieve.

도 7에는 도 1의 기판 홀더의 고정장치의 측면도가 도시되어 있다.7 shows a side view of the holding device of the substrate holder of FIG. 1.

도 7을 도 5 및 도 6과 함께 참조하면, 상기 수평 이동부(124)와 수평 이동축(129)으로 연결되는 수평 조절 손잡이(150)는 상기 제 1 고정부(122) 상에서 상 기 수평 이동축(129)을 중심으로 회전 가능한 구조로 이루어지며, 상기 수평 조절 손잡이(150)의 일측에는 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정시키기 위한 돌출부(152)가 위치한다. 또한 상기 제 1 고정부(122)에는 상기 돌출부(152)가 안착되는 홈(123)이 형성되어 있어서, 상기 수평 조절 손잡이(150)를 당기고 소정의 각도로 회전시켜서 상기 돌출부(152)의 단부가 상기 홈(123)에 안착되도록 함으로써 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정될 수 있도록 한다. Referring to FIG. 7 together with FIGS. 5 and 6, the horizontal adjustment knob 150 connected to the horizontal moving part 124 and the horizontal moving shaft 129 is horizontally moved on the first fixing part 122. It is made of a structure rotatable around the axis 129, one side of the horizontal adjustment knob 150 is a projection 152 for fixing in the pulled state of the horizontal adjustment knob 150 is located. In addition, the first fixing part 122 is provided with a groove 123 in which the protrusion 152 is seated. The end of the protrusion 152 is pulled out by rotating the horizontal adjusting knob 150 and rotating at a predetermined angle. By being seated in the groove 123, the horizontal adjustment knob 150 can be fixed in a pulled state.

즉, 상기 수평 조절 손잡이(150)가 당겨진 상태로 고정한 후, 상기 본체(110) 상에 기판을 올리고, 상기 수평 조절 손잡이(150)의 고정을 해제하여 상기 기판을 상기 기판 홀더(100)에 고정하는 구조를 이룬다.That is, after fixing the horizontal adjustment knob 150 in a pulled state, the substrate is raised on the main body 110 and the horizontal adjustment knob 150 is released to fix the substrate to the substrate holder 100. To achieve the structure.

도 8에는 도 1의 기판 홀더에 기판이 고정된 구조의 모식도가 도시되어 있다. 도 8을 참조하면, 복수 개의 기판 고정 클립(140)이 기판의(10) 테두리 부위(12)를 압박하여 상기 기판(10)이 고정된 구조를 이룬다. 또한 본체(110)상에 기판(10)을 올려놓거나 분리하기 용이하게 하기 위해, 상기 기판(10)의 테두리(10)에 걸치는 구조의 픽업 홈(160)이 형성되어 있다. 8 is a schematic diagram of a structure in which a substrate is fixed to the substrate holder of FIG. 1. Referring to FIG. 8, a plurality of substrate fixing clips 140 presses the edge portion 12 of the substrate 10 to form a structure in which the substrate 10 is fixed. In addition, in order to facilitate placing or detaching the substrate 10 on the main body 110, a pickup groove 160 having a structure that spans the edge 10 of the substrate 10 is formed.

본 발명의 실시예에 따른 상기 기판 홀더는 대면적 패널을 고정하는 장치로서 바람직하게 사용될 수 있다. 상기 대면적 패널은 일반적으로 8ㅧ8(inch) 이상의 면적을 가지는 패널을 의미하며, 이중에서도 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 합착하여 제조되는 대면적 X선 이미지 센서의 제조 과정에서 본 발명의 기판 홀더가 바람직하게 사용될 수 있다. The substrate holder according to the embodiment of the present invention can be preferably used as a device for fixing a large area panel. The large area panel generally refers to a panel having an area of 8 ㅧ 8 (inch) or more, and the substrate holder of the present invention in the manufacturing process of a large area X-ray image sensor manufactured by combining a TFT panel and a scintillator panel. Can be preferably used.

상기 TFT 패널과 신틸레이터 패널을 합착하는 과정은 다음과 같다. 먼저, TFT 패널상에 접착제를 도포하여 접착층을 형성시킨 후, 상기 접착층이 형성된 TFT 패널을 진공 챔버 내에 구비된 제 1 지지 테이블에 위치시킨다. 그 다음, 본 발명의 실시예에 따른 기판 홀더(100)에 신틸레이터 패널을 장착시킨 후 상기 기판 홀더를 진공 챔버 내에 구비된 제 2 지지 테이블에 장착시킨다. 그리고 상기 제 2 지지 테이블을 이동시켜 상기 신틸레이터 패널과 상기 TFT 패널을 합착시킨다.The process of bonding the TFT panel and the scintillator panel is as follows. First, an adhesive is applied on the TFT panel to form an adhesive layer, and then the TFT panel on which the adhesive layer is formed is placed on a first support table provided in the vacuum chamber. Then, the scintillator panel is mounted on the substrate holder 100 according to the embodiment of the present invention, and then the substrate holder is mounted on the second support table provided in the vacuum chamber. The second support table is moved to bond the scintillator panel and the TFT panel together.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 홀더의 사시도이다;1 is a perspective view of a substrate holder according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 기판 홀더의 반대측 면에 관한 사시도이다; FIG. 2 is a perspective view of the opposite side of the substrate holder of FIG. 1; FIG.

도 3 내지 도 6은 고정장치의 작동 구조에 관한 측면도들이다; 3 to 6 are side views of the operating structure of the fixing device;

도 7은 도 1의 기판 홀더의 고정장치의 측면도이다;7 is a side view of the fixture of the substrate holder of FIG. 1;

도 8은 도 1의 기판 홀더에 기판이 고정된 구조의 모식도이다.8 is a schematic view of a structure in which a substrate is fixed to the substrate holder of FIG. 1.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 기판 100 : 기판 홀더10: substrate 100: substrate holder

110 : 본체 122 : 제 1 고정부110: main body 122: first fixing portion

124 : 수평 이동부 126 : 제 1 탄성부재 124: horizontal moving part 126: first elastic member

132 : 수직 이동부 134 : 제 2 탄성부재132: vertical moving part 134: second elastic member

136 : 수직 이동축 140 : 기판 고정 클립 136: vertical movement axis 140: substrate fixing clip

150 : 수평 조절 손잡이 170 : 이동 손잡이 150: leveling knob 170: moving knob

Claims (9)

기판을 올려놓는 본체; 및A main body on which the substrate is placed; And 상기 기판의 테두리의 일부 부위를 고정하는 복수 개의 고정장치;A plurality of fixing devices for fixing a portion of an edge of the substrate; 를 포함하고.Including. 상기 고정장치는, The fixing device, 상기 본체의 수직 방향으로 탄력을 인가하는 수직 탄성부;Vertical elastic portion for applying elasticity in the vertical direction of the main body; 상기 수직 탄성부의 탄력에 의해 상기 본체의 상면 테두리 부위에 밀착되는 기판 고정 클립;A substrate fixing clip in close contact with an upper edge portion of the main body by elasticity of the vertical elastic portion; 상기 기판 고정 클립이 본체의 내측 방향으로 수평 이동하도록 탄력을 인가하는 수평 탄성부;A horizontal elastic part for applying elasticity so that the substrate fixing clip is horizontally moved inwardly of the main body; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.Substrate holder comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수평 탄성부는,The horizontal elastic portion, 상기 본체에 고정되어 있는 제 1 고정부;A first fixing part fixed to the main body; 상기 제 1 고정부와 제 1 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 내측 또는 외측 방향으로 수평 이동하는 수평 이동부;A horizontal moving part connected to the first fixing part and the first elastic member and horizontally moving inward or outward of the main body; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.Substrate holder comprising a. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 수직 탄성부는,The vertical elastic portion, 상기 수평 이동부와 제 2 탄성부재로 연결되며, 상기 본체의 수직 방향으로 이동하는 수직 이동부;A vertical moving part connected to the horizontal moving part and the second elastic member and moving in a vertical direction of the main body; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.Substrate holder comprising a. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 수평 이동부의 이동을 조절하는 수평 조절 손잡이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.The substrate holder further comprises a horizontal adjustment knob for adjusting the movement of the horizontal moving unit. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 수평 조절 손잡이를 당겨 상기 기판 고정 클립이 본체의 외측 방향으로 수평 이동한 상태에서 다시 본체의 내측 방향으로 이동하지 않도록 고정시키는 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.And a latching part for pulling the horizontal adjustment knob to fix the substrate fixing clip so that the substrate fixing clip does not move to the inner direction of the main body again while the substrate fixing clip is horizontally moved toward the outer direction of the main body. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정장치는 2 개의 기판 고정 클립을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더;The holding device comprises two substrate holding clips; 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 본체의 하면에는 기판 홀더 이동 손잡이가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.Substrate holder, characterized in that the substrate holder movement knob is installed on the lower surface of the main body. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 본체에는 외부 장치에 장착되기 위한 장착 홈 또는 장착 나사가위치하는 것을 특징으로 하는 기판 홀더.And a mounting groove or a mounting screw for mounting to an external device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은 대면적 센서 기판인 것을 특징으로 하는 기판 홀더.And the substrate is a large area sensor substrate.
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