KR20100099369A - Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means - Google Patents

Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means Download PDF

Info

Publication number
KR20100099369A
KR20100099369A KR1020090017824A KR20090017824A KR20100099369A KR 20100099369 A KR20100099369 A KR 20100099369A KR 1020090017824 A KR1020090017824 A KR 1020090017824A KR 20090017824 A KR20090017824 A KR 20090017824A KR 20100099369 A KR20100099369 A KR 20100099369A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
solar cell
manufacturing apparatus
chamber
cassette
Prior art date
Application number
KR1020090017824A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101013230B1 (en
Inventor
김병준
배이태
Original Assignee
주식회사 피에스티
(주)제스솔라
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 피에스티, (주)제스솔라 filed Critical 주식회사 피에스티
Priority to KR1020090017824A priority Critical patent/KR101013230B1/en
Publication of KR20100099369A publication Critical patent/KR20100099369A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101013230B1 publication Critical patent/KR101013230B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for manufacturing a continuous batch type solar cell including a push loading unit is provided to minimize the movement of a cassette by loading and unloading wafers through a simple pushing operation. CONSTITUTION: A cassette transferring unit(200) including a carrier and a belt for transferring the carrier to a chamber. The cassette transferring unit transfers a cassette(400) in which wafers are contained between chambers. A push loading unit(300) loads the cassette with the wafers to a main body(100). A texturing chamber is installed in the main body.

Description

푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치{CONTINUOUS BATCH TYPE MANUFACTURING APPARATUS FOR SOLAR CELL WITH PUSH LOADING MEANS}CONTINUOUS BATCH TYPE MANUFACTURING APPARATUS FOR SOLAR CELL WITH PUSH LOADING MEANS}

본 발명은 태양전지 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 표면을 텍스처링(texturing)하는 텍스처링 챔버와, 웨이퍼에 p/n접합을 형성하는 도핑챔버 및 상기 도핑공정 중 발생하는 산화막(P2O5)을 제거하는 PSG 제거 챔버를 연속 배치 형태로 구성하며, 각 챔버에서 공정을 진행하기 위한 웨이퍼를 카세트 단위로 이동시키고 각 공정을 진행하는 챔버에의 로딩과 언로딩을 푸쉬(push)방식으로 구현함으로써, 연속적인 공정 진행을 위한 웨이퍼의 이동을 최소화하여 웨이퍼 파손율을 감소시키고 생산성을 향상시킬 수 있게 한 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치에 관한 것이다.The present invention is a solar cell as prepared on the apparatus, more particularly to a wafer surface texturing (texturing) texturing chamber and the oxide film caused during the doping chamber and the doping step for forming a p / n junction on the wafer (P 2 O to 5 ) The PSG removal chamber for removing is configured in a continuous arrangement form, and the wafers for processing in each chamber are moved in cassette units, and the loading and unloading into the chambers for processing are pushed. By implementing the present invention, the present invention relates to a solar cell manufacturing apparatus of a continuous batch type provided with a push-loading unit which reduces wafer breakage and improves productivity by minimizing wafer movement for continuous process.

일반적으로 태양전지는 반도체를 사용하여 광자(Photon)의 에너지를 전기적 에너지로 전환하는 광기전력 효과를 이용한 것으로서, p형 반도체와 n형 반도체를 접합시킨 p/n 접합(junction)을 형성하여 만든다.In general, a solar cell uses a photovoltaic effect of converting energy of photons into electrical energy using a semiconductor, and is formed by forming a p / n junction in which a p-type semiconductor and an n-type semiconductor are bonded.

이때, 상기 p/n 접합 부분으로 입사하는 빛 에너지에 의해 반도체의 내부에 서 전자와 정공이 발생하게 되며, 이러한 전자와 정공은 내부의 전계에 의해 각각 n형 및 p형의 반도체층으로 이동하여 양쪽의 전극에 축적된다. 이때 전극을 서로 전기적으로 연결하면 도선에는 전류가 흐르게 되며 이를 전력으로 이용할 수 있게 된다.At this time, electrons and holes are generated inside the semiconductor by the light energy incident on the p / n junction, and the electrons and holes are moved to the n-type and p-type semiconductor layers by the electric field therein. Accumulate on both electrodes. At this time, when the electrodes are electrically connected to each other, a current flows in the conductive wires, which can be used as electric power.

상기 태양전지는 제1도전형(p형 또는 n형)을 가지는 반도체 기판의 상부 및 하부에 반대의 도전형을 가지는 제2도전형(n형 또는 p형)의 반도체 층을 형성한 후, 기판의 전면 및 후면에 각각 전극을 형성하여 구성된다. 이때, 기판은 p형 실리콘기판이고 제2도전형의 반도체층은 n형 실리콘층인 것으로 설명한다.The solar cell forms a second conductive type (n-type or p-type) semiconductor layer having opposite conductivity types on the upper and lower portions of the semiconductor substrate having the first conductive type (p-type or n-type), and then the substrate. It is composed by forming electrodes on the front and back, respectively. In this case, the substrate is a p-type silicon substrate and the second conductive semiconductor layer is described as an n-type silicon layer.

이러한 태양전지를 제조하기 위해서는 일반적으로 웨이퍼 표면을 텍스처링(texturing)하는 텍스처링 공정과, p/n 접합을 형성하는 도핑공정과, 도핑공정 중 발생하는 산화막(P2O5)을 제거하는 PSG 제거공정과, 산화막을 제거한 후 증착하는 PECVD공정 등이 순차적으로 진행된다.In order to manufacture such a solar cell, generally, a texturing process of texturing a wafer surface, a doping process of forming a p / n junction, and a PSG removal process of removing an oxide film (P 2 O 5 ) generated during the doping process are performed. The PECVD process and the like that are deposited after removing the oxide film are sequentially performed.

이와 같이 다수의 공정을 진행하여 태양전지를 제조함에 있어서는, 태양전지의 효율 향상과 더불어 웨이퍼의 파손율(wafer broken rate)감소와 생산성 향상을 위한 택트 타임(tact time)의 감소가 중요한 요소로 인식되고 있다.As described above, in manufacturing a solar cell by performing a plurality of processes, it is recognized that the efficiency of the solar cell, the reduction of the wafer broken rate, and the reduction of the tact time for improving the productivity are important factors. It is becoming.

또한, 태양전지의 제조비용을 감소시키기 위하여 기판의 두께를 감소시키고 태양전지의 생산수율을 크게 향상시키는 방안들이 제안되고 있으며, 근래에는 생산성과 안정정 및 재현성 등이 확보된 인라인 형태(in-line)의 태양전지 제조장치가 많이 사용되고 있다.In addition, in order to reduce the manufacturing cost of the solar cell, a method of reducing the thickness of the substrate and greatly improving the yield of the solar cell has been proposed. In recent years, an in-line form having productivity, stability, and reproducibility is secured. Solar cell manufacturing apparatus is widely used.

상기 인라인 형태의 태양전지 제조장치에서 각 공정은 다수의 웨이퍼를 로딩한 후 함께 진행하게 되지만, 공정과 공정사이의 웨이퍼 이동 및 각 공정이 이루어지는 챔버로의 웨이퍼 로딩(loading)과 언로딩(unloading)이 개별적으로 이루어지는 것이 일반적이다.In the in-line type solar cell manufacturing apparatus, each process is performed after loading a plurality of wafers, but wafer movement between processes and wafer loading and unloading into the chamber where each process is performed. This is usually done individually.

이러한 인라인 형태의 태양전지 제조장치는 고속 대량 생산으로 인한 생산 코스트의 절감효과가 크며 웨이퍼 두께 및 크기 변화에 탄력적이고 얇은 웨이퍼에 대한 파손율이 적다는 장점이 있으며, 그에 따라, 배치 형태(batch)의 태양전지 제조장치에 비해 제품 효율을 기준으로 연간 7~8%의 제조원가를 줄일 수 있는 것으로 알려져 있다. 그러나, 상기 인라인 형태의 태양전지 제조장치는 배치 형태에 비하여 상대적으로 장비 설치를 위한 큰 공간이 필요하며 웨이퍼의 오염으로 인한 셀 효율이 저하될 수 있는 단점이 있다.Such an in-line solar cell manufacturing apparatus has the advantages of high production cost reduction due to high-speed mass production, elasticity in wafer thickness and size change, and low breakage rate for thin wafers, and thus, batch type. Compared with solar cell manufacturing equipment, it is known that it can reduce manufacturing cost by 7 ~ 8% based on product efficiency. However, the in-line type solar cell manufacturing apparatus has a relatively large space for equipment installation compared to the batch type, and has a disadvantage in that cell efficiency due to contamination of the wafer may be reduced.

이에 반하여 배치 형태의 태양전지 제조장치는 카세트에 다수의 웨이퍼를 수납한 후, 공정과 공정 사이의 웨이퍼 이동 및 각 공정 챔버로의 웨이퍼 로딩과 언로딩이 카세트 단위로 이루어지도록 구성되는 것이 일반적이다.On the contrary, in a batch type solar cell manufacturing apparatus, after storing a plurality of wafers in a cassette, a wafer is moved between processes and processes, and wafer loading and unloading to each process chamber are generally configured in cassette units.

이러한 배치 형태의 태양전지 제조장치는 기판의 오염을 줄일 수 있고 높은 효율의 셀 제작이 가능하다는 장점이 있으나, 고속, 대량 생산 능력이 떨어지며 수동조작 횟수의 증가로 인한 공정 시간이 길어지게 될 수 있다는 단점이 있다.Such a batch type solar cell manufacturing apparatus has the advantage of reducing substrate contamination and producing cells with high efficiency, but the high-speed, high-volume production capacity may be reduced, and the process time may be increased due to the increase in the number of manual operations. There are disadvantages.

또한, 근래의 연구 결과는 인라인 형태의 태양전지 제조장치를 이용할 경우 웨이퍼 효율(wafer efficiency)과 웨이퍼 오염(wafer contamination)이 배치형태에 비해 나쁘지 않음을 보여주고 있으나, 이러한 인라인 형태의 태양전지 제조장치에 서의 장점들은 가장 이상적인 형태로 인라인화를 이루었을 경우에 얻을 수 있는 결과일 뿐, 실제적인 태양전지 제조 현장에서의 웨이퍼 파손율과 생산성은 그리 뛰어나지 못한 문제점이 있었다.In addition, recent research results show that wafer efficiency and wafer contamination are not bad compared to the batch type when the inline solar cell manufacturing apparatus is used. The advantages in this paper are the results that can be obtained when inlining is achieved in the most ideal form, and the wafer breakage rate and productivity in actual solar cell manufacturing sites are not so excellent.

또한, 종래 배치 형태의 태양전지 제조장치는 다수의 웨이퍼가 수납되어 있는 카세트를 이동시키거나 공정 챔버에 로딩 또는 언로딩할 때에 로딩시스템에 의해 카세트를 회전시키는 등 카세트의 위치를 변경시키는 덤핑(dumping) 방법으로 로딩하여야 하였으므로, 웨이퍼의 로딩과 언로딩시에 웨이퍼의 파손률이 증가하게 되는 문제점이 있었다.In addition, the conventional batch type solar cell manufacturing apparatus is a dumping to change the position of the cassette, such as rotating the cassette by the loading system when moving the cassette containing a plurality of wafers, or loading or unloading in the process chamber Since it had to be loaded by the method, there is a problem that the breakage rate of the wafer increases during loading and unloading of the wafer.

또한, 종래 배치 형태의 태양전지 제조장치는 카세트를 덤핑 방법으로 로딩하므로 카세트를 집어서 회전시키기 위한 로딩시스템의 구성 등 전체 장비의 구성 가격이 높이지는 문제점이 있었고, 웨이퍼의 두께 및 크기 변화에 대한 탄력적인 대응이 떨어지는 문제점이 있었다.In addition, the conventional batch type solar cell manufacturing apparatus has a problem in that the configuration cost of the entire equipment, such as the configuration of the loading system for picking up and rotating the cassette, because the cassette is loaded by the dumping method, the wafer thickness and size change There was a problem of falling elastic response.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 웨이퍼의 초기 셋업(set-up)시부터 웨이퍼 표면을 텍스처링 하는 텍스처링 챔버와, p/n 접합을 형성하는 도핑챔버 및 P2P5막을 제거하는 PSG 제거 챔버까지 카세트를 이용한 연속 배치 형태로 구성하고, 공정과 공정 사이를 다수의 웨이퍼가 수납된 카세트 단위로 이동시키며, 카세트를 단순한 푸시방식으로 로딩하는 푸시로딩부를 구비함으로써, 배치 형태에서의 웨이퍼 이동을 최소화하여 웨이퍼 파손율을 현저히 감소시킬 수 있게 한 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention is from the initial set-up of the wafer to the texturing chamber for texturing the wafer surface, the doping chamber for forming the p / n junction and the PSG removal chamber for removing the P 2 P 5 film. It consists of a continuous batch form using a cassette, and moves between processes to a cassette unit in which a plurality of wafers are stored, and has a push rod for loading a cassette by a simple push method, thereby minimizing wafer movement in a batch form. Disclosed is a solar cell manufacturing apparatus of a continuous batch type provided with a push rod part that can significantly reduce a wafer breakage rate.

상기 기술적 과제를 이루기 위한 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치는, 웨이퍼가 수납된 카세트가 로딩되어 공정이 실행되는 챔버로 이루어진 메인 바디; 상기 웨이퍼가 수납된 카세트를 상기 메인 바디 상호간에 이동시키는 카세트 이동부; 및 상기 카세트 이동부 일 측에 설치되어 다수 개의 카세트가 놓인 카세트 이동부의 캐리어를 메인 바디로 밀어서 로딩하는 푸시로딩부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement having a push rod unit, including: a main body including a chamber in which a wafer containing a wafer is loaded to execute a process; A cassette moving unit which moves the cassette containing the wafer between the main bodies; And a push-loading unit installed on one side of the cassette moving unit to push and load a carrier of the cassette moving unit in which a plurality of cassettes are placed to the main body.

또한, 본 발명은 상기 메인 바디가 상기 웨이퍼의 표면을 텍스처링 시켜 빛의 반사도를 줄일 수 있는 텍스처링 공정을 수행하는 텍스처링 챔버와, p/n 접합을 형성하기 위해 웨이퍼에 POCl3를 도핑하는 도핑 챔버, 및 상기 POCl3의 도핑 공정 중에 발생하는 P2O5막을 제거하는 PSG 제거 챔버로 구성되며; 상기 각 챔버들은 일정거리 이격되어 독립적으로 공정을 수행하고, 다수의 웨이퍼가 수납된 카세트 다수 개가 캐리어 상에 놓인 상태로 함께 이동하며, 단순한 직선 이동으로 각 챔버에 로딩되는 연속 배치 형태로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention provides a texturing chamber for performing a texturing process to reduce the reflectivity of the light by the main body texturing the surface of the wafer, a doping chamber for doping POCl 3 to the wafer to form a p / n junction, And a PSG removal chamber for removing the P 2 O 5 film generated during the doping process of POCl 3 ; Each of the chambers is spaced apart a predetermined distance to perform the process independently, a plurality of cassettes containing a plurality of wafers are moved together with a plurality of cassettes placed on a carrier, consisting of a continuous arrangement form that is loaded in each chamber by a simple linear movement It features.

본 발명은 배치 형태로 구성하여 카세트 단위로 웨이퍼를 로딩하면서도 메인 바디의 입구 정면에 푸싱로딩부를 설치하고, 단순한 푸싱 작용으로 웨이퍼의 로딩과 언로딩을 구현함으로써, 카세트의 이동과 위치 변경을 최소화하여 웨이퍼 파손율을 크게 감소시키고 생산성을 현저히 향상시킬 수 있는 장점이 있다.The present invention is configured in a batch form, while loading the wafer in the cassette unit while installing a pushing loading portion in front of the inlet of the main body, by implementing the loading and unloading of the wafer by a simple pushing action, to minimize the movement and change of position of the cassette There is an advantage that can significantly reduce the wafer breakage rate and significantly improve the productivity.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 전체 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 블록 구성도이다.1 is an overall configuration diagram of a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement type provided with a push rod according to the present invention, Figure 2 is a block diagram of a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement form provided with a push rod according to the present invention. to be.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치는 텍스처링 챔버를 시작(Start)으로 도핑챔버와, PSG 제거 챔버와, PECVD와, 스크린 프린터(Screen Printer)와, 건조기(Dryer)와, 소성부(Firing)와, 에지 아이솔레이션 챔버(Edge Isolation)와, 테스터를 포함하여 구성되며, 이 러한 각 장치들에서 웨이퍼가 처리되면서 태양전지를 제조하도록 구성된다. 이때, 상기 텍스처링 챔버는 습식 텍스처링 챔버(Wet Texturing)로 구성될 수 있음은 물론 건식 텍스처링 챔버(Dry Texturing)로 구성될 수도 있다.Referring to FIG. 1, a solar cell manufacturing apparatus of a continuous configuration having a push rod according to the present invention includes a doping chamber, a PSG removal chamber, a PECVD, and a screen printer starting with a texturing chamber. And a dryer, a firing unit, an edge isolation chamber, and a tester. In each of these devices, the wafer is processed to manufacture a solar cell. In this case, the texturing chamber may be configured as a wet texturing chamber as well as a dry texturing chamber.

도 2를 참조하면, 본 발명은 상술한 바와 같이 다수의 공정을 순차적으로 수행하기 위해 설치된 다수의 공정장치 중 상기 텍스처링 챔버(Wet Texture)와 도핑챔버(POCl3 Furnace) 및 PSG 제거 챔버(PSG Removing)가 연속 배치 형태(Batch Type)로 구성되며, 웨이퍼가 수납된 카세트를 각 공정 챔버에 로딩하고 언로딩함에 있어 통상적인 배치 형태에서 적용되던 덤핑방식을 배제하고 카세트의 이동과 웨이퍼의 파손을 최소화할 수 있는 푸싱방식으로 구현되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 텍스처링 챔버와 도핑 챔버 및 PSG 제거 챔버에서는 다수의 웨이퍼들이 카세트(400)에 수납된 상태로 챔버 사이를 이동하고 챔버내에 로딩 및 언로딩 되면서 공정이 이루어지게 된다.Referring to FIG. 2, the present invention provides a texturing chamber (Wet Texture), a doping chamber (POCl 3 Furnace), and a PSG removing chamber (PSG Removing) among a plurality of processing apparatuses installed to sequentially perform a plurality of processes as described above. ) Consists of a continuous batch type, which eliminates the dumping method used in the conventional batch form and minimizes cassette movement and wafer damage in loading and unloading the cassette containing the wafer into each process chamber. It is characterized in that it is configured to be implemented in a pushing method. As shown in FIG. 2, in the texturing chamber, the doping chamber, and the PSG removal chamber, a plurality of wafers are stored in the cassette 400 to move between the chambers and are loaded and unloaded into the chamber.

따라서, 본 발명에 따라 연속 배치 형태로 구성된 텍스처링 챔버와 도핑 챔버 및 PSG 제거 챔버를 제외한 나머지 공정 장치들은 통상적인 태양전지 제조장치와 동일하게 구성된다. 이하, 본 발명에 따라 카세트(400)에 수납된 웨이퍼(500)의 이동과 위치변경을 최소화하면서 로딩과 언로딩이 이루어지도록 푸시로딩부(300)가 구비되어 연속 배치 형태로 이루어진 상기 텍스처링 챔버와 도핑 챔버 및 PSG 제거 챔버에 적용되는 구성을 위주로 설명하며, 각 공정이 이루어지는 챔버는 메인 바디로 지칭하여 설명한다.Therefore, according to the present invention, the remaining processing apparatuses except the texturing chamber, the doping chamber, and the PSG removal chamber configured in a continuous configuration are configured in the same manner as a conventional solar cell manufacturing apparatus. Hereinafter, according to the present invention, the texturing chamber is provided in the form of a continuous arrangement in which a push-loading unit 300 is provided to perform loading and unloading while minimizing movement and positional change of the wafer 500 accommodated in the cassette 400. The configuration applied to the doping chamber and the PSG removal chamber will be mainly described, and the chamber in which each process is performed will be described as a main body.

도 3은 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 상세 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 메인 바디의 상세 구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 푸시로딩부의 상세 구성도이다.3 is a detailed configuration diagram of a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement form provided with a push rod according to the present invention, Figure 4 is a detailed configuration diagram of the main body according to the present invention, Figure 5 is a push loading according to the present invention It is a detailed block diagram of a part.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치는, 각 공정이 실행되는 공정 챔버로 이루어진 메인 바디(100)와, 각 챔버 상호간을 하나의 라인으로 연결하여 웨이퍼(500)가 수납된 카세트(400)를 챔버간에 이동시키는 카세트 이동부(200)와, 상기 카세트 이동부 일 측에 설치되어 웨이퍼가 수납된 카세트(400)를 메인 바디로 밀어서 로딩하는 푸시로딩부(300)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 3, the solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement type provided with a push rod unit according to an embodiment of the present invention includes a main body 100 including a process chamber in which each process is executed, and one chamber of each chamber. A cassette moving part 200 for moving the cassette 400 containing the wafer 500 between the chambers by connecting a line of the wafer 500, and a cassette 400 installed at one side of the cassette moving part to accommodate the wafer as a main body. It is configured to include a push rod 300 to push the loading.

상기 메인 바디(100)는 웨이퍼의 표면을 텍스처링(texturing) 시켜 빛의 반사도를 줄일 수 있는 텍스처링 공정을 수행하는 텍스처링 챔버와, 태양전지 구조의 기본이 되는 p/n 접합을 형성시키기 위해 웨이퍼에 POCl3를 도핑(doping)하는 도핑 챔버와, 상기 POCl3의 도핑 공정 중에 발생하는 산화막인 P2O5막을 제거하는 PSG 제거 챔버로 구성되며, 각 챔버들은 독립적으로 공정을 수행하도록 일정거리 이격되어 설치되고, 이러한 각 챔버들의 사이는 카세트 이동부(200)에 의해 연결되어 연속적인 공정이 이루어지도록 구성된다. 도 4에서는 상기 메인 바디가 도핑챔버로 구성된 것을 도시하였으나, 이는 메인 바디의 한 예시일 뿐 이에 한정되지 않고, 텍스처링 챔버와, PSG 제거 챔버로도 구성될 수 있음은 물론이다.The main body 100 has a texturing chamber for texturing the surface of the wafer to reduce light reflectivity and POCl on the wafer to form a p / n junction that is the basis of the solar cell structure. It is composed of a doping chamber for doping (doping 3 ) and a PSG removal chamber for removing the P 2 O 5 film, which is an oxide film generated during the doping process of the POCl 3 , each chamber is spaced apart a certain distance to perform the process independently And, between each of these chambers are connected by the cassette moving unit 200 is configured to be a continuous process. Although FIG. 4 illustrates that the main body is composed of a doping chamber, this is only an example of the main body, and the present invention is not limited thereto. The text may also include a texturing chamber and a PSG removal chamber.

도 5를 참조하면, 상기 카세트 이동부(200)는 다수의 웨이퍼가 수납된 카세 트(400)를 다수 개 실을 수 있는 캐리어(210)와, 공정을 수행할 챔버로 상기 캐리어를 이동시키는 벨트(220)와, 상기 벨트를 이동시키는 롤러와, 상기 롤러를 회전시켜 캐리어의 이동 동력을 제공하는 모터를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, the cassette moving unit 200 includes a carrier 210 capable of carrying a plurality of cassettes 400 in which a plurality of wafers are accommodated, and a belt for moving the carrier to a chamber in which a process is to be performed. 220, a roller for moving the belt, and a motor for rotating the rollers to provide moving power of a carrier.

이때, 상기 캐리어(210)는 카세트(400)를 다수 개 실을 수 있는 넓은 판으로 구성되며, 상기 도 5에서는 8개의 카세트(400)를 실은 것이 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고 메인 바디의 처리 능력에 따라 그보다 많거나 적은 개수의 카세트를 싣도록 구성될 수 있음은 물론이다.In this case, the carrier 210 is composed of a wide plate capable of carrying a plurality of cassettes 400, but the eight cassettes 400 are shown in FIG. 5, but the present invention is not limited thereto. Of course, it can be configured to carry more or fewer cassettes depending on the capacity.

또한, 상기 캐리어(210)는 후술하는 캐리어 푸시보드(310)가 카세트(400)에 직접 접하게 되는 것을 방지하기 위해 일 측면이 푸시로딩부(300) 방향으로 돌출 형성된 푸싱턱이 구비되는 것이 바람직하다. 그에 따라 상기 캐리어 푸시보드(310)에 의해 카세트(400)가 직접 밀려서 웨이퍼가 파손되거나, 캐리어(210)에서 카세트가 강제 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the carrier 210 is preferably provided with a pushing jaw protruding toward one side of the push rod 300 in order to prevent the carrier pushboard 310 to be described later directly in contact with the cassette 400. . Accordingly, the cassette 400 may be directly pushed by the carrier pushboard 310 to prevent the wafer from being damaged or the cassette is forcibly released from the carrier 210.

또한, 상기 캐리어(210)의 상부에는 카세트(400)의 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 카세트(400)의 하부를 일시 고정시키는 고정수단이 형성될 수 있음은 물론, 상기 캐리어(210)의 하부에는 벨트(220) 상에서 캐리어가 이탈되는 것을 방지하는 걸림수단이 더 형성될 수도 있다.In addition, fixing means for temporarily fixing the lower portion of the cassette 400 may be formed on the upper portion of the carrier 210 to prevent shaking of the cassette 400. A locking means for preventing the carrier from being separated on the belt 220 may be further formed.

이때, 상기 걸림수단은 상기 캐리어(210)의 하부에 일정하게 형성된 걸림홈으로 구성될 수 있으며, 이러한 걸림홈에 벨트(220) 상부의 돌출부가 끼워쳐 벨트 상에서의 이탈을 방지하도록 구성될 수 있다. 이 경우 상기 벨트(220) 상부의 돌출부는 캐리어(210)가 메인 바디(100) 내부로 로딩될 경우 아래로 이동하여 상기 걸 림홈에서 이탈됨으로써 자연스러운 로딩이 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하다.In this case, the locking means may be composed of a locking groove that is formed uniformly in the lower portion of the carrier 210, it may be configured to prevent the separation on the belt by fitting the projection of the upper portion of the belt 220 in the locking groove. . In this case, the protruding portion of the upper portion of the belt 220 is preferably configured such that the carrier 210 moves downward when the carrier 210 is loaded into the main body 100 so as to be separated from the catching groove so that natural loading occurs.

상기 벨트(220)는 연속 배치 형태로 이루어진 텍스처링 챔버에서 도핑 챔버 및 PSG 제거 챔버에 이르도록 연장 형성되고, 모터의 동력에 의해 회전하는 롤러에 의해 이동하면서 벨트(220) 상부에 놓인 캐리어(210)를 각 챔버로 이동시키도록 구성된다.The belt 220 extends from the texturing chamber in a continuous arrangement form to the doping chamber and the PSG removal chamber, and is moved by a roller that rotates by the power of a motor, and the carrier 210 is placed on the belt 220. And move each to a chamber.

이때, 상기 벨트(220)는 각 챔버로 이루어진 메인 바디(100)에 웨이퍼가 로딩되는 입구쪽에 위치하게 되며, 상기 메인 바디로의 로딩 및 언로딩이 용이하게 이루어지도록 상기 벨트(220)의 양 측면은 턱이 없게 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the belt 220 is located at the inlet side of the wafer is loaded into the main body 100 consisting of each chamber, both sides of the belt 220 to facilitate loading and unloading to the main body. Silver is preferably formed without a jaw.

상기 푸시로딩부(300)는 캐리어(210)를 최단 거리로 이동시키며 로딩과 언로딩할 수 있도록 상기 메인 바디(100)의 입구 정면에 위치하며, 상기 캐리어의 회전 없이 로딩할 수 있도록 상기 메인 바디가 위치한 벨트(220)의 반대쪽에 설치되는 것이 바람직하다. 그에 따라, 상기 메인 바디 입구 정면에 위치한 캐리어를 최단 거리의 직선 이동만으로 로딩하거나 언로딩할 수 있게 된다.The push rod 300 is located in front of the inlet of the main body 100 to move the carrier 210 to the shortest distance and to load and unload, the main body to be loaded without rotation of the carrier Is preferably installed on the opposite side of the belt 220 is located. Accordingly, the carrier located in front of the main body inlet can be loaded or unloaded with only the shortest linear movement.

이때, 상기 푸시로딩부(300)는 다수의 카세트(400)가 놓인 캐리어(210)를 메인 바디(100) 내부로 밀어주는(push) 캐리어 푸시보드(310)와, 상기 벨트(220)를 가로질러 캐리어 푸시보드를 이동시키는 푸시보드 이동부(320)와, 상기 푸시보드 이동부를 구동하는 동력원을 제공하는 푸시모터(330)를 포함하여 구성된다.In this case, the push loading unit 300 is a carrier pushboard 310 for pushing the carrier 210 on which the plurality of cassettes 400 are placed into the main body 100 and the belt 220 horizontally. It comprises a pushboard moving unit 320 for moving the carrier pushboard over the push motor, and a push motor 330 for providing a power source for driving the pushboard moving unit.

이때, 상기 캐리어 푸시보드(310)는 캐리어(210)의 일 측면에 돌출 형성된 푸싱턱을 밀어서 캐리어(210) 자체를 메인 바디(100)로 로딩할 수 있는 넓은 판으 로 구성되며, 상기 캐리어 푸시보드(310)의 후면에는 푸시모터(330)에서 발생된 동력에 의해 이동하면서 캐리어 푸시보드의 위치를 이동시키는 푸시보드 이동부(320)가 구비된다.In this case, the carrier pushboard 310 is composed of a wide plate capable of loading the carrier 210 itself into the main body 100 by pushing the pushing jaw protruding from one side of the carrier 210, the carrier pushboard A rear side of the 310 is provided with a push board moving unit 320 for moving the position of the carrier push board while moving by the power generated from the push motor 330.

또한, 상기 캐리어 푸시보드(310)는 캐리어(210)를 밀어서 메인 바디에 로딩할 뿐만아니라, 공정이 완료된 후 상기 캐리어(210) 일단, 즉 푸싱턱을 잡고 메인 바디(100) 외부로 당겨 언로딩할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 언로딩시 메인 바디에서 당겨 나온 캐리어(210)는 벨트(220)상에 놓이게 되어 다음 공정을 위해 이동할 수 있게 된다.In addition, the carrier pushboard 310 not only pushes the carrier 210 to load the main body, but also unloads the carrier 210 once the carrier 210 is held, that is, the pushing jaw is pulled out of the main body 100 after the process is completed. It is desirable to be configured to do so. At this time, the carrier 210 pulled out of the main body during the unloading is placed on the belt 220 to be able to move for the next process.

또한, 상기 푸시보드 이동부(320)는 피스톤운동에 의해 상기 캐리어(210)를 밀어서 로딩하거나 당기면서 언로딩할 수 있는 실린더 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the push board moving unit 320 is preferably made of a cylinder structure that can be unloaded while pushing or loading or pulling the carrier 210 by the piston movement.

이와 같이 본 발명은 웨이퍼가 입력되는 시점부터 웨이퍼의 대량 처리가 가능한 공정이 이루어지는 텍스처링 챔버와 도핑 챔버와 PSG 제거 챔버를 푸시로딩부(300)가 구비된 연속 배치 형태로 구성함으로써, 카세트의 이동 및 위치 변경을 최소화하여 웨이퍼 파손율을 최소화하고 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, the present invention configures the texturing chamber, the doping chamber, and the PSG removal chamber in which the wafers are processed from the point of time when the wafer is input in the form of a continuous arrangement including the push rod 300, thereby moving the cassette and By minimizing the position change, the wafer breakage rate can be minimized and the productivity can be improved.

또한, 본 발명은 배치 형태로 구성함에도 불구하고, 메인 바디의 입구 정면에 위치하는 푸시로딩부에 의해 웨이퍼 로딩을 위한 카세트의 이동과 위치 변경이 최소화됨으로서, 클린 룸(clean room)의 면적이 작아 풋 프린트(foot print)를 크게 줄일 수 있고, 각 챔버를 연결하는 카세트 이동부에서의 웨이퍼 핸들링(wafer handling)을 최소화하여 파손율을 크게 감소시킬 수 있으며, PSG 제거 챔버의 경우 건식 타입을 적용함으로써 습식 타입에 비해 폐 케미칼(chemical)을 현저히 감소시킬 수 있게 된다.In addition, although the present invention is configured in a batch form, the movement and change of position of the cassette for wafer loading is minimized by the push rod located at the entrance front of the main body, so that the area of the clean room is small. Foot print can be greatly reduced, breakage rate can be greatly reduced by minimizing wafer handling at the cassette moving part connecting each chamber, and dry type is applied to PSG removal chamber. Compared to the wet type it is possible to significantly reduce the waste chemical (chemical).

이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 이라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.In the above description, the technical idea of the present invention has been described with the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 전체 구성도.1 is an overall configuration diagram of a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement form provided with a push rod in accordance with the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 블록 구성도.Figure 2 is a block diagram of a solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement form provided with a push rod in accordance with the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치의 상세 구성도.Figure 3 is a detailed configuration of the solar cell manufacturing apparatus of the continuous arrangement form provided with a push rod in accordance with the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 메인 바디의 상세 구성도.Figure 4 is a detailed configuration of the main body according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 푸시로딩부의 상세 구성도.5 is a detailed configuration diagram of a push rod unit according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 - 메인 바디 200 - 카세트 이동부100-main body 200-cassette moving part

210 - 캐리어 220 - 벨트210-Carrier 220-Belt

300 - 푸시로딩부 310 - 캐리어 푸시보드300-Push Rod 310-Carrier Push Board

320 - 푸시보드 이동부 330 - 푸시모터320-pushboard moving unit 330-pushmotor

400 - 카세트 500 - 웨이퍼400-Cassette 500-Wafer

Claims (7)

태양전지 제조장치에 있어서,In the solar cell manufacturing apparatus, 웨이퍼가 수납된 카세트가 로딩되어 공정이 실행되는 챔버로 이루어진 메인 바디;A main body comprising a chamber in which a cassette containing a wafer is loaded to execute a process; 상기 웨이퍼가 수납된 카세트를 상기 메인 바디 상호간에 이동시키는 카세트 이동부; 및A cassette moving unit which moves the cassette containing the wafer between the main bodies; And 상기 카세트 이동부 일 측에 설치되어 다수 개의 카세트가 놓인 카세트 이동부의 캐리어를 메인 바디로 밀어서 로딩하는 푸시로딩부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement type provided with a push-loading unit, characterized in that it comprises a push-loading unit which is installed on one side of the cassette moving unit and pushes the carrier of the cassette moving unit in which a plurality of cassettes are placed to the main body. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 메인 바디는, 상기 웨이퍼의 표면을 텍스처링 시켜 빛의 반사도를 줄일 수 있는 텍스처링 공정을 수행하는 텍스처링 챔버와, p/n 접합을 형성하기 위해 웨이퍼에 POCl3를 도핑하는 도핑 챔버, 및 상기 POCl3의 도핑 공정 중에 발생하는 P2O5막을 제거하는 PSG 제거 챔버로 구성되며;The main body includes a texturing chamber for texturing the surface of the wafer to reduce light reflectivity, a doping chamber for doping POCl 3 to the wafer to form a p / n junction, and the POCl 3 PSG removal chamber to remove the P 2 O 5 film generated during the doping process of; 상기 각 챔버들은 일정거리 이격되어 독립적으로 공정을 수행하고, 다수의 웨이퍼가 수납된 카세트 다수 개가 캐리어 상에 놓인 상태로 함께 이동하며 각 챔버에 로딩되는 연속 배치 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비 된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.Each of the chambers are spaced apart a predetermined distance to perform the process independently, a plurality of cassettes containing a plurality of wafers are moved together in a state placed on a carrier and push loading, characterized in that configured in a continuous batch form loaded in each chamber Solar cell manufacturing apparatus of a continuous batch form provided. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 카세트 이동부는,The cassette moving unit, 다수의 웨이퍼가 수납된 카세트를 다수 개 실을 수 있는 판형의 캐리어;A plate-shaped carrier capable of carrying a plurality of cassettes containing a plurality of wafers; 상기 캐리어가 놓여 이동하고, 각 메인 바디로 웨이퍼가 로딩(loading)되는 입구 방향에 위치하며, 상기 메인 바디 상호간에 연장 형성된 벨트; 및A belt in which the carrier is moved and positioned at an inlet direction in which a wafer is loaded into each main body, the belt being extended between the main bodies; And 롤러의 회전으로 상기 벨트를 이동시켜 벨트 상부에 놓인 캐리어를 이동시키는 동력을 제공하는 모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The solar cell manufacturing apparatus of the continuous arrangement type provided with a push rod portion, characterized in that it comprises a motor for providing power to move the belt by moving the belt by the rotation of the roller is placed on the belt. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 캐리어는 일 측면이 상기 푸시로딩부 방향으로 돌출 형성된 푸싱턱을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The carrier is a continuous arrangement type solar cell manufacturing apparatus having a push rod portion, characterized in that the side further comprises a pushing jaw formed protruding toward the push rod portion. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 푸시로딩부는 최단거리로 상기 캐리어를 로딩하기 위해 상기 메인 바디의 입구 정면에서 상기 벨트의 반대 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The push rod is a continuous arrangement type solar cell manufacturing apparatus having a push rod is characterized in that the opposite side of the belt is installed on the front of the inlet of the main body for loading the carrier in the shortest distance. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 푸시로딩부는,The push rod unit, 상기 다수의 카세트가 놓인 캐리어 자체를 메인 바디 내부로 미는 캐리어 푸시보드;A carrier pushboard pushing the carrier itself with the plurality of cassettes into the main body; 상기 캐리어 푸시보드 일면에 연결되어 상기 캐리어 푸시보드를 상기 벨트를 가로질러 메인 바디 내부로 이동시키는 푸시보드 이동부; 및A pushboard moving part connected to one surface of the carrier pushboard to move the carrier pushboard into the main body across the belt; And 상기 푸시보드 이동부를 구동하는 동력을 제공하는 푸시모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The solar cell manufacturing apparatus of a continuous arrangement type provided with a push rod unit, characterized in that it comprises a push motor for providing power to drive the push board moving unit. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 캐리어 푸시보드는 상기 캐리어 일단을 잡아 상기 벨트로 다시 직선 이동시키며 언로딩하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 푸시로딩부가 구비된 연속 배치 형태의 태양전지 제조장치.The carrier pushboard is a continuous arrangement type solar cell manufacturing apparatus having a push rod portion, characterized in that configured to hold and unload the carrier end linearly back to the belt.
KR1020090017824A 2009-03-03 2009-03-03 Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means KR101013230B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090017824A KR101013230B1 (en) 2009-03-03 2009-03-03 Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090017824A KR101013230B1 (en) 2009-03-03 2009-03-03 Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100099369A true KR20100099369A (en) 2010-09-13
KR101013230B1 KR101013230B1 (en) 2011-02-10

Family

ID=43005675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090017824A KR101013230B1 (en) 2009-03-03 2009-03-03 Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101013230B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106169521A (en) * 2016-08-25 2016-11-30 浙江绿远光伏科技有限公司 What a kind of crystal silicon solar energy battery was processed removes phosphorosilicate glass machining production line
CN106229278A (en) * 2016-08-17 2016-12-14 岑溪市东正动力科技开发有限公司 A kind of manufacture of solar cells technique silicon chip quick matte device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101492937B1 (en) * 2013-09-17 2015-02-12 (주) 디바이스이엔지 Heat treatment apparatus for lcd panel

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4636379B2 (en) * 2005-09-30 2011-02-23 ムラテックオートメーション株式会社 Method and apparatus for receiving and receiving articles in a suspended lift carriage
KR101240913B1 (en) * 2006-05-29 2013-03-08 주성엔지니어링(주) Substrate processing system for mass production and substrate processing method using the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106229278A (en) * 2016-08-17 2016-12-14 岑溪市东正动力科技开发有限公司 A kind of manufacture of solar cells technique silicon chip quick matte device
CN106169521A (en) * 2016-08-25 2016-11-30 浙江绿远光伏科技有限公司 What a kind of crystal silicon solar energy battery was processed removes phosphorosilicate glass machining production line

Also Published As

Publication number Publication date
KR101013230B1 (en) 2011-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10629760B2 (en) Method of fabricating an emitter region of a solar cell
US9391230B1 (en) Method for improving solar cell manufacturing yield
NL2004065C2 (en) Solar panel module and method for manufacturing such a solar panel module.
WO2010024522A1 (en) Solar cell and method for manufacturing the same
JP2009164544A (en) Passivation layer structure of solar cell, and fabricating method thereof
JP5477180B2 (en) Calcination furnace for firing electrodes of solar cell element, method for producing solar cell element, and solar cell element
US20120244702A1 (en) Method for printing a substrate
JP2020129666A (en) Relative dopant concentration level in solar cell
WO2013067201A2 (en) System architecture for plasma processing solar wafers
KR101013230B1 (en) Continuous batch type manufacturing apparatus for solar cell with push loading means
JP2013072132A (en) Film-forming apparatus
US20120138230A1 (en) Systems and methods for moving web etch, cvd, and ion implant
US20100240170A1 (en) Method of fabricating solar cell
JP2017501587A5 (en)
US20100304527A1 (en) Methods of thermal processing a solar cell
JP2016526304A (en) Solar cell structure and manufacturing method thereof
KR101011493B1 (en) Manufacturing system for solar cell
CN109891599B (en) High photoelectric conversion efficiency solar cell and method for manufacturing high photoelectric conversion efficiency solar cell
US20130109133A1 (en) Rear-point-contact process or photovoltaic cells
WO2012072579A1 (en) Method for printing a substrate
EP3340316B1 (en) Solar cell having high photoelectric conversion efficiency, and method for manufacturing solar cell having high photoelectric conversion efficiency
US9842956B2 (en) System and method for mass-production of high-efficiency photovoltaic structures
KR102065595B1 (en) Method for manufacturing solar cell
KR101320330B1 (en) In-line type substrate processing system and loadlock chamber
KR101437162B1 (en) Method for preparing of solar cell using plasma-surface-treatment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140128

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150128

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee