KR20100088529A - Negative photosensitive resin composition and color filter, black matrix and spacer using the same, and liquid crystal display device and solid state imaging device - Google Patents

Negative photosensitive resin composition and color filter, black matrix and spacer using the same, and liquid crystal display device and solid state imaging device Download PDF

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KR20100088529A
KR20100088529A KR1020100003605A KR20100003605A KR20100088529A KR 20100088529 A KR20100088529 A KR 20100088529A KR 1020100003605 A KR1020100003605 A KR 1020100003605A KR 20100003605 A KR20100003605 A KR 20100003605A KR 20100088529 A KR20100088529 A KR 20100088529A
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photosensitive resin
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나오후미 호리구치
료우이치 미마스
쇼우지 모토야마
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닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A negative photosensitive resin composition, a color filter using the same, a black matrix, a spacer, a liquid crystal display, and a solid imaging device are provided to obtain excellent resolution, sensitivity, and adhesive force with a substrate and to have high performance. CONSTITUTION: A negative photosensitive resin includes dipentaerythritol acrylates which is marked by chemical formula 1 and has a hydroxyl number of 70mgKOH/g-130mgKOH/g. In chemical formula 1, a and b are positive integers and satisfy conditions including a+b=6 and 1<=a<=6, 0<=b<=5. The negative photosensitive resin composition includes a binder polymer, a pigment, and a photopolymerization initiator additionally. A color filter, a black matrix, and a spacer are obtained by hardening the negative photosensitive resin composition.

Description

네거티브형 감광성 수지 조성물과 이를 사용한 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서 및, 액정 표시 장치 및 고체 촬상 소자{NEGATIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND COLOR FILTER, BLACK MATRIX AND SPACER USING THE SAME, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND SOLID STATE IMAGING DEVICE}NEGATIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND COLOR FILTER, BLACK MATRIX AND SPACER USING THE SAME, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND SOLID STATE IMAGING DEVICE}

본 발명은 네거티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컬러 액정 디스플레이, 컬러 비디오 카메라, 컬러 디지털 카메라, 전자 페이퍼 등에 사용되는 컬러 필터, 블랙 매트릭스 또는 스페이서의 제작에 사용되는 감광성 수지 조성물 및 이를 사용하여 패턴을 형성한 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서에 관한 것이다. The present invention relates to a negative photosensitive resin composition, and more particularly, to a photosensitive resin composition used in the production of color filters, black matrices or spacers used in color liquid crystal displays, color video cameras, color digital cameras, electronic papers, and the like. The present invention relates to a color filter, a black matrix, and a spacer having a pattern formed thereon.

노트북이나 액정 텔레비젼 등으로 대표되는 액정 디스플레이(LCD) 등의 액정 표시 장치에는 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서가 필요하다. 디지털 카메라나 컬러 복사기 등의 입력 디바이스로서 사용되는 전하 결합 소자(CCD, CMOS)를 대표하는 고체 촬상 소자의 컬러화에는 컬러 필터가 필요하다. Color filters, black matrices and spacers are required for liquid crystal display devices such as liquid crystal displays (LCDs) such as laptops and liquid crystal televisions. The color filter is required for the colorization of the solid-state image sensor which represents the charge coupling element (CCD, CMOS) used as an input device, such as a digital camera and a color copier.

이들 액정 표시 장치나 고체 촬상 소자에 사용되고 있는 감광성 수지 조성물은 장치 그 자체의 경박단소화(輕薄短小化)에 수반하여 미세화 및 박막화되고 있다. 이 때문에 조성물 중의 수지 성분의 저감이나 유기 하지막을 생략하는 것이 검토되고 있다. The photosensitive resin composition used for these liquid crystal display devices and a solid-state image sensor is refine | miniaturized and thinned with light and small size reduction of the apparatus itself. For this reason, omitting reduction of the resin component in a composition, and omission of an organic base film are examined.

이 미세화 및 박막화의 흐름에 적응하기 위해, 몇 가지 연구가 이루어지고 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는, 박막화에 수반하는 블랙 매트릭스의 유리에 대한 밀착성 저하를 보강하는 수법이 기재되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는 컬러 필터의 바인더 수지를 연구함으로써 양호한 해상성과 박막화를 달성하고 있다. 그러나, 어느 방법도 기판으로의 밀착성, 해상성, 현상성을 모두 해결하는 것은 아니다.In order to adapt to the flow of this miniaturization and thinning, several studies have been made. For example, Patent Literature 1 describes a method of reinforcing the decrease in adhesion to the glass of the black matrix accompanying the thinning. Moreover, in patent document 2, favorable resolution and thinning are achieved by studying binder resin of a color filter. However, neither method solves all the adhesiveness, resolution, and developability to a board | substrate.

일본공개특허공보2004-0046551호Japanese Laid-Open Patent Publication 2004-0046551 일본특허제3218256호공보Japanese Patent No. 3218256

본 발명의 목적은 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 스페이서와 같은 용도에 있어서, 기판에 대한 밀착성, 해상성, 현상성, 감도 모두가 우수한 네거티브형 감광성 수지 조성물을 얻는 데 있다. An object of the present invention is to obtain a negative photosensitive resin composition having excellent adhesiveness, resolution, developability, and sensitivity to a substrate in applications such as color filters, black matrices, and spacers.

본 발명자 들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 연구한 결과, 하기 화학식 1로 표시되는 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물(수산기가(水酸基價):70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하)을 사용함으로써, 기판에 대한 밀착성, 해상성, 현상성, 감도 모두가 우수한 수지 조성물을 얻을 수 있음을 알아내고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly researching in order to solve the said subject, the present inventors used the acrylate of the dipentaerythritol represented by following formula (1) to a board | substrate by using the hydroxyl value: It was found out that a resin composition excellent in all of adhesiveness, resolution, developability, and sensitivity was obtained, and thus, the present invention was completed.

Figure pat00001
Figure pat00001

(화학식 1 중, a 및 b는 양의 정수로서, a+b=6, 1≤a≤6, 0≤b≤5이다.)(In Formula 1, a and b are positive integers, where a + b = 6, 1 ≦ a ≦ 6, and 0 ≦ b ≦ 5.)

즉, 본 발명은, That is, the present invention,

(1) 하기 화학식 1로 표시되는 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물로서, 수산기가가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 것을 포함하는, 네거티브형 감광성 수지 조성물,(1) A negative photosensitive resin composition comprising an acrylate of dipentaerythritol represented by the following formula (1), wherein the hydroxyl value is 70 mgKOH / g or more and 130 mgKOH / g or less;

<화학식 1><Formula 1>

Figure pat00002
Figure pat00002

(화학식 1 중, a 및 b는 양의 정수로서, a+b=6, 1≤a≤6, 0≤b≤5이다.)(In Formula 1, a and b are positive integers, where a + b = 6, 1 ≦ a ≦ 6, and 0 ≦ b ≦ 5.)

(2) 추가로 바인더 폴리머, 안료 및 광중합 개시제를 포함하는 (1)에 기재된 네거티브형 감광성 수지 조성물,(2) The negative photosensitive resin composition as described in (1) which further contains a binder polymer, a pigment, and a photoinitiator,

(3) (1) 또는 (2)에 기재된 네거티브형 감광성 수지 조성물을 경화시켜 얻어지는 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서,(3) a color filter, a black matrix, or a spacer obtained by curing the negative photosensitive resin composition according to (1) or (2);

(4) (3)에 기재된 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서를 구비하는 액정 표시 장치,(4) a liquid crystal display device comprising the color filter, the black matrix, or the spacer according to (3),

(5) (3)에 기재된 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서를 구비하는 고체 촬상 소자에 관한 것이다. (5) It relates to the solid-state image sensor provided with the color filter, black matrix, or spacer as described in (3).

수산기가가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물을 사용함으로써 기판에 대한 밀착성, 해상성, 현상성, 감도의 밸런스가 우수하고, 종래의 아크릴레이트모노머 단독 및 혼합으로는 얻을 수 없는 높은 성능을 갖는 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서용의 네거티브형 감광성 수지 조성물을 얻을 수 있다. By using acrylates of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 70 mgKOH / g or more and 130 mgKOH / g or less, the balance of adhesion, resolution, developability, and sensitivity to the substrate is excellent, and conventional acrylate monomers alone and in combination are obtained. A negative photosensitive resin composition for color filters, black matrices, and spacers with unparalleled high performance can be obtained.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물은 특정 광중합성 모노머를 포함하는 외에, 바인더 폴리머, 특정 광중합성 모노머 이외의 광중합성 모노머, 안료, 광중합 개시제 및 유기 용제, 계면 활성제, 열경화제, 중합 금지제 등의 각종 첨가물을 필요에 따라 포함하는 네거티브형 감광성 수지 조성물이다. The negative photosensitive resin composition of the present invention contains not only a specific photopolymerizable monomer, but also a binder polymer, a photopolymerizable monomer other than the specific photopolymerizable monomer, a pigment, a photopolymerization initiator and an organic solvent, a surfactant, a thermosetting agent, a polymerization inhibitor, and the like. It is a negative photosensitive resin composition containing various additives as needed.

본 발명에 있어서 사용되는 광중합성 모노머에는 특별한 한정은 없지만, 적어도 하기 화학식 1로 표시되는 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물로서, 수산기가가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 것을 사용한다. 본 발명의 조성물에 있어서는 그 외의 광중합성 모노머를 혼합하여 사용할 수도 있다. Although there is no special limitation in the photopolymerizable monomer used in this invention, At least as a acrylate of the dipentaerythritol represented by following formula (1), a hydroxyl value of 70 mgKOH / g or more and 130 mgKOH / g or less is used. In the composition of this invention, another photopolymerizable monomer can also be mixed and used.

<화학식 1><Formula 1>

Figure pat00003
Figure pat00003

(화학식 1 중, a 및 b는 양의 정수로서, a+b=6, 1≤a≤6, 0≤b≤5이다.)(In Formula 1, a and b are positive integers, where a + b = 6, 1 ≦ a ≦ 6, and 0 ≦ b ≦ 5.)

상기 광중합성 모노머의 수산기가가 70mgKOH/g 미만에서는, 종래의 펜타에리스리톨헥사아크릴레이트와 비교하여 기판에 대한 밀착성, 해상성, 현상성, 감도에 대해서 큰 차이를 얻을 수 없다. 또한, 130mgKOH/g보다 크면 현상 공정에서 패턴 표면에 거칠음이 보이게 되어, 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서용의 감광성 수지 조성물용 광중합성 모노머로서는 적합하지 않다. When the hydroxyl value of the said photopolymerizable monomer is less than 70 mgKOH / g, compared with the conventional pentaerythritol hexaacrylate, a big difference cannot be acquired about adhesiveness, resolution, developability, and a sensitivity with respect to a board | substrate. Moreover, when it is larger than 130 mgKOH / g, roughness will appear on the pattern surface at the image development process, and it is not suitable as a photopolymerizable monomer for photosensitive resin compositions for color filters, a black matrix, and a spacer.

수산기가가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물은 통상 사용되는 수법에 의해 디펜타에리스리톨을 아크릴레이트화하여 얻어진다. 원하는 수산기가로 얻기 위해서는 디펜타에리스리톨에 대한 아크릴산의 투입량을 적정한 것으로 할 수 있고, 구체적으로는 디펜타에리스리톨의 수산기의 몰수에 대하여 0.9∼1.2당량 정도가 바람직하다. An acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 70 mg KOH / g or more and 130 mg KOH / g or less is obtained by acrylateating dipentaerythritol by a method generally used. In order to obtain a desired hydroxyl value, the amount of acrylic acid added to dipentaerythritol may be appropriate. Specifically, about 0.9 to 1.2 equivalents is preferable with respect to the number of moles of hydroxyl groups of dipentaerythritol.

본 발명에서 사용될 수 있는 그 외의 광중합성 모노머의 구체예로서는, 2―하이드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2―하이드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2―에틸헥실(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 수산기가 70mgKOH/g 미만의 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물, 글리세롤(메타)아크릴레이트, 비스페놀―A형 에폭시디(메타)아크릴레이트, 비스페놀―F형 에폭시디(메타)아크릴레이트, 비스페놀―플루오렌형 에폭시디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. Specific examples of other photopolymerizable monomers that can be used in the present invention include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and ethylene glycol di (Meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol (meth) acrylate, tetraethylene glycol (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, an acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of less than 70 mgKOH / g, glycerol (meth) acrylate, bisphenol-A epoxy di ( Meta) acrylate, bisphenol-F type epoxy di (meth) acrylate, bisphenol-fluorene type epoxy di (meth) acrylate, etc. The can.

이들은 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 광중합성 모노머는 본 발명의 조성물의 전(全) 고형분 중에서, 통상 5∼60질량%, 바람직하게는 10∼50질량%를 차지하는 비율로 사용한다. These may be used independently and may be used in combination of 2 or more type. A photopolymerizable monomer is used in the ratio which occupies 5-60 mass% normally, Preferably it is 10-50 mass% in the total solid of the composition of this invention.

네거티브형 감광성 수지 조성물의 성분으로서 사용할 수 있는 바인더 폴리머는, 조성물의 성막성을 높이는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니다. 바람직하게는, 컬러 필터 제조시의 현상 처리 공정에 있어서 사용되는 현상액에 용해 가능하다. 현상액에 용해 가능한 바인더 폴리머로는, 예를 들면 알칼리 가용성 수지 또는 수용성 수지를 들 수 있다. The binder polymer which can be used as a component of a negative photosensitive resin composition will not be specifically limited if it raises the film-forming property of a composition. Preferably, it can be melt | dissolved in the developing solution used in the image development process process at the time of color filter manufacture. As a binder polymer which can be melt | dissolved in a developing solution, alkali-soluble resin or water-soluble resin is mentioned, for example.

알칼리 가용성 수지로서는, 알칼리성 용액 또는 알칼리성 수용액에 용해 가능한 수지라면, 특별히 제한없이 사용할 수 있다. 이러한 알칼리 가용성 수지로서는, 예를 들면 카복실기를 갖는 폴리머를 들 수 있다. 카복실기를 갖는 폴리머로서는, 1개 이상의 카복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 모노머(이하, 단순히 「카복실기를 갖는 불포화 모노머」라고 함)와 다른 공중합 가능한 에틸렌성 불포화 모노머(이하, 단순히「다른 불포화 모노머」라고 함)로 이루어지는 모노머 혼합물의 공중합체(이하, 단순히 「카복실기를 갖는 공중합체」라고 함)가 바람직하다. 카복실기를 갖는 불포화 모노머의 구체예로서는, 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, α―클로로아크릴산, 에타크릴산, 신남산 등의 불포화 모노카본산류; 말레산, 무수 말레산, 푸말산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 메사콘산 등의 불포화 디카본산류 또는 이들의 산 무수물; 3가 이상의 불포화 다가 카본산류 또는 그의 무수물 등을 들 수 있다. 이들 카복실기를 갖는 불포화 모노머는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. As alkali-soluble resin, if it is resin which can melt | dissolve in alkaline solution or alkaline aqueous solution, it can use without a restriction | limiting in particular. As such alkali-soluble resin, the polymer which has a carboxyl group is mentioned, for example. As the polymer having a carboxyl group, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter simply referred to as an "unsaturated monomer having a carboxyl group") and another copolymerizable ethylenically unsaturated monomer (hereinafter simply referred to as "another unsaturated monomer") Preferred is a copolymer (hereinafter, simply referred to as "copolymer having a carboxyl group") of a monomer mixture. Specific examples of the unsaturated monomer having a carboxyl group include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, ethacrylic acid and cinnamic acid; Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or acid anhydrides thereof; And trivalent or higher unsaturated polyvalent carboxylic acids or anhydrides thereof. The unsaturated monomer which has these carboxyl groups can be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한, 상기 다른 불포화 모노머의 구체예로서는, 스티렌, α―메틸스티렌, o―비닐톨루엔, m―비닐톨루엔, p―비닐톨루엔, o―클로로스티렌, m―클로로스티렌, p―클로로스티렌, p―메톡시스티렌 등의 방향족 비닐 화합물; 메틸아크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n―프로필아크릴레이트, i―프로필아크릴레이트, n―프로필메타크릴레이트, i―프로필메타크릴레이트, n―부틸아크릴레이트, i―부틸아크릴레이트, sec―부틸아크릴레이트, t―부틸아크릴레이트, n―부틸메타크릴레이트, i―부틸메타크릴레이트, sec―부틸메타크릴레이트, t―부틸메타크릴레이트, 2―하이드록시에틸아크릴레이트, 2―하이드록시에틸메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트 등의 불포화 카본산 에스테르류; 2―아미노에틸아크릴레이트, 2―아미노에틸메타크릴레이트, 2―아미노프로필아크릴레이트, 2―아미노프로필메타크릴레이트, 3―아미노프로필아크릴레이트, 3―아미노프로필메타크릴레이트 등의 불포화 카본산 아미노알킬에스테르류; 글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트 등의 불포화 카본산 글리시딜에스테르류; 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐, 부티르산 비닐, 벤조산 비닐 등의 카본산 비닐에스테르류; 비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르, 메탈릴글리시딜에테르 등의 불포화 에테르류; 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, α―클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴 등의 시안화 비닐 화합물; 아크릴아미드, 메타크릴아미드, α―클로로아크릴아미드, N―(2―하이드록시에틸)아크릴아미드, N―(2―하이드록시에틸)메타크릴아미드, 말레이미드 등의 불포화 아미드 또는 불포화 이미드류; 1,3―부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 지방족 공역 디엔류; 폴리스티렌, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리n―부틸아크릴레이트, 폴리n―부틸메타크릴레이트, 폴리실리콘 등의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아크릴로일기 또는 모노메타크릴로일기를 갖는 마크로모노머류 등을 들 수 있다. 이들 다른 불포화 모노머는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. Moreover, as a specific example of the said other unsaturated monomer, styrene, (alpha) -methylstyrene, o-vinyl toluene, m-vinyl toluene, p-vinyl toluene, o-chloro styrene, m-chloro styrene, p-chloro styrene, p-meth Aromatic vinyl compounds such as oxystyrene; Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, i-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, i-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxy Unsaturated carboxylic acid esters such as ethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl acrylate and benzyl methacrylate; Unsaturated carboxylic acid amino such as 2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, and 3-aminopropyl methacrylate Alkyl esters; Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate; Carbonic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate; Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether, and metalryl glycidyl ether; Vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide; Unsaturated amides or unsaturated imides such as acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N- (2-hydroxyethyl) acrylamide, N- (2-hydroxyethyl) methacrylamide and maleimide; Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene; Having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the terminal of the polymer molecular chain, such as polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly n-butyl acrylate, poly n-butyl methacrylate, polysilicon, etc. Macromonomers; and the like. These other unsaturated monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.

이들 카복실기를 갖는 불포화 모노머와 다른 불포화 모노머의 바람직한 조합으로서는, 아크릴산 및/또는 메타크릴산과 메틸메타크릴레이트, 2―하이드록시에틸아크릴레이트, 2―하이드록시에틸메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 스티렌, 폴리스티렌 마크로모노머 및 폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머의 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 다른 불포화 모노머를 들 수 있다. 카복실기를 갖는 폴리머의 바람직한 구체예로서는, 아크릴산/벤질아크릴레이트 공중합체, 아크릴산/벤질아크릴레이트/스티렌 공중합체, 아크릴산/메틸아크릴레이트/스티렌 공중합체, 아크릴산/벤질아크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/벤질아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/메틸아크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/메틸아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, 아크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌 공중합체, 아크릴산/메틸메타크릴레이트/스티렌 공중합체, 아크릴산/벤질메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/벤질메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/메틸메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/메틸메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/2―하이드록시에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 아크릴산/2―하이드록시에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체 등의 아크릴산 공중합체; 메타크릴산/벤질아크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/벤질아크릴레이트/스티렌 공중합체, 메타크릴산/메틸아크릴레이트/스티렌 공중합체, 메타크릴산/벤질아크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/벤질아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/메틸아크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/메틸아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌 공중합체, 메타크릴산/메틸메타크릴레이트/스티렌 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/메틸메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/메틸메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/2―하이드록시에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트/폴리스티렌 마크로모노머 공중합체, 메타크릴산/2―하이드록시에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 마크로모노머 공중합체 등의 메타크릴산 공중합체 등을 들 수 있다. As a preferable combination of the unsaturated monomer which has these carboxyl groups, and another unsaturated monomer, acrylic acid and / or methacrylic acid, methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate And at least one other unsaturated monomer selected from the group consisting of acrylates, styrenes, polystyrene macromonomers, and polymethylmethacrylate macromonomers. Preferable specific examples of the polymer having a carboxyl group include acrylic acid / benzyl acrylate copolymer, acrylic acid / benzyl acrylate / styrene copolymer, acrylic acid / methyl acrylate / styrene copolymer, acrylic acid / benzyl acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, acrylic acid / Benzyl acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, acrylic acid / methyl acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, acrylic acid / methyl acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, acrylic acid / benzyl methacrylate copolymer Copolymer, acrylic acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer, acrylic acid / methyl methacrylate / styrene copolymer, acrylic acid / benzyl methacrylate / polystyrene macromonomer copolymer, acrylic acid / benzyl methacrylate / polymethyl methacrylate macro Monomer Polymer, acrylic acid / methyl methacrylate / polystyrene macromonomer copolymer, acrylic acid / methyl methacrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, acrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate / polystyrene macro Acrylic acid copolymers such as monomer copolymers and acrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymers; Methacrylic acid / benzyl acrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl acrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / methyl acrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / benzyl acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, methacrylic Acid / benzylacrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, methacrylic acid / methylacrylate / polystyrene macromonomer copolymer, methacrylic acid / methylacrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, methacryl Acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / methyl methacrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / polystyrene macromonomer copolymer, Methacrylic acid / benzyl methacrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, methacrylic acid / methacrylate Methacrylate / polystyrene macromonomer copolymer, methacrylic acid / methylmethacrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate / polystyrene macromonomer Methacrylic acid copolymers, such as a copolymer and methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate / polymethylmethacrylate macromonomer copolymer, etc. are mentioned.

또한, 상기 카복실기를 갖는 폴리머의 측쇄에 추가로 불포화 이중 결합을 도입한 중합체도 본 발명에 유용하다. 그러한 중합체의 예로서는, 예를 들면, 무수 말레산과 이것과 공중합 가능한 스티렌, 비닐페놀, 아크릴산, 아크릴산 에스테르, 아크릴아미드 등과의 공중합물의 무수 말레산부에, 하이드록시에틸아크릴레이트 등의 알코올성 하이드록실기를 갖는 아크릴레이트나 글리시딜메타크릴레이트 등의 에폭시기를 갖는 아크릴레이트를 반응시켜 반(半)에스테르화한 화합물 및 아크릴산, 아크릴산 에스테르와 하이드록시에틸아크릴레이트 등의 알코올성 하이드록실기를 갖는 아크릴레이트와의 공중합체의 수산기에 추가로 아크릴산을 반응시킨 화합물을 들 수 있다. Moreover, the polymer which introduce | transduced the unsaturated double bond further in the side chain of the said polymer which has the said carboxyl group is also useful for this invention. Examples of such polymers include alcoholic hydroxyl groups such as hydroxyethyl acrylate in the maleic anhydride portion of copolymers of maleic anhydride and styrene, vinylphenol, acrylic acid, acrylic ester, acrylamide and the like copolymerizable therewith. With a compound obtained by reacting an acrylate having an epoxy group such as acrylate or glycidyl methacrylate with a semi-esterified compound and an acrylate having an alcoholic hydroxyl group such as acrylic acid, acrylic acid ester and hydroxyethyl acrylate. The compound which made acrylic acid react further to the hydroxyl group of a copolymer is mentioned.

다음으로, 수용성 수지로서는 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리비닐알코올계 수지, 폴리비닐피롤리돈계 수지, 아크릴로일모폴린계 수지 등을 들 수 있다. 아크릴계 수지의 예로서는 아크릴산, 아크릴산 소다, 아크릴아미드 등의 중합체 및 공중합체 등이, 메타크릴계 수지의 예로서는, 메타크릴산, 메타크릴산 소다, 2―하이드록시메타크릴산 등의 중합체 또는 공중합체를 각각 들 수 있다. Next, as water-soluble resin, acrylic resin, methacryl resin, polyvinyl alcohol resin, polyvinylpyrrolidone resin, acryloyl morpholine resin etc. are mentioned. Examples of acrylic resins include polymers and copolymers such as acrylic acid, soda acrylic acid, acrylamide, and the like. Examples of methacrylic resins include polymers or copolymers such as methacrylic acid, methacrylic acid sodium and 2-hydroxymethacrylic acid. Each can be mentioned.

상기한 알칼리 가용성 수지 또는 수용성 수지를 용해시킬 수 있는 알칼리성 용액 또는 알칼리성 수용액으로서는, 예를 들면 수산화 나트륨 수용액, 수산화 칼륨 수용액, 탄산 나트륨 수용액, 탄산 칼륨 수용액, 탄산 수소 나트륨 수용액, 탄산 수소 칼륨 수용액, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 수용액, 디에탄올아민 수용액, 에탄올아민 수용액 등 및 이들에 계면 활성제를 적절히 혼합한 것을 들 수 있지만, 본 발명에 있어서는 이들에 한정되지 않는다. As an alkaline solution or alkaline aqueous solution which can dissolve the above-mentioned alkali-soluble resin or water-soluble resin, For example, sodium hydroxide aqueous solution, potassium hydroxide aqueous solution, sodium carbonate aqueous solution, potassium carbonate aqueous solution, sodium hydrogen carbonate aqueous solution, potassium hydrogen carbonate aqueous solution, tetra Although the methyl ammonium hydroxide aqueous solution, the diethanolamine aqueous solution, the ethanolamine aqueous solution, etc. and these mixed suitably with surfactant are mentioned, It is not limited to these in this invention.

본 발명에 있어서, 상기 바인더 폴리머는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 본 발명에 있어서의 바인더 폴리머는, 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물의 전 고형분(유기 용제를 제외한 다른 성분, 이하 동일) 중에서, 사용되는 경우는 통상, 5∼80질량%, 바람직하게는 10∼60질량%를 차지하는 비율로 사용한다. 바인더 폴리머의 함유량이 5질량% 미만에서는, 예를 들면, 알칼리 현상성이 저하되거나, 화소가 형성되는 부분 이외의 영역에서의 바탕때(scumming)나 막 잔사가 발생하거나 할 우려가 있다. In this invention, the said binder polymer can be used individually or in mixture of 2 or more types. When the binder polymer in this invention is used in the total solid (other components except organic solvent, the same below) of the negative photosensitive resin composition of this invention, it is 5-80 mass% normally, Preferably it is 10- It uses in the ratio which occupies 60 mass%. When content of a binder polymer is less than 5 mass%, alkali developability may fall, for example, scuffing and film | membrane residue may generate | occur | produce in the area | regions other than the part in which a pixel is formed.

바인더 폴리머의 중량 평균 분자량(Mw)으로서는, 통상 2,000∼1,000,000, 바람직하게는 3,000∼400,000이다. 중량 평균 분자량이 2,000 이하인 경우, 또한 중량 평균 분자량이 400,000 이상인 경우가 되면, 감도 및 현상성이 나빠질 우려가 있다. As a weight average molecular weight (Mw) of a binder polymer, it is 2,000-1,000,000 normally, Preferably it is 3,000-400,000. In the case where the weight average molecular weight is 2,000 or less, and the weight average molecular weight is 400,000 or more, there is a fear that the sensitivity and developability deteriorate.

본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라 안료 등을 사용할 수 있다. 또한 본 발명에 사용하는 안료로서는, 적정한 분광 스펙트럼을 갖는 것이라면 유기 안료, 무기 안료를 특별히 제한없이 사용할 수 있다. A pigment etc. can be used for the negative photosensitive resin composition of this invention as needed. Moreover, as a pigment used for this invention, if it has a suitable spectral spectrum, an organic pigment and an inorganic pigment can be used without a restriction | limiting in particular.

본 발명에 사용할 수 있는 유기 안료의 예로서는, 예를 들면, 안트라퀴논계, 프탈로시아닌계, 벤조이미다졸론계, 퀴나크리돈계, 아조킬레이트계, 아조계, 이소인돌린계, 이소인돌리논계, 피란스론계, 인단스론계, 안스라피리미딘계, 디브로모안잔스론계, 플라반스론계, 페릴렌계, 페리논계, 퀴노프탈론계, 티오인디고계, 디옥사진계 등의 안료나 산성 염료, 염기성 염료, 직접 염료 등을 각각의 침전제로 불용화한 레이크 안료, 염색 레이크 안료 등을 들 수 있다. 이들 유기 안료는, 필요에 따라, 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. As an example of the organic pigment which can be used for this invention, an anthraquinone type, a phthalocyanine type, a benzoimidazolone type, a quinacridone type, an azochelate type, an azo type, an isoindolin type, an isoindolinone type, pyran, for example Pigments and acid dyes, basic dyes, such as srone-based, indanthone-based, anthrapyrimidine-based, dibromo-anxanthone-based, flavane-based, perylene-based, perinone-based, quinophthalone-based, thioindigo-based, and dioxazine-based Lake pigment, dye Lake pigment, etc. which insolubilized direct dye etc. with each precipitant are mentioned. These organic pigments can be used individually or in combination of 2 or more types as needed.

본 발명에 사용할 수 있는 무기 안료의 예로서는, 복합 금속 산화물 안료, 카본 블랙, 흑색 저차(低次) 산질화 티탄, 산화 티탄, 황산 바륨, 산화 아연, 황산납, 황색납, 벵갈라(Bengala), 군청, 감청, 산화 크롬, 안티몬 화이트, 철흑, 연단, 황화 아연, 카드뮴 옐로, 카드뮴 레드, 아연, 망간 바이올렛, 코발트 바이올렛, 황산 바륨, 탄산 마그네슘 등의 금속 산화물, 금속 황화물, 황산염, 금속 수산화물, 금속 탄산염 등을 들 수 있다. 이들 무기 안료는, 필요에 따라, 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. Examples of the inorganic pigments that can be used in the present invention include composite metal oxide pigments, carbon black, black lower titanium oxynitride, titanium oxide, barium sulfate, zinc oxide, lead sulfate, yellow lead, Bengala, ultramarine blue. Metal oxides, such as wires, chromium oxide, antimony white, iron black, podium, zinc sulfide, cadmium yellow, cadmium red, zinc, manganese violet, cobalt violet, barium sulfate, magnesium carbonate, metal sulfides, sulfates, metal hydroxides, metal carbonates Etc. can be mentioned. These inorganic pigments can be used individually or in combination of 2 or more types as needed.

본 발명에 있어서 안료를 사용하는 경우는, 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물의 전 고형분 중에서, 사용되는 경우는 통상 5∼70질량%, 바람직하게는 10∼60질량%를 차지하는 비율로 사용한다. 색소의 함유량은, 경화막의 원하는 막두께, 분광 특성에 따라 적절히 결정된다. 또한, 본 발명에서 사용되는 색소의 색상으로서는 적색, 청색, 녹색, 흑색, 황색, 마젠타, 시안 등의 색상을 들 수 있다. When using a pigment in this invention, when used in the total solid of the negative photosensitive resin composition of this invention, when used, it is normally used in the ratio which occupies 5-70 mass%, Preferably it is 10-60 mass%. Content of a pigment is suitably determined according to the desired film thickness of a cured film, and a spectral characteristic. Moreover, as a color of the pigment | dye used by this invention, colors, such as red, blue, green, black, yellow, magenta, cyan, are mentioned.

본 발명의 조성물에 있어서는 필요에 따라 광중합 개시제를 사용할 수 있다. 본 발명에 사용되는 광중합 개시제로서는, 노광 광원으로서 일반적으로 사용되는 초고압 수은 등(燈)으로부터 출사되는 자외선에 충분한 감도를 갖는 것이라면 특별히 제한없이 사용할 수 있다. 광중합 개시제의 구체예로서는, 벤질, 벤조인에테르, 벤조인부틸에테르, 벤조인프로필에테르, 벤조페논, 3,3'―디메틸―4―메톡시벤조페논, 벤조일벤조산, 벤조일벤조산의 에스테르화물, 4―벤조일―4'―메틸디페닐설파이드, 벤질디메틸케탈, 2―부톡시에틸―4―메틸아미노벤조에이트, 클로로티옥산톤, 메틸티옥산톤, 에틸티옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 디메틸티옥산톤, 디에틸티옥산톤, 디이소프로필티옥산톤, 디메틸아미노메틸벤조에이트, 디메틸아미노벤조산 이소아밀에스테르, 1―(4―도데실페닐)―2―하이드록시―2―메틸프로판―1―온, 1―하이드록시사이클로헥실페닐케톤, 2―하이드록시―2―메틸―1―페닐프로판―1―온, 1―(4―이소프로필페닐)―2―하이드록시―2―메틸프로판―1―온, 메틸벤조일포름에이트, 2―메틸―1―(4―메틸티오페닐)―2―모폴리노프로판―1―온, 2―벤질―2―디메틸아미노―1―(4―모폴리노페닐)―부탄―1―온, 2.2'―비스(2―클로로페닐)―4,4',5,5'―테트라페닐비스이미다졸, 2,2'―비스(2―클로로페닐)―4,4',5,5'―테트라―(4―메톡시페닐)비스이미다졸, 2,4―비스(트리클로로메틸)―6―(4―메톡시페닐)―1,3,5―s―트리아진, 2,4,6―트리스(트리클로로메틸)―1,3,5―s―트리아진, 2,4―비스(트리브로모메틸)―6―(4'―메톡시페닐)―1,3,5―s―트리아진, 2,4,6―트리스(트리브로모메틸)―1,3,5―s―트리아진, 2,4―비스(트리클로로메틸)―6―(1,3―벤조디옥솔란―5―일)―1,3,5―s―트리아진, 1―(4―페닐술파닐페닐)부탄―1,2―디온―2―옥심―O―벤조에이트, 1―(4―메틸술파닐페닐)부탄―1,2―디온―2―옥심―O―아세테이트, 1―(4―메틸술파닐페닐)부탄―1―온옥심―O―아세테이트, 에타논,1―[9―에틸―6―(2―메틸벤조일)―9H―카바졸―3―일]―,1―(O―아세틸옥심) 등을 들 수 있다. In the composition of this invention, a photoinitiator can be used as needed. As a photoinitiator used for this invention, if it has sufficient sensitivity to the ultraviolet-ray radiated | emitted from the ultrahigh pressure mercury lamp etc. generally used as an exposure light source, it can be used without a restriction | limiting. Specific examples of the photopolymerization initiator include benzyl, benzoin ether, benzoin butyl ether, benzoin propyl ether, benzophenone, 3,3'-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzoylbenzoic acid, and esters of benzoylbenzoic acid, 4- Benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, benzyl dimethyl ketal, 2-butoxyethyl- 4-methylamino benzoate, chloro thioxanthone, methyl thioxanthone, ethyl thioxanthone, isopropyl thioxanthone, dimethyl thi Oxanthone, diethyl thioxanthone, diisopropyl thioxanthone, dimethylaminomethylbenzoate, dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1 -One, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl- 1-phenyl propane- 1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane- 1-one, methylbenzoylformate, 2-methyl-1- (4-methylthiopee ) -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1-one, 2.2'-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra- (4-methoxyphenyl) bisimime Dazole, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -1,3 , 5-s-triazine, 2,4-bis (tribromomethyl) -6- (4'-methoxyphenyl) -1,3,5-s-triazine, 2,4,6-tris Tribromomethyl) -1,3,5-s-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1,3-benzodioxolane-5-yl) -1,3,5- s-triazine, 1- (4-phenylsulfanylphenyl) butane-1,2-dione- 2-oxime-O-benzoate, 1- (4-methylsulfanylphenyl) butane- 1,2-dione 2-oxime-O-acetate, 1- (4-methylsulfanylphenyl) butane-1-one oxime-O-acetate, Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyl oxime), etc. are mentioned.

이들 광중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. 본 발명에 있어서, 광중합 개시제는 본 발명의 조성물의 전 고형분 중에서, 사용되는 경우는 통상 0.5∼30질량%, 바람직하게는 1∼25질량%를 차지하는 비율로 사용한다. These photoinitiators can be used individually or in combination of 2 or more types. In this invention, a photoinitiator is used in the total solid of the composition of this invention, and when used, it is 0.5-30 mass% normally, It is used in the ratio which occupies 1-25 mass%.

본 발명의 조성물에 있어서는 필요에 따라 유기 용제를 사용할 수 있다. 본 발명에 사용하는 유기 용제로서는, 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물의 구성 성분인 바인더 폴리머, 광중합성 모노머, 광중합 개시제 등을 용해시키는 것이 적절히 선택된다. 유기 용제의 구체예로서는, 벤젠, 톨루엔, 크실렌 등의 벤젠류, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브 등의 셀로솔브류, 메틸셀로솔브 아세테이트, 에틸셀로솔브 아세테이트, 부틸셀로솔브 아세테이트 등의 셀로솔브 아세트산 에스테르류, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르 아세테이트 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르 아세트산 에스테르류, 메톡시프로피온산 메틸, 메톡시프로피온산 에틸, 에톡시프로피온산 메틸, 에톡시프로피온산 에틸 등의 프로피온산 에스테르류, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 락트산 부틸 등의 락트산 에스테르류, 디에틸렌글리콜모노메틸 에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸 에테르 등의 디에틸렌글리콜류, 아세트산 메틸, 아세트산 에틸, 아세트산 부틸 등의 아세트산 에스테르류, 디메틸에테르, 디에틸에테르, 테트라하이드로푸란, 디옥산 등의 에테르류, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸부틸케톤, 사이클로헥사논 등의 케톤류 등을 들 수 있다. In the composition of this invention, an organic solvent can be used as needed. As an organic solvent used for this invention, what melt | dissolves the binder polymer which is a structural component of the negative photosensitive resin composition of this invention, a photopolymerizable monomer, a photoinitiator, etc. is selected suitably. Specific examples of the organic solvent include cellosolves such as benzene, toluene and xylene, methyl cellosolve, ethyl cellosolve and butyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate and butyl cell. Cellosolve acetic acid esters such as rosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoalkyl ether acetate esters such as propylene glycol monobutyl ether acetate, methyl methoxypropionate, methoxy propionic acid Propionic acid esters such as ethyl, methyl ethoxypropionate and ethyl ethoxypropionate, lactic acid esters such as methyl lactate, ethyl lactate, and butyl lactate, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and the like To methyl acetate, acetic acid Acetone esters, such as butyl and butyl acetate, ethers, such as dimethyl ether, diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, ketones, such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl butyl ketone, and cyclohexanone, etc. are mentioned.

이들은 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 있어서, 유기 용제의 함유량은 네거티브형 감광성 수지 조성물의 전 고형분 100질량부에 대하여, 사용되는 경우는 통상 50∼2,000질량부, 바람직하게는 100∼1,000질량부이다. These can be used individually or in combination of 2 or more types. In addition, in this invention, content of an organic solvent is 50-2,000 mass parts normally when it is used with respect to 100 mass parts of total solids of a negative photosensitive resin composition, Preferably it is 100-1,000 mass parts.

본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물은, 상기의 바인더 폴리머, 광중합성 모노머, 광중합 개시제, 색소 및 유기 용제를 디졸바, 호모믹서 등에 의해, 교반, 용해 또는 분산시킴으로써 제조된다. The negative photosensitive resin composition of this invention is manufactured by stirring, dissolving, or disperse | distributing said binder polymer, a photopolymerizable monomer, a photoinitiator, a pigment | dye, and an organic solvent with a dissolver, a homomixer, etc.

본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물은, 필요에 따라, 추가로 각종 첨가제, 예를 들면, 충전제, 계면 활성제, 열중합 방지제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제를 함유할 수 있다. 또한, 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물은, 그의 조제 후에 이물 등을 제거하기 위해 필터 등으로 정밀 여과할 수도 있다. The negative photosensitive resin composition of this invention can contain various additives further, for example, a filler, surfactant, a thermal polymerization inhibitor, an adhesion promoter, antioxidant, a ultraviolet absorber, and an aggregation inhibitor as needed. In addition, the negative photosensitive resin composition of this invention can also be fine-filtered with a filter etc. in order to remove a foreign material etc. after preparation.

다음으로, 본 발명의 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서의 제조 방법에 대해서 설명한다. 우선, 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물을 유리 기판, 실리콘 기판 등의 기판상에, 스핀 코팅법, 롤 코팅법, 바 코팅법 등의 방법으로, 막두께가 대략 0.1∼7㎛가 되도록 도포하고, 온도 60∼120℃, 시간 1∼50분과 같은 조건에서 프리 베이킹 처리를 행하여 제막한다. 다음으로, 포토리소그래피법에 의해 소정의 마스크 패턴을 통하여 방사선(예를 들면 전자선, 자외선, 바람직하게는 자외선)을 조사(照射)하고, 계면 활성제 수용액, 알칼리성 (수)용액 또는 (계면 활성제+알칼리제)수용액으로 현상하여 미경화 부분을 제거하고, 물로 린스하여 기판상의 본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물의 경화물 패턴을 얻는다. Next, the manufacturing method of the color filter, black matrix, and spacer of this invention is demonstrated. First, the negative photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a substrate such as a glass substrate or a silicon substrate by a spin coating method, a roll coating method, a bar coating method, or the like so as to have a film thickness of approximately 0.1 to 7 µm. The film is formed by performing a prebaking treatment under the same conditions as the temperature of 60 to 120 ° C. for 1 to 50 minutes. Next, radiation (e.g., electron beams, ultraviolet rays, preferably ultraviolet rays) is irradiated through a predetermined mask pattern by a photolithography method, and an aqueous surfactant solution, an alkaline (aqueous) solution or a (surfactant + alkali agent) is applied. ) The solution is developed with an aqueous solution to remove the uncured portion, and rinsed with water to obtain a cured product pattern of the negative photosensitive resin composition of the present invention on a substrate.

상기에 있어서, 계면 활성제로서는 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시알킬렌알킬에테르 등을 사용할 수 있고, 사용되는 경우는 통상 그들의 0.05∼1.0질량%의 수용액이 사용된다. 또한 알칼리로서는, 탄산 나트륨, 탄산 칼륨, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 디에탄올 아민, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 등이 사용되며, 통상 그들의 0.05∼1.0질량%의 수용액이 사용된다. 본 발명에 있어서는, 상기 중, 알칼리와 계면 활성제를 포함하는 수용액의 사용이 바람직하다. 현상은, 온도가 통상 10∼50℃, 바람직하게는 20∼40℃, 시간이 통상 30∼180초, 바람직하게는 30∼120초와 같은 조건에서 행해진다. In the above, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyalkylene alkyl ether, etc. can be used as surfactant, When they are used, the aqueous solution of 0.05-1.0 mass% is normally used. Moreover, as alkali, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, diethanol amine, tetramethylammonium hydroxide, etc. are used, Usually, those aqueous solution of 0.05-1.0 mass% is used. In this invention, use of the aqueous solution containing an alkali and surfactant among the above is preferable. The development is usually carried out under the conditions of the temperature of 10 to 50 ° C, preferably 20 to 40 ° C, and the time of 30 to 180 seconds, preferably 30 to 120 seconds.

본 발명의 네거티브형 감광성 수지 조성물의 경화물은 액정 표시 장치용의 컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 스페이서에, 또는 디지털 카메라용의 고체 촬상 소자용 컬러 필터로서 유용하다. The hardened | cured material of the negative photosensitive resin composition of this invention is useful for the color filter, black matrix, and spacer for liquid crystal display devices, or as a color filter for solid-state image sensors for a digital camera.

본 발명의 액정 표시 장치는, 예를 들면, 백 라이트, 편광 필름, 표시 전극, 액정, 배향막, 공통 전극, 본 발명의 컬러 필터, 편광 필름 등이 이 순서로 적층된 구조로 제작된다. The liquid crystal display of the present invention is produced in a structure in which a backlight, a polarizing film, a display electrode, a liquid crystal, an alignment film, a common electrode, a color filter of the present invention, a polarizing film and the like are laminated in this order, for example.

본 발명의 고체 촬상 소자는, 예를 들면, 전송 전극, 포토 다이오드를 형성한 실리콘 웨이퍼상에, 본 발명의 컬러 필터층을 형성하고, 이어서 마이크로 렌즈를 적층하여 제작된다. The solid-state imaging device of the present invention is produced by, for example, forming the color filter layer of the present invention on a silicon wafer on which a transfer electrode and a photodiode are formed, and then laminating microlenses.

(실시예)(Example)

이하 실시예에 의해 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 실시예에 있어서, %는 질량%를 의미한다. The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples. In the examples,% means mass%.

실시예 1Example 1

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 프로필렌글리콜모노메틸에테르 아세테이트(이하 PGMEA로 약칭함) 22% 용액 32g, 광중합성 모노머로서 수산기가 70mgKOH/g의 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물 7g, 광중합 개시제로서 이르가큐어907(치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 카야큐어DETX―S(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조) 0.5g, 안료로서 적색 안료 분산액(C.I.피그먼트 레드177/C.I.피그먼트 옐로우83/분산제/PGMEA=16/4/5/75중량비) 86g, 용제로서 PGMEA 30g을 혼합하여, 본 발명의 적색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 1을 얻었다. 32 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter abbreviated as PGMEA) of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, and a hydroxyl value of 70 mgKOH as a photopolymerizable monomer 7 g of acrylates of / g dipentaerythritol, 1 g of Irgacure 907 (manufactured by Chiba Specialty Chemicals) as a photopolymerization initiator, 0.5 g of Kayakure DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and a pigment as a red pigment dispersion. (CI Pigment Red 177 / CI Pigment Yellow 83 / Dispersant / PGMEA = 16/4/5/75 weight ratio) 86 g and PGMEA 30g were mixed as a solvent and the red negative photosensitive resin composition 1 of this invention was obtained.

비교예 1Comparative Example 1

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 PGMEA 22% 용액 32g, 광중합성 모노머로서 수산기가 48mgKOH/g의 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물 7g, 광중합 개시제로서 이르가큐어907(치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 카야큐어DETX―S(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조) 0.5g, 안료로서 적색 안료 분산액(C.I.피그먼트 레드177/C.I.피그먼트 옐로우83/분산제/PGMEA=16/4/5/75중량비) 86g, 용제로서 PGMEA 30g을 혼합하여, 적색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 2를 얻었다. 32 g of PGMEA 22% solution of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, 7 g of acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 48 mg KOH / g as a photopolymerizable monomer, As a photoinitiator, it is a red pigment dispersion liquid (CI pigment red 177 / CI pigment yellow 83) as Irgacure 907 (made by Chiba Specialty Chemicals) 1 g, Kayacure DETX-S (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and a pigment. / Dispersant / PGMEA = 16/4/5/75 weight ratio) 86g, PGMEA30g was mixed as a solvent, and the red negative photosensitive resin composition 2 was obtained.

비교예 2Comparative Example 2

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 PGMEA 22% 용액 32g, 광중합성 모노머로서 펜타에리스리톨트리아크릴레이트(수산기가 130mgKOH/g) 7g, 광중합 개시제로서 이르가큐어907(치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 카야큐어DETX―S(닛폰카야쿠 가부시키가이샤 제조) 0.5g, 안료로서 적색 안료 분산액(C.I.피그먼트 레드177/C.I.피그먼트 옐로우83/분산제/PGMEA=16/4/5/75중량비) 86g, 용제로서 PGMEA 30g을 혼합하여, 적색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 3를 얻었다. 32 g PGMEA 22% solution of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, pentaerythritol triacrylate (130 mgKOH / g hydroxyl value is 130 mgKOH / g) as a photopolymerizable monomer, photopolymerization As an initiator, 1 g of Irgacure 907 (made by Chiba Specialty Chemicals), Kayacure DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 0.5 g, a pigment, a red pigment dispersion (CI pigment red 177 / CI pigment yellow 83 /) Dispersant / PGMEA = 16/4/5 / 75weight ratio) 86g and PGMEA30g were mixed as a solvent and the red negative photosensitive resin composition 3 was obtained.

실시예 2Example 2

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 PGMEA 22% 용액 23g, 광중합성 모노머로서 수산기가 130mgKOH/g의 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물 5g, 광중합 개시제로서 이르가큐어OXE02(에타논,1―[9―에틸―6―(2―메틸벤조일)―9H―카바졸―3―일]―,1―(O―아세틸옥심), 치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 안료로서 카본 블랙 분산액의 PGMEA 22% 용액 45g, 용제로서 PGMEA 34g을 혼합하여, 본 발명의 흑색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 4를 얻었다. 23 g of PGMEA 22% solution of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, 5 g of acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 130 mg KOH / g as a photopolymerizable monomer, Irgacure OXE02 (ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), Chiba specialty chemical as a photoinitiator 1), 45 g of PGMEA 22% solution of carbon black dispersion liquid, and 34 g of PGMEA as a solvent were mixed as a pigment, and the black negative photosensitive resin composition 4 of this invention was obtained.

비교예 3Comparative Example 3

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 PGMEA 22% 용액 23g, 광중합성 모노머로서 수산기가 48mgKOH/g의 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물 5g, 광중합 개시제로서 이르가큐어OXE02(에타논,1―[9―에틸―6―(2―메틸벤조일)―9H―카바졸―3―일]―,1―(O―아세틸옥심), 치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 안료로서 카본 블랙 분산액의 PGMEA 22% 용액 45g, 용제로서 PGMEA 34g을 혼합하여, 흑색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 5를 얻었다. 23 g of PGMEA 22% solution of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, 5 g of acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 48 mg KOH / g as a photopolymerizable monomer, Irgacure OXE02 (ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), Chiba specialty chemical as a photoinitiator 45g of PGMEA 22% solution of carbon black dispersion liquid and PGMEA 34g as a solvent were mixed as 1g and the pigments, and the black negative photosensitive resin composition 5 was obtained.

비교예 4Comparative Example 4

바인더 폴리머로서 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(20/80질량비, 중량 평균 분자량 22,000)의 PGMEA 22% 용액 23g, 광중합성 모노머로서 펜타에리스리톨트리아크릴레이트(수산기가 130mgKOH/g) 5g, 광중합 개시제로서 이르가큐어OXE02(에타논,1―[9―에틸―6―(2―메틸벤조일)―9H―카바졸―3―일]―,1―(O―아세틸옥심), 치바 스페셜티 케미칼즈사 제조) 1g, 안료로서 카본 블랙 분산액의 PGMEA 22% 용액 45g, 용제로서 PGMEA 34g을 혼합하여, 흑색의 네거티브형 감광성 수지 조성물 6을 얻었다. 23 g of PGMEA 22% solution of methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (20/80 mass ratio, weight average molecular weight 22,000) as a binder polymer, pentaerythritol triacrylate (130 mg KOH / g of hydroxyl value) as photopolymerizable monomer, photopolymerization Irgacure OXE02 (ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyl oxime), Chiba Specialty Chemicals Co., Ltd. 1g, 45 g of PGMEA 22% solutions of the carbon black dispersion liquid as a pigment, and 34 g of PGMEA as a solvent were mixed, and the black negative photosensitive resin composition 6 was obtained.

상기에서 얻어진 본 발명의 적색 네거티브형 감광성 수지 조성물 1 및 흑색 네거티브형 감광성 수지 조성물 4 및 적색 네거티브형 감광성 수지 조성물 2, 3 및 흑색 네거티브형 감광성 수지 조성물 5, 6을 유리 기판상에 스핀 코팅에 의해 1,000rpm으로 도포하고, 80℃×100초의 조건에서 프리 베이킹한 후, 자외선 노광 장치(가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼, 형식 HMW―680GW)를 사용하여 회로 패턴이 묘화된 마스크(Toppan―Test―Chart―No1―N)를 통하여 200mJ/㎠와 400mJ/㎠ 자외선을 각각 조사했다. 노광 후, 계면 활성제가 들어간 0.1% 테트라메틸암모늄 하이드록사이드(TMAH) 수용액으로 60초 샤워 현상, 물로 린스 후, 200℃에서 가열 처리하여, 적색 패턴과 흑색 패턴을 얻었다. The red negative photosensitive resin composition 1, the black negative photosensitive resin composition 4, and the red negative photosensitive resin composition 2, 3, and the black negative photosensitive resin composition 5, 6 of this invention obtained above were spin-coated on a glass substrate. After application | coating at 1,000 rpm and prebaking on the conditions of 80 degreeC x 100 second, the mask (Toppan-Test-Chart) which the circuit pattern was drawn using the ultraviolet exposure apparatus (Oksei Corporation, model HMW-680GW). -200 mJ / cm <2> and 400mJ / cm <2> ultraviolet-rays were respectively irradiated through -No1-N). After exposure, 60 seconds of shower development with a 0.1% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution containing a surfactant and rinsing with water were followed by heat treatment at 200 ° C to obtain a red pattern and a black pattern.

유리 기판에 대한 밀착성 및 해상성은 현상 후에 남은 최소 라인폭(㎛)을 측정함으로써 구했다. 이들 폭이 작을수록 밀착성, 해상성이 우수하다는 것을 나타낸다. 또한 현상성은, 현상시에 용해를 시작한 시간(초; 브레이크 포인트)으로 확인했다. 현상성은 브레이크 포인트가 짧을수록 우수하다고 할 수 있다. 감도는 노광량을 흔들어 패터닝한 결과를 광학 현미경으로 표면의 경화성을 확인하여 판단했다. The adhesion and resolution to the glass substrate were determined by measuring the minimum line width (占 퐉) remaining after development. The smaller these widths, the better the adhesion and resolution. In addition, developability was confirmed by the time (second; break point) which started dissolution at the time of image development. The developability is excellent with shorter break point. The sensitivity was determined by shaking the exposure dose and patterning the result by checking the surface sclerosis with an optical microscope.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

상기 결과로부터 명백한 바와 같이, 수산기가가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물을 감광성 수지 조성물에 사용함으로써, 종래의 아크릴레이트모노머로는 얻을 수 없는, 무기 기판에 대한 밀착성, 해상성, 현상성, 감도 모두가 우수한 밸런스가 좋은 감광성 수지 조성물을 얻을 수 있다. As is evident from the above results, by using an acrylate of dipentaerythritol having a hydroxyl value of 70 mgKOH / g or more and 130 mgKOH / g or less in the photosensitive resin composition, adhesiveness to an inorganic substrate, which cannot be obtained with a conventional acrylate monomer, A well-balanced photosensitive resin composition excellent in all of resolution, developability, and sensitivity can be obtained.

Claims (5)

하기 화학식 1로 표시되는 디펜타에리스리톨의 아크릴레이트화물로서, 수산기가(水酸基價)가 70mgKOH/g 이상 130mgKOH/g 이하인 것을 포함하는 네거티브형 감광성 수지 조성물.
<화학식 1>
Figure pat00006

(화학식 1 중, a 및 b는 양의 정수로서, a+b=6, 1≤a≤6, 0≤b≤5이다.)
A negative photosensitive resin composition comprising an acrylate of dipentaerythritol represented by the following formula (1), wherein the hydroxyl value is 70 mgKOH / g or more and 130 mgKOH / g or less.
<Formula 1>
Figure pat00006

(In Formula 1, a and b are positive integers, where a + b = 6, 1 ≦ a ≦ 6, and 0 ≦ b ≦ 5.)
제1항에 있어서,
추가로 바인더 폴리머, 안료 및 광중합 개시제를 포함하는 네거티브형 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
Furthermore, the negative photosensitive resin composition containing a binder polymer, a pigment, and a photoinitiator.
제1항 또는 제2항에 기재된 네거티브형 감광성 수지 조성물을 경화하여 얻어지는 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서. The color filter, black matrix, or spacer obtained by hardening | curing the negative photosensitive resin composition of Claim 1 or 2. 제3항에 기재된 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서를 구비하는 액정 표시 장치. A liquid crystal display device comprising the color filter, the black matrix, or the spacer according to claim 3. 제3항에 기재된 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 또는 스페이서를 구비하는 고체 촬상 소자. The solid-state imaging device provided with the color filter of Claim 3, a black matrix, or a spacer.
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