KR20090092119A - 반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법 - Google Patents

반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 제어 시스템은, 호스트; 복수개의 반도체 장비들; 상기 호스트와 통신하거나 상기 복수개의 반도체 장비들을 각각 제어하는 복수개의 제어 모듈들; 및 상기 복수개의 제어 모듈들을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직(business logic)을 포함하는 통합 제어 모듈;을 구비한다. 상기 통합 제어 모듈은, 상기 복수개의 반도체 장비들의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정할 수 있도록 하는 그래픽 인터페이스; 상기 그래픽 인터페이스에서 설정된 태그들이 나타내는 속성들을 저장하는 공유 메모리; 및 상기 공유 메모리에 저장된 속성들을 관리하는 공유 메모리 관리부를 구비한다.

Description

반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법{Control system for semiconductor device and establishing method of the same}
본 발명은 반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법에 관한 것으로써, 특히 HMI 기법을 이용하여 복수개의 반도체 장치 제어 모듈들을 통합하는 반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체 장치 제어 시스템을 구축하는 과정에서는, 로봇 공급 회사에서 제공하는 드라이버를 이용하여 로봇을 제어하고, 상위 호스트와 SECS 통신을 수행하는 모듈과 카메라에서 이미지를 받아 출력하는 모듈을 개별적으로 개발하였다. 그리고, 상기 모듈들 사이에 상호 연동하는 프로그램을 별도로 개발하였다.
그러므로, 일반적인 반도체 장치 제어 시스템을 구축하는 과정에서는, 개발에 통일성이 없고 로봇 제어, 호스트와 통신, 이미지 처리를 통합처리하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, HMI 기법을 이용하여 복수개의 반도체 장치 제어 모듈들을 통합하는 반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장비 제어 시스템은, 호스트; 복수개의 반도체 장비들; 상기 호스트와 통신하거나 상기 복수개의 반도체 장비들을 각각 제어하는 복수개의 제어 모듈들; 및 상기 복수개의 제어 모듈들을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직(business logic)을 포함하는 통합 제어 모듈;을 구비한다. 상기 통합 제어 모듈은, 상기 복수개의 반도체 장비들의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정할 수 있도록 하는 그래픽 인터페이스; 상기 그래픽 인터페이스에서 설정된 태그들이 나타내는 속성들을 저장하는 공유 메모리; 및 상기 공유 메모리에 저장된 속성들을 관리하는 공유 메모리 관리부를 구비한다.
본 발명에 따른 반도체 장치 제어 시스템 및 구축 방법은, 복수개의 반도체 장치 제어 모듈들을 통합하고, HMI 기법을 이용하여 반도체 장치 제어 시스템을 구축함으로써, 개발 시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 블록도이다.
도 2는 도 1의 통합 제어 모듈의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 구축 방법을 나타내는 순서도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템은 호스트(110), 복수개의 반도체 장비들(112, 114, 116, 118), 복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148), 및 통합 제어 모듈(200)을 구비한다.
호스트(110)는, 반도체 라인을 전체적으로 제어하는 MES(Manufacturing Execution System)일 수 있고, 또는 ECS(Equipment Control System)와 EES(Equipment Engineering System)일 수도 있다. 다만, 상기에서 열거한 호스트(110)의 종류는 단순한 예시일 뿐이고, 반도체 라인에서 사용될 수 있는 호스트(110)의 종류는 다양할 수 있다는 것을 당업자라면 알 수 있을 것이다.
복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)은 호스트(110)와 통신하거나 복수개의 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)을 각각 제어한다. 예를 들어, 호스트 제어 모듈(130)은 호스트(110)와의 통신을 제어하고, 장비 제어 모듈들(142, 144, 146, 148)은 대응되는 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)을 제어한다. 도 1에는 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)의 예로 로봇(112), Opener(114), OCR(116)와 Aligner(118)가 도시되었고, 장비 제어 모듈들(142, 144, 146, 148)의 예로 로봇 제어 모듈(142), Opener 제어 모듈(144), OCT 제어 모듈(146)과 Aligner 제어 모듈(118)이 도시되었다. 그러나, 상기 구성요소들은 단순한 예시일 뿐이고, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템에는 다른 반도체 장비와 그 제어 모듈들이 포함될 수 있다는 것을 당업자라면 알 수 있을 것이다.
복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)은 통신 드라이버(160)를 통하여, 호스트(110) 또는 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)과 통신할 수 있다. 호스트(110)와 호스트 제어 모듈(130)은 SECS 통신을 할 수 있고, 장비 제어 모듈들(142, 144, 146, 148)과 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)은 RS232와 TCP/IP 통신을 할 수 있다. 물론, 상기 통신 방식도 단순한 예시일 뿐이고, 다른 통신 방식이 이용될 수도 있다.
통합 제어 모듈(200)은 복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)을 통합 제어한다. 통합 제어 모듈(200)은 복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직(business logic)을 포함한다. 비즈니스 로직에는 통신 제어 모듈과 상기 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)을 통합 제어하기 위한 로직도 포함된다.
도 2는 도 1의 통합 제어 모듈의 블록도이다.
도 2를 참조하면, 도 1의 통합 제어 모듈(200)은 그래픽 인터페이스(210), 공유 메모리(230), 공유 메모리 관리부(250), 및 비즈니스 로직부(270)를 구비한다.
비즈니스 로직부(270)는 복수개의 제어 모듈들(130, 142, 144, 146, 148)을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직을 포함한다. 그래픽 인터페이스(210)는 복수개의 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정하도록 한다.
HMI 기법은 WYSWIW(What You See What It Work)을 지원한다. 그래픽 인터페이스(210)를 이용하여 화면에 태그를 설정한 다음에, 모니터링 하고자 하는 속성(반도체 장비의 모습이나 모니터링 하고자 하는 개체)에 태그를 연결하여 실행하면, 해당 태그는 연결된 속성(반도체 장비 또는 개체)의 상태를 보여준다. 태그는, 반도체 장비 제어 시스템의 화면에 등록된 객체로써, 반도체 장비 또는 호스트의 데이터를 특정 조건에 따라 반도체 장비 제어 시스템의 화면에 나타내거나, 반도체 장비 제어 시스템의 데이터를 반도체 장비 또는 호스트로 전달할 수 있도록 하는 매개 역할을 한다. 즉, 태그는 반도체 장비 또는 호스트와 실질적인 통신을 한다.
공유 메모리(230)는 그래픽 인터페이스(210)에서 설정된 태그들이 나타내는 속성들(232, 234, 236)을 저장한다. 여기에서, 속성들(232, 234, 236)은 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)의 알람 속성(232), 매크로 속성(234), 스케줄 속성(236), 통신 속성(미도시), 또는 데이터 이력(미도시) 중에서 적어도 하나의 속성을 포함할 수 있다. 또한, 공유 메모리(230)는 복수개의 태그들(미도시)을 포함할 수 있다.
공유 메모리 관리부(250)는 공유 메모리(230)에 저장된 속성들(232, 234, 236)을 관리한다. 공유 메모리 관리부(250)는 통신 드라이버 관리기(251), 알람 관리기(252), 매크로 관리기(254) 및 스케줄 관리기(256)를 구비할 수 있다. 통신 드라이버 관리기(251)는 통신 연계 상수 등의 통신 속성을 관리하고, 통신 속성(미도시)을 기초로 하여 통신 드라이버(160)를 제어한다. 알람 관리기(252)는 알람 속성(232)에 따라 화면에 알람을 표시한다. 매크로 관리기(254)는 매크로 속성(234)에 따라 소정의 매크로를 실행시킨다. 스케줄 관리기(256)는 스케줄 속성(236)에 따라 반도체 장비들(112, 114, 116, 118)의 스케줄을 관리한다. 또한, 공유 메모리 관리부(250)는 태그 관리기(미도시)를 구비할 수 있다. 태그 관리기(미도시)는 공유 메모리(230)에 포함되는 복수개의 태그들(미도시)을 관리한다.
특정 반도체 장비의 상태(속성)가 변하면, 그에 연결되는 태그 정보가 변하고, 그에 따라 사전에 정해진 매크로가 실행될 수 있다. 그에 따라 다른 반도체 장비들이 연계되어 동작할 수 있고 호스트와 소정의 통신을 할 수 있다. 또는, 태그 정보가 변하면 그에 대응되는 비즈니스 로직에 따라 반도체 장비들을 동작시키거나 특정 태그 정보들을 변경할 수도 있다.
도 1의 통합 제어 모듈(200)은 데이터 이력 저장부(290)와 데이터 이력 관리기(259)를 더 구비할 수 있다. 데이터 이력 관리기(259)는 각 구성요소들의 동작 이력을 데이터 이력 저장부(290)에 로그 형태로 남길 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 구축 방법을 나타내는 순서도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 구축 방법은, 반도체 장비들 중에서 제어하고자 하는 반도체 장비의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정하는 단계(330); 설정된 태그들이 나타내는 속성들을 공유 메모리에 저장하는 단계(350); 반도체 장비들을 제어하는 제어 모듈들을 구축하는 단계(370); 및 제어 모듈들을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직을 포함하는 통합 제어 모듈을 구축하는 단계를 구비한다(390). 상기 단계들(330, 350, 370, 390)은, 도 1과 도 2에 도시된 반도체 장치 제어 시스템에서 설명된 내용에 대응되므로, 그에 관한 자세한 설명은 생략된다.
계속하여 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 제어 시스템의 구축 방법은, 태그들에 관한 정보, 매크로 데이터, 알람 데이터를 하드 디스크에 저장하는 단계(310)를 더 구비할 수 있다. 이 경우, 그래픽 화면 상에서 설정하는 단계(330)는, 하드 디스크에 저장된 태그들에 관한 정보, 매크로 데이터, 알람 데이터에 기초하여, 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정할 수 있다.
이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 호스트;
    복수개의 반도체 장비들;
    상기 호스트와 통신하거나 상기 복수개의 반도체 장비들을 각각 제어하는 복수개의 제어 모듈들; 및
    상기 복수개의 제어 모듈들을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직(business logic)을 포함하는 통합 제어 모듈을 구비하고,
    상기 통합 제어 모듈은,
    상기 복수개의 반도체 장비들의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정할 수 있도록 하는 그래픽 인터페이스;
    상기 그래픽 인터페이스에서 설정된 태그들이 나타내는 속성들을 저장하는 공유 메모리; 및
    상기 공유 메모리에 저장된 속성들을 관리하는 공유 메모리 관리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 제어 모듈들은,
    로봇 제어 모듈, 이미지 촬상 제어 모듈, 및 SECS 통신 제어 모듈 중의 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 장비 제어 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 반도체 장비들의 속성들은,
    스케줄 속성, 매크로 속성, 알람 속성, 데이터 이력, 및 통신 속성들 중의 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 장비 제어 시스템.
  4. 호스트와 복수개의 반도체 장비들을 제어하는 반도체 장비 제어 시스템 구축 방법에 있어서,
    상기 반도체 장비들 중에서 제어하고자 하는 반도체 장비의 속성들을 나타내는 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정하는 단계;
    상기 설정된 태그들이 나타내는 속성들을 공유 메모리에 저장하는 단계;
    상기 반도체 장비들을 제어하는 제어 모듈들을 구축하는 단계; 및
    상기 제어 모듈들을 통합 제어하기 위한 비즈니스 로직을 포함하는 통합 제어 모듈을 구축하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 제어 시스템 구축 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 그래픽 화면 상에서 설정하는 단계 이전에,
    상기 태그들에 관한 정보, 매크로 데이터, 알람 데이터를 하드 디스크에 저장하는 단계를 더 구비하고,
    상기 그래픽 화면 상에서 설정하는 단계는,
    상기 하드 디스크에 저장된 상기 태그들에 관한 정보, 매크로 데이터, 알람 데이터에 기초하여, 상기 태그들을 그래픽 화면 상에서 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 제어 시스템 구축 방법.
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