KR20090089645A - Bidirectional moire pattern acquiring device using digital micromirror device - Google Patents

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Abstract

A bidirectional moire pattern acquiring device using a digital micro-mirror device are provided to reduce a location refresh problem by making a beam reflected from a lattice a parallel beam. In a bidirectional moire pattern acquiring device using a digital micro-mirror device, a light source(10) provides a light for obtaining a moire pattern. A beam expander(20) receives a light from the light source, and converts it into a parallel beam, and a digital micro-mirror device controls a pixel of the digital micro-mirror device as a cross stripe shape fixed to the parallel beam by a certain pitch.

Description

ＤＭＤ를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치 {Bidirectional Moire Pattern Acquiring Device Using Digital Micromirror Device}Bidirectional Moire Pattern Acquiring Device Using Digital Micromirror Device}

본 발명은 DMD(Digital Micromirror Device)를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 DMD를 이용하여 대상물에 투영할 때 반대편에서 사각지역이 발생되는 것을 보완하고 정확한 형상의 정보를 획득하기 위하여 파라볼릭 미러를 사용하여 대상물 중심으로 양쪽에서 격자무늬를 투영하는 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for obtaining a bidirectional moire fringe using a digital micromirror device (DMD), and more particularly, to compensate for the occurrence of blind spots on the opposite side when projecting onto an object using a DMD, and to acquire information of an accurate shape. The present invention relates to a bidirectional moire fringe acquisition device using a DMD projecting a grid pattern from both sides to an object center using a parabolic mirror.

종래의 기술로서, 비전 카메라를 이용한 3차원 형상 측정 방법으로, 광삼각법(optical triangulation), 광촉침식(optical profilometry), 공초점현미경(confocal microscopy), 모아레(moire) 무늬 등을 이용한 비접촉식 측정법이 있으며, 상기 기술들은 대상물에 손상을 입히지 않는 장점으로 인하여 널리 이용되고 있었다.As a conventional technique, a three-dimensional shape measurement method using a vision camera includes a non-contact measurement method using optical triangulation, optical profilometry, confocal microscopy, moire pattern, and the like. These techniques have been widely used because of the advantages of not damaging the object.

상기 3차원 형상 측정 방법 중 모아레 무늬를 이용한 형상 측정 방식은 측정하고자 하는 물체(이하, "피사체"라 한다)의 표면에 일정 형태를 가지는 두 개 이상의 주기적인 패턴이 겹쳐지는 간섭 무늬를 측정 및 해석하여 물체 표면의 높이에 대한 정보를 획득하는 것이다.In the three-dimensional shape measurement method, the shape measurement method using a moire fringe measures and analyzes an interference fringe in which two or more periodic patterns having a certain shape overlap the surface of an object to be measured (hereinafter referred to as a “subject”). To obtain information about the height of the surface of the object.

일반적으로, 모아레 무늬를 이용한 3차원 형상 측정 방법에는 그림자식 모아레(shadow moire)와 투영식 모아레(projection moire) 방법으로 구분된다.In general, the three-dimensional shape measurement method using a moire pattern is divided into a shadow moire (projection moire) method.

상기 그림자식 모아레(shadow moire)는 렌즈를 사용하지 않고 피사체의 표면에 나타나는 격자무늬의 그림자로부터 생성된 모아레 무늬를 이용하여 피사체의 형상을 측정하는 방식이고 또한, 상기 투영식 모아레(shaw moire)는 피사체의 백색광 내지는 단색광 프로젝터를 이용해서 격자패턴을 주사하고 물체의 형상에 따라 변형되어진 격자 이미지를 주사하여 한 격자와 동일한 피치를 가지는 기준격자에 겹침으로써 모아레 무늬를 획득하는 기술이 있었다.The shadow moire is a method of measuring the shape of a subject using a moire pattern generated from a shadow of a grid pattern appearing on the surface of the subject without using a lens, and the shaw moire is a projection moiré. There has been a technique of obtaining a moire pattern by scanning a grid pattern by using a white light or monochromatic light projector of an object and scanning a grid image deformed according to the shape of an object and overlapping a reference grid having the same pitch as one grid.

그러나 상술한 그림자식 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 장치는 설비가 간단한 장점이 있지만 격자의 그림자를 이용해야 하기 때문에 격자와 피사체를 충분히 근접시킬 수 있는 경우에만 적용되는 문제점이 있었다.However, the three-dimensional shape measurement apparatus using the above-mentioned shadow moiré has a simple advantage of the installation, but there is a problem that is applied only when the grid and the subject can be sufficiently close because the shadow of the grid should be used.

아울러, 상술한 투영식 모아레는 격자의 크기에 의해서 대상 물체의 크기가 제한 받지 않고, 작은 높이 차를 갖는 미세한 물체의 측정시 물체 가까이 위치시켜야 하는 제한이 없기 때문에 선호되고 있지만, 투영식 모아레 방식은 일정한 각도로 기울여서 피사체에 격자무늬를 투영하므로 상기 기울어진 각도에 의해서 피사체 의 높이에 의해 투영되는 곳의 반대편은 그림자가 발생되며, 상기 발생된 그림자를 제거하기 위하여 한쪽 투영방식에서 투영체를 중심으로 양쪽으로 격자무늬를 투영하는 방식이 사용되어 지고 있었다.In addition, the above-described projection moiré is preferred because the size of the target object is not limited by the size of the grid, and there is no restriction to be positioned near the object when measuring a minute object having a small height difference, but the projection moiré method is Since the grid pattern is projected on the subject by tilting it at an angle, the shadow is generated on the opposite side of the projected object by the height of the subject by the tilted angle. Projection of grid patterns on both sides has been used.

그러나 양쪽으로 투영하기 위해서는 상대적으로 고가인 격자와 정밀이송장치가 추가로 필요하게 되어 제어량이 많아지고 비용이 상승하는 문제점이 있었다.However, in order to project to both sides, a relatively expensive grating and a precision transfer device are additionally required, which increases the amount of control and increases the cost.

특히, 최근에는 TI사의 DMD가 상용화되면서 모아레 무늬를 만들기 위한 격자와 이송장치를 대신하게 되었고 이때 격자 무늬 투영시 사각이 발생하는 것을 해결하기 위해 양쪽으로 투영하게 되며 DMD 개수를 늘리고 또한 동시에 제어가 필요하므로 상술한 바와 같은 동일한 문제점이 발생한다.In particular, the recent commercialization of TI's DMD has replaced the grid and the transfer device for making moire patterns. At this time, the projection is performed on both sides in order to solve the blind spots when the grid pattern is projected. Therefore, the same problem as described above occurs.

상기 본 발명의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 파라볼릭 미러를 사용하여 대상물 중심으로 양쪽에서 격자무늬를 투영하는 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.As an object of the present invention is to solve the problems of the present invention, an object of the present invention is to provide a bidirectional moire pattern acquisition apparatus using a DMD projecting the grid pattern on both sides using a parabolic mirror.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따르면 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치는 모아레 무늬를 획득하기 위한 빛을 제공하는 광원과, 상기 빛을 제공받아 평행광으로 변형하는 빔 익스펜더와, 상기 평행광을 제공받아 위상천이 시킨 격자무늬를 생성하는 DMD와, 상기 격자무늬의 초점을 일치시키는 릴레이 렌즈와, 상기 초점이 일치된 격자무늬를 회전각도에 따라 반사하는 회전 미러와, 상기 반사되는 격자무늬로 제 1 광로의 격자무늬와 제 2 광로의 격자무늬가 발생되는 파라볼릭 미러와, 상기 제 1 광로의 격자무늬를 반사하는 제 1 미러, 제 2 미러와 상기 제 2 광로의 격자무늬를 반사하는 제 3 미러, 제 4 미러로 이루어진 플렛 미러군과, 상기 제 1 미러, 제 2 미러로부터 제 1 광로의 격자무늬를 받는 제 1 프로젝션 렌즈와 상기 제 3 미러, 제 4 미러로부터 제 2 광로의 격자무늬를 받는 제 2 프로젝션 렌즈로 이루어진 프로젝션 렌즈군과, 상기 제 1 프로젝션 렌즈로부터 제 1 광로의 격자무늬를 투영되고 제 2 프로젝션 렌즈로부터 제 2 광로 의 격자무늬를 투영되는 대상물과, 상기 회전 미러의 회전각도에 따라 순차적으로 투영된 제 1, 제 2 광로의 격자무늬를 제공받는 이미징 렌즈, 및 상기 순차적으로 투영된 제 1, 제 2 광로의 격자무늬를 합성하여 전체 형상을 구성하는 이미지 센서로 이루어진 것을 해결 수단으로 한다.In order to solve the above problems, according to an embodiment of the present invention, the bidirectional moire fringe acquisition device using a DMD is a light source for providing a light for acquiring the moire fringe, and a beam expander for receiving the light to transform into parallel light A DMD for generating a lattice pattern subjected to the phase shift by receiving the parallel light, a relay lens for matching the focal point of the lattice pattern, a rotation mirror reflecting the lattice pattern in focus with the rotation angle, A parabolic mirror in which the grid pattern of the first optical path and the grid pattern of the second optical path are generated by the reflected grid pattern, and the first mirror, the second mirror and the grid of the second optical path reflecting the grid pattern of the first optical path A flat mirror group consisting of a third mirror and a fourth mirror reflecting a pattern, and a first projection lens receiving a grid pattern of a first optical path from the first mirror and the second mirror. A projection lens group consisting of a third mirror, a second projection lens that receives the grid pattern of the second optical path from the fourth mirror, and a grid pattern of the first optical path from the first projection lens, and projecting the grid pattern of the second optical path from the second projection lens A grating of the object to which the grid pattern of the projection is projected, an imaging lens provided with the grid patterns of the first and second optical paths sequentially projected according to the rotation angle of the rotation mirror, and the sequentially projected first and second optical paths. What constitutes an image sensor which synthesize | combines a pattern and comprises the whole shape as a solution means.

본 발명의 일실시예에 따르면 상기 회전 미러는 로터리 솔레노이드 상부에 회전되는 미러를 부착된 기기인 것을 해결 수단으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the rotating mirror may be a device having a mirror attached to the upper part of the rotary solenoid.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 한 개의 광원 및 격자무늬 발생장치를 이용하여 양쪽으로 투영이 가능하고 고가의 격자무늬 발생장치를 하나만 사용하여 양방향을 투영하므로 경제적인 효과가 있다.As described above, the present invention is economical because it is possible to project to both sides using one light source and the grid pattern generator, and project both directions using only one expensive grid pattern generator.

또한, 솔레노이드에 의해 양쪽을 선택하기 때문에 종래의 기술에 비해 셔터부분이 필요 없는 효과가 있으며 더욱이, 격자에서 반사된 광을 파라볼릭 미러를 사용하여 평행광으로 만들기 때문에 솔레노이드에 의한 위치 재생성 문제가 발생하지 않아 좌우 양쪽을 번갈아 투영하여도 항상 같은 격자무늬를 획득할 수 있는 효과가 있다.In addition, since both sides are selected by the solenoid, the shutter portion is not required as compared with the conventional technology. Furthermore, since the light reflected from the grating is made into parallel light using a parabolic mirror, a position regeneration problem caused by the solenoid occurs. Therefore, even if the left and right projections alternately, the same grid pattern is always obtained.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치 구성도로서, 상기 모아레 무늬 획득 장치는 광원(10)과 빔 익스펜더(20)와 DMD(30)와 릴레이 렌즈(40)와 회전 미러(50)와 파라볼릭 미러(60)와 플렛 미러군(70)과 프로젝션 렌즈군(80)와 대상물(90)과 이미징 렌즈(100)와 이미지 센서(110)로 구성된다.1 is a block diagram of a bidirectional moire pattern acquisition device using a DMD according to the present invention, wherein the moire pattern acquisition device includes a light source 10, a beam expander 20, a DMD 30, a relay lens 40, and a rotating mirror ( 50, a parabolic mirror 60, a flat mirror group 70, a projection lens group 80, an object 90, an imaging lens 100, and an image sensor 110.

이와 같이 구성된 각각의 구성요소에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Each component configured as described above will be described in detail as follows.

상기 광원(10)은 모아레 무늬를 획득하기 위한 빛을 제공한다.The light source 10 provides light for obtaining a moire fringe.

상기 빔 익스펜더(20)는 상기 광원(10)으로부터 빛을 제공받고 상기 제공받은 빛을 평행광으로 변형한다.The beam expander 20 receives light from the light source 10 and transforms the provided light into parallel light.

이때, 평행광으로 변형하는 이유는 빛의 발산을 막아 줌으로써, 상기 DMD(30)에서 빛의 반사를 방지하는 것이다.At this time, the reason for the transformation to parallel light is to prevent the light from being emitted, thereby preventing the reflection of the light in the DMD (30).

상기 DMD(30)는 상기 평행광으로 일정한 피치의 격자무늬 형태로 DMD의 픽셀을 조절하여 위상천이 시킨 격자무늬를 릴레이 렌즈(40)로 전달한다.The DMD 30 transmits the grid pattern, which is phase shifted by controlling the pixels of the DMD in the form of a grid pattern with a constant pitch, by the parallel light to the relay lens 40.

상기 릴레이 렌즈(40)는 상기 DMD(30)에 의해서 위상천이된 격자무늬의 초점을 일치시켜서 회전미러(50)에 전달한다.The relay lens 40 matches the focal point of the grid pattern phase shifted by the DMD 30 and transmits the same to the rotating mirror 50.

상기 회전 미러(50)는 상기 릴레이 렌즈(40)로부터 초점이 일치된 격자무늬를 제공받고 상기 제공받은 격자무늬가 회전 미러(50)의 회전 각도에 의해서 광로가 결정된다.The rotating mirror 50 is provided with the grid pattern in focus from the relay lens 40 and the optical path is determined by the rotation angle of the rotating mirror 50.

아울러, 상기 회전 미러(50)는 미러가 회전하여 격자무늬를 파라볼릭 미 러(60)에게 전달될 수 있는 기기가 바람직한 것으로서, 특히 로터리 솔레노이드 상부에 회전되는 미러를 부착된 기기가 바람직하다.In addition, the rotating mirror 50 is a device that can be transmitted to the parabolic mirror 60 by rotating the mirror is a mirror, the device is preferably attached to the mirror is rotated above the rotary solenoid.

따라서, 회전 미러(50)의 각도에 의해서 격자무늬가 지속적으로 파라볼릭 미러(60)에게 전달된다. Therefore, the grid pattern is continuously transmitted to the parabolic mirror 60 by the angle of the rotation mirror 50.

상기 파라볼릭 미러(60)는 원호의 형태를 갖고 있음으로 회전 미러(50)의 각도에 따라 전달되는 격자무늬를 플렛 미러군(70)에 전달하는 바, 플렛 미러군(70)에 전달되는 격자무늬는 제 1 광로의 격자무늬와 제 2 광로의 격자무늬로 구분된다.Since the parabolic mirror 60 has a circular arc shape, the grid pattern 60 is transmitted to the flat mirror group 70 by transmitting the grid pattern transmitted according to the angle of the rotating mirror 50 to the flat mirror group 70. The pattern is divided into a grid pattern of the first optical path and a grid pattern of the second optical path.

한편, 회전 미러(50)는 지속적으로 회전하므로 파라볼릭 미러(60)에 의해서 발생되는 제 1 광로의 격자무늬와 제 2 광로의 격자무늬는 교대로 플렛 미러군(70)에 전달된다.Meanwhile, since the rotating mirror 50 continuously rotates, the grid pattern of the first optical path and the grid pattern of the second optical path generated by the parabolic mirror 60 are alternately transmitted to the flat mirror group 70.

상기 플렛 미러군(70)은 제 1 미러(71), 제 2 미러(72), 제 3 미러(73), 제 4 미러(74)로 구성되고, 상기 제 1 미러(71), 제 2 미러(72)는 파라볼릭 미러(60)에 의하여 형성된 제 1 광로의 격자무늬가 프로젝션 렌즈군(80) 중에서 제 1 프로젝션 렌즈(81)에 반사되고, 상기 제 3 미러(73), 제 4 미러(74)는 파라볼릭 미러(60)에 의해서 형성된 제 2 광로의 격자무늬가 프로젝션 렌즈군(80) 중에서 제 2 프로젝션 렌즈(82)에 반사된다.The flat mirror group 70 is composed of a first mirror 71, a second mirror 72, a third mirror 73, a fourth mirror 74, the first mirror 71, the second mirror 72, the grid pattern of the first optical path formed by the parabolic mirror 60 is reflected by the first projection lens 81 of the projection lens group 80, and the third mirror 73 and the fourth mirror ( 74, the grid pattern of the second optical path formed by the parabolic mirror 60 is reflected by the second projection lens 82 of the projection lens group 80.

상기 프로젝션 렌즈군(80)은 제 1 프로젝션 렌즈(81)와 제 2 프로젝션 렌즈(82)로 구성되고, 상기 제 1 프로젝션 렌즈(81)는 상기 제 1 미러(71), 제 2 미러(72)로부터 제 1 광로의 격자무늬를 반사받아 대상물(90)에 투영한다.The projection lens group 80 includes a first projection lens 81 and a second projection lens 82, and the first projection lens 81 includes the first mirror 71 and the second mirror 72. The grid pattern of the first optical path is reflected from the projection to the object 90.

또한, 상기 제 2 프로젝션 렌즈(82)는 상기 제 3 미러(73), 제 4 미러(74)로부터 제 2 광로의 격자무늬를 반사받아 대상물(90)에 투영한다.In addition, the second projection lens 82 reflects the grid pattern of the second optical path from the third mirror 73 and the fourth mirror 74 to project the object 90.

상기 대상물(90)은 제 1 프로젝션 렌즈(81)로부터 제 1 광로의 격자무늬가 투영되고 제 2 프로젝션 렌즈(82)로부터 제 2 광로의 격자무늬가 투영된다.The object 90 has the grid pattern of the first optical path projected from the first projection lens 81 and the grid pattern of the second optical path projected from the second projection lens 82.

이때, 대상물(90)에 투영되는 제 1, 제 2 광로의 격자무늬 각각은 상기 회전 미러(50)의 회전각도에 의해서 순차적으로 이미징 렌즈(100)에게 반사한다.In this case, each of the grid patterns of the first and second optical paths projected onto the object 90 is sequentially reflected to the imaging lens 100 by the rotation angle of the rotation mirror 50.

상기 이미징 렌즈(100)는 순차적으로 반사되는 제 1 , 제 2 광로의 격자무늬를 이미지 센서(110)로 전달한다.The imaging lens 100 transmits the grid patterns of the first and second optical paths which are sequentially reflected to the image sensor 110.

상기 이미지 센서(110)는 이미징 렌즈(100)로부터 전달된 제 1, 제 2 광로의 격자 무늬를 합성하여 전체 형상을 구성한다.The image sensor 110 composes the overall shape by synthesizing the grid patterns of the first and second optical paths transmitted from the imaging lens 100.

상술한 구성요소에 의한 본 발명은 DMD에 의해 발생된 격자무늬는 회전 미러(50)에 의해 평행광이 다양한 렌즈를 거쳐서 대상물에 투영되고 회전 미러(50)를 통해 좌우 방향을 번갈아 투영하게 되며 빛이 한쪽 방향으로만 투영되기 때문에 양쪽 광이 겹치게 투영되어 간섭되는 일이 발생되지 않음은 물론, 회전 미러(50)에 장착된 미러에서 반사된 빛은 파라볼릭 미러(60)에 의해 평행광이 되어 프로젝션 렌즈군(80)까지 이송되기 때문에 중간 경로와 광학 컨포넌트의 배치를 결정하기 용이하다.According to the present invention by the above-described components, the grid pattern generated by the DMD is projected by the rotating mirror 50 to the object through the parallel lens through various lenses and alternately projecting the left and right directions through the rotating mirror 50 and the light Since the light is projected only in one direction, both lights are projected in an overlapping manner so that interference does not occur, and light reflected from the mirror mounted on the rotating mirror 50 becomes parallel light by the parabolic mirror 60. Since it is conveyed to the projection lens group 80, it is easy to determine the intermediate path and the placement of the optical component.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시 될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features.

그러므로 상술한 기술은 단지 한 실시예이고 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. Therefore, it is to be understood that the foregoing description is only one embodiment, illustrative, and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 본 발명에 따른 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치 구성도이다.1 is a block diagram of an apparatus for obtaining a bidirectional moire fringe using a DMD according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

10 : 광원 20 : 빔 익스펜더10 light source 20 beam expander

30 : DMD 40 : 릴레이 렌즈30: DMD 40: relay lens

50 : 회전 미러 60 : 파라볼릭 미러50: rotating mirror 60: parabolic mirror

70 : 플렛 미러군 71 : 제 1 미러70: flat mirror group 71: first mirror

72 : 제 2 미러 73 : 제 3 미러72: second mirror 73: third mirror

74 : 제 4 미러 80 : 프로젝션 렌즈군74: fourth mirror 80: projection lens group

81 : 제 1 프로젝션 렌즈 82 : 제 2 프로젝션 렌즈81: the first projection lens 82: the second projection lens

90 : 대상물 100 : 이미징 렌즈90: object 100: imaging lens

110 : 이미지 센서110: image sensor

Claims (2)

모아레 무늬를 획득하기 위한 빛을 제공하는 광원과;A light source providing light for acquiring a moire pattern; 상기 빛을 제공받아 평행광으로 변형하는 빔 익스펜더와;A beam expander for receiving the light and transforming the light into parallel light; 상기 평행광을 제공받아 위상천이 시킨 격자무늬를 생성하는 DMD와;A DMD receiving the parallel light to generate a grid pattern shifted in phase; 상기 격자무늬의 초점을 일치시키는 릴레이 렌즈와;A relay lens for focusing the grid pattern; 상기 초점이 일치된 격자무늬를 회전각도에 따라 반사하는 회전 미러와;A rotating mirror reflecting the grid pattern whose focus is matched according to a rotation angle; 상기 반사되는 격자무늬로 제 1 광로의 격자무늬와 제 2 광로의 격자무늬가 발생되는 파라볼릭 미러와;A parabolic mirror in which the grid pattern of the first optical path and the grid pattern of the second optical path are generated as the reflected grid pattern; 상기 제 1 광로의 격자무늬를 반사하는 제 1 미러, 제 2 미러와 상기 제 2 광로의 격자무늬를 반사하는 제 3 미러, 제 4 미러로 이루어진 플렛 미러군과;A flat mirror group consisting of a first mirror reflecting the grid pattern of the first optical path, a third mirror reflecting the grid pattern of the second optical path, and a fourth mirror; 상기 제 1 미러, 제 2 미러로부터 제 1 광로의 격자무늬를 받는 제 1 프로젝션 렌즈와 상기 제 3 미러, 제 4 미러로부터 제 2 광로의 격자무늬를 받는 제 2 프로젝션 렌즈로 이루어진 프로젝션 렌즈군과;A projection lens group comprising a first projection lens receiving a grid pattern of a first optical path from the first mirror and a second mirror, and a second projection lens receiving a grid pattern of a second optical path from the third mirror and a fourth mirror; 상기 제 1 프로젝션 렌즈로부터 제 1 광로의 격자무늬를 투영되고 제 2 프로젝션 렌즈로부터 제 2 광로의 격자무늬를 투영되는 대상물과;An object to project the grid pattern of the first optical path from the first projection lens and to project the grid pattern of the second optical path from the second projection lens; 상기 회전 미러의 회전각도에 따라 순차적으로 투영된 제 1, 제 2 광로의 격자무늬를 제공받는 이미징 렌즈; 및An imaging lens provided with grid patterns of the first and second optical paths sequentially projected according to the rotation angle of the rotation mirror; And 상기 순차적으로 투영된 제 1, 제 2 광로의 격자무늬를 합성하여 전체 형상을 구성하는 이미지 센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 양방향 모 아레 무늬 획득 장치. Apparatus for obtaining a bi-directional moire pattern using a DMD, comprising an image sensor configured to synthesize the grid patterns of the sequentially projected first and second optical paths to form an overall shape. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 회전 미러는 로터리 솔레노이드 상부에 회전되는 미러를 부착된 기기인 것을 특징으로 하는 DMD를 이용한 양방향 모아레 무늬 획득 장치.And the rotating mirror is a device having a mirror attached to the upper portion of the rotary solenoid.
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JPH03267912A (en) * 1990-03-19 1991-11-28 Fujitsu Ltd Method and device for optical scanning
KR100501397B1 (en) * 2003-02-06 2005-07-18 주식회사 고영테크놀러지 Three-dimensional image measuring apparatus
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